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KR20080001542A - Thin film transistor array substrate and manufacturing method thereof - Google Patents

Thin film transistor array substrate and manufacturing method thereof Download PDF

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KR20080001542A
KR20080001542A KR1020060060022A KR20060060022A KR20080001542A KR 20080001542 A KR20080001542 A KR 20080001542A KR 1020060060022 A KR1020060060022 A KR 1020060060022A KR 20060060022 A KR20060060022 A KR 20060060022A KR 20080001542 A KR20080001542 A KR 20080001542A
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KR
South Korea
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electrode
storage capacitor
common line
forming
gate
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KR1020060060022A
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조혁력
최승찬
장용호
김빈
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엘지.필립스 엘시디 주식회사
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Abstract

A TFT(thin film transistor) array substrate is provided to improve an aperture ratio and brightness by forming a common line in parallel with a data line and forming a storage capacitor between a gate metal and a common line. A gate metal is formed on a transparent substrate while a gate electrode is formed, and functions as a first electrode of a storage capacitor by being electrically connected to a pixel electrode through a contact hole. A gate insulation layer is formed on the gate metal, and functions as a dielectric layer of the storage capacitor. A common line(Vc2) is formed in parallel with a data line(D1,D2) of a DLS(data line sharing) driving type, and functions as a second electrode of the storage capacitor by being overlapped with the gate metal. The first electrode of the storage capacitor has a width greater or smaller than that of an overlapped common line. The common line is formed together with a source/drain electrode.

Description

박막트랜지스터 어레이 기판 및 그 제조 방법 {Thin Film Transistor Array Substrate and Manufacturing Method Thereof}Thin Film Transistor Array Substrate and Manufacturing Method Thereof}

도 1은 종래 기술에 따른 데이터 라인 쉐어링 구동 방식의 액정 표시 패널의 구조를 개략적으로 나타낸 도면이다.1 is a view schematically illustrating a structure of a liquid crystal display panel of a data line sharing driving method according to the prior art.

도 2는 도 1에 도시된 액정 표시 패널에서 화소셀의 일부분을 확대하여 나타낸 도면이다.FIG. 2 is an enlarged view of a portion of a pixel cell in the liquid crystal display panel shown in FIG. 1.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 박막트랜지스터 어레이 기판의 구조를 개략적으로 나타낸 도면이다.3 is a view schematically showing the structure of a thin film transistor array substrate according to an embodiment of the present invention.

도 4는 도 3에 도시된 박막트랜지스터 어레이 기판에서 화소셀의 일부분을 확대하여 나타낸 도면이다.FIG. 4 is an enlarged view of a portion of a pixel cell in the thin film transistor array substrate of FIG. 3.

도 5는 도 4에 도시된 박막트랜지스터 어레이 기판에서 A-A' 부분 단면을 나타낸 도면이다.FIG. 5 is a cross-sectional view taken along line A-A 'of the thin film transistor array substrate of FIG. 4.

도 6a 및 6b는 도 4에 도시된 박막트랜지스터 어레이 기판에서 B 부분의 예를 나타낸 도면이다.6A and 6B illustrate an example of a portion B of the thin film transistor array substrate illustrated in FIG. 4.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

G1o ~ Gno: 홀수 게이트 라인 G1e ~ Gne: 짝수 게이트 라인 Vc1 ~ Vc(m/2)+1: 공통 라인 D1 ~ D(m/2): 데이터 라인G1o to Gno: Odd gate line G1e to Gne: Even gate line Vc1 to Vc (m / 2) +1: Common line D1 to D (m / 2): Data line

T11 ~ Tnm: 스위칭 소자 P11 ~ Pnm: 화소 전극T11 to Tnm: switching element P11 to Pnm: pixel electrode

Cn2: 제1 스토리지 커패시터 전극 Cn3: 제2 스토리지 커패시터 전극Cn2: first storage capacitor electrode Cn3: second storage capacitor electrode

본 발명은 액정 표시패널에 관한 것으로, 특히, 데이터 라인 쉐어링(Data Line Sharing: DLS) 구동 방식에서 스토리지 커패시터를 형성하는 박막트랜지스터 어레이 기판 및 그 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a liquid crystal display panel, and more particularly, to a thin film transistor array substrate for forming a storage capacitor in a data line sharing (DLS) driving method, and a manufacturing method thereof.

근래에 다양한 평판 표시 장치에 대한 요구에 따라 LCD(Liquid Crystal Display Device), PDP(Plasma Display Panel), VFD(Vacuum Fluorescent Display) 등 다양한 소자가 개발되어 사용되고 있다. 이와 같은 평판 표시 장치 중에서도 화질이 우수하고 경량, 박형, 저소비 전력의 장점을 갖고 있는 LCD가 다양한 분야에서 많이 사용되고 있다. 특히, 노트북 컴퓨터의 모니터에는 대부분 LCD가 채용되고 있으며, TV수상기나 데스크탑 컴퓨터의 모니터에도 LCD가 사용되고 있다.Recently, various devices such as a liquid crystal display device (LCD), a plasma display panel (PDP), and a vacuum fluorescent display (VFD) have been developed and used according to the demand for various flat panel display devices. Among such flat panel displays, LCDs having excellent image quality, light weight, thinness, and low power consumption have been widely used in various fields. In particular, LCDs are mostly used for monitors of notebook computers, and LCDs are also used for monitors of TV receivers and desktop computers.

