KR20120012638A

KR20120012638A - 박막 형성 장치

Info

Publication number: KR20120012638A
Application number: KR1020100074723A
Authority: KR
Inventors: 이상우
Original assignee: 삼성모바일디스플레이주식회사
Priority date: 2010-08-02
Filing date: 2010-08-02
Publication date: 2012-02-10
Also published as: US20120024228A1; US8999064B2

Abstract

본 발명에 따른 박막 형성 장치는 서로 이격되어 있는 복수개의 증착원, 상기 각 증착원 상부에 연결되어 있는 복수개의 노즐 몸체, 상기 각 노즐 몸체 상부에 연결되어 있는 복수개의 노즐을 포함하고, 상기 각 노즐의 노즐구는 동일한 증착선 상에 위치할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따르면, 동일한 증착선 상에 제1 노즐구와 제2 노즐구를 위치시킴으로써 제1 노즐구와 제2 노즐구를 통해 각각 분사되는 제1 유기물과 제2 유기물을 균일하게 혼합시킬 수 있다.

Description

박막 형성 장치{APPARATUS FOR FORMING THIN FILM}

본 발명은 박막 형성 장치에 관한 것으로서, 바람직하게는 유기 발광 표시 장치의 유기 박막 형성 장치에 관한 것이다.

유기 발광 표시 장치는 두 개의 전극과 그 사이에 위치하는 유기 발광층을 포함하며, 하나의 전극으로부터 주입된 전자(electron)와 다른 전극으로부터 주입된 정공(hole)이 유기 발광층에서 결합하여 여기자(exciton)를 형성하고, 여기자가 에너지를 방출하면서 발광한다.

이러한 유기 발광층을 형성하기 위해서는 유기물을 기판 위에 증착해야 하며, 이를 위해 유기물이 채워져 있는 증착원, 증착원에서 가열되어 증발되는 유기물을 분사시키는 복수개의 노즐로 이루어진 박막 형성 장치가 사용된다. 박막 형성 장치는 대형화 및 원가 절감을 위해 점 증착원 방식에서 선형 증착원 방식으로 전환되고 있다. 선형 증착원으로 이루어진 박막 형성 장치는 선형 방향으로 동시에 유기물을 증착할 수 있으므로 유기물의 두께 균일도를 향상시키고, 유기물의 증착 속도도 향상시킬 수 있다.

그러나, 유기 발광 표시 장치에서 유기 발광층이나 전자 전달층은 복수개의유기물을 혼합 증착하여 형성하므로 복수개의 증착원을 사용한다. 이 경우, 복수개의 증착원의 위치가 다르므로 각 증착원의 노즐로부터 분사된 유기물의 증착 플럭스(flux)의 위치도 다르므로 혼합 유기물의 혼합 균일도가 저하되고, 유기 발광 표시 장치의 특성 저하 등을 유발할 수 있다.

본 발명은 전술한 배경 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 혼합 유기물의 혼합 균일도를 향상시킬 수 있는 박막 형성 장치를 제공하고자 한다.

본 발명의 실시예에 따른 박막 형성 장치는 서로 이격되어 있는 복수개의 증착원, 상기 각 증착원 상부에 연결되어 있는 복수개의 노즐 몸체, 상기 각 노즐 몸체 상부에 연결되어 있는 복수개의 노즐을 포함하고, 상기 각 노즐의 노즐구는 동일한 증착선 상에 위치할 수 있다.

상기 복수개의 증착원은 제1 간격만큼 서로 이격되어 있는 제1 증착원 및 제2 증착원을 포함하고, 상기 복수개의 노즐 몸체는 상기 제1 증착원 및 제2 증착원 상부에 각각 연결되어 있는 제1 노즐 몸체 및 제2 노즐 몸체를 포함하고, 상기 복수개의 노즐은 상기 제1 노즐 몸체 및 제2 노즐 몸체 상부에 각각 연결되어 있는 복수개의 제1 노즐 및 복수개의 제2 노즐을 포함하고, 상기 제1 노즐의 제1 노즐구와 상기 제2 노즐의 제2 노즐구는 동일한 증착선상에 위치할 수 있다.

상기 증착선은 상기 제1 간격의 일부 지점을 연장한 직선일 수 있다.

상기 제1 노즐은 상기 증착선 방향으로 연장되며, 상기 제2 노즐은 상기 증착선 방향으로 연장될 수 있다.

상기 제1 노즐은 상기 제1 노즐 몸체의 상부 표면과 소정 각도를 이루며 연장되고, 상기 제2 노즐은 상기 제2 노즐 몸체의 상부 표면과 소정 각도를 이루며 연장될 수 있다.

상기 제1 노즐은 상기 제1 노즐 몸체의 상부 표면에서 수직으로 연장된 후 수평으로 굴절되고, 상기 제2 노즐은 상기 제2 노즐 몸체의 상부 표면에서 수직으로 연장된 후 수평으로 굴절될 수 있다.

상기 제1 노즐과 상기 제2 노즐은 서로 교대하며 배치될 수 있다.

상기 제1 증착원 및 제2 증착원은 평면 형상이 막대 형상인 선형 증착원일 수 있다.

상기 제1 노즐 몸체 및 제2 노즐 몸체의 평면 형상은 막대 형상일 수 있다.

