KR20160085214A

KR20160085214A - Ultraviolet curing treatment system

Info

Publication number: KR20160085214A
Application number: KR1020160000250A
Authority: KR
Inventors: 미노루 아라야마; 가즈오 오바타; 야스토 세키네; 히로요시 신도
Original assignee: 이와사키 덴끼 가부시키가이샤
Priority date: 2015-01-07
Filing date: 2016-01-04
Publication date: 2016-07-15
Also published as: JP2016123944A; JP6645009B2; CN105750176A; TW201634114A; TWI652110B

Abstract

An ultraviolet curing system facilitates an operation of controlling ambient gas which is supplied to a purge box. A film coating system (1) comprises: an ultraviolet curing device into which ambient gas adapted to reduce concentration of oxygen is introduced, and which includes a purge box (16) adapted such that a work (2) passes through an interior thereof, and an irradiator (14) adapted to irradiate the work (2) inside the purge box (16) with an ultraviolet ray; a nitrogen gas flow rate control panel (8) which includes an electro-pneumatic regulator (71) adapted to control pressure of ambient gas, to be discharged from the purge box (16), in response to an input signal, and which controls flow rate of the ambient gas, to be introduced into the purge box (16), through control of the discharge pressure; an actuation device (10) which is a remote actuation device adapted to remotely actuate the electro-pneumatic regulator (71) provided in the nitrogen gas flow rate control panel (8).

Description

[0001] ULTRAVIOLET CURING TREATMENT SYSTEM [0002]

본 발명은, 워크에 자외선을 조사해서 자외선 경화 처리하는 시스템에 관한 것이다. The present invention relates to a system for irradiating a work with ultraviolet rays to perform ultraviolet curing treatment.

예를 들어 인쇄 시스템이나 필름 코팅 시스템 등에서는, 워크에 자외선을 조사해서 자외선 경화 처리하는 자외선 경화 처리 시스템이 사용되고 있다. 인쇄 시스템을 예로 들면, 워크인 시트에 자외선 경화형의 UV 잉크를 도포한 후, 워크를 반송하면서 자외선 조사기에 의해 자외선을 조사하고, UV 잉크를 자외선 경화시켜 시트에 정착시킴으로써 인쇄가 행해진다. For example, in a printing system or a film coating system, an ultraviolet curing treatment system for irradiating a workpiece with ultraviolet rays is used. As an example of a printing system, printing is performed by applying ultraviolet curable UV ink onto a work-in sheet, then irradiating the ultraviolet light with an ultraviolet light irradiator while curing the work, and UV-

자외선 경화 처리 시스템에 있어서는, 자외선 경화의 효율을 높이기 위해, 산소 농도를 저하시킨 분위기 하에서 자외선을 워크에 조사하는 기술도 알려져 있다. 예를 들어, 인쇄 시스템에 있어서, 질소 가스를 내부에 도입함으로써 산소 농도를 저하시킨 질소 퍼지 박스를 구비하고, 이 질소 퍼지 박스의 내부에 시트를 통과시키고, 당해 내부에서 자외선을 조사하는 기술이 알려져 있다(예를 들어, 특허문헌 1 참조). In the ultraviolet curing treatment system, there is also known a technique of irradiating ultraviolet rays to a work under an atmosphere with a reduced oxygen concentration in order to increase the efficiency of ultraviolet curing. For example, in a printing system, there is known a technique in which a nitrogen purge box in which a nitrogen gas is introduced into the inside of the printing system to lower the oxygen concentration, a sheet is passed through the inside of the nitrogen purge box and the inside is irradiated with ultraviolet rays (See, for example, Patent Document 1).

일본 특허 공개 제2014-65204호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2014-65204

일반적으로, 질소 퍼지 박스와 질소 공급원을 연결하는 배관 경로에는, 질소 퍼지 박스에 흐르게 하는 질소 가스의 유량을 조정하는 질소 가스 유량 조정 장치가 설치되어 있고, 질소 가스 유량 조정 장치에 설치된 조작부를 작업자가 조작해서 유량 조정이 행해져 있다. Generally, a pipe path connecting the nitrogen purge box and the nitrogen supply source is provided with a nitrogen gas flow rate regulating device for regulating the flow rate of the nitrogen gas flowing in the nitrogen purge box. And the flow rate is adjusted by operating.

그러나, 대규모의 자외선 경화 처리 시스템에 있어서는, 자외선 조사기를 포함하는 본체와 질소 가스 유량 조정 장치가 상당히 이격되어 설치되는 경우가 많이 있다. 이와 같은 경우, 작업자가 질소 가스의 유량 조정을 위해, 일부러 본체를 이격시켜 질소 가스 유량 조정 장치의 원래까지 이동할 필요가 있어 작업이 매우 번잡하다. However, in the case of a large-scale ultraviolet curing treatment system, there are many cases where the main body including the ultraviolet ray irradiator and the nitrogen gas flow rate adjusting device are installed at a considerable distance from each other. In this case, in order to adjust the flow rate of the nitrogen gas, the operator is required to separate the main body from the main body so as to move to the original position of the nitrogen gas flow rate adjusting device, and the operation is very troublesome.

본 발명은, 퍼지 박스에 공급하는 분위기 가스의 조정 조작을 용이하게 하는 자외선 경화 처리 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.An object of the present invention is to provide an ultraviolet curing processing system which facilitates an operation of adjusting an atmospheric gas to be supplied to a purge box.

상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 산소 농도를 낮추는 분위기 가스가 내부에 도입되고, 당해 내부를 워크가 통과하는 퍼지 박스와, 상기 퍼지 박스의 내부에 위치한 워크에 자외선을 조사하는 자외선 조사기를 가진 자외 경화용 장치와, 상기 분위기 가스의 상기 퍼지 박스에의 토출 압력을 입력 신호에 따라서 제어하는 전공 레귤레이터를 구비하고, 상기 토출 압력의 조정에 의해 상기 퍼지 박스에 도입되는 상기 분위기 가스의 유량을 조정하는 유량 조정 장치와, 상기 유량 조정 장치가 구비하는 전공 레귤레이터를 원격 조작하는 원격 조작 장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 자외선 경화 처리 시스템을 제공한다. In order to achieve the above object, the present invention provides a purge box having an atmosphere gas for lowering the oxygen concentration introduced therein, a purge box through which the work passes, and an ultraviolet irradiator for irradiating a work located inside the purge box with ultraviolet rays And a pneumatic regulator for controlling the discharge pressure of the atmospheric gas to the purge box in accordance with an input signal to adjust the flow rate of the atmospheric gas introduced into the purge box by adjusting the discharge pressure And a remote control device for remotely operating an electropneumatic regulator provided in the flow rate regulating device.

또한 본 발명은 상기 자외선 경화 처리 시스템에 있어서, 상기 유량 조정 장치는, 이상 발생 시에 상기 퍼지 박스에의 분위기 가스의 공급을 차단하는 전자기 밸브를 구비하고, 상기 전공 레귤레이터는, 상기 전자기 밸브의 상류측에 설치되어 있는 것을 특징으로 한다. Further, in the ultraviolet curing treatment system according to the present invention, it is preferable that the flow rate regulating device includes an electromagnetic valve that interrupts supply of the atmospheric gas to the purge box when an abnormality occurs, and the electropneumatic regulator includes: And is installed on the side of the vehicle.

또한 본 발명은 상기 자외선 경화 처리 시스템에 있어서, 상기 자외 경화용 장치 및 상기 유량 조정 장치에 전력을 공급하는 전원 장치를 구비하고, 상기 원격 조작 장치는 유저 조작을 접수하는 조작부와, 상기 유저 조작에 기초하여 상기 입력 신호를 생성하고, 당해 입력 신호를 상기 유량 조정 장치에 출력하는 신호 생성부를 구비하고, 상기 전원 장치가, 상기 조작부 및 상기 신호 생성부를 구비하는 것을 특징으로 한다. In the ultraviolet curing treatment system according to the present invention, it is preferable that the ultraviolet curing treatment system further comprises a power supply device for supplying electric power to the ultraviolet curing device and the flow rate adjusting device, wherein the remote control device comprises an operation part for accepting a user operation, And a signal generating section for generating the input signal based on the input signal and outputting the input signal to the flow rate adjusting device, wherein the power supply device includes the operation section and the signal generating section.

또한 본 발명은 상기 자외선 경화 처리 시스템에 있어서, 상기 조작부는, 상기 전원 장치를 원격 조작하는 장치에 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.In the ultraviolet curing treatment system according to the present invention, the operating unit is provided in an apparatus for remotely operating the power supply unit.

본 발명에서는, 유량 조정 장치가 전공 레귤레이터를 구비하고, 이 전공 레귤레이터를 원격 조작하는 원격 조작 장치를 구비하므로, 유저는 유량 조정 조작을 위해 유량 조정 장치로 이동할 필요는 없어, 원격 조작 장치를 사용해서 신속하게, 또한 간단하게 유량 조정 조작할 수 있다.In the present invention, since the flow rate regulating device includes the electropneumatic regulator and the remote control device for remotely controlling the electropneumatic regulator, the user does not have to move to the flow rate regulator for the flow rate regulating operation, The flow rate can be adjusted quickly and easily.

