KR20070006485A - Method of manufacturing liquid crystal display and liquid crystal display manufactured thereby - Google Patents
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Abstract
Description
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 표시 장치의 부분단면도이다. 1 is a partial cross-sectional view of a liquid crystal display according to an exemplary embodiment of the present invention.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 표시 장치의 공통 전극 표시판에 블랙 매트릭스용 감광성 수지를 도포하는 단계의 공정도이다.FIG. 2 is a process diagram of applying a photosensitive resin for a black matrix to a common electrode display panel of a liquid crystal display according to an exemplary embodiment of the present invention.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 표시 장치의 공통 전극 표시판에 블랙 매트릭스를 제조하는 단계의 공정도이다.3 is a flowchart illustrating a process of manufacturing a black matrix on a common electrode panel of a liquid crystal display according to an exemplary embodiment of the present invention.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 표시 장치의 공통 전극 표시판에 적색 컬러 필터를 형성하는 단계의 공정도이다.4 is a process diagram of forming a red color filter on a common electrode display panel of a liquid crystal display according to an exemplary embodiment of the present invention.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 표시 장치의 공통 전극 표시판에 녹색 컬러 필터를 형성하는 공정도이다.5 is a process diagram of forming a green color filter on a common electrode display panel of a liquid crystal display according to an exemplary embodiment of the present invention.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 표시 장치의 공통 전극 표시판에 청색 컬러 필터를 형성하는 공정도이다.6 is a process diagram of forming a blue color filter on a common electrode display panel of a liquid crystal display according to an exemplary embodiment of the present invention.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 표시 장치의 공통 전극 표시판에 공통 전극을 형성하는 단계의 공정도이다. 7 is a flowchart illustrating a step of forming a common electrode on a common electrode display panel of a liquid crystal display according to an exemplary embodiment of the present invention.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 액정 표시 장치의 공통 전극 표시판의 부분 단면도이다.8 is a partial cross-sectional view of a common electrode display panel of a liquid crystal display according to another exemplary embodiment of the present invention.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>
100 : 액정 표시 장치 10 : 공통 전극 표시판100 liquid
20 : 박막 트랜지스터 표시판 11, 21 : 절연 기판20: thin film
12 : 게이트 전극 13 : 게이트 절연막12
14 : 액티브 층 15a : 소스 전극14
15b : 드레인 전극 16 : 절연층15b: drain electrode 16: insulating layer
17 : 화소 전극 24 : 공통 전극17
22 : 블랙 매트릭스 23 : 컬러 필터22: black matrix 23: color filter
30 : 액정 40 : 슬릿 마스크30: liquid crystal 40: slit mask
본 발명은 액정 표시 장치의 제조 방법 및 그에 의해 제조된 액정 표시 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 화소 동작 영역에 생기는 높은 단차를 최소화하여 액정 패널의 투과율과 휘도를 증가시킬 수 있는 액정 표시 장치의 제조 방법 및 그에 의해 제조된 액정 표시 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a method for manufacturing a liquid crystal display device and a liquid crystal display device manufactured by the same, and more particularly, to a liquid crystal display device which can increase the transmittance and luminance of a liquid crystal panel by minimizing high steps generated in the pixel operation region. And a liquid crystal display device produced thereby.
최근 현대 사회가 정보 사회화가 되어감에 따라 정보 표시 장치의 하나인 액정 표시 장치는 그 중요성이 점차 증가되는 추세에 있으며, 특히 그것이 갖고 있는 소형화, 경량화, 저전력 소비화 등의 장점 때문에, 액정 표시 장치는 CRT(Cathode Ray Tube)의 단점을 극복할 수 있는 대체 수단으로써 점차 그 사용 영역이 확대되는 추세에 있다.Recently, as the modern society becomes the information socialization, the importance of the liquid crystal display device, which is one of the information display devices, is gradually increasing. Especially, due to its advantages such as miniaturization, light weight, and low power consumption, the liquid crystal display device As an alternative means to overcome the shortcomings of the Cathode Ray Tube (CRT), its use area is gradually expanding.
액정 표시 장치는 개별의 스위칭 소자인 박막 트랜지스터가 형성된 박막 트랜지스터 표시판과, 레드(red), 그린(green), 블루(blue)의 3가지 컬러 필터층이 반복 배열되어 컬러화를 실현시키는 공통 전극 표시판으로 구성되어있다. The liquid crystal display device is composed of a thin film transistor array panel in which thin film transistors, which are individual switching elements, are formed, and a common electrode display panel in which three color filter layers of red, green, and blue are repeatedly arranged to realize colorization. It is.