또한, 상기 제1 증착원 및 상기 제1 노즐 몸체를 서로 연결하는 제1 연결관, 상기 제2 증착원 및 상기 제2 노즐 몸체를 서로 연결하는 제2 연결관을 더 포함할 수 있다.

상기 제1 연결관은 상기 증착선 방향으로 배치되며, 상기 제2 연결관은 상기 증착선 방향으로 배치될 수 있다.

상기 제1 연결관은 상기 제1 증착원의 상부 표면과 소정 각도를 이루며 배치되고, 상기 제2 연결관은 상기 제2 증착원의 상부 표면과 소정 각도를 이루며 배치될 수 있다.

상기 제1 연결관은 상기 제1 증착원의 상부 표면에서 수직으로 연장된 후 수평으로 굴절되고, 상기 제2 연결관은 상기 제2 증착원의 상부 표면에서 수직으로 연장된 후 수평으로 굴절될 수 있다.

상기 제1 증착원 및 제2 증착원은 평면 형상이 원형 또는 정다각형인 점 증착원일 수 있다.

상기 제1 노즐 몸체는 제1 체결부는 가지며, 상게 제2 노즐 몸체는 상기 제1 체결부과 결합하는 제2 체결부를 가질 수 있다.

상기 제1 체결부는 복수개의 제1 오목부 및 제1 볼록부를 포함하며, 상기 제2 체결부는 복수개의 제2 오목부 및 제2 볼록부를 포함할 수 있다.

상기 제1 오목부와 상기 제2 볼록부가 체결되고, 상기 제2 오목부와 상기 제1 볼록부가 체결될 수 있다.

상기 제1 볼록부 및 제2 볼록부는 반원 형상 또는 다각 형상을 가질 수 있다.

상기 제1 노즐 몸체의 상기 제1 볼록부 위에 상기 제1 노즐이 위치하고, 상기 제2 노즐 몸체의 상기 제2 볼록부 위에 상기 제2 노즐이 위치할 수 있다.

상기 증착선 상에 상기 제1 노즐 및 상기 제2 노즐이 위치할 수 있다.

상기 제1 증착원 및 제2 증착원은 평면 형상이 막대 형상인 선형 증착원이거나 상기 제1 증착원 및 제2 증착원은 평면 형상이 원형 또는 정다각형인 점 증착원일 수 있다.

상기 제1 증착원 및 제2 증착원의 표면에 각각 부착되어 있는 제1 증착원 히터 및 제2 증착원 히터를 더 포함할 수 있다.

상기 제1 노즐 몸체 및 제2 노즐 몸체의 표면에 각각 부착되어 있는 제1 노즐 몸체 히터 및 제2 노즐 몸체 히터를 더 포함할 수 있다.

상기 제1 노즐 및 제2 노즐의 표면에 각각 부착되어 있는 제1 노즐 히터 및 제2 노즐 히터를 더 포함할 수 있다.

상기 제1 연결관 및 제2 연결관의 표면에 각각 부착되어 있는 제1 연결관 히터 및 제2 연결관 히터를 더 포함할 수 있다.

상기 제1 증착원에는 제1 유기물이 채워져 있고, 상기 제2 증착원에는 상기 제1 유기물과 다른 제2 유기물이 채워져 있을 수 있다.

본 발명에 따르면, 증착선 방향으로 경사진 제1 노즐 및 제2 노즐에 의해 동일한 증착선 상에 제1 노즐구와 제2 노즐구를 위치시킴으로써 제1 노즐구와 제2 노즐구를 통해 각각 분사되는 제1 유기물과 제2 유기물을 균일하게 혼합시킬 수 있다.

또한, 증착선 방향으로 경사진 제1 연결관 및 제2 연결관을 배치하고, 증착선 방향으로 경사진 제1 노즐 및 제2 노즐에 의해 동일한 증착선 상에 제1 노즐구와 제2 노즐구를 위치시킴으로써 제1 노즐구와 제2 노즐구를 통해 각각 분사되는 제1 유기물과 제2 유기물을 균일하게 혼합시킬 수 있다.

또한, 증착선 방향으로 경사진 제1 연결관 및 제2 연결관, 제1 체결부 및 제2 체결부에 의해 서로 결합된 제1 노즐 몸체 및 제2 노즐 몸체를 배치하여 동일한 증착선 상에 제1 노즐구와 제2 노즐구를 위치시킴으로써 제1 노즐구와 제2 노즐구를 통해 각각 분사되는 제1 유기물과 제2 유기물을 균일하게 혼합시킬 수 있다.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 박막 형성 장치의 평면도이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 박막 형성 장치의 측면도이다.
도 3은 도 2의 제1 노즐 및 제2 노즐의 형상을 변경한 박막 형성 장치의 측면도이다.
도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 박막 형성 장치의 평면도이다.
도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 박막 형성 장치의 측면도이다.
도 6은 도 5의 제1 연결관 및 제2 연결관의 형상을 변경한 박막 형성 장치의 측면도이다.
도 7은 본 발명의 제3 실시예에 따른 박막 형성 장치의 평면도이다.
도 8은 본 발명의 제3 실시예에 따른 박막 형성 장치의 측면도이다.
도 9는 도 8의 제1 연결관 및 제2 연결관의 형상을 변경한 박막 형성 장치의 측면도이다.
도 10은 본 발명의 제4 실시예에 따른 박막 형성 장치의 평면도이다.
도 11은 본 발명의 제4 실시예에 따른 박막 형성 장치의 측면도이다.

