KR20110028417A - 전기영동 표시장치 및 그 제조 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은, 다수의 화소영역으로 구성되며, 풀컬러를 구현할 수 있는 제 1 영역과, 모노 타입의 화상을 구현할 수 있는 제 2 영역이 정의된 표시영역과, 상기 표시영역 주변의 비표시영역이 정의된 기판과; 상기 기판 상에 서로 교차하여 다수의 각 화소영역을 정의하며 형성된 게이트 배선 및 데이터 배선과; 상기 다수의 각 화소영역 내에 상기 게이트 배선 및 상기 데이터 배선과 연결되며 순차 적층된 형태로 게이트 전극과, 게이트 절연막과, 반도체층과, 서로 이격하는 소스 및 드레인 전극으로 구성된 박막트랜지스터와; 상기 박막트랜지스터 위로 상기 박막트랜지스터의 드레인 전극을 노출시키는 드레인 콘택홀이 구성된 보호층과; 상기 보호층 위로 상기 드레인 콘택홀을 통해 상기 박막트랜지스터의 드레인 전극과 접촉하며 각 화소영역 별로 형성된 화소전극과; 상기 화소전극 위로 상기 표시영역에 대응하여 부착된 전기영동 필름과; 상기 전기영동 필름 위로 상기 제 1 영역에 대응하여 형성된 컬러필터층과; 상기 컬러필터층을 덮으며 상기 전기영동 필름 전면에 부착된 보호시트를 포함하는 전기영동 표시장치를 제공한다.

전기영동, EPD, 표시장치, 풀컬러, 모노타입

Description

전기영동 표시장치 및 그 제조 방법{Electrophoretic display device and method of fabricating the same}

본 발명은 전기영동 표시장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 모노 화상을 구현하는 표시영역 내에 풀컬러를 구현할 수 있는 영역을 구비한 전기영동 표시장치 및 그 제조 방법에 관한 것이다.

일반적으로, 표시장치는 액정표시장치, 플라즈마 표시장치 및 유기전계 표시장치가 주류를 이루어 왔다. 그러나, 최근 급속도로 다양화되는 소비자의 욕구를 충족시키기 위해 다양한 형태의 표시장치를 선보이고 있는 상황이다.

특히, 정보 이용 환경의 고도화 및 휴대화에 힘입어 경량, 박형, 고효율 및 천연색의 동영상을 구현하는 데 박차를 가하고 있다. 이러한 일환으로 종이와 기존 표시장치의 장점만을 취합한 전기영동 표시장치에 대한 연구가 활발히 진행되고 있는 상황이다.

전기영동 표시장치는 휴대의 용이성을 장점으로 하는 차세대의 표시장치로 각광받고 있으며, 액정표시장치와 달리 편광판, 백라이트 유닛, 액정층 등을 필요로 하지 않으므로 제조 단가를 줄일 수 있다는 장점이 있다.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 종래의 전기영동 표시장치에 대해 설명하도록 한다.

도 1은 전기영동 표시장치의 구동 원리를 설명하기 위해 그 구조를 간략히 나타낸 도면이다.

도시한 바와 같이, 종래의 전기영동 표시장치(1)는 제 1 및 제 2 기판(11, 36)과, 상기 제 1 및 제 2 기판(11, 36) 사이에 개재된 잉크층(57)을 포함한다. 상기 잉크층(57)은 축중합 반응을 통해 하전된 다수의 화이트 안료(59)와 블랙 안료(61)가 채워진 다수의 캡슐(63)을 포함한다.

한편, 상기 제 1 기판(11)에는 다수의 박막트랜지스터(미도시)에 연결된 다수의 화소전극(28)이 화소영역(미도시) 별로 형성되고 있다. 즉, 상기 다수의 화소전극(28)은 선택적으로 (+)전압 또는 (-)전압을 각각 인가받는다. 이때, 상기 화이트 안료(59)와 블랙 안료(61)를 포함한 캡슐(63)의 크기가 일정하지 않을 경우, 선택적으로 일정 크기의 캡슐(63) 만을 선별하여 사용할 수 있다.

전술한 잉크층(57)에 (+) 극성 또는 (-) 극성을 띄는 전압을 인가하게 되면, 캡슐(63) 내부의 하전된 화이트 안료 및 블랙 안료(59, 61)는 반대 극성 쪽으로 끌려가게 된다. 즉, 상기 블랙 안료(61)가 상측으로 이동하면 블랙을 표시하게 되고, 상기 화이트 안료(59)가 상측으로 이동하게 되면 화이트를 표시하게 되는 원리를 이용한 것이다.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 종래에 따른 전기영동 표시장치에 대해 보다 상세히 설명하도록 한다.

도 2는 종래에 따른 전기영동 표시장치를 개략적으로 나타낸 단면도로, 도 1과 동일한 명칭에 대해서는 동일한 도면 번호를 사용하도록 한다.

도시한 바와 같이, 종래에 따른 전기영동 표시장치(1)는 대향 합착된 제 1 및 제 2 기판(11, 36)과, 상기 제 1 및 제 2 기판(11, 36) 사이에 개재된 잉크층(57)을 포함한다. 상기 잉크층(57)은 마주보는 면에 대응하여 투명한 물질로 이루어진 제 1 및 제 2 점착층(51, 53)과, 그 사이에 투명 도전성 물질로 이루어진 공통전극(55)과, 축중합 반응을 통해 하전된 다수의 블랙 안료(61)와 화이트 안료(59)가 채워진 다수의 캡슐(63)과 더불어 필름 형태로써 부착된다. 또한, 상기 블랙 안료(82)는 (+)극성, 화이트 안료(84)는 (-)극성으로 각각 하전된다.

상기 제 2 기판(36)은 투명한 플라스틱 재질이나 유리가 이용되고, 상기 제 1 기판(11)은 불투명한 스테인레스(stainless) 재질이 주로 이용되며, 필요에 따라서는 투명한 플라스틱 재질이나 투명한 유리 재질이 이용될 수 있다.

한편, 상기 제 1 기판(10)에는 매트릭스 형태로 수직 교차하여 화소영역(P)을 정의하는 게이트 배선(미도시)과 데이터 배선(미도시)이 구성되고, 상기 게이트 배선(미도시)과 데이터 배선(미도시)의 교차지점에는 화소영역(P)별로 스위칭 소자인 박막트랜지스터(Tr)가 구성된다.