도 1은 종래 기술에 따른 데이터 라인 쉐어링 구동 방식의 액정 표시 패널의 구조를 개략적으로 나타낸 도면이다.1 is a view schematically illustrating a structure of a liquid crystal display panel of a data line sharing driving method according to the prior art.

도 1에 도시된 바와 같이, 데이터 라인 쉐어링 구동 방식의 액정 표시 패널에는 수평 방향으로 연장된 n개의 홀수 게이트 라인(G1o~Gno)과 n개의 짝수 게이트 라인(G1e~Gne)이 형성된다. 이때, 예를 들어 i번째 홀수 게이트 라인(Gio)과 i번째 짝수 게이트 라인(Gie)은 각 라인 사이에 화소셀이 형성되도록 거의 화소셀의 길이만큼 간격을 두고 배열된다. 상기 i번째 짝수 게이트 라인(Gie)과 i+1번째 홀수 게이트 라인(G(i+1)o)은 서로 인접하여 형성된다.As illustrated in FIG. 1, n odd gate lines G1o to Gno and n even gate lines G1e to Gne extending in a horizontal direction are formed in a liquid crystal display panel of a data line sharing driving method. In this case, for example, the i-th odd gate line Gio and the i-th even gate line Gie are arranged at intervals of almost pixel cells so that pixel cells are formed between each line. The i th even gate line Gie and the i + 1 th odd gate line G (i + 1) o are formed adjacent to each other.

그리고, 상기 홀수 및 짝수 게이트 라인(G1o~Gno, G1e~Gne)와 직교하여 m/2개의 데이터 라인(D1~D(m/2))이 형성된다. 이때, 예를 들어 j번째 데이터 라인(Dj)과 j+1번째 데이터 라인(D(j+1))은 라인 사이가 2화소셀의 폭만큼의 간격을 두고 배열된다. 여기서 상기 데이터 라인이 m/2 개이면, 화소셀은 수평방향으로 m이 된다.Further, m / 2 data lines D1 to D (m / 2) are formed orthogonal to the odd and even gate lines G1o to Gno and G1e to Gne. At this time, for example, the j th data line Dj and the j + 1 th data line D (j + 1) are arranged at intervals of two pixel cells between the lines. If the data lines are m / 2, the pixel cells become m in the horizontal direction.

한편, 상기 홀수 및 짝수 게이트 라인 사이와 데이터 라인의 양쪽에는 화소 전극이 형성된다. 따라서, 1번째 홀수 및 짝수 게이트 라인(G1o, G1e) 사이에는 m개의 화소 전극(P11~P1m)이 형성된다. 마찬가지로 n번째 홀수 및 짝수 게이트 라인(Gno, Gne) 사이에는 m개의 화소 전극(Pn1~Pnm)이 형성됨으로써, 전체적으로 n×m개의 화소셀에 대응되는 n×m개의 화소 전극(P11~Pnm)이 형성된다.Meanwhile, pixel electrodes are formed between the odd and even gate lines and both of the data lines. Therefore, m pixel electrodes P11 to P1m are formed between the first odd and even gate lines G1o and G1e. Similarly, m pixel electrodes Pn1 to Pnm are formed between the n-th odd and even gate lines Gno and Gne, so that n × m pixel electrodes P11 to Pnm corresponding to n × m pixel cells as a whole are formed. Is formed.

여기서, 상기 각각의 화소 전극은 인접하는 데이터 라인과 스위칭 소자(예컨대 TFT)를 통해 데이터 신호를 인가받는다. 즉, 임의의 화소 전극을 구동하기 위한 TFT(Thin Film Transistor)는 소스가 인접하는 데이터 라인과 접속되고, 드레인이 화소 전극과 접속되며, 게이트가 홀수 또는 짝수 게이트 라인과 접속된다.Here, each of the pixel electrodes receives a data signal through an adjacent data line and a switching element (for example, a TFT). That is, a thin film transistor (TFT) for driving an arbitrary pixel electrode is connected to a data line adjacent to a source, a drain is connected to a pixel electrode, and a gate is connected to an odd or even gate line.

도 1에 도시된 바와 같이, 액정 표시 패널에서는 데이터 라인의 왼쪽에 형성된 화소 전극과 접속된 TFT는 홀수 게이트 라인으로부터의 게이트 구동 전압에 따라 동작하도록 구성되고, 데이터 라인의 오른쪽에 형성된 화소 전극과 접속된 TFT는 짝수 게이트 라인으로부터의 게이트 구동 전압에 따라 동작하도록 구성된다. 따라서, 데이터 라인의 왼쪽에 형성된 화소 전극을 구동하는 TFT의 게이트는 홀수 게이트 라인과 접속되고, 데이터 라인의 오른쪽에 형성된 화소 전극을 구동하는 TFT의 게이트는 짝수 게이트 라인과 접속된다.As shown in Fig. 1, in the liquid crystal display panel, the TFT connected to the pixel electrode formed on the left side of the data line is configured to operate according to the gate driving voltage from the odd gate line, and connected to the pixel electrode formed on the right side of the data line. TFT is configured to operate according to the gate driving voltage from the even gate line. Therefore, the gate of the TFT driving the pixel electrode formed on the left side of the data line is connected with the odd gate line, and the gate of the TFT driving the pixel electrode formed on the right side of the data line is connected with the even gate line.

