[go: up one dir, main page]
More Web Proxy on the site http://driver.im/

KR20060098588A - An array substrate for in-plane switching mode lcd and method of fabricating of the same - Google Patents

An array substrate for in-plane switching mode lcd and method of fabricating of the same Download PDF

Info

Publication number
KR20060098588A
KR20060098588A KR1020050017765A KR20050017765A KR20060098588A KR 20060098588 A KR20060098588 A KR 20060098588A KR 1020050017765 A KR1020050017765 A KR 1020050017765A KR 20050017765 A KR20050017765 A KR 20050017765A KR 20060098588 A KR20060098588 A KR 20060098588A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
electrode
gate
data
pad
contact
Prior art date
Application number
KR1020050017765A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR101189144B1 (en
Inventor
김동국
Original Assignee
엘지.필립스 엘시디 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘지.필립스 엘시디 주식회사 filed Critical 엘지.필립스 엘시디 주식회사
Priority to KR1020050017765A priority Critical patent/KR101189144B1/en
Publication of KR20060098588A publication Critical patent/KR20060098588A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101189144B1 publication Critical patent/KR101189144B1/en

Links

Images

Classifications

    • AHUMAN NECESSITIES
    • A47FURNITURE; DOMESTIC ARTICLES OR APPLIANCES; COFFEE MILLS; SPICE MILLS; SUCTION CLEANERS IN GENERAL
    • A47GHOUSEHOLD OR TABLE EQUIPMENT
    • A47G19/00Table service
    • A47G19/02Plates, dishes or the like
    • AHUMAN NECESSITIES
    • A47FURNITURE; DOMESTIC ARTICLES OR APPLIANCES; COFFEE MILLS; SPICE MILLS; SUCTION CLEANERS IN GENERAL
    • A47GHOUSEHOLD OR TABLE EQUIPMENT
    • A47G2400/00Details not otherwise provided for in A47G19/00-A47G23/16
    • A47G2400/02Hygiene
    • A47G2400/025Avoiding contact with unclean surfaces

Landscapes

  • Liquid Crystal (AREA)

Abstract

본 발명은 액정표시장치에 관한 것으로 특히, 고화질을 구현하는 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판의 구조와 그 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a liquid crystal display device, and more particularly, to a structure of a transverse electric field type liquid crystal display device array substrate and a method of manufacturing the same.

본 발명은 데이터 배선의 좌,우에 데이터 배선과 동일층에 데이터신호 차폐전극을 구성하는 것을 특징으로 한다.The present invention is characterized in that a data signal shielding electrode is formed on the left and right sides of the data wiring on the same layer as the data wiring.

이와 같이 하면, 데이터 배선과 데이터 신호 차폐전극이 아주 근접하게 구성되기 때문에 데이터 신호가 화소영역에 미치는 영향을 최소화 할 수 있는 장점이 있다.In this case, since the data line and the data signal shielding electrode are configured in close proximity, there is an advantage of minimizing the influence of the data signal on the pixel region.

따라서, 데이터 배선과 근접한 영역의 전계왜곡을 최소화 하여 액정의 이상배향에 의한 얼룩불량을 방지할 수 있으므로 개구율 개선 및 고화질을 구현할 수 있다.Therefore, the field distortion in the area close to the data line can be minimized to prevent unevenness due to abnormal orientation of the liquid crystal, thereby improving aperture ratio and realizing high image quality.

Description

횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판과 그 제조방법{An array substrate for In-Plane switching mode LCD and method of fabricating of the same}An array substrate for in-plane switching mode LCD and method of fabricating of the same

도 1은 일반적인 횡전계 방식 액정표시장치의 일부를 개략적으로 도시한 단면도이고,1 is a cross-sectional view schematically showing a part of a general transverse electric field type liquid crystal display device,

도 2는 종래의 제 1 예에 따른 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판의 한 화소를 도시한 확대 평면도이고,2 is an enlarged plan view showing one pixel of an array substrate for a transverse electric field type liquid crystal display device according to a first example of the related art;

도 3은 도 2의 Ⅱ-Ⅱ를 따라 절단한 단면도이고,3 is a cross-sectional view taken along the line II-II of FIG. 2,

도 4는 종래의 제 2 예에 따른 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판의 단일 화소의 단면을 도시한 도면이고,4 is a cross-sectional view of a single pixel of an array substrate for a transverse electric field type liquid crystal display device according to a second conventional example.

도 5는 본 발명에 따른 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판의 일부를 확대하여 도시한 평면도이고,5 is an enlarged plan view of a portion of an array substrate for a transverse electric field type liquid crystal display device according to the present invention;

도 6은 도 5의 Ⅵ-Ⅵ을 따라 절단한 단면도이고,6 is a cross-sectional view taken along the line VI-VI of FIG. 5,

도 7a 내지 도 7e와 도 8a 내지 도 8e와 도 9a 내지 도 9e와 도 10a 내지 도 10e는 각각 도 5의 Ⅳ-Ⅳ,Ⅴ-Ⅴ,Ⅵ-Ⅵ,Ⅶ-Ⅶ,Ⅷ-Ⅷ을 따라 절단하여, 본 발명의 공정순서에 따라 도시한 공정 단면도이다.7A-7E, 8A-8E, 9A-9E and 10A-10E are cut along the lines IV-IV, V-V, VI-VI, VIII-VIII, VIII-VIII of Fig. 5, respectively. It is a process sectional drawing shown in accordance with the process sequence of this invention.

<도면의 주요부분에 대한 간단한 설명><Brief description of the main parts of the drawing>

100 : 기판 112 : 게이트 배선100: substrate 112: gate wiring

114 : 게이트 패드 116 : 게이트 전극114: gate pad 116: gate electrode

118 : 공통 배선 120 : 데이터 패드118: common wiring 120: data pad

126 : 액티브층 134 : 제 3 콘택홀126: active layer 134: third contact hole

136 : 소스 전극 138 : 드레인 전극 136: source electrode 138: drain electrode

142 : 데이터 배선 146a,b : 데이터 신호 차단전극142: data wiring 146a, b: data signal blocking electrode

158a,b,c : 공통 전극 160a,b : 화소 전극158a, b, c common electrode 160a, b pixel electrode

본 발명은 액정표시장치(Liquid Crystal Display Device)에 관한 것으로 특히, 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이 기판과 그 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a liquid crystal display device, and more particularly, to an array substrate for a transverse electric field type liquid crystal display device and a method of manufacturing the same.

일반적으로, 액정표시장치의 구동원리는 액정의 광학적 이방성과 분극성질을 이용한다. 상기 액정은 구조가 가늘고 길기 때문에 분자의 배열에 방향성을 가지고 있으며, 인위적으로 액정에 전기장을 인가하여 분자배열의 방향을 제어할 수 있다.In general, the driving principle of the liquid crystal display device uses the optical anisotropy and polarization of the liquid crystal. Since the liquid crystal is thin and long in structure, the liquid crystal has directivity in the arrangement of molecules, and the direction of the molecular arrangement can be controlled by artificially applying an electric field to the liquid crystal.

따라서, 상기 액정의 분자배열 방향을 임의로 조절하면, 액정의 분자배열이 변하게 되고, 광학적 이방성에 의해 상기 액정의 분자배열 방향으로 빛이 굴절하여 화상정보를 표현할 수 있다.Accordingly, if the molecular arrangement direction of the liquid crystal is arbitrarily adjusted, the molecular arrangement of the liquid crystal is changed, and light is refracted in the molecular arrangement direction of the liquid crystal due to optical anisotropy to express image information.

현재에는 박막트랜지스터와 상기 박막트랜지스터에 연결된 화소 전극이 행렬방식으로 배열된 능동행렬 액정표시장치(AM-LCD : Active Matrix LCD 이하, 액정표시장치로 약칭함)가 해상도 및 동영상 구현능력이 우수하여 가장 주목받고 있다.Currently, an active matrix liquid crystal display device (AM-LCD: below Active Matrix LCD, abbreviated as liquid crystal display device) in which a thin film transistor and pixel electrodes connected to the thin film transistor are arranged in a matrix manner has the best resolution and video performance. It is attracting attention.

상기 액정표시장치는 공통 전극이 형성된 컬러필터 기판(상부기판)과 화소 전극이 형성된 어레이기판(하부기판)과, 상부 및 하부기판 사이에 충진된 액정으로 이루어지는데, 이러한 액정표시장치에서는 공통 전극과 화소 전극이 상-하로 걸리는 전기장에 의해 액정을 구동하는 방식으로, 투과율과 개구율 등의 특성이 우수하다.The liquid crystal display includes a color filter substrate (upper substrate) on which a common electrode is formed, an array substrate (lower substrate) on which a pixel electrode is formed, and a liquid crystal filled between upper and lower substrates. In such a manner that the liquid crystal is driven by an electric field applied up and down, the pixel electrode has excellent characteristics such as transmittance and aperture ratio.

