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KR20150106877A - Method And System For A Semiconductor Device Package With A Die-To-Die First Bond - Google Patents

Method And System For A Semiconductor Device Package With A Die-To-Die First Bond Download PDF

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Publication number
KR20150106877A
KR20150106877A KR1020157015868A KR20157015868A KR20150106877A KR 20150106877 A KR20150106877 A KR 20150106877A KR 1020157015868 A KR1020157015868 A KR 1020157015868A KR 20157015868 A KR20157015868 A KR 20157015868A KR 20150106877 A KR20150106877 A KR 20150106877A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
die
semiconductor
interposer
bonding
semiconductor die
Prior art date
Application number
KR1020157015868A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
마이클 쥐. 켈리
로날드 패트릭 휴모엘러
도원철
Original Assignee
앰코 테크놀로지 인코포레이티드
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from US13/678,046 external-priority patent/US9040349B2/en
Priority claimed from US13/678,012 external-priority patent/US8796072B2/en
Priority claimed from US13/678,058 external-priority patent/US9136159B2/en
Application filed by 앰코 테크놀로지 인코포레이티드 filed Critical 앰코 테크놀로지 인코포레이티드
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Abstract

다이 대 다이 일차 본드를 구비한 반도체 디바이스 패키지를 이한 방법 및 시스템이 개시되며, 인터포저 다이에 전자 디바이스들을 포함하는 하나 또는 이상의 반도체 다이를 본딩할 수 있다. 언더필 물질이 하나 또는 이상의 반도체 다이와 인터포저 다이의 사이에 적용될 수 있고, 몰드 물질은 반도체 다이를 인캡슐레이션하기 위해 적용될 수 있다. 인터포저 다이는 관통 실리콘 비아(through-silicon-vias, TSVs)를 노출시키기 위해 박화(thinning)될 수 있다. 반도체 다이의 본딩은 반도체 다이를 접착층에 접착하고, 반도체 다이를 인터포저 다이에 본딩하는 것을 포함할 수 있다. 반도체 다이는 인터포저 다이에 결합하기 위한 마이크로 범프를 포함할 수 있고, 본딩은 마이크로 범프를 인터포저 다이 상에 형성된 층 내의 각각의 웰(well) 내에 위치시키고, 마이크로 범프를 인터포저 다이에 본딩하는 것을 포함할 수 있다. 반도체 다이는 매스 리플로우 프로세스 또는 열 압착 프로세스를 이용하여 인터포저 다이에 본딩될 수 있다.Disclosed are a method and system for a semiconductor device package having a die-to-die primary bond, wherein one or more semiconductor die (s) comprising electronic devices can be bonded to the interposer die. An underfill material may be applied between one or more semiconductor die and interposer die, and the mold material may be applied to encapsulate a semiconductor die. The interposer die may be thinned to expose through-silicon-vias (TSVs). Bonding of the semiconductor die may include bonding the semiconductor die to the adhesive layer and bonding the semiconductor die to the interposer die. The semiconductor die may include micro bumps for bonding to the interposer die and the bonding may be performed by positioning the micro bumps in each well in a layer formed on the interposer die and bonding the micro bumps to the interposer die ≪ / RTI > The semiconductor die may be bonded to the interposer die using a mass reflow process or a thermal compression process.

Description

다이 대 다이 일차 본드를 구비한 반도체 디바이스 패키지를 위한 방법 및 시스템{Method And System For A Semiconductor Device Package With A Die-To-Die First Bond}METHOD AND SYSTEM FOR A SEMICONDUCTOR DEVICE PACKAGE WITH DAY-TO-DAY DIARY BOND BACKGROUND OF THE INVENTION [0001]

본 출원은 2012년 11월 15일에 출원된 미국 출원 번호 13/678,012(대리인 포대 번호 25963US01), 2012년 11월 15일에 출원된 미국 출원 번호 13/678,058(대리인 포대 번호 25031US01) 및 2012년 11월 15일에 출원된 미국 출원 번호 13/678,046(대리인 포대 번호 25032US01)를 참조한다. 앞에서 인용된 출원들은 그 전체로서 참조에 의해 여기 포함된다.This application is related to U.S. Serial No. 13 / 678,012, Attorney's Docket No. 25963US01, filed on November 15, 2012, U.S. Serial No. 13 / 678,058, Attorney Docket No. 25031US01, filed on November 15, 2012, No. 13 / 678,046 (Attorney Docket No. 25032US01), filed on May 15th. The above-cited applications are hereby incorporated by reference in their entirety.

본 발명의 일부 실시예들은 반도체 칩 패키징에 관한 것이다. 특히, 본 발명의 일부 실시예들은 다이 대 다이 일차 본드를 갖는 반도체 디바이스 패키지를 위한 방법 및 시스템에 관한 것이다.Some embodiments of the present invention relate to semiconductor chip packaging. In particular, some embodiments of the present invention relate to a method and system for a semiconductor device package having a die-to-die primary bond.

반도체 패키징은 집적 회로 또는 칩들을 물리적 충격 및 외부 스트레스로부터 보호한다. 또한, 이것은 칩에서 발생한 열을 효율적으로 제거하기 위해 열 전도 경로를 제공할 수 있고, 예를 들어 인쇄 회로 기판과 같은 다른 구성들에 대한 전기적인 연결을 제공할 수 있다. 반도체 패키징에 사용되는 물질들은 일반적으로 세라믹 또는 플라스틱을 포함하고, 특히 폼 팩터(form-factors)는 세라믹 플랫 팩(ceramic flat packs)과 듀얼 인라인 패키지(dual in-line package)로부터 핀 그리드 어레이(pin grid arrays) 및 리드리스 칩 캐리어 패키지(leadless chip carrier packages)로 진보하여 왔다.Semiconductor packaging protects integrated circuits or chips from physical shock and external stress. It may also provide a thermal conduction path to efficiently remove heat generated in the chip and may provide an electrical connection to other configurations such as, for example, a printed circuit board. Materials used in semiconductor packaging typically include ceramics or plastics, and in particular, form-factors are formed from ceramic flat packs and dual in-line packages to pin grid arrays (pins) grid arrays, and leadless chip carrier packages.

종래 및 일반적인 접근들의 추가적인 한정 및 단점들은 기술 분야에서 지식을 갖는 사람에게 도면을 참조하여 본 출원의 이하에서 제시되듯이 본 발명과 이러한 시스템의 비교를 통해 명확하게 될 것이다.Additional limitations and disadvantages of conventional and conventional approaches will become apparent to those skilled in the art from a comparison of such systems with the present invention as set forth below in the present application with reference to the drawings.

본 발명의 일부 실시예들은 다이 대 다이 일차 본드를 갖는 반도체 디바이스 패키지를 위한 방법 및 시스템에 관한 것이다.Some embodiments of the present invention are directed to a method and system for a semiconductor device package having a die-to-die primary bond.

발명의 일부 양상들은 다이 대 다이 일차 본드를 구비한 반도체 디바이스를 위한 방법 및 시스템에서 발견될 것이다. 본 발명의 예시적인 양상들은 인터포저 웨이퍼에 전자 디바이스들을 포함하는 다수의 반도체 다이를 본딩한다. 언더필은 하나 또는 이상의 반도체 다이와 인터포저 다이 사이에 적용될 수 있고, 몰드 물질은 하나 또는 이상의 본딩된 반도체 다이를 인캡슐레이션하기 위해 적용될 수 있다. 인터포저 다이는 관통 실리콘 비아(through-silicon-vias, TSVs)를 노출시키기 위해 박화(thinning)될 수 있다. 금속 컨택들이 노출된 TSV에 적용될 수 있고, 본딩된 하나 또는 이상의 반도체 다이와 함께 인터포저 다이는 패키징 기판에 본딩될 수 있다. 다수의 다이는 접착 필름을 이용하여 본딩을 위해 인터포저 웨이퍼 상에 위치될 수 있다. 하나 또는 이상의 반도체 다이의 본딩은 하나 또는 이상의 반도체 다이를 접착층에 접착하고, 접착된 하나 또는 이상의 반도체 다이를 인터포저 다이에 본딩하는 것을 포함할 수 있다. 하나 또는 이상의 반도체 다이는 인터포저 다이에 결합하기 위한 마이크로 범프를 포함할 수 있고, 본딩은 인터포저 다이 상에 형성된 층에서 각각의 웰(well)에 마이크로 범프를 위치시키고, 마이크로 범프를 인터포저 다이에 본딩하는 것을 포함한다. 언더필 물질은 캐필러리 언더필 프로세스를 이용하여 적용될 수 있다. 하나 또는 이상의 반도체 다이는 매스 리플로우 프로세스(mass reflow process) 또는 열 압착 프로세스를 이용하여 본딩될 수 있다. 하나 또는 이상의 추가적인 반도체 다이는 하나 또는 이상의 반도체 다이에 매스 리플로우 프로세스를 이용하여 본딩될 수 있다. 하나 또는 이상의 추가적인 반도체 다이는 하나 또는 이상의 반도체 다이에 열 압착 프로세스를 이용하여 본딩될 수 있다. 몰드 물질은 폴리머를 포함할 수 있다. 하나 또는 이상의 반도체 다이의 본딩은 하나 또는 이상의 반도체 다이와 인터포저 다이를 하나 또는 이상의 반도체 다이와 인터포저 다이가 반대 방향이 아닌 일 방향에서 구부려지도록 허용하는 고정체(fixture) 내에 위치시키고, 하나 또는 이상의 반도체 다이와 인터포저 다이를 리플로우 프로세스를 통해 처리하는 것을 포함할 수 있다.Some aspects of the invention will be found in a method and system for a semiconductor device having a die-to-die primary bond. Exemplary aspects of the present invention bond a plurality of semiconductor die comprising electronic devices to an interposer wafer. The underfill can be applied between one or more semiconductor die and interposer die, and the mold material can be applied to encapsulate one or more bonded semiconductor die. The interposer die may be thinned to expose through-silicon-vias (TSVs). Metal contacts may be applied to the exposed TSV and the interposer die with one or more semiconductor die bonded thereto may be bonded to the packaging substrate. A plurality of die may be positioned on the interposer wafer for bonding using an adhesive film. Bonding of one or more semiconductor dies may include bonding one or more semiconductor dies to an adhesive layer and bonding one or more bonded semiconductor dies to an interposer die. One or more semiconductor dies may include micro bumps for bonding to an interposer die and bonding may be accomplished by placing the micro bumps in respective wells in a layer formed on the interposer die, As shown in FIG. The underfill material may be applied using a capillary underfill process. The one or more semiconductor die may be bonded using a mass reflow process or a thermo compression process. One or more additional semiconductor die may be bonded to one or more semiconductor die using a mass reflow process. The one or more additional semiconductor die may be bonded to the one or more semiconductor die using a thermal compression process. The mold material may comprise a polymer. The bonding of the one or more semiconductor die may be accomplished by placing one or more semiconductor die and interposer die in a fixture that allows one or more semiconductor die and interposer die to bend in one direction, Processing the die and interposer die through a reflow process.

