[go: up one dir, main page]
More Web Proxy on the site http://driver.im/

KR20070103990A - 표시 패널의 검사 장치 및 검사 방법 - Google Patents

표시 패널의 검사 장치 및 검사 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR20070103990A
KR20070103990A KR1020060035991A KR20060035991A KR20070103990A KR 20070103990 A KR20070103990 A KR 20070103990A KR 1020060035991 A KR1020060035991 A KR 1020060035991A KR 20060035991 A KR20060035991 A KR 20060035991A KR 20070103990 A KR20070103990 A KR 20070103990A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
conductive film
signal
film
signal pads
probe
Prior art date
Application number
KR1020060035991A
Other languages
English (en)
Inventor
송영우
정환경
윤진철
정화규
Original Assignee
삼성전자주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성전자주식회사 filed Critical 삼성전자주식회사
Priority to KR1020060035991A priority Critical patent/KR20070103990A/ko
Priority to JP2007097668A priority patent/JP5441315B2/ja
Priority to CN2007101010392A priority patent/CN101059605B/zh
Publication of KR20070103990A publication Critical patent/KR20070103990A/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1306—Details
    • G02F1/1309—Repairing; Testing
    • G—PHYSICS
    • G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
    • G09G3/00—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes
    • G09G3/006—Electronic inspection or testing of displays and display drivers, e.g. of LED or LCD displays
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N2021/9513—Liquid crystal panels
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/136—Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
    • G02F1/1362—Active matrix addressed cells
    • G02F1/136254—Checking; Testing

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
  • Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
  • Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)

Abstract

본 발명은 검사 공정의 검출력을 향상시킬 수 있는 표시 패널의 검사 장치 및 검사 방법을 제공하는 것이다.
본 발명에 따른 표시 패널의 검사 장치는 표시 패널에 형성된 다수의 신호 패드에 전기적 신호를 인가하는 다수의 프로브 핀을 가지는 프로브 유닛과; 상기 프로브 유닛 하단에서 전후로 이동 가능한 도전 필름을 포함하며, 상기 도전 필름이 전방으로 이동한 경우 상기 다수의 신호 패드와 상기 프로브 핀 사이에 상기 도전 필름이 개재되는 제1 모드와, 상기 도전 필름이 후방으로 이동한 경우, 상기 다수의 신호 패드들에 상기 프로브 핀이 직접 접속하는 제2 모드를 갖는 것을 특징으로 한다.

