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KR20150081869A - Organic light emitting device and manufacturing thereof - Google Patents

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KR20150081869A
KR20150081869A KR1020140001801A KR20140001801A KR20150081869A KR 20150081869 A KR20150081869 A KR 20150081869A KR 1020140001801 A KR1020140001801 A KR 1020140001801A KR 20140001801 A KR20140001801 A KR 20140001801A KR 20150081869 A KR20150081869 A KR 20150081869A
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KR
South Korea
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semiconductor
sub
electrode
light emitting
transistor
Prior art date
Application number
KR1020140001801A
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Korean (ko)
Inventor
남준호
Original Assignee
삼성디스플레이 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
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Abstract

The organic light emitting device and a manufacturing method thereof according to an embodiment of the present invention comprises: a first sub-semiconductor located on the substrate; a gate insulation layer located on the first sub-semiconductor; a gate electrode located on the gate insulation layer; a first inter-layer insulation layer located on the gate electrode; a second sub-semiconductor located on the first inter-layer insulation layer and connected to the first sub-semiconductor; a source electrode and a drain electrode which are located on the second sub-semiconductor and are connected to the first and the second sub-semiconductor;; a pixel electrode electrically connected to the drain electrode; an organic light emitting member located on the pixel electrode; and a common electrode located on the organic light emitting member.

Description

유기 발광 표시 장치 및 이의 제조 방법{ORGANIC LIGHT EMITTING DEVICE AND MANUFACTURING THEREOF}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to an organic light emitting diode (OLED) display device,

본 발명은 유기 발광 표시 장치 및 이의 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an organic light emitting display and a method of manufacturing the same.

최근 모니터 또는 텔레비전 등의 경량화 및 박형화가 요구되고 있으며, 이러한 요구에 따라 음극선관(cathode ray tube, CRT)은 평판 표시 장치로 대체되고 있다.2. Description of the Related Art In recent years, a cathode ray tube (CRT) has been replaced by a flat panel display device in response to such demands.

평판 표시 장치에는 액정 표시 장치, 전계 방출 표시 장치, 유기 발광 표시 장치, 플라즈마 표시 패널 등이 있다. 평판 표시 장치 중에서도 유기 발광 표시 장치는 낮은 소비 전력, 빠른 응답 속도, 넓은 시야각, 높은 대비비 등으로 인하여 주목받고 있다.Flat panel display devices include liquid crystal display devices, field emission display devices, organic light emitting display devices, and plasma display panels. Of the flat panel display devices, organic light emitting display devices are attracting attention due to their low power consumption, fast response speed, wide viewing angle, and high contrast ratio.

유기 발광 표시 장치는 자기 발광 표시 장치로서, 두 개의 전극과 그 사이에 위치하는 발광층을 포함하며, 하나의 전극으로부터 주입된 전자(electron)와 다른 전극으로부터 주입된 정공(hole)이 발광층에서 결합하여 여기자(exiton)를 형성하고, 여기자가 에너지를 방출하면서 발광한다.An organic light emitting diode (OLED) display is a self-luminous display having two electrodes and a light emitting layer interposed therebetween. Electrons injected from one electrode and holes injected from another electrode are combined in the light emitting layer The excitons emit energy and emit light.

본 발명이 이루고자 하는 과제는 상이한 층상에 위치하면서 상호 연결된 반도체를 통해 일정 길이 이상의 채널 영역을 확보함으로써, 표시 장치의 성능을 향상시키고 균일한 영상을 제공하고자 한다. An object of the present invention is to improve the performance of a display device and to provide a uniform image by securing a channel region of a predetermined length or more through semiconductors connected to each other on a different layer.

본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치는 기판, 상기 기판 위에 위치하는 제1 부반도체, 상기 제1 부반도체 위에 위치하는 게이트 절연막, 상기 게이트 절연막 위에 위치하는 게이트 전극, 상기 게이트 전극 위에 위치하는 제1 층간 절연막, 상기 제1 층간 절연막 위에 위치하며, 상기 제1 부반도체와 연결되는 제2 부반도체, 상기 제2 부반도체 위에 위치하며, 상기 제1 부반도체 및 상기 제2 부반도체에 연결되는 소스 전극 및 드레인 전극, 상기 드레인 전극과 전기적으로 연결되는 화소 전극, 상기 화소 전극 위에 위치하는 유기 발광 부재, 및 상기 유기 발광 부재 위에 위치하는 공통 전극을 포함한다. An organic light emitting display according to an embodiment of the present invention includes a substrate, a first sub-semiconductor disposed on the substrate, a gate insulating film disposed on the first sub-semiconductor, a gate electrode positioned on the gate insulating film, A second sub-semiconductor located on the first interlayer insulating film and connected to the first sub-semiconductor; a second sub-semiconductor disposed on the second sub-semiconductor and connected to the first sub-semiconductor and the second sub- A pixel electrode electrically connected to the drain electrode, an organic light emitting member disposed on the pixel electrode, and a common electrode disposed on the organic light emitting member.

반도체는 상기 제1 부반도체 및 상기 제2 부반도체를 포함하며, 상기 반도체는 소스 영역, 드레인 영역 및 채널 영역을 포함할 수 있다. The semiconductor includes the first sub-semiconductor and the second sub-semiconductor, and the semiconductor may include a source region, a drain region, and a channel region.

상기 소스 전극은 상기 소스 영역에 연결되고 상기 드레인 전극은 상기 드레인 영역에 연결되며, 상기 제어 전극은 상기 채널 영역과 중첩할 수 있다. The source electrode is connected to the source region, the drain electrode is connected to the drain region, and the control electrode can overlap the channel region.

상기 제1 부반도체의 너비는 상기 제2 부반도체의 너비보다 길 수 있다. The width of the first sub-semiconductor may be greater than the width of the second sub-semiconductor.

상기 제2 부반도체 위에 위치하는 제2 층간 절연막을 더 포함할 수 있다. And a second interlayer insulating film disposed on the second sub-semiconductor.

상기 게이트 절연막 및 상기 제1 층간 절연막의 재질은 산화규소 및 질화규소 중 어느 하나일 수 있다. The material of the gate insulating film and the first interlayer insulating film may be any one of silicon oxide and silicon nitride.

상기 유기 발광 부재는 발광층 및 부대층을 포함할 수 있다. The organic light emitting member may include a light emitting layer and a sub-layer.

본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조 방법은 준비한 기판 위에 제1 부반도체를 형성하는 단계, 상기 제1 부반도체 위에 게이트 절연막을 적층하고 상기 게이트 절연막 위에 게이트 전극을 형성하는 단계, 상기 게이트 전극 위에 제1 층간 절연막을 적층하고 상기 제1 부반도체 일부를 드러내는 접촉 구멍을 형성하는 단계, 상기 접촉 구멍을 통해 상기 제1 부반도체와 연결되며, 상기 제1 층간 절연막 위에 위치하는 제2 부반도체를 형성하는 단계, 상기 제1 부반도체와 상기 제2 부반도체의 일부를 드러내는 접촉 구멍을 포함하는 제2 층간 절연막을 형성하는 단계, 상기 제2 층간 절연막 위에 위치하며, 상기 제1 부반도체와 상기 제2 부반도체에 연결되는 소스 전극 및 드레인 전극을 형성하는 단계, 상기 드레인 전극과 연결되는 화소 전극을 형성하는 단계, 그리고 상기 화소 전극 위에 위치하는 유기 발광 부재 및 공통 전극을 형성하는 단계를 포함한다. A method of manufacturing an organic light emitting diode display according to an embodiment of the present invention includes forming a first sub-semiconductor on a prepared substrate, forming a gate electrode on the first sub-semiconductor and a gate insulating film, Forming a contact hole in which a first interlayer insulating film is laminated on the gate electrode and exposing a portion of the first sub-semiconductor, a second contact hole formed in the second interlayer insulating film, Forming a second interlayer insulating film including a contact hole for exposing a portion of the first sub-semiconductor and the second sub-semiconductor; forming a second interlayer insulating film on the second interlayer insulating film; A source electrode and a drain electrode connected to the second sub-semiconductor, And forming an organic light emitting member and a common electrode located on the pixel electrode.

반도체는 상기 제1 부반도체 및 상기 제2 부반도체를 포함하며, 상기 반도체는 소스 영역, 드레인 영역 및 채널 영역을 포함하도록 형성될 수 있다.The semiconductor includes the first sub-semiconductor and the second sub-semiconductor, and the semiconductor may be formed to include a source region, a drain region, and a channel region.

상기 소스 전극은 상기 소스 영역에 연결되고 상기 드레인 전극은 상기 드레인 영역에 연결되며, 상기 제어 전극은 상기 채널 영역과 중첩하도록 형성될 수 있다. The source electrode may be connected to the source region, the drain electrode may be connected to the drain region, and the control electrode may overlap the channel region.

상기 제1 부반도체의 너비는 상기 제2 부반도체의 너비보다 길게 형성될 수 있다. The width of the first sub-semiconductor may be greater than the width of the second sub-semiconductor.

상기 게이트 절연막 및 상기 제1 층간 절연막의 재질은 산화규소 및 질화규소 중 어느 하나일 수 있다. The material of the gate insulating film and the first interlayer insulating film may be any one of silicon oxide and silicon nitride.

상기 유기 발광 부재는 발광층 및 부대층을 포함하도록 형성될 수 있다. The organic light emitting member may be formed to include a light emitting layer and a sub-layer.

상기 반도체는 레이저를 이용하여 다결정 실리콘을 포함하도록 처리되는 단계를 포함할 수 있다. The semiconductor may be processed to include polycrystalline silicon using a laser.

이상과 같은 유기 발광 표시 장치에 의하면 상이한 층상에 위치하는 반도체가 상호 연결되어, 반도체가 형성되는 면적에 관계없이 소정 길이 이상의 채널 영역을 제공할 수 있다. 이를 통해 화소 사이즈에 관계 없이 우수한 성능의 유기 발광 표시 소자를 제공하고 이를 포함하는 표시 장치는 균일한 영상을 제공할 수 있다. According to the organic light emitting display as described above, the semiconductors located on different layers are mutually connected, and a channel region of a predetermined length or more can be provided regardless of the area where the semiconductor is formed. Accordingly, the organic light emitting display device having excellent performance regardless of the pixel size is provided, and the display device including the organic light emitting display device can provide a uniform image.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 한 화소에 대한 회로도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 한 화소에 대한 배치도이다.
도 3은 도 2의 III-III선에 따라 자른 단면도이다.
도 4는 도 2의 IV-IV선에 따라 자른 단면도이다.
도 5는 본 발명의 한 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 유기 발광 소자의 개략도이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 하나의 화소의 등가 회로도이다.
도 7는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 복수개의 트랜지스터 및 커패시터를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 8은 도 7의 구체적인 배치도이다.
도 9는 도 8의 유기 발광 표시 장치를 IX-IX선을 따라 자른 단면도이다.
1 is a circuit diagram of a pixel of an organic light emitting display according to an embodiment of the present invention.
2 is a layout diagram of a pixel of an OLED display according to an exemplary embodiment of the present invention.
3 is a sectional view taken along the line III-III in Fig.
4 is a sectional view taken along the line IV-IV in Fig.
5 is a schematic view of an organic light emitting diode of an OLED display according to an embodiment of the present invention.
6 is an equivalent circuit diagram of one pixel of an OLED display according to another embodiment of the present invention.
7 is a schematic view illustrating a plurality of transistors and capacitors of an OLED display according to an embodiment of the present invention.
Fig. 8 is a specific arrangement diagram of Fig. 7. Fig.
9 is a cross-sectional view of the organic light emitting diode display of FIG. 8 taken along line IX-IX.

그러면 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art can easily carry out the present invention. The present invention may, however, be embodied in many different forms and should not be construed as limited to the embodiments set forth herein.

도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 붙였다. 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우 뿐만 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 어떤 부분이 다른 부분 "바로 위에" 있다고 할 때에는 중간에 다른 부분이 없는 것을 뜻한다.In the drawings, the thickness is enlarged to clearly represent the layers and regions. Like parts are designated with like reference numerals throughout the specification. Whenever a portion of a layer, film, region, plate, or the like is referred to as being "on" another portion, it includes not only the case where it is "directly on" another portion, but also the case where there is another portion in between. Conversely, when a part is "directly over" another part, it means that there is no other part in the middle.

도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 등가 회로도이다.1 is an equivalent circuit diagram of an OLED display according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참고하면, 본 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치는 복수의 신호선(121, 171, 172)과 이들에 연결되어 있으며 대략 행렬(matrix)의 형태로 배열된 복수의 화소(pixel)(PX)를 포함한다.1, the OLED display includes a plurality of signal lines 121, 171, and 172, a plurality of pixels PX connected to the pixels, and arranged in a matrix form, ).

신호선은 게이트 신호(또는 주사 신호)를 전달하는 복수의 게이트선(gate line)(121), 데이터 신호를 전달하는 복수의 데이터선(data line)(171) 및 구동 전압을 전달하는 복수의 구동 전압선(driving voltage line)(172)을 포함한다. 게이트선(121)은 대략 행 방향으로 뻗어 있으며 서로가 거의 평행하고 데이터선(171)과 구동 전압선(172)은 대략 열 방향으로 뻗어 있으며 서로가 거의 평행하다.The signal line includes a plurality of gate lines 121 for transmitting gate signals (or scanning signals), a plurality of data lines 171 for transmitting data signals, and a plurality of driving voltage lines and a driving voltage line 172. The gate lines 121 extend substantially in the row direction, are substantially parallel to each other, and the data lines 171 and the driving voltage lines 172 extend in a substantially column direction and are substantially parallel to each other.

각 화소(PX)는 스위칭 트랜지스터(switching transistor)(Qs), 구동 트랜지스터(driving transistor)(Qd), 유지 축전기(storage capacitor)(Cst) 및 유기 발광 다이오드(organic light emitting diode, OLED)(LD)를 포함한다.Each pixel PX includes a switching transistor Qs, a driving transistor Qd, a storage capacitor Cst and an organic light emitting diode (OLED) LD. .

스위칭 트랜지스터(Qs)는 제어 단자(control terminal), 입력 단자(input terminal) 및 출력 단자(output terminal)를 가지는데, 제어 단자는 게이트선(121)에 연결되어 있고, 입력 단자는 데이터선(171)에 연결되어 있으며, 출력 단자는 구동 트랜지스터(Qd)에 연결되어 있다. 스위칭 트랜지스터(Qs)는 게이트선(121)에 인가되는 게이트 신호에 응답하여 데이터선(171)에 인가되는 데이터 신호를 구동 트랜지스터(Qd)에 전달한다.The switching transistor Qs has a control terminal, an input terminal and an output terminal. The control terminal is connected to the gate line 121 and the input terminal is connected to the data line 171 , And an output terminal thereof is connected to the driving transistor Qd. The switching transistor Qs transfers a data signal applied to the data line 171 to the driving transistor Qd in response to a gate signal applied to the gate line 121. [

구동 트랜지스터(Qd) 또한 제어 단자, 입력 단자 및 출력 단자를 가지는데, 제어 단자는 스위칭 트랜지스터(Qs)에 연결되어 있고, 입력 단자는 구동 전압선(172)에 연결되어 있으며, 출력 단자는 유기 발광 다이오드(LD)에 연결되어 있다. 구동 트랜지스터(Qd)는 제어 단자와 출력 단자 사이에 걸리는 전압에 따라 그 크기가 달라지는 출력 전류(ILD)를 흘린다.The driving transistor Qd also has a control terminal, an input terminal and an output terminal. The control terminal is connected to the switching transistor Qs, the input terminal is connected to the driving voltage line 172, (LD). The driving transistor Qd passes an output current ILD whose magnitude varies according to the voltage applied between the control terminal and the output terminal.

