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KR20080040347A - Wet absorption tower - Google Patents

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Publication number
KR20080040347A
KR20080040347A KR1020060108186A KR20060108186A KR20080040347A KR 20080040347 A KR20080040347 A KR 20080040347A KR 1020060108186 A KR1020060108186 A KR 1020060108186A KR 20060108186 A KR20060108186 A KR 20060108186A KR 20080040347 A KR20080040347 A KR 20080040347A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
adsorption tower
water
tower
porous plate
wet
Prior art date
Application number
KR1020060108186A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
권영관
Original Assignee
동부일렉트로닉스 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 동부일렉트로닉스 주식회사 filed Critical 동부일렉트로닉스 주식회사
Priority to KR1020060108186A priority Critical patent/KR20080040347A/en
Publication of KR20080040347A publication Critical patent/KR20080040347A/en

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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D47/00—Separating dispersed particles from gases, air or vapours by liquid as separating agent
    • B01D47/06—Spray cleaning
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • B01D—SEPARATION
    • B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
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Abstract

본 발명은 습식 흡착탑에 관한 것으로, 흡착탑의 몸체를 형성하는 흡착 타워와; 상기 흡착 타워의 하부에 마련되는 물탱크와; 상기 물탱크와 상기 흡착 타워의 상단을 연결하는 물공급관에 설치되는 순환펌프와; 상기 흡착 타워의 상단에 설치되어 상기 물공급관을 통해 공급되는 물을 분사하는 물분사노즐과; 상기 흡착 타워의 하부 일측에 연결설치되는 유해가스유입관과; 상기 흡착 타워의 상단에 설치되어 상기 흡착 타워의 내부로 유입된 유해가스에 포함된 유해물질이 흡착되어 정화된 가스를 배출시키는 유도팬; 및 상기 흡착 타워의 통로상에 다단으로 설치되는 다공판;을 포함하여 구성되어 다단으로 흡착 타워의 통로상에 설치되는 다공판에 의하여 유해가스의 포함된 유해물질 성분을 효율적으로 처리하는 효과가 있다.The present invention relates to a wet adsorption tower, the adsorption tower forming a body of the adsorption tower; A water tank provided below the adsorption tower; A circulation pump installed at a water supply pipe connecting the water tank and an upper end of the adsorption tower; A water spray nozzle installed at an upper end of the adsorption tower for spraying water supplied through the water supply pipe; A harmful gas inlet pipe connected to the lower side of the adsorption tower; An induction fan installed at an upper end of the adsorption tower to discharge the purified gas by adsorbing harmful substances contained in the harmful gas introduced into the adsorption tower; And a perforated plate installed in multiple stages on a passage of the adsorption tower. The perforated plate installed on the passage of the adsorption tower in multiple stages has an effect of efficiently treating the harmful substances contained in the noxious gas. .

Description

습식 흡수탑 {Wet Scrubber}Wet Scrubber {Wet Scrubber}

도 1은 종래 기술에 의한 습식 흡수탑의 개략적인 구성도.1 is a schematic configuration diagram of a wet absorption tower according to the prior art.

도 2는 본 발명에 의한 습식 흡수탑의 개략적인 구성도.Figure 2 is a schematic diagram of a wet absorption tower according to the present invention.

도 3a는 본 발명에 따른 다공판의 일 실시예에 의한 정면도.Figure 3a is a front view according to one embodiment of a porous plate according to the present invention.

도 3b는 본 발명에 의한 다공판의 다른 실시예에 의한 정면도.Figure 3b is a front view according to another embodiment of the porous plate according to the present invention.

