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KR20130075427A - Organic light emitting display device and method of fabricating the same - Google Patents

Organic light emitting display device and method of fabricating the same Download PDF

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KR20130075427A
KR20130075427A KR1020110143790A KR20110143790A KR20130075427A KR 20130075427 A KR20130075427 A KR 20130075427A KR 1020110143790 A KR1020110143790 A KR 1020110143790A KR 20110143790 A KR20110143790 A KR 20110143790A KR 20130075427 A KR20130075427 A KR 20130075427A
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KR
South Korea
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layer
contact hole
thin film
film transistor
planarization layer
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KR1020110143790A
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Inventor
유태선
문진영
김은진
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엘지디스플레이 주식회사
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Publication date
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Abstract

PURPOSE: An organic light emitting display device and a manufacturing method thereof are provided to prevent an electrical connection failure of an anode electrode by forming a light compensation layer which partially overlaps with a contact hole. CONSTITUTION: A pixel thin film transistor array is formed on a substrate. A color filter is formed in a pixel area of the pixel thin film transistor array. A planarization layer is formed on the color filter and the pixel thin film transistor. A light compensation layer is formed on the planarization layer to improve a viewing angle. A contact hole exposes a drain electrode of the pixel thin film transistor array. [Reference numerals] (AA) Anode electrode (ITO); (BB) Viewing angle improvement (SiNx); (CC) CF planarization layer (OC); (DD) Data electrode

Description

유기발광 표시장치 및 그 제조방법{ORGANIC LIGHT EMITTING DISPLAY DEVICE AND METHOD OF FABRICATING THE SAME}Organic light emitting display device and manufacturing method thereof {ORGANIC LIGHT EMITTING DISPLAY DEVICE AND METHOD OF FABRICATING THE SAME}

본 발명은 유기발광 표시장치에 관한 것으로, 특히 시야각 개선을 위한 광보상층을 형성하는 기술에 관한 것이다.The present invention relates to an organic light emitting display device, and more particularly, to a technology for forming a light compensation layer for improving a viewing angle.

유기발광 표시장치는 자발광소자로서 다른 평판 표시장치에 비해 응답속도가 빠르고 발광효율, 휘도 및 시야각 측면에서 보다 유리하다. 이러한 유기 발광 표시장치는 애노드(Anode)와 캐소드(Cathode) 사이에 유기 발광층을 포함하는 유기 화합물층을 포함한다. 유기 발광 표시장치는 애노드로부터 공급받는 정공과 캐소드로부터 공급받은 전자가 유기 발광층 내에서 결합하여 정공-전자쌍인 엑시톤(exciton)을 형성하고 엑시톤이 바닥상태로 돌아오면서 발생하는 에너지에 의해 발광하게 된다.The organic light emitting diode display is a self-luminous element and has a faster response speed than other flat panel displays, and is more advantageous in terms of luminous efficiency, luminance, and viewing angle. The organic light emitting diode display includes an organic compound layer including an organic emission layer between an anode and a cathode. In the organic light emitting diode display, holes supplied from the anode and electrons supplied from the cathode combine in the organic emission layer to form an exciton, a hole-electron pair, and emit light by energy generated when the exciton returns to the ground state.

유기발광 표시장치를 제작할 때 재료 간의 굴절률 차이에 의해서 색 시야각의 차이가 발생한다. 예를 들어 시야각에 따른 휘도 감소량의 차이가 청색(B)과, 노란색(Y) 및 녹색(G) 사이에 일정하지 않을 수 있는데, 광보상층을 적용하여 특정 색상의 광 피크치의 파장 대역을 조정하여 시야각 차이를 일정하게 할 수 있다. 즉, 색 시야각의 차이를 해결하기 위한 방안으로 광보상층을 형성한다.When manufacturing an organic light emitting display, a difference in color viewing angle occurs due to a difference in refractive index between materials. For example, the difference in luminance reduction according to the viewing angle may not be constant between blue (B), yellow (Y), and green (G). By applying an optical compensation layer, the wavelength band of an optical peak of a specific color is adjusted. The viewing angle difference can be made constant. That is, the optical compensation layer is formed as a solution to solve the difference in the color viewing angle.