여기서 공통 전극 표시판은 투명한 절연 기판 상부에 크롬 등의 금속으로 형성된 블랙 매트릭스와, 컬러화를 실현시키는 컬러 필터와, 액정을 구동하기 위한 전압이 인가되는 공통 전극으로 구성된다.The common electrode display panel includes a black matrix formed of a metal such as chromium on a transparent insulating substrate, a color filter for realizing colorization, and a common electrode to which a voltage for driving a liquid crystal is applied.
광으로 인한 열화를 방지하고, 난반사 되는 빛을 흡수하는 블랙 매트릭스는 크롬 등의 금속 박막을 소정의 공정으로 투명한 절연 기판에 증착하여, 마스크를 이용한 패터닝 공정을 통해 제조한다. 그러나 크롬 등의 금속 박막을 식각하는 식각액이 환경에 악영향을 미치므로, 크롬의 블랙 매트릭스를 사용하는 것이 규제되었다.The black matrix which prevents deterioration due to light and absorbs diffusely reflected light is deposited through a patterning process using a mask by depositing a metal thin film such as chromium on a transparent insulating substrate in a predetermined process. However, since the etchant that etches a metal thin film such as chromium adversely affects the environment, it is regulated to use a black matrix of chromium.
이러한 규제로 인하여 최근 크롬 블랙 매트릭스의 대안으로 유기 화합물을 이용한 유기 블랙 매트릭스가 사용되고 있다. 그러나, 유기 블랙 매트릭스는 크롬 블랙 매트릭스와 동일한 광 밀도(Optical Density) 효과를 얻기 위해 크롬 블랙 매트릭스 대비 약 7.5배의 두께를 필요로 한다. 이것은 화소 동작(pixel active) 영역의 컬러 필터에 높은 단차를 형성하여 액정패널의 투과율과 휘도를 감소시킨다. 또한 동일한 블랙 매트릭스 공정을 2회 진행하여 이중 구조의 블랙 매트릭스를 제조함에 따라 제조비용 증가와, 공정별 소요시간 증가로 인해 양산성이 낮다는 문제 점이 있었다.Due to these regulations, an organic black matrix using an organic compound has recently been used as an alternative to the chromium black matrix. However, the organic black matrix needs about 7.5 times the thickness of the chromium black matrix to obtain the same optical density effect as the chromium black matrix. This forms a high step in the color filter of the pixel active area, thereby reducing the transmittance and luminance of the liquid crystal panel. In addition, since the same black matrix process was performed twice to manufacture a double structured black matrix, there was a problem in that mass productivity was low due to an increase in manufacturing cost and an increase in time required for each process.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 화소 동작 영역의 컬러 필터에 생기는 높은 단차를 최소화하여 액정 패널의 투과율과 휘도를 증가시킬 수 있는 액정 표시 장치의 제조 방법을 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in an effort to provide a method of manufacturing a liquid crystal display device capable of increasing transmittance and luminance of a liquid crystal panel by minimizing a high step generated in a color filter of a pixel operation region.
본 발명이 이루고자 하는 다른 기술적 과제는, 이러한 제조 방법에 의해 제조된 액정 표시 장치를 제공하는 것이다. Another object of the present invention is to provide a liquid crystal display device manufactured by such a manufacturing method.
본 발명의 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다. The technical problems of the present invention are not limited to the above-mentioned technical problems, and other technical problems not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.
상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 표시 장치의 제조 방법은 블랙 매트릭스용 감광성 수지를 투명한 절연 기판 상에 도포하는 단계와, 슬릿 마스크를 이용하여 블랙 매트릭스용 감광성 수지를 패터닝하여 상부의 폭보다 하부의 폭이 넓어 단차 구조를 가지며 일체적으로 형성된 블랙 매트릭스를 제조하는 단계와, 블랙 매트릭스에 의해 노출된 절연 기판 상에 컬러필터를 형성하는 단계와, 컬러 필터 상부에 공통 전극을 형성하는 단계를 포함한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a liquid crystal display device, the method including applying a photosensitive resin for a black matrix on a transparent insulating substrate, and patterning the photosensitive resin for a black matrix using a slit mask. Manufacturing a black matrix integrally formed with a stepped structure having a lower width than an upper width thereof, forming a color filter on an insulating substrate exposed by the black matrix, and forming a common electrode on the color filter. Forming a step.
