[go: up one dir, main page]
More Web Proxy on the site http://driver.im/

KR20090090018A - Opening and closing device of chamber lid using gas spring, and opening and closing method using the same - Google Patents

Opening and closing device of chamber lid using gas spring, and opening and closing method using the same Download PDF

Info

Publication number
KR20090090018A
KR20090090018A KR1020080015246A KR20080015246A KR20090090018A KR 20090090018 A KR20090090018 A KR 20090090018A KR 1020080015246 A KR1020080015246 A KR 1020080015246A KR 20080015246 A KR20080015246 A KR 20080015246A KR 20090090018 A KR20090090018 A KR 20090090018A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
lead
lid
opening
support block
closing
Prior art date
Application number
KR1020080015246A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
이주일
Original Assignee
주성엔지니어링(주)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주성엔지니어링(주) filed Critical 주성엔지니어링(주)
Priority to KR1020080015246A priority Critical patent/KR20090090018A/en
Publication of KR20090090018A publication Critical patent/KR20090090018A/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67772—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading involving removal of lid, door, cover
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
    • F16K3/02—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
    • F16K3/16—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together
    • F16K3/18—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together by movement of the closure members
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67155—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations
    • H01L21/6719—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations characterized by the construction of the processing chambers, e.g. modular processing chambers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Fluid-Damping Devices (AREA)

Abstract

An opening and closing device of a chamber lid using a gas spring, and opening and closing method using the same are provided to prevent an unexpected danger by making the lid from being opened in rapidly. A support block(110) is combined in a chamber body(10). An shaft hole is formed in a support block, and a rotary shaft(120) is combined. A lead connector member(130) connects the lead to the rotary shaft, and the gas spring(140) is installed between a support block and the lead in order to apply a buffer power in opening and closing the lid(20). The gas spring is directly connected to the central part of the lid.

Description

가스 스프링을 이용한 챔버 리드 개폐장치와 이를 이용한 리드 개폐 방법{Opening and closing device of chamber lid using gas spring, and opening and closing method using the same}Chamber lid opening and closing device using gas spring and opening and closing method using same {Opening and closing device of chamber lid using gas spring, and opening and closing method using the same}

본 발명은 반도체소자 또는 평면표시장치의 제조를 위한 챔버의 리드(lid)를 여닫는 개폐장치에 관한 것으로서, 구체적으로는 가스스프링을 이용하는 개폐장치와 이를 이용한 개폐 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an opening and closing device for opening and closing a lid of a chamber for manufacturing a semiconductor device or a flat panel display device, and more particularly, to an opening and closing device using a gas spring and an opening and closing method using the same.

일반적으로 반도체소자 또는 평판표시장치를 제조하기 위해서는 기판에 특정 물질의 박막을 증착하는 박막증착공정, 감광성 물질을 사용하여 이들 박막 중 선택된 영역을 노출 또는 은폐시키는 포토리소그라피 공정, 선택된 영역의 박막을 제거하여 목적하는 대로 패터닝하는 식각(etching)공정 등을 거치게 되며, 이들 각 공정은 해당 공정을 위해 최적의 환경으로 설계된 챔버 내부에서 진행된다.Generally, in order to manufacture a semiconductor device or a flat panel display device, a thin film deposition process for depositing a thin film of a specific material on a substrate, a photolithography process for exposing or hiding selected areas of the thin films using a photosensitive material, and removing the thin film of the selected area By going through the etching (patterning) process, such as patterning as desired, each of these processes is carried out in the chamber designed to the optimum environment for the process.

특히 최근에는 단시간에 다량의 기판을 처리하기 위해 기판에 대한 공정이 진행되는 공정챔버와, 기판의 출입을 위한 완충영역인 로드락챔버와, 로드락챔버와 공정챔버 사이에서 기판을 이송 또는 회송하는 이송챔버 등이 일체로 연결된 클러스터형 기판처리장치가 많이 사용되고 있다. In particular, in recent years, a process chamber in which a process for a substrate is processed to process a large amount of substrates in a short time, a load lock chamber which is a buffer region for entering and exiting a substrate, and a substrate is transferred or returned between the load lock chamber and the process chamber. A cluster type substrate processing apparatus in which a transfer chamber or the like is integrally used is frequently used.

이들 각 챔버들은 공통적으로 내부에 공간이 형성된 챔버몸체와, 챔버몸체의 상단에 리드(lid)를 포함한다. 그리고 챔버몸체와 리드를 분리가능하게 결합함으로써 챔버 내부에 대한 유지관리가 필요한 경우에 챔버를 분해조립할 수 있다.Each of these chambers includes a chamber body having a space formed therein in common, and a lid on an upper end of the chamber body. In addition, the chamber body and the lid may be detachably coupled to disassemble and assemble the chamber when maintenance of the inside of the chamber is required.