도 1은 본 발명의 실시 형태에 관한 필름 코팅 시스템의 개략 구성을 도시하는 도면이다.
도 2는 퍼지 박스의 단면을 조사기 및 롤러와 함께 도시하는 확대도이다.
도 3은 퍼지 박스의 구성을 롤러와 함께 도시하는 사시도이다.
도 4는 전공 레귤레이터의 토출 압력과, 분기관마다의 유량 검출값의 합계 값과의 관계를 도시하는 도면이다.
도 5는 토출 압력과 퍼지 박스의 산소 농도 검출값과의 관계를 도시하는 도면이다.
도 6은 작업자가 행하는 질소 유량 조정 수순을 나타내는 흐름도이다.
도 7은 조작 장치의 터치 패널에 있어서의 표시예를 도시하는 도면이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is a diagram showing a schematic configuration of a film coating system according to an embodiment of the present invention. Fig.
Fig. 2 is an enlarged view showing a cross section of the purge box together with an irradiator and a roller. Fig.
3 is a perspective view showing the configuration of the purge box together with the rollers.
4 is a diagram showing the relationship between the discharge pressure of the electropneumatic regulator and the sum of the flow rate detection values for each branch pipe.
5 is a diagram showing the relationship between the discharge pressure and the oxygen concentration detection value of the purge box.
6 is a flowchart showing the nitrogen flow rate adjustment procedure performed by the operator.
7 is a diagram showing an example of display on the touch panel of the operating device.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시 형태에 대해서 설명한다. Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

본 실시 형태에서는, 자외선 경화 처리 시스템의 일 형태로서, 필름 코팅 시스템을 예시한다. In this embodiment, as one form of the ultraviolet curing processing system, a film coating system is exemplified.

도 1은, 본 실시 형태에 따른 필름 코팅 시스템(1)의 개략 구성을 도시하는 도면이다. 1 is a view showing a schematic configuration of a film coating system 1 according to the present embodiment.

필름 코팅 시스템(1)은, 자외선 경화형의 코팅제가 도포된 워크(2)에 자외선을 조사해서 코팅제를 자외선 경화시키는 시스템이며, 워크(2)는, 예를 들어 광학 필름 등의 각종의 필름상의 재료이다. The film coating system 1 is a system for ultraviolet curing a coating agent by irradiating ultraviolet rays onto a workpiece 2 coated with a coating agent of ultraviolet curing type and the workpiece 2 is a system of various film materials such as an optical film to be.

도 1에 도시하는 바와 같이, 이 필름 코팅 시스템(1)은 장치 본체인 자외 경화용 장치(4)와, 전원 장치(6)와, 질소 가스 유량 조정반(8)과, 조작 장치(10)를 구비하고 있다. 1, the film coating system 1 includes an ultraviolet curing device 4 as a device body, a power source device 6, a nitrogen gas flow rate adjusting device 8, an operation device 10, .

자외 경화용 장치(4)는, 자외선 경화 처리를 행하는 주 장치이며, 반송 기구(12)와, 복수(도시예에서는 2개)의 조사기(14)와, 퍼지 박스(16)를 구비하고 있다. The ultraviolet curing device 4 is a main device for performing ultraviolet curing processing and includes a transport mechanism 12, a plurality of (two in the illustrated example) irradiators 14, and a purge box 16.

반송 기구(12)는 워크(2)를 반송하는 장치이며, 이 워크(2)를 주회동시키는 롤러(19)를 구비하고 있다. 롤러(19)는 모터(도시하지 않음)에 직결되거나, 혹은 커플링을 통해 감속기를 경유하여 모터에 접속되어 회전 구동된다. 또한, 롤러(19) 대신에, 워크(2)를 반송하는 임의의 기구를 사용할 수도 있다. The transport mechanism 12 is a device for transporting the workpiece 2 and is provided with a roller 19 for rotating the workpiece 2. As shown in FIG. The roller 19 is directly connected to a motor (not shown), or connected to the motor via a reduction gear via a coupling, and is rotationally driven. Instead of the roller 19, an arbitrary mechanism for conveying the work 2 may be used.

조사기(14)는, 자외선을 워크(2)에 조사하는 자외선 조사기이며, 롤러(19)의 주위면에 대면 배치되어 있다. 조사기(14)의 광원에는, 코팅제의 경화 속도를 신속하게 하여 코팅 처리의 스루풋 향상을 도모하기 위해, 고출력 타입의 자외선 방전 램프(20)(예를 들어 수은 램프 등)가 사용되고 있다. The irradiator 14 is an ultraviolet irradiator for irradiating the work 2 with ultraviolet rays, and is arranged to face the peripheral surface of the roller 19. [ A high output type ultraviolet discharge lamp 20 (for example, a mercury lamp or the like) is used as the light source of the irradiator 14 in order to speed up the curing speed of the coating agent and improve the throughput of the coating process.

퍼지 박스(16)는 내부를 워크(2)가 통과하고, 이 워크(2)에 대해 산소 농도를 낮춘 분위기 하에서 자외선 조사를 하기 위해 설치되어 있다. 퍼지 박스(16)에는, 분위기 가스로서 불활성 가스가 주입됨으로써, 내부에 존재하는 산소가 엷어지고, 당해 산소의 농도(이하, 「산소 농도」라고 함)가 낮추어져 있다. 이 필름 코팅 시스템(1)이 불활성 가스에 사용하는 가스는 질소 가스이며, 질소 가스 대신에, 헬륨 가스나 네온 가스, 아르곤 가스 등의 희가스를 불활성 가스에 사용할 수도 있다. The purge box 16 is provided so that the work 2 passes through the inside of the purge box 16 and irradiates the work 2 with ultraviolet rays under an atmosphere of lowered oxygen concentration. In the purge box 16, the inert gas is injected as the atmospheric gas, so that the oxygen existing therein becomes thinner and the concentration of the oxygen (hereinafter referred to as " oxygen concentration ") is lowered. The gas used for the inert gas in the film coating system 1 is a nitrogen gas. Instead of the nitrogen gas, a rare gas such as helium gas, neon gas or argon gas may be used as the inert gas.

도 2는 퍼지 박스(16)의 단면을 조사기(14) 및 롤러(19)와 함께 도시하는 확대도이며, 도 3은 퍼지 박스(16)의 구성을 롤러(19)와 함께 도시하는 사시도이다. Fig. 2 is an enlarged view showing the cross section of the purge box 16 together with the irradiator 14 and the roller 19. Fig. 3 is a perspective view showing the configuration of the purge box 16 together with the roller 19. Fig.

도 2 및 도 3에 도시하는 바와 같이, 퍼지 박스(16)는, 롤러(19)의 주위면(19A)이 삽입되는 개구(24)를 가진 하우징(25)을 구비하고 있다. 이 하우징(25)에는, 개구(24)로부터 삽입된 롤러(19)의 주위면(19A)에 대면하는 개소에, 도 3에 도시하는 바와 같이, 당해 롤러(19)의 폭 방향으로 연장되는 자외선 도입창(26)이 설치되어 있다. 조사기(14)는 자외선 조사구(14A)를 자외선 도입창(26)을 향하여 배치되고, 자외선 조사구(14A)로부터 조사된 자외선이 자외선 도입창(26)을 통하여 퍼지 박스(16)에 도입되어 롤러(19)의 주위면(19A)에 조사된다. 이 퍼지 박스(16)는 파장 필터 등의 적절한 광학 필터(27)가 자외선 도입창(26)에 설치되어 있고, 자외선 경화 처리에 적합한 광학 특성의 자외선이 주위면(19A)에 조사된다. 2 and 3, the purge box 16 is provided with a housing 25 having an opening 24 into which the peripheral surface 19A of the roller 19 is inserted. As shown in Fig. 3, the housing 25 is provided with an ultraviolet ray (ultraviolet ray) 25 extending in the width direction of the roller 19, at a portion facing the peripheral surface 19A of the roller 19 inserted from the opening 24, An introduction window 26 is provided. The irradiator 14 is disposed with the ultraviolet ray irradiation port 14A directed toward the ultraviolet ray introduction window 26 and the ultraviolet ray emitted from the ultraviolet ray irradiation port 14A is introduced into the purge box 16 through the ultraviolet ray introduction window 26 And is irradiated onto the peripheral surface 19A of the roller 19. [ In the purge box 16, a suitable optical filter 27 such as a wavelength filter is provided in the ultraviolet ray introduction window 26, and ultraviolet rays having optical characteristics suitable for the ultraviolet ray curing treatment are irradiated to the peripheral surface 19A.

워크(2)는 롤러(19)의 회동에 수반하여 개구(24)로부터 퍼지 박스(16) 중에 유도되고, 퍼지 박스(16) 중에서 자외선이 조사되어 코팅제가 자외선 경화되고(자외선 경화 처리되고), 개구(24)로부터 배출된다. The work 2 is guided into the purge box 16 from the opening 24 with the rotation of the roller 19. Ultraviolet rays are irradiated from the purge box 16 and the coating agent is ultraviolet cured and ultraviolet cured, And is discharged from the opening 24.