Description

표시 패널의 검사 장치 및 검사 방법{APPARATUS AND METHOD OF TESTING DISPLAY PANEL}
도 1은 본 발명에 따른 표시 패널의 검사 장치를 나타내는 사시도이다.
도 2a는 도 1에 도시된 도전 필름이 블럭형으로 형성된 도면이며, 도 2b는 도 1에 도시된 도전 필름이 일체형으로 형성된 도면이다.
도 3은 도 1에 도시된 도전 필름을 고정시키기 위한 필름 고정 유닛을 나타내는 사시도이다.
도 4a 및 도 4b는 도 1에 도시된 도전 필름의 제1 및 제2 실시 예를 나타내는 사시도이다.
도 5a 및 도 5b는 본 발명에 따른 표시 패널의 신호 라인 및 신호 패드의 불량을 검출하는 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 6a 및 도 6b는 본 발명에 따른 검사 장치의 불량을 검출하는 방법을 설명하기 위한 도면이다.
< 도면의 주요부분에 대한 설명>
100: 액정 표시 패널 102 : 컬러필터 기판
104 : 박막트랜지스터 기판 106 : 신호 패드
108 : 신호 라인 110: 도전 필름
112 : 베이스 필름 114 : 도전막
116 : 도전성 고무 120 : 프로브 유닛
122 : 프로브 핀 124 : 프로브 몸체
130 : 필름 블럭 유닛 132 : 필름 고정바
134 : 단턱면 136 : 고정 블럭
본 발명은 표시 패널의 검사 장치 및 검사 방법에 관한 것으로, 특히 검사 공정의 검출력을 향상시킬 수 있는 표시 패널의 검사 장치 및 검사 방법에 관한 것이다.
통상, 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display; LCD)는 액정 표시 패널에 매트릭스 형태로 배열된 액정셀들 각각이 비디오 신호에 따라 광투과율을 조절하게 함으로써 화상을 표시하게 된다.
이러한 액정 표시 패널은 액정을 사이에 두고 합착제에 의해 합착되는 박막 트랜지스터 기판 및 컬러 필터 기판을 구비한다.
컬러 필터 기판에는 빛샘 방지를 위한 블랙 매트릭스와, 컬러 구현을 위한 컬러 필터, 화소전극과 수직전계를 이루는 공통전극과, 그들 위에 액정 배향을 위해 도포된 상부 배향막을 포함하는 컬러 필터 어레이가 상부기판 상에 형성된다.
박막 트랜지스터 기판에는 하부기판 상에 서로 교차되게 형성된 게이트라인 및 데이터라인과, 그들의 교차부에 형성된 박막트랜지스터(Thin Film Transistor : TFT)와, 박막트랜지스터와 접속된 화소전극과, 그들 위에 액정 배향을 위해 도포된 하부 배향막을 포함하는 박막 트랜지스터 어레이가 하부기판 상에 형성된다.
이러한 종래 액정 표시 패널을 제조하기 위한 제조 공정은 박막트랜지스터 어레이 각각과 컬러필터 어레이 각각이 형성되는 패터닝 공정, 박막트랜지스터 기판과 칼라필터 기판이 액정을 사이에 두고 합착되는 합착 공정, 불량 액정 표시 패널을 검출하는 검사 공정 등으로 나뉘어진다.
이 중 검사 공정은 액정 표시 패널에 구동 집적 회로를 부착하기 전의 상태에서 액정 표시 패널의 불량 유무를 검사하게 된다. 구체적으로, 검사 공정은 백라이트 유닛 및 구동 집적 회로들이 조립된 완제품의 액정 표시 모듈과 동일한 환경으로 조성된 검사 장치로 액정 표시 패널을 이동시킨다. 검사 장치로 이동된 액정 표시 패널에는 액정 표시 모듈을 구동시킬 때와 동일한 구동 신호인 검사 신호가 인가되어 화상이 구현된다. 이 때, 액정 표시 패널의 신호라인에 불량이 발생되는 경우 그 신호 라인과 접속된 화소는 정상 신호 라인과 접속된 화소와 다른 화상을 구현하게 되므로 액정 표시 패널의 불량 상태를 쉽게 확인할 수 있다.