본 발명은 다이 대 다이 일차 본드를 갖는 반도체 디바이스 패키지를 위한 방법 및 시스템을 제공한다.The present invention provides a method and system for a semiconductor device package having a die-to-die primary bond.

도 1a는 발명의 일 실시예에 따른 다이 대 웨이퍼 일차 본드를 구비한 집적 회로 패키지를 도시한 개략도이다.
도 1b는 발명의 일 실시예에 따른 인터포저 대 웨이퍼 일차 본드 및 스택된 다이를 구비한 집적 회로 패키지를 도시한 개략도이다.
도 1c 내지 도 1e는 본 발명의 일 실시예에 따른 접착 필름을 사용한 다수개 다이 본딩을 위한 단계들을 도시한 것이다.
도 2a 내지 도 2f는 본 발명의 일 실시예에 따른 다이 대 다이 일차 본드 구조에서 단계들을 도시한 것이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 다이 대 다이 일차 본드 프로세스에서 단계들을 도시한 개략도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기계적 평탄화 장치를 도시한 다이어그램이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 평탄화 장치를 도시한 다이어그램이다.
도 6a 내지 도 6e는 본 발명의 일 실시예에 따른 대규모 백사이드 범프를 구비한 웨이퍼를 디본딩(debonding)하기 위한 예시적인 단계들을 도시한 것이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 패턴된 언더필층을 사용한 다이 본딩을 도시한 다이어그램이다.1A is a schematic diagram illustrating an integrated circuit package having a die-to-wafer primary bond in accordance with one embodiment of the invention.
1B is a schematic diagram illustrating an integrated circuit package having an interposer-to-wafer primary bond and a stacked die in accordance with one embodiment of the invention.
Figures 1C-1E illustrate steps for multiple die bonding using an adhesive film in accordance with one embodiment of the present invention.
Figures 2a-2f illustrate steps in a die-to-die primary bond structure in accordance with an embodiment of the present invention.
3 is a schematic diagram illustrating steps in a die-to-die primary bond process in accordance with one embodiment of the present invention.
4 is a diagram illustrating a mechanical planarization apparatus according to an embodiment of the present invention.
5 is a diagram illustrating a vacuum leveling apparatus according to an embodiment of the present invention.
6A-6E illustrate exemplary steps for debonding a wafer with a large backside bump in accordance with one embodiment of the present invention.
7 is a diagram illustrating die bonding using a patterned underfill layer in accordance with an embodiment of the present invention.

도 1a는 본 발명의 일 실시예에 따른 다이 대 웨이퍼 일차 본드를 구비한 집적 회로 패키지를 도시한 개략도이다. 도 1을 참조하면, 집적 회로 다이(101), 패키징 기판(103), 수동 디바이스(105), 인터포저 다이(107), 솔더볼(111), 리드(113) 및 열적 인터페이스 물질(thermal interface material, 118)을 포함하는 패키지(100)가 개시된다.1A is a schematic diagram illustrating an integrated circuit package having a die-to-wafer primary bond in accordance with one embodiment of the present invention. 1, an integrated circuit die 101, a packaging substrate 103, a passive device 105, an interposer die 107, a solder ball 111, a lead 113, and a thermal interface material 118). ≪ / RTI >

다이(101)는 하나 또는 이상의 반도체 웨이퍼로부터 분리된 집적 회로 다이를 포함한다. 다이(101)는 예를 들어, 디지털 신호 프로세서(DSPs), 네트워크 프로세서, 전력 매니지먼트 유닛, 오디오 프로세서, RF 회로, 무선 베이스밴드 시스템-온-칩(SoC) 프로세서, 센서 및 특수 용도의 집적 회로와 같은 전기 회로를 포함할 수 있다. 또한, 다수개의 다이(101)는 다수개의 다이(101) 내에서 회로 사이의 전기적 컨택을 제공하기 위한 마이크로 범프(109)와 인터 포저(107)의 표면 상에 컨택 패드를 포함할 수 있다.Die 101 includes an integrated circuit die separated from one or more semiconductor wafers. Die 101 may be, for example, a digital signal processor (DSPs), a network processor, a power management unit, an audio processor, an RF circuit, a wireless baseband system-on- And may include the same electrical circuit. The plurality of dies 101 may also include contact bumps 109 on the surface of the interposer 107 and microbumps 109 for providing electrical contact between the circuits within the plurality of dies 101.

인터포저 다이(107)는 인터포저 다이(107)의 일면으로부터 반대면까지 전기적 도전 경로를 제공하는 관통 실리콘 비아(TSVs)를 구비하는 실리콘 다이와 같은 반도체 다이를 포함할 수 있다. 인터포저 다이(107)는 패키징 기판(103)에 대해 전기적 및 기계적 컨택을 형성하기 위한 백사이드 범프(117)를 더 포함할 수 있다. 다른 예시적인 시나리오에서, 인터포저 다이(107)는 예를 들어 500 x 500 mm의 차원 상에서 대형 패널 포맷을 가능하게 할 수 있는 유리 또는 유기 라미네이트 물질을 포함할 수 있다.The interposer die 107 may comprise a semiconductor die, such as a silicon die, with through silicon vias (TSVs) that provide an electrically conductive path from one side of the interposer die 107 to the opposite side. The interposer die 107 may further include a backside bump 117 for forming electrical and mechanical contacts to the packaging substrate 103. In another exemplary scenario, the interposer die 107 may comprise a glass or organic laminate material capable of enabling a large panel format on a dimension of, for example, 500 x 500 mm.

패키징 기판(103)은 인터포저 다이(107), 다이(101), 수동 디바이스(105) 및 리드(lid, 103)에 대한 기계적인 지지 구조를 포함할 수 있다. 패키징 기판(103)은 예를 들어, 외부 디바이스와 회로에 대한 전기적 컨택을 제공하기 위해 하면 상에 솔더볼(111)을 포함할 수 있다. 패키징 기판(103)은 인터포저 다이(107) 상에 백사이드 범프(117)를 수용하기 위해 구성된 패드를 통해 솔더볼로부터 다이(101)까지 도전 경로를 제공하기 위해 비도전성 물질에서 도전성 트레이스(conductive traces)를 포함할 수 있다. 추가적으로, 패키징 기판(103)은 솔더볼(111)을 수용하기 위한 패드(119)를 포함할 수 있다. 패드(119)는 패키징 기판(103)과 솔더볼(111)의 사이에서 적절한 전기적 및 기계적 컨택을 제공하기 위해 예를 들어, 하나 또는 이상의 언더 범프 메탈을 포함할 수 있다.The packaging substrate 103 may include a mechanical support structure for the interposer die 107, the die 101, the passive device 105 and the lid 103. The packaging substrate 103 may include solder balls 111 on the bottom surface to provide electrical contact to external devices and circuits, for example. The packaging substrate 103 is coated with conductive traces in a non-conductive material to provide a conductive path from the solder balls to the die 101 via pads configured to receive the backside bumps 117 on the interposer die 107. [ . ≪ / RTI > In addition, the packaging substrate 103 may include a pad 119 for receiving the solder ball 111. [ The pad 119 may include, for example, one or more under bump metals to provide appropriate electrical and mechanical contact between the packaging substrate 103 and the solder ball 111. [

수동 디바이스(105)는 다이(101)에서 디바이스 및 회로에 대해 기능을 제공할 수 있는 예를 들어, 저항, 커패시터 및 인덕터와 같은 전기 디바이스들을 포함할 수 있다. 수동 디바이스(105)는 고가의 커패시터 또는 인덕터처럼 다이(101) 내 집적 회로들에서 집적되기 어려운 디바이스들을 포함할 수 있다. 다른 예시적 시나리오에서, 수동 디바이스(105)는 다이(101)에 대해 하나 또는 이상의 클럭 신호를 제공하기 위한 하나 또는 이상의 크리스탈 오실레이터를 포함할 수 있다.The passive device 105 may include electrical devices, such as resistors, capacitors, and inductors, that may provide functionality for the devices and circuits in the die 101. The passive device 105 may include devices that are difficult to integrate in integrated circuits in the die 101, such as expensive capacitors or inductors. In other exemplary scenarios, passive device 105 may include one or more crystal oscillators for providing one or more clock signals to die 101.

리드(lid, 113)는 라드(110)와 패키징 기판(103)에 의해 정의된 캐비티 내에서 디바이스에 대한 밀봉을 제공할 수 있다. 열적 인터페이스는 접착제로서 동작할 수 있는 열적 인터페이스 물질(118)을 통해 다이(101)의 외부로 리드(113)에 열 전달을 위해 생성될 수 있다.The lid 113 may provide a seal for the device within the cavity defined by the rod 110 and the packaging substrate 103. The thermal interface may be generated for heat transfer to the lead 113 outside the die 101 via the thermal interface material 118 which may operate as an adhesive.