또한 퍼지 박스(16)에는, 도 2 및 도 3에 도시하는 바와 같이, 롤러(19)의 폭 방향으로 연장되어 하우징(25)을 관통하는 복수개(도시예에서는 6개)의 분위기 가스 도입 파이프(30)가 설치되어 있다. 분위기 가스 도입 파이프(30)는 분위기 가스를 퍼지 박스(16)의 내부에 도입하고, 당해 내부에 분출하는 파이프이다. 즉, 분위기 가스 도입 파이프(30)의 주위면에는, 다수의 노즐 개구(31)가 롤러(19)의 폭에 걸쳐서 설치되어 있고, 이들 노즐 개구(31)로부터 분위기 가스가 분사된다. 이 분위기 가스의 분사에 의해 퍼지 박스(16) 중 산소 농도가 낮추어진다. 2 and 3, the purge box 16 is provided with a plurality (six in the illustrated example) of atmosphere gas introduction pipes (not shown) extending in the width direction of the rollers 19 and penetrating the housing 25 30 are provided. The atmospheric gas introducing pipe 30 is a pipe for introducing the atmospheric gas into the inside of the purge box 16 and spouting it into the inside thereof. That is, on the circumferential surface of the atmospheric gas introducing pipe 30, a plurality of nozzle openings 31 are provided over the width of the rollers 19, and atmospheric gas is injected from these nozzle openings 31. The oxygen concentration in the purge box 16 is lowered by the injection of the atmospheric gas.

특히, 이 퍼지 박스(16)에서는, 도 2에 도시하는 바와 같이, 분위기 가스 도입 파이프(30)는, 자외선 도입창(26)으로부터 도입된 자외선이 조사되는 조사 개소 P에 분위기 가스를 분사하는 위치에 설치되어 있다. 따라서, 조사 개소 P를 포함하는 범위가 분위기 가스가 풍부한 상태로 유지되게 되고, 다른 개소에 비해 상대적으로 산소 농도가 낮은 상태 하에서 자외선 조사가 효율적으로 행해진다. 2, the atmospheric gas introducing pipe 30 is disposed at a position for spraying the atmospheric gas to the irradiation spot P irradiated with the ultraviolet ray introduced from the ultraviolet ray introducing window 26. In this purge box 16, Respectively. Therefore, the range including the irradiation spot P is maintained in a state rich with the atmospheric gas, and the ultraviolet ray irradiation is efficiently performed under the condition that the oxygen concentration is relatively low as compared with other portions.

또한, 도 1의 자외 경화용 장치(4)에는, 자외선 경화 처리에 필요로 하는 주요한 구성을 도시하고 있다. 즉, 자외 경화용 장치(4)는, 도 1에 도시하는 구성 외에도, 워크(2)에 코팅제를 도포하는 장치나, 자외선 경화 처리 후에 워크(2)의 코팅면을 건조하는 장치 등의, 필름 코팅 처리의 실시에 필요로 하는 각종의 장치나 부재를 구비하고 있다. In addition, the ultraviolet curing device 4 shown in Fig. 1 shows a main structure required for ultraviolet curing treatment. That is, in addition to the configuration shown in Fig. 1, the ultraviolet curing device 4 may be a device for applying a coating agent to the workpiece 2, a device for drying the coated surface of the workpiece 2 after ultraviolet curing treatment, And various devices and members necessary for carrying out the coating treatment.

전술한 도 1로 되돌아가, 전원 장치(6)는 상용 전원(34)의 전력을 필름 코팅 시스템(1)의 각 부에 공급하는 장치이다. 상용 전원(34)은, 이 필름 코팅 시스템(1)이 설치되는 시설에 공급되어 있는 상용의 교류 전력이다. 전원 장치(6)는, 상용 전원(34)의 상용 전력을 전력 변환하는 전력 변환 장치(35)를 구비하고, 전력 변환 장치(35)가 자외 경화용 장치(4) 및 질소 가스 유량 조정반(8)을 가동시키는 전력을 생성한다. 이 전원 장치(6)는, 통상, 시설이 구비하는 전원 설비(예를 들어 분전반이나 배전반) 등의 근방에 설치되고, 이 전원 장치(6)와 자외 경화용 장치(4) 사이는, 고압전력을 전송하는 고압선(36), 전력의 제어 신호를 전송하는 제어선(37)에 의해 접속되어 있다. 고압선(36)의 고압전력은, 예를 들어 조사기(14)에 공급되어 자외선 방전 램프(20)의 점등에 사용된다. 전력의 제어 신호에는, 전력값의 안정화 제어 등의 각종의 제어에 필요로 하는 신호가 포함되어 있다. Returning to Fig. 1, the power supply device 6 is a device for supplying the power of the commercial power supply 34 to each part of the film coating system 1. Fig. The commercial power source 34 is commercial AC power supplied to the facility where the film coating system 1 is installed. The power supply device 6 is provided with a power conversion device 35 for converting the commercial power of the commercial power supply 34 and the power conversion device 35 is connected to the ultraviolet curing device 4 and the nitrogen gas flow rate regulator 8). This power supply device 6 is usually provided in the vicinity of a power supply facility (such as a distribution board or an electric distribution panel) provided in the facility and the power supply device 6 and the ultraviolet curing device 4 are provided with a high- A high-voltage line 36 for transmitting a control signal for controlling power, and a control line 37 for transmitting a control signal for power. The high-voltage power of the high-voltage line 36 is supplied to the irradiator 14, for example, and is used for lighting the ultraviolet discharge lamp 20. The control signal of the power includes signals required for various controls such as stabilization control of the power value.

또한, 전원 장치(6)와 질소 가스 유량 조정반(8) 사이는, 당해 질소 가스 유량 조정반(8)의 구동 전력을 전송하는 전원선(38)에 의해 접속되어 있다. The power supply unit 6 and the nitrogen gas flow rate adjusting unit 8 are connected by a power supply line 38 for transmitting the driving power of the nitrogen gas flow rate adjusting unit 8. [

이 전원 장치(6)가 설치되는 장소는, 상술한 바와 같이, 시설의 전원 설비의 위치에 의존하는 경우가 있고, 반드시, 자외 경화용 장치(4)의 근방에 배치된다고는 할 수 없다. 전원 장치(6)가 자외 경화용 장치(4)로부터 이격되어 설치되어 있는 경우, 자외 경화용 장치(4)를 조작하고 있는 작업자는, 전원의 투입/차단 등의 전원 조작 시에, 일부러 전원 장치(6)까지 이동할 필요가 있어, 작업성이 나쁘다. 특히 자외 경화용 장치(4)가 설치된 방 B(예를 들어 클린룸 등)와는 다른 방에 전원 장치(6)가 배치되어 있는 경우에는, 방 사이를 왕래할 필요가 있어, 작업성이 더 나쁘다. The place where this power supply device 6 is installed may depend on the position of the power supply facility of the facility as described above and it is not necessarily located near the ultraviolet curing device 4. [ When the power supply device 6 is provided apart from the ultraviolet curing device 4, the operator who operates the ultraviolet curing device 4 can not operate the power supply device 6, (6), and the workability is poor. Particularly, when the power supply unit 6 is disposed in a room different from the room B (for example, a clean room) in which the ultraviolet curing device 4 is installed, it is necessary to pass between the rooms and workability is worse .

따라서, 이 필름 코팅 시스템(1)에서는, 전원 장치(6)를 원격 조작하는 조작 장치(10)가 자외 경화용 장치(4)의 근방, 또는 당해 자외 경화용 장치(4)에 설치되어 있다. Therefore, in the film coating system 1, the operating device 10 for remotely operating the power supply device 6 is provided in the vicinity of the ultraviolet curing device 4 or in the ultraviolet curing device 4.

조작 장치(10)는, 통신선(39)에 의해 전원 장치(6)와 통신 가능하게 접속되어 있고, 작업자의 조작을 접수하고, 이 조작을 통신에 의해 전원 장치(6)에 송신한다. 또한, 전원 장치(6)와 조작 장치(10) 사이의 통신은, 유선에 한하지 않고 무선 통신이어도 된다. 또한, 이 통신에는 임의의 프로토콜을 사용할 수 있다. The operating device 10 is communicably connected to the power supply device 6 by a communication line 39 and accepts the operation of the operator and transmits the operation to the power supply device 6 by communication. The communication between the power supply device 6 and the operating device 10 may be wireless communication instead of the wired communication. In addition, an arbitrary protocol can be used for this communication.

이 조작 장치(10)는, 조작자의 일례인 터치 패널(40)을 구비하고, 이 터치 패널(40)에는, 각종의 정보가 표시되어 있다. 이 정보에는, 필름 코팅 시스템(1)을 사용한 자외선 경화 처리에 관한 각종의 파라미터가 포함되어 있다. 이 파라미터에는, 예를 들어 질소 가스 유량 조정반(8)이 토출하는 질소 가스의 토출 압력이 포함되지만, 이에 대해서는 후술한다. The operation device 10 includes a touch panel 40, which is an example of an operator, and various kinds of information are displayed on the touch panel 40. This information includes various parameters related to the ultraviolet curing treatment using the film coating system 1. This parameter includes, for example, the discharge pressure of the nitrogen gas discharged by the nitrogen gas flow rate regulator 8, which will be described later.

