KR20120092508A - Light-emitting device and manufacturing method thereof, lighting device, and display device - Google Patents
Light-emitting device and manufacturing method thereof, lighting device, and display device Download PDFInfo
- Publication number
- KR20120092508A KR20120092508A KR1020120011401A KR20120011401A KR20120092508A KR 20120092508 A KR20120092508 A KR 20120092508A KR 1020120011401 A KR1020120011401 A KR 1020120011401A KR 20120011401 A KR20120011401 A KR 20120011401A KR 20120092508 A KR20120092508 A KR 20120092508A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- layer
- light emitting
- electrode layer
- emitting device
- wiring
- Prior art date
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title abstract description 22
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 126
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 50
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 claims description 38
- 238000009413 insulation Methods 0.000 claims 3
- 238000000926 separation method Methods 0.000 abstract description 112
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 111
- 238000005192 partition Methods 0.000 abstract description 17
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 678
- 239000010408 film Substances 0.000 description 92
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 77
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 77
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 40
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 33
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 30
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 29
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 29
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 26
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 26
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 24
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 23
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 22
- CUJRVFIICFDLGR-UHFFFAOYSA-N acetylacetonate Chemical compound CC(=O)[CH-]C(C)=O CUJRVFIICFDLGR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 16
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 15
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 15
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 14
- 239000002585 base Substances 0.000 description 13
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 13
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 12
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N phthalocyanine Chemical class N1C(N=C2C3=CC=CC=C3C(N=C3C4=CC=CC=C4C(=N4)N3)=N2)=C(C=CC=C2)C2=C1N=C1C2=CC=CC=C2C4=N1 IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 11
- 238000004768 lowest unoccupied molecular orbital Methods 0.000 description 11
- 238000004020 luminiscence type Methods 0.000 description 11
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 description 11
- 239000007983 Tris buffer Substances 0.000 description 10
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 10
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 10
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 9
- 239000000872 buffer Substances 0.000 description 9
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 9
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 9
- 230000008569 process Effects 0.000 description 9
- 150000004696 coordination complex Chemical class 0.000 description 8
- MILUBEOXRNEUHS-UHFFFAOYSA-N iridium(3+) Chemical compound [Ir+3] MILUBEOXRNEUHS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 8
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 8
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 8
- AZFHXIBNMPIGOD-UHFFFAOYSA-N 4-hydroxypent-3-en-2-one iridium Chemical compound [Ir].CC(O)=CC(C)=O.CC(O)=CC(C)=O.CC(O)=CC(C)=O AZFHXIBNMPIGOD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 7
- 150000004820 halides Chemical class 0.000 description 7
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 7
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 description 7
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N Benzene Chemical compound C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 241001649081 Dina Species 0.000 description 6
- 229910000737 Duralumin Inorganic materials 0.000 description 6
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 6
- 150000004649 carbonic acid derivatives Chemical class 0.000 description 6
- 150000002910 rare earth metals Chemical class 0.000 description 6
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 6
- 206010034972 Photosensitivity reaction Diseases 0.000 description 5
- MWPLVEDNUUSJAV-UHFFFAOYSA-N anthracene Natural products C1=CC=CC2=CC3=CC=CC=C3C=C21 MWPLVEDNUUSJAV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 5
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 5
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 5
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 5
- POILWHVDKZOXJZ-ARJAWSKDSA-M (z)-4-oxopent-2-en-2-olate Chemical compound C\C([O-])=C\C(C)=O POILWHVDKZOXJZ-ARJAWSKDSA-M 0.000 description 4
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- DGEZNRSVGBDHLK-UHFFFAOYSA-N [1,10]phenanthroline Chemical compound C1=CN=C2C3=NC=CC=C3C=CC2=C1 DGEZNRSVGBDHLK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 description 4
- 229910052784 alkaline earth metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 150000001342 alkaline earth metals Chemical class 0.000 description 4
- 150000001491 aromatic compounds Chemical class 0.000 description 4
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 4
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 4
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 4
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 4
- XCJYREBRNVKWGJ-UHFFFAOYSA-N copper(II) phthalocyanine Chemical compound [Cu+2].C12=CC=CC=C2C(N=C2[N-]C(C3=CC=CC=C32)=N2)=NC1=NC([C]1C=CC=CC1=1)=NC=1N=C1[C]3C=CC=CC3=C2[N-]1 XCJYREBRNVKWGJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 4
- 238000011161 development Methods 0.000 description 4
- ZUOUZKKEUPVFJK-UHFFFAOYSA-N diphenyl Chemical compound C1=CC=CC=C1C1=CC=CC=C1 ZUOUZKKEUPVFJK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 4
- 230000006870 function Effects 0.000 description 4
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 4
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 4
- FUJCRWPEOMXPAD-UHFFFAOYSA-N lithium oxide Chemical compound [Li+].[Li+].[O-2] FUJCRWPEOMXPAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910001947 lithium oxide Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 4
- 230000036211 photosensitivity Effects 0.000 description 4
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229920003227 poly(N-vinyl carbazole) Polymers 0.000 description 4
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 4
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 4
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 4
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 4
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 4
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 4
- IYZMXHQDXZKNCY-UHFFFAOYSA-N 1-n,1-n-diphenyl-4-n,4-n-bis[4-(n-phenylanilino)phenyl]benzene-1,4-diamine Chemical compound C1=CC=CC=C1N(C=1C=CC(=CC=1)N(C=1C=CC(=CC=1)N(C=1C=CC=CC=1)C=1C=CC=CC=1)C=1C=CC(=CC=1)N(C=1C=CC=CC=1)C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 IYZMXHQDXZKNCY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ZVFQEOPUXVPSLB-UHFFFAOYSA-N 3-(4-tert-butylphenyl)-4-phenyl-5-(4-phenylphenyl)-1,2,4-triazole Chemical compound C1=CC(C(C)(C)C)=CC=C1C(N1C=2C=CC=CC=2)=NN=C1C1=CC=C(C=2C=CC=CC=2)C=C1 ZVFQEOPUXVPSLB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 3
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 3
- 229910001316 Ag alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YNPNZTXNASCQKK-UHFFFAOYSA-N Phenanthrene Natural products C1=CC=C2C3=CC=CC=C3C=CC2=C1 YNPNZTXNASCQKK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 125000005595 acetylacetonate group Chemical group 0.000 description 3
- 150000001339 alkali metal compounds Chemical class 0.000 description 3
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 description 3
- 239000004305 biphenyl Substances 0.000 description 3
- FJDQFPXHSGXQBY-UHFFFAOYSA-L caesium carbonate Chemical compound [Cs+].[Cs+].[O-]C([O-])=O FJDQFPXHSGXQBY-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 3
- 229910000024 caesium carbonate Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 3
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 3
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 3
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 3
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000003446 ligand Substances 0.000 description 3
- XGZVUEUWXADBQD-UHFFFAOYSA-L lithium carbonate Chemical compound [Li+].[Li+].[O-]C([O-])=O XGZVUEUWXADBQD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 3
- 229910052808 lithium carbonate Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 3
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 3
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 3
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 3
- 229910000476 molybdenum oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 3
- QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N nitrogen group Chemical group [N] QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- PQQKPALAQIIWST-UHFFFAOYSA-N oxomolybdenum Chemical compound [Mo]=O PQQKPALAQIIWST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 3
- 125000002080 perylenyl group Chemical group C1(=CC=C2C=CC=C3C4=CC=CC5=CC=CC(C1=C23)=C45)* 0.000 description 3
- 229920006122 polyamide resin Polymers 0.000 description 3
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 3
- YYMBJDOZVAITBP-UHFFFAOYSA-N rubrene Chemical compound C1=CC=CC=C1C(C1=C(C=2C=CC=CC=2)C2=CC=CC=C2C(C=2C=CC=CC=2)=C11)=C(C=CC=C2)C2=C1C1=CC=CC=C1 YYMBJDOZVAITBP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 3
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 3
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 3
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 3
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 3
- YQDSXDPQYUXRDP-UHFFFAOYSA-N 1,3,5-triphenylpyrazole Chemical compound C=1C(C=2C=CC=CC=2)=NN(C=2C=CC=CC=2)C=1C1=CC=CC=C1 YQDSXDPQYUXRDP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SPDPTFAJSFKAMT-UHFFFAOYSA-N 1-n-[4-[4-(n-[4-(3-methyl-n-(3-methylphenyl)anilino)phenyl]anilino)phenyl]phenyl]-4-n,4-n-bis(3-methylphenyl)-1-n-phenylbenzene-1,4-diamine Chemical compound CC1=CC=CC(N(C=2C=CC(=CC=2)N(C=2C=CC=CC=2)C=2C=CC(=CC=2)C=2C=CC(=CC=2)N(C=2C=CC=CC=2)C=2C=CC(=CC=2)N(C=2C=C(C)C=CC=2)C=2C=C(C)C=CC=2)C=2C=C(C)C=CC=2)=C1 SPDPTFAJSFKAMT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OBAJPWYDYFEBTF-UHFFFAOYSA-N 2-tert-butyl-9,10-dinaphthalen-2-ylanthracene Chemical compound C1=CC=CC2=CC(C3=C4C=CC=CC4=C(C=4C=C5C=CC=CC5=CC=4)C4=CC=C(C=C43)C(C)(C)C)=CC=C21 OBAJPWYDYFEBTF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DHDHJYNTEFLIHY-UHFFFAOYSA-N 4,7-diphenyl-1,10-phenanthroline Chemical compound C1=CC=CC=C1C1=CC=NC2=C1C=CC1=C(C=3C=CC=CC=3)C=CN=C21 DHDHJYNTEFLIHY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052779 Neodymium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920001609 Poly(3,4-ethylenedioxythiophene) Polymers 0.000 description 2
- 239000004695 Polyether sulfone Substances 0.000 description 2
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 2
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WGLPBDUCMAPZCE-UHFFFAOYSA-N Trioxochromium Chemical compound O=[Cr](=O)=O WGLPBDUCMAPZCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PTFCDOFLOPIGGS-UHFFFAOYSA-N Zinc dication Chemical compound [Zn+2] PTFCDOFLOPIGGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XHCLAFWTIXFWPH-UHFFFAOYSA-N [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[V+5].[V+5] Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[V+5].[V+5] XHCLAFWTIXFWPH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- AZWHFTKIBIQKCA-UHFFFAOYSA-N [Sn+2]=O.[O-2].[In+3] Chemical compound [Sn+2]=O.[O-2].[In+3] AZWHFTKIBIQKCA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 125000005605 benzo group Chemical group 0.000 description 2
- GQVWHWAWLPCBHB-UHFFFAOYSA-L beryllium;benzo[h]quinolin-10-olate Chemical compound [Be+2].C1=CC=NC2=C3C([O-])=CC=CC3=CC=C21.C1=CC=NC2=C3C([O-])=CC=CC3=CC=C21 GQVWHWAWLPCBHB-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 230000008033 biological extinction Effects 0.000 description 2
- 235000010290 biphenyl Nutrition 0.000 description 2
- XJHCXCQVJFPJIK-UHFFFAOYSA-M caesium fluoride Chemical compound [F-].[Cs+] XJHCXCQVJFPJIK-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 150000001716 carbazoles Chemical class 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 229910000423 chromium oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005352 clarification Methods 0.000 description 2
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 2
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 2
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VPUGDVKSAQVFFS-UHFFFAOYSA-N coronene Chemical compound C1=C(C2=C34)C=CC3=CC=C(C=C3)C4=C4C3=CC=C(C=C3)C4=C2C3=C1 VPUGDVKSAQVFFS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KZPXREABEBSAQM-UHFFFAOYSA-N cyclopenta-1,3-diene;nickel(2+) Chemical compound [Ni+2].C=1C=C[CH-]C=1.C=1C=C[CH-]C=1 KZPXREABEBSAQM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 239000000412 dendrimer Substances 0.000 description 2
- 229920000736 dendritic polymer Polymers 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 2
- 239000007850 fluorescent dye Substances 0.000 description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 2
- AMWRITDGCCNYAT-UHFFFAOYSA-L hydroxy(oxo)manganese;manganese Chemical compound [Mn].O[Mn]=O.O[Mn]=O AMWRITDGCCNYAT-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 2
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 2
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 description 2
- GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N iridium atom Chemical compound [Ir] GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PQXKHYXIUOZZFA-UHFFFAOYSA-M lithium fluoride Chemical compound [Li+].[F-] PQXKHYXIUOZZFA-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 2
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N magnesium oxide Inorganic materials [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 description 2
- AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N magnesium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Mg+2] AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YTVNOVQHSGMMOV-UHFFFAOYSA-N naphthalenetetracarboxylic dianhydride Chemical compound C1=CC(C(=O)OC2=O)=C3C2=CC=C2C(=O)OC(=O)C1=C32 YTVNOVQHSGMMOV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QEFYFXOXNSNQGX-UHFFFAOYSA-N neodymium atom Chemical compound [Nd] QEFYFXOXNSNQGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 2
- QGLKJKCYBOYXKC-UHFFFAOYSA-N nonaoxidotritungsten Chemical compound O=[W]1(=O)O[W](=O)(=O)O[W](=O)(=O)O1 QGLKJKCYBOYXKC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007645 offset printing Methods 0.000 description 2
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 2
- DYIZHKNUQPHNJY-UHFFFAOYSA-N oxorhenium Chemical compound [Re]=O DYIZHKNUQPHNJY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);tantalum(5+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ta+5].[Ta+5] BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YRZZLAGRKZIJJI-UHFFFAOYSA-N oxyvanadium phthalocyanine Chemical compound [V+2]=O.C12=CC=CC=C2C(N=C2[N-]C(C3=CC=CC=C32)=N2)=NC1=NC([C]1C=CC=CC1=1)=NC=1N=C1[C]3C=CC=CC3=C2[N-]1 YRZZLAGRKZIJJI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 2
- 125000000951 phenoxy group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(O*)C([H])=C1[H] 0.000 description 2
- CLYVDMAATCIVBF-UHFFFAOYSA-N pigment red 224 Chemical compound C=12C3=CC=C(C(OC4=O)=O)C2=C4C=CC=1C1=CC=C2C(=O)OC(=O)C4=CC=C3C1=C42 CLYVDMAATCIVBF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920000553 poly(phenylenevinylene) Polymers 0.000 description 2
- 229920000172 poly(styrenesulfonic acid) Polymers 0.000 description 2
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 2
- 229920006393 polyether sulfone Polymers 0.000 description 2
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 2
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 2
- LYKXFSYCKWNWEZ-UHFFFAOYSA-N pyrazino[2,3-f][1,10]phenanthroline-2,3-dicarbonitrile Chemical compound N1=CC=CC2=C(N=C(C(C#N)=N3)C#N)C3=C(C=CC=N3)C3=C21 LYKXFSYCKWNWEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000002909 rare earth metal compounds Chemical class 0.000 description 2
- 229910003449 rhenium oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 2
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- NDVLTYZPCACLMA-UHFFFAOYSA-N silver oxide Chemical compound [O-2].[Ag+].[Ag+] NDVLTYZPCACLMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910001936 tantalum oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910001930 tungsten oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910001935 vanadium oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 2
- IWZZBBJTIUYDPZ-DVACKJPTSA-N (z)-4-hydroxypent-3-en-2-one;iridium;2-phenylpyridine Chemical compound [Ir].C\C(O)=C\C(C)=O.[C-]1=CC=CC=C1C1=CC=CC=N1.[C-]1=CC=CC=C1C1=CC=CC=N1 IWZZBBJTIUYDPZ-DVACKJPTSA-N 0.000 description 1
- LUSXQHSDEKGPPK-UHFFFAOYSA-N 1,1,2,2-tetramethylpentasilolane Chemical compound C[Si]1([SiH2][SiH2][SiH2][Si]1(C)C)C LUSXQHSDEKGPPK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PJPWHAXWJUGWMD-UHFFFAOYSA-N 1,2,3,4,5,6,7,8,9,10-decamethylanthracene Chemical compound CC1=C(C)C(C)=C(C)C2=C(C)C3=C(C)C(C)=C(C)C(C)=C3C(C)=C21 PJPWHAXWJUGWMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RPQOZSKWYNULKS-UHFFFAOYSA-N 1,2-dicarbamoylperylene-3,4-dicarboxylic acid Chemical compound C1=C(C(O)=O)C2=C(C(O)=O)C(C(=N)O)=C(C(O)=N)C(C=3C4=C5C=CC=C4C=CC=3)=C2C5=C1 RPQOZSKWYNULKS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UHXOHPVVEHBKKT-UHFFFAOYSA-N 1-(2,2-diphenylethenyl)-4-[4-(2,2-diphenylethenyl)phenyl]benzene Chemical compound C=1C=C(C=2C=CC(C=C(C=3C=CC=CC=3)C=3C=CC=CC=3)=CC=2)C=CC=1C=C(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 UHXOHPVVEHBKKT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PWMWNFMRSKOCEY-UHFFFAOYSA-N 1-Phenyl-1,2-ethanediol Chemical compound OCC(O)C1=CC=CC=C1 PWMWNFMRSKOCEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KMQPLEYEXDZOJF-UHFFFAOYSA-N 1-naphthalen-2-ylanthracene Chemical compound C1=CC=C2C=C3C(C4=CC5=CC=CC=C5C=C4)=CC=CC3=CC2=C1 KMQPLEYEXDZOJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UEOAGZIXGMZWLY-UHFFFAOYSA-N 1-phenylchrysene Chemical compound C1=CC=CC=C1C1=CC=CC2=C1C=CC1=C(C=CC=C3)C3=CC=C21 UEOAGZIXGMZWLY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LPCWDYWZIWDTCV-UHFFFAOYSA-N 1-phenylisoquinoline Chemical compound C1=CC=CC=C1C1=NC=CC2=CC=CC=C12 LPCWDYWZIWDTCV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HYZJCKYKOHLVJF-UHFFFAOYSA-N 1H-benzimidazole Chemical compound C1=CC=C2NC=NC2=C1 HYZJCKYKOHLVJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UVAMFBJPMUMURT-UHFFFAOYSA-N 2,3,4,5,6-pentafluorobenzenethiol Chemical compound FC1=C(F)C(F)=C(S)C(F)=C1F UVAMFBJPMUMURT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OOWLPGTVRWFLCX-UHFFFAOYSA-N 2,3,6,7-tetramethyl-9,10-dinaphthalen-1-ylanthracene Chemical compound C1=CC=C2C(C=3C4=CC(C)=C(C)C=C4C(C=4C5=CC=CC=C5C=CC=4)=C4C=C(C(=CC4=3)C)C)=CC=CC2=C1 OOWLPGTVRWFLCX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JEBPFDQAOYARIB-UHFFFAOYSA-N 2,3,6,7-tetramethyl-9,10-dinaphthalen-2-ylanthracene Chemical compound C1=CC=CC2=CC(C=3C4=CC(C)=C(C)C=C4C(C=4C=C5C=CC=CC5=CC=4)=C4C=C(C(=CC4=3)C)C)=CC=C21 JEBPFDQAOYARIB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NTOCEJPHYKUUAZ-UHFFFAOYSA-N 2,3-bis(4-fluorophenyl)pyrido[2,3-b]pyrazine Chemical compound C1=CC(F)=CC=C1C1=NC2=CC=CN=C2N=C1C1=CC=C(F)C=C1 NTOCEJPHYKUUAZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VMAUSAPAESMXAB-UHFFFAOYSA-N 2,3-bis(4-fluorophenyl)quinoxaline Chemical compound C1=CC(F)=CC=C1C1=NC2=CC=CC=C2N=C1C1=CC=C(F)C=C1 VMAUSAPAESMXAB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RBAXWBRRSJYIIW-UHFFFAOYSA-N 2,3-diphenylpyrido[2,3-b]pyrazine Chemical compound C1=CC=CC=C1C1=NC2=CC=CN=C2N=C1C1=CC=CC=C1 RBAXWBRRSJYIIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BFTIPCRZWILUIY-UHFFFAOYSA-N 2,5,8,11-tetratert-butylperylene Chemical group CC(C)(C)C1=CC(C2=CC(C(C)(C)C)=CC=3C2=C2C=C(C=3)C(C)(C)C)=C3C2=CC(C(C)(C)C)=CC3=C1 BFTIPCRZWILUIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- STTGYIUESPWXOW-UHFFFAOYSA-N 2,9-dimethyl-4,7-diphenyl-1,10-phenanthroline Chemical compound C=12C=CC3=C(C=4C=CC=CC=4)C=C(C)N=C3C2=NC(C)=CC=1C1=CC=CC=C1 STTGYIUESPWXOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UOCMXZLNHQBBOS-UHFFFAOYSA-N 2-(1,3-benzoxazol-2-yl)phenol zinc Chemical compound [Zn].Oc1ccccc1-c1nc2ccccc2o1.Oc1ccccc1-c1nc2ccccc2o1 UOCMXZLNHQBBOS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FQJQNLKWTRGIEB-UHFFFAOYSA-N 2-(4-tert-butylphenyl)-5-[3-[5-(4-tert-butylphenyl)-1,3,4-oxadiazol-2-yl]phenyl]-1,3,4-oxadiazole Chemical compound C1=CC(C(C)(C)C)=CC=C1C1=NN=C(C=2C=C(C=CC=2)C=2OC(=NN=2)C=2C=CC(=CC=2)C(C)(C)C)O1 FQJQNLKWTRGIEB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GEQBRULPNIVQPP-UHFFFAOYSA-N 2-[3,5-bis(1-phenylbenzimidazol-2-yl)phenyl]-1-phenylbenzimidazole Chemical compound C1=CC=CC=C1N1C2=CC=CC=C2N=C1C1=CC(C=2N(C3=CC=CC=C3N=2)C=2C=CC=CC=2)=CC(C=2N(C3=CC=CC=C3N=2)C=2C=CC=CC=2)=C1 GEQBRULPNIVQPP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IXHWGNYCZPISET-UHFFFAOYSA-N 2-[4-(dicyanomethylidene)-2,3,5,6-tetrafluorocyclohexa-2,5-dien-1-ylidene]propanedinitrile Chemical compound FC1=C(F)C(=C(C#N)C#N)C(F)=C(F)C1=C(C#N)C#N IXHWGNYCZPISET-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- POXIZPBFFUKMEQ-UHFFFAOYSA-N 2-cyanoethenylideneazanide Chemical group [N-]=C=[C+]C#N POXIZPBFFUKMEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BWLBGMIXKSTLSX-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxyisobutyric acid Chemical compound CC(C)(O)C(O)=O BWLBGMIXKSTLSX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VQGHOUODWALEFC-UHFFFAOYSA-N 2-phenylpyridine Chemical compound C1=CC=CC=C1C1=CC=CC=N1 VQGHOUODWALEFC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IBHNCJLKIQIKFU-UHFFFAOYSA-N 2-tert-butyl-9,10-bis(2-naphthalen-1-ylphenyl)anthracene Chemical compound C1=CC=C2C(C3=CC=CC=C3C3=C4C=CC=CC4=C(C=4C(=CC=CC=4)C=4C5=CC=CC=C5C=CC=4)C4=CC=C(C=C43)C(C)(C)C)=CC=CC2=C1 IBHNCJLKIQIKFU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ONMVVYFKZFORGI-UHFFFAOYSA-N 2-tert-butyl-9,10-dinaphthalen-1-ylanthracene Chemical compound C1=CC=C2C(C3=C4C=CC=CC4=C(C=4C5=CC=CC=C5C=CC=4)C4=CC=C(C=C43)C(C)(C)C)=CC=CC2=C1 ONMVVYFKZFORGI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NTPUJKFQZQKJJC-UHFFFAOYSA-N 23-(4-methylphenyl)heptacyclo[12.10.1.13,7.02,12.018,25.019,24.011,26]hexacosa-1(25),2(12),3,5,7,9,11(26),13,15,17,19(24),20,22-tridecaene-9,21-diamine Chemical compound CC1=CC=C(C=C1)C1=CC(=CC=2C=3C=CC=C4C=C5C(=C(C1=2)C4=3)C=1C=CC=C2C=C(C=C5C=12)N)N NTPUJKFQZQKJJC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AFTDKNQVMVCWFV-UHFFFAOYSA-N 3,3-diphenyl-2H-anthracene Chemical compound C1(=CC=CC=C1)C1(CC=C2C=C3C=CC=CC3=CC2=C1)C1=CC=CC=C1 AFTDKNQVMVCWFV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GSOFREOFMHUMMZ-UHFFFAOYSA-N 3,4-dicarbamoylnaphthalene-1,2-dicarboxylic acid Chemical compound C1=CC=CC2=C(C(O)=N)C(C(=N)O)=C(C(O)=O)C(C(O)=O)=C21 GSOFREOFMHUMMZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GRTDQSRHHHDWSQ-UHFFFAOYSA-N 3,6-diphenyl-9-[4-(10-phenylanthracen-9-yl)phenyl]carbazole Chemical compound C1=CC=CC=C1C1=CC=C(N(C=2C=CC(=CC=2)C=2C3=CC=CC=C3C(C=3C=CC=CC=3)=C3C=CC=CC3=2)C=2C3=CC(=CC=2)C=2C=CC=CC=2)C3=C1 GRTDQSRHHHDWSQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KIYZNTXHGDXHQH-UHFFFAOYSA-N 5,12-diphenyl-6,11-bis(4-phenylphenyl)tetracene Chemical compound C1=CC=CC=C1C1=CC=C(C=2C3=C(C=4C=CC=CC=4)C4=CC=CC=C4C(C=4C=CC=CC=4)=C3C(C=3C=CC(=CC=3)C=3C=CC=CC=3)=C3C=CC=CC3=2)C=C1 KIYZNTXHGDXHQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZCAPDAJQDNCVAE-UHFFFAOYSA-N 5,6,7,8,14,15,16,17,23,24,25,26,32,33,34,35-hexadecafluoro-2,11,20,29,37,38,39,40-octazanonacyclo[28.6.1.13,10.112,19.121,28.04,9.013,18.022,27.031,36]tetraconta-1,3,5,7,9,11,13(18),14,16,19,21(38),22(27),23,25,28,30(37),31(36),32,34-nonadecaene Chemical compound C12=C(F)C(F)=C(F)C(F)=C2C(N=C2NC(C3=C(F)C(F)=C(F)C(F)=C32)=N2)=NC1=NC([C]1C(F)=C(F)C(F)=C(F)C1=1)=NC=1N=C1[C]3C(F)=C(F)C(F)=C(F)C3=C2N1 ZCAPDAJQDNCVAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DYJYYNRBFJZNEO-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-1-phenyl-3-propan-2-ylpyrazole Chemical compound N1=C(C(C)C)C=C(C)N1C1=CC=CC=C1 DYJYYNRBFJZNEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TYGSHIPXFUQBJO-UHFFFAOYSA-N 5-n,5-n,11-n,11-n-tetrakis(4-methylphenyl)tetracene-5,11-diamine Chemical compound C1=CC(C)=CC=C1N(C=1C2=CC3=CC=CC=C3C(N(C=3C=CC(C)=CC=3)C=3C=CC(C)=CC=3)=C2C=C2C=CC=CC2=1)C1=CC=C(C)C=C1 TYGSHIPXFUQBJO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XQNMSKCVXVXEJT-UHFFFAOYSA-N 7,14,25,32-tetrazaundecacyclo[21.13.2.22,5.03,19.04,16.06,14.08,13.020,37.024,32.026,31.034,38]tetraconta-1(36),2,4,6,8,10,12,16,18,20(37),21,23(38),24,26,28,30,34,39-octadecaene-15,33-dione 7,14,25,32-tetrazaundecacyclo[21.13.2.22,5.03,19.04,16.06,14.08,13.020,37.025,33.026,31.034,38]tetraconta-1(37),2,4,6,8,10,12,16,18,20,22,26,28,30,32,34(38),35,39-octadecaene-15,24-dione Chemical compound O=c1c2ccc3c4ccc5c6nc7ccccc7n6c(=O)c6ccc(c7ccc(c8nc9ccccc9n18)c2c37)c4c56.O=c1c2ccc3c4ccc5c6c(ccc(c7ccc(c8nc9ccccc9n18)c2c37)c46)c1nc2ccccc2n1c5=O XQNMSKCVXVXEJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NKEZXXDRXPPROK-UHFFFAOYSA-N 9,10-bis(2-naphthalen-1-ylphenyl)anthracene Chemical compound C12=CC=CC=C2C(C2=CC=CC=C2C=2C3=CC=CC=C3C=CC=2)=C(C=CC=C2)C2=C1C1=CC=CC=C1C1=CC=CC2=CC=CC=C12 NKEZXXDRXPPROK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- USIXUMGAHVBSHQ-UHFFFAOYSA-N 9,10-bis(3,5-diphenylphenyl)anthracene Chemical compound C1=CC=CC=C1C1=CC(C=2C=CC=CC=2)=CC(C=2C3=CC=CC=C3C(C=3C=C(C=C(C=3)C=3C=CC=CC=3)C=3C=CC=CC=3)=C3C=CC=CC3=2)=C1 USIXUMGAHVBSHQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ULYOATJQTYIRQV-UHFFFAOYSA-N 9,10-bis(octylcarbamoyl)perylene-3,4-dicarboxylic acid Chemical compound C=12C3=CC=C(C(O)=O)C2=C(C(O)=O)C=CC=1C1=CC=C(C(=O)NCCCCCCCC)C2=C1C3=CC=C2C(=O)NCCCCCCCC ULYOATJQTYIRQV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BITWULPDIGXQDL-UHFFFAOYSA-N 9,10-bis[4-(2,2-diphenylethenyl)phenyl]anthracene Chemical compound C=1C=C(C=2C3=CC=CC=C3C(C=3C=CC(C=C(C=4C=CC=CC=4)C=4C=CC=CC=4)=CC=3)=C3C=CC=CC3=2)C=CC=1C=C(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 BITWULPDIGXQDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RXACYPFGPNTUNV-UHFFFAOYSA-N 9,9-dioctylfluorene Chemical compound C1=CC=C2C(CCCCCCCC)(CCCCCCCC)C3=CC=CC=C3C2=C1 RXACYPFGPNTUNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UQVFZEYHQJJGPD-UHFFFAOYSA-N 9-[4-(10-phenylanthracen-9-yl)phenyl]carbazole Chemical compound C1=CC=CC=C1C(C1=CC=CC=C11)=C(C=CC=C2)C2=C1C1=CC=C(N2C3=CC=CC=C3C3=CC=CC=C32)C=C1 UQVFZEYHQJJGPD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HOGUGXVETSOMRE-UHFFFAOYSA-N 9-[4-[2-(4-phenanthren-9-ylphenyl)ethenyl]phenyl]phenanthrene Chemical compound C1=CC=C2C(C3=CC=C(C=C3)C=CC=3C=CC(=CC=3)C=3C4=CC=CC=C4C4=CC=CC=C4C=3)=CC3=CC=CC=C3C2=C1 HOGUGXVETSOMRE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SXGIRTCIFPJUEQ-UHFFFAOYSA-N 9-anthracen-9-ylanthracene Chemical group C1=CC=CC2=CC3=CC=CC=C3C(C=3C4=CC=CC=C4C=C4C=CC=CC4=3)=C21 SXGIRTCIFPJUEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NLZUEZXRPGMBCV-UHFFFAOYSA-N Butylhydroxytoluene Chemical compound CC1=CC(C(C)(C)C)=C(O)C(C(C)(C)C)=C1 NLZUEZXRPGMBCV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BPXHQNDSEJKZDH-UHFFFAOYSA-N C(=C)=C1C(=CC=CC1)C1=CC=CC=C1 Chemical group C(=C)=C1C(=CC=CC1)C1=CC=CC=C1 BPXHQNDSEJKZDH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZAKZVHCZSOLJMT-UHFFFAOYSA-N C(C)(C)(C)C1(C2=CC=CC=C2C(C=2C=CC=CC12)(C1=CC=C(C=C1)C1=CC=CC=C1)C(C)(C)C)C1=CC=C(C=C1)C1=CC=CC=C1 Chemical compound C(C)(C)(C)C1(C2=CC=CC=C2C(C=2C=CC=CC12)(C1=CC=C(C=C1)C1=CC=CC=C1)C(C)(C)C)C1=CC=C(C=C1)C1=CC=CC=C1 ZAKZVHCZSOLJMT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N Calcium Chemical compound [Ca] OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-L Carbonate Chemical compound [O-]C([O-])=O BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N Lithium Chemical compound [Li] WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000861 Mg alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004962 Polyamide-imide Substances 0.000 description 1