일 예시의 시나리오에서, 패키지(100)는 인터포저 다이(107)가 개별적인 다이를 포함할 때 인터포저 다이(107)에 다이(101)를 일차 본딩함으로써 제조될 수 있고, 매스 리플로우 또는 열 압착 프로세스를 이용하여 본딩될 수 있다. 예를 들어, 다이(101)가 매스 플로우 프로세스를 이용하여 본딩된 경우, 인터포저 다이(107)의 후면 범프는 존재한다면 역시 리플로우될 수 있다. 따라서, 다이(101)는 후면 범프(117)가 위치되기 전에 인터포저(107)에 본딩될 수 있다. 부착된 다이(101)를 구비한 인터포저 다이(107)는 이후 조립을 위해 처리될 수 있다. 예를 들어, 인터포저 다이(107)는 (예를 들어, 앞서 언급한 다이 본딩의 이전 또는 이후) 관통 전극 비아(TSV, 115)를 노출시키기 위해 박화(thinning)될 수 있고, 백사이드 범프(117)가 형성될 수 있다. 또한, 다수의 다이(101)를 인캡슐레이션하기 위해 이용되는 몰드 프로세스의 이전에 (예를 들어, 비도전성 페이스트 및/또는 테이프를 구비한 언더필링이 본딩 프로세스동안 수행되지 않은 예시적인 시나리오에서) 캐필러리 언더필 물질은 다이(101)와 인터포저 다이(107)의 사이에 위치할 수 있다.In one example scenario, package 100 may be fabricated by first bonding die 101 to interposer die 107 when interposer die 107 includes an individual die, and may be fabricated by mass reflow or thermal compression Process. ≪ / RTI > For example, if the die 101 is bonded using a mass flow process, the backside bumps of the interposer die 107 can also be reflowed if present. Thus, the die 101 can be bonded to the interposer 107 before the rear bump 117 is positioned. The interposer die 107 with the attached die 101 may then be processed for assembly. For example, the interposer die 107 may be thinned to expose the through-via vias (TSV, 115) (e.g., before or after the die bonding referred to above), and the backside bumps 117 May be formed. In addition, prior to the mold process used to encapsulate multiple die 101 (e.g., in an exemplary scenario in which underfilling with non-conductive paste and / or tape was not performed during the bonding process) The capillary underfill material may be positioned between the die 101 and the interposer die 107.

다이(101)와 인터포저 다이(107)를 포함하는 어셈블리는 앞서 언급한 것과 같이 처리될 수 있고, 어셈블리는 다음으로 예를 들어, 매스 플로우 또는 열 압착 중 하나를 이용하여 패키징 기판(103)에 본딩될 수 있다. 리드(113)는 밀봉을 제공하고 회로를 외부 환경으로부터 보호하고 및/또는 히트 싱크로서 동작하기 위해 본딩된 어셈블리에 위치될 수 있다. 최종적으로, 적절한 전기적 연결이 이루어졌는지 단락 또는 개방된 회로가 없는지 증명하기 위해 전기적 테스트가 본딩 프로세스에 후속하여 수행될 수 있다.The assembly comprising the die 101 and the interposer die 107 may be processed as previously described and the assembly may then be transferred to the packaging substrate 103 using either mass flow or thermocompression, Can be bonded. The lid 113 may be placed in the bonded assembly to provide a seal and protect the circuit from the external environment and / or to act as a heat sink. Finally, an electrical test may be performed subsequent to the bonding process to verify that a proper electrical connection has been made, or that there is no shorted or open circuit.

도 1b는 본 발명의 일 실시예에 따른 다이 대 다이 일차 본드 및 스택된 다이를 구비한 집적 회로 패키지를 도시한 개략도이다. 도 1b를 참조하면, 다이(101), 패키징 기판(103), 수동 디바이스(105), 인터포저 다이(107), 다이나믹 랜덤 억세스 메모리(DRAM)(121)의 스택을 포함하는 패키지(150)가 도시된다. 다이(101), 패키징 기판(103), 수동 디바이스(105) 및 인터포저 다이(107)는 예를 들어 대략적으로 도 1a에 대하여 설명된 대로일 수 있으며, 다만 다른 다이(101) 및 DRAM(121)의 스택에 대한 전기적인 전도도에서 차이가 있을 수 있다.1B is a schematic diagram illustrating an integrated circuit package having a die-to-die primary bond and a stacked die in accordance with one embodiment of the present invention. 1B, a package 150 comprising a stack of a die 101, a packaging substrate 103, a passive device 105, an interposer die 107, a dynamic random access memory (DRAM) 121, Respectively. The die 101, the packaging substrate 103, the passive device 105 and the interposer die 107 may be, for example, substantially as described with respect to FIG. 1A, but may include other die 101 and DRAM 121 Lt; RTI ID = 0.0 > conductivity. ≪ / RTI >

DRAM(121)은 다이(101) 내에서 또는 패키지(150)에 대한 외부에서 회로를 위해 고밀도 메모리를 제공하기 위한 다이의 스택을 포함할 수 있다. DRAM(121)은 반대로(front-to-back) 스택될 수 있으며, 따라서 개별적인 다이의 사이에 전기 전도도를 제공하기 위한 TSV들을 포함한다.The DRAM 121 may comprise a stack of die for providing a high density memory for the circuit in the die 101 or external to the package 150. DRAM 121 may be stacked in a front-to-back fashion and thus includes TSVs to provide electrical conductivity between individual dies.

예시적인 시나리오에서, 패키지(150)는 다이 형태에 있을 때, 인터포저 다이(107)에 대해 다이(101)와 DRAM(121)을 일차 본딩함으로써 제조될 수 있다. 다이(101) 및 DRAM(121)은 매스 리플로우 또는 열 압착 프로세스를 이용하여 본딩될 수 있다.In an exemplary scenario, package 150 may be fabricated by first bonding die 101 and DRAM 121 to interposer die 107 when in die form. The die 101 and the DRAM 121 may be bonded using a mass reflow or thermal compression process.

다이(101) 및 DRAM(121)의 스택이 매스 리플로우 프로세스를 이용하여 본딩된 경우, 인터포저(107) 상의 푸면 범프는 리플로우 프로세스의 시간에 존재한다면 역시 리플로우될 수 있다. 따라서, 다이(101) 및 DRAM(121)의 스택은 후면 범프(117)가 위치되기 전에 인터포저 다이(107)에 본딩될 수 있다. 부착된 다이(101를 구비한 인터포저 다이(107) 및 DRAM(121)의 스택은 추가 어셈블리 공정을 위해 처리될 수 있다. 예를 들어, 인터포저 다이(107)는 관통 실리콘 비아(TSV, 115)를 노출시키기 위해 박화(thinning)될 수 있고, 후면 범프(117)가 형성될 수 있다. 또한, 캐필러리 언더필 물질이 몰드 프로세스가 다이(101) 및 DRAM(121)의 스택을 인캡슐레이션하기 위해 사용되기 전에 (예를 들어, 비도전성 페이스트 및/또는 테이프가 본딩 프로세스동안 수행되지 않은 예시적인 시나리오에서) 다이(101), DRAM(121)의 스택 및 인터포저 다이(107)의 사이에 위치될 수 있다.When the stack of die 101 and DRAM 121 is bonded using a mass reflow process, the fuzzy bumps on the interposer 107 can also be reflowed if they are present at the time of the reflow process. Thus, the stack of die 101 and DRAM 121 may be bonded to interposer die 107 before rear bump 117 is positioned. The interposer die 107 with the attached die 101 and the stack of the DRAM 121 may be processed for additional assembly processes. For example, the interposer die 107 may be a through silicon via (TSV, 115 The capillary underfill material can also be used to encapsulate the stack of die 101 and DRAM 121. In addition, Between the stack of DRAM 121 and interposer die 107 (e.g., in an exemplary scenario where non-conductive paste and / or tape is not performed during the bonding process) Lt; / RTI >

전기적 테스트가 적절한 전기적 연결이 이루어졌는지 단락 또는 개방회로가 없는지 증명하기 위해 본딩 프로세스를 후속하여 수행될 수 있다. 또한, 도 1a에 관해 앞서 언급한 것과 같이, 어셈블리는 패키징 기판(103)에 본딩될 수 있고, 드리고 나서 오버몰드(overmold)되거나 및/또는 덮일 수 있다(lidded).The electrical test can be performed following the bonding process to verify that the proper electrical connection has been made or that there is no short circuit or open circuit. Also, as previously mentioned with respect to FIG. 1A, the assembly may be bonded to the packaging substrate 103, overmolded, and / or lidded.

도 1c 내지 도 1e는 본 발명의 일 실시예에 따른 접착 필름을 이용한 다수의 다이를 본딩하기 위한 예시적인 단계들을 도시한다. 도 1c를 참조하면, 다수의 다이(121) 및 접착층(129)가 도시된다. 다이(121)는 다른 다이에 대한 다음 본딩을 위해 금속 인터커넥트(123)를 포함할 수 있다. 다른 예시적인 시나리오에서, 금속 인터커넥트(123)는 예를 들어, 마이크로 범프 또는 구리 필러를 포함할 수 있다.Figures 1C-IE illustrate exemplary steps for bonding a plurality of dies using an adhesive film according to one embodiment of the present invention. Referring to FIG. 1C, a plurality of die 121 and adhesive layer 129 are shown. The die 121 may include a metal interconnect 123 for subsequent bonding to other die. In another exemplary scenario, the metal interconnect 123 may include, for example, a microbump or a copper filler.

접착 필름(129)은 예를 들면, 도 1c에 도시된 것처럼, 다수의 다이(121)에 본딩될 수 있는 접착 테이프 또는 유연재(compliant layer)를 포함할 수 있다. 접착 필름(129)은 다수의 다이를 하나 또는 이상의 다른 다이에 부착하기 위한 임시적인 접착제일 수 있다. 예를 들어, 인터포저(127)는 개별적인 인터포저 다이를 포함할 수 있다. 예시적인 시나리오에서, 다이(121)는 접착 필름(129) 상에 임시적으로 위치될 수 있다.The adhesive film 129 may include an adhesive tape or compliant layer that can be bonded to a plurality of dies 121, for example, as shown in Fig. 1C. The adhesive film 129 may be a temporary adhesive for attaching a plurality of dies to one or more other dies. For example, the interposer 127 may comprise a separate interposer die. In an exemplary scenario, the die 121 may be temporarily positioned on the adhesive film 129.

선택적인 언더필 물질(125)은 접착 필름(129)을 이용하여 인터포저(127)에 다수의 다이(121)를 본딩하기 전에 도 1d에서 언더필 물질(125)에 의해 도시된 것처럼, 인터포저 웨이퍼(127) 상에 위치될 수 있다. 언더필 물질(125)은 예를 들어 열 압착 본딩 프로세스를 위한 것일 수 있고, 이후의 열 압착 본딩 프로세스 동안 스냅 큐어(snap cure)를 통해 순간적인 언더필을 허용할 수 있다. 이것은 종래의 프로세스에서 다이(121) 각각을 위한 개별적인 위치 및 언더필 프로세스와 비교할 때, 싱글 언더필 프로세스가 다수의 다이(121)를 위해 사용될 수 있기 때문에 본딩 수율을 향상시킬 수 있다. 다이(121)는 상부를 향하도록 위치하여, 금속 인터커넥트(123)가 수용하는 다이에 연결될 수 있다.The optional underfill material 125 may be applied to the interposer wafer 127 as shown by the underfill material 125 in Figure ID prior to bonding the plurality of dies 121 to the interposer 127 using the adhesive film 129. [ 127). ≪ / RTI > The underfill material 125 may be for example a thermal bonding bonding process and may allow instantaneous underfilling through a snap cure during a subsequent thermal bonding bonding process. This can improve the bonding yield since a single underfill process can be used for multiple dies 121 as compared to the individual locations and underfill processes for each die 121 in a conventional process. The die 121 may be oriented upwards and connected to a die that the metal interconnect 123 receives.

