KR20080102223A - Multi-joint robot and wiring method - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 액정용의 유리 기판이나 반도체 웨이퍼 등의 얇은 판 형상의 피작업물(work)을 스토커(stocker)에 출납하는 다관절 로봇에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE
종래의 다관절 로봇으로는 견관절부의 회전 중심과 대좌의 회전 중심을 오프셋(offset)함으로써 대좌를 회동시킬 때에 다관절 로봇의 선회 반경을 작게 하는 것이 제안되어 있다(예를 들면, 특허 문헌 1 참조).As a conventional articulated robot, it is proposed to reduce the turning radius of the articulated robot when the pedestal is rotated by offsetting the center of rotation of the shoulder and the center of rotation of the pedestal (see
종래의 다관절 로봇(1)은 도 5에 나타내듯이 관절부(3, 4, 5)에 의해 회전 가능하게 연결되어 회전 구동원에 의한 회전력을 전달하여 소망의 동작을 시키는 암(arm)(2)을 2조 구비하여 이루어지는 것으로, 2조의 암(2)에 설치되는 기단의 관절부(3)의 회전 중심축을 상하(또는 축방향)로 배치하도록 구성되어 있다.The conventional articulated robot (1) is rotatably connected by joints (3, 4, 5) as shown in FIG. 5 to transfer arm force by a rotational drive source (arm) 2 to perform a desired motion. It consists of two sets, and is comprised so that the rotation center axis of the
다관절 로봇(1)은 2조의 암(2)를 구비하고 한쪽의 암 구동형 장치(2)를 공급용, 다른 한쪽을 취출용으로 하여, 피작업물(9)의 공급 동작과 다른 피작업물(9)의 취출 동작을 동시에 행하는 것을 가능하게 하고 있다.The articulated robot (1) has two sets of arms (2), one arm-driven device (2) for supply and the other for taking out, and the operation of the workpiece (9) different from the supply operation of the workpiece (9). It is possible to carry out the extraction operation of the
또, 종래의 다관절 로봇(1)은 암(2)에 의해 피작업물(9)을 보유하는 핸드부(8)는 도면 중 화살표 X로 나타내는 피작업물(9)의 취출·공급 방향으로 직선 이동 가능하도록 구성된다.In the conventional articulated
또, 종래의 다관절 로봇(1)은 암(2)이 설치되어 있는 지지 부재(10)를 상하로 이동시키는 이동 부재(11)(이하, 상하 이동 기구(11)라고 함)를 구비하여 암(2)의 상하 위치를 조정 가능하게 하고 있다. 또, 상하 이동 기구(11)의 대좌(13)는 회동 가능하게 설치되고, 다관절 로봇(1)을 선회하여 방향을 바꿀 수 있도록 하고 있다.In addition, the conventional articulated
또한, 본 실시 형태의 다관절 로봇(1)에서는 도면 중 화살표 Y로 나타내는 방향, 즉 핸드부(8)의 이동 방향과 지지 부재(10)의 상하 이동 방향의 각각에 직교하는 방향으로 대좌(13)를 기대(其臺)(14)에 대해서 이동 가능하게 설치하여 상하 이동 기구(11)의 위치를 조정 가능하게 하고 있다.In addition, in the articulated
또, 종래의 다관절 로봇(1)에 구비되는 2조의 암(2)은 예를 들면 복수의 관절부를 가지는 것으로, 즉 다관절 로봇(1)은 수평 다관절형 로봇으로서 구성된다. 본 실시 형태에서의 암(2)은, 제1 암(6)(이하, 상완(6)이라고 함)과, 상완(6)과 연결되는 제2 암(7)(이하, 전완(7)이라고 함)과, 전완(7)과 연결되고 피작업물(9)을 보유하는 핸드부(8)를 구비한다.In addition, the two sets of