상기 박막트랜지스터(Tr)는 게이트 배선(미도시)에서 연장된 게이트 전극(14)과, 상기 게이트 전극(14)을 덮는 게이트 절연막(16)과, 상기 게이트 전 극(14)과 중첩하며 액티브층(18a)과 오믹콘택층(18b)으로 구성된 반도체층(18)과, 상기 반도체층(18)과 접촉하고 데이터 배선(미도시)에서 연장된 소스 전극(20)과, 상기 소스 전극(20)과 이격된 드레인 전극(22)을 포함한다.

또한, 상기 박막트랜지스터(Tr)의 상부에는 상기 드레인 전극(22)을 노출하는 드레인 콘택홀(27)을 포함하는 보호층(26)이 전면에 구성된다.

상기 보호층(26) 상에는 드레인 콘택홀(27)을 통해 드레인 전극(22)과 연결된 화소전극(28)이 각 화소영역(P)에 대응하여 구성되고 있다. 상기 화소전극(28)은 주로 투명 도전성 물질 예를들면 인듐-틴-옥사이드(ITO)와 인듐-징크-옥사이드(IZO)중 선택된 하나로 구성된다.

이러한 구성을 갖는 전기영동 표시장치(1)는 자연광이나 실내광을 포함하는 외부광을 광원으로 이용하고, 박막트랜지스터(Tr)에 의해 (+)극성 또는 (-)극성을 선택적으로 인가받는 화소전극(28)이 캡슐(63) 내부에 채워진 다수의 화이트 안료(59)와 블랙 안료(61)의 위치 변화를 유도하여 화상 또는 텍스트를 구현하게 된다.

한편, 전술한 구성을 갖는 전기영동 표시장치는 도면에 나타나지 않았지만, 상기 제 2 기판(36) 내측면의 표시영역 전면에 적, 녹, 청색 및 선택적으로 화이트 컬러필터 패턴이 화소영역(P)에 대응하여 순차 반복하는 형태의 컬러필터층이 더욱 형성될 수도 있다. 이때, 상기 컬러필터층을 포함하는 경우, 풀컬러의 화상을 구현할 수 있는 전기영동 표시장치가 되며, 컬러필터층을 포함하지 않는 경우 주로 텍스트만을 표시하는 모노타입 전기영동 표시장치가 된다.

하지만, 전술한 바와 같이 모노 타입 전기영동 표시장치는 컬러 이미지를 구현할 수 없으며, 풀컬러 타입 전기영동 표시장치는 컬러 이미지를 표시할 수 있지만, 풀컬러를 표시하는 최소 단위로 정의되는 도트가 3개 또는 4개의 화소영역으로 이루어지게 되므로 텍스트를 구현하는 데에는 해상도가 떨어져 폰트의 제약을 받으며, 표시영역 전면에 컬러필터층 형성에 의해 반사율과 대조비가 모노 타입 전기영동 표시장치 대비 상대적으로 떨어지는 문제가 있다.

또한, 종래의 전기영동 표시장치는 상기 제 2 기판에 컬러필터층을 형성하고 이를 전기영동 필름이 부착된 제 1 기판과 합착하여 완성하고 있으며, 이 경우 합착 정렬 오차가 심하게 발생함으로써 표시품질을 저하시키고 있으며, 이를 방지하기 위해서는 화소영역의 경계에 형성되는 블랙매트릭스의 폭을 합착 마진을 고려하여 크게 형성해야 하므로 이 경우 개구율이 저하되는 문제가 발생하고 있다.

본 발명은 전술한 문제를 해결하기 위해 안출된 것으로, 해상도 저하없이 텍스트 구현이 가능하며 풀컬러의 화상까지 구현할 수 있는 전기영동 표시장치 및 그 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

또한, 컬러필터층 형성 시 합착 오차를 줄일 수 있는 제조 방법을 제안함으로써 표시품질의 향상 및 개구율을 향상시키는 것을 또 다른 목적으로 한다.

전술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 전기영동 표시장치는, 다수의 화소영역으로 구성되며, 풀컬러를 구현할 수 있는 제 1 영역과, 모노 타입의 화상을 구현할 수 있는 제 2 영역이 정의된 표시영역과, 상기 표시영역 주변의 비표시영역이 정의된 기판과; 상기 기판 상에 서로 교차하여 다수의 각 화소영역을 정의하며 형성된 게이트 배선 및 데이터 배선과; 상기 다수의 각 화소영역 내에 상기 게이트 배선 및 상기 데이터 배선과 연결되며 순차 적층된 형태로 게이트 전극과, 게이트 절연막과, 반도체층과, 서로 이격하는 소스 및 드레인 전극으로 구성된 박막트랜지스터와; 상기 박막트랜지스터 위로 상기 박막트랜지스터의 드레인 전극을 노출시키는 드레인 콘택홀이 구성된 보호층과; 상기 보호층 위로 상기 드레인 콘택홀을 통해 상기 박막트랜지스터의 드레인 전극과 접촉하며 각 화소영역 별로 형성된 화소전극과; 상기 화소전극 위로 상기 표시영역에 대응하여 부착된 전기영동 필름과; 상기 전기영동 필름 위로 상기 제 1 영역에 대응하여 형성된 컬러필터층과; 상기 컬러필터층을 덮으며 상기 전기영동 필름 전면에 부착된 보호시트를 포함한다.

이때, 상기 전기영동 필름은, 상기 화소전극과 접촉하는 점착층과, 그 상부로 순차 적층된 축중합 반응을 통해 하전된 다수의 화이트 안료와 블랙 안료가 채워진 다수의 캡슐로 이루어진 잉크층과, 투명한 공통전극과, 베이스 필름으로 구성된 것이 특징이다.

또한, 상기 보호층은 유기절연물질층의 단일층 구조를 이루거나, 또는 무기 절연물질층/유기절연물질층의 이중층 구조를 이루거나, 또는 무기절연물질층/유기절연물질층/무기절연물질층의 3중층 구조를 이루는 것이 특징이다.

또한, 상기 컬러필터층은 적, 녹, 청의 3색 컬러필터 패턴을 포함하거나 또는 적, 녹, 청 및 화이트의 4색 컬러필터 패턴을 포함하는 것이 특징이다.

