KR20090056184A - Organic light emitting display and manufacturing method for the same - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 10
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 58
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 27
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims abstract description 22
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 16
- 238000002161 passivation Methods 0.000 claims description 15
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 139
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 20
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 20
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 20
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 18
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 14
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 14
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 13
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 12
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 12
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 12
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 12
- 239000000463 material Substances 0.000 description 11
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052779 Neodymium Inorganic materials 0.000 description 6
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 6
- UBSJOWMHLJZVDJ-UHFFFAOYSA-N aluminum neodymium Chemical compound [Al].[Nd] UBSJOWMHLJZVDJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 6
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 6
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 6
- QEFYFXOXNSNQGX-UHFFFAOYSA-N neodymium atom Chemical compound [Nd] QEFYFXOXNSNQGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 6
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 5
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 5
- 239000007983 Tris buffer Substances 0.000 description 4
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 4
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 4
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 3
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 3
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 3
- 150000002736 metal compounds Chemical class 0.000 description 3
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 3
- TVIVIEFSHFOWTE-UHFFFAOYSA-K tri(quinolin-8-yloxy)alumane Chemical compound [Al+3].C1=CN=C2C([O-])=CC=CC2=C1.C1=CN=C2C([O-])=CC=CC2=C1.C1=CN=C2C([O-])=CC=CC2=C1 TVIVIEFSHFOWTE-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 3
- POILWHVDKZOXJZ-ARJAWSKDSA-M (z)-4-oxopent-2-en-2-olate Chemical compound C\C([O-])=C\C(C)=O POILWHVDKZOXJZ-ARJAWSKDSA-M 0.000 description 2
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CUJRVFIICFDLGR-UHFFFAOYSA-N acetylacetonate Chemical compound CC(=O)[CH-]C(C)=O CUJRVFIICFDLGR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 description 2
- 229910052784 alkaline earth metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000001342 alkaline earth metals Chemical class 0.000 description 2
- UFVXQDWNSAGPHN-UHFFFAOYSA-K bis[(2-methylquinolin-8-yl)oxy]-(4-phenylphenoxy)alumane Chemical compound [Al+3].C1=CC=C([O-])C2=NC(C)=CC=C21.C1=CC=C([O-])C2=NC(C)=CC=C21.C1=CC([O-])=CC=C1C1=CC=CC=C1 UFVXQDWNSAGPHN-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 description 2
- GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N iridium atom Chemical compound [Ir] GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UEEXRMUCXBPYOV-UHFFFAOYSA-N iridium;2-phenylpyridine Chemical compound [Ir].C1=CC=CC=C1C1=CC=CC=N1.C1=CC=CC=C1C1=CC=CC=N1.C1=CC=CC=C1C1=CC=CC=N1 UEEXRMUCXBPYOV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920000767 polyaniline Polymers 0.000 description 2
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- ZSYMVHGRKPBJCQ-UHFFFAOYSA-N 1,1'-biphenyl;9h-carbazole Chemical group C1=CC=CC=C1C1=CC=CC=C1.C1=CC=C2C3=CC=CC=C3NC2=C1 ZSYMVHGRKPBJCQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VBQVHWHWZOUENI-UHFFFAOYSA-N 1-phenyl-2H-quinoline Chemical compound C1C=CC2=CC=CC=C2N1C1=CC=CC=C1 VBQVHWHWZOUENI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LPCWDYWZIWDTCV-UHFFFAOYSA-N 1-phenylisoquinoline Chemical compound C1=CC=CC=C1C1=NC=CC2=CC=CC=C12 LPCWDYWZIWDTCV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VFMUXPQZKOKPOF-UHFFFAOYSA-N 2,3,7,8,12,13,17,18-octaethyl-21,23-dihydroporphyrin platinum Chemical compound [Pt].CCc1c(CC)c2cc3[nH]c(cc4nc(cc5[nH]c(cc1n2)c(CC)c5CC)c(CC)c4CC)c(CC)c3CC VFMUXPQZKOKPOF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HONWGFNQCPRRFM-UHFFFAOYSA-N 2-n-(3-methylphenyl)-1-n,1-n,2-n-triphenylbenzene-1,2-diamine Chemical compound CC1=CC=CC(N(C=2C=CC=CC=2)C=2C(=CC=CC=2)N(C=2C=CC=CC=2)C=2C=CC=CC=2)=C1 HONWGFNQCPRRFM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OGGKVJMNFFSDEV-UHFFFAOYSA-N 3-methyl-n-[4-[4-(n-(3-methylphenyl)anilino)phenyl]phenyl]-n-phenylaniline Chemical compound CC1=CC=CC(N(C=2C=CC=CC=2)C=2C=CC(=CC=2)C=2C=CC(=CC=2)N(C=2C=CC=CC=2)C=2C=C(C)C=CC=2)=C1 OGGKVJMNFFSDEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910004261 CaF 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- YNPNZTXNASCQKK-UHFFFAOYSA-N Phenanthrene Natural products C1=CC=C2C3=CC=CC=C3C=CC2=C1 YNPNZTXNASCQKK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001609 Poly(3,4-ethylenedioxythiophene) Polymers 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004205 SiNX Inorganic materials 0.000 description 1
- DGEZNRSVGBDHLK-UHFFFAOYSA-N [1,10]phenanthroline Chemical compound C1=CN=C2C3=NC=CC=C3C=CC2=C1 DGEZNRSVGBDHLK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PJRJXFPRMUZBHQ-UHFFFAOYSA-N [Ir].C1C=CC2=CC=CC=C2N1C1=CC=CC=C1.C1C=CC2=CC=CC=C2N1C1=CC=CC=C1.C1C=CC2=CC=CC=C2N1C1=CC=CC=C1 Chemical compound [Ir].C1C=CC2=CC=CC=C2N1C1=CC=CC=C1.C1C=CC2=CC=CC=C2N1C1=CC=CC=C1.C1C=CC2=CC=CC=C2N1C1=CC=CC=C1 PJRJXFPRMUZBHQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 239000000872 buffer Substances 0.000 description 1
- 125000004556 carbazol-9-yl group Chemical group C1=CC=CC=2C3=CC=CC=C3N(C12)* 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 125000002080 perylenyl group Chemical group C1(=CC=C2C=CC=C3C4=CC=CC5=CC=CC(C1=C23)=C45)* 0.000 description 1
- CSHWQDPOILHKBI-UHFFFAOYSA-N peryrene Natural products C1=CC(C2=CC=CC=3C2=C2C=CC=3)=C3C2=CC=CC3=C1 CSHWQDPOILHKBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N phthalocyanine Chemical compound N1C(N=C2C3=CC=CC=C3C(N=C3C4=CC=CC=C4C(=N4)N3)=N2)=C(C=CC=C2)C2=C1N=C1C2=CC=CC=C2C4=N1 IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 230000011218 segmentation Effects 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/10—OLED displays
- H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
- H10K59/123—Connection of the pixel electrodes to the thin film transistors [TFT]
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/80—Constructional details
- H10K50/84—Passivation; Containers; Encapsulations
- H10K50/844—Encapsulations
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/10—OLED displays
- H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
- H10K59/121—Active-matrix OLED [AMOLED] displays characterised by the geometry or disposition of pixel elements
- H10K59/1213—Active-matrix OLED [AMOLED] displays characterised by the geometry or disposition of pixel elements the pixel elements being TFTs
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/30—Devices specially adapted for multicolour light emission
- H10K59/32—Stacked devices having two or more layers, each emitting at different wavelengths
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
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- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/11—Device type
- H01L2924/12—Passive devices, e.g. 2 terminal devices
- H01L2924/1204—Optical Diode
- H01L2924/12044—OLED
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- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
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- Electroluminescent Light Sources (AREA)
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Abstract
Description
본 발명은 유기전계발광표시장치 및 이의 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to an organic light emitting display device and a manufacturing method thereof.