상완(6)의 기단은 지지 부재(10)에 구동축을 통해 연결되어 회동 가능한 관절부(3)(이하, 견관절부(3)라고 함)를 구성한다. 이 견관절부(3)가 암(2)의 기단의 관절부(3)로 된다. 또, 상완(6)의 선단과 전완(7)의 기단이 구동축을 통해 연결되어 회동 가능한 관절부(4)(이하, 팔의 관절부(4)라고 함)를 구성한다. 또, 전완(7)의 선단과 핸드부(8)가 구동축을 통해 연결되어 회동 가능한 관절부(5)(이하, 핸드 관절부(5)라고 함)를 구성한다. 견관절부(3)의 회전 중심축이 동축 상이도록 상하 방향으로 대면하도록 배치한다.The proximal end of the
암(2)은 도시하지 않는 회전 구동원에 의해 견관절부(3)와 팔의 관절부(4)와 핸드 관절부(5)를 회동시켜 핸드부(8)를 피작업물 취출·공급 방향으로 이동시킨다. 이때 암(2)에서는 그 기구상 핸드부(8)가 한 방향을 향하여 상완(6)과 전완(7)을 다 펼친 신장 위치와 상완(6)과 전완(7)을 접은 상태로 한 오므린 위치의 사이를 직선 이동하도록 신축 동작을 한다.The
특허 문헌 1 : 일본국 특허공개공보 2001-274218(제4페이지∼5페이지, 도 1)Patent Document 1: Japanese Patent Laid-Open No. 2001-274218 (
<발명이 해결하고자 하는 과제> Problems to be Solved by the Invention
액정용의 유리 기판이나 반도체 웨이퍼 등의 얇은 판 형상의 피작업물을 스토커에 출납하는 다관절 로봇은 대형화가 진행되고, 처리하는 기판의 매수도 증가함과 아울러 단시간에 처리하는 것이 요구되고 있다. 이 때문에 로봇에는 기판을 배치하는 스토커가 천정에 닿을 정도의 높이가 될 때까지 설비 자체가 대형화함에도 불구하고, 스토커에는 보다 많은 기판을 배치시켜 처리하는 것이 바람직하다. 또, 액정 기판이나 반도체 웨이퍼의 생산 매수는 해마다 많아지고 있고, 생산성을 올리기 위해서 로봇에게는 반송 스루풋(throughput)이 요구되고 있다. 그렇지만, 로봇은 기계 부품을 포함하고 있기 때문에 유지 보수가 필요하고, 유지 보수 시간도 스루풋과 관련되는 큰 팩터(factor)로 되고 있고, 용이하게 유지 보수할 수 있는 것이 바람직하다.BACKGROUND ART The articulated robot that deposits thin plate-shaped workpieces, such as liquid crystal glass substrates and semiconductor wafers, into a stocker is required to be processed in a short time while increasing the number of substrates to be processed. For this reason, although the apparatus itself enlarges until the stocker which arrange | positions a board | substrate becomes high enough to reach a ceiling, it is preferable to arrange | position more board | substrates to a stocker and to process it. Moreover, the number of production of a liquid crystal substrate and a semiconductor wafer is increasing year by year, and conveyance throughput is calculated | required by a robot in order to raise productivity. However, since the robot includes mechanical parts, maintenance is required, and maintenance time is also a large factor related to throughput, and it is desirable that the robot can be easily maintained.