접착 필름(129) 상의 다수의 다이(121)는 도 1d 및 도 1e에 도시된 것처럼, 인터포저(127) 상에 위치될 수 있고, 접착 필름(129) 상에서 다수의 다이(121)의 초기 위치는 인터포저(127)와 함께 다수의 다이(121)의 이격(spacing) 및 정렬(alignment)의 미세한 제어를 가능하게 할 수 있다. 예시적인 시나리오에서, 인터포저(127)는 개별적인 다이(121)에 집단으로 본딩될 수 있다(gang bonded). 인터포저(127)는 금속 인터커넥트(123)를 수용하기 위한 금속 패드(131)를 포함할 수 있다. 일단 다이(121)가 인터포저(127) 상에 위치되면, 열 압착 공정이 금속 인터커넥트(123) 및 금속 패드(131) 사이에서 적절한 전기적 및 기계적 본딩을 위해 수행될 수 있다. 일단 본딩이 되면, 도 1e에 도시된 구조를 도출하도록 접착 필름(129)은 제거될 수 있다.A plurality of dies 121 on the adhesive film 129 can be positioned on the interposer 127 as shown in Figures 1D and 1E, May enable fine control of the spacing and alignment of the plurality of die 121 with the interposer 127. In an exemplary scenario, the interposer 127 may be gang bonded to an individual die 121. The interposer 127 may include a metal pad 131 for receiving the metal interconnect 123. Once the die 121 is positioned on the interposer 127, a thermal compression process may be performed for proper electrical and mechanical bonding between the metal interconnect 123 and the metal pad 131. Once bonded, the adhesive film 129 can be removed to yield the structure shown in Figure IE.

도 2a 내지 도 2f는 본 발명의 일 실시예에 따른 다이 대 다이 일차 본드 구조에서 예시적인 단계들을 도시한다. 도 2a를 참조하면, 인터포저 웨이퍼(201) 및 다수의 반도체 다이(203A-203C)가 도시되어 있다. 반도체 다이(203A-203C)는 하나 또는 이상의 반도체 웨이퍼로부터 분리된 직접회로 다이를 포함할 수 있다. 반도체 다이(203A-203C)는 예를 들어, 디지털 신호 프로세서(DSPs), 네트워크 프로세서, 전력 매니지먼트 유닛, 오디오 프로세서, RF 회로, 무선 베이스밴드 시스템-온-칩(SoC) 프로세서, 센서 및 특수 용도의 집적 회로와 같은 전기 회로를 포함할 수 있다.2A-2F illustrate exemplary steps in a die-to-die primary bond structure in accordance with an embodiment of the present invention. Referring to FIG. 2A, an interposer wafer 201 and a plurality of semiconductor dies 203A-203C are shown. The semiconductor die 203A-203C may include a direct circuit die separated from one or more semiconductor wafers. The semiconductor die 203A-203C may be, for example, a digital signal processor (DSPs), a network processor, a power management unit, an audio processor, an RF circuit, a wireless baseband system- Such as an integrated circuit.

또한, 반도체 다이(203A-203C)는 반도체 다이(203A-203C)에서 회로와 인터포저 웨이퍼(201)의 표면 상의 전면 패드(209)의 사이에서 전기적 컨택을 제공하기 위한 마이크로 범프(205)를 포함할 수 있다. 도 2a 내지 2F에 두 개의 다이가 도시되어 있으나, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 어떤 수의 다이도 칩 영역에 종속하여 인터포저 다이(201)에 본딩될 수 있다.The semiconductor die 203A-203C also includes a microbump 205 for providing electrical contact between the circuit and the front pads 209 on the surface of the interposer wafer 201 in the semiconductor die 203A-203C. can do. Although two dies are shown in Figures 2A-2F, the present invention is not so limited, and any number of dies may be bonded to the interposer die 201 depending on the chip area.

인터포저 다이(201)는 반도체 다이(203A, 203B)에 전기적 컨택을 제공하기 위한 전면 패드(209)를 역시 포함할 수 있다. 또한, 인터포저 다이(201)는 일단 인터포저 다이(201)가 박화(thinning)되면, 인터포저의 일면으로부터 나머지로 전기적인 도전성 경로를 제공하기 위한 관통 실리콘 비아(TSVs, 207)를 포함할 수 있다.Interposer die 201 may also include a front pad 209 for providing electrical contact to semiconductor die 203A, 203B. The interposer die 201 may also include through silicon vias (TSVs) 207 to provide an electrically conductive path from one side of the interposer to the remainder once the interposer die 201 is thinned. have.

반도체 다이(203A, 203B)는 인터포저 다이(201) 상에 위치되고, 예를 들어, 열 압착 본딩 기법을 이용하여 본딩될 수 있다. 다른 예시적인 시나리오에서, 매스 리플로우 프로세스가 반도체 다이(203A, 203B)를 본딩하기 위해 이용될 수 있다. 비도전성 페이스트(NCP)는 본딩을 형성하는 것을 보조하기 위해 이용될 수 있다. 또한, 캐필러리 언더필이 적용될 수 있고, 반도체 다이(203A, 203B) 및 인터포저 다이(201) 사이의 부피를 채울 수 있다. 도 2b는 언더필 물질(210)를 구비한 인터포저 다이(201)에 본딩된 반도체 다이(203A, 203B)를 도시한다. 형성되거나 위치되었을 때, 언더필 물질(210)은 예를 들어 필름, 페이스트, b-상태 필름(b-stage film) 또는 액체를 포함할 수 있다.Semiconductor dies 203A and 203B are located on interposer die 201 and can be bonded using, for example, a thermal compression bonding technique. In another exemplary scenario, a mass reflow process may be used to bond the semiconductor die 203A, 203B. Non-conductive paste (NCP) can be used to assist in forming the bonding. Also, a capillary underfill may be applied and fill the volume between the semiconductor die 203A, 203B and the interposer die 201. Figure 2B illustrates semiconductor die 203A, 203B bonded to an interposer die 201 with underfill material 210. When formed or positioned, the underfill material 210 may comprise, for example, a film, a paste, a b-stage film, or a liquid.

도 2c에 도시된 것과 같이, 반도체 다이(203A, 203B) 사이의 공간 및/또는 각각의 둘레 주위는 몰드 물질(211)로 채워질 수 있다. 몰드 물질(211)은 인터포저 다이(201)에 본딩된 다이에 대해 비도전성 구조적 지지를 제공하고, 이후 프로세싱 단계들에서 다이를 보호하는 예를 들어, 폴리머 물질을 포함할 수 있다. 예시적인 시나리오에서, 인터포저 다이(201)는 TSV(207)를 노출시키기 위해 후면 폴리싱 또는 그라인드를 이용하여 박화(thinning)될 수 있다.As shown in FIG. 2C, the space between semiconductor dies 203A and 203B and / or the perimeter of each of them may be filled with mold material 211. The mold material 211 may include, for example, a polymeric material that provides non-conductive structural support for the die bonded to the interposer die 201 and then protects the die in the processing steps. In an exemplary scenario, interposer die 201 may be thinned using backside polishing or grinding to expose TSV 207.

도 2b 내지 도 2f에 언더필 물질(210)이 도시되어 있으나, 몰드 물질 자체는 다이(203A, 203B) 및 인터포저 다이(201)의 사이와 같은 각 결합 인터페이스를 위한 언더필 물질로서 이용될 수 있다. 다른 실시예에서, 언더필 물질은 액체 또는 페이스트로서 주입될 수 있고, 필름 또는 b-스테이지 필름으로서 위치될 수 있고 또는 각 다이 대 기판 또는 다이 대 다이의 본딩이 이루어짐에 따라 순차적으로 위치될 수 있고, 모든 전기적 본딩이 이루어진 이후 한번에 모두 이루어질 수 있다.Although the underfill material 210 is shown in Figures 2B-2F, the mold material itself may be used as an underfill material for each bonding interface, such as between die 203A, 203B and interposer die 201. [ In another embodiment, the underfill material can be injected as a liquid or paste, positioned as a film or b-stage film, or sequentially positioned as each die-to-substrate or die-to-die bonding is made, It can be done all at once after all the electrical bonding is done.

다른 예시적인 시나리오에서, 인터포저 다이(201)는 TSV가 여전히 조금 커버된 곳에서 두께에 대해 박화(thinning)될 수 있고, TSV를 커버하는 영역에서 선택적으로 에칭될 수 있다. 보호층이 그 이후 잔존하는 실리콘의 상부로 증착되고 노출된 금속의 폴리싱이 TSV(207)에 대한 개선된 컨택을 위해 수행될 수 있다. 또한, 금속 패드가 폴리싱된 TSV 표면에 후면 범프(213)와의 보다 좋은 컨택을 위해 증착될 수 있다.In another exemplary scenario, the interposer die 201 can be thinned for thickness where the TSV is still slightly covered and selectively etched in the area covering the TSV. The protective layer may then be deposited on top of the remaining silicon and polishing of the exposed metal may be performed for improved contact to the TSV (207). In addition, metal pads can be deposited for better contact with the backside bumps 213 on the polished TSV surface.

다른 예시적인 시나리오에서, 인터포저 다이(201)는 이미 박화(thinning)되고 반도체 다이(203A, 203B)를 수용하기 이전에 후면 범프(213)를 포함할 수 있다. 이 경우, 예를 들어 도 6a 내지 도 6e에서 도시된 것처럼, 구조적인 지지, 접착 필름 및 필름 프레임(film frame)이 인터포저 다이(201)를 처리하기 위해 이용될 수 있다.In another exemplary scenario, the interposer die 201 may already be thinned and may include a backside bump 213 before accepting the semiconductor die 203A, 203B. In this case, structural supports, adhesive films, and film frames can be used to treat the interposer die 201, as shown, for example, in Figures 6A-6E.

인터포저 다이(201)가 박화(thinning)된 이후, 도 2d에 도시된 것처럼, TSV(207)와 패키징 기판처림 이후에 본딩되는 기판의 사이에서 컨택을 형성하기 위해 후면 범프(213)가 증착될 수 있다.After the interposer die 201 has been thinned, the backside bumps 213 are deposited to form a contact between the TSV 207 and the substrate being bonded after packaging of the packaging substrate, as shown in Figure 2D. .

