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KR20120047769A - 반송 시스템 및 반송 방법 - Google Patents

반송 시스템 및 반송 방법 Download PDF

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KR20120047769A
KR20120047769A KR1020110104169A KR20110104169A KR20120047769A KR 20120047769 A KR20120047769 A KR 20120047769A KR 1020110104169 A KR1020110104169 A KR 1020110104169A KR 20110104169 A KR20110104169 A KR 20110104169A KR 20120047769 A KR20120047769 A KR 20120047769A
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다츠지 오타
마사즈미 후쿠시마
야스히사 이토
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무라텍 오토메이션 가부시키가이샤
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Abstract

(과제)
처리 장치의 앞면을 막지 않고, 또한 반송 시스템이 평면으로 보았을 때 차지하는 바닥 면적을 작게 하면서 처리 장치로 물품을 신속하게 공급 반출한다.
(구성)
천정 주행차 궤도와 평행하게 그 하방에 처리 장치의 로드 포트의 상류측에서 하류측까지 로드 포트의 상방에 배치되어 있는 로컬 궤도가 설치되고, 호이스트를 구비하는 로컬 대차가 주행한다. 로컬 궤도의 하부에 처리 장치의 로드 포트의 상류측에 배치되어 있는 제 1 버퍼와 하류측에 배치되어 있는 제 2 버퍼가 천정 주행차와 로컬 대차가 함께 물품을 주고받는 것이 가능하게 설치되어 있다.

Description

반송 시스템 및 반송 방법{TRANSPORTING SYSTEM AND METHOD}
본 발명은 반송 시스템에 관한 것으로서, 특히 처리 장치를 기다리지 않고 물품을 공급 반출하는 반송 시스템에 관한 것이다.
반도체 가공 장치 및 반도체의 검사 장치 등의 처리 장치를 기다리지 않고 FOUP(반도체 웨이퍼를 반송하기 위한 밀폐형 카세트) 등의 물품을 이들 장치의 로드 포트에 공급 및 반출할 필요가 있다. 그래서, 처리 장치의 부근에 버퍼를 설치하고, 또한 버퍼와 처리 장치 사이의 반송을 행하기 위해서 추가의 반송 장치를 설치하는 것이 제안되고 있다. 예를 들면, 특허문헌 1(JP2006-224944A)에서는 천정 주행차의 궤도를 천정 스페이스에 평행하게 복수 배치하고, 한쪽을 장거리 반송용, 다른 쪽을 단거리 반송용으로 한다. 그리고 장거리 반송용 궤도의 바로 아래에 버퍼를, 단거리 반송용 궤도의 바로 아래에 처리 장치의 로드 포트를 배치한다. 장거리 반송용의 천정 주행차는 버퍼와의 사이에서 물품을 주고 받고, 단거리 반송용의 천정 주행차는 버퍼와 로드 포트 사이에서 물품을 주고 받는다. 따라서, 처리 장치가 필요로 하는 물품이 미리 버퍼까지 반송되어 있으면 처리 장치로의 물품의 공급을 고속으로 행할 수 있다.
또한, 처리 장치의 로드 포트로부터의 물품의 반출은 단거리 반송용의 천정 주행차에 의해 고속으로 행하여진다. 그러나, 이렇게 하면 같은 높이의 위치에 평행하게 궤도를 설치하기 때문에 반송 시스템이 평면으로 보았을 때 차지하는 바닥 면적이 증대한다.
특허문헌 2(JP2005-150129A)에서는, 처리 장치의 앞면에 반송 장치를 구비한 버퍼를 설치해서 천정 주행차는 버퍼 사이에서 물품을 주고 받고, 버퍼 내의 반송 장치가 로드 포트와의 사이에서 물품을 주고 받는다. 그러나, 처리 장치의 앞면에는 가동 상황을 나타내는 디스플레이, 메뉴얼 조작용의 조작 패널 등이 설치되어 버퍼로 이들을 막는 것은 바람직하지 못하다. 또한, 로드 포트는 자동 반송 장치만 사용하는 것이 아니라 사람 손으로 물품을 공급 반출하는 경우도 있어 처리 장치의 앞면을 버퍼로 덮으면 사람 손에 의한 액세스가 어려워진다.
JP2006-224944A JP2005-150129A
본 발명의 과제는 처리 장치의 앞면을 막는 경우 없이, 또한 반송 시스템이 평면으로 보았을 때 차지하는 바닥 면적을 작게 하면서 처리 장치에 물품을 신속하게 공급 및 반출하는 것에 있다.
또한, 본 발명의 과제는 버퍼와의 사이에서 물품을 주고 받을 때의 승강량을 가능한 한 작게 하는 것에 있다.
또한, 본 발명의 과제는 버퍼와 로드 포트 사이의 반송 거리를 짧게 하는 것에 있다.
본 발명에서의 추가 과제는, 로컬 대차와 간섭하지 않고 천정 주행차가 버퍼와의 사이에서 물품을 주고 받는 구체적인 구성을 제공하는 것에 있다.
본 발명은 복수의 처리 장치 사이에서 물품을 반송하기 위해서 처리 장치의 로드 포트의 상부를 통과하는 천정 주행차 궤도와, 천정 주행차 궤도를 따라 일방향으로 주행하고 또한 호이스트(hoist)를 구비하는 천정 주행차를 구비하는 반송 시스템에 관한 것이다.
본 발명의 시스템은 천정 주행차 궤도의 하방에서 상기 일방향을 따라 처리 장치의 로드 포트의 상류측에서 하류측까지 로드 포트의 상방에 배치되고, 또한 천정 주행차 궤도와 평행하게 배치되어 있는 로컬 궤도와,
상기 로컬 궤도를 주행하고 또한 물품을 승강시키는 호이스트를 구비하는 로컬 대차와,
상기 로컬 궤도의 하부에서 상기 일방향을 따라 처리 장치의 로드 포트의 상류측에 배치되고, 또한 천정 주행차와 로컬 대차가 함께 물품을 주고 받는 것이 가능한 제 1 버퍼와,
상기 로컬 궤도의 하부에서 상기 일방향을 따라 처리 장치의 로드 포트의 하류측에 배치되고, 또한 천정 주행차와 로컬 대차가 함께 물품을 주고 받는 것이 가능한 제 2 버퍼를 구비하고 있는 것을 특징으로 한다.
