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KR20100048353A - Apparatus and method for removing static electricity when separating a slat display panel and holding chuck - Google Patents

Apparatus and method for removing static electricity when separating a slat display panel and holding chuck Download PDF

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KR20100048353A
KR20100048353A KR1020080107466A KR20080107466A KR20100048353A KR 20100048353 A KR20100048353 A KR 20100048353A KR 1020080107466 A KR1020080107466 A KR 1020080107466A KR 20080107466 A KR20080107466 A KR 20080107466A KR 20100048353 A KR20100048353 A KR 20100048353A
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display panel
panel display
static electricity
flat panel
metal plate
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조용명
조성은
조영신
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Abstract

PURPOSE: An apparatus and a method for removing static electricity are provided to separate a flat display panel from a holding chuck using a unit for removing the static electricity. CONSTITUTION: A material for dispersing static electricity is coated on one surface of a metal plate(130). The other side of the metal plate is grounded with ground resistance(134). A unit for removing static electricity(140) attaches the coated surface(132) of the metal plate to a flat display panel(120) which is fixed to a holding chuck(110). The flat display panel is separated from the holding chuck. The metal plate is separated from the flat display panel. The static electricity which is generated on the flat display panel and the holding chuck is removed by the coated surface and ground resistance.

Description

평판 디스플레이 패널과 고정척 분리용 정전기 제거장치 및 방법 {Apparatus and method for removing static electricity when separating a slat display panel and holding chuck }Electrostatic removing device and method for separating flat panel and fixed chuck {Apparatus and method for removing static electricity when separating a slat display panel and holding chuck}

본 발명의 적어도 하나의 실시예는 정전기에 관한 것으로, 특히, 정전기를 효과적으로 제거하기 위한 정전기 제거장치 및 방법에 관한 것이다. At least one embodiment of the present invention relates to static electricity, and more particularly, to a static electricity removing device and method for effectively removing static electricity.

평판 디스플레이 패널(a slat display panel)은 제작과 검사과정에서 작업을 위하여 기계의 고정척에 견고하게 고정된다. 작업이 종료되면 평판 디스플레이 패널은 고정척에서 분리되어 다음 공정으로 이동된다. 평판 디스플레이 패널이 고정척에서 분리될 때, 평판 디스플레이 패널과 고정척의 분리면에서 발생하는 정전기로 인한 정전기방전이 평판 디스플레이 패널에 있는 복수의 포토 셀(photo cell)이나 다른 전자소자에 전기적으로 손상을 주기 쉽다.A slat display panel is firmly fixed to the machine's fixture for work during the manufacturing and inspection process. When the job is finished, the flat panel display panel is removed from the fixed chuck and moved to the next process. When a flat panel display panel is detached from a fixed chuck, electrostatic discharge due to static electricity generated at the flat surface of the flat panel display and the chuck may electrically damage a plurality of photo cells or other electronic devices in the flat panel display panel. It is easy to give.

본 발명의 적어도 하나의 실시예가 이루고자 하는 기술적 과제는 평판 디스플레이 패널을 기계의 고정척에서 분리시킬 때 발생되는 정전기로부터 평판 디스플레이 패널을 보호하기 위한 정전기 제거장치 및 방법을 제공하는 데 있다. SUMMARY An object of the present invention is to provide an electrostatic eliminating device and method for protecting a flat panel display panel from static electricity generated when the flat panel display panel is separated from a fixed chuck of a machine.

상기 과제를 이루기 위해, 본 발명의 일 실시예에 따른 정전기 제거장치는, 일면은 전체적으로 기 설정된 정전기분산성 재료로 코팅되어 있고, 타면은 접지저항으로 접지된 금속판; 및 고정척에 고정된 평판 디스플레이 패널에 상기 금속판의 코팅면을 부착시키고 상기 평판 디스플레이 패널이 상기 고정척으로부터 분리된 후 상기 금속판을 상기 평판 디스플레이 패널로부터 분리하는 정전기 제거부를 포함할 수 있다. In order to achieve the above object, an electrostatic removing device according to an embodiment of the present invention, the one surface is coated with a predetermined electrostatic dispersion material as a whole, the other surface is grounded with a ground resistance; And a static electricity removing unit attaching the coating surface of the metal plate to the flat panel display panel fixed to the fixed chuck and separating the metal plate from the flat panel display panel after the flat panel display panel is separated from the fixed chuck.

