KR20180022619A - PCB panel inspection method and apparatus - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 PCB(Printed Circuit Board) 패널 검사 방법 및 그 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 광학검사를 통해 파악되는 이상부위가 실제 결함인지 여부를 자동화하여 검사할 수 있는 방법 및 그 장치에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a PCB (Printed Circuit Board) panel inspection method and apparatus, and more particularly, to a method and apparatus for automatically checking whether an abnormal region recognized through an optical inspection is an actual defect .
PCB 패널은 절연 기판상에 회로패턴으로 연결된 복수 개의 회로소자를 포함한다. 이러한 PCB 기판은 자동화 생산라인에 의해 대량으로 제작되는 과정에서 회로패턴의 단선 또는 패턴 폭 불량 등이 발생할 수 있으므로, 이를 작업자가 검사과정에서 일일이 식별한 후 마킹용 잉크를 이용하여 불량 PCB를 표시하게 된다. The PCB panel includes a plurality of circuit elements connected in a circuit pattern on an insulating substrate. Since such a PCB substrate is produced in a large quantity by an automated production line, it may cause a disconnection of a circuit pattern or a pattern width defect. Therefore, an operator identifies the PCB pattern individually during the inspection process and displays a defective PCB using marking ink do.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, PCB 패널에 존재하는 이상부위가 실제 결함인지 여부를 자동화된 방법으로 정확하게 파악할 수 있는 PCB 패널 검사 방법 및 그 장치를 제공하는데 있다.An object of the present invention is to provide a method and an apparatus for inspecting a PCB panel that can accurately determine whether an abnormal part existing in a PCB panel is an actual defect by an automated method.
상기의 기술적 과제를 달성하기 위한, 본 발명의 실시 예에 따른 PCB 패널 검사 방법의 일 예는, 기준 이미지와 검사 대상인 패널 이미지의 위치를 정합하는 단계; 상기 기준 이미지와 상기 패널 이미지의 차를 통해 관심영역에 존재하는 이상부위를 추출하는 단계; 상기 관심영역에 존재하는 이상부위에 대한 파라미터를 추출하는 단계; 및 정상 또는 결함에 대한 적어도 하나 이상의 파라미터를 포함하는 군집과 상기 이상부위에 대한 파라미터의 유사도를 기초로 상기 이상부위의 정상 또는 결함을 결정하는 단계;를 포함한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of inspecting a PCB panel, the method comprising: matching a position of a reference image and a panel image to be inspected; Extracting an abnormal region existing in a region of interest through a difference between the reference image and the panel image; Extracting a parameter for an abnormal region existing in the region of interest; And determining a normal or defect of the abnormal region based on the cluster including the at least one parameter for normal or defective and the similarity of the parameter for the abnormal region.
상기의 기술적 과제를 달성하기 위한, 본 발명의 실시 예에 따른 PCB 패널 검사 장치의 일 예는, 기준 이미지와 검사 대상인 패널 이미지의 위치를 정합하는 위치정합부; 상기 기준 이미지와 상기 패널 이미지의 차를 통해 관심영역에 존재하는 이상부위를 추출하는 관심영역파악부; 상기 관심영역에 존재하는 이상부위에 대한 파라메타를 추출하는 파라메타추출부; 및 정상 또는 결함에 대한 적어도 하나 이상의 파라메타를 포함하는 군집과 상기 이상부위에 대한 파라메타의 유사도를 기초로 상기 이상부위의 정상 또는 결함을 결정하는 결함판정부;를 포함한다.According to an aspect of the present invention, there is provided an apparatus for inspecting a PCB panel, the apparatus comprising: a position matching unit for matching positions of a reference image and a panel image to be inspected; An interest area determination unit that extracts an abnormal region existing in a region of interest through a difference between the reference image and the panel image; A parameter extracting unit for extracting a parameter of an abnormal region existing in the ROI; And a defect judgment part for determining a normal or defect of the abnormal part based on a cluster including at least one parameter for normal or defect and a similarity of the parameter for the abnormal part.
본 발명에 따르면, PCB 패널에 존재하는 이상부위가 실제 결함인지 여부를 자동화된 방법으로 정확하게 파악할 수 있다. 또한, 검사 대상인 PCB 패널을 촬영한 패널 이미지와 불량이 없는 PCB 패널의 이미지인 기준 이미지를 비교하여 이상부위를 검출할 때 픽셀 단위로 두 이미지의 위치를 정확하게 일치시킬 수 있다. 또한, 패널 이미지와 기준 이미지의 위치 정합시 정렬마크를 이용함으로써 위치 정합시 소요되는 시간을 최소화할 수 있다. 또한, 이상부위가 정상인 경우와 결함인 경우를 자동 학습하므로 학습 시간의 경과에 따라 패널 검사의 정확도를 높일 수 있을 뿐만 아니라 다양한 이상부위에 대해서도 정확한 검사 결과를 도출할 수 있다.According to the present invention, it is possible to accurately determine whether an abnormal part existing in a PCB panel is an actual defect by an automated method. In addition, it is possible to accurately match the positions of the two images in the pixel unit when the abnormal region is detected by comparing the panel image of the PCB panel to be inspected and the reference image which is the image of the PCB panel having no defect. In addition, when alignment of the panel image and the reference image is performed, alignment marks can be used to minimize the time required for alignment. In addition, since it is learned automatically when the abnormal part is normal and when it is defective, it is possible not only to increase the accuracy of the panel inspection according to the learning time, but also to obtain accurate test results for various abnormal parts.
