KR20140015185A

KR20140015185A - Burn-in board and burn-in apparatus

Info

Publication number: KR20140015185A
Application number: KR1020130077173A
Authority: KR
Inventors: 미츠루 후쿠다; 요시히토 코바야시
Original assignee: 가부시키가이샤 아드반테스트
Priority date: 2012-07-27
Filing date: 2013-07-02
Publication date: 2014-02-06
Also published as: JP2014025829A; KR101494246B1

Abstract

Provided is a burn-in board capable of shortening temperature applying time and improving the efficiency of carry-in and carry-out works. A burn-in board (20) comprises a wiring substrate (40) integrated with a socket (30), and a reinforcing frame (50) installed on the wiring substrate. The reinforcing frame has a plurality of rod-shaped members (60, 70) connected in frame shape. The rod-shaped member (60) has: a first plane part (61) fixed to the wiring substrate; a second plane part (62) placed in parallel with the first plane part; and a connection part (63) for connecting the first plane part and the second plane part. In the cross section of the rod-shaped member (60), the connection part (63) connects the first plane part and the second plane part partially, and a space (65) is formed between the first plane part (61) and the second plane part (62).

Description

Burn-in Board and Burn-in Unit {BURN-IN BOARD AND BURN-IN APPARATUS}

본 발명은, IC칩 등의 피시험 전자부재(DUT:Device Under Test)의 번인(Burn-in) 시험에 사용되는 번인 보드 및 그 번인 보드를 구비한 번인 장치에 관한 것이다. The present invention relates to a burn-in board used for burn-in testing of a device under test (DUT) such as an IC chip and a burn-in apparatus having the burn-in board.

DUT가 장착되는 복수의 소켓과, 해당 소켓이 매트릭스 모양으로 실장된 배선 기판을 구비한 번인 보드가 알려져 있다(예를 들면 특허문헌 1 참조). 이러한 번인 보드는, 배선 기판을 보강하기 위한 보강틀을 배선 기판의 이면에 구비하고 있다. BACKGROUND ART A burn-in board is known that includes a plurality of sockets on which a DUT is mounted and a wiring board on which the sockets are mounted in a matrix form (see Patent Document 1, for example). Such a burn-in board is equipped with the reinforcement frame for reinforcing a wiring board on the back surface of a wiring board.

특개 2005-265665호 공보Japanese Patent Laid-Open No. 2005-265665

상기의 보강틀은, 복수의 봉(棒)상 부재를 틀상으로 연결함으로써 구성되어 있지만, 이 봉상 부재는 속이 채워져 있는 단면 형상을 갖고 있다. 한편, DUT가 실장된 번인 보드는, 그 상태로 번인 장치의 항온실내에 수용되어, DUT와 함께 고온 또는 저온의 열스트레스가 반복하여 인가된다. 이 때문에, 보강틀의 열용량이 큰 만큼 온도 인가에 요구되는 시간이 길어지는 문제가 있다. Although the said reinforcement frame is comprised by connecting several rod-shaped member to frame shape, this rod-shaped member has the cross-sectional shape in which the inside is filled. On the other hand, the burn-in board in which the DUT is mounted is accommodated in the constant temperature chamber of the burn-in apparatus in that state, and high or low heat stress is repeatedly applied together with the DUT. For this reason, there exists a problem that the time required for temperature application becomes long, so that the heat capacity of a reinforcement frame is large.

또한, 번인 시험에 즈음하여, 다수의 번인 보드를 항온실내로 반입·반출해야 하므로, 보강틀의 중량이 큰 만큼, 그 반입출 작업의 작업성이 악화되는 문제도 있다. In addition, since many burn-in boards have to be carried in and out of a constant temperature chamber on the basis of the burn-in test, the workability of the carry-in / out operation | work also deteriorates because the weight of a reinforcement frame is large.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 온도 인가 시간의 단축화 및 반입출 작업의 효율화를 도모하는 것이 가능한 번인 보드 및 그 번인 보드를 구비한 번인 장치를 제공하는 것이다. The problem to be solved by the present invention is to provide a burn-in board and a burn-in apparatus provided with the burn-in board which can shorten the temperature application time and the efficiency of carrying out and carrying out operations.

[1] 본 발명에 따른 번인 보드는, 소켓이 실장된 배선 기판과, 상기 배선 기판에 설치된 보강틀을 구비한 번인 보드로서, 상기 보강틀은, 틀상으로 연결된 복수의 봉상 부재를 갖고, 적어도 하나의 상기 봉상 부재는, 상기 배선 기판에 고정된 제1 평면부와, 상기 제1 평면부에 대하여 평행하게 놓여져 있는 제2 평면부와, 상기 제1 평면부와 상기 제2 평면부를 접속하는 접속부를 갖고 있고, 상기 봉상 부재의 단면에서, 상기 접속부는, 상기 제1 평면부와 상기 제2 평면부를 부분적으로 접속하고, 상기 제1 평면부와 상기 제2 평면부의 사이에 공간이 형성되어 있는 것을 특징으로 한다. [1] A burn-in board according to the present invention is a burn-in board having a wiring board on which a socket is mounted and a reinforcing frame provided on the wiring board, wherein the reinforcing frame has a plurality of rod-shaped members connected in a frame form, and at least one of them. The rod-shaped member includes a first flat portion fixed to the wiring board, a second flat portion placed in parallel with the first flat portion, and a connecting portion connecting the first flat portion and the second flat portion. It has a cross section of the said rod-shaped member, Comprising: The said connection part partially connects a said 1st planar part and a said 2nd planar part, The space is formed between the said 1st planar part and a said 2nd planar part. It is done.