- CZPWVGJYEJSRLH-UHFFFAOYSA-N Pyrimidine Chemical compound C1=CN=CN=C1 CZPWVGJYEJSRLH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XBDYBAVJXHJMNQ-UHFFFAOYSA-N Tetrahydroanthracene Natural products C1=CC=C2C=C(CCCC3)C3=CC2=C1 XBDYBAVJXHJMNQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MCEWYIDBDVPMES-UHFFFAOYSA-N [60]pcbm Chemical compound C123C(C4=C5C6=C7C8=C9C%10=C%11C%12=C%13C%14=C%15C%16=C%17C%18=C(C=%19C=%20C%18=C%18C%16=C%13C%13=C%11C9=C9C7=C(C=%20C9=C%13%18)C(C7=%19)=C96)C6=C%11C%17=C%15C%13=C%15C%14=C%12C%12=C%10C%10=C85)=C9C7=C6C2=C%11C%13=C2C%15=C%12C%10=C4C23C1(CCCC(=O)OC)C1=CC=CC=C1 MCEWYIDBDVPMES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SKBVZBYGXOVBIJ-UHFFFAOYSA-K [Ir+3].COC1=CC=C(C=C1)C1(NC=C(N=C1C)C)C(=O)[O-].COC1=CC=C(C=C1)C1(NC=C(N=C1C)C)C(=O)[O-].COC1=CC=C(C=C1)C1(NC=C(N=C1C)C)C(=O)[O-] Chemical compound [Ir+3].COC1=CC=C(C=C1)C1(NC=C(N=C1C)C)C(=O)[O-].COC1=CC=C(C=C1)C1(NC=C(N=C1C)C)C(=O)[O-].COC1=CC=C(C=C1)C1(NC=C(N=C1C)C)C(=O)[O-] SKBVZBYGXOVBIJ-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- GBKYFASVJPZWLI-UHFFFAOYSA-N [Pt+2].N1C(C=C2C(=C(CC)C(C=C3C(=C(CC)C(=C4)N3)CC)=N2)CC)=C(CC)C(CC)=C1C=C1C(CC)=C(CC)C4=N1 Chemical compound [Pt+2].N1C(C=C2C(=C(CC)C(C=C3C(=C(CC)C(=C4)N3)CC)=N2)CC)=C(CC)C(CC)=C1C=C1C(CC)=C(CC)C4=N1 GBKYFASVJPZWLI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SUFKFXIFMLKZTD-UHFFFAOYSA-N [Tb+3].N1=CC=CC2=CC=C3C=CC=NC3=C12 Chemical compound [Tb+3].N1=CC=CC2=CC=C3C=CC=NC3=C12 SUFKFXIFMLKZTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SORGEQQSQGNZFI-UHFFFAOYSA-N [azido(phenoxy)phosphoryl]oxybenzene Chemical compound C=1C=CC=CC=1OP(=O)(N=[N+]=[N-])OC1=CC=CC=C1 SORGEQQSQGNZFI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 1
- 150000001341 alkaline earth metal compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229920000109 alkoxy-substituted poly(p-phenylene vinylene) Polymers 0.000 description 1
- 238000005275 alloying Methods 0.000 description 1
- REDXJYDRNCIFBQ-UHFFFAOYSA-N aluminium(3+) Chemical compound [Al+3] REDXJYDRNCIFBQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 1
- 125000002490 anilino group Chemical group [H]N(*)C1=C([H])C([H])=C([H])C([H])=C1[H] 0.000 description 1
- 150000001454 anthracenes Chemical class 0.000 description 1
- 150000004945 aromatic hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- HFACYLZERDEVSX-UHFFFAOYSA-N benzidine Chemical compound C1=CC(N)=CC=C1C1=CC=C(N)C=C1 HFACYLZERDEVSX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WZJYKHNJTSNBHV-UHFFFAOYSA-N benzo[h]quinoline Chemical group C1=CN=C2C3=CC=CC=C3C=CC2=C1 WZJYKHNJTSNBHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UMIVXZPTRXBADB-UHFFFAOYSA-N benzocyclobutene Chemical compound C1=CC=C2CCC2=C1 UMIVXZPTRXBADB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000005872 benzooxazolyl group Chemical group 0.000 description 1
- 229910052790 beryllium Inorganic materials 0.000 description 1
- ATBAMAFKBVZNFJ-UHFFFAOYSA-N beryllium atom Chemical compound [Be] ATBAMAFKBVZNFJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002457 bidirectional effect Effects 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000005380 borophosphosilicate glass Substances 0.000 description 1
- XZCJVWCMJYNSQO-UHFFFAOYSA-N butyl pbd Chemical compound C1=CC(C(C)(C)C)=CC=C1C1=NN=C(C=2C=CC(=CC=2)C=2C=CC=CC=2)O1 XZCJVWCMJYNSQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052792 caesium Inorganic materials 0.000 description 1
- TVFDJXOCXUVLDH-UHFFFAOYSA-N caesium atom Chemical compound [Cs] TVFDJXOCXUVLDH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011575 calcium Substances 0.000 description 1
- WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L calcium difluoride Chemical compound [F-].[F-].[Ca+2] WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910001634 calcium fluoride Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- MPMSMUBQXQALQI-UHFFFAOYSA-N cobalt phthalocyanine Chemical compound [Co+2].C12=CC=CC=C2C(N=C2[N-]C(C3=CC=CC=C32)=N2)=NC1=NC([C]1C=CC=CC1=1)=NC=1N=C1[C]3C=CC=CC3=C2[N-]1 MPMSMUBQXQALQI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001925 cycloalkenes Chemical class 0.000 description 1
- 239000002274 desiccant Substances 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 150000004985 diamines Chemical class 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- KPUWHANPEXNPJT-UHFFFAOYSA-N disiloxane Chemical class [SiH3]O[SiH3] KPUWHANPEXNPJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- LNBHUCHAFZUEGJ-UHFFFAOYSA-N europium(3+) Chemical compound [Eu+3] LNBHUCHAFZUEGJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- RMBPEFMHABBEKP-UHFFFAOYSA-N fluorene Chemical compound C1=CC=C2C3=C[CH]C=CC3=CC2=C1 RMBPEFMHABBEKP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 description 1
- 229910021389 graphene Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000449 hafnium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- WIHZLLGSGQNAGK-UHFFFAOYSA-N hafnium(4+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[Hf+4] WIHZLLGSGQNAGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 150000002391 heterocyclic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000004770 highest occupied molecular orbital Methods 0.000 description 1
- BHEPBYXIRTUNPN-UHFFFAOYSA-N hydridophosphorus(.) (triplet) Chemical compound [PH] BHEPBYXIRTUNPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002401 inhibitory effect Effects 0.000 description 1
- 239000011256 inorganic filler Substances 0.000 description 1
- 229910003475 inorganic filler Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 230000009545 invasion Effects 0.000 description 1
- AOZVYCYMTUWJHJ-UHFFFAOYSA-K iridium(3+) pyridine-2-carboxylate Chemical compound [Ir+3].[O-]C(=O)C1=CC=CC=N1.[O-]C(=O)C1=CC=CC=N1.[O-]C(=O)C1=CC=CC=N1 AOZVYCYMTUWJHJ-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 125000001449 isopropyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 description 1
- 125000000040 m-tolyl group Chemical group [H]C1=C([H])C(*)=C([H])C(=C1[H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- FQPSGWSUVKBHSU-UHFFFAOYSA-N methacrylamide Chemical compound CC(=C)C(N)=O FQPSGWSUVKBHSU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000004776 molecular orbital Methods 0.000 description 1
- BBNZOXKLBAWRSH-UHFFFAOYSA-N n,9-diphenyl-n-[4-(10-phenylanthracen-9-yl)phenyl]carbazol-3-amine Chemical compound C1=CC=CC=C1N(C=1C=C2C3=CC=CC=C3N(C=3C=CC=CC=3)C2=CC=1)C1=CC=C(C=2C3=CC=CC=C3C(C=3C=CC=CC=3)=C3C=CC=CC3=2)C=C1 BBNZOXKLBAWRSH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XAWQWMLNBYNXJX-UHFFFAOYSA-N n,n-diphenyl-9-[4-(10-phenylanthracen-9-yl)phenyl]carbazol-3-amine Chemical compound C1=CC=CC=C1N(C=1C=C2C3=CC=CC=C3N(C=3C=CC(=CC=3)C=3C4=CC=CC=C4C(C=4C=CC=CC=4)=C4C=CC=CC4=3)C2=CC=1)C1=CC=CC=C1 XAWQWMLNBYNXJX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UMFJAHHVKNCGLG-UHFFFAOYSA-N n-Nitrosodimethylamine Chemical compound CN(C)N=O UMFJAHHVKNCGLG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VZYZZKOUCVXTOJ-UHFFFAOYSA-N n-[4-[4-(n-(9,9-dimethylfluoren-2-yl)anilino)phenyl]phenyl]-9,9-dimethyl-n-phenylfluoren-2-amine Chemical group C1=C2C(C)(C)C3=CC=CC=C3C2=CC=C1N(C=1C=CC(=CC=1)C=1C=CC(=CC=1)N(C=1C=CC=CC=1)C=1C=C2C(C)(C)C3=CC=CC=C3C2=CC=1)C1=CC=CC=C1 VZYZZKOUCVXTOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IBHBKWKFFTZAHE-UHFFFAOYSA-N n-[4-[4-(n-naphthalen-1-ylanilino)phenyl]phenyl]-n-phenylnaphthalen-1-amine Chemical compound C1=CC=CC=C1N(C=1C2=CC=CC=C2C=CC=1)C1=CC=C(C=2C=CC(=CC=2)N(C=2C=CC=CC=2)C=2C3=CC=CC=C3C=CC=2)C=C1 IBHBKWKFFTZAHE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001624 naphthyl group Chemical group 0.000 description 1
- FPOBXNYAWLLCGZ-UHFFFAOYSA-N nickel(2+);1,2,3,4,5-pentamethylcyclopenta-1,3-diene Chemical compound [Ni+2].CC=1C(C)=C(C)[C-](C)C=1C.CC=1C(C)=C(C)[C-](C)C=1C FPOBXNYAWLLCGZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000484 niobium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- URLJKFSTXLNXLG-UHFFFAOYSA-N niobium(5+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Nb+5].[Nb+5] URLJKFSTXLNXLG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NIHNNTQXNPWCJQ-UHFFFAOYSA-N o-biphenylenemethane Natural products C1=CC=C2CC3=CC=CC=C3C2=C1 NIHNNTQXNPWCJQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- WCPAKWJPBJAGKN-UHFFFAOYSA-N oxadiazole Chemical compound C1=CON=N1 WCPAKWJPBJAGKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- NGSMDHYQABJENH-UHFFFAOYSA-N oxovanadium(2+) 6,15,24,33-tetraphenoxy-2,11,20,29,37,39-hexaza-38,40-diazanidanonacyclo[28.6.1.13,10.112,19.121,28.04,9.013,18.022,27.031,36]tetraconta-1,3,5,7,9,11,13(18),14,16,19(39),20,22(27),23,25,28,30(37),31(36),32,34-nonadecaene Chemical compound [V+2]=O.C=1C=C2C(N=C3[N-]C(C4=CC=C(OC=5C=CC=CC=5)C=C43)=NC3=NC(C4=CC=C(OC=5C=CC=CC=5)C=C43)=NC=3[N-]C(=C4C=CC(OC=5C=CC=CC=5)=CC4=3)N=3)=NC=3C2=CC=1OC1=CC=CC=C1 NGSMDHYQABJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NFHFRUOZVGFOOS-UHFFFAOYSA-N palladium;triphenylphosphane Chemical compound [Pd].C1=CC=CC=C1P(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1.C1=CC=CC=C1P(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1.C1=CC=CC=C1P(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1.C1=CC=CC=C1P(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 NFHFRUOZVGFOOS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SLIUAWYAILUBJU-UHFFFAOYSA-N pentacene Chemical compound C1=CC=CC2=CC3=CC4=CC5=CC=CC=C5C=C4C=C3C=C21 SLIUAWYAILUBJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AZVQGIPHTOBHAF-UHFFFAOYSA-N perfluoropentacene Chemical compound FC1=C(F)C(F)=C(F)C2=C(F)C3=C(F)C4=C(F)C5=C(F)C(F)=C(F)C(F)=C5C(F)=C4C(F)=C3C(F)=C21 AZVQGIPHTOBHAF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- CSHWQDPOILHKBI-UHFFFAOYSA-N peryrene Natural products C1=CC(C2=CC=CC=3C2=C2C=CC=3)=C3C2=CC=CC3=C1 CSHWQDPOILHKBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920000078 poly(4-vinyltriphenylamine) Polymers 0.000 description 1
- 229920006350 polyacrylonitrile resin Polymers 0.000 description 1
- 229920002312 polyamide-imide Polymers 0.000 description 1
- 229920000767 polyaniline Polymers 0.000 description 1
- 229920001225 polyester resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004645 polyester resin Substances 0.000 description 1
- 239000011112 polyethylene naphthalate Substances 0.000 description 1
- 229920005990 polystyrene resin Polymers 0.000 description 1
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 description 1
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 1
- 125000002924 primary amino group Chemical group [H]N([H])* 0.000 description 1
- VLRICFVOGGIMKK-UHFFFAOYSA-N pyrazol-1-yloxyboronic acid Chemical compound OB(O)ON1C=CC=N1 VLRICFVOGGIMKK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 230000003252 repetitive effect Effects 0.000 description 1
- 238000012827 research and development Methods 0.000 description 1
- 230000027756 respiratory electron transport chain Effects 0.000 description 1
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 229910001925 ruthenium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- WOCIAKWEIIZHES-UHFFFAOYSA-N ruthenium(iv) oxide Chemical compound O=[Ru]=O WOCIAKWEIIZHES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052706 scandium Inorganic materials 0.000 description 1
- SIXSYDAISGFNSX-UHFFFAOYSA-N scandium atom Chemical compound [Sc] SIXSYDAISGFNSX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001923 silver oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007480 spreading Effects 0.000 description 1
- 238000003892 spreading Methods 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000999 tert-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C(*)(C([H])([H])[H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- IFLREYGFSNHWGE-UHFFFAOYSA-N tetracene Chemical compound C1=CC=CC2=CC3=CC4=CC=CC=C4C=C3C=C21 IFLREYGFSNHWGE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UGNWTBMOAKPKBL-UHFFFAOYSA-N tetrachloro-1,4-benzoquinone Chemical compound ClC1=C(Cl)C(=O)C(Cl)=C(Cl)C1=O UGNWTBMOAKPKBL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PCCVSPMFGIFTHU-UHFFFAOYSA-N tetracyanoquinodimethane Chemical compound N#CC(C#N)=C1C=CC(=C(C#N)C#N)C=C1 PCCVSPMFGIFTHU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JIIYLLUYRFRKMG-UHFFFAOYSA-N tetrathianaphthacene Chemical compound C1=CC=CC2=C3SSC(C4=CC=CC=C44)=C3C3=C4SSC3=C21 JIIYLLUYRFRKMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
- LLVONELOQJAYBZ-UHFFFAOYSA-N tin(ii) phthalocyanine Chemical compound N1=C(C2=CC=CC=C2C2=NC=3C4=CC=CC=C4C(=N4)N=3)N2[Sn]N2C4=C(C=CC=C3)C3=C2N=C2C3=CC=CC=C3C1=N2 LLVONELOQJAYBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000314 transition metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- TVIVIEFSHFOWTE-UHFFFAOYSA-K tri(quinolin-8-yloxy)alumane Chemical compound [Al+3].C1=CN=C2C([O-])=CC=CC2=C1.C1=CN=C2C([O-])=CC=CC2=C1.C1=CN=C2C([O-])=CC=CC2=C1 TVIVIEFSHFOWTE-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- QGJSAGBHFTXOTM-UHFFFAOYSA-K trifluoroerbium Chemical compound F[Er](F)F QGJSAGBHFTXOTM-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- ODHXBMXNKOYIBV-UHFFFAOYSA-N triphenylamine Chemical compound C1=CC=CC=C1N(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 ODHXBMXNKOYIBV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OYQCBJZGELKKPM-UHFFFAOYSA-N zinc indium(3+) oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Zn+2].[O-2].[In+3] OYQCBJZGELKKPM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/10—OLED displays
- H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
- H10K59/131—Interconnections, e.g. wiring lines or terminals
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/10—OLEDs or polymer light-emitting diodes [PLED]
- H10K50/11—OLEDs or polymer light-emitting diodes [PLED] characterised by the electroluminescent [EL] layers
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/80—Constructional details
- H10K50/805—Electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/80—Constructional details
- H10K50/805—Electrodes
- H10K50/81—Anodes
- H10K50/814—Anodes combined with auxiliary electrodes, e.g. ITO layer combined with metal lines
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/80—Constructional details
- H10K50/805—Electrodes
- H10K50/82—Cathodes
- H10K50/824—Cathodes combined with auxiliary electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/10—OLED displays
- H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
- H10K59/122—Pixel-defining structures or layers, e.g. banks
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/80—Constructional details
- H10K59/805—Electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/80—Constructional details
- H10K59/805—Electrodes
- H10K59/8052—Cathodes
- H10K59/80522—Cathodes combined with auxiliary electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/80—Constructional details
- H10K59/805—Electrodes
- H10K59/8051—Anodes
- H10K59/80516—Anodes combined with auxiliary electrodes, e.g. ITO layer combined with metal lines
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
Description
본 발명은 발광 장치와 그 제작 방법에 관한 것이다. 또한, 조명 장치에 관한 것이다. 또한, 표시 장치에 관한 것이다.
The present invention relates to a light emitting device and a manufacturing method thereof. The present invention also relates to a lighting apparatus. The present invention also relates to a display device.
유기 EL 소자의 연구 개발이 활발히 진행되고 있다. 유기 EL 소자의 기본적인 구성은, 한 쌍의 전극 사이에 발광성을 갖는 유기 화합물을 포함하는 층을 끼운 구성이다. 이 소자에 전압을 인가함으로써, 발광성을 갖는 유기 화합물로부터의 발광을 얻을 수 있다.Research and development of organic EL devices are actively under way. The basic structure of the organic EL element is a structure in which a layer containing an organic compound having luminescence is sandwiched between a pair of electrodes. By applying a voltage to this device, light emission from an organic compound having luminous properties can be obtained.
또한, 유기 EL 소자와 박막 트랜지스터를 조합한 표시 장치의 개발도 활발히 진행되고 있다. 유기 EL 소자를 사용한 표시 장치는, 액정 표시 장치로서 필요하던 백 라이트를 없앨 수 있고, 박형, 고휘도, 고 콘트라스트의 표시 장치로 할 수 있다.In addition, a display device in which an organic EL element and a thin film transistor are combined has been actively developed. The display device using the organic EL element can eliminate the backlight which is required as the liquid crystal display device, and can provide a thin, high-brightness, high-contrast display device.
또한, 유기 EL 소자는 막 형상으로 형성할 수 있기 때문에, 대면적의 소자를 용이하게 형성할 수 있고, 조명 등으로 응용할 수 있는 면 광원으로서의 이용 가치도 높다.Further, since the organic EL element can be formed in the form of a film, it is possible to easily form a large-area element, and the organic EL element has a high value as a surface light source applicable to illumination or the like.
예를 들어, 특허문헌 1에는 유기 EL 소자를 사용한 조명 기구가 개시되어 있다.For example,
유기 EL 소자에는, 하부 전극층 측에 광을 추출하는 하면 발광형과, 상부 전극층 측에 광을 추출하는 상면 발광형, 또는 하부 전극층 측과 상부 전극층 측의 양면으로부터 광을 추출하는 양면 발광형이 있다.
The organic EL element has a bottom emission type for extracting light on the side of the lower electrode layer, a top emission type for extracting light on the side of the upper electrode layer, or a double-sided emission type for extracting light from both sides of the bottom electrode layer side and the top electrode layer side .
EL 소자를 형성하는 경우, 절연 표면을 갖는 기판 위에 형성한 하부 전극층 위에 유기 화합물을 포함하는 층과, 상부 전극층을 순차적으로 적층하는 방법으로서는, 예를 들어, 진공 증착법이 있다. 진공 증착법을 사용하여 섬 형상을 형성하는 방법으로서는, 금속판에 개구부를 형성한 메탈 마스크(섀도 마스크라고도 함)를 사용하는 방법이 알려져 있다. 기판에 접하여 증착원과의 사이에 상기 메탈 마스크를 형성하고, 상기 메탈 마스크의 개구부를 통하여 기판에 증착하면, 개구부의 형상에 따른 형상의 증착을 행할 수 있다. 또한, 메탈 마스크와 기판의 거리가 가까울수록 개구부에 따른 명료한 형성으로, 바꿔 말하면 주변부의 번짐이 적은 형성으로 섬 형상의 층을 형성할 수 있다.In the case of forming an EL element, for example, a vacuum deposition method is a method for sequentially laminating a layer containing an organic compound and a top electrode layer on a lower electrode layer formed on a substrate having an insulating surface. As a method of forming an island shape using a vacuum deposition method, there is known a method of using a metal mask (also referred to as a shadow mask) in which an opening is formed in a metal plate. When the metal mask is formed between the substrate and the evaporation source in contact with the substrate, and the substrate is deposited on the substrate through the opening of the metal mask, the shape corresponding to the shape of the opening can be deposited. In addition, the closer the distance between the metal mask and the substrate is, the more the island-like layer can be formed with a clear formation according to the opening portion, in other words, a less blurring of the peripheral portion.
한편, 메탈 마스크를 기판에 접하여 사용하면, 문제가 발생할 확률이 높아진다. 예를 들어, 메탈 마스크의 게구부에 있는 개구단에 의하여 기판 표면이 손상될 경우가 있다. 구체적으로는, 메탈 마스크가 기판에 접촉할 때 메탈 마스크가 기판 표면을 문지름으로써, 기판 위에 이미 형성된 다른 층을 파괴하여 버릴 경우가 있다. 또한, 메탈 마스크에 부착된 먼지(입자, 파티클이라고 불리는 작은 이물을 포함함)를 메탈 마스크로부터 기판에 전사하여 버릴 경우도 있다.On the other hand, when the metal mask is used in contact with the substrate, the probability of occurrence of a problem increases. For example, the surface of the substrate may be damaged by an opening in the aperture of the metal mask. Specifically, when the metal mask comes into contact with the substrate, the metal mask rubs the surface of the substrate, thereby destroying another layer already formed on the substrate. Further, there is a case where the dust (including particles and small foreign particles called particles) attached to the metal mask is transferred from the metal mask to the substrate.
여기서, EL 소자를 사용한 복수의 화소부를 갖는 표시 장치에 있어서, EL 소자로부터의 발광을 백색으로 하고, 컬러 필터를 통하여 사출하는 방법이 알려져 있다. 이와 같이, EL 소자로부터의 발광을 백색으로 통일함으로써 화소부마다 EL 층을 분할 도포하기 위한 메탈 마스크가 필요하지 않고 한 장의 메탈 마스크로 EL층을 형성할 수 있어 바람직하다.Here, in a display device having a plurality of pixel portions using an EL element, a method is known in which the light emitted from the EL element is made white and injected through a color filter. In this manner, since the light emission from the EL element is uniformly white, a metal mask for applying the EL layer to each pixel portion is not required, and an EL layer can be formed with a single metal mask, which is preferable.
그러나, 상기 백색 발광의 EL 소자를 사용한 경우에도, 기판에 미리 형성된 공통 배선과, EL 소자의 상부 전극층을 접속시키기 위하여, 상기 공통 배선과 상부 전극층의 접속부에 EL층이 형성되지 않도록 EL층 형성용 메탈 마스크와, 상부 전극층 형성용 메탈 마스크의 적어도 2장의 메탈 마스크가 필요하였다.However, even in the case of using the EL element of white light emission, in order to connect the common wiring formed beforehand to the substrate and the upper electrode layer of the EL element so that the EL layer is not formed at the connecting portion of the common wiring and the upper electrode layer, At least two metal masks of a metal mask and a metal mask for forming an upper electrode layer were required.
그래서, 인라인(in-line)형의 성막 장치에서는, EL층을 형성하는 성막실과 상부 전극층을 형성하는 성막실 사이에는 메탈 마스크를 교환하기 위한 교환실을 설치할 필요가 있고, 공정의 번잡화(煩雜化), 장치의 복잡화, 및 택트 타임(tact time)의 증대 등의 문제가 있다.Therefore, in the in-line type film forming apparatus, it is necessary to provide a replacement chamber for exchanging the metal mask between the film formation chamber for forming the EL layer and the film formation chamber for forming the upper electrode layer, and a complicated process ), Complexity of the apparatus, and an increase in tact time.
한편, 조명 장치나, 대화면의 표시 장치에 있어서 발광부의 면적이 넓어지면, EL 소자의 상부 전극층, 하부 전극층의 저항에 기인하는 전위 강하가 현저하게 될 경향에 있다. 상기 전극층에 있어서의 전위 강하가 현저하게 될 경우, 휘도의 구배가 시인되어 버리는 문제가 있다. 이와 같은 문제를 회피하기 위하여 상기 전극층에 저항률이 낮은 재료로 형성된, 보조로서의 전극을 접속할 필요가 있다.On the other hand, when the area of the light emitting portion of the illuminating device or the display device on a large screen is widened, the potential drop caused by the resistance of the upper electrode layer and the lower electrode layer of the EL element tends to become remarkable. When the potential drop in the electrode layer becomes remarkable, there is a problem that the gradient of the luminance is visually recognized. In order to avoid such a problem, it is necessary to connect an auxiliary electrode formed of a material having a low resistivity to the electrode layer.
특히, 투명 전극에 사용되는 광 투광성을 갖는 도전성 재료는, 비교적으로 저항이 높고, 보조 배선을 형성할 필요성이 높다. 상기 보조 배선은 EL 소자로부터의 발광을 가능한 한 차단하지 않도록 레이아웃할 필요가 있다. 그러나, 특히 상부 전극층 측으로부터 발광을 얻는 상면 발광형(양면 발광형도 포함함)의 경우, EL 소자를 형성한 후에 보조 배선을 형성할 필요가 있기 때문에, EL 소자에 대미지가 가해질 경우가 있다. 예를 들어, 스퍼터링법으로 도전막을 형성한 후에, 포토리소그래피법을 사용하여 가공할 경우, 스퍼터링법에 의한 열 및 물리적인 대미지나 포토리소그래피법에 의한 가공에서의 광이나 열로 인한 대미지, 레지스트를 제거할 때의 유기 용매 등에 의한 EL 소자의 용해에 관한 문제 등을 들 수 있다.Particularly, a conductive material having a light transmitting property and used for a transparent electrode has a relatively high resistance, and it is highly necessary to form an auxiliary wiring. It is necessary to lay out the auxiliary wiring so as not to block the light emission from the EL element as much as possible. However, in the case of a top emission type (including both-side emission type) in which light is emitted from the upper electrode layer side, it is necessary to form an auxiliary wiring after forming the EL element, so that the EL element may be damaged. For example, when a conductive film is formed by a sputtering method and then processed using a photolithography method, damage due to light or heat in the thermal and physical damages by the sputtering method or processing by the photolithography method, And a problem related to dissolution of an EL element by an organic solvent or the like.
본 발명은, 이와 같은 기술적인 배경을 바탕으로 하여 행해진 것이다. 따라서, 이 목적은 EL층과 상부 전극층의 형성에 사용하는 메탈 마스크를 삭감할 수 있는 구성의 발광 장치 및 그 제작 방법을 제공하는 것을 과제 중 하나로 한다. 또한, 상부 전극층의 저항에 기인한 전위 강하가 억제되고, 또 신뢰성이 높은 발광 장치를 제공하는 것을 과제 중 하나로 한다. 또한, 이와 같은 발광 장치가 적용된 조명 장치, 및 표시 장치를 제공하는 것을 과제 중 하나로 한다.The present invention has been made on the basis of such a technical background. Accordingly, it is an object of the present invention to provide a light emitting device having a structure capable of reducing the metal mask used for forming the EL layer and the upper electrode layer, and a method of manufacturing the same. Another object of the present invention is to provide a light emitting device in which the potential drop due to the resistance of the upper electrode layer is suppressed and the reliability is high. Another object of the present invention is to provide a lighting device and a display device to which such a light emitting device is applied.
본 발명의 상기 과제들 중 적어도 하나를 해결한다.
At least one of the above-mentioned problems of the present invention is solved.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 상부 전극층과 접속되는 공통 배선의 구성에 착안하였다. 발광 장치가 갖는 공통 배선은 기판 위에 형성되고, 상기 공통 배선 위에 접하여 절연성을 갖고, 바닥 부분보다 상부가 기판 면 방향으로 내미는 형상의 분리층을 형성한다. 상기 공통 배선 위에 형성된 분리층을 포함한 영역에 형성된 EL층은 상기 분리층에서 물리적으로 분단되고, 또한 EL층 위의 같은 영역에 형성된 상부 전극층은 상기 분리층에서 물리적으로 분단됨과 함께 상기 공통 배선의 상기 분리층의 내미는 부분과 겹치는 영역에 있어서, 상기 공통 배선과 전기적으로 접속되는 구성으로 하면 좋다. 또한, 이와 같은 공통 배선을 보조 배선으로서 사용하면 좋다. 또한, 이와 같은 공통 배선을 갖는 발광 장치를 조명 장치, 및 표시 장치로 적용하면 좋다.In order to achieve the above object, the present invention has focused on a configuration of a common wiring connected to an upper electrode layer. The common wiring included in the light emitting device is formed on the substrate, and the isolation layer having the insulating property in contact with the common wiring is formed so that the upper portion of the common wiring is exposed to the substrate surface direction. The EL layer formed in the region including the isolation layer formed on the common wiring is physically divided in the isolation layer and the upper electrode layer formed in the same region on the EL layer is physically divided in the isolation layer, And may be electrically connected to the common wiring in a region overlapping with the exposed portion of the separation layer. Such a common wiring may be used as an auxiliary wiring. The light emitting device having such a common wiring may be applied to a lighting device and a display device.