이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 여러 실시예들에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예들에 한정되지 않는다.

본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다.

또한, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.

도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 그리고 도면에서, 설명의 편의를 위해, 일부 층 및 영역의 두께를 과장되게 나타내었다. 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 또는 "상에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다.

그러면 본 발명의 제1 실시예에 따른 박막 형성 장치에 대하여 도 1 및 도 2를 참고로 상세하게 설명한다.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 박막 형성 장치의 평면도이고, 도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 박막 형성 장치의 측면도이고, 도 3은 도 2의 제1 노즐 및 제2 노즐의 형상을 변경한 박막 형성 장치의 측면도이다.

도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 박막 형성 장치는 서로 이격되어 있는 제1 증착원(110) 및 제2 증착원(120), 제1 증착원(110) 및 제2 증착원(120) 상부에 각각 연결되어 있는 제1 노즐 몸체(210) 및 제2 노즐 몸체(220), 제1 노즐 몸체(210) 및 제2 노즐 몸체(220) 상부에 각각 연결되어 있는 복수개의 제1 노즐(310) 및 복수개의 제2 노즐(320)을 포함한다.

제1 증착원(110) 및 제2 증착원(120)은 직육면체 형상으로서, 평면 형상이 막대 형상인 선형 증착원이다. 제1 증착원(110)에는 제1 유기물(10)이 채워져 있고, 제2 증착원(120)에는 제2 유기물(20)이 채워져 있다. 제1 증착원(110)과 제2 증착원(120)은 제1 간격(t)만큼 서로 이격되어 있다. 제1 간격(t)의 일부 지점을 연장한 직선에 해당하는 위치에 증착선(30)이 형성된다. 제1 노즐(310) 및 제2 노즐(320)을 통해 분사된 제1 유기물(10)과 제2 유기물(20)의 유기 혼합물이 증착선(30) 상에 형성된다.

제1 증착원(110)의 측벽 및 저면에는 제1 증착원 히터(130)가 부착되어 있어 제1 증착원(110)을 가열할 수 있다. 따라서, 제1 증착원(110) 내부의 제1 유기물(10)이 가열되어 증발하고, 증발된 제1 유기물(10)은 제1 노즐 몸체(210)로 이동한다. 또한, 제2 증착원(120)의 측벽 및 저면에도 제2 증착원 히터(140)가 부착되어 있어 제2 증착원(120)을 가열할 수 있다. 따라서, 제2 증착원(120) 내부의 제2 유기물(20)이 가열되어 증발하고, 증발된 제2 유기물(20)은 제2 노즐 몸체(220)로 이동한다.

제1 노즐 몸체(210) 및 제2 노즐 몸체(220)는 직육면체 형상으로서 평면 형상이 막대 형상이다. 이러한 제1 노즐 몸체(210) 및 제2 노즐 몸체(220)는 각각 제1 증착원(110) 및 제2 증착원(120) 위에 부착되어 있고, 그 위에 복수개의 제1 노즐(310) 및 제2 노즐(320)이 연결되어 있으므로 제1 증착원(110) 및 제2 증착원(120)에서 각각 가열 및 증발된 제1 유기물(10) 및 제2 유기물(20)을 각각 복수개의 제1 노즐(310) 및 제2 노즐(320)로 분배하는 역할을 한다.

제1 노즐 몸체(210)의 측벽에는 제1 노즐 몸체 히터(230)가 부착되어 있어 제1 노즐 몸체(210)를 가열할 수 있다. 따라서, 제1 노즐 몸체(210) 내부의 제1 유기물(10)의 온도를 유지하며 제1 노즐(310)로 이동시킬 수 있다. 또한, 제2 노즐 몸체(220)의 측벽에도 제2 노즐 몸체 히터(240)가 부착되어 있어 제2 노즐 몸체(220)를 가열할 수 있다. 따라서, 제2 노즐 몸체(220) 내부의 제2 유기물(20)의 온도를 유지하며 제2 노즐(320)로 이동시킬 수 있다.

복수개의 제1 노즐(310)은 제1 노즐 몸체(210) 위에 부착되어 있으며, 각 제1 노즐(310)은 서로 균일한 간격으로 이격되어 있다. 또한, 복수개의 제2 노즐(320)은 제2 노즐 몸체(220) 위에 부착되어 있으며, 각 제2 노즐(320)은 서로 균일한 간격으로 이격되어 있다.

제1 노즐(310)은 제1 노즐 몸체(210)의 상부 표면과 제1 경사각(θ1)을 이루며 연장되어 있고, 제2 노즐(320)은 제2 노즐 몸체(220)의 상부 표면과 제2 경사각(θ2)을 이루며 연장되어 있다. 즉, 제1 노즐(310)은 증착선(30) 방향으로 경사지게 연장되어 있으며, 제2 노즐(320)은 증착선(30) 방향으로 경사지게 연장되어 있다.

제1 노즐(310)의 단부에는 제1 노즐구(311)가 위치하고 있으며, 제1 노즐구(311)의 중심축은 수직 방향을 가리킨다. 또한, 제2 노즐(320)의 단부에도 제2 노즐구(321)가 위치하고 있으며, 제2 노즐구(321)의 중심축은 수직 방향을 가리킨다.