도 3c는 본 발명에 의한 다공판의 또 다른 실시예에 의한 정면도.Figure 3c is a front view according to another embodiment of the porous plate according to the present invention.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Main Parts of Drawings>

30 ; 흡착 타워 32 ; 물탱크30; Adsorption tower 32; Water tank

34 ; 물공급관 36 ; 유해가스유입관34; Water supply pipe 36; Hazardous Gas Inlet Pipe

38 ; 순환펌프 40 ; 물분사노즐38; Circulating pump 40; Water spray nozzle

42 ; 유도팬 44,46,48, 50 ; 다공판42; Induction fans 44,46,48, 50; Perforated Plate

44a,46a,48a,50c ; 홀 50a,50b ; 씨줄, 날줄44a, 46a, 48a, 50c; Holes 50a, 50b; Seedline

본 발명은 반도체 제조 공정에 구비되는 흡착 장비에 관한 것으로, 보다 상세하게는 부식성 가스의 흡착 효율을 극대화시키도록 한 습식 흡수탑에 관한 것이 다.The present invention relates to adsorption equipment provided in a semiconductor manufacturing process, and more particularly, to a wet absorption tower to maximize the adsorption efficiency of corrosive gas.

종래 기술에 의한 습식 흡수탑은 도 1에 도시한 바와 같이, 팩키드 타워(Packed Tower)(10)의 내부에 표면적이 넓게 처리된 패킹(12)이 다수 수납되어 있고, 팩키드 타워(10)의 하부에는 물탱크(Water tank)(14)가 연결되어 있으며, 상기 팩키드 타워(10)의 상부에는 물분사노즐(16)이 설치되어 있다. 또한, 상기 팩키드 타워(10)의 하단에는 유해가스 공급관(18)이 연결되어 있고, 상단에는 유해물질이 여과된 가스를 배출되는 가스배출관(20)이 연결되어 있다.In the wet absorption tower according to the related art, as shown in FIG. 1, a plurality of packings 12 having a large surface area are accommodated in the packed tower 10, and the packed tower 10 is provided. Water tank (14) is connected to the lower portion of the, and the water spray nozzle (16) is installed on the top of the packed tower (10). In addition, the lower end of the packed tower 10 is connected to the harmful gas supply pipe 18, the upper end is connected to the gas discharge pipe 20 for discharging the filtered gas harmful substances.

이와 같이 구성된 종래 기술에 의한 습식 흡수탑은 물탱크(14)에서 펌핑된 물이 팩키드 타워(10)의 상부측에 설치된 물분사노즐(16)을 통해서 하부측으로 분사되며, 팩키드 타워(10)의 하부측에서 유입된 유해가스와 접촉되면서 유해가스에 포함된 유해물질 성분을 제거하게 된다. 유해성분이 제거된 가스는 가스배출관(20)을 통해 배출되며 물탱크(14)로 회수된 물은 무해처리된 후에 다시 팩키드 타워(10)의 상단부로 펌핑된다.In the wet absorption tower according to the related art configured as described above, water pumped from the water tank 14 is sprayed to the lower side through the water spray nozzle 16 installed on the upper side of the packed tower 10, and the packed tower 10 In contact with the harmful gas introduced from the lower side of the) will remove the harmful substances contained in the harmful gas. The gas from which noxious components have been removed is discharged through the gas discharge pipe 20, and the water recovered in the water tank 14 is harmlessly treated and pumped back to the upper end of the packed tower 10.

그러나 상술한 바와 같은 종래 기술에 의한 습식 흡착탑은 처리되는 유해가스의 용량이 크다는 장점은 있으나, 팩키드 타워에 수납되어 있는 팩킹들 간의 간격이 불균일하므로 유해가스의 처리 효율은 상당하게 떨어지는 문제가 있다.However, the wet adsorption tower according to the prior art as described above has the advantage that the capacity of the harmful gas to be treated is large, but there is a problem that the treatment efficiency of the harmful gas is considerably lowered because the spacing between packings contained in the packed tower is uneven. .

이와 같은 문제점을 감안하여 안출한 본 발명의 목적은 대기중에 포함되어 환경을 오염시키는 유해가스를 효율적으로 정화하기에 적합하도록 한 습식 흡착탑을 제공함에 있다.The object of the present invention devised in view of such a problem is to provide a wet adsorption tower suitable for efficiently purifying harmful gases contained in the atmosphere and polluting the environment.