이와 같은 구성의 분리층이 형성된 공통 배선과, 상부 전극층과의 콘택트부를 발광 장치에 형성함으로써 발광 영역과 분리층 위에 개구부를 갖는 동일 메탈 마스크를 사용하여 EL층 및 상부 전극층을 형성할 수 있다. 그래서 종래와 같이, EL층 및 상부 전극층에 상이한 메탈 마스크를 사용할 필요가 없고, 메탈 마스크와 기판과의 접촉에 기인하는 문제가 억제되고, 신뢰성이 높은 발광 장치, 또는 이것을 적용한 신뢰성이 높은 표시 장치, 조명 장치로 할 수 있다. 또한, 메탈 마스크가 삭감되기 때문에, 이 메탈 마스크나 공정에 걸리는 제작 비용을 저감할 수 있다.The EL layer and the upper electrode layer can be formed by using the same metal mask having the opening portion on the light emitting region and the isolation layer by forming the common wiring on which the isolation layer with the above structure is formed and the contact portion with the upper electrode layer on the light emitting device. Therefore, it is not necessary to use different metal masks for the EL layer and the upper electrode layer as in the conventional art, and the problem caused by the contact between the metal mask and the substrate is suppressed as in the conventional art, and a highly reliable light emitting device, A lighting device can be used. In addition, since the metal mask is reduced, it is possible to reduce the manufacturing cost required for the metal mask and the process.
즉, 본 발명의 일 형태의 발광 장치는, 기판 위에 하부 전극층과, 하부 전극층과 전기적으로 분리된 공통 배선과, 공통 배선의 적어도 일부를 가린 분리층과, 하부 전극층 위에 EL층과, EL층 위에 상부 전극층을 갖는다. 또한, 상기 분리층은, 절연성을 갖고, 분리층의 바닥 부분보다 기판 표면에 대하여 평행한 방향으로 내미는 측부를 갖고, 상부 전극층은 공통 배선의 분리층과 겹치는 영역에 있어서 공통 배선과 전기적으로 접속하는 발광 장치이다.That is, a light emitting device of one embodiment of the present invention includes a lower electrode layer on a substrate, a common wiring electrically separated from the lower electrode layer, a separation layer covering at least a part of the common wiring, an EL layer on the lower electrode layer, And an upper electrode layer. The upper electrode layer is electrically connected to the common wiring in a region overlapping with the isolation layer of the common wiring, and the lower electrode layer is electrically connected to the common wiring Emitting device.
본 발명의 일 형태의 발광 장치는, EL 소자의 상부 전극층과 접속되는 공통 배선 위에 분리층을 갖는다. 상기 분리층은 기판 면에 대한 투영 면보다 바닥 부분의 접촉 면이 내측이 되도록 형성된다. 이와 같은 형상의 분리층은 공통 배선 위에 형성함으로써, 발광 영역과 분리층 위에 개구부를 갖는 동일 메탈 마스크를 사용하여, 또는 메탈 마스크를 사용하지 않고, 상기 EL층 및 상기 상부 전극층을 형성할 수 있다. 상부 전극층 단부가 상기 분리층의 내미는 영역과 겹친 공통 배선 표면에서 접촉하도록 형성함으로써, 상기 상부 전극층과 상기 공통 배선을 전기적으로 접속할 수 있다. A light emitting device of one embodiment of the present invention has a separation layer on a common wiring connected to an upper electrode layer of an EL element. The separation layer is formed such that the contact surface of the bottom portion is inward of the projection surface with respect to the substrate surface. The EL layer and the upper electrode layer can be formed by using the same metal mask having an opening portion on the light emitting region and the isolation layer, or without using a metal mask by forming the separation layer having such a shape on the common wiring. The upper electrode layer and the common wiring can be electrically connected by forming the upper electrode layer end so as to be in contact with the common wiring surface overlapping with the exposed region of the separation layer.
본 발명의 일 형태의 발광 장치는, 상부 전극층의 도전성을 보조하는 보조 배선으로서 상기 분리층이 형성된 공통 배선을 사용할 수도 있다. 분리층과 겹치는 영역에 있어서, 상부 전극층의 일부가 공통 배선에 접촉하도록 형성함으로써, 상이한 발광 소자의 상부 전극층들은 보조 배선으로서 기능하는 공통 배선을 통하여 전기적으로 접속된다.The light emitting device of one embodiment of the present invention may use a common wiring in which the isolation layer is formed as an auxiliary wiring for assisting the conductivity of the upper electrode layer. The upper electrode layers of the different light emitting elements are electrically connected through the common wiring functioning as the auxiliary wiring by forming the upper electrode layer so as to be in contact with the common wiring in the region overlapping with the separation layer.
이와 같은 콘택트부, 및 보조 배선을 사용함으로써, 상부 전극층의 저항에 기인한 전위 강하가 억제되고, 또 신뢰성이 높은 발광 장치로 할 수 있고, 또한 동일 메탈 마스크를 사용하여, 또는 메탈 마스크를 사용하지 않고 EL층 및 상부 전극층을 형성할 수 있게 된다.By using such a contact portion and the auxiliary wiring, the potential drop caused by the resistance of the upper electrode layer can be suppressed, and a highly reliable light emitting device can be obtained. Further, using the same metal mask or using no metal mask The EL layer and the upper electrode layer can be formed.
또한, 본 발명의 다른 일 형태의 발광 장치는, 상기 발광 장치에서 상부 전극층의, 공통 배선과 접하는 부분의 두께는 발광 영역에 있어서의 하부 전극층과 중첩한 부분의 두께보다 얇은 것을 특징으로 한다.The light emitting device according to another embodiment of the present invention is characterized in that the thickness of the portion of the upper electrode layer in contact with the common wiring in the light emitting device is thinner than the thickness of the portion overlapping the lower electrode layer in the light emitting region.
이와 같이 상부 전극층의 접촉 부분의 두께가 얇게 형성됨으로써, 분리층의 측면과 공통 배선의 틈이 작은 경우에도 접촉면을 크게 할 수 있기 때문에, 접촉 저항을 작게 할 수 있기 때문에 신뢰성이 높은 발광 장치로 할 수 있다.Since the thickness of the contact portion of the upper electrode layer is made thin as described above, the contact surface can be made large even when the gap between the side surface of the separation layer and the common wiring is small, so that the contact resistance can be reduced. .
또한, 본 발명의 다른 일 형태의 발광 장치는, 상기 발광 장치의 기판에 수직한 방향의 단면에서 분리층의 측면과, 분리층의 바닥 부분 내 가장 외측 지점과, 분리층 측면의 제일 내미는 지점을 이은 선 사이에 공간을 갖는 것을 특징으로 한다.The light emitting device according to another embodiment of the present invention is characterized in that the side surface of the separation layer in the cross section perpendicular to the substrate of the light emitting device, the outermost point in the bottom portion of the separation layer, And has a space between adjacent lines.
상기 분리층을 기판에 수직한 방향의 단면에 있어서, 분리층의 측면과, 분리층의 바닥 부분의 제일 외측 지점과 분리층의 측면의 제일 내미는 지점을 이은 선 사이에 공간을 갖는 형상으로 함으로써, EL층 및 상부 전극층을 형성할 때 상기 분리층의 측면에 형성되는 것을 억제하고, 효과적으로 EL층 및 상부 전극층을 분단시킬 수 있다.By making the separating layer into a shape having a space between the side surface of the separating layer and the line between the outermost point of the bottom portion of the separating layer and the first exposing side of the side surface of the separating layer, The EL layer and the upper electrode layer can be effectively prevented from being formed on the side surface of the separation layer when the EL layer and the upper electrode layer are formed.
또한, 본 발명의 다른 일 형태의 발광 장치가 갖는 상부 전극층은, EL층이 발하는 광에 대하여 투광성을 갖고, 하부 전극층은 상기 광에 대하여 반사성을 갖는다.The upper electrode layer included in the light emitting device according to another embodiment of the present invention has light transmittance with respect to light emitted by the EL layer, and the lower electrode layer has reflectivity with respect to the light.
특히, 상부 전극층에 투광성을 갖는 재료를 사용한 상면 발광형의 발광 장치에서는, 상기 콘택트부 및 보조 배선으로서 기능하는 공통 배선을 적용함으로써, 효과적으로 상부 전극층의 도전성을 보조할 수 있다.Particularly, in a top emission type light emitting device using a light-transmitting material for the upper electrode layer, the conductivity of the upper electrode layer can be effectively assisted by applying the common wiring functioning as the contact portion and the auxiliary wiring.
또한, 본 발명의 다른 일 형태는, 상기 발광 장치를 갖는 표시 장치이다.According to another aspect of the present invention, there is provided a display device having the light emitting device.
발광 장치의 일 형태인 표시 장치는, 상기 구성의 공통 배선이 접속된 화소부를 갖는다. 이와 같은 구성은 갖는 표시 장치는, 발광 영역과 분리층 위에 개구부를 갖는 동일 메탈 마스크를 사용하여, 또는 메탈 마스크를 사용하지 않고 EL층 및 상부 전극층을 형성할 수 있기 때문에 신뢰성이 높은 표시 장치로 할 수 있다.A display device which is one type of light emitting device has a pixel portion to which the common wiring of the above configuration is connected. Since the display device having such a structure can form the EL layer and the upper electrode layer using the same metal mask having an opening portion on the light emitting region and the isolation layer or without using a metal mask, .
특히, 상부 전극층에 투광성을 갖는 재료를 사용한 상면 발광형의 발광 장치에 있어서는 상기 공통 배선을 상부 전극층의 도전성을 보조하기 위한 보조 배선에 적용함으로써, 효과적으로 상부 전극층의 도전성을 보조할 수 있다. 특히 표시 장치에서는 EL 소자보다 기판 측에 트랜지스터를 포함하는 회로를 갖기 때문에, 상면 발광형으로 함으로써 개구율을 향상시킬 수 있다.Particularly, in a top emission type light emitting device using a material having translucency in the upper electrode layer, the common wiring can be used to assist the conductivity of the upper electrode layer effectively by applying the auxiliary wiring for assisting the conductivity of the upper electrode layer. Particularly, in the display device, since the EL element has a circuit including a transistor on the substrate side, the aperture ratio can be improved by using a top emission type.
또한, 본 발명의 다른 일 형태는, 상기 발광 장치를 갖는 조명 장치이다.According to another aspect of the present invention, there is provided a lighting apparatus having the light emitting device.
상기 발광 장치를 조명 장치에 적용함으로써, 발광 영역과 분리층 위에 개구부를 갖는 동일 메탈 마스크를 사용하여, 또는 메탈 마스크를 사용하지 않고 EL층 및 상부 전극층을 형성할 수 있기 때문에 신뢰성이 높은 표시 장치로 할 수 있다.Since the EL layer and the upper electrode layer can be formed by using the same metal mask having openings on the light emitting region and the isolation layer or without using a metal mask by applying the light emitting device to the lighting apparatus, can do.
또한, 본 발명의 일 형태에 나타낸 발광 장치의 제작 방법은, 기판 위에 하부 전극층을 형성하는 공정과, 공통 배선을 형성하는 공정과, 상기 공통 배선 중 적어도 일부와 겹치고, 절연성을 갖고, 기판 표면에 대하여 평행한 방향으로 바닥 부분보다 내미는 측부를 갖는 분리층을 형성하는 공정과, 하부 전극층 위에 EL층을 형성하는 공정과, EL층 위에 공통 배선과 전기적으로 접속하도록 상부 전극층을 형성하는 공정을 갖는다.A method of manufacturing a light emitting device according to an embodiment of the present invention includes a step of forming a lower electrode layer on a substrate, a step of forming a common wiring, a step of forming a wiring layer And a step of forming an upper electrode layer so as to be electrically connected to the common wiring on the EL layer. The step of forming the upper electrode layer includes the steps of: forming an upper electrode layer on the lower electrode layer;
상기 제작 방법을 사용하면, 동일 메탈 마스크를 사용하여, 또는 메탈 마스크를 사용하지 않고, EL층 및 상부 전극층을 형성할 수 있기 때문에 신뢰성이 높은 발광 장치를 제작할 수 있다.By using the above manufacturing method, the EL layer and the upper electrode layer can be formed by using the same metal mask or without using a metal mask, so that a highly reliable light emitting device can be manufactured.
또한, 본 명세서에 있어서, EL층이란 발광 소자의 한 쌍의 전극 사이에 형성된 층을 나타내는 것으로 한다. 따라서, 전극 사이에 끼워진 발광 물질인 유기 화합물을 함유하는 발광층은 EL층의 일 형태이다.In the present specification, the EL layer is a layer formed between a pair of electrodes of the light emitting element. Therefore, a light emitting layer containing an organic compound, which is a light emitting material sandwiched between electrodes, is a form of an EL layer.
또한, 본 명세서 등에 있어서, EL층이 갖는 상부 전극층과 전기적으로 접속하는 배선을 공통 배선이라고 부르기로 한다.
In this specification and the like, a wiring electrically connected to the upper electrode layer included in the EL layer is referred to as a common wiring.
본 발명의 일 형태에 의하면, EL층과 상부 전극층과의 형성에 사용하는 메탈 마스크를 삭감할 수 있는 구성의 발광 장치 및 그 제작 방법을 제공할 수 있다. 또한, 상부 전극층의 저항에 기인하는 전위 강하가 억제되고, 또 신뢰성이 높은 발광 장치를 제공할 수 있다. 또한, 이와 같은 발광 장치가 적용된 조명 장치, 및 표시 장치를 제공할 수 있다.
According to one aspect of the present invention, there can be provided a light emitting device having a structure capable of reducing a metal mask used for forming the EL layer and the upper electrode layer, and a method of manufacturing the same. Further, it is possible to provide a light emitting device in which a dislocation drop due to the resistance of the upper electrode layer is suppressed and which is highly reliable. Further, a lighting apparatus and a display apparatus to which such a light emitting device is applied can be provided.
도 1(A) 및 도 1(B)는 본 발명의 일 형태의 발광 장치를 설명하는 도면.
도 2(A) 내지 도 2(C)는 본 발명의 일 형태의 발광 장치를 설명하는 도면.
도 3(A) 내지 도 3(D)는 본 발명의 일 형태의 발광 장치의 제작 방법을 설명하는 도면.
도 4(A) 내지 도 4(C)는 본 발명의 일 형태의 발광 장치를 설명하는 도면.
도 5(A) 내지 도 5(C)는 본 발명의 일 형태의 발광 장치를 설명하는 도면.
도 6(A) 내지 도 6(C)는 본 발명의 일 형태의 표시 장치를 설명하는 도면.
도 7(A) 및 도 7(B)는 본 발명의 일 형태의 표시 장치를 설명하는 도면.
도 8(A) 및 도 8(B)는 본 발명의 일 형태의 조명 장치를 설명하는 도면.
도 9(A) 내지 도 9(C)는 본 발명의 일 형태의 EL 소자를 설명하는 도면.
도 10(A) 및 도 10(B)는 본 발명의 일 형태의 조명 장치를 설명하는 도면.
도 11(A) 내지 도 11(C)는 본 발명의 일 형태의 전자 기기를 설명하는 도면.
도 12는 본 발명의 일 형태의 발광 장치를 설명하는 도면.
도 13은 본 발명의 일 형태의 표시 장치를 설명하는 도면.
도 14(A) 및 도 14(B)는 본 발명의 일 형태의 발광 장치를 설명하는 도면.
도 15(A) 및 도 15(B)는 본 발명의 일 형태의 발광 장치를 설명하는 도면.1 (A) and 1 (B) are diagrams for explaining a light emitting device according to an embodiment of the present invention.
2 (A) to 2 (C) are diagrams for explaining a light emitting device according to one embodiment of the present invention.
3 (A) to 3 (D) are diagrams for explaining a manufacturing method of a light emitting device according to one embodiment of the present invention.
4 (A) to 4 (C) are diagrams for explaining a light emitting device according to an embodiment of the present invention.
5 (A) to 5 (C) are diagrams for explaining a light emitting device according to an embodiment of the present invention.
6 (A) to 6 (C) are diagrams for explaining a display device according to an embodiment of the present invention.
7 (A) and 7 (B) are diagrams for explaining a display device according to an embodiment of the present invention.
8 (A) and 8 (B) are diagrams for explaining a lighting apparatus according to an embodiment of the present invention.
9 (A) to 9 (C) are diagrams for explaining an EL element according to an embodiment of the present invention.
10 (A) and 10 (B) are diagrams for explaining a lighting apparatus according to an embodiment of the present invention.
11 (A) to 11 (C) are diagrams for explaining an electronic apparatus according to an embodiment of the present invention.
12 is a view for explaining a light emitting device according to an embodiment of the present invention.
13 is a view for explaining a display device according to an embodiment of the present invention.
14 (A) and 14 (B) are diagrams for explaining a light emitting device according to an embodiment of the present invention.
15 (A) and 15 (B) are diagrams for explaining a light emitting device according to an embodiment of the present invention.
실시형태에 대하여, 도면을 사용하여 자세히 설명한다. 다만, 본 발명은 이하의 설명에 한정되지 않고, 본 발명의 취지 및 그 범위에서 벗어남이 없이 그 형태 및 상세한 내용을 다양하게 변경할 수 있다는 것은 당업자라면 용이하게 이해할 수 있다. 따라서, 본 발명은 이하에 나타내는 실시형태의 기재 내용에 한정하여 해석되는 것은 아니다. 또한, 이하에 설명하는 발명의 구성에 있어서, 동일 부분 또는 같은 기능을 갖는 부분에는 동일 부호를 다른 도면 간에서 공통적으로 사용하고, 그 반복 설명은 생략한다.Embodiments will be described in detail with reference to the drawings. It should be understood, however, by those skilled in the art that the present invention is not limited to the following description, and that various changes in form and detail may be made therein without departing from the spirit and scope of the present invention. Therefore, the present invention is not construed as being limited to the description of the embodiments described below. In the following description of the invention, the same reference numerals are used for the same parts or portions having the same functions, and the repetitive description thereof will be omitted.
또한, 본 명세서에서 설명하는 각 도면에 있어서, 각 구성의 크기, 층 두께, 또는 영역은, 명료화를 위하여 과장되어 있는 경우가 있다. 따라서 반드시 그 스케일에 한정되지 않는다.In each of the drawings described in the present specification, the size, the layer thickness, or the area of each structure may be exaggerated for clarity. Therefore, it is not necessarily limited to the scale.
(실시형태 1)(Embodiment 1)
본 실시형태에서는, 본 발명의 일 형태인 발광 장치와 그 제작 방법의 예에 대하여 도 1(A) 내지 도 5(C)를 사용하여 설명한다.In the present embodiment, examples of a light emitting device and a manufacturing method thereof, which are one embodiment of the present invention, will be described with reference to Figs. 1A to 5C.
<구성예 1><Configuration Example 1>
도 1(A)는, 발광 장치(10)의 상면 개략도이다. 또한, 도 1(B)는 도 1(A) 내의 절단선 A-A'에서의 단면 개략도이다. 또한, 명료화를 위하여 도 1(A)에는 EL층 및 상부 전극층은 명시하지 않는다.Fig. 1 (A) is a schematic top view of the
발광 장치(10)는 기판(101) 위에 하부 전극층(103), EL층(105), 상부 전극층(107), 격벽(109), 및 공통 배선(111)을 갖는다. 또한, 공통 배선(111) 위에 분리층(113)을 갖는다.The
또한, 도시하지 않았지만, 발광 장치(10)는 기판(101)에 접하는 하지막, 및 상부 전극층(107)을 덮는 밀봉막을 가져도 좋다. 하지막이나 밀봉막을 형성함으로써, EL층의 열화를 억제할 수 있어, 발광 장치(10)의 신뢰성을 높일 수 있다.Although not shown, the
발광 장치(10)는, 하지 전극층(103)과 상부 전극층(107)과, 이들에 협지된 EL층(105)을 포함한 발광 소자에 전압을 인가함으로써 발광을 얻을 수 있다.The
격벽(109)은, 하지 전극층(103) 및 공통 배선(111)의 단부에 형성된다. 이들 단부에 형성된 격벽(109)은, EL층(105) 및 상부 전극층(107)이 이들 단차로 인하여 단선되지 않도록 형성된다. 그래서, 격벽(109)은 그 상면에 형성된 막이 끊김 없도록 순 테이퍼 형상을 갖는 것이 바람직하다. 순(順) 테이퍼 형상이란, 단면에 있어서 어느 층이 그 상단부에서 완만하게 두께를 증대시켜 하지가 되는 층의 구성을 가리킨다.The
공통 배선(111)은 하부 전극층(103) 주변을 둘러싸도록 형성되고, 적어도 상부 전극층(107)보다 충분히 저항이 낮은 도전성 재료를 포함한다. 또한, 상기 공통 배선(111) 위에는 이것과 접하여 형성된 분리층(113)을 갖는다.The
분리층(113)은 절연성을 갖고, 그 상부가 기판 표면에 대하여 평행한 방향으로 내미는 형상을 갖는다. 바꿔 말하면, 분리층(113)을 기판 표면에 투영한 경우에 있어서, 그 제일 큰 투영 면적보다 공통 배선(111)과 접촉하는 영역의 면적이 작고, 또 투영면보다 내측에 형성된 형상을 갖는다.The
이와 같은 형상의 분리층(113)을 형성하고, 나중에 설명하는 방법으로 EL층(105) 및 상부 전극층(107)을 형성함으로써, 도 1(B)에 도시한 바와 같이 EL층(105)은 분리층(113)에 의하여 막이 분단되고, 또한, 상부 전극층(107)은 분리층(113)의 내미는 부분과 겹치는 영역에 있어서 공통 배선(111)의 상면과 접촉하고, 이들이 전기적으로 접속된 구성으로 할 수 있다.The
따라서, 상부 전극층(107)은 하부 전극층(103) 주변을 둘러싸는 공통 배선(111)과 전기적으로 접속되기 때문에, 상기 상부 전극층(107)에는 공통 배선(111)을 통하여 공통 전위를 인가할 수 있다.Therefore, the
여기서 EL층(105) 및 상부 전극층(107)을 형성할 때 사용하는 메탈 마스크는, 하부 전극층(103) 및 공통 배선(111) 위에 개구부를 갖는 메탈 마스크를 공통적으로 사용할 수 있다. 상기 분리층(113)을 공통 배선(111) 위에 형성함으로써, 공통 배선(111) 위에 EL층이 형성되어도 나중에 형성되는 상부 전극층(107)을 공통 배선(111)과 전기적으로 접속할 수 있다.Here, as the metal mask used for forming the
또한, 메탈 마스크를 사용하지 않고, EL층(105) 및 상부 전극층(107)을 형성하여도 좋다. 메탈 마스크를 사용하지 않고, 발광 장치(10)를 덮는 영역 전체에 EL층(105) 및 상부 전극층(107)을 형성하여도, 공통 배선(111)과 상부 전극층(107)은 전기적으로 접속된다. 또한, 메탈 마스크를 사용하지 않고, EL층(105) 및 상부 전극층(107)을 형성하면, 메탈 마스크와 기판(101)의 접촉에 의하여 생기는 문제가 배제(排除)되기 때문에 바람직하다.Further, the
여기서, 도 12에 공통 배선(111)과 상부 전극층(107)이 접속하는 영역을 확대한 단면 개략도를 도시한다.Here, FIG. 12 is a schematic cross-sectional view showing an enlarged area in which the
도 12 중의 파선으로 도시한 영역은 공통 배선(111)과 상부 전극층(107)의 접촉부를 도시한다. 공통 배선(111)과 상부 전극층(107)은 분리층(113)의 내미는 부분과 겹치는 공통 배선(111) 표면의 일부에서 접촉하고 이들이 전기적으로 접속된다. 여기서, 상부 전극층(107)의 공통 배선(111)과 접촉하는 부분의 두께는, 발광 영역(하부 전극층(103), EL층(105), 및 상부 전극층(107)이 적층되는 영역)에 있어서의 상부 전극층(107)의 두께와 비교하여 얇게 형성된다. 또한, 상부 전극층(107)의 접촉 부분의 두께는, 분리층(113)에 가까워질수록 얇아지는, 소위 순 테이퍼 형상을 갖고 있어도 좋다. 이와 같이, 접촉 부분의 두께가 얇게 형성됨으로써, 분리층(113) 측면과 공통 배선(111)의 틈이 작은 경우라도 접촉면을 크게 할 수 있기 때문에 접촉 저항을 작게 할 수 있다.12 indicate the contact portions of the
또한, EL층(105)을 분단시키기 위해서는, 분리층(113)의 형상을 EL층(105)을 형성할 때 막이 상기 분리층의 측면에 형성되는 것을 억제하는 형상으로 하면 좋고, 예를 들어 분리층(113)의 제일 내미는 지점과, 분리층(113) 측면이 공통 배선(111)과 접하는 지점을 이은 선과 기판 면의 각도가 가능한 한 작게 되도록 형성하면 좋다. 또한, 상기 선과 분리층(113) 측면 사이에 공간을 제공하도록 잘록한 형상으로 하여도 좋다.In order to separate the
본 실시형태에서는, 분리층(113)이 공통 배선(111) 위에 접하여 형성되는 구성으로 하였지만, 적어도 분리층(113)의 내미는 부분과 겹치는 영역의 일부가 공통 배선(111) 표면과 겹치는 구성이면, 공통 배선(111) 위에 분리층(113)을 접하여 형성하지 않아도 좋다.In the present embodiment, the
또한, 공통 배선(111)은 발광 장치(10) 외측에 인출되고, 상부 전극층(107)에 인가되는 전위가 공급된다. 또한. 하부 전극층(103)도 마찬가지로 발광 장치(10) 외측에 인출되고, 하부 전극층(103)에 인가되는 전위가 공급된다. 또한, 본 실시형태에서는, 공통 배선(111)을 하부 전극층(103)과 다른 재료 및 다른 공정으로 형성하는 구성에 대하여 설명하였지만, 상부 전극층(107)보다 충분히 저항이 낮은 같은 재료를 사용하고, 하부 전극층(103)을 형성하는 공정과 같은 공정으로 제작하여도 좋다. 또한, 하부 전극층(103)을 공통 배선(111)과 같은 재료로 형성된 인출 배선에 접속하는 구성으로 하여도 좋다.The
상술한 바와 같은 공통 배선(111) 및 분리층(113)을 발광 장치(10)에 적용함으로써, EL층(105)을 형성할 때 공통 배선(111)과 상부 전극층(107)의 접속부를 덮는 메탈 마스크를 사용할 필요가 없고, 상부 전극층(107)과 같은 메탈 마스크를 사용하여 형성할 수 있다. 따라서, 발광 장치(10)를 제작할 때 사용하는 메탈 마스크 매수를 삭감할 수 있기 때문에 메탈 마스크와 기판의 접촉으로 인하여 발생하는 문제가 저감되어, 신뢰성이 높은 발광 장치로 할 수 있다.By applying the
<구성예 2>≪ Configuration Example 2 &
상기에서 나타낸 분리층(113)이 형성된 공통 배선(111)은, 상부 전극층(107)의 도전성을 보조하기 위한 보조 배선으로서도 사용할 수 있다. 이하에서는, 분리층(113)을 갖는 공통 배선(111)을 상부 전극층(107)의 보조 배선에 적용한 발광 장치(100)에 대하여 설명한다.The
도 2(A)는 발광 장치(100)의 상면 개략도이다. 또한, 도 2(B)는 도 2(A) 내의 절단선 B-B'에 있어서의 단면 개략도이고, 도 2(C)는 절단선 C-C'에 있어서의 단면 개략도이다. 명료화를 위하여 도 2(A)에는 EL층 및 상부 전극층은 명시하지 않는다.Fig. 2 (A) is a schematic top view of the
발광 장치(100)는 기판(101) 위에 하부 전극층(103), EL층(105), 상부 전극층(107), 격벽(109), 및 공통 배선(111)을 갖는다. 또한, 공통 배선(111) 위에 분리층(113) 및 발광 장치(100)의 외주를 둘러싼 분리층(115)을 갖는다.The
또한, 도시하지 않았지만, 발광 장치(100)는 기판(101)에 접하는 하지막, 및 상부 전극층(107)을 덮는 밀봉막을 가져도 좋다. 하지막이나 밀봉막을 형성함으로써, EL층의 열화를 억제할 수 있어, 발광 장치(100)의 신뢰성을 높일 수 있다.Although not shown, the
발광 장치(100)는, 하지 전극층(103)과 상부 전극층(107)과, 이들에 협지된 EL층(105)을 포함한 발광 소자에 전압을 인가함으로써 발광을 얻을 수 있다.The
격벽(109)은, 하지 전극층(103) 및 공통 배선(111)의 단부에 형성된다. 이들 단부에 형성된 격벽(109)은, EL층(105) 및 상부 전극층(107)이 이들 단차로 인하여 단선되지 않도록 형성된다. 그래서, 격벽(109)은 그 상면에 형성된 막이 끊김 없도록 순 테이퍼 형상을 갖는 것이 바람직하다. 테이퍼 형상이란, 단면에 있어서 어느 층이 그 상단부에서 완만하게 두께를 증대시켜 하지가 되는 층의 구성을 가리킨다.The
공통 배선(111)은 적어도 상부 전극층(107)보다 충분히 저항이 낮은 도전성 재료를 포함하고, 상기 공통 배선(111) 위에는 이것과 접하여 형성된 분리층(113)을 갖는다.The
분리층(113)은 절연성을 갖고, 그 상부가 기판 표면에 평행한 방향에 대하여 내미는 형상을 갖는다. 바꿔 말하면, 분리층(113)을 기판 표면에 투영한 경우에 있어서, 그 제일 큰 투영 면적보다 공통 배선(111)과 접촉하는 영역의 면적이 작고, 또 투영면보다 내측에 형성된 형상을 갖는다.The
이와 같은 형상의 분리층(113)을 형성하고, 나중에 설명하는 방법으로 EL층(105) 및 상부 전극층(107)을 형성함으로써, 도 2(B)에 도시한 바와 같이 EL층(105)은 분리층(113)에 의하여 막이 분단되고, 또한, 상부 전극층(107)은 분리층(113)의 내미는 부분과 겹치는 영역에 있어서 공통 배선(111)의 상면과 접촉하고, 이들이 전기적으로 접속된 구성으로 할 수 있다.The
따라서, 상부 전극층(107)은 전기적으로 분단되지 않고, 공통 배선(111)을 통하여 발광 장치(100)의 발광 영역 전체에 걸쳐 전기적인 접속이 보증된다. 또한, 상부 전극층(107)의 저항에 기인하는 전위 강하는 상기 상부 전극층(107)과 전기적으로 접속된 공통 배선(111)에 의하여 억제된다.Therefore, the
또한, EL층(105)을 분단시키기 위해서는, 분리층(113)의 형상을 EL층(105)을 형성할 때 막이 상기 분리층의 측면에 형성되는 것을 억제하는 형상으로 하면 좋고, 예를 들어 분리층(113)의 제일 내미는 지점과, 분리층(113) 측면이 공통 배선(111)과 접하는 지점을 이은 선과 기판 면의 각도가 가능한 한 작게 되도록 형성하면 좋다. 또한, 상기 선과 분리층(113) 측면 사이에 공간을 제공하도록 잘록한 형상으로 하여도 좋다.In order to separate the
또한, 공통 배선(111)은 발광 장치(100) 외측에 인출되고, 상부 전극층(107)에 인가되는 전위가 공급된다. 또한, 하부 전극층(103)도 마찬가지로 발광 장치(100) 외측에 인출되고, 하부 전극층(103)에 인가되는 전위가 공급된다.Further, the
또한, 발광 장치(100)는 이것을 둘러싸도록 격벽(109) 위에 형성된 분리층(115)을 갖는다. 분리층(115)은 EL층(105) 및 상부 전극층(107)을 물리적으로, 또 전기적으로 분단하는 기능을 갖는다. 따라서, 이와 같은 분리층(115)에 의하여 발광 장치(100)를 둘러쌈으로써, 예를 들어 메탈 마스크를 사용하지 않고 EL층(105) 및 상부 전극층(107)을 형성한 경우에도 발광 장치(100)에 포함되는 상부 전극층(107)을 분리층(115) 외부와 전기적으로 분리시킬 수 있다.Further, the
도 2(C)는 도 2(A)의 절단선 C-C'에서의 단면 개략도이다. 발광 장치(100)를 둘러싸도록 형성된 분리층(115)은, 격벽(109) 위에 형성되고, EL층(105) 및 상부 전극층(107)을 분단한다. 분리층(115)을 형성함으로써, 발광 장치(100)들을 인접하여 배치하는 경우에 이들을 전기적으로 분리할 수 있다.Fig. 2 (C) is a schematic cross-sectional view taken along a line C-C 'shown in Fig. 2 (A). A
분리층(115)은 분리층(113)과 같은 재료 및 같은 공정으로 형성되고, 그 상부가 기판 표면 방향에 대하여 평행한 방향으로 내미는 형상을 갖는다. 따라서, 분리층(115)은 EL층(105), 및 상부 전극층(107)을 형성할 때 이들을 함께 분단한다. 분리층(115)을 경계로 하여 분단된 EL층(105) 및 상부 전극층(107) 단부는, 함께 격벽(109)에 접한다. 따라서, 상부 전극층(107)은 상기 분리층(115)을 개재(介在)하고, 전기적으로 분단된다.The
또한, 발광 장치(100)를 단체로 사용하는 경우나, 인접되는 발광 장치(100)간을 전기적으로 분리할 필요가 없는 경우에는, 분리층(115)을 형성하지 않아도 좋다.In the case where the
또한, 본 구성예에서는 공통 배선(111)과 하부 전극층(103)을 다른 재료 및 다른 공정을 사용하여 기판(101) 위에 병설한 구성으로 하였지만, 예를 들어 이들을 같은 재료 및 같은 공정을 사용하여 형성할 수도 있다. 또한, 그런 경우, 기판(101) 위에 저저항의 재료로 인출 배선을 형성하고, 상기 리드 배선 위에 개구부를 갖는 평탄화막을 형성하고, 이것과 공통 배선(111) 또는 하부 전극층(103)을 접속하는 구성으로 하여도 좋다. 상면 발광형의 발광 장치의 경우, 리드 배선을 발광 장치(100)의 아래 측에 형성함으로써 기판(101)의 면적에 대한 발광 면적을 크게 할 수 있다.Although the
상술한 바와 같은 공통 배선(111) 및 분리층(113)을 발광 장치(100)에 적용함으로써, EL층(105)을 형성할 때 공통 배선(111)과 상부 전극층(107)의 접속부를 덮는 메탈 마스크를 사용할 필요가 없고, 상부 전극층(107)과 같은 메탈 마스크를 사용하여 형성할 수 있다. 따라서, 발광 장치(100)를 제작할 때 사용하는 메탈 마스크 매수가 삭감되고, 메탈 마스크와 기판의 접촉으로 인하여 발생하는 문제가 저감되어, 신뢰성이 높은 발광 장치로 할 수 있다.The metal layer covering the connection portion of the
또한, 저저항 재료로 이루어진 공통 배선(111)에 의하여, 상부 전극층(107)의 저항에 기인하는 전위 강하의 영향을 극히 억제하고, 신뢰성이 높은 발광 장치로 할 수 있다. 특히, 상부 전극층(107)으로서 저항이 높은 투명 도전막을 사용한 상면 발광형 발광 장치의 경우에 있어서 큰 효과를 가진다.Further, by the
또한, 발광 장치(100)를 인접하여 복수 배치하는 경우에 있어서도, 상술한 바와 같이 발광 장치(100)를 둘러싸도록 분리층(115)을 형성함으로써, 메탈 마스크를 사용하지 않고 EL층(105) 및 상부 전극층(107)을 형성하였을 때 이들을 전기적으로 분리할 수 있다. 또한, 메탈 마스크를 사용하지 않고, EL층 및 상부 전극층을 형성할 수 있으므로, 메탈 마스크와 기판의 접촉으로 인한 문제가 배제되어, 신뢰성이 높은 EL 발광 장치로 할 수 있다.Even when a plurality of light emitting
<재료><Material>
이하에 각각의 층에 사용할 수 있는 재료의 일례를 기재한다.An example of a material usable for each layer is described below.