또한, 조작 장치(10)가, 이들 각종의 정보를 표시하는 표시 장치를, 터치 패널(40)과는 별도로 구비할 수도 있다. 또한, 조작 장치(10)는, 터치 패널(40) 대신에 임의의 조작자를 구비할 수도 있다. In addition, the operating device 10 may be provided separately from the touch panel 40 with a display device for displaying these various types of information. In addition, the operating device 10 may be provided with an arbitrary operator instead of the touch panel 40. [

질소 가스 유량 조정반(8)은, 질소 가스 공급원(42)에 접속되고, 질소 가스를 분위기 가스로서 퍼지 박스(16)에 공급하는 장치이다. 질소 가스 공급원(42)은, 시설이 구비하는 설비이며, 예를 들어 다수의 질소 가스 봄베 등을 구비하여 구성되어 있다. The nitrogen gas flow rate regulator 8 is connected to a nitrogen gas supply source 42 and supplies nitrogen gas to the purge box 16 as atmosphere gas. The nitrogen gas supply source 42 is a facility provided in the facility, and is composed of, for example, a plurality of nitrogen gas cylinders.

이 질소 가스 유량 조정반(8)이 설치되는 장소는, 질소 가스 공급원(42)에 따른 장소에 설치되어 자외 경화용 장치(4)의 근방과는 한하지 않고, 질소 가스 공급원(42)의 위치에 따라서 배치된다. The place where the nitrogen gas flow rate regulator 8 is provided is not limited to the vicinity of the ultraviolet curing device 4 provided at the place corresponding to the nitrogen gas supply source 42 but the position of the nitrogen gas supply source 42 .

질소 가스 유량 조정반(8)은, 질소 가스 공급원(42)과 가스 배관(46)에 의해 접속되고, 이 가스 배관(46)에는 MR 유닛(44) 및 압력계(45)가 설치되어 있다. The nitrogen gas flow rate regulator 8 is connected by a nitrogen gas supply source 42 and a gas piping 46. The gas piping 46 is provided with an MR unit 44 and a pressure gauge 45. [

MR 유닛(44)은, 감압 밸브와, 질소 가스로 수분이나 진애를 제거하는 제거 유닛을 구비한 장치이며, 압력계(45)는 가스 배관(46) 중 가스압을 검출하는 계기이다. The MR unit 44 is a device having a pressure reducing valve and a removing unit for removing water and dust with nitrogen gas. The pressure gauge 45 is a device for detecting gas pressure in the gas pipe 46.

작업자는 필름 코팅 시스템(1)을 가동시킬 때에는, 압력계(45)의 값을 확인하면서, MR 유닛(44)의 감압 밸브의 밸브를 수동 조작하여, 질소 가스 공급원(42)으로부터 질소 가스 유량 조정반(8)에 공급하는 질소 가스의 압력을 소정값으로 조정한다. The operator manually operates the valve of the pressure reducing valve of the MR unit 44 while confirming the value of the pressure gauge 45 to start the film coating system 1 from the nitrogen gas supply source 42, The pressure of the nitrogen gas to be supplied to the exhaust pipe 8 is adjusted to a predetermined value.

질소 가스 유량 조정반(8)은, 퍼지 박스(16)와의 사이가 가스 배관(48)에 의해 접속되어 있다. 이 필름 코팅 시스템(1)에서는, 가스 배관(48)은 1개가 아니라, 퍼지 박스(16)가 구비하는 복수개 분만큼 질소 가스 유량 조정반(8)으로부터 인출되어 있다. The nitrogen gas flow rate adjuster 8 is connected to the purge box 16 by a gas pipe 48. In this film coating system 1, the gas pipe 48 is not drawn one but is pulled out from the nitrogen gas flow rate adjuster 8 by a plurality of the purge box 16.

구체적으로는, 도 1에 도시하는 바와 같이, 질소 가스 유량 조정반(8)의 내부에는, 질소 가스 공급원(42)의 가스 배관(46)이 접속되는 도입관(60)과, 이 도입관(60)을 분위기 가스 도입 파이프(30)의 개수 분만큼 분기하는 분기관(61)을 구비하고 있다. 이들 분기관(61)마다 가스 배관(48)이 접속되고, 이들 가스 배관(48)이 분위기 가스 도입 파이프(30)의 각각에 접속되어 있다. 이들 분기관(61) 각각의 및 가스 배관(48)의 각각은, 가스 저항이나 유량에 차이를 발생시키지 않는 정도로 직경 및 길이가 갖추어져 있다. 1, an inlet pipe 60 to which a gas pipe 46 of the nitrogen gas supply source 42 is connected, and an inlet pipe 60 to which the gas pipe 46 of the nitrogen gas supply source 42 is connected are provided in the inside of the nitrogen gas flow rate adjuster 8. [ 60 branched by the number of the atmospheric gas introduction pipes 30. A gas piping 48 is connected to each branch pipe 61 and these gas piping 48 is connected to each of the atmospheric gas introduction pipes 30. Each of these branch pipes 61 and each of the gas pipes 48 is provided with a diameter and a length so as not to cause a difference in gas resistance or flow rate.

도입관(60)에는 상시 개방된 전자기 밸브(62)가 설치되어 있고, 각종의 이상 발생 시에 폐쇄 제어되고, 퍼지 박스(16)에의 질소 가스의 공급이 차단된다. The introduction pipe 60 is provided with an electromagnetic valve 62 which is normally open and is controlled to be closed when various anomalies are generated and the supply of nitrogen gas to the purge box 16 is interrupted.

또한, 이 질소 가스 유량 조정반(8)은, 도 1에 도시하는 바와 같이, 산소 농도 검출 기구(66)와, 유량 조정 기구(67)를 구비하고 있다. 1, the nitrogen gas flow rate regulator 8 is provided with an oxygen concentration detecting mechanism 66 and a flow rate adjusting mechanism 67.

산소 농도 검출 기구(66)는, 퍼지 박스(16) 중 산소 농도를 검출하는 기구이며, 샘플 도입 배관(68)과, 산소 농도계(69)와, 샘플 전환 전자기 밸브(70)를 구비하고 있다. 샘플 도입 배관(68)은, 퍼지 박스(16) 중 가스를 채취하여 산소 농도 검출 기구(66)에 도입하기 위해 설치된 배관이다. 퍼지 박스(16)에는 내부에 관통하는 배관 접속 개구(50)(도 1)가 복수의 개소에 설치되어 있고, 각각의 배관 접속 개구(50)에, 샘플 도입 배관(68)이 접속되어 있다. The oxygen concentration detecting mechanism 66 is a mechanism for detecting the oxygen concentration in the purge box 16 and has a sample introduction pipe 68, an oxygen concentration meter 69 and a sample switching electromagnetic valve 70. The sample introduction pipe 68 is a pipe installed to collect the gas from the purge box 16 and introduce it into the oxygen concentration detecting mechanism 66. A pipe connection opening 50 (FIG. 1) penetrating the inside of the purge box 16 is provided at a plurality of locations. A sample introduction pipe 68 is connected to each pipe connection opening 50.

이들 샘플 도입 배관(68)은, 질소 가스 유량 조정반(8)의 내부에서 샘플 전환 전자기 밸브(70)에 접속되고, 이 샘플 전환 전자기 밸브(70)에는 산소 농도계(69)가 접속되어 있다. The sample introducing piping 68 is connected to the sample switching electromagnetic valve 70 in the nitrogen gas flow rate adjusting unit 8 and the sample concentration electromagnetic valve 70 is connected to the oxygen concentration meter 69.

샘플 전환 전자기 밸브(70)는, 샘플 도입 배관(68)을 택일적으로 선택하고, 당해 샘플 도입 배관(68)으로부터 도입되는 가스를 산소 농도계(69)에 공급한다. 산소 농도계(69)는, 샘플 전환 전자기 밸브(70)로부터 공급되는 가스의 산소 농도를 검출한다. The sample switching electromagnetic valve 70 alternatively selects the sample introduction piping 68 and supplies the gas introduced from the sample introduction piping 68 to the oxygen concentration meter 69. The oxygen concentration meter 69 detects the oxygen concentration of the gas supplied from the sample switching electromagnetic valve 70.

이 산소 농도 검출 기구(66)는, 샘플 전환 전자기 밸브(70)가 샘플 도입 배관(68)을 일정시간마다 순차적으로 전환해서 선택한다. 이에 의해, 퍼지 박스(16)의 배관 접속 개구(50)의 각각으로 채취되는 산소 농도가 순차적으로 검출되고, 배관 접속 개구(50)의 각각의 산소 농도의 편차나 평균값 등의 각종의 값이 구해진다. The oxygen concentration detecting mechanism 66 selects and switches the sample introducing piping 68 in sequence at predetermined time intervals by the sample switching electromagnetic valve 70. Thereby, the oxygen concentration collected in each of the pipe connection openings 50 of the purge box 16 is sequentially detected, and various values such as the deviation and the average value of the respective oxygen concentrations of the pipe connection openings 50, It becomes.

