KR20120010972A - 전자 회로의 광학 검사 장치 - Google Patents

Abstract

집적 회로 등의 광학 검사 장치로서, 상기 장치는 분석될 객체들의 제1 방향을 따르는 평면 컨베이어와 상기 컨베이어 영역 위에서 상기 컨베이어에 대하여 고정된 위치에 위치된 촬영 시스템을 포함하며, 상기 촬영 시스템은 픽셀들의 직교 어레이를 각각 포함하는 제1 디지털 카메라들의 세트를 적어도 하나 포함하고, 상기 카메라들은 상기 제1 방향과 다른 제2 방향으로 정렬되고, 상기 카메라들 모두는 그 픽셀 어레이의 상기 직교 방향들 중 하나가 상기 제1 방향과 제1 각도를 형성하도록 지향된다.

Description

전자 회로의 광학 검사 장치{INSTALLATION OF OPTICAL INSPECTION OF ELECTRONIC CIRCUITS}

본 발명은 개괄적으로 광학 검사 시스템에 관한 것이며, 더욱 상세하게는 전자 회로들의 인-라인 분석을 위한 시스템들에 관한 것이다. 더욱 구체적으로 본 발명은 디지털 카메라가 장착된 시스템들에 관한 것이다.

도 1은 본 발명이 적용되는 유형의 장치를 한 예로서 개략적으로 도시한 것이다. 예컨대 인쇄 회로 기판(printed circuit board)(ICC)에 의해 지지되는 전자 회로(IC)가 예컨대 인-라인 광학 검사 장치(in-line optical inspection installation)의 컨베이어(conveyor) 상에 위치되어 있다. 이러한 장치는 영상 처리 컴퓨터 시스템(3)에 연결되는 디지털 카메라들의 시스템(2)을 포함한다. 컨베이어(1)는 X, Y 평면(일반적으로 수평임)에서 움직일 수 있고, 일련의 사진들을 위해 2개의 방향 중 하나의 방향으로만, 즉 X 방향으로 움직일 수 있다.

처리 비용(processing costs)을 감소시키기 위하여, 이들 영상을 디지털 처리하여 영상들의 제한된 품질을 보상해 주는 것이 일반적으로 바람직하다. 특히, 평면의 양 방향으로 서로에 대해 약간씩 옵셋(offset)을 주어 복수의 영상들을 찍음으로써 그리고 이른바 초고해상도(super-resolution) 기법을 구현함으로써 낮은 카메라 해상도를 보상해 주는 것은 이미 제공된바 있다.

예를 들면, WO2009/090633 문헌은 초고해상도 기법을 구현하기 위하여 촬영되는 객체에 대하여 변위된 복수의 디지털 카메라들의 어레이 망(array network)을 이용한 검사 장치를 서술하고 있다. 이러한 시스템에 의하여 평면의 양 방향으로 영상 해상도를 증가시키기 위해서는, 카메라 망(camera network)이 이용되어야 하고, 카메라 망은 평면의 양 방향들로 변위되거나 운반되는 방향에 대하여 사선 방향(oblique direction)으로 변위되어야 한다. 이것은 구동 모터들에 대해 요구되는 정확도로 인해 시스템 메카니즘을 복잡하게 하고 그 비용을 증가시킨다.

일부 광학 검사 시스템들의 또 다른 목적은 삼차원 영상들을 얻는 것이다. 위에서 언급된 문헌에 서술된 것과 같은 장치는 삼차원 영상들의 복원에 적합하지 않다.

영상 처리에 의해 집적 회로 유형의 객체들을 분석하기 위한 장치를 갖는 것이 바람직할 것이며, 이는 해상도의 손실 없이 종래의 시스템보다 더 적은 개수의 카메라들을 사용할 수 있게 한다.

또한 삼차원 분석에 적합한 장치를 갖는 것이 바람직할 것이다.

또한 주지의 솔루션과 비교하여 저비용의 시스템을 갖는 것이 바람직할 것이다.

본 발명의 실시예의 목적은 주지의 방법들 및 장치들의 단점들 모두 또는 일부를 극복하는 영상 분석에 의한 검사 장치를 제공하는 것이다.