그렇지만, 종래의 다관절 로봇은 암 기단에 모터나 풀리(pulley) 등을 격납하고, 핸드부에 배치한 센서에 케이블(cable)을 배선한다. 이 케이블의 휨 반경을 고려하여 상하 방향으로 두꺼운 구조로 되어 있다. 이 때문에, 암의 간격을 좁게 할 수가 없기 때문에, 스토커 내의 액정 기판이나 반도체 기판을 배치하는 간격을 넓게 취할 수 밖에 없는 문제가 발생하고 있었다. 즉, 스토커 내에 배치할 수 있는 패널이나 기판의 매수가 적게 되기 때문에 생산성이 저하한다는 문제가 발생하고 있었다. 이것을 회피하기 위해서 상하 이동 기구로 출납할 때에 암의 높이를 바꾸는 것이 생각되지만, 이 경우는 암을 상하로 이동시키는 순서를 반복하기 때문에 시간이 걸려 작업시간이 길어지는 등의 문제가 발생하고 있었다.However, the conventional articulated robot stores a motor, a pulley, etc. at the base of an arm, and wires a cable to the sensor arrange | positioned at a hand part. The cable has a thick structure in the vertical direction in consideration of the bending radius of the cable. For this reason, since the space | interval of an arm cannot be narrowed, the problem that the space | interval which arrange | positions the liquid crystal substrate and a semiconductor substrate in a stocker has to be widened has arisen. That is, since the number of panels and board | substrates which can be arrange | positioned in a stocker becomes small, there existed a problem that productivity fell. In order to avoid this, it is conceivable to change the height of the arm when dispensing with the up / down moving mechanism. In this case, however, the procedure of moving the arm up and down is repeated.
본 발명은 이러한 문제점을 감안하여 이루어진 것으로, 생산성을 향상시킨 액정용의 유리 기판이나 반도체 웨이퍼 등의 얇은 판 형상의 피작업물을 스토커에 출납하는 다관절 로봇을 제공하는 것을 목적으로 한다.This invention is made | formed in view of such a problem, and an object of this invention is to provide the articulated robot which draws out thin-plate workpieces, such as a glass substrate for semiconductors, a semiconductor wafer, etc. which improved productivity.
<과제를 해결하기 위한 수단> Means for solving the problem
상기 문제를 해결하기 위해 본 발명은 다음과 같이 구성한 것이다.In order to solve the above problems, the present invention is configured as follows.
청구항 1에 기재의 발명은, 반송물을 재치하는 핸드부와, 상기 핸드부와 연결되고, 적어도 2개 이상의 회전 관절을 구비하고, 상기 핸드부를 한 방향으로 이동하도록 신축하고, 축방향에 대향하도록 배치된 다관절 암과, 상기 다관절 암과 상하로 이동하는 이동 기구를 연결하는 지지 부재와, 상기 이동 기구에 구비된 선회 기능을 가지는 대좌로 이루어지는 다관절 로봇에 있어서, 적어도 하나의 상기 회전 관절의 회전 중심에 중공 연결 구멍을 구비한 것이다.Invention of
청구항 2에 기재의 발명은, 상기 중공 연결 구멍에는 케이블(cable)이 통과하도록 배치된 것이다.According to the invention of
청구항 3에 기재의 발명은, 다심 케이블의 피복을 제거한 단심 케이블이 적어도 하나의 상기 회전 관절을 통과하도록 배선된 것이다.In the invention according to
청구항 4에 기재의 발명은, 다심 케이블의 피복을 제거한 단심 케이블이 적어도 하나의 상기 회전 관절을 상기 회전 관절에 구비된 중공 연결 구멍을 지나서 통과하도록 배선된 것이다.In the invention according to
청구항 5에 기재의 발명은, 다심 케이블의 피복을 제거한 단심 케이블이 적어도 하나의 상기 회전 관절을 상기 회전 관절에 구비된 중공 연결 구멍을 지나, 상기 중공 연결 구멍의 어느 쪽이든 한쪽의 단면에서 상기 단심 케이블이 나올 때에 원주 상에 단심 케이블이 통과하도록 분수 형상으로 배선된 것이다.According to the invention of
청구항 6에 기재의 발명은, 다심 케이블의 피복을 제거한 단심 케이블이 적어도 하나의 상기 회전 관절을 통과하도록 배선되고, 다심 케이블로부터 단심 케이블로 할 때에 단심 케이블을 고정하는 결속 수단을 구비한 것이다.According to the sixth aspect of the present invention, there is provided a binding means for fixing a single core cable when the single core cable from which the covering of the multicore cable is removed is routed so as to pass through at least one of the rotary joints, and when the single core cable is a single core cable.