최근, 평판 표시 장치(Flat Panel Display: FPD)는 멀티미디어의 발달과 함께 그 중요성이 증대되고 있다. 이에 부응하여 액정표시장치(Liquid Crystal Display: LCD), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel: PDP), 전계방출표시장치(Field Emission Display: FED), 유기전계발광표시장치(Organic Light Emitting Device) 등과 같은 여러 가지의 평판 표시 장치가 실용화되고 있다.Recently, the importance of the flat panel display (FPD) is increasing with the development of multimedia. In response, such as liquid crystal display (LCD), plasma display panel (PDP), field emission display (FED), organic light emitting device (Organic Light Emitting Device), etc. Various flat panel display devices are put into practical use.
특히, 유기전계발광표시장치는 고속 응답 속도를 가지며, 소비 전력이 낮고 자체 발광하는 특성이 있다. 또한, 유기전계발광표시장치는 시야각에 문제가 없기 때문에, 그 크기에 상관없이 동화상 표시 매체로서 장점이 있다. 그리고, 유기전계발광표시장치는 저온 제작이 가능하고, 기존의 반도체 공정 기술을 이용하여 간단하게 제조될 수 있으므로, 차세대 평판 표시 장치로 주목받고 있다.In particular, the organic light emitting display device has a high response speed, low power consumption, and self emitting light. In addition, since the organic light emitting display device has no problem in viewing angle, it has advantages as a moving image display medium regardless of its size. In addition, since the organic light emitting display device can be manufactured at a low temperature and can be simply manufactured by using a conventional semiconductor process technology, it has attracted attention as a next generation flat panel display device.
한편, 종래 상부 발광 방식 인버티드 유기전계발광표시장치는 구동 트랜지스터 상에 유기 발광다이오드의 캐소드가 먼저 형성되어 캐소드 전위와 구동 트랜지 스터의 드레인 전위가 같았다.Meanwhile, in the conventional top emission type inverted organic light emitting display device, a cathode of an organic light emitting diode is first formed on a driving transistor so that the cathode potential is the same as the drain potential of the driving transistor.
이러한 구조의 경우, 외부로부터 입사된 광에 의해 구동 트랜지스터의 반도체층 영역에 전계 효과(Field Effect)가 작용하게 되어 구동 트랜지스터의 출력 세튜레이션(Output Saturation) 특성이 저하되는 문제가 있어 이의 개선이 요구된다.In such a structure, a field effect is applied to the semiconductor layer region of the driving transistor due to light incident from the outside, and thus the output saturation characteristic of the driving transistor is deteriorated. do.
상술한 배경기술의 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은, 상부 발광 방식 인버티드 유기전계발광표시장치의 출력 세튜레이션 특성이 저하하는 문제를 방지하는 것이다.An object of the present invention for solving the above problems of the background art is to prevent the problem of deterioration in output output characteristics of the top emission type inverted organic light emitting display device.
상술한 과제 해결 수단으로 본 발명은, 기판 상에 정의된 제1영역에 위치하는 스위칭 트랜지스터와, 제2영역에 위치하는 커패시터와, 제3영역에 위치하는 구동 트랜지스터 및 유기 발광다이오드를 포함하는 서브 픽셀을 포함하되, 구동 트랜지스터는, 제3영역의 중앙에 위치하는 제1전극과, 제1전극에 일측이 접촉되며 제1전극을 둘러싸도록 띠 형태로 위치하는 반도체층과, 반도체층의 타측에 접촉되며 제1전극과 이격된 제2전극과, 제1전극, 반도체층 및 제2전극의 상부에 위치하는 절연막과, 절연막 상부에서 반도체층을 덮도록 위치하는 게이트를 포함하는 유기전계발광표시장치을 제공한다.According to the above-described problem solving means, the present invention provides a sub transistor including a switching transistor located in a first region defined on a substrate, a capacitor located in a second region, a driving transistor located in a third region, and an organic light emitting diode. The driving transistor includes a first electrode positioned at the center of the third region, a semiconductor layer positioned in a strip shape such that one side contacts the first electrode and surrounds the first electrode, and the other side of the semiconductor layer. An organic light emitting display device comprising: a second electrode in contact with a first electrode and spaced apart from the first electrode; an insulating layer disposed over the first electrode, the semiconductor layer, and the second electrode; and a gate positioned over the insulating layer to cover the semiconductor layer. to provide.
구동 트랜지스터의 제1전극은, 직사각형 형태일 수 있다.The first electrode of the driving transistor may have a rectangular shape.
서브 픽셀은, 게이트 상에 위치하는 보호막과 보호막 상에 위치하는 평탄화막을 더 포함하되, 절연막, 보호막 및 평탄화막은 제3영역의 중앙 영역에서 제1전극이 노출되도록 패턴된 제1콘택홀을 포함할 수 있다.The subpixel further includes a passivation layer positioned on the gate and a planarization layer positioned on the passivation layer, wherein the insulating layer, the passivation layer, and the planarization layer may include a first contact hole patterned to expose the first electrode in the center region of the third region. Can be.
구동 트랜지스터의 게이트는, 반도체층의 중앙 영역에 위치하는 영역이 반도체층의 외곽 영역에 위치하는 영역보다 하부에 위치할 수 있다.The gate of the driving transistor may be located below the region located in the center region of the semiconductor layer in the outer region of the semiconductor layer.
유기 발광다이오드는, 평탄화막 상에 위치하며 제1콘택홀을 통해 노출된 구동 트랜지스터의 제1전극에 연결된 캐소드와, 캐소드 상에 위치하는 유기 발광층과, 유기 발광층 상에 위치하며 제1전원배선에 연결된 애노드를 포함할 수 있다.The organic light emitting diode is disposed on the planarization layer and is connected to the first electrode of the driving transistor exposed through the first contact hole, the organic light emitting layer is disposed on the cathode, and the organic light emitting layer is disposed on the organic light emitting layer. It may include a connected anode.