반도체 다이(203A, 203B)와 인터포저 다이(201)를 포함하는 어셈블리는 이후 도 2e에 도시된 것처럼, 후면 범프(213)를 통해 패키징 기판(215)에 본딩될 수 있다. 패키징 기판(215)는 다이 어셈블리를 위해 기계적인 지지 구조를 포함할 수 있고 예를 들어 수동 디바이스와 리드를 역시 지지할 수 있다. 패키징 기판(215)은 인터포저 다이(201) 상의 후면 범프(213)과 컨택을 형성하고 또한 도 2f에 도시된 것처럼 솔더볼(227)(또는 대체 구조)의 후속 위치를 위해 컨택 패드(219)를 포함할 수 있다.The assembly comprising the semiconductor die 203A, 203B and the interposer die 201 may then be bonded to the packaging substrate 215 via the backside bumps 213, as shown in FIG. 2E. The packaging substrate 215 may include a mechanical support structure for the die assembly and may, for example, also support the passive device and the lid. The packaging substrate 215 forms a contact with the rear bump 213 on the interposer die 201 and also contacts the contact pad 219 for subsequent positions of the solder ball 227 (or alternate structure) .

또한, 리드(223)는 패키징 기판(221)의 표면에서 접착제(225)로 이루어진 밀봉을 갖는 패키지 어셈블리 상에 위치될 수 있고, 역시 열적 인터페이스 물질을 포함할 수 있다. 따라서, 리드(221)는 열적 히트 싱크 목적을 위해 (예를 들어 직접 ㄸ또 열적 인터페이스 물질을 통해) 반도체 다이(203A, 203B)의 상면에 컨택을 형성할 수 있다. 솔더볼(227)은 예를 들어, 인쇄 회로 기판과 전기적 및 기계적 컨택을 형성하기 위한 금속 구체를 포함할 수 있다.The leads 223 may also be located on a package assembly having a seal of adhesive 225 at the surface of the packaging substrate 221 and may also include a thermal interface material. Thus, the leads 221 can form contacts on the top surface of the semiconductor die 203A, 203B (for example, through a direct thermal interface material) for thermal heat sink purposes. The solder ball 227 may include, for example, a metal sphere for forming electrical and mechanical contacts with the printed circuit board.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 다이 대 다이 일차 본딩 프로세스에서 예시적인 단계들을 도시한 개략도이다. 도 3을 참조하면, 다이 대 인터포저 어태치(301)로 시작되는 다이 대 다이 프로세스가 도시되어 있다. 하나 또는 이상의 다이는 예를 들어, 열 압착 기법 또는 매스 리플로우 프로세스를 이용하여 본딩될 수 있다. 도 3에 도시된 실시예에서, 매스 리플로우 프로세스가 이용된다. 추가적인 다이도 역시 도 1b에 도시된 DRAM 스택(121)에 의해 도시된 것과 같은 일차 본딩된 다이 또는 도 1a에 도시된 인터포저 웨이퍼에 본딩된다.3 is a schematic diagram illustrating exemplary steps in a die-to-die bonding process according to an embodiment of the present invention. Referring to FIG. 3, a die-to-die process is illustrated that begins with a die-to-interposer attachment 301. The one or more dies may be bonded using, for example, a thermal compression technique or a mass reflow process. In the embodiment shown in FIG. 3, a mass reflow process is used. Additional dies are also bonded to the first bonded die as shown by the DRAM stack 121 shown in FIG. 1B or the interposer wafer shown in FIG. 1A.

다이가 인터포저 다이에 이치한 이후, 어셈블리는 리플로우 프로세스(303A)에 들어갈 수 있고, 어셈블리는 금속 인터커넥트간에 적절한 전기적 및 기계적 연결을 제공하기 위해 가열될 수 있다. 언더필 프로세스(305A)는 본딩 프로세스에 후속하여 이용될 수 있으며(예를 들어, 언더필링이 본딩 프로세스 동안 발생하지 않는 예시적인 시나리오에서), 컨택들간의 절연 배리어를 제공할 수 있으며, 다이와 인터포저 웨이퍼 사이의 부피를 채울 수 있다.After the die has placed the interposer die, the assembly can enter the reflow process 303A and the assembly can be heated to provide adequate electrical and mechanical connection between the metal interconnects. The underfill process 305A may be used subsequent to the bonding process (e.g., in an exemplary scenario where underfilling does not occur during the bonding process), may provide an isolation barrier between the contacts, Can fill the volume between.

몰딩 단계(307)는 후면 마무리 단계(309)에서 TSV를 노출시키기 위해 인터포저 기판을 박화(thinning)하기 전에 다이/인터포저 어셈블리를 패키징하는데 이용될 수 있다. 또한, 후면 컨택이 (예를 들어, 이러한 컨택이 이전에 형성되지 않았던 예시적인 시나리오에서) 인터포저 웨이퍼에서 노출된 TSV에 적용될 수 있다.The molding step 307 may be used to package the die / interposer assembly before thinning the interposer substrate to expose the TSV in the backside finishing step 309. [ Also, a back contact may be applied to the exposed TSV in the interposer wafer (e.g., in an exemplary scenario where such a contact was not previously formed).

일단 후면 컨택이 위치되면, 어셈블리는 다이 스택을 기판에 부착하는 단계(311)에서 패키징 기판에 부착될 수 있다. 이것은 패키징 기판에 적절한 전기적 및 기계적 본딩을 생성하기 위한 이차 리플로우 단계(303B) 및 다이와 인터포저 오셈블리와 패키징 기판간의 부피를 채우기 위한 언더필 단계(305B)에 후속할 수 있다. 마지막으로, 본딩된 패키지는 본딩된 다이 내에서 전자 회로의 성능을 평가하고 본딩 프로세스에서 만들어진 전기적 컨택을 테스트하기 위해 최종 테스트 단계(315)에 들어갈 수 있다.Once the backside contact is positioned, the assembly may be attached to the packaging substrate in step 311 of attaching the die stack to the substrate. This may be followed by a second reflow step 303B to create the appropriate electrical and mechanical bonding to the packaging substrate and an underfill step 305B to fill the volume between the die and interposer assembly and the packaging substrate. Finally, the bonded package may enter the final test step 315 to evaluate the performance of the electronic circuit within the bonded die and to test the electrical contact made in the bonding process.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기계적 평탄화 장치를 도시한 다이어그램이다. 도 4를 참조하면, 보트(401), 칩(403), 다수의 반도체 다이(405) 및 인터포저(407)이 도시되어 있고, 인터포저(407)는 다이 형태로 있을 수 있다. 보트(401)는 다이/인터포저 어셈블리가 칩(403)에 의해 위치되고 고정될 수 있는 강한 지지 구조 또는 고정체(fixture)를 포함할 수 있다. 보트(401)는 예를 들어 다이/인터포저 어셈블리의 프로세싱에 사용되는 200℃ 이상의 고온을 견딜 수 있다.4 is a diagram illustrating a mechanical planarization apparatus according to an embodiment of the present invention. Referring to FIG. 4, a boat 401, a chip 403, a plurality of semiconductor dies 405 and an interposer 407 are shown, and the interposer 407 may be in the form of a die. The boat 401 may include a strong support structure or fixture on which the die / interposer assembly may be positioned and secured by the chip 403. [ The boat 401 is capable of withstanding high temperatures, such as 200 ° C or higher, used in processing die / interposer assemblies, for example.

다수의 반도체 다이(405)는 보트(401)에 위치되기에 앞서서 예를 들면 열 압착 본딩 기법을 이용하여 다이 형태인 인터포저(407)에 본딩될 수 있다. 보트(401), 다수의 반도체 다이(405) 및 인터포저(407)의 온도가 높아짐에 따라, 다수의 반도체 다이(405)와 인터포저(407)를 포함하는 어셈블리의 만곡은 어셈블리의 외부 가장자리에서 아래로 향하는 힘을 제공하는 칩(403)으로 납작해질 수 있다. 만곡이 0에 접근함에 따라, 수평 방향에서 증가된 길이는 칩(403)의 하부에서 슬라이딩에 의해 수용될 수 있다. 또한, 보트(401)는 칩(403)의 아래로 향하는 힘과 함께 기계적인 지지를 제공하여, 어셈블리를 평탄화시킨다.A plurality of semiconductor dies 405 may be bonded to the interposer 407 in die form prior to being placed in the boat 401 using, for example, a thermal compression bonding technique. As the temperature of the boat 401, the plurality of semiconductor dies 405 and the interposer 407 increases, the curvature of the assembly, including the plurality of semiconductor dies 405 and the interposer 407, And can be flattened with a chip 403 that provides a downward force. As the curvature approaches zero, the increased length in the horizontal direction can be accommodated by sliding at the bottom of the chip 403. In addition, the boat 401 provides mechanical support with downward force of the chip 403 to planarize the assembly.

보트(401) 및 칩(403)은 평소 방식에서 가열을 위한 부분적으로 조립된 패키지를 허용할 수 있으나, 다이/인터포저 어셈블리가 증가된 온도에 따라 평평하게 된 때, 보트(401) 및 칩(403)은 부분적으로 조립된 패키지를 고정하고, 가열하는 동안 그것을 납작하게 하고, 온도가 높아짐에 따라 실리콘 인터포저의 평평도를 유지하여, 휨 현상(warpage)의 통상적인 진행을 반대한다.The boat 401 and the chip 403 may allow a partially assembled package for heating in the usual manner, but when the die / interposer assembly is flattened at an increased temperature, the boat 401 and the chip 403 hold the partially assembled package, flatten it during heating, and maintain the flatness of the silicon interposer as the temperature rises, opposing the normal progression of warpage.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 평탄화 장치를 도시한 다이어그램이다. 도 5를 참조하면, 보트(501), 다수의 반도체 다이(505), 인터포저(507), 진공 실링 링(1009), 진공 채널(511), 밸브(513) 및 진공 서플라이(515)가 도시된다.5 is a diagram illustrating a vacuum leveling apparatus according to an embodiment of the present invention. 5, a boat 501, a plurality of semiconductor dies 505, an interposer 507, a vacuum sealing ring 1009, a vacuum channel 511, a valve 513 and a vacuum supply 515, do.