상기 다른 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 표시 장치는 투명한 절연 기판과, 상부의 폭보다 하부의 폭이 넓어 단차 구조를 가지며, 상부와 하부가 절연 기판 상에 일체적으로 형성된 블랙 매트릭스와, 블랙 매 트릭스에 의해 노출된 절연 기판 상에 형성된 컬러 필터와, 컬러 필터 상부에 형성된 공통 전극을 포함한다. According to another aspect of the present invention, there is provided a liquid crystal display device having a stepped structure having a transparent insulating substrate and a lower width than an upper width thereof, and having an upper portion and a lower portion integrally formed on the insulating substrate. And a black matrix formed, a color filter formed on the insulating substrate exposed by the black matrix, and a common electrode formed on the color filter.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다. Specific details of other embodiments are included in the detailed description and the drawings.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있을 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것으로, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.Advantages and features of the present invention and methods for achieving them will be apparent with reference to the embodiments described below in detail with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but may be embodied in various forms, and the present embodiments are merely provided to make the disclosure of the present invention complete and the general knowledge in the art to which the present invention belongs. It is provided to fully inform the person having the scope of the invention, the invention is defined only by the scope of the claims. Like reference numerals refer to like elements throughout.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 표시 장치의 부분단면도이다. 1 is a partial cross-sectional view of a liquid crystal display according to an exemplary embodiment of the present invention.
도 1에 도시된 바와 같이, 액정 표시 장치(100)는 박막 트랜지스터 표시판(10)과, 공통 전극 표시판(20)과, 이들 두 표시판(10, 20) 사이에 형성되어 있고 일정한 방향으로 배향되어 있는 액정(30)을 포함한다.As shown in FIG. 1, the liquid
박막 트랜지스터 표시판(10)은 유리 등의 투명한 절연 물질로 이루어진 절연 기판(11)과 절연 기판(11) 상에 형성된 박막 트랜지스터(18) 및 화소 전극(17)을 포함한다.The thin film
여기서, 박막 트랜지스터(18)의 투명한 절연 기판(11) 상에 형성된 게이트 전극(12)으로는 알루미늄(Al)과 알루미늄 합금 등 알루미늄 계열의 금속, 은(Ag)과 은 합금 등 은 계열의 금속, 구리(Cu)와 구리 합금 등 구리 계열의 금속, 몰리브덴(Mo)과 몰리브덴 합금 등 몰리브덴 계열의 금속, 크롬(Cr), 티타늄(Ti), 탄탈륨(Ta) 따위로 이루어질 수 있다.Here, the
또한 소스 전극(15a) 및 드레인 전극(15b)으로는 크롬, 몰리브덴 계열의 금속, 탄탈륨 및 티타늄 등 내화성 금속으로 이루어지는 것이 바람직하며, 내화성 금속 따위의 하부막(미도시)과 그 위에 위치한 저저항 물질 상부막(미도시)으로 이루어진 다층막 구조를 가질 수 있다.In addition, the
이러한 박막 트랜지스터(18) 상부에는 드레인 전극(15b)을 노출시키기 위한 절연층(16)이 형성된다. An
절연층(16) 상에는 드레인 전극(15b)과 전기적으로 접촉되는 화소 전극(17)이 균일한 두께로 적층된다. 이러한 화소 전극(17)은 투명성 도전 물질인 인듐 틴 옥사이드(Indium Tin Oxide; 이하, ITO) 또는 인듐 징크 옥사이드(Indium Zinc Oxide; 이하, IZO) 등으로 이루어진다.On the
박막 트랜지스터 표시판(10)의 형성 과정을 설명하면 다음과 같다.A process of forming the thin film