그러나, 상-하로 걸리는 전기장에 의한 액정구동은 시야각 특성이 우수하지 못한 단점을 가지고 있다. 따라서, 상기의 단점을 극복하기 위해 새로운 기술이 제안되고 있다. 하기 기술될 액정표시장치는 횡전계에 의한 액정 구동방법으로 시야각 특성이 우수한 장점을 갖고 있다.However, the liquid crystal drive by the electric field applied up-down has a disadvantage that the viewing angle characteristics are not excellent. Therefore, new techniques have been proposed to overcome the above disadvantages. The liquid crystal display device to be described below has an advantage of excellent viewing angle characteristics by a liquid crystal driving method using a transverse electric field.

이하, 도 1을 참조하여 일반적인 횡전계 방식 액정표시장치에 관해 상세히 설명한다.Hereinafter, a general transverse electric field type liquid crystal display device will be described in detail with reference to FIG. 1.

도 1은 일반적인 횡전계 방식 액정표시장치의 단면을 도시한 확대 단면도이다.1 is an enlarged cross-sectional view illustrating a cross section of a general transverse electric field type liquid crystal display device.

도시한 바와 같이, 종래에 따른 횡전계 방식 액정표시장치(B)는 컬러필터기판(B1)과 어레이기판(B2)이 대향하여 구성되며, 컬러필터기판및 어레이기판 (B1,B2)사이에는 액정층(LC)이 개재되어 있다.As shown, the conventional transverse electric field type liquid crystal display device (B) is composed of a color filter substrate B1 and an array substrate B2 facing each other, and a liquid crystal between the color filter substrate and the array substrates B1 and B2. The layer LC is interposed.

상기 어레이기판(B2)은 투명한 절연 기판(50)에 정의된 다수의 화소(P1,P2) 마다 박막트랜지스터(T)와 공통 전극(58)과 화소 전극(72)이 구성된다.The array substrate B2 includes a thin film transistor T, a common electrode 58, and a pixel electrode 72 for each of the pixels P1 and P2 defined in the transparent insulating substrate 50.

상기 박막트랜지스터(T)는 게이트 전극(52)과, 게이트 전극(52) 상부에 절연막(60)을 사이에 두고 구성된 반도체층(62)과, 반도체층(62)의 상부에 서로 이격하여 구성된 소스 및 드레인 전극(64,66)을 포함한다.The thin film transistor T includes a gate electrode 52, a semiconductor layer 62 having an insulating layer 60 interposed therebetween, and a source configured to be spaced apart from each other on the semiconductor layer 62. And drain electrodes 64 and 66.

전술한 구성에서, 상기 공통 전극(58)과 화소 전극(72)은 동일 기판 상에 서로 평행하게 이격하여 구성된다.In the above configuration, the common electrode 58 and the pixel electrode 72 are configured to be spaced apart from each other in parallel on the same substrate.

그런데 일반적으로, 상기 공통 전극(58)은 상기 게이트 전극(52)과 동일층 동일물질로 구성되고, 상기 화소 전극(72)은 상기 소스 및 드레인 전극(64,66)과 동일층 동일물질로 구성되나, 개구율을 높이기 위해 도시한 바와 같이, 상기 화소 전극(72)은 투명한 전극으로 형성할 수 있다.In general, the common electrode 58 is made of the same material as the gate electrode 52, and the pixel electrode 72 is made of the same material as the source and drain electrodes 64 and 66. However, as shown in order to increase the aperture ratio, the pixel electrode 72 may be formed as a transparent electrode.

도시하지는 않았지만, 상기 화소(P1,P2)의 일 측을 따라 연장된 게이트 배선(미도시)과, 이와는 수직한 방향으로 연장된 데이터 배선(미도시)이 구성되고, 상기 공통 전극(58)에 전압을 인가하는 공통 배선(미도시)이 구성된다.Although not shown, a gate wiring (not shown) extending along one side of the pixels P1 and P2 and a data wiring (not shown) extending in a direction perpendicular thereto are formed, and the common electrode 58 is disposed on the common electrode 58. A common wiring (not shown) for applying a voltage is configured.

상기 컬러필터 기판(B1)은 투명한 절연 기판(30) 상에 상기 게이트 배선(미도시)과 데이터 배선(미도시)과 박막트랜지스터(T)에 대응하는 부분에 블랙매트릭스(32)가 구성되고, 상기 화소(P1,P2)에 대응하여 컬러필터(34a,34b)가 구성된다.The color filter substrate B1 includes a black matrix 32 formed on a transparent insulating substrate 30 corresponding to the gate line (not shown), the data line (not shown), and the thin film transistor T. Color filters 34a and 34b are formed corresponding to the pixels P1 and P2.

상기 액정층(LC)은 상기 공통 전극(58)과 화소 전극(72)의 수평전계(95)에 의해 동작된다.The liquid crystal layer LC is operated by the horizontal electric field 95 of the common electrode 58 and the pixel electrode 72.

이하, 도 2를 참조하여, 전술한 바와 같은 횡전계 방식 액정표시장치를 구성하는 어레이 기판의 구성을 설명한다.Hereinafter, with reference to FIG. 2, the structure of the array substrate which comprises the above-mentioned transverse electric field type liquid crystal display device is demonstrated.

도 2는 종래에 따른 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판의 구성을 개략적으로 도시한 평면도이다.2 is a plan view schematically illustrating a configuration of a conventional array substrate for a transverse electric field type liquid crystal display device.

도시한 바와 같이, 기판(50)상에 일 방향으로 연장된 게이트 배선(54)과, 게이트 배선(54)과는 수직하게 교차하여 화소 영역(P)을 정의하는 데이터 배선(68)이 구성된다.As shown in the drawing, the gate wiring 54 extending in one direction on the substrate 50 and the data wiring 68 are formed so as to vertically intersect the gate wiring 54 to define the pixel region P. As shown in FIG. .

또한, 상기 게이트 배선(54)과는 평행하게 이격하여 화소 영역(P)을 가로지르는 공통 배선(56)을 구성한다.In addition, the common wiring 56 crossing the pixel region P is spaced apart from and parallel to the gate wiring 54.

상기 게이트 배선(54)과 데이터 배선(68)의 교차지점에는 상기 게이트 배선(54)과 연결된 게이트 전극(52)과, 게이트 전극(52) 상부의 반도체층(62)과, 반도체층(62) 상부의 소스 전극(64)과 드레인 전극(66)을 포함하는 박막트랜지스터(T)가 구성된다.At the intersection of the gate line 54 and the data line 68, the gate electrode 52 connected to the gate line 54, the semiconductor layer 62 on the gate electrode 52, and the semiconductor layer 62 are provided. The thin film transistor T including the upper source electrode 64 and the drain electrode 66 is configured.

상기, 화소 영역(P)에는 상기 공통 배선(56)에 수직하게 연장되고 서로 평행하게 이격된 공통 전극(58)이 구성되고, 상기 공통 전극(58)사이에는 공통 전극(58)과 평행하게 이격된 화소 전극(72)이 구성된다.The pixel region P includes a common electrode 58 extending perpendicular to the common wiring 56 and spaced in parallel to each other, and spaced in parallel with the common electrode 58 between the common electrodes 58. The pixel electrode 72 is constituted.

전술한 바와 같은 횡전계형 어레이기판의 수직전계형 보다는 광시야각 구현이 가능하나 그 구조상 개구율이 매우 낮은 문제가 있다.Although a wide viewing angle can be implemented rather than the vertical field type of the transverse electric field array substrate as described above, there is a problem in that the aperture ratio is very low.

이하, 도 3을 참조하여 설명한다.A description with reference to FIG. 3 is as follows.

도 3은 도 2의 Ⅱ-Ⅱ를 따라 절단한 단면도이다.3 is a cross-sectional view taken along the line II-II of FIG. 2.

도시한 바와 같이, 화소 영역(P)이 정의된 기판(50)상에 게이트 절연막(GL)이 구성되고, 상기 화소 영역(P)의 일 측에 대응하는 상기 게이트 절연막(GL)의 상 부에는 데이터 배선(68)이 구성되고, 상기 화소 영역(P)에는 상기 데이터 배선(68)과 보호막(PL)을 사이에 두고 위치한 공통 전극(58)과 화소 전극(72)이 구성된다.As illustrated, a gate insulating film GL is formed on the substrate 50 in which the pixel region P is defined, and the gate insulating film GL corresponding to one side of the pixel region P is disposed on the substrate 50. The data line 68 is formed, and the pixel region P includes the common electrode 58 and the pixel electrode 72 positioned between the data line 68 and the passivation layer PL.

전술한 구성에서, 상기 데이터 배선(68)에 근접하여 공통 전극(58)이 구성되며, 상기 공통 전극(58)과 데이터 배선(68)과의 이격영역(K)은 얼룩이 발생되는 영역이기 때문에 차폐되어야 한다.In the above-described configuration, the common electrode 58 is formed in close proximity to the data line 68, and the spaced area K between the common electrode 58 and the data line 68 is a region where staining occurs, and thus shielding. Should be.