이 발명에서는 천정 주행차가 주행하는 스페이스와 로컬 대차가 주행하는 스페이스를 연직 방향으로 겹칠 수 있어 반송 시스템이 평면으로 보았을 때 차지하는 바닥 면적을 작게 할 수 있다. 또한, 처리 장치의 앞면을 버퍼로 막는 경우가 없다. 제 1 버퍼와 제 2 버퍼가 로드 포트의 상류측과 하류측에 설치되어 있으므로 로컬 대차는 로드 포트와 버퍼 사이에서 신속하게 물품을 공급 반출할 수 있다. 로드 포트는 처리 장치에 1개만 설치해도 좋고, 복수 개 설치해도 좋다. 로드 포트를 복수 개 설치할 경우 로컬 궤도는 각 로드 포트의 상류측에서 하류측까지 설치하고, 제 1 버퍼는 각 로드 포트의 상류측에, 제 2 버퍼는 각 로드 포트의 하류측에 설치한다.
본 발명은 또한, 이미 설치된 천정 주행차 시스템에 추후 설치하는 반송 시스템에 관한 것이다.
이 시스템은 천정 주행차 궤도의 하방에서 상기 일방향을 따라 처리 장치의 로드 포트의 상류측에서 하류측까지 로드 포트의 상방에 배치되고, 또한 천정 주행차 궤도와 평행하게 배치되는 로컬 궤도와,
상기 로컬 궤도를 주행하고 또한 물품을 승강시키는 호이스트를 구비하는 로컬 대차와,
상기 로컬 궤도의 하부에서 상기 일방향을 따라 처리 장치의 로드 포트의 상류측에 배치되고, 또한 천정 주행차와 로컬 대차가 함께 물품을 주고 받는 것이 가능한 제 1 버퍼와,
상기 로컬 궤도의 하부에서 상기 일방향을 따라 처리 장치의 로드 포트의 하류측에 배치되고, 또한 천정 주행차와 로컬 대차가 함께 물품을 주고 받는 것이 가능한 제 2 버퍼를 구비하고 있는 것을 특징으로 한다.
이렇게 하면, 기존의 천정 주행차 시스템에 로컬 궤도와 로컬 대차 및 제 1 버퍼와 제 2 버퍼로 이루어진 반송 시스템을 추후 설치할 수 있다. 그리고 추후 설치하는 반송 시스템은 처리 장치의 개조를 필요로 하지 않고, 기존의 천정 주행차 시스템에 대해서도 지주를 겸용하는 정도밖에 개조를 필요로 하지 않는다. 또한, 천정 주행차가 주행하는 스페이스와 로컬 대차가 주행하는 스페이스를 연직 방향으로 겹칠 수 있고, 또한 처리 장치의 앞면을 버퍼로 막는 경우가 없다. 제 1 버퍼와 제 2 버퍼가 로드 포트의 상류측과 하류측에 설치되어 있기 때문에 로컬 대차는 로드 포트와 버퍼 사이에서 신속하게 물품을 공급 반출할 수 있다.
바람직하게는, 제 1 버퍼와 제 2 버퍼가 각각 물품을 1개씩 적재할 수 있도록 구성되어 있다. 이렇게 하면, 로드 포트에 인접해서 상류측과 하류측에 합계 2개의 버퍼를 배치할 수 있다.
바람직하게는, 제 1 버퍼와 제 2 버퍼가 물품을 적재하고 있을 때에는 물품을 지지하고 있지 않은 로컬 대차만이 제 1 버퍼와 제 2 버퍼의 상방을 주행 가능하고, 상기 제 1 버퍼와 제 2 버퍼가 물품을 적재하고 있지 않을 때에는 물품을 지지하고 있는 로컬 대차와 물품을 지지하고 있지 않은 로컬 대차 모두 제 1 버퍼와 제 2 버퍼의 상방을 주행 가능한 높이에 제 1 버퍼와 제 2 버퍼가 배치되어 있다. 이렇게 하면, 로컬 대차는 버퍼와의 사이에서 신속하게 물품을 이송할 수 있다.
또한 바람직하게는, 상기 제 1 버퍼와 제 2 버퍼가 각각 상단과 하단의 2단의 계단상의 구조이고, 제 1 버퍼와 제 2 버퍼는 상단과 하단에 각각 물품을 1개씩 적재할 수 있고, 하단은 로드 포트에 가까운 측에, 상단은 로드 포트로부터 먼 측에 배치되고, 또한 하단은 물품의 적재의 유무에 상관없이 물품을 지지하고 있는 로컬 대차와 물품을 지지하고 있지 않은 로컬 대차 모두 하단의 상방을 통과 가능하고, 상단은 물품이 적재되어 있을 때에는 물품을 지지하고 있지 않은 로컬 대차만이 상단의 상방을 주행 가능하고, 상단에 물품이 적재되어 있지 않을 때에는 물품을 지지하고 있는 로컬 대차와 물품을 지지하고 있지 않은 로컬 대차 모두 상단의 상방을 주행 가능한 높이에 상기 하단과 상단이 배치되어 있다. 이렇게 하면, 로드 포트의 상류와 하류에 4개 물품분의 버퍼를 배치할 수 있으며, 또한 상단의 버퍼에 대하여 로컬 대차는 신속하게 물품을 이송할 수 있다.
또한 바람직하게는, 로컬 궤도는 2개의 평행한 레일로 이루어지고, 또한 2개의 레일 사이에 물품이 연직 방향으로 이동할 수 있는 간극이 형성되어 있다. 이렇게 하면, 제 1 궤도의 바로 아래에 로컬 궤도를 배치해도 로드 포트 및 버퍼 사이에서 천정 주행차가 물품을 주고 받을 수 있다.
바람직하게는, 천정 주행차는 상기 제 1 버퍼와 상기 제 2 버퍼로의 물품의 반입과 상기 로드 포트로부터의 물품의 반출을 행하고, 상기 로컬 대차는 상기 제 1 버퍼와 상기 제 2 버퍼로부터 상기 로드 포트로의 물품의 반입을 행한다. 이 제어는 천정 주행차의 컨트롤러와 로컬 대차의 컨트롤러 등에 의해 실행된다. 이렇게 하면, 로드 포트로부터 신속하게 물품을 반송함과 아울러 로드 포트 상의 물품의 유무에 상관없이 천정 주행차로부터 버퍼로 물품을 적하할 수 있다. 그리고 로드 포트가 비면 신속하게 버퍼로부터 로드 포트로 물품을 반입할 수 있다.