[기판][Board]
발광 장치(100)가 하면 발광형, 양면 발광형의 경우, 기판(101)의 재료로서는, 유리, 석영, 유기 수지 등의 투광성을 갖는 재료를 사용할 수 있다. 또한, 상면 발광형의 경우에는, 투광성을 갖지 않아도 좋고, 상기 재료에 더하여 금속, 반도체, 세라믹스, 유색(有色)의 유기 수지 등의 재료를 사용할 수 있다. 도전성의 기판을 사용하는 경우, 그 표면을 산화시키거나, 또는 표면에 절연막을 형성함으로써 기판 표면에 절연성을 갖게 하는 것이 바람직하다.In the case where the
기판(101)으로서 유기 수지를 사용하는 경우, 유기 수지로서는, 예를 들어, 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET), 또는 폴리에틸렌나프탈레이트(PEN) 등의 폴리에스테르 수지, 아크릴 수지, 폴리아크릴로니트릴 수지, 폴리이미드 수지, 폴리메틸메타크릴레이트 수지, 폴리카보네이트 수지(PC), 폴리에테르술폰 수지(PES), 폴리아미드 수지, 시클로올레핀 수지, 폴리스티렌 수지, 폴리아미드이미드 수지, 폴리 염화비닐 수지 등을 사용할 수 있다. 또한, 유리 섬유에 수지를 함침시킨 기판이나, 무기 필러(filler)를 유기 수지에 혼합시킨 기판을 사용할 수도 있다.When an organic resin is used as the
특히, 상면 발광형의 발광 장치(100)의 경우, 기판에는 금속 기판 등의 열 도전성이 높은 기판을 사용하는 것이 바람직하다. EL 소자를 사용한 대형의 조명 장치의 경우, EL 소자로부터의 발열이 문제가 될 경우가 있기 때문에, 이와 같이 열 전도성이 높은 기판을 사용하면 발열성이 높아진다. 예를 들어, 스테인리스 기판 이외에 알루미늄 산화물, 두랄루민(duralumin) 등을 사용하면 가볍고, 또 방열성을 높일 수 있다. 또한, 알루미늄과 알루미늄 산화물의 적층, 두랄루민과 알루미늄 산화물의 적층, 두랄루민과 마그네슘 산화물의 적층 등을 사용하면 기판 표면을 절연성으로 할 수 있어 바람직하다.In particular, in the case of the top emission type
[밀봉막?하지막][Sealing membrane? Lower membrane]
하면 발광형, 양면 발광형의 발광 장치의 경우, 밀봉막?하지막은 투광성 또 배리어성을 갖는 재료를 사용하여 형성할 수 있다. 상면 발광형의 발광 장치에서는, 반드시 투광성을 갖지 않아도 좋다.In the case of a light-emitting type or double-side light-emitting type light-emitting device, the sealing film-base film can be formed using a material having translucency and barrier properties. In a top emission type light emitting device, it is not necessarily required to have light transmittance.
밀봉막?하지막으로서는, 예를 들어 무기 절연막을 스퍼터링법으로 형성할 수 있다. 예를 들어, 질화 실리콘막, 산화 알루미늄막, 산화 실리콘막 등을 형성하면 좋다. 또한, 광 사출 방향과 반대 측에 형성되는 밀봉막, 또는 하지막은 금속막과 상기 무기 절연막을 적층한 것을 사용하여도 좋다.As the sealing film-underlying film, for example, an inorganic insulating film can be formed by a sputtering method. For example, a silicon nitride film, an aluminum oxide film, a silicon oxide film, or the like may be formed. Further, a sealing film formed on the side opposite to the light emitting direction, or a film obtained by laminating the metal film and the inorganic insulating film as the underlying film may be used.
밀봉막은 예를 들어, 수분의 투과율이 10-6g/m2ㆍday 이하 정도의 가스 배리어성을 구비하는 것이 바람직하다. 또한, 밀봉막의 구성으로서는 예를 들어, 무기물을 포함한 층을 적어도 한층, 유기물을 포함한 층 사이에 끼워 적층한 것을 사용할 수 있다. 유기물을 포함한 층으로서는, 예를 들어 에폭시계 등의 접착재층을 일례로서 들 수 있고, 무기물을 포함한 층으로서는 산화 실리콘, 질화 실리콘 등 배리어성을 갖는 막을 일례로서 들 수 있다.It is preferable that the sealing film has, for example, a gas barrier property with a water permeability of about 10 -6 g / m 2 · day or less. As the constitution of the sealing film, for example, a laminate in which at least one layer containing an inorganic substance is sandwiched between layers containing an organic substance can be used. Examples of the layer containing an organic material include an adhesive layer such as an epoxy-based material, and examples of the layer containing an inorganic material include a film having barrier properties such as silicon oxide and silicon nitride.
또한, 기판으로서 유기 수지를 사용하는 경우에는, 하지막으로서 25μm 이상 100μm 이하의 두께의 유리층을 사용하여도 좋다. 유리층의 두께는, 대표적으로는 45μm 이상 80μm 이하이다. 유기 수지 기판과 유리층을 조합함으로써, 수분 또는 불순물 등이 발광 장치의 외부로부터 발광 소자에 포함되는 유기 화합물이나 금속 재료에 침입하는 것을 억제할 수 있고, 또 발광 장치의 경량화를 실현할 수 있다.When an organic resin is used as the substrate, a glass layer having a thickness of 25 占 퐉 or more and 100 占 퐉 or less may be used as a base film. The thickness of the glass layer is typically 45 占 퐉 or more and 80 占 퐉 or less. By combining the organic resin substrate and the glass layer, it is possible to suppress moisture or impurities from entering the organic compound or metal material contained in the light emitting element from the outside of the light emitting device, and to realize light weight of the light emitting device.
[분리층][Separation layer]
분리층은 무기 절연 재료, 유기 절연 재료를 사용하여 형성할 수 있다. 예를 들어, 네거티브형이나 포지티브형의 감광성을 갖는 수지 재료, 비감광성을 갖는 수지 재료 등을 사용할 수 있다.The separating layer may be formed using an inorganic insulating material or an organic insulating material. For example, a resin material having a photosensitivity of a negative or positive type, a resin material having a non-photosensitivity, or the like can be used.
[발광 소자][Light Emitting Element]
광 사출 측의 전극층에 사용할 수 있는 투광성을 갖는 재료로서는, 산화 인듐, 산화 인듐 산화 주석, 산화 인듐 산화 아연, 산화 아연, 갈륨을 첨가한 산화 아연, 그래핀(graphene) 등을 사용할 수 있다.As the material having light transmittance that can be used for the light emitting side electrode layer, indium oxide, indium oxide tin oxide, zinc oxide indium oxide, zinc oxide, zinc oxide with gallium added, graphene and the like can be used.
또한, 상기 전극층으로서, 금, 은, 백금, 마그네슘, 니켈, 텅스텐, 크롬, 몰리브덴, 철, 코발트, 구리, 팔라듐, 또는 티타늄 등의 금속 재료나, 이들의 합금을 사용할 수 있다. 또는, 이들 금속 재료의 질화물(예를 들어, 질화 티타늄) 등을 사용하여도 좋다. 또한, 금속 재료(또는 그 질화물)를 사용하는 경우, 투광성을 가질 정도로 얇게 하면 좋다.As the electrode layer, a metal material such as gold, silver, platinum, magnesium, nickel, tungsten, chromium, molybdenum, iron, cobalt, copper, palladium or titanium or an alloy thereof may be used. Alternatively, a nitride of these metal materials (for example, titanium nitride) or the like may be used. When a metal material (or a nitride thereof) is used, it may be made thin enough to have translucency.
또한, 상기 재료의 적층막을 전극층으로서 사용할 수 있다. 예를 들어, 은과 마그네슘의 합금과, 산화 인듐 산화 주석과의 적층막 등을 사용하면, 도전성을 높일 수 있어 바람직하다.In addition, a laminated film of the above material can be used as an electrode layer. For example, it is preferable to use an alloy of silver and magnesium, a lamination film of indium oxide and tin oxide, or the like because conductivity can be increased.
광 사출 측의 전극층의 막 두께는 예를 들어 50nm 이상 300nm 이하이고, 바람직하게는 80nm 이상 130nm 이하, 더 바람직하게는 100nm 이상 110nm 이하이다.The film thickness of the electrode layer on the light emitting side is, for example, 50 nm or more and 300 nm or less, preferably 80 nm or more and 130 nm or less, and more preferably 100 nm or more and 110 nm or less.
EL층은, 적어도 발광성을 갖는 유기 화합물을 포함하는 층을 갖는다. 그 외에, 전자 수송성이 높은 물질을 함유한 층, 정공 수송성이 높은 물질을 함유한 층, 전자 주입성이 높은 물질을 함유한 층, 정공 주입성이 높은 물질을 함유한 층, 양극성(bipolar) 물질(전자 수송성 및 정공 수송성이 높은 물질)을 함유한 층 등을 적절히 조합한 적층 구조를 구성할 수 있다.The EL layer has a layer containing an organic compound having at least luminous properties. In addition, a layer containing a substance having a high electron-transporting property, a layer containing a substance having a high hole-transporting property, a layer containing a substance having a high electron-injecting property, a layer containing a substance having a high hole- (A material having a high electron transporting property and a high hole transporting property), and the like can be appropriately combined to form a laminated structure.
본 발명의 일 형태에서는 상부 전극층과 하부 전극층 사이에 복수의 EL층이 형성된 발광 소자(탠덤형(tandem) 발광 소자)를 적용할 수 있다. 바람직하게는, 2층 내지 4층(특히 3층) 구조로 한다. EL층의 구성예는 실시형태 4에서 자세히 설명한다.In an aspect of the present invention, a light emitting element (tandem light emitting element) having a plurality of EL layers formed between an upper electrode layer and a lower electrode layer can be applied. Preferably two to four layers (particularly three layers). An example of the configuration of the EL layer is described in detail in Embodiment 4. [
광 사출 측과는 반대 측에 형성되는 전극층은, 반사성을 갖는 재료를 사용하여 형성된다. 반사성을 갖는 재료로서는, 알루미늄, 금, 백금, 은, 니켈, 텅스텐, 크롬, 몰리브덴, 철, 코발트, 구리, 또는 팔라듐 등의 금속 재료를 사용할 수 있다. 그 외에, 알루미늄과 티타늄의 합금, 알루미늄과 니켈의 합금, 알루미늄과 네오디뮴의 합금 등의 알루미늄을 함유한 합금(알루미늄 합금)이나, 은과 구리의 합금, 은과 마그네슘의 합금 등의 은을 포함한 합금을 사용할 수도 있다. 은과 구리의 합금은 내열성이 높기 때문에 바람직하다. 또한, 알루미늄 합금막에 접하는 금속막, 또는 금속 산화물막을 적층함으로써, 알루미늄 합금막의 산화를 억제할 수 있다. 상기 금속막, 금속 산화물막의 재료로서는 티타늄, 산화 티타늄 등을 들 수 있다.The electrode layer formed on the side opposite to the light emitting side is formed using a material having reflectivity. As the material having reflectivity, a metal material such as aluminum, gold, platinum, silver, nickel, tungsten, chromium, molybdenum, iron, cobalt, copper or palladium can be used. In addition, an alloy including aluminum (aluminum alloy) such as an alloy of aluminum and titanium, an alloy of aluminum and nickel, an alloy of aluminum and neodymium, an alloy of silver and copper, an alloy including silver and magnesium, May be used. Silver and copper alloys are preferable because they have high heat resistance. Further, by laminating a metal film or a metal oxide film in contact with the aluminum alloy film, oxidation of the aluminum alloy film can be suppressed. Examples of the material of the metal film and the metal oxide film include titanium and titanium oxide.
[공통 배선?배선][Common wiring and wiring]
공통 배선?배선의 재료로서는, 구리(Cu), 티타늄(Ti), 탄탈(Ta), 텅스텐(W), 몰리브덴(Mo), 크롬(Cr), 네오디뮴(Nd), 스칸듐(Sc), 니켈(Ni)로부터 선택된 재료 또는 이들을 주성분으로 하는 합금 재료를 사용하여, 단층으로 또는 적층으로 형성한다. 또한, 배선의 재료로서 알루미늄을 사용할 수도 있지만, 그 경우에는 산화 인듐 산화 주석 등과 직접 접하여 형성하면 부식할 우려가 있다. 따라서, 배선을 적층 구조로 하고, 산화 인듐 산화 주석 등과 접하지 않은 층에 알루미늄을 사용하면 좋다. 또한, 구리는 저항이 낮으므로 바람직하게 사용할 수 있다. 배선의 막 두께는 100nm 이상 35μm 이하로 하는 것이 바람직하다.As a material of the common wiring and wiring, copper (Cu), titanium (Ti), tantalum (Ta), tungsten (W), molybdenum (Mo), chromium (Cr), neodymium (Nd), scandium Ni), or an alloying material containing any of them as a main component, in a single layer or in a laminate. Aluminum may also be used as the material of the wiring, but in this case, it may be corroded if it is formed directly in contact with indium oxide, tin oxide or the like. Therefore, aluminum may be used for the layer having the wiring as a laminated structure and not in contact with the indium oxide tin oxide or the like. Further, copper is preferably used because it has a low resistance. The film thickness of the wiring is preferably 100 nm or more and 35 占 퐉 or less.
[격벽][septum]
격벽의 재료로서는, 예를 들어 폴리이미드 수지, 아크릴 수지, 폴리아미드 수지, 에폭시 수지 등의 유기 수지, 또는 무기 절연 재료를 사용할 수 있다.As the material of the barrier rib, for example, an organic resin such as a polyimide resin, an acrylic resin, a polyamide resin, an epoxy resin, or an inorganic insulating material can be used.
하지가 되는 층에 순 테이퍼 형상의 단부를 접하는 다른 층의 측면의 각도로서는, 예를 들어 10° 이상 85° 이하, 바람직하게는 60° 이상 80° 이하를 갖는다.The angle of the side surface of the other layer contacting the end of the net tapered shape with the underlying layer is, for example, not less than 10 degrees and not more than 85 degrees, preferably not less than 60 degrees and not more than 80 degrees.
특히, 감광성의 수지 재료를 사용하여 개구부를 형성하고, 그 개구부의 측면이 연속된 곡률을 갖는 경사면이 되도록 형성하는 것이 바람직하다. 구체적으로는, 절연막의 단면이 그리는 곡선의 곡면 반경이 0.2μm 이상 2μm 정도인 것이 바람직하다.In particular, it is preferable to form the opening by using a photosensitive resin material, and form the side surface of the opening to be a slope having a continuous curvature. Specifically, it is preferable that the curved surface radius of the curved line drawn by the cross section of the insulating film is about 0.2 占 퐉 to 2 占 퐉.
격벽의 형성 방법은, 특히 한정되지 않지만, 스퍼터링법, 증착법, 도포법, 액적 토출법(잉크젯법 등)의 인쇄법(스크린 인쇄, 오프셋 인쇄 등)을 사용하면 좋다.The method of forming the barrier ribs is not particularly limited, and a printing method (screen printing, offset printing, etc.) of a sputtering method, a vapor deposition method, a coating method, a droplet discharge method (inkjet method or the like)
격벽의 막 두께로서는 예를 들어 20nm 이상 20μm 이하로 하면 좋다. 바람직하게는 50nm 이상 3μm 이하이다.The film thickness of the barrier rib may be, for example, 20 nm or more and 20 占 퐉 or less. And preferably 50 nm or more and 3 m or less.
[평탄화막][Planarizing film]
평탄화막은 무기 절연 재료 또는 유기 절연 재료를 사용하여 형성할 수 있다. 또한, 아크릴 수지, 폴리이미드 수지, 벤조사이클로부텐계 수지, 폴리아미드 수지, 에폭시 수지 등 내열성을 갖는 유기 절연 재료를 사용하면 평탄화 절연막으로서 적합하다. 또한, 상기 유기 절연 재료 외에, 저유전율 재료(low-k 재료), 실록산계 수지, PSG(인 유리), BPSG(인 붕소 유리) 등을 사용할 수 있다. 또한, 이들 재료로 형성되는 절연막을 복수 적층시킴으로써 평탄화막을 형성하여도 좋다.The planarizing film may be formed using an inorganic insulating material or an organic insulating material. When an organic insulating material having heat resistance such as an acrylic resin, a polyimide resin, a benzocyclobutene resin, a polyamide resin, or an epoxy resin is used, it is suitable as a planarizing insulating film. In addition to the organic insulating material, a low dielectric constant material (low-k material), siloxane-based resin, PSG (phosphorous glass), BPSG (boron glass) and the like can be used. A planarizing film may be formed by laminating a plurality of insulating films formed of these materials.
평탄화막의 형성 방법은, 특히 한정되지 않고, 그 재료에 따라 스퍼터링법, 스핀 코트법, 딥법, 인쇄법, 잉크젯법 등을 사용할 수 있다.The method for forming the planarizing film is not particularly limited, and a sputtering method, a spin coating method, a dipping method, a printing method, an inkjet method, or the like can be used depending on the material.
<제작 방법예><Production method example>
이어서, 기판 위에 상기 발광 장치(100)를 제작하는 방법의 일례에 대하여 도 3(A) 내지 도 3(D)를 사용하여 설명한다.Next, an example of a method of manufacturing the
또한, 실시형태에서는 발광 장치(100)로서 상면 사출형의 발광 장치를 예로 들어 설명하였지만, 하면 사출형으로 하는 경우는 하부 전극층에 투광성의 재료를 사용하고, 상부 전극층에 반사성을 갖는 재료를 사용하면 좋다. 또한, 양면 사출형으로 하는 경우는 상면 전극층과 하부 전극층의 양쪽에 투광성의 재료를 사용하면 좋다.In the embodiment, a light emitting device of a top emission type is described as an example of the
또한, 발광 장치(10)를 형성하는 경우는, 이하에서 예시하는 발광 장치(100)의 제작 방법에 있어서 각 층의 형성 패턴을 상이하게 함으로써, 이하의 제작 방법을 적용할 수 있다.In the case of forming the
우선, 기판(101) 위에 하부 전극층(103), 공통 배선(111)을 형성한다.First, a
하부 전극층(103), 공통 배선(111)의 형성은, 우선 이것을 구성하는 도전막을 스퍼터링법 등의 퇴적 방법을 사용하여 공지의 포토리소그래피법을 사용하여 불필요한 부분을 제거함으로써 형성한다. The
여기서, 하부 전극층(103)과 공통 배선(111)은 어느 쪽을 먼저 형성하여도 좋다. 이 경우, 나중에 형성한 도전막을 에칭할 때, 먼저 형성한 층을 에칭하지 않는 에칭 방법을 선택하는 것이 중요하다. 또한, 하부 전극층(103)과 공통 배선(111)을 같은 재료로 형성할 경우는 동시에 형성할 수 있다.Here, either the
또한, 하부 전극층(103)을 형성하기 전에 하지막을 형성하여도 좋다. 하지막은 배리어막으로서 기능하는 절연막을 사용할 수 있고, CVD법, 스퍼터링법 등의 성막 방법에 의하여 형성할 수 있다.Further, a base film may be formed before the
또한, 기판(101) 위에 저저항 재료를 사용하여 리드 배선을 형성하고, 상기 리드 배선 위에 개구부를 갖는 평탄화막을 형성하고, 평탄화막 위에 형성된 공통 배선(111) 및 하부 전극층(103)이 리드 배선과 접속되도록 하여도 좋다. 평탄화막으로서는, 상술한 바와 같은 절연 재료를 사용하면 좋다.Further, a lead wiring is formed on the
이어서 격벽(109)을 형성한다. 격벽(109)은 상기에서 예시한 재료, 제작 방법을 사용하여 형성할 수 있다. 예를 들어, 스핀 코팅법에 의하여 감광성의 수지 재료를 도포하고, 노광, 현상 처리를 행함으로써 형성한다.And then the
이 단계에서의 단면 개략도가 도 3(A)에 상당한다.A schematic cross-sectional view at this stage corresponds to Fig. 3 (A).
이어서, 분리층(113) 및 분리층(115)을 형성한다. 여기서는, 네거티브형의 감광성을 갖는 유기 수지를 사용하여 형성하는 방법에 대하여 설명한다.Next, a
우선, 네거티브형의 감광성을 갖는 유기 수지를 포함한 유기 수지막(117)을 형성한다. 유기 수지막(117)은 스핀 코팅법 등의 도포법, 액적 토출법(잉크젯법 등), 인쇄법(스크린 인쇄, 오프셋 인쇄 등)을 사용하여 형성할 수 있다.First, an
이어서, 마스크(119)를 개재하여 나중에 분리층(113) 및 분리층(115)이 형성되는 영역의 유기 수지막(117)에 노광광(121)을 조사한다(도 3(B) 참조). 여기서, 노광광(121)은 유기 수지막(117)의 두께 방향에 대하여 기판(101)에 가까워질수록 노광 강도가 작아지도록 조정한다. 네거티브형의 감광성을 갖는 유기 수지는 감광한 영역이 나중의 현상 처리 때 용해성이 저하하는 성질을 갖기 때문에, 노광 강도를 막 표면이 재일 크고, 기판(101)에 가까워질수록 작아지도록 광을 조사함으로써 현상 처리를 거쳐 형성되는 분리층(113) 및 분리층(115)의 형상은 기판(101)에 가까워질수록 그 투영 면적이 작아진다.Subsequently,
또한, 노광할 때, 노광의 초점을 인위적으로 어긋나게 하고, 기판(101)에 가까운 영역의 노광 강도가 작게 되도록 하여도 좋다.When the exposure is performed, the focal point of the exposure may be artificially shifted so that the exposure intensity in a region close to the
이어서, 현상 처리를 행하여 노광광(121)이 조사되지 않은 영역의 유기 수지막(117)을 제거함으로써, 분리층(113) 및 분리층(115)이 형성된다(도 3(C) 참조). 또한, 가열 처리를 행하여 분리층(113), 분리층(115)을 경화시켜도 좋다.Subsequently, the development processing is performed to remove the
여기서, 분리층(113), 분리층(115)에 무기 절연성 재료를 사용하는 경우는, 스퍼터링법, CVD법 등의 퇴적 방법을 사용하여 무기 절연막을 형성한 후, 공지의 레지스트 마스크를 사용한 포토리소 그래피법에 의하여, 상기 무기 절연막의 불필요한 부분을 에칭하여 형성하면 좋다. 여기서 에칭할 때 무기 절연막을 에칭한 후에 또한 측면 하부가 에칭되도록 에칭 시간을 연장함으로써, 역 테이퍼 형상의 분리층(113), 분리층(115)을 얻을 수 있다.Here, when an inorganic insulating material is used for the
여기서, 분리층(113) 및 분리층(115)은 상부 전극층(107)을 형성할 때, 이것을 물리적으로 분단시키는 형상인 것이 중요하다. 예를 들어, 상부가 크게 내미는 형상이나 크게 잘록한 형상으로 함으로써 상부 전극층(107)을 형성할 때 분리층(113), 분리층(115) 측면에 형성되고, 물리적으로 분단되지 않는 문제를 억제할 수 있다.It is important that the
분리층(115)은 상술한 바와 같이, 단층으로 형성하여도 좋고, 2층 이상의 다층으로 하여도 좋고, 절연성의 유기 재료, 무기 재료를 조합하여 형성하여도 좋다.The
다음에, 메탈 마스크를 사용하지 않고, EL층(105), 상부 전극층(107)을 형성한다(도 3(D) 참조).Next, the
EL층(105)은 증착법을 사용하여 형성할 수 있다. 여기서 형성되는 EL층(105)은 분리층(113) 및 분리층(115)에 의하여 물리적으로 분단된다. 분리층(113)의 근방에서는, EL층(105) 단부는 격벽(109)을 넘어 공통 배선(111) 위에 접하여 형성된다. 또한, 분리층(115) 근방에서는 EL층(105) 단부는 격벽(109) 위에 접하여 형성된다.The
상부 전극층(107)은 증착법, 스퍼터링법을 사용하여 형성할 수 있다. 상부 전극층(107)의 형성은 적어도 공통 배선(111) 표면의, 분리층(113)의 내미는 부분과 겹치는 영역과 접촉하도록 행하는 것이 중요하다. 상부 전극층(107)을 공통 배선(111) 표면의, 분리층(113)의 내미는 부분과 겹치는 영역과 접촉하도록 형성하는 방법으로서는, 예를 들어 증착원이나, 스퍼터링용 타깃과 기판(101)의 거리를 짧게 하여 형성하는 것 등을 들 수 있다.The
이와 같이 하여 형성된 상부 전극층(107)은, EL층(105)의 단부를 넘어 공통 배선(111)에 접촉하기 때문에, 공통 배선(111)과 전기적으로 접속된다. 따라서, 발광 장치(100)가 발광할 때 상부 전극층(107)의 저항에 기인하는 전위 강하를 억제할 수 있게 된다.The
그 후, 상부 전극층(107)을 덮는 밀봉막을 형성한다. 밀봉막을 형성함으로써, 외부로부터 물 등의 불순물이 침입하는 것을 억제할 수 있기 때문에, 신뢰성이 높은 발광 장치(100)로 할 수 있다.Thereafter, a sealing film covering the
상술한 제작 공정에 의하여, 발광 장치(100)를 제작할 수 있다. 이와 같은 제작 방법을 사용함으로써, 메탈 마스크를 사용하지 않고, 발광 장치(100)를 제작할 수 있기 때문에, 메탈 마스크와 기판의 접촉에 의한 문제가 배제되고, 신뢰성이 높은 EL 발광 장치로 할 수 있다.The
<변형예><Modifications>
상기에서 예시한 분리층(113) 및 분리층(115)은 EL층(105)과 상부 전극층(107)을 물리적으로 분단시키는 형상이라면 다양한 형태를 취할 수 있다. 이하, 도 4(A) 내지 도 4(C)를 사용하여 분리층(113) 및 분리층(115)으로서 사용할 수 있는 형상의 예에 대하여 설명한다.The
도 4(A)에 도시한 분리층(131)은 그 측면이 잘록한 형상을 갖는다. 바꿔 말하면, 분리층(131) 바닥 부분의 제일 외측 지점과 분리층의 측면(131)의 제일 내미는 지점을 이은 선과 분리층(131)의 측면 사이에 공간을 갖는 형상을 갖는다. EL층(105) 및 상부 전극층(107)을 형성할 때 상기 층의 측면에 형성되는 부분이 큰 경우에는, 이와 같이 잘록한 형상으로 함으로써, 효과적으로 EL층(105) 및 상부 전극층(107)을 분단할 수 있다.The
또한, 도 4(B)에 도시한 분리층(133)은 그 하부에 있어서 그 측면과 접지면의 각도가 작게 되는 형상을 갖는다. 이와 같은 형상으로 함으로써, 하부에서 EL층(105) 및 상부 전극층(107)을 형성할 때 상기 층의 측면에 형성되는 부분이 억제되고, 이들을 효과적으로 분단할 수 있다.In addition, the
여기서, 분리층은 2개 이상의 절연성 재료를 조합하여 형성할 수도 있다.Here, the separation layer may be formed by combining two or more insulating materials.