또한, 상기 화소 영역(P)에 위치한 공통 전극(58)과 화소 전극(72)이 비록 투명한 전극으로 형성되었다 하더라도 실상 개구영역으로 사용할 수 있는 부분은 전계가 미치는 영역인 각 전극의 좌우 약 1㎛정도의 거리에 해당하는 영역에 불과하다.In addition, even though the common electrode 58 and the pixel electrode 72 positioned in the pixel region P are formed of transparent electrodes, a portion that can be used as an opening region is about 1 μm to the left and right of each electrode, which is an area in which an electric field is applied. It is just an area corresponding to the distance.

따라서, 전술한 바와 같이 넓은 차폐영역을 갖는 구성은 개구율이 대단히 잠식되는 결과를 가져오기 때문에 특별히 휘도가 강한 백라이트를 사용하지 않는 한 매우 낮은 휘도특성을 보이는 문제가 있다.Therefore, as described above, a configuration having a large shielding area has a problem that the aperture ratio is greatly eroded, so there is a problem of showing a very low luminance characteristic unless a particularly strong backlight is used.

종래에는 이러한 문제를 해결하기 위해 상기 차폐영역을 개구영역으로 사용하기 위한 구조가 제시된 바 있다. 이에 대해 아래 도 4를 통해 설명한다.In the related art, a structure for using the shielding area as an opening area has been proposed to solve this problem. This will be described with reference to FIG. 4 below.

도 4는 종래의 제 2 예에 따른 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이 기판의 단일 화소의 확대 단면도이다. 4 is an enlarged cross-sectional view of a single pixel of an array substrate for a transverse electric field type liquid crystal display device according to a second conventional example.

도시한 바와 같이, 화소 영역(P)이 정이된 기판(80) 상에 게이트 절연막(GL)이 구성되고, 상기 화소 영역(P)의 일 측과 타 측에 대응하는 게이트 절연막(GL)의 상부에 데이터 배선(84)이 구성된다.As shown, a gate insulating film GL is formed on the substrate 80 on which the pixel region P is aligned, and an upper portion of the gate insulating film GL corresponding to one side and the other side of the pixel region P is formed. The data wiring 84 is formed.

상기 화소 영역(P)에는 화소 전극(88)과 공통전극(86)이 이격하여 평행하게 구성된다.In the pixel region P, the pixel electrode 88 and the common electrode 86 are spaced apart from each other in parallel.

이때, 상기 공통 전극(86)은 상기 화소 영역(P)의 양측에 위치하는 데이터 배선(84)의 상부에도 구성된다. 이와 같이 하면, 상기 데이터 배선(84)과 이에 근접한 화소 전극(86)과의 사이 영역(M)도 상기 데이터 배선(84) 상부의 공통 전극(86)으로 인해 개구영역으로 사용이 가능해진다.In this case, the common electrode 86 is also formed on the upper portion of the data line 84 positioned on both sides of the pixel region P. In this way, the area M between the data line 84 and the pixel electrode 86 adjacent thereto can also be used as an opening area due to the common electrode 86 on the data line 84.

단, 상기 데이터 배선(84)과 상부의 공통 전극(86) 사이에는 유전율이 낮은 유기 절연막(PL)을 형성하여 상기 데이터 배선(84)과 상부의 공통 전극(86)사이에 신호간섭이 발생하지 않도록 한다.However, an organic insulating layer PL having a low dielectric constant is formed between the data line 84 and the upper common electrode 86 so that signal interference does not occur between the data line 84 and the upper common electrode 86. Do not

또한, 상기 데이터 배선(84)의 양측으로 상기 공통 전극(86)과 동일한 신호가 흐르는 데이터 신호 차폐전극(82a,82b)을 형성함으로써, 상기 데이터 배선(84)의 신호가 이에 근접한 영역(M)에 영향을 미치지 않도록 한다.Further, the data signal shielding electrodes 82a and 82b through which the same signal as the common electrode 86 flows are formed on both sides of the data line 84, whereby the signal of the data line 84 is close to the region M. Do not affect.

이와 같은 구성은, 종래와는 달리 상기 데이터 배선(84)의 양측 영역을 개구영역으로 사용할 수 있기 때문에 고휘도를 구현할 수 있는 장점이 있다.Such a configuration has advantages in that high brightness can be realized because both regions of the data line 84 can be used as an opening region, unlike in the related art.

그런데, 전술한 구성에서는 상기 데이터 신호 차폐전극(82a,82b)을 형성할 때 보통 게이트 배선(미도시)과 동일한 층에서 형성하기 때문에 상기 데이터 배선(84)과는 게이트 절연막(GL)을 사이에 두고 위치하게 된다.However, in the above-described configuration, since the data signal shielding electrodes 82a and 82b are usually formed on the same layer as the gate line (not shown), the data line 84 is interposed between the gate insulating film GL. Will be placed.

이와 같은 경우에는, 상기 게이트 절연막(GL)으로 인해 상기 데이터 신호 차폐전극(82a,82b)의 기능이 떨어지기 때문에 상기 데이터 배선(84)을 흐르는 신호가 이에 근접한 영역(M)에 간섭하게 되어 즉 크로스 토크(cross-talk)가 발생하게 되어, 공통전극(86)과 화소전극(88)사이에 발생하는 전계에 왜곡을 유발하게 된다. In this case, since the function of the data signal shielding electrodes 82a and 82b is degraded due to the gate insulating film GL, the signal flowing through the data line 84 interferes with the region M adjacent thereto. Cross-talk occurs, causing distortion in the electric field generated between the common electrode 86 and the pixel electrode 88.

따라서, 이는 액정패널의 전면에 대해 얼룩으로 표시되며 화질을 떨어뜨리는 원인이 되고 있다.Therefore, this causes a stain on the entire surface of the liquid crystal panel, which causes a deterioration in image quality.

이와 같은 경우, 설계변경을 통한 조건이 주어졌음에도 개구영역 확대 효과를 얻을 수 없다는 문제가 있다.In this case, there is a problem in that the opening area enlargement effect cannot be obtained even if the conditions through the design change are given.

본 발명은 전술한 문제를 해결하기 위한 것으로, 데이터 신호 차폐전극을 새롭게 구성함으로써, 개구율 개선을 통한 고휘도와 고화질을 구현하는 횡전계 방식 액정표시장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-described problem, and an object of the present invention is to provide a transverse electric field type liquid crystal display device that realizes high brightness and high image quality by improving aperture ratio by newly configuring a data signal shielding electrode.

전술한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판은 다수의 화소 영역이 정의된 기판과; 상기 화소 영역의 일 측을 따라 연장된 다수의 게이트 배선과, 상기 게이트 배선과 수직 교차하여 형성된 다수의 데이터 배선과; 상기 게이트 배선과 평행하게 이격된 공통 배선과; 상기 게이트 배선과 데이터 배선의 교차지점에 구성된 박막트랜지스터와; 상기 데이터 배선의 양측에 위치하고, 상기 데이터 배선과는 동일층에 위치하여 구성된 데이터 신호 차폐전극과; 상기 화소 영역에 위치한 화소 전극과; 상기 데이터 배선과 화소 영역에 위치한 공통 전극을 포함한다.An array substrate for a transverse electric field type liquid crystal display device according to the present invention for achieving the above object includes a substrate having a plurality of pixel regions defined; A plurality of gate wires extending along one side of the pixel area, and a plurality of data wires formed to perpendicularly cross the gate wires; Common wiring spaced apart in parallel with the gate wiring; A thin film transistor configured at an intersection point of the gate line and the data line; Data signal shielding electrodes positioned on both sides of the data line and positioned on the same layer as the data line; A pixel electrode positioned in the pixel region; And a common electrode positioned in the data line and the pixel area.

상기 게이트 배선의 일 끝단에 구성된 게이트 패드와, 상기 데이터 배선의 일 끝단에서 이와 접촉하고, 상기 게이트 배선과 동일층에 구성된 데이터 패드를 포함하며, 상기 게이트 패드와 접촉하는 투명한 게이트 패드 전극과, 상기 데이터 패드와 접촉하는 투명한 데이터 패드 전극을 더욱 포함한다.A transparent gate pad electrode comprising a gate pad configured at one end of the gate line, a data pad in contact with one end of the data line, the data pad configured on the same layer as the gate line, and in contact with the gate pad; It further comprises a transparent data pad electrode in contact with the data pad.

상기 데이터 신호 차폐전극은 상기 공통 배선과 접촉하여 공통 신호를 인가받는 것을 특징으로 한다.The data signal shielding electrode may be in contact with the common wire to receive a common signal.

상기 공통 전극은 상기 게이트 배선의 상부에서 이와 평행한 방향으로 구성된 수평부와, 상기 수평부에서 상기 데이터 배선의 상부로 연장된 제 1 수직부와, 상기 화소 영역으로 연장된 제 2 수직부를 포함하고, 상기 화소 전극은 상기 드레인 전극과 접촉하는 수평부와, 상기 수평부에서 상기 공통 전극의 제 2 수직부와 평행하게 이격된 위치로 연장된 수직부를 포함한다.The common electrode includes a horizontal portion formed in a direction parallel to the upper portion of the gate line, a first vertical portion extending from the horizontal portion to an upper portion of the data line, and a second vertical portion extending into the pixel area. The pixel electrode includes a horizontal portion contacting the drain electrode and a vertical portion extending from the horizontal portion to a position spaced in parallel with the second vertical portion of the common electrode.