[2] 상기 발명에서, 상기 봉상 부재의 단면에서, 상기 접속부는, 상기 제1 평면부에 대하여 실질적으로 직교하고, 또한, 상기 제2 평면부에 대하여도 실질적으로 직교하는 방향을 따라 놓여져 있어도 좋다. [2] In the above invention, in the cross section of the rod-shaped member, the connecting portion may be placed along a direction that is substantially orthogonal to the first planar portion and substantially orthogonal to the second plane portion. .

[3] 상기 발명에서, 상기 봉상 부재의 단면에서, 상기 접속부는, 상기 제1 평면부의 단부와, 상기 제2 평면부의 단부를 접속하고 있어도 좋다. [3] In the above invention, in the cross section of the rod-shaped member, the connecting portion may connect an end portion of the first planar portion and an end portion of the second planar portion.

[4] 상기 발명에서, 상기 보강틀은, 인접하는 상기 봉상 부재끼리를 연결하는 연결 부재를 더 갖고 있고, 상기 연결 부재는, 일방의 상기 봉상 부재와 복수 개소에서 고정되어 있는 제1 고정부와, 타방의 상기 봉상 부재와 복수 개소에서 고정되어 있는 제2 고정부를 갖더라도 좋다. [4] In the above invention, the reinforcement frame further has a connecting member for connecting the adjacent rod-shaped members, and the connecting member includes a first fixing portion fixed to one of the rod-like members and a plurality of locations. You may have a 2nd fixed part fixed to the other said rod-shaped member and in several places.

[5] 상기 발명에서, 상기 제2 평면부는, 도전성을 갖는 수지층을 갖더라도 좋다. [5] In the above invention, the second planar portion may have a resin layer having conductivity.

[6] 본 발명에 따른 번인 장치는, 상기 번인 보드를 구비하고 있는 것을 특징으로 한다. [6] The burn-in apparatus according to the present invention is characterized by including the burn-in board.

본 발명에서는, 보강틀의 봉상 부재의 단면에서, 제1 평면부와 제2 평면부의 사이에 공간이 형성되어 있고, 보강틀의 열용량을 저감하는 동시에 보강틀의 중량을 경감할 수 있으므로, 온도 인가 시간의 단축화와 반입출 작업의 효율화를 도모할 수 있다. In this invention, in the cross section of the rod-shaped member of a reinforcement frame, the space is formed between a 1st planar part and a 2nd planar part, and since the heat capacity of a reinforcement frame can be reduced and the weight of a reinforcement frame can be reduced, temperature application is carried out. The time can be shortened and the import / export operations can be made more efficient.

도 1은 본 발명의 실시 형태에서의 번인 장치를 도시한 정면도이다.
도 2는 본 발명의 실시 형태에서의 번인 장치의 시스템 구성을 도시한 블록 도이다.
도 3(a)은 본 발명의 실시 형태에서의 번인 보드의 평면도이고, 도 3(b)은 본 발명의 실시 형태에서의 번인 보드의 측면도이다.
도 4는 도 3(b)의 IV-IV선에 따른 단면도이다.
도 5(a)는 본 실시 형태에서의 종부재의 단면 형상의 제1 변형예를 도시한 단면도이고, 도 5(b)는 본 실시 형태에서의 종부재의 단면 형상의 제2 변형예를 도시한 단면도이다.
도 6은 본 발명의 실시 형태에서의 보강틀의 연결 부분의 분해 사사도이다. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a front view which shows the burn-in apparatus in embodiment of this invention.
Fig. 2 is a block diagram showing the system configuration of the burn-in apparatus in the embodiment of the present invention.
Fig. 3 (a) is a plan view of the burn-in board in the embodiment of the present invention, and Fig. 3 (b) is a side view of the burn-in board in the embodiment of the present invention.
4 is a cross-sectional view taken along line IV-IV of FIG. 3 (b).
FIG. 5 (a) is a cross-sectional view showing the first modification of the cross-sectional shape of the longitudinal member in the present embodiment, and FIG. 5 (b) shows the second modification of the cross-sectional shape of the longitudinal member in the present embodiment. One cross section.
It is an exploded perspective view of the connection part of the reinforcement frame in embodiment of this invention.