도 1은 본 발명의 실시 예에서 사용되는 PCB 패널의 일 예를 도시한 도면,
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 패널검사장치를 포함하는 광학검사시스템의 일 예를 도시한 도면,
도 3은 본 발명의 실시 예에 다른 PCB 패널 검사 방법의 일 예를 도시한 흐름도,
도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 정렬마크를 이용한 위치 정합 방법의 일 예를 도시한 도면,
도 5는 정렬마크 경계의 각 픽셀의 값을 도시한 도면,
도 6은 본 발명의 실시 예에 따른 이미지 밝기 보정의 일 예를 도시한 도면,
도 7은 본 발명의 실시 예에 따른 픽셀값을 이용한 위치 정합 방법의 일 예를 도시한 도면,
도 8은 본 발명의 실시 예에 따른 관심 영역 내 이상부위를 추출하는 방법의 일 예를 도시한 도면,
도 9는 본 발명의 실시 예에 따른 군집의 일 예를 도시한 도면, 그리고,
도 10은 본 발명에 따른 패널검사장치의 일 실시 예의 구성을 도시한 도면이다.1 is a view illustrating an example of a PCB panel used in an embodiment of the present invention;
2 is a view illustrating an example of an optical inspection system including a panel inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.
3 is a flowchart illustrating an example of a PCB panel inspection method according to an embodiment of the present invention.
4 is a view illustrating an example of a position matching method using an alignment mark according to an embodiment of the present invention.
Figure 5 shows the values of each pixel of the alignment mark boundary,
6 is a diagram illustrating an example of image brightness correction according to an embodiment of the present invention.
7 is a diagram illustrating an example of a position matching method using pixel values according to an embodiment of the present invention.
8 is a view illustrating an example of a method for extracting an abnormal region in a region of interest according to an embodiment of the present invention.
9 is a view illustrating an example of a cluster according to an embodiment of the present invention,
10 is a diagram showing the configuration of an embodiment of a panel inspection apparatus according to the present invention.
이하에서, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 실시 예에 따른 PCB 패널의 검사 방법 및 그 장치에 대해 살펴본다.Hereinafter, a method and an apparatus for inspecting a PCB panel according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명의 실시 예에서 사용되는 PCB 패널의 일 예를 도시한 도면이다. 1 is a view illustrating an example of a PCB panel used in an embodiment of the present invention.
도 1을 참조하면, PCB 패널(100)은 적어도 하나 이상의 스트립(strip)(120)으로 구성되고, 각 스트립(120)은 적어도 하나 이상의 유닛(110)으로 구성된다. 유닛(110)에는 회로패턴과 전자소자가 존재한다. PCB 패널(100)은 패널의 위치 또는 방향을 정렬하기 위한 정렬마크(130,132,134,136)를 적어도 하나 이상 포함한다. 본 실시 예는 정렬마크(130,132,134,136)의 예로 '+' 형태를 도시하고 있으나 이는 하나의 예일 뿐 삼각형, 원 등의 각종 도형이나 숫자, 기호, 문자 등 다양한 형태로 구현될 수 있다. PCB 패널(100)은 하나 이상의 층으로 구성될 수 있다. PCB 패널9100)이 복수 개의 층으로 구성된 경우 각 층별로 불량 여부의 검사가 진행될 수 있다. Referring to FIG. 1, a
유닛(110)의 크기는 실시 예에 따라 다양할 수 있으나, 수mm~수십mm 정도이므로 그 안에 존재하는 회로패턴 등의 불량을 작업자가 육안으로 일일이 확인하기데 어려움이 있다. 이를 해결하기 위한 광학검사 방법의 일 예로, PCB 패널(100)을 촬영하여 얻은 이미지(이하, '패널 이미지'라 함)와 불량이 없는 PCB 패널을 촬영하여 얻거나 PCB 패널에 대한 설계 도면을 기초로 그래픽 툴에 의해 만들어진 이미지(이하, '기준 이미지'라 함)를 비교하여 일치하지 않은 부위(이하, 검사대상영역)를 자동으로 파악하고, 작업자는 검사대상영역만을 확인하여 최종 불량 여부를 파악할 수 있다. The size of the
그러나 작업자가 PCB 패널 전체가 아닌 광학검사를 통해 파악된 검사대상영역만을 검증하여 불량 여부를 최종 파악하다고 하여도 작업자의 수작업에 따른 소요시간으로 인해 전체 검사 시간이 지연되는 문제가 있다. 이에 본 발명의 실시 예는 자동화된 방법을 통해 검사대상영역의 결함 여부를 파악하는 방법 및 장치를 제시한다. However, even if the operator verifies only the inspection target area detected through the optical inspection, not the entire PCB panel, the inspection time is delayed due to the manual labor of the operator. Accordingly, embodiments of the present invention provide a method and apparatus for determining whether an inspection target area is defective through an automated method.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 패널검사장치를 포함하는 광학검사시스템의 일 예를 도시한 도면이다. 2 is a diagram illustrating an example of an optical inspection system including a panel inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.