도 1은 종래기술에 따른 유기발광 표시장치의 개략적인 단면도이다. 도 1을 참조하면, 일반적으로 광보상층(SiNx)은 평탄화층(OC) 상에 SiNx 물질로 구성된다. 공정 효율성 및 비용 절감 차원에서 구동 트랜지스터의 드레인 전극(Data 전극)을 노출시키는 콘택홀(Contact Hole)은, 평탄화층을 전면 증착하고 마스트를 이용하여 패터닝 한 이후에, 다시 광보상층을 전면 증착하고 동일한 마스크를 이용하여 패터닝하는 과정을 통해서 형성된다. 이때, 콘택홀(Contact Hole)을 형성하는 과정에서 평탄화층의 각도가 너무 급격하게 형성되면서, 콘택홀(Contact Hole)에 애노드 전극(ITO)을 형성하는 공정에서 애노드 전극(ITO)이 끊어지거나, 전기적인 연결상태가 불량하게 되는 경우가 발생할 수 있다.1 is a schematic cross-sectional view of an organic light emitting display device according to the related art. Referring to FIG. 1, the photocompensation layer SiNx is generally made of a SiNx material on the planarization layer OC. For the purpose of process efficiency and cost reduction, the contact hole exposing the drain electrode (data electrode) of the driving transistor is completely deposited on the planarization layer and patterned using a mast, and then the entire surface of the light compensation layer is deposited again. It is formed through the process of patterning using the same mask. At this time, the angle of the planarization layer is formed too rapidly in the process of forming a contact hole, the anode electrode (ITO) is cut off in the process of forming the anode electrode (ITO) in the contact hole, The electrical connection may be poor.

본 발명은 상기와 같은 기술적 과제를 해결하기 위해 제안된 것으로, 광보상층을 콘택홀에 일부 중첩되게 형성하여, 애노드 전극의 전기적인 연결상태의 불량을 방지할 수 있는 유기발광 표시장치 및 그 제조방법을 제공한다.The present invention has been proposed to solve the above technical problem, and forms an optical compensation layer partially overlapping the contact hole, thereby preventing the failure of the electrical connection state of the anode electrode and its manufacture. Provide a method.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 기판 상에 형성된 화소 박막 트랜지스터 어레이; 상기 화소 박막 트랜지스터 어레이 상의 화소영역에 형성된 컬러필터; 상기 컬러필터 및 상기 화소 박막 트랜지스터 어레이 상에 전면 형성된 평탄화층; 시야각 개선을 위해 상기 평탄화층 상에 형성된 광보상층; 상기 화소 박막 트랜지스터 어레이의 드레인 전극을 노출시키기 위한 콘택홀; 및 상기 콘택홀을 통해서 노출된 상기 드레인 전극에 접속되는 애노드 전극;을 포함하며, 상기 광보상층은, 상기 콘택홀 일측의 상기 평탄화층 끝단을 완전히 덮으며, 상기 콘택홀 타측의 상기 평탄화층 끝단을 일부 노출시키고, 상기 콘택홀의 일측방향으로 상기 콘택홀 내에 일정부분 중첩되어 형성되는 것을 특징으로 하는 유기발광 표시장치가 제공된다.According to an embodiment of the present invention, a pixel thin film transistor array formed on a substrate; A color filter formed in a pixel area on the pixel thin film transistor array; A planarization layer formed entirely on the color filter and the pixel thin film transistor array; An optical compensation layer formed on the planarization layer to improve a viewing angle; A contact hole for exposing a drain electrode of the pixel thin film transistor array; And an anode electrode connected to the drain electrode exposed through the contact hole, wherein the light compensation layer completely covers an end of the planarization layer on one side of the contact hole, and an end of the planarization layer on the other side of the contact hole. Is partially exposed and overlaps a predetermined portion in the contact hole in one direction of the contact hole.