또한, 상기 다수의 각 화소영역에는 스토리지 커패시터가 구성되며, 이때, 상기 스토리지 커패시터는 상기 게이트 배선과 동일한 층에 이격하며 형성된 공통배선과, 상기 드레인 전극이 중첩하도록 형성됨으로써 서로 중첩되는 상기 공통배선 및 드레인 전극을 각각 제 1 및 제 2 스토리지 전극으로 하고 이들 두 전극 사이에 개재된 상기 게이트 절연막을 유전체층으로 하여 구성된 것이 특징이다.

본 발명에 따른 전기영동 표시장치의 제조 방법은, 다수의 화소영역으로 구성되며, 풀컬러를 구현할 수 있는 제 1 영역과, 모노 타입의 화상을 구현할 수 있는 제 2 영역이 정의된 표시영역과, 상기 표시영역 주변의 비표시영역이 정의된 기판 상에 서로 교차하여 다수의 각 화소영역을 정의하며 형성된 게이트 배선 및 데이터 배선과 상기 다수의 각 화소영역 내에 상기 게이트 배선 및 상기 데이터 배선과 연결되며 순차 적층된 형태로 게이트 전극과, 게이트 절연막과, 반도체층과, 서로 이격하는 소스 및 드레인 전극으로 구성된 박막트랜지스터를 형성하는 단계와; 상기 박막트랜지스터 위로 상기 박막트랜지스터의 드레인 전극을 노출시키는 드레인 콘택홀이 구성된 보호층을 형성하는 단계와; 상기 보호층 위로 상기 드레인 콘택홀을 통해 상기 박막트랜지스터의 드레인 전극과 접촉하며 각 화소영역 별로 화소전극을 형성하는 단계와; 상기 화소전극 위로 상기 표시영역에 대응하여 전기영동 필름을 부착하는 단계와; 상기 전기영동 필름 위로 상기 제 1 영역에 대응하여 컬러필터층을 형성하는 단계와; 상기 컬러필터층을 덮으며 상기 전기영동 필름 전면에 보호시트를 부착하는 단계를 포함한다.

상기 기판에는 상기 비표시영역 외측으로 절단영역이 정의되며, 상기 게이트 배선 및 데이터 배선을 형성하는 단계 또는 상기 화소전극을 형성하는 단계 중 어느 하나의 단계에서 상기 절단영역에 상기 컬러필터층 형성용 얼라인 마크를 형성하는 것을 특징으로 하며, 이때, 상기 컬러필터층 형성용 얼라인 마크는 표시영역 주변의 서로 다른 방향의 3영역에 각각 1개씩 3개 형성하는 것이 특징이다. 또한, 상기 보호시트를 부착하는 단계 이후에는 상기 절단영역을 절단하여 제거하는 단계를 포함한다.

또한, 상기 게이트 및 데이터 배선과 상기 박막트랜지스터를 형성하는 단계는 스토리지 커패시터를 형성하는 단계를 포함하며, 상기 게이트 배선과 이와 나란하게 공통배선과 상기 게이트 배선과 연결된 상기 게이트 전극을 형성하는 단계와; 상기 게이트 배선과 게이트 전극 및 상기 공통배선 위로 상기 기판 전면에 상기 게이트 절연막을 형성하는 단계와; 상기 게이트 절연막 위로 상기 게이트 전극에 대응하여 순수 비정질 실리콘의 액티브층과 그 상부로 서로 이격하며 불순물 비정질 실리콘의 오믹콘택층으로 구성된 반도체층을 형성하는 단계와; 상기 게이트 절연막 위로 상기 게이트 배선과 교차하는 상기 데이터 배선을 형성하고, 상기 오믹콘택층 위로 상기 데이터 배선과 연결된 소스 전극 및 이와 이격하며 상기 공통배선과 중첩하는 드레인 전극을 형성하는 단계를 포함한다.

본 발명에 따른 전기영동 표시장치는, 표시영역에 부분적으로 풀컬러 구현이 가능한 영역과 모노 구현 영역을 구비함으로써 특정 영역에서는 풀컬러 구현을 하고, 모노 영역에서는 해상도 저하없는 텍스트를 구현할 수 있는 효과가 있으며, 나아가 부분적인 풀컬러 화상 구현 영역을 포함함으로서 그 응용분야를 확대 넓힐 수 있는 장점이 있다.

또한, 컬러필터층을 어레이 기판 상에 부착된 전기영동 필름 상에 직접 형성함으로써 컬러필터층이 형성된 기판과 어레이 소자가 구비된 기판과의 합착 시 오차 범위(통상 ± 5㎛)보다 훨씬 작은 오차 범위(± 2㎛)를 갖게 되므로 합착 오차에 따른 정렬 불량을 최소화하며, 나아가 합착 마진이 줄어들게 됨으로써 개구율을 향상시킬 수 있는 장점을 갖는다.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 전기영동 표시장치에 대해 설명하도록 한다.

도 3은 본 발명에 따른 전기영동 장치의 평면도이며, 도 4는 도 3을 절단선 Ⅳ-Ⅳ를 따라 절단한 부분에 대한 단면도이다. 이때, 도 4에 있어서, 하나의 화소영역에 대해서만 박막트랜지스터 및 스토리지 커패시터를 도시하였다. 또한, 설명의 편의를 위해 각 화소영역 내에 박막트랜지스터(Tr)가 형성되는 영역을 스위칭 영역(TrA), 스토리지 커패시터(StgC)가 형성되는 영역을 스토리지 영역(StgA)이라 정의하였다.

도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 전기영동 표시장치(100)는 서로 교차하여 다수의 화소영역(P)을 정의하는 게이트 및 데이터 배선(미도시)과 각 화소영역(P) 내에 박막트랜지스터(Tr)가 구비된 어레이 기판(101)과, 잉크층(163)과 공통전극(153) 및 부분적인 컬러필터층(170)을 포함하는 전기영동 필름(167)과, 보호필름(180)으로 구성되고 있다.

이때, 본 발명에 따른 전기영동 표시장치(100)에 있어서 가장 특징적인 것은, 적, 녹, 청색 컬러필터 패턴(R, G, B)을 포함하는 컬러필터층(170)은 표시영역(DA) 전면이 아니라 표시영역(DA) 일부에 대응해서만 형성되고 있는 것이 특징이다.

