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KR20080039629A - Method of manufacturing plastic substrate for display panel - Google Patents

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Publication number
KR20080039629A
KR20080039629A KR1020060107164A KR20060107164A KR20080039629A KR 20080039629 A KR20080039629 A KR 20080039629A KR 1020060107164 A KR1020060107164 A KR 1020060107164A KR 20060107164 A KR20060107164 A KR 20060107164A KR 20080039629 A KR20080039629 A KR 20080039629A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
plastic substrate
layer
forming
array
substrate
Prior art date
Application number
KR1020060107164A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
이우재
신성식
Original Assignee
삼성전자주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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Publication date
Application filed by 삼성전자주식회사 filed Critical 삼성전자주식회사
Priority to KR1020060107164A priority Critical patent/KR20080039629A/en
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Abstract

A method for fabricating a plastic substrate for a liquid crystal panel is provided to reduce repair costs because the plastic substrate has a low heat expansion coefficient, removing the problem of controlling alignment between the plastic substrate and layers of a TFT(Thin Film Transistor) array and a color filter array. A glass substrate(50) is provided. A detachment protection layer(60) is formed on the glass substrate. An adhesion accelerating layer(70) is formed on the detachment protection layer. A plastic substrate(100) is formed on the adhesion accelerating layer. An array is formed on the plastic substrate. The glass substrate, the detachment protection layer and the adhesion accelerating layer are detached from the array-formed plastic substrate. In forming the array on the plastic substrate, a color filter array and a TFT array are formed on the plastic substrate. In forming the plastic substrate on the adhesion accelerating layer, a hard coating layer is formed on the plastic substrate.

Description

액정 표시 패널용 플라스틱 기판의 제조 방법{METHOD OF MANUFACTURING PLASTIC SUBSTRATE FOR DISPLAY PANEL}The manufacturing method of the plastic substrate for liquid crystal display panels {METHOD OF MANUFACTURING PLASTIC SUBSTRATE FOR DISPLAY PANEL}

도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 액정 표시 패널을 도시한 단면도이다.1 is a cross-sectional view illustrating a liquid crystal display panel according to a first embodiment of the present invention.

도 2a 및 도 2f는 도 1에 도시한 박막트랜지스터 어레이가 형성되는 플라스틱 기판의 제조 과정을 설명하기 위해 도시한 단면도이다.2A and 2F are cross-sectional views illustrating a manufacturing process of a plastic substrate on which the thin film transistor array shown in FIG. 1 is formed.

도 3은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 액정 표시 패널을 도시한 단면도이다.3 is a cross-sectional view illustrating a liquid crystal display panel according to a second exemplary embodiment of the present invention.

<도면 부호의 간단한 설명><Short description of drawing symbols>

50 : 유리 기판 60 : 탈착 보호층50: glass substrate 60: removable protective layer

70 : 접착 촉진층 100 : 제 1 플라스틱 기판70 adhesion bonding layer 100 first plastic substrate

110 : 하드 코팅층 150 : 게이트 절연막110: hard coating layer 150: gate insulating film

130 : 박막트랜지스터 140 : 반도체 패턴130: thin film transistor 140: semiconductor pattern

150 : 데이터 라인 160 : 보호막150: data line 160: protective film

165 : 화소 전극 167 : 홀165: pixel electrode 167: hole

180 : 박막트랜지스터 기판 180 : 액정180: thin film transistor substrate 180: liquid crystal

200 : 제 2 플라스틱 기판 210 : 블랙매트릭스200: second plastic substrate 210: black matrix

220 : 컬러필터 230 : 공통 전극220: color filter 230: common electrode

240 : 컬러필터 기판 300 : 액정 표시 패널240: color filter substrate 300: liquid crystal display panel

본 발명은 액정 표시 패널용 플라스틱 기판의 제조 방법에 관한 것으로, 특히 플라스틱 기판과 컬러필터 어레이 및 박막트랜지스터 어레이의 레이어 간에 정렬 조절문제를 해결할 수 있는 액정 표시 패널용 플라스틱 기판의 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for manufacturing a plastic substrate for a liquid crystal display panel, and more particularly to a method for manufacturing a plastic substrate for a liquid crystal display panel that can solve the problem of alignment adjustment between the plastic substrate and the layer of the color filter array and the thin film transistor array.

액정 표시 장치(Liquid Crystal Display : LCD)는 평판 표시 장치(Flat Panel Display) 중에서 대표적인 것으로서, 음극선관에 비해 소형, 경량화 및 저소비 전력구동 등과 같은 장점이 있다. 따라서, 액정 표시 장치는 이와 같은 특유의 장점으로 인하여 산업 전반 예를 들어, 컴퓨터 산업, 전자 산업, 정보 통신 산업 등에 폭넓게 응용된다. 이러한 액정표시장치는 컬러필터 기판과 박막트랜지스터 기판 사이에 주입된 이방성 유전율을 갖는 액정 물질에 전계를 인가하고, 이 전계의 세기를 조절하여 기판에 투과하는 빛의 양을 조절함으로써 원하는 화상을 표시한다.Liquid crystal displays (LCDs) are representative of flat panel displays, and have advantages such as small size, light weight, and low power consumption compared to cathode ray tubes. Therefore, the liquid crystal display device is widely applied to the general industry, for example, the computer industry, the electronic industry, the information and communication industry, etc. due to such unique advantages. Such a liquid crystal display device displays a desired image by applying an electric field to a liquid crystal material having an anisotropic dielectric constant injected between a color filter substrate and a thin film transistor substrate, and controlling the amount of light transmitted through the substrate by adjusting the intensity of the electric field. .