도 2를 참조하면, 광학검사시스템은 적어도 하나의 광학검사장치(200,202,204)와 적어도 하나의 패널검사장치(210,212,214) 및 마킹장치(220)를 포함한다. Referring to FIG. 2, the optical inspection system includes at least one
광학검사장치(200,202,204)는 PCB 패널(100)을 촬영하여 얻은 패널 이미지를 기준 이미지와 비교하여 일치하지 않은 영역을 검사대상영역으로 파악한다. 여기서, 패널 이미지는 유닛을 촬영한 이미지, 스트립을 촬영한 이미지 또는 패널 전체를 촬영한 이미지 등 실시 예에 따라 다양할 수 있다. 기준 이미지 또한 유닛, 스트립 또는 패널 전체에 대한 이미지일 수 있다. 예를 들어, 광학검사장치(200,202,204)는 PCB 패널(100)의 각 유닛(110)을 미리 정해진 방향에 따라 순차적으로 촬영하여 얻은 패널 이미지와 기준 이미지를 서로 비교하여 검사대상영역을 파악할 수 있다. 광학검사장치(200,202,204)는 검사대상영역의 위치정보(좌표값 또는 각 유닛의 식별정보 등) 등을 포함하는 로그데이터를 생성할 수 있다. The
패널검사장치(210,212,214)는 광학검사장치(200,202,204)에 의해 파악된 검사대상영역을 포함하는 일정 영역을 관심영역(ROI, Region Of Interest)으로 지정하고, 패널 이미지와 기준 이미지의 위치를 정확하게 정합시킨 후 패널 이미지와 기준 이미지의 차 영상을 통해 관심영역 내 이상부위를 추출하고, 그 이상부위가 결함인지 여부를 이후 살펴볼 군집 유사도를 기초로 파악한다. The
PCB 패널(100)은 제품의 결함에 영향을 미치는 영역과 결함과 아무 관련이 없는 영역이 존재한다. 예를 들어, 유닛 내 회로패턴이 없는 빈 영역은 그곳에 이물질 등이 존재하여도 패널의 결함 여부와 무관하다. 스트립의 주변에도 결함과 관련된 영역와 그렇지 않은 영역이 존재할 수 있다. 따라서 패널검사장치(210,212,214)는 PCB 패널(100)에서 결함 여부의 판단 대상이 되는 영역과 그렇지 않은 영역의 위치 정보 등을 포함하는 데이터베이스를 참조하여, 검사대상영역이 결함 여부의 판단이 대상이 되는 영역에 존재하는 경우에만 군집 유사도 등을 통해 결함 여부를 파악하는 과정을 수행할 수 있다. The
마킹장치(220)는 패널검사장치(210,212,214)에 의해 결함으로 파악된 이상부위를 잉크나 레이저 등을 이용하여 마킹한다. 마킹장치(220)는 결함 발생 위치인 이상부위에 마킹을 수행할 수 있으나, 이상부위가 유닛의 경계면에 가까울 경우 마킹 영역이 다른 유닛에까지 번질 수 있다. 따라서 마킹장치(220)는 이상부위가 아닌 이상부위가 존재하는 유닛 내 기 설정된 위치에 마킹을 수행할 수 있다. 예를 들어, 마킹장치(220)는 결함이 발생한 이상부위가 유닛의 위쪽이든 아래쪽이든 관계없이 유닛의 정중앙에 마킹을 수행할 수 있다. The marking
본 실시 예는 광학검사장치(200,202,204)와 패널검사장치(210,212,214)를 일대일 대응되도록 도시하고 있으나, 다른 예로 하나의 패널검사장치(210)가 복수의 광학검사장치(200,202,204)와 연결될 수 있다. 또 다른 예로, 패널검사장치(210,212,214)와 광학검사장치(200,202,204)는 하나의 장치로 구현될 수 있다. In this embodiment, the
예를 들어, PCT 패널이 복수의 층으로 구성되고, 각 층이 서로 다른 광학검사장치(200,202,204)를 통해 검사된 경우에, 하나의 패널검사장치(210)는 서로 다른 광학검사장치(200,202,204)에 의해 검사된 PCB 패널의 각 층의 검사 결과를 취합한 후 PCB 패널의 결함 여부를 자동 판별할 수 있다. 복수의 광학검사장치(200,202,204)의 로그 데이터 생성 방법이 서로 다른 경우에 이를 통합할 필요가 있으며 이에 대한 내용은 특허출원번호 제10-2016-00114457호 "PCB 패널의 불량 마킹 장치 및 그 방법"에 개시되어 있다. For example, when the PCT panel is composed of a plurality of layers and each layer is inspected through different
도 3은 본 발명의 실시 예에 다른 PCB 패널 검사 방법의 일 예를 도시한 흐름도이다.3 is a flowchart illustrating an example of a PCB panel inspection method according to an embodiment of the present invention.
도 3을 참조하면, 패널검사장치는 기준 이미지와 패널 이미지의 위치를 정합한다(S300). 유닛의 회로패턴 등의 크기가 매우 작으므로, 패널 이미지와 기준 이미지의 비교를 통해 회로패턴의 오픈(open)이나 쇼트(short) 등의 결함을 정확하게 파악하기 위해서는 두 이미지의 픽셀 단위의 정확한 위치 정합이 요구된다. 따라서 본 실시 예의 패널검사장치는 정렬마크 및/또는 픽셀 값의 차이 등을 통해 기준 이미지와 패널 이미지의 위치를 픽셀 단위로 정확하게 정합시키는 과정을 포함하며, 이에 대해서는 도 4 내지 도 7에서 다시 설명한다.Referring to FIG. 3, the panel inspection apparatus matches the positions of the reference image and the panel image (S300). The size of the circuit pattern of the unit is very small. Therefore, in order to precisely grasp the defects such as the open or short of the circuit pattern by comparing the panel image with the reference image, . Therefore, the panel inspection apparatus of the present embodiment includes a process of accurately matching the positions of the reference image and the panel image on a pixel-by-pixel basis through a difference in alignment mark and / or pixel value, and this will be described again with reference to FIGS. 4 to 7 .