한편, 리드는 통상 알루미늄 등의 금속재질로 제조되는 데다 매우 무겁기 때문에 챔버몸체로부터 분리해야 하는 경우에는 별도의 개폐장치가 필요하다. 개폐장치의 구동방식은 대략 실린더방식과 기어방식으로 구분된다.On the other hand, since the lead is usually made of a metal material such as aluminum and is very heavy, a separate opening and closing device is required when it is to be separated from the chamber body. The driving method of the switchgear is roughly divided into a cylinder type and a gear type.

기어방식은 회전운동을 직선운동으로 변환하는 웜기어 또는 헬리컬 기어를 이용하며, 작업자가 핸들을 회전시키면 설정된 기어비에 따라 리드를 챔버몸체로부터 분리시키는 방식이다.The gear method uses a worm gear or a helical gear that converts rotational motion into linear motion. When the operator rotates the handle, the lead is separated from the chamber body according to the set gear ratio.

기어방식을 이용할 경우 작업자가 작은 힘으로 리드를 들어올리기 위해서는 충분한 기어비가 필요한데, 기어비가 클수록 챔버상부에 설치되는 기어블록의 크기나 설치비용이 증가하고 리드를 들어올리는데 필요한 핸들 회전수가 늘어나 작업시간이 오래 걸리는 단점이 있다. 작업시간을 단축하기 위해 모터를 이용하여 핸들을 회전시키는 경우도 있으나 이로 인해 비용증가가 불가피해지는 문제점이 있다.When using the gear method, a sufficient gear ratio is required for the operator to lift the lead with a small force.A higher gear ratio increases the size or installation cost of the gear block installed in the upper chamber, and increases the number of rotations of the handle required to lift the lead, thereby increasing the working time. It takes a long time. In some cases, the handle is rotated using a motor to shorten the working time.

실린더 방식은 챔버상부에 설치된 가스실린더 블록과 리드의 중앙부를 연결부재로 연결한 후에 가스실린더를 이용하여 연결부재를 들어올리는 방식이다. 이러한 실린더 방식은 구조가 복잡하고 설치면적을 많이 차지할 뿐만 아니라 리드 업다운시에 리드의 위치 제어가 불안정한 단점이 있다. 또한 가스실린더의 작동에 문제 가 발생하면 작업 안정성이 위협을 받는 문제점이 있다.The cylinder method is a method of lifting the connecting member by using a gas cylinder after connecting the gas cylinder block installed in the upper chamber and the center portion of the lid with the connecting member. Such a cylinder method has a disadvantage in that the structure is complicated and occupies a large area, and the position control of the lead is unstable at the time of lead up and down. In addition, when a problem occurs in the operation of the gas cylinder there is a problem that the work stability is threatened.

또한 어떠한 방식으로 리드를 개폐하든지 개폐과정에서 리드와 챔버상단의 마찰로 인하여 파티클이 발생하여 챔버 내부가 오염되는 문제점이 있다.In addition, no matter how the lid is opened or closed, particles are generated due to friction between the lid and the upper chamber during the opening and closing process, thereby contaminating the inside of the chamber.

본 발명은 이러한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 반도체소자 또는 평면표시장치를 제조하는 기판처리장치의 챔버의 리드를 작은 힘으로 안전하게 개폐할 수 있는 장치를 제공하는데 목적이 있다.An object of the present invention is to provide an apparatus capable of safely opening and closing a lid of a chamber of a substrate processing apparatus for manufacturing a semiconductor device or a flat panel display with a small force.

또한 설치면적이 작고 컴팩트한 리드 개폐장치를 제공하는데 목적이 있다. 또한 리드 개폐과정에서 마찰로 인한 파티클의 발생을 방지하는 개폐장치를 제공하는데 목적이 있다.It is also an object to provide a compact lead opening and closing device with a small installation area. In addition, an object of the present invention is to provide an opening and closing device for preventing generation of particles due to friction during lead opening and closing process.

본 발명은 전술한 문제를 해결하기 위하여, 챔버몸체에 결합되는 리드를 개폐하는 장치에 있어서, 상기 챔버몸체에 결합되는 지지블록; 상기 지지블록에 형성되며 회전축이 결합되는 축홀; 상기 리드를 상기 회전축에 연결하는 리드연결부재; 리드 개폐시에 완충력을 제공하기 위해 상기 지지블록과 상기 리드의 사이에 설치되는 가스스프링을 포함하는 리드 개폐 장치를 제공한다.The present invention, in order to solve the above problems, the device for opening and closing the lead coupled to the chamber body, the support block coupled to the chamber body; A shaft hole formed in the support block and having a rotating shaft coupled thereto; A lead connecting member connecting the lead to the rotating shaft; To provide a lid opening and closing device including a gas spring installed between the support block and the lid to provide a buffer force when opening and closing the lid.