이와 같은 검사 공정시 신호 라인에 검사 신호를 공급하기 위해 신호 라인과 접속된 신호 패드들 각각은 프로브 핀과 일대일로 접속된다.
그러나, 신호 패드에 이물이 발생되거나 프로브 핀에 손상이 발생되는 경우 또는 신호 패드와 프로브 핀 사이에 미스얼라인이 발생되는 경우, 액정 표시 패널에 구현되는 화상이 동일하므로 작업자는 신호 패드의 단선에 의한 불량인지 프로브 핀에 의한 불량인지 쉽게 판별할 수 없는 문제점이 있다.
따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 검사 공정의 검출력을 향상시킬 수 있는 표시 패널의 검사 장치 및 검사 방법을 제공하는 것이다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 표시 패널의 검사 장치는 표시 패널에 형성된 다수의 신호 패드에 전기적 신호를 인가하는 다수의 프로브 핀을 가지는 프로브 유닛과; 상기 프로브 유닛 하단에서 전후로 이동 가능한 도전 필름을 포함하며, 상기 도전 필름이 전방으로 이동한 경우 상기 다수의 신호 패드와 상기 프로브 핀 사이에 상기 도전 필름이 개재되는 제1 모드와, 상기 도전 필름이 후방으로 이동한 경우, 상기 다수의 신호 패드들에 상기 프로브 핀이 직접 접속하는 제2 모드를 갖는 것을 특징으로 한다.
상기 도전 필름의 제1 실시 예는 베이스 필름과; 상기 베이스 필름 상에 형성되며 상기 신호 패드들과 접속되는 도전막을 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 도전 필름의 제2 실시 예는 베이스 필름과; 상기 신호 패드들과 접속되 는 영역의 상기 베이스 필름 상에 형성되는 도전성 고무와; 상기 베이스 필름의 나머지 영역 상에 형성되는 도전막을 포함하는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 도전막은 BeCu로 형성되는 것을 특징으로 한다.
한편, 본 발명에 따른 표시 패널의 검사 장치는 상기 도전 필름의 위치를 조정함과 아울러 도전 필름을 고정시키는 필름 블럭 유닛을 추가로 구비하는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 필름 블럭 유닛은 상기 도전 필름이 안착되는 단턱면을 가지는 필름 고정바와; 상기 단턱면 상에 안착되는 도전 필름을 고정시키는 고정 블럭과; 상기 필름 블럭 유닛의 위치를 조정하는 실린더를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 도전 필름은 각 구동 집적 회로 당 대응되는 다수의 신호 패드들별로 구분되어 접속되는 것을 특징으로 한다.
상기 제1 모드에서는 상기 프로브 핀에 동일한 전기적 신호가 인가되며, 상기 제2 모드에서는 상기 프로브 핀에 적어도 2 이상의 서로 다른 전기적 신호가 인가되는 것을 특징으로 한다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 표시 패널의 검사 방법은 표시 패널에 형성된 다수의 신호 패드와 상기 프로브 핀 사이에 도전 필름이 개재되도록 상기 도전 필름을 전방으로 이동시키는 단계와; 상기 도전 필름과 접속된 다수의 신호 패드들에 상기 프로브 핀을 이용하여 1차 전기적 신호를 공급하는 단계와; 상기 도전 필름을 후방으로 이동시켜 상기 다수의 신호 패드에 상기 프로브 핀을 직접 접속시키는 단계와; 상기 다수의 신호 패드들 각각에 상기 프로브 핀 을 이용하여 2차 전기적 신호를 공급하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 1차 전기적 신호를 공급하는 단계는 상기 프로브 핀을 이용하여 상기 다수의 신호 패드들에 동일한 검사 신호를 공급하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
