[go: up one dir, main page]
More Web Proxy on the site http://driver.im/

KR20130031020A - 태양전지 - Google Patents

태양전지 Download PDF

Info

Publication number
KR20130031020A
KR20130031020A KR1020110094670A KR20110094670A KR20130031020A KR 20130031020 A KR20130031020 A KR 20130031020A KR 1020110094670 A KR1020110094670 A KR 1020110094670A KR 20110094670 A KR20110094670 A KR 20110094670A KR 20130031020 A KR20130031020 A KR 20130031020A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
layer
electrode
solar cell
thin film
film solar
Prior art date
Application number
KR1020110094670A
Other languages
English (en)
Inventor
정용덕
조대형
Original Assignee
한국전자통신연구원
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 한국전자통신연구원 filed Critical 한국전자통신연구원
Priority to KR1020110094670A priority Critical patent/KR20130031020A/ko
Publication of KR20130031020A publication Critical patent/KR20130031020A/ko

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/02Details
    • H01L31/0224Electrodes
    • H01L31/022408Electrodes for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier
    • H01L31/022425Electrodes for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier for solar cells
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/04Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices
    • H01L31/06Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices characterised by potential barriers
    • H01L31/072Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices characterised by potential barriers the potential barriers being only of the PN heterojunction type
    • H01L31/0749Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices characterised by potential barriers the potential barriers being only of the PN heterojunction type including a AIBIIICVI compound, e.g. CdS/CulnSe2 [CIS] heterojunction solar cells
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E10/00Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/50Photovoltaic [PV] energy
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E10/00Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/50Photovoltaic [PV] energy
    • Y02E10/541CuInSe2 material PV cells
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P70/00Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
    • Y02P70/50Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Sustainable Development (AREA)
  • Sustainable Energy (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Photovoltaic Devices (AREA)

Abstract

본 발명에 따른 태양전지는, 기판 상의 인장성 스트레인층과 압축성 스트레인층이 교차로 적층된 후면전극, 상기 후면전극 상의 광흡수층, 상기 광흡수층 상의 버퍼층 및 상기 버퍼층 상의 전면전극을 포함하는 것으로, 상기 후면전극의 구조로 제조공정에 있어서의 안정성을 향상시킬 수 있다.

Description

태양전지 {Solar Cell}
본 발명은 태양전지에 관한 것으로, 구체적으로는 CIGS 박막 태양전지에 관한 것이다.
박막 태양전지는 비정질 또는 결정질 실리콘 박막 태양전지, CIGS 박막 태양전지, CdTe 박막 태양전지 또는 염료감응 박막 태양전지일 수 있다.
CIGS 박막 태양전지는 다른 박막 태양전지에 비하여 높은 광흡수계수를 가지고 있기 때문에 다른 박막 태양전지에 비하여 얇은 두께로 제작이 되어도 많은 태양광을 흡수할 수 있다.
또한 상용 모듈 기준으로 일반적인 결정형 실리콘 박막 태양전지 또는 유리기판 박막 태양전지는 단위무게(kg) 당 약 10 W 의 에너지 밀도를 가지는 반면, 플렉서블 기판을 이용한 CIGS 박막 태양전지는 최고 80 W 이상의 에너지 밀도를 가질 수 있다.
CIGS 박막 태양전지의 흡수층은 다른 박막 태양전지의 흡수층과 비교하여 상당히 얇은 약 2 ㎛ 두께로 제작할 수 있고, 두께가 얇을수록 벤딩 안정성(bending stability)이 높은 박막 태양전지의 제조가 가능하다. 따라서 CIGS 박막 태양전지는 다른 박막 태양전지에 비하여 벤딩 안정성이 높은 박막 태양전지일 수 있다.
본 발명의 목적은 후면전극의 스트레인으로 인한 CIGS 박막 태양전지의 변형을 방지하는 것이다.
본 발명의 실시예에 따른 CIGS 박막 태양전지는 기판 상에 인장성 스트레인층과 압축성 스트레인층이 교차로 적층된 후면전극; 상기 후면전극 상의 광흡수층; 상기 광흡수층 상의 버퍼층; 상기 버퍼층 상의 전면전극을 포함한다.
일 실시예에 따르면, 공정압력 및 스퍼터링 파워, 층의 두께등의 공정조건을 활용하여 인장성 스트레인이나 압축성 스트레인이 나타나는 단일층을 만들 수 있다.
일 실시예에 따르면, 상기 후면전극은 스퍼터링법, 일례로, 통상의 직류 스퍼터링법을 사용할 수 있다.
일 실시예에 따르면, 상대적으로 높은 압력에서 형성된 단일층과 상대적으로 낮은 압력에서 형성된 단일층을 교차 적층한다.
일 실시예에 따르면, 상대적으로 높은 압력은 10 mTorr 이상 500 mTorr 이하의 값을 가질 수 있고, 상대적으로 낮은 압력은 0.1 mTorr 이상 10 mTorr 이하의 값을 가질 수 있다.
일 실시예에 따르면, 스퍼터링 파워는 10 W 이상 1000 W 이하의 값을 가질 수 있다.
일 실시예에 따르면, 단일층의 두께는 1 ㎚ 이상 1 ㎛ 이하의 값을 가실 수 있으며, 이들을 1회 교차 적층 또는 2회 이상 교차 적층한 최종 후면전극의 두께는 2 nm 이상 10 ㎛ 이하의 값을 가질 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 인장성 스트레인층과 압축성 스트레인층이 교차 적층된 후면전극을 사용하여, 상온뿐만 아니라 고온에서도 기판의 변형이 없는 박막 태양전지의 제조가 가능하다.
도 1은 본 발명의 실시예들에 따른 CIGS 박막 태양전지를 설명하기 위한 단면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 후면전극의 단면도이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 후면전극의 단면도이다.
이하에서는 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 다만, 본 발명의 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형이 될 수 있으므로 본 발명의 범위가 아래의 실시예로 한정되는 것은 아니다.
이는 당업계에서 보편적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다.
따라서, 도면 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있으며, 도면상의 동일한 부호로 표시되는 요소는 동일한 요소이다.
한편, 간략한 설명을 위해 아래에서는 본 발명의 기술적 사상이 적용될 수 있는 몇 가지 실시예들을 예시적으로 설명하고, 다양하게 변형 가능한 실시예들에 대한 설명은 생략한다.
하지만, 이 분야에 종사하는 통상의 지식을 가진 자는, 상술한 설명 및 예시될 실시예들에 기초하여, 본 발명의 기술적 사상을 다양한 경우들에 대하여 변형하여 적용할 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 실시예들에 따른 CIGS 박막 태양전지를 설명하기 위한 단면도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 CIGS 박막 태양전지(100)는 차례로 적층된 기판(110), 후면전극(120), CIGS 광흡수층(130), 버퍼층(140), 전면전극(150), 반사방지막(160) 및 그리드(gird)전극(170)을 포함한다.
상기 기판(110)은 소다회 유리(sodalime glass) 기판, 알루미나(Alumina)와 같은 세라믹 기판, 스테인리스 강(Stainless Steel), 구리 테이프(Cu tape) 등의 금속 기판 또는 고분자(poly) 필름 중 어느 하나로 형성될 수 있다.
상기 후면전극(120)은 비저항이 낮으며, 열팽창계수의 차이로 인하여 박리현상이 일어나지 않도록 기판(110)에 대한 접착성이 우수한 물질로 형성되는 것이 바람직하다. 일례로, 상기 후면전극(120)은 몰리브덴(Molybdenum, Mo)일 수 있다. 상기 몰리브덴(Mo)은 높은 전기전도도, 다른 층과의 오믹 접합(ohmic contact)특성 및 셀레늄(Se) 분위기 하에서의 고온 안정성을 가질 수 있다. 상기 후면전극(120)은 스퍼터링(sputtering)법, 일례로, 통상의 직류(direct current, DC) 스퍼터링법을 사용하여 형성될 수 있다.
상기 광흡수층(130)은 Ⅰ-Ⅲ-Ⅵ2족 화합물 반도체로 형성될 수 있다. 일례로, 상기 광흡수층은(130)은 CuInSe2, Cu(In,Ga)Se2, Cu(Al,In)Se2, Cu(Al,Ga)Se2, Cu(In,Ga)(S,Se)2, (Au,Ag,Cu)(In,Ga,Al)(S,Se)2 등의 캘코파이라이트(chalcopyrite)계 화합물 반도체일 수 있다. 이러한 화합물 반도체는 CIGS 박막으로 통칭될 수 있다. 바람직하게, 상기 광흡수층(130)은 약 1.2eV의 에너지 밴드갭을 가지는 CuInGaSe2로 형성될 수 있다.
상기 광흡수층(130)은 물리적인 방법 또는 화학적인 방법으로 형성할 수 있다. 일례로, 상기 물리적인 방법은 증발법(evaporation method) 또는 스퍼터링법(sputtering)과 셀렌화(selenization) 공정의 혼합법일 수 있고, 상기 화학적인 방법은 전기도금법(electroplating method)일 수 있다. 상기 광흡수층(130)은 구리(Cu), 인듐(In), 갈륨(Ga) 및 셀레늄(Se)의 금속원소를 출발물질로 하는 동시증발법(co-evaporation method)을 사용하여 형성할 수 있다.
상기 버퍼층(140)은 상기 광흡수층(130)과 상기 전면전극(150)간의 격자상수와 에너지 밴드갭의 차이가 크기 때문에 양호한 접합을 위하여 형성될 수 있다. 상기 버퍼층(140)의 에너지 밴드갭은 상기 광흡수층(130)과 상기 전면전극(150)의 중간에 위치하는 것이 바람직하다. 상기 버퍼층(140)은 화학적증착법(Chemical Bath Deposition, CBD)을 사용하여 황화카드뮴(CdS) 층으로 형성될 수 있다. 상기 황화카드뮴 (CdS)층은 약 500Å두께로 형성할 수 있다. 상기 황화카드뮴(CdS)층은 2.46 eV의 에너지 밴드갭을 가지며, 이는 약 550 nm의 파장에 해당한다. 상기 황화카드뮴(CdS)층은 n형 반도체로서, 낮은 저항값을 얻기 위하여 인듐(In), 갈륨(Ga) 및 알루미늄(Al) 등을 도핑(doping) 할 수 있다.
상기 전면전극(150)은 광투과율이 높고 전기전도성이 양호한 투명전극일 수 있다. 일례로, 상기 전면전극(150)은 아연 산화층(Zinc Oxide, ZnO)으로 이루어질 수 있다. 상기 아연 산화층은(ZnO)은 약 3.3eV의 에너지 밴드갭을 가지며, 약 80% 이상의 높은 광투과율을 가질 수 있다. 상기 아연 산화층은 ZnO타겟을 사용한 RF(Radio frequency)스퍼터링법, 반응성 스퍼터링법 또는 금속유기화학증착(metal organic chemical vapor deposition)법 등으로 형성할 수 있다. 상기 아연 산화층은 낮은 저항값을 갖도록 알루미늄(Al) 또는 붕소(B) 등을 도핑할 수 있다. 이와 다르게, 상기 전면전극(150)은 전기광학적 특성이 뛰어난 ITO(Indium Tin Oxide)층이 적층되어 형성될 수 있다. 상기 전면전극(150)은 도핑 되지 않은 i형의 아연 산화층 위에 낮은 저항을 가진 n형의 아연 산화층이 적층되어 형성될 수 있다. 상기 ITO층은 통상의 스퍼터링법을 사용하여 형성할 수 있다. 상기 전면전극(150)은 N형 반도체로서 P형 반도체인 상기 광흡수층(130)과 PN접합을 형성한다.
상기 전면전극(150) 상의 일 영역에 반사방지막(160)을 형성할 수 있다. 상기 반사방지막(160)은 상기 박막 태양전지(100)에 입사되는 태양광의 반사손실을 감소시킬 수 있다. 상기 반사방지막(160)에 의하여 상기 박막 태양전지(100)의 효율이 향상될 수 있다. 일례로, 상기 반사방지막(160)은 플루오린화마그네슘(MgF2)으로 형성될 수 있다. 상기 플루오린화마그네슘(MgF2)막은 전자빔증발(E-beam evaporation)법을 사용하여 형성할 수 있다.
상기 반사방지막(160)의 일측의 상기 전면전극(150) 상에 그리드 전극(170)을 형성한다. 상기 그리드 전극(170)은 상기 박막 태양전지(100) 표면에서의 전류를 수집하기 위한 것이다. 상기 그리드 전극(170)은 알루미늄(Al) 또는 니켈(Ni)/알루미늄(Al) 등의 금속으로 형성될 수 있다. 상기 그리드 전극(170)은 스퍼터링법을 사용하여 형성할 수 있다. 상기 그리드 전극(170)이 차지하는 부분은 태양광이 입사되지 않기 때문에 그 부분을 최소화할 필요가 있다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 후면전극의 단면도이다.
기판과의 접착성 향상을 위해 스퍼터링 공정 시 상대적으로 높은 압력에서 형성된 제 1 전극층(120-1)과 우수한 전기적 특성을 갖도록 상대적으로 낮은 압력에서 형성된 제 2 전극층(120-2)을 적층하여 후면 전극을 형성할 수 있다. 제 1 전극층(120-1)과 제 2 전극층(120-2)는 공정압력, 스퍼터링 파워, 층의 두께 등의 공정조건을 이용하여 각각 인장성 스트레인(tensile strain)과 압축성 스트레인(compressive strain)을 가지게 형성할 수 있다.
제 1 전극층(120-1)과 제 2 전극층(120-2)의 적층에 의해서 후면전극을 형성할 수 있다. 후면전극의 스트레인이 서로 상쇄되어 고분자와 같이 기계적 성질이 우수하지 않은 기판에서도 기판의 변형이 일어나지 않을 수 있다.
공정 압력은 제 1 전극층(120-1)의 경우에는 10 mTorr 이상 500 mTorr 이하의 값을 가질 수 있고, 제 2 전극층(120-2)의 경우에는 0.1 mTorr 이상 10 mTorr 이하의 값을 가질 수 있다. 스퍼터링 파워는 10 W 이상 1000 W 이하의 값을 가질 수 있다. 제 1 전극층(120-1) 및 제 2 전극층(120-2)의 단일층의 두께는 1 nm 이상 1 ㎛ 이하의 값을 가질 수 있다.
상술한 것과 반대로 제 1 전극층(120-1)이 상대적으로 낮은 압력에서, 제 2 전극층(120-2)이 상대적으로 높은 압력에서 형성이 될 수도 있다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 후면전극의 단면도이다.
제 1 전극층(120-1) 및 제 2 전극층(120-2)은 2회 이상 교차 적층될 수 있다. 최종 후면전극의 두께는 2 nm 이상 10 ㎛ 이하의 값을 가질 수 있다. 후면전극의 스트레인이 서로 상쇄되어 고분자와 같이 기계적 성질이 우수하지 않은 기판에서도 기판의 변형이 일어나지 않을 수 있다.
100: CIGS 박막 태양전지
110: 기판
120: 후면전극
120-1: 후면전극의 제 1 전극층
120-2: 후면전극의 제 2 전극층
130: 광흡수층 140: 버퍼층
150: 전면전극 160: 반사방지막
170: 그리드전극