상기 리드 개폐 장치에서 상기 축홀은 수직방향의 내경이 상기 회전축의 직 경보다 큰 것을 특징으로 할 수 있다.In the lid opening and closing device, the shaft hole may be characterized in that the inner diameter in the vertical direction is larger than the diameter of the rotating shaft.

또한 상기 가스스프링은 상기 리드의 중앙부에 직접 연결되는 것을 특징으로 할 수 있다.In addition, the gas spring may be directly connected to the central portion of the lead.

또한 상기 리드연결부재는 그 저면의 일부가 상기 리드의 상부의 주변부에 결합하되, 일단은 상기 회전축에 연결되고 타단은 상기 리드의 중앙부에서 상기 가스스프링에 연결되는 것을 특징으로 할 수 있다.In addition, the lead connecting member may be a part of the bottom surface is coupled to the periphery of the upper portion of the lead, one end is connected to the rotating shaft and the other end may be characterized in that connected to the gas spring at the center of the lead.

또한 상기 지지블록에는 제1핀홀이 형성되고, 상기 리드연결부재 또는 상기 리드는 상기 리드를 완전히 연 상태에서 상기 지지블록과 접하는 한편 상기 제1핀홀과 연통하는 제2핀홀을 구비하는 멈춤블록을 구비하며, 상기 제1핀홀과 상기 제2핀홀이 연통하였을 때 멈춤핀을 삽입함으로써 상기 리드를 고정시키는 것을 특징으로 할 수 있다.In addition, the support block has a first pin hole is formed, the lead connecting member or the lead is provided with a stop block having a second pin hole in contact with the support block while communicating with the first pin hole while the lead is fully open; The lead pin may be fixed by inserting a stop pin when the first pin hole and the second pin hole communicate with each other.

또한 2개의 상기 가스스프링이 서로 이격되어 평행하게 설치된 것을 특징으로 할 수 있다.In addition, the two gas springs may be spaced apart from each other and may be installed in parallel.

본 발명에 따르면, 가스스프링을 이용하여 챔버의 리드를 개폐하기 때문에 작업자가 작은 힘으로 리드를 개폐할 수 있다. 또한 별도의 구동장치가 필요하지 않기 때문에 설치면적이 작은 장점이 있다.According to the present invention, since the lid of the chamber is opened and closed using the gas spring, the operator can open and close the lid with a small force. In addition, the installation area is small because there is no need for a separate drive device.

또한 가스스프링 자체의 완충작용으로 인해 리드가 급속하게 개폐되지 않기 때문에 작업 안정성이 높은 장점이 있다. 특히 멈춤핀을 사용함으로써 돌발적인 위 험을 방지할 수 있다.In addition, since the lid does not open and close rapidly due to the buffering action of the gas spring itself, there is an advantage of high work stability. In particular, the use of stop pins can prevent accidental risks.

또한 지지블록의 축홀이 장공이어서 챔버몸체의 직상부에서는 리드가 수직운동을 하기 때문에 리드와 챔버몸체의 마찰로 인한 파티클 발생이 예방되는 장점이 있다.In addition, because the shaft hole of the support block is a long hole, the lead moves vertically in the upper portion of the chamber body, thereby preventing the generation of particles due to friction between the lid and the chamber body.

이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다.Hereinafter, with reference to the drawings will be described a preferred embodiment of the present invention.

도 1은 챔버몸체(10)의 상단에 설치되어 리드(20)를 개폐하는 본 발명의 실시예에 따른 리드 개폐장치(100)를 나타낸 측면도이다. 또한 도 2 및 도 3은 각각 리드 개폐장치(100)를 이용하여 리드(20)를 들어올린 상태를 나타낸 측면도 및 평면도이다.1 is a side view showing a lid opening and closing device 100 according to an embodiment of the present invention to be installed on the top of the chamber body 10 to open and close the lid 20. 2 and 3 are side and plan views showing a state in which the lid 20 is lifted using the lid opening and closing apparatus 100, respectively.

본 발명의 리드 개폐장치(100)는 챔버몸체(10)의 상단부에 고정되는 지지블록(110), 지지블록(110)의 회전축(120)과 리드(20)를 연결하는 리드연결부재(130), 일단은 리드연결부재(130)에 연결되고 타단은 지지블록(110)에 연결되는 가스스프링(140)을 포함한다.Lead opening and closing device 100 of the present invention is the support block 110 is fixed to the upper end of the chamber body 10, the lead connecting member 130 for connecting the rotation shaft 120 and the lead 20 of the support block 110 , One end is connected to the lead connecting member 130 and the other end includes a gas spring 140 is connected to the support block 110.