액정 표시 장치는 사용자의 요구에 부응하여 대화면화, 고정세화, 고해상도, 빠른 표시속도, 저소비전력화의 방향으로 진행되고 있다. 동시에 액정 표시 장치 는 휴대하기 편리하기를 사용자를 요구함으로써 유연성을 가진 액정 표시 장치가 발달되고 있다. 이러한 액정 표시 장치는 종래의 유리 기판이 아닌 플라스틱 기판 상에 액정 표시 패널을 제작한다. 그리고, 플라스틱 기판으로 만든 액정 표시 패널은 유리 기판으로 만든 액정 표시 패널의 공정적인 측면에서는 증착이나 프린팅에 의해 제작이 가능하므로 제조 비용이 저렴해지는 장점이 있다. 또한, 플라스틱 기판으로 만든 액정 표시 패널은 유리 기판에 비해 제작 비용이 저렴하고 제작 중에 깨어지지 않으므로 내충격성도 높일 수 있다.In order to meet the needs of users, liquid crystal displays are progressing in the direction of large screen, high definition, high resolution, high display speed, and low power consumption. At the same time, liquid crystal display devices have been developed with flexibility by requiring users to be convenient to carry. Such a liquid crystal display device fabricates a liquid crystal display panel on a plastic substrate rather than a conventional glass substrate. In addition, the liquid crystal display panel made of a plastic substrate can be manufactured by vapor deposition or printing in terms of the process of the liquid crystal display panel made of a glass substrate, and thus manufacturing cost is low. In addition, since the liquid crystal display panel made of a plastic substrate is cheaper than the glass substrate and does not break during manufacturing, the impact resistance may be increased.

플라스틱 기판 하부에는 유리 캐리어(carrier)가 형성된다. 그리고, 플라스틱 기판과 유리 캐리어는 접착 테이프로 접착되어 형성된다. 이는 박막트랜지스터 어레이 및 컬러필터 어레이가 플라스틱 기판에 형성되기 위함이다. 그러나, 액정 표시 장치에 적용하는 플라스틱 기판은 열팽창계수가 높아 플라스틱 기판이 팽창/수축하여 플라스틱 기판과 박막트랜지스터 어레이 및 컬러필터의 어레이의 레이어 간에 정렬 조절이 매우 어려운 문제가 발생한다.A glass carrier is formed under the plastic substrate. The plastic substrate and the glass carrier are bonded to each other with an adhesive tape. This is because the thin film transistor array and the color filter array are formed on the plastic substrate. However, the plastic substrate applied to the liquid crystal display has a high coefficient of thermal expansion, which causes the plastic substrate to expand / contract, thereby making it very difficult to adjust alignment between the plastic substrate, the thin film transistor array, and the layers of the color filter array.

따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 플라스틱 기판을 형성할 때 플라스틱을 용해하여 형성하며, 이는 플라스틱 기판과 컬러필터 어레이 및 박막트랜지스터 어레이의 레이어 간에 정렬 조절 문제를 해결할 수 있는 액정 표시 패널용 플라스틱 기판의 제조 방법을 제공하는 것이다.Therefore, the technical problem to be achieved by the present invention is to form a plastic substrate by dissolving the plastic, which is a plastic substrate for the liquid crystal display panel that can solve the alignment control problem between the plastic substrate and the layer of the color filter array and thin film transistor array It is to provide a method for producing.

상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 액정 표시 패널용 플라스틱 기판의 제조 방법은 유리 기판을 마련하는 단계와; 상기 유리 기판 상에 탈착 보호층을 형성하는 단계와; 상기 탈착 보호층 상에 접착 촉진층을 형성하는 단계와; 상기 접착 촉진층 상에 플라스틱 기판을 형성하는 단계와; 상기 플라스틱 기판 상에 어레이를 형성하는 단계와; 상기 어레이가 형성된 플라스틱 기판에서 유리 기판과, 상기 탈착 보호층 및 상기 접착 촉진층을 탈착하는 단계를 포함한다.In order to achieve the above technical problem, a method of manufacturing a plastic substrate for a liquid crystal display panel of the present invention comprises the steps of providing a glass substrate; Forming a detachable protective layer on the glass substrate; Forming an adhesion promoter layer on the detachable protective layer; Forming a plastic substrate on the adhesion promotion layer; Forming an array on the plastic substrate; And detaching a glass substrate, the detachment protection layer, and the adhesion promotion layer from the plastic substrate on which the array is formed.

그리고, 상기 플라스틱 기판 상에 어레이를 형성하는 단계는 상기 플라스틱 기판 상에 컬러필터 어레이를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.The forming of the array on the plastic substrate may include forming a color filter array on the plastic substrate.