또한, 상기 광보상층 상에 형성되며, 각각의 화소영역을 구분하기 위한 뱅크층; 상기 애노드 전극 상에 형성된 유기 발광층; 및 상기 유기 발광층 상에 형성된 캐소드 전극;을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, a bank layer formed on the optical compensation layer, for distinguishing each pixel area; An organic emission layer formed on the anode electrode; And a cathode electrode formed on the organic light emitting layer.

또한, 본 발명의 다른 실시예에 따르면, 화소 박막 트랜지스터 어레이가 형성된 기판 상에, 상기 화소 박막 트랜지스터 어레이의 드레인 전극에 대응하여 패터닝된 마스크를 이용하여 평탄화층을 형성하는 단계; 상기 마스크를 평면상에서 소정거리 쉬프트 시킨 후 상기 마스크를 이용하여 상기 평탄화층 상에 시야각 개선을 위한 광보상층을 형성하는 단계; 및 콘택홀을 통해서 노출된 상기 드레인 전극과 접속되는 애노드 전극을 형성하는 단계;를 포함하는 유기발광 표시장치의 제조방법이 제공된다.Further, according to another embodiment of the present invention, forming a planarization layer on the substrate on which the pixel thin film transistor array is formed using a mask patterned corresponding to the drain electrode of the pixel thin film transistor array; Shifting the mask a predetermined distance on a plane to form an optical compensation layer for improving a viewing angle on the planarization layer using the mask; And forming an anode electrode connected to the drain electrode exposed through the contact hole.

상기 광보상층은, 상기 콘택홀 일측의 상기 평탄화층 끝단을 완전히 덮으며, 상기 콘택홀 타측의 상기 평탄화층 끝단을 일부 노출시키고, 상기 콘택홀의 일측방향으로 상기 콘택홀 내에 일정부분 중첩되어 형성되는 것을 특징으로 한다.The optical compensation layer completely covers an end of the planarization layer on one side of the contact hole, partially exposes an end of the planarization layer on the other side of the contact hole, and is formed to overlap a predetermined portion in the contact hole in one direction of the contact hole. It is characterized by.

또한, 화소 영역을 구분하기 위한 뱅크층과, 유기 발광층과, 캐소드 전극을 순차적으로 형성하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.The method may further include sequentially forming a bank layer, an organic emission layer, and a cathode electrode for separating pixel regions.

본 발명에 따른 유기발광 표시장치 및 그 제조방법은 다음과 같은 효과가 있다.An organic light emitting display device and a method of manufacturing the same according to the present invention have the following effects.

광보상층을 콘택홀에 일부 중첩되게 형성하여, 애노드 전극의 전기적인 연결상태의 불량을 방지할 수 있다.The light compensation layer may be partially overlapped with the contact hole, thereby preventing a poor electrical connection state of the anode electrode.

광보상층이 콘택홀 일측의 평탄화층 끝단을 완전히 덮으며, 콘택홀 타측의 평탄화층 끝단을 일부 노출시키면서, 평탄화층의 노출된 부분을 통해서 포토 레지스터에서 발생된 아웃게싱(OUT-GASSING) 작업을 보다 원하게 수행할 수 있다.The optical compensation layer completely covers the end of the planarization layer on one side of the contact hole, and partially exposes the end of the planarization layer on the other side of the contact hole, and performs out-gassing work generated in the photoresist through the exposed portion of the planarization layer. You can do it better.