바람직하게는, 로드 포트의 상방에 배치되는 수평한 프레임에 의해 제 1 버퍼와 제 2 버퍼가 지지되고, 프레임에 로드 포트측의 간섭물을 검출하기 위한 룩 다운 센서(look down sensor)가 설치되어 있다. 룩 다운 센서에 의해 천정 주행차와 로컬 대차 모두 로드 포트측의 사람 등과의 간섭을 일으킬 경우가 없다. 로드 포트측이란 로드 포트의 부근 또는 로드 포트의 근방을 의미한다.
또한, 본 발명의 반송 시스템은 천정 주행차 궤도의 하방에서 상기 로드 포트의 상방에 배치되고, 또한 천정 주행차 궤도와 평행하게 배치되어 있는 로컬 궤도와,
상기 로컬 궤도를 주행하고 또한 물품을 승강시키는 호이스트를 구비하는 로컬 대차와,
상단과 하단의 2단의 계단상의 버퍼가 설치되고,
상기 상단과 하단에 각각 물품을 1개씩 적재할 수 있고, 하단은 로드 포트에 가까운 측에, 상단은 로드 포트로부터 먼 측에 배치되고, 또한 하단은 물품의 적재의 유무에 상관없이 물품을 지지하고 있는 로컬 대차와 물품을 지지하고 있지 않은 로컬 대차 모두 하단의 상방을 통과 가능하고, 상단에 물품이 적재되어 있을 때에는 물품을 지지하고 있지 않은 로컬 대차만이 상단의 상방을 주행 가능하고, 상단에 물품이 적재되어 있지 않을 때에는 물품을 지지하고 있는 로컬 대차와 물품을 지지하고 있지 않은 로컬 대차 모두 상단의 상방을 주행 가능한 높이에 상기 하단과 상단이 배치되어 있는 것을 특징으로 한다. 예를 들면, 계단상의 버퍼로서 도 1의 버퍼(25a, 26a)의 조합과 버퍼(25a, 26a)의 조합 중 적어도 한쪽을 설치한다.
이렇게 하면, 천정 주행차가 주행하는 스페이스와 로컬 대차가 주행하는 스페이스를 연직 방향으로 겹칠 수 있어 반송 시스템이 평면으로 보았을 때 차지하는 바닥 면적을 작게 할 수 있다. 또한, 처리 장치의 앞면을 버퍼로 막는 경우가 없다. 또한, 버퍼를 계단상으로 상하 2단으로 배치하므로 천정 주행차와 로컬 대차는 상하 어떤 단에도 액세스할 수 있고, 상단의 버퍼에서는 로컬 궤도와의 높이 레벨의 차가 작으므로 작은 승강량으로 물품을 공급 반출할 수 있다.
또한, 본 발명에서는 처리 장치의 로드 포트의 상부를 통과하는 천정 주행차 궤도와, 상기 천정 주행차 궤도를 따라 일방향으로 주행하고 또한 호이스트를 구비하는 천정 주행차를 이용하여 로드 포트로 물품을 반송하기 위해서,
상기 천정 주행차 궤도의 하방에서 상기 일방향을 따라 처리 장치의 로드 포트의 상류측에서 하류측까지 로드 포트의 상방에 배치되고, 또한 천정 주행차 궤도와 평행하게 배치되어 있는 로컬 궤도와,
상기 로컬 궤도를 주행하고 또한 물품을 승강시키는 호이스트를 구비하는 로컬 대차와,
상기 로컬 궤도의 하부에서 상기 일방향을 따라 처리 장치의 로드 포트의 상류측에 배치되고, 또한 천정 주행차와 로컬 대차가 함께 물품을 주고 받는 것이 가능한 제 1 버퍼와,
상기 로컬 궤도의 하부에서 상기 일방향을 따라 처리 장치의 로드 포트의 하류측에 배치되고, 또한 천정 주행차와 로컬 대차가 함께 물품을 주고 받는 것이 가능한 제 2 버퍼가 설치되어 있다.
그리고, 천정 주행차가 제 1 버퍼 또는 제 2 버퍼로 물품을 적하하는 스텝과,
로컬 대차가 제 1 버퍼 또는 제 2 버퍼의 물품을 로드 포트로 적하하는 스텝과,
천정 주행차가 로드 포트의 물품을 반출하는 스텝을 실행한다.
이렇게 하면, 로드 포트로부터 신속하게 물품을 반송함과 아울러 로드 포트 상의 물품의 유무에 상관없이 천정 주행차로부터 버퍼로 물품을 적하할 수 있다. 그리고 로드 포트가 비면 신속하게 버퍼로부터 로드 포트로 물품을 반입할 수 있다.
도 1은 실시예의 반송 시스템의 요부 측면도이다.
도 2는 실시예의 반송 시스템으로부터 천정 주행차의 주행 레일을 분리한 상태를 나타내는 요부 평면도이다.
도 3은 로컬 대차의 구조를 나타내는 정면도이다.
도 4는 반송 시스템 내의 통신을 나타내는 도면이다.
도 5는 변형예의 반송 시스템의 요부 정면도이다.
도 6은 최적 실시예의 반송 시스템의 요부 측면도이다.
이하에 본 발명을 실시하기 위한 최적 실시예를 나타낸다. 본 발명의 범위는 특허청구범위의 기재에 근거하고, 명세서의 기재와 이 분야에서의 주지 기술을 참작하여 당 업자의 이해에 따라서 정해져야 한다.
[실시예]
도 1?도 5에 실시예의 반송 시스템과 그 변형을 나타낸다. 각 도면에 있어서 2는 반송 시스템이고, 4는 처리 장치로, 예를 들면 반도체 처리 장치 및 반도체의 검사 장치 등이다. 또한, 반송 시스템(2)은 클린 룸 내에 설치되어 있다. 처리 장치(4)는 1개 또는 복수 개의 로드 포트(6)를 구비하고, 그 직상부에 천정 주행차(12)의 궤도(10)가 설치되어 천정으로부터 지주(11)에 의해 지지되어 있다. 천정 주행차(12)는 호이스트(14)를 구비하여 승강대(16)를 물품(18)과 함께 승강시킨다. 물품(18)은 예를 들면 반도체 웨이퍼를 수용한 FOUP이지만 물품(18)의 종류는 임의이다. 또한, 천정 주행차(12)는 호이스트(14) 이외에 호이스트(14)를 횡이송하는 장치 및 호이스트(14)를 연직축 둘레로 회전시키는 장치 등을 구비하고 있어도 좋다. 궤도(10)와 천정 주행차(12)에 의해 천정 주행차 시스템을 구성하고, 이 시스템 자체는 이미 알려져 있다.