유량 조정 기구(67)는, 도입관(60)에 설치된 전공 레귤레이터(71)와, 분기관(61)의 각각에 설치된 스피드 컨트롤러(74) 및 유량 센서(72)를 구비하고 있다. The flow rate adjustment mechanism 67 is provided with an electropneumatic regulator 71 provided in the introduction pipe 60 and a speed controller 74 and a flow rate sensor 72 provided in each branch pipe 61.

전공 레귤레이터(71)는, 도입관(60)에의 토출 압력을 제어하는 레귤레이터이며, 통상 분위기(비진공 상태)에서 사용된다. 토출 압력이 제어에 의해 조정됨으로써, 분기관(61)의 각각을 흐르는 질소 가스의 유량이 일괄적으로 조정된다. The electropneumatic regulator 71 is a regulator for controlling the discharge pressure to the introduction pipe 60 and is used in a normal atmosphere (non-vacuum state). The discharge pressure is adjusted by the control so that the flow rate of the nitrogen gas flowing through each branch pipe 61 is collectively adjusted.

스피드 컨트롤러(74)는, 분기관(61)을 흐르는 질소 가스의 유량을 조정하고, 유량 센서(72)는, 이 분기관(61)을 흐르는 질소 가스의 유량을 검출한다. The speed controller 74 adjusts the flow rate of the nitrogen gas flowing through the branch pipe 61 and the flow rate sensor 72 detects the flow rate of the nitrogen gas flowing through the branch pipe 61.

분기관(61)의 각각의 유량에 편차가 발생하고 있는 등으로 하여, 각각을 개별로 조정할 필요가 있는 경우에는, 스피드 컨트롤러(74)를 사용해서 조정이 행해진다. It is necessary to individually adjust the flow rate of each of the branch pipes 61, and the adjustment is carried out by using the speed controller 74.

도 4는 전공 레귤레이터(71)의 토출 압력과, 분기관(61)마다의 유량 검출값의 합계값과의 관계를 도시하는 도면이며, 도 5는 토출 압력과 퍼지 박스(16)의 산소 농도 검출값과의 관계를 도시하는 도면이다. 4 is a diagram showing the relationship between the discharge pressure of the electropneumatic regulator 71 and the total value of the flow rate detection values for each branch pipe 61. FIG 5 is a graph showing the relationship between the discharge pressure and the oxygen concentration detection of the purge box 16 And a relationship between the value and the value.

도 4에 도시하는 바와 같이, 분기관(61)의 유량은 전공 레귤레이터(71)의 토출 압력에 대략 정비례하고 있고, 원하는 유량에 대응하는 토출 압력을 지시함으로써, 분기관(61)의 각각의 유량을 일괄적으로 조정할 수 있는 것을 알 수 있다. 4, the flow rate of the branch pipe 61 is directly proportional to the discharge pressure of the electropneumatic regulator 71, and by indicating the discharge pressure corresponding to the desired flow rate, the respective flow rates of the branch pipes 61 Can be collectively adjusted.

또한 도 5에 도시하는 바와 같이, 도 4에 있어서 토출 압력과 유량이 대략 정비례하는 토출 압력 범위 W에서는, 토출 압력을 높일수록 산소 농도가 낮춰져 매우 낮은 값으로 유지되는 것을 알 수 있다. As shown in Fig. 5, in the discharge pressure range W in which the discharge pressure and the flow rate are substantially directly proportional to each other as shown in Fig. 4, the oxygen concentration is lowered as the discharge pressure is increased, and is maintained at a very low value.

전술한 도 1로 되돌아가, 이 질소 가스 유량 조정반(8)에는, 조작 패널(73)이 설치되어 있다. Returning to Fig. 1, the nitrogen gas flow rate adjuster 8 is provided with an operation panel 73.

이 조작 패널(73)에는, 표시 패널(도시하지 않음)과, 조작자(도시하지 않음)가 설치되어 있다. 표시 패널은, 전공 레귤레이터(71)의 토출 압력, 산소 농도계(69)의 산소 농도 및 유량 센서(72)의 유량의 각각의 값을 표시한다. 또한 조작자는 전공 레귤레이터(71)의 토출 압력, 스피드 컨트롤러(74) 및 전자기 밸브(62)의 유저 조작에 사용된다. The operation panel 73 is provided with a display panel (not shown) and an operator (not shown). The display panel displays respective values of the discharge pressure of the electropneumatic regulator 71, the oxygen concentration of the oxygen concentration meter 69, and the flow rate of the flow rate sensor 72. The operator is also used for operating the discharge pressure of the electropneumatic regulator 71, the speed controller 74 and the electromagnetic valve 62.

작업자는 조작 패널(73)의 표시를 보면서 전공 레귤레이터(71)나 스피드 컨트롤러(74)를 조정하고, 또한 작업자는, 필요에 따라서 전자기 밸브(62)를 폐쇄하여 질소 가스의 공급을 차단한다. The operator adjusts the electropneumatic regulator 71 and the speed controller 74 while watching the display of the operation panel 73 and the operator also closes the electromagnetic valve 62 as necessary to cut off the supply of the nitrogen gas.

그러나, 이 질소 가스 유량 조정반(8)은, 상술한 바와 같이, 반드시, 자외 경화용 장치(4)의 근방에 배치된다고는 할 수 없다. 따라서, 자외 경화용 장치(4)를 조작하고 있는 작업자는, 전공 레귤레이터(71), 산소 농도계(69) 및 유량 센서(72)의 값의 확인이나 전공 레귤레이터(71)의 토출 압력 조정을 위해, 질소 가스 유량 조정반(8)의 조작 패널(73)까지 이동할 필요가 있어 작업성이 나쁘다. 또한, 질소 가스의 유량 조정에 필요로 하는 시간은, 질소 가스 유량 조정반(8)의 원래까지 작업자가 이동하는 시간분을 손실하게 된다.However, the nitrogen gas flow rate regulating plate 8 is not always located near the ultraviolet curing device 4 as described above. Therefore, the operator who operates the ultraviolet curing apparatus 4 needs to check the values of the electropneumatic regulator 71, the oxygen concentration meter 69, and the flow rate sensor 72, or adjust the discharge pressure of the electropneumatic regulator 71, It is necessary to move to the operation panel 73 of the nitrogen gas flow rate adjuster 8 and the workability is poor. Further, the time required for adjusting the flow rate of the nitrogen gas is such that the amount of time for the operator to travel until the original of the nitrogen gas flow rate adjuster 8 is lost.

따라서, 이 필름 코팅 시스템(1)에서는, 전원 장치(6)의 조작 장치(10)가 질소 가스 유량 조정반(8)의 원격 조작 기능을 구비한 원격 조작 장치로서 구성되어 있다. 조작 장치(10)가 원격 조작 기능을 구비하므로, 작업자는 자외 경화용 장치(4)의 옆에서 작업하면서, 조작 장치(10)를 조작해서 질소 가스 유량 조정반(8)의 전공 레귤레이터(71)를 원격 조작하고, 토출 압력을 조정할 수 있다. Therefore, in this film coating system 1, the operation device 10 of the power supply device 6 is configured as a remote control device having a remote operation function of the nitrogen gas flow rate adjuster 8. The operator can operate the operation device 10 to operate the electropneumatic regulator 71 of the nitrogen gas flow rate regulator 8 while working on the side of the ultraviolet curing device 4 because the operation device 10 has a remote operation function, And the discharge pressure can be adjusted.

질소 가스 유량 조정반(8)의 원격 조작 기능을 실현하는 구성에 대해서 상세하게 설명하면, 조작 장치(10)는 접수한 유저 조작을 전원 장치(6)에 출력한다. 전원 장치(6)와, 질소 가스 유량 조정반(8)은, 서로 통신 가능하게 통신선(80)으로 접속되어 있고, 전원 장치(6)는 통신선(80)을 통해서 유저 조작을 질소 가스 유량 조정반(8)에 입력하고 또한 질소 가스 유량 조정반(8)은, 이 유저 조작에 기초하여 토출 압력을 조정한다. 따라서, 질소 가스 유량 조정반(8)으로부터 이격된 위치(원격)에서 작업자가 조작 장치(10)를 조작해도, 이 조작이 질소 가스 유량 조정반(8)에 입력되고, 토출 압력이 조정되게 된다. Describing in detail the configuration for realizing the remote control function of the nitrogen gas flow rate adjuster 8, the operation device 10 outputs the received user operation to the power supply device 6. [ The power supply unit 6 and the nitrogen gas flow rate adjusting unit 8 are connected to each other via a communication line 80 so that they can communicate with each other. (8), and the nitrogen gas flow rate adjuster (8) adjusts the discharge pressure based on this user operation. Therefore, even if the operator operates the operating device 10 at a position (remotely) away from the nitrogen gas flow rate adjuster 8, this operation is input to the nitrogen gas flow rate adjuster 8 and the discharge pressure is adjusted .