도 1은 종래기술에 따른 유기발광 표시장치의 개략적인 단면도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 유기발광 표시장치의 개략적인 단면도이다.
도 3a 내지 도 3g는 도 2의 유기발광 표시장치의 제조방법을 나타낸 공정 단면도들이다.
도 4는 종래기술의 유기발광 표시장치와, 본 발명을 적용한 유기발광 표시장치의 단면도 및 점등결과를 비교한 도면이다.
도 5는 광보상층(SiNx)이 콘택홀에 중첩되는 범위를 나타낸 도면이다.1 is a schematic cross-sectional view of an organic light emitting display device according to the related art.
2 is a schematic cross-sectional view of an organic light emitting display device according to an exemplary embodiment of the present invention.
3A through 3G are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing the OLED display of FIG. 2.
4 is a cross-sectional view and a lighting result of an organic light emitting display device according to the related art and an organic light emitting display device to which the present invention is applied.
5 is a diagram illustrating a range in which the light compensation layer SiNx overlaps with a contact hole.

이하, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 기술적 사상을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 상세히 설명하기 위하여, 본 발명의 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 설명하기로 한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, in order to facilitate a person skilled in the art to easily carry out the technical idea of the present invention.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 유기발광 표시장치의 개략적인 단면도이다. 본 실시예에 따른 유기발광 표시장치는 제안하고자 하는 기술적인 사상을 명확하게 설명하기 위한 간략한 구성만을 포함하고 있다. 도 2를 참조하여 유기발광 표시장치의 광보상층(SiNx)의 특징을 설명하면 다음과 같다.2 is a schematic cross-sectional view of an organic light emitting display device according to an exemplary embodiment of the present invention. The organic light emitting diode display according to the present exemplary embodiment includes only a brief configuration for clearly describing the technical idea to be proposed. Referring to FIG. 2, the characteristics of the light compensation layer SiNx of the organic light emitting display will be described.

화소 박막 트랜지스터 어레이의 드레인 전극(Data 전극)을 노출시키기 위한 콘택홀(Contact Hole)과, 평탄화층(OC)과, 광보상층(SiNx) 사이의 형성 관계를 자세히 설명하면 다음과 같다. 즉, 광보상층(SiNx)은 콘택홀(Contact Hole) 일측의 평탄화층(OC) 끝단을 완전히 덮도록 형성되어 있다. 또한, 광보상층(SiNx)은 콘택홀(Contact Hole) 타측의 평탄화층(OC) 끝단을 일부 노출 시키도록 형성되어 있으며, 광보상층(SiNx)은 콘택홀(Contact Hole)의 일측방향으로 콘택홀(Contact Hole) 내에 일정부분 중첩되어 형성된다.The formation relationship between the contact hole for exposing the drain electrode (Data electrode) of the pixel thin film transistor array, the planarization layer OC, and the light compensation layer SiNx will be described in detail as follows. That is, the light compensation layer SiNx is formed to completely cover the end of the planarization layer OC on one side of the contact hole. In addition, the light compensation layer SiNx is formed to partially expose the end of the planarization layer OC on the other side of the contact hole, and the light compensation layer SiNx is in contact with one side of the contact hole. It is formed by overlapping a portion in a hole.

상술한 바와 같은 방식으로 평탄화층(OC) 및 광보상층(SiNx)을 형성한 후, 콘택홀(Contact Hole)에 애노드 전극(ITO)을 형성하는 경우, 콘택홀(Contact Hole) 내에 일정부분 중첩된 광보상층(SiNx)이 평탄화층(OC)의 콘택홀(Contact Hole)의 각도를 일정부분 완충하므로, 애노드 전극(ITO)을 보다 동일한 두께로 안정적으로 형성할 수 있다. 또한, 평탄화층(OC)의 노출된 부분을 통해서 포토 레지스터에서 발생된 아웃게싱(OUT-GASSING) 작업이 보다 원활하게 수행된다.After forming the planarization layer OC and the light compensation layer SiNx in the same manner as described above, when the anode ITO is formed in the contact hole, a portion of the planarization layer OC and the light compensation layer SiNx are overlapped in the contact hole. Since the light compensation layer SiNx partially buffers the angle of the contact hole of the planarization layer OC, the anode electrode ITO may be stably formed to have the same thickness. In addition, the out-gassing operation generated in the photoresist is more smoothly performed through the exposed portion of the planarization layer OC.