상기 공통 전극과 화소 전극은 투명한 재질로 구성한다.The common electrode and the pixel electrode are made of a transparent material.

본 발명의 특징에 따른 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판 제조방법은 Method of manufacturing an array substrate for a transverse electric field type liquid crystal display device according to a feature of the present invention

기판 상에 화소 영역과 스위칭 영역을 정의하는 단계와; 상기 기판 상에 상기 화소 영역의 일 측을 따라 연장된 게이트 배선과, 상기 게이트 배선과 수직 교차하여 형성된 다수의 데이터 배선을 형성하는 단계와; 상기 게이트 배선과 평행하게 이격된 공통 배선을 형성하는 단계와; 상기 게이트 배선과 데이터 배선의 교차지점에 구성된 박막트랜지스터를 형성하는 단계와; 상기 데이터 배선의 양측에 각각 구성되고 상기 데이터 배선과는 동일층에 위치하는 데이터 신호 차폐전극을 형성하는 단계와; 상기 데이터 배선의 상부 및 상기 화소 영역에 공통 전극과, 상기 공통 전극과는 평행하게 이격하여 구성된 화소전극을 형성하는 단계를 포함한다.Defining a pixel region and a switching region on the substrate; Forming a gate line extending along one side of the pixel area on the substrate and a plurality of data lines formed to vertically cross the gate line; Forming common wiring spaced apart in parallel with the gate wiring; Forming a thin film transistor configured at an intersection point of the gate line and the data line; Forming a data signal shielding electrode which is formed on both sides of the data line and is located on the same layer as the data line; And forming a common electrode on the upper portion of the data line and the pixel area, and a pixel electrode configured to be spaced apart from the common electrode in parallel.

상기 게이트 배선의 일 끝단에 게이트 패드와, 상기 데이터 배선의 일 끝단에는 이와 콘택홀을 통해 접촉하고, 상기 게이트 배선과 동일 층 동일물질로 데이터 패드를 형성하는 단계를 포함한다.Contacting a gate pad at one end of the gate wiring and a contact hole at one end of the data wiring, and forming a data pad of the same material as the gate wiring.

상기 게이트 패드와 접촉하는 투명한 게이트 패드 전극과, 상기 데이터 패드와 접촉하는 투명한 데이터 패드 전극을 형성하는 단계를 포함한다.Forming a transparent gate pad electrode in contact with the gate pad and a transparent data pad electrode in contact with the data pad.

상기 데이터 신호 차폐전극은 상기 공통 배선과 콘택홀을 통해 접촉하여 공통 신호를 인가받도록 형성하며, 상기 데이터 배선과 데이터 패드를 접촉하도록 구성한 콘택홀과, 상기 데이터 신호 차폐전극과 상기 공통 배선의 접촉하도록 구성한 콘택홀이 동시에 형성되는 것을 특징으로 한다.The data signal shielding electrode is formed to be in contact with the common wire through a contact hole to receive a common signal, and to contact the data hole and the data wire with the contact hole configured to contact the data wire and the data pad. The configured contact hole is formed at the same time.

상기 공통 전극은 상기 게이트 배선의 상부에서 이와 평행한 방향으로 형성 수평부와, 상기 수평부에서 상기 데이터 배선의 상부로 연장된 제 1 수직부와, 상기 화소 영역으로 연장된 제 2 수직부를 포함하고, 상기 화소 전극은 상기 드레인 전극과 접촉하는 수평부와, 상기 수평부에서 상기 공통 전극의 제 2 수직부와 평행하게 이격된 위치로 연장된 수직부를 포함한다.The common electrode includes a horizontal portion formed in a direction parallel to the upper portion of the gate wiring, a first vertical portion extending from the horizontal portion to an upper portion of the data wiring, and a second vertical portion extending into the pixel region. The pixel electrode includes a horizontal portion contacting the drain electrode and a vertical portion extending from the horizontal portion to a position spaced in parallel with the second vertical portion of the common electrode.

상기 데이터 배선과 상기 공통 전극 및 화소전극 사이에 무기 절연막과 유기 절연막이 더욱 포함하며, 상기 공통 전극과 화소 전극은 인듐-틴-옥사이드(ITO)와 인듐-징크-옥사이드(IZO)를 포함하는 투명한 도전성 금속 그룹 중 선택된 하나로 형성한다.An inorganic insulating film and an organic insulating film are further included between the data line, the common electrode, and the pixel electrode, and the common electrode and the pixel electrode are transparent including indium tin oxide (ITO) and indium zinc oxide (IZO). It is formed of one selected from the group of conductive metals.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

-- 실시예 --Example

본 발명의 특징은 데이터 배선의 양측에 위치하는 데이터 신호 차폐전극을 데이터 배선과 동일층 동일물질로 형성하는 것을 특징으로 한다.The present invention is characterized in that the data signal shielding electrodes located on both sides of the data line are formed of the same material as the data line.

이하, 도면을 참조하여, 본 발명에 따른 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이 기판의 구성을 설명한다. Hereinafter, a configuration of an array substrate for a transverse electric field type liquid crystal display device according to the present invention will be described with reference to the drawings.

도 5는 본 발명에 따른 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이 기판의 한 화소를 확대한 평면도이다.5 is an enlarged plan view of one pixel of the array substrate for a transverse electric field type liquid crystal display device according to the present invention.

도시한 바와 같이 기판(100)상에 일 방향으로 연장되고 일 끝단에 게이트 패드(114)를 포함하는 게이트 배선(112)을 구성하고, 상기 게이트 배선(112)과 교차하여 화소 영역(P)을 정의하고 일 끝단에 데이터 패드(120)를 포함하는 데이터 배선(142)을 구성한다.As shown in the drawing, a gate line 112 is formed on the substrate 100 and includes a gate pad 114 at one end thereof. The gate area 112 intersects with the gate line 112 to form a pixel area P. Referring to FIG. A data line 142 is defined and includes a data pad 120 at one end.

상기 게이트 패드(114)와 데이터 패드(120)는 동일층 동일물질로 형성하는 것을 특징으로 하며, 각각의 상부에는 투명한 게이트 패드 전극(162)과 데이터 패드 전극(164)을 구성한다. 이때, 상기 데이터 패드는 상기 데이터 배선(142)과 콘택홀(134)을 접촉하도록 구성하면 된다.The gate pad 114 and the data pad 120 may be formed of the same material. The gate pad 114 and the data pad 120 may be formed on the upper portion of the gate pad 114 and the data pad 120. In this case, the data pad may be configured to contact the data line 142 and the contact hole 134.

또한, 상기 게이트 배선(112)과 평행하게 이격하여 공통 배선(118)을 구성한다.In addition, the common wiring 118 is formed to be spaced apart in parallel with the gate wiring 112.

상기 게이트 배선(112)과 데이터 배선(142)의 교차지점에는 게이트 전극(116)과 액티브층(126)과 소스 전극(136)과 드레인 전극(138)을 포함하는 박막트랜지스터(T)를 구성한다.A thin film transistor T including a gate electrode 116, an active layer 126, a source electrode 136, and a drain electrode 138 is formed at an intersection point of the gate line 112 and the data line 142. .

상기 화소 영역(P)에는 공통 전극(158a,b,c)과 화소 전극(160a,b)을 구성하는데, 상기 공통 전극(158a,b,c)은 상기 화소 영역(P)과 상기 게이트 배선(112)과 데이터 배선(142)의 상부에 구성하는 것을 특징으로 한다.The pixel region P includes the common electrodes 158a, b and c and the pixel electrodes 160a and b, and the common electrodes 158a, b and c form the pixel region P and the gate wiring ( It is characterized in that it is configured above the 112 and the data line 142.

상세히 설명하면, 상기 공통 전극(158a,b,c)은 상기 게이트 배선(112)의 상부에 위치하는 수평부(158a)와, 상기 수평부(158a)에서 상기 데이터 배선(142)의 상부로 연장된 제 1 수직부(158b)와, 상기 화소 영역(P)으로 연장된 제 2 수직부(158c)로 구성 한다.In detail, the common electrodes 158a, b, and c extend from the horizontal portion 158a and the horizontal portion 158a to the upper portion of the data line 142. The first vertical portion 158b and the second vertical portion 158c extending to the pixel region P.

상기 화소 전극(160a,b)은 상기 박막트랜지스터(T)의 드레인 전극(138)과 접촉하는 수평부(160a)와, 상기 수평부(160a)에서 상기 화소 영역(P)으로 연장된 다수의 수직부(160b)로 구성한다.The pixel electrodes 160a and b may include a horizontal portion 160a in contact with the drain electrode 138 of the thin film transistor T, and a plurality of vertical portions extending from the horizontal portion 160a to the pixel region P. It comprises a part 160b.