예시적인 시나리오에서, 보트(501)는 다수의 반도체 다이(505)와 다이 형태일 때 인터포저(507)를 포함하는 부분적으로 조립된 패키지를 납작하게 하기 위한 진공 시스템 또는 고정체를 포함한다. 진공 기계 시스템은 부분적으로 조립된 패키지가 평소 방식에서 가열되는 것을 허용하나, 부분적으로 조립된 패키지가 평평하게 된 때, 진공 기계 시스템은 가열 동안 평평해진 구성에서 부분적으로 조립된 패키지를 고정하고, 온도가 증가함에 따라 실리콘 인터포저(507)의 평평도를 유지한다. In an exemplary scenario, the boat 501 includes a vacuum system or fixture to flatten a partially assembled package comprising a plurality of semiconductor die 505 and an interposer 507 when in die form. The vacuum machine system allows the partially assembled package to be heated in the usual manner, but when the partially assembled package is flattened, the vacuum machine system holds the partially assembled package in a flattened configuration during heating, The flatness of the silicon interposer 507 is maintained.

진공은 상온 또는 약간 상승된 온도에서 밸브(513) 및 진공 채널(511)을 통한 진공 서플라이(515)를 이용하여 적용될 수 있고, 고온 실링 링(509)을 이용하여 유지되어 진공 기계적 보트(501)는 표준 리플로우 퍼니스를 통해 이동할 수 있고 인터포저 실리콘 상면 평탄도를 유지하기 충분한 진공을 유지할 수 있다.The vacuum can be applied using vacuum supply 515 via valve 513 and vacuum channel 511 at room temperature or slightly elevated temperature and can be maintained using a high temperature sealing ring 509 to provide a vacuum mechanical boat 501, Can move through a standard reflow furnace and maintain a vacuum sufficient to maintain the top surface flatness of the interposer silicon.

도 6a 내지 도 6e는 본 발명의 일 실시예에 따른 큰 후면 범프를 구비한 웨이퍼를 디본딩하기 위한 예시적인 단계들을 도시한다. 도 6a를 참조하면, 캐리어 웨이퍼(601), 후면 범프를 갖는 웨이퍼(603) 및 폴리머(607)를 보여준다.6A-6E illustrate exemplary steps for debonding a wafer with large back bumps in accordance with one embodiment of the present invention. Referring to FIG. 6A, a carrier wafer 601, a wafer 603 having a backside bump, and a polymer 607 are shown.

웨이퍼(603)는 예를 들어, 디본딩 프로세스에서 충격에 대해 민감할 수 있는 큰 후면 범프(605)를 포함하는 웨이퍼 또는 인터포저 웨이퍼를 포함할 수 있다. 따라서, 폴리머층(607)은 디본딩 프로세스 동안 후면 범프(605)를 보호하기 위해 적용될 수 있다. 폴리머층(607)은 예를 들어, 레지스트 물질이나 접착 필름 또는 테이프를 포함할 수 있고 후면 범프(605) 상에서 웨이퍼(603)에 적용될 수 있다.The wafer 603 may include a wafer or interposer wafer including a large backside bump 605 that may be sensitive to impact, for example, in a debonding process. Thus, the polymer layer 607 may be applied to protect the backside bumps 605 during the debonding process. The polymer layer 607 may comprise, for example, a resist material, an adhesive film or a tape and may be applied to the wafer 603 on the backside bumps 605.

진공 기법을 이용하는 등으로 캐리어 웨이퍼(601)와 폴리머층(607)의 상면에 대한 이후의 척 부착이 도 6b에 도시된다. 상부 척(609A)은 일 수평 방향에서 이동될 수 있는 반면, 하부 척(609B)은 웨이퍼(603)로부터 개별적인 캐리어 웨이퍼(601)에 대해 반대 방향으로 이동될 수 있다. 폴리머층(607)은 후면 범프(605)에 직접적으로 인가될 때 부족한 밀봉이 될 수 있는 표면에 대해 적절한 진공 밀봉을 가능하게 할 수 있다.Subsequent chucking of the upper surface of the carrier wafer 601 and the polymer layer 607, such as by using a vacuum technique, is shown in Fig. 6B. The upper chuck 609A can be moved in one horizontal direction while the lower chuck 609B can be moved in the opposite direction to the individual carrier wafer 601 from the wafer 603. [ The polymer layer 607 can enable proper vacuum sealing against surfaces that can become poorly sealed when applied directly to the backside bumps 605. [

도 6c는 캐리어 웨이퍼(601)로부터 디본딩에 후속하는 결과 구조를 도시한다. 웨이퍼(601)로부터 잔존하는 어떠한 접착제 잔여물도 상부 척(609A)에 여전히 부탁된 채로 세정 프로세스에서 제거될 수 있다.Fig. 6C shows the resulting structure following debonding from the carrier wafer 601. Fig. Any adhesive residue remaining from the wafer 601 can be removed in the cleaning process while still being asked for the upper chuck 609A.

세정된 구조는 예를 들어 도 6d에서 도시된 것처럼, 후면 범프(605)가 상부를 향하게 하고 상부 척(609A)로부터 분리된 채로 필름 프레임(611)에 고정될 수 있다. 폴리머층(607)은 표면 세정에 후속되어 화학적으로 또는 열적으로 제거될 수 있고, 이후 표면 세정을 겪을 수 있고, 예를 들어, 도 6e에서 도시된 본딩된 웨이퍼(603)를 도출한다. 필름 프레임(611)은 추가적인 프로세싱 및 본딩된 웨이퍼(603)의 이송의 편의를 가능하게 한다.The cleaned structure can be secured to the film frame 611 with the rear bump 605 facing up and separated from the upper chuck 609A, for example, as shown in Fig. 6D. The polymer layer 607 may be chemically or thermally removed following the surface cleaning and may then undergo surface cleaning, for example, to yield the bonded wafer 603 shown in Figure 6E. The film frame 611 allows for additional processing and transport convenience of the bonded wafer 603.

도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 패턴된 언더필층을 사용한 다이 본딩을 도시한 다이어그램이다. 도 7을 참조하면, 마이크로 범프(703)를 구비한 상부 반도체 다이(701) 및 컨택 패드(707)와 언더필층(709)을 포함하는 하부 반도체 다이(705)가 도시된다.7 is a diagram illustrating die bonding using a patterned underfill layer in accordance with an embodiment of the present invention. 7, an upper semiconductor die 701 with microbumps 703 and a lower semiconductor die 705 including contact pads 707 and an underfill layer 709 are shown.

예시적인 시나리오에서, 마이크로 범프(703)는 예를 들어, 구리 필러를 포함할 수 있고, 하부 반도체 다이(705)에서 컨택 패드(707)에 대응할 수 있다. 다른 예시적인 시나리오에서, 하부 반도체 다이(705)가 싱글 다이로 도시되어 있으나, 싱글 다이의 반대로 웨이퍼에 본딩된 다수의 상부 반도체 다이(701)를 구비한 다이의 전체 웨이퍼(예를 들어, 인터포저 웨이퍼)를 포함할 수 있다. 예시적인 시나리오에서, 하부 반도체 다이(705)는 싱글 인터포저 다이를 포함할 수 있다. 언더필층(709)은 예를 들어, 상부 반도체 다이(701)인, 다음 레벨 다이가 본딩될 하부 반도체 다이(705)의 상면에 적용된 폴리머를 포함할 수 있다. 폴리머는 후속하는 언더필 프로세스를 필요로 하지 않는 다이 양면에 흐르고 본딩될 리패시배이션(re-passivation) 또는 미리 적용된 언더필을 포함할 수 있다.In an exemplary scenario, the microbump 703 may include, for example, a copper filler and may correspond to the contact pad 707 in the lower semiconductor die 705. [ In another exemplary scenario, the lower semiconductor die 705 is shown as a single die, but the entire wafer of a die with a plurality of upper semiconductor die 701 bonded to the wafer as opposed to a single die (e.g., Wafer). In an exemplary scenario, the bottom semiconductor die 705 may comprise a single interposer die. The underfill layer 709 may comprise a polymer applied to the top surface of the lower semiconductor die 705 to which the next level die, for example, the upper semiconductor die 701, is to be bonded. The polymer may include re-passivation or pre-applied underfill to be flowed and bonded on both sides of the die that do not require a subsequent underfill process.

또한, 언더필층(709)은 예를 들어, 언더필층(709)에 웰(well)을 형성하는 것에 의해 하부 반도체 다이(705)에서 적절한 컨택 패드(707)을 노출시키기 위한 포토리소그래피 기법 또는 레이저 어블레이션(laser ablation)을 이용하여 패턴될 수 있다. 언더필층(709)은 개구가 예를 들어, 래이저 어블레이션 또는 포토리소그래피 기법을 이용하여 생성된 전체 깊이의 포켓 또는 부분 깊이의 포켓을 포함할 수 있는 필름을 포함할 수 있다. 부분 깊이의 포켓에 잔존하는 물질은 예를 들어 상부 다이(701) 및 하부 다이(705)의 본딩 프로세스에서 보조를 할 수 있다.The underfill layer 709 may also be formed by photolithography or laser ablation to expose the appropriate contact pad 707 in the lower semiconductor die 705, for example, by forming a well in the underfill layer 709. [ Laser ablation. ≪ / RTI > The underfill layer 709 may include a film that may include pockets of full depth or pockets of partial depth created by using, for example, laser ablation or photolithographic techniques. Substance remaining in the pockets of the partial depth can assist in the bonding process of the upper die 701 and the lower die 705, for example.

노출된 패드는 상부 반도체 다이(701)를 하부 반도체 다이(705)에 정렬하는데 사용될 수 있다. 다이는 예를 들어, 열 압착이나 매스 리플로우 기법을 이용하여 본딩될 수 있다. 플럭스 딥(flux dip)은 일면에서부터 나머지로 솔더의 적심(wetting)에서 도움을 주기 위해 이용될 수 있고, 언더필은 상부 및 하부 다이 표면 모두에 대해 "스냅-경화(snap-cure)" 또는 밀봉할 수 있다. 또한, 언더필은 본딩 프로세스 동안 마이크로 범프(703)와 컨택 패드(707)의 주변 및 하부로 흐를 수 있다.The exposed pad may be used to align the upper semiconductor die 701 with the lower semiconductor die 705. [ The die can be bonded, for example, using a thermocompression or mass reflow technique. The flux dip may be used to assist in wetting the solder from one side to the rest and the underfill may be "snap-cured" or sealed to both the upper and lower die surfaces. . In addition, the underfill can flow to the periphery and the bottom of the microbump 703 and the contact pad 707 during the bonding process.