궤도(10)의 예를 들면 바로 아래에 로컬 궤도(20)가 설치되고, 로컬 궤도(20)는 예를 들면 각각의 처리 장치마다 설치한다. 로컬 궤도(20)를 설치하는 범위는 로드 포트(6)의 직상부와 예를 들면 그 좌우 양측이지만, 로드 포트(6)의 상부와 그 좌우 한쪽만이어도 좋다. 22는 로컬 대차이고, 로컬 궤도(20)를 따라 왕복 운동하여 승강대(23)를 벨트, 와이어, 로프 등의 매달림 지지재(24)에 의해 승강시킨다. 로드 포트(6)에서 볼 때, 로컬 대차(22)의 주행 방향의 예를 들면 전후 쌍방에 각각 2종류의 버퍼(25a, 25b, 26a, 26b)를 설치한다. 천정 주행차(12)는 도 1의 화살표의 방향으로 주행하고, 예를 들면 한 쌍의 로드 포트(6, 6)의 상류측 버퍼(25a, 26b)가 제 1 버퍼이고, 하류측 버퍼(25b, 26b)가 제 2 버퍼이다.
버퍼(25a, 25b)는 그 상부를 물품(18)을 지지한 로컬 대차(22)가 간섭하지 않고 통과할 수 있는 높은 위치에 설치하고, 로드 포트(6)에 대하여 평면으로 볼 때에 인접한 위치에 설치한다. 바꿔 말하면, 로컬 대차(22)가 지지하는 물품(18)의 저면과 버퍼(25a, 25b)에서의 물품 적재면 사이에 물품(18)의 1개분 초과의 높이 차를 설치한다. 버퍼(26a, 26b)는 제 2 버퍼이고, 버퍼(25a, 25b)에서 볼 때 로드 포트(6)의 반대측에 설치하고, 그 상부를 물품(18)을 지지하고 있지 않은 로컬 대차(22)는 주행할 수 있지만 물품(18)을 지지하고 있는 로컬 대차(22)는 주행할 수 없는 높이에 설치한다. 바꿔 말하면, 로컬 대차(22)가 지지하는 물품(18)의 저면과 버퍼(26a, 26b)에서의 물품 적재면 사이의 높이 차를 물품(18)의 1개분 이하의 높이로 한다. 예를 들면, 버퍼(26a, 26b)는 버퍼(25a, 25b)보다 물품(18)의 1개분의 높이만큼 높은 위치에 설치되어, 버퍼(25a, 25b, 26a, 26b)에서 단차가 1단인 계단을 구성하고 있다. 그리고 버퍼(25a, 25b, 26a, 26b)는 지주(27, 28)에 의해 지지되고, 지주(27)는 예를 들면 로컬 궤도(20)의 지주를 겸하고 있지만 로컬 궤도(20)의 지주와는 별개로 해도 좋다.
실시예에서는 로드 포트(6)의 좌우 양측(천정 주행차(12)의 주행 방향을 기준으로 하면 로드 포트(6)의 전후 양측)에 버퍼(25a, 25b, 26a, 26b)를 설치했지만 한쪽에만 설치해도 좋다. 버퍼의 용량이 부족할 경우, 도 1에 쇄선으로 나타나 있는 바와 같이 버퍼(26a, 26b)를 버퍼(31)의 위치로 이동시키고, 원래의 버퍼(26a, 26b)의 하부에 버퍼(30)를 설치하면 좋다. 그리고 이 경우, 로컬 궤도(20)도 버퍼(31)의 상부까지 연장한다.
이상과 같이 버퍼(25a, 25b, 26a, 26b) 등을 배치하면, 천정 주행차(12)와 로컬 대차(22)는 임의의 버퍼(25a, 25b, 26a, 26b)와의 사이에서 물품(18)을 주고 받을 수 있다. 버퍼(25a, 25b)는 낮은 위치에 있으므로 천정 주행차(12)와 로컬 대차(22)가 자유롭게 액세스할 수 있지만 물품(18)을 주고받을 때의 승강량이 크다. 버퍼(26a, 26b)가 빈 경우, 실하(實荷)의 로컬 대차(22)와 실하의 천정 주행차(12)가 액세스할 수 있다. 버퍼(26a, 26b)에 물품(18)이 놓여져 있을 경우 공하(空荷)의 로컬 대차(22)와 공하의 천정 주행차(12)가 액세스할 수 있다. 또한, 천정 주행차(12)는 한 쌍의 주행 레일로 이루어진 로컬 궤도(20)의 간극을 통해서 물품(18)을 승강시키고, 이 기구에 대해서는 후술한다.
이들의 결과, 버퍼(25a, 25b, 26a, 26b)에 대하여 로컬 대차(22) 및 천정 주행차(12)를 액세스할 수 있다. 버퍼(26a, 26b)는 버퍼(25a, 25b)에 비해서 높은 위치에 있으므로 천정 주행차(12) 및 로컬 대차(22)는 이송 시간을 단축할 수 있다. 특히 로컬 대차(22)는 물품(18)을 이송할 때의 승강량이 적어 이송 시간을 단축할 수 있다. 또한, 버퍼(25a, 25b, 26a, 26b)는 로드 포트(6)의 부근에 놓여져 있으므로 로컬 대차(22)는 단시간에 로드 포트(6)와 버퍼(25a, 25b, 26a, 26b) 사이에서 물품(18)을 반송할 수 있다.