유기 발광다이오드의 캐소드는, 평탄화막 상에서 구동 트랜지스터의 제1전극, 반도체층 및 제2전극을 모두 덮도록 위치할 수 있다.The cathode of the organic light emitting diode may be positioned to cover all of the first electrode, the semiconductor layer, and the second electrode of the driving transistor on the planarization film.
스위칭 트랜지스터는, 기판 상에 위치하는 데이터 배선에 연결된 제1전극과, 제1전극에 삼면이 둘러싸인 제2전극과, 제1전극과 제2전극을 덮도록 위치하는 절연막과, 절연막 상에 위치하며 스캔 배선에 연결된 게이트를 포함할 수 있다.The switching transistor includes: a first electrode connected to a data line on a substrate; a second electrode surrounded by three surfaces of the first electrode; an insulating film positioned to cover the first electrode and the second electrode; It may include a gate connected to the scan line.
커패시터는, 스위칭 트랜지스터의 제2전극에 연장되며 구동 트랜지스터의 게이트에 연결된 일단과, 일단을 덮도록 위치하는 절연막과, 절연막 상에 위치하고 제2전원 배선에 연결되며 구동 트랜지스터의 제2전극에 연결된 타단을 포함할 수 있다.The capacitor includes one end connected to the gate of the driving transistor and extending to the second electrode of the switching transistor, an insulating film positioned to cover the one end, and the other end disposed on the insulating film and connected to the second power line and connected to the second electrode of the driving transistor. It may include.
한편, 다른 측면에서 본 발명은, 기판 상에 위치하는 서브 픽셀 내에 제1영역, 제2영역 및 제3영역을 정의하는 단계; 및 제1영역에 스위칭 트랜지스터를 형성하고 제2영역에 커패시터를 형성하고 제3영역에 구동 트랜지스터를 형성하는 단계를 포함하되, 구동 트랜지스터는, 제3영역의 중앙에 위치하는 직사각형 형태의 제1전극과, 제1전극에 일측이 접촉되며 제1전극을 둘러싸도록 사각형 띠 형태로 위치하는 반도체층과, 반도체층의 타측에 접촉되며 제1전극과 이격된 제2전극과, 제1전극, 반도체층 및 제2전극의 상부에 위치하는 절연막과, 절연막 상부에서 반도체층을 덮도록 위치하는 게이트를 포함하는 유기전계발광표시장치의 제조방법을 제공한 다.On the other hand, in another aspect, the present invention, the step of defining a first region, a second region and a third region in a sub-pixel located on the substrate; And forming a switching transistor in the first region, forming a capacitor in the second region, and forming a driving transistor in the third region, wherein the driving transistor comprises a first electrode having a rectangular shape located at the center of the third region. A semiconductor layer positioned in a rectangular band so that one side contacts the first electrode and surrounds the first electrode, a second electrode in contact with the other side of the semiconductor layer and spaced apart from the first electrode, and the first electrode and the semiconductor layer And an insulating film positioned over the second electrode and a gate positioned over the insulating layer to cover the semiconductor layer.
구동 트랜지스터의 게이트는, 반도체층의 중앙 영역에 위치하는 영역이 반도체층의 외곽 영역에 위치하는 영역보다 하부에 위치할 수 있다.The gate of the driving transistor may be located below the region located in the center region of the semiconductor layer in the outer region of the semiconductor layer.
본 발명은, 상부 발광 방식 인버티드 유기전계발광표시장치의 출력 세튜레이션 특성이 저하하는 문제를 방지하는 효과가 있다. 또한, 상부 발광 방식 인버티드 유기전계발광표시장치를 제조할 때 사용되는 마스크 수를 줄일 수 있는 효과가 있다.The present invention has the effect of preventing the problem of deterioration of the output segmentation characteristics of the top emission type inverted organic light emitting display device. In addition, the number of masks used when manufacturing the top emission type inverted organic light emitting display device may be reduced.
이하, 본 발명의 실시를 위한 구체적인 내용을 첨부된 도면을 참조하여 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, the specific content for the practice of the present invention will be described.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계발광표시장치의 개략적인 평면도이다.1 is a schematic plan view of an organic light emitting display device according to an embodiment of the present invention.
도 1에 도시된 바와 같이, 유기전계발광표시장치는 기판(110) 상에 다수의 서브 픽셀(P)이 위치하는 표시부(120)를 포함할 수 있다. 기판(110) 상에 위치하는 다수의 서브 픽셀(P)은 수분이나 산소에 취약하다.As illustrated in FIG. 1, the organic light emitting display device may include a
그리하여, 밀봉기판(130)을 구비하고, 표시부(120)의 외곽 기판(110)에 접착부재(140)를 형성하여 기판(110)과 밀봉기판(130)을 봉지할 수 있다. 한편, 다수의 서브 픽셀(P)은 기판(110) 상에 위치하는 구동부(150)에 의해 구동되어 영상을 표 현할 수 있다.Thus, the sealing
구동부(150)는 다수의 서브 픽셀(P)에 스캔 신호를 공급하는 스캔 구동부와 다수의 서브 픽셀(P)에 데이터 신호를 공급하는 데이터 구동부를 포함할 수 있다.The
여기서, 구동부(150)는 스캔 구동부 및 데이터 구동부가 하나의 칩에 형성된 것을 일례로 개략적으로 도시한 것일 뿐 스캔 구동부와 데이터 구동부는 기판(110) 또는 기판(110)의 외부에 구분되어 위치할 수 있다.Here, the
이하에서는, 도 1에 도시된 서브 픽셀(P)의 회로 구성에 대해 설명한다.Hereinafter, a circuit configuration of the sub pixel P shown in FIG. 1 will be described.
도 2는 서브 픽셀의 회로 구성 예시도 이다.2 is an exemplary circuit configuration of a subpixel.
도 2에 도시된 바와 같이, 서브 픽셀은 스캔 배선(SCAN)에 게이트가 연결되고 데이터 배선에 제1전극이 연결된 스위칭 트랜지스터(S1)를 포함할 수 있다. 또한, 스위칭 트랜지스터(S1)의 제2전극에 게이트가 연결되고 제2전원 배선(VSS)에 제2전극이 연결된 구동 트랜지스터(T1)를 포함할 수 있다. 또한, 구동 트랜지스터(T1)의 게이트에 일단이 연결되고 제2전원 배선(VSS)에 타단이 연결된 커패시터(Cst)를 포함할 수 있다. 또한, 제1전원 배선(VDD)에 애노드가 연결되고 구동 트랜지스터(T1)의 제1전극에 캐소드가 연결된 유기 발광다이오드(D)를 포함할 수 있다.As illustrated in FIG. 2, the subpixel may include a switching transistor S1 having a gate connected to the scan line SCAN and a first electrode connected to the data line. In addition, the driving transistor T1 may include a gate connected to the second electrode of the switching transistor S1 and a second electrode connected to the second power line VSS. In addition, a capacitor Cst having one end connected to the gate of the driving transistor T1 and the other end connected to the second power line VSS may be included. The organic light emitting diode D may further include an organic light emitting diode D having an anode connected to the first power line VDD and a cathode connected to the first electrode of the driving transistor T1.