본 발명의 일 실시예에서, 다이 대 다이 일차 본드를 갖는 반도체 디바이스 패키지를 위한 방법 및 시스템이 개시된다. 이와 관련하여, 본 발명의 양상들은 전자 디바이스를 포함하는 다수의 반도체 다이(101, 121, 203A, 203B, 405, 505, 701)를 인터포저 웨이퍼(107, 201)에 대해 본딩하는 것을 포함한다. 언더필 물질(210)은 하나 또는 이상의 반도체 다이(101, 121, 203A, 203B, 405, 505, 701) 및 인터포저 웨이퍼(107, 201)의 사이에 적용될 수 있고, 몰드 물질(211)은 하나 또는 이상의 반도체 다이(101, 121, 203A, 203B, 405, 505, 701)를 인캡슐레이션하기 위해 적용될 수 있다. 인터포저 다이(107, 201, 하부 반도체 다이(705)가 인터포저 다이를 포함하는 경우 705)는 관통 실리콘 비아(TSVs)(115, 207)를 노출시키기 위해 박화(thinning)될 수 있다. 금속 컨택(213)은 패키징 기판(103, 215)에 본딩될 수 있는 본딩된 하나 또는 이상의 반도체 다이(101, 121, 203A, 203B, 405, 505, 701)와 함께, 노출된 TSV(115, 207) 및 인터포저 다이(107, 201, 하부 반도체 다이(705)가 인터포저 다이를 포함하는 경우 705)에 적용될 수 있다.In one embodiment of the present invention, a method and system for a semiconductor device package having a die-to-die primary bond is disclosed. In this regard, aspects of the present invention include bonding a plurality of semiconductor dies 101, 121, 203A, 203B, 405, 505, 701, including electronic devices, to interposer wafers 107, The underfill material 210 may be applied between one or more semiconductor dies 101, 121, 203A, 203B, 405, 505, 701 and interposer wafers 107, 201, Can be applied to encapsulate the semiconductor dies 101, 121, 203A, 203B, 405, 505, and 701 described above. The interposer die 107, 201 and the bottom semiconductor die 705 may include an interposer die 705 may be thinned to expose the through silicon vias TSVs 115, 207. The metal contacts 213 are exposed to the exposed TSVs 115,207 together with one or more semiconductor dies 101,121, 203A, 203B, 405, 505, 701 bonded thereto that can be bonded to the packaging substrates 103, And interposer die 107, 201, 705 where the lower semiconductor die 705 includes an interposer die.

하나 또는 이상의 반도체 다이(101, 121, 203A, 203B, 405, 505, 701)의 본딩은 하나 또는 이상의 반도체 다이(101, 121, 203A, 203B, 405, 505, 701)를 접착층(611)에 접착하고, 접착된 하나 또는 이상의 반도체 다이(101, 121, 203A, 203B, 405, 505, 701)를 인터포저 다이(107, 201, 하부 반도체 다이(705)가 인터포저 다이를 포함하는 경우 705)에 본딩하는 것을 포함할 수 있다. 하나 또는 이상의 반도체 다이(101, 121, 203A, 203B, 405, 505, 701)는 인터포저 다이(107, 201, 하부 반도체 다이(705)가 인터포저 다이를 포함하는 경우 705)에 결합하기 위한 마이크로 범프(109, 205, 703)를 포함할 수 있고, 본딩은 인터포저 다이(107, 201, 하부 반도체 다이(705)가 인터포저 다이를 포함하는 경우 705) 상에 형성된 층(709)에서 각각의 웰(711)에 마이크로 범프(109, 205, 703)를 위치시키고, 인터포저 다이(107, 201, 하부 반도체 다이(705)가 인터포저 다이를 포함하는 경우 705)에 마이크로 범프(109, 205, 703)를 본딩하는 것을 포함할 수 있다. 언더필 물질(210)은 캐필러리 언더필 프로세스를 이용하여 적용될 수 있다. 하나 또는 이상의 반도체 다이(101, 121, 203A, 203B, 405, 505, 701)는 매스 리플로우 프로세스 또는 열 압착 프로세스를 이용하여 인터포저 다이(107, 201, 하부 반도체 다이(705)가 인터포저 다이를 포함하는 경우 705)에 본딩될 수 있다.The bonding of the one or more semiconductor dies 101, 121, 203A, 203B, 405, 505, 701 may be accomplished by bonding one or more semiconductor dies 101, 121, 203A, 203B, 405, 505, 701 to the adhesive layer 611 And one or more semiconductor dies 101, 121, 203A, 203B, 405, 505, and 701 bonded to the interposer die 107, 201, 705 (if the lower semiconductor die 705 includes an interposer die) And bonding. One or more semiconductor dies 101,121, 203A, 203B, 405, 505 and 701 may be used to interconnect microspheres 107,201 for coupling to interposer dies 107,201, 705 where the bottom semiconductor die 705 comprises an interposer die. Bumps 109,205 and 703 and the bonding may be performed in a layer 709 formed on the interposer die 107,201, 705 where the bottom semiconductor die 705 comprises an interposer die, The microbumps 109,205 and 703 are placed in the wells 711 and the microbumps 109,205 and 703 are placed in the interposer die 107,201 and 705 when the bottom semiconductor die 705 comprises an interposer die. 0.0 > 703). ≪ / RTI > The underfill material 210 may be applied using a capillary underfill process. One or more semiconductor dies 101, 121, 203A, 203B, 405, 505, 701 may be fabricated using a mass reflow process or a thermo compression process to form interposer die 107, 201, lower semiconductor die 705, 705). ≪ / RTI >

하나 또는 이상의 추가적인 반도체 다이(121, 701)는 매스 리플로우 프로세스를 이용하여 하나 또는 이상의 다이(101, 121, 203A, 203B, 405, 505, 701)에 본딩될 수 있다. 하나 또는 이상의 추가적인 반도체 다이(121, 701)는 열 압착 프로세스를 이용하여 하나 또는 이상의 반도체 다이(101, 121, 203A, 203B, 405, 505, 701)에 본딩될 수 있다.몰드 물질(211)은 폴리머를 포함할 수 있다. 하나 또는 이상의 다이(101, 121, 203A, 203B, 405, 505, 701)의 본딩은 하나 또는 이상의 반도체 다이(101, 121, 203A, 203B, 405, 505, 701)와 인터포저 다이(107, 201, 하부 반도체 다이(705)가 인터포저 다이를 포함하는 경우 705)를 하나 또는 이상의 반도체 다이(101, 121, 203A, 203B, 405, 505, 701)와 인터포저 다이(107, 201, 하부 반도체 다이(705)가 인터포저 다이를 포함하는 경우 705)에 대해 반대 방향이 아닌 일 방향에서 구부려지도록(flex) 허용하는 고정체(fixture)(401, 501) 내에 위치시키고, 하나 또는 이상의 반도체 다이(101, 121, 203A, 203B, 405, 505, 701)와 인터포저 다이(107, 201, 하부 반도체 다이(705)가 인터포저 다이를 포함하는 경우 705)를 리플로우 프로세스를 통해 처리하는 것을 포함할 수 있다.One or more additional semiconductor die 121, 701 may be bonded to one or more dies 101, 121, 203A, 203B, 405, 505, 701 using a mass reflow process. One or more additional semiconductor die 121, 701 may be bonded to one or more semiconductor dies 101, 121, 203A, 203B, 405, 505, 701 using a thermocompression process. Polymer. The bonding of the one or more dies 101, 121, 203A, 203B, 405, 505, 701 may be performed by one or more semiconductor dies 101, 121, 203A, 203B, 405, 505, 701 and interposer dies 107, 201 The lower semiconductor die 705 includes an interposer die 705) with one or more semiconductor die 101, 121, 203A, 203B, 405, 505, 701 and interposer die 107, 201, (401, 501) that allows the semiconductor die (705) to flex in one direction that is not the opposite direction to the direction 705 where the semiconductor die (705) includes an interposer die, and one or more semiconductor die , 121, 203A, 203B, 405, 505, 701 and interposer die 107, 201, 705 where the lower semiconductor die 705 includes an interposer die) through a reflow process have.

본 발명은 특정 실시예를 참조하여 설명되었으나, 본 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 사람에 의해 다양한 변경이 이루어질 수 있고 등가물이 본 발명의 범위로부터 벗어남이 없이 대체될 수 있음이 이해될 것이다. 또한, 많은 변형이 본 발명의 개시에 대해 그 범위로부터 벗어남이 없이 특정 상황 또는 물질을 적용하기 위해 이루어질 수 있다. 따라서, 본 발명은 개시된 특정 실시예들에 국한되지 않고 첨부되는 청구항의 범위 내에 있는 모든 실시예를 포함하도록 의도된다.Although the present invention has been described with reference to particular embodiments, it will be understood that various changes may be made and equivalents may be substituted without departing from the scope of the present invention by those skilled in the art. In addition, many modifications may be made to adapt a particular situation or material to the teachings of the invention without departing from its scope. Accordingly, it is intended that the invention not be limited to the particular embodiments disclosed, but that the invention will include all embodiments falling within the scope of the appended claims.