도시하지는 않았지만, 본 발명의 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치는 유기 발광 부재를 사이에 두고 중첩하는 화소 전극과 유지 전극에 의한 유지 축전기를 포함한다.Although not shown, the organic light emitting diode display according to the embodiment of the present invention includes a storage capacitor by a pixel electrode and a sustain electrode overlapping each other with an organic light emitting member interposed therebetween.

유지 축전기는 구동 트랜지스터(Qd)의 제어 단자에 인가되는 데이터 신호를 충전하고 스위칭 트랜지스터(Qs)가 턴 오프(turn-off)된 뒤에도 이를 유지한다.The storage capacitor charges the data signal applied to the control terminal of the driving transistor Qd and holds it even after the switching transistor Qs is turned off.

유기 발광 다이오드(LD)는 구동 트랜지스터(Qd)의 출력 단자에 연결되어 있는 애노드(anode)와 공통 전압(Vss)에 연결되어 있는 캐소드(cathode)를 가진다. 유기 발광 다이오드(LD)는 구동 트랜지스터(Qd)의 출력 전류(ILD)에 따라 세기를 달리하여 발광함으로써 영상을 표시한다.The organic light emitting diode LD has an anode connected to the output terminal of the driving transistor Qd and a cathode connected to the common voltage Vss. The organic light emitting diode LD emits light with different intensity according to the output current ILD of the driving transistor Qd to display an image.

스위칭 트랜지스터(Qs) 및 구동 트랜지스터(Qd)는 n-채널 전계 효과 트랜지스터(field effect transistor, FET)이다. 그러나 스위칭 트랜지스터(Qs)와 구동 트랜지스터(Qd) 중 적어도 하나는 p-채널 전계 효과 트랜지스터일 수 있다. 또한, 트랜지스터(Qs, Qd), 축전기(Cst) 및 유기 발광 다이오드(LD)의 연결 관계가 바뀔 수 있다.The switching transistor Qs and the driving transistor Qd are n-channel field effect transistors (FETs). However, at least one of the switching transistor Qs and the driving transistor Qd may be a p-channel field-effect transistor. Also, the connection relationship between the transistors Qs and Qd, the capacitor Cst, and the organic light emitting diode LD may be changed.

그러면, 도 1에 도시한 유기 발광 표시 장치의 상세 구조에 대하여 도 2 내지 도 5를 참조하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, the detailed structure of the organic light emitting display device shown in FIG. 1 will be described in detail with reference to FIG. 2 to FIG.

도 2는 본 발명의 한 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 배치도이고, 도 3 및 도 4는 각각 도 2의 유기 발광 표시 장치를 III-III 선 및 IV-IV'' 선을 따라 잘라 도시한 단면도이고, 도 5는 본 발명의 한 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 유기 발광 소자의 개략도이다.FIG. 2 is a layout diagram of an organic light emitting display according to an embodiment of the present invention, and FIGS. 3 and 4 are cross-sectional views taken along lines III-III and IV-IV ' And FIG. 5 is a schematic view of an organic light emitting device of an organic light emitting diode display according to an embodiment of the present invention.

투명한 유리 따위로 만들어진 기판(110) 위에 산화규소 또는 질화규소 등으로 만들어진 차단층(blocking layer)(111)이 형성되어 있다. 본 명세서는 단일의 차단층(111)을 도시하였으나 이에 제한되지 않고 이중막 구조를 가질 수 있다.A blocking layer 111 made of silicon oxide or silicon nitride is formed on the substrate 110 made of transparent glass or the like. The present disclosure shows a single barrier layer 111, but is not limited thereto and may have a bilayer structure.

차단층(111) 위에 다결정 규소 따위로 만들어진 복수 쌍의 제1 및 제2 반도체(151a, 151b)가 형성되어 있다. 섬형 반도체(151a, 151b) 각각은 n형 또는 p형의 도전성 불순물을 포함하는 복수의 불순물 영역(extrinsic region)과 도전성 불순물을 거의 포함하지 않은 적어도 하나의 진성 영역(intrinsic region)을 포함한다.A plurality of pairs of first and second semiconductors 151a and 151b made of polycrystalline silicon or the like are formed on the blocking layer 111. [ Each of the island-like semiconductor layers 151a and 151b includes a plurality of extrinsic regions including n-type or p-type conductive impurities and at least one intrinsic region substantially containing no conductive impurities.

다결정 규소로 만들어진 반도체(151a, 151b)는 화학 기상 증착법을 이용하여 350℃∼450℃에서 수소화된 비정질 실리콘막을 형성한 후, 실리콘막에 포함된 수소의 함량을 400℃ 이상의 온도에서 열처리를 통해 제거하고, 레이저로 결정화하여 다결정 실리콘막을 형성할 수 있다. Semiconductors 151a and 151b made of polycrystalline silicon are formed by forming a hydrogenated amorphous silicon film at 350 ° C. to 450 ° C. by a chemical vapor deposition method and then removing the hydrogen contained in the silicon film by heat treatment at a temperature of 400 ° C. or more And crystallized by a laser to form a polycrystalline silicon film.

제1 반도체(151a)에서, 불순물 영역은 제1 소스 및 드레인 영역(source/drain region)(153a, 155a)과 중간 영역(intermediate region)(1535)을 포함하며, 이들은 n형 불순물로 도핑되어 있고 서로 분리되어 있다. 진성 영역은 불순물 영역(153a, 1535, 155a) 사이에 위치한 한 쌍의 제1 채널 영역(channel region)(154a1, 154a2) 등을 포함한다.In the first semiconductor 151a, the impurity region includes a first source and drain region 153a, 155a and an intermediate region 1535, which are doped with an n-type impurity Are separated from each other. The intrinsic region includes a pair of first channel regions 154a1 and 154a2 located between the impurity regions 153a, 1535 and 155a.

제2 반도체(151b)에서, 불순물 영역은 제2 소스 및 드레인 영역(153b, 155b)을 포함하며, 이들은 p형 불순물로 도핑되어 있고 서로 분리되어 있다. 진성 영역은 제2 소스 및 드레인 영역(153b, 155b) 사이에 위치한 제2 채널 영역(154b)을 포함한다.In the second semiconductor 151b, the impurity region includes the second source and drain regions 153b and 155b, which are doped with the p-type impurity and are separated from each other. The intrinsic region includes a second channel region 154b located between the second source and drain regions 153b and 155b.

불순물 영역은 채널 영역(154a1, 154a2, 154b)과 소스 및 드레인 영역(153a, 155a, 153b, 155b) 사이에 위치한 저농도 도핑 영역(lightly doped region)(도시하지 않음)을 더 포함할 수 있다. 이러한 저농도 도핑 영역은 불순물을 거의 포함하지 않는 오프셋 영역(offset region)으로 대체할 수 있다.The impurity region may further include a lightly doped region (not shown) positioned between the channel regions 154a1, 154a2, 154b and the source and drain regions 153a, 155a, 153b, 155b. This lightly doped region can be replaced by an offset region that contains little impurities.

이와는 달리, 제1 반도체(151a)의 불순물 영역(153a, 155a)이 p형 불순물로 도핑되거나, 제2 반도체(151b)의 불순물 영역(153b, 155b)이 n형 불순물로 도핑될 수 있다. p형의 도전성 불순물로는 붕소(B), 갈륨(Ga) 등을 들 수 있고, n형의 도전성 불순물로는 인(P), 비소(As) 등을 들 수 있다.Alternatively, the impurity regions 153a and 155a of the first semiconductor 151a may be doped with a p-type impurity, or the impurity regions 153b and 155b of the second semiconductor 151b may be doped with an n-type impurity. Examples of the p-type conductive impurities include boron (B) and gallium (Ga). Examples of the n-type conductive impurities include phosphorus (P) and arsenic (As).

제2 반도체(151b)는 제1 부반도체(151b1) 및 제2 부반도체(151b2)를 포함할 수 있다. 제1 부반도체(151b1)와 제2 부반도체(151b2)는 상이한 층에 위치하며, 상호 중첩될 수 있다. The second semiconductor 151b may include a first sub-semiconductor 151b1 and a second sub-semiconductor 151b2. The first part semiconductor 151b1 and the second part semiconductor 151b2 are located in different layers and can overlap with each other.

제1 부반도체(151b1)는 하나의 불순물 영역과 일부의 진성 영역을 포함하며, 제2 부반도체(151b2)는 다른 하나의 불순물 영역과 일부의 진성 영역을 포함할 수 있다. 이때, 제2 반도체(151b)의 진성 영역은 제2 제어 전극(124b)와 중첩할 수 있다. The first sub-semiconductor 151b1 may include one impurity region and some intrinsic regions, and the second sub-semiconductor 151b2 may include another impurity region and a portion of the intrinsic region. At this time, the intrinsic region of the second semiconductor 151b may overlap with the second control electrode 124b.

제1 부반도체(151b1)의 진성 영역은 후술할 제2 제어 전극(124b)과 중첩할 수 있다. 또한, 제1 부반도체(151b1)의 불순물 영역은 후술할 제2 입력 전극(173b) 또는 제2 출력 전극(175b)과 연결될 수 있으며, 제1 부반도체(151b1)의 불순물 영역이 제2 입력 전극(173b)과 연결되는 경우 제2 부반도체(151b2)의 불순물 영역은 제2 출력 전극(175b)과 연결될 수 있다. 상호 바뀔 수 있음은 물론이다. The intrinsic region of the first sub-semiconductor 151b1 can overlap the second control electrode 124b to be described later. The impurity region of the first sub-semiconductor 151b1 may be connected to the second input electrode 173b or the second output electrode 175b to be described later. The impurity region of the first sub- The impurity region of the second sub-semiconductor 151b2 may be connected to the second output electrode 175b. It goes without saying that they can be mutually exchanged.

반도체(151a, 151b) 및 차단층(111) 위에는 산화규소 또는 질화규소로 이루어진 게이트 절연막(gate insulating layer)(140)이 형성되어 있다.A gate insulating layer 140 made of silicon oxide or silicon nitride is formed on the semiconductor layers 151a and 151b and the blocking layer 111. [

게이트 절연막(140) 위에는 제1 제어 전극(control electrode)(124a)을 포함하는 복수의 게이트선(gate line)(121)과 복수의 제2 제어 전극(124b)을 포함하는 복수의 게이트 도전체(gate conductor)가 형성되어 있다.A plurality of gate conductors including a plurality of gate lines 121 including a first control electrode 124a and a plurality of second control electrodes 124b are formed on the gate insulating film 140 gate conductors are formed.

게이트선(121)은 게이트 신호를 전달하며 주로 가로 방향으로 뻗어 있다. 제1 제어 전극(124a)은 게이트선(121)으로부터 위로 뻗어 제1 반도체(151a)와 교차하는데, 제1 채널 영역(154a1, 154a2)과 중첩한다. 각 게이트선(121)은 다른 층 또는 외부 구동 회로와의 접속을 위하여 면적이 넓은 끝 부분을 포함할 수 있다. 게이트 신호를 생성하는 게이트 구동 회로가 기판(110) 위에 집적되는 경우 게이트선(121)이 연장되어 게이트 구동 회로와 직접 연결될 수 있다.The gate line 121 transmits the gate signal and extends mainly in the horizontal direction. The first control electrode 124a extends upward from the gate line 121 and intersects with the first semiconductor 151a to overlap with the first channel region 154a1 and 154a2. Each of the gate lines 121 may include a wide-area end portion for connection with another layer or an external driving circuit. When the gate driving circuit for generating the gate signal is integrated on the substrate 110, the gate line 121 may extend and be directly connected to the gate driving circuit.

제2 제어 전극(124b)은 게이트선(121)과 분리되어 있고 제2 반도체(151b)의 제2 채널 영역(154b)과 중첩한다. 제2 제어 전극(124b)은 제1 부반도체(151b1)의 채널 영역 및 제2 부반도체(151b2)의 채널 영역 모두와 중첩할 수 있다. The second control electrode 124b is separated from the gate line 121 and overlaps the second channel region 154b of the second semiconductor 151b. The second control electrode 124b may overlap both the channel region of the first sub-semiconductor 151b1 and the channel region of the second sub-semiconductor 151b2.

게이트 도전체(121, 124b)는 알루미늄(Al)이나 알루미늄 합금 등 알루미늄 계열 금속, 은(Ag)이나 은 합금 등은 계열의 금속, 구리(Cu)나 구리 합금 등 구리 계열의 금속, 몰리브덴(Mo)이나 몰리브덴 합금 등 몰리브덴 계열의 금속, 크롬(Cr), 탄탈륨(Ta) 및 티타늄(Ti) 따위로 만들어질 수 있다. 그러나 이들은 물리적 성질이 다른 두 개의 도전막(도시하지 않음)을 포함하는 다중막 구조를 가질 수도 있다. 이 중 한 도전막은 신호 지연이나 전압 강하를 줄일 수 있도록 낮은 비저항(resistivity)의 금속, 예를 들면 알루미늄 계열 금속, 은 계열 금속, 구리 계열 금속 등으로 만들어진다. 이와는 달리, 다른 도전막은 다른 물질, 특히 ITO(indium tin oxide) 및 IZO(indium zinc oxide)와의 물리적, 화학적, 전기적 접촉 특성이 우수한 물질, 이를테면 몰리브덴 계열 금속, 크롬, 티타늄, 탄탈륨 등으로 만들어진다. 이러한 조합의 좋은 예로는 크롬 하부막과 알루미늄 (합금) 상부막 및 알루미늄 (합금) 하부막과 몰리브덴 (합금) 상부막을 들 수 있다. 그러나 게이트 도전체(121, 124b)는 이외에도 여러 가지 다양한 여러 가지 금속과 도전체로 만들어질 수 있다.The gate conductors 121 and 124b may be formed of any one selected from the group consisting of aluminum-based metals such as aluminum (Al) and aluminum alloys, series metals such as silver (Ag) and silver alloys, copper-based metals such as copper (Cu) and copper alloys, molybdenum Such as molybdenum metal, chromium (Cr), tantalum (Ta), and titanium (Ti). However, they may have a multi-film structure including two conductive films (not shown) having different physical properties. One of the conductive films is made of a metal having a low resistivity, for example, an aluminum-based metal, a silver-based metal, or a copper-based metal to reduce signal delay and voltage drop. Alternatively, the other conductive film is made of a material having excellent physical, chemical, and electrical contact properties with other materials, particularly indium tin oxide (ITO) and indium zinc oxide (IZO), such as molybdenum metal, chromium, titanium, tantalum, A good example of such a combination is a chromium bottom film, an aluminum (alloy) top film, an aluminum (alloy) bottom film and a molybdenum (alloy) top film. However, the gate conductors 121, 124b may be made of a variety of different metals and conductors as well.

게이트 도전체(121, 124b)의 측면은 기판(110) 면에 대하여 경사져 있으며 그 경사각은 약 30-80°인 것이 바람직하다.The side surfaces of the gate conductors 121 and 124b are inclined with respect to the surface of the substrate 110, and the inclination angle thereof is preferably about 30-80 °.