여기서, 서브 픽셀에 포함된 스위칭 트랜지스터(S1)와 구동 트랜지스터(T1)는 실시예의 일례를 설명하기 위해 N-Type으로 도시하였지만 본 발명은 이에 한정되지 않는다.Here, although the switching transistor S1 and the driving transistor T1 included in the subpixel are illustrated as N-Type for explaining an example of the embodiment, the present invention is not limited thereto.
한편, 위와 같은 서브 픽셀의 회로 구성에서, 구동 트랜지스터(T1)의 제1전극과 유기 발광다이오드(D)의 캐소드는 제1콘택홀(Contact1)을 통해 전기적으로 연결될 수 있다.In the circuit configuration of the sub-pixel as described above, the first electrode of the driving transistor T1 and the cathode of the organic light emitting diode D may be electrically connected through the first contact hole Contact1.
이로 인해, 본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계발광표시장치에 포함된 유기 발광다이오드(D)는 하부에 캐소드가 위치하고 상부에 애노드가 위치하는 인버티드 구조로 형성될 수 있다.For this reason, the organic light emitting diode D included in the organic light emitting display device according to the exemplary embodiment of the present invention may have an inverted structure in which a cathode is positioned at a lower portion and an anode is positioned at an upper portion thereof.
이하에서는, 서브 픽셀의 회로 구성을 토대로 서브 픽셀의 평면도 및 단면도를 첨부하여 서브 픽셀의 구조를 설명한다.Hereinafter, the structure of the subpixel will be described by attaching a plan view and a cross-sectional view of the subpixel based on the circuit configuration of the subpixel.
도 3a는 서브 픽셀의 평면도이고, 도 3b는 도 3a의 A-A까지의 단면도이며, 도 4a는 서브 픽셀의 평면도이고, 도 4b는 도 4a의 B-B까지의 단면도이다.FIG. 3A is a plan view of the subpixel, FIG. 3B is a sectional view to A-A of FIG. 3A, FIG. 4A is a plan view of the subpixel, and FIG. 4B is a sectional view to B-B of FIG. 4A.
설명에 앞서 도 3a 내지 도 4b에 도시된 도면은 설명의 편의를 위해 일부 영역의 단면도를 도시하거나 제2전원 배선(VSS) 및 스캔 배선(SCAN) 등과 같이 하부에 위치하는 구조물을 가리는 구성은 실선으로만 개략적으로 표기하거나 생략한다.3A to 4B illustrate a cross-sectional view of a partial region for convenience of description, or a configuration to cover a structure located below the second power line VSS and scan line SCAN. Only outlined or omitted.
도 3a를 참조하면, 서브 픽셀(Pixel)은 미 도시된 기판 상에 정의된 제1영역(Area1)에 위치하는 스위칭 트랜지스터를 포함할 수 있다. 또한, 제2영역(Area2)에 위치하는 커패시터를 포함할 수 있다. 또한, 제3영역(Area3)에 위치하는 구동 트랜지스터 및 유기 발광다이오드를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 3A, the subpixel Pixel may include a switching transistor positioned in a first area Area1 defined on a substrate (not shown). In addition, it may include a capacitor located in the second area (Area2). In addition, the semiconductor device may include a driving transistor and an organic light emitting diode positioned in the third region Area3.
제1영역(Area1)에 위치하는 스위칭 트랜지스터는, 도 2를 참조하여 설명한 것과 같이 데이터 배선(DATA)에 일단이 연결된 제1전극과, 제1전극에 삼면이 둘러 싸인 제2전극과, 제1전극과 제2전극을 덮도록 위치하는 절연막과, 절연막 상에 위치하며 스캔 배선(SCAN)에 연결된 게이트를 포함할 수 있다.As described with reference to FIG. 2, the switching transistor positioned in the first area Area1 includes a first electrode having one end connected to the data line DATA, a second electrode having three surfaces surrounded by the first electrode, and a first electrode. An insulating layer may be disposed to cover the electrode and the second electrode, and a gate may be disposed on the insulating layer and connected to the scan line SCAN.
제2영역(Area2)에 위치하는 커패시터는, 도 2를 참조하여 설명한 것과 같이 스위칭 트랜지스터의 제2전극에 연장되며 구동 트랜지스터의 게이트에 연결된 일단과, 일단을 덮도록 위치하는 절연막과, 절연막 상에 위치하고 제2전원 배선에 연결되며 구동 트랜지스터의 제2전극에 연결된 타단을 포함할 수 있다. 여기서, 구동 트랜지스터의 게이트에 연결된 일단은 도시된 바와 같이 제4영역(Area4)에 위치하는 제2콘택홀(Contact2)을 통해 상호 전기적으로 연결될 수 있으나 이에 한정되지 않는다.As described with reference to FIG. 2, the capacitor positioned in the second area Area2 includes one end connected to the gate of the driving transistor and connected to the gate of the driving transistor, an insulating film positioned to cover the one end, and an insulating film on the insulating film. And the other end connected to the second power line and connected to the second electrode of the driving transistor. Here, one end connected to the gate of the driving transistor may be electrically connected to each other through the second contact hole Contact2 positioned in the fourth region Area4 as shown in the drawings, but is not limited thereto.
제3영역(Area3)에 위치하는 구동 트랜지스터는, 도 2를 참조하여 설명한 것과 같이 중앙에 위치하는 제1전극과, 제2전원배선 및 커패시터의 타단에 연결된 제2전극과, 커패시터의 일단에 연결되며, 제1전극 및 제2전극의 상부에 위치하는 게이트를 포함할 수 있다. 여기서, 구동 트랜지스터의 제2전극과 커패시터의 타단은 도시된 바와 같이 제4영역(Area4)에 위치하는 제3콘택홀(Contact3)을 통해 상호 전기적으로 연결될 수 있으나 이에 한정되지 않는다.As described with reference to FIG. 2, the driving transistor positioned in the third region Area3 includes a first electrode positioned at the center, a second electrode connected to the second power line and the other end of the capacitor, and one end of the capacitor. And a gate positioned on the first electrode and the second electrode. Here, the second electrode of the driving transistor and the other end of the capacitor may be electrically connected to each other through the third contact hole Contact3 positioned in the fourth region Area4 as shown in the drawings, but is not limited thereto.
한편, 제3영역(Area3)에 위치하는 구동 트랜지스터의 상부에는 미 도시되어 있지만 유기 발광다이오드가 위치할 수 있다. 이에 대한 설명은 이하 도 3b를 참조하여 더욱 자세히 설명한다.Meanwhile, although not shown, an organic light emitting diode may be positioned above the driving transistor positioned in the third region Area3. This will be described in more detail with reference to FIG. 3B below.