제1 양상에 따르면, 본 발명의 실시예의 목적은 특히 인-라인 처리에 적합하고 변위들을 간략화하는 솔루션을 제공하는 것이다.

이 제1 양상에 따르면, 본 발명의 다른 실시예의 다른 목적은 특히 이차원 분석을 위한 간단한 솔루션을 제공하는 것이다.

제2 양상에 따르면, 본 발명의 실시예의 목적은 삼차원 영상들을 획득하는데 적합한 솔루션을 제공하는 것이다.

실시예의 또 다른 목적은 상기 두 양상들과 호환되는 솔루션을 제공하는 것이다.

이들 및 다른 목적들의 전부 또는 일부를 달성하기 위하여, 본 발명은 집적 회로 등의 광학 검사 장치를 제공하며, 상기 장치는

분석될 객체들의 제1 방향을 따르는 평면 컨베이어(planar conveyor)와;

상기 컨베이어 영역 위에서 상기 컨베이어에 대하여 고정된 위치에 위치된 촬영 시스템을 포함하며, 상기 촬영 시스템은 픽셀들의 직교 어레이를 각각 포함하는 제1 디지털 카메라들의 세트를 적어도 하나 포함하고, 상기 카메라들은 상기 제1 방향과 다른 제2 방향으로 정렬되고, 상기 카메라들 모두는 그 픽셀 어레이의 상기 직교 방향들 중 하나가 상기 제1 방향과 제1 각도를 형성하도록 지향된다.

본 발명의 실시예에 따라, 상기 제2 방향은 상기 제1 방향에 수직이다.

본 발명의 실시예에 따라, 상기 서로 다른 카메라들의 상기 픽셀들은 상기 제2 방향과 정렬된다.

본 발명의 실시예에 따라, 영상 처리 시스템이 상기 촬영 시스템에 의해 제공되는 연속적인 영상들에 초고해상도 처리(super-resolution processing)를 적용할 수 있도록 된다.

본 발명의 실시예에 따라, 상기 제1 각도는 3 내지 20도 범위에 있다.

본 발명의 실시예에 따라, 상기 제2 방향으로 상기 제1 카메라들의 세트와 평행한 제2 카메라들의 세트를 포함하며, 상기 카메라들 모두는 그들 각각의 광학 축들(optical axes)이 상기 다른 2개의 방향들에 수직인 제3 방향에 대하여 제2 각도만큼 기울어져 있다.

본 발명의 실시예에 따라, 상기 장치는 소정 패턴들의 2개의 프로젝터들을 더 포함하며, 이들 패턴은 상기 프로젝터들 각각에 의해 투영되는 2개의 직선들이 상기 제1의 2개의 방향들에 의해 정의되는 평면에서 정렬되도록 되어 있고, 상기 2개의 프로젝터들의 광학 중심들을 상호 연결하는 직선과 동일 평면상에 있도록 된다.

본 발명의 실시예에 따라, 상기 제2 각도는 15 내지 25도 범위에 있다.

본 발명은 또한 이러한 광학 검사 장치를 제어하기 위한 방법을 제공한다.

본 발명의 전술한 그리고 다른 목적들, 특징들 및 장점들이 첨부 도면들과 함께 제한적이지 않은 특정 실시예들에 대한 다음의 설명에서 더욱 상세히 논의될 것이다.

도 1은 앞서 서술된 바와 같이 본 발명이 적용되는 유형의 집적 회로 검사 장치의 예를 매우 개략적으로 도시한 것이다.
도 2는 본 발명의 제1 양상의 실시예에 따라 디지털 센서들을 간략히 나타낸 것이다.
도 2a는 본 발명의 제1 양상의 또 다른 실시예에 따라 디지털 센서들을 간략히 나타낸 것이다.
도 3은 도 2의 회로의 동작을 예시한 것이다.
도 4는 본 발명의 제2 양상에 따른 실시예의 간략화된 사시도(perspective view)이다.
도 5 및 5a는 도 4에 예시된 것과 같은 2개의 프로젝터들을 이용한 실시예의 동작을 예시한 것이다.
도 6은 본 발명의 제2 양상에 따른 장치의 또 다른 실시예의 간략화된 사시도이다.
도 7은 도 6의 장치에서 고려된 각도들을 예시하여 간략히 나타낸 것이다.