본 발명의 다른 목적은 습식 흡착탑의 소형화가 가능하도록 한 것이다.Another object of the present invention is to enable the miniaturization of the wet adsorption tower.

본 발명의 다른 목적은 습식 흡착탑의 유지 비용을 절감할 수 있도록 한 것이다.Another object of the present invention is to reduce the maintenance cost of the wet adsorption tower.

상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 흡착탑의 몸체를 형성하는 흡착 타워와; 상기 흡착 타워의 하부에 마련되는 물탱크와; 상기 물탱크와 상기 흡착 타워의 상단을 연결하는 물공급관에 설치되는 순환펌프와; 상기 흡착 타워의 상단에 설치되어 상기 물공급관을 통해 공급되는 물을 분사하는 물분사노즐과; 상기 흡착 타워의 하부 일측에 연결설치되는 유해가스유입관과; 상기 흡착 타워의 상단에 설치되어 상기 흡착 타워의 내부로 유입된 유해가스에 포함된 유해물질이 흡착되어 정화된 가스를 배출시키는 유도팬; 및 상기 흡착 타워의 통로상에 다단으로 설치되는 다공판;을 포함하여 구성되는 습식 흡착탑을 제공한다.The present invention for achieving the above object, the adsorption tower for forming a body of the adsorption tower; A water tank provided below the adsorption tower; A circulation pump installed at a water supply pipe connecting the water tank and an upper end of the adsorption tower; A water spray nozzle installed at an upper end of the adsorption tower for spraying water supplied through the water supply pipe; A harmful gas inlet pipe connected to the lower side of the adsorption tower; An induction fan installed at an upper end of the adsorption tower to discharge the purified gas by adsorbing harmful substances contained in the harmful gas introduced into the adsorption tower; It provides a wet adsorption tower comprising a; and a porous plate installed in multiple stages on the passage of the adsorption tower.

이와 같이 구성되는 본 발명에 의한 습식 흡착탑은 다단으로 흡착 타워의 통로상에 설치되는 다공판에 의하여 유해가스의 포함된 유해물질 성분을 효율적으로 처리하는 효과가 있다.The wet adsorption tower according to the present invention configured as described above has an effect of efficiently treating the harmful substances contained in the noxious gas by the porous plate installed on the passage of the adsorption tower in multiple stages.

이하, 상기한 바와 같은 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부도면에 의거하여 보다 상세하게 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention as described above will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명 실시예에 의한 습식 흡착탑은 도 2에 도시한 바와 같이, 흡착탑의 몸체를 형성하는 흡착 타워(30)의 하부에 물탱크(32)가 설치되고, 상기 물탱크(32) 와 상기 흡착 타워(30)의 상단에는 물공급관(34)이 연결되어 있다.In the wet adsorption tower according to the exemplary embodiment of the present invention, as shown in FIG. 2, a water tank 32 is installed below the adsorption tower 30 forming the body of the adsorption tower, and the water tank 32 and the adsorption tower are provided. The water supply pipe 34 is connected to the upper end of the (30).

상기 흡착 타워(30)의 하부 일측에는 상기 물탱크(32)의 상측으로 각종 유해가스를 공급하는 유해가스유입관(36)이 연결되고, 상기 물공급관(36)에는 물탱크의 물을 펌핑하는 순환펌프(38)가 설치되며, 상기 흡착 타워(30)의 상단에는 상기 순환펌프(38)에 의해 펌핑된 물을 흡착 타워의 내부측 하부로 분사하는 물분사노즐(40)이 설치되어 있다. The lower one side of the adsorption tower 30 is connected to the harmful gas inlet pipe 36 for supplying various harmful gases to the upper side of the water tank 32, the water supply pipe 36 for pumping water in the water tank A circulation pump 38 is installed, and a water spray nozzle 40 for injecting water pumped by the circulation pump 38 into the lower side of the adsorption tower is installed at the upper end of the adsorption tower 30.

