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KR20050081266A - Organic electroluminescence display panel - Google Patents

Organic electroluminescence display panel Download PDF

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Publication number
KR20050081266A
KR20050081266A KR1020040008957A KR20040008957A KR20050081266A KR 20050081266 A KR20050081266 A KR 20050081266A KR 1020040008957 A KR1020040008957 A KR 1020040008957A KR 20040008957 A KR20040008957 A KR 20040008957A KR 20050081266 A KR20050081266 A KR 20050081266A
Authority
KR
South Korea
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region
thin film
electrode
drain
film transistor
Prior art date
Application number
KR1020040008957A
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Korean (ko)
Inventor
이청
김덕회
Original Assignee
삼성전자주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성전자주식회사 filed Critical 삼성전자주식회사
Priority to KR1020040008957A priority Critical patent/KR20050081266A/en
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Abstract

본 발명에 따른 유기 발광 표시판은 화상을 표시하는 표시 영역, 표시 영역을 구동하기 위해 표시 영역의 주변에 형성되어 있는 구동 회로 영역을 포함하는 유기 발광 표시판에서, 표시 영역 및 구동 회로 영역에 형성되어 있는 표시 및 구동 박막 트랜지스터는 P형 도전형 불순물이 도핑되어 있는 소스 영역 및 드레인 영역을 가진다.An organic light emitting display panel according to the present invention is an organic light emitting display panel including a display area for displaying an image and a driving circuit area formed around the display area for driving the display area, the organic light emitting display panel being formed in the display area and the driving circuit area. The display and driving thin film transistors have a source region and a drain region doped with P-type conductive impurities.

Description

유기 발광 표시판{Organic electroluminescence display panel}Organic electroluminescence display panel

본 발명은 유기 발광 표시판에 관한 것이다. The present invention relates to an organic light emitting panel.

유기 발광(organic electroluminescence) 표시판은 전류가 흐를 경우 빛을 내는 유기 물질을 화소 별로 분리하여 매트릭스 모양으로 배치해 놓은 표시 영역과 이들 유기 물질에 흘리는 전류량을 조절함으로써 화상을 표시하기 위한 구동 회로 영역으로 이루어진다. 이러한 유기 발광 표시판은 저전압 구동, 경량 박형, 광시야각 그리고 고속응답 등의 장점으로 인하여 차세대 표시 장치로 기대되고 있다.An organic electroluminescence display panel is composed of a display area in which a light emitting organic material is separated by pixels and arranged in a matrix form when a current flows, and a driving circuit area for displaying an image by controlling an amount of current flowing through these organic materials. . The organic light emitting panel is expected to be the next generation display device due to advantages such as low voltage driving, light weight, wide viewing angle, and high speed response.

유기 발광 표시판의 표시 영역은 매트릭스 모양으로 배치되어 있는 다수의 화소를 포함하고 있으며, 각 표시 영역 내에 스위칭 소자인 박막 트랜지스터와 화소 전극 및 유기 발광층 등의 많은 박막 패턴이 형성되어 있다. 그리고 구동 회로 영역은 표시 영역의 각 화소에 흐르는 전류를 제어하기 위한 수많은 박막 트랜지스터가 형성되어 있다. The display area of the organic light emitting panel includes a plurality of pixels arranged in a matrix, and a plurality of thin film patterns such as thin film transistors, pixel electrodes, and organic light emitting layers, which are switching elements, are formed in each display area. In the driving circuit region, a number of thin film transistors for controlling a current flowing in each pixel of the display region are formed.

이러한 박막 트랜지스터는 N형 또는 P형으로 구분할 수 있는데 이는 박막 트랜지스터의 반도체층에 도핑된 도전형 불순물 이온에 따라서 나뉘어진다. 일반적으로 표시 영역은 오프 전류를 최소화하기 위해서 저농도 도핑 영역을 가지는 N형 박막 트랜지스터를 형성하고, 구동 회로 영역에는 특성의 균일성을 높이기 위해서 저농도 도핑 영역을 가지지 않는 P형 박막 트랜지스터를 형성한다. Such thin film transistors may be classified into N-type or P-type, which are divided according to conductive impurity ions doped in the semiconductor layer of the thin film transistor. In general, an N-type thin film transistor having a lightly doped region is formed in the display area to minimize off current, and a P-type thin film transistor having no lightly doped region is formed in the driving circuit region to increase the uniformity of characteristics.

이처럼 N형 및 P형의 박막 트랜지스터를 각각 형성하기 위해서는 그 과정이 매우 복잡하여 많은 비용과 시간을 요한다. In order to form N-type and P-type thin film transistors as described above, the process is very complicated and requires a lot of cost and time.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 유기 발광 제조 공정을 단순화할 수 있는 유기 발광 표시판을 제공한다. SUMMARY The present invention provides an organic light emitting display panel which can simplify an organic light emitting manufacturing process.

이러한 과제를 해결하기 위하여 본 발명에 따른 유기 발광 표시판은 화상을 표시하는 표시 영역, 표시 영역을 구동하기 위해 표시 영역의 주변에 형성되어 있는 구동 회로 영역을 포함하는 유기 발광 표시판에서, 표시 영역 및 구동 회로 영역에 형성되어 있는 표시 및 구동 박막 트랜지스터는 P형 도전형 불순물이 도핑되어 있는 소스 영역 및 드레인 영역을 가진다.In order to solve this problem, the organic light emitting panel according to the present invention includes a display area for displaying an image and a driving area in an organic light emitting panel including a driving circuit area formed around the display area for driving the display area. The display and driving thin film transistors formed in the circuit region have a source region and a drain region doped with P-type conductive impurities.