상기 과제를 이루기 위해, 본 발명의 일 실시예에 따른 정전기 제거방법은, 일면은 전체적으로 기 설정된 정전기분산성 재료로 코팅되어 있고, 타면은 접지저항으로 접지된 금속판의 코팅면을 고정척상의 평판 디스플레이 패널에 부착하는 단계; 및 상기 평판 디스플레이 패널이 상기 고정척으로부터 분리된 후 상기 금속판을 상기 평판 디스플레이 패널로부터 분리하는 단계를 포함할 수 있다.In order to achieve the above object, in the static electricity removing method according to an embodiment of the present invention, one surface is coated with a predetermined electrostatic dissipative material as a whole, the other surface is a high-resolution flat-panel display of the coated surface of the metal plate grounded with ground resistance Attaching to the panel; And separating the metal plate from the flat panel display panel after the flat panel display panel is separated from the fixing chuck.

본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 그 첨부 도면을 설명하는 내용을 참조하여야만 한다.In order to fully understand the present invention, the operational advantages of the present invention, and the objects achieved by the practice of the present invention, reference should be made to the accompanying drawings that illustrate preferred embodiments of the present invention and the accompanying drawings.

이하, 본 발명의 적어도 하나의 실시예에 의한 정전기 제거장치 및 방법을 첨부한 도면들을 참조하여 다음과 같이 설명한다.Hereinafter, an electrostatic eliminating apparatus and method according to at least one embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 정전기 제거장치를 설명하기 위한 도면이며, 이하 도 1을 설명한다.1 is a view for explaining an electrostatic eliminating device according to an embodiment of the present invention, will be described below with reference to FIG.

앞에서 언급한 바와 같이, 제작 과정에 있는 평판 디스플레이 패널(120)은 복수의 포토 셀(photo cell)이나 다른 전자소자로 구성될 수 있다. LCD(Liquid Crystal Displayer) 패널, OLED(Organic Light Emitting Diodes) 패널, PDP(Plasma Display Panel) 패널은 본 명세서에 기재된 '평판 디스플레이 패널(120)'의 일 례(例)들이다.As mentioned above, the flat panel display panel 120 in the manufacturing process may be composed of a plurality of photo cells or other electronic devices. Liquid Crystal Displayer (LCD) panels, Organic Light Emitting Diodes (OLED) panels, and Plasma Display Panel (PDP) panels are examples of the 'flat display panel 120' described herein.

평판 디스플레이 패널을 기계의 고정척(110)에 고정시키는 방법은 기계에 따라 상이한 고정방법이 사용되고 있지만 대부분 진공이나 정전기력으로 고정시키고 있다. 기계에서 작업이 종료되면 평판 디스플레이 패널은 고정척에서 분리되어 다음 공정으로 이동된다. 여기서, 평판 디스플레이 패널(120)과 고정척(110) 사이의 공간은 단단히 밀착되어 있다.The method for fixing the flat panel display panel to the fixing chuck 110 of the machine is fixed by vacuum or electrostatic force. When the machine is finished, the flat panel display panel is removed from the fixed chuck and moved to the next process. Here, the space between the flat panel display panel 120 and the fixed chuck 110 is in close contact with each other.

평판 디스플레이 패널(120)에 대한 기 설정된 작업이 완료되면, 평판 디스플레이 패널(120)은 고정척(110)으로부터 분리된다. 본 명세서에서, '기 설정된 작업'은 평판 디스플레이 패널(120)의 완성품을 생산하기 위해 순차적으로 수행되어야 하는 '평판 디스플레이 패널(120)의 제작 공정들' 중 어떤 하나의 공정을 의미할 수 있다. When the preset operation on the flat panel display panel 120 is completed, the flat panel display panel 120 is separated from the fixed chuck 110. In the present specification, 'preset work' may mean any one of 'manufacturing processes of the flat panel display panel 120' to be sequentially performed in order to produce a finished product of the flat panel display panel 120.

