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KR20180022619A - PCB panel inspection method and apparatus - Google Patents

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KR20180022619A
KR20180022619A KR1020170107439A KR20170107439A KR20180022619A KR 20180022619 A KR20180022619 A KR 20180022619A KR 1020170107439 A KR1020170107439 A KR 1020170107439A KR 20170107439 A KR20170107439 A KR 20170107439A KR 20180022619 A KR20180022619 A KR 20180022619A
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KR
South Korea
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region
image
panel
defect
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Application number
KR1020170107439A
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Inventor
이상훈
Original Assignee
주식회사 아이디디
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Publication date
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Abstract

Disclosed are a PCB panel inspection method, and an apparatus thereof. The PCB panel inspection method using the panel inspection apparatus comprises: a step of aligning locations of a reference image and an image of a panel to be inspected; a step of extracting an abnormal portion existing in an interest region by using a difference between the reference image and the panel image; a step of identifying a parameter with respect to the abnormal portion existing in the interest region; and a step of determining the abnormal portion to be normal or defective based on similarity between a group including one or more parameters with respect to normality or defect and the parameter with respect to the abnormal portion.

Description

PCB 패널 검사 방법 및 그 장치{PCB panel inspection method and apparatus}Technical Field [0001] The present invention relates to a PCB panel inspection method and apparatus,

본 발명은 PCB(Printed Circuit Board) 패널 검사 방법 및 그 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 광학검사를 통해 파악되는 이상부위가 실제 결함인지 여부를 자동화하여 검사할 수 있는 방법 및 그 장치에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a PCB (Printed Circuit Board) panel inspection method and apparatus, and more particularly, to a method and apparatus for automatically checking whether an abnormal region recognized through an optical inspection is an actual defect .

PCB 패널은 절연 기판상에 회로패턴으로 연결된 복수 개의 회로소자를 포함한다. 이러한 PCB 기판은 자동화 생산라인에 의해 대량으로 제작되는 과정에서 회로패턴의 단선 또는 패턴 폭 불량 등이 발생할 수 있으므로, 이를 작업자가 검사과정에서 일일이 식별한 후 마킹용 잉크를 이용하여 불량 PCB를 표시하게 된다. The PCB panel includes a plurality of circuit elements connected in a circuit pattern on an insulating substrate. Since such a PCB substrate is produced in a large quantity by an automated production line, it may cause a disconnection of a circuit pattern or a pattern width defect. Therefore, an operator identifies the PCB pattern individually during the inspection process and displays a defective PCB using marking ink do.

등록실용신안공보 제20-0375821호Registration Utility Model No. 20-0375821

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, PCB 패널에 존재하는 이상부위가 실제 결함인지 여부를 자동화된 방법으로 정확하게 파악할 수 있는 PCB 패널 검사 방법 및 그 장치를 제공하는데 있다.An object of the present invention is to provide a method and an apparatus for inspecting a PCB panel that can accurately determine whether an abnormal part existing in a PCB panel is an actual defect by an automated method.

상기의 기술적 과제를 달성하기 위한, 본 발명의 실시 예에 따른 PCB 패널 검사 방법의 일 예는, 기준 이미지와 검사 대상인 패널 이미지의 위치를 정합하는 단계; 상기 기준 이미지와 상기 패널 이미지의 차를 통해 관심영역에 존재하는 이상부위를 추출하는 단계; 상기 관심영역에 존재하는 이상부위에 대한 파라미터를 추출하는 단계; 및 정상 또는 결함에 대한 적어도 하나 이상의 파라미터를 포함하는 군집과 상기 이상부위에 대한 파라미터의 유사도를 기초로 상기 이상부위의 정상 또는 결함을 결정하는 단계;를 포함한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of inspecting a PCB panel, the method comprising: matching a position of a reference image and a panel image to be inspected; Extracting an abnormal region existing in a region of interest through a difference between the reference image and the panel image; Extracting a parameter for an abnormal region existing in the region of interest; And determining a normal or defect of the abnormal region based on the cluster including the at least one parameter for normal or defective and the similarity of the parameter for the abnormal region.

상기의 기술적 과제를 달성하기 위한, 본 발명의 실시 예에 따른 PCB 패널 검사 장치의 일 예는, 기준 이미지와 검사 대상인 패널 이미지의 위치를 정합하는 위치정합부; 상기 기준 이미지와 상기 패널 이미지의 차를 통해 관심영역에 존재하는 이상부위를 추출하는 관심영역파악부; 상기 관심영역에 존재하는 이상부위에 대한 파라메타를 추출하는 파라메타추출부; 및 정상 또는 결함에 대한 적어도 하나 이상의 파라메타를 포함하는 군집과 상기 이상부위에 대한 파라메타의 유사도를 기초로 상기 이상부위의 정상 또는 결함을 결정하는 결함판정부;를 포함한다.According to an aspect of the present invention, there is provided an apparatus for inspecting a PCB panel, the apparatus comprising: a position matching unit for matching positions of a reference image and a panel image to be inspected; An interest area determination unit that extracts an abnormal region existing in a region of interest through a difference between the reference image and the panel image; A parameter extracting unit for extracting a parameter of an abnormal region existing in the ROI; And a defect judgment part for determining a normal or defect of the abnormal part based on a cluster including at least one parameter for normal or defect and a similarity of the parameter for the abnormal part.

본 발명에 따르면, PCB 패널에 존재하는 이상부위가 실제 결함인지 여부를 자동화된 방법으로 정확하게 파악할 수 있다. 또한, 검사 대상인 PCB 패널을 촬영한 패널 이미지와 불량이 없는 PCB 패널의 이미지인 기준 이미지를 비교하여 이상부위를 검출할 때 픽셀 단위로 두 이미지의 위치를 정확하게 일치시킬 수 있다. 또한, 패널 이미지와 기준 이미지의 위치 정합시 정렬마크를 이용함으로써 위치 정합시 소요되는 시간을 최소화할 수 있다. 또한, 이상부위가 정상인 경우와 결함인 경우를 자동 학습하므로 학습 시간의 경과에 따라 패널 검사의 정확도를 높일 수 있을 뿐만 아니라 다양한 이상부위에 대해서도 정확한 검사 결과를 도출할 수 있다.According to the present invention, it is possible to accurately determine whether an abnormal part existing in a PCB panel is an actual defect by an automated method. In addition, it is possible to accurately match the positions of the two images in the pixel unit when the abnormal region is detected by comparing the panel image of the PCB panel to be inspected and the reference image which is the image of the PCB panel having no defect. In addition, when alignment of the panel image and the reference image is performed, alignment marks can be used to minimize the time required for alignment. In addition, since it is learned automatically when the abnormal part is normal and when it is defective, it is possible not only to increase the accuracy of the panel inspection according to the learning time, but also to obtain accurate test results for various abnormal parts.