그리고, 상기 2차 전기적 신호를 공급하는 단계는 상기 프로브 핀을 이용하여 상기 다수의 신호 패드들에 적어도 2 이상의 서로 다른 검사 신호를 공급하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
한편, 상기 도전 필름은 필름 블럭 유닛에 고정되어 상기 전후로 이동가능한 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 도전 필름은 각 구동 집적 회로 당 대응되는 다수의 신호 패드들별로 구분되어 접속되는 것을 특징으로 한다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시 예를 도 1 내지 도 6b를 참조하여 상세히 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명에 따른 표시 패널의 검사 장치를 나타내는 사시도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 표시 패널의 검사 장치는 신호 패드(106)와 선택적으로 접속되는 도전 필름(110)과, 신호 패드(106)에 검사 신호를 공급하는 프로브 유닛(120)을 구비한다.
도전 필름(110)은 도 2a에 도시된 바와 같이 각 집적 회로 당 대응되는 다수의 신호 패드들(106)로 이루어진 2개 이하의 블럭 단위로 형성되거나 도 2b에 도시된 바와 같이 다수의 신호 패드들(106)과 모두 접속되도록 일체형 단위로 형성된 다. 블럭 단위 또는 일체형 단위로 형성된 도전 필름(110)은 신호 패드(106)와 프로브 핀(122) 사이에서 이들을 접촉시킨다. 이에 따라, 프로브 핀(122)을 통해 블랙 검사 신호는 도전 필름(110)과 접속된 신호 패드(106)에 공급된다. 이 경우, 정상 신호 패드(106) 및 정상 신호 라인(108)과 접속된 화소는 블랙을 구현하는 반면에 불량 신호 패드(106) 및/또는 불량 신호 라인(108)과 접속된 화소는 해당 화소의 색을 구현하게 된다. 이와 같이, 도전 필름(110)은 신호 패드(106) 및 그 신호 패드(106)와 접속된 신호 라인(108)의 단선을 검출하는 데 이용된다.
이러한 도전 필름(110)은 도 3에 도시된 필름 블럭 유닛(130)에 안착되어 고정된다. 필름 블럭 유닛(130)은 단턱면(134)을 가지는 필름 고정바(132)와, 단턱면(134) 상에 안착되는 도전 필름(110)을 고정시키는 고정 블럭(136)을 포함한다. 또한, 필름 블럭 유닛(130)에 형성된 실린더(도시하지 않음)는 필름 블럭 유닛(130)을 수평 및/또는 수직 방향으로 직선 운동시킨다. 이러한 실린더에 의해 필름 블럭 유닛(130)에 고정된 도전 필름(110)은 자동으로 신호 패드(106)에 접속되거나 비접속된다.
한편, 도전 필름(110)은 도 4a에 도시된 바와 같이 베이스 필름(112) 상에 도전성 재질로 형성된 도전막(114)으로 이루어진다. 또는 도 4b에 도시된 바와 같이 신호 패드(106)와 접속되는 영역의 베이스 필름(112) 상에 형성된 도전성 고무(116)와, 신호 패드(106)와 비접속되는 영역의 베이스 필름(112) 상에 도전성 재질로 형성된 도전막(114)으로 이루어진다. 여기서, 도전막(114)은 예를 들어 약 20~100㎛ 두께의 BeCu로 형성된다. 도전성 고무(116)는 신호 패드(106)와의 접촉 력을 향상시키기 위해 탄성을 가지는 재질로 형성된다.