참고적으로 본 실시예에서 광보상층(SiNx)은 SiNx를 이용하여 형성되었으나, SiO2 를 이용하여 형성될 수도 있다. SiO2 는 고온공정에 다소 제약이 있을 수 있으므로, 저온공정이 가능하여 다른 층의 손상을 방지할 수 있는 SiNx 가 주로 이용된다. 또한, 애노드 전극은 ITO(Indium Tin Oxide) 또는 IZO(Indium Zinc Oxide) 등의 산화물을 포함하는 투명 도전체로 제조되는 것이 바람직하다. 또한, 화소 박막 트랜지스터는 구동전류를 공급하는 화소 구동용 박막 트랜지스터 및 발광의 온/오프(ON/OFF)를 제어하는 발광 제어용 박막 트랜지스터를 포함한다.For reference, in the present embodiment, the light compensation layer SiNx is formed using SiNx, but may be formed using SiO 2 . Since SiO 2 may be somewhat limited in the high temperature process, SiNx is mainly used to enable the low temperature process to prevent damage to other layers. In addition, the anode electrode is preferably made of a transparent conductor containing an oxide such as indium tin oxide (ITO) or indium zinc oxide (IZO). Further, the pixel thin film transistor includes a pixel driving thin film transistor for supplying a driving current and a light emitting control thin film transistor for controlling ON / OFF of light emission.

도 3a 내지 도 3g는 도 2의 유기발광 표시장치의 제조방법을 나타낸 공정 단면도들이다. 도 3a 내지 도 3g 를 참조하여, 유기발광 표시장치의 제조방법을 보다 구체적으로 살펴보면 다음과 같다.3A through 3G are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing the OLED display of FIG. 2. Referring to FIGS. 3A to 3G, a method of manufacturing an organic light emitting display device will be described in more detail as follows.

도 3a 를 참조하면, 투명재질의 기판(110) 상에 화소 박막 트랜지스터 어레이(TFT)가 형성되어 있다. 화소 박막 트랜지스터 어레이(TFT)는 기판(110) 상에 형성된 액티브층(120)과, 액티브층(120) 상에 형성된 절연층(121)과, 절연층(121) 상에 형성된 게이트 전극(130)과, 층간 절연층(131)을 관통하는 콘택홀을 통해서 액티브층(120)에 각각 접속되는 소오스 전극(140) 및 드레인 전극(150)으로 구성된다. 또한, 화소 박막 트랜지스터 어레이(TFT) 상에는 패시베이션층(160)이 전면 형성되어 있으며, 드레인 전극(150)이 노출되도록 콘택홀(170)이 형성되어 있다.Referring to FIG. 3A, a pixel thin film transistor array TFT is formed on a transparent substrate 110. The pixel thin film transistor array TFT includes an active layer 120 formed on the substrate 110, an insulating layer 121 formed on the active layer 120, and a gate electrode 130 formed on the insulating layer 121. And a source electrode 140 and a drain electrode 150 respectively connected to the active layer 120 through contact holes penetrating through the interlayer insulating layer 131. In addition, the passivation layer 160 is entirely formed on the pixel thin film transistor array TFT, and the contact hole 170 is formed to expose the drain electrode 150.

도 3b 를 참조하면, 화소 박막 트랜지스터 어레이(TFT) 상의 화소영역에 컬러필터(210)가 형성된다. 도 3c 를 참조하면, 화소 박막 트랜지스터 어레이(TFT)의 드레인 전극(150)에 대응하여 패터닝된 마스크(310)를 이용하여 평탄화층(180)을 형성한다. 구체적으로 평탄화층(180)을 전면 증착한 이후에 마스크(310)를 이용하여 포토 레지스터 공정 및 식각 공정 등을 수행하여 드레인 전극(150)이 노출되도록 한다.Referring to FIG. 3B, a color filter 210 is formed in a pixel area on the pixel thin film transistor array TFT. Referring to FIG. 3C, the planarization layer 180 is formed using the mask 310 patterned corresponding to the drain electrode 150 of the pixel thin film transistor array TFT. Specifically, after the entire surface of the planarization layer 180 is deposited, the drain electrode 150 is exposed by performing a photoresist process and an etching process using the mask 310.

