KR20180107381A - 나노 플라즈모닉 센서 및 이의 제조 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
도 2는 예시적인 실시예에 따른 센싱부를 도시하는 개략적인 사시도이다.
도 3a 및 도 3b는 예시적인 실시예에 따른 센싱부의 개략적인 사시도들이다.
도 4a 내지 도 4c는 예시적인 실시예에 따른 나노 플라즈모닉 센서의 제조 방법을 개략적으로 나타내는 주요 단계별 도면들이다.
도 5는 예시적인 실시예에 따른 나노 플라즈모닉 센서의 제조 장치의 개략적인 단면도이다.
도 6a 내지 도 6c는 예시적인 실시예에 따른 나노 플라즈모닉 센서의 제조 방법 중 일 단계를 설명하기 위한 단면도들이다.
도 7a 내지 도 7c는 예시적인 나노 플라즈모닉 센서를 이용한 측정 결과를 도시하는 그래프들이다.
도 8a 및 도 8b는 예시적인 나노 플라즈모닉 센서를 이용한 측정 결과를 도시하는 그래프들이다.
101: 기판
110: 유전체 구조물
120: 금속 구조물
121: 제1 수평부
122: 수직부
123: 제2 수평부
200: 측정부
210: 광원부
220: 수광부
300: 분석 대상물
Claims (15)
- 기판;
상기 기판 상에 일 방향으로 연장되도록 배치되는 적어도 하나의 유전체 구조물;
상기 유전체 구조물의 상면 및 일 측면을 덮고 상기 기판의 상면으로 연장되도록 배치되는 금속 구조물; 및
상기 금속 구조물에서의 국소 표면 플라즈몬 공명 현상을 측정하는 측정부를 포함하는 나노 플라즈모닉 센서.
- 제1 항에 있어서,
상기 금속 구조물은,
상기 유전체 구조물의 상면에 배치되는 제1 수평부;
상기 제1 수평부로부터 절곡되어 상기 유전체 구조물의 일 측면을 따라 배치되는 수직부; 및
상기 수직부로부터 절곡되어 상기 기판의 상면을 따라 배치되는 제2 수평부를 포함하는 나노 플라즈모닉 센서.
- 제2 항에 있어서,
상기 제2 수평부는 상기 수직부로부터 상기 제1 수평부와 반대 방향으로 절곡되는 나노 플라즈모닉 센서.
- 제2 항에 있어서,
상기 제1 수평부의 길이는 상기 제2 수평부의 길이보다 긴 나노 플라즈모닉 센서.
- 제1 항에 있어서,
상기 금속 구조물의 전체 폭은 10 nm 내지 1000 nm의 범위인 나노 플라즈모닉 센서.
- 제1 항에 있어서,
상기 금속 구조물의 두께는 1 nm 내지 200 nm의 범위인 나노 플라즈모닉 센서.
- 제1 항에 있어서,
상기 유전체 구조물은 직육면체 형상을 가지는 나노 플라즈모닉 센서.
- 제1 항에 있어서,
상기 유전체 구조물은 복수 개가 서로 소정 거리로 이격되어 배치되는 나노 플라즈모닉 센서.
- 제1 항에 있어서,
상기 측정부는,
상기 기판의 상부에 배치되며, 상기 금속 구조물로 입사되는 입사광을 발생시키는 광원부; 및
상기 기판의 하부에 배치되며, 상기 금속 구조물의 표면 또는 주변에 위치하는 분석 대상물에 의해 변화되는 광을 검출하는 수광부를 포함하는 나노 플라즈모닉 센서.
- 제1 항에 있어서,
상기 기판은 플렉서블(flexible) 기판인 나노 플라즈모닉 센서.
- 서로 다른 방향으로 절곡되는 적어도 두 개의 절곡부들을 포함하는 금속 구조물; 및
상기 금속 구조물에서의 국소 표면 플라즈몬 공명 현상을 측정하는 측정부를 포함하는 나노 플라즈모닉 센서.
- 제11 항에 있어서,
육면체 형상을 갖는 유전체 구조물을 더 포함하고,
상기 금속 구조물은 상기 유전체 구조물의 일 측면 상에 배치되며, 상기 절곡부들은 상기 유전체 구조물의 상부 및 하부에서 서로 반대 방향으로 절곡되는 나노 플라즈모닉 센서.
- 기판 상에 유전층을 형성하는 단계;
나노 패턴을 포함하는 몰드를 이용하여 상기 유전층을 패터닝하여 유전체 구조물을 형성하는 단계; 및
상기 기판에 대하여 소정 각도로 금속 물질을 공급함으로써, 상기 유전체 구조물의 상면과 일 측면, 및 상기 기판의 노출된 상면의 일부에 금속 물질을 증착하여 금속 구조물을 형성하는 단계를 포함하는 나노 플라즈모닉 센서의 제조 방법.
- 제13 항에 있어서,
상기 금속 물질은 상기 기판에 수직한 방향에 대하여 10 ° 내지 80 °의 각도로 공급되는 나노 플라즈모닉 센서의 제조 방법.
- 제13 항에 있어서,
상기 단계들 중 적어도 일부는 롤투롤(roll to roll) 나노임프린트(nanoimprint) 공정으로 수행되는 나노 플라즈모닉 센서의 제조 방법.
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