동일한 요소들은 서로 다른 도면들에서 동일한 참조 번호들로 지정되었고, 도면들은 스케일에 맞지 않게 그려졌다. 명료함을 위해, 본 발명의 이해에 유용한 단계들 및 요소들만이 도시되었고 서술될 것이다. 특히, 본 발명에 의해 이용되는 영상 처리 알고리듬들 그 자체는 알려진 것이며 상세히 다루어지지 않을 것이다. 또한, 본 발명은 임의의 흔히 있는 흑백 또는 컬러 어레이 카메라, 예컨대 CCD(charge-coupled devices)나 CMOS 센서들과 호환되기 때문에, 디지털 영상 센서의 실제 구현예는 상세히 다루어지지 않았다.

본 발명은 먼저 제1 양상과 관련하여 서술될 것이며, 제1 양상은 이차원 촬영 장치(two-dimensional photography installation)를 위한 실시예에 적용된다.

도 2는 본 발명의 제1 양상의 실시예에 따라 분석 장치의 영상 센서들(22)의 세트(2)를 도시하는 간략화된 평면도이다. 센서 시스템에 대하여 촬영될 객체들(예컨대, 도 1의 집적 회로들)을 변위시키고 센서들은 고정되는 것이 제공된다. 이차원 촬영 장치에 대하여, 센서들(22)은 회로 컨베이어의 평면 (X, Y)에 평행한 평면에서 모두 동일 평면상에 있다.

도 2의 실시예에서, 영상 센서들은 그들 각각의 픽셀들(222)이 수직인 방향들을 따라 어레이를 형성하도록 위치되고, 그 방향들은 X축 및 Y축과 정렬되지 않는다. 이것은 각각의 센서를 수직 축 Z을 중심으로 동일한 각도 α만큼 회전시키는 것에 해당하므로, 기준 프레임 X, Y에 대하여 각도 α를 형성하는 기준 프레임을 정의하는 축들 X', Y'에 평행한 방향들을 따라 픽셀들이 정렬된다. 하지만, 센서들(22)은 Y 방향을 따라, 즉 운반되는 방향 X에 수직으로 정렬된다. X축에 평행한 F 방향을 따라 카메라 시스템(2) 아래에서 객체가 변위될 때, 객체의 점은 양 센서 방향들로 한 픽셀로부터 다른 픽셀로, 즉 서로 다른 픽셀의 위치들에서 나아간다.

도 2a는 한 변형을 예시한 것이며, 이 변형에 따르면 센서들(22)이 Y'축과 정렬된다. 센서들의 열은 각도 α만큼 Y축에 대하여 정렬된다. 도 5의 실시예와 비교할 때, 각도 α의 설정이 모든 센서들에 대하여 단 한 번만 수행되기 때문에 그 설정이 더 간단하다는 것이 장점이다.

도 3은 센서들의 어레이에 의해 찍혀진 4개의 각각의 영상들(I)과 이들 영상에서 객체 점들의 각각의 위치들을 예시하는 간략화된 평면도이다. X 방향으로 객체 점의 변위는 영상들이 중첩되었을 때 객체 점이 X 및 Y 방향들을 따라 옵셋 위치들 갖고 4번 복제되는 결과가 된다. 유의해야할 점은 이런 복제를 위해 X 방향으로 카메라 개수의 증가는 요구되지 않는다는 것이다.

영상 해상도의 증가는 객체의 변위로부터 발생하는, 센서에 의해 찍혀진 연속적인 영상들을 슈퍼임포즈(superimpose)함으로써 얻어진다. 이른바 초고해상도 프로세스에 의한 영상 처리 그 자체는 흔히 있는 것이다. 본 발명에 의하면, 서로에 대한 영상들의 위치는 변위에 수직인 방향(Y)으로 고정된다. 또한, 다른 방향(X)으로, 이 위치는 각도 α(모든 센서들에 대해 고정되고 공통임)와 연관되고 두 영상들 간의 병진 스텝(translational step)과 연관된다. 단계적 또는 연속적 변위에서, 이 병진 스텝은 초고해상도를 위해 선택되는 영상들의 개수에 따라 결정된다. 컨베이어의 진행 속도와 영상 촬영 빈도가 각각의 병진 스텝에 맞도록 선택된다.