상기 화소 전극의 수직부(160b)는 상기 공통 전극의 수직부(158b)와 이격된 위치에 이와는 평행하게 구성한다.The vertical portion 160b of the pixel electrode is parallel to the vertical portion 158b of the common electrode at a position spaced apart from the vertical portion 158b of the common electrode.

전술한 구성에서 특징적인 것은, 상기 데이터 배선(142)의 양측에 데이터 신호를 차폐하는 데이터 신호 차폐전극(146a,b)을 형성함에 있어, 상기 데이터 배선(142)과 동일층에 구성하고 상기 공통 배선(118)으로부터 신호를 받도록 구성하는 것을 특징으로 한다. Characteristic in the above-described configuration, in forming the data signal shielding electrodes 146a, b for shielding the data signal on both sides of the data line 142, the same configuration as the data line 142 and the common It is configured to receive a signal from the wiring 118.

이에 대에 이하, 도 6을 참조하여 설명한다.This will be described below with reference to FIG. 6.

도 6은 도 5의 Ⅵ-Ⅵ을 따라 절단한 단면도이다.6 is a cross-sectional view taken along the line VI-VI of FIG. 5.

도시한 바와 같이, 화소 영역(P)이 정의된 기판(100) 상에 게이트 절연막(124)을 구성하고, 상기 화소 영역(P)의 일 측과 타 측에 대응하는 상기 게이트 절 연막(124)의 상부에 데이터 배선(142)을 각각 구성한다.As illustrated, the gate insulating layer 124 is formed on the substrate 100 in which the pixel region P is defined, and the gate insulating layer 124 corresponding to one side and the other side of the pixel region P is formed. Each of the data lines 142 is formed on the upper side of the substrate.

상기 데이터 배선(142)의 양측에는 이와는 동일층에 구성한 데이터 신호 차폐전극(146a,b)을 구성한다.Data signal shielding electrodes 146a and b formed on the same layer are formed on both sides of the data line 142.

상기 데이터 배선(142)과 데이터 신호 차폐전극(146a,b)이 구성된 기판(100)의 전면에는 무기절연막인 제 1 보호막(148)과, 상기 제 1 보호막(148)의 상부에 유기 절연막인 제 2 보호막(150)을 구성하고, 상기 데이터 배선(142)과 상기 화소 영역(P)에 대응하는 제 2 보호막(150)의 상부에는 공통 전극(158b,c)과 화소 전극(160b)을 구성한다.A first passivation layer 148, which is an inorganic insulating layer, and an organic insulating layer, are formed on an entire surface of the substrate 100 including the data line 142 and the data signal shielding electrodes 146a and b. The second passivation layer 150 is formed, and the common electrodes 158b and c and the pixel electrode 160b are formed on the data line 142 and the second passivation layer 150 corresponding to the pixel area P. .

이와 같이 구성하면, 상기 데이터 신호 차폐전극(146a,b)이 데이터 배선(142)과 근접하여 위치하기 때문에 상기 데이터 배선(142)을 흐르는 신호가 이에 근접한 영역(M)으로 미치는 영향을 차폐하는 효과가 커지게 된다.In this configuration, since the data signal shielding electrodes 146a and b are located close to the data line 142, the effect of shielding the influence of the signal flowing through the data line 142 to the area M adjacent thereto is shielded. Becomes large.

따라서, 고개구율에 따른 고휘도를 구현할 수 있는 동시에 고화질을 구현할 수 있는 장점이 있다.Therefore, there is an advantage that can implement high brightness according to the high opening ratio and at the same time high quality.

이하, 공정 도면을 참조하여 전술한 바와 같은 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이 기판의 구성을 설명한다.Hereinafter, the structure of the array substrate for a transverse electric field type liquid crystal display device as described above will be described with reference to the process drawings.

도 7a 내지 도 10a와, 도 7b 내지 도 10b와, 도7c 내지 도 10c와, 도 7d 내지 도 10d와, 도 7e 내지 도 10e는 도 5의 Ⅳ-Ⅳ,Ⅴ-Ⅴ,Ⅵ-Ⅵ,Ⅶ-Ⅶ,Ⅷ-Ⅷ을 따라 절단하여 본 발명의 공정순서에 따라 도시한 공정 단면도이다.7A to 10A, 7B to 10B, 7C to 10C, 7D to 10D, and 7E to 10E are IV-IV, V-V, VI-VI, VIII of Fig. 5; It is a process sectional drawing shown according to the process sequence of this invention cut along-Ⅶ, Ⅷ-Ⅷ.

도 7a 내지 도 7e에 도시한 바와 같이, 기판(100)상에 스위칭 영역(S)을 포함하는 화소 영역(P)과 게이트 영역(G)과 데이터 영역(D)을 정의한다.As shown in FIGS. 7A to 7E, the pixel region P including the switching region S, the gate region G, and the data region D are defined on the substrate 100.

상기 다수의 영역(S,P,G,D)이 정의된 기판(100) 상에 도전성 금속을 증착하고 패턴하여, 일 방향으로 연장되고 일 끝단에 게이트 패드(114)를 포함하는 게이트 배선(112)과, 상기 게이트 배선(112)과 평행하게 이격하여 공통 배선(118)을 구성한다.Deposition and pattern the conductive metal on the substrate 100 in which the plurality of regions S, P, G, and D are defined, and extend in one direction and include a gate pad 114 at one end thereof. ) And the common wiring 118 are spaced apart in parallel with the gate wiring 112.

동시에, 상기 게이트 패드(114)와 평행하지 않은 기판(100)의 타측에 데이터 패드(120)를 형성한다.At the same time, the data pad 120 is formed on the other side of the substrate 100 which is not parallel to the gate pad 114.

한편, 상기 게이트 배선(112)으로부터 연장된 게이트 전극(116)을 형성하며, 상기 게이트 전극(116)은 상기 게이트 배선(112)의 일부 일 수 있다.The gate electrode 116 may be formed to extend from the gate line 112, and the gate electrode 116 may be part of the gate line 112.

상기 도전성 금속은 알루미늄(Al), 알루미늄합금(AlNd), 크롬(Cr), 구리(Cu), 티타늄(Ti), 몰리브덴(Mo)을 포함하는 도전성 금속 그룹 중 하나 또는 그이상의 물질을 선택하여 단층 또는 다층으로 형성할 수 있다.The conductive metal may be formed by selecting one or more of a conductive metal group including aluminum (Al), aluminum alloy (AlNd), chromium (Cr), copper (Cu), titanium (Ti), and molybdenum (Mo). Or it can be formed in multiple layers.

다음으로, 상기 게이트 배선(112)과 게이트 패드(114)와 게이트 전극(116)과 데이터 패드(120)와 공통배선(118)이 형성된 기판(100)의 전면에 질화 실리콘(SiNX)과 산화 실리콘(SiO2)을 포함하는 무기 절연물질 그룹 중 선택된 하나를 증착하여 게이트 절연막(124)을 형성한다.Next, silicon nitride (SiN X ) and an oxide are formed on the entire surface of the substrate 100 on which the gate wiring 112, the gate pad 114, the gate electrode 116, the data pad 120, and the common wiring 118 are formed. A gate insulating layer 124 is formed by depositing one selected from the group of inorganic insulating materials including silicon (SiO 2 ).

상기 게이트 절연막(124)이 형성된 기판(100)의 전면에 순수 비정질 실리콘(a-Si:H)과 불순물이 포함된 비정질 실리콘(n+a-Si:H)을 증착하고 패턴하여, 상기 게이트 전극(116)에 대응하는 게이트 절연막(124)의 상부에 액티브층(126)과 오믹 콘택층(128)을 형성한다.Pure amorphous silicon (a-Si: H) and amorphous silicon (n + a-Si: H) containing impurities are deposited and patterned on the entire surface of the substrate 100 on which the gate insulating layer 124 is formed. An active layer 126 and an ohmic contact layer 128 are formed on the gate insulating layer 124 corresponding to 116.

한편, 상기 화소 영역(P)의 양측에 대응하는 공통 배선(118)의 상부에 대응하여 각각 제 1 콘택홀(130)과 제 2 콘택홀(132)을 형성하고, 동시에 상기 데이터 패드(120)의 일 측 끝단을 노출하는 제 3 콘택홀(134)을 형성한다.The first contact hole 130 and the second contact hole 132 are formed to correspond to the upper portions of the common wiring 118 corresponding to both sides of the pixel region P, and at the same time, the data pad 120 is formed. A third contact hole 134 exposing one end of the side is formed.

상기 제 1 및 제 2 및 제 3 콘택홀(130,132,134)을 상기 액티브층 및 오믹콘택층(126,128)을 형성하기 전 또는 후에 형성할 수 있다.The first, second, and third contact holes 130, 132, and 134 may be formed before or after forming the active layer and the ohmic contact layer 126, 128.

