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KR20130046913A - Organic light emitting diode device and mehtod for fabricating the same - Google Patents

Organic light emitting diode device and mehtod for fabricating the same Download PDF

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Publication number
KR20130046913A
KR20130046913A KR1020110111589A KR20110111589A KR20130046913A KR 20130046913 A KR20130046913 A KR 20130046913A KR 1020110111589 A KR1020110111589 A KR 1020110111589A KR 20110111589 A KR20110111589 A KR 20110111589A KR 20130046913 A KR20130046913 A KR 20130046913A
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KR
South Korea
Prior art keywords
light emitting
substrate
organic light
layer
bank pattern
Prior art date
Application number
KR1020110111589A
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서현식
김흥식
김봉철
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엘지디스플레이 주식회사
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Publication date
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Abstract

PURPOSE: An organic light emitting device and a manufacturing method thereof are provided to prevent a short between wires by forming a dummy bank structure in a non-emission part of a substrate. CONSTITUTION: A dummy bank pattern(123b) is formed on the upper side of a passivation layer. An organic light emitting layer(125) is formed on the upper sides of a bank pattern, an anode electrode, and the passivation layer. A cathode electrode(127) is formed on the upper side of the organic light emitting layer. A black matrix is formed on the second substrate. A color filter layer(155) is formed on the second substrate.

Description

유기 전계 발광소자 및 그 제조방법{ORGANIC LIGHT EMITTING DIODE DEVICE AND MEHTOD FOR FABRICATING THE SAME}Organic electroluminescent device and its manufacturing method {ORGANIC LIGHT EMITTING DIODE DEVICE AND MEHTOD FOR FABRICATING THE SAME}

본 발명은 유기전계 발광장치{OLED: Organic Emitting Diode Device}에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 유기전계 발광소자 제조시 유기 발광층 증착 공정시에 사용되는 메탈 트레이(metal tray)가 접촉되는 비발광부에 더미뱅크(dummy bank)를 추가하여 기판의 백플랜(back plane)의 긁힘에 의한 쇼트(short)를 방지하여 패널의 수율을 향상시킬 수 있는 유기전계 발광소자 및 그 제조방법에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an organic electroluminescent device (OLED). More particularly, the present invention relates to a non-light emitting unit in which a metal tray used in an organic light emitting layer deposition process in contact with an organic light emitting diode is manufactured. The present invention relates to an organic light emitting device capable of improving a yield of a panel by adding a bank to prevent shorts due to scratching of a back plane of a substrate, and a method of manufacturing the same.

일반적으로, 유기전계 발광소자{OLED: Organic Emitting Diode}는 애노드(양극)와 캐소드(음극) 사이에 기능성 박막 형태의 유기 발광층이 삽입되어 있는 구조로, 양극에서 정공이 주입되고, 음극에서 전자가 주입되어 유기 발광층 내애서 전자와 정공이 재결합하면서 빛을 내는 소자이다.In general, an organic light emitting diode (OLED) has a structure in which an organic light emitting layer in the form of a functional thin film is inserted between an anode (anode) and a cathode (cathode), and holes are injected from an anode and electrons are injected from a cathode. The device emits light by being recombined with electrons and holes in the organic light emitting layer.

유기전계 발광소자는 그 구동방식에 따라, 수동 구동방식의패시브 매트릭스 (PM: Passive Matrix)형과, 능동 구동방식의 액티브 매트릭스(AM: Active Matrix)형으로 구분된다.The organic light emitting device is classified into a passive matrix (PM) type and a passive matrix active matrix (AM) type according to the driving method.

패시브 매트릭스형 OLED(PM-OLED)는 단순히 양극과 음극이 각각 컬럼 (column)과 로우(low)로 배열되어 음극에는 로우 구동회로로부터 스캐닝 신호가 공급되고, 이때 복수의 로우 중 하나의 로우만이 선택된다.In the passive matrix OLED (PM-OLED), the anode and the cathode are arranged in columns and low, respectively, so that the cathode is supplied with a scanning signal from a row driving circuit, and only one of the plurality of rows is supplied. Is selected.

또한, 컬럼 구동회로에는 각 화소로 데이터 신호가 입력된다. 한편, 액티브 매트릭스형 OLED(AM-OLED)는 박막트랜지스터(Thin Film Transistor)를 이용해 각 화소 당 입력되는 신호를 제어하는 것으로, 방대한 양의 신호를 처리하기에 적합하여 동영상을 구현하기 위한 디스플레이 장치로서 많이 사용되고 있다.A data signal is input to each pixel in the column driving circuit. On the other hand, the active matrix OLED (AM-OLED) is a display device for controlling a signal input for each pixel by using a thin film transistor (Tin Film Transistor), which is suitable for processing a large amount of signals to implement a video It is used a lot.

현재 저 소비전력과 높은 명실 CR(Bright Room Contrast Ratio) 특성을 갖는 AM-OLED 구현을 위해서 전면 발광 방식의 RGB 독립 증착법이 많이 이용되고 있다. RGB 독립 증착 방식은 제작에 있어서 미세 금속 마스크를 사용하여 각 발광색 별로 패터닝을 하여야 하는데, 금속 마스크를 정렬할 시의 정밀도나, 마스크 크기가 커짐으로 인해 발생하는 처짐 현상 등으로 인해 대형 크기로의 응용이 어렵다.At present, a top-independent RGB independent deposition method is widely used to implement AM-OLED having low power consumption and high bright room contrast ratio (CR) characteristics. The RGB independent deposition method requires patterning for each luminescent color using a fine metal mask in fabrication. Due to the precision in aligning the metal mask and the deflection phenomenon caused by the increase in the mask size, application to a large size This is difficult.

다른 RGB 독립 발광층을 형성하는 방식 중 하나인 잉크젯 방식은 대형 크기의 기판을 사용할 수 있는 장점은 있으나, 현재 가용성(soluble) 재료의 특성이 증착용 재료 특성보다 나빠서 물질 특성이 먼저 확보되어야 한다.The inkjet method, which forms one of the other RGB independent light emitting layers, has the advantage of using a large-sized substrate. However, the material property of the soluble material is worse than that of the deposition material.

그 외에 레이저를 이용해서 도너 필름에 형성된 발광층을 독립적으로 전사하는 레이저 전사법이 있으나, OLED 소자의 수명에 약점을 가지고 있다.In addition, there is a laser transfer method which independently transfers a light emitting layer formed on a donor film using a laser, but has a weak point in the life of an OLED element.

공정성, 수율 등을 고려할 때 백색 OLED(White OLED)에 컬러필터를 채용하는 WOLED-CF 방식은 많은 각광을 받고 있다. 백색 유기 전계 발광소자는 유기 발광층 내에 적색, 녹색 및 청색을 각각 방출하는 복수의 유기발광 재료를 모두 형성하거나, 또는 서로 보색 관계에 있는 적색, 녹색 및 청색을 각각 방출하는 복수의 유기 발광 재료를 모두 형성하거나, 또는 서로 보색 관계에 있는 두 유기 발광재료들의 쌍들을 형성함으로써 구현될 수 있다.Considering fairness, yield, etc., the WOLED-CF method employing a color filter in white OLEDs has received much attention. The white organic electroluminescent device forms all of a plurality of organic light emitting materials emitting red, green, and blue, respectively, in the organic light emitting layer, or all of a plurality of organic light emitting materials emitting red, green, and blue, respectively, which are complementary to each other. Or by forming pairs of two organic light emitting materials that are complementary to each other.

이러한 백색 OLED를 포함한 기존의 유기전계 발광소자를 제작하기 위해서는, 각 화소 당 입력되는 신호를 제어하는 박막트랜지스터와, 애노드(양극), 유기 발광층, 캐소드(음극) 과 같은 구성요소들을 형성해야 한다. In order to fabricate the existing organic light emitting device including the white OLED, it is necessary to form a thin film transistor that controls the input signal for each pixel, and components such as an anode (anode), an organic light emitting layer, and a cathode (cathode).