게이트 도전체(121, 124b) 위에는 제1 층간 절연막(interlayer insulating film)(160a)이 형성되어 있다. 제1 층간 절연막(160a)은 질화규소나 산화규소 따위의 무기 절연물, 유기 절연물, 저유전율 절연물 따위로 만들어진다. 저유전율 절연물의 유전 상수는 4.0 이하인 것이 바람직하며 플라스마 화학 기상 증착(plasma enhanced chemical vapor deposition, PECVD)으로 형성되는 a-Si:C:O, a-Si:O:F 등이 그 예이다. 유기 절연물 중 감광성(photosensitivity)을 가지는 것으로 층간 절연막(160a)을 만들 수도 있으며, 층간 절연막(160a)의 표면은 평탄할 수 있다. 일례로써, 게이트 절연막과 제1 층간 절연막은 동일한 재질로 이루어질 수 있으며, 예로써 산화규소 또는 질화규소 등이 있다. A first interlayer insulating film 160a is formed on the gate conductors 121 and 124b. The first interlayer insulating film 160a is made of an inorganic insulating material such as silicon nitride or silicon oxide, an organic insulating material, or a low dielectric constant insulating material. The dielectric constant of the low dielectric constant insulating material is preferably 4.0 or less, and examples thereof include a-Si: C: O and a-Si: O: F formed by plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD). The interlayer insulating film 160a may be formed to have photosensitivity among the organic insulating materials, and the surface of the interlayer insulating film 160a may be flat. For example, the gate insulating film and the first interlayer insulating film may be made of the same material, for example, silicon oxide or silicon nitride.

다음 제1 층간 절연막(160a) 위에는 제2 부반도체(151b2)가 위치한다.On the next first interlayer insulating film 160a, the second sub-semiconductor 151b2 is located.

제2 부반도체(151b2)는 전술한 바와 같이 하나의 불순물 영역과 진성 영역 일부를 포함한다. 진성 영역은 제2 제어 전극(124b)과 중첩할 수 있으며, 진성 영역은 게이트 절연막(140) 및 제1 층간 절연막(160a)이 제거되어 일부가 드러난 제1 접촉 구멍(156b)을 통해 제1 부반도체(151b1)와 연결될 수 있다. 이때 일부가 노출되는 제1 부반도체(151b1) 역시 진성 영역이 드러날 수 있다. The second-section semiconductor 151b2 includes one impurity region and a portion of the intrinsic region as described above. The intrinsic region may overlap with the second control electrode 124b and the intrinsic region may overlap the first control electrode 124b through the first contact hole 156b where the gate insulating film 140 and the first interlayer insulating film 160a are removed, And may be connected to the semiconductor 151b1. At this time, the first sub-semiconductor 151b1, which is partially exposed, may also reveal the intrinsic region.

제2 부반도체(151b2)의 불순물 영역은 제2 입력 전극(173b) 또는 제2 출력 전극(175b)과 연결될 수 있다. 일례로써 제1 부반도체(151b1)의 불순물 영역이 제2 출력 전극(175b)과 연결된 경우, 제2 부반도체(151b2)의 불순물 영역은 제2 입력 전극(173b)과 연결될 수 있다. The impurity region of the second sub-semiconductor 151b2 may be connected to the second input electrode 173b or the second output electrode 175b. For example, when the impurity region of the first sub-semiconductor 151b1 is connected to the second output electrode 175b, the impurity region of the second sub-semiconductor 151b2 may be connected to the second input electrode 173b.

본 발명의 일례로써 제2 부반도체(151b2)의 길이가 제1 부반도체(151b1)의 길이보다 길 수 있으나, 이에 제한되지 않고 제1 부반도체(151b1)와 제2 부반도체(151b2)가 각각 입력 전극과 출력 전극에 연결되기 위한 어떠한 형상도 가능하다. As an example of the present invention, the length of the second sub-semiconductor 151b2 may be longer than the length of the first sub-semiconductor 151b1, but the present invention is not limited thereto. The first sub-semiconductor 151b1 and the second sub- Any shape for connection to the input and output electrodes is possible.

다음, 제2 부반도체(151b2) 위에는 제2 층간 절연막(160b)이 위치한다. 제2 층간 절연막(160b)은 질화규소나 산화규소 따위의 무기 절연물, 유기 절연물, 저유전율 절연물 따위로 만들어진다. 저유전율 절연물의 유전 상수는 4.0 이하인 것이 바람직하며 플라스마 화학 기상 증착(plasma enhanced chemical vapor deposition, PECVD)으로 형성되는 a-Si:C:O, a-Si:O:F 등이 그 예이다. 유기 절연물 중 감광성(photosensitivity)을 가지는 것으로 층간 절연막(160b)을 만들 수도 있으며, 제2 층간 절연막(160b)의 표면은 평탄할 수 있다. Next, the second interlayer insulating film 160b is located on the second sub-semiconductor 151b2. The second interlayer insulating film 160b is made of an inorganic insulating material such as silicon nitride or silicon oxide, an organic insulating material, or a low dielectric constant insulating material. The dielectric constant of the low dielectric constant insulating material is preferably 4.0 or less, and examples thereof include a-Si: C: O and a-Si: O: F formed by plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD). The interlayer insulating film 160b may be formed to have photosensitivity among the organic insulating materials, and the surface of the second interlayer insulating film 160b may be flat.

게이트 절연막(140), 제1 층간 절연막(160a) 및 제2 층간 절연막(160b)에는 제1 부반도체(151b1) 또는 제2 부반도체(151b2)를 노출하는 복수의 제2 접촉 구멍(contact hole)(163b, 165b)이 형성되어 있다. A plurality of second contact holes exposing the first sub-semiconductor 151b1 or the second sub-semiconductor 151b2 are formed in the gate insulating film 140, the first interlayer insulating film 160a and the second interlayer insulating film 160b. (163b, 165b) are formed.

구체적으로, 제1 부반도체(151b1)와 제2 부반도체(151b2)를 연결하는 접촉 구멍(156b)이 게이트 절연막(140)과 제1 층간 절연막(160a)에 위치하며, 제1 부반도체(151b1)를 입력 전극(173b) 또는 출력 전극(175b)과 연결되도록 노출하는 접촉 구멍(165b)이 제2 층간 절연막(160a), 제1 층간 절연막(160b) 및 게이트 절연막(140)에 위치한다. 또한, 제2 부반도체(151b2)의 불순물 영역과 입력 전극(173b) 또는 출력 전극(175b)을 연결하도록 노출하는 접촉 구멍(163b)이 제2 층간 절연막(160b)에 위치한다. Specifically, the contact hole 156b connecting the first sub-semiconductor 151b1 and the second sub-semiconductor 151b2 is located in the gate insulating film 140 and the first interlayer insulating film 160a, and the first sub-semiconductor 151b1 A contact hole 165b is formed in the second interlayer insulating film 160a, the first interlayer insulating film 160b and the gate insulating film 140 so as to expose the contact hole 165b to be connected to the input electrode 173b or the output electrode 175b. A contact hole 163b exposed to connect the impurity region of the second sub-semiconductor 151b2 to the input electrode 173b or the output electrode 175b is located in the second interlayer insulating film 160b.

즉, 층간 절연막(160a, 160b)과 게이트 절연막(140)에는 소스 및 드레인 영역(153a, 153b, 155a, 155b)을 드러내는 복수의 접촉 구멍(163a, 163b, 165a, 165b)이 형성되어 있다.That is, a plurality of contact holes 163a, 163b, 165a, and 165b that expose the source and drain regions 153a, 153b, 155a, and 155b are formed in the interlayer insulating films 160a and 160b and the gate insulating film 140, respectively.

제2 층간 절연막(160b) 위에는 데이터선(data line)(171), 구동 전압선(driving voltage line)(172) 및 제1 및 제2 출력 전극(output electrode)(175a, 175b)을 포함하는 복수의 데이터 도전체(data conductor)가 형성되어 있다.A plurality of data lines 171, a driving voltage line 172 and first and second output electrodes 175a and 175b are formed on the second interlayer insulating film 160b. A data conductor is formed.

데이터선(171)은 데이터 신호를 전달하며 주로 세로 방향으로 뻗어 게이트선(121)과 교차한다. 각 데이터선(171)은 접촉 구멍(163a)을 통하여 제1 소스 및 드레인 영역(153a)과 연결되어 있는 복수의 제1 입력 전극(input electrode)(173a)을 포함하며, 다른 층 또는 외부 구동 회로와의 접속을 위하여 면적이 넓은 끝 부분을 포함할 수 있다. 데이터 신호를 생성하는 데이터 구동 회로가 기판(110) 위에 집적되어 있는 경우, 데이터선(171)이 연장되어 데이터 구동 회로와 직접 연결될 수 있다.The data line 171 transmits a data signal and extends mainly in the vertical direction and crosses the gate line 121. Each of the data lines 171 includes a plurality of first input electrodes 173a connected to the first source and drain regions 153a through contact holes 163a, And may have a wide end area for connection with the antenna. When the data driving circuit for generating the data signal is integrated on the substrate 110, the data line 171 can be extended and directly connected to the data driving circuit.

구동 전압선(172)은 구동 전압을 전달하며 주로 세로 방향으로 뻗어 게이트선(121)과 교차한다. 각 구동 전압선(172)은 접촉 구멍(163b)을 통하여 제2 소스 및 드레인 영역(153b)과 연결되어 있는 복수의 제2 입력 전극(173b)을 포함한다.The driving voltage line 172 transmits the driving voltage and extends mainly in the vertical direction and crosses the gate line 121. Each of the driving voltage lines 172 includes a plurality of second input electrodes 173b connected to the second source and drain regions 153b through contact holes 163b.

제1 출력 전극(175a)은 데이터선(171) 및 구동 전압선(172)으로부터 분리되어 있다. 제1 출력 전극(175a)은 접촉 구멍(165a)을 통하여 제1 소스 및 드레인 영역(155a)에 연결되어 있고, 접촉 구멍(164)을 통하여 제2 제어 전극(124b)과 연결되어 있다.The first output electrode 175a is separated from the data line 171 and the driving voltage line 172. [ The first output electrode 175a is connected to the first source and drain region 155a through the contact hole 165a and is connected to the second control electrode 124b through the contact hole 164.

제2 출력 전극(175b)은 데이터선(171), 구동 전압선(172) 및 제1 출력 전극(175a)으로부터 분리되어 있으며, 접촉 구멍(165b)을 통하여 제2 소스 및 드레인 영역(155b)에 연결되어 있다.The second output electrode 175b is separated from the data line 171, the driving voltage line 172 and the first output electrode 175a and connected to the second source and drain regions 155b through the contact hole 165b. .

데이터 도전체(171, 172, 175a, 175b)는 몰리브덴, 크롬, 탄탈륨 및 티타늄 등 내화성 금속 또는 이들의 합금으로 만들어지는 것이 바람직하며, 내화성 금속 따위의 도전막(도시하지 않음)과 저저항 물질 도전막(도시하지 않음)으로 이루어진 다층막 구조를 가질 수 있다. 다층막 구조의 예로는 크롬 또는 몰리브덴 (합금) 하부막과 알루미늄 (합금) 상부막의 이중막, 몰리브덴 (합금) 하부막과 알루미늄 (합금) 중간막과 몰리브덴 (합금) 상부막의 삼중막을 들 수 있다. 그러나 데이터 도전체(171, 172, 175a, 175b)는 이외에도 여러 가지 다양한 여러 가지 금속과 도전체로 만들어질 수 있다.The data conductors 171, 172, 175a, and 175b are preferably made of refractory metals such as molybdenum, chromium, tantalum, and titanium or their alloys, and may be formed of a conductive film (not shown) Film structure composed of a film (not shown). Examples of the multilayer structure include a double film of a chromium or molybdenum (alloy) lower film and an aluminum (alloy) upper film, a molybdenum (alloy) lower film, an aluminum (alloy) intermediate film and a molybdenum (alloy) upper film. However, the data conductors 171, 172, 175a, 175b may be made of a variety of different metals and conductors as well.

게이트 도전체(121, 124b)와 마찬가지로 데이터 도전체(171, 172, 175a, 175b) 또한 그 측면이 기판(110) 면에 대하여 약 30-80°의 경사각으로 기울어진 것이 바람직하다.It is preferable that the data conductors 171, 172, 175a, and 175b are inclined at an angle of about 30-80 degrees with respect to the substrate 110 in the same manner as the gate conductors 121 and 124b.

데이터 도전체(171, 172, 175a, 175b) 위에는 보호막(passivation layer)(180)이 형성되어 있다. 보호막(180)은 무기물, 유기물, 저유전율 절연 물질 따위로 이루어진다.A passivation layer 180 is formed on the data conductors 171, 172, 175a, and 175b. The protection film 180 is made of an inorganic material, an organic material, or a low dielectric constant insulating material.

보호막(180)에는 제2 출력 전극(175b)을 드러내는 복수의 접촉 구멍(185)이 형성되어 있다. 보호막(180)에는 또한 데이터선(171)의 끝 부분을 드러내는 복수의 접촉 구멍(도시하지 않음)이 형성될 수 있으며, 보호막(180)과 층간 절연막(160)에는 게이트선(121)의 끝 부분을 드러내는 복수의 접촉 구멍(도시하지 않음)이 형성될 수 있다.The protective film 180 is formed with a plurality of contact holes 185 for exposing the second output electrode 175b. A plurality of contact holes (not shown) may be formed in the passivation layer 180 to expose the ends of the data lines 171. The passivation layer 180 and the interlayer insulating layer 160 may be formed with a plurality of contact holes A plurality of contact holes (not shown) may be formed.

보호막(180) 위에는 복수의 화소 전극(pixel electrode)(191)이 형성되어 있다. 화소 전극(191)은 접촉 구멍(185)을 통하여 제2 출력 전극(175b)과 물리적ㅇ전기적으로 연결되어 있으며, ITO 또는 IZO 등의 투명한 도전 물질이나 알루미늄, 은 또는 그 합금 등의 반사성 금속으로 만들어질 수 있다.A plurality of pixel electrodes 191 are formed on the passivation layer 180. The pixel electrode 191 is physically and electrically connected to the second output electrode 175b through the contact hole 185 and is made of a transparent conductive material such as ITO or IZO or a reflective metal such as aluminum, Can be.

보호막(180) 위에는 또한 복수의 접촉 보조 부재(contact assistant)(도시하지 않음) 또는 연결 부재(connecting member)(도시하지 않음)가 형성될 수 있으며, 이들은 게이트선(121)과 데이터선(171)의 노출된 끝 부분과 연결된다. A plurality of contact assistants (not shown) or a connecting member (not shown) may be formed on the passivation layer 180. The gate lines 121 and the data lines 171, Lt; / RTI >

보호막(180) 위에는 격벽(partition)(360)이 형성되어 있다. 격벽(360)은 화소 전극(191) 가장자리 주변을 둑(bank)처럼 둘러싸서 개구부(opening)를 정의하며 유기 절연물 또는 무기 절연물로 만들어진다. 격벽(360)은 또한 검정색 안료를 포함하는 감광제로 만들어질 수 있는데, 이 경우 격벽(360)은 차광 부재의 역할을 하며 그 형성 공정이 간단하다.A partition 360 is formed on the passivation layer 180. The barrier rib 360 surrounds the periphery of the pixel electrode 191 and defines an opening and is made of an organic insulating material or an inorganic insulating material. The barrier ribs 360 may also be made of a photosensitizer containing a black pigment. In this case, the barrier ribs 360 serve as light shielding members, and the forming process is simple.