여기서 박막 트랜지스터는 소스 영역 및 드레인 영역 사이에는 위치하는 채널 영역, 소스 영역과 채널 영역 사이, 드레인 영역과 채널 영역 사이에 형성되며 P형 도전형 불순물이 소스 영역 및 드레인 영역보다 저농도로 도핑되어 있는 저농도 도핑 영역을 더 포함한다. The thin film transistor is formed between a channel region located between the source region and the drain region, between the source region and the channel region, between the drain region and the channel region, and has a low concentration in which P-type conductive impurities are doped at a lower concentration than the source region and the drain region. It further comprises a doped region.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 표시판은 표시 영역 및 구동 회로 영역을 가지는 절연 기판, 표시 영역의 기판 위에 형성되어 있는 게이트선, 게이트선과 절연되어 교차하는 데이터선, 표시 영역에 배치되어 있어 게이트선 및 데이터선과 연결되어 있으며 P형의 도전형 불순물로 도핑되어 있는 소스 영역 및 드레인 영역을 가지는 표시 박막 트랜지스터, 표시 박막 트랜지스터와 전기적으로 연결되어 있는 화소 전극, 화소 전극 위의 소정 영역에 형성되어 있는 유기 발광층, 데이터선과 화소 전극 위에 형성되어 있으며 유기 발광층의 영역을 한정하고 있는 격벽, 유기 발광층과 격벽 위에 형성되어 있는 공통 전극, 구동 회로 영역에 형성되어 있으며, P형 불순물이 도핑되어 있는 소스 영역 및 드레인 영역을 가진다.Another display panel of the present invention for achieving the above object is disposed in an insulating substrate having a display region and a driving circuit region, a gate line formed on the substrate of the display region, a data line insulated from and intersecting the gate line, the display region A display thin film transistor having a source region and a drain region connected to the gate line and the data line and doped with a P-type conductive impurity, a pixel electrode electrically connected to the display thin film transistor, and formed in a predetermined region on the pixel electrode The organic light emitting layer formed on the organic light emitting layer, the data line and the pixel electrode, and defining a region of the organic light emitting layer, a common electrode formed on the organic light emitting layer and the partition, and a source region doped with P-type impurities. And a drain region.

그리고 표시 영역의 표시 박막 트랜지스터는, 서로 전기적으로 연결되어 있는 제1 및 제2 박막 트랜지스터를 포함하고, 제1 및 제2 박막 트랜지스터는 소스 영역, 드레인 영역, 소스 영역과 드레인 영역 사이에 위치하는 채널 영역, 소스 영역과 채널 영역 사이 및 드레인 영역과 채널 영역 사이에 형성되어 있는 저농도 도핑 영역을 가지는 제1 및 제2 반도체부, 제1 및 제2 다결정 규소층을 덮는 게이트 절연막, 게이트 절연막 위에 형성되며 채널 영역과 각각 중첩하는 제1 및 제2 게이트 전극, 제1 및 제2 게이트 전극을 덮는 층간 절연막, 층간 절연막 위에 형성되며 제1 및 제2 박막 트랜지스터와 각각 연결되어 있는 제1 및 제2 소스 전극, 층간 절연막 위에 형성되며 제1 및 제2 박막 트랜지스터와 각각 연결되어 있는 제1 및 제2 드레인 전극을 가지고, 제1 드레인 전극은 제2 게이트 전극과 연결되어 있으며, 제2 드레인 전극은 화소 전극의 일부분이다. The display thin film transistor of the display area includes first and second thin film transistors electrically connected to each other, and the first and second thin film transistors are positioned between a source region, a drain region, and a source region and a drain region. First and second semiconductor portions having a low concentration doping region formed between the region, the source region and the channel region, and between the drain region and the channel region, a gate insulating film covering the first and second polycrystalline silicon layers, and a gate insulating film. First and second gate electrodes overlapping the channel region, an interlayer insulating layer covering the first and second gate electrodes, and first and second source electrodes formed on the interlayer insulating layer and connected to the first and second thin film transistors, respectively. First and second drain electrodes formed on the interlayer insulating film and connected to the first and second thin film transistors, respectively; The phosphorus electrode is connected to the second gate electrode, and the second drain electrode is part of the pixel electrode.

여기서 구동 회로 영역의 박막 트랜지스터는, 소스 영역, 채널 영역, 드레인 영역을 가지는 제3 반도체부, 채널 영역과 일부분이 중첩하는 제3 게이트 전극, 제3 게이트 전극과 절연되며 소스 영역과 연결되어 있는 제3 소스 전극, 제3 게이트 전극과 절연되며드레인 영역과 연결되어 있는 제3 드레인 전극을 포함한다.The thin film transistor of the driving circuit region may include a third semiconductor portion having a source region, a channel region, and a drain region, a third gate electrode overlapping a portion of the channel region, and a third gate electrode insulated from and connected to the source region. And a third drain electrode insulated from the third source electrode and the third gate electrode and connected to the drain region.

그리고 유기 발광층과 공통 전극 사이에 형성되어 있는 버퍼층을 더 포함할 수 있다. And a buffer layer formed between the organic emission layer and the common electrode.

또한, 공통 전극과 접촉하고 있는 보조 전극을 더 포함할 수 있다.The display device may further include an auxiliary electrode in contact with the common electrode.

첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. DETAILED DESCRIPTION Embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art may easily implement the present invention. As those skilled in the art would realize, the described embodiments may be modified in various different ways, all without departing from the spirit or scope of the present invention.

도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 붙였다. 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 위에 있다고 할 때, 이는 다른 부분 바로 위에 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 어떤 부분이 다른 부분 바로 위에 있다고 할 때에는 중간에 다른 부분이 없는 것을 뜻한다.In the drawings, the thickness of layers, films, panels, regions, etc., are exaggerated for clarity. Like parts are designated by like reference numerals throughout the specification. When a part of a layer, film, area, plate, etc. is over another part, this includes not only the part directly above the other part but also another part in the middle. On the contrary, when a part is just above another part, it means that there is no other part in the middle.