상기 구성 요소들 중에서, 유기 발광층과 캐소드를 형성할 때 기판을 반전시킨 상태에서 하부 쪽에서 유기물층과 금속층을 증착하게 된다. 이때, 기판의 발광부에 상기 유기물층과 금속층을 증착하기 위해서는, 기판의 비발광부, 예를 들어 기판의 백플랜(backplane)을 지지할 수 있는 메탈 트레이(metal tray; 미도시)가 필수적으로 필요하게 된다. Among the above components, when the organic light emitting layer and the cathode are formed, the organic material layer and the metal layer are deposited on the lower side with the substrate inverted. In this case, in order to deposit the organic layer and the metal layer on the light emitting portion of the substrate, a non-light emitting portion of the substrate, for example, a metal tray (not shown) capable of supporting a backplane of the substrate is necessary. do.

그러나, 유기물층과 금속층을 증착하기 위해 메탈 트레이를 기판의 백플랜을 지지하는 경우에, 기판의 비발광부에는 별도의 뱅크(bank)가 없기 때문에 자칫 부주위로 인해 기판의 가장자리부와 접촉하게 됨으로 인해, 기판의 비발광부에 구비된 Vdd 배선에 손상을 입히게 되고, Vss배선과 쇼트 (short)가 발생할 가능성이 많기 때문에 수율의 확보가 어렵게 된다.However, when the metal tray supports the backplane of the substrate for depositing the organic material layer and the metal layer, since the non-light emitting portion of the substrate does not have a separate bank, it comes into contact with the edge of the substrate due to its subsidiary periphery. Damage to the Vdd wiring provided in the non-light emitting portion of the substrate, and the Vss wiring and short (short) is likely to occur, it is difficult to secure the yield.

이에 본 발명은 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명의 목적은 유기전계 발광소자 제조시 유기 발광층 증착 공정시에 사용되는 메탈 트레이 (metal tray)가 접촉되는 비발광부에 더미뱅크(dummy bank)를 추가하여 기판의 백플랜(back plane)의 긁힘에 의해 비발광부에 구비된 배선들 간의 쇼트(short)를 방지하여 패널의 수율을 향상시킬 수 있는 유기전계 발광소자 및 그 제조방법을 제공함에 있다.Accordingly, the present invention is to solve the problems of the prior art, an object of the present invention is a dummy bank (metal dummy) that is used in the organic light emitting layer deposition process in the manufacturing of the organic light emitting device (dummy bank) in contact with the non-light emitting portion (dummy bank) The present invention provides an organic light emitting device and a method of manufacturing the same, which can improve the yield of a panel by preventing a short between the lines provided in the non-light emitting part by scratching a back plane of the substrate. have.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 유기전계 발광소자는 발광부와 비발광부가 정의된 제1 기판과 제2 기판; 상기 제1기판의 발광부에 형성되고 게이트전극과 액티브패턴, 소스전극 및 드레인전극으로 구성된 박막트랜지스터; 상기 박막트랜지스터를 포함한 제1 기판 전면에 형성되고, 상기 박막트랜지스터를 노출시키는 패시베이션층; 상기 패시베이션층 상부에 형성되고, 상기 박막트랜지스터와 전기적으로 접속된 애노드전극; 상기 애노드전극과 패시베이션층 상부에 형성되어 각 서브 픽셀을 독립적으로 분리시켜 주는 뱅크패턴; 상기 제1 기판의 비발광부에 위치하는 패시베이션층 상부에 형성된 더미 뱅크패턴; 상기 제1 기판의 발광부에 위치하는 상기 뱅크패턴, 애노드전극 및 패시베이션층 상부에 형성된 유기발광층; 상기 유기발광층 상부에 형성된 캐소드전극; 상기 제2 기판에 형성된 블랙매트릭스; 상기 블랙매트릭스 사이의 제2 기판상에 형성된 칼라필터층; 및 상기 제1 기판과 제2 기판을 합착시키는 씰패턴;을 포함하여 구성된다.The organic light emitting device according to the present invention for achieving the above object includes a first substrate and a second substrate in which the light emitting portion and the non-light emitting portion are defined; A thin film transistor formed on the light emitting part of the first substrate and composed of a gate electrode, an active pattern, a source electrode, and a drain electrode; A passivation layer formed on an entire surface of the first substrate including the thin film transistor and exposing the thin film transistor; An anode electrode formed on the passivation layer and electrically connected to the thin film transistor; A bank pattern formed on the anode and the passivation layer to separate each sub-pixel independently; A dummy bank pattern formed on the passivation layer positioned on the non-light emitting portion of the first substrate; An organic light emitting layer formed on the bank pattern, the anode electrode, and the passivation layer on the light emitting part of the first substrate; A cathode electrode formed on the organic light emitting layer; A black matrix formed on the second substrate; A color filter layer formed on a second substrate between the black matrices; And a seal pattern for bonding the first substrate and the second substrate together.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 유기전계 발광소자 제조방법은, 발광부와 비발광부가 정의된 제1 기판과 제2 기판을 제공하는 단계; 상기 제1기판의 발광부에 게이트전극과 액티브패턴, 소스전극 및 드레인전극으로 구성된 박막트랜지스터를 형성하는 단계; 상기 박막트랜지스터를 포함한 제1 기판 전면에 상기 박막트랜지스터를 노출시키는 패시베이션층을 형성하는 단계; 상기 패시베이션층 상부에 상기 박막트랜지스터와 전기적으로 접속되는 애노드전극을 형성하는 단계; 상기 애노드전극과 패시베이션층 상부에 각 서브 픽셀을 독립적으로 분리시켜 주는 뱅크패턴과 함께, 상기 제1 기판의 비발광부에 위치하는 패시베이션층 상부에 더미 뱅크패턴을 형성하는 단계; 메탈 트레인 상부에 상기 제1 기판을 반전시킨 상태에서 상기 더미 뱅크패턴이 접촉되어 지지되도록 하는 단계; 상기 메탈 트레이를 마스크로, 상기 제1 기판의 발광부에 위치하는 상기 뱅크패턴, 애노드전극 및 패시베이션층 상부에 유기발광층을 형성하는 단계; 상기 유기발광층 상부에 캐소드전극을 형성하는 단계; 상기 제2 기판에 블랙매트릭스를 형성하는 단계; 상기 블랙매트릭스 사이의 제2 기판상에 칼라필터층을 형성하는 단계; 및 상기 제1 기판과 제2 기판을 합착시키는 씰패턴을 형성하는 단계;를 포함하는 구성되는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing an organic light emitting display device, including: providing a first substrate and a second substrate on which a light emitting unit and a non-light emitting unit are defined; Forming a thin film transistor including a gate electrode, an active pattern, a source electrode, and a drain electrode in a light emitting portion of the first substrate; Forming a passivation layer exposing the thin film transistor on the entire surface of the first substrate including the thin film transistor; Forming an anode electrode on the passivation layer, the anode electrode being electrically connected to the thin film transistor; Forming a dummy bank pattern on the passivation layer on the non-light emitting portion of the first substrate together with a bank pattern that separates each sub-pixel independently on the anode and the passivation layer; Allowing the dummy bank pattern to be in contact with and supported on an upper portion of the metal train while inverting the first substrate; Forming an organic light emitting layer on the bank pattern, the anode electrode, and the passivation layer on the light emitting part of the first substrate using the metal tray as a mask; Forming a cathode on the organic light emitting layer; Forming a black matrix on the second substrate; Forming a color filter layer on a second substrate between the black matrices; And forming a seal pattern for bonding the first substrate and the second substrate to each other.

본 발명에 따른 유기전계 발광소자 및 그 제조방법에 따르면 다음과 같은 효과가 있다.According to the organic light emitting device and the method of manufacturing the same according to the present invention has the following effects.

본 발명에 따른 유기전계 발광소자 및 그 제조방법에 따르면, 유기전계 발광소자 제조시 유기 발광층 증착 공정시에 마스크로 사용되는 메탈 트레이(metal tray)가 접촉되는 기판의 비발광부에 더미뱅크(dummy bank) 구조를 형성함으로써 기판의 백플랜(back plane)의 긁힘에 의한 배선들, 예를 들어 Vdd배선과 Vss배선 간의 쇼트(short)를 방지하여 패널의 수율을 향상시킬 수 있다. According to the organic light emitting device according to the present invention and a method of manufacturing the same, a dummy bank (dummy bank) in the non-light emitting portion of the substrate is in contact with the metal tray (metal tray) used as a mask during the organic light emitting layer deposition process in manufacturing the organic light emitting device By forming the structure, a short circuit between the wirings, for example, the Vdd wiring and the Vss wiring due to the scratching of the back plane of the substrate can be prevented, thereby improving the yield of the panel.