또한, 상기 플라스틱 기판 상에 어레이를 형성하는 단계는 상기 플라스틱 기판 상에 박막트랜지스터 어레이를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the forming of the array on the plastic substrate may include forming a thin film transistor array on the plastic substrate.

한편, 상기 접착 촉진층 상에 플라스틱 기판을 형성하는 단계는 상기 플라스틱 기판 상에 하드 코팅층를 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.On the other hand, the step of forming a plastic substrate on the adhesion promoter layer is characterized in that it further comprises the step of forming a hard coating layer on the plastic substrate.

이러한 상기 하드 코팅층은 아크릴계 또는 우레탄계로 형성되는 것을 특징으로 한다.The hard coating layer is characterized in that formed of acrylic or urethane.

여기서, 상기 플라스틱 기판은 폴리이미드와, 폴리에테르술폰과, 폴리카보네이트와 폴리아릴레이드와, 폴리에틸렌나프탈레이트 및 폴리에틸렌테레프탈레이트 중 어느 하나의 플라스틱으로 형성되는 것을 특징으로 한다.The plastic substrate may be formed of any one of polyimide, polyether sulfone, polycarbonate, polyarylide, polyethylene naphthalate and polyethylene terephthalate.

그리고, 상기 접착 촉진층 상에 플라스틱 기판을 형성하는 단계는 상기 플라스틱을 용해해서 코팅하는 것을 특징으로 한다.The forming of the plastic substrate on the adhesion promoting layer is characterized in that the plastic is dissolved and coated.

또한, 상기 탈착 보호층은 무기 절연막 또는 유기 절연막으로 형성되는 것을 특징으로 한다.In addition, the detachable protective layer may be formed of an inorganic insulating film or an organic insulating film.

그리고, 상기 접착 촉진층은 실록산계로 형성되는 것을 특징으로 한다.In addition, the adhesion promoting layer is characterized in that formed of siloxane.

상기 기술적 과제 외에 본 발명의 다른 기술적 과제 및 이점들은 첨부 도면을 참조한 본 발명의 바람직한 실시 예에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.Other technical problems and advantages of the present invention in addition to the above technical problem will be apparent from the description of the preferred embodiment of the present invention with reference to the accompanying drawings.

이하, 본 발명의 바람직한 실시 예들을 도 1 내지 도 3을 참조하여 상세하게 설명하기로 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 1 to 3.

도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 액정 표시 패널을 도시한 단면도이다.1 is a cross-sectional view illustrating a liquid crystal display panel according to a first embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 패널(300)은 어레이가 형성된 제 1 및 제 2 플라스틱 기판(100, 200)과 액정(190)을 구비한다. 제 1 플라스틱 기판(100)은 박막트랜지스터 어레이가 형성되어 박막트랜지스터 기판(180)을 형성하며 제 2 플라스틱 기판(200)은 컬러필터 어레이가 형성되어 컬러필터 기판(240)을 형성한다.Referring to FIG. 1, the liquid crystal display panel 300 according to an exemplary embodiment of the present invention includes the first and second plastic substrates 100 and 200 and the liquid crystal 190 having an array. A thin film transistor array is formed on the first plastic substrate 100 to form the thin film transistor substrate 180, and a color filter array is formed on the second plastic substrate 200 to form the color filter substrate 240.

박막트랜지스터 기판(180)은 제 1 플라스틱 기판(100)과, 게이트 절연막(140)을 사이에 두고 형성된 게이트 라인(도시하지 않음) 및 데이터 라인(150)과, 박막트랜지스터(130)와, 화소 전극(165)을 포함한다.The thin film transistor substrate 180 includes a first plastic substrate 100, a gate line (not shown) and a data line 150 formed between the gate insulating layer 140, the thin film transistor 130, and a pixel electrode. (165).

제 1 플라스틱 기판(100)은 플라스틱 기판의 제작 공정이 진행됨에 따라 경화되어 화학 반응에 대해 내성이 생기는 투명 폴리이미드(PolyImide : 이하 PI)와 같은 재질로 형성된다.The first plastic substrate 100 is formed of a material such as transparent polyimide (PI), which is hardened as the manufacturing process of the plastic substrate proceeds, thereby causing resistance to chemical reactions.

게이트 라인은 제 1 플라스틱 기판(100) 상에 형성된다. 그리고, 게이트 라인은 박막트랜지스터(130)의 게이트 전극(131)과 접속되어 박막트랜지스터(130)의 게이트 전극(131)에 게이트 신호를 공급한다.The gate line is formed on the first plastic substrate 100. The gate line is connected to the gate electrode 131 of the thin film transistor 130 to supply a gate signal to the gate electrode 131 of the thin film transistor 130.

데이터 라인(150)은 박막트랜지스터(130)이 소스 전극(133)에 화소 전압 신호를 공급한다. 이러한 데이터 라인(150)은 게이트 절연막(120)을 사이에 두고 게이트 라인과 교차되게 형성되어 화소 영역을 정의한다.In the data line 150, the thin film transistor 130 supplies the pixel voltage signal to the source electrode 133. The data line 150 is formed to cross the gate line with the gate insulating layer 120 therebetween to define the pixel area.