그리고 상기 물분사노즐(40)의 상측에는 흡착 타워(30)의 내부로 유입된 유해가스가 흡착 타워(30)의 하측으로 분사되는 물에 의해 유해가스 성분이 흡착된 후의 정화된 상태의 가스를 배출시키기 위한 유도팬(42)이 설치되어 있다.In addition, the upper portion of the water spray nozzle 40 is a gas in the purified state after the harmful gas component is adsorbed by the water injected into the inside of the adsorption tower 30 to the lower side of the adsorption tower 30. An induction fan 42 for discharging is provided.

또한, 상기 흡착 타워(30)의 내부 통로에는 복수개의 다공판(44)들이 장착되어 있다. 이러한 다공판은 원형의 판체(44)에 다수의 홀(44a)이 형성되어 다공판(44)의 홀(44a)을 통과하는데, 물이 홀(44a)을 통과하는 과정에서 분말상태가 거품상태로 변형되어 흡착 타워(30)의 내부로 유입되는 유해가스에 포함된 유해물질과의 접촉면적이 넓어지게 되어 흡착이 원활하게 이루어진다.In addition, a plurality of porous plates 44 are mounted in the inner passage of the adsorption tower 30. In the porous plate, a plurality of holes 44a are formed in the circular plate body 44 to pass through the holes 44a of the porous plate 44. In the process of passing water through the holes 44a, the powder state is in a bubble state. The contact area of the harmful gas contained in the harmful gas introduced into the inside of the adsorption tower 30 is widened so that the adsorption is smoothly performed.

따라서 본 발명은 다공판은 유해가스와 물과의 접촉면적을 향상시키기 위하여 다양한 실시예가 제공가능하다.Therefore, the present invention can provide various embodiments of the porous plate to improve the contact area of the harmful gas and water.

먼저, 도 3a에 도시한 바와 같이, 본 발명이 일 실시예에 따른 다공판(46)은 원형의 판체에 다수의 홀(46a)이 형성되어 있다. 상기 다공판(46)에 형성된 다수의 홀(46a)은 흡착 타워의 상단부에 분사되는 물이 통과함과 아울러 하부측에서 유해가스가 통과하는 통로가 된다. 이러한 다공판의 일 실시예에 의한 홀은 원형의 형 태로 형성되는 것을 특징으로 하는데, 판체(46)에 형성되는 다수의 원형 홀(46a)들은 동일한 직경으로 형성된 홀이 일정 간격을 두고 형성될 수도 있고, 서로 다른 직경을 갖는 홀들을 형성하거나, 또는 서로 다른 이격거리를 두고 형성될 수도 있어 다양한 원형 홀의 형태 및 배열이 가능하다. First, as shown in Figure 3a, the porous plate 46 according to an embodiment of the present invention is formed with a plurality of holes 46a in a circular plate body. The plurality of holes 46a formed in the porous plate 46 are passages through which water injected into the upper end of the adsorption tower passes and harmful gases pass from the lower side. The hole according to the embodiment of the porous plate is characterized in that it is formed in a circular shape, the plurality of circular holes 46a formed in the plate body 46 may be formed at regular intervals of holes formed with the same diameter In addition, holes having different diameters may be formed, or may be formed at different separation distances, thereby allowing various shapes and arrangements of circular holes.

도 3b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 다공판을 도시한 도면이다. 다른 실시예에 의하면 다공판(48)은 원형 판체에 형성된 다수의 홀의 형상이 원형 이외의 3각,4각, 5각형의 형상을 갖거나, 5각 이상의 다각형으로 형성될 수 있다. 즉, 다수의 각형 홀(48a)을 갖는다.3B is a view showing a porous plate according to another embodiment of the present invention. According to another exemplary embodiment, the porous plate 48 may have a shape of a plurality of holes formed in a circular plate body having a shape of a triangular, a quadrangular and a pentagon other than a circular shape, or may be formed of five or more polygons. That is, it has a plurality of square holes 48a.