한편, 그러한 분리 과정에서 평판 디스플레이 패널(120)과 고정척(110)이 분리되는 양면에서 정전기가 발생되는데, 이러한 정전기를 빠른 시간내에 제거하지 않는다면, 정전기 방전이 발생하여 평판 디스플레이 패널(120)에 있는 포토 셀이나 다른 전자소자의 일부가 파손될 수 있다. On the other hand, in such a separation process, the static electricity is generated on both sides of the flat panel display panel 120 and the fixed chuck 110 is separated, if the static electricity is not removed in a short time, the electrostatic discharge occurs to the flat panel display panel 120 Some of the photo cells or other electronic devices may be damaged.

본 발명의 일 실시예에 따른 정전기 제거장치는 '한 면은 정전기분산성 재료로 코팅된 코팅면(132)'이고 '그 한 면의 반대편 면은 접지저항(134)을 통해 접지 되어 있는 면'인 금속판(130)과, 금속판(130)의 평판 디스플레이 패널(120)에의 부착 여부를 제어하는 정전기 제거부(140)를 구비하며, 이러한 정전기 제거장치는 '평판 디스플레이 패널(120)이 고정척(110)으로부터 분리될 때 평판 디스플레이 패널(120)과 고정척의 분리면에 발생되는 정전기'를 제거한다.Electrostatic eliminating device according to an embodiment of the present invention is 'one side is the coating surface coated with the electrostatic dispersible material 132' and 'the other side of the surface is grounded through the grounding resistor 134' Phosphorus metal plate 130, and the static electricity removing unit 140 for controlling the attachment of the metal plate 130 to the flat panel display panel 120, such static elimination device 'flat display panel 120 is a fixed chuck ( The static electricity generated on the separation surface of the flat panel display panel 120 and the fixed chuck when removed from the 110 is removed.

이를 위해, 정전기 제거부(140)는 평판 디스플레이 패널(120)의 기 설정된 작업이 완료되면 평판 디스플레이 패널(120)의 면들 중 고정척(110)에 고정된 면의 반대편 면에 금속판(130)을 도 1에 도시된 바와 같이 부착시킨다. 여기서, 금속판(130)은 재질이 도전성의 금속 재질이고, 크기는 평판 디스플레이 패널(120)과 동일한 치수로서 두께가 3 내지 10mm 중 어느 한 값일 수 있다. 이 때, 금속판(130)과 평판 디스플레이 패널(120)의 마주보는 면들이 서로 동일한 치수라는 것은 설명의 편의상 도 1에 그와 같이 도시되어 있음을 의미하며, 금속판(130)의 치수와 평판 디스플레이 패널(120)의 치수간의 관계는 다양할 수 있다. 한편, 금속판(130)의 적어도 일면의 전체 부분은 기 설정된 정전기분산성 재료(132)로 코팅되어 있다. 이 때, 정전기분산성 재료(132)의 표면저항값은

Figure 112008075699547-PAT00001
내지
Figure 112008075699547-PAT00002
[Ω] 중에서의 어느 하나의 값으로 기 설정된 저항값일 수 있다.To this end, the electrostatic removing unit 140, when the predetermined operation of the flat panel display panel 120 is completed, the metal plate 130 on the opposite side of the surface fixed to the fixing chuck 110 of the flat panel display panel 120 Attach as shown in FIG. Here, the metal plate 130 is a conductive metal material, the size is the same as the flat panel display panel 120, the thickness may be any one of 3 to 10mm. In this case, the opposite surfaces of the metal plate 130 and the flat panel display panel 120 having the same dimensions mean that the surfaces of the metal plate 130 and the flat panel display panel 120 are the same. The relationship between the dimensions of 120 may vary. Meanwhile, the entire portion of at least one surface of the metal plate 130 is coated with a predetermined electrostatic dissipative material 132. At this time, the surface resistance value of the electrostatic dissipative material 132 is
Figure 112008075699547-PAT00001
To
Figure 112008075699547-PAT00002
The resistance value may be a predetermined value of any one of [Ω].