도 3을 참조하면 상기 컬러필터층(170)은 표시영역(DA) 중 그 중앙부를 기준으로 좌측에만 형성되고 있는 것을 일례로 보이고 있다 하지만, 상기 컬러필터층(170)은 표시영역(DA) 중 어느 위치든 선택적으로 형성 될수 있다. 이 경우 상기 컬러필터층(170)은 도면에 나타낸 바와같이, 적, 녹, 청색의 3가지 컬러필터 패턴(R, G, B)을 포함할 수도 있으며, 또는 적, 녹, 청 및 화이트의 4가지 컬러필터 패턴(미도시)을 포함할 수도 있다.

이러한 구성에 의해 본 발명에 따른 전기영동 표시장치(100)는 컬러필터층(170)이 형성된 표시영역(DA) 일부(이하 제 1 영역(A1)이라 칭함)에서는 풀컬러 화상이 구현되고, 컬러필터층(170)이 형성되지 않는 표시영역(DA) 일부(이하 제 2 영역(A2)이라 칭함)에서는 모노 타입으로 텍스트가 해상도 저하없이 구현되는 것이 특징이다.

이후에는 전술한 구성을 갖는 본 발명에 따른 전기영동 표시장치의 단면구조에 대해 설명한다.

도 4에 도시한 바와 같이, 상기 어레이 기판(110)의 표시영역(DA)에는 게이트 절연막(110)을 개재하여 서로 교차하여 화소영역(P)을 정의하는 다수의 게이트 및 데이터 배선(미도시, 119)이 형성되어 있다. 또한, 상기 게이트 배선(미도시)이 형성된 동일한 층에 이와 동일한 금속물질로 이루어진 공통배선(미도시)이 형성되어 있으며, 상기 공통배선(미도시)에서 분기한 형태로 제 1 스토리지 전극(105)이 형성되어 있다.

다음, 각 화소영역(P)에는 상기 게이트 배선(미도시) 및 데이터 배선(119)과 연결되며, 순차 적층된 형태로 게이트 전극(103)과, 상기 게이트 절연막(110)과, 순수 비정질 실리콘의 액티브층(115a)과 불순물 비정질 실리콘의 오믹콘택층(115c)으로 구성된 반도체층(115)과, 서로 이격하는 소스 및 드레인 전극(120, 122)을 포함하는 박막트랜지스터(Tr)가 형성되어 있다. 이때, 상기 게이트 전극(103)은 상기 게이트 배선(112)과 연결되고 있으며, 상기 소스 전극(120)은 상기 데이터 배선(119)과 연결되고 있다. 이때, 상기 드레인 전극(122)은 스토리지 영역으로 연장하여 상기 제 1 스토리지 전극(105)과 중첩함으로써 중첩된 부분이 제 2 스토리지 전극(124)을 이루며, 상기 제 1 스토리지 전극(105)과 제 2 스토리지 전극(124) 및 이들 두 전극(105, 124) 사이에 개재된 게이트 절연막(110)은 스토리지 커패시 터(StgC)를 이룬다.

다음, 상기 박막트랜지스터(Tr)를 덮으며, 상기 박막트랜지스터(Tr)의 드레인 전극(122)의 일부를 노출시키는 드레인 콘택홀(133)을 가지며, 유기절연물질로 2㎛ 내지 4㎛ 정도의 두께를 가져 그 표면이 평탄한 갖는 제 1 보호층(130)이 형성되어 있다. 이때, 도면에 나타내지 않았지만, 상기 제 1 보호층(130) 하부와 상기 박막트랜지스터(Tr) 상부에는 전면에 무기절연물질로 이루어진 제 2 보호층(미도시)이 더욱 형성될 수도 있다. 이 경우 상기 제 2 보호층(미도시)은 상기 박막트랜지스터(Tr)의 서로 이격하는 소스 및 드레인 전극(120, 122) 사이로 노출된 채널이 형성되는 액티브층(115a)의 보호와, 상기 소스 및 드레인 전극(120, 122) 등의 금속물질과 상기 유기절연물질로 이루어진 제 1 보호층(130)과의 접합 특성을 강화시키기 위함이므로 생략할 수도 있다.

다음, 상기 제 1 보호층(130) 위로 투명 도전성 물질 예를들면 인듐-틴-옥사이드(ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(IZO)로서 상기 드레인 콘택홀(133)과 접촉하며 각 화소영역(P)별로 화소전극(140)이 형성되어 있다. 이때, 도면에 나타내지 않았지만, 투명 도전성 물질로 이루어진 상기 화소전극(140)과 상기 제 1 보호층(130) 사이에 접합 특성 강화를 위해 무기절연물질로 이루어진 제 3 보호층(미도시)이 더욱 형성될 수도 있다.

다음, 전술한 구성을 갖는 어레이 기판(101)에 대해 투명하고 유연한 특성을 갖는 재질 예를들면 PET로 이루어진 베이스 필름(150)과, 그 하부로 전면에 투명 도전성 물질로 전면에 형성된 공통전극(153)과, 그 하부로 축중합 반응을 통해 하 전된 다수의 화이트 안료(156)와 블랙 안료(158)가 채워진 다수의 캡슐(160)을 포함하는 잉크층(163)과, 그 하부로 제 1 점착층(165)을 포함하는 전기영동 필름(167)이 부착되고 있다.

또한, 본 발명의 가장 특징적인 구성으로서 상기 베이스 필름(150) 상부에는 표시영역(DA) 전면이 아닌 희망하는 위치의 일부 즉 제 1 영역(A1)에 대응하여 각 화소영역(P)에 순차 대응하는 적, 녹, 청색 및 선택적으로 화이트 컬러필터 패턴(R, G, B, 미도시)을 갖는 컬러필터층(170)이 형성되어 있다. 이때 도면에 나타내지 않았지만, 상기 제 1 영역에 있어 상기 컬러필터 패턴(R, G, B)과 패턴(R, G, B) 사이 즉, 화소영역()의 경계에는 블랙매트릭스(미도시)가 더욱 구성될 수도 있다.

한편, 표시영역(DA) 중 상기 컬러필터층(170)이 형성되지 않은 제 2 영역(A2)에 대해서는 여전히 베이스 필름(150)이 노출된 상태를 이루고 있다.

다음, 상기 컬러필터층(170)과 상기 노출된 베이스 필름(150) 상부에는 상기 컬러필터층(170)의 보호를 위해 제 2 점착층(미도시)을 개재하여 보호필름(180)이 부착되고 있다. 이때 상기 보호필름(180)은 상기 제 2 점착층을 이용하여 부착될 수도 있으며, 또는 표시영역(DA) 외측의 비표시영역(도 3의 NA)을 따라 씰패턴(미도시)이 형성됨으로써 상기 씰패턴(미도시)에 의해 상기 베이스 필름(150)과 부착될 수도 있다.