도 1은 본 발명의 실시 예에서 사용되는 PCB 패널의 일 예를 도시한 도면,
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 패널검사장치를 포함하는 광학검사시스템의 일 예를 도시한 도면,
도 3은 본 발명의 실시 예에 다른 PCB 패널 검사 방법의 일 예를 도시한 흐름도,
도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 정렬마크를 이용한 위치 정합 방법의 일 예를 도시한 도면,
도 5는 정렬마크 경계의 각 픽셀의 값을 도시한 도면,
도 6은 본 발명의 실시 예에 따른 이미지 밝기 보정의 일 예를 도시한 도면,
도 7은 본 발명의 실시 예에 따른 픽셀값을 이용한 위치 정합 방법의 일 예를 도시한 도면,
도 8은 본 발명의 실시 예에 따른 관심 영역 내 이상부위를 추출하는 방법의 일 예를 도시한 도면,
도 9는 본 발명의 실시 예에 따른 군집의 일 예를 도시한 도면, 그리고,
도 10은 본 발명에 따른 패널검사장치의 일 실시 예의 구성을 도시한 도면이다.
1 is a view illustrating an example of a PCB panel used in an embodiment of the present invention;
2 is a view illustrating an example of an optical inspection system including a panel inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.
3 is a flowchart illustrating an example of a PCB panel inspection method according to an embodiment of the present invention.
4 is a view illustrating an example of a position matching method using an alignment mark according to an embodiment of the present invention.
Figure 5 shows the values of each pixel of the alignment mark boundary,
6 is a diagram illustrating an example of image brightness correction according to an embodiment of the present invention.
7 is a diagram illustrating an example of a position matching method using pixel values according to an embodiment of the present invention.
8 is a view illustrating an example of a method for extracting an abnormal region in a region of interest according to an embodiment of the present invention.
9 is a view illustrating an example of a cluster according to an embodiment of the present invention,
10 is a diagram showing the configuration of an embodiment of a panel inspection apparatus according to the present invention.

이하에서, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 실시 예에 따른 PCB 패널의 검사 방법 및 그 장치에 대해 살펴본다.Hereinafter, a method and an apparatus for inspecting a PCB panel according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 실시 예에서 사용되는 PCB 패널의 일 예를 도시한 도면이다. 1 is a view illustrating an example of a PCB panel used in an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, PCB 패널(100)은 적어도 하나 이상의 스트립(strip)(120)으로 구성되고, 각 스트립(120)은 적어도 하나 이상의 유닛(110)으로 구성된다. 유닛(110)에는 회로패턴과 전자소자가 존재한다. PCB 패널(100)은 패널의 위치 또는 방향을 정렬하기 위한 정렬마크(130,132,134,136)를 적어도 하나 이상 포함한다. 본 실시 예는 정렬마크(130,132,134,136)의 예로 '+' 형태를 도시하고 있으나 이는 하나의 예일 뿐 삼각형, 원 등의 각종 도형이나 숫자, 기호, 문자 등 다양한 형태로 구현될 수 있다. PCB 패널(100)은 하나 이상의 층으로 구성될 수 있다. PCB 패널9100)이 복수 개의 층으로 구성된 경우 각 층별로 불량 여부의 검사가 진행될 수 있다. Referring to FIG. 1, a PCB panel 100 includes at least one strip 120, and each strip 120 includes at least one unit 110. The unit 110 has circuit patterns and electronic elements. The PCB panel 100 includes at least one alignment mark 130, 132, 134, 136 for aligning the position or orientation of the panel. In this embodiment, the '+' shape is shown as an example of the alignment marks 130, 132, 134, and 136. However, this is an example only and various shapes such as triangles and circles, numbers, symbols, and characters can be implemented. The PCB panel 100 may be composed of one or more layers. PCB panel 9100) is composed of a plurality of layers, it is possible to check whether each layer is defective.

유닛(110)의 크기는 실시 예에 따라 다양할 수 있으나, 수mm~수십mm 정도이므로 그 안에 존재하는 회로패턴 등의 불량을 작업자가 육안으로 일일이 확인하기데 어려움이 있다. 이를 해결하기 위한 광학검사 방법의 일 예로, PCB 패널(100)을 촬영하여 얻은 이미지(이하, '패널 이미지'라 함)와 불량이 없는 PCB 패널을 촬영하여 얻거나 PCB 패널에 대한 설계 도면을 기초로 그래픽 툴에 의해 만들어진 이미지(이하, '기준 이미지'라 함)를 비교하여 일치하지 않은 부위(이하, 검사대상영역)를 자동으로 파악하고, 작업자는 검사대상영역만을 확인하여 최종 불량 여부를 파악할 수 있다. The size of the unit 110 may vary according to the embodiment, but it is several millimeters to several tens of millimeters, so it is difficult for a worker to visually check the defects of circuit patterns or the like existing therein. As an example of the optical inspection method for solving this problem, an image obtained by photographing the PCB panel 100 (hereinafter referred to as a 'panel image') and a PCB panel having no defect are taken, (Hereinafter, referred to as an "inspection target area") by comparing an image (hereinafter, referred to as a "reference image") created by the graphic tool with an inspection target area .

그러나 작업자가 PCB 패널 전체가 아닌 광학검사를 통해 파악된 검사대상영역만을 검증하여 불량 여부를 최종 파악하다고 하여도 작업자의 수작업에 따른 소요시간으로 인해 전체 검사 시간이 지연되는 문제가 있다. 이에 본 발명의 실시 예는 자동화된 방법을 통해 검사대상영역의 결함 여부를 파악하는 방법 및 장치를 제시한다. However, even if the operator verifies only the inspection target area detected through the optical inspection, not the entire PCB panel, the inspection time is delayed due to the manual labor of the operator. Accordingly, embodiments of the present invention provide a method and apparatus for determining whether an inspection target area is defective through an automated method.

도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 패널검사장치를 포함하는 광학검사시스템의 일 예를 도시한 도면이다. 2 is a diagram illustrating an example of an optical inspection system including a panel inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 2를 참조하면, 광학검사시스템은 적어도 하나의 광학검사장치(200,202,204)와 적어도 하나의 패널검사장치(210,212,214) 및 마킹장치(220)를 포함한다. Referring to FIG. 2, the optical inspection system includes at least one optical inspection apparatus 200, 202, 204, at least one panel inspection apparatus 210, 212, 214, and a marking apparatus 220.

광학검사장치(200,202,204)는 PCB 패널(100)을 촬영하여 얻은 패널 이미지를 기준 이미지와 비교하여 일치하지 않은 영역을 검사대상영역으로 파악한다. 여기서, 패널 이미지는 유닛을 촬영한 이미지, 스트립을 촬영한 이미지 또는 패널 전체를 촬영한 이미지 등 실시 예에 따라 다양할 수 있다. 기준 이미지 또한 유닛, 스트립 또는 패널 전체에 대한 이미지일 수 있다. 예를 들어, 광학검사장치(200,202,204)는 PCB 패널(100)의 각 유닛(110)을 미리 정해진 방향에 따라 순차적으로 촬영하여 얻은 패널 이미지와 기준 이미지를 서로 비교하여 검사대상영역을 파악할 수 있다. 광학검사장치(200,202,204)는 검사대상영역의 위치정보(좌표값 또는 각 유닛의 식별정보 등) 등을 포함하는 로그데이터를 생성할 수 있다. The optical inspection apparatuses 200, 202 and 204 compares the panel image obtained by photographing the PCB panel 100 with the reference image and grasps the unmatched region as the inspection target region. Here, the panel image may vary according to the embodiment, such as an image of a unit, an image of a strip, or an image of an entire panel. The reference image may also be an image for the entire unit, strip, or panel. For example, the optical inspection apparatuses 200, 202, and 204 can compare the panel image obtained by sequentially photographing each unit 110 of the PCB panel 100 according to a predetermined direction and the reference image to grasp the inspection target area. The optical inspection apparatuses 200, 202 and 204 can generate log data including positional information of the inspection target region (coordinate values, identification information of each unit, etc.) and the like.