구체적으로, 정전기 제거부(140)는 고정척(110)에 고정되어 있는 평판 디스플레이 패널(120)에 금속판(130)의 코팅면(132)을 부착시킨다. 여기서, 코팅면이란 정전기분산성 재료로 코팅된 면을 의미한다.Specifically, the static electricity removing unit 140 attaches the coating surface 132 of the metal plate 130 to the flat panel display panel 120 that is fixed to the fixing chuck 110. Here, the coated surface means a surface coated with an electrostatic dispersible material.

도 1에 도시된 바에 따르면, 정전기 제거장치는 고정척(110)상에 고정되어 있는 평판 디스플레이 패널(120)의 윗면에 금속판(130)의 코팅면을 부착시킨다. 도 1에 도시된 바에서 금속판(130)은 아랫면만 정전기분산성 재료(132)로 코팅되어 있다. As shown in FIG. 1, the static electricity removing device attaches the coating surface of the metal plate 130 to the top surface of the flat panel display panel 120 that is fixed on the fixing chuck 110. As shown in FIG. 1, the metal plate 130 is coated only with the electrostatic dispersible material 132 on the bottom surface thereof.

평판 디스플레이 패널(120)이 고정척(110)으로부터 분리될 때 평판 디스플레이 패널(120)과 고정척(110)의 양면에 발생된 정전기는, 평판 디스플레이 패널(120)에 부착되어 있는 금속판(130)의 정전기분산성 코팅면(132)과 금속판(130) 그리고 접지저항(134)을 통해 제거된다. 여기서, 접지저항(134)의 일단은 접지되어 있고, 타단은 금속판(130)의 상면에 연결되어 있다. When the flat panel display panel 120 is separated from the fixed chuck 110, the static electricity generated on both sides of the flat panel display panel 120 and the fixed chuck 110 may be attached to the metal plate 130 attached to the flat display panel 120. It is removed through the electrostatic dispersion coating surface 132 and the metal plate 130 and the ground resistance 134 of. Here, one end of the grounding resistor 134 is grounded, and the other end is connected to the upper surface of the metal plate 130.

한편, 고정척(110)과 평판 디스플레이 패널(120)의 분리과정에서 발생된 정전기의 제거시간(=정전기가 모두 제거되는데 소요되는 총 시간)이 지나치게 짧으면, 평판 디스플레이 패널(120)은 오히려 전기적으로 손상될 수 있다.On the other hand, when the removal time of static electricity generated during the separation of the fixed chuck 110 and the flat panel display panel (= total time required to remove all static electricity) is too short, the flat panel display panel 120 is rather electrically Can be damaged.

이를 감안하여, 코팅면(132)의 표면저항의 저항치 및 접지저항(134)의 저항치는 평판 디스플레이 패널(120)의 분리과정에서 발생된 정전기의 제거시간이 기 설정된 임계시간을 초과하도록 설정된 수치이다. 임계시간은 1ms이상의 기 설정된 시간일 수 있다. 0.1초는 임계시간의 일 례이다.In view of this, the resistance value of the surface resistance of the coating surface 132 and the resistance value of the ground resistance 134 are values set such that the removal time of static electricity generated during the separation of the flat panel display panel 120 exceeds a preset threshold time. . The threshold time may be a preset time of 1 ms or more. 0.1 second is an example of the threshold time.

이로써, 본 발명의 일 실시예에 따른 정전기 제거장치는 고정척(110)과 평판 디스플레이 패널(120)의 분리과정에서 발생된 정전기를 평판 디스플레이 패널(120)에 아무런 전기적 손상도 가하지 않은 채 안전하게 제거할 수 있다. Thus, the static electricity removing device according to an embodiment of the present invention safely removes static electricity generated during the separation of the fixing chuck 110 and the flat panel display panel 120 without any electrical damage to the flat panel display panel 120. can do.

