KR20160051170A

KR20160051170A - Multiple beam path optical system using rear surface reflection of beam splitter

Info

Publication number: KR20160051170A
Application number: KR1020140150664A
Authority: KR
Inventors: 박익근; 박해성; 요시다 사니치로; 박태성; 곽동열
Original assignee: 서울과학기술대학교 산학협력단
Priority date: 2014-10-31
Filing date: 2014-10-31
Publication date: 2016-05-11
Also published as: KR101664470B1

Abstract

The present invention provides a laser optical system with multiple beam paths using the rear surface reflection of a beam splitter, wherein multiple samples can be inspected simultaneously in the same environment by generating the multiple beam paths in a single nondestructive inspection device. According to the present invention, the laser optical system with multiple beam paths using the rear surface reflection of a beam splitter comprises: a light source part for generating a laser beam to be radiated on a sample; a multiple-beam splitter for splitting the laser beam coming from the light source part and providing the laser beam to the multiple beam paths; a main beam splitter for radiating the laser beam, which is split by the multiple-beam splitter, on multiple samples; a transducer for transducing a signal of the laser beam radiated on the sample; and a control part for analyzing the sample based on the signal of the transducer.

Description

BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a multi-path laser optical system using a back surface reflection of a beam splitter,

본 발명은 측정 대상체에 레이저 빔을 조사하여 비파괴적으로 측정 대상체의 특성을 평가하는 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 다중 레이저 빔을 생성시켜 복수의 측정 대상체에 동시에 조사할 수 있도록 한 빔 스플리터의 후면 반사를 이용한 다중 광경로 레이저 광학계에 관한 것이다.
The present invention relates to an apparatus for evaluating the characteristics of a measurement object by irradiating a measurement object with a laser beam and more particularly to an apparatus for generating multiple laser beams and simultaneously irradiating a plurality of measurement objects with a beam splitter To a multi-optical path laser optical system using back reflection.

반도체 등의 제조 공정에서 사용되는 결함 검사에는, 미소한 결함을 검출하는 것, 검출한 결함의 치수를 고정밀도로 계측하는 것, 시료를 비파괴(예를 들어 시료를 변질시키지 않고) 검사하는 것, 동일한 시료를 검사한 경우에 예를 들어 검출 결함의 개수, 위치, 치수, 결함종에 관하여 실질적으로 일정한 검사 결과가 얻어지는 것, 일정 시간 내에 다수의 시료를 검사하는 것 등이 요구된다.BACKGROUND ART [0002] Defect inspection used in manufacturing processes of semiconductors and the like includes: detecting minute defects; measuring the dimensions of detected defects with high precision; performing non-destructive inspection (for example, without altering a sample) When a sample is inspected, for example, a substantially constant inspection result is obtained with respect to the number, position, dimensions, and defect types of the detection defects, and a plurality of samples are inspected within a predetermined time.

그 중에서, 박막이나 반도체칩 등의 특성을 평가하기 위한 비파괴검사를 실시할 경우 최근에는 레이저 광학계가 사용되고 있다.Among them, when a non-destructive inspection for evaluating characteristics of a thin film or a semiconductor chip is performed, a laser optical system is recently used.

이러한 레이저를 이용하여 물체의 내부 특성을 비접촉식으로 탐상하는 방법과 장치에 대해서는 여러 발명자들에 의해 다양한 형태의 특허가 제시되어 있다.Various types of patents have been proposed by various inventors for a method and an apparatus for non-contact-inspected internal characteristics of an object using such a laser.

예컨대, 도 1을 참고하면, 광원부(10)에서 생성된 레이저빔은 빔 스플리터(20)에 의해 반사경(30) 및 시편(40)으로 조사되고, 조사된 레이저빔의 간섭무늬(51)를 토대로 제어부(50)에서 분석하도록 구성되어 있다.For example, referring to FIG. 1, the laser beam generated by the light source unit 10 is irradiated to the reflecting mirror 30 and the specimen 40 by the beam splitter 20, and based on the interference fringe 51 of the irradiated laser beam And is analyzed by the control unit 50.