프로브 유닛(120)은 프로브 몸체(124)와, 프로브 몸체(124)로부터 돌출된 프로브 핀(122)을 포함한다.
프로브 몸체(124)에는 프로브 핀(122)이 고정되며, 프로브 몸체(124)에 고정된 프로브 핀(122)은 프로브 몸체(124)의 이동에 따라서 위치가 조정된다.
프로브 핀(120)은 신호 패드(106) 및/또는 신호 라인(108)의 불량 검사시 도전 필름(110)을 통해 신호 패드(106)와 블럭 단위 또는 일체형 단위로 접속된다. 그리고, 프로브 핀(120)은 그 프로브 핀(120) 자체의 불량 검사시 신호 패드(106)와 일대일로 직접 접속된다. 이러한 프로브 핀(120)은 프로브 유닛(120)과 접속된 검사 장치(도시하지 않음)로부터의 블랙 검사 신호를 신호 패드들(106)에 공급한다.
한편, 신호 패드(106) 및 신호 라인(108)이 형성된 표시 패널(100)은 액정을 사이에 두고 합착된 박막 트랜지스터 기판(104) 및 칼라 필터 기판(102)으로 이루어진 액정 표시 패널(100)에 적용가능한다. 이 액정 표시 패널(100)의 게이트 라인에 게이트 신호를 공급하는 게이트 집적 회로는 게이트 테이프 캐리어 패키지(Tape Carrier Package : TCP) 상에 실장된다. 또는 다수의 박막 트랜지스터(TFT)를 포함하는 쉬프트 레지스터로 구성되므로 액정 표시 패널(100)의 각 화소와 접속된 박막 트랜지스터(TFT) 및 다수의 신호 라인들과 함께 형성되어 비표시 영역에 내장된다.
또한, 도 1에 도시된 표시 패널은 액정 표시 패널 뿐만 아니라 플라즈마 디 스플레이 패널(PDP), 전계 발광 소자(EL) 및 전계 방출 소자(FED) 등에도 적용가능하다.
도 5 및 도 6은 본 발명에 따른 표시 패널의 검사 방법을 설명하기 위한 사시도 및 단면도이다.
먼저, 필름 블럭 유닛(130)에 고정된 도전 필름(110)은 필름 블럭 유닛(130)의 실린더에 의해 액정 표시 패널(100)의 신호 패드(106)쪽인 전방으로 이동하게 된다. 그런 다음, 액정 표시 패널(100)은 도시하지 않은 로딩 장치에 의해 도전 필름(110)쪽으로 상승하여 그 액정 표시 패널(100)의 신호 패드(106)와 도전 필름(110)이 접속하게 된다. 이 때, 도전 필름(110)은 적어도 하나의 블럭 각각에 포함된 다수개의 신호 패드(106)들을 전기적으로 단락시킨다.
도전 필름(110)을 통해 단락된 신호 패드(106)들은 도 5a 및 도 5b에 도시된 바와 같이 도전 필름(110)쪽으로 하강하는 프로브 유닛(120)의 프로브 핀(122)과 접속하게 된다. 프로브 핀(122)은 프로브 유닛(120)과 접속된 검사 장치(도시하지 않음)로부터의 블랙 신호인 1차 검사 신호를 블럭 단위로 단락된 신호 패드들(106)에 공급한다. 이 때, 각 블럭에 포함된 신호 패드들(106) 중 적어도 어느 하나 또는 각 블럭과 대응되는 프로브 핀(122) 중 적어도 어느 하나에 손상이 발생되더라도 도전 필름(110)을 통해 각 블럭의 신호 패드(106)에 동일한 검사 신호를 공급할 수 있다. 이에 따라, 프로브 핀(122)과 신호 패드(106)와의 접촉 불량을 방지할 수 있다. 신호 패드들(106)에 공급된 검사 신호는 그 신호 패드(106)와 접속된 신호 라인(108)을 통해 그 신호 라인(108)과 접속된 화소에 공급된다.