도 3b를 참조하면, 제3영역(Area3)에 위치하는 구동 트랜지스터는 도 3b에 도시된 바와 같이 기판(110) 상에 위치하는 제3영역(Area3)의 중앙에 위치하는 제1 전극(113b)을 포함할 수 있다. 또한, 제1전극(113b)에 일측이 접촉되며 제1전극(113b)을 둘러싸도록 띠 형태로 위치하는 반도체층(111)을 포함할 수 있다. 또한, 반도체층(111)의 타측에 접촉되며 제1전극(113b)과 이격된 제2전극(113a)을 포함할 수 있다. 또한, 제1전극(113b), 반도체층(111) 및 제2전극(113a)의 상부에 위치하는 절연막(114)을 포함할 수 있다. 또한, 절연막(114) 상부에서 반도체층(111)을 덮도록 위치하는 게이트(115)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 3B, the driving transistor positioned in the third region Area3 is the
다음으로, 제3영역(Area3)에 위치하는 유기 발광다이오드는, 평탄화막(116b) 상에 위치하며 제1콘택홀(Contact1)을 통해 노출된 구동 트랜지스터의 제1전극(115)에 연결된 캐소드(117)를 포함할 수 있다. 또한, 캐소드(117) 상에 위치하는 유기 발광층(118a, 118b, 118c)을 포함할 수 있다. 또한, 유기 발광층(118a, 118b, 118c) 상에 위치하며 제1전원배선(미도시)에 연결된 애노드(119)를 포함할 수 있다.Next, an organic light emitting diode positioned in the third region Area3 is disposed on the
여기서, 구동 트랜지스터의 제1전극(113b)은, 도 3a에 도시된 바와 같이 직사각형 형태일 수 있다. 이에 따라, 제1전극(113b)에 일측이 접촉된 반도체층(111)과 제2전극(113a) 또한 직사각형 형태로 형성될 수 있다. 이에 따라, 도 3a의 A-A영역인 도 3b에 도시되어 있듯이, 구동 트랜지스터의 게이트(115)가 차지하는 영역(GA1, GA2)은 반도체층(111)을 모두 덮도록 형성될 수 있다.Here, the
여기서, 구동 트랜지스터의 게이트(115)는, 반도체층(111)의 중앙 영역에 위치하는 영역이 반도체층(111)의 외곽 영역에 위치하는 영역보다 하부에 위치할 수 있다. 다르게 설명하면, 구동 트랜지스터의 게이트(115)는 반도체층(111)과 제1전 극(113b)이 접촉하는 제1불순물 영역(112b) 및 반도체층(111)과 제2전극(113a)이 접촉하는 제2불순물 영역(112a) 사이에 위치하는 중앙 영역이 외곽 영역보다 하부에 인접하도록 형성될 수 있다.Here, the
여기서, 도 3b는 구동 트랜지스터 및 유기 발광다이오드의 구조적 이해를 돕기 위해 일부 영역인 A-A영역까지 절단한 도면이지만, 도 3a에 도시된 서브 픽셀(Pixel)은 도 3b에 도시된 바와 같이, 게이트(115) 상에 위치하는 보호막(116a)과 보호막(116a) 상에 위치하는 평탄화막(116b)을 더 포함할 수 있다.Here, FIG. 3B is a view in which the AA region, which is a partial region, is cut to help structural understanding of the driving transistor and the organic light emitting diode. However, as shown in FIG. 3B, the subpixel Pixel shown in FIG. The
한편, 도 4b는 도 3b와는 달리 도 4a의 제3영역(Area3)의 제1콘택홀(Contact1)을 기준으로 B-B까지 절단한 도면이다.Unlike FIG. 3B, FIG. 4B is a view cut to B-B based on the first contact hole Contact1 of the third area Area3 of FIG. 4A.
도 4b를 참조하면, 서브 픽셀(Pixel)은 게이트(115) 상에 위치하는 보호막(116a)과 보호막(116a) 상에 위치하는 평탄화막(116b)을 더 포함하되, 절연막(114), 보호막(116a) 및 평탄화막(116b)은 제3영역(Area3)의 중앙 영역에서 제1전극(113b)이 노출되도록 패턴된 제1콘택홀(Contact1)을 포함할 수 있다.Referring to FIG. 4B, the subpixel Pixel further includes a
앞서 설명하였듯이, 제1콘택홀(Contact1)은 구동 트랜지스터의 제1전극(113b)과 유기 발광다이오드의 캐소드(117) 간의 전기적인 연결을 하기 위해 형성될 수 있다.As described above, the first contact hole Contact1 may be formed for electrical connection between the
이로 인해, 제3영역(Area3)에 위치하는 유기 발광다이오드는, 도 3b에 도시된 바와 같이 평탄화막(116b) 상에 위치하며 제1콘택홀(Contact1)을 통해 노출된 구동 트랜지스터의 제1전극(113b)에 연결된 캐소드(117)와, 캐소드(117) 상에 위치 하는 유기 발광층(118a, 118b, 118c)과, 유기 발광층(118a, 118b, 118c) 상에 위치하며 제1전원배선(미도시)에 연결된 애노드(119)가 차례대로 형성될 수 있다.As a result, the organic light emitting diode positioned in the third region Area3 is positioned on the
도 3a 및 도 4a에 도시된 도면을 유추해보면, 앞서 설명한 유기 발광다이오드의 캐소드(117)는 평탄화막(116b) 상에서 구동 트랜지스터의 제1전극(113b), 반도체층(111) 및 제2전극(113a)을 모두 덮도록 위치할 수 있다.3A and 4A, the
여기서, 앞서 설명한 도 4b에 도시된 유기 발광층의 구조를 더욱 자세히 설명하면 다음과 같을 수 있다.Herein, the structure of the organic light emitting layer illustrated in FIG. 4B described above may be described in more detail.
유기 발광층(118a, 118b, 118c)에 포함된 "118a"는 하부 공통층일 수 있고, "118b"는 발광층일 수 있고, "118c"는 상부 공통층일 수 있다.“118a” included in the organic
여기서, 하부 공통층(118a)은 전자주입층 및 전자수송층을 포함할 수 있고, 상부 공통층(118c)은 정공주입층 및 정공수송층을 포함할 수 있다.Here, the lower
하부 공통층(118a)에 포함된 전자주입층은 전자의 주입을 원활하게 하는 역할을 하며, Alq3(tris(8-hydroxyquinolino)aluminum), PBD, TAZ, spiro-PBD, BAlq 또는 SAlq를 사용할 수 있으나 이에 한정되지 않는다.The electron injection layer included in the lower
전자주입층은 전자주입층을 이루는 유기물과 무기물을 진공증착법으로 형성할 수 있다.The electron injection layer may form an organic material and an inorganic material constituting the electron injection layer by vacuum deposition.