도 2는 도 1의 II-II선을 따라 하측을 본 도면이며, 천정 주행차(12)와 궤도(10)를 제외하고 반송 시스템(2)을 표시하고 있다. 로컬 궤도(20)는 도 2와 같이 한 쌍의 레일로 이루어지고, 레일 사이는 간극(34)이다. 이 간극(34)의 폭은 물품(18)의 깊이보다도 크고, 물품(18)은 간극을 연직 방향으로 통과할 수 있다. 또한, 로드 포트(6)의 상부에 충전 장치(36)가 설치되어 로컬 대차(22)에 충전한다. 도 1, 도 2에서는 충전 장치(36)를 한쪽의 로드 포트(6)의 직상부에 배치했지만, 다른 쪽의 로드 포트의 상부, 또는 한 쌍의 로드 포트(6, 6)의 중간부 등에 배치해도 좋다.
천정 주행차(12)는 처리 장치(4)가 즉시 필요로 하는 물품 이외에는 버퍼(25a, 25b, 26a, 26b)에 의해 물품(18)을 적하한다. 또한, 다음 처리 장치가 즉시 필요로 하는 물품 이외에는 로드 포트(6) 상의 물품이 아니라 천정 주행차(12)는 버퍼(25a, 25b, 26a, 26b)의 물품을 반출한다. 그리고 로드 포트(6)와 버퍼(25a, 25b, 26a, 26b) 사이의 반송은 기본적으로 로컬 대차(22)가 행한다. 이 결과, 로드 포트(6)의 상부에서 로컬 대차(22)가 충전을 위해 정지해도 천정 주행차(12)에 의한 물품의 반송과 간섭하지 않는다. 또한, 충전 장치(36)는 버퍼(25a, 25b, 26a, 26b)에 면한 위치 등에 설치해도 좋다. 그 경우, 이 위치에서 로컬 대차(22)가 충전을 위해 장시간 정지하면 천정 주행차(12)가 버퍼로 액세스하는 것이 방해된다.
도 3은 로컬 대차(22)의 구조를 나타내고, 38은 주행 차륜으로 주행 모터(40)에 의해 구동되고, 42는 배터리로 수전 장치(43)를 통해서 충전 장치(36)에 의해 충전된다. 수전 장치(43)로의 급전은 예를 들면 비접촉 급전, 커넥터 또는 충전 커플러 등에 의한 접촉 충전의 어느 것이라도 좋다. 44는 호이스트로 승강대(23)를 승강시키고, 45는 척으로 물품(18) 상부의 플랜지를 파지 및 해방한다.
도 4는 반송 시스템 내의 통신을 나타내고, 천정 주행차 컨트롤러(50)는 천정 주행차(12)와 통신해서 반송 지령을 할당한다. 예를 들면 충전 장치(36)가 로컬 대차(22)의 컨트롤러를 겸하고, 통신 유닛(51)을 통해서 천정 주행차 컨트롤러(50)와의 사이에서 통신함으로써 버퍼(25a, 25b, 26a, 26b)에서의 물품(18)의 유무와 그 ID 등을 천정 주행차 컨트롤러(50)에 보고한다. 또한, 충전 장치(36)는 천정 주행차 컨트롤러(50)로부터 버퍼(25a, 25b, 26a, 26b)를 경유하는 물품(18)의 반송에 대해서 지시를 받는다. 통신 유닛(52)은 천정 주행차(12)와 통신해서 천정 주행차(12)가 버퍼(25a, 25b, 26a, 26b)와의 사이에서 물품(18)을 주고 받을 때의 인터로크를 행한다. 통신 유닛(53)은 로컬 대차(22)의 통신 유닛(54)과 통신하고, 로컬 대차(22)에 대하여 버퍼(25a, 25b, 26a, 26b)와 로드 포트(6) 사이의 물품(18)의 이송을 지시한다.
반송 시스템(2)의 동작에 대하여 설명한다. 처리 장치(4)가 정확히 필요로 하는 시각에 물품(18)을 로드 포트(6)에 공급하고, 로드 포트(6)로 물품(18)이 내부로부터 반출되면 즉시 처리 장치(4)의 외부로 제거하는 것이 반송 시스템의 목표이다. 이를 위해서는 처리 장치(4)에 대하여 전속의 로컬 대차(22)와 버퍼(25a, 25b, 26a, 26b)가 있으면 좋다. 처리 장치(4)가 필요로 하는 물품(18)을 미리 버퍼(25a, 25b, 26a, 26b)에 유지하고, 처리 장치(4)가 요구하는 시각에 로드 포트(6)로 반송하면 좋다. 또한, 로드 포트(6)로 내부로부터 반출된 물품(18)을 로컬 대차(22)에서 즉시 버퍼(25a, 25b, 26a, 26b)로 이송하면 좋다. 그리고 버퍼(25a, 25b, 26a, 26b)보다 먼 쪽의 반송은 천정 주행차(12)가 행하고, 천정 주행차(12)는 버퍼(25a, 25b, 26a, 26b)의 어느 것에 대하여도 액세스할 수 있어 긴급시 등에는 로드 포트(6)에 대하여도 직접 액세스할 수 있다.
처리 장치(4)가 필요로 하는 시점에서 버퍼(25a, 25b, 26a, 26b)에 필요한 물품(18)이 놓여져 있지 않은 경우가 있다. 이러한 경우, 천정 주행차(12)가 물품(18)을 직접 로드 포트(6)로 적하할 수 있으면 처리 장치(4)의 대기 시간을 단축할 수 있다. 또한, 다음 처리 장치가 필요로 하는 물품의 반출이 늦어지고 있을 경우, 천정 주행차(12)가 로드 포트(6)로부터 직접 물품(18)을 제거하면 다음 처리 장치의 대기 시간을 단축할 수 있다.
로컬 대차(22)는 로컬 궤도(20)를 따라 짧은 거리를 주행하므로 간단한 대차이면 된다. 컨트롤러로서의 충전 장치(36)의 통신은, 예를 들면 도체의 로컬 궤도(20)를 신호선에 겸용하는 로컬 궤도(20)를 따라 피더선을 설치하거나, 또는 대차(22)와 충전 장치(36) 사이에서 무선 통신 등에 의해 행한다. 그리고 충전 장치(36)로의 전원과 천정 주행차 컨트롤러(50)의 통신선은 지주(27) 등을 이용해서 배선할 수 있다.