게이트 절연막(120)은 게이트 전극(131)과 소스 전극(133) 및 드레인 전극(135) 사이에 형성되어 이들을 절연시킨다. 또한, 게이트 라인 및 데이터 라인(150)은 게이트 절연막(120)을 사이에 두고 교차하여 각 서브 화소 영역을 정의시킨다.The gate insulating layer 120 is formed between the gate electrode 131, the source electrode 133, and the drain electrode 135 to insulate them. In addition, the gate line and the data line 150 cross each other with the gate insulating layer 120 interposed therebetween to define each sub pixel area.

박막트랜지스터(130)는 게이트 라인에 공급되는 스캔 신호에 응답하여 데이터 라인(150)에 공급되는 화소 신호가 화소 전극(165)에 충전되어 유기되게 한다. 이를 위하여, 박막트랜지스터(130)는 게이트 라인과 접속된 게이트 전극(131), 데이터 라인(150)과 접속된 소스 전극(133), 소스 전극(133)과 마주하며 화소 전극(165)에 접속된 드레인 전극(135)을 구비한다. 또한, 박막트랜지스터(130)는 게이트 전극(131)과 게이트 절연막(120)을 사이에 두고 중첩되면서 소스 전극(133)과 드레인 전극(135) 사이에 채널을 형성하는 반도체 패턴(140)을 구비한다.The thin film transistor 130 causes the pixel signal supplied to the data line 150 to be charged to the pixel electrode 165 in response to the scan signal supplied to the gate line. To this end, the thin film transistor 130 is connected to the pixel electrode 165 facing the gate electrode 131 connected to the gate line, the source electrode 133 connected to the data line 150, and the source electrode 133. A drain electrode 135 is provided. In addition, the thin film transistor 130 includes a semiconductor pattern 140 that forms a channel between the source electrode 133 and the drain electrode 135 while overlapping the gate electrode 131 and the gate insulating layer 120 therebetween. .

반도체 패턴(140)은 소스 전극(133)과 드레인 전극(135) 사이에 채널을 형성하고, 게이트 절연막(120)을 사이에 두고 게이트 전극(131)과 중첩되게 형성된 활성층(141)을 구비한다. 그리고, 반도체 패턴(140)은 활성층(141) 위에 형성되어 데이터 라인(150), 소스 전극(133) 및 드레인 전극(135)과 오믹 접촉을 위한 오믹 접촉층(143)을 추가로 구비한다.The semiconductor pattern 140 includes an active layer 141 formed to form a channel between the source electrode 133 and the drain electrode 135 and overlap the gate electrode 131 with the gate insulating layer 120 therebetween. The semiconductor pattern 140 is formed on the active layer 141 and further includes an ohmic contact layer 143 for ohmic contact with the data line 150, the source electrode 133, and the drain electrode 135.

화소 전극(165)은 박막트랜지스터(130)를 덮는 보호막(160) 위에 형성되고, 보호막(160)을 관통하는 콘택홀(165)을 통해 노출된 드레인 전극(135)과 접속된다. 이러한 화소 전극(165)은 박막트랜지스터(130)로부터의 화상 데이터 신호가 공급되면 컬러필터 기판(240)의 공통 전극(230)과의 전압차로 액정(190)을 구동하여 광 투과율이 조절되게 한다.The pixel electrode 165 is formed on the passivation layer 160 covering the thin film transistor 130 and is connected to the drain electrode 135 exposed through the contact hole 165 penetrating the passivation layer 160. When the image data signal from the thin film transistor 130 is supplied, the pixel electrode 165 drives the liquid crystal 190 with a voltage difference from the common electrode 230 of the color filter substrate 240 to adjust the light transmittance.

액정(190)은 컬러필터 기판(240)의 공통 전극(230)으로부터의 공통 전압과 박막트랜지스터 기판(180)의 화소 전극(165)으로부터의 화소 전압의 차이에 의해 회전하여 광투과량을 조절한다. 이를 위해, 액정(190)은 유전율 이방성 및 굴절률 이방성을 갖는 물질로 이루어진다.The liquid crystal 190 is rotated by the difference between the common voltage from the common electrode 230 of the color filter substrate 240 and the pixel voltage from the pixel electrode 165 of the thin film transistor substrate 180 to adjust the light transmittance. To this end, the liquid crystal 190 is made of a material having dielectric anisotropy and refractive index anisotropy.

컬러필터 기판(240)은 제 2 플라스틱 기판(200)과, 블랙매트릭스(210)와, 컬러필터(220)와, 공통 전극(230)으로 형성된다.The color filter substrate 240 is formed of the second plastic substrate 200, the black matrix 210, the color filter 220, and the common electrode 230.

제 2 플라스틱 기판(200)은 플라스틱 기판의 제작 공정이 진행됨에 따라 경화되어 화학 반응에 대해 내성이 생기는 투명 PI 같은 재질로 형성된다.The second plastic substrate 200 is formed of a material such as transparent PI that is cured as the manufacturing process of the plastic substrate proceeds, thereby causing resistance to chemical reactions.