또한 질소 가스 유량 조정반(8)은, 전공 레귤레이터(71)의 토출 압력, 산소 농도계(69)의 산소 농도 및 유량 센서(72)의 유량을 전원 장치(6)에 통신선(80)을 통해서 송신한다. 그리고, 당해 전원 장치(6)가 조작 장치(10)에 출력하고, 당해 조작 장치(10)가 전공 레귤레이터(71), 산소 농도계(69) 및 유량 센서(72)의 각각의 값을 터치 패널(40)에 표시한다. 이에 의해 작업자는, 이들 값을 질소 가스 유량 조정반(8)까지 가지 않아도 자외 경화용 장치(4)의 옆에서 작업하면서 확인할 수 있다. The nitrogen gas flow rate adjuster 8 also transmits the discharge pressure of the electropneumatic regulator 71, the oxygen concentration of the oxygen concentration meter 69 and the flow rate of the flow rate sensor 72 to the power supply device 6 via the communication line 80 do. The power supply device 6 outputs the power supply device 6 to the operating device 10 and the operating device 10 supplies the respective values of the electropneumatic regulator 71, the oxygen concentration meter 69 and the flow rate sensor 72 to the touch panel 40). Thus, the operator can confirm these values while working on the side of the ultraviolet curing device 4 without going to the nitrogen gas flow rate adjuster 8.

질소 가스 유량 조정반(8)이 구비하는 전공 레귤레이터(71)는, 토출 압력을 지시하는 지시 신호 D(입력 신호)를 외부의 장치로부터 입력함으로써, 분위기 가스의 퍼지 박스(16) 내에의 토출 압력을 전기 제어 가능한 디바이스이다. 즉, 전공 레귤레이터(71)는 레귤레이터(71A)와, 이 레귤레이터(71A)에 설치된 전기 회로 유닛(71B)을 구비하고 있다. 이 전기 회로 유닛(71B)은, 지시 신호 D가 입력되는 입력 회로와, 당해 지시 신호 D에 따라서 토출 압력을 무단계로 조정하는 조정 회로를 구비하고 있다. The electropneumatic regulator 71 included in the nitrogen gas flow rate regulating unit 8 inputs an instruction signal D (input signal) for instructing the discharge pressure from an external device to thereby control the discharge pressure Is an electrically controllable device. That is, the electropneumatic regulator 71 includes a regulator 71A and an electric circuit unit 71B provided in the regulator 71A. The electric circuit unit 71B includes an input circuit to which the instruction signal D is inputted and an adjustment circuit for steplessly adjusting the discharge pressure in accordance with the instruction signal D. [

여기서 전공 레귤레이터(71)는, 토출 압력의 제어 시에는, 가스 흡입측에 일정 이상의 가스압이 가해짐으로써, 양호한 응답 속도로 토출 압력이 제어된다. 이 전공 레귤레이터(71)가 설치되는 도입관(60)에는, 밸브체인 전자기 밸브(62)도 설치되어 있다. 이 전자기 밸브(62)보다도, 분위기 가스의 흐름을 따른 상류측에 전공 레귤레이터(71)가 배치되어 있으므로, 응답 속도가 전자기 밸브(62)의 개방도에 의해 손상되는 일이 없다. Here, at the time of controlling the discharge pressure, the electropneumatic regulator 71 controls the discharge pressure at a satisfactory response speed by applying a gas pressure equal to or higher than a certain level to the gas suction side. An electromagnetic valve (62) as a valve chain is also provided in the introduction pipe (60) where the electropneumatic regulator (71) is installed. Since the electropneumatic regulator 71 is arranged on the upstream side of the electromagnetic valve 62 along the flow of the atmospheric gas, the response speed is not damaged by the opening degree of the electromagnetic valve 62.

이 필름 코팅 시스템(1)에서는, 관련된 전공 레귤레이터(71)를 전원 장치(6)가 외부로부터 제어하도록 구성되어 있다. In this film coating system 1, the power source device 6 is configured to control the associated electropneumatic regulator 71 from the outside.

구체적으로는, 전원 장치(6)는 PLC 회로(83)와, 통신 회로(84)를 구비하고 있다. PLC 회로(83)는, 조작 장치(10)에 대한 작업자의 조작에 기초하여 전공 레귤레이터(71)의 지시 신호 D를 생성해서 통신 회로(84)에 출력하는 프로그램 가능 로직 제어기(Programmable Logic Controller)이다. Specifically, the power supply device 6 is provided with a PLC circuit 83 and a communication circuit 84. The PLC circuit 83 is a programmable logic controller that generates an instruction signal D of the electropneumatic regulator 71 and outputs it to the communication circuit 84 based on the operation of the operator with respect to the operation device 10 .

이 PLC 회로(83)에는, 토출 압력의 유저 지시값과, 전공 레귤레이터(71)에 입력하는 지시 신호 D의 대응을 미리 기억한 메모리가 설치되어 있고, PLC 회로(83)는, 당해 대응에 기초하여 지시 신호 D를 생성한다. 통신 회로(84)는 통신선(80)을 통해서 질소 가스 유량 조정반(8)과 통신하는 회로이다. The PLC circuit 83 is provided with a memory that previously stores the user indicated value of the discharge pressure and the correspondence of the instruction signal D input to the electropneumatic regulator 71. The PLC circuit 83 calculates, Thereby generating an instruction signal D. The communication circuit 84 is a circuit that communicates with the nitrogen gas flow rate adjuster 8 through the communication line 80.

한편, 질소 가스 유량 조정반(8)은, 상기 전원 장치(6)와 통신선(80)을 통해서 통신하는 통신 회로(85)를 구비하고, 이들 통신 회로(84, 85)의 통신을 통해서, 상기 지시 신호 D가 전원 장치(6)로부터 질소 가스 유량 조정반(8)에 송신된다. On the other hand, the nitrogen gas flow rate regulating unit 8 includes a communication circuit 85 for communicating with the power supply unit 6 via the communication line 80. Through the communication of these communication circuits 84 and 85, The instruction signal D is transmitted from the power supply unit 6 to the nitrogen gas flow rate regulating unit 8. [

질소 가스 유량 조정반(8)은, 전원 장치(6)로부터 지시 신호 D를 수신하면, 이 지시 신호 D를 전공 레귤레이터(71)에 입력하고, 전공 레귤레이터(71)가 지시 신호 D에 기초하여 토출 압력을 조정한다. The nitrogen gas flow rate adjustment unit 8 receives the instruction signal D from the power supply unit 6 and inputs the instruction signal D to the electropneumatic regulator 71. The electropneumatic regulator 71 outputs the instruction signal D based on the instruction signal D Adjust the pressure.

이에 의해, 작업자는, 자외 경화용 장치(4)의 옆에 있으면서 조작 장치(10)에 토출 압력의 지시값을 입력하는 조작을 함으로써, 질소 가스 유량 조정반(8)의 전공 레귤레이터(71)가 원격 조작되어, 퍼지 박스(16)에 흐르는 질소 가스의 유량이 조정되게 된다. Thereby, the operator can perform the operation of inputting the instruction value of the discharge pressure to the operation device 10 while being on the side of the ultraviolet curing device 4, so that the electropneumatic regulator 71 of the nitrogen gas flow rate adjuster 8 The flow rate of the nitrogen gas flowing into the purge box 16 is adjusted.

도 6은, 작업자가 필름 코팅 시스템(1)을 가동시킬 때 행하는 질소 유량 조정 수순을 나타내는 흐름도이다. 6 is a flow chart showing a nitrogen flow rate adjustment procedure performed when the operator operates the film coating system 1. Fig.

도 6에 도시하는 바와 같이, 작업자는, 우선, 질소 가스 공급원(42)의 도시하지 않은 밸브를 조작하는 등으로 하여 가스 배관(46)에의 질소 가스의 공급을 개시하고(스텝 S1), MR 유닛(44)에 의해 질소 가스 중의 진애나 미스트를 제거한다(스텝 S2). 6, the operator first starts supplying nitrogen gas to the gas piping 46 by operating a valve (not shown) of the nitrogen gas supply source 42 (step S1) And the gas or mist in the nitrogen gas is removed by the gas sensor 44 (step S2).

계속해서, 작업자는, MR 유닛(44)에 내장의 감압 밸브를 압력계(45)의 값을 확인하면서 소정의 압력값으로 조정한다(스텝 S3). 이에 의해, 질소 가스 유량 조정반(8)에 소정 압력값으로 일정하게 유지된 질소 가스가 공급된다. Subsequently, the operator adjusts the pressure reducing valve built in the MR unit 44 to a predetermined pressure value while checking the value of the pressure gauge 45 (step S3). Thereby, the nitrogen gas flow rate regulator 8 is supplied with the nitrogen gas kept constant at a predetermined pressure value.