전술한 구성을 갖는 전기영동 표시장치(100)는 표시영역(DA)에 부분적으로 컬러필터층(170)이 형성됨으로써 상기 컬러필터층(170)이 형성된 제 1 영역(A1)은 풀컬러의 화상을 구현할 수 있으며, 상기 컬러필터층(170)이 형성되지 않은 제 2 영역(A2)은 모노 타입으로 해상도 저하가 없는 텍스트를 구현할 수 있는 특징을 갖는다.

부분적으로 풀컬러 구현이 가능한 제 1 영역(A1)과 모노 타입의 텍스트를 주로 표시하는 제 2 영역(A2)을 갖는 본 발명에 따른 전기영동 표시장치(100)의 경우, 일례로 텍스트와 그림이 공존하는 어린이용 전자책으로 응용될 수 있다. 이 경우 전면 풀컬러 화상을 구현하는 전기영동 표시장치 대비 텍스트의 해상도 측면에서 우수하며, 컬러필터층이 없는 모노 타입의 전기영동 표시장치 대비 표시영역(DA) 내에 부분적으로 풀컬러 화상을 표시할 수 있는 제 1 영역(A1)을 가지며 이 제 1 영역(A1)을 통해 풀컬러 화면이 제공될 수 있으므로 사용자 편의성과 시인성 및 가독성이 우수한 장점이 있다.

이후에는 전술한 구성을 갖는 본 발명에 따른 전기영동 표시장치의 제조 방법에 대해 설명한다.

도 5a 내지 5d는 본 발명에 따른 전기영동 장치의 제조 단계별 공정 평면도이며, 도 6a 내지 6h는 도 3을 절단선 Ⅳ-Ⅳ를 따라 절단한 부분에 대한 제조 단계별 공정 단면도이다. 이때, 설명의 편의를 위해 다수의 화소영역(P)을 포함하여 화상을 표시하는 영역을 표시영역(DA), 그 외측을 비표시영역(NA)이라 정의하며, 비표시영역 외측으로 최종적으로 절단되는 부분은 절단영역(CA), 각 화소영역(P) 내의 박막트랜지스터(Tr)가 형성되는 부분을 스위칭 영역(TrA), 스토리지 커패시터(StgC)가 형성되는 영역을 스토리지 영역(StgA)이라 정의한다.

우선, 도 5a 및 도 6a에 도시한 바와 같이, 절연기판(101) 예를들면 유리기판 또는 플라스틱 기판 상에 제 1 금속물질 예를들면 알루미늄(Al), 알루미늄 합금(AlNd), 구리(Cu), 구리합금, 크롬(Cr), 티타늄 합금을 증착하여 제 1 금속층(미도시)을 형성한 후, 포토레지스트의 도포, 마스크를 이용한 노광, 포토레지스트의 현상, 식각, 포토레지스트의 스트립(strip) 등의 공정을 포함하는 마스크 공정을 진행하여 일 방향으로 연장하는 게이트 배선(미도시)을 형성하고, 동시에 상기 스위칭 영역(TrA)에는 상기 게이트 배선(미도시)과 연결된 게이트 전극(103)을, 그리고 스토리지 영역(StgA)에는 제 1 스토리지 전극(105)을 형성한다. 이때, 상기 제 1 스토리지 전극(105)은 상기 게이트 배선(미도시)과 나란하게 공통배선(미도시)을 형성함으로써 상기 공통배선 (미도시)의 일부로 이루어지거나, 또는 전단 게이트 배선(미도시) 자체로 이루어질 수도 있다. 도면에서는 공통배선(미도시)이 형성됨으로써 상기 공통배선(미도시) 일부가 제 1 스토리지 전극(105)을 형성함을 일례로 보이고 있다.

다음, 도 5a 및 도 6b 에 도시한 바와 같이, 상기 게이트 배선(미도시), 게이트 전극(103), 제 1 스토리지 전극(105) 위로 전면에 무기절연물질 예를들면 산화실리콘(SiO₂) 또는 질화실리콘(SiNx)을 증착하여 게이트 절연막(110)을 형성한다.

이후, 연속하여 상기 게이트 절연막(110) 위로 순수 비정질 실리콘과 불순물 비정질 실리콘을 연속하여 증착함으로써 순수 비정질 실리콘층(미도시)과 불순물 비정질 실리콘층(미도시)을 형성하고, 이를 마스크 공정을 실시함으로써 패터닝하 여 상기 스위칭 영역(TrA)에 상기 게이트 전극(103)에 대응하여 액티브층(115a)과 그 상부로 불순물 비정질 실리콘 패턴(115b)을 형성한다.

다음, 도 5a 및 도 6c에 도시한 바와 같이, 상기 액티브층(115a)과 불순물 비정질 실리콘패턴(도 6b의 115b)과 상기 게이트 절연막(110) 위로 제 2 금속물질 예를들면 몰리브덴(Mo), 구리(Cu), 티타늄 합금, 알루미늄 합금(AlNd) 중 어느 하나를 증착하여 전면에 제 2 금속층(미도시)을 형성한다.

이후 상기 제 2 금속층(미도시)을 패터닝함으로써 상기 게이트 배선(미도시)과 교차하여 화소영역(P)을 정의하는 데이터 배선(119)을 형성한다. 또한 동시에 각 화소영역(P) 내의 스위칭 영역(TrA)에는 상기 불순물 비정질 실리콘패턴(도 6b의 115b) 위에서 서로 이격하는 형태로 소스 및 드레인 전극(120, 122)을 형성하며, 스토리지 영역(StgA)에는 상기 드레인 전극(122)과 연결된 제 2 스토리지 전극(124)을 형성한다. 이때 상기 소스 전극(120)은 상기 데이터 배선(119)과 연결되도록 한다.

이후, 드라이 에칭에 의해 소스 및 드레인 전극(120, 122) 사이의 불순물 비정질 실리콘 패턴(도 6b의 115b)을 제거함으로써 상기 소스 및 드레인 전극(120, 122) 사이로 상기 액티브층(115a)이 노출되도록 하고, 상기 액티브층(115a) 상부로 각각 소스 및 드레인 전극(120, 122)과 접촉하며 서로 이격하는 불순물 비정질 실리콘의 오믹콘택층(115c)을 형성한다. 이때, 상기 액티브층(115a)과 그 상부에서 서로 이격하는 오믹콘택층(115c)은 반도체층(115)을 이룬다.

