KR20180016543A

KR20180016543A - 일체형 본체를 갖는 도어를 갖는 웨이퍼 캐리어

Info

Publication number: KR20180016543A
Application number: KR1020187000662A
Authority: KR
Inventors: 무랄리 반드레디; 매튜 에이 풀러
Original assignee: 엔테그리스, 아이엔씨.
Priority date: 2015-06-15
Filing date: 2016-06-14
Publication date: 2018-02-14
Also published as: JP2018524809A; TW201709390A; CN107851595A; TWI719031B; WO2016205159A1; US20180174874A1

Abstract

전방 개방 웨이퍼 캐리어는 용기 부분을 포함한다. 용기 부분은 상부 벽, 저부 벽, 한 쌍의 측벽, 후방 벽, 및 후방 벽에 대향하는 도어 프레임을 포함하고, 도어 프레임은 전방 개구를 형성하고, 캐리어는 도어 프레임 내에 제거가능하게 수용되어 전방 개구를 폐쇄하는 도어를 포함한다. 도어는 단일 본체 구성 그리고 최소 체적을 갖는 하나 이상의 자동화 인터페이스 수용 특징부를 포함하는 실질적으로 매끄러운 외부 표면을 갖고, 웨이퍼 캐리어가 사용 중일 때에 웨이퍼 캐리어와 장비 전방 단부 모듈 사이에 포획될 수 있는 산소의 양을 최소화할 수 있다.

Description

일체형 본체를 갖는 도어를 갖는 웨이퍼 캐리어

관련출원

본원은 전체가 본 명세서에 사실상 참조로 포함되는, 2015년 6월 15일자로 출원된 미국 임시 출원 제62/175834호의 이익 그리고 그에 대한 우선권을 주장한다.

본 개시내용은 일반적으로 웨이퍼 캐리어, 더 구체적으로 그러한 웨이퍼 캐리어의 도어에 관한 것이다.

반도체 웨이퍼에는 가공 중에 많은 단계가 적용된다. 이것은 대개 복수의 웨이퍼를 가공을 위해 워크스테이션들 또는 설비들 사이에서 운반하는 단계를 수반한다. 반도체 웨이퍼는 취약하고 그에 따라 물리적인 접촉 또는 충격에 의해 그리고 정전기에 의해 쉽게 손상된다. 또한, 반도체 제조 공정은 입자 또는 화학 물질에 의한 오염에 극히 민감하다. 결국, 웨이퍼에 대한 오염물의 유해한 영향을 감소시키려는 일환으로서, 오염물의 발생을 최소화하고 웨이퍼를 용기 외부의 오염물로부터 분리하는 특화된 용기가 개발되었다. 이들 용기는 전형적으로 용기 본체와의 도어의 단단한 밀봉을 제공하는 개스킷 또는 다른 수단을 갖는 제거가능 도어를 포함한다. 예시적인 용기는 전방 개방 통합 포드(front opening unified pod)(FOUP), 전방 개방 운송 박스(front opening shipping box)(FOSB), 및 다목적 캐리어(Multi-application carrier)(MAC)를 포함하고, 여기서 도어가 용기의 전방 개구를 폐쇄한다.

반도체가 규모 면에서 더 작아짐에 따라, 즉 단위 면적당 회로의 개수가 증가함에 따라, 입자 형태의 오염물이 결국 더 많은 문제를 야기하게 되었다. 회로를 파괴할 수 있는 입자의 크기가 감소하였고, 분자 수준까지 접근하고 있다. 따라서, 반도체 웨이퍼의 제조, 가공, 운반, 및 보관의 모든 단계 중의 더 양호한 입자 제어가 바람직하다. 또한, 회로 기하구조가 더 작아짐에 따라, 웨이퍼를 저산소 환경에서 가공하는 것이 중요해진다.