이하, 본 발명의 실시 형태를 도면에 기초하여 설명한다. DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

우선, 본 실시 형태에서의 번인 장치(1)의 전체 구성에 대해서, 도 1 및 도 2를 참조하면서 설명한다. 도 1은 본 실시 형태에서의 번인 장치의 정면도, 도 2는 본 실시 형태에서의 번인 장치의 시스템 구성을 나타내는 블록도이다. First, the whole structure of the burn-in apparatus 1 in this embodiment is demonstrated, referring FIG. 1 and FIG. 1 is a front view of the burn-in apparatus in this embodiment, and FIG. 2 is a block diagram showing the system configuration of the burn-in apparatus in this embodiment.

본 실시 형태에서의 번인 장치(1)는, IC칩 등의 DUT의 초기 불량을 적출하여, 초기 불량품의 제거를 목적으로 한 스크리닝 시험의 일종인 번인 시험을 실시하기 위한 장치이다. 상기 번인 장치(1)는, 도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이, 번인 보드(20)를 수용 가능한 번인 챔버(11)와, 번인 보드(20)에 장착된 DUT(100)(도 2 참조)에 전원 전압을 인가하는 시험용 전원(12)과, 해당 DUT(100)에 신호를 입력하는 번인 컨트롤러(13)를 구비하고 있다. The burn-in apparatus 1 in this embodiment is an apparatus for performing the burn-in test which is a kind of the screening test aimed at extracting the initial defect of a DUT, such as an IC chip, and removing an initial defective product. 1 and 2, the burn-in chamber 11, which can accommodate the burn-in board 20, and the DUT 100 mounted on the burn-in board 20 (see FIG. 2). The test power supply 12 which applies a power supply voltage to the (), and the burn-in controller 13 which inputs a signal to the said DUT 100 are provided.

상기 번인 장치(1)는, 번인 챔버(11)내에 수용된 번인 보드(20)에 장착된 DUT(100)에 열스트레스(예를 들면, -55℃∼+180℃ 정도)를 인가한 후에, 해당 DUT(100)에 전원 전압과 신호를 인가하면서, DUT(100)의 스크리닝을 실행한다. The burn-in apparatus 1 applies heat stress (for example, about −55 ° C. to + 180 ° C.) to the DUT 100 mounted on the burn-in board 20 accommodated in the burn-in chamber 11. Screening of the DUT 100 is performed while applying a power supply voltage and a signal to the DUT 100.

번인 챔버(11)는, 도 1에 도시한 바와 같이, 단열벽 등에 의해 구획된 항온실(111)과, 해당 항온실(111)을 개폐 가능한 도어(112)를 갖고 있다. 상기 항온실(111) 안에는, 번인 보드(20)를 홀드하기 위한 슬롯(113)이 복수 설치되어 있다. 각각의 슬롯(113)은, 번인 보드(20)의 좌우 양단을 지지하는 한 쌍의 레일(114)을 갖고 있다. 번인 보드(20)는, 상기 레일(114) 위를 슬라이드하면서, 도어(112)를 통해서 항온실(111)내로 반입된다. 항온실(111)내에는, 24단의 슬롯(111)이 2열 설치되어 있어, 합계로 48장의 번인 보드(20)를 수용하는 것이 가능하게 되어 있다. The burn-in chamber 11 has the constant temperature chamber 111 partitioned by the heat insulation wall etc., and the door 112 which can open and close this constant temperature chamber 111, as shown in FIG. In the constant temperature chamber 111, a plurality of slots 113 for holding the burn-in board 20 are provided. Each slot 113 has a pair of rails 114 which support both left and right ends of the burn-in board 20. The burn-in board 20 is carried into the thermostat chamber 111 through the door 112 while sliding on the rail 114. In the constant temperature chamber 111, two slots of 24 stages are provided, and 48 burn-in boards 20 can be accommodated in total.

한편, 도 1에서, 일방의 도어(도면 중 우측의 도어)가 도시되어 있지 않고, 항온실(111)이 개방된 상태로 도시되어 있다. 이에 대하여, 타방의 도어(112)(도 면 중 좌측의 도어)는 폐쇄된 상태로 도시되어 있어, 이에 따라, 도면 중 좌측의 24단의 슬롯(113)은 도시되어 있지 않다. 한편, 슬롯(113)의 수나 배치(즉, 항온실(111)내에서의 번인 보드(20)의 수용 매수나 위치 관계)는, 도 1에 도시한 예에 한정되지 않고, 시험 효율 등을 고려하여 임의로 설정할 수 있다. In FIG. 1, one door (the right door in the drawing) is not shown, and the constant temperature chamber 111 is shown in an open state. On the other hand, the other door 112 (the left door in the figure) is shown in a closed state, and accordingly, the left stage slot 113 in the figure is not shown. On the other hand, the number and arrangement of the slots 113 (that is, the number of sheets and the positional relationship of the burn-in board 20 in the thermostat 111) are not limited to the example shown in FIG. Can be set arbitrarily.