그러나, 기존의 레이저 광학계는, 장시간 레이저 사용에 따른 환경변화, 예컨대 발열, 주변 온도, 미세 진동 등의 요인으로 인해 빛의 강도 및 편광상태 변동이 발생할 수 있다.However, in the conventional laser optical system, intensity of light and fluctuation of polarization state may occur due to environmental changes due to use of the laser for a long time, for example, heat, ambient temperature, microvibration, and the like.

이로 인해 서로 다른 2개의 시편을 검사할 경우, 각각의 시편을 순차적 및 독립적으로 검사해야 하므로 서로 동일한 조건에서 검사하는 것이 어렵다.Therefore, when two different specimens are examined, it is difficult to inspect the specimens under the same conditions, since each specimen must be inspected sequentially and independently.

즉, 기존의 레이저 광학계는 단일 광경로를 갖고 있으므로, 시편의 연속적인 검사시 주변 영향 등으로 인해 선행 시편과 후행 시편 간에 조사되는 레이저 빔의 강도 등에 차이가 발생할 수 있고, 이로 인해 각 시편 간에 현저한 측정 오차가 발생할 수 있다.
In other words, since the conventional laser optical system has a single optical path, the intensity of the laser beam irradiated between the preceding specimen and the succeeding specimen may vary due to the influence of the surroundings during the continuous inspection of the specimen, Measurement error may occur.

한국공개특허 제10-2011-0120110호 “2개 이상의 레이저 광학계를 이용한 레이저 조사 장치 및 방법”Korean Patent Laid-Open No. 10-2011-0120110 " Laser Irradiation Apparatus and Method Using Two or More Laser Optical Systems "

본 발명은 하나의 비파괴검사 장비 내에 복수의 빛 경로를 발생시킴으로써, 동일한 환경 상태에서 복수의 시편에 대한 동시 검사를 가능케 한 빔 스플리터의 후면 반사를 이용한 다중 광경로 레이저 광학계를 제공한다. 이를 위해서는, 레이저 발생기에서 나오는 레이저빔을 다수의 레이저빔으로 분리시켜 시편에 입사시키는 기술 및 장치 개발이 필요하다.The present invention provides a multispectral laser optical system using a back reflection of a beam splitter that enables simultaneous inspection of a plurality of specimens in the same environmental condition by generating a plurality of light paths in one nondestructive inspection equipment. For this purpose, it is necessary to develop a technique and apparatus for separating a laser beam emitted from a laser generator into a plurality of laser beams and entering the specimen.

즉, 본 발명은 복수의 광경로를 통해 복수의 시편에 동시에 레이저빔을 조사하여 비파괴 검사를 실시할 수 있도록 한 빔 스플리터의 후면 반사를 이용한 다중 광경로 레이저 광학계를 제공한다.
That is, the present invention provides a multispectral laser optical system using back reflection of a beam splitter which can irradiate a plurality of specimens simultaneously with a laser beam through a plurality of optical paths to perform nondestructive inspection.

일 실시예에 의한 빔 스플리터의 후면 반사를 이용한 다중 광경로 레이저 광학계는, 시편에 조사하기 위한 레이저빔을 발생시키는 광원부; 상기 광원부로부터 입사된 레이저빔을 분열시켜 복수의 광경로로 제공하는 다중 빔 스플리터; 상기 다중 빔 스플리터에 의해 분열된 레이저빔을 복수의 시편 방향으로 조사하기 위한 메인 빔 스플리터; 상기 시편으로 조사된 레이저빔의 신호 검출을 위해 시편을 가진시키는 트랜스듀서; 시편으로부터 반사되어 상기 메인 빔 스플리터에서 재결합하여 생성된 레이저빔 간섭무늬 분석을 진행하는 제어부;를 포함한다.The multi-optical path laser optical system using the back reflection of the beam splitter according to an embodiment includes a light source unit for generating a laser beam for irradiating a specimen; A multi-beam splitter for splitting the laser beam incident from the light source unit to provide a plurality of optical paths; A main beam splitter for irradiating the laser beam split by the multi-beam splitter in a plurality of specimen directions; A transducer for exciting the specimen for signal detection of the laser beam irradiated with the specimen; And a control unit for performing the laser beam interference fringe analysis generated by being reflected from the specimen and recombined in the main beam splitter.