격벽(360)으로 둘러싸인 화소 전극(191) 위의 영역에는 유기 발광 부재(organic light emitting member)(370)가 형성되어 있다. 유기 발광 부재(370)는 격벽(360)으로 둘러싸인 영역에 대부분 위치하지만, 격벽(360) 위나 그 외 다른 화소 영역에도 위치한다. 유기 발광 부재(370)는 적색, 녹색, 청색의 삼원색 등 기본색(primary color) 중 어느 하나의 빛을 내는 유기 물질로 만들어진다.An organic light emitting member 370 is formed on the pixel electrode 191 surrounded by the barrier ribs 360. The organic light emitting member 370 is mostly located in a region surrounded by the barrier ribs 360, but is also located on the barrier ribs 360 and other pixel regions. The organic light emitting member 370 is made of an organic material that emits light of any one of primary colors such as red, green, and blue.

유기 발광 부재(370)는, 도 5에 도시한 바와 같이, 발광층(emitting layer)(EML) 외에 발광층(EML)의 발광 효율을 향상하기 위한 부대층(auxiliary layer)을 포함하는 다층 구조를 가진다. 부대층에는 전자와 정공의 균형을 맞추기 위한 전자 수송층(electron transport layer)(ETL) 및 정공 수송층(hole transport layer)(HTL)과 전자와 정공의 주입을 강화하기 위한 전자 주입층(electron injecting layer)(EIL) 및 정공 주입층(hole injecting layer)(HIL)이 있다. 부대층은 생략될 수 있다.The organic light emitting member 370 has a multilayer structure including an auxiliary layer for improving the light emission efficiency of the light emitting layer (EML) in addition to the light emitting layer (EML) as shown in FIG. An electron transport layer (ETL) and a hole transport layer (HTL) for balancing electrons and holes and an electron injecting layer for enhancing the injection of electrons and holes are provided in the sub- (EIL) and a hole injecting layer (HIL). The sub-layer can be omitted.

유기 발광 부재(370) 위에는 복수의 공통 전극(common electrode)(270)이 위치한다. A plurality of common electrodes 270 are disposed on the organic light emitting member 370.

공통 전극(270)은 공통 전압을 인가 받으며, 칼슘(Ca), 바륨(Ba), 마그네슘(Mg), 알루미늄, 은 등을 포함하는 반사성 금속 또는 ITO 또는 IZO 등의 투명한 도전 물질로 만들어진다.The common electrode 270 is made of a transparent conductive material, such as ITO or IZO, or a reflective metal including Ca, Ba, Mg, Al, and silver.

이러한 유기 발광 표시 장치에서, 제1 반도체(151a), 게이트선(121)에 연결되어 있는 제1 제어 전극(124a), 데이터선(171)에 연결되어 있는 제1 입력 전극(173a) 및 제1 출력 전극(175a)은 스위칭 박막 트랜지스터(switching TFT)(Qs)를 이루며, 스위칭 박막 트랜지스터(Qs)의 채널(channel)은 제1 반도체(151a)의 채널 영역(154a1, 154a2)에 형성된다. 제2 반도체(151b), 제1 출력 전극(175a)에 연결되어 있는 제2 제어 전극(124b), 구동 전압선(172)에 연결되어 있는 제2 입력 전극(173b) 및 화소 전극(191)에 연결되어 있는 제2 출력 전극(175b)은 구동 박막 트랜지스터(driving TFT)(Qd)를 이루며, 구동 박막 트랜지스터(Qd)의 채널은 제2 반도체(151b)의 채널 영역(154b)에 형성된다. 화소 전극(191), 유기 발광 부재(370) 및 공통 전극(270)은 유기 발광 다이오드를 이루며, 화소 전극(191)이 애노드(anode), 공통 전극(270)이 캐소드(cathode)가 되거나 반대로 화소 전극(191)이 캐소드, 공통 전극(270)이 애노드가 된다.In this organic light emitting display device, the first semiconductor 151a, the first control electrode 124a connected to the gate line 121, the first input electrode 173a connected to the data line 171, The output electrode 175a constitutes a switching thin film transistor Qs and the channel of the switching thin film transistor Qs is formed in the channel regions 154a1 154a2 of the first semiconductor 151a. A second control electrode 124b connected to the first output electrode 175a, a second input electrode 173b connected to the driving voltage line 172, and a pixel electrode 191 connected to the second semiconductor 151b, the first output electrode 175a, The second output electrode 175b is a driving TFT Qd and the channel of the driving thin film transistor Qd is formed in a channel region 154b of the second semiconductor 151b. The pixel electrode 191, the organic light emitting member 370 and the common electrode 270 form an organic light emitting diode. The pixel electrode 191 is an anode, the common electrode 270 is a cathode, The electrode 191 serves as the cathode, and the common electrode 270 serves as the anode.

스위칭 박막 트랜지스터(Qs)는 게이트선(121)의 게이트 신호에 응답하여 데이터선(171)의 데이터 신호를 전달한다. 구동 박막 트랜지스터(Qd)는 데이터 신호를 받으면 제2 제어 전극(124b)과 제2 입력 전극(173b) 사이의 전압차에 의존하는 크기의 전류를 흘린다. 제2 제어 전극(124b)과 제2 입력 전극(173b) 사이의 전압차는 또한 유지 축전기(Cst)에 충전되어 스위칭 박막 트랜지스터(Qs)가 턴 오프된 후에도 유지된다. 유기 발광 다이오드는 구동 박막 트랜지스터(Qd)가 흘리는 전류의 크기에 따라 세기를 달리하여 발광함으로써 영상을 표시한다.The switching thin film transistor Qs transfers the data signal of the data line 171 in response to the gate signal of the gate line 121. [ When receiving the data signal, the driving thin film transistor Qd passes a current of a magnitude depending on the voltage difference between the second control electrode 124b and the second input electrode 173b. The voltage difference between the second control electrode 124b and the second input electrode 173b is also maintained after the storage capacitor Cst is charged and the switching thin film transistor Qs is turned off. The organic light emitting diode emits light by varying the intensity according to the magnitude of the current flowing through the driving thin film transistor Qd, thereby displaying an image.

앞서 설명하였듯이 유기 발광 부재(370)는 발광층뿐만 아니라 여러 부대층을 포함하는 다층 구조를 가진다. 따라서, 격벽(360)으로 둘러싸인 영역 외에, 격벽(360) 위에는 발광층 또는 여러 부대층 중 적어도 하나의 층이 존재할 수 있다(미도시).As described above, the organic light emitting member 370 has a multi-layer structure including a light emitting layer as well as various sub-layers. Therefore, in addition to the region surrounded by the barrier ribs 360, at least one layer of the light emitting layer or various sublayers may be present on the barrier ribs 360 (not shown).

이상에서 설명한 유기 발광 표시 장치에 따르면, 반도체가 위치 가능한 면적이 한정적이더라도, 복수의 층에 위치하면서 상호 연결되는 반도체에 의해 표시 장치가 요구하는 소정의 채널 영역 길이를 충족시킬 수 있다. 따라서 화소 크기가 작아지는 경우에도 우수한 성능의 표시 장치를 제공하는 것이 가능하다. According to the organic light emitting display device described above, even if the area in which the semiconductor can be positioned is limited, the predetermined channel region length required by the display device can be satisfied by the semiconductor which is located in a plurality of layers and interconnected. Therefore, it is possible to provide a display device with excellent performance even when the pixel size is small.

앞서 스위칭 박막 트랜지스터와 구동 박막 트랜지스터에 대해 설명하였으며, 이하에서는 이를 포함하는 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치에 대하여 도 6 내지 도 9를 참고로 상세하게 설명한다.The switching thin film transistor and the driving thin film transistor have been described above. Hereinafter, the organic light emitting display according to another embodiment of the present invention including the switching thin film transistor and the driving thin film transistor will be described in detail with reference to FIG. 6 to FIG.

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 하나의 화소의 등가 회로도이다.6 is an equivalent circuit diagram of one pixel of an OLED display according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 6에 도시한 바와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 하나의 화소(1)는 복수의 신호선(121, 122, 123, 124, 128, 171, 172), 복수의 신호선에 연결되어 있는 복수개의 트랜지스터(T1, T2, T3, T4, T5, T6, T7), 스토리지 커패시터(storage capacitor, Cst) 및 유기 발광 다이오드(organic light emitting diode, OLED)를 포함한다.6, one pixel 1 of an OLED display according to another embodiment of the present invention includes a plurality of signal lines 121, 122, 123, 124, 128, 171, 172, A plurality of transistors T1, T2, T3, T4, T5, T6, and T7, a storage capacitor Cst, and an organic light emitting diode (OLED)

트랜지스터는 구동 트랜지스터(driving thin film transistor)(T1), 스위칭 트랜지스터(switching thin film transistor)(T2), 보상 트랜지스터(T3), 초기화 트랜지스터(T4), 동작 제어 트랜지스터(T5), 발광 제어 트랜지스터(T6) 및 바이패스 트랜지스터(T7)를 포함한다.The transistor includes a driving thin film transistor T1, a switching thin film transistor T2, a compensation transistor T3, an initialization transistor T4, an operation control transistor T5, a light emission control transistor T6 And a bypass transistor T7.

신호선은 스캔 신호(Sn)를 전달하는 스캔선(121), 초기화 트랜지스터(T4)에 이전 스캔 신호(Sn-1)를 전달하는 이전 스캔선(122), 동작 제어 트랜지스터(T5) 및 발광 제어 트랜지스터(T6)에 발광 제어 신호(En)를 전달하는 발광 제어선(123), 구동 트랜지스터(T1)를 초기화하는 초기화 전압(Vint)을 전달하는 초기화 전압선(124), 바이패스 박막 트랜지스터(T7)에 바이패스 신호(BP)를 전달하는 바이패스 제어선(128), 스캔선(121)과 교차하며 데이터 신호(Dm)를 전달하는 데이터선(171), 구동 전압(ELVDD)을 전달하며 데이터선(171)과 거의 평행하게 형성되어 있는 구동 전압선(172)을 포함한다. The signal line includes a scan line 121 for transmitting a scan signal Sn, a previous scan line 122 for transferring a previous scan signal Sn-1 to the initialization transistor T4, an operation control transistor T5, An initializing voltage line 124 for transferring an initializing voltage Vint for initializing the driving transistor Tl and an initializing voltage line 124 for transferring the light emitting control signal En to the bypass thin film transistor T7, A bypass control line 128 for transmitting a bypass signal BP, a data line 171 for crossing the scan line 121 and transmitting the data signal Dm, a drive voltage ELVDD, And a driving voltage line 172 formed substantially in parallel with the pixel electrodes 171 and 171.

구동 트랜지스터(T1)의 게이트 전극(G1)은 스토리지 커패시터(Cst)의 일단(Cst1)과 연결되어 있고, 구동 트랜지스터(T1)의 소스 전극(S1)은 동작 제어 트랜지스터(T5)를 경유하여 구동 전압선(172)과 연결되어 있으며, 구동 트랜지스터(T1)의 드레인 전극(D1)은 발광 제어 트랜지스터(T6)를 경유하여 유기 발광 다이오드(OLED)의 애노드(anode)와 전기적으로 연결되어 있다. 구동 트랜지스터(T1)는 스위칭 트랜지스터(T2)의 스위칭 동작에 따라 데이터 신호(Dm)를 전달받아 유기 발광 다이오드(OLED)에 구동 전류(Id)를 공급한다.The gate electrode G1 of the driving transistor T1 is connected to one end Cst1 of the storage capacitor Cst and the source electrode S1 of the driving transistor Tl is connected to the driving voltage line Vcc via the operation control transistor T5. And the drain electrode D1 of the driving transistor T1 is electrically connected to the anode of the organic light emitting diode OLED via the emission control transistor T6. The driving transistor Tl receives the data signal Dm according to the switching operation of the switching transistor T2 and supplies the driving current Id to the organic light emitting diode OLED.

스위칭 트랜지스터(T2)의 게이트 전극(G2)은 스캔선(121)과 연결되어 있고,, 스위칭 트랜지스터(T2)의 소스 전극(S2)은 데이터선(171)과 연결되어 있으며, 스위칭 트랜지스터(T2)의 드레인 전극(D2)은 구동 트랜지스터(T1)의 소스 전극(S1)과 연결되어 있으면서 동작 제어 트랜지스터(T5)을 경유하여 구동 전압선(172)과 연결되어 있다. 이러한 스위칭 트랜지스터(T2)는 스캔선(121)을 통해 전달받은 스캔 신호(Sn)에 따라 턴 온되어 데이터선(171)으로 전달된 데이터 신호(Dm)을 구동 트랜지스터(T1)의 소스 전극으로 전달하는 스위칭 동작을 수행한다.The gate electrode G2 of the switching transistor T2 is connected to the scan line 121. The source electrode S2 of the switching transistor T2 is connected to the data line 171, The drain electrode D2 of the driving transistor T1 is connected to the source electrode S1 of the driving transistor T1 and is connected to the driving voltage line 172 via the operation control transistor T5. The switching transistor T2 is turned on in accordance with the scan signal Sn transmitted through the scan line 121 to transfer the data signal Dm transferred to the data line 171 to the source electrode of the driving transistor T1 .

보상 트랜지스터(T3)의 게이트 전극(G3)은 스캔선(121)과 직접 연결되어 있고, 보상 트랜지스터(T3)의 소스 전극(S3)은 구동 트랜지스터(T1)의 드레인 전극(D1)과 연결되어 있으면서 발광 제어 트랜지스터(T6)를 경유하여 유기 발광 다이오드(OLED)의 애노드(anode)와 연결되어 있으며, 보상 트랜지스터(T3)의 드레인 전극(D3)은 스토리지 커패시터(Cst)의 일단(Cst1), 초기화 트랜지스터(T4)의 드레인 전극(D4) 및 구동 트랜지스터(T1)의 게이트 전극(G1)에 함께 연결되어 있다. 이러한 보상 트랜지스터(T3)는 스캔선(121)을 통해 전달받은 스캔 신호(Sn)에 따라 턴 온되어 구동 트랜지스터(T1)의 게이트 전극(G1)과 드레인 전극(D1)을 서로 연결하여 구동 트랜지스터(T1)를 다이오드 연결시킨다. The gate electrode G3 of the compensating transistor T3 is directly connected to the scan line 121 and the source electrode S3 of the compensating transistor T3 is connected to the drain electrode D1 of the driving transistor T1 The drain electrode D3 of the compensating transistor T3 is connected to the one end Cst1 of the storage capacitor Cst1 and the drain electrode D2 of the initializing transistor T3 through the emission control transistor T6 and to the anode of the organic light emitting diode OLED, The drain electrode D4 of the transistor T4 and the gate electrode G1 of the driving transistor Tl. The compensating transistor T3 is turned on in response to the scan signal Sn transmitted through the scan line 121 to connect the gate electrode G1 and the drain electrode D1 of the driving transistor T1 to each other, T1).