본 발명에 따르면, 기판의 비발광부에 구비된 더미 뱅크패턴과 접촉되어 기판을 지지하는 메탈 트레이 상면에 뾰족한 형태의 접촉 돌기가 형성되거나, 또는 편평한 형태의 접촉 돌기가 이격되게 구비되어 있어, 더미 뱅크패턴과 접촉하는 표면적이 그만큼 감소하게 됨으로써, 기존과 같이 메탈 트레이가 기판과 접촉함으로 인해 발생하였던 문제, 예를 들어 Vdd 배선라인과 Vss 배선 간의 쇼트와 같은 문제가 발생하지 않게 된다.According to the present invention, a pointed contact protrusion is formed on the upper surface of the metal tray supporting the substrate in contact with the dummy bank pattern provided in the non-light emitting portion of the substrate, or flat contact protrusions are provided to be spaced apart from each other. By reducing the surface area in contact with the pattern, the problem caused by the metal tray contacting the substrate as in the past does not occur, such as a short between the Vdd wiring line and the Vss wiring.

도 1은 본 발명에 따른 유기전계 발광소자의 픽셀 회로를 나타내는 회로도이다.
도 2는 본 발명에 따른 유기전계 발광소자의 평면 구성을 개략적으로 도시한 평면도이다.
도 3은 도 2의 Ⅲ-Ⅲ선에 따른 유기전계 발광소자의 개략적인 단면도이다.
도 4a 내지 4i는 본 발명에 따른 유기전계 발광소자의 제조공정을 나타내는 공정 단면도들이다.
도 5는 본 발명에 따른 유기전계 발광소자 제조시에 유기발광층 및 금속층 증착시의 기판과 메탈 트레이(metal tray) 및 증착 장비를 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 6은 본 발명에 따른 유기전계 발광소자 제조시에 마스크로 사용되는 메탈 트레이(metal tray)의 다른 실시 예로서, 뽀족한 형태의 접촉돌기가 구비된 메탈 트레이의 개략적인 단면도이다.
도 7은 본 발명에 따른 유기전계 발광소자 제조시에 마스크로 사용되는 메탈 트레이(metal tray)의 또다른 실시 예로서, 편평한 형태의 평면 돌기가 이격되어 구비된 메탈 트레이의 개략적인 단면도이다.
1 is a circuit diagram illustrating a pixel circuit of an organic light emitting diode according to the present invention.
2 is a plan view schematically showing a planar configuration of an organic light emitting device according to the present invention.
FIG. 3 is a schematic cross-sectional view of an organic light emitting diode according to line III-III of FIG. 2.
4A to 4I are cross-sectional views illustrating a process of manufacturing the organic light emitting diode according to the present invention.
FIG. 5 is a perspective view schematically illustrating a substrate, a metal tray, and a deposition apparatus in the deposition of an organic light emitting layer and a metal layer in the manufacture of an organic light emitting device according to the present invention.
FIG. 6 is a schematic cross-sectional view of a metal tray provided with contact protrusions having a pointed shape as another example of a metal tray used as a mask in manufacturing an organic light emitting diode according to the present invention.
FIG. 7 is a schematic cross-sectional view of a metal tray provided with spaced apart flat projections as another embodiment of a metal tray used as a mask in manufacturing an organic light emitting device according to the present invention.

이하, 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 유기전계 발광소자에 대해 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, an organic electroluminescent device according to a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도면상의 동일한 부호는 동일한 요소를 지칭한다. 하기에서 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략할 것이다.Like reference numerals in the drawings refer to like elements. In the following description of the present invention, if it is determined that a detailed description of a related known function or configuration may unnecessarily obscure the subject matter of the present invention, the detailed description thereof will be omitted.

도 1은 본 발명에 따른 유기전계 발광소자의 픽셀 회로를 나타내는 회로도이다.1 is a circuit diagram illustrating a pixel circuit of an organic light emitting diode according to the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 유기전계 발광소자는, 복수의 신호선에 연결되어 있으며, 대략 행렬(matrix)의 형태로 배열된 복수의 픽셀들이 포함되어 있고, 각 픽셀들은 픽셀 회로를 갖는다.Referring to FIG. 1, the organic light emitting diode according to the present invention includes a plurality of pixels connected to a plurality of signal lines and arranged in a substantially matrix form, and each pixel has a pixel circuit.

각 픽셀에는 데이터라인(DL), 스캔라인(즉, 게이트라인; GL) 및 유기 발광소자 (OLED; Organic Light Emitted Diode)의 일 구동전원이 되는 Vdd 전원라인(Vdd)이 구비된다.Each pixel includes a Vdd power line Vdd serving as a driving power source of the data line DL, the scan line (ie, the gate line GL), and the organic light emitting diode (OLED).

픽셀 회로는 이들 데이터라인(DL), 스캔라인(GL), 및 Vdd 전원라인(Vdd)에 전기적으로 연결되어 있으며, 상기 유기전계 발광소자(OLED)의 발광을 제어하게 된다.The pixel circuit is electrically connected to these data lines DL, the scan lines GL, and the Vdd power lines Vdd, and controls the light emission of the organic light emitting diode OLED.

각 픽셀은 스위칭소자(Ts)와, 구동소자(Td)의 적어도 2개의 박막트랜지스터 (T)와, 커패시터 유닛(Cst) 및 유기전계 발광소자(OLED)를 구비한다.Each pixel includes a switching element Ts, at least two thin film transistors T of the driving element Td, a capacitor unit Cst, and an organic light emitting element OLED.

상기 스위칭소자(Ts)는 스캔라인(GL)에 인가되는 스캔 신호에 의해 온/오프 (On/Off)되어 데이터라인(DL)에 인가되는 데이터 신호를 스토리지 커패시터(Cst) 및 구동소자(Td)에 전달한다. 이때, 상기 스위칭소자로는 반드시 도 3과 같은 스위칭 소자만에 한정되는 것은 아니며, 복수 개의 박막트랜지스터와 커패시터를 구비한 스위칭 회로가 구비될 수도 있고, 구동소자(Td)의 Vth 값을 보상해 주는 회로나, Vdd 전원라인(Vdd)의 전압강하를 보상해 주는 회로가 더 구비될 수도 있다.The switching element Ts is turned on / off by a scan signal applied to the scan line GL to store a data signal applied to the data line DL by the storage capacitor Cst and the driving element Td. To pass on. In this case, the switching device is not necessarily limited to only the switching device as shown in FIG. 3, and may include a switching circuit including a plurality of thin film transistors and capacitors, and compensates the Vth value of the driving device Td. A circuit or a circuit for compensating for the voltage drop of the Vdd power line Vdd may be further provided.

상기 구동소자(Td)는 스위칭소자(Ts)를 통해 전달되는 데이터 신호에 따라, 유기발광소자(OLED)로 유입되는 전류량을 결정한다.The driving device Td determines the amount of current flowing into the organic light emitting device OLED according to the data signal transmitted through the switching device Ts.

상기 커패시터 유닛(Cst)은 스위칭소자(Ts)를 통해 전달되는 데이터 신호를 한 프레임 동안 저장한다.The capacitor unit Cst stores a data signal transmitted through the switching element Ts for one frame.

도 1에 따른 회로도에서 구동소자(Td) 및 스위칭소자(Ts)는 PMOS TFT로 도시되어 있으나, 본 발명이 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 상기 구동소자(Td) 및 스위칭소자(Ts) 중 적어도 하나를 NMOS TFT로 형성할 수도 있음은 물론이다. 그리고, 상기와 같은 박막트랜지스터 및 커패시터의 개수는 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 이보다 더 많은 수의 박막트랜지스터 및 커패시터를 구비할 수 있음은 물론이다.In the circuit diagram according to FIG. 1, the driving device Td and the switching device Ts are illustrated as PMOS TFTs, but the present invention is not necessarily limited thereto, and at least one of the driving device Td and the switching device Ts may be used. Can be formed of an NMOS TFT, of course. The number of thin film transistors and capacitors as described above is not necessarily limited thereto, and of course, a larger number of thin film transistors and capacitors may be provided.

도 2는 본 발명에 따른 유기전계 발광소자의 평면 구성을 개략적으로 도시한 평면도이다.2 is a plan view schematically showing a planar configuration of an organic light emitting device according to the present invention.