도 4(C)에 도시한 분리층(135)은 유기 절연 재료를 포함한 각부(135a)와 무기 절연 재료를 포함한 태부(台部)(135b)를 갖는다. 각부(135a)는 그 투영면이 태부(135b)보다 작고, 또 내 측에 배치되도록 형성되고, 도 4(C)에 도시한 바와 같이 잘록한 형상을 가져도 좋다. 이와 같이 태부(135b)의 바닥 부분에 있어서, 기판(101)과 대향한 면이 노출되는 형상으로 함으로써, EL층(105) 및 상부 전극층(107)를 형성할 때 상기 층의 측면에 형성되는 부분이 큰 경우에도 효과적으로 이들을 분단할 수 있다. 분리층(135)의 제작 방법으로서는, 예를 들어 유기 절연막과 무기 절연막의 적층막을 형성하고, 포토리소그래피법에 의하여 우선 무기 절연막을 에칭하여 태부(135b)를 형성한다. 그 후, 상기 태부(135b)를 하드 마스크로서 사용하여 유기 절연막을 에칭한 후에, 그 측면이 퇴행(退行)되도록 추가로 에칭을 실시하여 각부(135a)를 형성하면 좋다.The
또한, 발광 장치(100)에 사용할 수 있는 분리층의 형상은, 상기에 한정되지 않고, EL층 및 상부 전극층을 형성할 때, 이들을 물리적으로 분단시키는 형상이면 좋고, 적어도 절연성을 갖고, 그 상부가 기판 표면에 대하여 평행한 방향으로 내미는 형상을 갖는다. 바꿔 말하면 분리층을 기판 표면에 투영한 경우에 있어서 그 투영 면적보다 하층과 접촉한 영역의 면적이 작고, 또 내 측에 형성되는 형상을 갖는다. 또한, 분리층의 측면과, 분리층의 바닥 부분의 제일 외측 지점과 분리층의 측면의 제일 내미는 지점을 이은 선보다 내 측에 공간을 가지며 잘록한 형상을 가지면, EL층 및 상부 전극층의 퍼짐을 억제할 수 있어 바람직하다.The shape of the separable layer that can be used for the
또한, 분리층은 2층 이상의 적층 구조로 하여도 좋다. 또한, 분리층을 구성하는 재료는 절연성 재료이면 좋고, 무기 절연막, 비감광성의 유기 절연막, 감광성(네거티브형, 포지티브형을 포함함)의 유기 절연막 등을 사용할 수 있다. 또한, 적층 구조로 할 때는, 상기 재료로부터 적절히 선택하여 형성할 수 있다.The separation layer may have a laminated structure of two or more layers. The material constituting the separation layer may be an insulating material, and an inorganic insulating film, a non-photosensitive organic insulating film, or a photosensitive organic insulating film (including a negative type or a positive type) may be used. When a laminated structure is used, it can be formed by appropriately selecting from the above materials.
여기서 발광 장치(100)는, 그 하부 전극층(103)에도 보조 배선을 형성한 구성으로 하여도 좋다. 특히, 하면 발광형(양면 발광형을 포함함)의 발광 장치의 경우, 하부 전극층(103)으로서 비교적으로 저항이 높은 광 투과성의 도전 재료를 사용하기 때문에, 상기 보조 배선을 형성하는 것은 유효하다. 또한, 상면 발광형의 발광 장치에 있어서도 발광 면적을 크게 하면 하부 전극층(103)의 저항을 무시할 수 없게 되는 경우가 있어, 상기 보조 배선이 필요한 경우가 있다. 이하, 하부 전극층(103)에 형성되는 보조 배선의 일례에 대하여 도 5(A) 내지 도 5(C)를 사용하여 설명한다.Here, the
도 5(A)는, 하부 전극층(103)의 아래 측에 접하는 보조 배선(123)을 형성한 구성이다. 이와 같은 구성은, 하면 발광형의 경우 그 광을 차폐할 영역이 보조 배선(123)만이 되므로, 개구율을 크게 할 수 있다. 또한, 상면 발광형의 경우는, 보조 배선(123)의 바로 위도 발광 영역으로 할 수 있기 때문에, 개구율의 저하가 없어 바람직하다.Fig. 5A shows a structure in which
보조 배선(123) 단부에서의 단차로 인한 EL층(105) 및 상부 전극층(107)의 단선이 우려되는 경우에는, 보조 배선(123) 단부를 덮는 격벽(125)을 구비한 구성으로 하여도 좋다. 도 5(B)는 보조 배선(123) 단부를 덮는 격벽(125)을 하부 전극층(103)에 접하여 형성하는 구성이다. EL층(105) 및 상부 전극층(107)의 적층은, 보조 배선(123) 단부에 있어서 격벽(125)에 접하여 형성되기 때문에, 단선이 억제된다. 또한, 도 5(C)에 도시한 바와 같이, 상기 격벽(125)을 보조 배선(123)과 하부 전극층(103) 사이에 형성하는 구성으로 하여도 좋다. 특히, 상면 발광형의 경우는 이와 같은 구성으로 함으로써, 격벽(125) 위도 발광 영역으로 할 수 있어 바람직하다.The
또한, 본 실시형태에서는, 보조 배선(123)을 하부 전극층(103)의 아래 측에 형성하는 구성만을 예시하였지만, 위 측에 형성하는 구성으로 하여도 좋다. 그 경우, 보조 배선(123) 단부에 기인하는 단차의 영향을 완화하기 위하여, 적절히 격벽(125)을 형성하면 좋다.In the present embodiment, only the constitution in which the
또한, 하부 전극층(103)과 상부 전극층(107)에 접속하는 공통 배선(111)을 다른 재료 및 다른 공정으로 형성하는 경우는, 상기 공통 배선(111)과 동시에 하부 전극층(103)에 형성하는 보조 배선(123)을 형성하는 것이 바람직하다. 하부 전극층(103)과 공통 배선(111) 및 보조 배선(123)을 형성하는 순서를 적절히 변경함으로써, 하부 전극층(103)의 상층, 또는 하층에 공통 배선(111) 및 보조 배선(123)을 형성할 수 있다.In the case where the
여기서, 본 발명의 일 형태의 발광 장치는, 상기 분리층과 공통 배선을 적용함으로써, 발광 장치들을 직렬로 접속할 수 있다. 예를 들어, 발광 장치를 갖는 조명 장치에 있어서, 가정용 전원 전압으로부터 조명 장치를 구동하는 전압으로 변환하기 위하여 컨버터를 사용하지만, 상기 발광 장치의 구동 전압이 낮은 경우, 컨버터에 의한 변환 효율이 저하된다. 그래서, 발광 장치를 직렬로 접속함으로써, 조명 장치의 구동 전압을 크게 할 수 있고, 컨버터에 의하여 변환할 때의 전력의 낭비를 저감할 수 있다.Here, in the light emitting device of one embodiment of the present invention, the light emitting devices can be connected in series by applying the separation layer and the common wiring. For example, in a lighting apparatus having a light emitting device, a converter is used to convert from a home power supply voltage to a voltage for driving the lighting device, but when the driving voltage of the light emitting device is low, conversion efficiency by the converter is lowered . Thus, by connecting the light-emitting devices in series, the driving voltage of the lighting device can be increased, and waste of electric power at the time of conversion by the converter can be reduced.
이하에서는, 상기에서 예시한 분리층과 공통 배선을 사용하여 발광 장치를 직렬로 접속하는 구성에 대하여 도 14(A) 및 도 14(B)를 사용하여 설명한다.Hereinafter, a configuration in which the light emitting device is connected in series using the separation layer and the common wiring as described above will be described with reference to Figs. 14 (A) and 14 (B).
도 14(A)는, 본 발명의 일 형태의 2개의 발광 장치와, 그 직렬 접속부를 포함하는 상면 개략도이고, 도 14(B)는 도 14(A) 내의 절단선 H-H'에서의 단면 개략도이다. 또한, 도 14(A)에는 명료화를 위하여, EL층(105) 및 상부 전극층(107)은 명시하지 않는다.14A is a schematic top view of a light emitting device according to an embodiment of the present invention and a series connection portion thereof. Fig. 14B is a cross-sectional view taken along a section line H-H ' Fig. 14 (A), the
발광 장치(150a)와 발광 장치(150b)의 접속부에는, 공통 배선(111) 위에 개구부를 갖는 절연층(153)과, 상기 개구부에서 공통 배선(111)을 접속하는 발광 장치(150b)가 갖는 하부 전극층(103)과, 하부 전극층(103) 위에 공통 배선(111) 단부에 중첩하는 격벽(109)을 갖는다. 또한, 공통 배선(111) 위에 형성된 분리층(113)에 의하여 직렬 접속된다 The connection portion of the
여기서, 분리층(113)의 발광 장치(150b)측 측면이 하부 전극층(103) 위의 격벽(109)과 접하고, 한편으로 이것과 대향한 측면은 노출된 구성으로 되어 있다. 이와 같은 구성으로 함으로써, 발광 장치(150a)의 상부 전극층(107)이 분리층(113)의 내미는 부분과 겹치는 영역에 있어서 발광 장치(150b)의 하부 전극층(103)과 전기적으로 접속한다. 또한, 발광 장치(150a) 및 발광 장치(150b)의 상부 전극층(107)들은 분리층(113)에 의하여 전기적으로 분리된다.Here, the side surface of the
이어서, 상기 접속 방법을 사용하여 복수의 발광 장치를 직렬로 접속하는 예를 나타낸다. 이하에서는, 4개의 발광 장치를 직렬로 접속하여 배치하는 구성에 대하여 도 15(A) 및 도 15(B)를 사용하여 설명한다.Next, an example of connecting a plurality of light emitting devices in series using the above connection method is shown. Hereinafter, a configuration in which four light emitting devices are connected in series will be described with reference to Figs. 15 (A) and 15 (B).
도 15(A) 및 도 15(B)는 각각 4개의 발광 장치(발광 장치(160a) 내지 발광 장치(160d))를 직렬로 접속하여 배치한 경우의 모식도이다.Figs. 15A and 15B are schematic diagrams in the case where four light emitting devices (light emitting
도 15(A)에 도시한 4개의 발광 장치(발광 장치(160a) 내지 발광 장치(160d))는, 접속부(161)를 통하여 직렬로 접속된다. 또한, 그 주변을 분리층(115)에 의하여 덮는 구성으로 한다. 분리층(115)에 의하여 EL층 및 상부 전극층을 그 주변에서 전기적으로 분리할 수 있다.The four light emitting devices (light emitting
또한, 도 15(B)의 구성은 각각의 발광 장치의 형상을 띠 형상으로 한 구성이다. 이와 같은 배치로 함으로써, 발광 장치를 흐르는 전류 경로를 짧게 할 수 있기 때문에, 배선이나 전극의 저항에 기인한 전압 강하에 따른 휘도 불균일을 억제할 수 있다,The configuration of Fig. 15 (B) is a configuration in which each light emitting device has a band shape. With this arrangement, the current path through the light emitting device can be shortened, so that the luminance unevenness due to the voltage drop due to the resistance of the wiring and the electrodes can be suppressed.
접속부(161)에는, 상기에서 예시한 발광 장치간의 접속부를 적용할 수 있다.The connecting portion between the light emitting devices exemplified above can be applied to the connecting
상술한 바와 같이, 인접한 2개의 발광 장치 사이에 상기에서 예시한 구성의 공통 배선과 분리층을 형성함으로써 적어도 분리층을 포함하는 영역에 개구부를 갖는 메탈 마스크를 사용하거나, 또는 메탈 마스크를 사용하지 않고 EL층 및 상부 전극층을 형성한 경우에 있어서나 발광 장치간을 직렬로 접속할 수 있다.As described above, by forming the common wiring and the isolation layer having the structures exemplified above between two adjacent light-emitting devices, at least a metal mask having an opening in a region including a separation layer is used, or a metal mask is not used Light emitting devices can be connected in series when the EL layer and the upper electrode layer are formed.
여기서, 상술한 접속부에 의하여 복수의 발광 장치를 직렬 접속하는 경우에 있어서, 각각 발광 장치는 상기 접속부로부터의 거리가 멀수록 상부 전극층의 저항에 기인한 전위 강하에 의하여 발광 휘도가 저하되는 경우가 있다. 이와 같은 경우에도, 상술한 분리층을 구비한 보조 배선을 각 발광 장치에 형성함으로써 각각 발광 장치로부터의 발광 휘도를 균일하게 할 수 있다.Here, in the case where a plurality of light emitting devices are connected in series by the above-described connecting portion, the light emitting device may have a decrease in light emission luminance due to the potential drop due to the resistance of the upper electrode layer as the distance from the connecting portion increases . Even in such a case, the light emission luminance from the light emitting device can be made uniform by forming the auxiliary wiring with the above-described separation layer in each light emitting device.
이와 같이 직렬 접속된 복수의 발광 장치를 조명 장치에 적용함으로써, 컨버터의 전력 변환 낭비가 저감되고, 저소비 전력의 조명 장치로 할 수 있다.By applying a plurality of light-emitting devices connected in series in this manner to the lighting device, it is possible to reduce power conversion waste of the converter and to provide a lighting device with low power consumption.
본 실시형태는, 본 명세서 중에서 기재한 다른 실시형태와 적절히 조합하여 실시할 수 있다.The present embodiment can be carried out in appropriate combination with other embodiments described in this specification.
(실시형태 2)(Embodiment 2)
본 실시형태에서는, 상기 실시형태에서 예시한 공통 배선 및 분리층을 복수의 화소부를 갖는 표시 장치에 적용한 예에 대하여 도 6(A) 내지 도 7c를 사용하여 설명한다.In this embodiment, an example in which the common wiring and the isolation layer exemplified in the above-described embodiments are applied to a display device having a plurality of pixel portions will be described with reference to Figs. 6A to 7C.
도 6(A)는 본 발명의 일 형태인 표시 장치(20)의 상면 개략도이다.6 (A) is a schematic top view of a
표시 장치(20)는 주기적으로 배치된 복수의 화소부(201)를 갖는 표시 영역(21)과, 표시 영역(21)을 둘러싸는 공통 배선(211)을 갖는다. 공통 배선(211)은 표시 영역(21) 내의 화소부(201)에 형성된 상부 전극층과 전기적으로 접속되고, 상기 상부 전극층에 공통 전위를 입력한다.The
도 6(B)는 도 6(A) 중의 일점 쇄선으로 둘러싸는, 화소부(201)와 공통 배선(211)을 포함하는 영역을 확대한 상면 개략도이다.FIG. 6B is a top view schematic view of an area surrounded by the one-dot chain line in FIG. 6A and including the
복수의 화소부(201)를 포함하는 표시 영역(21)에 인접하여 공통 배선(211)을 갖는다. 명료화를 위하여 도 6(B)에는 표시 장치(20)의 공통 배선(211)을 포함하는 일 영역만을 도시하고, 또한 화소부(201)에는 하부 전극층(203)과, 하부 전극층(203) 위에 파선으로 둘러싸 도시한 발광 영역과, 원형의 파선으로 도시한 콘택트 영역만을 도시한다.And has a
도 6(C)는 도 6(B) 중에 도시한 절단선 D-D', 및 E-E'에서의 단면 개략도이다. 단면 D-D'는 상기 콘택트 영역과 화소부(201)에 형성되는 트랜지스터(220)를 포함하는 영역의 단면 개략도이고, 단면 E-E'는 제일 외측에 배치된 화소부(201)와, 이것에 인접한 공통 배선(211)을 포함하는 영역의 단면 개략도이다.6 (C) is a schematic cross-sectional view taken along the line D-D 'and E-E' shown in Fig. 6 (B). Sectional view of a region including the
화소부(201)는 적어도 하나의 트랜지스터(트랜지스터(220))를 갖고, 상기 트랜지스터(220)에 콘택트 영역을 통하여 접속된 하부 전극층(203)과, EL층(205)과 상부 전극층(207)을 갖는다. 또한, 하부 전극층(203) 및 나중에 설명하는 공통 배선(211) 단부, 및 콘택트 영역을 덮는 격벽(209)을 갖는다.The
또한, 적어도 화소부(201)를 덮는 밀봉막을 형성하는 것이 바람직하다.Further, it is preferable to form a sealing film covering at least the
트랜지스터(220)는 기판(101) 위에 하지막(221)을 개재하여 형성되고, 반도체층(223), 게이트 전극(225)을 갖는다. 또한, 트랜지스터(220)를 덮는 제 1 절연층(231)에 형성된 콘택트 홀을 통하여 반도체층(223)에 형성된 소스 및 드레인 중 한쪽에 제 1 전극(227)이 소스 및 드레인 중 다른 쪽에 제 2 전극(229)이 각각 접속된다.The
또한, 트랜지스터(220), 제 1 전극(227), 제 2 전극(229) 및 제 1 절연층(231)을 덮는 제 2 절연층(233)에 형성된 콘택트부를 통하여 제 1 전극(227)과 하부 전극층(203)이 접속된다. 따라서, 트랜지스터(220)와 하부 전극층(203)이 접속된다.The
트랜지스터(220)의 스위칭 동작에 의하여, 하부 전극층(203)으로 공급되는 전압 또는 전류가 제어되고, 화소부(201)로부터의 발광이 제어된다.The voltage or current supplied to the
공통 배선(211)은 복수의 화소부(201)를 둘러싸도록 형성되고, 그 단부는 격벽(209)에 의하여 덮인다. 또한, 공통 배선(211) 위에는 분리층(213)이 형성되어 있다. 또한, 공통 배선(211)의 격벽(209) 및 분리층(213)에 덮이지 않은 일부의 영역에서 상부 전극층(207)과 접촉한다. 따라서, 복수의 화소부(201)에 공통적으로 형성되는 상부 전극층(207)은 공통 배선(211)에 전기적으로 접속된다.The
분리층(213)은 상기 실시형태에서 예시한 다양한 형태의 분리층을 적용할 수 있다.The
또한, 화소부(201)는 적어도 하나의 트랜지스터를 가지면 좋고, 표시 장치(20)의 구동 방법, 회로 구성 등에 의하여 복수의 트랜지스터나 용량 소자 등의 회로 소자를 가져도 좋다.The
또한, 화소부(201)는 상면 발광형, 하면 발광형, 양면 발광형 중 어느 발광형이라도 좋지만, 상면 발광형으로 함으로써 발광 영역의 개구율을 크게 할 수 있기 때문에 바람직하다. 또한, 하면 발광형, 양면 발광형으로 하는 경우에는, 트랜지스터(220)를 구성하는 재료(반도체층(223), 게이트 전극(225), 제 1 전극(227), 제 2 전극(229) 등)에 투광성을 갖는 재료를 적용하면, 효율적으로 발광을 얻을 수 있어 바람직하다.The
또한, 화소부(201)로부터의 발광을 단색, 바람직하게는 백색으로 하고, 화소부(201)에 중첩하는 컬러 필터를 형성하여 광을 추출하는 것이 바람직하다. 상기 컬러 필터는 기판(101) 위에 형성하여도 좋고, 대향 기판 위에 형성하여도 좋다. 화소부(201)로부터의 발광색을 동일하게 하면, 화소부(201)마다 EL층(205)을 분리 도포할 필요가 없고, 메탈 마스크를 사용하지 않고, 한번의 공정으로 EL층(205)을 형성할 수 있다.In addition, it is preferable that the light emitted from the
또한, 상면 발광형의 경우, EL층(205)으로부터의 상면 발광과, 하부 전극층(203)으로 반사된 하면 발광이 간섭되어 특정 파장의 광이 서로 세게 되도록 하부 전극층(203) 위에 광로 길이 조정막을 형성하여도 좋다. 상기 광로 길이 조정막은 투광성을 갖고, EL층(205)으로의 캐이어의 주입에 영향을 미치지 않는 막을 사용하는 것이 바람직하다.In the case of the top emission type, a light path length adjustment film (not shown) is formed on the
여기서, 본 발명의 일 형태의 공통 배선을 적용할 수 있는 표시 장치의 다른 일 형태에 대하여 도 13을 사용하여 설명한다.Here, another embodiment of a display device to which a common wiring according to an aspect of the present invention can be applied will be described with reference to Fig.
도 13은 발광 장치의 화소의 일 부분에 상당하는 단면도이다.13 is a cross-sectional view corresponding to a part of the pixel of the light emitting device.
도 13에 도시한 발광 장치는, 도 13에 화살표로 도시한 방향으로 광을 발한다. 즉, EL층(205)이 형성된 기판(101)을 개재하지 않고, 기판(101)에 대향하여 형성되는 기판(102)을 개재하여 발광하는 소위 상면 사출 구조(톱 이미션(top emission)구조)의 발광 장치이다.The light emitting device shown in Fig. 13 emits light in a direction shown by an arrow in Fig. Called top emission structure (top emission structure) in which light is emitted via the
도 13에 도시한 바와 같이, 기판(101)과 기판(102) 사이에 청색 화소(240a), 녹색 화소(240b), 및 적색 화소(240c)가 형성된다. 또한, 기판(101) 위에는 발광 소자의 구동을 제어하는 트랜지스터(220)와, 절연층(258)에 형성된 콘택트 홀을 통하여 트랜지스터(220)에 전기적으로 접속된 하부 전극층(203)을 갖는다.A
또한, 기판(101)과 기판(102) 사이에 있는 공간(260)은, 특별히 한정되지 않고, 투광성을 가지면 좋다. 다만, 공간(260)은 굴절률이 공간보다 큰 투광성을 갖는 재료로 충전하는 것이 바람직하다. 굴절률이 작은 경우, EL층(205)으로부터 사출된 경사 방향의 광이 공간(260)의 계면에 있어서 더 굴절되고, 경우에 따라서는 인접한 화소로부터 광이 사출되어 버린다. 따라서, 공간(260)으로서는, 예를 들어 기판(101)과 기판(102)이 접착될 수 있는 굴절률이 큰 투광성의 접착제를 사용할 수 있다. 또한, 질소나 아르곤 등의 불활성 기체 등도 사용할 수 있다.The
또한, 본 실시형태에 있어서 청색 화소(240a)는 적어도 청색 영역에 발광 강도를 갖는 발광 소자가 형성된 구성이고, 녹색 화소(240b)는 적어도 녹색 영역에 발광 강도를 갖는 발광 소자가 형성된 구성이고, 적색 화소(240c)는 적어도 적색 영역에 발광 강도를 갖는 발광 소자가 형성된 구성이다.In the present embodiment, the
청색 화소(240a), 녹색 화소(240b), 적색 화소(240c)는 공통적으로 하부 전극층(203) 위에 EL층(205)이 직접 형성되고, EL층(205) 위에 상부 전극층(207)이 형성된다.The
이와 같이, 각 화소(청색 화소(240a), 녹색 화소(240b), 적색 화소(240c))의 발광 소자는 같은 구성이 된다.Thus, the light emitting elements of each pixel (the
또한, 기판(102)은 기판(102) 위에 블랙 매트릭스로서 기능하는 차광막(252)과, 컬러 필터(254)와, 오버 코트(256)를 갖는다. 컬러 필터(254)는 유색층이고, 각 발광 소자로부터의 발광의 색(청색, 녹색, 적색)에 대응하는 광을 기판(102) 측에 투광한다.The
이와 같은 표시 장치에 상기 분리층을 갖는 공통 배선을 적용할 수 있다. 따라서, EL층(205) 및 상부 전극층(207)을 적어도 상기 분리층 위에 개구부를 동일 메탈 마스크를 사용하여 형성할 수 있다.The common wiring having the separation layer can be applied to such a display device. Therefore, the
또한, 이와 같이 각 발광 소자가 갖는 EL로부터의 발광을 단일로 하고, 상부에 각 발광 소자로부터의 발광색을 실현하는 컬러 필터(254)를 형성하는 구성으로 함으로써, EL층을 분리 도포하기 위한 메탈 마스크가 삭감되므로, 메탈 마스크의 매수나 제작 공정의 비용이 저감됨과 함께, 메탈 마스크와 기판의 접촉에 따른 문제의 발생 확률을 저감할 수 있다.In addition, by forming the
상술한 바와 같이, 본 발명의 일 형태의 공통 배선을 표시 장치에 사용함으로써, EL층(105)을 형성할 때 공통 배선(111)과 상부 전극층(107)의 접속부를 덮는 메탈 마스크를 사용할 필요가 없고, 상부 전극층(107)과 같은 메탈 마스크를 사용하여 형성할 수 있다. 따라서, 발광 장치(20)를 제작할 때 사용하는 메탈 마스크 매수가 삭감되고, 메탈 마스크와 기판의 접촉으로 인하여 발생하는 문제가 저감되어, 신뢰성이 높은 발광 장치로 할 수 있다.As described above, it is necessary to use a metal mask covering the connection portion of the
또한, 본 발명의 일 형태의 분리층을 구비한 공통 배선은, 발광 소자의 상부 전극층의 도전성을 보조하는 보조 배선으로서 사용할 수 있다. 이하에서는 상기 공통 배선 및 분리층을 보조 배선에 적용한 표시 장치(200)에 대하여 설명한다.In addition, the common wiring provided with the separation layer of one embodiment of the present invention can be used as an auxiliary wiring for assisting the conductivity of the upper electrode layer of the light emitting element. Hereinafter, the
도 7(A)는 본 발명의 일 형태인 표시 장치(200)의 상면 개략도이다.7 (A) is a schematic top view of a
표시 장치(200)는 주기적으로 복수 배치된 화소부(201)와, 화소부(201)를 둘러싸는 공통 배선(211)을 갖는다. 명료화를 위하여 도 7(A)에는 표시 장치(200)의 공통 배선(211)을 포함하는 일 영역만을 도시하고, 또한 화소부(201)에는 하부 전극층(203)과, 하부 전극층(203) 위에 파선으로 둘러싸 도시한 발광 영역과, 원형의 파선으로 도시한 콘택트 영역만을 도시한다.The
도 7(B)는 도 7(A) 중에 도시한 절단선 F-F', 및 G-G'에서의 단면 개략도이다. 단면 F-F'는 상기 콘택트 영역과 화소부(201)에 형성되는 트랜지스터(220)를 포함하는 영역의 단면 개략도이고, 단면 G-G'는 인접된 2게의 화소부(201)와, 이것에 인접한 공통 배선(211)을 포함하는 영역의 단면 개략도이다.Fig. 7B is a schematic cross-sectional view taken along the line F-F 'and G-G' shown in Fig. 7A. Section F-F 'is a sectional schematic view of a region including the contact region and the
표시 장치(200)는, 상기 표시 장치(20)에 대하여 인접되는 화소부(201) 사이에 상부 전극층의 보조 배선으로서 기능하는 공통 배선(211)을 갖는 점 이외는 같은 구성을 갖는다.The
공통 배선(211)은 인접한 2개의 화소부(201)의 하부 전극층(203) 사이에 형성되고, 그 단부는 격벽(209)에 의하여 덮인다. 또한, 공통 배선(211) 위에는 분리층(213)이 형성되어 있다. 또한, 공통 배선(211)의 격벽(209) 및 분리층(213)에 덮이지 않은 일부의 영역에서 상부 전극층(207)과 접촉한다. 따라서, 복수의 화소부(201)가 갖는 상부 전극층(207)은 공통 배선(211)을 통하여 전기적으로 접속된다.The
또한, 표시 장치(200)는, 표시 장치(20)와 마찬가지로 복수의 화소부(201)를 둘러싸도록 공통 배선(211)이 배치되어도 좋다.In the
또한, 본 실시형태에서는 하나의 화소부(201)를 둘러싸는 공통 배선(211)을 구비하는 구성에 대하여 예시하였지만, 2개 이상의 복수의 화소부(201)를 둘러싸도록 공통 배선(211)을 형성하여도 좋다. 또한, 공통 배선(211)은 세로 방향 또는 가로 방향에만 배치하는 구성으로 하여도 좋다.In the present embodiment, the
상술한 바와 같이, 본 발명의 일 형태의 공통 배선을 표시 장치에 적용함으로써, 상부 전극층의 저항에 기인한 전위 강하가 억제되고, 또 신뢰성이 높은 표시 장치로 할 수 있다. 또한, 메탈 마스크를 사용하지 않고, EL층 및 상부 전극층을 형성할 수 있으므로, 메탈 마스크와 기판의 접촉으로 인한 문제가 배제되어, 신뢰성이 높은 표시 장치로 할 수 있다.As described above, by applying the common wiring of one embodiment of the present invention to a display device, a potential drop due to the resistance of the upper electrode layer can be suppressed, and a highly reliable display device can be obtained. Further, since the EL layer and the upper electrode layer can be formed without using a metal mask, the problem caused by the contact between the metal mask and the substrate is eliminated, and a highly reliable display device can be obtained.
또한, 본 실시형태는 본 명세서 중에서 기재한 다른 실시형태와 적절히 조합하여 실시할 수 있다.The present embodiment can be carried out by appropriately combining with other embodiments described in this specification.
(실시형태 3)(Embodiment 3)
본 실시형태에서는, 실시형태 1에서 예시한 발광 장치가 적용된 상면 발광형의 조명 장치의 예에 대하여 도 8(A) 및 도 8(B)를 사용하여 설명한다.In this embodiment, an example of a top-emitting type lighting apparatus to which the light-emitting device exemplified in
도 8(A)에 도시한 조명 장치(300)는, 제 1 기판(301a) 위에 복수의 발광 장치(303)가 형성된다. 또한, 제 1 기판(301a)과, 상기 제 1 기판(301a)과 대향한 투광성을 갖는 제 2 기판(301b)은 발광 장치(303)를 덮는 씰재(305a)와 단부에 형성된 씰재(305b)에 의하여 접합된 구성이 되어 있다.In the
발광 장치(303)는 실시형태 1에서 예시한 발광 장치를 적절히 사용할 수 있다.The
제 1 기판(301a)에는, 금속 기판 등의 열 도전성이 높은 기판을 사용하는 것이 바람직하다. EL 소자를 사용한 대형의 조명 장치의 경우, EL 소자의 발열이 문제가 될 경우가 있어, 이와 같은 열 도전성이 높은 기판을 사용하면 방열성이 높아진다. 예를 들어, 스테인리스 기판 외에 알루미늄 산화물, 두랄루민 등을 사용하면 가볍고, 또 방열성을 높일 수 있다. 또한, 알루미늄과 알루미늄 산화물의 적층, 두랄루민과 알루미늄 산화물의 적층, 두랄루민과 마그네슘 산화물의 적층 등을 사용하면 기판 표면을 절연성으로 할 수 있어 바람직하다.It is preferable to use a substrate having a high thermal conductivity such as a metal substrate for the
제 2 기판(301b)에는, 투광성을 갖는 기판을 사용한다. 또한, 발광 장치(303) 표면이나 제 2 기판(301b)의 표면이나 뒷면 등, 발광 장치(303)로부터의 발광과 교차하는 면에 요철 형상을 형성하고, 전체 반사를 억제하는 구성으로 하여도 좋다. 예를 들어, 반구(半球) 렌즈, 마이크로 렌즈 어레이, 요철 구조가 형성된 필름, 광 확산 필름 등을 장착하여도 좋고, 직접 요철 형상을 형성하여도 좋다.A transparent substrate is used for the
씰재(305a, 305b)로서는, 대향한 면들을 접착할 수 있는 재료를 사용할 수 있다. 예를 들어, 열 경화형 재료, 자외선 경화형 재료 등으로 이루어진 공지의 씰재를 사용할 수 있다. 특히, 씰재(305a)에는 투과성을 갖는 재료를 사용하는 것이 바람직하다. 이들 재료는 가능한 한 수분이나 산소 등의 불순물을 투과하지 않는 재료인 것이 바람직하다. 또한, 건조제가 포함되는 씰재를 사용할 수도 있다.As the
도 8(B)에 도시한 조명 장치(320)는, 제 1 유리층(307a) 위에 형성된 복수의 발광 장치(303)가 제 2 유리층(307b)으로 밀봉된 것을 제 1 기판(301a) 및 제 2 기판(301b)으로 둘러싼 구성이 되어 있다.The illuminating
제 1 유리층(307a)과 제 2 유리층(307b)은 씰재(305a)를 사용하여 부착되어 있고, 제 1 기판(301a)과 제 2 기판(301b)은 씰재(305b)를 사용하여 부착되어 있다.The
또한, 제 1 유리층(307a)과 제 2 유리층(307b) 사이의 공간은 충전재로서 불활성 기체(질소, 아르곤 등)를 충전하여도 좋고, 투광성을 갖는 씰재로 충전한 것이라도 좋다.The space between the
조명 장치(320)는 발광 장치(303)가 2장의 얇은 유리층으로 끼워져 밀봉된 구성이 되어 있기 때문에, 외부로부터 수분, 산소 등의 불순물이 침입되는 것을 억제할 수 있어 신뢰성이 높은 발광 장치로 할 수 있다.Since the
또한, 조명 장치(300, 320)에는 제 1 기판(301a) 위에 발광 장치(303)와 접속하는 컨버터(309)가 설치되어 있다. 컨버터(309)는 예를 들어 가정용 전원 전원 전압으로부터 조명 구동용 전원 전압으로 변환한다. 또한, 컨버터(309)는 씰재(305b)보다 내측에 형성되어 있어도 좋다.A
또한, 조명 장치(300, 320)에 사용하는 기판의 재료로서, 플라스틱이나 유기 수지 필름, 얇은 유리 기판, 금속 박막 등의 가요성을 갖는 재료를 사용함으로써, 가볍고, 또 가요성을 갖는 조명 장치로 할 수 있다.Further, by using a flexible material such as a plastic or an organic resin film, a thin glass substrate, or a metal thin film as a material of the substrate used for the
또한, 본 실시형태에서는, 상면 발광형의 조명 장치에 대하여 설명하였지만, 예를 들어 하면 발광형으로 하는 경우에는 발광 장치가 설치되는 측의 기판에 투광성을 갖는 기판을 사용하면 좋다.In the present embodiment, the top surface emitting type illumination device has been described. However, for example, in the case of a bottom emission type, a substrate having a light transmitting property may be used for the substrate on the side where the light emitting device is installed.