도 3d 및 3e 를 참조하면, 마스크(310)를 평면상에서 소정거리 쉬프트 시킨 후 마스크(310)를 이용하여 시야각 개선을 위한 광보상층(220)을 형성한다. 구체적으로 광보상층(220)을 전면 증착한 이후에 마스크(310)를 이용하여 포토 레지스터 공정 및 식각 공정 등을 수행하여 드레인 전극(150)이 노출되도록 한다.3D and 3E, after the mask 310 is shifted by a predetermined distance on a plane, the optical compensation layer 220 is formed to improve the viewing angle using the mask 310. In detail, after the entire surface of the light compensation layer 220 is deposited, the drain electrode 150 is exposed by performing a photoresist process and an etching process using the mask 310.

이때, 광보상층(220)은 콘택홀(170) 일측의 평탄화층(180) 끝단을 완전히 덮으며, 콘택홀(170) 타측의 평탄화층(180) 끝단을 일부 노출시키고, 콘택홀(170)의 일측방향으로 콘택홀(170) 내에 일정부분 중첩되어 형성된다. 콘택홀(170) 내에 일정부분 중첩된 광보상층(220)이 평탄화층(180)의 콘택홀(Contact Hole)의 각도를 일정부분 완충하므로, 드레인 전극(150)과 접속되는 애노드 전극(230)을 보다 동일한 두께로 안정적으로 형성할 수 있다. 또한, 평탄화층(180)의 노출된 부분을 통해서 포토 레지스터에서 발생된 아웃게싱(OUT-GASSING) 작업이 보다 원활하게 수행될 수 있다.In this case, the light compensation layer 220 completely covers the ends of the planarization layer 180 at one side of the contact hole 170, partially exposes the ends of the planarization layer 180 at the other side of the contact hole 170, and the contact holes 170. A portion of the contact hole 170 in the one direction of overlapping is formed. Since the optical compensation layer 220 partially overlapping the contact hole 170 buffers the angle of the contact hole of the planarization layer 180, the anode electrode 230 is connected to the drain electrode 150. It can be formed more stably with the same thickness. In addition, the out-gassing operation generated in the photoresist through the exposed portion of the planarization layer 180 may be performed more smoothly.

도 3f 및 3g 를 참조하면, 광보상층(220) 상에 각각의 화소영역을 구분하기 위한 뱅크층(240)이 형성되고, 드레인 전극(230) 상에 유기 발광층(250)이 형성된다. 또한, 도면에 미도시 되었으나, 유기 발광층(250) 상에 캐소드 전극이 형성된다. 참고적으로 유기 발광층(250)은 정공주입층(HIL), 정공수송층(HTL), 발광층(EML), 전자수송층(ETL) 및 전자주입층(EIL)으로 구성된다.3F and 3G, a bank layer 240 for dividing each pixel region is formed on the light compensation layer 220, and an organic emission layer 250 is formed on the drain electrode 230. In addition, although not shown in the drawing, a cathode electrode is formed on the organic emission layer 250. For reference, the organic emission layer 250 includes a hole injection layer (HIL), a hole transport layer (HTL), a light emitting layer (EML), an electron transport layer (ETL) and an electron injection layer (EIL).