산소는, 저산소 환경을 유지하는 것에 의해 불활성 퍼지가스를 사용하는 예를 들어, FOUP와 같은 웨이퍼 캐리어 내에서 그리고 마찬가지로 불활성 상태의 장비 전방 단부 모듈(equipment front end module)(EFEM) 내에서 제어될 수 있다. 그러나, 도 1을 참조하면, 공지된 FOUP 도어의 구성 방법으로 인해, 산소가 FOUP 도어 커버(10)와 기부(12) 사이에 형성되는 래칭 기구(6)를 수납하는 공동(2) 내에 포획될 수 있다. 따라서, 도킹된 FOUP의 도어가 로드 포트(load port)에 의해 제거될 때, 포획된 산소가 탈출하고, 그에 따라 EFEM 내의 산소 농도를 순간적으로 증가시키고, 그에 따라 회로 기하구조를 잠재적으로 손상시킬 수 있다.

본 개시내용은 일반적으로 웨이퍼 캐리어, 더 구체적으로 그러한 웨이퍼 캐리어의 도어에 관한 것이다. 일 예시적인 실시예에서, 전방 개방 웨이퍼 캐리어는 상부 벽, 저부 벽, 한 쌍의 측벽, 후방 벽, 및 후방 벽에 대향하는 도어 프레임을 포함하고, 도어 프레임은 전방 개구를 형성하는, 용기 부분; 및 도어 프레임 내에 제거가능하게 수용되어 전방 개구를 폐쇄하는 도어를 포함한다. 도어는 단일 본체 구성 그리고 웨이퍼 캐리어가 사용 중일 때에 웨이퍼 캐리어와 장비 전방 단부 모듈 사이에 포획될 수 있는 산소의 양을 최소화할 수 있는 실질적으로 매끄러운 외부 표면을 갖는다.

또 다른 예시적인 실시예에서, 웨이퍼 용기는 전방 개구를 갖는 용기 부분; 및 용기 부분과 밀봉 결합하도록 구성되는 도어를 포함한다. 도어는 단일 본체 구성을 갖고, 실질적으로 평탄한 외부 표면 및 내부 표면을 포함하고, 외부 표면은 하나 이상의 리세스형 자동화 인터페이스 특징부(automation interface feature)를 포함하고, 내부 표면은 내부에 형성되는 하나 이상의 리세스를 포함한다. 웨이퍼 용기는 도어의 주연부 주위에 연장하는 개스킷을 추가로 포함하고, 개스킷은 도어가 용기 부분의 전방 개구 내에 수용될 때에 용기 부분과 결합하여 용기 부분을 기밀 밀봉한다.

또 다른 예시적인 실시예에서, 웨이퍼 캐리어와 도어를 갖는 장비 전방 단부 모듈 사이에 포획되는 산소를 최소화하는 방법은, 웨이퍼 캐리어를 장비 전방 단부 모듈의 개구에 인접하여 로드 포트 상에 도킹하는 단계; 장비 전방 단부 인터페이스 모듈의 도어를 개방하는 단계; 및 도어를 웨이퍼 캐리어의 용기 부분으로부터 분리하는 단계를 포함한다. 웨이퍼 캐리어는 용기 부분 및 도어를 포함한다. 도어는 단일 본체 구성을 갖고, 외부 표면 및 내부 표면을 포함한다. 외부 표면은 실질적으로 평탄하고, 하나 이상의 리세스형 자동화 인터페이스 특징부를 포함한다. 내부 표면은 도어에 대한 구조적인 지지를 제공하는 하나 이상의 리브를 포함한다. 리세스형 자동화 인터페이스 특징부를 갖는 실질적으로 평탄한 외부 표면은 웨이퍼 캐리어와 장비 전방 단부 모듈 사이에 포획되어 전자 회로를 손상시킬 수 있는 산소 및 다른 가스를 최소화한다. 도어는 기계 래칭 기구를 요구하지 않는다.

이전의 요약은 본 개시내용에 고유한 혁신적인 특징 중 일부의 이해를 용이하게 하도록 제공되고, 충분한 설명으로서 의도되지 않는다. 본 개시내용의 충분한 이해는 전체 명세서, 청구범위, 도면, 및 요약서를 총괄적으로 고려함으로써 파악될 수 있다.