초기화 트랜지스터(T4)의 게이트 전극(G4)은 이전 스캔선(122)과 연결되어 있고, 초기화 트랜지스터(T4)의 소스 전극(S4)은 초기화 전압선(124)과 연결되어 있으며, 초기화 트랜지스터(T4)의 드레인 전극(D4)은 스토리지 커패시터(Cst)의 일단(Cst1), 보상 트랜지스터(T3)의 드레인 전극(D3) 및 구동 트랜지스터(T1)의 게이트 전극(G1)에 함께 연결되어 있다. 이러한 초기화 트랜지스터(T4)는 이전 스캔선(122)을 통해 전달받은 이전 스캔 신호(Sn-1)에 따라 턴 온되어 초기화 전압(Vint)을 구동 트랜지스터(T1)의 게이트 전극(G1)에 전달하여 구동 트랜지스터(T1)의 게이트 전극(G1)의 전압을 초기화시키는 초기화 동작을 수행한다. The source electrode S4 of the initializing transistor T4 is connected to the initializing voltage line 124 and the initializing transistor T4 is connected to the initializing transistor T4. The gate electrode G4 of the initializing transistor T4 is connected to the previous scan line 122, The drain electrode D4 of the storage capacitor Cst is connected together to one end Cst1 of the storage capacitor Cst and the drain electrode D3 of the compensating transistor T3 and the gate electrode G1 of the driving transistor Tl. The initialization transistor T4 is turned on according to the previous scan signal Sn-1 transferred through the previous scan line 122 to transfer the initialization voltage Vint to the gate electrode G1 of the drive transistor Tl An initializing operation for initializing the voltage of the gate electrode G1 of the driving transistor T1 is performed.

동작 제어 트랜지스터(T5)의 게이트 전극(G5)은 발광 제어선(123)과 연결되어 있으며, 동작 제어 트랜지스터(T5)의 소스 전극(S5)은 구동 전압선(172)와 연결되어 있고, 동작 제어 트랜지스터(T5)의 드레인 전극(D5)은 구동 트랜지스터(T1)의 소스 전극(S1) 및 스위칭 트랜지스터(T2)의 드레인 전극(S2)에 연결되어 있다.The gate electrode G5 of the operation control transistor T5 is connected to the emission control line 123 and the source electrode S5 of the operation control transistor T5 is connected to the drive voltage line 172, The drain electrode D5 of the switching transistor T5 is connected to the source electrode S1 of the driving transistor T1 and the drain electrode S2 of the switching transistor T2.

발광 제어 트랜지스터(T6)의 게이트 전극(G6)은 발광 제어선(123)과 연결되어 있으며, 발광 제어 트랜지스터(T6)의 소스 전극(S6)은 구동 트랜지스터(T1)의 드레인 전극(D1) 및 보상 트랜지스터(T3)의 소스 전극(S3)과 연결되어 있고, 발광 제어 트랜지스터(T6)의 드레인 전극(D6)은 유기 발광 다이오드(OLED)의 애노드(anode)와 전기적으로 연결되어 있다. 이러한 동작 제어 트랜지스터(T5) 및 발광 제어 트랜지스터(T6)는 발광 제어선(123)을 통해 전달받은 발광 제어 신호(En)에 따라 동시에 턴 온되어 구동 전압(ELVDD)이 유기 발광 다이오드(OLED)에 전달되어 유기 발광 다이오드(OLED)에 발광 전류(Ioled)가 흐르게 된다.The gate electrode G6 of the emission control transistor T6 is connected to the emission control line 123 and the source electrode S6 of the emission control transistor T6 is connected to the drain electrode D1 of the driving transistor T1, And the drain electrode D6 of the emission control transistor T6 is electrically connected to the anode of the organic light emitting diode OLED. The operation control transistor T5 and the emission control transistor T6 are simultaneously turned on in accordance with the emission control signal En received through the emission control line 123 so that the driving voltage ELVDD is applied to the organic light emitting diode OLED And the light emission current Ioled flows through the organic light emitting diode OLED.

바이패스 박막 트랜지스터(T7)의 게이트 전극(G7)은 바이패스 제어선(128)과 연결되어 있고, 바이패스 박막 트랜지스터(T7)의 소스 전극(S7)은 발광 제어 박막 트랜지스터(T6)의 드레인 전극(D6) 및 유기 발광 다이오드(OLED)의 애노드와 함께 연결되어 있고, 바이패스 박막 트랜지스터(T7)의 드레인 전극(D7)은 초기화 전압선(124) 및 초기화 박막 트랜지스터(T4)의 소스 전극(S4)에 함께 연결되어 있다. The gate electrode G7 of the bypass thin film transistor T7 is connected to the bypass control line 128 and the source electrode S7 of the bypass thin film transistor T7 is connected to the drain electrode of the emission control thin film transistor T6. The drain electrode D7 of the bypass thin film transistor T7 is connected to the initialization voltage line 124 and the source electrode S4 of the initialization thin film transistor T4. Respectively.

스토리지 커패시터(Cst)의 타단(Cst2)은 구동 전압선(172)과 연결되어 있으며, 유기 발광 다이오드(OLED)의 캐소드(cathode)는 공통 전압(ELVSS)과 연결되어 있다. 이에 따라, 유기 발광 다이오드(OLED)는 구동 트랜지스터(T1)로부터 발광 전류(Ioled)를 전달받아 발광함으로써 화상을 표시한다.The other end Cst2 of the storage capacitor Cst is connected to the driving voltage line 172 and the cathode of the organic light emitting diode OLED is connected to the common voltage ELVSS. Accordingly, the organic light emitting diode OLED receives the light emission current Ioled from the driving transistor T1 and emits light to display an image.

이하에서 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 한 화소의 구체적인 동작 과정을 상세히 설명한다.Hereinafter, a detailed operation of one pixel of the OLED display according to an embodiment of the present invention will be described in detail.

우선, 초기화 기간 동안 이전 스캔선(122)을 통해 로우 레벨(low level)의 이전 스캔 신호(Sn-1)가 공급된다. 그러면, 로우 레벨의 이전 스캔 신호(Sn-1)에 대응하여 초기화 트랜지스터(T4)가 턴 온(Turn on)되며, 초기화 전압선(124)으로부터 초기화 트랜지스터(T4)를 통해 초기화 전압(Vint)이 구동 트랜지스터(T1)의 게이트 전극에 연결되고, 초기화 전압(Vint)에 의해 구동 트랜지스터(T1)가 초기화된다. First, the previous scan signal Sn-1 of a low level is supplied through the previous scan line 122 during the initialization period. Then, the initializing transistor T4 is turned on in response to the previous low level scan signal Sn-1, and the initializing voltage Vint is driven from the initializing voltage line 124 through the initializing transistor T4. Is connected to the gate electrode of the transistor T1 and the driving transistor T1 is initialized by the initializing voltage Vint.

이 후, 데이터 프로그래밍 기간 중 스캔선(121)을 통해 로우 레벨의 스캔 신호(Sn)가 공급된다. 그러면, 로우 레벨의 스캔 신호(Sn)에 대응하여 스위칭 트랜지스터(T2) 및 보상 트랜지스터(T3)가 턴 온된다.Thereafter, a low level scan signal Sn is supplied through the scan line 121 during a data programming period. Then, the switching transistor T2 and the compensation transistor T3 are turned on in response to the low level scan signal Sn.

이 때, 구동 트랜지스터(T1)는 턴 온된 보상 트랜지스터(T3)에 의해 다이오드 연결되고, 순방향으로 바이어스 된다.At this time, the driving transistor Tl is diode-connected by the turned-on compensation transistor T3, and is biased in the forward direction.

그러면, 데이터선(171)으로부터 공급된 데이터 신호(Dm)에서 구동 트랜지스터(T1)의 문턱 전압(Threshold voltage, Vth)만큼 감소한 보상 전압(Dm+Vth, Vth는 (-)의 값)이 구동 트랜지스터(T1)의 게이트 전극에 인가된다. Then, the compensation voltage Dm + Vth, which is decreased by the threshold voltage (Vth) of the driving transistor Tl in the data signal Dm supplied from the data line 171, Is applied to the gate electrode of the transistor T1.

스토리지 커패시터(Cst)의 양단에는 구동 전압(ELVDD)과 보상 전압(Dm+Vth)이 인가되고, 스토리지 커패시터(Cst)에는 양단 전압 차에 대응하는 전하가 저장된다. 이 후, 발광 기간 동안 발광 제어선(123)으로부터 공급되는 발광 제어 신호(En)가 하이 레벨에서 로우 레벨로 변경된다. 그러면, 발광 기간 동안 로우 레벨의 발광 제어 신호(En)에 의해 동작 제어 트랜지스터(T5) 및 발광 제어 트랜지스터(T6)가 턴 온된다.The drive voltage ELVDD and the compensation voltage Dm + Vth are applied to both ends of the storage capacitor Cst and the charge corresponding to the voltage difference between both ends is stored in the storage capacitor Cst. Thereafter, the emission control signal En supplied from the emission control line 123 during the emission period is changed from the high level to the low level. Then, the operation control transistor T5 and the emission control transistor T6 are turned on by the low level emission control signal En during the emission period.

그러면, 구동 트랜지스터(T1)의 게이트 전극의 전압과 구동 전압(ELVDD) 간의 전압차에 따르는 구동 전류(Id)가 발생하고, 발광 제어 트랜지스터(T6)를 통해 구동 전류(Id)가 유기 발광 다이오드(OLED)에 공급된다. 발광 기간동안 스토리지 커패시터(Cst)에 의해 구동 트랜지스터(T1)의 게이트-소스 전압(Vgs)은 '(Dm+Vth)-ELVDD'으로 유지되고, 구동 트랜지스터(T1)의 전류-전압 관계에 따르면, 구동 전류(Id)는 소스-게이트 전압에서 문턱 전압을 차감한 값의 제곱 '(Dm-ELVDD)2'에 비례한다. 따라서 구동 전류(Id)는 구동 트랜지스터(T1)의 문턱 전압(Vth)에 관계 없이 결정된다.A driving current Id corresponding to the voltage difference between the voltage of the gate electrode of the driving transistor Tl and the driving voltage ELVDD is generated and the driving current Id is supplied to the organic light emitting diode OLED. The gate-source voltage Vgs of the driving transistor Tl is maintained at '(Dm + Vth) -ELVDD' by the storage capacitor Cst during the light emitting period, and according to the current-voltage relationship of the driving transistor Tl, The driving current Id is proportional to the square of the value obtained by subtracting the threshold voltage from the source-gate voltage '(Dm-ELVDD) 2 '. Therefore, the driving current Id is determined regardless of the threshold voltage Vth of the driving transistor Tl.

이 때, 바이패스 트랜지스터(T7)는 바이패스 제어선(128)으로부터 바이패스 신호(BP)를 전달받는다. 바이패스 신호(BP)는 바이패스 트랜지스터(T7)를 항상 오프시킬 수 있는 소정 레벨의 전압으로서, 바이패스 트랜지스터(T7)는 트랜지스터 오프 레벨의 전압을 게이트 전극(G7)에 전달받게 됨으로써, 바이패스 트랜지스터(T7)가 항상 오프되고, 오프된 상태에서 구동 전류(Id)의 일부는 바이패스 전류(Ibp)로 바이패스 트랜지스터(T7)를 통해 빠져나가게 한다.At this time, the bypass transistor T7 receives the bypass signal BP from the bypass control line 128. The bypass signal BP is a voltage of a predetermined level that can always turn off the bypass transistor T7 and the bypass transistor T7 receives the voltage of the transistor off level to the gate electrode G7, The transistor T7 is always turned off and a part of the driving current Id is allowed to pass through the bypass transistor T7 with the bypass current Ibp in the off state.

따라서, 블랙 영상을 표시하는 구동 전류가 흐를 경우에 구동 전류(Id)로부터 바이패스 트랜지스터(T7)를 통해 빠져나온 바이패스 전류(Ibp)의 전류량만큼 감소된 유기 발광 다이오드의 발광 전류(Ioled)는 블랙 영상을 확실하게 표현할 수 있는 수준으로 최소의 전류량을 가지게 된다. 따라서, 바이패스 트랜지스터(T7)를 이용하여 정확한 블랙 휘도 영상을 구현하여 콘트라스트비를 향상시킬 수 있다.Accordingly, the light emission current Ioled of the organic light emitting diode, which is reduced by the amount of the bypass current Ibp exiting through the bypass transistor T7 from the drive current Id when the drive current for displaying the black image flows, The minimum amount of current is obtained at a level that can reliably express the black image. Accordingly, it is possible to realize an accurate black luminance image using the bypass transistor T7, thereby improving the contrast ratio.

그러면 도 6에 도시한 유기 발광 표시 장치의 화소의 상세 구조에 대하여 도 7 내지 도 9를 도 6과 함께 참고하여 상세하게 설명한다.The detailed structure of the pixel of the organic light emitting display device shown in FIG. 6 will now be described in detail with reference to FIGS. 7 to 9 with reference to FIG. 6. FIG.

도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 복수개의 트랜지스터 및 커패시터를 개략적으로 도시한 도면이고, 도 8은 도 7의 구체적인 배치도이고, 도 9는 도 8의 유기 발광 표시 장치를 IX-IX선을 따라 자른 단면도이다.FIG. 7 is a schematic view illustrating a plurality of transistors and capacitors of an OLED display according to another embodiment of the present invention, FIG. 8 is a specific layout diagram of FIG. 7, and FIG. 9 is a cross- IX-IX. ≪ / RTI >

도 2에 도시한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치는 스캔 신호(Sn), 이전 스캔 신호(Sn-1), 발광 제어 신호(En) 및 바이패스 신호(BP)를 각각 인가하며 행 방향을 따라 형성되어 있는 스캔선(121), 이전 스캔선(122), 발광 제어선(123) 및 바이패스 제어선(128)을 포함하고, 스캔선(121), 이전 스캔선(122), 발광 제어선(123) 및 바이패스 제어선(128)과 교차하고 있으며 화소에 데이터 신호(Dm) 및 구동 전압(ELVDD)을 각각 인가하는 데이터선(171) 및 구동 전압선(172)을 포함한다. 초기화 전압(Vint)은 초기화 전압선(124)을 통해 유기 발광 다이오드(OLED)로부터 초기화 트랜지스터(T4)를 거쳐 구동 트랜지스터(T1)로 전달된다. 2, the organic light emitting display according to an exemplary embodiment of the present invention includes a scan signal Sn, a previous scan signal Sn-1, a light emission control signal En, and a bypass signal BP. A light emitting control line 123 and a bypass control line 128 which are formed along the row direction and are connected to the scan line 121, the previous scan line 122, A data line 171 and a driving voltage line 172 which intersect the emission control line 123 and the bypass control line 128 and apply a data signal Dm and a driving voltage ELVDD to the pixel, . The initializing voltage Vint is transferred from the organic light emitting diode OLED through the initializing voltage line 124 to the driving transistor Tl through the initializing transistor T4.

또한, 화소에는 구동 트랜지스터(T1), 스위칭 트랜지스터(T2), 보상 트랜지스터(T3), 초기화 트랜지스터(T4), 동작 제어 트랜지스터(T5), 발광 제어 트랜지스터(T6), 바이패스 트랜지스터(T7), 스토리지 커패시터(Cst), 그리고 유기 발광 다이오드(OLED)가 형성되어 있다.The pixel includes a driving transistor T1, a switching transistor T2, a compensation transistor T3, an initialization transistor T4, an operation control transistor T5, a light emission control transistor T6, a bypass transistor T7, A capacitor Cst, and an organic light emitting diode (OLED).