제1 노즐(310) 및 제2 노즐(320)은 제1 유기물(10)의 증착 플럭스 및 제2 유기물(20)의 증착 플럭스를 각각 조절할 수 있다. 도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이, 제1 노즐(310)과 제2 노즐(320)은 서로 교대하며 배치되어 있으므로 제1 노즐(310)의 제1 노즐구(311)와 제2 노즐(320)의 제2 노즐구(321)도 서로 교대하며 배치되어 있다. 이 때, 제1 노즐(310)의 제1 노즐구(311)와 제2 노즐(320)의 제2 노즐구(321)는 동일한 직선, 즉 증착선(30) 상에 위치하고 있다. 따라서, 제1 유기물(10)의 증착 플럭스(11)와 제2 유기물(20)의 증착 플럭스(12)는 일치하므로 제1 유기물(10) 및 제2 유기물(20)은 균일하게 혼합되어 기판 위에 증착된다.

이와 같이, 증착선(30) 방향으로 경사진 제1 노즐(310) 및 제2 노즐(320)에 의해 동일한 증착선(30) 상에 제1 노즐구(311)와 제2 노즐구(321)를 위치시킴으로써 제1 노즐구(311)와 제2 노즐구(321)를 통해 각각 분사되는 제1 유기물(10)과 제2 유기물(20)을 균일하게 혼합시킬 수 있다. 따라서, 제1 유기물(10)과 제2 유기물(20)의 균일한 유기 혼합물이 기판 위에 증착된다.

제1 노즐(310)의 측벽에는 제1 노즐 히터(330)가 부착되어 있어 제1 노즐(310)를 가열하여 제1 노즐(310) 내부의 제1 유기물(10)의 온도를 유지할 수 있다. 또한, 제2 노즐(320)의 측벽에도 제2 노즐 히터(340)가 부착되어 있어 제2 노즐(320) 내부의 제2 유기물(20)의 온도를 유지할 수 있다.

상기에서 제1 노즐(310)의 제1 노즐구(311)와 제2 노즐(320)의 제2 노즐구(321)를 동일한 증착선(30) 상에 위치시키기 위해 제1 노즐(310)은 제1 노즐 몸체(210)의 상부 표면과 제1 경사각(θ1)을 이루며 연장되고, 제2 노즐(320)은 제2 노즐 몸체(220)의 상부 표면과 제2 경사각(θ2)을 이루며 연장되어 있으나, 도 3에 도시한 바와 같이, 제1 노즐(310)은 제1 노즐 몸체(210)의 상부 표면에서 수직으로 연장된 후 수평으로 굴절되고, 제2 노즐(320)은 제2 노즐 몸체(220)의 상부 표면에서 수직으로 연장된 후 수평으로 굴절될 수도 있다. 한편, 상기 제1 실시예에서는 선형 증착원인 제1 증착원(110) 및 제2 증착원(120)을 배치하고, 제1 노즐(310) 및 제2 노즐(320)을 연장하여 동일 증착선(30) 상에 제1 노즐구(311) 및 제2 노즐구(321)를 위치시킴으로써 유기 혼합물의 혼합 균일도를 향상시켰으나, 점 증착원인 제1 증착원(110) 및 제2 증착원(120)을 배치하고, 제1 증착원(110)과 제1 노즐 몸체(210) 사이에 제1 연결관(410)을 배치하며, 제2 증착원(120)과 제2 노즐 몸체(220) 사이에 제2 연결관(420)을 배치함으로써 동일 증착선(30) 상에 제1 노즐구(311) 및 제2 노즐구(321)를 위치시킬 수도 있다.

이하에서, 도 4 내지 도 6을 참조하여, 본 발명의 제2 실시예에 따른 박막 형성 장치에 대해 상세히 설명한다.

도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 박막 형성 장치의 평면도이고, 도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 박막 형성 장치의 측면도이고, 도 6은 도 5의 제1 연결관 및 제2 연결관의 형상을 변경한 박막 형성 장치의 측면도이다.

제2 실시예는 도 1 및 도 2에 도시된 제1 실시예와 비교하여 제1 증착원 및 제2 증착원만을 제외하고 실질적으로 동일한 바 반복되는 설명은 생략한다.

도 4 및 도 5에 도시한 바와 같이, 본 발명의 제2 실시예에 따른 박막 형성 장치는 서로 이격되어 있는 제1 증착원(110) 및 제2 증착원(120), 제1 증착원(110) 및 제2 증착원(120) 과 제1 연결관(410) 및 제2 연결관(420)을 통해 각각 연결되어 있는 제1 노즐 몸체(210) 및 제2 노즐 몸체(220), 제1 노즐 몸체(210) 및 제2 노즐 몸체(220) 상부에 각각 연결되어 있는 복수개의 제1 노즐(310) 및 복수개의 제2 노즐(320)을 포함한다.

제1 증착원(110) 및 제2 증착원(120)은 평면 형상이 원형 또는 정다각형인 점 증착원일 수 있다. 제1 증착원(110)은 및 제2 증착원(120)은 방사상으로 각각 제1 유기물(10) 및 제2 유기물(20)을 분사하는 점 증착원이다. 제1 증착원(110)과 제2 증착원(120)은 제1 간격(t)만큼 서로 이격되어 있다.