패널검사장치(210,212,214)는 광학검사장치(200,202,204)에 의해 파악된 검사대상영역을 포함하는 일정 영역을 관심영역(ROI, Region Of Interest)으로 지정하고, 패널 이미지와 기준 이미지의 위치를 정확하게 정합시킨 후 패널 이미지와 기준 이미지의 차 영상을 통해 관심영역 내 이상부위를 추출하고, 그 이상부위가 결함인지 여부를 이후 살펴볼 군집 유사도를 기초로 파악한다. The panel inspecting apparatuses 210, 212 and 214 designate a certain region including an inspection target region identified by the optical inspection apparatuses 200, 202 and 204 as a region of interest (ROI) and accurately position the panel image and the reference image The anomalous region in the region of interest is extracted through the difference image of the posterior panel image and the reference image, and whether or not the abnormal region is defective is determined on the basis of the similarity of the cluster to be discussed later.

PCB 패널(100)은 제품의 결함에 영향을 미치는 영역과 결함과 아무 관련이 없는 영역이 존재한다. 예를 들어, 유닛 내 회로패턴이 없는 빈 영역은 그곳에 이물질 등이 존재하여도 패널의 결함 여부와 무관하다. 스트립의 주변에도 결함과 관련된 영역와 그렇지 않은 영역이 존재할 수 있다. 따라서 패널검사장치(210,212,214)는 PCB 패널(100)에서 결함 여부의 판단 대상이 되는 영역과 그렇지 않은 영역의 위치 정보 등을 포함하는 데이터베이스를 참조하여, 검사대상영역이 결함 여부의 판단이 대상이 되는 영역에 존재하는 경우에만 군집 유사도 등을 통해 결함 여부를 파악하는 과정을 수행할 수 있다. The PCB panel 100 has areas that have no relation to defects and areas that affect defects in the product. For example, an empty area without a circuit pattern in the unit is irrelevant to whether or not the panel is defective even if foreign matter exists therein. There may also be defective and non-defective areas in the periphery of the strip. Therefore, the panel inspecting apparatuses 210, 212 and 214 refer to the database including the positional information of the defective or non-defective area in the PCB panel 100 and determine whether the inspection target area is defective or not It is possible to perform a process of determining whether or not a defect exists through a cluster similarity or the like.

마킹장치(220)는 패널검사장치(210,212,214)에 의해 결함으로 파악된 이상부위를 잉크나 레이저 등을 이용하여 마킹한다. 마킹장치(220)는 결함 발생 위치인 이상부위에 마킹을 수행할 수 있으나, 이상부위가 유닛의 경계면에 가까울 경우 마킹 영역이 다른 유닛에까지 번질 수 있다. 따라서 마킹장치(220)는 이상부위가 아닌 이상부위가 존재하는 유닛 내 기 설정된 위치에 마킹을 수행할 수 있다. 예를 들어, 마킹장치(220)는 결함이 발생한 이상부위가 유닛의 위쪽이든 아래쪽이든 관계없이 유닛의 정중앙에 마킹을 수행할 수 있다. The marking apparatus 220 marks an abnormal region identified as a defect by the panel inspecting apparatuses 210, 212, 214 using ink, laser, or the like. The marking apparatus 220 can perform marking on an abnormal region as a defect occurrence position. However, if the abnormal region is close to the boundary surface of the unit, the marking region can be spread to other units. Therefore, the marking apparatus 220 can perform marking at a predetermined position in the unit in which the abnormal region exists, rather than the abnormal region. For example, the marking device 220 can perform marking in the center of the unit irrespective of whether the defective part is above or below the unit.

본 실시 예는 광학검사장치(200,202,204)와 패널검사장치(210,212,214)를 일대일 대응되도록 도시하고 있으나, 다른 예로 하나의 패널검사장치(210)가 복수의 광학검사장치(200,202,204)와 연결될 수 있다. 또 다른 예로, 패널검사장치(210,212,214)와 광학검사장치(200,202,204)는 하나의 장치로 구현될 수 있다. In this embodiment, the optical inspection apparatuses 200, 202, 204 and the panel inspection apparatuses 210, 212, 214 correspond to each other in a one-to-one correspondence. However, as another example, one panel inspection apparatus 210 may be connected to the plurality of optical inspection apparatuses 200, 202, 204. As another example, the panel inspecting apparatuses 210, 212, and 214 and the optical inspecting apparatuses 200, 202, and 204 may be implemented as a single apparatus.

예를 들어, PCT 패널이 복수의 층으로 구성되고, 각 층이 서로 다른 광학검사장치(200,202,204)를 통해 검사된 경우에, 하나의 패널검사장치(210)는 서로 다른 광학검사장치(200,202,204)에 의해 검사된 PCB 패널의 각 층의 검사 결과를 취합한 후 PCB 패널의 결함 여부를 자동 판별할 수 있다. 복수의 광학검사장치(200,202,204)의 로그 데이터 생성 방법이 서로 다른 경우에 이를 통합할 필요가 있으며 이에 대한 내용은 특허출원번호 제10-2016-00114457호 "PCB 패널의 불량 마킹 장치 및 그 방법"에 개시되어 있다.  For example, when the PCT panel is composed of a plurality of layers and each layer is inspected through different optical inspection apparatuses 200, 202 and 204, one panel inspection apparatus 210 is connected to different optical inspection apparatuses 200, It is possible to automatically determine whether the PCB panel is defective after collecting the inspection results of each layer of the PCB panel inspected by the inspection unit. When the log data generation methods of the plurality of optical inspection apparatuses 200, 202, and 204 are different, it is necessary to integrate them, and details thereof are disclosed in Patent Application No. 10-2016-00114457, " Lt; / RTI >

도 3은 본 발명의 실시 예에 다른 PCB 패널 검사 방법의 일 예를 도시한 흐름도이다.3 is a flowchart illustrating an example of a PCB panel inspection method according to an embodiment of the present invention.