구동 트랜지스터(T1), 스위칭 트랜지스터(T2), 보상 트랜지스터(T3), 초기화 트랜지스터(T4), 동작 제어 트랜지스터(T5), 발광 제어 트랜지스터(T6) 및 바이패스 트랜지스터(T7)는 반도체층(131)을 따라 형성되어 있으며, 반도체층(131)은 다양한 형상으로 굴곡되어 형성되어 있다. 이러한 반도체층(131)은 폴리 실리콘 또는 산화물 반도체로 이루어질 수 있다. 산화물 반도체는 티타늄(Ti), 하프늄(Hf), 지르코늄(Zr), 알루미늄(Al), 탄탈륨(Ta), 게르마늄(Ge), 아연(Zn), 갈륨(Ga), 주석(Sn) 또는 인듐(In)을 기본으로 하는 산화물, 이들의 복합 산화물인 산화아연(ZnO), 인듐-갈륨-아연 산화물(InGaZnO4), 인듐-아연 산화물(Zn-In-O), 아연-주석 산화물(Zn-Sn-O) 인듐-갈륨 산화물 (In-Ga-O), 인듐-주석 산화물(In-Sn-O), 인듐-지르코늄 산화물(In-Zr-O), 인듐-지르코늄-아연 산화물(In-Zr-Zn-O), 인듐-지르코늄-주석 산화물(In-Zr-Sn-O), 인듐-지르코늄-갈륨 산화물(In-Zr-Ga-O), 인듐-알루미늄 산화물(In-Al-O), 인듐-아연-알루미늄 산화물(In-Zn-Al-O), 인듐-주석-알루미늄 산화물(In-Sn-Al-O), 인듐-알루미늄-갈륨 산화물(In-Al-Ga-O), 인듐-탄탈륨 산화물(In-Ta-O), 인듐-탄탈륨-아연 산화물(In-Ta-Zn-O), 인듐-탄탈륨-주석 산화물(In-Ta-Sn-O), 인듐-탄탈륨-갈륨 산화물(In-Ta-Ga-O), 인듐-게르마늄 산화물(In-Ge-O), 인듐-게르마늄-아연 산화물(In-Ge-Zn-O), 인듐-게르마늄-주석 산화물(In-Ge-Sn-O), 인듐-게르마늄-갈륨 산화물(In-Ge-Ga-O), 티타늄-인듐-아연 산화물(Ti-In-Zn-O), 하프늄-인듐-아연 산화물(Hf-In-Zn-O) 중 어느 하나를 포함할 수 있다. 반도체층(131)이 산화물 반도체로 이루어지는 경우에는 고온 등의 외부 환경에 취약한 산화물 반도체를 보호하기 위해 별도의 보호층이 추가될 수 있다. The driving transistor T1, the switching transistor T2, the compensating transistor T3, the initializing transistor T4, the operation control transistor T5, the emission control transistor T6 and the bypass transistor T7 are connected to the semiconductor layer 131, And the semiconductor layer 131 is formed by bending in various shapes. The semiconductor layer 131 may be formed of polysilicon or an oxide semiconductor. The oxide semiconductor may be at least one selected from the group consisting of Ti, Hf, Zr, Al, Ta, Ge, Zn, Ga, (Zn-In-O), zinc-tin oxide (Zn-Sn-Zn), indium- Zr-O) indium-gallium oxide (In-Ga-O), indium-tin oxide (In-Sn-O), indium-zirconium oxide Zr-Ga-O), indium-aluminum oxide (In-Al-O), indium-zirconium-tin oxide (In- In-Zn-Al-O, indium-tin-aluminum oxide, indium-aluminum-gallium oxide, indium-tantalum oxide (In-Ta-O), indium-tantalum-gallium oxide (In-Ta-Zn-O), indium-tantalum- -Ga-O), indium Germanium-gallium oxide (In-Ge-Zn-O), indium-germanium-tin oxide (In-Ge-Sn-O) In-Ge-Ga-O), titanium-indium-zinc oxide (Ti-In-Zn-O), and hafnium-indium-zinc oxide (Hf-In-Zn-O). In the case where the semiconductor layer 131 is made of an oxide semiconductor, a separate protective layer may be added to protect the oxide semiconductor, which is vulnerable to an external environment such as a high temperature.

반도체층(131)은 N형 불순물 또는 P형 불순물로 채널 도핑이 되어 있는 채널 영역과, 채널 영역의 양 옆에 형성되어 있으며 채널 영역에 도핑된 도핑 불순물과 반대 타입의 도핑 불순물이 도핑되어 형성된 소스 영역 및 드레인 영역을 포함한다. The semiconductor layer 131 may include a channel region doped with an N-type impurity or a P-type impurity, a source region formed on both sides of the channel region, doped with a doping impurity doped in the channel region, Region and a drain region.

이하에서 도 7 및 도 8을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 구체적인 평면상 구조에 대해 우선 상세히 설명하고, 도 9를 참조하여 구체적인 단면상 구조에 대해 상세히 설명한다. Hereinafter, a specific planar structure of the OLED display according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 7 and 8, and a detailed sectional structure will be described in detail with reference to FIG.

우선, 도 7 및 도 8에 도시한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 화소(1)는 구동 트랜지스터(T1), 스위칭 트랜지스터(T2), 보상 트랜지스터(T3), 초기화 트랜지스터(T4), 동작 제어 트랜지스터(T5), 발광 제어 트랜지스터(T6), 바이패스 트랜지스터(T7), 스토리지 커패시터(Cst), 그리고 유기 발광 다이오드(OLED)를 포함하며, 이들 트랜지스터(T1, T2, T3, T4, T5, T6, T7)는 반도체층(131)을 따라 형성되어 있으며, 이러한 반도체층(131)은 구동 트랜지스터(T1)에 형성되는 구동 반도체층(131a), 스위칭 트랜지스터(T2)에 형성되는 스위칭 반도체층(131b), 보상 트랜지스터(T3)에 형성되는 보상 반도체층(131c), 초기화 트랜지스터(T4)에 형성되는 초기화 반도체층(131d), 동작 제어 트랜지스터(T5)에 형성되는 동작 제어 반도체층(131e), 발광 제어 트랜지스터(T6)에 형성되는 발광 제어 반도체층(131f) 및 바이패스 박막 트랜지스터(T7)에 형성되는 바이패스 반도체층(131g)을 포함한다. 특히, 본 발명의 일 실시예에 따르면 구동 반도체층(131a)는 상이한 층에 위치하는 이중 구조로 형성된다. 이는 전술한 도 4에 상세하게 설명하였으며, 동일한 구성에 대해서는 설명을 생략한다. 7 and 8, a pixel 1 of an organic light emitting diode display according to an embodiment of the present invention includes a driving transistor T1, a switching transistor T2, a compensating transistor T3, A transistor T4, an operation control transistor T5, a light emission control transistor T6, a bypass transistor T7, a storage capacitor Cst, and an organic light emitting diode OLED. T3, T4, T5, T6 and T7 are formed along the semiconductor layer 131. The semiconductor layer 131 includes a driving semiconductor layer 131a formed on the driving transistor T1, The reset semiconductor layer 131d formed in the initialization transistor T4 and the operation control transistor T5 formed in the operation control transistor T5 are formed in the switching semiconductor layer 131b, the compensating semiconductor layer 131c formed in the compensating transistor T3, The semiconductor layer 131e, the emission control transistor T6 It includes a bypass semiconductor layer (131g) that is formed in the light emitting control semiconductor layer (131f), and by-pass thin film transistor (T7). In particular, according to one embodiment of the present invention, the driving semiconductor layer 131a is formed in a double structure located in a different layer. This has been described in detail with reference to FIG. 4, and description of the same configuration is omitted.

구동 트랜지스터(T1)는 구동 반도체층(131a), 구동 게이트 전극(125a), 구동 소스 전극(176a) 및 구동 드레인 전극(177a)을 포함한다. The driving transistor Tl includes a driving semiconductor layer 131a, a driving gate electrode 125a, a driving source electrode 176a, and a driving drain electrode 177a.

구동 반도체층(131a)은 굴곡되어 있으며, 사행 형상 또는 지그재그 형상을 가질 수 있다. 이와 같이, 굴곡된 형상의 구동 반도체층(131a)을 형성함으로써, 좁은 공간 내에 길게 구동 반도체층(131a)을 형성할 수 있다. 따라서, 구동 반도체층(131a)의 구동 채널 영역(131a1)을 길게 형성할 수 있으므로 구동 게이트 전극(125a)에 인가되는 게이트 전압의 구동 범위(driving range)는 넓어지게 된다. 따라서, 게이트 전압의 구동 범위가 넓으므로 게이트 전압의 크기를 변화시켜 유기 발광 다이오드(OLED)에서 방출되는 빛의 계조를 보다 세밀하게 제어할 수 있으며, 그 결과 유기 발광 표시 장치의 해상도를 높이고 표시 품질을 향상시킬 수 있다. The driving semiconductor layer 131a is curved and may have a meander shape or a zigzag shape. By forming the drive semiconductor layer 131a having a curved shape in this way, the drive semiconductor layer 131a can be formed in a narrow space. Therefore, since the driving channel region 131a1 of the driving semiconductor layer 131a can be formed long, the driving range of the gate voltage applied to the driving gate electrode 125a is widened. Therefore, since the driving range of the gate voltage is wide, the gradation of the light emitted from the organic light emitting diode OLED can be finely controlled by changing the size of the gate voltage. As a result, the resolution of the organic light emitting display device can be increased, Can be improved.

구동 소스 전극(176a)은 구동 반도체층(131a)에서 불순물이 도핑된 구동 소스 영역(176a)에 해당하고, 구동 드레인 전극(177a)은 구동 반도체층(131a)에서 불순물이 도핑된 구동 드레인 영역(177a)에 해당한다. 이때 구동 소스 영역(176a)과 구동드레인 영역(177a)은 상이한 층에 위치할 수 있다. 구동 게이트 전극(125a)은 구동 반도체층(131a)과 중첩하고 있으며, 구동 게이트 전극(125a)은 스캔선(121), 이전 스캔선(122), 발광 제어선(123), 스위칭 게이트 전극(125b), 보상 게이트 전극(125c), 초기화 게이트 전극(125d), 동작 제어 게이트 전극(125e), 발광 제어 게이트 전극(125f)과 동일한 물질로 동일한 층에 형성되어 있다.The driving source electrode 176a corresponds to a driving source region 176a doped with an impurity in the driving semiconductor layer 131a and the driving drain electrode 177a corresponds to a driving drain region 177a. At this time, the driving source region 176a and the driving drain region 177a may be located in different layers. The driving gate electrode 125a overlaps the driving semiconductor layer 131a and the driving gate electrode 125a overlaps the scanning line 121, the previous scanning line 122, the emission control line 123, the switching gate electrode 125b The compensation gate electrode 125c, the initialization gate electrode 125d, the operation control gate electrode 125e and the light emission control gate electrode 125f.

스위칭 트랜지스터(T2)는 스위칭 반도체층(131b), 스위칭 게이트 전극(125b), 스위칭 소스 전극(176b) 및 스위칭 드레인 전극(177b)을 포함한다. 스위칭 게이트 전극(125b)은 스캔선(121)의 일부이다. The switching transistor T2 includes a switching semiconductor layer 131b, a switching gate electrode 125b, a switching source electrode 176b, and a switching drain electrode 177b. The switching gate electrode 125b is a part of the scan line 121.

데이터선(171)의 일부인 스위칭 소스 전극(176b)은 스위칭 반도체층(131b)에서 불순물이 도핑된 스위칭 소스 영역(132b)과 연결되어 있으며, 스위칭 드레인 전극(177b)은 스위칭 반도체층(131b)에서 불순물이 도핑된 스위칭 드레인 영역(177b)에 해당한다.The switching source electrode 176b which is a part of the data line 171 is connected to the switching source region 132b doped with the impurity in the switching semiconductor layer 131b and the switching drain electrode 177b is connected to the switching semiconductor layer 131b And corresponds to the switching-drain region 177b doped with the impurity.

보상 트랜지스터(T3)는 보상 반도체층(131c), 보상 게이트 전극(125c), 보상 소스 전극(176c) 및 보상 드레인 전극(177c)을 포함하며, 보상 소스 전극(176c)은 보상 반도체층(131c)에서 불순물이 도핑된 보상 소스 영역(176c)에 해당하고, 보상 드레인 전극(177c)은 불순물이 도핑된 보상 드레인 영역(177c)에 해당한다. The compensating transistor T3 includes a compensating semiconductor layer 131c, a compensating gate electrode 125c, a compensating source electrode 176c and a compensating drain electrode 177c and the compensating source electrode 176c comprises a compensating semiconductor layer 131c. The compensating drain electrode 177c corresponds to the compensating drain region 177c doped with the impurity, and the compensating drain electrode 177c corresponds to the compensating drain region 177c doped with the impurity.

초기화 트랜지스터(T4)는 초기화 반도체층(131d), 초기화 게이트 전극(125d), 초기화 소스 전극(176d) 및 초기화 드레인 전극(177d)을 포함한다. 초기화 소스 전극(176d)은 불순물이 도핑된 초기화 소스 영역(176d)에 해당하고, 초기화 드레인 전극(177d)은 불순물이 도핑된 초기화 드레인 영역(177d)에 해당한다.The initializing transistor T4 includes an initializing semiconductor layer 131d, an initializing gate electrode 125d, an initializing source electrode 176d, and an initializing drain electrode 177d. The initializing source electrode 176d corresponds to the initialization source region 176d doped with the impurity and the initializing drain electrode 177d corresponds to the initializing drain region 177d doped with the impurity.

동작 제어 트랜지스터(T5)는 동작 제어 반도체층(131e), 동작 제어 게이트 전극(125e), 동작 제어 소스 전극(176e) 및 동작 제어 드레인 전극(177e)을 포함한다. 구동 전압선(172)의 일부인 동작 제어 소스 전극(176e)은 동작 제어 반도체층(131e)과 연결되어 있고, 동작 제어 드레인 전극(177e)은 동작 제어 반도체층(131e)에서 불순물이 도핑된 동작 제어 드레인 영역(177e)에 해당한다.The operation control transistor T5 includes an operation control semiconductor layer 131e, an operation control gate electrode 125e, an operation control source electrode 176e, and an operation control drain electrode 177e. The operation control source electrode 176e which is a part of the driving voltage line 172 is connected to the operation control semiconductor layer 131e and the operation control drain electrode 177e is connected to the operation control drain Area 177e.

발광 제어 트랜지스터(T6)는 발광 제어 반도체층(131f), 발광 제어 게이트 전극(125f), 발광 제어 소스 전극(176f) 및 발광 제어 드레인 전극(177f)을 포함한다. 발광 제어 소스 전극(176f)은 발광 제어 반도체층(131f)에서 불순물이 도핑된 발광 제어 소스 영역(176f)에 해당하고, 발광 제어 드레인 전극(177f)은 발광 제어 반도체층(131f)와 연결되어 있다. The emission control transistor T6 includes the emission control semiconductor layer 131f, the emission control gate electrode 125f, the emission control source electrode 176f and the emission control drain electrode 177f. The emission control source electrode 176f corresponds to the emission control source region 176f doped with the impurity in the emission control semiconductor layer 131f and the emission control drain electrode 177f is connected to the emission control semiconductor layer 131f .

바이패스 박막 트랜지스터(T7)는 바이패스 반도체층(131g), 바이패스 게이트 전극(125g), 바이패스 소스 전극(176g) 및 바이패스 드레인 전극(177g)을 포함한다. 바이패스 소스 전극(176g)은 바이패스 반도체층(131g)에서 불순물이 도핑된 바이패스 소스 영역(176g)에 해당하고, 바이패스 드레인 전극(177g)은 바이패스 반도체층(131g)에서 불순물이 도핑된 바이패스 드레인 영역(177g)에 해당한다. 바이패스 소스 전극(176g)은 발광 제어 드레인 영역(133f)과 직접 연결되어 있다.The bypass thin film transistor T7 includes a bypass semiconductor layer 131g, a bypass gate electrode 125g, a bypass source electrode 176g, and a bypass drain electrode 177g. The bypass source electrode 176g corresponds to the bypass source region 176g doped with the impurity in the bypass semiconductor layer 131g and the bypass drain electrode 177g corresponds to the impurity doped in the bypass semiconductor layer 131g. The bypass drain region 177g. The bypass source electrode 176g is directly connected to the emission control drain region 133f.