먼저, 유리 또는 세라믹과 같은 절연 물질로 이루어진 투명한 절연 기판(11)상에 알루미늄(Al)과 알루미늄 합금 등 알루미늄 계열의 금속, 은(Ag)과 은 합금 등 은 계열의 금속, 구리(Cu)와 구리 합금 등 구리 계열의 금속, 몰리브덴(Mo)과 몰리브덴 합금 등 몰리브덴 계열의 금속, 크롬(Cr), 티타늄(Ti), 탄탈륨(Ta) 따위 의 금속막을 증착한 후, 이러한 금속막을 패터닝하여 게이트 라인(도시하지 않음) 및 상기 게이트 라인으로부터 분기되는 게이트 전극(12)을 형성한다. First, aluminum-based metals such as aluminum (Al) and aluminum alloys, silver-based metals such as silver (Ag) and silver alloys, copper (Cu) and the like on a transparent
여기서 게이트 라인(도시하지 않음)은 물리적 성질이 다른 두 개의 도전막(도시하지 않음)을 포함하는 다중막 구조를 가질 수 있다. 이 중 한 도전막은 게이트 라인의 신호 지연이나 전압 강하를 줄일 수 있도록 낮은 비저항(resistivity)의 금속, 예를 들면 알루미늄 계열 금속, 은 계열 금속, 구리 계열 금속 등으로 이루어진다. 이와는 달리, 다른 도전막은 다른 물질, 특히 ITO(indium tin oxide) 및 IZO(indium zinc oxide)와의 접촉 특성이 우수한 물질, 이를테면 몰리브덴 계열 금속, 크롬, 티타늄, 탄탈륨 등으로 이루어진다. 이러한 조합의 좋은 예로는 크롬 하부막과 알루미늄 상부막 및 알루미늄 하부막과 몰리브덴 상부막을 들 수 있다. 다만, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 게이트 라인은 다양한 여러 가지 금속과 도전체로 만들어질 수 있다.The gate line (not shown) may have a multi-layer structure including two conductive layers (not shown) having different physical properties. One of the conductive films is made of a low resistivity metal such as an aluminum-based metal, a silver-based metal, or a copper-based metal so as to reduce the signal delay or voltage drop of the gate line. In contrast, the other conductive film is made of a material having excellent contact properties with other materials, particularly indium tin oxide (ITO) and indium zinc oxide (IZO), such as molybdenum-based metals, chromium, titanium, tantalum, and the like. A good example of such a combination is a chromium bottom film and an aluminum top film and an aluminum bottom film and a molybdenum top film. However, the present invention is not limited thereto, and the gate line may be made of various various metals and conductors.
이어서, 게이트 전극(12)을 포함하는 투명한 절연 기판(11)의 전면에 실리콘 질화물을 증착하여 게이트 절연막(13)을 형성한다.Subsequently, silicon nitride is deposited on the entire surface of the transparent
게이트 절연막(13) 상에 비정질 실리콘막을 형성한 후 패터닝하여 게이트 전극(12) 윗부분의 게이트 절연막(13) 상에 액티브층(14)을 형성한다. 계속해서, 상기 결과물의 전면에 크롬, 몰리브덴 계열의 금속, 탄탈륨 및 티타늄 등의 금속막을 증착한 후, 이러한 금속막을 패터닝하여 게이트 라인에 직교하는 데이터 라인(도시하지 않음)과, 데이터 라인으로부터 분기되는 소스 전극(15a), 드레인 전극(15b)을 형성한다.An amorphous silicon film is formed on the
이상의 과정에 의해, 게이트 전극(12), 액티브층(14), 소스 전극(15a), 드레인 전극(15b)을 포함하는 박막 트랜지스터(18)가 완성된다. 이 때, 게이트 라인과 데이터 라인 사이에는 게이트 절연막(13)이 개재되어 게이트 라인이 데이터 라인과 접촉되는 것을 방지한다.Through the above process, the
이어서, 박막 트랜지스터(18)가 형성된 투명한 절연기판(11)의 전면에 절연층(16)을 형성한다. 그리고, 절연층(16) 상에 금속막, 예컨데, 반사 도전막 또는 투명 도전막 또는 반사 도전막과 투명 도전막이 적층된 금속막을 증착한 후, 이러한 금속막을 소정의 화소 형상으로 패터닝하여 화소 전극(17)을 형성한다.Subsequently, an insulating
계속해서, 화소 전극(17) 상에 레지스트를 도포하고 러빙(rubbing) 처리 등을 통해 액정층 내의 액정 분자들을 선택된 각으로 프리-틸팅(pre-tilting)시키는 배향막(도시하지 않음)을 형성한다. Subsequently, an alignment film (not shown) is formed on the