마지막으로, 1번째 홀수 및 짝수 게이트 라인(G1o, G1e)의 중심에는 화소 전극과 스토리지 커패시터를 구성하기 위한 공통 라인(Vc1)이 수평방향으로 형성된다. 이와 같이 하여 각각의 홀수 및 짝수 게이트 라인 사이에는 n개의 공통 라인(Vc1~Vcn)이 형성된다. Finally, a common line Vc1 for forming the pixel electrode and the storage capacitor is formed in the horizontal direction at the centers of the first odd and even gate lines G1o and G1e. In this manner, n common lines Vc1 to Vcn are formed between each odd and even gate line.

이와 같이 구성된 종래의 데이터 라인 쉐어링 구동 방식의 액정 표시 패널은 예를 들어, 1번째 라인의 화소 전극에 데이터를 기입하고자 하는 경우에는 첫 번째 데이터 신호를 데이터 라인(D1~D(m/2))에 인가하여 1번째 홀수 게이트 라인(G1o)을 스캐닝한 후, 두 번째 데이터 신호를 데이터 라인(D1~D(m/2))에 인가하여 1번째 짝수 게이트 라인(G1e)을 스캐닝하게 된다. 따라서, 처음 스캐닝에서 데이터 라인의 왼쪽에 형성된 화소 전극(P11, P13, ..., P1(m-1))에 데이터 신호가 인가되고, 다음의 스캐닝에서 데이터 라인의 오른쪽에 형성된 화소 전극(P12, P14, ..., P1m)에 데이터 신호가 인가된다. 이와 같이 하여 1라인으로부터 n라인까지 스캐닝 동작을 수행하여 화소 전극에 데이터 신호를 인가하게 된다.In the liquid crystal display panel of the conventional data line sharing driving method configured as described above, for example, when data is to be written to the pixel electrode of the first line, the first data signal is transmitted to the data lines D1 to D (m / 2). After scanning the first odd gate line (G1o) by applying to the second data signal is applied to the data lines (D1 ~ D (m / 2)) to scan the first even gate line (G1e). Therefore, the data signal is applied to the pixel electrodes P11, P13, ..., P1 (m-1) formed on the left side of the data line in the first scanning, and the pixel electrode P12 formed on the right side of the data line in the next scanning. , P14, ..., P1m) is applied to the data signal. In this manner, a scanning operation is performed from one line to n lines to apply a data signal to the pixel electrode.

도 2는 도 1에 도시된 액정 표시 패널에서 화소셀의 일부분(10)을 확대하여 나타낸 도면이다. 도 2에서 화소 전극 Pn2는 제1 화소 전극이라 하고, 화소 전극 Pn3는 제2 화소 전극이라 한다.FIG. 2 is an enlarged view of a portion 10 of a pixel cell in the liquid crystal display panel illustrated in FIG. 1. In FIG. 2, the pixel electrode Pn2 is called a first pixel electrode, and the pixel electrode Pn3 is called a second pixel electrode.

도 2에 도시된 바와 같이 제1 화소 전극(Pn2)의 중심부분의 공통 라인(Vcn) 에는 스토리지 커패시터를 형성하도록 제1 스토리지 커패시터의 제1 전극(Cn2)이 형성된다. 마찬가지로 제2 화소 전극(Pn3)의 중심부분의 공통 라인(Vcn)에는 스토리지 커패시터를 형성하도록 제2 스토리지 커패시터의 제1 전극(Cn3)이 형성된다. 이때, 화소 전극(P11~Pnm)이 제2 전극 역할을 한다. 이와 같은 스토리지 커패시터 전극은 모든 화소 전극(P11~Pnm)에 대해 형성된다. 이와 같은 스토리지 커패시터 형성 방법을 이른바 스토리지 온 코먼(Storage On Common) 방식이라 한다. As illustrated in FIG. 2, a first electrode Cn2 of the first storage capacitor is formed in the common line Vcn at the center of the first pixel electrode Pn2 to form a storage capacitor. Similarly, the first electrode Cn3 of the second storage capacitor is formed in the common line Vcn at the center of the second pixel electrode Pn3 to form the storage capacitor. In this case, the pixel electrodes P11 to Pnm serve as the second electrode. Such storage capacitor electrodes are formed for all pixel electrodes P11 to Pnm. Such a storage capacitor formation method is called a storage on common method.

따라서, 이와 같은 종래의 액정 표시 패널에 의하면, 모든 화소 전극(P11~Pnm)의 중심부분에는 게이트 라인과 평행한 공통 라인이 통과됨으로써 개구율이 감소하게 된다. 더욱이 상기와 같은 종래의 액정 표시 패널에 의하면 개구율이 감소하게 됨으로써 휘도가 감소하게 되는 문제점이 있다.Therefore, according to such a conventional liquid crystal display panel, the aperture ratio is reduced by passing a common line parallel to the gate line through the central portion of all the pixel electrodes P11 to Pnm. In addition, according to the conventional liquid crystal display panel as described above, there is a problem that the luminance is decreased by decreasing the aperture ratio.

이러한 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은, 개구율 및 휘도를 향상시키고, 화소 전극에 연결된 게이트 메탈과 공통 라인 사이에 스토리지 커패시터를 안정되게 형성시킬 수 있는 박막트랜지스터 어레이 기판 및 그 제조 방법을 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to improve the aperture ratio and brightness, and to stably form a storage capacitor between a gate metal connected to a pixel electrode and a common line, and a method of manufacturing the same. To provide.