그런 다음, 작업자는 육안 검사 또는 광학 기구에 의한 자동 검사를 통해 액정 표시 패널(100)에 표시된 화상에 따라 액정 표시 패널(100)의 불량을 판별하게 된다. 즉, 정상 신호 패드(106) 및 정상 신호 라인(108)과 접속된 화소는 블랙 화상을 구현하는 반면에 불량 신호 패드(106) 및/또는 불량 신호 라인(108)과 접속된 화소는 해당 화소의 색을 구현하게 된다. 이와 같이, 도전 필름(110)을 통해 불량 신호 패드(106), 불량 신호 라인(108) 및 불량 화소를 검출할 수 있다.
그런 다음, 액정 표시 패널(100)은 로딩 장치(도시하지 않음)에 의해 도전 필름(110)과 반대 방향쪽으로 하강하게 된다. 도전 필름(110)은 도 6a 및 도 6b에 도시된 바와 같이 필름 블럭 유닛(130)의 실린더에 의해 액정 표시 패널(100)의 신호 패드(106)와 멀어지게 후방으로 이동하게 된다.
이 후, 액정 표시 패널(100)의 신호 패드(106)는 그 신호 패드(106)쪽으로 하강하게 되는 프로브 유닛(120)을 통해 프로브 핀(122)과 접속하게 된다. 이 때, 프로브 핀(122)은 신호 패드(106)들 각각과 일대일 대응된다. 프로브 핀(122)과 일대일로 접속된 신호 패드(106)는 프로브 유닛(120)과 접속된 검사 장치(도시하지 않음)로부터 블랙 신호인 2차 검사 신호가 공급된다. 여기서, 2차 검사 신호는 1차 검사 신호와 동일하거나 다를 수도 있으며, 2차 검사 신호는 적어도 2 이상의 서로 다른 검사 신호일 수도 있다. 이 2차 검사 신호는 그 신호 패드(106)와 접속된 신호 라인(108)을 통해 그 신호 라인(108)과 접속된 화소에 공급된다.
그런 다음 작업자는 육안 검사 또는 광학 기구에 의한 자동 검사를 통해 액정 표시 패널(100)에 표시된 화상에 따라 액정 표시 패널(100)의 불량을 판별하게 된다. 즉, 정상 신호 패드(106) 및 정상 신호 라인(108)과 접속된 화소는 블랙 화상을 구현하는 반면에 불량 신호 패드(106) 및/또는 불량 신호 라인(108)과 접속된 화소는 해당 화소의 색을 구현하게 된다.
이 때, 1차 검사 공정과 2차 검사 공정시 중복 검출된 신호 패드(106) 및 신호 라인(108)은 단선이 발생되거나 이물이 발생된 신호 패드(106) 및 신호 라인(108)이다. 반면에 1차 검사 공정시 검출되지 않고 2차 검사 공정시 검출된 신호 패드(106) 및 신호 라인(108)은 그 신호 패드(106)와 대응되는 프로브 핀(122)의 불량이다. 이와 같이, 2차 검사 공정에서는 프로브 핀(122)과 신호 패드(106)를 일대일 대응시켜 프로브 핀(122)의 불량을 검출할 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 표시 패널의 검사 장치 및 검사 방법은 적어도 하나의 블럭으로 이루어진 다수의 신호 패드들을 전기적으로 단락시켜 다수의 신호 패드들에 동일한 1차 검사 신호를 공급한 후 다수의 신호 패드들 각각에 2차 검사 신호를 공급한다.
이에 따라, 본 발명에 따른 표시 패널의 검사 장치 및 검사 방법은 1 및 2차 검사 신호를 이용한 검사 공정에 의해 신호 라인, 신호 패드, 화소들의 불량 유무 판단의 정확성이 높아진다. 또한, 본 발명에 따른 표시 패널의 검사 장치 및 검사 방법은 부수적으로 신호 패드들과 접속되는 프로브 핀의 불량 유무를 판단할 수도 있다.
이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.