챔버몸체(10)의 상부에는 개구부가 형성되고 그 주변을 따라 오링(12)이 설치된다.An opening is formed in an upper portion of the chamber body 10, and an O-ring 12 is installed along the periphery thereof.

리드연결부재(130)는 리드(20)의 상부에 위치하고 그 저면의 일부분이 리드(20)의 상부의 주변부에 고정된다. 또한 리드연결부재(130)의 일단은 리드(20)의 에지 바깥쪽으로 연장되어 지지블록(110)의 회전축(120)에 연결되고, 타단은 리 드(20)의 중앙부에 위치하며 가스스프링(140)에 연결된다.The lead connecting member 130 is positioned above the lead 20, and a portion of the bottom surface thereof is fixed to the periphery of the upper portion of the lead 20. In addition, one end of the lead connecting member 130 extends outside the edge of the lead 20 is connected to the rotation shaft 120 of the support block 110, the other end is located in the center of the lead 20 and the gas spring 140 )

이와 같이 리드연결부재(130)를 설치한 것은 특히 이송챔버에서 리드(20)의 중앙부에 투명창(도 3 참조)이 형성된 경우가 많고, 이 경우에는 가스스프링(140)의 일단을 리드(20)에 직접 연결하기가 곤란하기 때문이다.In this case, the lead connecting member 130 is installed in many cases, in particular, a transparent window (refer to FIG. 3) is formed in the center of the lead 20 in the transfer chamber. In this case, one end of the gas spring 140 is connected to the lead 20. This is because it is difficult to connect directly to).

따라서 리드(20)의 중앙부에 투명창이 없는 경우에는 가스스프링(140)의 일단을 리드(20)의 중앙부에 직접 연결하고, 리드연결부재(130)는 리드(20)와 회전축(120)만을 연결할 수도 있다.Therefore, when there is no transparent window in the center of the lead 20, one end of the gas spring 140 is directly connected to the center of the lead 20, the lead connecting member 130 connects only the lead 20 and the rotating shaft 120 It may be.

한편 가스스프링(140)에 가해지는 힘을 최소화하기 위해서는 가스스프링(140)의 일단은 챔버몸체(10) 보다 높은 위치에서 지지블록(110)에 대해 회전 가능하게 연결하는 것이 바람직하다.Meanwhile, in order to minimize the force applied to the gas spring 140, one end of the gas spring 140 may be rotatably connected to the support block 110 at a position higher than the chamber body 10.

또한 가스스프링(140)의 타단을 리드(20)의 중앙에서 리드연결부재(130)(또는 리드(20))에 연결함으로써 힘을 한군데로 집중시키고 관성모멘트를 최소화할 수 있다.In addition, by connecting the other end of the gas spring 140 to the lead connecting member 130 (or lead 20) in the center of the lead 20 can concentrate the force in one place and minimize the moment of inertia.

리드(20)의 회전력을 제어하는 가스스프링(140)을 1개만 설치하면, 리드(20)가 움직일 때 흔들릴 수 있다. 이를 방지하기 위해서는 도 3에 도시된 바와 같이 2개의 가스스프링(140a, 140b)을 리드연결부재(130)를 중심으로 평행하게 설치함으로써 수평방향의 균형을 맞추는 것이 바람직하다. 이때 각 가스스프링(140,140)이 압축성능이 동일해야 함은 물론이다. If only one gas spring 140 for controlling the rotational force of the lid 20 is installed, it can be shaken when the lid 20 moves. In order to prevent this, as shown in FIG. 3, it is preferable to balance the horizontal direction by installing two gas springs 140a and 140b in parallel with respect to the lead connecting member 130. At this time, it is a matter of course that each of the gas springs 140 and 140 have the same compression performance.

챔버를 유지보수하기 위하여 작업자가 리드손잡이(22)를 잡고 위로 들어올리면, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이 가스스프링(140)의 작용에 의하여 리드연결부재(130) 및 리드(20)가 지지블록(110)의 회전축(120)을 중심으로 회전하면서 리드(20)가 열린다.When the operator grasps the lead handle 22 and lifts it up to maintain the chamber, as shown in FIGS. 2 and 3, the lead connecting member 130 and the lead 20 are actuated by the action of the gas spring 140. The lid 20 opens while rotating about the rotation shaft 120 of the support block 110.

한편 리드(20)를 들어올린 후에 작업자가 손을 떼면 리드(20)의 하중으로 인해 비록 느리긴 하지만 리드(20)가 내려오게 된다. 이를 방지하기 위하여 리드(20)가 완전히 열린 후에 리드(20)를 고정시킬 수단이 필요하다. On the other hand, if the operator releases the hand after lifting the lid 20, the lid 20 is lowered although it is slow due to the load of the lid 20. In order to prevent this, a means for fixing the lid 20 after the lid 20 is completely opened is required.