도 4는 종래기술의 유기발광 표시장치와, 본 발명을 적용한 유기발광 표시장치의 단면도 및 점등결과를 비교한 도면이다. 주사 전자 현미경(SEM)에 의한 사진을 참조하면, 종래기술은 평탄화층의 각도가 너무 급격하게 형성되면서 콘택홀에 애노드 전극(ITO)을 형성하는 공정에서 애노드 전극(ITO)이 끊어지거나 전기적인 연결상태가 불량하여 점등 상태가 고르지 않은 것을 확인할 수 있다. 또한, 본 실시예에서 제안한 구조와 같이, 콘택홀(Contact Hole) 내에 일정부분 중첩되도록 광보상층(SiNx)을 형성하는 경우, 애노드 전극(ITO)이 안정적으로 형성되므로 양호한 점등이 이루어진다.4 is a cross-sectional view and a lighting result of an organic light emitting display device according to the related art and an organic light emitting display device to which the present invention is applied. Referring to a photograph by a scanning electron microscope (SEM), in the prior art, the anode electrode (ITO) is broken or electrically connected in the process of forming the anode electrode (ITO) in the contact hole while the angle of the planarization layer is formed too sharply. It can be confirmed that the lighting state is uneven because of a bad state. In addition, as in the structure proposed in this embodiment, when forming the light compensation layer (SiNx) so as to overlap a predetermined portion in the contact hole (Contact Hole), since the anode electrode (ITO) is formed stably, good lighting is achieved.

도 5는 광보상층이 콘택홀에 중첩되는 범위를 나타낸 도면이다.5 is a diagram illustrating a range in which the light compensation layer overlaps with the contact hole.

콘택홀(170)은 광보상층(220) 및 평탄화층(180)을 관통하여 드레인 전극(150)을 노출시키므로, 평탄화층(180)을 통과하는 콘택홀을 'OC hole' 이라고 정의하고, 광보상층(220)을 통과하는 콘택홀을 'SiNx hole' 이라 정의한다.Since the contact hole 170 exposes the drain electrode 150 through the light compensation layer 220 and the planarization layer 180, the contact hole passing through the planarization layer 180 is defined as an 'OC hole'. The contact hole passing through the compensation layer 220 is defined as 'SiNx hole'.

일반적으로 콘택홀(170)의 최소 사이즈를 4㎛ 정도라고 한다면, 'OC Hole' 의 사이즈가 12㎛인 이유는 평탄화층(180)의 두께가 아래쪽에 있는 패시베이션층(160)의 두께보다 약 10배 이상 두껍기 때문에 'OC hole'을 확실히 패터닝 하기 위해서 정해진 설계치이다. 따라서 'SiNx hole' 과 'OC hole'이 중첩되는 영역의 최소 사이즈는 4㎛*4㎛이며 최대사이즈는 11㎛* 11㎛이다. 또한 , 노광장비의 마진이 1㎛정도 된다고 가정하면, 중첩될 수 있는 광보상층(220)의 중첩범위는 2~7㎛ 인 것이 바람직하다.In general, if the minimum size of the contact hole 170 is about 4 μm, the reason why the size of the 'OC Hole' is 12 μm is about 10 greater than the thickness of the passivation layer 160 below the planarization layer 180. Since it is more than twice as thick, it is a design value that is designed to surely pattern the OC hole. Therefore, the minimum size of the region where 'SiNx hole' and 'OC hole' overlap is 4㎛ * 4㎛, and the maximum size is 11㎛ * 11㎛. In addition, assuming that the margin of the exposure equipment is about 1 μm, the overlapping range of the light compensation layer 220 that may overlap is preferably 2 μm to 7 μm.

이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시 예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the general inventive concept as defined by the appended claims and their equivalents. Will be clear to those who have knowledge of.

110 : 기판 120 : 액티브층
121 : 절연층 130 : 게이트 전극
131 : 층간 절연층 140 : 소오스 전극
150 : 드레인 전극 160 : 패시베이션층
170 : 콘택홀 180 : 평탄화층
210 : 컬러필터 220 : 광보상층
310 : 마스크110 substrate 120 active layer
121: insulating layer 130: gate electrode
131: interlayer insulating layer 140: source electrode
150 drain electrode 160 passivation layer
170: contact hole 180: planarization layer
210: color filter 220: light compensation layer
310: mask

Claims (5)