이처럼 다른 실시예에 의한 다공판(48)은 다수의 각형 홀(48a)을 통해서 상부에서 분사되는 물과 하부에서 상승되는 유해가스가 통과되면서 유해물질이 흡수된다.As described above, the porous plate 48 according to another embodiment absorbs harmful substances while passing water sprayed from the upper portion and harmful gases rising from the lower portion through the plurality of rectangular holes 48a.

도 3c는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 다공판의 도면으로서, 본 발명의 또 다른 실시예는 다공판(50)의 형태가 다수의 와이어가 씨줄(50a)과 날줄(50b)로 서로 크로스되어 원판 형태로 제조된다. 이러한 다공판은 다수의 와이어가 종횡으로 크로스되어 형성됨으로써 조밀한 망형태를 형성하게 되며, 씨줄(50a)과 날줄(50b)에 의해 다수의 홀(50c)이 형성된다.Figure 3c is a view of a porous plate according to another embodiment of the present invention, another embodiment of the present invention is a form of the porous plate 50 a plurality of wires cross each other with a string 50a and a blade 50b It is manufactured in the form of a disc. Such a porous plate is formed by forming a plurality of wires crosswise in a longitudinal direction to form a dense net form, and a plurality of holes 50c are formed by the seed line 50a and the blade line 50b.

이와 같은 다공판은 상술한 실시예들에 국한될 필요는 없을 것이며, 흡착 타워의 통로상에 다단으로 설치되어 분사되는 물의 표면적을 일확대시켜 유해가스에 포함된 유해물질을 흡착시키기에 적당한 형태이면 다양한 변형예가 가능할 것이다.Such a perforated plate need not be limited to the above-described embodiments, and may be installed in multiple stages on the passage of the adsorption tower so as to expand the surface area of the sprayed water so as to adsorb harmful substances contained in the noxious gas. Various modifications will be possible.

이와 같이 구성되는 본 발명에 의한 습식 흡수탑의 작용을 설명한다.The operation of the wet absorption tower according to the present invention configured as described above will be described.

흡착 타워(30)의 하단부에 연결된 유해가스유입관(36)을 통해 각종 부식성 가스, 이를테면 플로루화수소(HF), 염화수소(HCl), 이산화황(H2SO4) 등이 유입된다.Various corrosive gases, such as hydrogen fluoride (HF), hydrogen chloride (HCl), sulfur dioxide (H 2 SO 4 ), etc., are introduced through the harmful gas inlet pipe 36 connected to the lower end of the adsorption tower 30.

흡착 타워(30)의 내부로 유입된 부식성 가스는 기체 상태이므로 흡착 타워(30)의 상단에 구비된 유도팬(42)의 흡입력에 의해 흡착 타워(30)의 상측으로 기류가 형성된다. Since the corrosive gas introduced into the adsorption tower 30 is in a gaseous state, air flow is formed above the adsorption tower 30 by the suction force of the induction fan 42 provided at the upper end of the adsorption tower 30.

동시에 흡착 타워(30)의 하부에 구비된 물탱크(32)의 물이 순환펌프(38)에 의해 펌핑되어 물공급관(34)을 통해 물분사노즐(40)로 공급된다. 따라서 상기 물분사노즐(40)을 통하여 흡착 타워(30)의 하부측으로 물이 분사 된다.At the same time, the water in the water tank 32 provided in the lower portion of the adsorption tower 30 is pumped by the circulation pump 38 and is supplied to the water spray nozzle 40 through the water supply pipe 34. Therefore, water is sprayed to the lower side of the adsorption tower 30 through the water spray nozzle (40).