하부 공통층(118a)에 포함된 전자수송층은 전자의 수송을 원활하게 하는 역할을 하며, Alq3(tris(8-hydroxyquinolino)aluminum), PBD, TAZ, spiro-PBD, BAlq 및 SAlq로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나 이상으로 이루어질 수 있으나 이에 한정되지 않는다.The electron transport layer included in the lower
전자수송층은 증발법 또는 스핀코팅법 등을 이용하여 형성할 수 있다. 이러한 전자수송층은 캐소드(117)로부터 주입된 정공이 발광층(118b)을 통과하여 애노드(119)로 이동하는 것을 방지하는 역할도 할 수 있다. 즉, 정공저지층의 역할을 하여 발광층에서 정공과 전자의 결합을 효율적이게 하는 역할을 할 수도 있다. The electron transport layer may be formed using an evaporation method or a spin coating method. The electron transport layer may also serve to prevent holes injected from the
상부 공통층(118c)에 포함된 정공주입층은 애노드(119)로부터 발광층(118b)으로 정공의 주입을 원활하게 하는 역할을 할 수 있으며, CuPc(cupper phthalocyanine), PEDOT(poly(3,4)-ethylenedioxythiophene), PANI(polyaniline) 및 NPD(N,N-dinaphthyl-N,N'-diphenyl benzidine)로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나 이상으로 이루어질 수 있으나 이에 한정되지 않는다.The hole injection layer included in the upper
앞서 설명한, 정공주입층은 증발법 또는 스핀코팅법 등을 이용하여 형성할 수 있으나 이에 한정되지 않는다.The hole injection layer described above may be formed using an evaporation method or a spin coating method, but is not limited thereto.
상부 공통층(118c)에 포함된 정공수송층은 정공의 수송을 원활하게 하는 역할을 하며, NPD(N,N-dinaphthyl-N,N'-diphenyl benzidine), TPD(N,N'-bis-(3-methylphenyl)-N,N'-bis-(phenyl)-benzidine), s-TAD 및 MTDATA(4,4',4"-Tris(N-3-methylphenyl-N-phenyl-amino)-triphenylamine)로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나 이상으로 이루어질 수 있으나 이에 한정되지 않는다.The hole transport layer included in the upper
정공수송층은 증발법 또는 스핀코팅법을 이용하여 형성할 수 있으나 이에 한정되지 않는다.The hole transport layer may be formed using an evaporation method or a spin coating method, but is not limited thereto.
앞서 설명한, 정공주입층 또는 전자주입층은 무기물을 더 포함할 수 있으며, 상기 무기물은 금속화합물을 더 포함할 수 있다. 상기 금속화합물은 알칼리 금속 또는 알칼리 토금속을 포함할 수 있다. 알칼리 금속 또는 알칼리 토금속을 포함하는 금속화합물은 LiQ, LiF, NaF, KF, RbF, CsF, FrF, BeF2, MgF2, CaF2, SrF2, BaF2 및 RaF2로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나 이상일 수 있으나 이에 한정되지 않는다.As described above, the hole injection layer or the electron injection layer may further include an inorganic material, the inorganic material may further include a metal compound. The metal compound may include an alkali metal or an alkaline earth metal. Metal compound including an alkali metal or alkaline earth metal LiQ, LiF, NaF, KF, RbF, CsF, FrF, BeF 2, MgF 2, CaF 2, SrF 2, BaF any one selected from the group consisting of 2 and RaF 2 or more But it is not limited thereto.
전자주입층 내에 포함된 무기물은 캐소드로부터 발광층(118b)으로 주입되는 전자의 호핑(hopping)을 용이하게 하며, 발광층(118b) 내로 주입되는 정공과 전자의 밸런스를 맞추어 발광효율을 향상시키는 역할을 할 수 있다.The inorganic material included in the electron injection layer facilitates hopping of electrons injected from the cathode into the
정공주입층 내의 무기물은 애노드로부터 발광층(118b)으로 주입되는 정공의 이동성을 줄여줌으로써, 발광층(118b) 내로 주입되는 정공과 전자의 밸런스를 맞추어 발광효율을 향상시키는 역할을 할 수 있다.The inorganic material in the hole injection layer may reduce the mobility of holes injected from the anode to the
앞서 설명한 발광층(118b)은 적색, 녹색, 청색 및 백색을 발광하는 물질로 이루어질 수 있으며, 인광 또는 형광물질을 이용하여 형성할 수 있다.The
발광층(118b)이 적색인 경우, CBP(carbazole biphenyl) 또는 mCP(1,3-bis(carbazol-9-yl)를 포함하는 호스트 물질을 포함하며, PIQIr(acac)(bis(1-phenylisoquinoline)acetylacetonate iridium), PQIr(acac)(bis(1-phenylquinoline)acetylacetonate iridium), PQIr(tris(1-phenylquinoline)iridium) 및 PtOEP(octaethylporphyrin platinum)로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나 이상을 포함하는 도펀트를 포함하는 인광물질로 이루어질 수 있고, 이와는 달리 PBD:Eu(DBM)3(Phen) 또는 Perylene을 포함하는 형광물질로 이루어질 수 있으나 이에 한정되지 않는다.When the
발광층(118b)이 녹색인 경우, CBP 또는 mCP를 포함하는 호스트 물질을 포함하며, Ir(ppy)3(fac tris(2-phenylpyridine)iridium)을 포함하는 도펀트 물질을 포함하는 인광물질로 이루어질 수 있고, 이와는 달리, Alq3(tris(8-hydroxyquinolino)aluminum)을 포함하는 형광물질로 이루어질 수 있으나 이에 한정되지 않는다.When the
발광층(118b)이 청색인 경우, CBP 또는 mCP를 포함하는 호스트 물질을 포함하며, (4,6-F2ppy)2Irpic을 포함하는 도펀트 물질을 포함하는 인광물질로 이루어질 수 있다. When the
이와는 달리, spiro-DPVBi, spiro-6P, 디스틸벤젠(DSB), 디스트릴아릴렌(DSA), PFO계 고분자 및 PPV계 고분자로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나를 포함하는 형광물질로 이루어질 수 있으나 이에 한정되지 않는다.Alternatively, it may be made of a fluorescent material including any one selected from the group consisting of spiro-DPVBi, spiro-6P, distilbenzene (DSB), distriarylene (DSA), PFO-based polymer and PPV-based polymer, but It is not limited.
이상 유기 발광층의 구조는 도 4b에 한정되는 것은 아니며, 하부 공통층(118a) 및 상부 공통층(118c)에 포함된 전자 주입층, 전자 수송층, 정공 수송층, 정공 주입층 중 적어도 어느 하나가 생략될 수도 있다.The structure of the organic light emitting layer is not limited to FIG. 4B, and at least one of the electron injection layer, the electron transport layer, the hole transport layer, and the hole injection layer included in the lower
이하에서는, 본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계발광표시장치의 제조방법을 설명한다. 단, 설명의 용이성을 높이기 위해 앞서 도시한 도 4a의 B-B까지의 단면도를 위주로 설명하되, 이해를 돕기 위해 도 3a 내지 도 4a를 함께 참조한다.Hereinafter, a method of manufacturing an organic light emitting display device according to an embodiment of the present invention will be described. However, the cross-sectional view taken up to B-B of FIG. 4A described above will be mainly described in order to increase the ease of explanation, but also refer to FIGS. 3A to 4A for better understanding.