배향막은 절연 기판(11) 상에 균일한 두께로 증착되어야 하고, 러빙 또한 균일해야 한다. 이러한 러빙은 액정의 초기 배열 방향을 결정하는 중요한 공정으로, 배향막의 러빙에 의해 정상적인 액정의 구동이 가능하고, 균일한 디스플레이 특성을 갖게 된다.The alignment film should be deposited on the insulating
상술한 공정을 수행하여, 게이트 전극(12), 게이트 절연막(13), 액티브층(14), 소스 전극(15a), 드레인 전극(15b)을 포함하는 박막트랜지스터 표시판(10)이 완성된다.The thin film
다음으로, 공통 전극 표시판(20)에 대하여 상세히 설명한다.Next, the common
공통 전극 표시판(20)은 유리 등의 투명한 절연 물질로 이루어진 절연 기판 (21)과, 절연 기판(21) 상에 형성된 광으로 인한 열화를 방지하고 난반사되는 빛을 흡수하는 블랙 매트릭스(22)와, 블랙 매트릭스(22)에 의해 노출된 절연 기판(21) 상에 형성된 컬러 필터(23)와, 컬러 필터(23) 상부에 위치하는 공통 전극(24)을 포함한다. The common
여기서 블랙 매트릭스(22)는 평판 구조의 하부(22a)와, 하부(22a)위에 위치하고 하부(22a)의 폭보다 좁으며, 0~90 사이의 경사진 양 측면을 가진 상부(22b)가 일체적으로 형성되어 있다.Here, the
이와 같은 구조의 블랙 매트릭스(22)는 상부(22b)의 경사진 양 측면에 의해 블랙 매트릭스(22) 상에 도포된 컬러 필터(23)가 화소 동작(pixel active) 영역으로 많이 흘러내리도록 하여, 화소 동작영역의 컬러 필터에 형성되던 단차를 최소화 하고, 블랙 매트릭스(22) 상에만 생기도록 한다.The
여기서 블랙 매트릭스(22)의 상부(22b)의 경사진 측면을 z라고 했을 때, z방향으로 흘러내리는 유체의 양(Q)은 [수학식 1]에 의해 정의될 수 있다. Here, when the inclined side surface of the
여기서 W는 유체의 폭, δ는 유체의 두께, μ는 유체의 점도, α는 상부의 경사진 측면이 이루는 각도이다.Where W is the width of the fluid, δ is the thickness of the fluid, μ is the viscosity of the fluid, and α is the angle formed by the inclined side of the top.
이와 같이 [수학식 1]에 의해 z방향으로 흘러내리는 유체의 양(Q)은 상부(22b)의 경사진 측면이 이루는 각도(α)와 블랙 매트릭스(22) 상에 도포되는 컬러 필터(23)의 두께()에 비례한다. As described above, the quantity Q of the fluid flowing down in the z-direction by Equation 1 is applied to the angle? Thickness of Is proportional to).
또한 컬러 필터(23)가 도포되는 두께는 사용자의 요구에 의한 색재 현성 규격에 의해 고정되어 있으므로, 블랙 매트릭스(22)의 상부(22b) 경사면을 통해 화소 동작 영역으로 흘러내리는 컬러 필터(23)의 양(Q)은 블랙 매트릭스(22)의 상부(22b)의 경사진 측면이 이루는 각도(α)에 의해 결정된다.In addition, since the thickness to which the
따라서 블랙 매트릭스(22)의 상부(22b)와 하부(22a)의 각도(α)를 최적화함으로써 화소 동작 영역으로 흘러내리는 유체의 양이 증가하므로 컬러 필터(23)의 단차를 최소화할 수 있다. 이러한 블랙 매트릭스(22)의 형성 공정에 대하여는 후에 자세히 설명한다.Accordingly, by optimizing the angles α between the upper and
컬러 필터(23)는 블랙 매트릭스(22)에 의해 노출된 투명한 절연 기판(21) 상에 형성되며, 레드(red), 그린(green), 블루(blue)로 이루어진다.The
이러한 컬러 필터(23)는 소정의 두께로 형성되며, 인쇄법, 안료 분산법, 고분자 전착법 등의 방법으로 도포되어 포토 공정에 의해 형성된다. 본 실시예에서는 컬러 필터(23)가 공통 전극 표시판(20) 상에 형성된 예를 이용하여 설명하였으나, 본 발명은 이에 한정하지 않으며 컬러 필터(23)는 박막 트랜지스터 표시판(10) 상에 형성될 수도 있다.The
이렇게 형성된 컬러 필터(23) 상부에는 공통 전극(24)이 균일한 두께로 적층된다. 여기서, 공통 전극(24)은 투명성 도전 물질인 ITO 또는 IZO 등으로 이루어진다.The
공통 전극(24) 위에는 배향막(도시하지 않음)이 적층된다. 이러한 배향막은 박막 트랜지스터 표시판(10)과 공통 전극 표시판(20) 상에 형성되고, 이것에 의해, 이들 사이에 게재된 액정층(30) 내의 액정 분자들은 선택된 각으로 프리-틸팅(pre-tilting)된다.An alignment film (not shown) is stacked on the
상술한 공정을 수행하여 컬러 필터(23), 블랙 매트릭스(22), 공통 전극(24)를 포함하는 공통 전극 표시판(20)이 완성된다.The common
여기서 컬러 필터(23)와 공통 전극(24) 사이에는 평탄화를 위한 유기 물질로 이루어진 오버코트막이 형성될 수도 있다. Here, an overcoat layer made of an organic material for planarization may be formed between the
이러한 공통 전극 표시판의 제조 공정에 대하여 도 2 내지 도 7을 참조하여 보다 상세하게 설명한다.A manufacturing process of the common electrode display panel will be described in more detail with reference to FIGS. 2 to 7.