초고해상도 영상의 픽셀 밀도는 다른 것들 중에서도 영상들의 개수와 카메라들의 회전 각도 α에 따라 결정된다.

또한, 각도 α는 영상들에서 객체들의 샘플링의 균일도(homogeneity)를 조절한다. 이 균일도는 보통의 영상 처리 방법들에 의거하여 결정될 수도 있다. 예를 들면 2008년 발행된 간행물인 "Constrained CVT meshes and a comparison of triangular mesh generators" by Hoa Nguyen, John Burkardt, Max Gunzburger, Lili Ju, Yuki Saka, in Computational Geometry: Theory and Applications, Elsevier B.V.(http://www.sciencedirect.com/science?_ob=ArticleURL&_udi=B6TYS-4SCKRTM-1&_user=10&_coverDate=01%2F31%2F2009&_rdoc=1&_fmt=high&_orig=search&_sort=d&_docanchor=&view=c&_searchStrId=1379367209&_rerunOrigin=google&_acct=C000050221&_version=1&_urlVersion=0&_userid=10&md5=b799274058738c6fb4d1b52dfdd44ee7) 가 참조될 수 있으며, 이 문헌은 서로 다른 영상 균일도 판별 방법들, 예컨대 "규칙성 척도(regularity measure)"(8페이지)를 서술하고 있다.

본 발명의 발명자는 3 내지 20도 범위의 각도 α가 원하는 애플리케이션에서 받아들일 수 있는 결과들을 제공한다는 것을 관찰하였다.

제공된 솔루션의 장점은 각도 α를 수정하면 병진 파라미터(두 영상들 간의 스텝)가 바뀌고, 따라서 양 방향들로 해상도가 바뀐다는 것이다. 한 변형으로서, 복수의 영상들에 대해 만족스러운 동일한 각도 α가 미리 결정된다. 그런 다음, 해상도는 단순히 스텝(따라서 영상들의 개수)을 수정함으로써 바뀔 수 있다.

특정 실시예로서, 객체 점에 대하여 52 마이크로미터(micrometers)의 명목 해상도(nominal resolution)를 가지는 3-메가픽셀(megapixel) 센서에 의하여 대략 수십 마이크로미터(예컨대, 13 마이크로미터)의 직경을 가지는 해상도가 구해질 수 있다. 6개의 영상들로, 객체에 대하여 21 마이크로미터의 받아들일 수 있는 해상도를 가지는 18-메가픽셀 센서와 동등한 해상도가 얻어진다.

흔히 있는 솔루션에서와 같이 컨베이어 상에서 검사되는 객체들을 회전시키고 운반되는 방향에 수직인 방향을 따라 광학 카메라들의 픽셀들이 모두 정렬되도록 광학 카메라들을 유지하는 것이 창안되었을 수 있다. 하지만, 이러한 솔루션은 단일한 라인의 카메라들로 기능적 초고해상도 처리를 가능하게 하지 않을 것이다.

본 발명의 제1 양상에 따른 상술된 실시예들의 장점은 초고해상도의 동작에 있어서 카메라들의 개수를 감소시킬 수 있으며, 따라서 비용이 덜 비싸다는 것이다. 또한, 촬영 시스템을 동력화(motorization)하는 것을 피할 수 있고 초점 심도(depth of focus)가 개선된다.

본 발명의 제2 양상이 이후에서 서술될 것이다. 이것은 삼차원 영상들의 획득을 목표로 한다.

삼차원 영상들에 적용하기 위해, 많은 점들을 찍는 복수의 카메라들을 이용하고, 서로 다른 카메라들의 영상들을 매칭시키고, 결정된 패턴(pattern)을 장면(scene) 상에 투영하는 것이 보통이다. 삼차원 영상 처리 기법의 한 예는 미국 특허 제6,545,512호에 서술되어 있다.