도 2를 참조하면, 기판(101)의 일 측에는 게이트구동부(GD)가 구성되고, 상기 게이트구동부(GD)와 평행하지 않은 기판의 양측에는 데이터구동부(DD)가 각각 구성된다.Referring to FIG. 2, a gate driver GD is configured at one side of the substrate 101, and data drivers DD are configured at both sides of the substrate not parallel to the gate driver GD.

상기 게이트구동부(GD)와 평행한 기판(101)의 타 측에는 공통전극(139)이 구성된다. 이때, 상기 공통전극(139)은 캐소드전극(음극전극; 127)에 공통전압을 인가하여 상기 캐소드전극(127)의 전위를 유지하도록 하는 역할을 한다.The common electrode 139 is formed on the other side of the substrate 101 parallel to the gate driver GD. In this case, the common electrode 139 serves to maintain a potential of the cathode electrode 127 by applying a common voltage to the cathode electrode (cathode electrode) 127.

이하, 본 발명에 따른 유기전계 발광장치에 대해 도 3을 참조하여 설명하면 다음과 같다. Hereinafter, an organic EL device according to the present invention will be described with reference to FIG. 3.

도 3은 도 2의 Ⅲ-Ⅲ선에 따른 유기전계 발광소자의 개략적인 단면도이다.FIG. 3 is a schematic cross-sectional view of an organic light emitting diode according to line III-III of FIG. 2.

도 3을 참조하면, 본 발명에 따른 유기전계 발광소자는, 발광부(P)와 비발광부(NP)로 정의된 제1기판(101)과 제2 기판(151)이 서로 대향되게 배치되어 상기 제1, 2 기판(101, 151)의 테두리부에 형성된 씰패턴(미도시)에 의해 합착되어 있다. Referring to FIG. 3, in the organic light emitting diode according to the present invention, the first substrate 101 and the second substrate 151 defined by the light emitting unit P and the non-light emitting unit NP are disposed to face each other. The first and second substrates 101 and 151 are bonded to each other by seal patterns (not shown) formed at edge portions of the first and second substrates 101 and 151.

여기서, 상기 제1 기판(101)의 상부에는 각 서브 픽셀별로 다수의 박막트랜지스터(T), 예를 들어 스위칭소자(Ts)와 구동소자(Td)가 형성되어 있다. Here, a plurality of thin film transistors T, for example, a switching element Ts and a driving element Td, are formed on each of the sub-pixels on the first substrate 101.

상기 제1기판(101)상에 각 서브 픽셀별로 형성된 박막트랜지스터(T)는 게이트전극(103)과 상기 게이트전극(103) 상에 형성된 게이트절연막(105), 액티브패턴 (107a) 및 소스전극(113a), 드레인전극(113b)으로 구성되어 있으며, 상기 드레인전극(113b)은 서브 픽셀별로 독립적으로 형성된 애노드전극(121a)과 전기적으로 연결되어 있다.The thin film transistor T formed on each of the sub-pixels on the first substrate 101 has a gate electrode 103, a gate insulating film 105 formed on the gate electrode 103, an active pattern 107a, and a source electrode ( 113a) and a drain electrode 113b, and the drain electrode 113b is electrically connected to the anode electrode 121a formed independently for each subpixel.

또한, 상기 각 서브 픽셀별로 마련된 드레인전극(113b)과 전기적으로 연결된 애노드전극(121a) 상부에는 각 서브 픽셀들을 독립적으로 분리시켜 주는 뱅크패턴 (123a)들이 형성되어 있다. In addition, bank patterns 123a are formed on the anode electrode 121a electrically connected to the drain electrode 113b provided for each subpixel.

그리고, 상기 제1 기판(101)의 비발광부(NP)에는 더미 뱅크패턴(123b)이 형성되어 있는데, 이는 유기전계 발광소자 제조시 유기 발광층 증착 공정시에 마스크로 사용되는 메탈 트레이(metal tray)가 접촉되는 기판의 비발광부에 기판의 백플랜(back plane)의 긁힘에 의한 배선들, 예를 들어 Vdd배선과 Vss배선 간의 쇼트 (short)를 방지하기 위해 형성된다. 이때, 상기 더미 뱅크패턴(123b)은 상기 발광부(P)의 외곽에 위치하는 비발광부(NP) 지역에 상기 발광부(P)의 외곽을 따라 형성된다. In addition, a dummy bank pattern 123b is formed in the non-light emitting portion NP of the first substrate 101, which is a metal tray used as a mask in an organic light emitting layer deposition process in manufacturing an organic light emitting diode. Is formed to prevent shorts between the wirings, for example, the Vdd wiring and the Vss wiring, due to scratching of the back plane of the substrate. In this case, the dummy bank pattern 123b is formed along the periphery of the light emitting unit P in an area of the non-light emitting unit NP which is located outside the light emitting unit P.

더욱이, 상기 뱅크패턴(123a)을 포함한 제1 기판(101)의 발광부(P) 전면에 유기발광층(125)과 캐소드전극(127)이 형성된다.In addition, the organic light emitting layer 125 and the cathode electrode 127 are formed on the entire surface of the light emitting part P of the first substrate 101 including the bank pattern 123a.

이때, 상기 유기발광층(125)은, 상기 애노드전극(121a)으로부터 순차적으로 적층된 정공주입층(미도시), 정공수송층(미도시), 전자수송층(미도시) 및 전자주입층(미도시)으로 구성된다.In this case, the organic light emitting layer 125, a hole injection layer (not shown), a hole transport layer (not shown), an electron transport layer (not shown) and an electron injection layer (not shown) sequentially stacked from the anode electrode 121a It consists of.

또한, 상기 캐소드전극(127)은 알루미늄(Al), 은(Ag) 또는 그 합금을 반투과가 가능한 얇은 두께로 구성된다.In addition, the cathode electrode 127 is formed of a thin thickness capable of transfusing aluminum (Al), silver (Ag), or an alloy thereof.

한편, 제2 기판(151) 상의 발광부 사이에는 블랙매트릭스(153)가 형성되고, 상기 발광영역에는 적색, 청색 및 녹색 컬러필터층(155)들이 형성된다.Meanwhile, a black matrix 153 is formed between the light emitting parts on the second substrate 151, and red, blue, and green color filter layers 155 are formed in the light emitting area.

또한, 상기 제2 기판(151)의 블랙매트릭스(153)는 상기 제1 기판(101)의 뱅크패턴(123a) 상부에 위치하는 캐소드전극(127) 부위와 접착됨으로써 상기 제1 기판(101)과 제2 기판(151)이 결합된다.In addition, the black matrix 153 of the second substrate 151 is bonded to a portion of the cathode electrode 127 positioned on the bank pattern 123a of the first substrate 101 so as to be connected to the first substrate 101. The second substrate 151 is bonded.

한편, 본 발명에 따른 유기전계발광장치 제조방법에 대해 도 4를 참조하여 설명하면 다음과 같다.Meanwhile, a method of manufacturing an organic light emitting display device according to the present invention will be described with reference to FIG. 4.

도 4a 내지 4i는 본 발명에 따른 유기전계 발광소자의 제조공정을 나타내는 공정 단면도들이다.4A to 4I are cross-sectional views illustrating a process of manufacturing the organic light emitting diode according to the present invention.

도 5는 본 발명에 따른 유기전계 발광소자 제조시에 유기발광층 및 금속층 증착시의 기판과 메탈 트레이(metal tray) 및 증착 장비를 개략적으로 도시한 사시도이다.FIG. 5 is a perspective view schematically illustrating a substrate, a metal tray, and a deposition apparatus in the deposition of an organic light emitting layer and a metal layer in the manufacture of an organic light emitting device according to the present invention.

도 4a에 도시된 바와 같이, 발광부(P)와 비발광부(NP)로 정의된 투명한 유리기판(101) 상에 알루미늄(Al), 알루미늄 네오듐(AlNd), 몰리브덴(Mo) 중에서 어느 한 금속 또는 2 이상의 금속이나 합금을 스퍼터링(Sputtering) 공정으로 증착한 후에 포토리소그라피 (Photolitho- graphy) 공정과 식각 공정으로 패터닝하여, 박막트랜지스터(T)의 게이트전극(103)과 이 게이트전극(103)에 연결된 게이트라인(미도시), 게이트라인의 끝단에 연결된 게이트패드(미도시) 등을 형성한다.As shown in FIG. 4A, any one of aluminum (Al), aluminum neodium (AlNd), and molybdenum (Mo) on the transparent glass substrate 101 defined as the light emitting part P and the non-light emitting part NP. Alternatively, two or more metals or alloys are deposited by a sputtering process, and then patterned by a photolithography process and an etching process to form the gate electrode 103 and the gate electrode 103 of the thin film transistor T. A gate line (not shown) connected to each other and a gate pad (not shown) connected to an end of the gate line are formed.