이제 본 발명의 실시예에 따른 유기 발광 표시판에 대하여 도면을 참고로 하여 상세하게 설명한다.Now, an organic light emitting diode display according to an exemplary embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명을 설명하기 위한 유기 발광 표시판의 개략적인 배치도이다.1 is a schematic layout view of an organic light emitting panel for explaining the present invention.

도 1에 도시된 바와 같이, 유기 발광 표시판은 절연 기판(110) 위에 화소 전극과 이를 스위칭하기 위한 박막 트랜지스터 등이 형성되어 있는 표시 영역(A)과 표시 영역(A)을 구동하기 위해 다수의 구동용 반도체 소자가 배치되어 있으며 표시 영역(A)의 둘레 주변에 위치하는 구동 회로 영역(B)을 포함한다. As illustrated in FIG. 1, the organic light emitting panel is driven to drive the display area A and the display area A, in which a pixel electrode and a thin film transistor for switching the same are formed on the insulating substrate 110. The semiconductor device for semiconductor device is arrange | positioned and includes the drive circuit area | region B located in the periphery of the display area A.

표시 영역(A) 및 구동 회로 영역(B)에는 화소를 제어하거나 구동 신호 또는 제어 신호를 출력하는 트랜지스터 등의 회로 소자가 형성되어 있다. In the display area A and the driving circuit area B, circuit elements such as transistors for controlling pixels or outputting driving signals or control signals are formed.

이때, 회로 소자는 저농도 도핑 영역을 가지는 P형 박막 트랜지스터로 이루어지며 이에 대해서는 도면을 참조하여 표시 영역과 구동 회로 영역에서의 트랜지스터 구조에 대하여 구체적으로 설명하기로 한다. In this case, the circuit element is made of a P-type thin film transistor having a low concentration doping region, and the transistor structure in the display region and the driving circuit region will be described in detail with reference to the drawings.

도 2는 도 1의 표시 영역에 형성되어 있는 일 화소에 형성되어 있는 박막 트랜지스터에 대한 배치도이고, 도 3은 도 2의 III-III'선을 따라 자른 단면도이고, 도 4는 도 2의 IV-IV'선을 따라 자른 단면도이고, 도 5는 도 1의 구동 회로 영역에 형성되어 있는 박막 트랜지스터의 배치도이고, 도 6은 도 5의 VI-VI'선을 따라 자른 단면도이다. FIG. 2 is a layout view of a thin film transistor formed in one pixel formed in the display area of FIG. 1, FIG. 3 is a cross-sectional view taken along line III-III ′ of FIG. 2, and FIG. 4 is IV- of FIG. 2. 5 is a cross-sectional view taken along the line IV ′, and FIG. 5 is a layout view of the thin film transistor formed in the driving circuit region of FIG. 1, and FIG. 6 is a cross-sectional view taken along the line VI-VI ′ of FIG. 5.

도 2 내지 도 6에 도시한 바와 같이, 절연 기판(110) 위에 산화 규소 등으로 이루어진 차단층(111)이 형성되어 있고, 차단층(111) 위에 다결정 규소층이 형성되어 있다. 다결정 규소층은 표시 영역(A)에 형성되어 있는 제1 트랜지스터의 반도체부(150A), 제2 트랜지스터의 반도체부(150B) 및 유지 전극부(157)와 구동 회로 영역(B)에 형성되어 있는 제3 트랜지스터의 반도체부(150C)를 포함한다. 2 to 6, a blocking layer 111 made of silicon oxide or the like is formed on the insulating substrate 110, and a polycrystalline silicon layer is formed on the blocking layer 111. The polysilicon layer is formed in the semiconductor portion 150A of the first transistor, the semiconductor portion 150B of the second transistor, and the storage electrode portion 157 and the driving circuit region B formed in the display region A. FIG. The semiconductor portion 150C of the third transistor is included.

제1 내지 제3 트랜지스터의 반도체부(150A, 150B, 150C)는 각각 P형 불순물이 고농도로 도핑되어 있는 한쌍의 소스 영역(153a, 153b, 153c)과 드레인 영역(155a, 155b, 155c)을 포함하며, 이들의 사이에는 각각 박막 트랜지스터의 채널을 이루며 불순물이 거의 도핑되지 않은 채널 영역(154a, 154b, 154c)을 포함한다. The semiconductor portions 150A, 150B and 150C of the first to third transistors each include a pair of source regions 153a, 153b and 153c doped with P-type impurities at a high concentration and drain regions 155a, 155b and 155c. Each of them includes channel regions 154a, 154b, and 154c that form a channel of the thin film transistor and are hardly doped with impurities.

그리고 제1 내지 제3 트랜지스터(150A, 150B, 150C)의 반도체부(150A, 150B, 150C)에서 각각의 소스 영역(153a, 153b, 153c)과 채널 영역(154a, 154b, 154c)사이, 드레인 영역(155a, 155b, 155c)과 채널 영역(154a, 154b, 154c) 사이에 형성되어 있는 저농도 도핑 영역(152a, 152b, 152c)을 포함한다. 저농도 도핑 영역(152a, 152b, 152c)도 P형 불순물이 도핑되어 있으며 소스 영역(153a, 153b, 153c) 및 드레인 영역(155a, 155b, 155c)보다 저농도로 도핑되어 있다. And between the source regions 153a, 153b, and 153c and the channel regions 154a, 154b, and 154c in the semiconductor units 150A, 150B, and 150C of the first to third transistors 150A, 150B, and 150C, and the drain regions. Lightly doped regions 152a, 152b, and 152c formed between 155a, 155b, and 155c and the channel regions 154a, 154b, and 154c. The lightly doped regions 152a, 152b, and 152c are also doped with P-type impurities and are lightly doped than the source regions 153a, 153b, and 153c and the drain regions 155a, 155b, and 155c.