구동 트랜지스터(T1)의 구동 반도체층(131a)의 일단은 스위칭 반도체층(131b) 및 동작 제어 반도체층(131e)과 연결되어 있으며, 구동 반도체층(131a)의 타단은 보상 반도체층(131c) 및 발광 제어 반도체층(131f)과 연결되어 있다. 따라서, 구동 소스 전극(176a)은 스위칭 드레인 전극(177b) 및 동작 제어 드레인 전극(177e)과 연결되고, 구동 드레인 전극(177a)은 보상 소스 전극(176c) 및 발광 제어 소스 전극(176f)과 연결된다.One end of the driving semiconductor layer 131a of the driving transistor T1 is connected to the switching semiconductor layer 131b and the operation control semiconductor layer 131e and the other end of the driving semiconductor layer 131a is connected to the compensating semiconductor layer 131c, Emitting control semiconductor layer 131f. The driving source electrode 176a is connected to the switching drain electrode 177b and the operation control drain electrode 177e and the driving drain electrode 177a is connected to the compensation source electrode 176c and the emission control source electrode 176f do.

스토리지 커패시터(Cst)는 제2 게이트 절연막(142)을 사이에 두고 배치되는 제1 스토리지 축전판(125a)과 제2 스토리지 축전판(126)을 포함한다. 제1 스토리지 축전판(125a)은 구동 게이트 전극(125a)이고, 제2 게이트 절연막(143)은 유전체가 되며, 스토리지 커패시터(Cst)에서 축전된 전하와 양 축전판(125a, 126) 사이의 전압에 의해 스토리지 커패시턴스(Storage Capacitance)가 결정된다.The storage capacitor Cst includes a first storage capacitor plate 125a and a second storage capacitor plate 126 disposed with a second gate insulating film 142 interposed therebetween. The first storage capacitor plate 125a is the driving gate electrode 125a and the second gate insulating film 143 is the dielectric and the voltage between the charge stored in the storage capacitor Cst and the capacitor plates 125a and 126 The storage capacitance is determined.

연결 부재(174)는 데이터선(171)과 평행하게 동일한 층에 형성되어 있으며 구동 게이트 전극(125a)과 보상 박막 트랜지스터(T3)의 보상 드레인 전극(177c)을 서로 연결하고 있다. 구동 게이트 전극(125a)인 제1 스토리지 축전판(125a)은 연결 부재(174)와 연결되어 있고, 보상 반도체층(131c)에서 보상 드레인 전극(177c)은 연결 부재(174)와 연결되어 있다. The connecting member 174 is formed on the same layer in parallel with the data line 171 and connects the driving gate electrode 125a and the compensating drain electrode 177c of the compensating thin film transistor T3 to each other. The first storage capacitor plate 125a as the driving gate electrode 125a is connected to the connecting member 174 and the compensating drain electrode 177c is connected to the connecting member 174 in the compensating semiconductor layer 131c.

따라서, 스토리지 커패시터(Cst)는 구동 전압선(172)을 통해 제2 스토리지 축전판(126)에 전달된 구동 전압(ELVDD)과 구동 게이트 전극(125a)의 게이트 전압간의 차에 대응하는 스토리지 커패시턴스를 저장한다.The storage capacitor Cst stores the storage capacitance corresponding to the difference between the driving voltage ELVDD transferred to the second storage capacitor plate 126 through the driving voltage line 172 and the gate voltage of the driving gate electrode 125a do.

한편, 스위칭 트랜지스터(T2)는 발광시키고자 하는 화소를 선택하는 스위칭 소자로 사용된다. 스위칭 게이트 전극(125b)은 스캔선(121)에 연결되어 있고, 스위칭 소스 전극(176b)은 데이터선(171)에 연결되어 있으며, 스위칭 드레인 전극(177b)은 구동 트랜지스터(T1) 및 동작 제어 트랜지스터(T5)와 연결되어 있다. 그리고, 발광 제어 트랜지스터(T6)의 발광 제어 드레인 전극(177f)은 유기 발광 다이이드(70)의 화소 전극(191)과 직접 연결되어 있다.On the other hand, the switching transistor T2 is used as a switching element for selecting a pixel to emit light. The switching gate electrode 125b is connected to the scan line 121. The switching source electrode 176b is connected to the data line 171. The switching drain electrode 177b is connected to the driving transistor T1, (T5). The emission control drain electrode 177f of the emission control transistor T6 is directly connected to the pixel electrode 191 of the organic light emitting diode 70. [

이하, 도 9를 참조하여 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 구조에 대해 적층 순서에 따라 구체적으로 설명한다. 이하에서는 구동 트랜지스터(T1)를 중심으로 설명하며 전술한 다른 트랜지스터에 대한 설명은 생략 가능한다. 특히, 동작 제어 트랜지스터(T5)는 발광 제어 트랜지스터(T6)의 적층 구조와 대부분 동일하므로 상세한 설명은 생략한다.Hereinafter, the structure of the OLED display according to another embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIG. Hereinafter, the driving transistor Tl will be mainly described, and the description of the other transistors described above may be omitted. In particular, since the operation control transistor T5 is substantially the same as the lamination structure of the emission control transistor T6, a detailed description thereof will be omitted.

기판(110) 위에는 버퍼층(120)이 형성되어 있고, 기판(110)은 유리, 석영, 세라믹, 플라스틱 등으로 이루어진 절연성 기판으로 형성되어 있다.A buffer layer 120 is formed on the substrate 110. The substrate 110 is formed of an insulating substrate made of glass, quartz, ceramics, plastic, or the like.

버퍼층(120) 위에는 구동 반도체층(131a), 스위칭 반도체층(131b), 보상 반도체층(131c), 초기화 반도체층(131d), 동작 제어 반도체층(131e), 발광 제어 반도체층(131f) 및 바이패스 반도체층(131g)이 형성되어 있다.On the buffer layer 120, a driving semiconductor layer 131a, a switching semiconductor layer 131b, a compensating semiconductor layer 131c, an initializing semiconductor layer 131d, an operation controlling semiconductor layer 131e, a light emitting controlling semiconductor layer 131f, Pass semiconductor layer 131g is formed.

구동 반도체층(131a)은 구동 채널 영역(131a1) 및 구동 채널 영역(131a1)을 사이에 두고 양 끝단에 위치하는 구동 소스 영역(176a) 및 구동 드레인 영역(177a)을 포함하고, 스위칭 반도체층(131b)은 스위칭 채널 영역(131b1) 및 스위칭 채널 영역(131b1)을 사이에 두고 서로 마주보는 스위칭 소스 영역(132b) 및 스위칭 드레인 영역(177b)을 포함한다. 그리고, 보상 반도체층(131c)은 보상 채널 영역(131c), 보상 소스 영역(176c) 및 보상 드레인 영역(177c)을 포함하고, 초기화 반도체층(131d)은 초기화 채널 영역(131d), 초기화 소스 영역(176d) 및 초기화 드레인 영역(177d)을 포함하며, 발광 제어 반도체층(131f)은 발광 제어 채널 영역(131f1), 발광 제어 소스 영역(176f) 및 발광 제어 드레인 영역(133f)을 포함하고, 바이패스 반도체층(131g)은 바이패스 채널 영역(131g), 바이패스 소스 영역(176g) 및 바이패스 드레인 영역(177g)을 포함한다. The driving semiconductor layer 131a includes a driving source region 176a and a driving drain region 177a located at both ends with a driving channel region 131a1 and a driving channel region 131a1 interposed therebetween, 131b includes a switching source region 132b and a switching drain region 177b facing each other with a switching channel region 131b1 and a switching channel region 131b1 interposed therebetween. The compensation semiconductor layer 131c includes a compensation channel region 131c, a compensation source region 176c and a compensation drain region 177c. The initialization semiconductor layer 131d includes an initialization channel region 131d, The emission control semiconductor layer 131f includes an emission control channel region 131f1, an emission control source region 176f and an emission control drain region 133f, Pass semiconductor layer 131g includes a bypass channel region 131g, a bypass source region 176g, and a bypass drain region 177g.

구동 반도체층(131a)의 일부, 스위칭 반도체층(131b), 보상 반도체층(131c), 초기화 반도체층(131d), 동작 제어 반도체층(131e), 발광 제어 반도체층(131f) 및 바이패스 반도체층(131g) 위에는 게이트 절연막(140)이 형성되어 있다. 게이트 절연막(140) 위에는 스위칭 게이트 전극(125b) 및 보상 게이트 전극(125c)를 포함하는 스캔선(121), 초기화 게이트 전극(125d)를 포함하는 이전 스캔선(122), 동작 제어 게이트 전극(125e) 및 발광 제어 게이트 전극(125f)을 포함하는 발광 제어선(123), 구동 게이트 전극(제1 스토리지 축전판)(125a) 및 바이 패스 게이트 전극(125g)을 포함하는 바이 패스선(128)을 포함하는 게이트 배선(121, 122, 123, 125a, 125b, 125c, 125d, 125e, 125f, 125g, 128)이 형성되어 있다.A portion of the driving semiconductor layer 131a, the switching semiconductor layer 131b, the compensating semiconductor layer 131c, the initialization semiconductor layer 131d, the operation control semiconductor layer 131e, the emission control semiconductor layer 131f, And a gate insulating layer 140 is formed on the gate insulating layer 131g. A scan line 121 including a switching gate electrode 125b and a compensation gate electrode 125c, a previous scan line 122 including an initialization gate electrode 125d, and an operation control gate electrode 125e And the bypass line 128 including the light emission control line 123, the driving gate electrode (first storage capacitor plate) 125a and the bypass gate electrode 125g including the light emission control gate electrode 125f and the light emission control gate electrode 125f, The gate wirings 121, 122, 123, 125a, 125b, 125c, 125d, 125e, 125f, 125g and 128 are formed.

게이트 배선(121, 122, 123, 125a, 125b, 125c, 125d, 125e, 125f, 125g, 128) 및 게이트 절연막(140) 위에는 제1 층간 절연막(160a)이 형성되어 있다. 게이트 절연막(14) 및 제1 층간 절연막(160a)은 질화 규소(SiNx) 또는 산화 규소(SiO2) 따위로 형성되어 있다.A first interlayer insulating film 160a is formed on the gate wirings 121, 122, 123, 125a, 125b, 125c, 125d, 125e, 125f, 125g, 128 and the gate insulating film 140. [ A gate insulating film 14 and first interlayer insulating film (160a) is formed of silicon nitride (SiNx) or silicon oxide (SiO 2) or the like.

제1 층간 절연막(160) 위에는 구동 반도체층(131a)로부터 연장된 채널 영역 및 불순물 영역이 위치한다. 채널 영역은 구동 게이트 전극(125a)과 중첩할 수 있으며, 소정의 위치에 위치하는 접촉 구멍을 통해 제1 층간 절연막(160)에 위치하는 반도체층(131a)의 일부와 게이트 절연막(140) 아래에 위치하는 반도체층(131a)이 연결될 수 있다. On the first interlayer insulating film 160, a channel region and an impurity region extending from the driving semiconductor layer 131a are located. The channel region may overlap with the driving gate electrode 125a and a part of the semiconductor layer 131a located in the first interlayer insulating film 160 and a portion of the semiconductor layer 131a located under the gate insulating film 140 The semiconductor layer 131a may be connected.

구동 반도체층(131a)의 연장된 채널 영역 및 불순물 영역 위에는 제2 층간 절연막(160b)가 위치하며 다음으로 스위칭 소스 전극(176b)을 포함하는 데이터선(171), 구동 전압선(172), 연결 부재(174), 발광 제어 드레인 전극(177f) 및 초기화 전압선(124)을 포함하는 데이터 배선(171, 172, 174, 176b, 177f, 124)이 형성되어 있다.The second interlayer insulating film 160b is disposed on the extended channel region and the impurity region of the driving semiconductor layer 131a and then the data line 171 including the switching source electrode 176b, the driving voltage line 172, The data lines 171, 172, 174, 176b, 177f, and 124 including the data line 174, the emission control drain electrode 177f, and the initialization voltage line 124 are formed.

스위칭 소스 전극(176b)은 층간 절연막(160)에 형성된 스위칭 상부 접촉 구멍(62)을 통해 스위칭 접촉 부재(22)와 연결되어 있으며, 연결 부재(174)의 일단은 층간 절연막(160)에 형성된 구동 상부 접촉 구멍(61)을 통해 구동 접촉 부재와 연결되어 있고, 연결 부재(174)의 타단은 층간 절연막(160)에 형성된 보상 상부 접촉 구멍(63)을 통해 보상 접촉 부재(23)와 연결되어 있으며, 초기화 전압선(!24)은 층간 절연막(160)에 형성된 초기화 상부 접촉 구멍(64)을 통해 초기화 접촉 부재(24)와 연결되어 있고, 구동 전압선(172)은 층간 절연막(160)에 형성된 동작 제어 상부 접촉 구멍(65)을 통해 동작 제어 접촉 부재(25)와 연결되어 있으며, 발광 제어 드레인 전극(177f)은 층간 절연막(160)에 형성된 발광 제어 상부 접촉 구멍(66)을 통해 발광 제어 접촉 부재(26)와 연결되어 있다.The switching source electrode 176b is connected to the switching contact member 22 through the switching upper contact hole 62 formed in the interlayer insulating film 160. One end of the connecting member 174 is connected to the driving electrode And the other end of the connecting member 174 is connected to the compensating contact member 23 through the compensating upper contact hole 63 formed in the interlayer insulating film 160 The initialization voltage line 24 is connected to the initialization contact member 24 through the initialized upper contact hole 64 formed in the interlayer insulation film 160 and the drive voltage line 172 is connected to the initialization contact member 24 via the initialization contact line 24 formed in the interlayer insulation film 160 And the emission control drain electrode 177f is connected through the upper contact hole 65 to the emission control contact member 25 via the emission control upper contact hole 66 formed in the interlayer insulating film 160 26).

층간 절연막(160) 상에는 데이터 배선(171, 172, 174, 176b, 177f, 124)을 덮는 보호막(180)이 형성되어 있고, 보호막(180) 위에는 화소 전극(191)이 형성되어 있다. 화소 전극(191)은 보호막(180)에 형성된 접촉 구멍(81)을 통해 화소 전극(191)과 연결되어 있고, 초기화 전압선(124)은 보호막(180)에 형성된 접촉 구멍(82)을 통해 화소 전극(191)과 연결되어 있다.A protective film 180 covering the data lines 171, 172, 174, 176b, 177f and 124 is formed on the interlayer insulating film 160. A pixel electrode 191 is formed on the protective film 180. [ The pixel electrode 191 is connected to the pixel electrode 191 through a contact hole 81 formed in the passivation layer 180. The initialization voltage line 124 is connected to the pixel electrode 191 through a contact hole 82 formed in the passivation layer 180. [ (191).