실시예에서는 로컬 궤도(20)를 궤도(10)의 바로 아래에 배치하는 예를 나타냈지만, 이것에는 한정되지 않는다. 이러한 예를 도 5에 나타내고, 실시예와 같은 부호는 같은 것을 나타낸다. 60은 새로운 로컬 궤도이고, 궤도(10)의 바로 아래를 피하도록 그 하방에 배치되고, 62는 새로운 로컬 대차이다. 로컬 대차(62)는 가이드 롤러(63?65)에 의해 로컬 궤도(60)에 지지되어서 주행하고, 67, 68은 새로운 지주이고, 다른 점에서는 도 1?도 4의 실시예와 같다.
(최적 실시예)
도 6에 최적 실시예를 나타내고, 도 1?도 4와 같은 기호는 같은 것을 나타내고, 특별히 지적하는 점 이외에는 도 1?도 4의 실시예와 같다. 천정 주행차(12)는 도 6의 화살표를 따라 일방향으로 주행한다. 처리 장치(4)는 예를 들면 한 쌍의 로드 포트(6, 6)를 구비하고, 천정 주행차(12)의 주행 방향으로 각 로드 포트(6, 6)의 상류측에 제 1 버퍼(70)가, 각 로드 포트(6, 6)의 하류측에 제 2 버퍼(71)가 설치되어 있다. 또한, 처리 장치(4) 당의 로드 포트(6)의 수는 임의이다. 로컬 궤도(20)는 로드 포트(6, 6)의 상류측의 제 1 버퍼(70)의 상부로부터 하류측의 제 2 버퍼(71)의 상부까지 뻗어 있다. 72는 수평한 프레임으로 지주(27)에 의해 지지되고, 로드 포트(6, 6)의 상부로부터 그 좌우(상류측과 하류측)로 뻗어서 버퍼(70, 71)를 지지하고 있다. 물품(18)을 지지하고 있지 않은 로컬 대차(22)는 상방을 주행 가능하고, 물품(18)을 지지하고 있는 로컬 대차(22)는 상방을 주행 불가능한 높이에 버퍼(70, 71)는 배치되어 있다.
평면으로 볼 때에, 궤도(10) 및 궤도(20)와 버퍼(70, 71)가 겹치고, 궤도(10, 20)의 바로 아래에 로드 포트(6, 6)가 있다. 또한, 궤도(20)는 2개의 레일로 이루어지고, 레일 사이에 물품(18)이 연직 방향으로 통과 가능한 간극이 있다. 궤도(20)를 따라 로컬 대차(22)의 정지 위치가 예를 들면 4개소 있고, 각 개소에 충전 커플러 등의 충전 장치(74)가 설치되어 로컬 대차의 리튬 이온 전지 등의 배터리 또는 전기 이중층 커패시터 등의 축전기로 충전한다. 로컬 대차(22)는 정지할 때마다 충전을 받을 수 있으므로 소용량의 배터리 또는 소용량의 커패시터에 의해 구동할 수 있다. 또한, 로드 포트(6, 6)의 바로 위의 위치는 로컬 대차(22)의 대기 위치로는 적합하지 않으므로, 버퍼(70, 71)의 바로 위의 위치에만 충전 장치(74)를 설치해도 좋다.
73은 컨트롤러이고, 로컬 대차(22)를 제어함과 아울러 천정 주행차(12) 또는 도 4의 천정 주행차 컨트롤러(50)와 통신한다. 프레임(72)은 로드 포트(6, 6)의 상부에 예를 들면 한 쌍의 룩 다운 센서(76, 76)를 구비하여 로드 포트(6, 6)의 부근의 간섭물, 예를 들면 작업자를 감시하고 있다. 룩 다운 센서(76)는 예를 들면 레이저 광원과, 레이저광의 방향을 바꾸어서 도 6의 쇄선의 범위를 주사하는 기구와, 반사광의 수광소자를 구비하고 있다. 그리고 예를 들면 도 6의 쇄선의 범위 내의 물체를 감시해서 쇄선의 범위 내에서 물체를 검출하면 컨트롤러(73)는 로컬 대차(22)와 천정 주행차(12)에 대하여 해당하는 로드 포트(6)와의 이송을 금지한다. 또한, 1개의 룩 다운 센서(76)로 복수 개의 로드 포트(6)를 감시하도록 해도 좋다. 또한, 컨트롤러(73)는 천정 주행차(12)와 직접 통신하지 않고 도 4의 천정 주행차 컨트롤러(50)를 통해서 통신해도 좋다.
최적 실시예의 동작을 설명한다. 천정 주행차(12)는 버퍼(70, 71)로 물품(18)을 적하(반입)함과 아울러 로드 포트(6, 6) 상의 물품(18)을 반출(적재)한다. 버퍼(70)에 빈 곳이 있고, 또한 로드 포트(6)로 반출해야 할 물품(18)이 있을 경우, 천정 주행차(12)는 반송되어 온 물품(18)을 버퍼(70)로 적하함과 아울러 로드 포트(18)로부터 물품(18)을 반출한다. 따라서, 1대의 천정 주행차(12)로 반입과 반출을 실행할 수 있다. 로컬 대차(22)는 버퍼(70, 71)의 물품을 로드 포트(6, 6)로 반입한다. 로컬 대차(22)의 대기 위치는 버퍼(70, 71)의 상부이고, 대기 위치를 교대로 바꾼다. 예를 들면 버퍼(71) 상의 물품을 로드 포트(6)로 반입하면 버퍼(70) 상에서 대기하고, 다음에 버퍼(70)의 물품을 신속하게 로드 포트(6)로 반입할 수 있도록 한다. 또한, 버퍼(70, 71)의 어느 곳에도 물품(18)이 없을 경우 천정 주행차(12)가 버퍼(70)로 물품(18)을 적하할 수 있도록 버퍼(71) 상에서 대기해도 좋다. 로드 포트(6, 6)가 물품(18)에 의해 오버플로할 우려가 있는 경우에는 로컬 대차(22)가 로드 포트(6)로부터 버퍼(70, 71)로 물품을 반출해도 좋다. 또한, 특급품에 대하여는 천정 주행차(12)가 직접 로드 포트(6)로 물품을 반입해도 좋다.