상기 물분사노즐(40)에서 분사되는 물은 다공판(44)에 형성된 다수의 홀(44a)들을 통과하면서 분말 상태 또는 거품 상태가 되어 물의 표면적이 현저하게 넓어지게 된다. 이처럼 표면적이 확대된 물과 흡착 타워(30)의 내부로 유입된 유해가스가 접촉되면서 유해가스에 포함되어 있는 유해성분 물질이 흡착된다.The water sprayed from the water spray nozzle 40 passes through a plurality of holes 44a formed in the porous plate 44 to form a powder or bubble state, thereby significantly increasing the surface area of the water. As the surface area is enlarged and the harmful gas introduced into the adsorption tower 30 comes into contact with each other, harmful substance substances contained in the harmful gas are adsorbed.

흡착 타워(30)의 내부 통로상에는 다단으로 다공판(44)이 설치되어 있으므로 낙하되는 물이 다공판의 홀들을 곧바로 통과하지 못하고 파쇄되는 상태가 되며, 이러한 과정을 통해 낙하되는 물은 다공판의 홀들을 빠져나가는 과정을 통해 거품형태로 변형되어 물의 전체 표면적이 확장된 상태에서 유해가스와 접촉되면서 유해가스에 포함된 유해성분 물질이 원활하게 흡착되는 것이다.Since the porous plate 44 is installed in multiple stages on the inner passage of the adsorption tower 30, the falling water does not pass directly through the holes of the porous plate and is crushed. It is transformed into a bubble form through the process of exiting the holes, and as the whole surface area of the water is in contact with the noxious gas, the noxious substances contained in the noxious gas are smoothly adsorbed.

상기 다공판의 홀이 원형 홀(46a)인 경우에는 원형 홀의 직경이 작을수록, 원형 홀의 갯수가 많을 수록 거품이 발생되는 양이 많아지게 되므로 흡착성능이 향상된다. 또한, 다공판의 홀이 각형 홀(48a)인 경우에는 홀이 각진 모서리 부분에서 낙하되는 물이 부서지면서 거품이 발생될 수 있어 흡착성능이 향상될 수 있다. 한편, 망형태의 다공판은 조밀하게 형성된 홀(50c)을 통과하면서 액체상태의 물이 운무 형태로 기체화되어 유해물질이 흡착 성능이 보다 향상시키는 이점이 있다.In the case where the hole of the porous plate is the circular hole 46a, the smaller the diameter of the circular hole and the larger the number of circular holes, the greater the amount of bubbles generated, so that the adsorption performance is improved. In addition, in the case where the hole of the porous plate is the rectangular hole 48a, bubbles may be generated while the water falling at the corners of the hole may be broken, so that the adsorption performance may be improved. On the other hand, the porous plate of the net form has the advantage that the liquid water is gasified in the form of a cloud while passing through the densely formed holes (50c) to improve the adsorption performance of harmful substances.

이와 같이 본 발명에 의한 습식 흡착탑은 원통형의 흡착 타워의 내부에서 상하방향으로 다수의 다공판들이 장착되어 있기 때문에 물이 유해가스와 접촉되지 않는 상태로 낙하할 수 있는 확율을 최소화시킴으로서 유해가스의 처리 효율을 극대화시키키고 흡착 타워의 설치면적은 오히려 최소화할 수 있다.Thus, the wet adsorption tower according to the present invention is equipped with a plurality of perforated plates in the up and down direction inside the cylindrical adsorption tower, thereby minimizing the probability that water may fall without contacting the noxious gas. The efficiency can be maximized and the installation area of the adsorption tower can be minimized.

유해성분 물질이 흡착된 물은 흡착 타워(30)의 하단에 구비된 물탱크(32)로 집수되며, 집수된 유해물질이 흡착된 물은 중화 공정을 거치게 된다. 그리고 다시 순환펌프(38)에 의해 펌핑되어 물공급관(34)을 통해 흡착 타워의 상단에 구비된 물분사노즐(40)로 공급된다. 그리고 유해물질이 하강되는 물에 의해 흡착된 무해 가스는 유도팬(42)에 의해 흡착 타워(30)의 외부로 원활하게 배출된다.The water adsorbed with the noxious substance material is collected into the water tank 32 provided at the lower end of the adsorption tower 30, and the water collected with the adsorbed noxious substances is subjected to a neutralization process. Then, the pump is pumped by the circulation pump 38 and supplied to the water spray nozzle 40 provided at the upper end of the adsorption tower through the water supply pipe 34. And the harmless gas adsorbed by the water to which the harmful substances are descended is smoothly discharged to the outside of the adsorption tower 30 by the induction fan 42.