그 다음, 상기 게이트전극(103)을 포함한 기판 전면에 CVD(chemical vapor deposition) 공정으로 산화 실리콘(SiO2) 또는 질화 실리콘(SiNx)을 증착하여 게이트절연막(105)을 형성한 후에, 상기 게이트절연막(105) 상에 CVD(chemical vapor deposition) 공정으로 비정질 실리콘을 증착하여 비정질실리콘층(107)을 형성한다. 이때, 상기 비정질실리콘 대신에, 산화물 반도체, 예를 들어 AxByCzO(A, B, C = Zn, Cd, Ga, In, Sn, Hf, Zr; x, y, z ≥ 0)의 조합으로 이루어진 삼성분계 또는 사성분계 산화물 반도체로 형성할 수도 있다.Next, after the silicon oxide (SiO 2 ) or silicon nitride (SiNx) is deposited on the entire surface of the substrate including the gate electrode 103 to form a gate insulating layer 105, the gate insulating layer 105 is formed. Amorphous silicon is deposited on the 105 by a chemical vapor deposition (CVD) process to form an amorphous silicon layer 107. In this case, instead of the amorphous silicon, an oxide semiconductor, for example, AxByCzO (A, B, C = Zn, Cd, Ga, In, Sn, Hf, Zr; x, y, z ≥ 0) Alternatively, it may be formed of a tetracomponent oxide semiconductor.

이어서, 도 4b에 도시된 바와 같이, 상기 비정질실리콘층(107)을 포토리소그라피 (Photolitho- graphy) 공정과 식각 공정으로 패터닝하여, 상기 게이트전극 (103) 상부에 박막트랜지스터(T)의 액티브패턴(107a)을 형성한다.Subsequently, as shown in FIG. 4B, the amorphous silicon layer 107 is patterned by a photolithography process and an etching process to form an active pattern of the thin film transistor T on the gate electrode 103. 107a).

그 다음, 상기 액티브패턴(107a)을 포함한 게이트절연막(105) 상부에 CVD 공정으로 산화 실리콘(SiO2) 또는 질화 실리콘(SiNx)을 증착하여 버퍼층(109)을 형성한 후에, 이를 포토리소그라피 (Photolitho- graphy) 공정과 식각 공정으로 패터닝하여, 박막트랜지스터의 소스전극(미도시)과 드레인전극(미도시) 위치에서 상기 액티브패턴(107a)을 노출시키는 제1 콘택홀(111)들을 형성한다.Next, after forming a buffer layer 109 by depositing silicon oxide (SiO 2 ) or silicon nitride (SiNx) on the gate insulating layer 105 including the active pattern 107a by a CVD process, the photolithography (Photolitho) The first contact hole 111 exposing the active pattern 107a is formed at a source electrode (not shown) and a drain electrode (not shown) of the thin film transistor by patterning by a graphy process and an etching process.

이어서, 도 4c에 도시된 바와 같이, 상기 제1 콘택홀(111)들을 포함한 상기 버퍼층(109) 상부에 몰리브덴(Mo), 알루미늄 네오듐(AlNd), 크롬(Cr), 구리(Cu) 등에서 선택된 금속, 이들의 적층 또는 합금으로 이루어진 금속을 스퍼터링 방법으로 증착한 후에, 이를 포토리소그라피 (Photolitho- graphy) 공정과 식각 공정으로 패터닝하여, 상기 액티브패턴(107a)에 접속되는 박막트랜지스터의 소스전극(113a), 드레인전극(113b), 상기 게이트라인(미도시)과 직교하는 데이터라인(미도시), 상기 데이터라인(미도시) 각각의 끝단에 연결된 데이터 패드(113c) 등을 형성한다. 상기 액티브패턴(107a)에 접속되는 박막트랜지스터의 소스전극(113a) 및 드레인전극 (113b) 형성시에, 기판의 비발광부(NP) 지역에 데이터패드(113c)도 함께 형성된다. 여기서, 상기 공통전극(113c)은 상기 게이트전극(103) 형성시에 형성할 수도 있다. Subsequently, as shown in FIG. 4C, molybdenum (Mo), aluminum neodium (AlNd), chromium (Cr), copper (Cu), and the like are selected on the buffer layer 109 including the first contact holes 111. After depositing a metal, a stack of metals, or an alloy thereof by a sputtering method, it is patterned by a photolithography process and an etching process, and the source electrode 113a of the thin film transistor connected to the active pattern 107a. ), A drain electrode 113b, a data line orthogonal to the gate line (not shown), and a data pad 113c connected to each end of each of the data line (not shown). When the source electrode 113a and the drain electrode 113b of the thin film transistor connected to the active pattern 107a are formed, a data pad 113c is also formed in the non-light emitting portion NP of the substrate. The common electrode 113c may be formed when the gate electrode 103 is formed.

이때, 상기 박막트랜지스터의 소스전극(113a)과 드레인전극(113b) 각각은 상기 버퍼층(109)에 형성된 제1 콘택홀(111)들을 통해 상기 액티브패턴(107a)에 접속된다.In this case, each of the source electrode 113a and the drain electrode 113b of the thin film transistor is connected to the active pattern 107a through the first contact holes 111 formed in the buffer layer 109.

그 다음, 도 4c에 도시된 바와 같이, 상기 상기 박막트랜지스터의 소스전극 (113a)과 드레인전극(113b)을 포함한 상기 버퍼층(109) 상부에 아크릴(arcyl)계 유기 화합물, BCB(benzo-cyclo-butene) 또는 PFCB(perfluorocyclobutane)와 같은 유기 절연재료를 전면 도포하거나, 산화 실리콘(SiO2) 또는 질화 실리콘(SiNx)과 같은 무기 절연재료를 전면 증착하여, 패시베이션층(115)을 형성한다.Next, as illustrated in FIG. 4C, an acrylic organic compound, BCB (benzo-cyclo-), is formed on the buffer layer 109 including the source electrode 113a and the drain electrode 113b of the thin film transistor. The passivation layer 115 is formed by coating an entire surface of an organic insulating material such as butene) or perfluorocyclobutane (PFCB), or depositing an inorganic insulating material such as silicon oxide (SiO 2 ) or silicon nitride (SiNx).

이어서, 도 4d에 도시된 바와 같이, 상기 패시베이션층(115)을 포토리소그라피 (Photolitho- graphy) 공정과 식각 공정으로 패터닝하여, 상기 박막트랜지스터의 드레인전극(113b)을 노출시키는 제2 콘택홀(117)들을 형성한다.Subsequently, as shown in FIG. 4D, the passivation layer 115 is patterned by a photolithography process and an etching process to expose the drain electrode 113b of the thin film transistor 117. ).

그 다음, 상기 제2 콘택홀(117)을 포함한 패시베이션층(115) 상부에 몰리브덴(Mo), 알루미늄 네오듐(AlNd), 크롬(Cr), 구리(Cu) 등에서 선택된 금속, 이들의 적층 또는 합금으로 이루어진 금속을 스퍼터링 방법으로 증착하여 금속층(121)을 형성한다.Next, a metal selected from molybdenum (Mo), aluminum neodium (AlNd), chromium (Cr), copper (Cu), or the like, on top of the passivation layer 115 including the second contact hole 117, a stack or alloy thereof The metal layer 121 is deposited by sputtering to form a metal layer 121.

이어서, 도 4e에 도시된 바와 같이, 상기 금속층(121)을 포토리소그라피 (Photolitho- graphy) 공정과 식각 공정으로 패터닝하여, 상기 제2 콘택홀(117)을 통해 상기 드레인전극(113b)과 접속되는 애노드전극(121a)을 형성한다.Subsequently, as shown in FIG. 4E, the metal layer 121 is patterned by a photolithography process and an etching process to be connected to the drain electrode 113b through the second contact hole 117. The anode electrode 121a is formed.

그 다음, 상기 애노드전극(121a)을 포함한 패시베이션층(115) 상부에 산화 실리콘(SiO2) 또는 질화 실리콘(SiNx)과 같은 무기 절연재료를 전면 증착하여, 뱅크층(123)을 형성한다.Next, an inorganic insulating material such as silicon oxide (SiO 2 ) or silicon nitride (SiNx) is entirely deposited on the passivation layer 115 including the anode electrode 121a to form a bank layer 123.

이어서, 도 4f에 도시된 바와 같이, 상기 뱅크층(123)을 포토리소그라피 (Photolitho- graphy) 공정과 식각 공정으로 패터닝하여, 상기 제2 콘택홀(117) 상부의 애노드전극(121a)과 인접하는 애노드전극(121a) 상부에 뱅크패턴(123a)을 형성하고, 상기 기판의 비발광부(NP)에는 더미 뱅크패턴(123b)을 형성한다. 이때, 상기 더미 뱅크패턴(123b)는 유기발광소자의 발광부(P)를 제외한 기판의 비발광부 (NP) 주변을 따라 형성된다.Subsequently, as shown in FIG. 4F, the bank layer 123 is patterned by a photolithography process and an etching process to be adjacent to the anode electrode 121a on the second contact hole 117. A bank pattern 123a is formed on the anode electrode 121a, and a dummy bank pattern 123b is formed on the non-light emitting portion NP of the substrate. In this case, the dummy bank pattern 123b is formed along the periphery of the non-light emitting portion NP of the substrate except for the light emitting portion P of the organic light emitting diode.

그 다음, 도 4g에 도시된 바와 같이, 상기 기판(101)을 뒤집은 상태에서 유기발광층 및 캐소드전극을 형성하기 위해 유기물층 및 금속층을 증착하게 되는데, 이때 상기 기판(101)의 비발광부(NP)에 형성된 더미 뱅크패턴(123b)을 메탈 트레이 (metal tray)(131)로 덮은 상태에서 개구부(131a)를 통해 유기물 및 금속물질을 차례로 증착하여 상기 기판(101)의 발광부(P)에 유기물층(125) 및 금속층(127)을 증착하게 된다.Next, as shown in FIG. 4G, the organic material layer and the metal layer are deposited to form the organic light emitting layer and the cathode electrode in the inverted state of the substrate 101, in which the non-light emitting portion NP of the substrate 101 is deposited. The organic material layer 125 is deposited on the light emitting part P of the substrate 101 by sequentially depositing the organic material and the metal material through the opening 131a while the formed dummy bank pattern 123b is covered with the metal tray 131. And the metal layer 127 is deposited.

상기 메탈 트레이(131)를 마스크로 이용하여 기판(101) 전면에 유기물층 (125) 및 금속층(127)을 형성하는 공정에 대해 도 5를 참조하여 설명하면 다음과 같다.A process of forming the organic material layer 125 and the metal layer 127 on the entire surface of the substrate 101 using the metal tray 131 as a mask will now be described with reference to FIG. 5.

도 5는 본 발명에 따른 유기전계 발광소자 제조시에 유기발광층 및 금속층 증착시의 기판과 메탈 트레이(metal tray) 및 증착 장비를 개략적으로 도시한 사시도이다.FIG. 5 is a perspective view schematically illustrating a substrate, a metal tray, and a deposition apparatus in the deposition of an organic light emitting layer and a metal layer in the manufacture of an organic light emitting device according to the present invention.

도 5를 참조하면, 기판(101)을 뒤집은 상태에서 발광부(P) 상에 유기물층 및 금속층을 증착하기 위해, 개구부(131a)가 마련된 메탈 트레이(131)를 상기 기판 (101)에 위치시켜 기판(101)을 지지한다. 이때, 상기 메탈 트레이(131)의 개구부 (131a)는 상기 기판(101)의 발광부(P), 즉 픽셀 형성지역에 대응하며, 상기 메탈 트레이(131)의 외곽부는 상기 기판(101)의 비발광부(NP) 상에 형성된 더미 뱅크패턴(123b) 상면과 접촉한 상태로 기판(101)을 지지하게 된다. 이때, 상기 메탈 트레이(131)가 상기 더미 뱅크패턴(123b)과 접촉한 상태로 기판을 지지해 주기 때문에, 기존에 기판의 비발광부에 더미 뱅크패턴이 구비되어 있지 않아 메탈 트레이가 부주위로 인해 기판의 가장자리부와 접촉하면서 기판의 비발광부 하부에 형성된 구동회로부, 예를 들어 Vdd 전원라인 또는 Vss 배선 등을 파손시키거나 이들 간의 쇼트(short)를 발생시켰던 문제가 발생하지 않게 된다. 상기 메탈 트레이(131)는 더미 뱅크패턴(123b)이 닿는 부분의 평면 구조를 갖으면서 연성이 있는 재질로 형성하는 것이 바람직하다.Referring to FIG. 5, in order to deposit an organic material layer and a metal layer on the light emitting part P while the substrate 101 is turned upside down, a metal tray 131 having an opening 131a is positioned on the substrate 101. Support 101. In this case, the opening portion 131a of the metal tray 131 corresponds to the light emitting portion P of the substrate 101, that is, the pixel formation region, and an outer portion of the metal tray 131 is exposed to the substrate 101. The substrate 101 is supported in contact with the upper surface of the dummy bank pattern 123b formed on the light part NP. At this time, since the metal tray 131 supports the substrate in contact with the dummy bank pattern 123b, the dummy tray pattern is not provided in the non-light emitting portion of the substrate. The contact circuit portion formed under the non-light emitting portion of the substrate while being in contact with the edge of the circuit breaker, for example, Vdd power line or Vss wiring, or the like, a problem that caused a short (short) does not occur. The metal tray 131 may be formed of a flexible material while having a planar structure of a portion where the dummy bank pattern 123b touches.

이렇게, 상기 메탈 트레이(131)가 더미 뱅크패턴(123b)와 접촉하여 상기 기판(101)을 지지한 상태에서, 증착장비(160)로부터 유기물층 및 금속층을 증착하기 위한 공정을 수행하게 된다. In this manner, the metal tray 131 is in contact with the dummy bank pattern 123b to support the substrate 101, and then a process for depositing the organic material layer and the metal layer from the deposition apparatus 160 is performed.

한편, 도 6은 본 발명에 따른 유기전계 발광소자 제조시에 마스크로 사용되는 메탈 트레이(metal tray)의 다른 실시 예로서, 뽀족한 형태의 접촉돌기가 구비된 메탈 트레이의 개략적인 단면도이다.On the other hand, Figure 6 is a schematic cross-sectional view of a metal tray having a contact protrusion of a pointed form as another embodiment of a metal tray (metal tray) used as a mask when manufacturing an organic light emitting device according to the present invention.

도 6을 참조하면, 기판(101)의 비발광부(NP)에 구비된 더미 뱅크패턴(123b)과 접촉되어 기판(101)을 지지하는 메탈 트레이(231) 상면에 뾰족한 형태의 접촉 돌기(231a)가 구비되어 있어, 더미 뱅크패턴(123b)과 접촉하는 표면적이 그만큼 감소하게 됨으로써, 기존과 같이 메탈 트레이가 기판과 접촉함으로 인해 발생하였던 문제, 예를 들어 Vdd 배선라인과 Vss 배선 간의 쇼트와 같은 문제가 발생하지 않게 된다.Referring to FIG. 6, the contact protrusion 231a having a pointed shape on the upper surface of the metal tray 231 that contacts the dummy bank pattern 123b provided in the non-light emitting portion NP of the substrate 101 to support the substrate 101 is provided. Since the surface area in contact with the dummy bank pattern 123b is reduced by that, the problem caused by the metal tray contacting the substrate as in the past, for example, a problem such as a short between the Vdd wiring line and the Vss wiring Will not occur.

또한, 도 7은 본 발명에 따른 유기전계 발광소자 제조시에 마스크로 사용되는 메탈 트레이(metal tray)의 또다른 실시 예로서, 편평한 형태의 평면 돌기가 이격되어 구비된 메탈 트레이의 개략적인 단면도이다.In addition, FIG. 7 is a schematic cross-sectional view of a metal tray provided with spaced apart flat projections as another embodiment of a metal tray used as a mask when manufacturing an organic light emitting device according to the present invention. .

도 7을 참조하면, 상기 기판(101)의 비발광부(NP)에 구비된 더미 뱅크패턴 (123b)과 접촉되어 기판(101)을 지지하는 메탈 트레이(331) 상면에 편평한 형태의 접촉 돌기(331a)가 이격되게 구비되어 있어, 더미 뱅크패턴(123b)과 접촉하는 표면적이 그만큼 감소하게 됨으로써, 기존과 같이 메탈 트레이가 기판과 접촉함으로 인해 발생하였던 문제, 예를 들어 Vdd 배선라인과 Vss 배선 간의 쇼트와 같은 문제가 발생하지 않게 된다.Referring to FIG. 7, a contact protrusion 331a having a flat shape on an upper surface of the metal tray 331 that contacts the dummy bank pattern 123b provided in the non-light emitting portion NP of the substrate 101 and supports the substrate 101. ) Is spaced apart, the surface area in contact with the dummy bank pattern (123b) is reduced by that, the problem caused by the metal tray in contact with the substrate as in the past, for example, short between the Vdd wiring line and the Vss wiring Problems such as this do not occur.

한편, 상기 메탈 트레이(231, 331)의 재질로는 연성이 있는 재료, 예를 들어 고온 및 내화학성의 테프론 재질, PI 계열의 내열 재료 또는 PVP 등의 플라스틱 재료로 형성할 수 있다.Meanwhile, the metal trays 231 and 331 may be formed of a flexible material, for example, a high temperature and chemically resistant Teflon material, a PI series heat resistant material, or a plastic material such as PVP.

그 다음, 도 4h에 도시된 바와 같이, 상기 메탈 트레이(131)가 더미 뱅크패턴 (123b)과 접촉하여 상기 기판(101)을 지지한 상태에서, 상기 뱅크패턴(123a)을 포함한 기판 전면에 상기 메탈 트레이(131)의 개구부(131a)를 통해 유기물 재료 및 금속 물질을 차례로 증착하여 유기발광층(125)과 캐소드전극(127)을 형성한다. 이때, 상기 메탈 트레이(131)에 의해 덮여진 기판(101)의 비발광부(NP)에는 유기물 및 금속물질이 증착되지 않게 된다.Next, as shown in FIG. 4H, the metal tray 131 contacts the dummy bank pattern 123b to support the substrate 101. The organic material and the metal material are sequentially deposited through the opening 131a of the metal tray 131 to form the organic light emitting layer 125 and the cathode electrode 127. In this case, the organic material and the metal material are not deposited on the non-light emitting portion NP of the substrate 101 covered by the metal tray 131.

이때, 도면에는 도시하지 않았지만, 상기 유기발광층(125)은 증착방법, 예를 들어 열 증착(thermal evaporation)방법으로 정공 주입층 재료, 정공수송층 재료, 화이트 발광층 재료, 전자수송층 재료, 전자주입층 재료를 연속해서 증착하여 상기 에노드전극(121a)으로부터 순차적으로 적층된 정공주입층(미도시), 정공수송층(미도시), 전자수송층(미도시) 및 전자주입층(미도시)을 형성한다. 이렇게 형성된 화이트 유기발광층(125; OLED)의 구조 및 두께는 모든 발광셀들에서 동일하다.At this time, although not shown in the drawing, the organic light emitting layer 125 is a hole injection layer material, a hole transport layer material, a white light emitting layer material, an electron transport layer material, an electron injection layer material by a deposition method, for example, a thermal evaporation method. Is sequentially deposited to form a hole injection layer (not shown), a hole transport layer (not shown), an electron transport layer (not shown), and an electron injection layer (not shown) sequentially stacked from the anode electrode 121a. The structure and thickness of the white organic light emitting layer 125 (OLED) thus formed are the same in all light emitting cells.

또한, 상기 유기발광층(125) 형성 이후에, 스퍼터링 방법으로 알루미늄(Al), 은(Ag) 또는 그 합금을 반투과가 가능한 얇은 두께로 전자주입층(미도시) 상에 증착하여 캐소드전극(127)을 형성함으로써, 기판(101) 상에 박막트랜지스터 어레이기판을 제조하는 공정을 완료한다.In addition, after the organic light emitting layer 125 is formed, aluminum (Al), silver (Ag), or an alloy thereof is deposited on an electron injection layer (not shown) by a thin thickness capable of transflecting by a sputtering method to form a cathode electrode 127. ), The process of manufacturing the thin film transistor array substrate on the substrate 101 is completed.

이어서, 도 4i에 도시된 바와 같이, 칼라필터기판(151) 상의 발광영역(미도시)들 사이에 블랙매트릭스(153)을 형성한 후, 상기 발광영역에 적색, 청색 및 녹색 컬러필터층(155)들을 형성하여, 컬러필터 어레이기판을 제조하는 공정을 완료한다.Subsequently, as shown in FIG. 4I, after forming the black matrix 153 between the light emitting regions (not shown) on the color filter substrate 151, the red, blue, and green color filter layers 155 are formed in the light emitting region. To form a color filter array substrate.

그 다음, 상기 컬러필터기판(151)과 상기 기판(101)의 외곽 지역을 실런(미도시)로 합착시킴으로써 본 발명에 따른 유기전계발광장치를 제조하는 공정을 완료한다. 이때, 상기 컬러필터기판(151)과 기판(101)의 합착시에, 상기 컬러필터 기판 (151) 상에 형성된 블랙매트릭스(153)가 상기 기판(101)의 뱅크패턴(123a) 상부에 위치하는 상기 캐소드전극(127) 부위와 접착하게 된다. Then, the color filter substrate 151 and the outer region of the substrate 101 are bonded to each other by a silan (not shown) to complete the process of manufacturing the organic light emitting display device according to the present invention. At this time, when the color filter substrate 151 and the substrate 101 are bonded together, a black matrix 153 formed on the color filter substrate 151 is positioned above the bank pattern 123a of the substrate 101. It is adhered to the portion of the cathode electrode 127.

상기한 바와 같이, 본 발명에 따른 유기전계 발광장치 및 그 제조방법에 따르면, 유기전계 발광소자 제조시 유기 발광층 증착 공정시에 마스크로 사용되는 메탈 트레이(metal tray)가 접촉되는 기판의 비발광부에 더미뱅크(dummy bank) 구조를 형성함으로써 기판의 백플랜(back plane)의 긁힘에 의한 배선들, 예를 들어 Vdd배선과 Vss배선 간의 쇼트(short)를 방지하여 패널의 수율을 향상시킬 수 있다. As described above, according to the organic light emitting device according to the present invention and a method of manufacturing the same, a non-light emitting portion of the substrate is in contact with the metal tray (metal tray) used as a mask during the organic light emitting layer deposition process when manufacturing the organic light emitting device By forming a dummy bank structure, the short circuit between the wirings, for example, the Vdd wiring and the Vss wiring due to the scratching of the back plane of the substrate may be prevented, thereby improving the yield of the panel.

또한, 본 발명에 따르면, 기판의 비발광부에 구비된 더미 뱅크패턴과 접촉되어 기판을 지지하는 메탈 트레이 상면에 뾰족한 형태의 접촉 돌기가 형성되거나, 또는 편평한 형태의 접촉 돌기가 이격되게 구비되어 있어, 더미 뱅크패턴과 접촉하는 표면적이 그만큼 감소하게 됨으로써, 기존과 같이 메탈 트레이가 기판과 접촉함으로 인해 발생하였던 문제, 예를 들어 Vdd 배선라인과 Vss 배선 간의 쇼트와 같은 문제가 발생하지 않게 된다.In addition, according to the present invention, a pointed contact projection is formed on the upper surface of the metal tray for contacting the dummy bank pattern provided in the non-light emitting portion of the substrate to support the substrate, or a flat contact projection is provided to be spaced apart. By reducing the surface area in contact with the dummy bank pattern, the problem caused by the metal tray contacting the substrate as in the past, such as a short between the Vdd wiring line and the Vss wiring, does not occur.

이상에서 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 상세하게 설명하였지만, 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 수 있을 것이다. While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments.

따라서, 본 발명의 권리 범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.Accordingly, the scope of the present invention is not limited thereto, and various modifications and improvements of those skilled in the art using the basic concept of the present invention as defined in the following claims also fall within the scope of the present invention.

101 : 제1 기판 103 : 게이트전극
105 : 게이트절연막 107a: 액티브패턴
109 : 버퍼층 111 : 제1 콘택홀
113a : 소스전극 113b : 드레인전극
113c : 데이터패드 115 : 패시베이션층
117 : 제2 콘택홀 121a : 애노드전극
123a : 뱅크패턴 123b : 더미 뱅크패턴
125 : 유기발광층 127 : 캐소드전극
131 : 메탈 트레인(metal tray) 131a : 개구부
151 : 제2 기판 153: 블랙매트릭스
155: 칼라필터층 160: 증착 장비
101: first substrate 103: gate electrode
105: gate insulating film 107a: active pattern
109: buffer layer 111: first contact hole
113a: source electrode 113b: drain electrode
113c: data pad 115: passivation layer
117: second contact hole 121a: anode electrode
123a: bank pattern 123b: dummy bank pattern
125: organic light emitting layer 127: cathode electrode
131 metal tray 131a opening
151: second substrate 153: black matrix
155: color filter layer 160: deposition equipment

Claims (8)

발광부와 비발광부가 정의된 제1 기판과 제2 기판;
상기 제1기판의 발광부에 형성되고 게이트전극과 액티브패턴, 소스전극 및 드레인전극으로 구성된 박막트랜지스터;
상기 박막트랜지스터를 포함한 제1 기판 전면에 형성되고, 상기 박막트랜지스터를 노출시키는 패시베이션층;
상기 패시베이션층 상부에 형성되고, 상기 박막트랜지스터와 전기적으로 접속된 애노드전극;
상기 애노드전극과 패시베이션층 상부에 형성되어 각 서브 픽셀을 독립적으로 분리시켜 주는 뱅크패턴;
상기 제1 기판의 비발광부에 위치하는 패시베이션층 상부에 형성된 더미 뱅크패턴;
상기 제1 기판의 발광부에 위치하는 상기 뱅크패턴, 애노드전극 및 패시베이션층 상부에 형성된 유기발광층;
상기 유기발광층 상부에 형성된 캐소드전극;
상기 제2 기판에 형성된 블랙매트릭스;
상기 블랙매트릭스 사이의 제2 기판상에 형성된 칼라필터층; 및
상기 제1 기판과 제2 기판을 합착시키는 씰패턴;을 포함하여 구성되는 유기전계발광소자.
A first substrate and a second substrate on which light emitting portions and non-light emitting portions are defined;
A thin film transistor formed on the light emitting part of the first substrate and composed of a gate electrode, an active pattern, a source electrode, and a drain electrode;
A passivation layer formed on an entire surface of the first substrate including the thin film transistor and exposing the thin film transistor;
An anode electrode formed on the passivation layer and electrically connected to the thin film transistor;
A bank pattern formed on the anode and the passivation layer to separate each sub-pixel independently;
A dummy bank pattern formed on the passivation layer positioned on the non-light emitting portion of the first substrate;
An organic light emitting layer formed on the bank pattern, the anode electrode, and the passivation layer on the light emitting part of the first substrate;
A cathode electrode formed on the organic light emitting layer;
A black matrix formed on the second substrate;
A color filter layer formed on a second substrate between the black matrices; And
And a seal pattern for bonding the first substrate and the second substrate together.
제1 항에 있어서, 상기 유기발광층 및 캐소드전극은 상기 더미 뱅크패턴이 구비된 비발광부를 제외한 나머지 발광부 지역에 형성되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자. The organic light emitting diode of claim 1, wherein the organic light emitting layer and the cathode are formed in the remaining light emitting area except for the non-light emitting part provided with the dummy bank pattern. 제1 항에 있어서, 상기 더미 뱅크패턴은 상기 발광부의 외곽에 위치하는 비발광부 지역에 상기 발광부의 외곽을 따라 형성된 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자. The organic light emitting diode of claim 1, wherein the dummy bank pattern is formed along an outer portion of the light emitting portion in a non-light emitting portion region positioned outside the light emitting portion. 발광부와 비발광부가 정의된 제1 기판과 제2 기판을 제공하는 단계;
상기 제1기판의 발광부에 게이트전극과 액티브패턴, 소스전극 및 드레인전극으로 구성된 박막트랜지스터를 형성하는 단계;
상기 박막트랜지스터를 포함한 제1 기판 전면에 상기 박막트랜지스터를 노출시키는 패시베이션층을 형성하는 단계;
상기 패시베이션층 상부에 상기 박막트랜지스터와 전기적으로 접속되는 애노드전극을 형성하는 단계;
상기 애노드전극과 패시베이션층 상부에 각 서브 픽셀을 독립적으로 분리시켜 주는 뱅크패턴과 함께, 상기 제1 기판의 비발광부에 위치하는 패시베이션층 상부에 더미 뱅크패턴을 형성하는 단계;
메탈 트레인 상부에 상기 제1 기판을 반전시킨 상태에서 상기 더미 뱅크패턴이 접촉되어 지지되도록 하는 단계;
상기 메탈 트레이를 마스크로, 상기 제1 기판의 발광부에 위치하는 상기 뱅크패턴, 애노드전극 및 패시베이션층 상부에 유기발광층을 형성하는 단계;
상기 유기발광층 상부에 캐소드전극을 형성하는 단계;
상기 제2 기판에 블랙매트릭스를 형성하는 단계;
상기 블랙매트릭스 사이의 제2 기판상에 칼라필터층을 형성하는 단계; 및
상기 제1 기판과 제2 기판을 합착시키는 씰패턴을 형성하는 단계;를 포함하여 구성되는 유기전계 발광소자 제조방법.
Providing a first substrate and a second substrate on which light emitting portions and non-light emitting portions are defined;
Forming a thin film transistor including a gate electrode, an active pattern, a source electrode, and a drain electrode in a light emitting portion of the first substrate;
Forming a passivation layer exposing the thin film transistor on the entire surface of the first substrate including the thin film transistor;
Forming an anode electrode on the passivation layer, the anode electrode being electrically connected to the thin film transistor;
Forming a dummy bank pattern on the passivation layer on the non-light emitting portion of the first substrate together with a bank pattern that separates each sub-pixel independently on the anode and the passivation layer;
Allowing the dummy bank pattern to be in contact with and supported on an upper portion of the metal train while inverting the first substrate;
Forming an organic light emitting layer on the bank pattern, the anode electrode, and the passivation layer on the light emitting part of the first substrate using the metal tray as a mask;
Forming a cathode on the organic light emitting layer;
Forming a black matrix on the second substrate;
Forming a color filter layer on a second substrate between the black matrices; And
Forming a seal pattern for bonding the first substrate and the second substrate; organic light emitting device comprising a.
제4 항에 있어서, 상기 유기발광층 및 캐소드전극은 상기 더미 뱅크패턴이 구비된 비발광부를 제외한 나머지 발광부 지역에 형성되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자 제조방법. The method of claim 4, wherein the organic light emitting layer and the cathode are formed in the remaining light emitting area except for the non-light emitting part provided with the dummy bank pattern. 제4 항에 있어서, 상기 더미 뱅크패턴은 상기 발광부의 외곽에 위치하는 상기 제1 기판의 비발광부 지역에 상기 발광부의 외곽을 따라 형성된 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자 제조방법.The method of claim 4, wherein the dummy bank pattern is formed along an outer portion of the light emitting portion in a non-light emitting portion area of the first substrate positioned outside the light emitting portion. 제4 항에 있어서, 상기 더미 뱅크패턴에 접촉하여 지지하는 상기 메탈 트레이에 뾰족한 접촉 돌기가 형성되거나 또는 편평한 접촉 돌기가 서로 이격되게 구비된 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자 제조방법. The method of claim 4, wherein a sharp contact protrusion or a flat contact protrusion is formed on the metal tray that is in contact with and supports the dummy bank pattern. 제4 항에 있어서, 상기 메탈 트레이는 연성이 있는 재료인 고온 및 내화학성의 테프론 재질, PI 계열의 내열 재료 또는 PVP 의 플라스틱 재료로 형성되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자 제조방법. The method of claim 4, wherein the metal tray is formed of a high temperature and chemically resistant Teflon material, a PI series heat resistant material, or a PVP plastic material.
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