제1 연결관(410)은 제1 증착원(110)의 상부 표면과 제3 경사각(θ3)을 이루며 배치되어 있고, 제2 연결관(420)은 제2 증착원(120)의 상부 표면과 제4 경사각(θ4)을 이루며 배치되어 있다. 즉, 제1 연결관(410)은 증착선(30) 방향으로 경사지게 배치되어 있으며, 제2 연결관(420)은 동일한 증착선(30) 방향으로 경사지게 배치되어 있다.

제1 연결관(410)의 측벽에는 제1 연결관 히터(430)가 부착되어 있어 제1 연결관(410)을 가열할 수 있고, 제2 연결관(420)의 측벽에는 제2 연결관 히터(440)가 부착되어 있어 제2 연결관(420)을 가열할 수 있다. 따라서, 제1 증착원(110)에서 가열된 제1 유기물(10)은 그 상태를 그대로 유지한 채 제1 연결관(410)을 통해 제1 노즐 몸체(210)로 이동할 수 있고, 제2 증착원(120)에서 가열된 제2 유기물(20)은 그 상태를 그대로 유지한 채 제2 연결관(420)을 통해 제2 노즐 몸체(220)로 이동할 수 있다.

제1 연결관(410)의 상단부에는 제1 노즐 몸체(210)가 연결되어 있고, 제2 연결관(420)의 상단부에는 제2 노즐 몸체(220)가 연결되어 있다. 이 때, 제1 연결관(410)의 상단부는 제1 노즐 몸체(210)의 평면 형상이 막대 형상인 제1 노즐 몸체(210)의 중앙부에 연결될 수 있다. 이는 제1 증착원(110)에서 가열 및 증발된 제1 유기물(10)이 제1 노즐 몸체(210)에 연결된 복수개의 제1 노즐(310) 모두에서 균일하게 분사되도록 하기 위함이다. 동일하게, 제2 연결관(420)의 상단부는 제2 노즐 몸체(220)의 평면 형상이 막대 형상인 제2 노즐 몸체(220)의 중앙부에 연결될 수 있다.

제1 노즐(310)과 제2 노즐(320)은 서로 교대하며 배치되어 있으므로 제1 노즐(310)의 제1 노즐구(311)와 제2 노즐(320)의 제2 노즐구(321)도 서로 교대하며 배치되어 있다. 이 때, 제1 노즐(310)의 제1 노즐구(311)와 제2 노즐(320)의 제2 노즐구(321)는 동일한 직선, 즉 증착선(30) 상에 위치하고 있다.

이와 같이, 증착선(30) 방향으로 경사진 제1 연결관(410) 및 제2 연결관(420)을 배치하고, 증착선(30) 방향으로 경사진 제1 노즐(310) 및 제2 노즐(320)에 의해 동일한 증착선(30) 상에 제1 노즐구(311)와 제2 노즐구(321)를 위치시킴으로써 제1 노즐구(311)와 제2 노즐구(321)를 통해 각각 분사되는 제1 유기물(10)과 제2 유기물(20)을 균일하게 혼합시킬 수 있다. 따라서, 제1 유기물(10)과 제2 유기물(20)의 균일한 유기 혼합물이 기판 위에 증착된다. 또한, 제2 실시예 경우 제1 연결관(410) 및 제2 연결관(420)을 배치함으로써 제1 증착원(110) 및 제2 증착원(120)을 선형 증착원이 아닌 점 증착원으로 형성할 수 있다.

상기에서는 제1 노즐(310)의 제1 노즐구(311)와 제2 노즐(320)의 제2 노즐구(321)를 동일한 증착선(30) 상에 위치시키기 위해 제1 노즐(310)은 제1 노즐 몸체(210)의 상부 표면과 제1 경사각(θ1)을 이루며 연장되고, 제2 노즐(320)은 제2 노즐 몸체(220)의 상부 표면과 제2 경사각(θ2)을 이루며 연장되며, 제1 연결관(410)은 제1 증착원(110)의 상부 표면과 제3 경사각(θ3)을 이루며 배치되어 있고, 제2 연결관(420)은 제2 증착원(120)의 상부 표면과 제4 경사각(θ4)을 이루며 배치되어 있으나, 도 6에 도시한 바와 같이, 제1 연결관(410)은 제1 증착원(110)의 상부 표면에서 수직으로 연장된 후 수평으로 굴절되고, 제2 연결관(420)은 제2 증착원(120)의 상부 표면에서 수직으로 연장된 후 수평으로 굴절될 수 있다.

제1 연결관(410) 및 제2 연결관(420)이 굴절된 경우 제1 노즐(310)의 제1 노즐구(311)와 제2 노즐(320)의 제2 노즐구(321)의 증착 방향을 수평 방향으로 변경시킬 수도 있다.

한편, 상기 제1 실시예에서는 제1 노즐(310) 및 제2 노즐(320)을 연장하여 동일 증착선(30) 상에 제1 노즐구(311) 및 제2 노즐구(321)를 위치시킴으로써 유기 혼합물의 혼합 균일도를 향상시켰으나, 제1 증착원(110)과 제1 노즐 몸체(210) 사이에 경사진 제1 연결관(410)을 배치하고, 제2 증착원(120)과 제2 노즐 몸체(220) 사이에 경사진 제2 연결관(420)을 배치하며, 제1 노즐 몸체(210) 및 제2 노즐 몸체(220)를 결합함으로써 동일 증착선(30) 상에 제1 노즐구(311) 및 제2 노즐구(321)를 위치시킬 수도 있다.