최적 실시예에서는, 버퍼(70, 71)는 로드 포트(6, 6)에 인접하고, 궤도(20)와 버퍼(70, 71)의 높이 차는 작다. 따라서, 로컬 대차(22)는 단시간에 물품(18)을 버퍼(70, 71)로부터 로드 포트(6)로 반입시킬 수 있다. 천정 주행차(12)에서 보면, 처리 장치(4)는 반출 전용인 2개의 로드 포트와 반입 전용인 2개의 로드 포트를 구비하고 있는 것과 같아진다. 이 때문에 물품(18)을 로드 포트(6)로 적하할 수 없는 트러블을 줄일 수 있다. 또한, 처리 장치(4)에서 하면 버퍼(70, 71)에 최대 2개의 물품까지 처리 예정인 물품을 축적할 수 있다.
실시예에서는 이하의 효과가 얻어진다.
(1) 처리 장치(4)의 앞면을 막지 않고 버퍼(25a, 25b, 26a, 26b)를 설치할 수 있다.
(2) 천정 주행차(12)가 주행하는 스페이스와 로컬 대차(22)가 주행하는 스페이스를 연직 방향으로 겹칠 수 있어 반송 시스템이 평면으로 보았을 때 차지하는 바닥 면적을 작게 할 수 있다.
(3) 버퍼(25a, 25b, 26a, 26b)를 계단상으로 상하 2단으로 배치하므로 천정 주행차(12)와 로컬 대차(22)는 임의의 버퍼(25a, 25b, 26a, 26b)에 액세스할 수 있다. 특히, 버퍼(26a, 26b)는 로컬 궤도(20)의 높이 레벨의 차가 적으므로 작은 승강량으로 물품(18)을 공급 반출할 수 있다.
(4) 로컬 궤도(20)에 설치한 간극(34)을 물품(18)이 통과하므로 로컬 궤도(20)와 버퍼(25a, 25b, 26a, 26b)를 천정 주행차(12)의 궤도(10)의 바로 아래에 배치할 수 있다.
(5) 처리 장치(4) 및 기존의 천정 주행차 시스템을 거의 개조하지 않고 로컬 궤도(20)와 로컬 대차(22) 및 버퍼(25a, 25b, 26a, 26b)로 이루어진 반송 시스템을 추후 설치할 수 있다.
(6) 로컬 대차(22)는 짧은 로컬 궤도(20)를 왕복하므로 로드 포트(6)와 버퍼(25a, 25b, 26a, 26b) 사이에서 신속하게 물품을 공급 반출할 수 있다. 특히 로드 포트(6)의 전후 양측에 버퍼(25a, 25b, 26a, 26b)를 설치하면 로드 포트(6)의 부근에 버퍼(25a, 25b, 26a, 26b)를 다수 설치할 수 있다.
(7) 로드 포트(6)의 상부에 충전 장치(36)를 설치하면 천정 주행차(12)의 버퍼(25a, 25b, 26a, 26b)로의 액세스를 방해하지 않고 로컬 대차(22)의 배터리(42)를 충전할 수 있다. 또한, 배터리 구동이므로 로컬 궤도(20)에 급전 레일을 병설할 필요가 없다.
또한, 모든 처리 장치(4)에 대하여 버퍼(70, 71)가 로컬 궤도(20) 및 로컬 대차(22)로 이루어진 시스템을 설치할 필요는 없다. 예를 들면, 물품(18)의 처리량이 많은 처리 장치(4)에 대해서만 설치해도 좋다. 반송하는 물품(18)의 종류는 임의이며, 예를 들면 반도체 노광용의 레티클을 수용한 카세트, 플랫 패널 디스플레이의 기판 등이어도 좋다.
2 : 반송 시스템 4 : 처리 장치
6 : 로드 포트 10 : 궤도
11 : 지주 12 : 천정 주행차
14 : 호이스트 16 : 승강대
18 : 물품 20 : 로컬 궤도
22 : 로컬 대차 23 : 승강대
24 : 매달림 지지재 25a, 25b : 버퍼
26a, 26b : 버퍼 27, 28 : 지주
30, 31 : 버퍼 34 : 간극
36 : 충전 장치 38 : 주행 차륜
40 : 주행 모터 42 : 배터리
43 : 수전 장치 44 : 호이스트
45 : 척 50 : 천정 주행차 컨트롤러
51?54 : 통신 유닛 60 : 로컬 궤도
62 : 로컬 대차 63?65 : 가이드 롤러
67, 68 : 지주 70, 71 : 버퍼
72 : 프레임 73 : 컨트롤러
74 : 충전 장치 76 : 룩 다운 센서

Claims (10)

  1. 복수의 처리 장치 사이에서 물품을 반송하기 위해서 처리 장치의 로드 포트의 상부를 통과하는 천정 주행차 궤도와, 상기 천정 주행차 궤도를 따라 일방향으로 주행하고 또한 호이스트를 구비하는 천정 주행차를 구비하는 반송 시스템으로서 :
    상기 천정 주행차 궤도의 하방에서 상기 일방향을 따라 처리 장치의 로드 포트의 상류측에서 하류측까지 로드 포트의 상방에 배치되고 또한 상기 천정 주행차 궤도와 평행하게 배치되어 있는 로컬 궤도와,
    상기 로컬 궤도를 주행하고 또한 물품을 승강시키는 호이스트를 구비하는 로컬 대차와,
    상기 로컬 궤도의 하부에서 상기 일방향을 따라 처리 장치의 로드 포트의 상류측에 배치되고, 또한 상기 천정 주행차와 상기 로컬 대차가 함께 물품을 주고 받는 것이 가능한 제 1 버퍼와,
    상기 로컬 궤도의 하부에서 상기 일방향을 따라 처리 장치의 로드 포트의 하류측에 배치되고, 또한 상기 천정 주행차와 상기 로컬 대차가 함께 물품을 주고 받는 것이 가능한 제 2 버퍼를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 반송 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 버퍼와 상기 제 2 버퍼는 각각 물품을 1개씩 적재할 수 있도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 반송 시스템.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 제 1 버퍼와 상기 제 2 버퍼가 물품을 적재하고 있을 때에는 물품을 지지하고 있지 않은 로컬 대차만이 상기 제 1 버퍼와 상기 제 2 버퍼의 상방을 주행 가능하고, 상기 제 1 버퍼와 상기 제 2 버퍼가 물품을 적재하고 있지 않을 때에는 물품을 지지하고 있는 로컬 대차와 물품을 지지하고 있지 않은 로컬 대차 모두 상기 제 1 버퍼와 상기 제 2 버퍼의 상방을 주행 가능한 높이에 상기 제 1 버퍼와 상기 제 2 버퍼가 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 반송 시스템.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 버퍼와 상기 제 2 버퍼는 각각 상단과 하단의 2단의 계단상의 구조이고, 상기 제 1 버퍼와 상기 제 2 버퍼는 상단과 하단에 각각 물품을 1개씩 적재할 수 있고, 하단은 로드 포트에 가까운 측에 배치되고, 상단은 로드 포트로부터 먼 측에 배치되고, 또한 하단은 물품의 적재의 유무에 상관없이 물품을 지지하고 있는 로컬 대차와 물품을 지지하고 있지 않은 로컬 대차 모두 하단의 상방을 통과 가능하고, 상단은 물품이 적재되어 있을 때에는 물품을 지지하고 있지 않은 로컬 대차만이 상단의 상방을 주행 가능하고, 상단에 물품이 적재되어 있지 않을 때에는 물품을 지지하고 있는 로컬 대차와 물품을 지지하고 있지 않은 로컬 대차 모두 상단의 상방을 주행 가능한 높이에 상기 하단과 상단이 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 반송 시스템.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 로컬 궤도는 2개의 평행한 레일로 이루어지고, 또한 2개의 레일 사이에 물품이 연직 방향으로 이동할 수 있는 간극이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 반송 시스템.