패널검사장치는 위치 정합한 기준 이미지와 패널 이미지의 차 영상을 통해 관심영역 내 이상부위를 추출한다(S310). 도 2에서 살핀 바와 같이 광학검사장치가 기준 이미지와 패널 이미지를 비교하여 검사대상영역을 찾아내면, 패널검사장치는 그 검사대상영역을 기준으로 일정 크기를 가진 관심영역을 설정하고, 그 관심영역에 대한 기준 이미지와 패널 이미지의 차 영상을 통해 이상부위를 추출한다. The panel inspection apparatus extracts an abnormal region in the region of interest through a difference image of the positionally matched reference image and the panel image (S310). 2, when the optical inspection apparatus compares the reference image with the panel image to find the inspection target area, the panel inspection apparatus sets a target area having a predetermined size based on the inspection target area, The abnormal region is extracted through the difference image between the reference image and the panel image.
관심영역은 검사대상영역을 포함하는 일정 영역이거나 검사대상영역이 존재하는 유닛 또는 스트립일 수 있다. 관심영역에 대한 기준 이미지와 패널 이미지의 차 영상을 기초로 이상부위를 추출하는 예가 도 8에 도시되어 있다.The region of interest may be a certain region including the region to be inspected or a unit or strip where the region to be inspected exists. An example of extracting an abnormal region based on the difference image of the reference image and the panel image for the region of interest is shown in FIG.
패널검사장치는 관심영역 내 이상부위가 추출되면 그 이상부위에 대한 각종 파라미터를 파악한다(S320). 패널검사장치가 파악하는 이상부위의 파라미터는 실시 예에 따라 다양할 수 있으며 하나의 예를 정리하면 다음 표와 같다.When the abnormal region in the region of interest is extracted, the panel inspection apparatus grasps various parameters for the abnormal region (S320). The parameters of the abnormal region recognized by the panel inspection apparatus may vary according to the embodiment, and one example is summarized in the following table.
패널검사장치는 이상부위에 대한 파라미터가 파악되면, 이를 기 구축된 정상 또는 결합의 파라미터를 포함하는 군집과 비교하여 결함 여부를 결정한다(S330). 예를 들어, 패널검사장치는 이상부위가 정상 또는 결함으로 판정되는 경우의 적어도 하나 이상의 파라미터를 포함하는 군집과 이상부위의 파라미터의 유사도를 비교하여, 이상부위의 파라미터가 결함 군집의 파라미터와 유사하면 해당 이상부위를 결함으로 판정한다. 예를 들어, 패널검사장치는 서프트 벡터 머신(SVM, Support Vector Machine) 등의 학습 알고리즘을 이용하여 군집 유사도를 파악할 수 있다. 이 외의 다양한 종류의 유사도 비교 알고리즘이 본 실시 예에 적용될 수 있다.If the parameter for the abnormal region is detected, the panel inspection apparatus compares the parameter with the cluster including the established normal or combination parameter to determine whether the defect is defective (S330). For example, the panel inspection apparatus compares the similarities of the parameters of the abnormal region and the cluster including the at least one parameter when the abnormal region is determined to be normal or defective, and if the parameter of the abnormal region is similar to the parameter of the defect cluster It is determined that the abnormal region is defective. For example, a panel inspection apparatus can grasp the similarity degree of a cluster using a learning algorithm such as a SVM (Support Vector Machine). Various other similarity comparison algorithms other than the above can be applied to the present embodiment.
패널검사장치는 결함 판정 결과를 기존의 군집에 추가 저장하여 이후 결함 판정에 활용한다. 이와 같이 패널검사장치는 이상부위의 판정 결과를 군집에 누적하는 학습 과정을 반복 수행하여 군집 유사도를 이용한 결함 판정의 정확도를 향상시킬 수 있다. 패널검사장치가 결함에 이용하는 군집의 일 예는 도 9에 도시되어 있다.The panel inspection apparatus additionally stores the result of the defect judgment in the existing cluster and uses it for the subsequent defect judgment. In this manner, the panel inspection apparatus can repeat the learning process of accumulating the determination result of the abnormal region in the cluster, thereby improving the accuracy of the defect determination using the cluster similarity. An example of a cluster used by the panel inspection apparatus for defects is shown in Fig.
도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 정렬마크를 이용한 위치 정합 방법의 일 예를 도시한 도면이고, 도 5는 정렬마크 경계의 각 픽셀의 값을 도시한 도면이다.FIG. 4 is a view illustrating an example of a position matching method using an alignment mark according to an embodiment of the present invention, and FIG. 5 is a diagram showing values of pixels of the alignment mark boundary.