또한, 각 슬롯(113)의 안 쪽에는 커넥터(115)(도 2 참조)가 설치되어 있고, 상기 커넥터(115)에는, 슬롯(113)에 삽입된 번인 보드(20)의 커넥터(41)가 결합하는 가능하게 되어 있다. In addition, a connector 115 (see FIG. 2) is provided inside each slot 113, and a connector 41 of the burn-in board 20 inserted into the slot 113 is provided in the connector 115. It becomes possible to combine.

도 2에 도시한 바와 같이, 상기 커넥터(115)는, DUT용 전원(12) 및 번인 컨트롤러(13)에 전기적으로 접속되어 있다. 한편, 도 2에는, 1장의 번인 보드(20)밖에 도시되어 있지 않지만, 다른 번인 보드(20)도, 동일한 요령으로, DUT용 전원(12) 및 번인 컨트롤러(13)에 접속되어 있다. As shown in FIG. 2, the connector 115 is electrically connected to the DUT power supply 12 and the burn-in controller 13. In addition, although only one burn-in board 20 is shown in FIG. 2, the other burn-in board 20 is also connected to the DUT power supply 12 and the burn-in controller 13 by the same method.

나아가서, 도 1에 도시한 바와 같이, 번인 챔버(11)는, 증발기(116)와, 히터(117)와, 팬(118)을 구비하고 있다. 항온실(111)내의 공기는, 팬(118)에 의해 순환되면서, 증발기(116)에 의해 냉각되거나, 히터(117)에 의해 가열됨으로써, 항온실(111)내의 온도조정이 수행된다. 이러한 증발기(116), 히터(117) 및 팬(118)의 동작은, 번인 컨트롤러(13)에 의해 제어되고 있다. Further, as shown in FIG. 1, the burn-in chamber 11 includes an evaporator 116, a heater 117, and a fan 118. The air in the constant temperature chamber 111 is circulated by the fan 118, cooled by the evaporator 116, or heated by the heater 117, thereby performing temperature adjustment in the constant temperature chamber 111. The operation of the evaporator 116, the heater 117, and the fan 118 is controlled by the burn-in controller 13.

DUT용 전원(12)은, 상기 커넥터(115,41)를 통하여, 번인 보드(20) 위의 각 DUT(100)에 전원 전압을 인가하도록 접속되어 있고, 번인 컨트롤러(13)에 의해 제어되고 있다. The power supply 12 for the DUT is connected to the respective DUTs 100 on the burn-in board 20 via the connectors 115 and 41 so as to be controlled by the burn-in controller 13. .

번인 컨트롤러(13)는, DUT(100)로의 인가 전압 및 인가 신호의 제어나 항온실(111)내의 온도 조정의 제어에 추가하여, 번인 시험 중에 이상한 반응이 있던 DUT를 불량품으로 판단하고, 해당 DUT의 시리얼 넘버(예를 들면, 슬롯(113)의 번호와 번인 보드(20) 위의 위치에 대응한 것)를 기억하고, 시험 결과를 피드백하는 것이 가능하게 되어 있다. In addition to the control of the applied voltage and the applied signal to the DUT 100 and the control of the temperature adjustment in the constant temperature chamber 111, the burn-in controller 13 judges that the DUT having an abnormal reaction during the burn-in test is regarded as defective. It is possible to store the serial number (e.g., corresponding to the number of the slot 113 and the position on the burn-in board 20) and to feed back the test result.

다음에, 본 실시 형태에서의 번인 보드(20)의 구성에 대하여, 도 3 및 도 4를 참조하면서 상설한다. 도 3(a) 및 도 3(b)는 본 실시 형태에서의 번인 보드를 도시한 도면, 도 4는 도 3 (a)의 IV-IV선에 따른 단면도, 도 5(a) 및 도 5(b)는 종부재의 단면 형상의 변형예를 도시한 단면도, 도 6은 본 실시 형태에서의 보강틀의 연결 부분을 도시한 분해 사시도이다. Next, the structure of the burn-in board 20 in this embodiment is demonstrated, referring FIG. 3 and FIG. 3 (a) and 3 (b) show the burn-in board in this embodiment, FIG. 4 is a sectional view taken along the line IV-IV of FIG. 3 (a), and FIGS. 5 (a) and 5 ( b) is sectional drawing which shows the modification of the cross-sectional shape of a longitudinal member, and FIG. 6 is an exploded perspective view which shows the connection part of the reinforcement frame in this embodiment.

본 실시 형태에서의 번인 보드(20)는, 도 3(a) 및 도 3(b)에 도시한 바와 같이, DUT(100)를 장착 가능한 소켓(30)과, 상기 소켓(30)이 실장된 배선 기판(40)과, 배선 기판(40)을 보강하는 보강틀(50)과, 배선 기판(40)의 이면을 보호하는 바닥 커버(90)를 구비하고 있다. In the burn-in board 20 according to the present embodiment, as shown in FIGS. 3A and 3B, a socket 30 into which the DUT 100 can be mounted, and the socket 30 are mounted. The wiring board 40, the reinforcement frame 50 which reinforces the wiring board 40, and the bottom cover 90 which protects the back surface of the wiring board 40 are provided.