도 3을 참조하면, 패널검사장치는 기준 이미지와 패널 이미지의 위치를 정합한다(S300). 유닛의 회로패턴 등의 크기가 매우 작으므로, 패널 이미지와 기준 이미지의 비교를 통해 회로패턴의 오픈(open)이나 쇼트(short) 등의 결함을 정확하게 파악하기 위해서는 두 이미지의 픽셀 단위의 정확한 위치 정합이 요구된다. 따라서 본 실시 예의 패널검사장치는 정렬마크 및/또는 픽셀 값의 차이 등을 통해 기준 이미지와 패널 이미지의 위치를 픽셀 단위로 정확하게 정합시키는 과정을 포함하며, 이에 대해서는 도 4 내지 도 7에서 다시 설명한다.Referring to FIG. 3, the panel inspection apparatus matches the positions of the reference image and the panel image (S300). The size of the circuit pattern of the unit is very small. Therefore, in order to precisely grasp the defects such as the open or short of the circuit pattern by comparing the panel image with the reference image, . Therefore, the panel inspection apparatus of the present embodiment includes a process of accurately matching the positions of the reference image and the panel image on a pixel-by-pixel basis through a difference in alignment mark and / or pixel value, and this will be described again with reference to FIGS. 4 to 7 .

패널검사장치는 위치 정합한 기준 이미지와 패널 이미지의 차 영상을 통해 관심영역 내 이상부위를 추출한다(S310). 도 2에서 살핀 바와 같이 광학검사장치가 기준 이미지와 패널 이미지를 비교하여 검사대상영역을 찾아내면, 패널검사장치는 그 검사대상영역을 기준으로 일정 크기를 가진 관심영역을 설정하고, 그 관심영역에 대한 기준 이미지와 패널 이미지의 차 영상을 통해 이상부위를 추출한다. The panel inspection apparatus extracts an abnormal region in the region of interest through a difference image of the positionally matched reference image and the panel image (S310). 2, when the optical inspection apparatus compares the reference image with the panel image to find the inspection target area, the panel inspection apparatus sets a target area having a predetermined size based on the inspection target area, The abnormal region is extracted through the difference image between the reference image and the panel image.

관심영역은 검사대상영역을 포함하는 일정 영역이거나 검사대상영역이 존재하는 유닛 또는 스트립일 수 있다. 관심영역에 대한 기준 이미지와 패널 이미지의 차 영상을 기초로 이상부위를 추출하는 예가 도 8에 도시되어 있다.The region of interest may be a certain region including the region to be inspected or a unit or strip where the region to be inspected exists. An example of extracting an abnormal region based on the difference image of the reference image and the panel image for the region of interest is shown in FIG.

패널검사장치는 관심영역 내 이상부위가 추출되면 그 이상부위에 대한 각종 파라미터를 파악한다(S320). 패널검사장치가 파악하는 이상부위의 파라미터는 실시 예에 따라 다양할 수 있으며 하나의 예를 정리하면 다음 표와 같다.When the abnormal region in the region of interest is extracted, the panel inspection apparatus grasps various parameters for the abnormal region (S320). The parameters of the abnormal region recognized by the panel inspection apparatus may vary according to the embodiment, and one example is summarized in the following table.

파라미터parameter 리드선 양쪽 접촉여부Whether the lead wire is contacted on both sides 관심영역에서의 패널 이미지의 평균밝기Average brightness of the panel image in the area of interest 관심영역에서의 패널 이미지의 분산Distribution of panel images in the region of interest 관심영역에서의 최소밝기Minimum brightness in the area of interest 반지름 크기Radius size 접촉화소들의 LBP 히스토그램LBP histogram of contact pixels 최대 왜곡 위치Maximum distortion position

패널검사장치는 이상부위에 대한 파라미터가 파악되면, 이를 기 구축된 정상 또는 결합의 파라미터를 포함하는 군집과 비교하여 결함 여부를 결정한다(S330). 예를 들어, 패널검사장치는 이상부위가 정상 또는 결함으로 판정되는 경우의 적어도 하나 이상의 파라미터를 포함하는 군집과 이상부위의 파라미터의 유사도를 비교하여, 이상부위의 파라미터가 결함 군집의 파라미터와 유사하면 해당 이상부위를 결함으로 판정한다. 예를 들어, 패널검사장치는 서프트 벡터 머신(SVM, Support Vector Machine) 등의 학습 알고리즘을 이용하여 군집 유사도를 파악할 수 있다. 이 외의 다양한 종류의 유사도 비교 알고리즘이 본 실시 예에 적용될 수 있다.If the parameter for the abnormal region is detected, the panel inspection apparatus compares the parameter with the cluster including the established normal or combination parameter to determine whether the defect is defective (S330). For example, the panel inspection apparatus compares the similarities of the parameters of the abnormal region and the cluster including the at least one parameter when the abnormal region is determined to be normal or defective, and if the parameter of the abnormal region is similar to the parameter of the defect cluster It is determined that the abnormal region is defective. For example, a panel inspection apparatus can grasp the similarity degree of a cluster using a learning algorithm such as a SVM (Support Vector Machine). Various other similarity comparison algorithms other than the above can be applied to the present embodiment.

패널검사장치는 결함 판정 결과를 기존의 군집에 추가 저장하여 이후 결함 판정에 활용한다. 이와 같이 패널검사장치는 이상부위의 판정 결과를 군집에 누적하는 학습 과정을 반복 수행하여 군집 유사도를 이용한 결함 판정의 정확도를 향상시킬 수 있다. 패널검사장치가 결함에 이용하는 군집의 일 예는 도 9에 도시되어 있다.The panel inspection apparatus additionally stores the result of the defect judgment in the existing cluster and uses it for the subsequent defect judgment. In this manner, the panel inspection apparatus can repeat the learning process of accumulating the determination result of the abnormal region in the cluster, thereby improving the accuracy of the defect determination using the cluster similarity. An example of a cluster used by the panel inspection apparatus for defects is shown in Fig.

도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 정렬마크를 이용한 위치 정합 방법의 일 예를 도시한 도면이고, 도 5는 정렬마크 경계의 각 픽셀의 값을 도시한 도면이다.FIG. 4 is a view illustrating an example of a position matching method using an alignment mark according to an embodiment of the present invention, and FIG. 5 is a diagram showing values of pixels of the alignment mark boundary.

도 4 및 5를 참조하면, PCB 패널은 적어도 하나의 정렬마크(402)를 포함한다. 고해상도의 패널 이미지에서 정렬마크(402)의 경계는 하나의 픽셀로 명확하게 구분되는 것이 아니라 여러 픽셀로 구성되므로, 정렬마크(402)의 중심(406)은 정렬마크의 경계를 어떻게 결정하는지에 따라 달라질 수 있다. Referring to FIGS. 4 and 5, the PCB panel includes at least one alignment mark 402. Since the boundaries of the alignment marks 402 in the high resolution panel image are composed of several pixels rather than being clearly separated by one pixel, the center 406 of the alignment mark 402 depends on how the boundaries of the alignment marks are determined It can be different.

예를 들어, 마크 이미지(400)에서 정렬마크(402)가 제1색상(예를 들어, 흰색)이고 그 나머지 영역(404)이 제2색상(예를 들어, 검은색)인 경우에, 정렬마크(402)의 경계를 구성하는 각 픽셀의 값(예를 들어, 밝기값, 색상값 또는 채도값 등)은 도 5의 첫 번째 그림(500)과 같이 서로 다를 수 있다. 본 실시 예는 설명의 편의를 위하여 정렬마크(402)의 경계의 픽셀 값이 마치 계단처럼 일정하게 변하는 것처럼 도시하고 있으나 실제 경계의 픽셀 값은 불규칙하게 변할 수 있다. For example, in the mark image 400, if the alignment mark 402 is a first color (e.g., white) and the remaining area 404 is a second color (e.g., black) The values (e.g., brightness values, hue values, saturation values, etc.) of each pixel constituting the boundary of the mark 402 may be different as shown in the first figure 500 of FIG. In this embodiment, the pixel values of the boundaries of the alignment mark 402 are shown to be constantly changed as if they are steps for convenience of explanation, but the pixel values of the actual boundaries may vary irregularly.