본 개시내용은 첨부 도면과 관련하여 다양한 예시적인 실시예의 하기의 상세한 설명을 고려하면 더 완전하게 이해될 수 있다.
도 1은 커버 및 기부를 포함하는 도어를 갖는 공지된 FOUP의 사시도이다.
도 2는 본 개시내용의 실시예에 따른 FOUP의 사시도이다.
도 3은 본 개시내용에 따른 FOUP 도어의 정면도이다.
도 4a 및 4b는 본 개시내용의 실시예에 따른 도 3에 도시된 FOUP 도어의 배면도이다.
도 5는 도 4b에 도시된 FOUP 도어의 분해 배면도이다.
도 6은 웨이퍼 캐리어가 장비 전방 단부 모듈과 상호작용하는 개략도이다.
도 7은 본 개시내용의 실시예에 따른 웨이퍼 캐리어와 EFEM 사이에 포획되는 산소를 최소화하는 공정 단계를 예시한다.
본 개시내용이 다양한 변형 및 대안적인 형태를 쉽게 수용할 수 있지만, 그 특정 세부사항이 도면에 예로서 도시되었고, 상세하게 설명될 것이다. 그러나, 본 개시내용의 양태를 설명된 구체적인 예시적인 실시예로 제한하도록 의도되지 않는다는 것이 이해되어야 한다. 오히려, 본 개시내용의 사상 및 범주 내에 속하는 모든 변형, 등가물, 및 대안을 포함하도록 의도된다.

본 명세서 및 첨부된 청구범위에 사용되는 바와 같이, 단수 형태("a", "an", 및 "the")는 그 내용이 명확하게 지시하지 않으면 복수의 지시대상을 포함한다. 본 명세서 및 첨부된 청구범위에 사용되는 바와 같이, 용어 "또는(or)"은 일반적으로 그 내용이 명확하게 지시하지 않으면 그 의미 면에서 "및/또는(and/or)"을 포함하도록 채용된다.

하기의 상세한 설명은 상이한 도면 내의 유사한 요소에 동일한 도면 부호가 부여되는 도면을 참조하여 읽혀져야 한다. 상세한 설명 그리고 일정한 비율로 작성되지 않아도 되는, 도면은 예시적인 실시예를 예시하고, 본 발명의 범주를 제한하도록 의도되지 않는다. 도시된 예시적인 실시예는 단지 예시로서 의도된다. 임의의 예시적인 실시예의 선택된 특징부가 명확하게 언급되지 않으면 추가적인 실시예 내에 포함될 수 있다.

도 2는 예시적인 웨이퍼 용기(20)를 도시한다. 도 2에 도시된 웨이퍼 용기(20)는 FOUP이다. 본 명세서에 설명되는 실시예가 FOUP와 관련하여 설명되지만, 본 명세서에 개시되는 개념 중 많은 것들이 다른 웨이퍼 용기, 더 구체적으로 다른 전방 개방 웨이퍼 용기에 적용될 수 있다는 것이 본 기술분야의 통상의 기술자에 의해 일반적으로 이해될 것이다.

도 2에 도시된 바와 같이, 웨이퍼 용기는 용기 부분(22) 및 도어(24)를 포함한다. 용기 부분은 로봇 플랜지(30)를 갖는 상부(26), 운동 커플링 판(도시되지 않음)을 갖는 저부(32), 좌측 측면(34), 우측 측면(36), 및 다수의 반도체 웨이퍼를 지지하는 웨이퍼 선반(46)을 갖는 개방 내부(44)로 이어지는 도어 개구(42)를 형성하는 도어 프레임(40)을 포함한다. 도어(24)는 도어(24)가 용기 부분(22)과 결합될 때에 용기 부분(22)의 도어 프레임(40)과 밀봉 결합하여 웨이퍼 용기(20) 내의 기밀 밀봉 환경을 유지하도록 구성된다. 한 쌍의 측면 핸들(28)이 용기 부분(22)의 좌측 및 우측 측면(34, 36) 상에 제공될 수 있고 그에 따라 용기(20)는 작업자에 의해 파지되어 수동으로 이동될 수 있다.

웨이퍼 용기(20)는 다양한 열가소성 중합체 재료, 더 구체적으로 입자 발생을 최소화하도록 설계되는 열가소성 중합체로부터 제조될 수 있다. 일부 경우에, 웨이퍼 용기(20)는 전자 장벽 재료 또는 정전기 소산 재료를 포함할 수 있다. 웨이퍼 용기(20)의 모두는 아니지만 일부가 사출 성형될 수 있다.