도 8a와 도 8e에 도시한 바와 같이, 상기 액티브층(126)과 오믹 콘택층(128)이 형성된 기판(100)의 전면에 알루미늄(Al), 알루미늄합금(AlNd), 크롬(Cr), 텅스텐(W), 몰리브덴(Mo), 티타늄(Ti), 몰리텅스텐(MoW)등을 포함하는 도전성 금속 그룹 중 선택된 하나 또는 그 이상의 물질을 증착하고 패턴하여, 상기 오믹 콘택층(128)의 상부에 이격된 소스 전극(136)과 드레인 전극(138)을 형성한다.As shown in FIGS. 8A and 8E, aluminum (Al), aluminum alloy (AlNd), chromium (Cr), and tungsten are formed on the entire surface of the substrate 100 on which the active layer 126 and the ohmic contact layer 128 are formed. (W), molybdenum (Mo), titanium (Ti), molybdenum (MoW), and the like, and depositing and patterning a material selected from the group of conductive metals, such as molybdenum (MoW), spaced on top of the ohmic contact layer 128 Source and drain electrodes 136 and 138 are formed.

동시에, 상기 드레인 전극(138)에서 화소 영역(P)으로 연장된 연장부(140)를 형성한다. 이때, 상기 공통 배선(118)의 일부와 상기 게이트 배선(112)의 연장부는 상기 게이트 절연막(124)을 유전체로 하여 스토리지 캐패시터(CST)를 형성한다.At the same time, an extension part 140 extending from the drain electrode 138 to the pixel region P is formed. In this case, a portion of the common wiring 118 and an extension of the gate wiring 112 form a storage capacitor C ST using the gate insulating layer 124 as a dielectric.

동시에, 상기 소스 전극(136)과 연결되는 동시에 상기 게이트 배선(112)과 수직하게 교차하는 데이터 배선(142)을 형성한다.At the same time, a data line 142 connected to the source electrode 136 and perpendicularly intersecting with the gate line 112 is formed.

또한, 상기 데이터 배선(142)의 양측에 대응하여 상기 제 1 및 제 2 콘택홀(도 7b의 130,132)을 통해 하부의 공통 배선(118)과 접촉하는 데이터 신호 차단 전극(146a,146b)을 형성한다.In addition, the data signal blocking electrodes 146a and 146b may be formed to contact the lower common line 118 through the first and second contact holes 130 and 132 of FIG. 7B corresponding to both sides of the data line 142. do.

이때, 상기 데이터 배선(142)은 상기 제 3 콘택홀(도 5의 134)을 통해 상기 데이터 패드(120)와 접촉하도록 형성한다.In this case, the data line 142 is formed to contact the data pad 120 through the third contact hole 134 of FIG. 5.

다음으로, 상기 소스 전극 및 드레인 전극(136,138)과 데이터 배선(142)과 데이터 신호 차단전극(146a,146b)이 형성된 기판(100)의 전면에 질화 실리콘(SiNX)과 산화 실리콘(SiO2)을 포함하는 무기절연물질 그룹 중 선택된 하나를 증착하여 제 1 보호막(148)을 형성한다. Next, silicon nitride (SiN X ) and silicon oxide (SiO 2 ) are formed on the entire surface of the substrate 100 on which the source and drain electrodes 136 and 138, the data line 142, and the data signal blocking electrodes 146a and 146b are formed. A first protective film 148 is formed by depositing one selected from the group of inorganic insulating materials including a.

상기 제 1 보호막(148)은 박막트랜지스터(T)의 노출된 액티브층(126)을 보호하는 역할을 한다.The first passivation layer 148 serves to protect the exposed active layer 126 of the thin film transistor T.

도 9a 내지 도 9e에 도시한 바와 같이, 상기 제 1 보호막(148)이 형성된 기판(100)의 전면에 벤조사이클로부텐(BCB)과 아크릴계 수지(acryl계 resin)를 포함하는 유기절연물질그룹 중 선택된 하나 또는 그 이상의 물질을 도포하여 제 2 보호막(150)을 형성한다.9A to 9E, selected from an organic insulating material group including benzocyclobutene (BCB) and an acrylic resin on the entire surface of the substrate 100 on which the first passivation layer 148 is formed. One or more materials are coated to form the second passivation layer 150.

다음으로, 상기 제 2 보호막(150)과 제 1 보호막(148)을 패턴하여, 상기 드레인 전극(138)의 연장부(140)를 노출하는 드레인 콘택홀(152)과, 상기 게이트 패드(114)를 노출하는 게이트 패드 콘택홀(154)과, 상기 데이터 패드(120)를 노출하는 데이터 패드 콘택홀(156)을 형성한다.Next, the second passivation layer 150 and the first passivation layer 148 may be patterned to expose a drain contact hole 152 exposing the extension 140 of the drain electrode 138 and the gate pad 114. The gate pad contact hole 154 exposing the gate pad contact hole 154 and the data pad contact hole 156 exposing the data pad 120 are formed.

도 10a 내지 도 10e에 도시한 바와 같이, 상기 다수의 콘택홀이 형성된 보호막의 전면에 인듐-틴-옥사이드(ITO)와 인듐-징크-옥사이드(IZO)를 포함하는 투명한 도전성 금속 그룹 중 선택된 하나를 증착하고 패턴하여 상기 화소 영역(P)에 대응하여 공통 전극(158a,158b,158c)과 화소 전극(160a,160b)을 형성한다.As shown in FIGS. 10A to 10E, one selected from a group of transparent conductive metals including indium tin oxide (ITO) and indium zinc oxide (IZO) on the entire surface of the protective film in which the plurality of contact holes are formed is selected. By depositing and patterning, the common electrodes 158a, 158b, and 158c and the pixel electrodes 160a and 160b correspond to the pixel regions P.

상기 공통 전극(158a,158b,158c)은 게이트 배선(112)의 상부에 구성한 수평부(158a)와, 상기 수평부(158a)에서 상기 데이터 배선 및 상기 데이터 신호 차단전극(142,146a,146b)의 상부로 연장된 제 1 수직부(158b)와, 상기 화소영역(P)으로 연장된 제 2 수직부(158c)로 구성한다.The common electrodes 158a, 158b, and 158c may include a horizontal portion 158a formed on an upper portion of the gate wiring 112, and the data lines and the data signal blocking electrodes 142, 146a, and 146b formed on the horizontal portion 158a. A first vertical portion 158b extending upwardly and a second vertical portion 158c extending toward the pixel region P are formed.

상기 화소 전극(160a,160b)은 상기 드레인 전극(138)과 접촉하도록 구성한 수평부(160a)와, 상기 수평부(160a)에서 상기 공통 전극의 수직부(158c)와 평행하게 이격된 수직부(160b)로 구성한다.The pixel electrodes 160a and 160b may include a horizontal portion 160a configured to contact the drain electrode 138 and a vertical portion spaced apart from the horizontal portion 160a in parallel with the vertical portion 158c of the common electrode. 160b).

동시에, 상기 게이트 패드(114)와 접촉하는 게이트 패드 전극(162)과 상기 데이터 패드(120)와 접촉하는 데이터 패드 전극(164)을 형성한다.At the same time, a gate pad electrode 162 in contact with the gate pad 114 and a data pad electrode 164 in contact with the data pad 120 are formed.

전술한 공정에서는 상기 박막트랜지스터를 형성한 후, 제 1 보호막(124)으로 무기 절연막을 형성하였으나 경우에 따라, 상기 제 1 보호막(124)을 형성하지 않을 수도 있으며 이와 같은 경우에는 상기 공통 배선(118)과 데이터 신호 차폐전극(142a,142b)을 접촉하기 위한 제 1 및 제 2 콘택홀(도 7b의 132a,b)과 상기 데이터 배선(142)과 데이터 패드(120)를 접촉하기 위한 제 3 콘택홀(도 7b의 134)을 형성하는 공정에서 상기 게이트 패드 콘택홀(도 9d의 154)과 데이터 패드 콘택홀(도 9e의 156)을 형성할 수도 있다.In the above-described process, after the thin film transistor is formed, an inorganic insulating film is formed using the first passivation layer 124. However, in some cases, the first passivation layer 124 may not be formed. In this case, the common wiring 118 may be formed. ) And the first and second contact holes (132a and b in FIG. 7B) for contacting the data signal shielding electrodes 142a and 142b and the third contact for contacting the data line 142 and the data pad 120. In the process of forming the hole 134 of FIG. 7B, the gate pad contact hole 154 of FIG. 9D and the data pad contact hole 156 of FIG. 9E may be formed.

이상과 같은 공정으로 본 발명에 따른 횡전계형 액정표시장치용 어레이기판을 제작할 수 있다.According to the above process, an array substrate for a transverse electric field type liquid crystal display device according to the present invention can be manufactured.

전술한 바와 같은 횡전계방식 어레이기판을 제작하게 되면 아래와 같은 효과가 있다.Producing the transverse electric field array substrate as described above has the following effects.