도 2에 도시된 바와 같이, 블랙 매트릭스용 감광성 수지(31)를 투명한 절연기판(21) 상에 도포한다.As shown in FIG. 2, the
여기서 블랙 매트릭스용 감광성 수지(31)는 투명한 절연 기판(21) 상에 정해진 광 밀도(optical density) 규정에 의해 소정의 두께로 도포되며, 스핀 도포법이나 슬릿을 이용한 도포법 등이 사용될 수 있다.Here, the
예를 들어 블랙 매트릭스용 감광성 수지(31)의 경우 도포되는 두께는 대략 1.5㎛ 이상이며, 블랙 매트릭스용 감광성 수지(31)의 종류에 따라 그 두께는 더 얇아질 수 있다.For example, in the case of the black matrix
도 3에 도시된 바와 같이 슬릿 마스크(40)를 이용한 1회의 노광 공정을 통해 도포된 블랙 매트릭스용 감광성 수지(31)를 노광하여 블랙 매트릭스(22)를 제조한다.As illustrated in FIG. 3, the
슬릿 마스크(40)는 자외선을 투과되는 제1 영역(47)과, 자외선의 소정의 양만을 투과하도록 하는 회절 패턴이 구성된 제2 영역(45)과, 자외선을 차단하는 제3 영역(43)으로 구성되며, 슬릿 마스크(40)의 제2 영역(45)은 블랙 매트릭스(22)의 하부(22b)와, 상부(22a)의 측면에 대응되어 위치한다.The slit mask 40 includes a
여기서 블랙 매트릭스(22)가 네거티브 포토 레지스트(negative photo resist)의 성질을 가지므로 슬릿 마스크(40)의 제3 영역(43)에 대응되어 위치하는 블랙 매트릭스(22)는 자외선에 의해 경화되지 않으므로 제거되고, 제2 영역(45)에 대응되어 위치하는 블랙 매트릭스(22)는 자외선의 회절 노광에 의해 소정의 두께만큼 경화되어 제거되므로 측면이 경사진 형태를 갖는다.Here, since the
또한 블랙 매트릭스(22)가 포지티브 포토 레지스트(positive photo resist)의 성질을 갖는 경우는 슬릿 마스크(40)의 제3 영역(43)은 비 제거 될 블랙 매트릭스(22) 부분에 대응하여 위치하는데, 이것은 포지티브 포토 레지스트는 노광된 부분이 제거되는 성질을 갖기 때문이다.In addition, when the
이렇게 형성된 블랙 매트릭스(22)는 평판 구조의 하부(22b)와, 하부(22b)의 폭보다 좁은 폭을 가지며 하부(22b) 위에 위치하는 상부(22a)를 포함한다.The
또한 블랙 매트릭스(22)의 상부(22a)와 하부(22b)는 일체적으로 형성되며, 상부(22a)의 양 측면은 0~90 사이로 경사지게 형성한다. 여기서 상부(22a)의 단면은 사다리꼴 형태를 가질 수 있다. 여기서 블랙 매트릭스(22)의 상부(22a)의 경사진 측면에 의해 블랙 매트릭스(22) 상에 도포되는 컬러 필터용 감광성 수지물이 화소 동작 영역으로 흘러내리는 양이 증가하게 된다. 그러므로 블랙 매트릭스(22) 상 에 잔존하는 컬러 필터용 감광성 수지물의 양이 최소화되고 화소 동작 영역에 생기는 단차가 최소화되어 광 투과율을 향상시킨다.In addition, the
또한 투명한 절연 기판(21)에서 블랙 매트릭스(22)의 하부(22b)까지의 두께는 1.0~1.3㎛이며, 하부(22b)에서 상부(22a)까지의 두께는 0.2~0.5㎛로 형성된다. 이것은 블랙 매트릭스(22)의 하부(22b)에 컬러 필터가 적층되고, 적층된 컬러 필터에 의해 광 투과율이 저하되는 효과가 있어 소정의 광 밀도(optical density) 규정을 만족시킬 수 있다.In addition, the thickness from the transparent insulating
도 4 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 상술한 공정으로 형성된 블랙 매트릭스(22)에 의해 노출된 투명한 절연 기판(21) 상에 컬러 필터(25, 27, 29)가 형성된다.4 to 6,
컬러 필터(25, 27, 29)는 적색(red), 녹색(green), 청색(blue)의 3가지 색으로 이루어지며, 안료가 분산된 감광성 수지물을 이용한다.The color filters 25, 27, and 29 are composed of three colors of red, green, and blue, and use a photosensitive resin in which pigments are dispersed.