Claims (13)

  1. 표시 패널에 형성된 다수의 신호 패드에 전기적 신호를 인가하는 다수의 프로브 핀을 가지는 프로브 유닛과;
    상기 프로브 유닛 하단에서 전후로 이동 가능한 도전 필름을 포함하며,
    상기 도전 필름이 전방으로 이동한 경우 상기 다수의 신호 패드와 상기 프로브 핀 사이에 상기 도전 필름이 개재되는 제1 모드와, 상기 도전 필름이 후방으로 이동한 경우, 상기 다수의 신호 패드들에 상기 프로브 핀이 직접 접속하는 제2 모드를 갖는 것을 특징으로 하는 표시 패널의 검사 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 도전 필름은
    베이스 필름과;
    상기 베이스 필름 상에 형성되며 상기 신호 패드들과 접속되는 도전막을 포함하는 것을 특징으로 하는 표시 패널의 검사 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 도전 필름은
    베이스 필름과;
    상기 신호 패드들과 접속되는 영역의 상기 베이스 필름 상에 형성되는 도전 성 고무와;
    상기 베이스 필름의 나머지 영역 상에 형성되는 도전막을 포함하는 것을 특징으로 하는 표시 패널의 검사 장치.
  4. 제 2 항 및 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 도전막은 BeCu로 형성되는 것을 특징으로 하는 표시 패널의 검사 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 도전 필름의 위치를 조정함과 아울러 도전 필름을 고정시키는 필름 블럭 유닛을 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 표시 패널의 검사 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 필름 블럭 유닛은
    상기 도전 필름이 안착되는 단턱면을 가지는 필름 고정바와;
    상기 단턱면 상에 안착되는 도전 필름을 고정시키는 고정 블럭과;
    상기 필름 블럭 유닛의 위치를 조정하는 실린더를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시 패널의 검사 장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 도전 필름은 각 구동 집적 회로 당 대응되는 다수의 신호 패드들별로 구분되어 접속되는 것을 특징으로 하는 표시 패널의 검사 장치.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 모드에서는 상기 프로브 핀에 동일한 전기적 신호가 인가되며,
    상기 제2 모드에서는 상기 프로브 핀에 적어도 2 이상의 서로 다른 전기적 신호가 인가되는 것을 특징으로 하는 표시 패널의 검사 장치.
  9. 표시 패널에 형성된 다수의 신호 패드와 상기 프로브 핀 사이에 도전 필름이 개재되도록 상기 도전 필름을 전방으로 이동시키는 단계와;
    상기 도전 필름과 접속된 다수의 신호 패드들에 상기 프로브 핀을 이용하여 1차 전기적 신호를 공급하는 단계와;
    상기 도전 필름을 후방으로 이동시켜 상기 다수의 신호 패드에 상기 프로브 핀을 직접 접속시키는 단계와;
    상기 다수의 신호 패드들 각각에 상기 프로브 핀을 이용하여 2차 전기적 신호를 공급하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시 패널의 검사방법.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 1차 전기적 신호를 공급하는 단계는
    상기 프로브 핀을 이용하여 상기 다수의 신호 패드들에 동일한 검사 신호를 공급하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시 패널의 검사 방법.
  11. 제 9 항에 있어서,
    상기 2차 전기적 신호를 공급하는 단계는
    상기 프로브 핀을 이용하여 상기 다수의 신호 패드들에 적어도 2 이상의 서로 다른 검사 신호를 공급하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시 패널의 검사 방법.
  12. 제 9 항에 있어서,
    상기 도전 필름은 필름 블럭 유닛에 고정되어 상기 전후로 이동가능한 것을 특징으로 하는 표시 패널의 검사 방법.
  13. 제 9 항에 있어서,
    상기 도전 필름은 각 구동 집적 회로 당 대응되는 다수의 신호 패드들별로 구분되어 접속되는 것을 특징으로 하는 표시 패널의 검사 방법.
KR1020060035991A 2006-04-21 2006-04-21 표시 패널의 검사 장치 및 검사 방법 KR20070103990A (ko)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020060035991A KR20070103990A (ko) 2006-04-21 2006-04-21 표시 패널의 검사 장치 및 검사 방법
JP2007097668A JP5441315B2 (ja) 2006-04-21 2007-04-03 表示パネルの検査装置
CN2007101010392A CN101059605B (zh) 2006-04-21 2007-04-23 检查显示板的装置和方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020060035991A KR20070103990A (ko) 2006-04-21 2006-04-21 표시 패널의 검사 장치 및 검사 방법