패널검사장치는 픽셀 경계의 중심을 보다 정확하게 구하기 위하여 정렬마크(402)를 포함하는 일정 크기의 마크 이미지(400)를 확대한다. 예를 들어, 패널검사장치는 N*N(N은 1 이상의 자연수) 픽셀 크기의 마크 이미지(400)를 M*M(N>M) 픽셀 크기의 마크 이미지(410)로 확대한다. 확대된 마크 이미지(410)의 각 픽셀 값은 원래 크기의 마크 이미지(400)의 각 픽셀 값을 기초로 보간법 등 종래의 다양한 방법으로 결정될 수 있다. 이 외에도 이미지를 확대하는 종래의 다양한 방법이 본 실시 예에 적용될 수 있다.The panel inspection apparatus enlarges the mark image 400 of a predetermined size including the alignment mark 402 to obtain the center of the pixel boundary more accurately. For example, the panel inspection apparatus enlarges a mark image 400 of N * N (N is a natural number of 1 or more) pixel size to a mark image 410 of M * M (N> M) pixel size. Each pixel value of the enlarged mark image 410 may be determined by various conventional methods such as an interpolation method based on each pixel value of the original mark image 400. In addition, various conventional methods of enlarging an image can be applied to this embodiment.

확대한 마크 이미지(410)의 경계는 원래 크기의 마크 이미지보다 더 많은 픽셀로 구성(도 5의 510)되므로 각 픽셀 값 사이의 변화 크기가 원래 크기의 마크 이미지의 각 픽셀 값 사이의 변화 크기보다 작을 수 있다. 패널검사장치는 확대한 마크 이미지(410)에서 정렬마크(412)의 일부를 포함하는 사각형(420)의 각 라인과 정렬마크가 만나는 각 경계(430,432,434,436,438,440,442,444)에 대한 픽셀 값을 나타내는 곡선 방정식(도 5의 520)을 구한다. 각 픽셀 값을 연결하여 나타내는 곡선 방정식은 스플라인(spline), 베지어(bezier) 커브 등의 다양한 보간법을 통해 생성될 수 있다. 곡선 방정식을 구하는 이외의 종래 다양한 방법이 본 실시 예에 적용될 수 있다.Since the boundary of the enlarged mark image 410 is composed of more pixels than the original size mark image (510 in FIG. 5), the magnitude of change between each pixel value is smaller than the magnitude of change between each pixel value of the mark image of the original size Can be small. The panel inspection apparatus includes a curve equation representing a pixel value for each of the boundaries 430, 432, 434, 436, 438, 440, 442, 444 where each line of the rectangle 420 including a part of the alignment mark 412 in the enlarged mark image 410 meets the alignment mark Of 520). The curve equation connecting each pixel value can be generated by various interpolation methods such as spline, bezier curve and the like. Various conventional methods other than obtaining the curve equation can be applied to this embodiment.

패널검사장치는 확대한 마크 이미지(410)에서 정렬 마크의 각 경계(430,432,434,436,438,440,442,444)에 대한 곡선 방정식을 이용하여 각 경계의 중심의 위치를 파악한다. 예를 들어, 곡선 방정식이 3차원 방정식인 경우에, 패널검사장치는 2차 미분의 값이 0이 되는 좌표값을 경계의 중심값으로 파악할 수 있다. The panel inspection apparatus grasps the positions of the centers of the respective boundaries by using the curve equations for the boundaries 430, 432, 434, 436, 438, 440, 442, 444 of the alignment marks in the enlarged mark image 410. For example, when the curvilinear equation is a three-dimensional equation, the panel inspection apparatus can grasp the coordinate value at which the value of the second derivative is 0 as the center value of the boundary.

패널검사장치는 정렬마크의 각 경계(430,432,434,436,438,440,442,444)의 중심이 파악되면 이를 기초로 정렬마크의 중심(406)을 파악한다. 예를 들어, 패널검사장치는 사각형(420)의 각 라인에 위치한 두 경계(430 vs 432, 434 vs 436 등)의 중심값을 연결한 선의 중심을 파악한 후 각 중심을 연결하는 선의 교차점을 정렬마크의 중심(406)으로 파악한다.When the center of each of the boundaries 430, 432, 434, 436, 438, 440, 442, 444 of the alignment mark is grasped, the panel inspection apparatus grasps the center 406 of the alignment mark based on the center. For example, the panel inspecting apparatus can determine the center of a line connecting the center values of two boundaries (430 vs 432, 434 vs 436, etc.) located on each line of the rectangle 420, As shown in FIG.

그리고 패널검사장치는 기준 이미지의 정렬마크의 중심과 패널 이미지의 정렬마크의 중심을 맞추어 두 이미지의 위치를 정합시킨다. The panel inspection device aligns the center of the alignment mark of the reference image with the alignment mark of the panel image to match the positions of the two images.

도 6은 본 발명의 실시 예에 따른 이미지 밝기 보정의 일 예를 도시한 도면이다.6 is a diagram illustrating an example of image brightness correction according to an embodiment of the present invention.

도 6을 참조하면, 기준 이미지와 패널 이미지의 밝기값에 대한 히스토그램이 각각 도시되어 있다. 본 실시 예에서 기준 이미지와 패널 이미지는 흰색과 검은색으로 이루어진 2진 영상이라고 가정한다. 기준 이미지와 패널 이미지의 밝기값이 다른 경우에 이후 살펴볼 이상부위 추출에 영향을 미칠 수 있으므로, 이상부위의 추출 전에 이미지의 밝기값 보정이 이루어지는 것이 바람직하다.Referring to FIG. 6, histograms of the brightness values of the reference image and the panel image are respectively shown. In this embodiment, it is assumed that the reference image and the panel image are binary images composed of white and black. When the brightness values of the reference image and the panel image are different, it is preferable that the brightness value of the image is corrected before extracting the abnormal region because it may affect the abnormal region extraction to be discussed later.

예를 들어, 패널 이미지의 흰색 및 검은색의 히스토그램(610)의 최대값의 위치(A',B')가 기준 이미지의 흰색 및 검은색의 히스토그램(600)의 최대값의 위치(A,B)를 벗어나 경우에, 패널검사장치는 패널 이미지의 흰색 및 검은색의 밝기값을 보정(620)하여 기준 이미지에 맞춘다. For example, when the position (A ', B') of the maximum value of the white and black histograms 610 of the panel image is the position (A, B) of the maximum value of the white and black histogram 600 of the reference image , The panel inspection apparatus corrects the brightness values of the white and black colors of the panel image 620 to match the reference image.