한편, 전술한 반도체층(115)과 소스 및 드레인 전극(120, 122)의 형성 단계 는 각각 서로 다른 2회의 마스크 공정을 통해 이루어짐을 보이고 있지만, 변형예로서 도면으로 나타내지 않았지만, 상기 게이트 절연막(110) 위로 순수 및 불순물 비정질 실리콘층을 형성하고, 이를 패터닝하기 전에 상기 불순물 비정질 실리콘층 위로 상기 제 2 금속층을 형성한 상태에서 회절노광 또는 하프톤 노광 기법을 이용한 마스크 공정을 진행함으로써 서로 다른 두께를 갖는 포토레지스트 패턴을 형성하는 것을 특징으로 하는 1회의 마스크 공정을 통해 상기 반도체층과 소스 및 드레인 전극을 형성할 수도 있다. 이 경우 상기 데이터 배선 하부에는 상기 반도체층을 이루는 동일한 물질로써 반도체 패턴이 형성되게 된다.

상기 스위칭 영(TrA)에 순차 적층된 상기 게이트 전극(103)과 게이트 절연막(110)과 반도체층(115)과 서로 이격하는 소스 및 드레인 전극(120, 122)은 박막트랜지스터(Tr)를 이룬다.

다음, 도 5a 및 도 6d에 도시한 바와 같이, 상기 데이터 배선(미도시)과 소스 및 드레인 전극(120, 122)과 제 2 스토리지 전극(124) 전면에 유기절연물질 예를들면 포토아크릴(photo acryl) 또는 벤조사이클로부텐(BCB)을 도포하여 그 표면이 평탄한 상태를 갖는 제 1 보호층(130)을 형성한다. 이때, 상기 제 1 보호층(130)을 형성하기 전, 상기 박막트랜지스터(Tr) 위로 전면에 무기절연물질 예를들면 산화실리콘(SiO₂) 또는 질화실리콘(SiNx)을 증착함으로써 제 2 보호층(미도시)을 우선적으로 형성하고, 연속하여 상기 제 1 보호층(130)을 형성할 수도 있다.

이후, 상기 제 1 및 제 2 보호층(130, 미도시)을 마스크 공정을 진행하여 패 터닝함으로써 상기 박막트랜지스터(Tr)의 드레인 전극(122)을 노출시키는 드레인 콘택홀(132)을 형성한다. 이때, 변형예로써 유기절연물질로 이루어진 상기 제 1 보호층(130) 위로 무기절연물질을 증착함으로써 제 3 보호층(미도시)을 더욱 형성할 수도 있으며, 이 경우 드레인 콘택홀(132) 형성을 위한 패터닝 공정은 상기 제 3 보호층(미도시)을 형성 후 진행하게 된다.

이렇게 유기절연물질로 제 1 보호층(130) 이외에 제 2 및 제 3 보호층(미도시)을 형성하는 이유는 박막트랜지스터(Tr)의 특성 향상 및 추후 형성될 화소전극(미도시)과의 접합력을 강화시키기 위해서이다. 유기절연물질과 도전성 물질과의 접합력은 유기절연물질과 무기절연물질간의 접합력과 무기절연물질과 도전성 물질간의 접합력보다 약하기 때문에 유기절연물질과 도전성 물질 사이에 무기절연물질층을 개재함으로써 접합특성을 향상시킬 수 있다. 또한, 소스 및 드레인 전극(120, 122) 사이로 노출되는 액티브층(115a)은 그 표면이 유기절연물질과 접촉시에 그 계면 특성이 좋지 않게 되므로 특성 저하가 발생할 수 있으며 이를 방지하기 위해 계면 특성이 우수한 무기절연물질을 개재함으로써 특성 향상을 도모하기 위함이다.

다음, 도 5a 및 도 6e에 도시한 바와 같이, 상기 제 1 보호층(130)(또는 변형예의 경우 제 3 보호층(미도시)) 위로 투명 도전성 물질 예를들어 인듐-틴-옥사이드(ITO), 인듐-징크-옥사이드(IZO) 및 인듐-틴-징크-옥사이드(ITZO) 중 하나를 증착함으로써 도전성 물질층(미도시)을 형성한다.

이후, 상기 도전성 물질층(미도시)을 패터닝함으로써 각 화소영역(P) 내에는 상기 드레인 콘택홀(132)을 통해 상기 드레인 전극(122)과 접촉하는 화소전극(140) 을 형성한다.

한편, 본 발명의 또 다른 특징적인 것으로, 상기 게이트 배선(미도시)을 형성하는 단계, 상기 반도체층(115)을 형성하는 단계, 상기 데이터 배선(119)을 형성하는 단계 및 상기 화소전극(140)을 형성하는 단계 중 어느 한 단계에서 상기 어레이기판(101)의 비표시영역 외측의 절단영역(CA)(이 부분은 추후 절단되어 제거되는 부분임)에 컬러필터층(미도시) 형성 시 필요한 얼라인 마크(191)를 형성하는 것이 특징이다. 이때, 상기 컬러필터 형성 용 얼라인 마크(191)는 비표시영역(NA) 외측의 절단영역(CA) 중 표시영역(DA)을 사이에 두고 서로 마주하는 양측면과 상기 양측면을 연결하는 두 부분 중 어느 하나의 부분에 각각 하나씩 모두 3개를 형성하는 것이 컬러필터층(미도시) 내의 컬러필터 패턴(미도시)과 각 화소영역(P)과의 정확한 정렬을 위해 바람직하다.

다음, 도 5b 및 도 6f에 도시한 바와 같이, 상기 각 화소영역(P) 내에 형성된 화소전극(140) 위로 상기 표시영역(DA)에 대응하여 투명하고 유연한 특성을 갖는 재질 예를들면 PET로 이루어진 베이스 필름(150)과, 그 하부로 투명 도전성 물질로 전면에 형성된 공통전극(153)과, 그 하부로 축중합 반응을 통해 하전된 다수의 화이트 안료(156)와 블랙 안료(158)가 채워진 다수의 캡슐(160)을 포함하는 잉크층(163)과, 그 하부로 제 1 점착층(165)을 포함하는 전기영동 필름(167)을 상기 잉크층(163)이 상기 공통전극(153)과 상기 화소전극(140) 사이에 위치하며 상기 제 1 점착층(165)과 상기 화소전극(140)이 접촉되도록 부착한다.