청구항 7에 기재의 발명은, 상기 결속 수단이 중공 연결 구멍의 중공부에 구비된 것이다.In the invention described in
청구항 8에 기재의 발명은, 상기 결속 수단의 단면이 대략 C형의 형상으로 형성되고, C형의 개구부를 나사 등에 의한 체결부를 가지는 것이다.In the invention described in
청구항 9에 기재의 발명은, 상기 지지 부재에 구비된 상기 회전 관절에 중공 연결 구멍을 구비하고, 상기 회전 관절을 통과하는 케이블이 단심 케이블로 이루어지고, 상기 중공 연결 구멍을 통해 배선된 것이다.The invention according to
청구항 10에 기재의 발명은, 반송물을 재치하는 핸드부와, 상기 핸드부와 연결되고, 적어도 2개 이상의 회전 관절을 구비하고, 상기 핸드부를 한 방향으로 이동하도록 신축하고, 축방향에 대향하도록 배치된 다관절 암과, 상기 다관절 암과 상하로 이동하는 이동 기구를 연결하는 지지 부재와, 상기 이동 기구에 구비된 선회 기능을 가지는 대좌로 이루어지는 다관절 로봇에 있어서, 상기 지지 부재에 회동 자유롭게 연결된 상완의 축방향의 두께가 상기 지지 부재의 두께와 같은 두께 또는 그것보다도 얇게 형성된 것이다.Invention of
청구항 11에 기재의 발명은, 반송물을 재치하는 핸드부와, 상기 핸드부와 연결되고, 적어도 2개 이상의 회전 관절을 구비하고, 상기 핸드부를 한 방향으로 이동하도록 신축하고, 축방향에 대향하도록 배치된 다관절 암과, 상기 다관절 암과 상하로 이동하는 이동 기구를 연결하는 지지 부재와, 상기 이동 기구에 구비된 선회 기능을 가지는 대좌로 이루어지는 다관절 로봇의 배선 방법에 있어서, 상기 회전 관절에 설치된 중공 연결 구멍을 통해서 케이블을 배선하는 것이다.The invention described in
청구항 12에 기재의 발명은, 상기 회전 관절을 통과하는 상기 케이블이 단심 케이블로 배선된 것이다.In the invention described in
<발명의 효과> Effect of the Invention
청구항 1 내지 청구항 9 및 청구항 11과 청구항 12에 기재의 발명에 의하면, 회전 관절 내에 중공 연결 구멍을 구비함으로써, 회전 연결된 부재에 의해 케이블이 비틀어지는 일이 없게 된다. 또한, 이 중공 연결 구멍 내에 케이블을 배선함으로써, 배선용의 경로를 배치하는 일 없이 케이블을 배선할 수 있으므로 소형화할 수 있다. 또, 중공 연결 구멍 내를 통과하는 케이블을 다심 케이블로부터 단심 케이블로 함으로써, 케이블의 곡률 반경을 작게 할 수 있어 불필요한 공간을 없애므로써 회전 관절의 상하 방향의 두께를 얇게 할 수가 있다.According to the inventions of
또, 청구항 10에 기재의 발명에 의하면, 지지 부재에 회동 자유롭게 연결된 상완의 축방향의 두께가 지지 부재의 두께와 같은 두께 또는 그것보다도 얇게 형성된 것이기 때문에, 회전 관절의 상하 방향의 두께를 얇게 할 수 있어 암의 간격을 좁게 할 수가 있고, 스토커 내의 액정 기판이나 반도체 기판을 많이 배치할 수 있으므로 생산성을 향상시킬 수가 있다.Further, according to the invention of
도 1은 본 발명의 실시예를 나타내는 다관절 로봇의 사시도이다.1 is a perspective view of an articulated robot showing an embodiment of the present invention.
도 2는 본 발명의 실시예를 나타내는 다관절 로봇의 상면도이다. 2 is a top view of an articulated robot showing an embodiment of the present invention.
도 3은 본 발명의 실시예를 나타내는 다관절 로봇의 회전 관절의 측 단면도이다.3 is a side cross-sectional view of a rotary joint of an articulated robot showing an embodiment of the present invention.