도 7은 본 발명의 실시 예에 따른 픽셀값을 이용한 위치 정합 방법의 일 예를 도시한 도면이다. 7 is a diagram illustrating an example of a position matching method using pixel values according to an embodiment of the present invention.

도 7을 참조하면, 패널검사장치는 기준 이미지와 픽셀 이미지의 서로 대응되는 영역(710 vs 730, 710 vs 732, 710 vs 734 등)의 각 픽셀 사이의 값의 차를 합산한 값이 최소가 되도록 기준 이미지 또는 픽셀 이미지의 위치를 픽셀 단위로 이동한다. 여기서 픽셀 값은 밝기값, 색상값 또는 채도값일 수 있다. 또한, 실시 예에 따라 기준 이미지와 픽셀 이미지는 이진화 영상일 수 있다. Referring to FIG. 7, the panel inspecting apparatus calculates the sum of the differences between the respective pixels of the corresponding regions (710 vs 730, 710, 732, 710, and 734, etc.) of the reference image and the pixel image to be minimum The position of the reference image or pixel image is shifted in pixel units. Where the pixel value may be a brightness value, a hue value, or a saturation value. Also, according to an embodiment, the reference image and the pixel image may be binarized images.

패널검사장치는 기준 이미지와 픽셀 이미지의 전체에 대한 각 픽셀 사이의 값의 차를 합산할 수 있다. 그러나 기준 이미지 및 픽셀 이미지가 고해상도 이미지므로 각 픽셀을 모두 계산하는 경우 시간 지연이 발생할 수 있으므로, 이미지 전체가 아니라 광학검사장치에서 파악된 검사대상영역을 기준으로 결정된 일정 영역에 대해서만 픽셀 값의 차를 합산할 수 있다. 일정 영역(M*M 크기)에 대한 각 픽셀 사이의 값의 차를 합산하는 예를 수학식으로 표현하면 다음과 같다.The panel inspection apparatus may sum the difference between the values of each pixel with respect to the whole of the reference image and the pixel image. However, since the reference image and the pixel image are high-resolution images, a time delay may occur when each pixel is calculated. Therefore, the difference in pixel values only for a certain region determined based on the inspection target region, Can be added. An example of summing differences between values of pixels for a certain area (M * M size) is expressed as follows.

Figure pat00001
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여기서, C(x,y)는 패널 이미지의 (x,y) 위치에서의 픽셀 값, R(x,y)는 기준 이미지의 (x,y) 위치에서의 픽셀 값을 나타내고, M은 픽셀 값을 계산하는 영역의 크기를 나타낸다. 패널검사장치는 MAD(Mean Absolute Difference) 값이 최소가 되는 위치 (i,j)를 찾는다. Here, C (x, y) denotes a pixel value at the (x, y) position of the panel image, R (x, y) denotes a pixel value at the (x, y) Of the area. The panel inspection apparatus finds the position (i, j) at which the MAD (Mean Absolute Difference) value becomes minimum.

예를 들어, 패널검사장치는 광학검사장치를 통해 파악된 검사대상영역이 존재하는 스트립 영역 또는 유닛 영역에 대해 각 픽셀 사이의 값의 차를 구할 수 있다. 또는 패널검사장치는 관심영역을 각 픽셀 사이의 차를 구하는 영역으로 결정할 수 있다. For example, the panel inspecting apparatus can obtain a difference between values of each pixel with respect to a strip region or a unit region in which an inspection target region identified through an optical inspection apparatus exists. Or the panel inspection apparatus can determine the region of interest as a region for obtaining a difference between each pixel.

패널검사장치는 기준 이미지(700) 또는 패널 이미지(720)를 상대적으로 이동하면서 서로 대응되는 일정 영역(710,730)의 픽셀 사이의 값의 차를 합산하는 과정을 반복 수행(예를 들어, 이동 반경이 5*5 픽셀 크기인 경우 25번 수행)한다. 패널검사장치는 픽셀 사이의 값의 차의 합이 최소가 될 때의 패널 이미지의 위치를 기준 이미지와 정합시킨다.The panel inspection apparatus repeatedly performs the process of summing the differences between the pixels of the predetermined regions 710 and 730 corresponding to each other while relatively moving the reference image 700 or the panel image 720 (for example, And 25 times for a 5 * 5 pixel size). The panel inspection apparatus matches the position of the panel image with the reference image when the sum of the differences between the values of the pixels becomes minimum.

도 8은 본 발명의 실시 예에 따른 관심 영역 내 이상부위를 추출하는 방법의 일 예를 도시한 도면이다.8 is a diagram illustrating an example of a method for extracting an abnormal region in a region of interest according to an embodiment of the present invention.

도 8을 참조하면, 패널검사장치는 위치 정합한 기준 이미지와 패널 이미지의 관심 영역(800,810)에 대한 차 영상(830)을 통해 이상부위(840)를 추출한다. Referring to FIG. 8, the panel inspection apparatus extracts an abnormal region 840 through a position-matched reference image and a difference image 830 for the region of interest 800 and 810 of the panel image.

일 예로, 패널검사장치는 흰색 및 검은색에 대한 문턱값(threshold)을 기초로 차 영상(830)을 흰색 및 검은색으로 나타내는 이진화 영상을 구한다. 패널검사장치는 이진화 영상에서 각 픽셀 값을 제곱한 값이 최대가 되는 좌표(최대 왜곡 좌표)를 찾는다. 패널검사장치는 최대 왜곡 좌표를 초기 시작점으로 침식(erosion) 및 팽창(dilation) 연산을 수행한다. 예를 들어, 패널검사장치는 3*3 침식 연산을 통해 일정 문턱값 이하의 픽셀 블록들을 제거하고, 팽창 연산을 수행하여 각 픽셀 블록을 연결하여 이상부위를 추출한다. 차 영상에 존재하는 잡음 등을 제거하기 위한 방법으로 침식 및 팽창 연산 외 다양한 전처리 과정이 수행될 수 있다. For example, the panel inspection apparatus obtains a binarized image in which the difference image 830 is white and black based on a threshold value for white and black. The panel inspection apparatus finds a coordinate (maximum distortion coordinate) at which a value obtained by squaring each pixel value in a binarized image becomes a maximum. The panel inspection apparatus performs erosion and dilation operations with the maximum distortion coordinates as an initial starting point. For example, the panel inspecting apparatus removes pixel blocks having a certain threshold value or less through a 3 * 3 erosion operation, performs an expansion operation, and connects each pixel block to extract an abnormal region. Various preprocessing procedures other than erosion and expansion calculations can be performed as a method for removing noise and the like present in the difference image.

예를 들어, 기준 이미지의 관심 영역(800)에 두 줄의 회로패턴(802,804)이 존재하고, 패널 이미지의 관심영역(810)에 두 줄의 회로패턴(812,814)과 이상부위(820)가 존재하는 경우에, 두 관심영역(800,810)의 차 영상(830)을 구하면 이상부위(840)만 남는다. For example, if there are two lines of circuit patterns 802 and 804 in the region of interest 800 of the reference image and two lines of circuit patterns 812 and 814 and an anomalous region 820 are present in the region of interest 810 of the panel image , Only the abnormal region 840 is left when the difference image 830 of the two regions of interest 800 and 810 is obtained.