본 실시형태는 본 명세서 중에서 기재한 다른 실시형태와 적절히 조합하여 실시할 수 있다.The present embodiment can be carried out in appropriate combination with other embodiments described in this specification.
(실시형태 4)(Fourth Embodiment)
본 실시형태에서는, 본 발명의 일 형태에 적용할 수 있는 EL층의 일례에 대하여 도 9(A) 내지 도 9(C)를 사용하여 설명한다.In this embodiment, an example of an EL layer which can be applied to an embodiment of the present invention will be described with reference to Figs. 9 (A) to 9 (C).
도 9(A)에 도시한 EL층(105)은, 제 1 전극층(711)과 제 2 전극층(712) 사이에 형성된다. 제 1 전극층(711) 및 제 2 전극층(712)은, 상기 실시형태와 같은 구성을 적용할 수 있다.The
EL층(105)은 적어도 발광성을 갖는 유기 화합물을 포함한 발광층이 포함되면 좋다. 그 외에, 전자 수송성이 높은 물질을 함유한 층, 정공 수송성이 높은 물질을 함유한 층, 전자 주입성이 높은 물질을 함유한 층, 정공 주입성이 높은 물질을 함유한 층, 양극성(bipolar) 물질(전자 수송성 및 정공 수송성이 높은 물질)을 함유한 층 등을 적절히 조합한 적층 구조를 구성할 수 있다. 본 실시형태에 있어서, EL층(105)은 제 1 전극층(711) 측으로부터 정공 주입층(701), 정공 수송층(702), 발광성을 갖는 유기 화합물을 포함하는 층(703), 전자 수송층(704), 및 전자 주입층(705)의 순서로 적층된다. 또한, 이들을 반전시킨 적층 구조로 하여도 좋다.The
도 9(A)에 도시한 발광 소자의 제작 방법에 대하여 설명한다.A manufacturing method of the light emitting element shown in Fig. 9 (A) will be described.
정공 주입층(701)은 정공 주입성이 높은 물질을 함유한 층이다. 정공 주입성이 높은 물질로서는 예를 들어, 몰리브덴 산화물, 티타늄 산화물, 바나듐 산화물, 레늄 산화물, 루테늄 산화물, 크롬 산화물, 지르코늄 산화물, 하프늄 산화물, 탄탈 산화물, 은 산화물, 텅스텐 산화물, 망간 산화물 등의 금속 산화물을 사용할 수 있다. 또한, 프탈로시아닌(약칭: H2Pc), 구리(II)프탈로시아닌(약칭: CuPc) 등의 프탈로시아닌계의 화합물을 사용할 수 있다.The
또한, 저분자의 유기 화합물인 4,4',4"-트리스(N,N-디페닐아미노)트리페닐아민(약칭: TDATA), 4,4',4"-트리스[N-(3-메틸페닐)-N-페닐아미노]트리페닐아민(약칭: MTDATA), 4,4'-비스[N-(4-디페닐아미노페닐)-N-페닐아미노]비페닐(약칭: DPAB), 4,4'-비스(N-{4-[N'-(3-메틸페닐)-N'-페닐아미노]페닐}-N-페닐아미노)비페닐(약칭: DNTPD), 1,3,5-트리스[N-(4-디페닐아미노페닐)-N-페닐아미노]벤젠(약칭: DPA3B), 3-[N-(9-페닐카르바졸-3-일)-N-페닐아미노]-9-페닐카르바졸(약칭: PCzPCA1), 3,6-비스[N-(9-페닐카르바졸-3-일)-N-페닐아미노]-9-페닐카르바졸(약칭: PCzPCA2), 3-[N-(1-나프틸)-N-(9-페닐카르바졸-3-일)아미노]-9-페닐카르바졸(약칭 : PCzPCN1) 등의 방향족 아민 화합물 등을 사용할 수 있다.In addition, low molecular organic compounds such as 4,4 ', 4 "-tris (N, N-diphenylamino) triphenylamine (abbreviation: TDATA), 4,4' ) -N-phenylamino] triphenylamine (abbreviated as MTDATA), 4,4'-bis [N- (4-diphenylaminophenyl) N'-phenylamino] phenyl} -N-phenylamino) biphenyl (abbreviation: DNTPD), 1,3,5-tris [N Phenylamino] -9-phenylcarbazole (abbrev., DPA3B), 3- [N- (9- (Abbreviation: PCzPCA1), 3,6-bis [N- (9-phenylcarbazol-3-yl) -N-phenylamino] (Naphthyl) -N- (9-phenylcarbazol-3-yl) amino] -9-phenylcarbazole (abbreviation: PCzPCN1).
또한, 고분자 화합물(올리고머, 덴드리머, 폴리머 등)을 사용할 수도 있다. 예를 들어, 폴리(N-비닐카바졸)(약칭: PVK), 폴리(4-비닐트리페닐아민)(약칭: PVTPA), 폴리[N-(4-{N'-[4-(4-디페닐아미노)페닐]페닐-N'-페닐아미노}페닐)메타크릴아미드](약칭: PTPDMA), 폴리[N,N'-비스(4-부틸페닐)-N,N'-비스(페닐)벤지딘(약칭: Poly-TPD) 등의 고분자 화합물을 들 수 있다. 또한, 폴리(3,4-에틸렌디옥시티오펜)/폴리(스티렌설폰산)(PEDOT/PSS), 폴리아닐린/폴리(스티렌설폰산)(PAni/PSS) 등의 산을 첨가한 고분자 화합물을 사용할 수 있다.Further, a polymer compound (oligomer, dendrimer, polymer, etc.) may be used. (Polyvinylcarbazole) (abbreviated as PVK), poly (4-vinyltriphenylamine) (abbreviation: PVTPA), poly [N- (4- { Phenyl) -N, N'-bis (phenyl) phenyl] -N'-phenylamino} phenyl) methacrylamide] (abbreviation: PTPDMA), poly [N, N'- And benzidine (abbreviation: Poly-TPD). Further, a polymer compound to which an acid is added such as poly (3,4-ethylenedioxythiophene) / poly (styrenesulfonic acid) (PEDOT / PSS) and polyaniline / poly (styrene sulfonic acid) have.
특히, 정공 주입층(701)으로서, 정공 수송성이 높은 유기 화합물에 억셉터성 물질을 함유시킨 복합 재료를 사용하는 것이 바람직하다. 정공 수송성이 높은 물질에 억셉터성 물질을 함유시킨 복합 재료를 사용함으로써, 제 1 전극층(711)으로부터의 정공 주입성을 양호하게 하고, 발광 소자의 구동 전압을 저감할 수 있다. 이들의 복합 재료는, 정공 수송성이 높은 물질과 억셉터 물질을 공증착함으로써 형성할 수 있다. 상기 복합 재료를 사용하여 정공 주입층(701)을 형성함으로써, 제 1 전극층(711)으로부터 EL층(105)에 정공을 용이하게 주입할 수 있게 된다.Particularly, as the
복합 재료에 사용하는 상기 유기 화합물로서는, 방향족 아민 화합물, 카바졸 유도체, 방향족 탄화 수소, 고분자 화합물(올리고머, 덴드리머, 폴리머 등)와 같은 다양한 화합물을 사용할 수 있다. 또한, 복합 재료에 사용하는 유기 화합물로서는 정공 수송성이 높은 유기 화합물인 것이 바람직하다. 구체적으로는, 10-6cm2/Vs 이상의 정공 이동도를 갖는 물질인 것이 바람직하다. 다만, 전자보다 정공 수송성이 높은 물질이면 이들 이외의 물질을 사용하여도 좋다. 이하에서는, 복합 재료에 사용할 수 있는 유기 화합물을 구체적으로 열거한다.As the organic compound used for the composite material, various compounds such as an aromatic amine compound, a carbazole derivative, an aromatic hydrocarbon, a polymer compound (oligomer, dendrimer, polymer, etc.) can be used. The organic compound used for the composite material is preferably an organic compound having a high hole-transporting property. Specifically, it is preferable that the material has a hole mobility of 10 -6 cm 2 / Vs or more. However, materials other than these may be used as long as they are substances having higher hole transportability than electrons. Hereinafter, organic compounds usable for the composite material are specifically listed.
복합 재료에 사용할 수 있는 유기 화합물로서는, 예를 들어 TDATA, MTDATA, DPAB, DNTPD, DPA3B, PCzPCA1, PCzPCA2, PCzPCN1, 4,4'-비스[N-(1-나프틸)-N-페닐아미노]비페닐(약칭: NPB 또는 α-NPD), N,N'-비스(3-메틸페닐)-N,N'-디페닐-[1,1'-비페닐]-4,4'-디아민(약칭: TPD), 4-페닐-4'-(9-페닐플루오렌-9-일)트리페닐아민(약칭: BPAFLP) 등의 방향족 아민 화합물이나, 4,4'-디(N-카르바졸릴)비페닐(약칭: CBP), 1,3,5-트리스[4-(N-카르바졸릴)페닐]벤젠(약칭: TCPB), 9-[4-(10-페닐-9-안트릴)페닐]-9H-카르바졸(약칭: CzPA), 9-페닐-3-[4-(10-페닐-9-안트릴)페닐]-9H-카르바졸(약칭: PCzPA), 1,4-비스[4-(N-카르바졸릴)페닐]-2,3,5,6-테트라페닐벤젠 등의 카르바졸 유도체를 사용할 수 있다.As organic compounds usable for the composite material, for example, TDATA, MTDATA, DPAB, DNTPD, DPA3B, PCzPCA1, PCzPCA2, PCzPCN1, 4,4'-bis [N- (1-naphthyl) Biphenyl (abbreviated as NPB or? -NPD), N, N'-bis (3-methylphenyl) -N, N'-diphenyl- [ (TPD) and 4-phenyl-4 '- (9-phenylfluorene-9-yl) triphenylamine (abbreviation: BPAFLP) (Abbreviated as "CBP"), 1,3,5-tris [4- (N-carbazolyl) phenyl] benzene ] -9H-carbazole (abbreviation: CzPA), 9-phenyl-3- [4- (10- 4- (N-carbazolyl) phenyl] -2,3,5,6-tetraphenylbenzene.
또한, 2-tert-부틸-9,10-디(2-나프틸)안트라센(약칭: t-BuDNA), 2-tert-부틸-9,10-디(1-나프틸)안트라센, 9,10-비스(3,5-디페닐페닐)안트라센(약칭: DPPA), 2-tert-부틸-9,10-비스(4-페닐페닐)안트라센(약칭: t-BuDBA), 9,10-디(2-나프틸)안트라센(약칭: DNA), 9,10-디페닐안트라센(약칭: DPAnth), 2-tert-부틸안트라센(약칭: t-BuAnth), 9,10-비스(4-메틸-1-나프틸)안트라센(약칭: DMNA), 9,10-비스[2-(1-나프틸)페닐]-2-tert-부틸안트라센, 9,10-비스[2-(1-나프틸)페닐]안트라센, 2,3,6,7-테트라메틸-9,10-디(1-나프틸)안트라센 등의 방향족 탄화 수소 화합물을 사용할 수 있다.Further, 2-tert - butyl-9,10-di (2-naphthyl) anthracene (abbreviation: t-BuDNA), 2-tert - butyl-9,10-di (1-naphthyl) anthracene, 9,10 Di- tert -butyl-9,10-bis (4-phenylphenyl) anthracene (abbreviated as t- BuDBA), 9,10- Tert -butyl anthracene (abbreviated as t-BuAnth), 9,10-bis (4-methyl-1-naphthyl) - naphthyl) anthracene (abbreviation: DMNA), 9,10-bis [2- (1-naphthyl) phenyl] -2- tert-butyl anthracene, 9,10-bis [2- (1-naphthyl) phenyl ] Anthracene, and 2,3,6,7-tetramethyl-9,10-di (1-naphthyl) anthracene.
또한, 2,3,6,7-테트라메틸-9,10-디(2-나프틸)안트라센, 9,9'-비안트릴, 10,10'-디페닐-9,9'-비안트릴, 10,10'-비스(2-페닐페닐)-9,9'-비안트릴, 10,10'-비스[(2,3,4,5,6-펜타페닐)페닐]-9,9'-비안트릴, 안트라센, 테트라센, 루브렌, 페릴렌, 2,5,8,11-테트라(tert-부틸)페릴렌, 펜타센, 코로넨, 4,4'-비스(2,2-디페닐비닐)비페닐(약칭: DPVBi), 9,10-비스[4-(2,2-디페닐비닐)페닐]안트라센(약칭: DPVPA) 등의 방향족 탄화 수소 화합물을 사용할 수 있다.Further, it is also possible to use 2,3,6,7-tetramethyl-9,10-di (2-naphthyl) anthracene, 9,9'-bianthryl, 10,10'-diphenyl- 10,10'-bis [(2,3,4,5,6-pentaphenyl) phenyl] -9,9'-bipyridyl, Bianco Trill, anthracene, tetracene, rubrene, perylene, 2,5,8,11-tetra (tert - butyl) perylene, pentacene, coronene, 4,4'-bis (2,2-diphenyl Aromatic vinyl compounds such as vinylidenebiphenyl (hereinafter abbreviated as DPVBi) and 9,10-bis [4- (2,2-diphenylvinyl) phenyl] anthracene (DPVPA).
또한, 전자 수용체로서는 7,7,8,8-테트라시아노-2,3,5,6-테트라플루오르퀴노디메탄(약칭: F4-TCNQ), 클로라닐 등의 유기 화합물이나, 천이 금속 산화물을 들 수 있다. 또한 원소 주기율표 제 4 족 내지 제 8 족에 속하는 금속의 산화물을 들 수 있다. 구체적으로는, 산화 바나듐, 산화 니오븀, 산화 탄탈, 산화 크롬, 산화 몰리브덴, 산화 텅스텐, 산화 망간, 산화 레늄은 전자 수용성이 높기 때문에 바람직하다. 그 중에서도, 특히 산화 몰리브덴은 대기 중에서도 안정적이고 흡습성이 낮으며 취급하기 쉽기 때문에 바람직하다.Examples of the electron acceptor include organic compounds such as 7,7,8,8-tetracyano-2,3,5,6-tetrafluoroquinodimethane (abbreviation: F 4 -TCNQ) and chloranil, transition metal oxides . And oxides of metals belonging to Groups 4 to 8 of the Periodic Table of Elements. Concretely, vanadium oxide, niobium oxide, tantalum oxide, chromium oxide, molybdenum oxide, tungsten oxide, manganese oxide and rhenium oxide are preferable because of their high electron acceptance. Among them, molybdenum oxide is particularly preferable because it is stable in the atmosphere, has low hygroscopicity and is easy to handle.
또한, 상술한 PVK, PVTPA, PTPDMA, Poly-TPD 등의 고분자 화합물과, 상술한 전자 수용체를 사용하여 복합 재료를 형성하여 정공 주입층(701)에 사용하여도 좋다.Further, a composite material may be formed using the above-described polymeric compound such as PVK, PVTPA, PTPDMA, or Poly-TPD and the above-described electron acceptor, and used in the
정공 수송층(702)은 정공 수송성이 높은 물질을 포함하는 층이다. 정공 수송성이 높은 물질로서는, 예를 들어 NPB, TPD, BPAFLP, 4,4'-비스[N-(9,9-디메틸플루오렌-2-일)-N-페닐아미노]비페닐(약칭: DFLDPBi), 4,4'-비스[N-(스피로-9,9'-비플루오렌-2-일)-N-페닐아미노]비페닐(약칭: BSPB) 등의 방향족 아민 화합물을 사용할 수 있다. 여기서 기술한 물질은 주로 10-6cm2/Vs 이상의 정공 이동도를 갖는 물질이다. 다만, 전자보다 정공의 수송성이 높은 물질이면 이들 이외의 물질을 사용하여도 좋다. 또한, 정공 수송성이 높은 물질을 함유하는 층은 단층에 한정되지 않고 상기 물질로 이루어진 층이 2층 이상 적층된 것으로 하여도 좋다.The
또한, 정공 수송층(702)에는 CBP, CzPA, PCzPA와 같은 카르바졸 유도체나 t-BuDNA, DNA, DPAnth와 같은 안트라센 유도체를 사용하여도 좋다.Carbazole derivatives such as CBP, CzPA, and PCzPA, and anthracene derivatives such as t-BuDNA, DNA, and DPAnth may be used for the
또한, 정공 수송층(702)에는 PVK, PVTPA, PTPDMA, Poly-TPD 등의 고분자 화합물을 사용할 수도 있다.Also, a polymer compound such as PVK, PVTPA, PTPDMA, or Poly-TPD may be used for the
발광성을 갖는 유기 화합물을 포함하는 층(703)은, 형광(螢光)을 발광하는 형광성 화합물이나 인광을 발광하는 인광성 화합물을 사용할 수 있다.As the
발광성을 갖는 유기 화합물을 포함하는 층(703)에 사용할 수 있는 형광성 화합물로서는, 예를 들어 청색계 발광 재료로서, N,N'-비스[4-(9H-카르바졸-9-일)페닐]-N,N'-디페닐스틸벤-4,4'-디아민(약칭: YGA2S), 4-(9H-카르바졸-9-일)-4'-(10-페닐-9-안트릴)트리페닐아민(약칭: YGAPA), 4-(10-페닐-9-안트릴)-4'-(9-페닐-9H-카르바졸-3-일)트리페닐아민(약칭: PCBAPA) 등을 들 수 있다. 또한, 녹색계의 발광 재료로서, N-(9,10-디페닐-2-안트릴)-N,9-디페닐-9H-카르바졸-3-아민(약칭: 2PCAPA), N-[9,10-비스(1,1'-비페닐-2-일)-2-안트릴]-N,9-디페닐-9H-카르바졸-3-아민(약칭: 2PCABPhA), N-(9,10-디페닐-2-안트릴)-N,N',N'-트리페닐-1,4-페닐렌디아민(약칭: 2DPAPA), N-[9,10-비스(1,1'-비페닐-2-일)-2-안트릴]-N,N',N'-트리페닐-1,4-페닐렌디아민(약칭: 2DPABPhA), 9,10-비스(1,1'-비페닐-2-일)-N-[4-(9H-카르바졸-9-일)페닐]-N-페닐안트라센-2-아민(약칭: 2YGABPhA), N,N,9-트리페닐안트라센-9-아민(약칭: DPhAPhA) 등을 들 수 있다. 또한, 황색계 발광 재료로서, 루브렌, 5,12-비스(1,1'-비페닐-4-일)-6,11-디페닐테트라센(약칭: BPT) 등을 들 수 있다. 또한, 적색계 발광 재료로서는, N,N,N',N'-테트라키스(4-메틸페닐)테트라센-5,11-디아민(약칭: p-mPhTD), 7,14-디페닐-N,N,N',N'-테트라키스(4-메틸페닐)아세나프토[1,2-a]플루오란텐-3,10-디아민(약칭: p-mPhAFD) 등을 들 수 있다.Examples of the fluorescent compound that can be used for the
또한, 발광성을 갖는 유기 화합물을 포함하는 층(703)에 사용할 수 있는 인광성 화합물로서는, 예를 들어, 청색계 발광 재료로서, 비스[2-(4',6'-디플루오로페닐)피리디나토-N,C2']이리듐(III)테트라키스(1-피라졸릴)보레이트(약칭: FIr6), 비스[2-(4',6'-디플루오로페닐)피리디나토-N,C2']이리듐(III)피콜리네이트(약칭: FIrpic), 비스{2-[3',5'-비스(트리플루오로메틸)페닐]피리디나토-N,C2'}이리듐(III)피콜리네이트(약칭: Ir(CF3ppy)2(pic)), 비스[2-(4',6'-디플루오로페닐)피리디나토-N,C2']이리듐(III)아세틸아세토네이트(약칭: FIr(acac)) 등을 들 수 있다. 또한, 녹색계 발광 재료로서, 트리스(2-페닐피리디나토-N,C2')이리듐(III)(Ir(ppy)3), 비스(2-페닐피리디나토-N,C2')이리듐(III)아세틸아세토네이트(약칭: Ir(ppy)2(acac)), 비스(1,2-디페닐-1H-벤즈이미다졸라토)이리듐(III)아세틸아세토네이트(약칭: Ir(pbi)2(acac)), 비스(벤조[h]퀴놀리나토)이리듐(III)아세틸아세토네이트(Ir(bzq)2(acac)), 트리스(벤조[h]퀴놀리나토)이리듐(III)(약칭: Ir(bzq)3) 등을 들 수 있다. 또한, 황색계 발광 재료로서, 비스(2,4-디페닐-1,3-옥사졸라토-N,C2')이리듐(III)아세틸아세토네이트(약칭: Ir(dpo)2(acac)), 비스{2-(4'-퍼플루오르페닐)페닐]피리디나토-N, C2'}이리듐(III)아세틸아세토네이트(약칭: Ir(p-PF-ph)2(acac)), 비스(2-페닐벤조티아졸라토-N,C2')이리듐(III)아세틸아세토네이트(약칭: Ir(bt)2(acac)), (아세틸아세토네이트)비스[2,3-비스(4-플루오르페닐)-5-메틸피라지나토]이리듐(III)(약칭: Ir(Fdppr-Me)2(acac)), (아세틸아세토네이트)비스{2-(4-메톡시페닐)-3,5-디메틸피라지나토}이리듐(III)(약칭: Ir(dmmoppr)2(acac)) 등을 들 수 있다. 또한, 주환색계의 발광 재료로서, 트리스(2-페닐퀴놀리나토-N,C2')이리듐(III)(약칭: Ir(pq)3), 비스(2-페닐퀴놀리나토-N,C2')이리듐(III)아세틸아세토네이트(약칭: Ir(pq)2(acac)), (아세틸아세토네이트)비스(3,5-디메틸-2-페닐피라지나토)이리듐(III)(약칭: Ir(mppr-Me)2(acac)), (아세틸아세토네이트)비스(5-이소프로필-3-메틸-2-페닐피라지나토)이리듐(III)(약칭: Ir(mppr-iPr)2(acac)) 등을 들 수 있다. 또한, 적색계 발광 재료로서, 비스[2-(2'-벤조[4,5-α-티에닐)피리디나토-N,C3']이리듐(III)아세틸아세토네이트(약칭: Ir(btp)2(acac)), 비스(1-페닐이소퀴놀리나토-N,C2')이리듐(III)아세틸아세토네이트(약칭: Ir(piq)2(acac)), (아세틸아세토네이트)비스[2,3-비스(4-플루오르페닐)퀴녹살리나토]이리듐(III)(약칭: Ir(Fdpq)2(acac)), (아세틸아세토네이트)비스(2,3,5-트리페닐피라지나토)이리듐(III)(약칭: Ir(tppr)2(acac)), (디피바로일메타나토)비스(2,3,5-트리페닐피라지나토)이리듐(III)(약칭: Ir(tppr)2(dpm)), 2,3,7,8,12,13,17,18-옥타에틸-21H,23H-포르핀백금(II)(약칭: PtOEP) 등 유기 금속 착체를 들 수 있다. 또한, 트리스(아세틸아세토네이트)(모노페난트롤린)테르븀(III)(약칭: Tb(acac)3(Phen)), 트리스(1,3-디페닐-1,3-프로판디오나토)(모노페난트롤린)유로퓸(III)(약칭: Eu(DBM)3(Phen)), 트리스[1-(2-테노일)-3,3,3-트리플루오로아세토나토](모노페난트롤린)유로퓸(III)(약칭: Eu(TTA)3(Phen)) 등의 희토류 금속착체는, 희토류 금속 이온으로부터의 발광(다른 다중도 간의 전자 전이)이기 때문에, 인광성 화합물로 사용할 수 있다.Examples of the phosphorescent compound that can be used for the
또한, 발광성을 갖는 유기 화합물을 포함하는 층(703)으로서는, 상술한 발광성을 갖는 유기 화합물(게스트 재료)을 다른 물질(호스트 재료)에 분산시킨 구성으로 하여도 좋다. 호스트 재료로서는 다양한 물질을 사용할 수 있고, 발광성을 갖는 물질보다 최저 비점유 분자궤도 준위(LUMO 준위)가 높고, 최고 점유 분자궤도 준위(HOMO 준위)가 낮은 물질을 사용하는 것이 바람직하다.As the
호스트 재료로서는 구체적으로, 트리스(8-퀴놀리놀라토)알루미늄(III)(약칭: Alq), 트리스(4-메틸-8-퀴놀리놀라토)알루미늄(III)(약칭: Almq3), 비스(10-하이드록시벤조[h]퀴놀리나토)베릴륨(II)(약칭: BeBq2), 비스(2-메틸-8-퀴놀리놀라토)(4-페닐페놀라토)알루미늄(III)(약칭: BAlq), 비스(8-퀴놀리놀라토)아연(II)(약칭: Znq), 비스[2-(2-벤조옥사졸일)페놀라토]아연(II)(약칭: ZnPBO), 비스[2-(2-벤조티아졸일)페놀라토]아연(II)(약칭: ZnBTZ) 등의 금속 착체, 2-(4-비페닐일)-5-(4-tert-부틸페닐)-1,3,4-옥사디아졸(약칭: PBD), 1,3-비스[5-(p-tert-부틸페닐)-1,3,4-옥사디아졸-2-일]벤젠(약칭: OXD-7), 3-(4-비페닐일)-4-페닐-5-(4-tert-부틸페닐)-1,2,4-트리아졸(약칭: TAZ), 2,2',2"-(1,3,5-벤젠트리일)트리스(1-페닐-1H-벤즈이미다졸)(약칭: TPBI), 바소페난트롤린(약칭: BPhen), 바소큐프로인(약칭: BCP) 등의 복소환 화합물이나, 9-[4-(10-페닐-9-안트릴)페닐]-9H-카르바졸(약칭: CzPA), 3,6-디페닐-9-[4-(10-페닐-9-안트릴)페닐]-9H-카르바졸(약칭: DPCzPA), 9,10-비스(3,5-디페닐페닐)안트라센(약칭: DPPA), 9,10-디(2-나프틸)안트라센(약칭: DNA), 2-tert-부틸-9,10-디(2-나프틸)안트라센(약칭: t-BuDNA), 9,9'-비안트릴(약칭: BANT), 9,9'-(스틸벤-3,3'-디일)디페난트렌(약칭: DPNS), 9,9'-(스틸벤-4,4'-디일)디페난트렌(약칭: DPNS2), 3,3',3"-(벤젠-1,3,5-트리일)트리피렌(약칭: TPB3), 9,10-디페닐안트라센(약칭: DPAnth), 6,12-디메톡시-5,11-디페닐크리센 등의 축합 방향족 화합물, N,N-디페닐-9-[4-(10-페닐-9-안트릴)페닐]-9H-카르바졸-3-아민(약칭: CzA1PA), 4-(10-페닐-9-안트릴)트리페닐아민(약칭: DPhPA), N,9-디페닐-N-[4-(10-페닐-9-안트릴)페닐]-9H-카르바졸-3-아민(약칭: PCAPA), N,9-디페닐-N-{4-[4-(10-페닐-9-안트릴)페닐]페닐}-9H-카르바졸-3-아민(약칭: PCAPBA), N-(9,10-디페닐-2-안트릴)-N,9-디페닐-9H-카르바졸-3-아민(약칭: 2PCAPA), NPB(또는 α-NPD), TPD, DFLDPBi, BSPB 등의 방향족 아민 화합물 등을 사용할 수 있다.As the host material, specifically, tris (8-quinolinolato) aluminum (III) (abbreviation: Alq), tris (4-methyl-8-quinolinolato) aluminum (III) (abbreviation: Almq 3), bis (10-hydroxybenzo [ h ] quinolinato) beryllium (II) (abbreviated as BeBq 2 ), bis (2-methyl-8- quinolinolato) Bis (2-benzooxazolyl) phenolato] zinc (II) (abbreviated as ZnPBO), bis [2 (benzooxazolyl) phenolato] - (2-benzothiazolyl) phenol gelato] zinc (II) (abbreviation: ZnBTZ), and so on of the metal complex, 2- (4-biphenylyl) -5- (4-tert-butylphenyl) -1,3, Oxadiazole (abbreviation: PBD), 1,3-bis [5- ( p - tert -butylphenyl) -1,3,4-oxadiazol- Tetrazole (abbreviation: TAZ), 2,2 ', 2 "- (1 (1- tert -butylphenyl) such as BCP): TPBI), Lancet phenanthroline (abbreviation:: BPhen), Lancet queue pro (abbreviation benzimidazole) (abbreviation; -, 3,5-benzenetricarboxylic yl) tris (1-phenyl -1 H Or a heterocyclic compound, 9- [4- (10-phenyl-9-anthryl) phenyl] -9 H-carbazole (abbreviation: CzPA), 3,6- diphenyl-9- [4- (10-phenyl- 9-anthryl) phenyl] -9 H - carbazole (abbreviation: DPCzPA), 9,10- bis (3,5-di-phenylphenyl) anthracene (abbreviation: DPPA), 9,10- di (2-naphthyl Anthracene (abbreviation: DNA), 2- tert -butyl-9,10-di (2-naphthyl) anthracene (abbreviated as t- BuDNA), 9,9'- (Abbreviation: DPNS), 9,9 '- (stilbene-4,4'-diyl) diphenanthrene (abbreviation: DPNS2), 3,3 Diphenyl anthracene (abbreviation: DPAnth), 6,12-dimethoxy-5,11-di (benzene-1,3,5-triyl) condensed aromatic compounds such as phenyl chrysene, N, N - diphenyl-9- [4- (10-phenyl-9-anthryl) phenyl] -9 H - carbazole-3-amine (abbreviation: CzA1PA), 4 - (10-phenyl-9-anthryl) triphenylamine (abbreviation: DPhPA), N, 9- diphenyl - N - [4- (10-phenyl-9-anthryl) phenyl] -9 H-carbazole 3-amine (abbreviation: PCAPA), N , 9-diphenyl- N- {4- [4- (10- phenyl- Carbonyl} -9 H - carbazole-3-amine (abbreviation: PCAPBA), N - (9,10-diphenyl-casting reel not -2-) - N, 9- diphenyl -9 H - carbazole-3-amine (Abbreviation: 2PCAPA), NPB (or alpha -NPD), TPD, DFLDPBi, and BSPB.