  6. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 천정 주행차는 상기 제 1 버퍼와 상기 제 2 버퍼로의 물품의 반입과 상기 로드 포트로부터의 물품의 반출을 행하고, 상기 로컬 대차는 상기 제 1 버퍼와 상기 제 2 버퍼로부터 상기 로드 포트로의 물품의 반입을 행하도록 상기 천정 주행차와 상기 로컬 대차를 제어하는 수단을 더 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 반송 시스템.
  7. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 로드 포트의 상방에 배치되는 수평한 프레임에 의해 상기 제 1 버퍼와 상기 제 2 버퍼가 지지되고, 상기 프레임에 로드 포트측의 간섭물을 검출하기 위한 룩 다운 센서가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 반송 시스템.
  8. 이미 설치된 천정 주행차 시스템에 추후 설치하는 반송 시스템으로서 :
    천정 주행차 궤도의 하방에서 일방향을 따라 처리 장치의 로드 포트의 상류측에서 하류측까지 로드 포트의 상방에 배치되고, 또한 상기 천정 주행차 궤도와 평행하게 배치되는 로컬 궤도와,
    상기 로컬 궤도를 주행하고 또한 물품을 승강시키는 호이스트를 구비하는 로컬 대차와,
    상기 로컬 궤도의 하부에서 상기 일방향을 따라 처리 장치의 로드 포트의 상류측에 배치되고 또한 상기 천정 주행차와 상기 로컬 대차가 함께 물품을 주고 받는 것이 가능한 제 1 버퍼와,
    상기 로컬 궤도의 하부에서 상기 일방향을 따라 처리 장치의 로드 포트의 하류측에 배치되고 또한 상기 천정 주행차와 상기 로컬 대차가 함께 물품을 주고 받는 것이 가능한 제 2 버퍼를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 반송 시스템.
  9. 복수의 처리 장치 사이에서 물품을 반송하기 위해서 처리 장치의 로드 포트의 상부를 통과하는 천정 주행차 궤도와, 상기 천정 주행차 궤도를 따라 일방향으로 주행하고 또한 호이스트를 구비하는 천정 주행차를 구비하는 반송 시스템으로서 :
    상기 천정 주행차 궤도의 하방에서 상기 로드 포트의 상방에 배치되고 또한 상기 천정 주행차 궤도와 평행하게 배치되어 있는 로컬 궤도와,
    상기 로컬 궤도를 주행하고 또한 물품을 승강시키는 호이스트를 구비하는 로컬 대차와,
    상단과 하단의 2단의 계단상의 버퍼가 설치되고,
    상기 상단과 하단에 각각 물품을 1개씩 적재할 수 있고, 하단은 로드 포트에 가까운 측에 배치되고, 상단은 로드 포트로부터 먼 측에 배치되고, 또한 하단은 물품의 적재의 유무에 상관없이 물품을 지지하고 있는 로컬 대차와 물품을 지지하고 있지 않은 로컬 대차 모두 하단의 상방을 통과 가능하고, 상단에 물품이 적재되어 있을 때에는 물품을 지지하고 있지 않은 로컬 대차만이 상단의 상방을 주행 가능하고, 상단에 물품이 적재되어 있지 않을 때에는 물품을 지지하고 있는 로컬 대차와 물품을 지지하고 있지 않은 로컬 대차 모두 상단의 상방을 주행 가능한 높이에 상기 하단과 상단이 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 반송 시스템.
  10. 처리 장치의 로드 포트의 상부를 통과하는 천정 주행차 궤도와, 상기 천정 주행차 궤도를 따라 일방향으로 주행하고 또한 호이스트를 구비하는 천정 주행차를 이용하여 로드 포트로 물품을 반송하는 방법으로서 :
    상기 천정 주행차 궤도의 하방에서 상기 일방향을 따라 처리 장치의 로드 포트의 상류측에서 하류측까지 로드 포트의 상방에 배치되고 또한 상기 천정 주행차 궤도와 평행하게 배치되어 있는 로컬 궤도와,
    상기 로컬 궤도를 주행하고 또한 물품을 승강시키는 호이스트를 구비하는 로컬 대차와,
    상기 로컬 궤도의 하부에서 상기 일방향을 따라 처리 장치의 로드 포트의 상류측에 배치되고 또한 상기 천정 주행차와 상기 로컬 대차가 함께 물품을 주고 받는 것이 가능한 제 1 버퍼와,
    상기 로컬 궤도의 하부에서 상기 일방향을 따라 처리 장치의 로드 포트의 하류측에 배치되고 또한 상기 천정 주행차와 상기 로컬 대차가 함께 물품을 주고 받는 것이 가능한 제 2 버퍼가 설치되고,
    상기 천정 주행차가 상기 제 1 버퍼 또는 상기 제 2 버퍼로 물품을 적하하는 스텝과,
    상기 로컬 대차가 상기 제 1 버퍼 또는 상기 제 2 버퍼의 물품을 상기 로드 포트로 적하하는 스텝과,
    상기 천정 주행차가 상기 로드 포트의 물품을 반출하는 스텝을 실행하는 것을 특징으로 하는 반송 방법.
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