이상 설명한 바와 같이 표시 영역(A) 및 구동 회로 영역(B)에 저농도 도핑 영역을 가지는 P형 박막 트랜지스터를 형성하면 오프 전류(off current)의 형성을 방지하고 핫 캐리어(hot carrier)에 의한 채널 영역(154)의 손상을 방지한다. As described above, when the P-type thin film transistor having the lightly doped region is formed in the display region A and the driving circuit region B, the formation of the off current is prevented and the channel region is formed by the hot carrier. (154) to prevent damage.

다결정 규소층(150A, 150B, 150C) 위에는 산화 규소 또는 질화 규소로 이루어진 게이트 절연막(140)이 형성되어 있다. A gate insulating layer 140 made of silicon oxide or silicon nitride is formed on the polycrystalline silicon layers 150A, 150B, and 150C.

그리고 표시 영역(A)의 게이트 절연막(140) 위에는 일 방향으로 긴 게이트선(121)이 형성되어 있고, 게이트선(121)의 일부가 연장되어 다결정 규소층(150A)의 채널 영역(154a)과 중첩되어 있으며, 중첩되는 게이트선(121)의 일부분은 제1 박막 트랜지스터의 제1 게이트 전극(124a)으로 사용된다.In addition, a gate line 121 that is elongated in one direction is formed on the gate insulating layer 140 of the display area A, and a portion of the gate line 121 extends to form the channel region 154a of the polysilicon layer 150A. A portion of the overlapped gate line 121 is used as the first gate electrode 124a of the first thin film transistor.

그리고 게이트선(121)과 동일한 층에는 게이트선(121)과는 분리되어 있고 제2 트랜지스터의 채널부(154b)와 중첩하는 제2 게이트 전극(124b)이 형성되어 있고, 제2 게이트 전극(124b)과 연결되어 있고, 다결정 규소층(150B)의 유지 전극(133)이 형성되어 있다. 게이트선(121)의 한쪽 끝부분은 외부 회로와 연결하기 위해서 게이트선(121) 폭보다 넓은 폭을 가질 수 있다. A second gate electrode 124b is formed on the same layer as the gate line 121 and overlaps the channel portion 154b of the second transistor, and the second gate electrode 124b is formed on the same layer as the gate line 121. ), And the sustain electrode 133 of the polycrystalline silicon layer 150B is formed. One end of the gate line 121 may have a width wider than the width of the gate line 121 to connect to an external circuit.

또한, 다른 실시예에서는 화소의 유지 용량을 증가시키기 우한 유지 전극선(도시하지 않음)이 게이트선(121)과 평행하며, 동일한 층으로 형성될 수 있다. In another embodiment, a storage electrode line (not shown) for increasing the storage capacitance of the pixel may be parallel to the gate line 121 and may be formed of the same layer.

다음 구동 회로 영역(B)의 게이트 절연막(140) 위에는 제3 박막 트랜지스터(150C)의 채널 영역(154c)과 중첩하는 제3 게이트 전극(124c)이 형성되어 있다. A third gate electrode 124c overlapping the channel region 154c of the third thin film transistor 150C is formed on the gate insulating layer 140 of the next driving circuit region B.

게이트선(121), 게이트 전극(124a, 124b, 124c) 및 유지 전극선(131)은 비저항(resistivity)이 낮은 은(Ag)이나 은 합금 등 은 계열 금속, 알루미늄(Al)이나 알루미늄 합금 등 알루미늄 계열 금속 따위로 이루어진 도전막을 포함하며, 이러한 도전막에 더하여 다른 물질, 특히 ITO 또는 IZO와의 물리적, 화학적, 전기적 접촉 특성이 좋은 크롬(Cr), 티타늄(Ti), 탄탈륨(Ta), 몰리브덴(Mo) 및 이들의 합금[보기: 몰리브덴-텅스텐(MoW) 합금] 따위로 이루어진 다른 도전막을 포함하는 다층막 구조를 가질 수도 있다. 하부막과 상부막의 조합의 예로는 크롬/알루미늄-네오디뮴(Nd) 합금을 들 수 있다.The gate line 121, the gate electrodes 124a, 124b, and 124c and the storage electrode line 131 may be formed of a silver-based metal such as silver (Ag) or a silver alloy having low resistivity, or an aluminum-based metal such as aluminum (Al) or an aluminum alloy. It includes a conductive film made of metal, and in addition to the conductive film, chromium (Cr), titanium (Ti), tantalum (Ta), and molybdenum (Mo) having good physical, chemical and electrical contact properties with other materials, particularly ITO or IZO. And other conductive films made of alloys thereof (eg, molybdenum-tungsten (MoW) alloys). An example of the combination of the lower layer and the upper layer is chromium / aluminum-neodymium (Nd) alloy.

게이트선(121)과 게이트 전극(124a, 124b, 124c) 및 유지 전극선(131)의 위에는 층간 절연막(801)이 형성되어 있다.An interlayer insulating film 801 is formed on the gate line 121, the gate electrodes 124a, 124b, 124c, and the storage electrode line 131.