도 4 및 5를 참조하면, PCB 패널은 적어도 하나의 정렬마크(402)를 포함한다. 고해상도의 패널 이미지에서 정렬마크(402)의 경계는 하나의 픽셀로 명확하게 구분되는 것이 아니라 여러 픽셀로 구성되므로, 정렬마크(402)의 중심(406)은 정렬마크의 경계를 어떻게 결정하는지에 따라 달라질 수 있다. Referring to FIGS. 4 and 5, the PCB panel includes at least one
예를 들어, 마크 이미지(400)에서 정렬마크(402)가 제1색상(예를 들어, 흰색)이고 그 나머지 영역(404)이 제2색상(예를 들어, 검은색)인 경우에, 정렬마크(402)의 경계를 구성하는 각 픽셀의 값(예를 들어, 밝기값, 색상값 또는 채도값 등)은 도 5의 첫 번째 그림(500)과 같이 서로 다를 수 있다. 본 실시 예는 설명의 편의를 위하여 정렬마크(402)의 경계의 픽셀 값이 마치 계단처럼 일정하게 변하는 것처럼 도시하고 있으나 실제 경계의 픽셀 값은 불규칙하게 변할 수 있다. For example, in the
패널검사장치는 픽셀 경계의 중심을 보다 정확하게 구하기 위하여 정렬마크(402)를 포함하는 일정 크기의 마크 이미지(400)를 확대한다. 예를 들어, 패널검사장치는 N*N(N은 1 이상의 자연수) 픽셀 크기의 마크 이미지(400)를 M*M(N>M) 픽셀 크기의 마크 이미지(410)로 확대한다. 확대된 마크 이미지(410)의 각 픽셀 값은 원래 크기의 마크 이미지(400)의 각 픽셀 값을 기초로 보간법 등 종래의 다양한 방법으로 결정될 수 있다. 이 외에도 이미지를 확대하는 종래의 다양한 방법이 본 실시 예에 적용될 수 있다.The panel inspection apparatus enlarges the
확대한 마크 이미지(410)의 경계는 원래 크기의 마크 이미지보다 더 많은 픽셀로 구성(도 5의 510)되므로 각 픽셀 값 사이의 변화 크기가 원래 크기의 마크 이미지의 각 픽셀 값 사이의 변화 크기보다 작을 수 있다. 패널검사장치는 확대한 마크 이미지(410)에서 정렬마크(412)의 일부를 포함하는 사각형(420)의 각 라인과 정렬마크가 만나는 각 경계(430,432,434,436,438,440,442,444)에 대한 픽셀 값을 나타내는 곡선 방정식(도 5의 520)을 구한다. 각 픽셀 값을 연결하여 나타내는 곡선 방정식은 스플라인(spline), 베지어(bezier) 커브 등의 다양한 보간법을 통해 생성될 수 있다. 곡선 방정식을 구하는 이외의 종래 다양한 방법이 본 실시 예에 적용될 수 있다.Since the boundary of the
패널검사장치는 확대한 마크 이미지(410)에서 정렬 마크의 각 경계(430,432,434,436,438,440,442,444)에 대한 곡선 방정식을 이용하여 각 경계의 중심의 위치를 파악한다. 예를 들어, 곡선 방정식이 3차원 방정식인 경우에, 패널검사장치는 2차 미분의 값이 0이 되는 좌표값을 경계의 중심값으로 파악할 수 있다. The panel inspection apparatus grasps the positions of the centers of the respective boundaries by using the curve equations for the
패널검사장치는 정렬마크의 각 경계(430,432,434,436,438,440,442,444)의 중심이 파악되면 이를 기초로 정렬마크의 중심(406)을 파악한다. 예를 들어, 패널검사장치는 사각형(420)의 각 라인에 위치한 두 경계(430 vs 432, 434 vs 436 등)의 중심값을 연결한 선의 중심을 파악한 후 각 중심을 연결하는 선의 교차점을 정렬마크의 중심(406)으로 파악한다.When the center of each of the
그리고 패널검사장치는 기준 이미지의 정렬마크의 중심과 패널 이미지의 정렬마크의 중심을 맞추어 두 이미지의 위치를 정합시킨다. The panel inspection device aligns the center of the alignment mark of the reference image with the alignment mark of the panel image to match the positions of the two images.
도 6은 본 발명의 실시 예에 따른 이미지 밝기 보정의 일 예를 도시한 도면이다.6 is a diagram illustrating an example of image brightness correction according to an embodiment of the present invention.
도 6을 참조하면, 기준 이미지와 패널 이미지의 밝기값에 대한 히스토그램이 각각 도시되어 있다. 본 실시 예에서 기준 이미지와 패널 이미지는 흰색과 검은색으로 이루어진 2진 영상이라고 가정한다. 기준 이미지와 패널 이미지의 밝기값이 다른 경우에 이후 살펴볼 이상부위 추출에 영향을 미칠 수 있으므로, 이상부위의 추출 전에 이미지의 밝기값 보정이 이루어지는 것이 바람직하다.Referring to FIG. 6, histograms of the brightness values of the reference image and the panel image are respectively shown. In this embodiment, it is assumed that the reference image and the panel image are binary images composed of white and black. When the brightness values of the reference image and the panel image are different, it is preferable that the brightness value of the image is corrected before extracting the abnormal region because it may affect the abnormal region extraction to be discussed later.
예를 들어, 패널 이미지의 흰색 및 검은색의 히스토그램(610)의 최대값의 위치(A',B')가 기준 이미지의 흰색 및 검은색의 히스토그램(600)의 최대값의 위치(A,B)를 벗어나 경우에, 패널검사장치는 패널 이미지의 흰색 및 검은색의 밝기값을 보정(620)하여 기준 이미지에 맞춘다. For example, when the position (A ', B') of the maximum value of the white and
도 7은 본 발명의 실시 예에 따른 픽셀값을 이용한 위치 정합 방법의 일 예를 도시한 도면이다. 7 is a diagram illustrating an example of a position matching method using pixel values according to an embodiment of the present invention.