첫째, 데이터 배선의 상부에 유기절연막을 사이에 두고 공통 전극을 구성함으로써 종래와는 달리 데이터 배선과 화소 전극 사이의 이격영역을 개구영역으로 사용할 수 있기 때문에 개구율이 개선되는 효과가 있다.First, by forming a common electrode with an organic insulating film interposed over the data wiring, the aperture ratio can be improved since the separation region between the data wiring and the pixel electrode can be used as an opening region, unlike in the related art.

둘째, 데이터 신호 차단전극을 상기 데이터 배선과 동일층에 형성함으로써 데이터 배선을 흐르는 신호가 화소영역에 미치는 영향을 최소화 할 수 있기 때문에 고화질을 구현하는 액정패널을 제작할 수 있는 효과가 있다.Second, since the data signal blocking electrode is formed on the same layer as the data line, the influence of the signal flowing through the data line on the pixel area can be minimized, thereby making it possible to manufacture a liquid crystal panel that realizes high quality.

Claims (16)

다수의 화소 영역이 정의된 기판과;A substrate in which a plurality of pixel regions are defined; 상기 화소 영역의 일 측을 따라 연장된 다수의 게이트 배선과, 상기 게이트 배선과 수직 교차하여 형성된 다수의 데이터 배선과;A plurality of gate wires extending along one side of the pixel area, and a plurality of data wires formed to perpendicularly cross the gate wires; 상기 게이트 배선과 평행하게 이격된 공통 배선과;Common wiring spaced apart in parallel with the gate wiring; 상기 게이트 배선과 데이터 배선의 교차지점에 구성된 박막트랜지스터와;A thin film transistor configured at an intersection point of the gate line and the data line; 상기 데이터 배선의 양측에 위치하고, 상기 데이터 배선과는 동일층에 위치하여 구성된 데이터 신호 차폐전극과;Data signal shielding electrodes positioned on both sides of the data line and positioned on the same layer as the data line; 상기 화소 영역에 위치한 화소 전극과;A pixel electrode positioned in the pixel region; 상기 데이터 배선과 화소 영역에 위치한 공통 전극A common electrode positioned in the data line and the pixel region 을 포함하는 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이 기판.Array substrate for a transverse electric field type liquid crystal display device comprising a. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 게이트 배선의 일 끝단에 구성된 게이트 패드와, 상기 데이터 배선의 일 끝단에서 이와 접촉하고, 상기 게이트 배선과 동일층에 구성된 데이터 패드를 포함하는 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판.And a gate pad formed at one end of the gate line and a data pad in contact with one end of the data line and formed on the same layer as the gate line. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 게이트 패드와 접촉하는 투명한 게이트 패드 전극과, 상기 데이터 패드와 접촉하는 투명한 데이터 패드 전극을 더욱 포함하는 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판.And a transparent gate pad electrode in contact with the gate pad and a transparent data pad electrode in contact with the data pad. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 데이터 신호 차폐전극은 상기 공통 배선과 접촉하여 공통 신호를 인가받는 것을 특징으로 하는 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판.And the data signal shielding electrode is in contact with the common wiring to receive a common signal. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 공통 전극은 상기 게이트 배선의 상부에서 이와 평행한 방향으로 구성된 수평부와, 상기 수평부에서 상기 데이터 배선의 상부로 연장된 제 1 수직부와, 상기 화소 영역으로 연장된 제 2 수직부를 포함하고, 상기 화소 전극은 상기 드레인 전극과 접촉하는 수평부와, 상기 수평부에서 상기 공통 전극의 제 2 수직부와 평행하게 이격된 위치로 연장된 수직부를 포함하는 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판.The common electrode includes a horizontal portion formed in a direction parallel to the upper portion of the gate line, a first vertical portion extending from the horizontal portion to an upper portion of the data line, and a second vertical portion extending into the pixel area. And the pixel electrode includes a horizontal portion in contact with the drain electrode, and a vertical portion extending from the horizontal portion to a position spaced apart from and parallel to the second vertical portion of the common electrode. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 공통 전극과 화소 전극은 투명한 재질로 구성된 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판.And the common electrode and the pixel electrode are made of a transparent material. 기판 상에 화소 영역과 스위칭 영역을 정의하는 단계와;Defining a pixel region and a switching region on the substrate; 상기 기판 상에 상기 화소 영역의 일 측을 따라 연장된 게이트 배선과, 상기 게이트 배선과 수직 교차하여 형성된 다수의 데이터 배선을 형성하는 단계와;Forming a gate line extending along one side of the pixel area on the substrate and a plurality of data lines formed to vertically cross the gate line; 상기 게이트 배선과 평행하게 이격된 공통 배선을 형성하는 단계와;Forming common wiring spaced apart in parallel with the gate wiring; 상기 게이트 배선과 데이터 배선의 교차지점에 구성된 박막트랜지스터를 형성하는 단계와;Forming a thin film transistor configured at an intersection point of the gate line and the data line; 상기 데이터 배선의 양측에 각각 구성되고 상기 데이터 배선과는 동일층에 위치하는 데이터 신호 차폐전극을 형성하는 단계와;Forming a data signal shielding electrode which is formed on both sides of the data line and is located on the same layer as the data line; 상기 데이터 배선의 상부 및 상기 화소 영역에 공통 전극과, 상기 공통 전극과는 평행하게 이격하여 구성된 화소전극을 형성하는 단계Forming a common electrode on the upper portion of the data line and the pixel area, and a pixel electrode configured to be spaced apart from the common electrode in parallel with the common electrode; 를 포함하는 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이 기판 제조방법.Array substrate manufacturing method for a transverse electric field type liquid crystal display device comprising a. 제 7 항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 게이트 배선의 일 끝단에 게이트 패드와, 상기 데이터 배선의 일 끝단에는 이와 콘택홀을 통해 접촉하고, 상기 게이트 배선과 동일층 동일물질로 데이터 패드를 형성하는 단계를 포함하는 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판 제조방법.And translating a gate pad at one end of the gate wiring and a contact hole at one end of the data wiring, and forming a data pad of the same material as the gate wiring. Method for manufacturing an array substrate for use. 제 8 항에 있어서,The method of claim 8, 상기 게이트 패드와 접촉하는 투명한 게이트 패드 전극과, 상기 데이터 패드와 접촉하는 투명한 데이터 패드 전극을 형성하는 단계를 포함하는 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판 제조방법.Forming a transparent gate pad electrode in contact with the gate pad and a transparent data pad electrode in contact with the data pad. 제 8 항에 있어서,The method of claim 8, 상기 데이터 신호 차폐전극은 상기 공통 배선과 콘택홀을 통해 접촉하여 공통 신호를 인가받도록 형성한 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판 제조방법. And the data signal shielding electrode is in contact with the common wiring through a contact hole to receive a common signal. 제 8 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 8 to 10, 상기 데이터 배선과 데이터 패드를 접촉하도록 구성한 콘택홀과, 상기 데이터 신호 차폐전극과 상기 공통 배선의 접촉하도록 구성한 콘택홀이 동시에 형성되 는 것을 특징으로 하는 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판 제조방법.And a contact hole configured to contact the data line and the data pad and a contact hole configured to make contact with the data signal shielding electrode and the common line at the same time. 제 7 항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 공통 전극은 상기 게이트 배선의 상부에서 이와 평행한 방향으로 형성 수평부와, 상기 수평부에서 상기 데이터 배선의 상부로 연장된 제 1 수직부와, 상기 화소 영역으로 연장된 제 2 수직부를 포함하고, 상기 화소 전극은 상기 드레인 전극과 접촉하는 수평부와, 상기 수평부에서 상기 공통 전극의 제 2 수직부와 평행하게 이격된 위치로 연장된 수직부를 포함하는 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판 제조방법.The common electrode includes a horizontal portion formed in a direction parallel to the upper portion of the gate wiring, a first vertical portion extending from the horizontal portion to an upper portion of the data wiring, and a second vertical portion extending into the pixel region. And the pixel electrode includes a horizontal portion in contact with the drain electrode, and a vertical portion extending from the horizontal portion to a position spaced apart from and parallel to the second vertical portion of the common electrode. Way. 제 7 항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 데이터 배선과 상기 공통 전극 및 화소전극 사이에 무기 절연막과 유기 절연막이 더욱 포함된 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판 제조방법.And an inorganic insulating film and an organic insulating film are disposed between the data line, the common electrode and the pixel electrode. 제 7 항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 공통 전극과 화소 전극은 인듐-틴-옥사이드(ITO)와 인듐-징크-옥사이드(IZO)를 포함하는 투명한 도전성 금속 그룹 중 선택된 하나로 형성된 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판 제조방법.And the common electrode and the pixel electrode are formed of one selected from a group of transparent conductive metals including indium tin oxide (ITO) and indium zinc oxide (IZO). 기판 상에 화소 영역을 정의하는 단계와;Defining a pixel region on the substrate; 기판 상에 상기 화소 영역의 일측을 따라 일 방향으로 연장되고 일 끝단에 게이트 패드를 포함하는 게이트 배선과 이에 연결된 게이트 전극과, 상기 게이트 패드와 평행하지 않은 기판의 타측에 데이터 패드와, 상기 게이트 배선과 평행하게 이격된 공통 배선을 형성하는 단계와;A gate wiring including a gate pad at one end and extending in one direction along one side of the pixel region on the substrate, a gate electrode connected thereto, a data pad on the other side of the substrate not parallel to the gate pad, and the gate wiring Forming common wiring spaced apart in parallel with the wiring; 상기 게이트 배선 및 게이트 패드와 데이터 패드와 공통 배선이 형성된 기판의 전면에 게이트 절연막을 형성하는 단계와;Forming a gate insulating film on an entire surface of the substrate on which the gate wiring, the gate pad, and the data pad and the common wiring are formed; 상기 게이트 전극의 상부에 대응하는 게이트 절연막 상에 적층된 액티브층과 오믹 콘택층을 형성하는 단계와;Forming an active layer and an ohmic contact layer stacked on a gate insulating layer corresponding to an upper portion of the gate electrode; 상기 화소 영역의 양측에 대응하여 상기 공통 배선을 노출하는 다수의 제 1 콘택홀과, 상기 데이터 패드의 일부를 노출하는 제 2 콘택홀을 형성하는 단계와;Forming a plurality of first contact holes exposing the common wiring and second contact holes exposing a portion of the data pad corresponding to both sides of the pixel area; 상기 오믹 콘택층과 접촉하면서 이격된 소스 전극과 드레인 전극과, 상기 소스 전극과 접촉하면서 상기 게이트 배선과 수직하게 교차하는 데이터 배선과, 상기 데이터 배선의 양측에 이와는 이격하여 구성되고 상기 콘택홀을 통해 하부의 공통 배선과 접촉하는 데이터 신호 차폐전극을 형성하는 단계와;A source electrode and a drain electrode spaced apart from and in contact with the ohmic contact layer; Forming a data signal shielding electrode in contact with a lower common wiring; 상기 소스 및 드레인 전극과 데이터 신호 차폐전극과 데이터 배선이 형성된 기판의 전면에 무기 절연막과 유기 절연막을 순차 적층하여 제 1 보호막과 제 2 보 호막을 형성하는 단계와;Sequentially forming an inorganic insulating film and an organic insulating film on the front surface of the substrate on which the source and drain electrodes, the data signal shielding electrode, and the data wiring are formed to form a first passivation layer and a second protection layer; 상기 제 1 및 제 2 보호막을 패턴하여, 상기 드레인 전극의 일부를 노출하는 드레인 콘택홀과 상기 게이트 패드를 노출하는 게이트 패드 콘택홀과 상기 데이터 패드를 노출하는 데이터 패드 콘택홀을 형성하는 단계와;Patterning the first and second passivation layers to form a drain contact hole exposing a portion of the drain electrode, a gate pad contact hole exposing the gate pad, and a data pad contact hole exposing the data pad; 상기 드레인 콘택홀과 접촉하면서 상기 화소 영역으로 연장된 화소 전극과, 상기 데이터 배선과 게이트 배선의 상부에 위치하고 상기 게이트 배선에서 상기 화소 영역으로 수직 연장된 수직부를 포힘하는 공통 전극과, 상기 게이트 패드와 접촉하는 투명한 게이트 패드 전극과, 상기 데이터 패드와 접촉하는 투명한 데이터 패드 전극을 포함하는 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판 제조방법.A pixel electrode extending into the pixel region while in contact with the drain contact hole, a common electrode positioned on the data line and the gate line and extending vertically extending from the gate line to the pixel area, and the gate pad; And a transparent gate pad electrode in contact with the transparent data pad electrode in contact with the data pad. 제 15 항에 있어서,The method of claim 15, 상기 공통 전극과 화소전극과 데이트 패드 전극과 게이트 패드 전극은 인듐-틴-옥사이드(ITO)와 인듐-징크-옥사이드(IZO)를 포함하는 투명한 도전성 금속 그룹 중 선택된 하나로 형성된 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판 제조방법.The common electrode, the pixel electrode, the data pad electrode, and the gate pad electrode may be formed of one selected from a group of transparent conductive metals including indium tin oxide (ITO) and indium zinc oxide (IZO). Array substrate manufacturing method.
KR1020050017765A 2005-03-03 2005-03-03 An array substrate for In-Plane switching mode LCD and method of fabricating of the same KR101189144B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020050017765A KR101189144B1 (en) 2005-03-03 2005-03-03 An array substrate for In-Plane switching mode LCD and method of fabricating of the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020050017765A KR101189144B1 (en) 2005-03-03 2005-03-03 An array substrate for In-Plane switching mode LCD and method of fabricating of the same