표시 영역(A)의 층간 절연막(801) 위에는 제1 및 제2 데이터선(171a, 171b), 제1 및 제2 소스 전극(173a, 173b), 드레인 전극(175a) 및 화소 전극(190)이 형성되어 있다. 제1 소스 전극(173a)은 제1 데이터선(171a)의 분지로서 층간 절연막(801)과 게이트 절연막(140)을 관통하고 있는 접촉구(181)를 통하여 제1 소스 영역(153a)과 연결되어 있고, 제2 소스 전극(173b)은 제2 데이터선(171b)의 분지로서 층간 절연막(801)과 게이트 절연막(140)을 관통하고 있는 접촉구(184)를 통하여 제2 소스 영역(153b)과 연결되어 있다. 드레인 전극(175a)은 층간 절연막(801)과 게이트 절연막(140)을 관통하고 있는 접촉구(182, 183)를 통하여 제1 드레인 영역(155a) 및 제2 게이트 전극(123b)과 접촉하여 이들을 연결하고 있다. 화소 전극(190)은 층간 절연막(801)과 게이트 절연막(140)을 관통하고 있는 접촉구(185)를 통하여 제2 드레인 영역(155b)과 연결되어 있으며, 데이터선(171a, 171b, 173a, 173b, 175a)과 동일한 물질로 이루어져 있다. 데이터선(171a, 171b, 173a, 173b, 175a)과 화소 전극(190)은 알루미늄 등의 반사성이 우수한 물질로 형성하는 것이 바람직하다. 그러나, 필요에 따라서는 화소 전극(190)을 ITO (Indium Tin Oxide) 또는 IZO(Indium zinc Oxide) 등의 투명한 절연 물질로 형성할 수도 있다. The first and second data lines 171a and 171b, the first and second source electrodes 173a and 173b, the drain electrode 175a, and the pixel electrode 190 are disposed on the interlayer insulating layer 801 of the display area A. Formed. The first source electrode 173a is connected to the first source region 153a as a branch of the first data line 171a through a contact hole 181 penetrating through the interlayer insulating film 801 and the gate insulating film 140. The second source electrode 173b is a branch of the second data line 171b and a second source region 153b through a contact hole 184 penetrating through the interlayer insulating film 801 and the gate insulating film 140. It is connected. The drain electrode 175a contacts the first drain region 155a and the second gate electrode 123b through the contact holes 182 and 183 penetrating the interlayer insulating layer 801 and the gate insulating layer 140 to connect them. Doing. The pixel electrode 190 is connected to the second drain region 155b through the contact hole 185 penetrating the interlayer insulating film 801 and the gate insulating film 140, and the data lines 171a, 171b, 173a, and 173b. , 175a). The data lines 171a, 171b, 173a, 173b, and 175a and the pixel electrode 190 are preferably formed of a material having excellent reflectivity such as aluminum. However, if necessary, the pixel electrode 190 may be formed of a transparent insulating material such as indium tin oxide (ITO) or indium zinc oxide (IZO).

한편, 제2 데이터선(171b)은 유지 전극(133)과 중첩되어 있다.On the other hand, the second data line 171b overlaps the sustain electrode 133.

그리고 구동 회로 영역(B)의 층간 절연막(801) 위에는 접촉구(187)을 통해 각각 소스 영역(153c)과 연결되는 소스 전극(173c)과 드레인 영역(155c)과 연결되는 드레인 전극(175c)이 형성되어 있다.On the interlayer insulating layer 801 of the driving circuit region B, a source electrode 173c connected to the source region 153c and a drain electrode 175c connected to the drain region 155c are respectively formed through the contact hole 187. Formed.

데이터선(171a, 171b), 소스 전극(173a, 173b, 173c) 및 드레인 전극(175a, 175c)은 비저항(resistivity)이 낮은 은(Ag)이나 은 합금 등의 계열 금속, 알루미늄(Al)이나 알루미늄 합금 등 알루미늄 계열 금속 따위로 이루어진 도전막을 포함하며, 이러한 도전막에 더하여 다른 물질, 특히 ITO 또는 IZO와의 물리적, 화학적, 전기적 접촉 특성이 좋은 크롬(Cr), 티타늄(Ti), 탄탈륨(Ta), 몰리브덴(Mo) 및 이들의 합금[보기: 몰리브덴-텅스텐(MoW) 합금] 따위로 이루어진 다른 도전막을 포함하는 다층막 구조를 가질 수도 있다. 하부막과 상부막의 조합의 예로는 크롬/알루미늄-네오디뮴(Nd) 합금을 들 수 있다.The data lines 171a and 171b, the source electrodes 173a, 173b and 173c, and the drain electrodes 175a and 175c are metals such as silver (Ag) or a silver alloy having low resistivity, aluminum (Al) or aluminum And conductive films made of aluminum-based metals such as alloys. In addition to these conductive films, chromium (Cr), titanium (Ti), tantalum (Ta), which have good physical, chemical and electrical contact properties with other materials, in particular ITO or IZO, It may have a multilayer film structure including another conductive film made of molybdenum (Mo) and alloys thereof (eg, molybdenum-tungsten (MoW) alloys). An example of the combination of the lower layer and the upper layer is chromium / aluminum-neodymium (Nd) alloy.

기판(110) 위에는 유기 절연 물질로 이루어진 격벽(802)이 형성되어 있다. 격벽(802)은 화소 전극(190) 주변을 둘러싸서 유기 발광층(70)이 채워질 영역을 한정하고 있다. 격벽(802)은 검정색 안료를 포함하는 감광제를 노광, 현상하여 형성함으로써 차광막의 역할을 하도록 하고, 동시에 형성 공정도 단순화할 수 있다. 격벽(802)에 둘러싸인 화소 전극(190) 위의 영역에는 유기 발광층(70)이 형성되어 있다. 유기 발광층(70)은 적색, 녹색, 청색 중 어느 하나의 빛을 내는 유기 물질로 이루어지며, 적색, 녹색 및 청색 유기 발광층(70)이 순서대로 반복적으로 배치되어 있다. A partition wall 802 made of an organic insulating material is formed on the substrate 110. The partition 802 surrounds the pixel electrode 190 to define a region in which the organic emission layer 70 is to be filled. The partition wall 802 serves as a light shielding film by exposing and developing a photosensitive agent including a black pigment, and at the same time, the forming process may be simplified. The organic emission layer 70 is formed in an area on the pixel electrode 190 surrounded by the partition 802. The organic light emitting layer 70 is formed of an organic material emitting one of red, green, and blue light, and the red, green, and blue organic light emitting layers 70 are repeatedly arranged in sequence.