도 7을 참조하면, 패널검사장치는 기준 이미지와 픽셀 이미지의 서로 대응되는 영역(710 vs 730, 710 vs 732, 710 vs 734 등)의 각 픽셀 사이의 값의 차를 합산한 값이 최소가 되도록 기준 이미지 또는 픽셀 이미지의 위치를 픽셀 단위로 이동한다. 여기서 픽셀 값은 밝기값, 색상값 또는 채도값일 수 있다. 또한, 실시 예에 따라 기준 이미지와 픽셀 이미지는 이진화 영상일 수 있다. Referring to FIG. 7, the panel inspecting apparatus calculates the sum of the differences between the respective pixels of the corresponding regions (710
패널검사장치는 기준 이미지와 픽셀 이미지의 전체에 대한 각 픽셀 사이의 값의 차를 합산할 수 있다. 그러나 기준 이미지 및 픽셀 이미지가 고해상도 이미지므로 각 픽셀을 모두 계산하는 경우 시간 지연이 발생할 수 있으므로, 이미지 전체가 아니라 광학검사장치에서 파악된 검사대상영역을 기준으로 결정된 일정 영역에 대해서만 픽셀 값의 차를 합산할 수 있다. 일정 영역(M*M 크기)에 대한 각 픽셀 사이의 값의 차를 합산하는 예를 수학식으로 표현하면 다음과 같다.The panel inspection apparatus may sum the difference between the values of each pixel with respect to the whole of the reference image and the pixel image. However, since the reference image and the pixel image are high-resolution images, a time delay may occur when each pixel is calculated. Therefore, the difference in pixel values only for a certain region determined based on the inspection target region, Can be added. An example of summing differences between values of pixels for a certain area (M * M size) is expressed as follows.
여기서, C(x,y)는 패널 이미지의 (x,y) 위치에서의 픽셀 값, R(x,y)는 기준 이미지의 (x,y) 위치에서의 픽셀 값을 나타내고, M은 픽셀 값을 계산하는 영역의 크기를 나타낸다. 패널검사장치는 MAD(Mean Absolute Difference) 값이 최소가 되는 위치 (i,j)를 찾는다. Here, C (x, y) denotes a pixel value at the (x, y) position of the panel image, R (x, y) denotes a pixel value at the (x, y) Of the area. The panel inspection apparatus finds the position (i, j) at which the MAD (Mean Absolute Difference) value becomes minimum.
예를 들어, 패널검사장치는 광학검사장치를 통해 파악된 검사대상영역이 존재하는 스트립 영역 또는 유닛 영역에 대해 각 픽셀 사이의 값의 차를 구할 수 있다. 또는 패널검사장치는 관심영역을 각 픽셀 사이의 차를 구하는 영역으로 결정할 수 있다. For example, the panel inspecting apparatus can obtain a difference between values of each pixel with respect to a strip region or a unit region in which an inspection target region identified through an optical inspection apparatus exists. Or the panel inspection apparatus can determine the region of interest as a region for obtaining a difference between each pixel.
패널검사장치는 기준 이미지(700) 또는 패널 이미지(720)를 상대적으로 이동하면서 서로 대응되는 일정 영역(710,730)의 픽셀 사이의 값의 차를 합산하는 과정을 반복 수행(예를 들어, 이동 반경이 5*5 픽셀 크기인 경우 25번 수행)한다. 패널검사장치는 픽셀 사이의 값의 차의 합이 최소가 될 때의 패널 이미지의 위치를 기준 이미지와 정합시킨다.The panel inspection apparatus repeatedly performs the process of summing the differences between the pixels of the
도 8은 본 발명의 실시 예에 따른 관심 영역 내 이상부위를 추출하는 방법의 일 예를 도시한 도면이다.8 is a diagram illustrating an example of a method for extracting an abnormal region in a region of interest according to an embodiment of the present invention.
도 8을 참조하면, 패널검사장치는 위치 정합한 기준 이미지와 패널 이미지의 관심 영역(800,810)에 대한 차 영상(830)을 통해 이상부위(840)를 추출한다. Referring to FIG. 8, the panel inspection apparatus extracts an
일 예로, 패널검사장치는 흰색 및 검은색에 대한 문턱값(threshold)을 기초로 차 영상(830)을 흰색 및 검은색으로 나타내는 이진화 영상을 구한다. 패널검사장치는 이진화 영상에서 각 픽셀 값을 제곱한 값이 최대가 되는 좌표(최대 왜곡 좌표)를 찾는다. 패널검사장치는 최대 왜곡 좌표를 초기 시작점으로 침식(erosion) 및 팽창(dilation) 연산을 수행한다. 예를 들어, 패널검사장치는 3*3 침식 연산을 통해 일정 문턱값 이하의 픽셀 블록들을 제거하고, 팽창 연산을 수행하여 각 픽셀 블록을 연결하여 이상부위를 추출한다. 차 영상에 존재하는 잡음 등을 제거하기 위한 방법으로 침식 및 팽창 연산 외 다양한 전처리 과정이 수행될 수 있다. For example, the panel inspection apparatus obtains a binarized image in which the
예를 들어, 기준 이미지의 관심 영역(800)에 두 줄의 회로패턴(802,804)이 존재하고, 패널 이미지의 관심영역(810)에 두 줄의 회로패턴(812,814)과 이상부위(820)가 존재하는 경우에, 두 관심영역(800,810)의 차 영상(830)을 구하면 이상부위(840)만 남는다. For example, if there are two lines of
도 9는 본 발명의 실시 예에 따른 군집의 일 예를 도시한 도면이다.9 is a diagram illustrating an example of a cluster according to an embodiment of the present invention.