이하에서, 도 7 내지 도 9를 참조하여, 본 발명의 제3 실시예에 따른 박막 형성 장치에 대해 상세히 설명한다.

도 7은 본 발명의 제3 실시예에 따른 박막 형성 장치의 평면도이고, 도 8은 본 발명의 제3 실시예에 따른 박막 형성 장치의 측면도이고, 도 9는 도 8의 제1 연결관 및 제2 연결관의 형상을 변경한 박막 형성 장치의 측면도이다.

제3 실시예는 도 1 및 도 2에 도시된 제1 실시예와 비교하여 제1 노즐 몸체(210), 제2 노즐 몸체(220), 제1 노즐(310) 및 제2 노즐(320)만을 제외하고 실질적으로 동일한 바 반복되는 설명은 생략한다.

도 7 및 도 8에 도시한 바와 같이, 본 발명의 제3 실시예에 따른 박막 형성 장치는 서로 이격되어 있는 제1 증착원(110) 및 제2 증착원(120), 제1 증착원(110) 및 제2 증착원(120)과 제1 연결관(410) 및 제2 연결관(420)을 통해 각각 연결되어 있는 제1 노즐 몸체(210) 및 제2 노즐 몸체(220), 제1 노즐 몸체(210) 및 제2 노즐 몸체(220) 상부에 각각 연결되어 있는 복수개의 제1 노즐(310) 및 복수개의 제2 노즐(320)을 포함한다.

제1 증착원(110) 및 제2 증착원(120)은 직육면체 형상으로서, 평면 형상이 막대 형상인 선형 증착원이다. 제1 증착원(110)에는 제1 유기물(10)이 채워져 있고, 제2 증착원(120)에는 제2 유기물(20)이 채워져 있다. 제1 증착원(110)과 제2 증착원(120)은 제1 간격(t)만큼 서로 이격되어 있다.

제1 연결관(410)의 상단부에는 제1 노즐 몸체(210)가 연결되어 있고, 제2 연결관(420)의 상단부에는 제2 노즐 몸체(220)가 연결되어 있다.

제1 노즐 몸체(210)는 그 측벽에 제1 체결부(213)를 가지며, 제2 노즐 몸체(220)는 그 측벽에 제2 체결부(223)를 가진다. 제1 체결부(213)는 복수개의 제1 오목부(211) 및 제1 볼록부(212)를 포함하고, 제2 체결부(223)는 복수개의 제2 오목부(221) 및 제2 볼록부(222)를 포함한다. 그리고, 제1 오목부(211)에 제2 볼록부(222)가 위치하여 제1 노즐 몸체(210)의 제1 오목부(211)와 제2 노즐 몸체(220)의 제2 볼록부(222)가 체결되고, 제2 오목부(221)에 제1 볼록부(212)가 위치하여 제2 노즐 몸체(220)의 제2 오목부(221)와 제1 노즐 몸체(210)의 제1 볼록부(212)가 체결된다. 본 실시예에서는 제1 체결부(213) 및 제2 체결부(223)가 사각 형상을 가지나, 삼각 형상 등의 다각 형상이나 반원 형상을 가질 수도 있다.

결합된 제1 노즐 몸체(210)와 제2 노즐 몸체(220)의 측벽에는 노즐 몸체 히터(250)가 부착되어 있어 제1 노즐 몸체(210) 및 제2 노즐 몸체(220)를 동시에 가열할 수 있다.

제1 노즐 몸체(210)의 제1 볼록부(212) 위에 제1 노즐(310)이 위치하고, 제2 노즐 몸체(220)의 제2 볼록부(222) 위에 제2 노즐(320)이 위치하고 있다. 그리고, 제1 볼록부(212) 및 제2 볼록부(222)는 교대로 배치되므로 제1 노즐(310) 및 제2 노즐(320)도 교대로 배치된다. 따라서, 제1 노즐(310)의 제1 노즐구(311)과 제2 노즐(320)의 제2 노즐구(321)는 동일한 증착선(30) 상에 위치하게 된다.

제1 노즐(310) 내부의 제1 유기물(10)은 제1 노즐구(311)를 통해 외부로 분사되며, 제2 노즐(320) 내부의 제2 유기물(20)은 제2 노즐구(321)를 통해 외부로 분사된다. 제1 노즐(310) 및 제2 노즐(320)은 각각 제1 노즐구(311) 및 제2 노즐구(321)를 통해 제1 유기물(10) 및 제2 유기물(20)을 기판 위에 분사한다.

이와 같이, 증착선(30) 방향으로 경사진 제1 연결관(410) 및 제2 연결관(420), 제1 체결부(213) 및 제2 체결부(223)에 의해 서로 결합된 제1 노즐 몸체(210) 및 제2 노즐 몸체(220)를 배치하여 동일한 증착선(30) 상에 제1 노즐구(311)와 제2 노즐구(321)를 위치시킴으로써 제1 노즐구(311)와 제2 노즐구(321)를 통해 각각 분사되는 제1 유기물(10)과 제2 유기물(20)을 균일하게 혼합시킬 수 있다. 따라서, 제1 유기물(10)과 제2 유기물(20)의 균일한 유기 혼합물이 기판 위에 증착된다.