배선 기판(40)의 상면(401)에는, 복수의 소켓(30)이 매트릭스 모양(본 예에서는 16행 14열)으로 배열되어 있다. 한편, 배선 기판(40)의 하면(402)에는, 해당배선 기판(40)의 바깥 둘레를 따라 보강틀(50)이 설치되어 있다. 한편, 배선 기판(40)에 실장되는 소켓(30)의 수나 배치는 특별히 한정되지 않는다. On the upper surface 401 of the wiring board 40, a plurality of sockets 30 are arranged in a matrix form (16 rows and 14 columns in this example). On the other hand, the reinforcement frame 50 is provided in the lower surface 402 of the wiring board 40 along the outer periphery of the wiring board 40. In addition, the number and arrangement | positioning of the socket 30 mounted in the wiring board 40 are not specifically limited.

상기 보강틀(50)은, 2개의 종부재(60)와, 2개의 횡부재(70)와, 이들을 연결하는 4개의 연결 부재(80)를 구비하고 있다. 상기 보강틀(50)은, 연결 부재(80)를 통하여 종부재(60)와 횡부재(70)가 교대로 연결되어 구성되어 있어, 전체로서 배선 기판(40)의 바깥 둘레에 대응한 사각형의 틀형상을 갖고 있다. The reinforcement frame 50 is provided with two longitudinal members 60, two horizontal members 70, and four connection members 80 connecting them. The reinforcement frame 50 is formed by alternately connecting the longitudinal member 60 and the horizontal member 70 through the connecting member 80, and as a whole, has a rectangular shape corresponding to the outer periphery of the wiring board 40. It has a frame shape.

종부재(60), 횡부재(70) 및 연결 부재(80)는, 모두 스테인리스강으로 구성되어 있다. 종래의 알루미늄제의 보강틀에서는, 그 표면에 산화 피막이 형성되기 때문에, 배선 기판(40)에 정전기가 대전하기 쉽다. 이에 대하여, 본 실시 형태에서는, 스테인리스강으로 보강틀(50)을 구성함으로써, 배선 기판(40)으로부터 정전기를 제거하기 쉬워지게 되어 있다. 한편, 종부재(60), 횡부재(70) 및 연결 부재(80)를 수지재료로 구성하여도 좋다. The vertical member 60, the horizontal member 70, and the connection member 80 are all comprised from stainless steel. In a conventional aluminum reinforcement frame, since an oxide film is formed on the surface thereof, static electricity is easily charged on the wiring board 40. On the other hand, in this embodiment, by constructing the reinforcement frame 50 from stainless steel, it becomes easy to remove static electricity from the wiring board 40. In addition, the longitudinal member 60, the horizontal member 70, and the connection member 80 may be comprised with resin material.

본 실시 형태에서의 종부재(60)는, 도 4에 도시한 바와 같이, 제1 평면부(61)와, 제2 평면부(62)와, 접속부(63)를 갖고 있어, 전체로서 대략 コ자 모양의 단면 형상을 갖고 있다. 한편, 특별히 도시하지 않지만, 본 실시 형태에서는 횡부재(70)도 종부재(60)와 동일한 단면 형상을 갖고 있지만, 특별히 이에 한정되지 않는다. 예를 들면, 일부의 봉상 부재가 대략 コ자 모양의 단면 형상을 갖고, 나머지의 봉상 부재가 종래의 속이 채워져 있는 단면 형상을 갖더라도 좋다. As shown in FIG. 4, the longitudinal member 60 in this embodiment has the 1st planar part 61, the 2nd planar part 62, and the connection part 63, and it is approximately total as a whole. It has a cross-sectional shape of a ruler. In addition, although not shown in particular, in this embodiment, although the horizontal member 70 also has the same cross-sectional shape as the vertical member 60, it is not specifically limited to this. For example, some rod-shaped members may have a substantially U-shaped cross-sectional shape, and the remaining rod-shaped members may have a cross-sectional shape filled with a conventional inside.

제1 평면부(61)는, 배선 기판(40)과 실질적으로 평행하게 놓여져 있다. 상기 제1 평면부(61)에는 설치 구멍(611)(도 6 참조)이 형성되어 있고, 상기 설치 구멍(611)에 볼트(42)가 고정됨으로써, 제1 평면부(61)에 배선 기판(40)이 설치되어 있다. 제2 평면부(62)도, 제1 평면부(61)와 동일하게, 배선 기판(40)과 실질적으로 평행하게 놓여져 있다. 한편, 횡부재(70)의 제1 평면부(71)에도, 배선 기판(40)이 고정되는 설치 구멍(711)이 형성되어 있다 (도 6 참조). The first planar portion 61 is placed substantially in parallel with the wiring board 40. A mounting hole 611 (see FIG. 6) is formed in the first flat portion 61, and a bolt 42 is fixed to the mounting hole 611, so that a wiring board ( 40) is installed. Similarly to the first planar portion 61, the second planar portion 62 is also disposed substantially in parallel with the wiring board 40. On the other hand, also in the 1st planar part 71 of the horizontal member 70, the installation hole 711 to which the wiring board 40 is fixed is formed (refer FIG. 6).