도 9를 참조하면, 군집은 크게 정상 군집(900)과 결함 군집(910)으로 구분된다. 정상 군집(900)과 결함 군집(910)은 각각 오픈(open)(902,912)이나 쇼트(short)(904,914), 이물질(906,916), 스크래치(908,918) 등으로 다시 구분된다. 본 실시 예의 각 군집은 하나의 예일 뿐 실시 예에 따라 다양한 결함 종류에 따른 군집이 존재할 수 있다. 각 군집(902,904,906,908,912,914,916,198)은 적어도 하나 이상의 파라미터를 포함한다. Referring to FIG. 9, the cluster is divided into a
예를 들어, 이상부위의 파라미터가 복수의 군집(902,904,906,908,912,914,916,198) 중 오픈 결함 군집(912)과 유사도가 가장 큰 경우에, 패널검사장치는 이상부위(840)를 오픈 결함으로 판단한다. 그리고 패널검사장치는 이상부위(840)의 파라미터를 오픈 결합 군집(912)에 추가한다.For example, when the parameter of the abnormal region is largest in similarity to the
도 10은 본 발명에 따른 패널검사장치의 일 실시 예의 구성을 도시한 도면이다.10 is a diagram showing the configuration of an embodiment of a panel inspection apparatus according to the present invention.
도 10을 참조하면, 패널검사장치(1000)는 위치정합부(1010), 관심영역파악부(1020), 파라미터추출부(1030), 결함판정부(1040)를 포함한다. Referring to FIG. 10, a
위치정합부(1010)는 기준 이미지와 패널 이미지의 위치를 픽셀 단위로 정합한다. 예를 들어, 위치정합부(1010)는 도 4 및 도 5에서 살핀 바와 같이 정렬마크를 이용하여 기준 이미지와 패널 이미지의 위치를 정합하거나, 도 7에서 살핀 픽셀값의 차를 이용하여 기준 이미지와 패널 이미지의 위치를 정합할 수 있다. 또는 위치정합부는 정렬마크를 이용하여 두 이미지의 위치를 1차 정합한 후 도 7의 픽셀값 차를 이용하여 픽셀 단위로 2차 위치 정합을 수행할 수 있다. The
관심영역파악부(1020)는 위치 정합한 기준 이미지와 패널 이미지로부터 관심 영역의 차 영상을 통해 이상부위를 추출한다. 관심영역파악부(1020)는 도 2의 광학검사장치를 통해 파악된 기준 이미지와 패널 이미지의 상이한 부위를 중심으로 일정 크기 영역을 관심 영역으로 파악할 수 있다. The region-of-
파라미터추출부(1030)는 관심 영역 내 이상부위에 대한 파라미터를 추출한다. 예를 들어, 파라미터추출부(1030)는 이상부위의 밝기, 크기, 리드선의 접촉 여부 등 실시 예에 따라 다양할 수 있다. The
결함판정부(1040)는 이상부위의 파라미터가 도 9와 같이 미리 구축되어 있는 각 군집 중 어느 군집과 유사도가 높은지 파악하여 결함여부를 판정한다. 예를 들어, 이상부위의 파라미터가 정상의 쇼트 군집(도 9의 904)과 유사도가 높다면, 결함판정부(1040)는 이상부위가 결함이 아닌 정상이라고 판정한다. The
본 발명은 또한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체에 컴퓨터가 읽을 수 있는 코드로서 구현하는 것이 가능하다. 컴퓨터가 읽을 수 있는 기록매체는 컴퓨터 시스템에 의하여 읽혀질 수 있는 데이터가 저장되는 모든 종류의 기록장치를 포함한다. 컴퓨터가 읽을 수 있는 기록매체의 예로는 ROM, RAM, CD-ROM, 자기 테이프, 플로피디스크, 광데이터 저장장치 등이 있다. 또한 컴퓨터가 읽을 수 있는 기록매체는 네트워크로 연결된 컴퓨터 시스템에 분산되어 분산방식으로 컴퓨터가 읽을 수 있는 코드가 저장되고 실행될 수 있다.The present invention can also be embodied as computer-readable codes on a computer-readable recording medium. A computer-readable recording medium includes all kinds of recording apparatuses in which data that can be read by a computer system is stored. Examples of the computer-readable recording medium include ROM, RAM, CD-ROM, magnetic tape, floppy disk, optical data storage, and the like. The computer-readable recording medium may also be distributed over a networked computer system so that computer readable code can be stored and executed in a distributed manner.
이제까지 본 발명에 대하여 그 바람직한 실시예들을 중심으로 살펴보았다. 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 변형된 형태로 구현될 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 개시된 실시예들은 한정적인 관점이 아니라 설명적인 관점에서 고려되어야 한다. 본 발명의 범위는 전술한 설명이 아니라 특허청구범위에 나타나 있으며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 차이점은 본 발명에 포함된 것으로 해석되어야 할 것이다.The present invention has been described with reference to the preferred embodiments. It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. Therefore, the disclosed embodiments should be considered in an illustrative rather than a restrictive sense. The scope of the present invention is defined by the appended claims rather than by the foregoing description, and all differences within the scope of equivalents thereof should be construed as being included in the present invention.