도 4는 본 발명의 실시예를 나타내는 다관절 로봇의 회전 관절의 상면도이다.4 is a top view of a rotary joint of an articulated robot showing an embodiment of the present invention.
도 5는 종래의 다관절 로봇의 사시도이다.5 is a perspective view of a conventional articulated robot.
<부호의 설명> <Description of the code>
1 다관절 로봇 2 암(arm)1 Articulated
21 상암(upper arm) 22 하암(lower arm)21
3 견관절부 4 팔의 관절부3
5 핸드 관절부 6 상완5 Hand joint 6 Upper arm
7 전완 8 핸드부7
9 피작업물(work) 10 지지 부재9
11 상하 이동 기구 12 칼럼(column)11 up and down moving
13 대좌(pedestal) 14 기대(其臺)13
16 칼럼 블록(column block)16 column block
17 모터 18 풀리(pulley)17 '' motor 18 '' pulley
19 벨트 20 케이블(cable)19
201 다심 케이블 202 단심 케이블201
23 중공 연결 구멍(connection hole)23 hollow connection hole
24 결속 수단Binding means
이하, 본 발명의 실시의 형태에 대해서 도면을 참조하여 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment of this invention is described with reference to drawings.
<실시예 1> <Example 1>
도 1은 본 발명의 다관절 로봇의 사시도이다.1 is a perspective view of the articulated robot of the present invention.
본 발명의 다관절 로봇(1)은 관절부(3, 4, 5)에 의해 회전 가능하게 연결되어 회전 구동원에 의한 회전력을 전달하여 소망의 동작을 시키는 암(2)을 2조 구비하고 있다. 또, 암(2)에 의해 피작업물(9)을 보유하는 핸드부(8)는 도면 중 화살표 X로 나타내는 피작업물(9)의 취출·공급 방향으로 직선 이동 가능하도록 구성된다. 또, 2조의 암(2)에 설치되는 기단의 관절부(3)의 회전 중심축의 관계는, 도 2에 나타내듯이, 상암의 기단의 관절부(3)에 대해서 핸드부(8)의 이동 방향에 어긋나도록 하암의 기단의 관절부(3)가 배치되도록 구성되어 있다.The articulated
또, 다관절 로봇(1)은 도시하지 않는 스토커의 고층화에 대응하기 위해서 복수 블록으로 나누어진 칼럼(12)이 연결된 구조로 되어 있다. 이와 같이 각 칼럼 블록(16)을 순차 연결함으로써 고층에 대응한 높이를 가지는 다관절 로봇(1)을 형성하고 있다. 본 실시예에서는 4개의 칼럼 블록(16)이 연결된 구조로 되어 있다.In addition, the articulated
또, 암(2)이 설치되어 있는 지지 부재(10)를 상하로 이동시키는 상하 이동 부재이동 부재비하고, 암(2)의 상하 위치를 조정 가능하게 하고 있다. 또, 상하 이동 기구(11)의 대좌(13)는 회동 가능하게 설치되고, 다관절 로봇(1)을 선회하여 방향을 바꿀 수 있도록 하고 있다. 여기서, 상하 이동 기구(11)는 핸드의 이동 방향과 같은 방향으로 배치되고, 지지 부재(10)는 상하 구동 기구(11)로부터 핸드의 이동 방향에 대해서 직교하는 방향으로 돌출하고, 암의 기단의 관절부(3)에 연결되어 있다.Moreover, the up-down moving member movement member ratio which moves the