이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 박막트랜지스터 어레이 기판은, 투명한 기판 상에 게이트 전극 형성시에 함께 형성되고, 화소 전극과 컨택홀을 통해 전기적으로 접속되어 스토리지 커패시터의 제1 전극 역할을 하는 게이트 메탈; 상기 게이트 메탈 상부에 형성되어 상기 스토리지 커패시터의 유전층 역할을 하는 게이트 절연막; 및 데이터 라인 쉐어링(Data Line Sharing: DLS) 구동 방식의 데이터 라인에 평행하게 형성되고, 상기 게이트 메탈과 오버랩되어 상기 스토리지 커패시터의 제2 전극 역할을 하는 공통 라인을 포함하여 구성된다.The thin film transistor array substrate of the present invention for achieving the above object is formed on the transparent substrate at the time of forming the gate electrode, the gate is electrically connected through the pixel electrode and the contact hole to serve as the first electrode of the storage capacitor metal; A gate insulating layer formed on the gate metal and serving as a dielectric layer of the storage capacitor; And a common line formed parallel to a data line of a data line sharing (DLS) driving method and overlapping the gate metal to serve as a second electrode of the storage capacitor.

여기서, 상기 스토리지 커패시터의 제1 전극의 폭은 오버랩되는 공통 라인의 폭보다 넓은 것을 특징으로 한다.Here, the width of the first electrode of the storage capacitor is wider than the width of the common line overlapping.

여기서, 상기 스토리지 커패시터의 제1 전극의 폭은 오버랩되는 공통 라인의 폭보다 좁은 것을 특징으로 한다.Here, the width of the first electrode of the storage capacitor is characterized in that narrower than the width of the common line overlapping.

여기서, 상기 공통 라인은 소스/드레인 전극 형성시 함께 형성되는 것을 특징으로 한다.The common line may be formed together when forming the source / drain electrodes.

한편, 본 발명의 박막트랜지스터 어레이 기판의 제조 방법은, 투명한 기판 상에서 게이트 전극 형성시에 함께 형성되는 스토리지 커패시터의 제1 전극을 형성하는 단계; 상기 스토리지 커패시터의 제1 전극 및 상기 기판 상에 게이트 절연막을 형성하는 단계; 상기 게이트 절연막 상에 상기 스토리지 커패시터 제1 전극과 오버랩되어 상기 스토리지 커패시터 제2 전극 역할을 하는 공통 라인을 형성하는 단계; 상기 게이트 절연막 상에 컨택홀을 형성시키는 단계; 및 상기 컨택홀 상에 상기 커패시터의 제1 전극과 전기적으로 접속되는 화소 전극을 형성하는 단계를 포함하여 이루어진다.On the other hand, the method of manufacturing a thin film transistor array substrate of the present invention, forming a first electrode of the storage capacitor formed together when forming the gate electrode on a transparent substrate; Forming a gate insulating film on the first electrode and the substrate of the storage capacitor; Forming a common line on the gate insulating layer to overlap the storage capacitor first electrode and serve as the storage capacitor second electrode; Forming a contact hole on the gate insulating film; And forming a pixel electrode on the contact hole, the pixel electrode being electrically connected to the first electrode of the capacitor.

여기서, 상기 공통 라인을 형성하는 단계는 상기 공통 라인의 폭을 오버랩되는 상기 스토리지 커패시터의 제1 전극의 폭보다 좁게 형성되는 것을 특징으로 한다.The forming of the common line may be formed to be narrower than the width of the first electrode of the storage capacitor overlapping the width of the common line.

여기서, 상기 공통 라인을 형성하는 단계는 상기 공통 라인의 폭을 오버랩되는 상기 스토리지 커패시터의 제1 전극의 폭보다 넓게 형성되는 것을 특징으로 한다.The forming of the common line may be formed to be wider than the width of the first electrode of the storage capacitor overlapping the width of the common line.

여기서, 상기 공통 라인은 소스/드레인 전극 형성시 함께 형성되는 것을 특징으로 한다.The common line may be formed together when forming the source / drain electrodes.

이하, 본 발명의 실시예를 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 박막트랜지스터 어레이 기판의 구조를 개략적으로 나타낸 도면이다.3 is a view schematically showing the structure of a thin film transistor array substrate according to an embodiment of the present invention.

도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 데이터 라인 쉐어링 구동 방식의 액정 표시 패널은 수평 방향으로 연장된 n개의 홀수 게이트 라인(G1o~Gno)과 n개의 짝수 게이트 라인(G1e~Gne)이 형성된다. 그리고, 예를 들어 i번째 홀수 게이트 라인(Gio)과 i번째 짝수 게이트 라인(Gie)은 각 라인 사이에 화소셀이 형성되도록 거의 화소 셀의 길이만큼 간격을 두고 배열된다. 이때, i번째 짝수 게이트 라인(Gie)과 i+1번째 홀수 게이트 라인(G(i+1)o)은 서로 인접하여 형성된다.As shown in FIG. 3, the liquid crystal display panel of the data line sharing driving method according to an exemplary embodiment of the present invention has n odd gate lines G1o to Gno and n even gate lines G1e to Gne extending in a horizontal direction. ) Is formed. For example, the i-th odd gate line Gio and the i-th even gate line Gie are arranged at intervals of almost pixel cells so that pixel cells are formed between each line. In this case, the i-th even gate line Gie and the i + 1-th odd gate line G (i + 1) o are formed adjacent to each other.