다음, 도 5c 및 도 6g에 도시한 바와 같이, 상기 표시영역(DA)에 부착된 전 기영동 필름(167), 더욱 정확히는 상기 베이스 필름(150) 위로 상기 표시영역(DA) 전면에 적, 녹, 청색 중의 한 가지 예를 들면 적색 컬러 레지스트(color resist)를 스핀코팅(spin coating)등의 방법을 통하여 도포하여 적색 컬러필터층(미도시)을 형성한 후, 빛을 통과시키는 투과영역과 빛을 차단하는 차단영역으로 구성된 노광 마스크를 이용하여 상기 컬러필터층 형성용 얼라인 마크(191)를 통해 정확한 얼라인을 실시한 후, 노광을 실시하고, 노광된 상기 컬러 레지스트층을 현상함으로써 상기 표시영역(DA) 중 일부 즉, 제 1 영역(A1) 내에 위치하는 일부 화소영역(P)에 대응하여 적색 컬러필터 패턴(170a 또는 도 5c의 R)을 형성한다.

이후 상기 적색 컬러필터 패턴(170a 또는 도 5c의 R) 형성한 방법과 동일하게 진행하여 녹 및 청색 컬러필터 패턴(170b 또는 도 5c의 G, 170c 또는 도 5c의 B)을 상기 베이스 필름(150) 상의 제 1 영역(A1) 내의 일부 화소영역(P)에 대응하도록 형성함으로써 컬러필터층(170)을 완성한다. 이 경우 상기 적, 녹, 청색 컬러필터 패턴(R, G, B(또는 170a, 170b, 170c))은 각 화소영역(P)에 대응하여 순차 반복하는 형태가 되는 것이 특징이다. 이때 변형예로서 상기 적, 녹, 청색 컬러필터 패턴(R, G, B(또는 170a, 170b, 170c)) 이외에 적, 녹, 청색의 안료를 포함하지 않는 레지스트를 도포하고 패터닝함으로써 화이트 컬러필터 패턴(미도시)을 더욱 형성하여 적, 녹, 청 및 화이트 컬러필터 패턴(미도시)을 포함하는 4색의 컬러필터층(미도시)을 형성할 수도 있다. 이때, 상기 4색의 컬러필터층(미도시)의 경우, 상하좌우로 이웃한 4개의 화소영역에 대해 4색의 컬러필터 패턴이 각각 위치하도록 형성하는 것이 바람직하다.

또한, 전술한 방법은 안료분산법에 따른 컬러필터층(170)의 형성을 일례로 들고 있지만, 잉크젯 장치를 이용하여 각 화소영역(P) 별로 도팅하는 방법에 의해서도 3색 또는 4색의 컬러필터 패턴을 갖는 컬러필터층(170)을 형성할 수도 있다.

또한, 상기 3색 또는 4색의 컬러필터층(170)을 형성하기 전에 상기 베이스 필름(150) 위로 블랙레진을 도포하거나 또는 산화크롬 등의 블랙 계열의 금속물질을 증착하고 이를 패터닝함으로써 각 화소영역(P)의 경계 즉, 게이트 배선(미도시)과 데이터 배선(119)에 대응하여 블랙매트릭스(미도시)를 형성할 수도 있다. 이때 상기 블랙매트릭스(미도시) 또한 상기 컬러필터층(170)이 형성된 제 1 영역(A1)에 대응해서만 형형성되는 것이 바람직하다.

따라서, 표시영역(DA) 중 제 1 영역(A1)에 대응해서는 상기 베이스 필름(150) 위로 3색 또는 4색의 컬러필터 패턴을 갖는 컬러필터층(170)과 각 화소영역(P)의 경계에 블랙매트릭스(미도시)가 형성되는 반면, 제 2 영역(A2)에 대응해서는 상기 블랙매트릭스(미도시)와 컬러필터층(170)은 형성되지 않음으므로 상기 베이스 필름(150)의 표면을 노출시킨 상태를 유기하게 된다.

다음, 도 5c 및 도 6h에 도시한 바와 같이, 상기 컬러필터층(170) 위로 투명하고 유연한 플라스틱 재질의 보호필름(180)를 위치시키고, 상기 표시영역(DA) 주변의 비표시영역(NA)을 따라 씰패턴(미도시)을 형성하거나 또는 상기 보호필름(180) 내측으로 제 2 점착층(미도시)을 구비한 상태에서 상기 보호필름(180)을 상기 표시영역(DA)을 가리도록 상기 베이스 필름(150)이 부착된 상기 어레이 기판(101)과 합착한다.

이후 도 5d 및 도 6h에 도시한 바와같이, 상기 보호필름(180)이 부착된 상기 어레이기판(101)에 대해 상기 비표시영역(NA) 외측의 상기 컬러필터 형성용 얼라인 마크(191)가 형성된 부분을 절단하여 제거함으로써 본 발명에 따른 전기영동 표시장치(100)를 완성한다.

본 발명은 상기 실시예 및 그 변형예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 정신 및 사상을 벗어나지 않는 한도 내에서 다양하게 변형 및 변경할 수 있다는 것은 자명한 사실일 것이다.

도 1은 전기영동 표시장치의 구동 원리를 설명하기 위한 도면.

도 2는 종래에 따른 전기영동 표시장치를 개략적으로 나타낸 단면도.

도 3은 본 발명에 따른 전기영동 장치의 평면도.

도 4는 도 3을 절단선 Ⅳ-Ⅳ를 따라 절단한 부분에 대한 단면도.

도 5a 내지 5d는 본 발명에 따른 전기영동 장치의 제조 단계별 공정 평면도.

도 6a 내지 6h는 도 3을 절단선 Ⅳ-Ⅳ를 따라 절단한 부분에 대한 제조 단계별 공정 단면도.

< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

100 : 전기영동 표시장치 101 : 기판

130 : 보호층 140 : 화소전극

150 : 베이스 필름 153 : 공통전극

156 : 화이트 안료 158 : 블랙 안료

160 : 캡슐 163 : 잉크층

165 : 접착층 167 : 전기영동 필름

170 : 컬러필터층 180 : 보호시트

Claims (11)

1. 다수의 화소영역으로 구성되며, 풀컬러를 구현할 수 있는 제 1 영역과, 모노 타입의 화상을 구현할 수 있는 제 2 영역이 정의된 표시영역과, 상기 표시영역 주변의 비표시영역이 정의된 기판과;

   상기 기판 상에 서로 교차하여 다수의 각 화소영역을 정의하며 형성된 게이트 배선 및 데이터 배선과;

   상기 다수의 각 화소영역 내에 상기 게이트 배선 및 상기 데이터 배선과 연결되며 순차 적층된 형태로 게이트 전극과, 게이트 절연막과, 반도체층과, 서로 이격하는 소스 및 드레인 전극으로 구성된 박막트랜지스터와;

   상기 박막트랜지스터 위로 상기 박막트랜지스터의 드레인 전극을 노출시키는 드레인 콘택홀이 구성된 보호층과;

   상기 보호층 위로 상기 드레인 콘택홀을 통해 상기 박막트랜지스터의 드레인 전극과 접촉하며 각 화소영역 별로 형성된 화소전극과;

   상기 화소전극 위로 상기 표시영역에 대응하여 부착된 전기영동 필름과;

   상기 전기영동 필름 위로 상기 제 1 영역에 대응하여 형성된 컬러필터층과;

   상기 컬러필터층을 덮으며 상기 전기영동 필름 전면에 부착된 보호시트

   를 포함하는 전기영동 표시장치.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 전기영동 필름은,

   상기 화소전극과 접촉하는 점착층과, 그 상부로 순차 적층된 축중합 반응을 통해 하전된 다수의 화이트 안료와 블랙 안료가 채워진 다수의 캡슐로 이루어진 잉크층과, 투명한 공통전극과, 베이스 필름으로 구성된 것이 특징인 전기영동 표시장치.
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 보호층은 유기절연물질층의 단일층 구조를 이루거나,

   또는 무기절연물질층/유기절연물질층의 이중층 구조를 이루거나,

   또는 무기절연물질층/유기절연물질층/무기절연물질층의 3중층 구조를 이루는 것이 특징인 전기영동 표시장치.
4. 제 1 항에 있어서,

   상기 컬러필터층은 적, 녹, 청의 3색 컬러필터 패턴을 포함하거나 또는 적, 녹, 청 및 화이트의 4색 컬러필터 패턴을 포함하는 것이 특징인 전기영동 표시장치.
5. 제 1 항에 있어서,

   상기 다수의 각 화소영역에는 스토리지 커패시터가 구성된 전기영동 표시장치.
6. 제 5 항에 있어서,

   상기 스토리지 커패시터는 상기 게이트 배선과 동일한 층에 이격하며 형성된 공통배선과, 상기 드레인 전극이 중첩하도록 형성됨으로써 서로 중첩되는 상기 공통배선 및 드레인 전극을 각각 제 1 및 제 2 스토리지 전극으로 하고 이들 두 전극 사이에 개재된 상기 게이트 절연막을 유전체층으로 하여 구성된 것이 특징인 전기영동 표시장치.
7. 다수의 화소영역으로 구성되며, 풀컬러를 구현할 수 있는 제 1 영역과, 모노 타입의 화상을 구현할 수 있는 제 2 영역이 정의된 표시영역과, 상기 표시영역 주변의 비표시영역이 정의된 기판 상에 서로 교차하여 다수의 각 화소영역을 정의하며 형성된 게이트 배선 및 데이터 배선과 상기 다수의 각 화소영역 내에 상기 게이트 배선 및 상기 데이터 배선과 연결되며 순차 적층된 형태로 게이트 전극과, 게이트 절연막과, 반도체층과, 서로 이격하는 소스 및 드레인 전극으로 구성된 박막트 랜지스터를 형성하는 단계와;

   상기 박막트랜지스터 위로 상기 박막트랜지스터의 드레인 전극을 노출시키는 드레인 콘택홀이 구성된 보호층을 형성하는 단계와;

   상기 보호층 위로 상기 드레인 콘택홀을 통해 상기 박막트랜지스터의 드레인 전극과 접촉하며 각 화소영역 별로 화소전극을 형성하는 단계와;

   상기 화소전극 위로 상기 표시영역에 대응하여 전기영동 필름을 부착하는 단계와;

   상기 전기영동 필름 위로 상기 제 1 영역에 대응하여 컬러필터층을 형성하는 단계와;

   상기 컬러필터층을 덮으며 상기 전기영동 필름 전면에 보호시트를 부착하는 단계

   를 포함하는 전기영동 표시장치의 제조 방법.
8. 제 7 항에 있어서,

   상기 기판에는 상기 비표시영역 외측으로 절단영역이 정의되며, 상기 게이트 배선 및 데이터 배선을 형성하는 단계 또는 상기 화소전극을 형성하는 단계 중 어느 하나의 단계에서 상기 절단영역에 상기 컬러필터층 형성용 얼라인 마크를 형성하는 것을 특징으로 하는 전기영동 표시장치의 제조 방법.
9. 제 8 항에 있어서,

   상기 컬러필터층 형성용 얼라인 마크는 표시영역 주변의 서로 다른 방향의 3영역에 각각 1개씩 3개 형성하는 것이 특징인 전기영동 표시장치 제조 방법.
10. 제 8 항에 있어서,

    상기 보호시트를 부착하는 단계 이후에는 상기 절단영역을 절단하여 제거하는 단계를 포함하는 전기영동 표시장치의 제조 방법.
11. 제 7 항에 있어서,

    상기 게이트 및 데이터 배선과 상기 박막트랜지스터를 형성하는 단계는 스토리지 커패시터를 형성하는 단계를 포함하며,

    상기 게이트 배선과 이와 나란하게 공통배선과 상기 게이트 배선과 연결된 상기 게이트 전극을 형성하는 단계와;

    상기 게이트 배선과 게이트 전극 및 상기 공통배선 위로 상기 기판 전면에 상기 게이트 절연막을 형성하는 단계와;

    상기 게이트 절연막 위로 상기 게이트 전극에 대응하여 순수 비정질 실리콘의 액티브층과 그 상부로 서로 이격하며 불순물 비정질 실리콘의 오믹콘택층으로 구성된 반도체층을 형성하는 단계와;

    상기 게이트 절연막 위로 상기 게이트 배선과 교차하는 상기 데이터 배선을 형성하고, 상기 오믹콘택층 위로 상기 데이터 배선과 연결된 소스 전극 및 이와 이격하며 상기 공통배선과 중첩하는 드레인 전극을 형성하는 단계를 포함하는 전기영동 표시장치 제조 방법.

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