정현(sinusoidal) 패턴들을 검사되는 장면 상에 투영하는 것을 포함하는 이른바 "위상-변이(phase-shift)" 기법이 우선적으로 이용된다. 영상들에서 이들 패턴들의 해석은 장면의 서로 다른 객체 점들의 고도를 추론하는데 이용된다.

삼차원 영상을 얻기 위하여, 복수의 카메라들이 장면의 동일한 부분을 관찰할 수 있다. 그러면 프로젝터 부에 바로 카메라가 존재함으로 인해 단일의 레지스트레이션 프로젝터(registration projector)에 의해 투영된 빛은 그림자 영역들을 생성할 위험이 있다는 문제가 있다.

이 문제를 해결하기 위해, 서로 다른 각도들로 장면을 조명하기 위해 2개의 프로젝터들을 이용하는 것이 창안될 수 있다. 하지만, 중복 영역(overlapping area)들에서 투영된 프린지(fringe)들이 각도를 형성하는 문제가 제기된다. 가능한 솔루션은 서로 다른 프로젝터들을 연속적으로 비추는 것일 것이다. 하지만, 이것은 영상 처리 시간의 손실(연속적인 조명들의 개수만큼 곱해진 시간)을 발생시킬 것이다. 또 다른 문제는 이것이 고해상도 프로젝터들을 필요로 할 것이고, 따라서 비싸며 현재 이용가능하지 않다는 것이다.

본 발명의 이런 양상에 따라, 프로젝터들 사이의 중복 영역들의 문제를 쉽게 해결할 수 있게 하는 투영된 영상들의 특정 패턴이 선택된다.

도 4는 본 발명의 실시예에 따라 카메라들과 프로젝터들의 각각의 위치들에 대한 간략화된 사시도이다. 이 예에서는, 장면에서 영상들의 프로젝터들(24)이 2개 제공되고, Y 방향으로 2개의 평행한 직선들을 따라 정렬된 4개의 카메라들의 그룹(2')이 2개 제공된다. 2개의 그룹들(2')은 프로젝터들(24)의 각 측면에 위치되고, 또한 Y 방향에 평행한 선을 따라 정렬된다. 카메라들 각각의 시점(viewing point)들이 Y 방향을 따라 정렬되고 쌍을 이루며, 각 그룹의 카메라가 Y축에 대하여 대칭인 다른 그룹의 카메라와 동일한 점을 겨냥하도록 카메라들이 위치된다. 이것은 수직 방향 z에 대하여 각도 β만큼 모든 카메라들을 기울이는 것에 해당한다. 각도 β는 모든 카메라들(22)에 대해 동일할 수 있다(서로 다른 부호들을 가짐).

2개의 프로젝터들(24)이 결정된 패턴을 장면에서(촬영된 영역에서) 투영하도록 배치되고, 이 패턴은 처리 시스템에 의해 인식되며 이후에서 서술된다. 패턴들, 프로젝터들의 파라미터들 및 카메라들의 파라미터들을 알면, 장면에서 고도(altitude)가 구해질 수 있다.

컨베이어 상에서 검사되는 객체의 높이는 정확하지 않다. 객체가 기준 높이보다 낮을 때에는, 프로젝터들 사이에 위치된 영역은 2개의 프로젝터들에 의해 비춰진다. 하지만, 객체가 기준 높이보다 높으면, 객체의 일부는 더 이상 비춰질 수 없으며, 그러면 이 문제를 극복하기 위해 예방 차원의 중복 영역을 도입하는 것이 필수적이다. 모든 경우들에서, 중복 영역은 처리되어야 한다.

소스(source)(예컨대, 파장에 있어서)를 보호하기 위해 투영된 영상들을 코딩하든지, 아니면 중복 영역과 관련된 영상 처리들이 프로젝터와 독립적이도록 패턴이 중복 영역들에서 투영된다. 본 발명은 두번째 솔루션에 해당한다. 패턴들에 적용되는 제한 사항으로서 그레이 레벨들은 프로젝터들의 영상 평면들과 두 프로젝터들의 광학 중심(optical center)들을 상호 연결하는 라인을 포함하는 평면들 사이의 교차에 의해 정의되는 곡선들을 따라 일정해야 한다.