유기 발광층(70)과 격벽(802) 위에는 버퍼층(803)이 형성되어 있다. 버퍼층(803)은 필요에 따라서는 생략될 수 있다. A buffer layer 803 is formed on the organic light emitting layer 70 and the partition wall 802. The buffer layer 803 may be omitted as necessary.

버퍼층(803) 위에는 공통 전극(270)이 형성되어 있다. 공통 전극(270)은 ITO 또는 IZO 등의 투명한 도전 물질로 이루어져 있다. 만약 화소 전극(190)이 ITO 또는 IZO 등의 투명한 도전 물질로 이루어지는 경우에는 공통 전극(270)은 알루미늄 등의 반사성이 좋은 금속으로 형성한다.The common electrode 270 is formed on the buffer layer 803. The common electrode 270 is made of a transparent conductive material such as ITO or IZO. If the pixel electrode 190 is made of a transparent conductive material such as ITO or IZO, the common electrode 270 is formed of a metal having good reflectivity such as aluminum.

한편, 도시하지는 않았으나 공통 전극(270)의 전도성을 보완하기 위하여 저항이 낮은 금속으로 보조 전극을 형성할 수도 있다. 보조 전극은 공통 전극(270)과 버퍼층(803) 사이 또는 공통 전극(270) 위에 형성할 수 있으며, 유기 발광층(70)과는 중첩하지 않도록 격벽(802)을 따라 매트릭스 모양으로 형성하는 것이 바람직하다.Although not shown, an auxiliary electrode may be formed of a metal having low resistance to compensate for the conductivity of the common electrode 270. The auxiliary electrode may be formed between the common electrode 270 and the buffer layer 803 or on the common electrode 270. The auxiliary electrode may be formed in a matrix shape along the partition wall 802 so as not to overlap the organic light emitting layer 70. .

여기서, 제2 데이터선(171b)은 정전압 전원에 연결되어 되어 있다. 이러한 유기 발광 표시판의 구동에 대하여 간단히 설명한다.Here, the second data line 171b is connected to a constant voltage power supply. The driving of such an organic light emitting panel will be briefly described.

게이트선(121)에 온(on) 펄스가 인가되면 제1 트랜지스터가 온되어 제1 데이터선(171a)을 통하여 인가되는 화상 신호 전압이 제2 게이트 전극(124b)으로 전달된다. 제2 게이트 전극(124b)에 화상 신호 전압이 인가되면 제2 트랜지스터가 온되어 제2 데이터선(171b)을 통하여 전달되는 전류가 화소 전극(190)과 유기 발광층(70)을 통하여 공통 전극(270)으로 흐르게 된다. 유기 발광층(70)은 전류가 흐르면 특정 파장대의 빛을 방출한다. 흐르는 전류의 양에 따라 유기 발광층(70)이 방출하는 빛의 양이 달라져 휘도가 변하게 된다. 이 때, 제2 트랜지스터가 전류를 흘릴 수 있는 양은 제1 트랜지스터를 통하여 전달되는 화상 신호 전압의 크기에 의하여 결정된다.When an on pulse is applied to the gate line 121, the first transistor is turned on, and an image signal voltage applied through the first data line 171a is transferred to the second gate electrode 124b. When the image signal voltage is applied to the second gate electrode 124b, the second transistor is turned on so that a current transmitted through the second data line 171b is transferred through the pixel electrode 190 and the organic emission layer 70 to the common electrode 270. Will flow). The organic light emitting layer 70 emits light in a specific wavelength band when current flows. The amount of light emitted by the organic light emitting layer 70 varies according to the amount of current flowing, thereby changing the brightness. At this time, the amount of current that the second transistor can flow is determined by the magnitude of the image signal voltage transmitted through the first transistor.

이상 설명한 바와 같이 본 발명에서와 같은 저농도 도핑 영역을 가지는 P형 박막 트랜지스터를 표시 영역 및 구동 회로 영역에 형성하면 표시 영역의 오프 전류를 최소화하면서도 구동 회로 영역에 균일한 특성을 가지는 유기 발광 표시판을 제공할 수 있다. As described above, when the P-type thin film transistor having the lightly doped region as in the present invention is formed in the display region and the driving circuit region, an organic light emitting display panel having uniform characteristics in the driving circuit region while minimizing the off current of the display region is provided. can do.

도 7은 박막 트랜지스터의 Vgs의 변화에 따른 Ids 값을 측정한 그래프이다. 여기서 그래프에서 제1 TFT는 저농도 도핑 영역을 가지지 않는 P형 박막 트랜지스터이고, 제2 TFT 및 제3 TFT는 저농도 도핑 영역을 가지는 N형 박막 트랜지스터이고, 제4 TFT는 저농도 도핑 영역을 가지는 박막 트랜지스터이다. 7 is a graph measuring Ids values according to changes in Vgs of a thin film transistor. Here, in the graph, the first TFT is a P-type thin film transistor having no low concentration doped region, the second TFT and the third TFT are an N-type thin film transistor having a low concentration doping region, and the fourth TFT is a thin film transistor having a low concentration doping region. .