일 실시예에 따르면, 상기 다중 빔 스플리터는 상기 광원부에서 입사된 레이저빔을 반사시켜 메인빔을 발생하는 전면, 상기 전면과 대향되게 배치되어 노이즈빔을 생성하는 후면을 포함하는 것을 특징으로 한다.According to one embodiment, the multi-beam splitter includes a front surface for generating a main beam by reflecting a laser beam incident on the light source portion, and a rear surface facing the front surface to generate a noise beam.

일 실시예에 따르면, 상기 메인빔과 노이즈빔은 서로 평행하게 조사되는 것을 특징으로 한다.According to one embodiment, the main beam and the noise beam are irradiated in parallel with each other.

일 실시예에 따르면, 상기 각 트랜스듀서의 일측에는 시편으로 입사되는 레이저빔의 간섭을 방지하기 위한 반사경이 더 구비되는 것을 특징으로 한다.According to an embodiment of the present invention, a reflector is further provided at one side of each transducer to prevent interference with a laser beam incident on the specimen.

일 실시예에 따르면, 상기 제어부는 간섭무늬를 획득하는 CCD 카메라 및 간섭무늬의 대비 변화를 시각적으로 확인할 수 있도록 한 스크린을 포함하는 것을 특징으로 한다.According to an embodiment of the present invention, the controller includes a CCD camera for acquiring an interference fringe and a screen for visually confirming a contrast change of the interference fringe.

또한, 일 실시예에 의한 빔 스플리터의 후면 반사를 이용한 다중 광경로 레이저 광학계의 검사방법은, 광원부로부터 입사된 레이저빔을 다중 빔 스플리터의 전면과 후면으로 분열시켜 복수의 광경로로 제공하는 단계; 상기 분열된 레이저빔을 복수의 시편에 조사하는 단계; 상기 시편으로 조사된 레이저빔을 재결합하여 간섭무늬를 형성하는 단계; 상기 형성된 간섭무늬를 토대로 시편에 대한 분석을 진행하는 단계;를 포함한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of inspecting a multispectral laser optical system using back reflection of a beam splitter according to an embodiment of the present invention includes dividing a laser beam incident from a light source into a front face and a rear face of a multi-beam splitter to provide a plurality of optical paths; Irradiating the plurality of specimens with the split laser beam; Forming an interference fringe by recombining the laser beam irradiated with the specimen; And analyzing the specimen based on the formed interference pattern.

일 실시예에 따르면, 상기 복수의 시편은 다중 빔 스플리터의 전면과 후면으로부터 분열된 메인빔과 노이즈빔의 간격에 대응되도록 배치되는 것을 특징으로 한다.
According to one embodiment, the plurality of specimens are arranged to correspond to the intervals between the main beam and the noise beam, which are split from the front and back surfaces of the multi-beam splitter.

기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 첨부 도면들에 포함되어 있다.The details of other embodiments are included in the detailed description and the accompanying drawings.

본 발명의 이점 및/또는 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예를 참조하면 명확해질 것이다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명의 기술 분야에 속하는 통상의 기술자에게 본 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The advantages and / or features of the present invention and the manner of achieving them will be apparent from and elucidated with reference to the embodiments described hereinafter in conjunction with the accompanying drawings. However, it is to be understood that the present invention is not limited to the disclosed embodiments, but may be embodied in many different forms and should not be construed as limited to the exemplary embodiments set forth herein, Are provided to fully disclose the scope of the present invention, and the present invention is only defined by the scope of the claims.

명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭하며, 발명을 구성하는 각 구성 요소의 크기, 위치, 결합 관계 등은 명세서의 명확성을 위하여 과장되어 기술되어 있을 수 있음을 알아야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어 관련된 공지 기술 등이 본 발명의 요지를 흐리게 할 수 있다고 판단되는 경우 그에 관한 자세한 설명은 생략될 수도 있다.
It is to be understood that the same reference numerals refer to the same components throughout the specification and that the size, position, coupling relationship, etc. of each component constituting the invention may be exaggerated for clarity of description. In the following description of the present invention, a detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted when it may make the subject matter of the present invention rather unclear.

본 발명에 따르면, 복수의 시편에 대한 비파괴검사를 진행할 수 있으며, 더욱이 동일한 환경 조건 하에서 검사작업을 진행할 수 있으므로, 환경변화에 따른 각 시편에 대한 검사조건이 변경되는 것을 방지하여 검사의 신뢰성을 높일 수 있다.
According to the present invention, nondestructive inspection of a plurality of specimens can be carried out, and the inspection operation can be performed under the same environmental conditions. Therefore, the inspection condition for each specimen due to environmental changes is prevented from being changed, .