또한, 상기 홀수 및 짝수 게이트 라인(G1o~Gno, G1e~Gne)와 직교하여 m/2개의 데이터 라인(D1~D(m/2))이 형성된다. 이때, 예를 들어 j번째 데이터 라인(Dj)과 j+1번째 데이터 라인(D(j+1))은 라인 사이가 2화소셀의 폭만큼의 간격을 두고 배열된다. 여기서 상기 데이터 라인이 m/2개이면, 화소셀은 수평방향으로 m이 된다.Further, m / 2 data lines D1 to D (m / 2) are formed orthogonal to the odd and even gate lines G1o to Gno and G1e to Gne. At this time, for example, the j th data line Dj and the j + 1 th data line D (j + 1) are arranged at intervals of two pixel cells between the lines. If the data lines are m / 2, the pixel cells become m in the horizontal direction.

그리고, 상기 홀수 및 짝수 게이트 라인 사이와 데이터 라인의 양쪽에는 화소 전극이 형성된다. 따라서, 1번째 홀수 및 짝수 게이트 라인(G1o, G1e) 사이에는 m개의 화소 전극(P11~P1m)이 형성된다. 마찬가지로 n번째 홀수 및 짝수 게이트 라인(Gno, Gne) 사이에는 m개의 화소 전극(Pn1~Pnm)이 형성되게 되어, 전체적으로 n×m개의 화소셀에 대응되는 n×m개의 화소 전극(P11~Pnm)이 형성된다.A pixel electrode is formed between the odd and even gate lines and both of the data lines. Therefore, m pixel electrodes P11 to P1m are formed between the first odd and even gate lines G1o and G1e. Similarly, m pixel electrodes Pn1 to Pnm are formed between the n-th odd and even gate lines Gno and Gne, and the n × m pixel electrodes P11 to Pnm corresponding to the n × m pixel cells as a whole. Is formed.

상기 각각의 화소 전극은 인접하는 데이터 라인과 스위칭 소자(예컨대 TFT)를 통해 접속되어 데이터 신호를 인가받는다. 즉, 임의의 화소 전극을 구동하기 위한 TFT는 소스가 인접하는 데이터 라인과 접속되고, 드레인이 화소 전극과 접속되며, 게이트가 홀수 또는 짝수 게이트 라인과 접속된다.Each pixel electrode is connected to an adjacent data line through a switching element (for example, a TFT) to receive a data signal. That is, a TFT for driving an arbitrary pixel electrode is connected to a data line adjacent to a source, a drain is connected to a pixel electrode, and a gate is connected to an odd or even gate line.

도 3에 도시된 바와 같이 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 패널은 데이터 라인의 왼쪽에 형성된 화소 전극은 홀수 게이트 라인(G1o~Gno)으로부터의 게이트 구동 전압에 따라 동작하도록 구성되고, 데이터 라인의 오른쪽에 형성된 화소 전극은 짝수 게이트 라인(G1e~Gne)으로부터의 게이트 구동 전압에 따라 동작하도록 구성된다.As illustrated in FIG. 3, in the liquid crystal display panel according to the exemplary embodiment of the present invention, the pixel electrode formed on the left side of the data line is configured to operate according to gate driving voltages from odd gate lines G1o to Gno. The pixel electrode formed on the right side is configured to operate according to the gate driving voltages from even gate lines G1e to Gne.

따라서, 데이터 라인의 왼쪽에 형성된 화소 전극을 구동하는 TFT의 게이트는 홀수 게이트 라인(G1o~Gno)과 접속되고, 데이터 라인의 오른쪽에 형성된 화소 전극을 구동하는 TFT의 게이트는 짝수 게이트 라인(G1e~Gne)과 접속된다.Therefore, the gates of the TFTs driving the pixel electrodes formed on the left side of the data line are connected to odd gate lines G1o to Gno, and the gates of the TFTs driving the pixel electrodes formed on the right side of the data line are even gate lines G1e ~. Connected to Gne).

마지막으로, 데이터 라인 사이의 2개의 화소 전극 사이에는 스토리지 커패시터를 구성하기 위한 공통 라인(Vc1~Vc(m/2)+1)이 데이터 라인에 평행한 방향으로 연장되어 형성된다. 이와 같은 공통 라인은 (m/2)+1개 만큼 형성된다.Lastly, common lines Vc1 to Vc (m / 2) +1 for forming a storage capacitor are formed to extend in a direction parallel to the data lines between two pixel electrodes between the data lines. Such common lines are formed by (m / 2) +1 pieces.

이와 같이 구성된 본 발명의 데이터 라인 쉐어링 구동 방식의 액정 표시 패널은, 예를 들어, 1번째 라인의 화소 전극에 데이터를 기입하고자 하는 경우, 첫 번째 데이터 신호를 데이터 라인(D1~D(m/2))에 인가하여 1번째 홀수 게이트 라인(G1o)을 스캐닝하고, 두 번째 데이터 신호를 데이터 라인(D1~D(m/2))에 인가하여 1번째 짝수 게이트 라인(G1e)을 스캐닝하게 된다. 이와 같은 방법으로 1라인으로부터 n라인까지 스캐닝 동작을 수행하여 화소 전극에 데이터 신호를 인가하게 된다.In the liquid crystal display panel of the data line sharing driving method of the present invention configured as described above, for example, when data is to be written to the pixel electrode of the first line, the first data signal is transmitted to the data lines D1 to D (m / 2). ) To scan the first odd gate line G1o and to apply the second data signal to the data lines D1 to D (m / 2) to scan the first even gate line G1e. In this manner, a scanning operation is performed from one line to n lines to apply a data signal to the pixel electrode.