그래프에 도시한 바와 같이 Vgs값이 증가할수록 제1 TFT에서는 Ids 값이 균일하지 않고 계속 증가하는 것을 확인할 수 있다. 그러나 본 발명에 따른 제4 TFT에서의 Ids 값은 균일한 값을 가지고 제2 및 제3 TFT와 비교하여서도 Ids 값이 높지 않은 것을 확인 할 수 있다. As shown in the graph, it can be seen that as the Vgs value increases, the Ids value is not uniform and continues to increase in the first TFT. However, it can be confirmed that the Ids value in the fourth TFT according to the present invention has a uniform value and that the Ids value is not high even when compared with the second and third TFTs.

다음 도 8 및 도 9는 각각 구동 회로 영역에서 저농도 도핑 영역을 가지는 P형 및 N형 박막 트랜지스터의 위치에 따른 Vth의 값을 나타낸 그래프이다. 8 and 9 are graphs showing values of Vth according to positions of P-type and N-type thin film transistors having low concentration doped regions in the driving circuit region, respectively.

도 9에 도시한 바와 같이, 박막 트랜지스터의 위치에 따른 N형 박막 트랜지스터의 Vth값은 불균일한 값을 나타낸다. 그러나 도 8에 도시한 바와 같이 P형 박막 트랜지스터의 Vth값은 균일한 것을 확인할 수 있다. 따라서 N형 박막 트랜지스터보다 저농도 도핑 영역을 가지는 P형 박막 트랜지스터가 더욱 균일한 Vth값을 나타내는 것을 확인할 수 있다. As shown in FIG. 9, the Vth value of the N-type thin film transistor according to the position of the thin film transistor shows a nonuniform value. However, as shown in FIG. 8, it can be seen that the Vth value of the P-type thin film transistor is uniform. Therefore, it can be seen that the P-type thin film transistor having a lower concentration doping region than the N-type thin film transistor shows a more uniform Vth value.

이처럼 표시 영역과 구동 회로 영역에 저농도 도핑 영역을 가지는 P형 박막 트랜지스터를 형성하면 표시 영역의 Ids값을 최소화하면서도 구동 회로 영역의 특성을 균일하게 유지할 수 있는 유기 발광 표시판을 형성할 수 있다. As described above, when the P-type thin film transistor having the lightly doped region is formed in the display region and the driving circuit region, an organic light emitting display panel which can maintain the characteristics of the driving circuit region uniformly while minimizing the Ids value of the display region can be formed.

이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.Although the preferred embodiments of the present invention have been described in detail above, the scope of the present invention is not limited thereto, and various modifications and improvements of those skilled in the art using the basic concepts of the present invention defined in the following claims are also provided. It belongs to the scope of rights.

이상과 같은 방법으로 유기 발광 표시 장치를 제조하면, 유기 발광 표시 장치의 제조 공정과 시간을 단축하여 제조 비용을 절감할 수 있다.When the organic light emitting diode display device is manufactured as described above, a manufacturing process and a time for the organic light emitting diode display device can be shortened, thereby reducing manufacturing costs.

도 1은 본 발명을 설명하기 위한 유기 발광 표시판의 개략적인 배치도이고,1 is a schematic layout view of an organic light emitting panel for explaining the present invention,

도 2는 도 1의 표시 영역에 형성되어 있는 일 화소에 형성되어 있는 박막 트랜지스터에 대한 배치도이고, FIG. 2 is a layout view of a thin film transistor formed in one pixel formed in the display area of FIG. 1.

도 3은 도 2의 III-III'선을 따라 자른 단면도이고, 3 is a cross-sectional view taken along line III-III 'of FIG. 2,

도 4는 도 2의 IV-IV'선을 따라 자른 단면도이고, 4 is a cross-sectional view taken along the line IV-IV 'of FIG. 2,

도 5는 도 1의 구동 회로 영역에 형성되어 있는 박막 트랜지스터의 배치도이고, FIG. 5 is a layout view of a thin film transistor formed in the driving circuit region of FIG. 1,

도 6은 도 5의 VI-VI'선을 따라 자른 단면도이고,6 is a cross-sectional view taken along the line VI-VI 'of FIG. 5,

도 7은 박막 트랜지스터의 Vgs의 변화에 따른 Ids 값을 측정한 그래프이고,7 is a graph measuring Ids values according to changes in Vgs of a thin film transistor.

도 8 및 도 9는 각각 구동 회로 영역에서 저농도 도핑 영역을 가지는 P형 및 N형 박막 트랜지스터의 위치에 따른 Vth의 값을 나타낸 그래프이다. 8 and 9 are graphs showing values of Vth according to positions of P-type and N-type thin film transistors having low concentration doped regions in the driving circuit region, respectively.

Claims (7)