본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형의 실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 특허청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.The present invention is not limited to the above-described specific preferred embodiments, and any person skilled in the art to which the present invention pertains may make various modifications without departing from the gist of the present invention as claimed in the claims. Of course, such changes are within the scope of the claims.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 의한 습식 흡착탑에 적용된 다공판은 종래 기술에서 표면적을 최대로 넓게 형성시킨 팩킹(Packing)과 대비하여 설치면적을 최소화할 수 있어 장비의 소형화가 가능해진다. As described above, the porous plate applied to the wet adsorption tower according to the present invention can minimize the installation area as compared to the packing (packing) to the maximum surface area in the prior art can be miniaturized equipment.

또한, 다공판을 통과하면서 물과 접촉되어 유해물질이 제거되는 가스의 배출을 유도하는 유도팬의 동력비용이 현저하게 절감되는 효과가 있다.In addition, there is an effect that the power cost of the induction fan that leads to the discharge of the gas that is in contact with water while removing the harmful substances while passing through the porous plate is significantly reduced.

따라서 본 발명에 의한 습식 흡착탑은 전체적으로 처리 효율을 극대화시킴으로써 제품의 신뢰도를 향상시키게 된다.Therefore, the wet adsorption tower according to the present invention improves the reliability of the product by maximizing the processing efficiency as a whole.

Claims (4)

흡착탑의 몸체를 형성하는 흡착 타워와;An adsorption tower forming a body of the adsorption tower; 상기 흡착 타워의 하부에 마련되는 물탱크와;A water tank provided below the adsorption tower; 상기 물탱크와 상기 흡착 타워의 상단을 연결하는 물공급관에 설치되는 순환펌프와;A circulation pump installed at a water supply pipe connecting the water tank and an upper end of the adsorption tower; 상기 흡착 타워의 상단에 설치되어 상기 물공급관을 통해 공급되는 물을 분사하는 물분사노즐과;A water spray nozzle installed at an upper end of the adsorption tower for spraying water supplied through the water supply pipe; 상기 흡착 타워의 하부 일측에 연결설치되는 유해가스유입관과;A harmful gas inlet pipe connected to the lower side of the adsorption tower; 상기 흡착 타워의 상단에 설치되어 상기 흡착 타워의 내부로 유입된 유해가스에 포함된 유해물질이 흡착되어 정화된 가스를 배출시키는 유도팬; 및An induction fan installed at an upper end of the adsorption tower to discharge the purified gas by adsorbing harmful substances contained in the harmful gas introduced into the adsorption tower; And 상기 흡착 타워의 통로상에 다단으로 설치되는 다공판;을 포함하는 것을 특징으로 하는 습식 흡착탑.And a perforated plate installed in multiple stages on a passage of the adsorption tower. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 다공판은 다수의 원형 홀이 형성된 원형의 판체인 것을 특징으로 하는 습식 흡착탑.The porous plate is a wet absorption tower, characterized in that the circular plate body formed with a plurality of circular holes. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 다공판은 다수의 각형 홀이 형성된 원형의 판체인 것을 특징으로 하는 습식 흡착탑.The porous plate is a wet absorption tower, characterized in that the circular plate body formed with a plurality of square holes. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 다공판은 와이어가 씨줄과 날줄로 직조된 망상체인 것을 특징으로 하는 습식 흡착탑.The porous plate is a wet adsorption tower, characterized in that the wire is a mesh woven with a string and a razor wire.
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