또한, 호스트 재료는 복수 종류 사용할 수 있다. 예를 들어, 결정화를 억제하기 위하여 루브렌 등의 결정화를 억제하는 물질을 더 첨가하여도 좋다. 또한, 게스트 재료에 에너지를 더 효율적으로 이동시키기 위하여 NPB 또는 Alq 등을 더 첨가하여도 좋다.A plurality of types of host materials can be used. For example, a substance for inhibiting crystallization such as rubrene may be further added to suppress crystallization. Further, NPB, Alq, or the like may be further added so as to more efficiently transfer energy to the guest material.
게스트 재료를 호스트 재료에 분산시킨 구성으로 함으로써 발광성을 갖는 유기 화합물을 포함하는 층(703)의 결정화를 억제할 수 있다. 또한, 게스트 재료가 고농도인 것에 기인한 농도 소광(消光)을 억제할 수 있다.By making the guest material to be dispersed in the host material, crystallization of the
또한, 발광성을 갖는 유기 화합물을 포함하는 층(703)으로서 고분자 화합물을 사용할 수 있다. 구체적으로는, 청색계 발광 재료로서, 폴리(9,9-디옥틸플루오렌-2,7-디일)(약칭: PFO), 폴리[(9,9-디옥틸플루오렌-2,7-디일)-co-(2,5-디메톡시벤젠-1,4-디일)](약칭: PF-DMOP), 폴리{(9,9-디옥틸플루오렌-2,7-디일)-co-[N,N'-디-(p-부틸페닐)-1,4-디아미노벤젠]}(약칭: TAB-PFH) 등을 들 수 있다. 또한, 녹색계의 발광 재료로서, 폴리(p-페닐렌비닐렌)(약칭:PPV), 폴리[(9,9-디헥실플루오렌-2,7-디일)-alt-co-(벤조[2,1,3]티아디아졸-4,7-디일)](약칭: PFBT), 폴리[(9,9-디옥틸-2,7-디비닐렌플루오렌)-alt-co-(2-메톡시-5-(2-에틸헥시록시)-1,4-페닐렌)] 등을 들 수 있다. 또한, 주황색 내지 적색계의 발광 재료로서, 폴리[2-메톡시-5-(2'-에틸헥속시)-1,4-페닐렌비닐렌](약칭: MEH-PPV), 폴리(3-부틸티오펜-2,5-디일)(약칭: R4-PAT), 폴리{[9,9-디헥실-2,7-비스(1-시아노비닐렌)플루오레닐렌]-alt-co-[2,5-비스(N,N'-디페닐아미노)-1,4-페닐렌]}, 폴리{[2-메톡시-5-(2-에틸헥시록시)-1,4-비스(1-시아노비닐렌페닐렌)]-alt-co-[2,5-비스(N,N'-디페닐아미노)-1,4-페닐렌]}(약칭: CN-PPV-DPD) 등을 들 수 있다.Further, a polymer compound may be used as the
또한, 발광성을 갖는 유기 화합물을 포함하는 층을 복수 형성하고, 각 층의 발광색을 서로 다른 것으로 함으로써, 발광 소자 전체로서 원하는 색의 발광을 얻을 수 있다. 예를 들어, 발광성을 갖는 유기 화합물을 포함하는 층을 2개 갖는 발광 소자에 있어서, 제 1 발광성을 갖는 유기 화합물을 포함하는 층의 발광색과 제 2 발광성을 갖는 유기 화합물을 포함하는 층의 발광 색이 보색의 관계가 되도록 함으로써, 발광 소자 전체로서 백색 발광하는 발광 소자를 얻을 수도 있다. "보색"이란, 그들이 혼합되는 경우 무채색이 되는 색들 사이의 관계를 의미한다. 즉, 보색 관계에 있는 색을 발광하는 물질로부터 얻어진 광을 혼합하면, 백색 발광을 얻을 수 있다. 또한, 발광성을 갖는 유기 화합물을 포함하는 층을 3개 이상 갖는 발광 소자인 경우라도 마찬가지다.Further, by forming a plurality of layers containing an organic compound having luminescence and making the luminescent colors of the respective layers different from each other, luminescence of a desired color can be obtained as a whole of the luminescent element. For example, in a light-emitting device having two layers including an organic compound having luminous properties, the luminous color of the layer containing the organic compound having the first luminous property and the luminous color of the layer containing the organic compound having the second luminous property By making the relation of this complementary color, the light emitting element which emits white light as the whole light emitting element can be obtained. "Complementary color" means the relationship between achromatic colors when they are mixed. That is, when light obtained from a substance emitting light of a complementary color is mixed, white light emission can be obtained. This also applies to the case of a light-emitting device having three or more layers including an organic compound having a light-emitting property.
전자 수송층(704)은 전자 수송성이 높은 물질을 포함하는 층이다. 전자 수송성이 높은 물질로서 예를 들어, 트리스(8-퀴놀리놀라토)알루미늄(약칭: Alq), 트리스(4-메틸-8-퀴놀리놀라토)알루미늄(약칭 Almq3), 비스(10-히드록시벤조[h]-퀴놀리나토)베릴륨(약칭: BeBq2), 비스(2-메틸-8-퀴놀리놀라토)(4-페닐페놀라토)알루미늄(약칭: BAlq) 등, 퀴놀린 골격 또는 벤조퀴놀린 골격을 갖는 금속 착체 등을 들 수 있다. 또한, 그 외에, 비스[2-(2-히드록시페닐)-벤조옥사졸라토]아연(약칭: Zn(BOX)2), 비스[2-(2-히드록시페닐)-벤조티아졸라토]아연(약칭: Zn(BTZ)2) 등의, 옥사졸계 또는 티아졸계 배위자를 갖는 금속 착체 등을 사용할 수도 있다. 또한, 금속 착체 외에도, 2-(4-비페닐일)-5-(4-tert-부틸페닐)-1,3,4-옥사디아졸(약칭: PBD)나, 1,3-비스[5-(p-tert-부틸페닐)-1,3,4-옥사디아졸-2-일]벤젠(약칭: OXD-7), 3-(4-비페닐릴)-4-페닐-5-(4-tert-부틸페닐)-1,2,4-트리아졸(약칭: TAZ), 바소페난트롤린(약칭: BPhen), 바소큐프로인(약칭: BCP) 등도 사용할 수 있다. 여기에 든 물질은 주로 10-6cm2/Vs 이상의 전자 이동도를 갖는 물질이다. 또한, 전자 수송층은 단층뿐만 아니라, 상기 물질로 이루어지는 층이 2층 이상 적층된 것으로 하여도 좋다.The
전자 주입층(705)은 전자 주입성이 높은 물질을 함유한 층이다. 전자 주입층(705)에는 리튬, 세슘, 칼슘, 불화리튬, 불화세슘, 불화칼슘, 리튬 산화물 등 알칼리 금속, 알칼리 토금속, 또는 이들의 화합물을 사용할 수 있다. 또한, 불화 에르븀과 같은 희토류 금속 화합물을 사용할 수 있다. 또한, 상술한 전자 수송층(704)을 구성하는 물질을 사용할 수도 있다.The
또한, 상술한 정공 주입층(701), 정공 수송층(702), 발광성을 갖는 유기 화합물을 포함하는 층(703), 전자 수송층(704), 전자 주입층(705)은 각각 증착법(진공 증착법을 포함함), 잉크젯법, 도포법 등의 방법으로 형성할 수 있다.The
EL층은 도 9(B)에 도시한 바와 같이, 제 1 전극층(711)과 제 2전극층(712) 사이에 복수 적층되어도 좋다. 이 경우, 적층된 제 1 EL층(800)과 제 2 EL층(801) 사이에는 전하 발생층(803)을 형성하는 것이 바람직하다. 전하 발생층(803)은 상술한 복합 재료로 형성할 수 있다. 또한, 전하 발생층(803)은 복합 재료로 이루어진 층과 다른 재료로 이루어진 층의 적층 구조라도 좋다. 이 경우, 다른 재료로 이루어진 층으로서는, 전자 공여성 물질과 전자 수송성이 높은 물질을 포함하는 층이나, 투명 도전막으로 이루어진 층 등을 사용할 수 있다. 이와 같은 구성을 갖는 발광 소자는, 에너지의 이동이나 소광(消光) 등의 문제가 쉽게 일어나지 않고, 재료의 선택의 여지가 넓어짐으로써 높은 발광 효율과 긴 수명의 양쪽 모두를 갖는 발광 소자로 하기 용이하다. 또한, 한쪽의 EL층에서 인광 발광, 다른 쪽의 EL층에서 형광 발광을 얻는 것도 용이하다. 이 구조는 상술한 EL층의 구조와 조합하여 사용할 수 있다.As shown in Fig. 9 (B), a plurality of EL layers may be stacked between the
또한 각각의 EL층의 발광색을 서로 다른 것으로 함으로써 발광 소자 전체로서, 원하는 색의 발광을 얻을 수 있다. 예를 들어, 2개의 EL층을 갖는 발광 소자에 있어서, 제 1 EL층의 발광색과 제 2 EL층의 발광색을 보색의 관계가 되도록 함으로써 발광 소자 전체로서 백색 발광하는 발광 소자를 얻는 것도 가능하다. "보색"이란 그들이 혼합되는 경우 무채색이 되는 색들 사이의 관계를 의미한다. 즉, 보색 관계에 있는 색을 발광하는 물질로부터 얻어진 광을 혼합하면, 백색 발광을 얻을 수 있다. 또한, 3개 이상의 EL층을 갖는 발광 소자의 경우라도 마찬가지다.Further, by making the luminescent colors of the respective EL layers different from each other, luminescence of a desired color can be obtained as a whole of the luminescent element. For example, in a light-emitting element having two EL layers, it is possible to obtain a light-emitting element that emits white light as the whole light-emitting element by making the light-emitting color of the first EL layer and the light-emitting color of the second EL layer co- "Complementary color" refers to the relationship between achromatic colors when they are mixed. That is, when light obtained from a substance emitting light of a complementary color is mixed, white light emission can be obtained. The same applies to the case of a light emitting element having three or more EL layers.
EL층(105)은 도 9(C)에 도시한 바와 같이, 제 1 전극층(711)과 제 2 전극층(712) 사이에 정공 주입층(701), 정공 수송층(702), 발광성을 갖는 유기 화합물을 포함하는 층(703), 전자 수송층(704), 전자 주입 버퍼층(buffer layer)(706), 전자 릴레이층(electron-relay layer)(707), 및 제 2 전극층(712)과 접하는 복합 재료층(708)을 가져도 좋다. 9 (C), the
제 2 전극층(712)과 접하는 복합 재료층(708)을 형성함으로써, 특히 스퍼터링법을 사용하여 제 2 전극층(712)을 형성할 때, EL층(105)이 받는 데미지를 저감할 수 있어 바람직하다. 복합 재료층(708)은 상술한 정공 수송성이 높은 유기 화합물에 억셉터성 물질을 함유시킨 복합 재료를 사용할 수 있다.By forming the
또한, 전자 주입 버퍼층(706)을 형성함으로써, 복합 재료층(708)과 전자 수송층(704) 사이의 주입 장벽을 완화할 수 있기 때문에, 복합 재료층(708)에서 발생한 전자를 전자 수송층(704)에 용이하게 주입할 수 있다.Since the electron
전자 주입 버퍼층(706)에는 알칼리 금속, 알칼리 토금속, 희토류 금속, 및 이들의 화합물(알칼리 금속 화합물(산화 리튬 등의 산화물, 할로겐화물, 탄산 리튬이나 탄산세슘 등의 탄산염을 포함함), 알칼리 토금속 화합물(산화물, 할로겐화물, 탄산염을 포함함), 또는 희토류 금속의 화합물(산화물, 할로겐화물, 탄산염을 포함함) 등의 전자 주입성이 높은 물질을 사용할 수 있다.The electron
또한, 전자 주입 버퍼층(706)이 전자 수송성이 높은 재료와 도너성 물질(donor substance)을 포함하여 형성되는 경우에는, 전자 수송성이 높은 재료에 대하여 질량 비율로 0.001 이상 0.1 이하의 비율로 포함되도록 도너성 물질을 첨가하는 것이 바람직하다. 또한, 도너성 물질로서는, 알칼리 금속, 알칼리 토금속, 희토류 금속, 및 이들의 화합물(알칼리 금속 화합물(산화 리튬 등의 산화물, 할로겐화물, 탄산 리튬이나 탄산 세슘 등의 탄산염을 포함함), 알칼리 토금속 화합물(산화물, 할로겐화물, 탄산염을 포함함), 또는 희토류 금속의 화합물(산화물, 할로겐화물, 탄산염을 포함함)) 외에, 테트라 티아나프타센(약칭: TTN), 니켈로센, 데카메칠니켈로센 등의 유기 화합물을 사용할 수도 있다. 또한, 전자 수송성이 높은 재료로서는, 이미 설명한 전자 수송층(704)의 재료와 같은 재료를 사용하여 형성할 수 있다.In addition, when the electron
또한, 전자 주입 버퍼층(706)과 복합 재료층(708) 사이에 전자 릴레이층(707)을 형성하는 것이 바람직하다. 전자 릴레이층(707)은 반드시 형성할 필요는 없지만, 전자 수송성이 높은 전자 릴레이층(707)을 형성함으로써, 전자 주입 버퍼층(706)에 전자를 신속하게 수송할 수 있게 된다.Further, it is preferable to form the
복합 재료층(708)과 전자 주입 버퍼층(706) 사이에 전자 릴레이층(707)이 끼워진 구조는 복합 재료층(708)에 함유되는 억셉터성 물질과, 전자 주입 버퍼층(706)에 함유되는 도너성 물질이 상호 작용을 받기 어렵고 서로 기능을 저해하기 어려운 구조이다. 따라서, 구동 전압의 상승을 방지할 수 있다.The structure in which the
전자 릴레이층(707)은 전자 수송성이 높은 물질을 함유하고, 상기 전자 수송성이 높은 물질의 LUMO 준위가 복합 재료층(708)에 함유되는 억셉터성 물질의 LUMO 준위와 전자 수송층(704)에 함유되는 전자 수송성이 높은 물질의 LUMO 준위 사이에 위치하도록 형성한다. 또한, 전자 릴레이층(707)이 도너성 물질을 함유하는 경우에는 상기 도너성 물질의 도너 준위도 복합 재료층(708)에 있어서의 억셉터성 물질의 LUMO 준위와, 전자 수송층(704)에 함유되는 전자 수송성이 높은 물질의 LUMO 준위 사이에 위치하도록 한다. 구체적인 에너지 준위의 값으로서는 전자 릴레이층(707)에 함유되는 전자 수송성이 높은 물질의 LUMO 준위는 -5.0eV 이상, 바람직하게는 -5.0eV 이상 -3.0eV 이하로 하면 좋다.The
전자 릴레이층(707)에 함유되는 전자 수송성이 높은 물질로서는 프탈로시아닌계 재료 또는 금속-산소 결합과 방향족 배위자를 갖는 금속 착체를 사용하는 것이 바람직하다.As the electron-transporting substance contained in the
전자 릴레이층(707)에 함유되는 프탈로시아닌계 재료로서는, 구체적으로는CuPc, SnPc(Phthalocyanine tin(II) complex), ZnPc(Phthalocyanine zinc complex), CoPc(Cobalt(II)phthalocyanine, β-form), FePc(Phthalocyanine Iron), 및 PhO-VOPc(Vanadyl 2,9,16,23-tetraphenoxy-29H,31H-phthalocyanine) 중 어느 것을 사용하는 것이 바람직하다.As the phthalocyanine-based material contained in the
전자 릴레이층(707)에 포함되는 금속-산소 결합과 방향족 배위자를 갖는 금속 착체로서는 금속-산소의 2중 결합을 갖는 금속 착체를 사용하는 것이 바람직하다. 금속-산소의 2중 결합은 억셉터성(전자를 수용하기 쉬운 성질)을 갖기 때문에, 전자의 이동(수수(授受): 주고 받음)이 더 용이하게 된다. 또한, 금속-산소의 2중 결합을 갖는 금속 착체는 안정적이라고 생각된다. 따라서, 금속-산소의 2중 결합을 갖는 금속 착체를 사용함으로써 발광 소자를 저전압으로 더 안정적으로 구동할 수 있다.As the metal complex having the metal-oxygen bond and the aromatic ligand included in the
금속-산소 결합과 방향족 배위자를 갖는 금속 착체로서는 프탈로시아닌계 재료가 바람직하다. 구체적으로는, VOPc(Vanadyl phthalocyanine), SnOPc(Phthalocyanine tin(Ⅳ) oxide complex), 및 TiOPc(Phthalocyanine titanium oxide complex) 중 어느 것은 분자 구조적으로 금속-산소의 2중 결합이 다른 분자에 대하여 작용하기 쉽고 억셉터성이 높기 때문에 바람직하다.As the metal complex having a metal-oxygen bond and an aromatic ligand, a phthalocyanine-based material is preferable. Specifically, any of VOPc (vanadyl phthalocyanine), SnOPc (phthalocyanine tin (IV) oxide complex), and TiOPc (Phthalocyanine titanium oxide complex) has a molecular structure in which the double bond of metal- The acceptance property is high.
또한, 상술한 프탈로시아닌계 재료로서는 페녹시기를 갖는 것이 바람직하다. 구체적으로는 PhO-VOPc 등 페녹시기를 갖는 프탈로시아닌 유도체가 바람직하다. 폐녹시기를 갖는 프탈로시아닌 유도체는 용매에 용해할 수 있다. 그래서, 발광 소자를 형성하는 데 취급하기 쉽다는 이점을 갖는다. 또한, 용매에 용해할 수 있으므로 막 형성에 사용하는 장치의 메인터넌스(maintenance)가 용이해진다는 이점을 갖는다.As the above-mentioned phthalocyanine-based material, those having a phenoxy group are preferable. Specifically, a phthalocyanine derivative having a phenoxy group such as PhO-VOPc is preferable. The phthalocyanine derivative having a povidoxy group can be dissolved in a solvent. Thus, it has an advantage that it is easy to handle for forming a light emitting element. In addition, since it can be dissolved in a solvent, it has an advantage that maintenance of a device used for film formation is facilitated.
전자 릴레이층(707)은 도너성 물질을 더 함유하여도 좋다. 도너성 물질로서는 알칼리 금속, 알칼리 토금속, 희토류 금속, 및 이들의 화합물(알칼리 금속 화합물(산화 리튬 등의 산화물, 할로겐화물, 탄산 리튬이나 탄산 세슘 등의 탄산염을 포함함), 알칼리 토금속 화합물(산화물, 할로겐화물, 탄산염을 포함함), 또는 희토류 금속 화합물(산화물, 할로겐화물, 탄산염을 포함함)) 외에, 테트라티아나프타센(약칭: TTN), 니켈로센, 데카메틸니켈로센 등의 유기 화합물을 사용할 수 있다. 전자 릴레이층(707)에 상기 도너성 물질을 함유시킴으로써, 전자가 이동하기 쉬워져 발광 소자를 더 낮은 전압으로 구동할 수 있게 된다.The
전자 릴레이층(707)에 도너성 물질을 함유시키는 경우, 전자 수송성이 높은 물질로서는 상술한 재료 외, 복합 재료층(708)에 함유되는 억셉터성 물질의 억셉터 준위보다 높은 LUMO 준위를 갖는 물질을 사용할 수 있다. 구체적인 에너지 준위로서는 -5.0eV 이상, 바람직하게는 -5.0eV 이상 -3.0eV 이하의 범위에서 LUMO 준위를 갖는 물질을 사용하는 것이 바람직하다. 이러한 물질로서는, 예를 들어 페릴렌 유도체나 함질소 축합 방향족 화합물 등을 들 수 있다. 또한, 함질소 축합 방향족 화합물은 안정적이기 때문에, 전자 릴레이층(707)을 형성하는 데 사용되는 재료로서 바람직한 재료이다.When a donor material is contained in the
페릴렌 유도체의 구체적인 예로서는 3,4,9,10-페릴렌테트라카르복실릭 디안하이드라이드(약칭: PTCDA), 3,4,9,10-페릴렌테트라카르복실릭비스벤즈이미다졸(약칭: PTCBI), N,N'-디옥틸-3,4,9,10-페릴렌테트라카르복실산디이미드(약칭: PTCDI-C8H), N,N'-디헥실-3,4,9,10-페릴렌테트라카르복실산디이미드(약칭: HexPTC) 등을 들 수 있다.Specific examples of the perylene derivatives include 3,4,9,10-perylene tetracarboxylic dianhydride (abbreviated as PTCDA), 3,4,9,10-perylene tetracarboxylic bisbenzimidazole (abbreviation: PTCBI), N, N'-dioctyl-3,4,9,10-perylenetetracarboxylic acid diimide (abbreviated as PTCDI-C8H), N, N'-dihexyl- And perylene tetracarboxylic acid diimide (abbreviation: HexPTC).
또한, 함질소 축합 방향족 화합물의 구체적인 예로서는, 피라지노[2,3-f][1,10]페난트롤린-2,3-디카르보니트릴(약칭: PPDN), 2,3,6,7,10,11-헥사시아노-1,4,5,8,9,12-헥사아자트리페닐렌(약칭: HAT(CN)6), 2,3-디페닐피리도[2,3-b]피라진(약칭: 2PYPR), 2,3-비스(4-플루오로페닐)피리도[2,3-b]피라진(약칭: F2PYPR) 등을 들 수 있다.Specific examples of the nitrogen-containing condensed aromatic compound include pyrazino [2,3-f] [1,10] phenanthroline-2,3-dicarbonitrile (abbreviation: PPDN) Hexaazatriene-1,4,5,8,9,12-hexaazatriphenylene (abbreviation: HAT (CN) 6 ), 2,3-diphenylpyrido [2,3- b] Pyrazine (abbreviation: 2PYPR) and 2,3-bis (4-fluorophenyl) pyrido [2,3-b] pyrazine (abbreviation: F2PYPR).
그 외에도, 7,7,8,8,-테트라시아노퀴노디메탄(약칭: TCNQ), 1,4,5,8,-나프탈렌테트라카르본산이무수물(약칭: NTCDA), 퍼플루오로펜타센, 구리 헥사데카플루오로프탈로시아닌(약칭: F16CuPc), N,N'-비스(2,2,3,3,4,4,5,5,6,6,7,7,8,8,8-펜타데카플루오로옥틸)-1,4,5,8-나프탈렌테트라카르복실산디이미드(약칭: NTCDI-C8F), 3',4'-디부틸-5,5"-비스(디시아노메틸렌)-5,5"-디하이드로-2,2':5',2"-테르티오펜(약칭: DCMT), 메타노풀러린(예를 들어, [6,6]-페닐C61부티르산메틸에스테르) 등을 사용할 수 있다.In addition, there can be mentioned 7,7,8,8-tetracyanoquinodimethane (abbreviated as TCNQ), 1,4,5,8-naphthalene tetracarboxylic acid dianhydride (abbreviated as NTCDA), perfluoropentacene , Copper hexadecafluorophthalocyanine (abbreviation: F 16 CuPc), N, N'-bis (2,2,3,3,4,4,5,5,6,6,7,7,8,8, Naphthalenetetracarboxylic acid diimide (abbreviation: NTCDI-C8F), 3 ', 4'-dibutyl-5,5'-bis (dicyanomethylene ) -5,5'-dihydro-2,2 ': 5', 2 "-terthiophene (abbreviated as DCMT), methanopullerine (for example, [6,6] -phenyl C 61 butyric acid methyl ester ) Can be used.
또한, 전자 릴레이층(707)에 도너성 물질을 포함시키는 경우, 전자 수송성이 높은 물질과 도너성 물질의 공증착 등의 방법으로 전자 릴레이층(707)을 형성하면 좋다.When the donor material is included in the
정공 주입층(701), 정공 수송층(702), 발광성을 갖는 유기 화합물을 포함하는 층(703), 및 전자 수송층(704)은 상술한 재료를 사용하여 각각 형성하면 좋다.The
상술한 바와 같이 하여, 본 실시형태의 EL층(105)을 제작할 수 있다.The
또한, 본 실시형태는 본 명세서 중에서 기재한 다른 실시형태와 적절히 조합하여 실시할 수 있다.The present embodiment can be carried out by appropriately combining with other embodiments described in this specification.
(실시형태 5)(Embodiment 5)
본 실시형태에서는, 본 발명의 일 형태의 발광 장치를 사용하여 완성시킨 조명 장치의 일례에 대하여, 도 10(A) 및 도 10(B)를 사용하여 설명한다.In this embodiment, an example of a lighting apparatus completed using a light emitting device of one embodiment of the present invention will be described with reference to Figs. 10 (A) and 10 (B).
본 발명의 일 형태에서는 발광부가 곡면을 갖는 조명 장치를 실현할 수 있다.According to an aspect of the present invention, a lighting apparatus having a light emitting portion having a curved surface can be realized.
본 발명의 일 형태는, 자동차의 조명에도 적용할 수 있고, 예를 들어 계기반이나 천장 등에 조명을 설치할 수도 있다.One aspect of the present invention is applicable to automobile lighting, for example, lighting can be installed on a dashboard or a ceiling.
도 10(A)에서는, 본 발명의 일 형태를 적용한, 실내 조명 장치(901), 탁상 조명 장치(903), 및 면 형상 조명 장치(904)를 도시하였다. 발광장치는 대면적화도 할 수 있으므로, 대면적의 조명 장치로서 사용할 수 있다. 또한, 두께가 얇으므로, 벽에 장착하여 사용할 수 있다. 그 이외, 롤(roll)형의 조명 장치(902)로서 사용할 수도 있다.Fig. 10A shows an
도 10(B)에 다른 조명 장치의 예를 도시하였다. 도 10(B)에 도시한 탁상 조명 장치는 조명부(9501), 지주(9503), 지지대(9505) 등을 포함한다. 조명부(9501)는, 본 발명의 일 형태의 발광 장치를 포함한다. 이와 같이, 본 발명의 일 형태에서는, 곡면을 갖는 조명 장치, 또는 플렉시블로 구부러진 조명부를 갖는 조명 장치를 실현할 수 있다. 이와 같이, 플렉시블 발광 장치를 조명 장치로서 사용함으로써, 조명 장치의 디자인의 자유도가 향상될 뿐만 아니라, 예를 들어, 자동차의 천장, 계기반 등의 곡면을 갖는 개소에도 조명 장치를 설치할 수 있게 된다.Fig. 10B shows an example of another illumination device. 10 (B) includes an
또한, 본 실시형태는 본 명세서 중에서 기재한 다른 실시형태와 적절히 조합하여 실시할 수 있다.The present embodiment can be carried out by appropriately combining with other embodiments described in this specification.
(실시형태 6)(Embodiment 6)
본 실시형태에서는, 상기 실시형태에서 제작한 발광 장치를 적용한 전자 기기에 대하여 도 11(A) 내지 도 11(C)를 사용하여 설명한다.In this embodiment, an electronic apparatus to which the light emitting device manufactured in the above embodiment is applied will be described with reference to Figs. 11 (A) to 11 (C).
또한, 상기 실시형태에서 제작한 발광 장치를 적용한 반도체 장치로서 다양한 전자 기기(게임기도 포함함)를 들 수 있다. 전자 기기로서는, 예를 들어, 텔레비전 장치(텔레비전, 또는 텔레비전 수신기라고도 함), 컴퓨터용 등의 모니터, 디지털 카메라, 디지털 비디오 카메라, 디지털 포토 프레임, 휴대 전화기(휴대 전화, 휴대 전화 장치라고도 함), 휴대형 게임기, 휴대 정보 단말, 음향 재생 장치, 파친코(pachinko)기 등의 대형 게임기 등을 들 수 있다.As a semiconductor device to which the light emitting device manufactured in the above embodiment is applied, various electronic devices (including a game machine) can be mentioned. Examples of the electronic device include a television device (also referred to as a television or a television receiver), a monitor for a computer or the like, a digital camera, a digital video camera, a digital photo frame, a mobile phone (also referred to as a mobile phone, A portable game machine, a portable information terminal, a sound reproducing device, and a pachinko machine.
도 11(A)는 텔레비전 장치의 일례를 도시하였다. 텔레비전 장치(500)는, 하우징(501)에 표시부(503)가 삽입되어 있다. 표시부(503)에 의하여, 영상을 표시할 수 있다. 또한, 여기서는 스탠드(505)에 의하여 하우징(501)을 지지한 구성을 도시하였다.11 (A) shows an example of a television apparatus. In the
텔레비전 장치(500)의 조작은 하우징(501)이 구비한 조작 스위치나, 별도의 리모트 컨트롤러(510)에 의하여 행할 수 있다. 리모트 컨트롤 조작기(510)의 조작키(509)에 의하여 채널 및 음량이 조절될 수 있고, 표시부(503)에 표시되는 영상을 조작할 수 있다. 또한, 리모트 컨트롤 조작기(510)에, 상기 리모트 컨트롤 조작기(510)로부터 출력하는 정보를 표시하는 표시부(507)를 형성하는 구성으로 하여도 좋다.The operation of the
또한, 텔레비전 장치(500)는, 수신기나 모뎀 등을 구비한 구성으로 한다. 수신기에 의하여 일반의 텔레비전 방송을 수신할 수 있고, 또 모뎀을 통하여 유선 또는 무선에 의한 통신 네트워크에 접속함으로써, 일 방향(송신자로부터 수신자) 또는 쌍방향(송신자와 수신자간, 또는 수신자끼리 등)의 정보 통신을 할 수도 있다.Further, the
도 11(B)는 디지털 포토 프레임의 일례를 도시하였다. 예를 들어, 디지털 포토 프레임(520)은 하우징(521)에 표시부(523)가 내장된다. 표시부(523)는, 각종 화상을 표시할 수 있고, 예를 들어 디지털 카메라 등으로 촬영한 화상 데이터를 표시시킴으로써, 일반적인 포토 프레임과 마찬가지로 기능시킬 수 있다.11 (B) shows an example of a digital photo frame. For example, the
또한, 디지털 포토 프레임(520)은 조작부, 외부 접속용 단자(USB 단자, USB 케이블 등의 각종 케이블과 접속할 수 있는 단자 등), 기록 매체 삽입부 등을 구비한 구성으로 한다. 이들의 구성은 표시부와 동일 면에 조합되어도 좋지만, 측면이나 뒷면에 구비하면 디자인성이 향상되기 때문에 바람직하다. 예를 들어, 디지털 포토 프레임의 기록 매체 삽입부에, 디지털 카메라로 촬영한 화상 데이터를 기억한 메모리를 삽입하여 화상 데이터를 취득하고, 취득한 화상 데이터를 표시부(523)에 표시시킬 수 있다.The
또한, 디지털 포토 프레임(520)은, 무선으로 정보를 송수신할 수 있는 구성으로 하여도 좋다. 무선에 의하여 원하는 화상의 데이터를 취득하여 표시시키는 구성으로 할 수도 있다.In addition, the
도 11(C)는 휴대형 컴퓨터의 일례를 도시한 사시도이다.11 (C) is a perspective view showing an example of a portable computer.