Claims (1)

  1. 기판 상에 인장성 스트레인층과 압축성 스트레인층이 교차로 적층된 후면전극;
    상기 후면전극 상의 광흡수층;
    상기 광흡수층 상의 버퍼층; 및
    상기 버퍼층 상의 전면전극을 포함하는 태양전지.
KR1020110094670A 2011-09-20 2011-09-20 태양전지 KR20130031020A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110094670A KR20130031020A (ko) 2011-09-20 2011-09-20 태양전지

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110094670A KR20130031020A (ko) 2011-09-20 2011-09-20 태양전지

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20130031020A true KR20130031020A (ko) 2013-03-28

Family

ID=48180400

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020110094670A KR20130031020A (ko) 2011-09-20 2011-09-20 태양전지

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20130031020A (ko)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112786723A (zh) * 2021-01-27 2021-05-11 重庆神华薄膜太阳能科技有限公司 柔性薄膜太阳能电池组件及其制备方法
CN113013340A (zh) * 2021-03-03 2021-06-22 北京交通大学 一种异质结太阳能电池及其制造方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112786723A (zh) * 2021-01-27 2021-05-11 重庆神华薄膜太阳能科技有限公司 柔性薄膜太阳能电池组件及其制备方法
CN113013340A (zh) * 2021-03-03 2021-06-22 北京交通大学 一种异质结太阳能电池及其制造方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101154786B1 (ko) 태양전지 및 이의 제조방법
KR20100109307A (ko) 태양전지 및 이의 제조방법
KR20100109321A (ko) 태양전지 및 이의 제조방법
KR101219835B1 (ko) 태양전지 및 이의 제조방법
KR101428146B1 (ko) 태양전지 모듈 및 이의 제조방법
KR101283183B1 (ko) 태양전지 및 이의 제조방법
KR101081270B1 (ko) 태양전지 및 이의 제조방법
KR101241708B1 (ko) 태양광 발전장치 및 이의 제조방법
KR101154696B1 (ko) 태양전지 및 이의 제조방법
KR101474487B1 (ko) 박막형 태양전지 및 그 제조방법
KR101218503B1 (ko) 얇은 알루미늄 박막을 이용한 태양전지 모듈 제조방법
KR20130031020A (ko) 태양전지
KR101283240B1 (ko) 태양전지 및 이의 제조방법
CN102856421A (zh) 一种新型三结薄膜太阳能电池及其生产方法
KR101091319B1 (ko) 태양전지 및 이의 제조방법
KR20100136585A (ko) 태양전지 및 이의 제조방법
KR20150094944A (ko) 그래핀을 후면전극으로 적용한 cigs계 태양전지의 연결전극 형성방법
KR101846337B1 (ko) 태양전지 및 이의 제조방법
KR101419805B1 (ko) 박막형 태양전지용 후면 전극 및 이를 포함하는 박막형 태양전지
KR101283174B1 (ko) 태양전지 및 이의 제조방법
KR101305603B1 (ko) 태양전지 및 이의 제조방법
KR101814814B1 (ko) 태양전지 및 이의 제조방법
KR20110001820A (ko) 태양전지 및 이의 제조방법
KR101382943B1 (ko) 태양전지 및 이의 제조방법
KR101349417B1 (ko) 태양전지 및 이의 제조방법

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E601 Decision to refuse application