도 3은 예시적인 도어(24)의 정면, 근접도를 제공한다. 도어(24)는 사출 성형 또는 기계가공될 수 있고, 용기 부분(22)과 동일 또는 상이한 재료로 형성될 수 있다. 본 개시내용의 다양한 실시예에 따르면, 도어(24)는 FOUP가 로드 포트 상에 도킹될 때에 웨이퍼 용기 도어(24)와 EFEM 사이에 포획될 수 있는 산소의 양을 최소화하도록 구성되는 실질적으로 평탄하거나 매끄러운 외부 표면(50)을 포함하는 단일 편, 일체형 본체 구성을 갖는다. 도어(24)의 외부 표면(50)은 자동화 장비와 인터페이스 접촉하는 데 요구되는 그들 자동화 장비 인터페이스 특징부만 포함한다. 예시적인 자동화 장비 인터페이스 특징부는 키 홀(key hole)(54) 및 도어 핀 소켓(door pin socket)(56)을 포함한다. 키 홀(54)은 그것들이 SEMI 표준 키와 인터페이스 접촉할 수 있도록 형성되고, 도어 핀 소켓(56)은 그것이 SEMI 표준 도어 핀과 인터페이스 접촉할 수 있도록 형성된다. 평탄형 표면이 키 홀(54) 및 소켓(56)을 포위하여 도어의 외부 표면(50)이 SEMI 표준 진공 컵과 인터페이스 접촉하게 한다.

자동화 장비 인터페이스 특징부(54, 56)는 그것들이 자동화 장비와 인터페이스 접촉하는 데 요구되는 최소 체적을 제공하도록 도어(24)의 외부 표면(50) 내에 형성된다. 자동화 장비 인터페이스 특징부(54, 56)는 재료를 기계가공 또는 코어링(coring)을 통해 도어로부터 제거함으로써 형성될 수 있거나, 그것들은 도어(24)의 사출 성형 중에 형성될 수 있다. 일부 경우에, 키 홀(54)은 그것들이 홀 내에서의 SEMI 표준 키의 회전을 허용할 수 있도록 도어의 후방 측면으로부터 코어링된다. 키 홀의 후방 측면은 본 명세서에 더 상세하게 설명되는 바와 같이, 캡 또는 플러그를 포함할 수 있다. 실질적으로 평탄하거나 매끄러운 외부 표면(50)을 제공하는 것 그리고 도어(24)의 외부 표면(50) 내에 형성되는 자동화 장비 특징부의 체적을 최소화하는 것은 웨이퍼 용기(20)가 로드 포트 상에 도킹될 때에 웨이퍼 용기(20)의 도어(24)와 EFEM 사이에 포획될 수 있는 산소 및 다른 가스의 체적을 감소시킬 수 있다. 포획되는 산소 및 다른 가스의 양을 최소화하는 것은 도어(24)가 웨이퍼 용기(20)로부터 제거될 때에 EFEM 내로 방출될 수 있는 산소 및 다른 가스의 양을 저하시킨다.

도 3을 또 다시 참조하면, 일부 실시예에서, 본 명세서에 더 상세하게 설명되는 바와 같이, 도어(24)는 도어 주변부(64) 주위에 분포되어 도어(24)를 용기 부분(22)에 고정하는 데 사용될 수 있는 자성 래칭 시스템의 일부를 형성하는 복수의 자석(60)을 포함할 수 있다. 용기 부분(22)은 도어 주변부(64) 주위에 제공되는 자석(60)과 상호작용하도록 구성되는 대응하는 개수의 자석 또는 철 함유 특징부를 포함할 수 있다. 일부 경우에, 자석(60)은 도어 주변부(64) 내에 제공되는 개별적인 포켓 또는 슬롯(66) 내에 수용된다.