상기에서는 제1 노즐(310)의 제1 노즐구(311)와 제2 노즐(320)의 제2 노즐구(321)를 동일한 증착선(30) 상에 위치시키기 위해 증착선(30) 방향으로 각각 제3 경사각(θ3) 및 제4 경사각(θ4)을 가지며 경사진 제1 연결관(410) 및 제2 연결관(420), 제1 체결부(213) 및 제2 체결부(223)에 의해 서로 결합된 제1 노즐 몸체(210) 및 제2 노즐 몸체(220)를 배치하였으나, 도 9에 도시한 바와 같이, 제1 연결관(410)은 제1 증착원(110)의 상부 표면에서 수직으로 연장된 후 수평으로 굴절되고, 제2 연결관(420)은 제2 증착원(120)의 상부 표면에서 수직으로 연장된 후 수평으로 굴절될 수 있다.

한편, 상기 제3 실시예에서는 제1 증착원(110) 및 제2 증착원(120)이 직육면체 형상으로서, 평면 형상이 막대 형상인 선형 증착원이었으나, 제1 연결관(410) 및 제2 연결관(420)이 배치되는 경우에는 제1 증착원(110) 및 제2 증착원(120)을 선형 증착원이 아닌 점 증착원으로 제조할 수도 있다.

이하에서, 도 10 및 도 11을 참조하여, 본 발명의 제4 실시예에 따른 박막 형성 장치에 대해 상세히 설명한다.

도 10은 본 발명의 제4 실시예에 따른 박막 형성 장치의 평면도이고, 도 11은 본 발명의 제4 실시예에 따른 박막 형성 장치의 측면도이다.

제4 실시예는 도 7 및 도 8에 도시된 제3 실시예와 비교하여 제1 증착원 및 제2 증착원만을 제외하고 실질적으로 동일한 바 반복되는 설명은 생략한다.

도 10 및 도 11에 도시한 바와 같이, 본 발명의 제4 실시예에 따른 박막 형성 장치는 서로 이격되어 있는 제1 증착원(110) 및 제2 증착원(120), 제1 증착원(110) 및 제2 증착원(120) 과 제1 연결관(410) 및 제2 연결관(420)을 통해 각각 연결되어 있는 제1 노즐 몸체(210) 및 제2 노즐 몸체(220), 제1 노즐 몸체(210) 및 제2 노즐 몸체(220) 상부에 각각 연결되어 있는 복수개의 제1 노즐(310) 및 복수개의 제2 노즐(320)을 포함한다.

제1 증착원(110) 및 제2 증착원(120)은 평면 형상이 원형 또는 정다각형인 점 증착원일 수 있다. 제1 증착원(110) 및 제2 증착원(120)은 방사상으로 각각 제1 유기물(10) 및 제2 유기물(20)을 분사하는 점 증착원이다. 제1 증착원(110)과 제2 증착원(120)은 제1 간격만큼 서로 이격되어 있다.

이와 같이, 제1 증착원(110)과 제1 노즐 몸체(210) 사이에 제1 연결관(410)이 배치되고, 제2 증착원(120)과 제2 노즐 몸체(220) 사이에 제2 연결관(420)이 배치됨으로써 제1 증착원(110) 및 제2 증착원(120)과 각각 분리된 제1 노즐 몸체(210) 및 제2 노즐 몸체(220)를 통해 제1 유기물(10) 및 제2 유기물(20)이 제1 노즐(310) 및 제2 노즐(320)로 각각 분배되므로 제1 증착원(110) 및 제2 증착원(120)이 반드시 선형 증착원이 아니어도 된다. 따라서, 제1 증착원(110) 및 제2 증착원(120)은 다양한 형상의 증착원일 수 있고, 본 제4 실시예와 같이, 점 증착원일 수 있다.

본 발명의 실시예에서는 제1 증착원(110) 및 제2 증착원(120)에서 제1 노즐구(311) 및 제2 노즐구(321)를 동일한 증착선(30) 상에 배치하였으나, 3개 이상의 증착원에서도 각 노즐구를 동일한 증착선(30) 상에 배치하여 균일한 유기 혼합물을 기판 위에 증착할 수 있다.

본 발명을 앞서 기재한 바에 따라 바람직한 실시예를 통해 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되지 않으며 다음에 기재하는 특허청구범위의 개념과 범위를 벗어나지 않는 한, 다양한 수정 및 변형이 가능하다는 것을 본 발명이 속하는 기술 분야에 종사하는 자들은 쉽게 이해할 것이다.

110: 제1 증착원 120: 제2 증착원
210: 제1 노즐 몸체 220: 제2 노즐 몸체
310: 제1 노즐 320: 제2 노즐
410: 제1 연결관 420: 제2 연결관