도 1은 일반적인 레이저 광학계를 나타낸 개략도.
도 2는 본 발명에 의한 빔 스플리터의 후면 반사를 이용한 다중 광경로 레이저 광학계를 나타낸 개략도.
도 3은 본 발명에 적용되는 다중 빔 스플리터의 원리를 나타낸 개략도.1 is a schematic view showing a general laser optical system;
2 is a schematic view showing a multi-optical path laser optical system using back reflection of a beam splitter according to the present invention.
3 is a schematic view showing the principle of a multi-beam splitter applied to the present invention;

이하에서는, 본 발명에 의한 레이저 광학계의 실시예를 첨부 도면을 참고하여 설명한다.Hereinafter, embodiments of the laser optical system according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명에 의한 다중 광경로 레이저 광학계를 도시한 것으로, 본 발명에 의한 레이저 광학계(100)는 시편에 조사하기 위한 레이저빔을 발생시키는 광원부(110), 광원부(110)로부터 입사된 레이저빔을 분열시켜 복수의 광경로로 제공하는 다중 빔 스플리터(130), 다중 빔 스플리터(130)에 의해 분열된 레이저빔을 복수의 시편(151)(161)에 조사하기 위한 메인 빔 스플리터(140), 시편으로 조사된 레이저빔 신호 검출을 위해 진동을 제공하는 트랜스듀서(150)(160), 각 시편으로부터 반사되어 빔 스플리터에서 재결합하여 생성된 레이저빔 간섭무늬(181) 분석을 진행하는 제어부(170)를 포함한다.
FIG. 2 illustrates a multispectral laser optical system according to the present invention. The laser optical system 100 according to the present invention includes a light source unit 110 for generating a laser beam for irradiating a specimen, a laser beam incident from the light source unit 110, A main beam splitter 140 for irradiating a plurality of specimens 151 and 161 with a laser beam split by the multiple beam splitter 130, A transducer 150 (160) for providing a vibration for detecting a laser beam signal irradiated to the specimen, a controller 170 (170) for analyzing the laser beam interference fringe 181 generated by recombination of the specimen with the beam splitter ).

광원부(110)는 시편에 조사하기 위한 레이저빔을 발생시키는 레이저 발생기를 포함한다.The light source unit 110 includes a laser generator for generating a laser beam for irradiating the specimen.

레이저 발생기는 공정에 필요한 적정 파장을 갖는 레이저빔을 생성하여 타겟에 조사한다.The laser generator generates a laser beam having an appropriate wavelength necessary for the process and irradiates the laser beam onto the target.

레이저빔으로는 예컨대, 헬륨-네온 레이저빔이 적용될 수 있다.As the laser beam, for example, a helium-neon laser beam can be applied.

광원부(110)는 다중 빔 스플리터(130)로 조사되는 레이저빔의 각도를 변경시켜 주기 위한 반사경(120)을 더 포함할 수 있다.
The light source unit 110 may further include a reflector 120 for changing the angle of the laser beam irradiated to the multi-beam splitter 130.

다중 빔 스플리터(130)는 광원부(110)로부터 입사된 레이저빔을 분열시켜 복수의 시편 방향으로 유도한다.The multi-beam splitter 130 divides the laser beam incident from the light source 110 into a plurality of specimen directions.

다중 빔 스플리터(130)는 도 3을 참고하면, 입사되는 레이저빔에 대해 메인빔을 반사하는 전면(131)과 노이즈빔을 반사하는 후면(132)을 포함한다.3, the multi-beam splitter 130 includes a front surface 131 reflecting the main beam and a rear surface 132 reflecting the noise beam with respect to the incident laser beam.