도 5 및 5a는 이러한 실시예를 예시한 것이다. 도 5는 2개의 프로젝터들을 갖는 장치를 개략적으로 도시한 것이다. 도 5a는 중복 영역에 대하여 위치에 따라 투영되는 영상들의 세기(intensity)(루미넌스(luminance))를 개략적으로 예시한 것이다. 명료함을 위해, 다음의 설명은 카메라 시스템과 연관시키지 않는다.

2개의 영상들(I1, I2)이 2개의 프로젝터들(24L, 24R)에 의해 촬영되는 영역에 해당하는 장면(S) 상에 투영된다. 예를 들면, 이들 영상은 평행한 라인들(슬롯들(slots))이다. 도 5에서 나타난 바와 같이, 투영된 영상들(I1, I2)과 라인(242)을 포함하는 임의의 평면(P) 간의 교차가 평행한 곡선들(244, 246)을 제공한다. 또한, 장면 상에서 곡선들(244, 246)의 투영은 2개의 정렬된 직선들(248 L, R)을 제공한다. 도 5a에 예시된 바와 같이, 중복 영역(A)에서 시스템의 광도 균형(photometric balance)에 맞도록, 투영되는 영상 프로파일(image profile)이 이 영역에서 조정된다. 예를 들면, 두 영상들의 슈퍼임포즈가 장면에서 일정한 레벨을 제공하도록 각 영상으로부터 오는 표준화된 루미넌스 레벨이 조정된다(한 측에서는 감소시키고, 다른 한 측에서는 증가시킴).

위의 실시예는 초고해상도 영상 처리와 호환된다.

예를 들면, 평면의 X 및 Y 양 방향들로 장면(또는 촬영 세트)을 변위시키는 것을 포함하는 보통의 초고해상도 처리가 적용될 수 있다.

바람직한 예에 의하면, 전술된 2개의 양상들은 초고해상도 프로세스를 3D 촬영 시스템에 적용하도록 결합된다.

도 6은 초고해상도의 삼차원(3D) 영상들을 얻도록 구성된 촬영 시스템의 또 다른 실시예의 사시도이다. 간략화하기 위해, 처리 시스템에 대한 연결들은 도시되지 않았다.

도 7은 도 6의 장치에 수반되는 각도들을 예시하는 기하학적 표현이다.

도 4의 실시예와 비교할 때, 카메라들(22)은 4개가 그룹이 되어 동일한 점을 겨냥하도록 지향된다. 이것은 도 7에 의해 예시되는 바와 같이 자유도(degree of liberty)를 더하는 것에 해당한다. 바람직하게는 모든 카메라들에 대해 절대값이 동일한 각도 β의 경사 이외에도, 카메라들은 4개가 그룹을 되어 그들 각각의 시축들(viewing axes)이 동일한 점을 향하도록 각도 γ만큼 회전된다.

또한, 제1 양상의 특징들에 맞추기 위하여, 카메라들은 모두 Z축 주위로 각도 α만큼 회전된다.

도 2의 실시예와 비교할 때, 2개의 시리즈(series)(2")의 카메라들(22)이 Y 방향에 평행한 2개의 라인들을 따라 배치된다. 도 4 및 6의 예에서, 각각의 시리즈(2', 2")는 Y 방향으로 정렬되는 4개의 카메라들(22)을 포함하지만, 이 숫자는 객체들의 변위에 수직인 Y 방향으로 촬영되는 장면의 폭에 따라 달라질 수 있다.

각도들 β와 γ, 그리고 시점은 초점 심도를 고려하여 장면에서 Z 방향을 따라 원하는 정확도에 따라 선택된다.

특정 실시예로서, 3 내지 6도 범위의 각도 α와 15 내지 25도 범위의 각도 β를 갖는 시스템이 제공될 수 있다.