화소 전극(191)의 가장자리 및 보호막(180) 위에는 격벽(350)이 형성되어 있고, 격벽(350)은 화소 전극(191)을 드러내는 격벽 개구부(351)를 가진다. 격벽(350)은 폴리아크릴계 수지(polyacrylates resin) 및 폴리이미드계(polyimides) 등의 수지 또는 실리카 계열의 무기물 등으로 만들 수 있다.A barrier rib 350 is formed on the edge of the pixel electrode 191 and the passivation layer 180. The barrier rib 350 has a barrier opening 351 for exposing the pixel electrode 191. The barrier rib 350 may be made of a resin such as polyacrylates resin and polyimide, or a silica-based inorganic material.

격벽 개구부(351)로 노출된 화소 전극(191) 위에는 유기 발광층(370)이 형성되고, 유기 발광층(370) 상에는 공통 전극(270)이 형성된다. 이와 같이, 화소 전극(191), 유기 발광층(370) 및 공통 전극(270)을 포함하는 유기 발광 다이오드(70)가 형성된다.An organic light emitting layer 370 is formed on the pixel electrode 191 exposed through the barrier rib opening 351 and a common electrode 270 is formed on the organic light emitting layer 370. Thus, the organic light emitting diode 70 including the pixel electrode 191, the organic light emitting layer 370, and the common electrode 270 is formed.

여기서, 화소 전극(191)은 정공 주입 전극인 애노드이며, 공통 전극(270)은 전자 주입 전극인 캐소드가 된다. 그러나 본 발명에 따른 일 실시예는 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 유기 발광 표시 장치의 구동 방법에 따라 화소 전극(191)이 캐소드가 되고, 공통 전극(270)이 애노드가 될 수도 있다. 화소 전극(191) 및 공통 전극(270)으로부터 각각 정공과 전자가 유기 발광층(370) 내부로 주입되고, 주입된 정공과 전자가 결합한 엑시톤(exiton)이 여기상태로부터 기저상태로 떨어질 때 발광이 이루어진다.Here, the pixel electrode 191 is an anode which is a hole injection electrode, and the common electrode 270 is a cathode which is an electron injection electrode. However, the embodiment of the present invention is not necessarily limited thereto, and the pixel electrode 191 may be a cathode and the common electrode 270 may be an anode according to a driving method of an OLED display. Holes and electrons are injected from the pixel electrode 191 and the common electrode 270 into the organic light emitting layer 370 and light is emitted when an exciton formed by the injected holes and electrons falls from the excited state to the ground state .

유기 발광층(370)은 저분자 유기물 또는 PEDOT(Poly 3,4-ethylenedioxythiophene) 등의 고분자 유기물로 이루어진다. 또한, 유기 발광층(370)은 발광층과, 정공 주입층(hole injection layer, HIL), 정공 수송층(hole transporting layer, HTL), 전자 수송층(electron transporting layer, ETL), 및 전자 주입층(electron injection layer, EIL) 중 하나 이상을 포함하는 다중막으로 형성될 수 있다. 이들 모두를 포함할 경우, 정공 주입층이 양극인 화소 전극(191) 상에 배치되고, 그 위로 정공 수송층, 발광층, 전자 수송층, 전자 주입층이 차례로 적층된다.The organic light emitting layer 370 is made of a low molecular organic material or a polymer organic material such as PEDOT (Poly 3,4-ethylenedioxythiophene). The organic light emitting layer 370 includes a light emitting layer, a hole injection layer (HIL), a hole transporting layer (HTL), an electron transporting layer (ETL), and an electron injection layer , EIL). ≪ / RTI > When both are included, a hole injection layer is disposed on the pixel electrode 191 as an anode, and a hole transport layer, a light emitting layer, an electron transport layer, and an electron injection layer are sequentially stacked thereon.

유기 발광층(370)은 적색을 발광하는 적색 유기 발광층, 녹색을 발광하는 녹색 유기 발광층 및 청색을 발광하는 청색 유기 발광층을 포함할 수 있으며, 적색 유기 발광층, 녹색 유기 발광층 및 청색 유기 발광층은 각각 적색 화소, 녹색 화소 및 청색 화소에 형성되어 컬러 화상을 구현하게 된다.The organic emission layer 370 may include a red organic emission layer that emits red light, a green organic emission layer that emits green light, and a blue organic emission layer that emits blue light. The red organic emission layer, the green organic emission layer, , A green pixel and a blue pixel to realize a color image.

또한, 유기 발광층(370)은 적색 유기 발광층, 녹색 유기 발광층 및 청색 유기 발광층을 적색 화소, 녹색 화소 및 청색 화소에 모두 함께 적층하고, 각 화소별로 적색 색필터, 녹색 색필터 및 청색 색필터를 형성하여 컬러 화상을 구현할 수 있다. 다른 예로, 백색을 발광하는 백색 유기 발광층을 적색 화소, 녹색 화소 및 청색 화소 모두에 형성하고, 각 화소별로 각각 적색 색필터, 녹색 색필터 및 청색 색필터를 형성하여 컬러 화상을 구현할 수도 있다. 백색 유기 발광층과 색필터를 이용하여 컬러 화상을 구현하는 경우, 적색 유기 발광층, 녹색 유기 발광층 및 청색 유기 발광층을 각각의 개별 화소 즉, 적색 화소, 녹색 화소 및 청색 화소에 증착하기 위한 증착 마스크를 사용하지 않아도 된다.The organic light emitting layer 370 is formed by laminating a red organic light emitting layer, a green organic light emitting layer and a blue organic light emitting layer all together in a red pixel, a green pixel, and a blue pixel, and forms a red color filter, a green color filter, So that a color image can be realized. As another example, a color image may be realized by forming a white organic light emitting layer emitting white light in both red pixels, green pixels, and blue pixels, and forming red, green, and blue color filters, respectively, for each pixel. When a color image is realized using a white organic light emitting layer and a color filter, a deposition mask for depositing a red organic light emitting layer, a green organic light emitting layer, and a blue organic light emitting layer on respective individual pixels, that is, red pixel, green pixel and blue pixel You do not have to do.

다른 예에서 설명한 백색 유기 발광층은 하나의 유기 발광층으로 형성될 수 있음은 물론이고, 복수 개의 유기 발광층을 적층하여 백색을 발광할 수 있도록 한 구성까지 포함한다. 예로, 적어도 하나의 옐로우 유기 발광층과 적어도 하나의 청색 유기 발광층을 조합하여 백색 발광을 가능하게 한 구성, 적어도 하나의 시안 유기 발광층과 적어도 하나의 적색 유기 발광층을 조합하여 백색 발광을 가능하게 한 구성, 적어도 하나의 마젠타 유기 발광층과 적어도 하나의 녹색 유기 발광층을 조합하여 백색 발광을 가능하게 한 구성 등도 포함할 수 있다.The white organic light emitting layer described in other examples may be formed of one organic light emitting layer, and may include a structure in which a plurality of organic light emitting layers are stacked to emit white light. For example, a configuration in which at least one yellow organic light emitting layer and at least one blue organic light emitting layer are combined to enable white light emission, a configuration in which at least one cyan organic light emitting layer and at least one red organic light emitting layer are combined to enable white light emission, And a structure in which at least one magenta organic light emitting layer and at least one green organic light emitting layer are combined to enable white light emission.

공통 전극(270) 상에는 유기 발광 소자(70)를 보호하는 봉지 부재(도시하지 않음)가 형성될 수 있으며, 봉지 부재는 실런트에 의해 기판(110)에 밀봉될 수 있으며, 유리, 석영, 세라믹, 플라스틱, 및 금속 등 다양한 소재로 형성될 수 있다. 한편, 실런트를 사용하지 않고 공통 전극(270) 상에 무기막과 유기막을 증착하여 박막 봉지층을 형성할 수도 있다.A sealing member (not shown) for protecting the organic light emitting diode 70 may be formed on the common electrode 270. The sealing member may be sealed to the substrate 110 by a sealant and may be formed of glass, quartz, ceramics, Plastic, metal, and the like. On the other hand, an inorganic film and an organic film may be deposited on the common electrode 270 without using a sealant to form a thin film sealing layer.

이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, Of the right.

110 : 기판 111 : 차단층
121, 124b : 게이트 도전체 124a, 124b : 제어전극
140 : 게이트 절연막 151a, 151b : 반도체
160a, 160b : 층간 절연막 171 : 데이터선
172 : 구동 전압선 180 : 보호막
191 : 화소 전극 270 : 공통 전극
360 : 격벽 370 : 유기 발광 부재
110: substrate 111: blocking layer
121, 124b: gate conductor 124a, 124b: control electrode
140: gate insulating films 151a and 151b: semiconductor
160a and 160b: an interlayer insulating film 171: a data line
172: driving voltage line 180: protective film
191: pixel electrode 270: common electrode
360: barrier rib 370: organic light emitting member

Claims (14)

기판,
상기 기판 위에 위치하는 제1 부반도체,
상기 제1 부반도체 위에 위치하는 게이트 절연막,
상기 게이트 절연막 위에 위치하는 게이트 전극,
상기 게이트 전극 위에 위치하는 제1 층간 절연막,
상기 제1 층간 절연막 위에 위치하며 상기 제1 부반도체와 연결되는 제2 부반도체,
상기 제2 부반도체 위에 위치하며, 상기 제1 부반도체 및 상기 제2 부반도체에 연결되는 소스 전극 및 드레인 전극,
상기 드레인 전극과 전기적으로 연결되는 화소 전극,
상기 화소 전극 위에 위치하는 유기 발광 부재, 및
상기 유기 발광 부재 위에 위치하는 공통 전극을 포함하는 유기 발광 표시 장치.
Board,
A first sub-semiconductor disposed on the substrate,
A gate insulating film disposed on the first sub-semiconductor,
A gate electrode disposed on the gate insulating film,
A first interlayer insulating film located on the gate electrode,
A second sub-semiconductor layer disposed on the first interlayer insulating layer and connected to the first sub-
A source electrode and a drain electrode which are located on the second sub-semiconductor and are connected to the first sub-semiconductor and the second sub-semiconductor,
A pixel electrode electrically connected to the drain electrode,
An organic light emitting member disposed on the pixel electrode, and
And a common electrode disposed on the organic light emitting member.
제1항에서,
반도체는 상기 제1 부반도체 및 상기 제2 부반도체를 포함하며,
상기 반도체는 소스 영역, 드레인 영역 및 채널 영역을 포함하는 유기 발광 표시 장치.
The method of claim 1,
Wherein the semiconductor includes the first sub-semiconductor and the second sub-semiconductor,
Wherein the semiconductor includes a source region, a drain region, and a channel region.
제2항에서,
상기 소스 전극은 상기 소스 영역에 연결되고 상기 드레인 전극은 상기 드레인 영역에 연결되며,
상기 게이트 전극은 상기 채널 영역과 중첩하는 유기 발광 표시 장치.
3. The method of claim 2,
Wherein the source electrode is connected to the source region and the drain electrode is connected to the drain region,
And the gate electrode overlaps with the channel region.
제1항에서,
상기 제1 부반도체의 너비는 상기 제2 부반도체의 너비보다 긴 유기 발광 표시 장치.
The method of claim 1,
Wherein a width of the first sub-semiconductor is greater than a width of the second sub-semiconductor.
제1항에서,
상기 제2 부반도체 위에 위치하는 제2 층간 절연막을 더 포함하는 유기 발광 표시 장치.
The method of claim 1,
And a second interlayer insulating film disposed on the second sub-semiconductor.
제5항에서,
상기 게이트 절연막 및 상기 제1 층간 절연막의 재질은 산화규소 및 질화규소 중 어느 하나인 유기 발광 표시 장치.
The method of claim 5,
Wherein the gate insulating film and the first interlayer insulating film are made of silicon oxide or silicon nitride.
제1항에서,
상기 유기 발광 부재는 발광층 및 부대층을 포함하는 유기 발광 표시 장치.
The method of claim 1,
Wherein the organic light emitting member includes a light emitting layer and a sub-layer.
준비한 기판 위에 제1 부반도체를 형성하는 단계,
상기 제1 부반도체 위에 게이트 절연막을 적층하고 상기 게이트 절연막 위에 게이트 전극을 형성하는 단계,
상기 게이트 전극 위에 제1 층간 절연막을 적층하고 상기 제1 부반도체 일부를 드러내는 제1 접촉 구멍을 형성하는 단계,
상기 제1 접촉 구멍을 통해 상기 제1 부반도체와 연결되며, 상기 제1 층간 절연막 위에 위치하는 제2 부반도체를 형성하는 단계,
상기 제1 부반도체와 상기 제2 부반도체의 일부를 드러내는 제2 접촉 구멍을 포함하는 제2 층간 절연막을 형성하는 단계,
상기 제2 층간 절연막 위에 위치하며, 상기 제2 접촉 구멍을 통해 상기 제1 부반도체와 상기 제2 부반도체에 연결되는 소스 전극 및 드레인 전극을 형성하는 단계,
상기 드레인 전극과 전기적으로 연결되는 화소 전극을 형성하는 단계, 그리고
상기 화소 전극 위에 위치하는 유기 발광 부재 및 공통 전극을 형성하는 단계를 포함하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법.
Forming a first sub-semiconductor on the prepared substrate,
Depositing a gate insulating film on the first sub-semiconductor and forming a gate electrode on the gate insulating film,
Laminating a first interlayer insulating film on the gate electrode and forming a first contact hole exposing a part of the first sub-semiconductor,
Forming a second sub-semiconductor, which is connected to the first sub-semiconductor through the first contact hole, and which is located on the first inter-layer insulating film;
Forming a second interlayer insulating film including a second contact hole exposing a part of the first sub-semiconductor and the second sub-semiconductor,
Forming a source electrode and a drain electrode on the second interlayer insulating film and connected to the first sub-semiconductor and the second sub-semiconductor through the second contact hole,
Forming a pixel electrode electrically connected to the drain electrode, and
And forming an organic light emitting member and a common electrode on the pixel electrode.
제8항에서,
반도체는 상기 제1 부반도체 및 상기 제2 부반도체를 포함하며,
상기 반도체는 소스 영역, 드레인 영역 및 채널 영역을 포함하도록 형성되는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법.
9. The method of claim 8,
Wherein the semiconductor includes the first sub-semiconductor and the second sub-semiconductor,
Wherein the semiconductor is formed to include a source region, a drain region, and a channel region.
제9항에서,
상기 소스 전극은 상기 소스 영역에 연결되고 상기 드레인 전극은 상기 드레인 영역에 연결되며,
상기 게이트 전극은 상기 채널 영역과 중첩하도록 형성되는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법.
The method of claim 9,
Wherein the source electrode is connected to the source region and the drain electrode is connected to the drain region,
Wherein the gate electrode is formed to overlap with the channel region.
제9항에서,
상기 제1 부반도체의 너비는 상기 제2 부반도체의 너비보다 길게 형성되는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법.
The method of claim 9,
Wherein the width of the first sub-semiconductor is greater than the width of the second sub-semiconductor.
제9항에서,
상기 게이트 절연막 및 상기 제1 층간 절연막의 재질은 산화규소 및 질화규소 중 어느 하나인 유기 발광 표시 장치의 제조 방법.
The method of claim 9,
Wherein the gate insulating film and the first interlayer insulating film are made of silicon oxide or silicon nitride.
제9항에서,
상기 유기 발광 부재는 발광층 및 부대층을 포함하도록 형성되는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법.
The method of claim 9,
Wherein the organic light emitting member is formed to include a light emitting layer and a sub-layer.
제9항에서,
상기 반도체는 레이저를 이용하여 다결정 실리콘을 포함하도록 처리되는 단계를 포함하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법.
The method of claim 9,
Wherein the semiconductor is processed to include polycrystalline silicon using a laser.
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