기판 상에 형성된 화소 박막 트랜지스터 어레이;
상기 화소 박막 트랜지스터 어레이 상의 화소영역에 형성된 컬러필터;
상기 컬러필터 및 상기 화소 박막 트랜지스터 어레이 상에 전면 형성된 평탄화층;
시야각 개선을 위해 상기 평탄화층 상에 형성된 광보상층;
상기 화소 박막 트랜지스터 어레이의 드레인 전극을 노출시키기 위한 콘택홀; 및
상기 콘택홀을 통해서 노출된 상기 드레인 전극에 접속되는 애노드 전극;을 포함하며,
상기 광보상층은, 상기 콘택홀 일측의 상기 평탄화층 끝단을 완전히 덮으며, 상기 콘택홀 타측의 상기 평탄화층 끝단을 일부 노출시키고, 상기 콘택홀의 일측방향으로 상기 콘택홀 내에 일정부분 중첩되어 형성되는 것을 특징으로 하는 유기발광 표시장치.A pixel thin film transistor array formed on a substrate;
A color filter formed in a pixel area on the pixel thin film transistor array;
A planarization layer formed entirely on the color filter and the pixel thin film transistor array;
An optical compensation layer formed on the planarization layer to improve a viewing angle;
A contact hole for exposing a drain electrode of the pixel thin film transistor array; And
An anode electrode connected to the drain electrode exposed through the contact hole;
The optical compensation layer completely covers an end of the planarization layer on one side of the contact hole, partially exposes an end of the planarization layer on the other side of the contact hole, and is formed to overlap a predetermined portion in the contact hole in one direction of the contact hole. An organic light emitting display device, characterized in that. 제1항에 있어서,
상기 광보상층 상에 형성되며, 각각의 화소영역을 구분하기 위한 뱅크층;
상기 애노드 전극 상에 형성된 유기 발광층; 및
상기 유기 발광층 상에 형성된 캐소드 전극;을 더 포함하는 유기발광 표시장치.The method of claim 1,
A bank layer formed on the optical compensation layer to classify each pixel area;
An organic emission layer formed on the anode electrode; And
And a cathode electrode formed on the organic light emitting layer. 화소 박막 트랜지스터 어레이가 형성된 기판 상에, 상기 화소 박막 트랜지스터 어레이의 드레인 전극에 대응하여 패터닝된 마스크를 이용하여 평탄화층을 형성하는 단계;
상기 마스크를 평면상에서 소정거리 쉬프트 시킨 후 상기 마스크를 이용하여 상기 평탄화층 상에 시야각 개선을 위한 광보상층을 형성하는 단계; 및
콘택홀을 통해서 노출된 상기 드레인 전극과 접속되는 애노드 전극을 형성하는 단계;를 포함하는 유기발광 표시장치의 제조방법.Forming a planarization layer on the substrate on which the pixel thin film transistor array is formed using a mask patterned corresponding to the drain electrode of the pixel thin film transistor array;
Shifting the mask a predetermined distance on a plane to form an optical compensation layer for improving a viewing angle on the planarization layer using the mask; And
And forming an anode electrode connected to the drain electrode exposed through the contact hole. 제3항에 있어서,
상기 광보상층은,
상기 콘택홀 일측의 상기 평탄화층 끝단을 완전히 덮으며, 상기 콘택홀 타측의 상기 평탄화층 끝단을 일부 노출시키고, 상기 콘택홀의 일측방향으로 상기 콘택홀 내에 일정부분 중첩되어 형성되는 것을 특징으로 하는 유기발광 표시장치의 제조방법.The method of claim 3,
The optical compensation layer,
The organic light emitting layer is formed to completely cover an end of the planarization layer on one side of the contact hole, partially expose the end of the planarization layer on the other side of the contact hole, and overlap a predetermined portion in the contact hole in one direction of the contact hole. Method for manufacturing a display device. 제3항에 있어서,
화소 영역을 구분하기 위한 뱅크층과, 유기 발광층과, 캐소드 전극을 순차적으로 형성하는 단계;를 더 포함하는 유기발광 표시장치의 제조방법.The method of claim 3,
And sequentially forming a bank layer, an organic emission layer, and a cathode electrode for separating pixel regions.
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