다양한 실시예들이 서술되었다. 다양한 변경들과 수정들이 당해 기술 분야의 숙련된 자들에게 떠오를 것이다. 특히, 카메라들의 위치와 각도들의 선정은 원하는 해상도 및 분석될 객체 점들의 크기에 따라 결정된다. 카메라들과 프로젝터들의 위치 또는 개수에 따라, 도 4 및 6과 관련하여 예를 들어 서술된 것들과 다른 구성들이 제공될 수 있다.

또한, 카메라당 픽셀들의 개수의 선정은 주어진 컨베이어 속도에 대하여 얻어지는 해상도를 조절한다. 또한, 스퀘어 센서들(square sensors)이 아니라 어레이 센서들이 이용될 수 있다.

마지막으로, 이상에서 제공된 기능적 표시들에 의거하여 그리고 흔히 있는 영상 처리 알고리듬들을 이용함으로써 얻어진 영상들에 적용되는 처리들은 당해 기술 분야의 숙련된 자들의 능력 내에 있다.

이러한 변경들, 수정들 및 개선들은 본 개시의 일부인 것으로 의도되고, 본 발명의 사상과 범위 내에 있는 것으로 의도된다. 따라서, 앞의 서술은 단지 예로 제공되는 것이고, 제한적인 것으로 의도된 것이 아니다. 본 발명은 다음의 특허 청구 범위에 정의된 것과 그 균등물들에 의해서만 제한된다.

Claims (8)

1. 분석될 객체들의 제1 방향(X)을 따르는 평면 컨베이어(planar conveyor)(1)와;
   상기 컨베이어 영역 위에서 상기 컨베이어에 대하여 고정된 위치에 위치된 촬영 시스템(2)을 포함하며, 상기 촬영 시스템은 픽셀들의 직교 어레이를 각각 포함하는 제1 디지털 카메라들(22)의 세트(2)를 적어도 하나 포함하고, 상기 카메라들은 상기 제1 방향과 다른 제2 방향(Y, Y')으로 정렬되고, 상기 카메라들 모두는 그 픽셀 어레이의 상기 직교 방향들 중 하나가 상기 제1 방향과 제1 각도(α)를 형성하도록 지향된
   집적 회로 등의 광학 검사 장치.
2. 제1항에 있어서,
   상기 제2 방향은 상기 제1 방향에 수직인 집적 회로 등의 광학 검사 장치.
3. 제1항에 있어서,
   상기 서로 다른 카메라들의 상기 픽셀들은 상기 제2 방향과 정렬된 집적 회로 등의 광학 검사 장치.
4. 제1항에 있어서,
   영상 처리 시스템이 상기 촬영 시스템에 의해 제공되는 연속적인 영상들에 초고해상도 처리(super-resolution processing)를 적용할 수 있도록 된 집적 회로 등의 광학 검사 장치.
5. 제1항에 있어서,
   상기 제1 각도(α)는 3 내지 20도 범위에 있는 집적 회로 등의 광학 검사 장치.
6. 제1항에 있어서,
   상기 제2 방향(Y)으로 상기 제1 카메라들의 세트와 평행한 제2 카메라들(22)의 세트를 포함하며, 상기 카메라들 모두는 그들 각각의 광학 축들(optical axes)이 상기 다른 2개의 방향들에 수직인 제3 방향(Z)에 대하여 제2 각도(β)만큼 기울어진 집적 회로 등의 광학 검사 장치.
7. 제6항에 있어서,
   소정 패턴들의 2개의 프로젝터들(24)을 더 포함하며, 이들 패턴은 상기 프로젝터들 각각에 의해 투영되는 2개의 직선들이 상기 제1의 2개의 방향들(X, Y)에 의해 정의되는 평면에서 정렬되도록 되어 있고, 상기 2개의 프로젝터들의 상기 광학 중심들을 상호 연결하는 직선(242)과 동일 평면상에 있도록 된 집적 회로 등의 광학 검사 장치.
8. 제6항에 있어서,
   상기 제2 각도(β)는 15 내지 25도 범위에 있는 집적 회로 등의 광학 검사 장치.
   

Images