도 4를 참조하면, 적색 컬러 필터(25)는 적색의 분광 특성을 갖는 안료가 분산된 감광성 수지물(51)을 투명한 절연 기판(21) 상에 블랙 매트릭스(22)가 중첩되도록 소정의 균일한 두께로 도포한다. 이렇게 도포된 감광성 수지물(51)을 80 내지 110°의 핫 플레이트에서 5분 동안 소프트 베이커 한 다음, 포토 마스크(55)를 이용하여 선택적으로 노광한 후, 현상액으로 2 내지 3분 현상하는 공정을 통해 적색 컬러 필터(25)를 형성한다.Referring to FIG. 4, the
다음으로 도 5에 도시된 바와 같이, 녹색 컬러 필터(27)는 녹색의 분광 특성을 갖는 안료가 분산된 감광성 수지물(61)을 투명한 절연 기판(21) 상에 블랙 매트 릭스(22)와 적색 컬러 필터(25)가 중첩되도록 소정의 균일한 두께로 도포하고, 80 내지 110°의 핫 플레이트에서 5분 동안 소프트 베이커 한 다음, 적색 컬러 필터(25)와 겹치지 않도록 포토 마스크(65)를 이용한 공정으로 형성한다.Next, as shown in FIG. 5, the
계속해서 도 6에 도시된 바와 같이, 청색 컬러 필터(29)는 청색의 분광 특성을 갖는 안료가 분산된 감광성 수지물(71)을 투명한 절연 기판(21) 상에 적색과 녹색 컬러 필터(25, 27)와 블랙 매트릭스(22)가 중첩되도록 소정의 균일한 두께로 도포하고, 80 내지 110°의 핫 플레이트에서 5분 동안 소프트 베이커 한 다음, 적색과 녹색 컬러 필터(25, 27)와 겹치지 않도록 포토 마스크(75)를 이용한 공정으로 형성한다. 본 실시예에서는 적색의 컬러 필터(25)가 먼저 형성되는 예로 설명하였으나, 본 발명은 이에 한정하지 않으며 형성되는 순서는 임의로 정할 수 있다.Subsequently, as shown in FIG. 6, the
또한 컬러 필터용 감광성 수지물(51, 61, 71)은 광 중합 개시제, 모노머(monomer), 바인더(binder) 등의 광 중합형 감광 조성물과 적색, 청생, 녹색 또는 이와 유사한 색상을 띄는 유기 안료로 구성되어 있다. 또한 이러한 감광성 수지물(51, 61, 71)은 인쇄법, 염색법, 고분자 전착법, 안료 분산법 등에 의해 도포될 수 있다.In addition, the
상술한 공정을 통해 적색, 녹색, 청색의 컬러 필터(25, 27, 29)가 형성되며, 이러한 컬러 필터(25, 27, 29)는 인접한 블랙 매트릭스(22)의 일정 부분에 중첩되는 영역이 존재한다.Through the above-described process, red, green, and
또한 컬러 필터(25, 27, 29)가 형성된 투명한 절연 기판(21) 상에 평탄화를 위해 절연 특성을 갖는 투명한 수지를 도포하여 오버코트막(도시하지 않음)를 형성 할 수도 있다.In addition, an overcoat film (not shown) may be formed on the transparent insulating
도 7에 도시된 바와 같이, 형성된 컬러 필터(25, 27,29) 상에 공통 전극(24)이 형성된다.As shown in FIG. 7, a
여기서 공통 전극(24)은 액정을 구동하기 위한 전압이 인가되는 부분으로, 투명성 도전 물질인 ITO 또는 IZO를 사용하며, 컬러 필터(25, 27, 29) 상부에 500 내지 1300Å 정도의 균일한 두께로 스퍼터링(sputtering) 법 등에 의해 형성한다.Here, the
또한 공통 전극(24) 위에는 액정 분자들을 배향할 수 있는 배향막(도시하지 않음) 도포될 수 있다.In addition, an alignment layer (not shown) may be coated on the
이하 도 8을 참조하여 본 발명의 다른 실시예를 설명한다. 설명의 편의상 도 2내지 도 7에서 설명한 실시예의 도면에서 나타낸 각 부재와 동일 기능을 갖는 부재는 동일 부호로 나타내고, 따라서 그 설명은 생략한다.Hereinafter, another embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 8. For convenience of description, members having the same functions as the members shown in the drawings of the embodiments described with reference to FIGS. 2 to 7 are denoted by the same reference numerals, and thus description thereof is omitted.