블랙매트릭스(210)는 컬러필터(220)가 형성될 화소 영역을 구분하도록 제 2 플라스틱 기판(200) 상에 매트릭스 형태로 형성됨과 아울러 박막트랜지스터 기판(180)의 게이트 라인(160) 및 데이터 라인(150), 박막트랜지스터(130)와 중첩되도록 형성된다. 이러한 블랙매트릭스(210)는 원하지 않는 액정(190) 배열로 인해 생긴 광을 차단하여 액정 표시 패널(300)의 콘트라스트(contrast)를 향상시키고 박 막트랜지스터(130)로의 직접적인 광조사를 차단하여 박막트랜지스터(130)의 광누설전류를 막는다.The black matrix 210 is formed in a matrix form on the second plastic substrate 200 to distinguish the pixel region in which the color filter 220 is to be formed, and the gate line 160 and the data line of the thin film transistor substrate 180 ( 150, and overlapping with the thin film transistor 130. The black matrix 210 blocks the light generated by the undesired arrangement of the liquid crystal 190 to improve the contrast of the liquid crystal display panel 300 and to block the direct light irradiation to the thin film transistor 130 to prevent the thin film transistor. The photo leakage current of 130 is prevented.

컬러필터(220)는 화상을 구현하기 위해 적색(R), 녹색(G), 청색(B) 컬러필터(220)를 포함하고 있다. 적색(R), 녹색(G), 청색(B) 컬러필터(220)는 각각 자신의 포함하고 있는 적색(R), 녹색(G), 청색(B) 안료를 통해 특정 파장의 광을 흡수 또는 투과시킴으로써 적색(R), 녹색(G), 청색(B)을 띄게 된다. 이때, 적색(R), 녹색(G), 청색(B) 컬러필터(220)를 각각 투과한 적색(R), 녹색(G), 청색(B) 광의 가법 혼색을 통해 다양한 색상이 구현된다. 이러한 컬러필터(220)의 색의 배치는 적색(R), 녹색(G), 청색(B) 컬러필터(220)가 일렬로 배치된 스트라이프 형태를 가진다.The color filter 220 includes red (R), green (G), and blue (B) color filters 220 to implement an image. The red (R), green (G), and blue (B) color filters 220 respectively absorb light of a specific wavelength through their included red (R), green (G), and blue (B) pigments. By transmitting, red (R), green (G), and blue (B) are displayed. In this case, various colors are realized through additive mixing of red (R), green (G), and blue (B) light transmitted through the red (R), green (G), and blue (B) color filters 220, respectively. The color arrangement of the color filter 220 has a stripe shape in which red (R), green (G), and blue (B) color filters 220 are arranged in a line.

공통 전극(230)은 박막트랜지스터 기판(180)에 형성된 화소 전극(165)의 화소 전압에 대응하여 형성되며 화소 전극(165)과의 전압차로 액정(190)을 구동하여 광투과율을 조절하게 된다. 또한, 공통 전극(230)은 투명하면서도 도전성을 가지는 ITO(Indium Tin Oxide), TO(Tin Oxide), IZO(Indium Zinc Oxide), ITZO(Indium Tin Zinc Oxide)와 같은 물질로 형성된다. 이러한 공통 전극(230)은 블랙매트릭스(210)와 컬러필터(220)를 덮도록 형성된다.The common electrode 230 is formed to correspond to the pixel voltage of the pixel electrode 165 formed on the thin film transistor substrate 180, and controls the light transmittance by driving the liquid crystal 190 with a voltage difference from the pixel electrode 165. In addition, the common electrode 230 is formed of a transparent and conductive material such as indium tin oxide (ITO), tin oxide (TO), indium zinc oxide (IZO), or indium tin zinc oxide (ITZO). The common electrode 230 is formed to cover the black matrix 210 and the color filter 220.

도 2a 및 도 2f는 도 1에 도시한 박막트랜지스터 어레이가 형성되는 플라스틱 기판의 제조 과정을 설명하기 위해 도시한 단면도이다.2A and 2F are cross-sectional views illustrating a manufacturing process of a plastic substrate on which the thin film transistor array shown in FIG. 1 is formed.

도 2a를 참조하면, 박막트랜지스터 기판(180)을 형성하기 위해 유리 기판(50)을 마련한다. 이러한 유리 기판(50)은 감도 특성이 우수하고 쉽게 휘지 않 는 것을 사용하는 것이 바람직하다. Referring to FIG. 2A, a glass substrate 50 is prepared to form the thin film transistor substrate 180. Such a glass substrate 50 is preferably used that is excellent in sensitivity characteristics and not easily bent.