계속해서 작업자는, 전원 장치(6)와 질소 가스 유량 조정반(8)을 통신시키고, 전공 레귤레이터(71)를 전원 장치(6)의 조작 장치(10)로부터 원격 조작 가능한 상태로 한다(스텝 S4). 이에 의해, 조작 장치(10)가 전공 레귤레이터(71)의 원격 조작 장치로서 기능하게 되고, 작업자는 조작 장치(10)를 사용해서 전공 레귤레이터(71)의 토출 압력을 원격 조작할 수 있게 된다. Subsequently, the operator communicates the power supply unit 6 and the nitrogen gas flow rate adjusting unit 8, and puts the electropneumatic regulator 71 into a state in which it can be operated remotely from the operating device 10 of the power supply unit 6 (step S4 ). Thereby, the operating device 10 functions as a remote operating device of the electropneumatic regulator 71, and the operator can operate the discharging pressure of the electropneumatic regulator 71 remotely by using the operating device 10. [

그리고 작업자가 조작 장치(10)를 조작해서 전공 레귤레이터(71)를 원격 조작해서 토출 압력을 소정의 값으로 조정하면(스텝 S5), 이 질소 가스 유량 조정반(8)으로부터 퍼지 박스(16)에 질소 가스 도입된다. 이 결과, 퍼지 박스(16) 중은 전공 레귤레이터(71)의 토출 압력에 따른 산소 농도(도 5)로 유지된다. When the operator manipulates the operating device 10 to remotely operate the electropneumatic regulator 71 to adjust the discharge pressure to a predetermined value (step S5), the nitrogen gas flow rate regulator 8 is supplied to the purge box 16 Nitrogen gas is introduced. As a result, the purge box 16 is maintained at the oxygen concentration (FIG. 5) corresponding to the discharge pressure of the electropneumatic regulator 71.

도 7은 조작 장치(10)의 터치 패널(40)에 있어서의 표시예를 도시하는 도면이다. Fig. 7 is a diagram showing an example of display on the touch panel 40 of the operating device 10. Fig.

터치 패널(40)에는, 자외 경화용 장치(4)의 조사기(14)의 가동 상태 및 질소 가스의 공급 상태를 나타내는 가동 상태 표시란(75)에 추가하여, 각종의 설정값을 표시하는 설정값 표시란(76)이 설정되어 있다. 이 설정값 표시란(76)에는, 전공 레귤레이터(71)의 토출 압력(도시 예에서는, 「전공 레귤레이터 출력」)을 표시하는 표시란(76A)이 설정되어 있다. 이 표시란(76A)의 표시에 의해, 작업자는 전공 레귤레이터(71)의 현재의 값(설정값)을 질소 가스 유량 조정반(8)으로부터 이격되어 있어도 알 수 있다. The touch panel 40 is provided with a set value for displaying various set values in addition to the movable state display field 75 indicating the operating state of the irradiation device 14 of the ultraviolet curing device 4 and the supply state of the nitrogen gas, A display field 76 is set. In the set value display field 76, a display field 76A for displaying the discharge pressure of the electropneumatic regulator 71 (in the illustrated example, " electropneumatic regulator output ") is set. With the display of this display field 76A, the operator can know the current value (set value) of the electropneumatic regulator 71 even if it is separated from the nitrogen gas flow rate adjuster 8. [

또한, 이 조작 장치(10)는, 터치 패널(40)의 설정값 표시란(76)에의 터치 조작에 의해, 각종의 설정값(유저 지시값)의 입력 조작을 접수해서 전원 장치(6)에 송신한다. The operation device 10 receives an input operation of various set values (user indicated values) by touching the set value display field 76 of the touch panel 40 and inputs the set values to the power supply device 6 .

작업자가 전공 레귤레이터(71)를 원격 조작하는 경우에는, 표시란(76A)을 터치 조작하여, 토출 압력의 지시값을 터치 조작에 의해 입력하게 된다. When the operator operates the electropneumatic regulator 71 remotely, the display column 76A is touched to input the instruction value of the discharge pressure by the touch operation.

이 터치 패널(40)은, 산소 농도계(69)의 산소 농도 및 유량 센서(72)의 유량을 표시하는 「모니터 화면」에 화면 표시를 전환하는 「모니터」 버튼(77)이 설치되어 있다. The touch panel 40 is provided with a "monitor" button 77 for switching the screen display on the "monitor screen" for displaying the oxygen concentration of the oxygen concentration meter 69 and the flow rate of the flow rate sensor 72.

작업자는 「모니터 버튼」(77)을 조작해서 모니터 화면을 표시함으로써, 산소 농도나 유량을 모니터링할 수 있다. The operator can monitor the oxygen concentration and the flow rate by operating the " monitor button " 77 to display the monitor screen.

그리고 어떠한 요인에 의해, 산소 농도계(69)가 소정의 값까지 저하되지 않는 경우에는, 작업자는 전공 레귤레이터(71)의 토출 압력을 높이도록 조작 장치(10)를 조작해서 전공 레귤레이터(71)를 원격 조작하게 된다(도 6 스텝 S6). If the oxygen concentration meter 69 does not drop to a predetermined value due to any factor, the operator operates the operating device 10 to raise the discharge pressure of the electropneumatic regulator 71, (Step S6 in Fig. 6).

또한, 작업자는 모니터 화면의 표시에 의해 분기관(61)의 각각으로 유량에 편차가 발생하고 있다고 판단한 경우, 퍼지 박스(16) 중에 산소 농도 불균일이 발생할 우려가 있으므로, 스피드 컨트롤러(74)를 사용해서 유량의 조정을 행한다(도 6 스텝 S7). 이 스피드 컨트롤러(74)에 대한 조작은, 질소 가스 유량 조정반(8)의 조작 패널(73)을 사용해서 행해지지만, 전공 레귤레이터(71)와 마찬가지로, 조작 장치(10)의 터치 패널(40)로부터 원격 조작 가능하게 구성해도 좋다. Further, when the operator judges that the deviation of the flow rate is generated in each of the branch pipes 61 by the display of the monitor screen, there is a possibility that oxygen concentration unevenness may occur in the purge box 16, so that the speed controller 74 is used And the flow rate is adjusted (step S7 in Fig. 6). The operation of the speed controller 74 is performed by using the operation panel 73 of the nitrogen gas flow rate adjuster 8. The operation of the touch panel 40 of the operation device 10 is the same as that of the electropneumatic regulator 71, Or may be configured to be remotely operable.

또한 터치 패널(40)에는, 도 7에 도시하는 바와 같이, 이상 발생 시에 질소 가스 공급을 긴급 정지하기 위해 조작하는 「이상」 버튼(78)이 설치되어 있다. 이 「이상」 버튼(78)의 조작은, 지시 신호 D와 마찬가지로, 전원 장치(6)를 통해서 질소 가스 유량 조정반(8)에 입력되고, 질소 가스 유량 조정반의 도시하지 않은 제어 회로가, 이 입력에 기초하여 전자기 밸브(62)를 폐쇄 제어한다. As shown in Fig. 7, the touch panel 40 is provided with an " Abnormal " button 78 for operating to stop the supply of the nitrogen gas in an emergency. The operation of the " Abnormal " button 78 is inputted to the nitrogen gas flow rate adjuster 8 through the power supply 6 in the same manner as the instruction signal D, And controls the electromagnetic valve 62 to be closed based on the input.

따라서, 작업자가 도 6의 스텝 S5에 있어서 질소 가스를 자외 경화용 장치(4)에 공급 개시했을 때, 또는, 자외 경화용 장치(4)의 가동 중에 어떠한 이상을 찰지했을 때에는, 조작 장치(10)의 「이상」 버튼(78)을 조작한다. 이에 의해, 질소 가스 유량 조정반(8)의 원격 조작에 의해 질소 가스 공급을 신속하게 차단할 수 있다(도 6 스텝 S8). Therefore, when the operator starts supplying nitrogen gas to the ultraviolet curing device 4 in step S5 of Fig. 6 or when any abnormality is caught during the operation of the ultraviolet curing device 4, the operation device 10 The " abnormal " button 78 of Fig. Thereby, the supply of the nitrogen gas can be cut off promptly by the remote operation of the nitrogen gas flow rate regulator 8 (step S8 in Fig. 6).

또한 터치 패널(40)에는, 메인 메뉴 화면에 표시를 전환하는 「메인」 버튼이나, PLC 회로(83)의 설정 화면에 표시를 전환하는 「PLC」 버튼 등의 각종의 버튼도 설치되어 있다. The touch panel 40 is also provided with various buttons such as a "main" button for switching display on the main menu screen and a "PLC" button for switching display on the setting screen of the PLC circuit 83.

이상 설명한 바와 같이, 본 실시 형태에 따르면, 질소 가스 유량 조정반(8)이 유량을 조정하는 레귤레이터로서, 전공 레귤레이터(71)를 구비하고, 이 전공 레귤레이터(71)를 원격 조작하는 조작 장치(10)를 구비하는 구성으로 하였다. As described above, according to the present embodiment, the nitrogen gas flow rate adjuster 8 is provided with the electropneumatic regulator 71 as the regulator for regulating the flow rate, and the operation device 10 ).