이와 같이 평판 디스플레이 패널(120)에서 정전기가 모두 제거되면, 정전기 제거부(140)는 금속판(130)을 평판 디스플레이 패널(120)로부터 분리시킨다.As such, when all static electricity is removed from the flat panel display panel 120, the static electricity removing unit 140 separates the metal plate 130 from the flat panel display panel 120.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 정전기 제거방법을 나타내는 플로우챠트 이며, 이하 도 1를 참조하며 도 2를 설명한다.FIG. 2 is a flowchart illustrating a method of removing static electricity according to an embodiment of the present invention. Hereinafter, FIG. 2 will be described with reference to FIG. 1.

평판 디스플레이 패널(120)에 대한 기 설정된 작업이 완료된다(제210 단계).The preset operation on the flat panel display panel 120 is completed (step 210).

제210 단계 후에, 본 발명의 일 실시예에 따른 정전기 제거장치는 고정척(110)상의 평판 디스플레이 패널(120)에 금속판(130)의 코팅면(132)을 부착시킨다(제220 단계). 이 때, 금속판(130)의 코팅면(132)의 반대면은 접지저항(134)을 통해 접지되어 있다.After operation 210, the static eliminating device according to the embodiment of the present invention attaches the coating surface 132 of the metal plate 130 to the flat panel display panel 120 on the fixing chuck 110 (operation 220). At this time, the opposite surface of the coating surface 132 of the metal plate 130 is grounded through the grounding resistor 134.

제220 단계 후에, 평판 디스플레이 패널(120)이 고정척(110)으로부터 분리된다(제230 단계).After operation 220, the flat panel display panel 120 is separated from the fixing chuck 110 (operation 230).

제230 단계 후에, 본 발명의 일 실시예에 따른 정전기 제거장치는 금속판(130)을 평판 디스플레이 패널(120)로부터 분리시킨다.(제240 단계).After operation 230, the static electricity removing device according to the embodiment of the present invention separates the metal plate 130 from the flat panel display panel 120 (operation 240).

이제까지 본 발명을 바람직한 실시예들을 중심으로 살펴보았다. 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 변형된 형태로 구현될 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로, 개시된 실시예들은 한정적인 관점이 아니라 설명적인 관점에서 고려되어야 한다. 본 발명의 범위는 전술한 설명이 아니라 특허청구범위에 나타나 있으며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 차이점들은 본 발명에 포함된 것으로 해석되어야 할 것이다.So far, the present invention has been described with reference to the preferred embodiments. Those skilled in the art will appreciate that the present invention can be implemented in a modified form without departing from the essential features of the present invention. Therefore, the disclosed embodiments should be considered in descriptive sense only and not for purposes of limitation. The scope of the present invention is shown in the claims rather than the foregoing description, and all differences within the scope will be construed as being included in the present invention.

이상에서 언급된 본 발명의 일 실시예에 따른 정전기 제거장치는, 평판 디스플레이 패널의 초기 제작공정부터 최종 검사공정까지 평판 디스플레이 패널을 고정시켜서 작업하고 작업이 종료되면 평판 디스플레이 패널을 고정척에서 분리하는 모 든 기계 중에서 평판 디스플레이 패널과 고정척의 분리과정에 발생하는 정전기로 인하여 문제가 발생할 수 있는 모든 기계에 적용될 수 있다.Electrostatic eliminating device according to an embodiment of the present invention mentioned above, by fixing the flat panel display panel from the initial manufacturing process of the flat panel display panel to the final inspection process, and separating the flat panel display panel from the fixed chuck when the operation is finished Among all the machines, it can be applied to all machines where problems can be caused by the static electricity generated during the separation of the flat panel display panel and the fixed chuck.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 정전기 제거장치를 설명하기 위한 도면이다.1 is a view for explaining the static electricity removing device according to an embodiment of the present invention.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 정전기 제거방법을 설명하기 위한 플로우챠트이다.2 is a flowchart illustrating a method of removing static electricity according to an embodiment of the present invention.