도 2b를 참조하면, 유리 기판(50) 상에 탈착 보호층(60)을 형성한다. 구체적으로, 무기 절연막인 실리콘옥사이드(SiOx), 갈륨옥사이드(GaOx) 등의 옥사이드류로 이루어진 탈착 보호층(60)일 경우는 스퍼터링 방법을 사용하여 탈착 보호층(60)을 유리 기판(50) 상에 증착한다. 그리고, a-Si 등으로 이루어진 탈착 보호층(60)일 경우는 CVD(Chemical Vapor Deposion) 방법으로 탈착 보호층(60)을 유리 기판(50) 상에 증착한다. 또한, 탈착 보호층(60)이 유기 절연막일 경우는 스핀 코팅 등의 코팅 공정을 거쳐 증착한다.Referring to FIG. 2B, a detachable protective layer 60 is formed on the glass substrate 50. Specifically, in the case of the desorption protection layer 60 made of oxides such as silicon oxide (SiOx) and gallium oxide (GaOx), which are inorganic insulating films, the desorption protection layer 60 is formed on the glass substrate 50 by using a sputtering method. To be deposited on. In the case of a desorption protective layer 60 made of a-Si or the like, the desorption protective layer 60 is deposited on the glass substrate 50 by a chemical vapor deposition (CVD) method. In addition, when the desorption protective layer 60 is an organic insulating film, it is deposited through a coating process such as spin coating.

도 2c를 참조하면, 탈착 보호층(60) 상에 접착 촉진층(70)을 형성한다. 구체적으로, 접착 촉진층(70)은 실록산계의 화합물로 형성되는 것이 바람직하다. 스핀 코팅 등의 코팅 방식으로 코팅하고 스핀 드라이를 하거나 80 ~ 120℃ 정도에서 가열한 후 드라이하여 접착 촉진층(70)을 탈착 보호층(60) 상에 형성한다.Referring to FIG. 2C, an adhesion promoting layer 70 is formed on the detachable protective layer 60. Specifically, the adhesion promotion layer 70 is preferably formed of a siloxane compound. Coating by spin coating or the like, spin drying or heating at 80 to 120 ° C., followed by drying to form an adhesion promotion layer 70 on the desorption protective layer 60.

도 2d를 참조하면, 접착 촉진층(70) 상에 제 1 플라스틱 기판(100)을 형성한다. 구체적으로, 제 1 플라스틱 기판(100)은 플라스틱 기판의 제작 공정이 진행됨에 따라 경화되어 화학 반응에 대해 내성이 생기는 투명 PI와 같은 재질로 형성된다. 이러한 플라스틱을 용해해서 용액을 만들어 코팅하고 드라이하여 제 1 플라스틱 기판(100)을 접착 촉진층(70) 상에 형성한다. Referring to FIG. 2D, the first plastic substrate 100 is formed on the adhesion promoting layer 70. Specifically, the first plastic substrate 100 is formed of a material such as transparent PI that is cured as the manufacturing process of the plastic substrate proceeds, thereby causing resistance to chemical reactions. The plastic is dissolved to form a solution, coated, and dried to form the first plastic substrate 100 on the adhesion promoter layer 70.

도 2e를 참조하면, 제 1 플라스틱 기판(100) 상에 박막트랜지스터 어레이가 형성된다. 박막트랜지스터 어레이 제작 공정 적용 온도는 플라스틱 종류에 따라 공정 적용 온도가 달라진다. 따라서, 투명 PI의 경우 300℃ 이상에서 공정이 가능 하다.Referring to FIG. 2E, a thin film transistor array is formed on the first plastic substrate 100. The application temperature of the thin film transistor array manufacturing process varies depending on the type of plastic. Therefore, in the case of transparent PI it is possible to process at 300 ℃ or more.

도 2f를 참조하면, 박막트랜지스터 어레이가 형성되면 탈착 공정이 진행된다. 탈착 공정은 탈착 보호층(60)이 무기 절연막일 경우 레이저를 이용하여 이루어지거나 탈착 보호층(60)이 유기 절연막일 경우 Dimethyformamide(DMF), Dichloromethane 등의 화합물에 녹여 이루어진다. 따라서, 제 1 플라스틱 기판(100)에서 유리 기판(50)과 탈착 보호층(60) 및 접착 촉진층(70)이 탈착된다.Referring to FIG. 2F, when a thin film transistor array is formed, a desorption process is performed. The desorption process is performed using a laser when the desorption protective layer 60 is an inorganic insulating film or is dissolved in a compound such as Dimethyformamide (DMF) or Dichloromethane when the desorption protection layer 60 is an organic insulating film. Therefore, the glass substrate 50, the detachable protective layer 60, and the adhesion promoting layer 70 are detached from the first plastic substrate 100.

컬러필터 어레이가 형성된 제 2 플라스틱 기판(200)의 제조 방법도 박막트랜지스터 어레이가 형성된 제 1 플라스틱 기판(100)의 제조 방법과 동일함으로 생략하기로 한다.The manufacturing method of the second plastic substrate 200 in which the color filter array is formed is also the same as the manufacturing method of the first plastic substrate 100 in which the thin film transistor array is formed.

도 3은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 액정 표시 패널을 도시한 단면도이다.3 is a cross-sectional view illustrating a liquid crystal display panel according to a second exemplary embodiment of the present invention.