따라서, 다중 빔 스플리터(130)로 입사된 레이저빔은 전면에서 반사되는 메인빔(b1)과, 후면(132)에서 반사되는 노이즈빔(b2)을 포함한다.Therefore, the laser beam incident on the multi-beam splitter 130 includes the main beam b1 reflected from the front surface and the noise beam b2 reflected from the rear surface 132. [

즉, 다중 빔 스플리터(130)의 전면(131)과 후면(132)에서 각각 레이저빔이 반사되며, 반사된 메인빔(b1)과 노이즈빔(b2)은 서로 평행한 상태를 유지하게 된다.
That is, the laser beams are reflected from the front surface 131 and the back surface 132 of the multi-beam splitter 130, respectively, and the reflected main beam b1 and the noise beam b2 are maintained in parallel with each other.

트랜스듀서(150)(160)는 시편(151)(161)이 부착되도록 설치되며, 시편으로 조사된 레이저빔의 신호 검출을 위해 진동을 제공함으로써 후술하는 제어부에 의해 시편의 특성을 분석할 수 있게 유도한다. 즉 트랜스듀서는 시편 표면의 변위를 발생시키고, 이 차이를 레이저로 감지할 수 있도록 한 것이다.The transducers 150 and 160 are installed so as to attach the specimens 151 and 161 and are capable of analyzing the characteristics of the specimen by a control unit to be described later by providing vibration for signal detection of the laser beam irradiated by the specimen . In other words, the transducer causes the displacement of the surface of the specimen and allows the laser to detect this difference.

트랜스듀서(150)(160)는 동시 측정하기 위한 시편의 개수에 따라 복수 배치될 수 있으며, 본 발명의 일 실시예에서는 2개의 시편을 일예로 설명하고 있으므로 트랜스듀서 역시 2개소 배치되어 있다.A plurality of transducers 150 and 160 may be arranged according to the number of specimens for simultaneous measurement. In an embodiment of the present invention, two specimens are illustrated as an example, so that two transducers are also disposed.

각 트랜스듀서(150)(160)의 일측에는 시편으로 입사되는 레이저빔의 간섭을 형성하기 위한 반사경(121)(122)이 더 구비될 수 있다.
One side of each of the transducers 150 and 160 may further include reflecting mirrors 121 and 122 for forming interference of a laser beam incident on the specimen.

제어부(170)는 시편(151)(161)에 의해 형성된 간섭무늬를 체크하고, 트랜스듀서(150)(160)의 가진 정도에 따라 간섭무늬(171)의 대비 변화가 발생하면, 푸리에 스펙트럼 분석 등으로 신호처리하여 시편의 특성을 평가한다.The control unit 170 checks the interference fringes formed by the specimens 151 and 161 and when the contrast change of the interference fringes 171 occurs according to the degree of excitation of the transducers 150 and 160, To evaluate the characteristics of the specimen.

제어부(170)는 간섭무늬를 획득하는 CCD 카메라 및 간섭무늬(171)의 대비 변화를 시각적으로 확인할 수 있도록 한 스크린을 포함할 수 있다.
The control unit 170 may include a CCD camera for acquiring an interference fringe and a screen for visually confirming a contrast change of the interference fringe 171. [

도 2 및 도 3에서 실선 및 점선으로 표시된 화살표는 레이저빔의 이동 방향을 나타낸 것이다.
In FIGS. 2 and 3, arrows indicated by solid lines and dotted lines indicate the direction of movement of the laser beam.

이와 같이 구성된 다중 광경로 레이저 광학계의 작동 과정을 설명하면 다음과 같다.The operation of the multispectral laser optical system thus constructed will be described below.

광원부(110)에서 발생한 레이저빔은 반사경(120)을 통해 다중 빔 스플리터(130) 측으로 입사된다.The laser beam generated in the light source unit 110 is incident on the multi-beam splitter 130 through the reflector 120.

다중 빔 스플리터(130)로 입사된 레이저빔은 다중 빔 스플리터(130)의 전면(131)과 후면(132)에 의해 서로 평행한 2개의 광경로로 분열된다.The laser beam incident on the multi-beam splitter 130 is split into two optical paths parallel to each other by the front surface 131 and the rear surface 132 of the multi-beam splitter 130. [

분열된 각각의 레이저빔 즉, 메인빔(b1) 및 노이즈빔(b2)은 서로 다른 위치에 놓인 복수의 시편(151)(161)에 조사된다.Each of the divided laser beams, that is, the main beam b1 and the noise beam b2, is irradiated to a plurality of specimens 151 and 161 placed at different positions.