도 9는 본 발명의 실시 예에 따른 군집의 일 예를 도시한 도면이다.9 is a diagram illustrating an example of a cluster according to an embodiment of the present invention.

도 9를 참조하면, 군집은 크게 정상 군집(900)과 결함 군집(910)으로 구분된다. 정상 군집(900)과 결함 군집(910)은 각각 오픈(open)(902,912)이나 쇼트(short)(904,914), 이물질(906,916), 스크래치(908,918) 등으로 다시 구분된다. 본 실시 예의 각 군집은 하나의 예일 뿐 실시 예에 따라 다양한 결함 종류에 따른 군집이 존재할 수 있다. 각 군집(902,904,906,908,912,914,916,198)은 적어도 하나 이상의 파라미터를 포함한다. Referring to FIG. 9, the cluster is divided into a normal cluster 900 and a defect cluster 910. The normal cluster 900 and the defect cluster 910 are again divided into open 902 and 912 and short 904 and 914 and foreign substances 906 and 916 and scratches 908 and 918. Each cluster of the present embodiment is only one example, but a cluster according to various defect types may exist according to the embodiment. Each cluster 902, 904, 906, 908, 912, 914, 916, 198 comprises at least one or more parameters.

예를 들어, 이상부위의 파라미터가 복수의 군집(902,904,906,908,912,914,916,198) 중 오픈 결함 군집(912)과 유사도가 가장 큰 경우에, 패널검사장치는 이상부위(840)를 오픈 결함으로 판단한다. 그리고 패널검사장치는 이상부위(840)의 파라미터를 오픈 결합 군집(912)에 추가한다.For example, when the parameter of the abnormal region is largest in similarity to the open defect cluster 912 among the plurality of clusters 902, 904, 906, 908, 912, 914, 916, and 198, the panel inspection apparatus determines that the abnormal region 840 is an open defect. Then, the panel inspection apparatus adds the parameter of the abnormal region 840 to the open coupling cluster 912.

도 10은 본 발명에 따른 패널검사장치의 일 실시 예의 구성을 도시한 도면이다.10 is a diagram showing the configuration of an embodiment of a panel inspection apparatus according to the present invention.

도 10을 참조하면, 패널검사장치(1000)는 위치정합부(1010), 관심영역파악부(1020), 파라미터추출부(1030), 결함판정부(1040)를 포함한다. Referring to FIG. 10, a panel inspection apparatus 1000 includes a position matching unit 1010, a region of interest detection unit 1020, a parameter extraction unit 1030, and a defect determination unit 1040.

위치정합부(1010)는 기준 이미지와 패널 이미지의 위치를 픽셀 단위로 정합한다. 예를 들어, 위치정합부(1010)는 도 4 및 도 5에서 살핀 바와 같이 정렬마크를 이용하여 기준 이미지와 패널 이미지의 위치를 정합하거나, 도 7에서 살핀 픽셀값의 차를 이용하여 기준 이미지와 패널 이미지의 위치를 정합할 수 있다. 또는 위치정합부는 정렬마크를 이용하여 두 이미지의 위치를 1차 정합한 후 도 7의 픽셀값 차를 이용하여 픽셀 단위로 2차 위치 정합을 수행할 수 있다. The position matching unit 1010 aligns the positions of the reference image and the panel image in pixel units. For example, the position matching unit 1010 may adjust the positions of the reference image and the panel image using the alignment mark as shown in FIGS. 4 and 5, The position of the panel image can be matched. Alternatively, the position matching unit may perform the secondary position matching on a pixel-by-pixel basis using the pixel value difference of FIG. 7 after first matching the positions of the two images using the alignment mark.

관심영역파악부(1020)는 위치 정합한 기준 이미지와 패널 이미지로부터 관심 영역의 차 영상을 통해 이상부위를 추출한다. 관심영역파악부(1020)는 도 2의 광학검사장치를 통해 파악된 기준 이미지와 패널 이미지의 상이한 부위를 중심으로 일정 크기 영역을 관심 영역으로 파악할 수 있다. The region-of-interest detection unit 1020 extracts an abnormal region from the position-matched reference image and the panel image through the difference image of the region of interest. The ROI acquiring unit 1020 can acquire a certain size region as a ROI centered on a different region of the reference image and the PANI image captured through the optical inspection apparatus of FIG.

파라미터추출부(1030)는 관심 영역 내 이상부위에 대한 파라미터를 추출한다. 예를 들어, 파라미터추출부(1030)는 이상부위의 밝기, 크기, 리드선의 접촉 여부 등 실시 예에 따라 다양할 수 있다. The parameter extracting unit 1030 extracts a parameter for an abnormal region in the ROI. For example, the parameter extracting unit 1030 may vary according to the embodiment, such as brightness, size, contact of the lead wire, and the like.

결함판정부(1040)는 이상부위의 파라미터가 도 9와 같이 미리 구축되어 있는 각 군집 중 어느 군집과 유사도가 높은지 파악하여 결함여부를 판정한다. 예를 들어, 이상부위의 파라미터가 정상의 쇼트 군집(도 9의 904)과 유사도가 높다면, 결함판정부(1040)는 이상부위가 결함이 아닌 정상이라고 판정한다. The defect determination unit 1040 determines whether the parameter of the abnormal region is high in similarity with any of the clusters constructed in advance as shown in FIG. 9, and determines whether or not the defect is defective. For example, if the parameter of the abnormal region is high in similarity to the normal shot cluster (904 of FIG. 9), the defect determination section 1040 determines that the abnormal region is normal, not a defect.

본 발명은 또한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체에 컴퓨터가 읽을 수 있는 코드로서 구현하는 것이 가능하다. 컴퓨터가 읽을 수 있는 기록매체는 컴퓨터 시스템에 의하여 읽혀질 수 있는 데이터가 저장되는 모든 종류의 기록장치를 포함한다. 컴퓨터가 읽을 수 있는 기록매체의 예로는 ROM, RAM, CD-ROM, 자기 테이프, 플로피디스크, 광데이터 저장장치 등이 있다. 또한 컴퓨터가 읽을 수 있는 기록매체는 네트워크로 연결된 컴퓨터 시스템에 분산되어 분산방식으로 컴퓨터가 읽을 수 있는 코드가 저장되고 실행될 수 있다.The present invention can also be embodied as computer-readable codes on a computer-readable recording medium. A computer-readable recording medium includes all kinds of recording apparatuses in which data that can be read by a computer system is stored. Examples of the computer-readable recording medium include ROM, RAM, CD-ROM, magnetic tape, floppy disk, optical data storage, and the like. The computer-readable recording medium may also be distributed over a networked computer system so that computer readable code can be stored and executed in a distributed manner.