도 4는 도 3에 도시된 박막트랜지스터 어레이 기판에서 화소셀의 일부분(100)을 확대하여 나타낸 도면이다. 도 4에서 화소 전극 Pn2은 제1 화소 전극이라 하고, 화소 전극 Pn3는 제2 화소 전극이라 한다.FIG. 4 is an enlarged view of a portion 100 of a pixel cell in the thin film transistor array substrate of FIG. 3. In FIG. 4, the pixel electrode Pn2 is called a first pixel electrode, and the pixel electrode Pn3 is called a second pixel electrode.

도 4에 도시된 바와 같이, 제1 화소 전극(Pn2)에 연결된 게이트 메탈을 제1 스토리지 커패시터의 제1 전극(Cn2)으로 하고 공통 라인(Vc2)을 제1 스토리지 커패시터의 제2 전극으로 하여 제1 스토리지 커패시터가 형성된다. 또한, 제2 화소 전극(Pn3)에 연결된 게이트 메탈을 제2 스토리지 커패시터의 제1 전극(Cn3)으로 하고 공통 라인(Vc2)을 제2 스토리지 커패시터의 제2 전극으로 하여 제2 스토리지 커패시터가 형성된다. 여기서, 상기 게이트 메탈인 제1 스토리지 커패시터 전극(Cn2)은 일측이 제1 화소 전극(Pn2)과 전기적으로 접속되고 타측이 공통 라인(Vc2)과 오버랩되도록 형성된다. 마찬가지로, 상기 게이트 메탈인 제2 스토리지 커패시터의 제2 전극(Cn3)은 일측이 제2 화소 전극(Pn3)과 전기적으로 접속되고 타측이 공통 라인(Vc2)과 오버랩되도록 형성된다.As shown in FIG. 4, the gate metal connected to the first pixel electrode Pn2 is used as the first electrode Cn2 of the first storage capacitor, and the common line Vc2 is used as the second electrode of the first storage capacitor. 1 storage capacitor is formed. In addition, a second storage capacitor is formed using the gate metal connected to the second pixel electrode Pn3 as the first electrode Cn3 of the second storage capacitor and the common line Vc2 as the second electrode of the second storage capacitor. . The first storage capacitor electrode Cn2, which is the gate metal, is formed such that one side thereof is electrically connected to the first pixel electrode Pn2 and the other side thereof overlaps the common line Vc2. Similarly, the second electrode Cn3 of the second storage capacitor, which is the gate metal, is formed such that one side thereof is electrically connected to the second pixel electrode Pn3 and the other side thereof overlaps the common line Vc2.

따라서, 상기 제1 스토리지 커패시터의 제1 전극(Cn2)과 공통 라인(Vc2) 사이에 형성되는 제1 스토리지 커패시터의 커패시턴스는 제1 스토리지 커패시터의 제1 전극(Cn2)과 공통 라인(Vc2) 사이의 오버랩에 의해서 결정된다. 또한, 상기 제2 스토리지 커패시터의 제1 전극(Cn3)과 공통 라인(Vc2) 사이에 형성되는 제2 스토리지 커패시터의 커패시턴스는 제2 스토리지 커패시터의 제1 전극(Cn3)과 공통 라인(Vc2) 사이의 오버랩에 의해서 결정된다.Accordingly, the capacitance of the first storage capacitor formed between the first electrode Cn2 of the first storage capacitor and the common line Vc2 is between the first electrode Cn2 and the common line Vc2 of the first storage capacitor. Determined by overlap. In addition, the capacitance of the second storage capacitor formed between the first electrode Cn3 of the second storage capacitor and the common line Vc2 is between the first electrode Cn3 and the common line Vc2 of the second storage capacitor. Determined by overlap.

도 5는 도 4에 도시된 박막트랜지스터 어레이 기판에서 A-A' 부분의 단면을 나타낸 도면이다.FIG. 5 is a cross-sectional view of an A-A 'portion of the thin film transistor array substrate shown in FIG. 4.

도 5를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 박막트랜지스터 어레이 기판은, 투명한 기판 상에 게이트 전극 형성시에 함께 형성되고, 화소 전극과 컨택홀을 통해 전기적으로 접속되어 스토리지 커패시터의 제1 전극 역할을 하는 게이트 메탈; 상기 게이트 메탈 상부에 형성되어 상기 스토리지 커패시터의 유전층 역할을 하는 게이트 절연막; 및 데이터 라인 쉐어링(Data Line Sharing: DLS) 구동 방식의 데이터 라인에 평행하게 형성되고, 상기 게이트 메탈과 오버랩되어 상기 스토리지 커패시터의 제2 전극 역할을 하는 공통 라인을 포함하여 구성된다.Referring to FIG. 5, a thin film transistor array substrate according to an embodiment of the present invention is formed together at the time of forming a gate electrode on a transparent substrate, and electrically connected to a pixel electrode through a contact hole to serve as a first electrode of a storage capacitor. A gate metal; A gate insulating layer formed on the gate metal and serving as a dielectric layer of the storage capacitor; And a common line formed parallel to a data line of a data line sharing (DLS) driving method and overlapping the gate metal to serve as a second electrode of the storage capacitor.