도 3에 도시된 액정 표시 패널(300)은 도 1에 도시된 액정 표시 패널(300)과 대비하여 제 1 및 제 2 플라스틱 기판(100, 200) 상에 하드 코팅층(110)이 형성되는 것을 제외하고는 동일한 구성 요소를 구비한다. 이에 따라, 동일한 구성 요소에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다. 또한, 도 2a 내지 도 2f를 참조하여 제 1 및 제 2 플라스틱 상에 하드 코팅층(110)이 형성되는 것을 제외하고 동일한 제조 방법을 가지므로 동일한 제조 방법은 생략하기로 한다.3, the hard coating layer 110 is formed on the first and second plastic substrates 100 and 200 in contrast to the liquid crystal display panel 300 illustrated in FIG. 1. And the same components. Accordingly, detailed description of the same components will be omitted. 2A to 2F, the same manufacturing method is omitted except that the hard coating layer 110 is formed on the first and second plastics.

제 1 및 제 2 플라스틱 기판(100, 200)은 폴리에테르술폰(PolyEhterSulfone : 이하 PES)과, 폴리카보네이트(PolyCarbonate : 이하 PC)와, 폴리아릴레이드(PolARylate : 이하 PAR)와, 폴리에틸렌나프탈레이트(PolyEylene Naphthalate : 이하 PEN) 및 폴리에틸렌테레프탈레이트(PolyEthylene Terephthalate : 이하 PET) 등으로 형성된다. 이러한, 제 1 및 제 2 플라스틱 기판(100, 200)은 PES와, PC 및 PAR 등으로 형성되는 것이 바람직하다. The first and second plastic substrates 100 and 200 may be made of polyether sulfone (PolyEhterSulfone: PES), polycarbonate (PC), polyarylate (PAR), and polyethylene naphthalate (PolyEylene). Naphthalate (hereinafter referred to as PEN) and Polyethylene Terephthalate (hereinafter referred to as PET). The first and second plastic substrates 100 and 200 are preferably formed of PES, PC, PAR, or the like.

제 1 및 제 2 플라스틱 기판(100, 200)에 박막트랜지스터 어레이 및 컬러필터 어레이를 형성하는 공정 중에 PES와, PC 및 PAR 등이 용해되는 문제가 발생하여 제 1 및 제 2 플라스틱 기판(100, 200) 상에 하드 코팅층(110)이 형성된다. 이러한 하드 코팅층(110)은 아크릴계 또는 우레탄계로 형성되는 것이 바람직하다. 하드 코팅층(110)은 제 1 및 제 2 플라스틱 기판(100, 200)을 형성한 후 제 1 및 제 2 플라스틱 기판(100, 200) 상에 아크릴계 또는 우레탄계로 코팅 처리하여 형성된다. During the process of forming the thin film transistor array and the color filter array on the first and second plastic substrates 100 and 200, a problem occurs in that PES, PC, and PAR are dissolved, resulting in the first and second plastic substrates 100 and 200. The hard coating layer 110 is formed on the. The hard coating layer 110 is preferably formed of acrylic or urethane. The hard coating layer 110 is formed by forming the first and second plastic substrates 100 and 200 and coating the acrylic and urethane based on the first and second plastic substrates 100 and 200.

박막트랜지스터 어레이 및 컬러필터 어레이를 제 1 및 제 2 플라스틱 기판(100, 200)에 형성하는 공정은 플라스틱의 종류에 따라 달라진다. PES 및 PC는 200 ~ 220℃ 정도의 온도에서 박막트랜지스터 어레이 및 컬러필터 어레이 형성이 가능하다. 그리고, PAR은 300℃ 이상의 온도에서 박막트랜지스터 어레이 및 컬러필터 어레이 형성이 가능하다.The process of forming the thin film transistor array and the color filter array on the first and second plastic substrates 100 and 200 depends on the type of plastic. PES and PC can form thin film transistor array and color filter array at temperatures of 200 ~ 220 ℃. In addition, the PAR may form a thin film transistor array and a color filter array at a temperature of 300 ° C. or higher.

이와 같이 플라스틱을 용해해서 용액을 만들어 제 1 및 제 2 플라스틱 기판(100, 200)을 형성하면 제 1 및 제 2 플라스틱 기판(100, 200)과 박막트랜지스터 어레이 및 컬러필터 어레이의 어레이 간의 정렬 조절이 쉬워 제작 공정이 간편해지고 불량이 발생하는 문제점도 해결할 수 있다.In this way, by dissolving plastic to form a solution to form the first and second plastic substrates 100 and 200, alignment control between the first and second plastic substrates 100 and 200 and the array of the thin film transistor array and the color filter array may be controlled. The manufacturing process is easy and the problem that a defect occurs can be solved easily.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 액정 표시 패널용 플라스틱 기판의 제조 방법은 유리 기판과, 탈착 보호층과 접착 촉진층을 이용하며 플라스틱을 용해해서 코팅하는 방식으로 플라스틱 기판을 제작한다. 이에 따라, 이렇게 제작된 플라스틱 기판은 열팽창 계수가 낮아 플라스틱 기판과 박막트랜지스터 어레이 및 컬러필터 어레이의 레이어 간에 정렬 조절에 문제가 없어지므로 제작 공정이 쉬워지는 효과를 볼 수 있다. 또한, 이렇게 제작된 플라스틱 기판은 불량이 많이 없어지므로 리페어 비용이 절감되는 효과도 볼 수 있다.As described above, the method for manufacturing a plastic substrate for a liquid crystal display panel according to the present invention uses a glass substrate, a detachable protective layer, and an adhesion promoting layer to produce a plastic substrate by dissolving and coating plastic. Accordingly, the plastic substrate thus manufactured has a low coefficient of thermal expansion, thereby eliminating the problem of alignment control between the plastic substrate, the thin film transistor array, and the layers of the color filter array, thereby facilitating the manufacturing process. In addition, the plastic substrate thus produced can be seen that the repair cost is reduced because a lot of defects are eliminated.