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20070103990A true KR20070103990A (ko) 2007-10-25

Family

ID=38763484

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020060035991A KR20070103990A (ko) 2006-04-21 2006-04-21 표시 패널의 검사 장치 및 검사 방법

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JP5441315B2 (ko)
KR (1) KR20070103990A (ko)
CN (1) CN101059605B (ko)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100958007B1 (ko) * 2008-07-30 2010-05-17 삼성모바일디스플레이주식회사 평판표시패널의 검사장치
KR101322725B1 (ko) * 2012-03-20 2013-10-28 (주) 루켄테크놀러지스 프로브 유닛
CN110880288A (zh) * 2019-03-29 2020-03-13 友达光电股份有限公司 显示装置及其制造方法
KR20200062339A (ko) * 2017-10-18 2020-06-03 선전 차이나 스타 옵토일렉트로닉스 세미컨덕터 디스플레이 테크놀로지 컴퍼니 리미티드 Psva 액정 디스플레이 패널

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5432460B2 (ja) * 2008-02-25 2014-03-05 株式会社日本マイクロニクス 検査装置
CN103094737A (zh) * 2011-11-05 2013-05-08 宝宸（厦门）光学科技有限公司 引脚结构与引脚连接结构
CN104614911A (zh) * 2015-03-03 2015-05-13 京东方科技集团股份有限公司 一种基板及其制作方法、显示装置
CN107463014A (zh) * 2017-09-26 2017-12-12 武汉华星光电技术有限公司 阵列基板及阵列基板测试结构
CN109003566B (zh) * 2018-06-19 2021-07-13 南京中电熊猫液晶显示科技有限公司 一种显示面板的检测装置及其检测方法

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62284384A (ja) * 1986-06-03 1987-12-10 日立電子エンジニアリング株式会社 プロ−ビング方式
JP2865323B2 (ja) * 1989-09-20 1999-03-08 三洋電機株式会社 液晶表示装置
KR100299681B1 (ko) * 1998-09-03 2001-10-27 윤종용 액정표시장치
KR100586007B1 (ko) * 2004-08-04 2006-06-08 주식회사 코디에스 평판형 디스플레이패널 검사용 프로브유니트
JP2006071405A (ja) * 2004-09-01 2006-03-16 Yamaha Corp プローブユニット

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100958007B1 (ko) * 2008-07-30 2010-05-17 삼성모바일디스플레이주식회사 평판표시패널의 검사장치
KR101322725B1 (ko) * 2012-03-20 2013-10-28 (주) 루켄테크놀러지스 프로브 유닛
KR20200062339A (ko) * 2017-10-18 2020-06-03 선전 차이나 스타 옵토일렉트로닉스 세미컨덕터 디스플레이 테크놀로지 컴퍼니 리미티드 Psva 액정 디스플레이 패널
CN110880288A (zh) * 2019-03-29 2020-03-13 友达光电股份有限公司 显示装置及其制造方法
CN110880288B (zh) * 2019-03-29 2022-09-02 友达光电股份有限公司 显示装置及其制造方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP5441315B2 (ja) 2014-03-12
CN101059605A (zh) 2007-10-24
JP2007292750A (ja) 2007-11-08
CN101059605B (zh) 2010-09-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7362124B2 (en) Method and apparatus for testing liquid crystal display using electrostatic devices
US7852104B2 (en) Liquid crystal display device and testing method thereof
JP5441315B2 (ja) 表示パネルの検査装置
US6759867B2 (en) Inspection apparatus for liquid crystal display device
US7995184B2 (en) Display substrate, liquid crystal display device including the same, and method of repairing the same
CN107942547B (zh) 点灯回点治具及其检测面板的方法
US8193826B2 (en) Auto probe device and method of testing liquid crystal panel using the same
JP2011137795A (ja) アレイテスト装置｛ａｐｐａｒａｔｕｓｆｏｒｔｅｓｔｉｎｇａｒｒａｙ｝
KR102578737B1 (ko) 표시 장치
KR101585253B1 (ko) 액정표시장치
KR101594622B1 (ko) 액정표시장치
KR20120075096A (ko) 액정표시장치 및 그의 검사 방법
KR20080027569A (ko) 표시 패널의 검사 장치 및 검사 방법
KR102016076B1 (ko) 평판 표시 소자의 검사 장치 및 검사 방법
KR101140257B1 (ko) 어레이 테스트 장치
KR102023926B1 (ko) 평판 표시 장치의 검사 방법 및 검사 장치
KR20070109357A (ko) 액정패널 검사 장치 및 방법
KR101152491B1 (ko) 액정표시소자
KR20110066752A (ko) 액정패널 검사 장치
KR101920224B1 (ko) 액정패널 검사장비 및 검사방법
KR100671342B1 (ko) 전기구동소자 검사 장치 및 방법
KR20070121286A (ko) 평판표시소자의 테스트 장치 및 그의 구동 방법
KR20110055861A (ko) 액정표시패널의 검사장치
KR101192072B1 (ko) 액정표시장치
KR20040095048A (ko) 액정표시패널의 검사장치

Legal Events

Date Code Title Description
WITN Withdrawal due to no request for examination