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20060098588A true KR20060098588A (en) 2006-09-19
KR101189144B1 KR101189144B1 (en) 2012-10-10

Family

ID=37629982

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020050017765A KR101189144B1 (en) 2005-03-03 2005-03-03 An array substrate for In-Plane switching mode LCD and method of fabricating of the same

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101189144B1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20170051672A (en) * 2015-10-30 2017-05-12 엘지디스플레이 주식회사 Horizontal electric field type liquid crystal display device

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102140815B1 (en) 2013-12-09 2020-08-04 삼성디스플레이 주식회사 Liquid crystal display

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100269351B1 (en) * 1997-09-25 2000-10-16 구본준 Ips typed lcd device
KR100247273B1 (en) * 1998-03-12 2000-03-15 윤종용 Liquid crystal display and manufacturing method thereof
JP2002323706A (en) * 2001-02-23 2002-11-08 Nec Corp Active matrix liquid crystal display device of transverse electric field system and method for manufacturing the same
JP2003140188A (en) * 2001-11-07 2003-05-14 Hitachi Ltd Liquid crystal display device
KR100475837B1 (en) * 2001-11-22 2005-03-10 엘지.필립스 엘시디 주식회사 The substrate for LCD with a repair line and method for fabricating the same
KR20030058327A (en) * 2001-12-31 2003-07-07 엘지.필립스 엘시디 주식회사 array panel of liquid crystal display and manufacturing method thereof
KR100456151B1 (en) * 2002-04-17 2004-11-09 엘지.필립스 엘시디 주식회사 Thin film transistor array substrate and method of manufacturing the same
KR100899625B1 (en) * 2002-08-07 2009-05-27 엘지디스플레이 주식회사 In plane switching mode liquid crystal display device
KR100930919B1 (en) * 2003-06-30 2009-12-10 엘지디스플레이 주식회사 Lateral electric field type liquid crystal display device and manufacturing method thereof

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20170051672A (en) * 2015-10-30 2017-05-12 엘지디스플레이 주식회사 Horizontal electric field type liquid crystal display device

Also Published As

Publication number Publication date
KR101189144B1 (en) 2012-10-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101269002B1 (en) An array substrate for In-Plane switching mode LCD and method of fabricating of the same
KR100493869B1 (en) IPS mode Liquid crystal display device and method for fabricating the same
US9335600B2 (en) Liquid crystal display device and method for fabricating the same
KR20030048489A (en) In-Plane Switching Mode Liquid Crystal Display Device
KR100920923B1 (en) An array substrate for In-Plane switching mode LCD and the method for fabricating the same
KR101255782B1 (en) An array substrate for In-Plane switching mode LCD and method of fabricating of the same
KR20070069389A (en) Method of fabricating of an array substrate for in-plane switching mode lcd)
KR101217661B1 (en) An array substrate for In-Plane switching mode LCD and method of fabricating of the same
KR20070070726A (en) An array substrate for in-plane switching mode lcd and method of fabricating of the same
KR100844003B1 (en) An array substrate for In-Plane switching mode LCD and method for fabricating the same
KR101189144B1 (en) An array substrate for In-Plane switching mode LCD and method of fabricating of the same
KR101108004B1 (en) An array substrate for In-Plane switching mode LCD and method of fabricating of the same
KR101154243B1 (en) An array substrate for In-Plane Switching mode LCD and method of fabricating of the same
KR101127217B1 (en) An array substrate for fringe field switching mode LCD and method of fabricating of the same
KR101142886B1 (en) An array substrate for IPS mode LCD and method of fabricating of the same
KR20060105222A (en) An array substrate for fringe field switching mode lcd and method of fabricating of the same
KR100921451B1 (en) An array substrate for In-Plane switching mode LCD and the method for fabricating the same
KR20040085583A (en) An array substrate for In-Plane Switching mode LCD and method for fabricating of the same
KR20050054544A (en) A substrate for in-plane switching mode lcd and method for fabricating of the same
KR101325980B1 (en) An array substrate for In-Plane switching mode LCD and method of fabricating of the same
KR20070063967A (en) An array substrate for in-plane switching mode lcd and method of fabricating of the same
KR100819866B1 (en) An array substrate for in-plane switching mode lcd and method of fabricating of the same
KR20050058907A (en) A substrate for in-plane switching mode lcd and method for fabricating of the same
KR20050068442A (en) A substrate for in-plane switching mode lcd and method for fabricating of the same
KR101189138B1 (en) An array substrate for In-Plane switching mode LCD and method of fabricating of the same

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180917

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190917

Year of fee payment: 8