도 4a 및 4b는 각각이 본 개시내용의 상이한 실시예에 따른 도어(24)의 배면도를 제공한다. 도 4a는 웨이퍼 쿠션이 포함되지 않는 도어(24)의 실시예를 도시하고, 반면에 도 4b는 웨이퍼 쿠션(72)이 도어(24)의 후방 측면(74) 상에 제공되는 도어(24)의 실시예를 도시한다. 도 4a 및 4b의 각각에 도시된 바와 같이, 도어 공동이 제거되었고, 복수의 리세스(78)가 도어의 후방 측면(74) 내에 형성된다. 일부 경우에, 리세스(78)는 재료를 예컨대 기계가공 또는 코어링에 의해 도어의 후방 측면으로부터 제거함으로써 형성될 수 있다. 다른 경우에, 리세스(78)는 도어의 사출 성형 중에 형성될 수 있다. 리세스(78)는 하나 이상의 리브(82)를 형성한다.

리브(82)는 도어(24)를 구조적으로 지지하고, 도어의 잠재적인 뒤틀림(warping)을 최소화한다. 일부 실시예에서, 도 4a 및 4b에 도시된 바와 같이, 리브(82)는 그것들이 도어(24)의 중심(86)으로부터 반경방향 외향으로 연장하고 바퀴살 또는 마차 바퀴 구성을 갖도록 리세스(78)에 의해 형성된다. 이것은 하나의 예일 뿐이다. 리세스(78) 및 리브(82)는 다른 구성을 가질 수 있다는 것이 일반적으로 이해될 것이다. 예를 들어, 복수의 리세스(78) 및 리브(82)가 도어(24)의 후방 측면(74)을 따라 격자를 형성할 수 있다. 다른 예에서, 리세스(78) 및 리브(82)는 도어(24)의 후방 측면(74)을 따라 수평으로 또는 수직으로 연장할 수 있다. 또 다른 예에서, 리세스(78) 및 리브(82)는 동심 링을 형성할 수 있다. 일부 경우에, 도시된 바와 같이, 도어는 또한 기계 래칭 기구를 포함하지 않는다.

일부 실시예에서, 도 4b에 도시된 바와 같이, 복수의 웨이퍼 결합 부분(84)을 포함하는 웨이퍼 쿠션(72)이 도어(24)의 후방 측면(74) 상에 제공될 수 있다. 일부 경우에, 웨이퍼 쿠션(72)은 도어의 후방 측면(74) 내에 형성되는 리세스 내에 수용 및 보유된다. 웨이퍼 쿠션(72)은 스냅-끼워맞춤, 압입, 억지 끼워맞춤 또는 다른 보유 수단에 의해 도어(24)의 후방 측면(74) 상에 보유될 수 있다. 도 4b에 도시된 바와 같이, 웨이퍼 쿠션(72)은 도어(24)의 상부(83)로부터 도어(24)의 저부(85)까지 연장하고, 도어(24)의 좌측 및 우측 측면(90, 92)에 대해 중심에 위치된다.

도 5는 도 4b에 도시된 도어(24)의 분해도이다. 도어(24)의 일부의 추가 특징부가 도 5에서 더 쉽게 관찰가능하다. 이것은 도어(24)의 주변부 주위에 연장하는 밀봉부(102) 그리고 도 3을 참조하여 더 이전에 소개된, 복수의 자석(60)을 포함한다. 또한, 도 5에서 더 쉽게 관찰가능한 것은 본 명세서에 개시된 바와 같이, 도어(24)의 외부 표면 내에 형성되는 하나 이상의 자동화 인터페이스 특징부(예컨대, 54)의 후방부를 밀봉하거나, 덮거나, 폐쇄하는 데 사용될 수 있는 하나 이상의 플러그(106) 또는 커버이다. 일부 실시예에서, 도 5에서 관찰될 수 있는 바와 같이, 도어는 도어 공동을 포함하지 않고, 또한 기계 래칭 기구를 포함하지 않는다. 도어 공동을 제거하는 것은 또한 도어 내에 포획되는 산소의 양을 최소화할 수 있다. 도어는 또한 기계 래칭 기구를 포함하지 않는다. 대신에, 복수의 자석(60)이 도어(24)를 용기 본체에 고정하는 데 사용된다.