상기 투명 기판 상에는 TFT의 게이트 라인을 형성할 때, 제1 스토리지 커패시터의 제1 전극(Cn2)이 동시에 형성된다. 그리고 상기 제1 스토리지 커패시터의 제1 전극(Cn2) 상에는 제1 절연막이 형성된다. 또한, 상기 제1 절연막 상의 제1 스토리지 커패시터의 제1 전극(Cn2)과 대응되는 위치에 공통 라인(Vc2)이 형성되어 제1 스토리지 커패시터의 제2 전극 역할을 한다.When the gate line of the TFT is formed on the transparent substrate, the first electrode Cn2 of the first storage capacitor is simultaneously formed. In addition, a first insulating layer is formed on the first electrode Cn2 of the first storage capacitor. In addition, a common line Vc2 is formed at a position corresponding to the first electrode Cn2 of the first storage capacitor on the first insulating layer to serve as a second electrode of the first storage capacitor.

계속해서, 상기 공통 라인(Vc2) 및 절연막 상에는 패시베이션막이 형성된다. 이어서, 제1 스토리지 커패시터의 제1 전극(Cn2) 상의 절연막 및 패시베이션막에 컨택홀(C)을 형성한 후, 상기 패시베이션막과 컨택홀(C) 상에 제1 화소 전극을 형성한다. 이로써, 상기 제1 화소 전극(Pn2)과 제1 스토리지 커패시터의 제1 전극(Cn2)이 전기적으로 접속된다.Subsequently, a passivation film is formed on the common line Vc2 and the insulating film. Subsequently, a contact hole C is formed in the insulating film and the passivation film on the first electrode Cn2 of the first storage capacitor, and then a first pixel electrode is formed on the passivation film and the contact hole C. FIG. As a result, the first pixel electrode Pn2 and the first electrode Cn2 of the first storage capacitor are electrically connected to each other.

이와 같이 하여 박막트랜지스터 어레이 기판이 완성되면, 상기 제1 화소 전극(Pn2)과 제2 화소 전극(Pn3) 사이의 제1 및 제2 스토리지 커패시터 전극의 제1 전극들(Cn2, Cn3)과 대응되는 위치의 컬러필터 기판 상에는 수직방향으로 소정 폭의 블랙매트릭스(BM1)가 형성된다. 마지막으로 상기 박막트랜지스터 어레이 기판 및 컬러필터 기판 사이에 액정을 주입하고 합착함으로써 액정 패널이 완성된다.When the thin film transistor array substrate is completed in this manner, the thin film transistor array substrate may correspond to the first electrodes Cn2 and Cn3 of the first and second storage capacitor electrodes between the first pixel electrode Pn2 and the second pixel electrode Pn3. The black matrix BM1 having a predetermined width is formed on the color filter substrate at the position. Finally, the liquid crystal panel is completed by injecting and bonding the liquid crystal between the thin film transistor array substrate and the color filter substrate.

도 6a 및 6b는 도 4에 도시된 박막트랜지스터 어레이 기판에서 B 부분의 예를 나타낸 도면이다.6A and 6B illustrate an example of a portion B of the thin film transistor array substrate illustrated in FIG. 4.

도 6a에 도시된 바와 같이, 제2 스토리지 커패시터의 제1 전극(Cn3)은 예컨대 "ㄴ"자(90도 시계방향으로 회전) 모양으로 형성된다. 상기 공통 라인(Vc2)의 폭을 W1이라 하면, 제2 스토리지 커패시터의 제1 전극(Cn3)의 폭은 W2가 된다. 이때, 제2 스토리지 커패시터의 제1 전극(Cn3)의 폭(W2)은 공통 라인(Vc2)의 폭(W1)보다 넓게 형성된다. 따라서, 상기 실시예에 의하면, 상기 제2 스토리지 커패시터의 제1 전극(Cn3)과 공통 라인(Vc2)의 오버랩 위치의 마진을 확보할 수 있게 됨으로써 안정된 스토리지 커패시터 용량을 얻을 수 있다.As shown in FIG. 6A, the first electrode Cn3 of the second storage capacitor is formed, for example, in the shape of a letter “b” (rotated 90 degrees clockwise). When the width of the common line Vc2 is W1, the width of the first electrode Cn3 of the second storage capacitor is W2. In this case, the width W2 of the first electrode Cn3 of the second storage capacitor is wider than the width W1 of the common line Vc2. Therefore, according to the embodiment, it is possible to secure a margin of the overlapping position of the first electrode Cn3 of the second storage capacitor and the common line Vc2, thereby obtaining stable storage capacitor capacity.

한편, 도 6b에서는 공통 라인(Vc2)의 폭은 W1이고, 제2 스토리지 커패시터의 제1 전극(Cn3)의 폭은 W3이 된다. 이때, 공통 라인(Vc2)의 폭(W1)은 제2 스토리지 커패시터의 제1 전극(Cn3)의 폭(W3)보다 넓게 형성된다. 이와 같은 실시예에 의하면, 공통 라인(Vc2)과 제2 스토리지 커패시터의 제1 전극(Cn3)의 오버랩 위치의 마진을 확보할 수 있게 됨으로써 안정된 스토리지 커패시터 용량을 얻을 수 있다. 특히, 공통 라인(Vc2)와 제2 스토리지 커패시터의 제1 전극(Cn3)의 좌우의 폭은 오정렬(misalign)을 방지할 수 있는 마진을 확보할 수 있도록 설정되는 것이 바람직하다.6B, the width of the common line Vc2 is W1, and the width of the first electrode Cn3 of the second storage capacitor is W3. In this case, the width W1 of the common line Vc2 is wider than the width W3 of the first electrode Cn3 of the second storage capacitor. According to this embodiment, it is possible to secure a margin of the overlap position between the common line Vc2 and the first electrode Cn3 of the second storage capacitor, thereby obtaining stable storage capacitor capacity. In particular, the left and right widths of the common line Vc2 and the first electrode Cn3 of the second storage capacitor may be set to secure a margin for preventing misalignment.