이때, 상기 복수의 시편은 다중 빔 스플리터(130)의 전면(131)과 후면(132)으로부터 분열된 메인빔(b1)과 노이즈빔(b2)의 간격에 대응되도록 배치될 수 있다.The plurality of specimens may be arranged to correspond to the interval between the main beam b1 and the noise beam b2 divided from the front surface 131 and the rear surface 132 of the multi-beam splitter 130. [

시편(151)(161)으로 조사된 레이저빔은 각각의 시편에 의해 반사되고 각 시편 뒤에 부착되어 있는 트랜스듀서(150)(160)에 의해 위상이 변화된다.The laser beams irradiated to the specimens 151 and 161 are reflected by the respective specimens and are changed in phase by the transducers 150 and 160 attached behind the specimens.

변화된 위상에 의해 형성된 간섭무늬(171)를 토대로 제어부(170)에서 분석을 진행하고, 분석된 결과에 따라 간섭무늬(171) 대비 변화를 스크린에 표시하게 된다.
The control unit 170 performs analysis on the basis of the interference fringes 171 formed by the changed phases and displays a change on the screen according to the analyzed result.

지금까지 본 발명에 따른 레이저 광학계에 관한 구체적인 실시예에 관하여 설명하였으나, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않는 한도 내에서는 여러 가지 실시 변형이 가능함은 자명하다.Although specific embodiments of the laser optical system according to the present invention have been described above, it is apparent that various modifications can be made without departing from the scope of the present invention.

그러므로 본 발명의 범위에는 설명된 실시예에 국한되어서는 안 되며, 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.Therefore, the scope of the present invention should not be limited to the embodiments described, but should be determined by the scope of the appended claims and equivalents thereof.

즉, 전술된 실시예는 모든 면에서 예시적인 것이며, 한정적인 것이 아닌 것으로 이해되어야 하며, 본 발명의 범위는 상세한 설명보다는 후술될 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 그 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
It is to be understood that the foregoing embodiments are illustrative and not restrictive in all respects and that the scope of the present invention is indicated by the appended claims rather than the foregoing description, It is intended that all changes and modifications derived from the equivalent concept be included within the scope of the present invention.

110; 광원부 120,121,122; 반사경
130,140; 빔 스플리터 131; 전면
132; 후면 150,160; 트랜스듀서
170; 제어부110; Light sources 120, 121, 122; Reflector
130,140; Beam splitter 131; Front
132; Rear surface 150, 160; Transducer
170; The control unit

Claims

A light source for generating a laser beam for irradiating the specimen;
A multi-beam splitter for splitting the laser beam incident from the light source unit to provide a plurality of optical paths;
A main beam splitter for irradiating the laser beam split by the multi-beam splitter in a plurality of specimen directions;
A transducer for exciting the specimen for signal detection of the laser beam irradiated with the specimen;
A controller for performing a laser beam interference fringe analysis generated by recombination of the specimen with the main beam splitter;
A multi-optical path laser optical system using back reflection of a beam splitter.

The method according to claim 1,
The multi-beam splitter includes a front surface for reflecting the laser beam incident on the light source unit and generating a main beam, and a rear surface for generating a noise beam, the front surface being opposed to the front surface, .

3. The method of claim 2,
Wherein the main beam and the noise beam are irradiated in parallel with each other. &Lt; RTI ID = 0.0 > 8. < / RTI >

The method according to claim 1,
And a reflector for forming an interference of the laser beam incident on the specimen is further provided on one side of each transducer. The multi-optical path laser system using the back reflection of the beam splitter.

The method according to claim 1,
Wherein the controller includes a CCD camera for acquiring an interference fringe and a screen for visually confirming a contrast change of an interference fringe. The multispectral laser optical system using the back reflection of a beam splitter.

Dividing a laser beam incident from a light source part into a front surface and a rear surface of a multi-beam splitter to provide a plurality of optical paths;
Irradiating the plurality of specimens with the split laser beam;
A step of recombining the laser beam irradiated with the specimen to form an interference fringe
Analyzing the specimen based on the formed interference pattern;
A method of inspecting a multi-optical path laser optical system using a back reflection of a beam splitter including a beam splitter.

The method according to claim 6,
Wherein the plurality of specimens are disposed so as to correspond to a distance between the main beam and the noise beam divided from the front surface and the rear surface of the multi-beam splitter.