본 실시예의 공통 전극 표시판은, 도 8에 나타낸 바와 같이, 다음을 제외하고는 기본적으로 동일한 구조를 갖는다. 즉, 도 8에 도시된 바와 같이, 본 실시예의 공통 전극 표시판(800)은 상부의 단면이 삼각형 형태를 가지는 블랙 매트릭스(810)를 포함한다.As shown in Fig. 8, the common electrode display panel of this embodiment has a basically identical structure except for the following. That is, as shown in FIG. 8, the common
여기서 상부의 단면이 삼각형 형태인 블랙 매트릭스(810)는 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 블랙 매트릭스(810)용 감광성 수지를 투명한 절연 기판(21) 상에 도포하여, 슬릿 마스크를 이용한 1회의 노광 공정으로 형성한다.Here, as shown in FIGS. 2 and 3, the
슬릿 마스크는 자외선을 투과하는 제1 영역과, 자외선의 소정의 양만을 투과하도록 하는 회절 패턴이 구성된 제2 영역과, 자외선을 차단하는 제3 영역으로 구 성되며, 제1 영역과 제2 영역의 폭을 조절하여 그에 대응하는 위치의 블랙 매트릭스(810)를 노광하여, 단면이 삼각형인 상부를 포함하는 블랙 매트릭스(810)를 형성한다.The slit mask is composed of a first region that transmits ultraviolet rays, a second region having a diffraction pattern that transmits only a predetermined amount of ultraviolet rays, and a third region that blocks ultraviolet rays. The width is adjusted to expose the
이렇게 형성된 블랙 매트릭스(810)에 의해 노출된 투명한 절연 기판(21) 상에 컬러 필터(25, 27, 29)가 형성되고, 컬러 필터(25,27,29) 상에 공통 전극(24)이 형성된다.The color filters 25, 27, and 29 are formed on the transparent insulating
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해되어야만 한다.Although embodiments of the present invention have been described above with reference to the accompanying drawings, those skilled in the art to which the present invention pertains may implement the present invention in other specific forms without changing the technical spirit or essential features thereof. I can understand that. Therefore, the embodiments described above are to be understood in all respects as illustrative and not restrictive.
상술한 바와 같이 본 발명의 액정 표시 장치의 제조 방법 및 그에 의해 제조된 액정 표시 장치에 의하면 다음과 같은 효과가 하나 혹은 그 이상 있다.As mentioned above, according to the manufacturing method of the liquid crystal display device of this invention, and the liquid crystal display device manufactured by it, there exist one or more of the following effects.
첫째, 화소 동작 영역의 컬러 필터에 생기는 높은 단차를 최소화하는 블랙 매트릭스를 제조하여 투과율과 휘도를 증가시키는 장점이 있다.First, there is an advantage of increasing the transmittance and brightness by manufacturing a black matrix that minimizes the high step generated in the color filter of the pixel operation region.
둘째, 1회의 노광 공정으로 블랙 매트릭스가 제조되어 제조 비용과 공정 시간을 감소할 수 있는 장점이 있다. Secondly, the black matrix is manufactured by one exposure process, thereby reducing the manufacturing cost and processing time.
Claims (14)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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KR1020050061860A KR20070006485A (en) | 2005-07-08 | 2005-07-08 | Method of manufacturing liquid crystal display and liquid crystal display manufactured thereby |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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Family
ID=37871724
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---|---|---|---|
KR1020050061860A KR20070006485A (en) | 2005-07-08 | 2005-07-08 | Method of manufacturing liquid crystal display and liquid crystal display manufactured thereby |
Country Status (1)
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