다음에, 암의 상세한 구조에 대해서 설명한다. 암(2)의 기단의 관절부(3)에는, 도 3 및 도 4에 나타내듯이 암(2)을 선회하는 모터(17)와 이 모터(17)에 연결하는 풀리(18) 및 벨트(19) 등이 구성됨과 아울러, 핸드(8)에 구비된 도시하지 않는 센서의 케이블(20)이 중공 연결 구멍(23)을 통해서 배선되어 있다. 기단의 관절부(3)의 두께를 얇게 하기 위해서는, 센서의 케이블(20)이 상완(6)으로부터 중공 연결 구멍(23)에 들어갈 때에 케이블(20)을 굽힐 필요가 있지만, 단심 케이블을 복 수 라인으로 묶은 다심 케이블(201)을 굽히면 곡률 반경이 커지기 때문에, 본 발명에서는 휨 반경을 작게 하는 구조로 되도록 중공 연결 구멍(23) 내부로부터 상완(6)까지의 구간에서 다심 케이블(201)의 피복을 제거한 단심 케이블(202)로 형성하고, 중공 연결 구멍(23)로부터 상완(6)에 단심 케이블(201)이 나올 때에 원주 상에 단심 케이블(202)이 통과하도록 분수 형상으로 배선되고 상완(6)에 배선된다. 이때 단심 케이블(202)로부터 다심 케이블(201)로 합칠 때에는 각각, 결속 수단(25)에 의해 단심 케이블(201)을 합치도록 되어 있다. 본 실시예에서는 결속 수단(25)은 연결구멍(23) 내부와 상완(6)에 설치되어 있고, 단면이 대략 C형의 형상으로 C형의 개구부를 나사 등에 의한 체결부를 가지는 형상으로 되어 있다. 이러한 구조에 의해, 센서의 케이블(20)의 곡률 반경을 작게 할 수 있고, 기단의 관절부(3)의 두께를 지지 부재(10)의 두께보다도 얇게 할 수 있어 2개의 암의 간격을 좁게 하는 것이 가능하게 되고 있다. 또, 본 실시예에서는 지지 부재와 상완 사이의 배선 구조에 대해서 기술했지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 상완과 전완 사이나 전완과 핸드 사이라도 마찬가지의 방법에 의해 행할 수가 있는 것은 당연하다.Next, the detailed structure of the arm will be described. In the
본 발명이 특허 문헌 1과 다른 부분은, 각 관절을 통과하는 케이블이 단심 케이블로 구성되어 케이블의 곡률 반경이 작아짐으로써 암의 축방향의 두께가 얇아짐으로써 2개의 암의 간격이 좁게 배치되도록 형성된 부분이다.The present invention differs from
다음에, 동작에 대해서 설명한다. 본 발명의 다관절 로봇(1)에 구비되는 2조의 암(2)은 예를 들면, 복수의 관절부를 가지는 것으로, 즉 다관절 로봇(1)은 수평 다관절형 로봇으로서 구성된다. 본 실시 형태에서의 암(2)은 종래의 암(2)의 구조와 마찬가지의 구조를 구비하고 있다.Next, the operation will be described. The two sets of
상완(6)의 기단은 지지 부재(10)에 구동축을 통해 연결되어 회동 가능한 견관절부(3)를 구성한다. 이 견관절부(3)가 암(2)의 기단의 관절부(3)로 된다. 또, 상완(6)의 선단과 전완(7)의 기단이 구동축을 통해 연결되어 회동 가능한 팔의 관절부(4)를 구성한다. 또, 전완(7)의 선단과 핸드부(8)가 구동축을 통해 연결되어 회동 가능한 핸드 관절부(5)를 구성한다.The proximal end of the
암(2)은 도시하지 않는 회전 구동원에 의해 견관절부(3)와 팔의 관절부(4)와 핸드 관절부(5)를 회동시켜 핸드부(8)를 피작업물 취출·공급 방향으로 이동시킨다. 이때 암(2)에서는 그 기구상 핸드부(8)가 한 방향을 향하여 상완(6)과 전완(7)을 다 펼친 신장 위치와 상완(6)과 전완(7)을 접은 상태로 한 오므린 위치와의 사이를 직선 이동하도록 신축 동작을 행한다.The
이러한 핸드부에 물품을 재치하여 반송함으로써 물품의 교체 작업을 할 수가 있으므로 두꺼운 판이나 상자 모양의 물품의 반송 작업이라는 용도에도 적용할 수 있다.Since the article can be replaced by placing the article on the hand, the article can be replaced by a thick plate or a box-shaped article.
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