Claims (8)
상기 기준 이미지와 상기 패널 이미지의 차를 통해 관심영역에 존재하는 이상부위를 추출하는 단계;
상기 관심영역에 존재하는 이상부위에 대한 파라미터를 추출하는 단계; 및
정상 또는 결함에 대한 적어도 하나 이상의 파라미터를 포함하는 군집과 상기 이상부위에 대한 파라미터의 유사도를 기초로 상기 이상부위의 정상 또는 결함을 결정하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 PCB 패널 검사 방법.Matching the position of the reference image and the panel image to be inspected;
Extracting an abnormal region existing in a region of interest through a difference between the reference image and the panel image;
Extracting a parameter for an abnormal region existing in the region of interest; And
Determining a normal or defect of the abnormal region based on a cluster including at least one parameter for normal or defect and a parameter similarity between the abnormal region and the abnormal region.
상기 기준 이미지와 상기 패널 이미지에 각각 존재하는 정렬마크를 기초로 위치를 정렬하는 단계; 및
상기 기준 이미지와 상기 패널 이미지의 서로 대응되는 위치의 각 픽셀 사이의 차를 합산한 값이 최소가 되도록 기 설정된 범위 내에서 상기 기준 이미지 또는 상기 패널 이미지를 이동시키는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 PCB 패널 검사 방법.2. The method of claim 1,
Aligning a position based on an alignment mark existing in each of the reference image and the panel image; And
And moving the reference image or the panel image within a predetermined range such that a sum of the differences between the respective pixels at the corresponding positions of the reference image and the panel image is minimized. PCB panel inspection method.
상기 패널 이미지에서 정렬 마크를 포함하는 마크 이미지를 추출하는 단계;
상기 마크 이미지를 기 설정된 크기로 확대하는 단계;
확대한 이미지에서 상기 정렬마크의 경계 영역에 대한 픽셀값의 변화를 기초로 상기 경계 영역의 중심을 파악하는 단계;
상기 경계 영역의 중심을 기초로 상기 정렬 마크의 중심을 파악하는 단계; 및
상기 패널 이미지의 정렬 마크의 중심과 상기 기준 이미지의 정렬 마크의 중심을 맞추는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 PCB 패널 검사 방법.3. The method of claim 2, wherein aligning based on the alignment mark comprises:
Extracting a mark image including an alignment mark in the panel image;
Enlarging the mark image to a predetermined size;
Determining a center of the boundary area based on a change in a pixel value with respect to a boundary area of the alignment mark in an enlarged image;
Determining a center of the alignment mark based on a center of the boundary area; And
And aligning a center of an alignment mark of the panel image with an alignment mark of the reference image.
광학검사장치를 통해 파악된 검사대상영역이 스트립 영역인지 아니면 유닛 영역인지에 따라 각 픽셀 사이의 차를 구하는 영역을 스트립 영역 또는 유닛 영역으로 결정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 PCB 패널 검사 방법.The method of claim 2, wherein moving the panel image comprises:
And determining a region for obtaining a difference between each pixel as a strip region or a unit region according to whether the region to be inspected is a stripe region or a unit region recognized through an optical inspection apparatus.
패널의 각 영역 중 결함 여부의 판단 대상이 되는 영역 또는 결함 여부의 판단 대상이 되지 않는 영역에 대한 위치정보를 포함하는 데이터베이스를 참조하여, 상기 이상부위가 결함 여부의 판단 대상이 되는 영역에 해당하는 경우에 상기 군집과의 유사도를 기초로 결함 여부를 판단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 PCB 패널 검사 방법.2. The method of claim 1, wherein determining the normal or defect comprises:
A database including positional information on a region to be judged as defective or an area on which a defect is not to be judged among the respective regions of the panel is referred to and it is judged whether or not the abnormal region corresponds to the region to be judged as defective And determining whether a defect is present based on the degree of similarity with the cluster.
광학검사장치를 통해 파악된 검사대상영역을 기준으로 일정 크기의 영역을 관심 영역으로 지정하는 단계; 및
상기 관심 영역에 해당하는 상기 기준 이미지와 상기 패널 이미지의 차 영상을 통해 이상부위를 파악하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 PCB 패널 검사 방법.The method of claim 1, wherein extracting the abnormal region comprises:
Designating a region of a predetermined size as a region of interest based on an inspection target region identified through an optical inspection apparatus; And
And determining an abnormal region through a difference image between the reference image and the panel image corresponding to the region of interest.
상기 기준 이미지와 상기 패널 이미지의 차를 통해 관심영역에 존재하는 이상부위를 추출하는 관심영역파악부;
상기 관심영역에 존재하는 이상부위에 대한 파라메타를 추출하는 파라메타추출부; 및
정상 또는 결함에 대한 적어도 하나 이상의 파라메타를 포함하는 군집과 상기 이상부위에 대한 파라메타의 유사도를 기초로 상기 이상부위의 정상 또는 결함을 결정하는 결함판정부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 PCB 패널 검사 장치.A position matching unit for matching positions of a reference image and a panel image to be inspected;
An interest area determination unit that extracts an abnormal region existing in a region of interest through a difference between the reference image and the panel image;
A parameter extracting unit for extracting a parameter of an abnormal region existing in the ROI; And
And a defect judgment unit for determining a normal or defect of the abnormal region based on a cluster including at least one parameter for normal or defect and a similarity of the parameter to the abnormal region, .
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