한편, 접속부(63)는, 종부재(60)의 단면(종부재(60)의 길이 방향에 대하여 실질적으로 직교하는 방향을 따라 종부재(60)를 절단한 경우의 단면)에서, 제1 평면부(61)에 대하여 실질적으로 직교하고, 또한, 제2 평면부(62)에 대하여도 실질적으로 직교하는 방향을 따라 놓여져 있고, 제1 평면부(61)의 단부와 제2 평면부(62)의 단부를 접속하고 있다. On the other hand, the connection part 63 is a 1st plane in the cross section of the longitudinal member 60 (cross section in the case of cut | disconnecting the longitudinal member 60 along the direction orthogonal to the longitudinal direction of the longitudinal member 60). It is laid along the direction substantially orthogonal to the part 61, and substantially orthogonal to the 2nd planar part 62, and an edge part of the 1st planar part 61, and the 2nd planar part 62 are carried out. The end of is connected.

이와 같이, 본 실시 형태에서는, 종부재(60)의 단면에서, 접속부(63)가 제1 평면부(61)와 제2 평면부(62)를 부분적으로 접속하고 있으므로, 제1 평면부(61)와 제2 평면부(62)의 사이에 공간(65)이 형성되어 있다. 이 때문에, 봉상 부재(60,70)의 질량이 감소하므로 보강틀(50)의 열용량의 저감을 도모할 수 있어, 온도 인가 에 요구되는 시간을 단축할 수 있다. Thus, in this embodiment, since the connection part 63 partially connects the 1st planar part 61 and the 2nd planar part 62 in the cross section of the longitudinal member 60, the 1st planar part 61 ) Is formed between the second planar portion 62 and the space 65. For this reason, since the mass of the rod-shaped members 60 and 70 decreases, the heat capacity of the reinforcement frame 50 can be reduced, and the time required for temperature application can be shortened.

또한, 본 실시 형태에서는, 종부재(60)의 단면에서, 제1 평면부(61)와 제2 평면부(62)의 사이에 공간(65)이 형성되어 있어, 봉상 부재(60,70)의 경량화가 도모되고 있으므로, 항온실(111)로의 번인 보드(20)의 반입출 작업의 효율화를 도모할 수도 있다. Moreover, in this embodiment, the space 65 is formed between the 1st planar part 61 and the 2nd planar part 62 in the cross section of the longitudinal member 60, and the rod-shaped members 60 and 70 are shown. Since the weight reduction can be achieved, the carry-in / out work of the burn-in board 20 to the constant temperature chamber 111 can be improved.

한편, 봉상 부재(60,70)의 단면 형상은, 대략 コ자 형상에 한정되지 않고, 예를 들면, 도 5 (a)에 도시한 바와 같이, 2개의 접속부(63)에서 제1 평면부(61)의 양단과 제2 평면부의 양단을 접속하여, 전체로서 공중부(66)를 갖는 대략 コ자 모양의 단면 형상으로서도 좋다. On the other hand, the cross-sectional shape of the rod-shaped members 60 and 70 is not limited to the substantially U-shape, for example, as shown in FIG. 5 (a), the first planar portion (the two connecting portions 63). Both ends of 61) and both ends of the second planar portion may be connected to each other to form a substantially U-shaped cross-sectional shape having the air portion 66 as a whole.

혹은, 도 5(b)에 도시한 바와 같이, 제1 평면부(61)의 중앙부와 제2 평면부(62)의 중앙부를 접속부(63)로 접속하여, 전체로서 대략 エ자 모양의 단면 형상으로서도 좋다. Alternatively, as shown in FIG. 5 (b), the center portion of the first planar portion 61 and the center portion of the second planar portion 62 are connected to each other by the connecting portion 63 to form a substantially E-shaped cross-sectional shape as a whole. Also good as.

도 4로 돌아가서, 본 실시 형태에서는, 제2 평면부(62) 및 접속부(63)의 외측면(621,631)에, 도전성과 내마모성을 갖는 수지층(64)이 설치되어 있다. 이러한 수지층(64)은, 예를 들면, 도전성 불소수지 코팅 처리(예를 들면, 일본 푸소(FUSSO)코교우사제 EC시리즈)를 외측면(621,631)에 실시함으로써 형성할 수 있다. 한편, 대전 방지 수지 플레이트(예를 들면, 쥬코(CHUKOH)가세이코교우사제 AGB-100)를 외측면(621,631)에 첩부함으로써 수지층(64)을 형성하여도 좋다. 4, in this embodiment, the resin layer 64 which has electroconductivity and abrasion resistance is provided in the outer surface 621,631 of the 2nd planar part 62 and the connection part 63. As shown in FIG. Such a resin layer 64 can be formed, for example, by conducting a conductive fluorine resin coating treatment (for example, EC series manufactured by FUSSO Kogyo Co., Ltd.) on the outer surfaces 621 and 631. On the other hand, the resin layer 64 may be formed by affixing an antistatic resin plate (for example, AGB-100 manufactured by CHUKOH Chemical Co., Ltd.) on the outer surfaces 621 and 631.