도 5에 도시된 바와 같이, 도어(24)는 도어 주연부에 인접하여 도어 내로 내향으로 연장하는 밀봉부 수용 홈(도시되지 않음) 내에 보유되는 종종 개스킷으로서도 지칭되는 밀봉부(102)를 포함할 수 있다. 밀봉부 수용 홈은 도어가 도어 프레임 내에 수용될 때에 용기 부분의 내부를 향한다. 홈은 일반적으로 저부 장착 표면, 2개의 대향 측면 표면들, 및 밀봉부(102)를 홈 내에 보유하도록 구성되는 상부 레지 부분 또는 견부를 갖는 채널로서 구성된다. 많은 경우에, 밀봉부(102)는 40-80 듀로미터 경도의 쇼어 A 경도를 가질 수 있는 열가소성 또는 열경화성 탄성중합체로 형성된다. 밀봉부(102)는 도어(24)가 용기 부분과 결합될 때에 웨이퍼 캐리어 내의 기밀 밀봉 환경을 유지하는 것을 돕는다.

밀봉부(102)에 추가하여, 도어(24)는 도어의 주연부 주위에 분포되는 복수의 자성 요소(60)에 의해 형성되는 자성 래칭 시스템을 포함할 수 있다. 각각의 도어 측면은 단일의 자성 요소 또는 다중의 자성 요소(60)를 포함할 수 있다. 자성 요소(60)는 본 기술분야의 통상의 기술자에게 공지된 다양한 자성 재료를 포함할 수 있고, 용기 부분 상에 제공되는 대응하는 자성 요소 또는 철 함유 대응부와 상호작용하여 도어(24)를 도어 프레임 내에 고정하고, 그에 따라 웨이퍼 용기를 폐쇄하여 효과적으로 밀봉할 수 있다. 또한, 자성 요소(60) 중 적어도 일부는 자기장이 요구되지 않은 방향으로 방출되는 것을 차단 또는 차폐하고 자기 에너지를 또 다른 방향, 예컨대 용기 부분 상에 제공되는 대응하는 자성 요소를 향한 방향으로 집속시키기 위해 자성 요소의 적어도 일부 주위를 차폐하는 철 함유 차폐부를 포함할 수 있다. 일부 경우에, 도시된 바와 같이, 도어(24)의 상부(110), 저부(112), 좌측 및 우측 측면(114, 116)의 각각은 2개 이상의 자성 요소(60)를 포함할 수 있다. 일부 경우에, 자성 요소(60)는 도어(24)의 주연부 주위에 서로 동일한 거리만큼 이격될 수 있지만, 그렇게 하지 않아도 된다. 다른 경우에, 예를 들어, 자성 요소(60)는 그것들이 도시된 바와 같이, 도어(24)의 각각의 상부(110) 및 저부(112)를 따라 중심에 위치되고, 도어(24)의 측면(114, 116)을 따라 서로 동일한 거리만큼 이격되도록 함께 묶일 수 있다.

자성 요소(60)는 자성 요소(60)를 수용 및 보유하는 크기를 갖는 복수의 대응하는 채널 또는 슬롯(108) 내에 수용될 수 있다. 자성 요소(60)는 커버(도시되지 않음)와 함께 슬롯(108) 내에 고정될 수 있다. 적절한 고정 방법의 예는 커버를 자성 요소(60) 위의 적절한 위치로 스냅-끼워맞춤, 레이저-용접, 또는 초음파 용접하는 것을 포함할 수 있다. 자성 요소(60)를 포함하는, 도어(24)는 SEMI 표준 로드 포트로 개방될 수 있다.