Claims (8)

일면은 전체적으로 기 설정된 정전기분산성 재료로 코팅되어 있고, 타면은 접지저항으로 접지된 금속판; 및One surface is coated with a predetermined electrostatic dissipative material as a whole, the other surface is grounded with a ground resistance; And 고정척에 고정된 평판 디스플레이 패널에 상기 금속판의 코팅면을 부착시키고 상기 평판 디스플레이 패널이 상기 고정척으로부터 분리된 후 상기 금속판을 상기 평판 디스플레이 패널로부터 분리하는 정전기 제거부를 포함하는 정전기 제거장치.And a static electricity removing unit attaching the coating surface of the metal plate to the flat panel display panel fixed to the fixed chuck and separating the metal plate from the flat panel display panel after the flat panel display panel is separated from the fixed chuck. 제1 항에 있어서, 상기 접지저항 및 상기 정전기분산성 재료의 표면저항치는, 상기 금속판에 부착된 상기 평판 디스플레이 패널이 상기 고정척으로부터 분리될 때 발생되는 정전기의 제거시간이 임계시간을 초과하도록 설정된 수치인 정전기 제거장치.2. The method of claim 1, wherein the ground resistance and the surface resistance of the electrostatic dissipative material are set such that the removal time of static electricity generated when the flat panel display panel attached to the metal plate is separated from the fixing chuck exceeds a threshold time. Numerical static eliminator. 제2 항에 있어서, 상기 임계시간은 1ms이상의 기 설정된 시간인 정전기 제거장치.The static electricity removing device of claim 2, wherein the threshold time is a preset time of 1 ms or more. 제1 항에 있어서, 상기 금속판은 상기 평판 디스플레이 패널에 대한 기 설정된 작업이 완료된 뒤 상기 평판 디스플레이 패널에 부착되는 것을 특징으로 하는 정전기 제거장치.The apparatus of claim 1, wherein the metal plate is attached to the flat panel display panel after a predetermined operation on the flat panel display panel is completed. 일면은 전체적으로 기 설정된 정전기분산성 재료로 코팅되어 있고, 타면은 접지저항으로 접지된 금속판의 코팅면을 고정척상의 평판 디스플레이 패널에 부착하는 단계; 및Attaching a coating surface of a metal plate grounded on one surface to a whole with a predetermined electrostatic dissipative material, and the other surface to a flat-panel display panel on a fixed chuck; And 상기 평판 디스플레이 패널이 상기 고정척으로부터 분리된 후 상기 금속판을 상기 평판 디스플레이 패널로부터 분리하는 단계를 포함하는 정전기 제거방법.And separating the metal plate from the flat panel display panel after the flat panel display panel is separated from the fixing chuck. 제5 항에 있어서, 상기 접지저항 및 상기 정전기분산성 재료의 표면저항치는, 상기 금속판에 부착된 상기 평판 디스플레이 패널이 상기 고정척으로부터 분리될 때 발생되는 정전기의 제거시간이 임계시간을 초과하도록 설정된 수치인 정전기 제거방법.6. The method of claim 5, wherein the ground resistance and the surface resistance of the electrostatic dissipative material are set such that the removal time of static electricity generated when the flat panel display panel attached to the metal plate is separated from the fixing chuck exceeds a threshold time. How to remove static electricity. 제6 항에 있어서, 상기 임계시간은 1ms이상의 기 설정된 시간인 것을 특징으로 하는 정전기 제거방법.The method of claim 6, wherein the threshold time is a predetermined time of 1 ms or more. 제5 항에 있어서, 상기 금속판은 상기 평판 디스플레이 패널에 대한 기 설정된 작업이 완료된 뒤 상기 평판 디스플레이 패널에 부착되는 것을 특징으로 하는 정전기 제거방법.The method of claim 5, wherein the metal plate is attached to the flat panel display panel after a predetermined operation on the flat panel display panel is completed.
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