제2 평면부(62)의 외측면(621)에 내마모성을 갖는 수지층(64)을 형성함으로써, 슬롯(113)의 레일(114) 위를 보강틀(50)이 슬라이드할 때에 금속분말이 발생하는 것을 억제할 수 있어, 해당 금속분말에 기인한 단락이나 절연 불량의 발생을 억제할 수 있다. By forming the wear resistant resin layer 64 on the outer surface 621 of the second planar portion 62, metal powder is generated when the reinforcement frame 50 slides on the rail 114 of the slot 113. Can be suppressed and the occurrence of a short circuit or insulation failure due to the metal powder can be suppressed.

또한, 수지층(64)에 도전성을 부여함으로써, 배선 기판(40)에 대전한 정전기를 보강틀(50) 및 레일(114)을 통하여 제거할 수 있어, 정전기에 의한 DUT나 테스트 보드의 손상을 방지할 수 있다. 한편, 접속부(63)의 외측면(631)에는 수지층(64)을 형성하지 않아도 좋다. By providing conductivity to the resin layer 64, the static electricity charged on the wiring board 40 can be removed through the reinforcement frame 50 and the rails 114, thereby preventing damage to the DUT and the test board due to static electricity. It can prevent. On the other hand, the resin layer 64 may not be formed on the outer surface 631 of the connecting portion 63.

연결 부재(80)는, 보강틀(50)의 4변에 각각 설치되어 있고, 도 6에 도시한 바와 같이, 서로 인접하는 종부재(60)와 횡부재(70)를 연결하고 있다. 상기 연결 부재(80)는, 거의 L자 모양의 앵글이며, 제1 고정부(81)와 제2 고정부(82)를 갖고 있다. The connecting member 80 is provided in four sides of the reinforcement frame 50, respectively, and connects the longitudinal member 60 and the horizontal member 70 which adjoin each other, as shown in FIG. The said connection member 80 is a substantially L-shaped angle, and has the 1st fixing part 81 and the 2nd fixing part 82. As shown in FIG.

연결 부재(80)의 제1 고정부(81)에는, 종부재(60)의 접속부(63)의 단부에 형성된 고정 구멍(632)에 대응되도록, 2개의 고정 구멍(811)이 형성되어 있다. 상기 고정 구멍(632,811)을 통하여, 접시머리 리벳(85)에 의해 종부재(60)와 연결 부재(80)가 고정되어 있다. 한편, 도 4에서는, 접시머리 리벳(85)은 도시가 생략되어 있다. Two fixing holes 811 are formed in the first fixing portion 81 of the connecting member 80 so as to correspond to the fixing holes 632 formed in the end portions of the connecting portions 63 of the longitudinal member 60. Through the fixing holes 632 and 811, the vertical member 60 and the connecting member 80 are fixed by the counter head rivet 85. In addition, in FIG. 4, the pan head rivet 85 is abbreviate | omitted.

동일하게, 연결 부재의 제2 고정부(82)에도, 횡부재(70)의 접속부(73)의 단부에 형성된 고정 구멍(732)에 대응되도록, 2개의 고정 구멍(821)이 형성되어 있다. 상기 고정 구멍(732,821)을 통하여, 접시머리 리벳(85)에 의해 횡부재(70)와 연결 부재(80)가 고정되어 있다. Similarly, two fixing holes 821 are also formed in the second fixing portion 82 of the connecting member so as to correspond to the fixing holes 732 formed at the end of the connecting portion 73 of the horizontal member 70. Through the fixing holes 732 and 821, the horizontal member 70 and the connecting member 80 are fixed by the counter head rivet 85.

본 실시 형태에서는, 종부재(60)의 제1 평면부(61)와 제2 평면부(62)의 사이에 공간(65)이 형성되어 있는 동시에, 횡부재(70)의 제1 평면부(71)와 제2 평면부(72)의 사이에도 공간이 형성되어 있으므로, 봉상 부재(60,70)는 독립된 연결 부재(80)에 의해 연결할 수 있다. 그리고, 이러한 연결 부재(80)를 채용함으로써, 인접하는 봉상 부재(60,70)를 복수 개소로 고정할 수 있으므로, 보강틀(50)의 강도 향상을 도모할 수 있다. In this embodiment, the space 65 is formed between the 1st planar part 61 and the 2nd planar part 62 of the longitudinal member 60, and the 1st planar part of the horizontal member 70 ( Since the space is formed between 71 and the 2nd planar part 72, the rod-shaped members 60 and 70 can be connected by the independent connection member 80. FIG. And by employ | adopting such a connection member 80, since the adjacent rod-shaped members 60 and 70 can be fixed in multiple places, the strength improvement of the reinforcement frame 50 can be aimed at.