도 6은 장비 전방 단부 모듈(128)에 인접하여 로드 포트(121) 상에 도킹되는 웨이퍼 캐리어(120)를 도시하는 개략도이다. 본 명세서에 논의된 바와 같이, 웨이퍼 캐리어는 예를 들어, FOUP, FOSB, 또는 MAC과 같은 임의의 전방 개방 웨이퍼 캐리어일 수 있다. 웨이퍼 캐리어(120)가 로드 포트(121) 상에 도킹될 때, 웨이퍼 캐리어 도어(130)와 EFEM 도어(132) 사이에는 작은 간극이 있을 수 있다. 산소 및/또는 다른 가스가 이러한 간극 내에 포획될 수 있다. 포획될 수 있는 산소 및 다른 가스의 양을 최소화하기 위해, 웨이퍼 캐리어(120)의 도어(130)는 그것이 본 명세서에서 다양한 실시예에 따라 설명된 바와 같이, 단일 본체 구성 그리고 EFEM을 향하는 실질적으로 평탄하거나 매끄러운 외부 표면을 갖도록 구성된다. 최소 체적을 갖는 리세스형 자동화 특징부를 포함하는 실질적으로 평탄한 외부 표면을 또한 갖는 도어(130)의 단일 본체 구성은 웨이퍼 캐리어와 장비 전방 단부 모듈 사이에 포획되는 산소를 최소화하고, 그에 따라 EFEM 내에 수용되는 전자 회로에 대한 있을 수 있는 손상을 방지할 수 있다.

도 7은 본 개시내용의 실시예에 따른 웨이퍼 캐리어와 EFEM 사이에 포획되는 산소를 최소화하는 공정 단계(202, 206, 210)를 포함하는 방법(200)을 개략적으로 예시한다. 사용 시, 웨이퍼 캐리어는 로드 포트 상에 도킹되고(블록 202), EFEM의 도어가 개방된다(블록 206). 다음에, 도어가 SEMI 표준 자동화 장비에 의해 웨이퍼 캐리어로부터 분리되고 그에 따라 EFEM이 가공을 위해 웨이퍼 캐리어 내에 수용된 반도체 웨이퍼에 접근하는 것을 허용한다(블록 210). 웨이퍼 캐리어와 EFEM 사이에 포획될 수 있는 산소 및 다른 가스의 양이 최소화될 수 있다. 최소 산소 포획은 EFEM을 향해 외향으로 향하는 실질적으로 평탄하거나 매끄러운 외부 표면을 갖는 도어 그리고 도어의 외부 표면 내에 형성되는 최소 체적을 갖는 자동화 장비 특징부에 기인될 수 있다. 포획되는 산소 및 다른 가스의 양을 최소화하는 것은 도어가 웨이퍼 용기로부터 제거될 때에 EFEM 내로 방출될 수 있는 산소 및 다른 가스의 양을 저하시킨다.

본 개시내용의 여러 개의 예시적인 실시예가 이처럼 설명되었지만, 본 기술분야의 통상의 기술자라면 또 다른 실시예가 본 명세서에 첨부된 청구범위의 범주 내에서 실시 및 사용될 수 있다는 것을 쉽게 이해할 것이다. 본 문서에 의해 포함되는 본 개시내용의 많은 이점이 위의 설명에 기재되었다. 그러나, 본 개시내용은, 많은 관점에서, 예시일 뿐이라는 것이 이해될 것이다. 본 개시내용의 범주를 넘지 않고도 세부적으로, 구체적으로 부품의 형상, 크기, 및 배열의 관점에서, 변화가 수행될 수 있다. 본 개시내용의 범주는, 물론, 첨부된 청구범위가 표현되는 용어로 한정된다.