화상을 표시하는 표시 영역, 상기 표시 영역을 구동하기 위해 상기 표시 영역의 주변에 형성되어 있는 구동 회로 영역을 포함하는 유기 발광 표시판에서,In an organic light emitting display panel comprising a display area for displaying an image and a driving circuit area formed around the display area for driving the display area, 상기 표시 영역 및 구동 회로 영역에 형성되어 있는 표시 및 구동 박막 트랜지스터는 P형 도전형 불순물이 도핑되어 있는 소스 영역 및 드레인 영역을 가지는 유기 발광 표시판.And a display and driving thin film transistor formed in the display region and the driving circuit region, each having a source region and a drain region doped with a P-type conductive impurity. 제1항에서,In claim 1, 상기 박막 트랜지스터는 상기 소스 영역 및 드레인 영역 사이에는 위치하는 채널 영역,The thin film transistor may include a channel region positioned between the source region and the drain region, 상기 소스 영역과 채널 영역 사이, 상기 드레인 영역과 채널 영역 사이에 형성되며 P형 도전형 불순물이 상기 소스 영역 및 드레인 영역보다 저농도로 도핑되어 있는 저농도 도핑 영역을 더 포함하는 유기 발광 표시판.And a lightly doped region formed between the source region and the channel region, between the drain region and the channel region, wherein the P-type conductivity dopant is doped at a lower concentration than the source region and the drain region. 표시 영역 및 구동 회로 영역을 가지는 절연 기판,An insulating substrate having a display area and a driving circuit area, 상기 표시 영역의 기판 위에 형성되어 있는 게이트선,A gate line formed on the substrate of the display area, 상기 게이트선과 절연되어 교차하는 데이터선,A data line insulated from and intersecting the gate line, 상기 표시 영역에 배치되어 있어 상기 게이트선 및 데이터선과 연결되어 있으며 P형의 도전형 불순물로 도핑되어 있는 소스 영역 및 드레인 영역을 가지는 표시 박막 트랜지스터,A display thin film transistor disposed in the display area and connected to the gate line and the data line and having a source region and a drain region doped with a P-type conductive impurity, 상기 표시 박막 트랜지스터와 전기적으로 연결되어 있는 화소 전극,A pixel electrode electrically connected to the display thin film transistor; 상기 화소 전극 위의 소정 영역에 형성되어 있는 유기 발광층,An organic light emitting layer formed on a predetermined region on the pixel electrode, 상기 데이터선과 상기 화소 전극 위에 형성되어 있으며 상기 유기 발광층의 영역을 한정하고 있는 격벽,Barrier ribs formed on the data line and the pixel electrode to define an area of the organic light emitting layer; 상기 유기 발광층과 상기 격벽 위에 형성되어 있는 공통 전극,A common electrode formed on the organic light emitting layer and the partition wall, 상기 구동 회로 영역에 형성되어 있으며, P형 불순물이 도핑되어 있는 소스 영역 및 드레인 영역을 가지는 구동 박막 트랜지스터를 포함하는 유기 발광 표시판.And a driving thin film transistor formed in the driving circuit region and having a source region and a drain region doped with P-type impurities. 제1항 또는 제3항에서,The method of claim 1 or 3, 상기 표시 영역의 표시 박막 트랜지스터는,The display thin film transistor of the display area, 서로 전기적으로 연결되어 있는 제1 및 제2 박막 트랜지스터를 포함하고,A first thin film transistor electrically connected to each other, 상기 제1 및 제2 박막 트랜지스터는 상기 소스 영역, 드레인 영역, 상기 소스 영역과 드레인 영역 사이에 위치하는 채널 영역, 상기 소스 영역과 채널 영역 사이 및 상기 드레인 영역과 채널 영역 사이에 형성되어 있는 저농도 도핑 영역을 가지는 제1 및 제2 반도체부,The first and second thin film transistors have a low concentration doping formed in the source region, the drain region, a channel region located between the source region and the drain region, between the source region and the channel region, and between the drain region and the channel region. First and second semiconductor portions having regions, 상기 제1 및 제2 다결정 규소층을 덮는 게이트 절연막,A gate insulating film covering the first and second polycrystalline silicon layers, 상기 게이트 절연막 위에 형성되며 상기 채널 영역과 각각 중첩하는 제1 및 제2 게이트 전극,First and second gate electrodes formed on the gate insulating layer and overlapping the channel regions, respectively; 상기 제1 및 제2 게이트 전극을 덮는 층간 절연막,An interlayer insulating layer covering the first and second gate electrodes, 상기 층간 절연막 위에 형성되며 상기 제1 및 제2 박막 트랜지스터와 각각 연결되어 있는 제1 및 제2 소스 전극,First and second source electrodes formed on the interlayer insulating layer and connected to the first and second thin film transistors, respectively; 상기 층간 절연막 위에 형성되며 상기 제1 및 제2 박막 트랜지스터와 각각 연결되어 있는 제1 및 제2 드레인 전극을 가지고,First and second drain electrodes formed on the interlayer insulating layer and connected to the first and second thin film transistors, respectively, 상기 제1 드레인 전극은 상기 제2 게이트 전극과 연결되어 있으며, 상기 제2 드레인 전극은 상기 화소 전극의 일부분인 유기 발광 표시판.The first drain electrode is connected to the second gate electrode, and the second drain electrode is part of the pixel electrode. 제1항 또는 제3항에서,The method of claim 1 or 3, 상기 구동 회로 영역의 박막 트랜지스터는,The thin film transistor in the driving circuit region, 소스 영역, 채널 영역, 드레인 영역을 가지는 제3 반도체부,A third semiconductor portion having a source region, a channel region and a drain region, 상기 채널 영역과 일부분이 중첩하는 제3 게이트 전극,A third gate electrode partially overlapping the channel region; 상기 제3 게이트 전극과 절연되며 상기 소스 영역과 연결되어 있는 제3 소스 전극,A third source electrode insulated from the third gate electrode and connected to the source region, 상기 제3 게이트 전극과 절연되며 상기 드레인 영역과 연결되어 있는 제3 드레인 전극을 포함하는 유기 발광 표시판.And a third drain electrode insulated from the third gate electrode and connected to the drain region. 제3항에서,In claim 3, 상기 유기 발광층과 상기 공통 전극 사이에 형성되어 있는 버퍼층을 더 포함하는 유기 발광 표시판.And a buffer layer formed between the organic light emitting layer and the common electrode. 제3항에서,In claim 3, 상기 공통 전극과 접촉하고 있는 보조 전극을 더 포함하는 유기 발광 표시판.And an auxiliary electrode in contact with the common electrode.
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