본 발명에서는 이를 위하여 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이 리드연결부재(130)에 멈춤블록(132)을 형성하고, 리드(20)가 들어올려진 상태에서 상기 멈춤블록(132)의상부에서 멈춤핀(150)을 삽입하여 멈춤블록(132)을 지지블록(110)에 대해 고정시킨다.In the present invention, for this purpose, as shown in FIGS. 2 and 3, a stop block 132 is formed on the lead connection member 130, and the stop block 132 stops at an upper portion of the stop block 132 in a lifted state. The pin 150 is inserted to fix the stop block 132 with respect to the support block 110.

구체적으로는 도 4에 도시된 바와 같이 지지블록(110)에 제1핀홀(112)을 형성하고, 리드연결부재(130)에 제2핀홀(134)을 가지는 멈춤블록(132)을 형성한다. 그리고 리드(20)가 완전히 열렸을 때 서로 연통된 상기 제1 핀홀(112) 및 제2핀홀(134)으로 멈춤핀(150)을 삽입한다.Specifically, as shown in FIG. 4, the first pin hole 112 is formed in the support block 110, and the stop block 132 having the second pin hole 134 is formed in the lead connecting member 130. When the lead 20 is completely opened, the stop pin 150 is inserted into the first pin hole 112 and the second pin hole 134 which are in communication with each other.

일 예로서 리드(20)가 완전히 열렸을 때 멈춤블록(132)의 일면이 지지블록(110)에 거치될 수 있도록 하고, 멈춤블록(132)이 지지블록(110)에 거치된 상태에서 멈춤핀(150)을 이용하여 멈춤블록(132)을지지블록(110)에 대해 고정시킨다. 리드연결부재(130)를 사용하지 않는 경우에는 멈춤블록(132)을 리드(20)에 결합시킬 수도 있다.For example, when the lid 20 is fully open, one surface of the stop block 132 may be mounted on the support block 110, and the stop pin 132 may be mounted on the support block 110. The stop block 132 is fixed to the support block 110 using the 150. When the lead connecting member 130 is not used, the stop block 132 may be coupled to the lead 20.

가스스프링(140)은 도 5에 도시된 바와 같이, 실린더(141)와, 실린더(141)의 내부에 설치되는 피스톤(142)과, 실린더(141)의 외부에서 인입되어 실린더 내부의 피스톤(142)에 연결되는 피스톤로드(143)와, 실린더(141)의 일단을 밀폐하며 피스톤로드(143)의 왕복운동을 가이드하는 로드가이드(144)를 포함한다.As shown in FIG. 5, the gas spring 140 includes a cylinder 141, a piston 142 installed inside the cylinder 141, and a piston 142 inside the cylinder being drawn in from the outside of the cylinder 141. Piston rod 143 is connected to the) and a rod guide 144 for sealing one end of the cylinder 141 and guides the reciprocating motion of the piston rod 143.

실린더(141)의 일단으로 연장되는 피스톤로드(143)에는 제1연결부(145)가 형성되고, 실린더(141)의 타단에는 제2연결부(146)가 형성된다. 본 발명에서는 예를 들어 제1연결부(145)는 지지블록(110)에 연결되고, 제2연결부(146)는 로드연결부재(130)에 연결된다.The first connecting portion 145 is formed at the piston rod 143 extending to one end of the cylinder 141, and the second connecting portion 146 is formed at the other end of the cylinder 141. In the present invention, for example, the first connecting portion 145 is connected to the support block 110, the second connecting portion 146 is connected to the rod connecting member 130.

실린더(141)의 내부에는 주로 질소 등의 불활성 가스가 충진되며, 실린더(141)의 내부는 피스톤(142)에 의해 압축실(A)과 인장실(B)로 구분된다.An inert gas such as nitrogen is mainly filled in the cylinder 141, and the inside of the cylinder 141 is divided into a compression chamber A and a tension chamber B by a piston 142.

피스톤(142)에는 오리피스(147)가 형성되어 있기 때문에 평형상태에서는 압축실(A)과 인장실(B)의 압력은 동일하며, 외부에서 가해지는 힘으로 인해 순간적으로 압축실(A) 또는 인장실(B)의 압력이 높아지더라도 곧 평형상태에 도달하므로 급속한 충격이 아니라면 항상 준평형 상태를 유지한다.Since the orifice 147 is formed in the piston 142, the pressures of the compression chamber A and the tension chamber B are equal in the equilibrium state, and the compression chamber A or the tension is instantaneously due to external force. Even if the pressure of the seal (B) is high, the equilibrium state is reached soon, so unless it is a rapid impact, it is always kept in an equilibrium state.