이제까지 본 발명에 대하여 그 바람직한 실시예들을 중심으로 살펴보았다. 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 변형된 형태로 구현될 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 개시된 실시예들은 한정적인 관점이 아니라 설명적인 관점에서 고려되어야 한다. 본 발명의 범위는 전술한 설명이 아니라 특허청구범위에 나타나 있으며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 차이점은 본 발명에 포함된 것으로 해석되어야 할 것이다.The present invention has been described with reference to the preferred embodiments. It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. Therefore, the disclosed embodiments should be considered in an illustrative rather than a restrictive sense. The scope of the present invention is defined by the appended claims rather than by the foregoing description, and all differences within the scope of equivalents thereof should be construed as being included in the present invention.

Claims (8)

기준 이미지와 검사 대상인 패널 이미지의 위치를 정합하는 단계;
상기 기준 이미지와 상기 패널 이미지의 차를 통해 관심영역에 존재하는 이상부위를 추출하는 단계;
상기 관심영역에 존재하는 이상부위에 대한 파라미터를 추출하는 단계; 및
정상 또는 결함에 대한 적어도 하나 이상의 파라미터를 포함하는 군집과 상기 이상부위에 대한 파라미터의 유사도를 기초로 상기 이상부위의 정상 또는 결함을 결정하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 PCB 패널 검사 방법.
Matching the position of the reference image and the panel image to be inspected;
Extracting an abnormal region existing in a region of interest through a difference between the reference image and the panel image;
Extracting a parameter for an abnormal region existing in the region of interest; And
Determining a normal or defect of the abnormal region based on a cluster including at least one parameter for normal or defect and a parameter similarity between the abnormal region and the abnormal region.
제 1항에 있어서, 상기 위치를 정합하는 단계는,
상기 기준 이미지와 상기 패널 이미지에 각각 존재하는 정렬마크를 기초로 위치를 정렬하는 단계; 및
상기 기준 이미지와 상기 패널 이미지의 서로 대응되는 위치의 각 픽셀 사이의 차를 합산한 값이 최소가 되도록 기 설정된 범위 내에서 상기 기준 이미지 또는 상기 패널 이미지를 이동시키는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 PCB 패널 검사 방법.
2. The method of claim 1,
Aligning a position based on an alignment mark existing in each of the reference image and the panel image; And
And moving the reference image or the panel image within a predetermined range such that a sum of the differences between the respective pixels at the corresponding positions of the reference image and the panel image is minimized. PCB panel inspection method.
제 2항에 있어서, 상기 정렬마크를 기초로 위치를 맞추는 단계는,
상기 패널 이미지에서 정렬 마크를 포함하는 마크 이미지를 추출하는 단계;
상기 마크 이미지를 기 설정된 크기로 확대하는 단계;
확대한 이미지에서 상기 정렬마크의 경계 영역에 대한 픽셀값의 변화를 기초로 상기 경계 영역의 중심을 파악하는 단계;
상기 경계 영역의 중심을 기초로 상기 정렬 마크의 중심을 파악하는 단계; 및
상기 패널 이미지의 정렬 마크의 중심과 상기 기준 이미지의 정렬 마크의 중심을 맞추는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 PCB 패널 검사 방법.
3. The method of claim 2, wherein aligning based on the alignment mark comprises:
Extracting a mark image including an alignment mark in the panel image;
Enlarging the mark image to a predetermined size;
Determining a center of the boundary area based on a change in a pixel value with respect to a boundary area of the alignment mark in an enlarged image;
Determining a center of the alignment mark based on a center of the boundary area; And
And aligning a center of an alignment mark of the panel image with an alignment mark of the reference image.
제 2항에 있어서, 상기 패널 이미지를 이동시키는 단계는,
광학검사장치를 통해 파악된 검사대상영역이 스트립 영역인지 아니면 유닛 영역인지에 따라 각 픽셀 사이의 차를 구하는 영역을 스트립 영역 또는 유닛 영역으로 결정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 PCB 패널 검사 방법.
The method of claim 2, wherein moving the panel image comprises:
And determining a region for obtaining a difference between each pixel as a strip region or a unit region according to whether the region to be inspected is a stripe region or a unit region recognized through an optical inspection apparatus.
제 1항에 있어서, 상기 정상 또는 결함을 결정하는 단계는,
패널의 각 영역 중 결함 여부의 판단 대상이 되는 영역 또는 결함 여부의 판단 대상이 되지 않는 영역에 대한 위치정보를 포함하는 데이터베이스를 참조하여, 상기 이상부위가 결함 여부의 판단 대상이 되는 영역에 해당하는 경우에 상기 군집과의 유사도를 기초로 결함 여부를 판단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 PCB 패널 검사 방법.
2. The method of claim 1, wherein determining the normal or defect comprises:
A database including positional information on a region to be judged as defective or an area on which a defect is not to be judged among the respective regions of the panel is referred to and it is judged whether or not the abnormal region corresponds to the region to be judged as defective And determining whether a defect is present based on the degree of similarity with the cluster.
제 1항에 있어서, 상기 이상부위를 추출하는 단계는,
광학검사장치를 통해 파악된 검사대상영역을 기준으로 일정 크기의 영역을 관심 영역으로 지정하는 단계; 및
상기 관심 영역에 해당하는 상기 기준 이미지와 상기 패널 이미지의 차 영상을 통해 이상부위를 파악하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 PCB 패널 검사 방법.
The method of claim 1, wherein extracting the abnormal region comprises:
Designating a region of a predetermined size as a region of interest based on an inspection target region identified through an optical inspection apparatus; And
And determining an abnormal region through a difference image between the reference image and the panel image corresponding to the region of interest.
기준 이미지와 검사 대상인 패널 이미지의 위치를 정합하는 위치정합부;
상기 기준 이미지와 상기 패널 이미지의 차를 통해 관심영역에 존재하는 이상부위를 추출하는 관심영역파악부;
상기 관심영역에 존재하는 이상부위에 대한 파라메타를 추출하는 파라메타추출부; 및
정상 또는 결함에 대한 적어도 하나 이상의 파라메타를 포함하는 군집과 상기 이상부위에 대한 파라메타의 유사도를 기초로 상기 이상부위의 정상 또는 결함을 결정하는 결함판정부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 PCB 패널 검사 장치.
A position matching unit for matching positions of a reference image and a panel image to be inspected;
An interest area determination unit that extracts an abnormal region existing in a region of interest through a difference between the reference image and the panel image;
A parameter extracting unit for extracting a parameter of an abnormal region existing in the ROI; And
And a defect judgment unit for determining a normal or defect of the abnormal region based on a cluster including at least one parameter for normal or defect and a similarity of the parameter to the abnormal region, .
제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 기재된 방법을 수행하기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체.A computer-readable recording medium storing a program for performing the method according to any one of claims 1 to 6.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20180117532A (en) * 2017-04-18 2018-10-29 삼성디스플레이 주식회사 Method for defect detection, system for defect detection and training method therefor
CN113777113A (en) * 2021-08-02 2021-12-10 景旺电子科技(珠海)有限公司 Optical detection method of lamp panel and lamp panel manufacturing method
KR102718594B1 (en) * 2023-08-29 2024-10-16 백상삼 Apparatus and method for inspecting defective imprint of substrates

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20180117532A (en) * 2017-04-18 2018-10-29 삼성디스플레이 주식회사 Method for defect detection, system for defect detection and training method therefor
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