이와 같이, 상술한 본 발명의 기술적 구성은 본 발명이 속하는 기술분야의 당업자가 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다.As such, the technical configuration of the present invention described above can be understood by those skilled in the art that the present invention can be implemented in other specific forms without changing the technical spirit or essential features of the present invention.

그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해되어야 하고, 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다 는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타나며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.Therefore, the exemplary embodiments described above are to be understood as illustrative and not restrictive in all aspects, and the scope of the present invention is indicated by the following claims rather than the detailed description, and the meaning and scope of the claims and All changes or modifications derived from the equivalent concept should be interpreted as being included in the scope of the present invention.

본 발명에 따르면, 공통 라인을 데이터 라인에 평행하게 형성하고, 게이트 메탈과 공통 라인 사이에 스토리지 커패시터를 형성함으로써 개구율 및 휘도를 향상시킬 수 있다.According to the present invention, the aperture ratio and the luminance can be improved by forming a common line parallel to the data line and forming a storage capacitor between the gate metal and the common line.

Claims (8)

투명한 기판 상에 게이트 전극 형성시에 함께 형성되고, 화소 전극과 컨택홀을 통해 전기적으로 접속되어 스토리지 커패시터의 제1 전극 역할을 하는 게이트 메탈;A gate metal formed together with the gate electrode when the gate electrode is formed on the transparent substrate and electrically connected to the pixel electrode through a contact hole to serve as a first electrode of the storage capacitor; 상기 게이트 메탈 상부에 형성되어 상기 스토리지 커패시터의 유전층 역할을 하는 게이트 절연막; 및A gate insulating layer formed on the gate metal and serving as a dielectric layer of the storage capacitor; And 데이터 라인 쉐어링(Data Line Sharing: DLS) 구동 방식의 데이터 라인에 평행하게 형성되고, 상기 게이트 메탈과 오버랩되어 상기 스토리지 커패시터의 제2 전극 역할을 하는 공통 라인A common line formed in parallel with a data line of a data line sharing (DLS) driving method and overlapping the gate metal to serve as a second electrode of the storage capacitor. 을 포함하는 박막트랜지스터 어레이 기판.Thin film transistor array substrate comprising a. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 스토리지 커패시터의 제1 전극의 폭은 오버랩되는 공통 라인의 폭보다 넓은 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터 어레이 기판.The width of the first electrode of the storage capacitor is wider than the width of the overlapping common line substrate transistor array substrate. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 스토리지 커패시터의 제1 전극의 폭은 오버랩되는 공통 라인의 폭보다 좁은 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터 어레이 기판.The width of the first electrode of the storage capacitor is narrower than the width of the overlapping common line transistor array substrate. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 공통 라인은 소스/드레인 전극 형성시 함께 형성되는 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터 어레이 기판.The common line is a thin film transistor array substrate, characterized in that formed together when forming the source / drain electrode. 투명한 기판 상에서 게이트 전극 형성시에 함께 형성되는 스토리지 커패시터의 제1 전극을 형성하는 단계;Forming a first electrode of a storage capacitor formed together upon forming a gate electrode on the transparent substrate; 상기 스토리지 커패시터의 제1 전극 및 상기 기판 상에 게이트 절연막을 형성하는 단계;Forming a gate insulating film on the first electrode and the substrate of the storage capacitor; 상기 게이트 절연막 상에 상기 스토리지 커패시터 제1 전극과 오버랩되어 상기 스토리지 커패시터 제2 전극 역할을 하는 공통 라인을 형성하는 단계;Forming a common line on the gate insulating layer to overlap the storage capacitor first electrode and serve as the storage capacitor second electrode; 상기 게이트 절연막 상에 컨택홀을 형성시키는 단계; 및Forming a contact hole on the gate insulating film; And 상기 컨택홀 상에 상기 커패시터의 제1 전극과 전기적으로 접속되는 화소 전극을 형성하는 단계Forming a pixel electrode on the contact hole, the pixel electrode being electrically connected to the first electrode of the capacitor 를 포함하는 박막트랜지스터 어레이 기판의 제조 방법.Method of manufacturing a thin film transistor array substrate comprising a. 제5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 공통 라인을 형성하는 단계는 상기 공통 라인의 폭을 오버랩되는 상기 스토리지 커패시터의 제1 전극의 폭보다 좁게 형성되는 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터 어레이 기판의 제조 방법.The forming of the common line may include forming the common line smaller than the width of the first electrode of the storage capacitor overlapping the width of the common line. 제5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 공통 라인을 형성하는 단계는 상기 공통 라인의 폭을 오버랩되는 상기 스토리지 커패시터의 제1 전극의 폭보다 넓게 형성되는 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터 어레이 기판의 제조 방법.The forming of the common line may include forming the common line wider than the width of the first electrode of the storage capacitor overlapping the width of the common line. 제5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 공통 라인은 소스/드레인 전극 형성시 함께 형성되는 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터 어레이 기판의 제조 방법.The common line is a method of manufacturing a thin film transistor array substrate, characterized in that formed together when forming the source / drain electrode.
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