이러한 특성 때문에 압축과 인장시에 속도제어가 가능하며, 따라서 가스스프링(140)을 사용하면 작업자가 리드(20)를 천천히 들어올리거나 내리는 동안 압축실(A)과 인장실(B)의 압력이 준평형상태를 유지하기 때문에 작업자가 손을 놓더라도 자체 완충력으로 인해 리드(20)가 급속히 떨어지는 것이 방지된다.Due to these characteristics, speed control is possible during compression and tension, and thus, when the gas spring 140 is used, the pressure of the compression chamber A and the tension chamber B is applied while the operator lifts or lowers the lid 20 slowly. Since the state of equilibrium is maintained, even if the operator releases his hand, the lid 20 is prevented from falling rapidly due to its own buffering force.

이러한 가스스프링(140)은 여러 유형으로 제작될 수 있는데, 작업자가 적은 힘으로 리드(20)를 들어올리기 위해서는 압축타입의 가스스프링(140)을 사용하는 것이 바람직하다.The gas spring 140 may be manufactured in various types, and it is preferable that the operator uses the gas spring 140 of the compression type in order to lift the lid 20 with little force.

한편 본 발명의 실시예에 따라 지지블록(110)의 회전축(120)을 중심으로 리드(20)를 회전시키면, 리드(20)의 에지가 챔버몸체(10)의 상단부에 닿으면서 마찰로 인해 파티클이 발생할 수 있다.Meanwhile, when the lid 20 is rotated about the rotation shaft 120 of the support block 110 according to the embodiment of the present invention, the edge of the lid 20 contacts the upper end of the chamber body 10 due to friction and particles. This can happen.

이를 방지하기 위해 본 발명의 실시예에서는 도 4에 도시된 바와 같이 지지블록(110)의 회전축(120)이 삽입되는 축홀(122)을 원형으로 형성하지 않고 수직방향으로 약간 긴 장공(長孔)으로 형성한다.In order to prevent this, in the embodiment of the present invention, as shown in FIG. 4, rather than a circular hole 122 into which the rotation shaft 120 of the support block 110 is inserted is formed in a long shape in the vertical direction. To form.

따라서 회전축(120)과 축홀(122)의 내벽 사이에는 수직방향으로 간극(t)이 발생하며, 간극(t)의 크기는 대략 1mm 정도인 것이 바람직하다.Therefore, a gap t is generated in the vertical direction between the rotation shaft 120 and the inner wall of the shaft hole 122, and the size of the gap t is preferably about 1 mm.

이와 같이 장공 형태의 축홀(122)을 형성하면, 리드(20)를 들어올리기 위해 작업자가 힘을 가하는 순간에 리드(20)가 회전축(120)을 중심으로 회전하는 것이 아니라 먼저 축홀(122)의 간극(t)만큼 리드(20) 전체가 수직방향으로 들어올려진 후에 회전축(120)을 중심으로 회전하게 된다.As such, when the shaft hole 122 having the long hole shape is formed, the lead 20 does not rotate about the rotation shaft 120 at the moment when the operator exerts a force to lift the lid 20. After the entire lead 20 is lifted in the vertical direction by the gap t, the lead 20 is rotated about the rotation shaft 120.

리드(20)를 닫는 경우에도 작업자가 리드(20)를 내리면 먼저 회전축(120)을 중심으로 회전을 하고, 마지막 순간에 리드(20)가 간극(t)만큼 하방으로 내려오면서 챔버몸체(10)의 상부에 밀착하게 된다.Even when the lid 20 is closed, when the worker lowers the lid 20, the robot rotates about the rotation shaft 120 first, and at the last moment, the lid 20 descends downward by a gap t, while the chamber body 10 is closed. It will be in close contact with the top of the.

따라서 리드(20)가 회전하는 과정에서 리드(20)의 에지와 챔버몸체(10)의 마찰이 방지되므로 파티클 발생이 방지된다.Therefore, since the friction of the edge of the lid 20 and the chamber body 10 during the rotation of the lid 20 is prevented, the generation of particles is prevented.

한편 본 발명은 전술한 실시예에 한정되지 않고 다양한 형태로 변형 또는 수정되어 실시될 수 있으며, 이와 같이 변형된 실시예도후술하는 특허청구범위에 기재된 기술적 사상을 포함한다면 본발명의 권리범위에 속함은 물론이다.Meanwhile, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and may be modified or modified in various forms, and the modified embodiments may be included in the scope of the present invention as long as they include the technical spirit described in the claims. Of course.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 리드 개폐장치의 측면도1 is a side view of a lead opening and closing device according to an embodiment of the present invention

도 2는 리드 개폐장치를 이용하여 리드를 들어 올린 모습을 나타낸 측면도2 is a side view showing a state in which the lead is lifted using the lead opener

도 3은 리드 개폐장치를 이용하여 리드를 들어 올린 모습을 나타낸 평면도3 is a plan view showing a state in which the lead is lifted using the lead opener