이상에서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시 예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술 될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 자명하다.In the detailed description of the present invention described above with reference to the preferred embodiment of the present invention, those skilled in the art or those skilled in the art having ordinary knowledge of the present invention described in the claims to be described later It is apparent that various modifications and changes can be made in the present invention without departing from the spirit and scope of the invention.

Claims (9)

유리 기판을 마련하는 단계와;Providing a glass substrate; 상기 유리 기판 상에 탈착 보호층을 형성하는 단계와;Forming a detachable protective layer on the glass substrate; 상기 탈착 보호층 상에 접착 촉진층을 형성하는 단계와;Forming an adhesion promoter layer on the detachable protective layer; 상기 접착 촉진층 상에 플라스틱 기판을 형성하는 단계와;Forming a plastic substrate on the adhesion promotion layer; 상기 플라스틱 기판 상에 어레이를 형성하는 단계와;Forming an array on the plastic substrate; 상기 어레이가 형성된 플라스틱 기판에서 유리 기판과, 상기 탈착 보호층 및 상기 접착 촉진층을 탈착하는 단계를 포함하는 액정 표시 패널용 플라스틱 기판의 제조 방법.And detaching a glass substrate, the detachable protective layer, and the adhesion promoting layer from the plastic substrate on which the array is formed. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 플라스틱 기판 상에 어레이를 형성하는 단계는Forming an array on the plastic substrate 상기 플라스틱 기판 상에 컬러필터 어레이를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 패널용 플라스틱 기판의 제조 방법.Forming a color filter array on the plastic substrate, characterized in that it comprises a plastic substrate for a liquid crystal display panel. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 플라스틱 기판 상에 어레이를 형성하는 단계는Forming an array on the plastic substrate 상기 플라스틱 기판 상에 박막트랜지스터 어레이를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 패널용 플라스틱 기판의 제조 방법.And forming a thin film transistor array on the plastic substrate. 상기 제 2항 또는 제 3항에 있어서,The method of claim 2 or 3, 상기 접착 촉진층 상에 플라스틱 기판을 형성하는 단계는Forming a plastic substrate on the adhesion promoter layer 상기 플라스틱 기판 상에 하드 코팅층를 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 패널용 플라스틱 기판의 제조 방법.The method of manufacturing a plastic substrate for a liquid crystal display panel further comprising the step of forming a hard coating layer on the plastic substrate. 제 4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 하드 코팅층은 아크릴계 또는 우레탄계로 형성되는 것을 특징으로 하는 액정 표시 패널용 플라스틱 기판의 제조 방법.The hard coating layer is a method of manufacturing a plastic substrate for a liquid crystal display panel, characterized in that formed of acrylic or urethane. 제 5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 플라스틱 기판은 투명 폴리이미드와, 폴리에테르술폰과, 폴리카보네이트와 폴리아릴레이드와, 폴리에틸렌나프탈레이트 및 폴리에틸렌테레프탈레이트 중 어느 하나의 플라스틱으로 형성되는 것을 특징으로 하는 액정 표시 패널용 플라스틱 기판의 제조 방법.The plastic substrate is formed of a transparent polyimide, polyether sulfone, polycarbonate and polyarylade, and plastics of any one of polyethylene naphthalate and polyethylene terephthalate. . 제 6항에 있어서,The method of claim 6, 상기 접착 촉진층 상에 플라스틱 기판을 형성하는 단계는Forming a plastic substrate on the adhesion promoter layer 상기 플라스틱을 용해해서 코팅하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 패널용 플라스틱 기판의 제조 방법.Dissolving and coating the said plastic, The manufacturing method of the plastic substrate for liquid crystal display panels characterized by the above-mentioned. 제 7항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 탈착 보호층은 무기 절연막 또는 유기 절연막으로 형성되는 것을 특징으로 하는 액정 표시 패널용 플라스틱 기판의 제조 방법.The desorption protective layer is a method of manufacturing a plastic substrate for a liquid crystal display panel, characterized in that formed of an inorganic insulating film or an organic insulating film. 제 8항에 있어서,The method of claim 8, 상기 접착 촉진층은 실록산계로 형성되는 것을 특징으로 하는 액정 표시 패널용 플라스틱 기판의 제조 방법.The adhesion promotion layer is formed of a siloxane-based method of manufacturing a plastic substrate for a liquid crystal display panel.
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