도 5a 내지 도 5c는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계발광표시장치의 제조방법을 설명하기 위한 개략적인 공정도이다.5A through 5C are schematic process diagrams for describing a method of manufacturing an organic light emitting display device according to an embodiment of the present invention.
본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계발광표시장치의 제조방법은, 앞서 참조한 도 3a 또는 도 4a와 같이, 기판(110) 상에 위치하는 서브 픽셀(Pixel) 내에 제1영역(Area1), 제2영역(Area2) 및 제3영역(Area3)을 정의한다.In the method of manufacturing an organic light emitting display device according to an exemplary embodiment of the present invention, as shown in FIG. 3A or FIG. 4A, the first area Area1 and the first area in the subpixel Pixel on the
이후, 제1영역(Area1)에 스위칭 트랜지스터를 형성한다. 그리고 제2영역(Area2)에 커패시터를 형성한다. 그리고 제3영역(Area3)에 구동 트랜지스터를 형성한다.Thereafter, a switching transistor is formed in the first area Area1. A capacitor is formed in the second area Area2. A driving transistor is formed in the third region Area3.
다만, 스위칭 트랜지스터, 커패시터 및 구동 트랜지스터를 형성하는 단계는 제1영역(Area1), 제2영역(Area2) 및 제3영역(Area3) 별로 구분하여 이해를 돕기 위한 것일 뿐, 각각 다른 공정을 통해 형성되는 것이 아니므로 이하 구동 트랜지스터부분의 공정에 설명을 덧붙이는 형식으로 구체화한다.However, the steps of forming the switching transistor, the capacitor, and the driving transistor are provided for the sake of understanding by dividing the first area (Area1), the second area (Area2), and the third area (Area3) by different processes. Since this is not the case, the description is given in the form of adding description to the process of the driving transistor section below.
도 5a에 도시된 바와 같이, 기판(110)을 준비한다. 기판(110)은 유리, 플라스틱 또는 금속 등으로 준비할 수 있으며 도시되어 있진 않지만, 기판(110) 상에는 버퍼층이 위치할 수도 있다.As shown in FIG. 5A, the
기판(110) 상에 반도체층(111)을 띠 형태로 형성한다. 반도체층(111)은 비정질 실리콘 또는 결정화된 다결정 실리콘을 포함할 수 있다. 반도체층(111)은 p형 또는 n형의 불순물을 포함하는 제1불순물 영역(112b) 및 제2불순물 영역(112a)을 포함할 수 있다.The
반도체층(111)의 일측에 접촉하도록 제3영역(Area3)의 중앙에 직사각형 형태 의 제1전극(113b)을 형성하고 반도체층(111)의 타측에 접촉되며 제1전극(113b)과 이격되도록 제2전극(113a)를 형성한다. 제2영역(Area2)에는 커패시터의 일단을 형성하고, 제1영역(Area1)에는 커패시터의 일단과 상기 커패시터의 일단으로부터 연장된 스위칭 트랜지스터의 제2전극과 제1전극을 형성할 수 있다.A rectangular
여기서, 제1전극 및 제2전극(113b, 113a)은 단일층 또는 다중층으로 이루어질 수 있다. 제1전극 및 제2전극(113b, 113a)이 단일층일 경우에는 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 금(Au), 티타늄(Ti), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd) 및 구리(Cu)로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나 또는 이들의 합금으로 이루어질 수 있다. 또한, 제1전극 및 제2전극(113b, 113a)이 다중층일 경우에는 몰리브덴/알루미늄-네오디뮴의 2중층, 몰리브덴/알루미늄/몰리브덴 또는 몰리브덴/알루미늄-네오디뮴/몰리브덴의 3중층으로 이루어질 수 있다.The first and
이와 같이 제1전극(113b) 및 제2전극(113a)을 형성함과 동시에 데이터 배선, 스위칭 트랜지스터의 제1전극 및 커패시터의 일단을 형성할 수 있으나 이에 한정되지 않는다.As such, the
한편, 서브 픽셀(Pixel) 영역을 제외한 비화소 영역에 위치하는 데이터 배선은 단일층 또는 다중층으로 형성될 수 있다. 데이터 배선이 단일층일 경우에는 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 금(Au), 티타늄(Ti), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd) 및 구리(Cu)로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나 또는 이들의 합금으로 이루어질 수 있다. 또한, 데이터 배선이 다중층일 경우에는 몰리브덴/알루미늄-네오디뮴의 2중층, 몰리브덴/알루미늄/몰리브덴 또는 몰리브덴/알루미늄-네오디뮴/몰리 브덴의 3중층으로 이루어질 수 있으나 이에 한정되지 않는다.Meanwhile, the data line positioned in the non-pixel area except for the sub-pixel area may be formed as a single layer or multiple layers. If the data wiring is a single layer, in the group consisting of molybdenum (Mo), aluminum (Al), chromium (Cr), gold (Au), titanium (Ti), nickel (Ni), neodymium (Nd), and copper (Cu) It may be made of any one or an alloy thereof. In addition, when the data line is a multilayer, it may be composed of a double layer of molybdenum / aluminum-neodymium, a molybdenum / aluminum / molybdenum, or a triple layer of molybdenum / aluminum-neodymium / molybdenum.
다음, 도 5b에 도시된 바와 같이, 기판(110) 상에 위치하는 제1전극(113b), 반도체층(111) 및 제2전극(113a)의 상부에 절연막(114)을 형성한다. 절연막(114)은 실리콘 산화막(SiOx), 실리콘 질화막(SiNx) 또는 이들의 다중층일 수 있으나 이에 한정되지 않는다.Next, as illustrated in FIG. 5B, an insulating
절연막(114) 상에 반도체층(111)을 덮도록 게이트(115)를 형성한다. 이때, 게이트(115)는, 반도체층(111)의 중앙 영역에 위치하는 영역이 반도체층(111)의 외곽 영역에 위치하는 영역보다 하부에 위치할 수 있다.The
여기서, 게이트(115)는 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 금(Au), 티타늄(Ti), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd) 및 구리(Cu)로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나 또는 이들의 합금으로 이루어질 수 있다. 또한, 게이트(115)는 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 금(Au), 티타늄(Ti), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd) 및 구리(Cu)로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나 또는 이들의 합금으로 이루어진 다중층일 수 있다. 또한, 게이트(115)는 몰리브덴/알루미늄-네오디뮴 또는 몰리브덴/알루미늄의 2중층일 수 있으나 이에 한정되지 않는다.Here, the
한편, 게이트(115)를 형성함과 동시에 스위칭 트랜지스터의 게이트 및 커패시터의 타단을 형성할 수 있으나 이에 한정되지 않는다. 여기서, 스위칭 트랜지스터의 게이트는 스캔 배선에 연결되도록 패턴될 수 있으며, 커패시터의 타단은 제2전원 배선에 연결되도록 패턴될 수 있다.Meanwhile, the
여기서, 서브 픽셀(Pixel)을 제외한 비 화소 영역에 위치하는 스캔 배선은 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 금(Au), 티타늄(Ti), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd) 및 구리(Cu)로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나 또는 이들의 합금으로 이루어질 수 있다. 또한, 스캔 배선은 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 금(Au), 티타늄(Ti), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd) 및 구리(Cu)로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나 또는 이들의 합금으로 이루어진 다중층일 수 있다. 또한, 스캔 배선은 몰리브덴/알루미늄-네오디뮴 또는 몰리브덴/알루미늄의 2중층일 수 있으나 이에 한정되지 않는다.In this case, the scan wirings positioned in the non-pixel regions except for the sub-pixels include molybdenum (Mo), aluminum (Al), chromium (Cr), gold (Au), titanium (Ti), nickel (Ni), and neodymium ( Nd) and copper (Cu) may be made of any one or an alloy thereof. In addition, the scan wiring is any one selected from the group consisting of molybdenum (Mo), aluminum (Al), chromium (Cr), gold (Au), titanium (Ti), nickel (Ni), neodymium (Nd), and copper (Cu). It may be a multilayer of one or an alloy thereof. In addition, the scan line may be a double layer of molybdenum / aluminum-neodymium or molybdenum / aluminum, but is not limited thereto.