도 4는 장공 형태의 축홀을 나타낸 도면4 is a view showing a shaft hole in the form of a long hole

도 5는 가스스프링의 개략 구성도5 is a schematic configuration diagram of a gas spring

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* * Description of the symbols for the main parts of the drawings *

10: 챔버몸체 20: 리드10: chamber body 20: lead

100: 리드 개폐장치 110: 지지블록100: lid opening and closing device 110: support block

120: 회전축 122: 축홀120: rotating shaft 122: shaft hole

130: 리드연결부재 132: 멈춤블록130: lead connecting member 132: stop block

140: 가스스프링 150: 멈춤핀140: gas spring 150: stop pin

Claims (8)

챔버몸체에 결합되는 리드를 개폐하는 장치에 있어서,In the device for opening and closing the lead coupled to the chamber body, 상기 챔버몸체에 결합되는 지지블록;A support block coupled to the chamber body; 상기 지지블록에 형성되며 회전축이 결합되는 축홀;A shaft hole formed in the support block and having a rotating shaft coupled thereto; 상기 리드를 상기 회전축에 연결하는 리드연결부재;A lead connecting member connecting the lead to the rotating shaft; 리드 개폐시에 완충력을 제공하기 위해 상기 지지블록과 상기 리드의 사이에 설치되는 가스스프링;A gas spring installed between the support block and the lid to provide a buffer force when the lid is opened and closed; 을 포함하는 리드 개폐 장치Lead switchgear including 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 축홀은 수직방향의 내경이 상기 회전축의 직경보다 큰 것을 특징으로 하는 리드 개폐 장치The shaft hole is a lead opening and closing device, characterized in that the inner diameter in the vertical direction is larger than the diameter of the rotating shaft 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 가스스프링은 상기 리드의 중앙부에 직접 연결되는 것을 특징으로 하는 리드 개폐 장치Lead opening and closing device, characterized in that the gas spring is directly connected to the central portion of the lead 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 리드연결부재는 그 저면의 일부가 상기 리드의 상부의 주변부에 결합하되, 일단은 상기 회전축에 연결되고 타단은 상기 리드의 중앙부에서 상기 가스스프링에 연결되는 것을 특징으로 하는 리드 개폐 장치The lead connecting member is a part of the bottom surface is coupled to the periphery of the upper portion of the lead, one end is connected to the rotary shaft and the other end is connected to the gas spring in the center portion of the lead 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 지지블록에는 제1핀홀이 형성되고, A first pin hole is formed in the support block, 상기 리드연결부재 또는 상기 리드는 상기 리드를 완전히 연 상태에서 상기 지지블록과 접하는 한편 상기 제1핀홀과 연통하는 제2핀홀을 구비하는 멈춤블록을 구비하며, The lead connecting member or the lead is provided with a stop block having a second pin hole in contact with the support block while communicating with the first pin hole in a fully open state, 상기 제1핀홀과 상기 제2핀홀이 연통하였을 때 멈춤핀을 삽입함으로써 상기 리드를 고정시키는 것을 특징으로 하는 리드 개폐 장치Reed opening and closing device characterized in that for fixing the lead by inserting a stop pin when the first pin hole and the second pin hole is in communication 제1항에 있어서,The method of claim 1, 2개의 상기 가스스프링이 서로 이격되어 평행하게 설치된 것을 특징으로 하는 리드 개폐 장치Lead opening and closing device, characterized in that the two gas springs are spaced apart from each other in parallel 챔버몸체에 결합되는 지지블록; 회전축의 결합을 위해 상기 지지블록에 형성되며, 수직방향의 내경이 상기 회전축의 직경보다 큰 축홀; 상기 리드를 상기 회전축에 연결하는 리드연결부재; 리드 개폐시에 완충력을 제공하기 위해 상기 지지블록과 상기 리드의 사이에 설치되는 가스스프링을 포함하는 리드 개폐 장치를 이용하여 상기 리드를 여는 방법에 있어서,A support block coupled to the chamber body; A shaft hole formed in the support block for coupling the rotating shaft, the shaft hole having a vertical inner diameter larger than the diameter of the rotating shaft; A lead connecting member connecting the lead to the rotating shaft; In the method of opening the lid using a lead opening and closing device comprising a gas spring installed between the support block and the lid to provide a buffer force when opening and closing the lid, 상기 리드의 주변부를 들어올리는 단계;Lifting the periphery of the lid; 상기 리드가 상기 회전축과 상기 축홀의 간극만큼 수직방향으로 상승하면서 상기 챔버몸체로부터 분리되는 단계;Separating the lead from the chamber body while rising in the vertical direction by the gap between the rotation shaft and the shaft hole; 상기 리드가 상기 회전축을 중심으로 회전운동을 하면서 열리는 단계;Opening the lid while rotating about the rotation axis; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 리드를 여는 방법How to open a lead characterized in that it comprises a 챔버몸체에 결합되는 지지블록; 회전축의 결합을 위해 상기 지지블록에 형성되며, 수직방향의 내경이 상기 회전축의 직경보다 큰 축홀; 상기 리드를 상기 회전축에 연결하는 리드연결부재; 리드 개폐시에 완충력을 제공하기 위해 상기 지지블록과 상기 리드의 사이에 설치되는 가스스프링을 포함하는 리드 개폐 장치를 이용하여 상기 리드를 닫는 방법에 있어서,A support block coupled to the chamber body; A shaft hole formed in the support block for coupling the rotating shaft, the shaft hole having a vertical inner diameter larger than the diameter of the rotating shaft; A lead connecting member connecting the lead to the rotating shaft; In the method of closing the lid using a lead opening and closing device comprising a gas spring provided between the support block and the lid to provide a buffer force when opening and closing the lid, 상기 리드의 주변부를 내리는 단계;Lowering the periphery of the lid; 상기 리드가 상기 회전축을 중심으로 회전운동을 하면서 닫히는 단계;Closing the lid while rotating about the rotation axis; 상기 리드가 상기 회전축과 상기 축홀의 간극만큼 수직방향으로 하강하면서 상기 챔버몸체에 밀착되는 단계;The lead is in close contact with the chamber body while descending in the vertical direction by the gap between the rotation shaft and the shaft hole; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 리드를 닫는 방법How to close the lead characterized in that it comprises a
KR1020080015246A 2008-02-20 2008-02-20 Opening and closing device of chamber lid using gas spring, and opening and closing method using the same KR20090090018A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020080015246A KR20090090018A (en) 2008-02-20 2008-02-20 Opening and closing device of chamber lid using gas spring, and opening and closing method using the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020080015246A KR20090090018A (en) 2008-02-20 2008-02-20 Opening and closing device of chamber lid using gas spring, and opening and closing method using the same