이에 의해, 작업자(유저)는 질소 가스의 유량 조정 조작을 위해 질소 가스 유량 조정반(8)으로 이동할 필요는 없고, 조작 장치(10)를 사용해서 신속하게, 또한 간단하게 유량 조정 조작을 할 수 있다. Thereby, the operator (user) does not need to move to the nitrogen gas flow rate adjusting unit 8 for the flow rate adjusting operation of the nitrogen gas, and can perform the flow rate adjusting operation quickly and easily using the operation device 10 have.

또한 유량 조정의 레귤레이터가 전공 레귤레이터(71)이기 때문에, 토출 압력이 수동 조정되는 것이 아니라, 전자 제어에 의해 조정된다. 이에 의해, 정확하고 또한 신속하게 토출 압력을 소정의 값으로 유지하고, 퍼지 박스(16) 중 산소 농도를 소정의 값까지 신속하게 낮추어 유지할 수 있다. Further, since the regulator for regulating the flow rate is the electropneumatic regulator 71, the discharge pressure is not manually adjusted but is adjusted by electronic control. Thereby, the discharge pressure can be accurately and quickly maintained at a predetermined value, and the oxygen concentration in the purge box 16 can be quickly lowered to a predetermined value and maintained.

또한 본 실시 형태에 따르면, 질소 가스 유량 조정반(8)은, 이상 발생 시에 퍼지 박스(16)에의 질소 가스의 공급을 차단하는 전자기 밸브(62)를 구비하고, 전공 레귤레이터(71)는, 이 전자기 밸브(62)의 상류측에 설치되는 구성으로 하였다. According to the present embodiment, the nitrogen gas flow rate regulating unit 8 is provided with an electromagnetic valve 62 for interrupting the supply of nitrogen gas to the purge box 16 when an abnormality occurs, and the electropneumatic regulator 71, Is provided on the upstream side of the electromagnetic valve (62).

이 구성에 의해, 전공 레귤레이터(71)의 응답 속도가 전자기 밸브(62)의 개방도에 영향이 미치는 일은 없다. With this configuration, the response speed of the electropneumatic regulator 71 does not affect the opening degree of the electromagnetic valve 62.

또한 본 실시 형태에서는, 자외 경화용 장치(4) 및 질소 가스 유량 조정반(8)에 전력을 공급하는 전원 장치(6)를 구비하고, 이 전원 장치(6)가, 전공 레귤레이터(71)의 작업자 조작을 접수하는 조작부인 조작 장치(10)와, 이 작업자의 조작에 기초하여 전공 레귤레이터(71)의 지시 신호 D를 생성해서 질소 가스 유량 조정반(8)에 출력하는 PLC 회로(83)를 신호 생성부로서 구비하는 구성으로 하였다. The present embodiment further includes a power supply unit 6 for supplying electric power to the ultraviolet curing unit 4 and the nitrogen gas flow rate adjusting unit 8. The power supply unit 6 is connected to the main- A PLC circuit 83 for generating an instruction signal D of the electropneumatic regulator 71 and outputting it to the nitrogen gas flow rate regulating unit 8 based on the operation of the operator, And a signal generator.

이에 의해, 질소 가스 유량 조정반(8)의 원격 조작을 위한 통신선(80)을, 전원 장치(6)의 전원선(38)과 통합해서 부설할 수 있다. The communication line 80 for remote operation of the nitrogen gas flow rate regulator 8 can be integrated with the power source line 38 of the power source device 6. [

또한, 질소 가스 유량 조정반(8)을 원격 조작하는 원격 조작 장치를 별도로 구비할 필요가 없으므로, 시스템 구성이 간략화된다. Further, there is no need to separately provide a remote control device for remotely operating the nitrogen gas flow rate adjuster 8, so that the system configuration is simplified.

또한 본 실시 형태에 따르면, 전원 장치(6)를 원격 조작하는 조작 장치(10)가, 전공 레귤레이터(71)를 조작하는 조작부의 기능을 갖는 구성으로 하였다. According to the present embodiment, the operating device 10 for remotely operating the power supply device 6 has a function as an operating portion for operating the electropneumatic regulator 71. [

이에 의해, 작업자는 자외 경화용 장치(4)의 옆에서 작업하면서, 멀리에 설치된 전원 장치(6) 및 질소 가스 유량 조정반(8)을 원격 조작할 수 있어, 작업의 효율화가 도모된다. As a result, the operator can remotely operate the power supply device 6 and the nitrogen gas flow rate adjusting unit 8 provided at a distance while working on the side of the ultraviolet curing device 4, thereby improving the work efficiency.

또한, 상술한 실시 형태는, 어디까지나 본 발명의 일 형태를 예시하는 것이며, 본 발명의 주지를 일탈하지 않는 범위에서 임의로 변형 및 응용이 가능하다. The above-described embodiments are merely illustrative of one embodiment of the present invention, and can be arbitrarily modified and applied without departing from the gist of the present invention.

예를 들어, 전원 장치(6)와 질소 가스 유량 조정반(8) 사이의 통신은, 통신선(80)에 의한 유선 통신에 한정되지 않고, 무선 통신이어도 좋고 또한 통신의 프로토콜은 임의이다. For example, the communication between the power supply unit 6 and the nitrogen gas flow rate regulating unit 8 is not limited to wired communication by the communication line 80, but may be wireless communication, and the protocol of communication is arbitrary.

또한 예를 들어, 상술한 실시 형태에서는, 산소 농도를 낮추기 위해, 전공 레귤레이터(71)의 토출 압력을 원격 조작에 의해 설정하는 구성으로 하였다. 이 구성에 한정되지 않고, PLC 회로(83)가 소정의 프로그램에 따라서 산소 농도를 지정하고, 질소 가스 유량 조정반(8)이 당해 산소 농도의 지정을 받아, 이 산소 농도를 실현하도록 전공 레귤레이터(71)의 토출 압력을 조정하는 구성으로 해도 좋다.For example, in the above-described embodiment, the discharge pressure of the electropneumatic regulator 71 is set by remote control in order to lower the oxygen concentration. The present invention is not limited to this configuration and the PLC circuit 83 may designate the oxygen concentration in accordance with a predetermined program and the nitrogen gas flow rate regulator 8 receives the designation of the oxygen concentration to realize the oxygen concentration, 71 may be adjusted.

또한 예를 들어, 본 발명은 필름 코팅 시스템(1)에 한정되지 않고, 자외선 경화형의 재료를 자외선 조사에 의해 경화시키는 자외선 경화 처리를 포함하는 시스템이면, 임의의 시스템에 적용할 수 있다.For example, the present invention is not limited to the film coating system 1, but can be applied to any system as long as it includes a UV curing treatment for curing an ultraviolet curable material by ultraviolet irradiation.

1 : 필름 코팅 시스템(자외선 경화 처리 시스템)
2 : 워크
4 : 자외 경화용 장치
6 : 전원 장치
8 : 질소 가스 유량 조정반(유량 조정 장치)
10 : 조작 장치(원격 조작 장치)
14 : 조사기(자외선 조사기)
16 : 퍼지 박스
30 : 분위기 가스 도입 파이프
40 : 터치 패널(조작부)
62 : 전자기 밸브
71 : 전공 레귤레이터
71A : 레귤레이터
71B : 전기 회로 유닛
76 : 설정값 표시란
76A : 표시란
80 : 통신선
83 : PLC 회로(신호 생성부)
84, 85 : 통신 회로
D : 지시 신호(입력 신호) 1: Film Coating System (UV Curing System)
2: Work
4: Apparatus for ultraviolet curing
6: Power supply
8: Nitrogen gas flow rate adjusting device (flow rate adjusting device)
10: Operation device (remote operation device)
14: irradiator (ultraviolet irradiator)
16: purge box
30: atmosphere gas introduction pipe
40: Touch panel (control panel)
62: electromagnetic valve
71: Major Regulator
71A: Regulator
71B: electric circuit unit
76: Setting value display field
76A: Display column
80: Communication line
83: PLC circuit (signal generator)
84, 85: Communication circuit
D: Instruction signal (input signal)

Claims

An ultraviolet curing apparatus having an atmosphere gas for lowering the oxygen concentration introduced therein and having a purge box through which the work is passed and an ultraviolet irradiator for irradiating ultraviolet rays to a work located inside the purge box,
A flow rate regulating device for regulating the flow rate of the atmospheric gas introduced into the purge box by adjusting the discharge pressure, and a flow rate regulator for regulating the flow rate of the atmospheric gas to the purge box,
A remote control device for remotely operating an electropneumatic regulator provided in the flow rate regulating device
And an ultraviolet curing treatment system.

The method according to claim 1,
Wherein the flow rate regulating device includes an electromagnetic valve that interrupts the supply of the atmospheric gas to the purge box upon occurrence of an abnormality,
Wherein the electropneumatic regulator is provided on the upstream side of the electromagnetic valve.

3. The method according to claim 1 or 2,
And a power source device for supplying electric power to the ultraviolet curing device and the flow rate adjusting device,
The remote control device includes:
An operation unit for accepting a user operation,
And a signal generator for generating the input signal based on the user operation and outputting the input signal to the flow rate adjusting device,
Wherein the power supply unit includes the operation unit and the signal generation unit.

The method of claim 3,
Wherein the operation unit is provided in an apparatus for remotely operating the power supply unit.