Claims

서로 이격되어 있는 복수개의 증착원,
상기 각 증착원 상부에 연결되어 있는 복수개의 노즐 몸체,
상기 각 노즐 몸체 상부에 연결되어 있는 복수개의 노즐
을 포함하고,
상기 각 노즐의 노즐구는 동일한 증착선 상에 위치하는 박막 형성 장치.
제1항에서,
상기 복수개의 증착원은 제1 간격만큼 서로 이격되어 있는 제1 증착원 및 제2 증착원을 포함하고,
상기 복수개의 노즐 몸체는 상기 제1 증착원 및 제2 증착원 상부에 각각 연결되어 있는 제1 노즐 몸체 및 제2 노즐 몸체를 포함하고,
상기 복수개의 노즐은 상기 제1 노즐 몸체 및 제2 노즐 몸체 상부에 각각 연결되어 있는 복수개의 제1 노즐 및 복수개의 제2 노즐을 포함하고,
상기 제1 노즐의 제1 노즐구와 상기 제2 노즐의 제2 노즐구는 동일한 증착선상에 위치하는 박막 형성 장치.
제2항에서,
상기 증착선은 상기 제1 간격의 일부 지점을 연장한 직선인 박막 형성 장치.
제3항에서,
상기 제1 노즐은 상기 증착선 방향으로 연장되며, 상기 제2 노즐은 상기 증착선 방향으로 연장되는 박막 형성 장치.
제4항에서,
상기 제1 노즐은 상기 제1 노즐 몸체의 상부 표면과 소정 각도를 이루며 연장되고, 상기 제2 노즐은 상기 제2 노즐 몸체의 상부 표면과 소정 각도를 이루며 연장되는 박막 형성 장치.
제4항에서,
상기 제1 노즐은 상기 제1 노즐 몸체의 상부 표면에서 수직으로 연장된 후 수평으로 굴절되고, 상기 제2 노즐은 상기 제2 노즐 몸체의 상부 표면에서 수직으로 연장된 후 수평으로 굴절되는 박막 형성 장치.
제4항에서,
상기 제1 노즐과 상기 제2 노즐은 서로 교대하며 배치되어 있는 박막 형성 장치.
제4항에서,
상기 제1 증착원 및 제2 증착원은 평면 형상이 막대 형상인 선형 증착원인 박막 형성 장치.
제4항에서,
상기 제1 노즐 몸체 및 제2 노즐 몸체의 평면 형상은 막대 형상인 박막 형성 장치.
제2항에서,
상기 제1 증착원 및 상기 제1 노즐 몸체를 서로 연결하는 제1 연결관,
상기 제2 증착원 및 상기 제2 노즐 몸체를 서로 연결하는 제2 연결관을 더 포함하는 박막 형성 장치.
제10항에서,
상기 제1 연결관은 상기 증착선 방향으로 배치되며, 상기 제2 연결관은 상기 증착선 방향으로 배치되는 박막 형성 장치.
제11항에서,
상기 제1 연결관은 상기 제1 증착원의 상부 표면과 소정 각도를 이루며 배치되고, 상기 제2 연결관은 상기 제2 증착원의 상부 표면과 소정 각도를 이루며 배치되는 박막 형성 장치.
제11항에서,
상기 제1 연결관은 상기 제1 증착원의 상부 표면에서 수직으로 연장된 후 수평으로 굴절되고, 상기 제2 연결관은 상기 제2 증착원의 상부 표면에서 수직으로 연장된 후 수평으로 굴절되는 박막 형성 장치.
제10항에서,
상기 제1 증착원 및 제2 증착원은 평면 형상이 원형 또는 정다각형인 점 증착원인 박막 형성 장치.
제10항에서,
상기 제1 노즐 몸체는 제1 체결부는 가지며, 상게 제2 노즐 몸체는 상기 제1 체결부과 결합하는 제2 체결부를 가지는 박막 형성 장치.
제15항에서,
상기 제1 체결부는 복수개의 제1 오목부 및 제1 볼록부를 포함하며, 상기 제2 체결부는 복수개의 제2 오목부 및 제2 볼록부를 포함하는 박막 형성 장치.
제16항에서,
상기 제1 오목부와 상기 제2 볼록부가 체결되고, 상기 제2 오목부와 상기 제1 볼록부가 체결되는 박막 형성 장치.
제16항에서,
상기 제1 볼록부 및 제2 볼록부는 반원 형상 또는 다각 형상을 가지는 박막 형성 장치.
제16항에서,
상기 제1 노즐 몸체의 상기 제1 볼록부 위에 상기 제1 노즐이 위치하고,
상기 제2 노즐 몸체의 상기 제2 볼록부 위에 상기 제2 노즐이 위치하는 박막 형성 장치.
제15항에서,
상기 증착선 상에 상기 제1 노즐 및 상기 제2 노즐이 위치하는 박막 형성 장치.
제15항에서,
상기 제1 증착원 및 제2 증착원은 평면 형상이 막대 형상인 선형 증착원인 박막 형성 장치.
제15항에서,
상기 제1 증착원 및 제2 증착원은 평면 형상이 원형 또는 정다각형인 점 증착원인 박막 형성 장치.
제2항에서,
상기 제1 증착원 및 제2 증착원의 표면에 각각 부착되어 있는 제1 증착원 히터 및 제2 증착원 히터를 더 포함하는 박막 형성 장치.
제2항에서,
상기 제1 노즐 몸체 및 제2 노즐 몸체의 표면에 각각 부착되어 있는 제1 노즐 몸체 히터 및 제2 노즐 몸체 히터를 더 포함하는 박막 형성 장치.
제2항에서,
상기 제1 노즐 및 제2 노즐의 표면에 각각 부착되어 있는 제1 노즐 히터 및 제2 노즐 히터를 더 포함하는 박막 형성 장치.
제10항에서,
상기 제1 연결관 및 제2 연결관의 표면에 각각 부착되어 있는 제1 연결관 히터 및 제2 연결관 히터를 더 포함하는 박막 형성 장치.
제2항에서,
상기 제1 증착원에는 제1 유기물이 채워져 있고, 상기 제2 증착원에는 상기 제1 유기물과 다른 제2 유기물이 채워져 있는 박막 형성 장치.