Claims

전방 개방 웨이퍼 캐리어이며,
상부 벽, 저부 벽, 한 쌍의 측벽, 후방 벽, 및 후방 벽에 대향하는 도어 프레임을 포함하고, 도어 프레임은 전방 개구를 형성하는, 용기 부분; 및
도어 프레임 내에 제거가능하게 수용되어 전방 개구를 폐쇄하는 도어로서, 도어는 단일 본체 구성을 갖고, 전방 개구 표면으로부터 외향 방향으로 향하는 실질적으로 매끄러운 표면을 포함하는, 도어
를 포함하고,
도어는 웨이퍼 캐리어와 장비 전방 단부 모듈 사이에 포획되는 산소를 최소화하는,
웨이퍼 캐리어.
제1항에 있어서, 도어는 도어의 외부 표면 내에 형성되는 적어도 하나의 자동화 인터페이스 특징부를 추가로 포함하는, 웨이퍼 캐리어.
제2항에 있어서, 적어도 하나의 자동화 인터페이스 특징부는 도어의 외부 표면으로부터 리세스형인, 웨이퍼 캐리어.
제2항에 있어서, 적어도 하나의 자동화 인터페이스 특징부는 키 홀인, 웨이퍼 캐리어.
제2항에 있어서, 적어도 하나의 자동화 인터페이스 특징부는 도어 핀 소켓인, 웨이퍼 캐리어.
제1항에 있어서, 도어는 도어의 내부 표면 상에 형성되는 복수의 리브를 포함하는, 웨이퍼 캐리어.
제6항에 있어서, 복수의 리브는 도어의 중심 부분으로부터 반경방향 외향으로 연장하는, 웨이퍼 캐리어.
제1항에 있어서, 도어의 주연부 주위에 연장하는 탄성중합체 밀봉부를 추가로 포함하고, 탄성중합체 밀봉부는 도어가 도어 프레임 내에 수용될 때에 도어 프레임 상의 구조물과 결합하여 포위 부분을 기밀 밀봉하는, 웨이퍼 캐리어.
제1항에 있어서, 도어의 후방 측면 상에 배치되는 웨이퍼 쿠션을 추가로 포함하는, 웨이퍼 캐리어.
제1항에 있어서, 도어 주변부 주위에 분포되고, 도어 프레임의 내부 주변부 주위에 제공되는 대응하는 요소와 상호작용하도록 구성되는, 복수의 자석을 추가로 포함하는, 웨이퍼 캐리어.
제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서, 도어는 기계 래칭 기구를 포함하지 않는, 웨이퍼 캐리어.
웨이퍼 용기이며,
전방 개구를 갖는 용기 부분;
용기 부분과 밀봉 결합하도록 구성되는 도어로서, 도어는 단일 본체 구성을 갖고, 전방 개구로부터 외향 방향으로 향하는 실질적으로 평탄한 제1 표면 그리고 대향하는 제2 표면을 포함하고, 제1 표면은 하나 이상의 리세스형 자동화 인터페이스 특징부를 포함하고, 제2 표면은 내부에 형성되는 하나 이상의 리세스를 포함하는, 도어; 및
도어의 주연부 주위에 연장하는 개스킷으로서, 개스킷은 도어가 용기 부분의 전방 개구 내에 수용될 때에 용기 부분과 결합하여 용기 부분을 기밀 밀봉하는, 개스킷
을 포함하는, 웨이퍼 용기.
제12항에 있어서, 도어의 제2 표면 내에 형성되는 리세스는 복수의 리브를 형성하는, 웨이퍼 용기.
제13항에 있어서, 리브는 도어의 중심으로부터 반경방향 외향으로 연장하는, 웨이퍼 용기.
제12항에 있어서, 하나 이상의 자동화 인터페이스 특징부는 키 홀을 포함하는, 웨이퍼 용기.
제12항에 있어서, 하나 이상의 자동화 인터페이스 특징부는 도어 핀 소켓을 포함하는, 웨이퍼 용기.
제12항 내지 제16항 중 어느 한 항에 있어서, 도어는 기계 래칭 기구를 포함하지 않는, 웨이퍼 캐리어.
웨이퍼 캐리어와, 도어를 갖는 장비 전방 단부 모듈 사이에 포획되는 산소를 최소화하는 방법이며,
웨이퍼 캐리어를 장비 전방 단부 모듈의 개구에 인접하여 로드 포트 상에 도킹하는 단계로서, 웨이퍼 캐리어는 용기 부분 및 도어를 포함하고, 도어는 단일 본체 구성을 갖고, 제1 표면 및 제2 표면을 포함하고, 제1 표면은 실질적으로 평탄하고, 장비 전방 단부 모듈의 개구를 향하는 방향으로 향하고, 하나 이상의 리세스형 자동화 인터페이스 특징부를 포함하고, 제2 표면은 도어에 대한 구조적인 지지를 제공하는 하나 이상의 리브를 포함하는, 단계;
장비 전방 단부 인터페이스 모듈의 도어를 개방하는 단계; 및
도어를 웨이퍼 캐리어의 용기 부분으로부터 분리하는 단계
를 포함하는, 방법.