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20090090018A true KR20090090018A (en) 2009-08-25

Family

ID=41207979

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020080015246A KR20090090018A (en) 2008-02-20 2008-02-20 Opening and closing device of chamber lid using gas spring, and opening and closing method using the same

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20090090018A (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20180071794A (en) * 2016-12-20 2018-06-28 주식회사 원익아이피에스 Substrate processing apparatus
CN110527946A (en) * 2019-09-04 2019-12-03 苏州沃盾纳米科技有限公司 Coating apparatus
CN112086390A (en) * 2020-09-30 2020-12-15 上海广川科技有限公司 Cavity cover opening mechanism

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20180071794A (en) * 2016-12-20 2018-06-28 주식회사 원익아이피에스 Substrate processing apparatus
CN110527946A (en) * 2019-09-04 2019-12-03 苏州沃盾纳米科技有限公司 Coating apparatus
CN110527946B (en) * 2019-09-04 2024-03-19 立讯电子科技（昆山）有限公司 Coating device
CN112086390A (en) * 2020-09-30 2020-12-15 上海广川科技有限公司 Cavity cover opening mechanism

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100820617B1 (en) A dual slot valve, a method of making a dual slot valve and a method of operating a dual slot valve
JP4630994B1 (en) Vacuum gate valve
KR100830730B1 (en) Substrate processing apparatus, load-lock chamber unit, and method of carrying out a transfer device
KR100832926B1 (en) Lifter and transfer
KR20090090018A (en) Opening and closing device of chamber lid using gas spring, and opening and closing method using the same
JP2011179531A (en) Lid opening/closing device and vacuum device
US20120063869A1 (en) Load port apparatus
KR20070026274A (en) Substrate alignment apparatus and substrate receiving unit
KR101020154B1 (en) Vacuum chamber of side open type
KR20160035982A (en) Gate valve and substrate processing system
KR101003725B1 (en) Vacuum Processing Apparatus
KR20130019565A (en) Actuator for valve
JP5904647B2 (en) Vacuum gate valve
KR101832723B1 (en) Vacuum Gate Valve
TWI789436B (en) storage box opener
JP2005161409A (en) Seal structure of transfer robot
CN211045377U (en) Cover opening device and semiconductor processing equipment
KR100724280B1 (en) Vacuum gate valve
JP2001165350A (en) Gate valve and mounting mechanism of valve element
WO2011161888A1 (en) Transfer apparatus and method for manufacturing transfer apparatus
KR20100110760A (en) Vacuum processing apparatus
JP7465514B1 (en) Gate valve
KR100894045B1 (en) Loadlock chamber
KR101036186B1 (en) apparatus for processing substrate
CN117954371A (en) Semiconductor process chamber and semiconductor process equipment

Legal Events

Date Code Title Description
WITN Withdrawal due to no request for examination