바닥 커버(90)는, 보강틀(50)의 배면측에 설치되어 있다. 상기 바닥 커버(90)는, 배선 기판(40)의 배면이나 커넥터(41)를 보호하는 동시에, 소켓(30)으로의 DUT(100)의 삽발(揷拔) 시에서의 배선 기판(40)의 휨을 억제한다. The bottom cover 90 is provided on the back side of the reinforcement frame 50. The bottom cover 90 protects the back surface of the wiring board 40 and the connector 41, and at the same time the insertion of the DUT 100 into the socket 30 of the wiring board 40. Suppress curvature.

이상과 같이, 본 실시 형태에서는, 봉상 부재(60,70)의 단면에서, 제1 평면부(61,71)와 제2 평면부(62,72)의 사이에 공간(65)이 형성되어 있어, 보강틀(50)의 열용량 저감과 경량화를 도모할 수 있으므로, 온도 인가 시간의 단축화와 반입출 작업의 효율화를 도모할 수 있다. As mentioned above, in this embodiment, the space 65 is formed between the 1st planar part 61,71 and the 2nd planar part 62,72 in the cross section of the rod-shaped member 60,70. Since the heat capacity of the reinforcement frame 50 can be reduced and the weight can be reduced, the temperature application time can be shortened and the carry-out / out operation can be improved.

한편, 이상 설명한 실시 형태는 본 발명의 이해를 용이하게 하기 위해 기재된 것으로서, 본 발명을 한정하기 위해 기재된 것은 아니다. 따라서, 상기 실시 형태에 개시된 각 요소는 본 발명의 기술적 범위에 속하는 모든 설계 변경이나 균등물을 포함하는 취지이다. In addition, embodiment described above was described in order to make understanding of this invention easy, and was not described in order to limit this invention. Therefore, each element disclosed in the above embodiment is intended to include all design modifications or equivalents falling within the technical scope of the present invention.

1…번인 장치
11…번인 챔버
113…슬롯
114…레일
20…번인 보드
30…소켓
40…배선 기판
50…보강틀
60…종부재
61… 제1 평면부
62… 제2 평면부
63…접속부
632…고정 구멍
64…도전성 수지층
65…공간
70…횡부재
71… 제1 평면부
72… 제2 평면부
73…접속부
732…고정 구멍
80…연결 부재
81… 제1 고정부
811…고정 구멍
82… 제2 고정부
821…고정 구멍
85…접시머리 리벳
100…DUT One… Burn-in device
11 ... Burn-in chamber
113 ... slot
114 ... rail
20 ... Burn-in board
30 ... socket
40 ... Wiring board
50 ... Reinforcement frame
60 ... Bell
61... First flat part
62 ... Second flat part
63 ... Connection
632. Fixing hole
64 ... Conductive resin layer
65 ... space
70 ... Horizontal member
71 ... First flat part
72 ... Second flat part
73 ... Connection
732... Fixing hole
80 ... Connecting member
81 ... The first fixing part
811... Fixing hole
82 ... The second fixing portion
821... Fixing hole
85 ... Countersunk Rivet
100 ... DUT

Claims

A wiring board mounted with a socket,
A burn-in board having a reinforcing frame provided on the wiring board,
The reinforcement frame has a plurality of rod-shaped members connected in a frame shape,
At least one rod-shaped member,
A first planar portion fixed to the wiring board;
A second planar portion lying parallel to the first planar portion,
It has a connection part which connects a said 1st planar part and a said 2nd planar part,
In the cross section of the rod-shaped member, the connecting portion partially connects the first flat portion and the second flat portion, and a space is formed between the first flat portion and the second flat portion. board.

The method according to claim 1,
In the cross section of the said rod-shaped member, the said connection part is provided along the direction substantially orthogonal to the said 1st planar part, and also substantially orthogonal to the said 2nd planar part, The burn-in board characterized by the above-mentioned.

The method according to claim 1,
In the cross section of the said rod-shaped member, the said connection part connects the edge part of the said 1st planar part, and the edge part of the said 2nd planar part, The burn-in board characterized by the above-mentioned.

The method according to claim 1,
The reinforcement frame further has a connecting member for connecting the adjacent rod-like members,
The connecting member includes:
A first fixing portion fixed to one of the rod-like members and a plurality of places;
The burn-in board which has the said other rod-shaped member and the 2nd fixing part fixed by a plurality of places.

The method according to claim 1,
The said 2nd planar part has a resin layer which has electroconductivity, The burn-in board characterized by the above-mentioned.

The burn-in board of any one of Claims 1-5 was provided, The burn-in apparatus characterized by the above-mentioned.