Claims (21)

반도체 패키징을 위한 방법에 있어서,
전자 디바이스를 포함하는 하나 또는 이상의 반도체 다이를 인터포저 다이에 본딩하고;
상기 하나 또는 이상의 반도체 다이와 상기 인터포저 다이의 사이에 언더필을 적용하고;
상기 하나 또는 이상의 반도체 다이를 인탭슐레이션하는 몰드 물질을 적용하고;
관통 실리콘 비아(TSVs)를 노출시키기 위해 상기 인터포저 다이를 박화(thinning)하고;
상기 노출된 관통 실리콘 비아에 금속 컨택을 적용하고; 및
상기 본딩된 하나 또는 이상의 반도체 다이를 구비한 상기 인터포저 다이를 패키징 기판에 본딩하는 것을 포함하는 반도체 패키징을 위한 방법.A method for semiconductor packaging,
Bonding one or more semiconductor dies including an electronic device to an interposer die;
Applying underfill between the one or more semiconductor die and the interposer die;
Applying a mold material that in-tabulates the one or more semiconductor die;
Thinning the interposer die to expose the through silicon vias (TSVs);
Applying a metal contact to said exposed through silicon vias; And
And bonding the interposer die with the one or more bonded semiconductor die to a packaging substrate. 제 1 항에 있어서,
상기 하나 또는 이상의 반도체 다이의 본딩은
접착층에 대해 하나 또는 이상의 반도체 다이를 접착하는 단계; 및
상기 인터포저 다이에 상기 접착된 하나 또는 이상의 반도체 다이를 본딩하는 단계를 포함하는 반도체 패키징을 위한 방법.The method according to claim 1,
The bonding of the one or more semiconductor die
Bonding one or more semiconductor dies to the adhesive layer; And
And bonding the bonded one or more semiconductor dies to the interposer die. 제 1 항에 있어서,
상기 하나 또는 이상의 반도체 다이는 상기 인터포저 다이에 결합하기 위한 마이크로 범프를 포함하고, 상기 본딩은
상기 마이크로 범프를 상기 인터포저 다이 상에 형성된 층 내에서 각각의 웰(wells)에 위치시키고; 및
상기 마이크로 범프를 상기 인터포저 다이에 본딩하는 것을 포함하는 반도체 패키징을 위한 방법.The method according to claim 1,
Wherein the one or more semiconductor dies include micro bumps for coupling to the interposer die,
Placing the microbumps in respective wells in a layer formed on the interposer die; And
And bonding the micro-bumps to the interposer die. 제 1 항에 있어서,
상기 언더필 물질은 캐필러리 언더필 프로세스를 이용하여 적용되는 반도체 패키징을 위한 방법.The method according to claim 1,
Wherein the underfill material is applied using a capillary underfill process. 제 1 항에 있어서,
상기 하나 또는 이상의 반도체 다이를 상기 인터포저 다이에 매스 리플로우 프로세스(mass reflow process)를 이용하여 본딩하는 것을 포함하는 반도체 패키징을 위한 방법.The method according to claim 1,
And bonding the one or more semiconductor die to the interposer die using a mass reflow process. 제 1 항에 있어서,
상기 하나 또는 이상의 반도체 다이를 상기 인터포저 다이에 열 압착 프로세스를 이용하여 본딩하는 것을 포함하는 반도체 패키징을 위한 방법.The method according to claim 1,
And bonding the one or more semiconductor dies to the interposer die using a thermocompression process. 제 1 항에 있어서,
하나 또는 이상의 추가적인 다이를 상기 하나 또는 이상의 반도체 다이에 매스 리플로우 프로세스를 이용하여 본딩하는 것을 포함하는 반도체 패키징을 위한 방법.The method according to claim 1,
And bonding one or more additional die to the one or more semiconductor die using a mass reflow process. 제 1 항에 있어서,
하나 또는 이상의 추가적인 다이를 상기 하나 또는 이상의 반도체 다이에 열 압착 프로세스를 이용하여 본딩하는 것을 포함하는 반도체 패키징을 위한 방법.The method according to claim 1,
And bonding one or more additional die to the one or more semiconductor dies using a thermocompression process. 이방성 필름(Anistotropic films) 및 도전성 접착제와 같은 도전성 폴리머.Conductive polymers such as anisotropic films and conductive adhesives. 제 1 항에 있어서,
상기 몰드 물질은 폴리머를 포함하는 반도체 패키징을 위한 방법.The method according to claim 1,
Wherein the mold material comprises a polymer. 제 1 항에 있어서,
상기 하나 또는 이상의 반도체 다이의 본딩은
상기 하나 또는 이상의 반도체 다이와 상기 인터포저 다이를 상기 하나 또는 이상의 반도체 다이와 상기 인터포저 다이에 대해 반대 방향이 아닌 일 방향에서 구부려지도록 허용하는 고정체 내에 위치시키고; 및
상기 하나 또는 이상의 반도체 다이와 상기 인터포저 다이를 리플로우 프로세스를 통해 처리하는 것을 포함하는 반도체 패키징을 위한 방법.The method according to claim 1,
The bonding of the one or more semiconductor die
Positioning the one or more semiconductor dies and the interposer die in a fixture that allows the one or more semiconductor die and the interposer die to bend in one direction that is not the opposite direction; And
And processing the one or more semiconductor die and the interposer die through a reflow process. 반도체 패키징을 위한 방법에 있어서,
다이 대 다이 일차 본드 프로세스에서 반도체 패키지를 생성하고, 상기 프로세스는
전자 디바이스를 포함하는 하나 또는 이상의 반도체 다이를 인터포저 다이에 본딩하고;
상기 하나 또는 이상의 반도체 다이와 상기 인터포저 웨이퍼의 사이에 언더필 물질을 적용하고;
상기 다수의 반도체 다이를 인캡슐레이션하기 위해 몰드 물질을 적용하고;
관통 실리콘 비아(TSV)를 노출시키기 위해 상기 인터포저 웨이퍼를 박화(thinning)하고;
상기 노출된 관통 실리콘 비아에 대해 금속 컨택을 적용하고;
하나 또는 이상의 반도체 다이를 구비한 상기 인터포저 다이를 패키징 기판에 본딩하는 것을 포함하는 반도체 패키징을 위한 방법.A method for semiconductor packaging,
Die to die semiconductor bond process, the process comprising:
Bonding one or more semiconductor dies including an electronic device to an interposer die;
Applying an underfill material between the one or more semiconductor die and the interposer wafer;
Applying a mold material to encapsulate the plurality of semiconductor die;
Thinning the interposer wafer to expose the through silicon vias (TSV);
Applying a metal contact to the exposed through silicon vias;
And bonding the interposer die with one or more semiconductor die to a packaging substrate. 제 12 항에 있어서,
상기 하나 또는 이상의 반도체 다이의 본딩은
접착층에 상기 하나 또는 이상의 반도체 다이를 접착시키고; 및
상기 인터포저 다이에 상기 하나 또는 이상의 반도체 다이를 본딩하는 것을 포함하는 반도체 패키징을 위한 방법.13. The method of claim 12,
The bonding of the one or more semiconductor die
Bonding the one or more semiconductor die to the adhesive layer; And
And bonding the one or more semiconductor die to the interposer die. 제 12 항에 있어서,
상기 하나 또는 이상의 반도체 다이는 상기 인터포저 다이에 결합하기 위한 마이크로 범프를 포함하고, 상기 본딩은
상기 마이크로 범프를 상기 인터포저 다이 상에 형성된 층 내의 각각의 웰 내에 위치시키고; 및
상기 마이크로 범프를 상기 인터포저 다이에 본딩하는 것을 포함하는 반도체 패키징을 위한 방법.13. The method of claim 12,
Wherein the one or more semiconductor dies include micro bumps for coupling to the interposer die,
Placing the microbumps in respective wells in a layer formed on the interposer die; And
And bonding the micro-bumps to the interposer die. 제 12 항에 있어서,
상기 언더필 물질은 캐필러리 언더필 프로세스를 이용하여 적용되는 반도체 패키징을 위한 방법.13. The method of claim 12,
Wherein the underfill material is applied using a capillary underfill process. 제 12 항에 있어서,
상기 하나 또는 이상의 반도체 다이를 상기 인터포저 다이에 매스 리플로우 프로세스를 이용하여 본딩하는 것을 포함하는 반도체 패키징을 위한 방법.13. The method of claim 12,
And bonding the one or more semiconductor die to the interposer die using a mass reflow process. 제 12 항에 있어서,
상기 하나 또는 이상의 반도체 다이를 상기 인터포저 다이에 열 압착 프로세스를 이용하여 본딩하는 것을 포함하는 반도체 패키징을 위한 방법.13. The method of claim 12,
And bonding the one or more semiconductor dies to the interposer die using a thermocompression process. 제 12 항에 있어서,
하나 또는 이상의 추가적인 다이를 상기 하나 또는 이상의 반도체 다이에 매스 리플로우 프로세스를 이용하여 본딩하는 것을 포함하는 반도체 패키징을 위한 방법.13. The method of claim 12,
And bonding one or more additional die to the one or more semiconductor die using a mass reflow process. 제 12 항에 있어서,
하나 또는 이상의 추가적인 다이를 상기 하나 또는 이상의 반도체 다이에 열 압착 프로세스를 이용하여 본딩하는 것을 포함하는 반도체 패키징을 위한 방법.13. The method of claim 12,
And bonding one or more additional die to the one or more semiconductor dies using a thermocompression process. 제 12 항에 있어서,
상기 하나 또는 이상의 반도체 다이의 본딩은
상기 하나 또는 이상의 반도체 다이와 상기 인터포저 다이를 상기 하나 또는 이상의 반도체 다이와 상기 인터포저 다이에 대해 반대 방향이 아닌 일 방향에서 구부려지도록 허용하는 고정체 내에 위치시키고; 및
상기 하나 또는 이상의 반도체 다이와 상기 인터포저 다이를 리플로우 프로세스를 통해 처리하는 것을 포함하는 반도체 패키징을 위한 방법.13. The method of claim 12,
The bonding of the one or more semiconductor die
Positioning the one or more semiconductor dies and the interposer die in a fixture that allows the one or more semiconductor die and the interposer die to bend in one direction that is not the opposite direction; And
And processing the one or more semiconductor die and the interposer die through a reflow process. 반도체 패키징을 위한 방법에 있어서,
다이 대 다이 일차 본드 프로세스에서 반도체 패키지를 생성하고, 상기 프로세스는
전자 디바이스를 포함하는 하나 또는 이상의 반도체 다이의 일면을 접착층 상에 위치시키고;
상기 하나 또는 이상의 반도체 다이의 반대면을 인터포저 다이에 본딩하고;
상기 하나 또는 이상의 반도체 다이의 일면으로부터 상기 접착층을 제거하고;
상기 하나 또는 이상의 반도체 다이와 상기 인터포저 다이의 사이에 언더필 물질을 적용하고;
상기 하나 또는 이상의 반도체 다이를 인캡슐레이션하기 위해 몰드 물질을 적용하고; 및
상기 하나 또는 이상의 반도체 다이를 구비한 상기 인터포저 다이를 패키징 기판에 본딩하는 것을 포함하는 반도체 패키징을 위한 방법.A method for semiconductor packaging,
Die to die semiconductor bond process, the process comprising:
Placing one side of one or more semiconductor dies including an electronic device on an adhesive layer;
Bonding the opposing side of the one or more semiconductor die to an interposer die;
Removing the adhesive layer from one side of the one or more semiconductor die;
Applying an underfill material between the one or more semiconductor die and the interposer die;
Applying a mold material to encapsulate said one or more semiconductor die; And
And bonding the interposer die with the one or more semiconductor die to a packaging substrate.
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