다음, 도 5c에 도시된 바와 같이, 게이트(115) 상에 보호막(116a)을 형성하고 보호막(116a) 상에 평탄화막(116b)을 형성한다. 이때, 절연막(114), 보호막(116a) 및 평탄화막(116b)은 제3영역(Area3)의 중앙 영역에서 제1전극(113b)이 노출되도록 패턴된 제1콘택홀(Contact1)을 형성할 수 있다.Next, as shown in FIG. 5C, the
여기서, 제1콘택홀(Contact1)은 구동 트랜지스터의 제1전극(113b)과 유기 발광다이오드의 캐소드(117) 간의 전기적인 연결을 하기 위해 형성될 수 있다.Here, the first contact hole Contact1 may be formed for electrical connection between the
이후, 평탄화막(116b) 상에는 구동 트랜지스터의 제1전극(113b)에 연결되도록 유기 발광다이오드의 캐소드(117)를 형성한다. 도시되어 있진 않지만, 이후, 캐소드(117) 상에는 유기 발광층과 제1전원 배선에 연결된 애노드를 차례대로 형성할 수 있다.Thereafter, the
이상, 본 발명의 일 실시예와 같은 구조로 상부 발광 방식 인버티드 유기전계발광표시장치를 형성하게 되면, 외부 광이 구동 트랜지스터의 반도체층 영역으로 입사되는 현상을 게이트로 저지할 수 있게 되어 구동 트랜지스터의 출력 세튜레이션(Saturation) 특성이 저하하는 문제를 방지할 수 있게 된다. 또한, 상부 발광 방식 인버티드 유기전계발광표시장치를 제조할 때 사용되는 마스크 수를 줄일 수 있는 효과가 있다.As described above, when the upper emission type inverted organic light emitting display device has the same structure as the exemplary embodiment of the present invention, the phenomenon that external light is incident on the semiconductor layer region of the driving transistor can be prevented by using the driving transistor. It is possible to prevent the problem that the output saturation characteristics of the deterioration. In addition, the number of masks used when manufacturing the top emission type inverted organic light emitting display device may be reduced.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 상술한 본 발명의 기술적 구성은 본 발명이 속하는 기술 분야의 당업자가 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해되어야 한다. 아울러, 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어진다. 또한, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.Although the embodiments of the present invention have been described above with reference to the accompanying drawings, the technical configuration of the present invention described above may be modified in other specific forms by those skilled in the art to which the present invention pertains without changing its technical spirit or essential features. It will be appreciated that it may be practiced. Therefore, the embodiments described above are to be understood as illustrative and not restrictive in all aspects. In addition, the scope of the present invention is shown by the claims below, rather than the above detailed description. Also, it is to be construed that all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalent concepts are included in the scope of the present invention.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계발광표시장치의 개략적인 평면도.1 is a schematic plan view of an organic light emitting display device according to an embodiment of the present invention;
도 2는 서브 픽셀의 회로 구성 예시도.2 is an exemplary circuit configuration of a subpixel.
도 3a는 서브 픽셀의 평면도.3A is a plan view of a subpixel;
도 3b는 도 3a의 A-A까지의 단면도.3B is a cross-sectional view taken along the line A-A of FIG. 3A.
도 4a는 서브 픽셀의 평면도.4A is a plan view of a subpixel;
도 4b는 도 4a의 B-B까지의 단면도.4B is a cross-sectional view taken along the line B-B in FIG. 4A.
도 5a 내지 도 5c는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계발광표시장치의 제조방법을 설명하기 위한 개략적인 공정도.5A through 5C are schematic process diagrams for describing a method of manufacturing an organic light emitting display device according to an embodiment of the present invention.
<도면의 주요 부분에 관한 부호의 설명><Explanation of symbols on main parts of the drawings>
110: 기판 111: 반도체층110
113a: 제2전극 113b: 제1전극113a:
114: 절연막 115: 게이트114: insulating film 115: gate
116a: 보호막 116b: 평탄화막116a:
117: 캐소드 119: 애노드117: cathode 119: anode
Claims (10)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020070123222A KR101424272B1 (en) | 2007-11-30 | 2007-11-30 | Organic Light Emitting Display and Manufacturing Method for the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020070123222A KR101424272B1 (en) | 2007-11-30 | 2007-11-30 | Organic Light Emitting Display and Manufacturing Method for the same |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20090056184A true KR20090056184A (en) | 2009-06-03 |
KR101424272B1 KR101424272B1 (en) | 2014-07-31 |
Family
ID=40987618
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020070123222A KR101424272B1 (en) | 2007-11-30 | 2007-11-30 | Organic Light Emitting Display and Manufacturing Method for the same |
Country Status (1)
Country | Link |
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KR (1) | KR101424272B1 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2022093416A (en) * | 2013-12-10 | 2022-06-23 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | Semiconductor device and electronic apparatus |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101054341B1 (en) * | 2004-04-30 | 2011-08-04 | 삼성전자주식회사 | Organic light emitting display device and manufacturing method thereof |
KR100659055B1 (en) * | 2004-06-23 | 2006-12-19 | 삼성에스디아이 주식회사 | Active matrix type organic electroluminescence display device with organic thin film transistor and method of manufacturing the same |
KR100914784B1 (en) * | 2006-05-17 | 2009-08-31 | 엘지디스플레이 주식회사 | Light emitting device and fabrication method of the same |
-
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- 2007-11-30 KR KR1020070123222A patent/KR101424272B1/en active IP Right Grant
Cited By (1)
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