도 11(C)의 휴대형 컴퓨터(540)는 상부 하우징(541)과 하부 하우징(542)을 접속하는 경첩 유닛을 닫힌 상태로 하여 표시부(543)를 갖는 상부 하우징(541)과, 키 보드(544)를 갖는 하부 하우징(542)을 겹친 상태로 할 수 있어 운반하기에 편리함과 함께, 사용자가 키 보드를 사용하여 입력하는 경우에는, 경첩 유닛을 열린 상태로 하여 표시부(543)를 보면서 입력 조작을 행할 수 있다.The
또한, 하부 하우징(542)은 키 보드(544) 이외에 입력 조작을 행하는 포인팅 디바이스(546)를 갖는다. 또한, 표시부(543)를 터치 입력 패널로 하면, 표시부의 일부분에 터치(touch)함으로써 입력 조작을 행할 수도 있다. 또한, 하부 하우징(542)은 CPU나 하드 디스크 등의 연산 기능부를 갖는다. 또한, 하부 하우징(542)은 다른 기기, 예를 들어 USB의 통신 규격에 준거한 통신 케이블이 삽입되는 외부 접속 포트(545)를 갖는다.Further, the
상부 하우징(541)은, 또한 상부 하우징(541) 내부에 슬라이드시켜 수납 가능한 표시부(547)를 갖고, 넓은 표시 화면을 실현할 수 있다. 또한, 수납 가능한 표시부(547)의 화면의 방향을 사용자는 조절할 수 있다. 또한, 수납 가능한 표시부(547)를 터치 입력 패널로 하면, 수납 가능한 표시부의 일부에 터치함으로써 입력 조작을 행할 수 있다.The
또한, 도 11(C)의 휴대형 컴퓨터(540)는, 수신기 등을 구비한 구성으로서, 텔레비전 방송을 수신하여 영상을 표시부에 표시할 수 있다. 또한, 상부 하우징(541)과 하부 하우징(542)을 접속하는 경첩 유닛을 닫힌 상태로 한 채, 표시부(547)를 슬라이드시켜서 화면 전체 면을 노출시키고, 화면 각도를 조절하여 사용자가 텔레비전 방송을 볼 수도 있다. 이 경우에는, 경첩 유닛을 열린 상태로 하여 표시부(543)를 표시시키지 않으면서, 텔레비전 방송을 표시하기 위한 회로만을 기동하기 때문에, 소비 전력을 최소한으로 억제할 수 있어, 배터리 용량이 한정된 휴대형 컴퓨터에 유용하다.In addition, the
상기 실시형태에서 예시한 표시 장치를 이와 같은 전자 기기 등의 반도체 장치에서 각 표시부에 적용함으로써, 신뢰성이 높은 반도체 장치를 실현할 수 있다.By applying the display device exemplified in the above embodiment to each display portion in a semiconductor device such as an electronic device, a highly reliable semiconductor device can be realized.
본 실시형태는 본 명세서에 기재한 다른 실시형태와 적절히 조합하여 실시할 수 있다.
The present embodiment can be carried out in appropriate combination with the other embodiments described in this specification.
10: 발광 장치
100: 발광 장치
101: 기판
102: 기판
103: 하부 전극층
105: EL층
107: 상부 전극층
109: 격벽
111: 공통 배선
113: 분리층
115: 분리층
117: 유기 수지막
119: 마스크
121: 노광광
123: 보조 배선
125: 격벽
131: 분리층
133: 분리층
135: 분리층
135a: 각부
135b: 태부
137: 분리층
137a: 각부
137b: 태부
150a: 발광 장치
150b: 발광 장치
153: 절연층
160a: 발광 장치
160b: 발광 장치
160c: 발광 장치
160d: 발광 장치
161: 접속부
20: 표시 장치
200: 표시 장치
201: 화소부
203: 하부 전극층
205: EL층
207: 상부 전극층
209: 상부 전극층
211: 상부 전극층
213: 분리층
220: 트랜지스터
221: 하지막
223: 반도체층
225: 게이트 전극
227: 제 1 전극
229: 제 2 전극
231: 제 1 절연층
233: 제 2 절연층
240a: 청색 화소
240b: 녹색 화소
240c: 적색 화소
252: 차광막
254: 컬러 필터
256: 오버 코트
258: 오버 코트
260: 공간
300: 조명 장치
301a: 제 1 기판
301b: 제 2 기판
303: 발광 장치
305a: 씰재
305b: 씰재
307a: 제 1 유리층
307b: 제 2 유리층
309: 컨버터
320: 조명 장치
500: 텔레비전 장치
501: 하우징
503: 표시부
505: 스탠드
507: 표시부
509: 조작키
510: 리모트 컨트롤러
520: 디지털 포토 프레임
521: 하우징
523: 표시부
540: 휴대형 컴퓨터
541: 상부 하우징
542: 하부 하우징
543: 표시부
544: 키 보드
545: 외부 접속 포트
546: 포인팅 디바이스
547: 표시부
701: 정공 주입층
702: 정공 수송층
703: 발광성을 갖는 유기 화합물을 포함하는 층
704: 전자 수송층
705: 전자 주입층
706: 전자 주입 버퍼층
707: 전자 릴레이층
708: 복합 재료층
800: 제 1 EL층
801: 제 2 EL층
803: 제 1 EL층
901: 조명 장치
902: 조명 장치
903: 탁상 조명 장치
904: 면 형상 조명 장치
9501: 조명부
9503: 지주
9505: 지지대10: Light emitting device
100: Light emitting device
101: substrate
102: substrate
103: Lower electrode layer
105: EL layer
107: upper electrode layer
109:
111: Common wiring
113: separation layer
115: separation layer
117: organic resin film
119: Mask
121: Exposure light
123: Auxiliary wiring
125:
131: separation layer
133: separation layer
135: separation layer
135a:
135b:
137: separation layer
137a: Each part
137b:
150a: Light emitting device
150b: Light emitting device
153: insulating layer
160a: Light emitting device
160b: Light emitting device
160c: Light emitting device
160d: Light emitting device
161: Connection
20: Display device
200: display device
201:
203: lower electrode layer
205: EL layer
207: upper electrode layer
209: upper electrode layer
211: upper electrode layer
213: separation layer
220: transistor
221: Just under the membrane
223: semiconductor layer
225: gate electrode
227: first electrode
229: second electrode
231: first insulating layer
233: second insulating layer
240a: blue pixel
240b: green pixel
240c: Red pixel
252:
254: Color filter
256: Overcoat
258: Overcoat
260: Space
300: Lighting device
301a: first substrate
301b: second substrate
303: Light emitting device
305a: Seal material
305b: seal material
307a: first glass layer
307b: second glass layer
309: Converter
320: Lighting device
500: television device
501: housing
503:
505: Stand
507:
509: Operation keys
510: remote controller
520: Digital Photo Frame
521: Housing
523:
540: portable computer
541: upper housing
542: Lower housing
543:
544: Keyboard
545: External connection port
546: Pointing device
547:
701: Hole injection layer
702: hole transport layer
703: A layer containing an organic compound having luminous properties
704: electron transport layer
705: electron injection layer
706: electron injection buffer layer
707: Electronic relay layer
708: Composite layer
800: first EL layer
801: Second EL layer
803: first EL layer
901: Lighting system
902: Lighting device
903: Table lamp
904: Planar illumination device
9501:
9503: Holding
9505: Support
Claims (12)
상기 배선의 제 1 부분 위에 접한 제 1 절연층과;
제 1 발광 소자로서
상기 배선과 같은 절연 표면에 제공된 제 1 전극층과;
상기 제 1 전극층 위의 제 1 발광층과;
상기 배선의 제 2 부분 위에 접하여 제공된 상기 제 1 발광층 위의 제 2 전극층을 포함하는 상기 제 1 발광 소자와;
상기 제 1 절연층을 덮는 유기 화합물층과;
상기 유기 화합물층을 덮고, 상기 제 2 전극층과 같은 재료를 포함하는 도전층을 포함하고,
상기 배선의 제 2 부분은 상기 제 1 절연층의 적어도 일부와 겹치는, 발광 장치.
A wiring;
A first insulation layer overlying a first portion of the wiring;
As the first light emitting element
A first electrode layer provided on an insulating surface such as the wiring;
A first light emitting layer on the first electrode layer;
The first light emitting element including a second electrode layer on the first light emitting layer provided in contact with the second portion of the wiring;
An organic compound layer covering the first insulating layer;
And a conductive layer covering the organic compound layer and including the same material as the second electrode layer,
And the second portion of the wiring overlaps with at least a part of the first insulating layer.
상기 배선의 제 1 부분 위에 접한 제 1 절연층과;
제 1 발광 소자로서
상기 배선과 같은 절연 표면에 제공된 제 1 전극층과;
상기 제 1 전극층 위의 제 1 발광층과;
상기 배선의 제 2 부분 위에 접하여 제공된 상기 제 1 발광층 위의 제 2 전극층을 포함하는 상기 제 1 발광 소자와;
제 2 발광 소자로서
제 3 전극층으로서 상기 제 1 발광 소자의 제 2 전극층이 상기 제 3 전극층의 제 3 부분 위에 접하여 제공된 상기 제 3 전극층과;
상기 제 3 전극층 위의 제 2 발광층과;
상기 제 2 발광층 위의 제 4 전극층을 포함하는 상기 제 2 발광 소자와;
상기 제 3 전극층의 제 4 부분 위에 접하는 제 2 절연층을 포함하고,
상기 배선의 제 2 부분은 상기 제 1 절연층과 적어도 일부 겹치고,
상기 제 3 전극층의 제 3 부분은 상기 제 2 절연층과 적어도 일부 겹치는, 발광 장치.
A wiring;
A first insulation layer overlying a first portion of the wiring;
As the first light emitting element
A first electrode layer provided on an insulating surface such as the wiring;
A first light emitting layer on the first electrode layer;
The first light emitting element including a second electrode layer on the first light emitting layer provided in contact with the second portion of the wiring;
As the second light emitting element
The third electrode layer having a second electrode layer of the first light emitting device provided as a third electrode layer on a third portion of the third electrode layer;
A second light emitting layer on the third electrode layer;
The second light emitting element including a fourth electrode layer on the second light emitting layer;
And a second insulation layer overlying a fourth portion of the third electrode layer,
The second portion of the wiring overlaps at least part of the first insulating layer,
And the third portion of the third electrode layer at least partially overlaps the second insulating layer.
상기 제 1 절연층은 역 테이퍼 형상을 갖는, 발광 장치.
3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein the first insulating layer has an inverted tapered shape.
제 3 전극층과;
상기 제 3 전극층 위의 제 2 발광층과;
상기 제 2 발광층 위의 제 4 전극층을 포함하는 제 2 발광 소자를 포함하고,
상기 배선은 상기 제 1 전극층과 상기 제 3 전극층 사이에 제공되고,
상기 제 4 전극층은 상기 배선의 제 3 부분 위에 접하여 제공되고,
상기 배선의 상기 제 3 부분은 상기 제 1 절연층과 적어도 일부 겹치는, 발광 장치.
The method according to claim 1,
A third electrode layer;
A second light emitting layer on the third electrode layer;
And a second light emitting element including a fourth electrode layer on the second light emitting layer,
Wherein the wiring is provided between the first electrode layer and the third electrode layer,
Wherein the fourth electrode layer is provided in contact with a third portion of the wiring,
And the third portion of the wiring overlaps at least part of the first insulating layer.
상기 제 1 발광층 및 상기 제 2 발광층은 같은 재료를 포함하는, 발광 장치.
The method according to claim 2 or 4,
Wherein the first light emitting layer and the second light emitting layer comprise the same material.
상기 제 1 절연층을 덮는 유기 화합물층을 더 포함하는, 발광 장치.
3. The method of claim 2,
And an organic compound layer covering the first insulating layer.
상기 제 2 전극층은 투광성을 갖는, 발광 장치.
3. The method according to claim 1 or 2,
And the second electrode layer has translucency.
A lighting device comprising the light emitting device according to any one of claims 1 to 3.
A display device comprising the light emitting device according to claim 1 or 2.
상기 배선의 제 1 부분 위에 접하여 절연층을 형성하는 단계와;
상기 제 1 전극층 위의 발광층 및 상기 절연층을 덮는 유기 화합물층을 형성하는 단계와;
상기 발광층 위의 제 2 전극층 및 상기 유기 화합물층을 덮는 도전층을 형성하는 단계를 포함하고,
상기 제 2 전극층은 상기 배선의 제 2 부분 위에 접하여 형성되고,
상기 배선의 제 2 부분은 상기 절연층과 적어도 일부 겹치는, 발광 장치의 제작 방법.
Forming a first electrode layer and a wiring on the same insulating surface;
Forming an insulating layer on the first portion of the wiring;
Forming an organic compound layer covering the light emitting layer and the insulating layer on the first electrode layer;
Forming a second electrode layer on the light emitting layer and a conductive layer covering the organic compound layer,
Wherein the second electrode layer is formed in contact with the second portion of the wiring,
Wherein the second portion of the wiring overlaps the insulating layer at least partially.
상기 절연층은 역 테이퍼 형상을 갖도록 형성되는, 발광 장치의 제작 방법.
11. The method of claim 10,
Wherein the insulating layer is formed to have an inverted tapered shape.
상기 제 2 전극층은 투광성을 갖는, 발광 장치의 제작 방법.
11. The method of claim 10,
And the second electrode layer has a light transmitting property.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JPJP-P-2011-028004 | 2011-02-11 | ||
JP2011028004 | 2011-02-11 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20120092508A true KR20120092508A (en) | 2012-08-21 |
KR102004305B1 KR102004305B1 (en) | 2019-07-26 |
Family
ID=46636220
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020120011401A KR102004305B1 (en) | 2011-02-11 | 2012-02-03 | Light-emitting device and manufacturing method thereof, lighting device, and display device |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8928018B2 (en) |
JP (1) | JP5926064B2 (en) |
KR (1) | KR102004305B1 (en) |
TW (1) | TWI591869B (en) |
Cited By (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20150002468A (en) * | 2013-06-28 | 2015-01-07 | 엘지디스플레이 주식회사 | Organic light emitting display device and manufacturing method of the same |
KR20150025902A (en) * | 2013-08-30 | 2015-03-11 | 엘지디스플레이 주식회사 | Organic light emitting diode display device and method of fabricating the same |
KR20150061920A (en) * | 2013-11-28 | 2015-06-05 | 엘지디스플레이 주식회사 | Organic Light Emitting Diode Display Device |
KR20150067974A (en) * | 2013-12-11 | 2015-06-19 | 엘지디스플레이 주식회사 | Organic electro luminescent device and method of fabricating the same |
KR20150072863A (en) * | 2013-12-20 | 2015-06-30 | 엘지디스플레이 주식회사 | Organic light emitting diode display and method of manufacturing the same |
KR20160001500A (en) * | 2014-06-27 | 2016-01-06 | 엘지디스플레이 주식회사 | Organic light emitting display device and method of fabricating the same |
KR20160008063A (en) * | 2014-07-11 | 2016-01-21 | 엘지디스플레이 주식회사 | Organic light emitting diode display device |
KR20160047052A (en) * | 2014-10-21 | 2016-05-02 | 엘지디스플레이 주식회사 | High Luminance Large Area Organic Light Emitting Diode Display |
KR20160066288A (en) * | 2014-12-02 | 2016-06-10 | 엘지디스플레이 주식회사 | Organic light emitting display device and method of manufacturing the same |
KR20160114496A (en) * | 2015-03-23 | 2016-10-05 | 삼성디스플레이 주식회사 | Display apparatus and manufacturing method of the same |
KR20170003875A (en) * | 2015-06-30 | 2017-01-10 | 엘지디스플레이 주식회사 | Organic light emitting display device |
KR20170015637A (en) * | 2015-07-29 | 2017-02-09 | 엘지디스플레이 주식회사 | Organic light emitting display device |
KR20180003990A (en) * | 2016-07-01 | 2018-01-10 | 가부시키가이샤 재팬 디스프레이 | Display device and manufacturing method thereof |
KR20180104227A (en) * | 2017-03-10 | 2018-09-20 | 삼성디스플레이 주식회사 | Organic light-emitting apparatus and the method for manufacturing of the organic light-emitting display apparatus |
KR20180121757A (en) * | 2017-04-28 | 2018-11-08 | 삼성디스플레이 주식회사 | Organic light emitting display device and manufacturing method thereof |
US10276646B2 (en) | 2016-12-08 | 2019-04-30 | Samsung Display Co., Ltd. | Display device |
KR20190079245A (en) * | 2017-12-27 | 2019-07-05 | 엘지디스플레이 주식회사 | Organic light emitting display device |
KR20190130106A (en) * | 2018-05-11 | 2019-11-21 | 삼성디스플레이 주식회사 | Display device |
US11211534B2 (en) | 2018-12-04 | 2021-12-28 | Samsung Display Co., Ltd. | Display device and method of fabricating the same |
Families Citing this family (38)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20140048087A (en) | 2011-02-10 | 2014-04-23 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | Light-emitting device and manufacturing method thereof, lighting device, and display device |
TWI562423B (en) * | 2011-03-02 | 2016-12-11 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | Light-emitting device and lighting device |
KR20130049728A (en) | 2011-11-04 | 2013-05-14 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | Light-emitting module and light-emitting device |
US8912547B2 (en) | 2012-01-20 | 2014-12-16 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Light-emitting device, display device, and semiconductor device |
JP6110695B2 (en) | 2012-03-16 | 2017-04-05 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | Light emitting device |
KR102082793B1 (en) | 2012-05-10 | 2020-02-28 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | Display device and method for manufacturing the same |
WO2013175913A1 (en) * | 2012-05-22 | 2013-11-28 | シャープ株式会社 | Organic el device and method for manufacturing organic el device |
KR102105287B1 (en) | 2012-08-01 | 2020-04-28 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | Display device |
JP6155020B2 (en) * | 2012-12-21 | 2017-06-28 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | Light emitting device and manufacturing method thereof |
KR102090555B1 (en) * | 2012-12-27 | 2020-03-18 | 엘지디스플레이 주식회사 | Organic light emitting display device and method for manufacturing the same |
US9362345B2 (en) * | 2013-05-31 | 2016-06-07 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic light emitting display apparatus and method of manufacturing the same |
US9450039B2 (en) | 2013-05-31 | 2016-09-20 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic light emitting display apparatus and method of manufacturing the same |
EP2827371B1 (en) * | 2013-06-28 | 2018-08-22 | LG Display Co., Ltd. | Organic light emitting display apparatus and manufacturing method thereof |
KR102158771B1 (en) * | 2013-08-08 | 2020-09-23 | 삼성디스플레이 주식회사 | Organic light emitting diode display |
TWI758603B (en) * | 2014-07-03 | 2022-03-21 | 晶元光電股份有限公司 | Optoelectronic device and method for manufacturing the same |
EP2998997B1 (en) * | 2014-09-17 | 2020-01-08 | LG Display Co., Ltd. | Organic light emitting display device and method of manufacturing the same |
DE102014218667B4 (en) * | 2014-09-17 | 2023-05-17 | Pictiva Displays International Limited | Optoelectronic assembly and method of manufacturing an optoelectronic assembly |
KR101679977B1 (en) * | 2015-05-29 | 2016-11-28 | 엘지디스플레이 주식회사 | Self-capacitive touch sensor integrated type display device and manufacturing method of the same |
KR102377794B1 (en) * | 2015-07-06 | 2022-03-23 | 엘지전자 주식회사 | Display device using semiconductor light emitting device and method for manufacturing |
JP6654466B2 (en) * | 2015-08-31 | 2020-02-26 | 株式会社Joled | Semiconductor device, display device, method of manufacturing display device, and electronic apparatus |
KR102483229B1 (en) * | 2015-12-31 | 2022-12-29 | 엘지디스플레이 주식회사 | Organic light emitting display device |
EP4380340A3 (en) * | 2016-04-29 | 2024-08-07 | LG Display Co., Ltd. | Organic light-emitting display device and method of manufacturing the same |
KR102630001B1 (en) * | 2016-10-31 | 2024-01-25 | 엘지디스플레이 주식회사 | Organic light emitting display, head mounted display including the same, and method for manufacturing the same |
KR102718992B1 (en) | 2016-11-15 | 2024-10-18 | 삼성디스플레이 주식회사 | Display device |
CN109103215B (en) * | 2017-06-21 | 2021-03-09 | 京东方科技集团股份有限公司 | Organic light emitting diode display panel, manufacturing method thereof and display device |
KR102430443B1 (en) * | 2017-12-18 | 2022-08-09 | 삼성디스플레이 주식회사 | Manufacturing method of a display device |
WO2019215591A1 (en) | 2018-05-07 | 2019-11-14 | Oti Lumionics Inc. | Method for providing an auxiliary electrode and device including an auxiliary electrode |
CN109742110B (en) * | 2019-01-04 | 2022-07-08 | 京东方科技集团股份有限公司 | Organic light emitting display and method of manufacturing the same |
JP7263013B2 (en) * | 2019-01-10 | 2023-04-24 | 株式会社ジャパンディスプレイ | Wiring structure, semiconductor device, and display device |
KR20200108145A (en) | 2019-03-06 | 2020-09-17 | 삼성디스플레이 주식회사 | Display panel |
CN110556406A (en) * | 2019-08-26 | 2019-12-10 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | OLED display panel and preparation method thereof |
JPWO2021085176A1 (en) * | 2019-10-30 | 2021-05-06 | ||
JP2021184401A (en) * | 2020-12-25 | 2021-12-02 | パイオニア株式会社 | Light-emitting device |
KR20220096761A (en) * | 2020-12-31 | 2022-07-07 | 엘지디스플레이 주식회사 | Touch Display apparatus |
JP7551513B2 (en) * | 2021-01-14 | 2024-09-17 | 株式会社ジャパンディスプレイ | Display device |
KR20230050501A (en) * | 2021-10-07 | 2023-04-17 | 삼성디스플레이 주식회사 | Display device |
CN114141827B (en) * | 2021-11-16 | 2023-11-28 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | Display panel and preparation method thereof |
CN115050636A (en) * | 2022-05-09 | 2022-09-13 | 中北大学 | Low-cost large-area graphene patterning method |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20090004670A (en) * | 2007-07-06 | 2009-01-12 | 소니 가부시끼 가이샤 | Method for manufacturing organic el display and organic el display |
JP2009032673A (en) * | 2007-07-03 | 2009-02-12 | Canon Inc | Organic electroluminescent display device and its manufacturing method |
JP2009130132A (en) | 2007-11-22 | 2009-06-11 | Panasonic Electric Works Co Ltd | Planar light emission type lighting system |
KR20100042799A (en) * | 2008-10-17 | 2010-04-27 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | Organic light emitting display device |
KR20100095518A (en) * | 2008-12-18 | 2010-08-31 | 파나소닉 주식회사 | Organic electroluminescence display device and method for manufacturing same |
JP2012155953A (en) * | 2011-01-25 | 2012-08-16 | Sony Corp | Organic el display device and electronic apparatus |
Family Cites Families (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3224396B2 (en) | 1996-05-29 | 2001-10-29 | 出光興産株式会社 | Organic EL device |
US6037712A (en) | 1996-06-10 | 2000-03-14 | Tdk Corporation | Organic electroluminescence display device and producing method thereof |
JPH1197182A (en) | 1997-09-24 | 1999-04-09 | Pioneer Electron Corp | Luminous display pannel |
US6306559B1 (en) | 1999-01-26 | 2001-10-23 | Mitsubishi Chemical Corporation | Organic electroluminescent device comprising a patterned photosensitive composition and a method for producing same |
JP3814102B2 (en) * | 1999-05-24 | 2006-08-23 | 東北パイオニア株式会社 | Organic EL display panel and manufacturing method thereof |
JP2002110536A (en) | 2000-10-05 | 2002-04-12 | Tdk Corp | Resist pattern, method for manufacturing the same method for patterning thin film and method for manufacturing microdevice |
US6596443B2 (en) * | 2001-03-12 | 2003-07-22 | Universal Display Corporation | Mask for patterning devices |
JP3983037B2 (en) * | 2001-11-22 | 2007-09-26 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | Light emitting device and manufacturing method thereof |
GB0226401D0 (en) | 2002-11-12 | 2002-12-18 | Koninkl Philips Electronics Nv | Electroluminescent devices and their manufacture |
US7161184B2 (en) | 2003-06-16 | 2007-01-09 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Display device and method for manufacturing the same |
JP4664604B2 (en) | 2004-02-18 | 2011-04-06 | Tdk株式会社 | Image display device |
EP1795052B1 (en) | 2004-09-13 | 2017-11-29 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Light emitting device |
JP2008135325A (en) * | 2006-11-29 | 2008-06-12 | Hitachi Displays Ltd | Organic el display device, and manufacturing method therefor |
US20080286445A1 (en) * | 2007-05-17 | 2008-11-20 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Composition, and method of fabricating light-emitting element |
US7834543B2 (en) | 2007-07-03 | 2010-11-16 | Canon Kabushiki Kaisha | Organic EL display apparatus and method of manufacturing the same |
EP2444470B1 (en) * | 2007-08-31 | 2016-10-26 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Light-emitting element, light-emitting device, and electronic appliance |
US8692455B2 (en) * | 2007-12-18 | 2014-04-08 | Sony Corporation | Display device and method for production thereof |
KR102437444B1 (en) * | 2008-11-21 | 2022-08-30 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | Display device |
WO2012086662A1 (en) | 2010-12-24 | 2012-06-28 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Lighting device |
US8552440B2 (en) | 2010-12-24 | 2013-10-08 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Lighting device |
KR102015971B1 (en) | 2010-12-28 | 2019-08-29 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | Light-emitting unit, light-emitting device, lighting device, and method for manufacturing light-emitting unit |
WO2012090889A1 (en) | 2010-12-28 | 2012-07-05 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Light-emitting unit, light-emitting device, and lighting device |
-
2012
- 2012-02-03 KR KR1020120011401A patent/KR102004305B1/en active IP Right Grant
- 2012-02-07 JP JP2012023725A patent/JP5926064B2/en active Active
- 2012-02-08 TW TW101104064A patent/TWI591869B/en active
- 2012-02-09 US US13/369,892 patent/US8928018B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009032673A (en) * | 2007-07-03 | 2009-02-12 | Canon Inc | Organic electroluminescent display device and its manufacturing method |
KR20090004670A (en) * | 2007-07-06 | 2009-01-12 | 소니 가부시끼 가이샤 | Method for manufacturing organic el display and organic el display |
JP2009130132A (en) | 2007-11-22 | 2009-06-11 | Panasonic Electric Works Co Ltd | Planar light emission type lighting system |
KR20100042799A (en) * | 2008-10-17 | 2010-04-27 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | Organic light emitting display device |
KR20100095518A (en) * | 2008-12-18 | 2010-08-31 | 파나소닉 주식회사 | Organic electroluminescence display device and method for manufacturing same |
JP2012155953A (en) * | 2011-01-25 | 2012-08-16 | Sony Corp | Organic el display device and electronic apparatus |
Cited By (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20150002468A (en) * | 2013-06-28 | 2015-01-07 | 엘지디스플레이 주식회사 | Organic light emitting display device and manufacturing method of the same |
KR20210040924A (en) * | 2013-06-28 | 2021-04-14 | 엘지디스플레이 주식회사 | Organic light emitting display device and manufacturing method of the same |
KR20150025902A (en) * | 2013-08-30 | 2015-03-11 | 엘지디스플레이 주식회사 | Organic light emitting diode display device and method of fabricating the same |
KR20150061920A (en) * | 2013-11-28 | 2015-06-05 | 엘지디스플레이 주식회사 | Organic Light Emitting Diode Display Device |
KR20150067974A (en) * | 2013-12-11 | 2015-06-19 | 엘지디스플레이 주식회사 | Organic electro luminescent device and method of fabricating the same |
KR20150072863A (en) * | 2013-12-20 | 2015-06-30 | 엘지디스플레이 주식회사 | Organic light emitting diode display and method of manufacturing the same |
KR20160001500A (en) * | 2014-06-27 | 2016-01-06 | 엘지디스플레이 주식회사 | Organic light emitting display device and method of fabricating the same |
KR20160008063A (en) * | 2014-07-11 | 2016-01-21 | 엘지디스플레이 주식회사 | Organic light emitting diode display device |
KR20160047052A (en) * | 2014-10-21 | 2016-05-02 | 엘지디스플레이 주식회사 | High Luminance Large Area Organic Light Emitting Diode Display |
KR20160066288A (en) * | 2014-12-02 | 2016-06-10 | 엘지디스플레이 주식회사 | Organic light emitting display device and method of manufacturing the same |
KR20160114496A (en) * | 2015-03-23 | 2016-10-05 | 삼성디스플레이 주식회사 | Display apparatus and manufacturing method of the same |
KR20170003875A (en) * | 2015-06-30 | 2017-01-10 | 엘지디스플레이 주식회사 | Organic light emitting display device |
KR20170015637A (en) * | 2015-07-29 | 2017-02-09 | 엘지디스플레이 주식회사 | Organic light emitting display device |
KR20180003990A (en) * | 2016-07-01 | 2018-01-10 | 가부시키가이샤 재팬 디스프레이 | Display device and manufacturing method thereof |
US10872934B2 (en) | 2016-07-01 | 2020-12-22 | Japan Display Inc. | Display device and manufacturing method thereof |
US10276646B2 (en) | 2016-12-08 | 2019-04-30 | Samsung Display Co., Ltd. | Display device |
US10636864B2 (en) | 2016-12-08 | 2020-04-28 | Samsung Display Co., Ltd. | Display device |
US11049927B2 (en) | 2016-12-08 | 2021-06-29 | Samsung Display Co., Ltd. | Display device |
US11569338B2 (en) | 2016-12-08 | 2023-01-31 | Samsung Display Co., Ltd. | Display device |
US11895887B2 (en) | 2016-12-08 | 2024-02-06 | Samsung Display Co., Ltd. | Display device |
KR20180104227A (en) * | 2017-03-10 | 2018-09-20 | 삼성디스플레이 주식회사 | Organic light-emitting apparatus and the method for manufacturing of the organic light-emitting display apparatus |
KR20180121757A (en) * | 2017-04-28 | 2018-11-08 | 삼성디스플레이 주식회사 | Organic light emitting display device and manufacturing method thereof |
KR20190079245A (en) * | 2017-12-27 | 2019-07-05 | 엘지디스플레이 주식회사 | Organic light emitting display device |
KR20190130106A (en) * | 2018-05-11 | 2019-11-21 | 삼성디스플레이 주식회사 | Display device |
US11211534B2 (en) | 2018-12-04 | 2021-12-28 | Samsung Display Co., Ltd. | Display device and method of fabricating the same |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI591869B (en) | 2017-07-11 |
JP5926064B2 (en) | 2016-05-25 |
TW201246645A (en) | 2012-11-16 |
KR102004305B1 (en) | 2019-07-26 |
JP2012182120A (en) | 2012-09-20 |
US20120205678A1 (en) | 2012-08-16 |
US8928018B2 (en) | 2015-01-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR102004305B1 (en) | Light-emitting device and manufacturing method thereof, lighting device, and display device | |
JP6378745B2 (en) | LIGHT EMITTING DEVICE, LIGHTING DEVICE, AND DISPLAY DEVICE | |
JP6619466B2 (en) | Light emitting element and light emitting device | |
JP2024038284A (en) | display device | |
JP6400650B2 (en) | Display device | |
KR101933952B1 (en) | Light-emitting device, electronic device, and lighting device | |
JP2013069480A (en) | Light-emitting device, electronic equipment, and illuminating device | |
JP6479095B2 (en) | Light emitting device | |
JP2016054156A (en) | Light emitting device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant |