KR20040090915A

KR20040090915A - 벽내의 하나 이상의 개구부를 진공 폐쇄하기 위한 폐쇄 장치

Info

Publication number: KR20040090915A
Application number: KR1020040026272A
Authority: KR
Inventors: 두엘리베른하르트
Original assignee: 배트 홀딩 아게
Priority date: 2003-04-16
Filing date: 2004-04-16
Publication date: 2004-10-27
Also published as: JP2004316916A; US6899316B2; KR101021457B1; US20040206925A1

Abstract

벽(1)내의 하나 이상의 개구부(2)를 진공 폐쇄하기 위한 폐쇄 장치로서, 이 폐쇄 장치는, 개구부를 해제하는 개방 위치, 개구부를 덮지만 벽으로부터 이격되어 있는 위치, 및 개구부를 덮고 벽과 접촉하는 폐쇄 위치 사이에서 변위가능하며 각각의 개구부와 결합되어 있는 밸브판(3), 개방 위치와 개구부(2)를 덮지만 벽으로부터 이격되어 있는 위치 사이에서 상기 밸브판(3)을 변위시키는 작용을 하고, 보어 구멍을 통해 실린더 하우징(35)으로부터 안내되는 피스톤 로드(29)를 갖고 또한 상기 실린더 하우징내에 배치되는 공압 작동 피스톤(36)을 구비하는 하나 이상의 피스톤 실린더 유닛(30), 및 하나 이상의 피스톤 실린더 유닛(30)의 피스톤 로드(29)에 연결되고 각각의 밸브판(3)에 결합되어 있는 하나 이상의 캐리어 유닛(6)을 포함하고, 상기 하나 이상의 캐리어 유닛은 공압 작동 피스톤(8)이 배치되어 있는 하나 이상의 실린더 보어 구멍(7)을 갖고, 이 공압 작동 피스톤은 개구부(2)를 덮지만 벽으로부터 이격되어 있는 위치와 폐쇄 위치 사이에서 상기 밸브판(3)을 변위시키는 작용을 하고, 또한 이 공압 작동 피스톤에는 보어 구멍을 통해 캐리어 유닛으로부터 안내되는 피스톤 로드(9)가 설치되어 있으며, 이 피스톤 로드(9)에는 밸브판(3)이 고정되어 있고, 상기 하나 이상의 캐리어 유닛의 하나 이상의 실린더 보어 구멍(7)은 제거가능한 커버(11)에 의해 폐쇄되고, 이 커버(11)와 캐리어 유닛(6) 사이에는 2개 이상의 밀폐 링(15, 16)이 배치되어 있으며, 이들 2개의 밀폐 링(15, 16)에 의해 둘러싸인 공간에는 대기에 연결되거나 비워질 수 있는 라인(17)이 도입된다.

Description

벽내의 하나 이상의 개구부를 진공 폐쇄하기 위한 폐쇄 장치{CLOSURE DEVICE FOR VACUUM CLOSURE OF AT LEAST ONE OPENING IN A WALL}

본 발명은 벽내의 하나 이상의 개구부를 진공 폐쇄하기 위한 폐쇄 장치로서, 밸브판, 하나 이상의 피스톤 실린더 유닛, 및 하나 이상의 캐리어 유닛을 포함하는 폐쇄 장치에 관한 것이다. 밸브판은 각각의 개구부와 결합되어 있고, 또한 이 밸브판은, 개구부를 해제하는 개방 위치, 개구부를 덮고 있지만 벽으로부터 이격되어 있는 위치, 및 개구부를 덮고 벽과 접촉하는 폐쇄 위치 사이에서 변위될 수 있다. 피스톤 실린더 유닛은 개방 위치와 개구부를 덮지만 벽으로부터 이격되어 있는 위치와 사이에서 밸브판을 변위시키는 작용을 하고, 또한 이 피스톤 실린더 유닛은 실린더 하우징내에 배치되며 공압적으로 작동되는 피스톤을 포함하고, 이 공압 피스톤에는 보어 구멍을 통해 실린더 하우징으로부터 안내되는 피스톤 로드가 설치되어 있다. 하나 이상의 피스톤 실린더 유닛의 피스톤 로드에 연결되며 각각의 밸브판과 결합되는 상기 캐리어 유닛은 공압 작동 피스톤이 배치되어 있는 하나 이상의 실린더 보어 구멍을 갖고, 이 공압 작동 피스톤은 개구부를 덮지만 벽으로부터 이격되어 있는 위치와 폐쇄 위치 사이에서 밸브판을 변위시키는 작용을 하며, 또한 이 공압 작동 피스톤에는 보어 구멍을 통해 캐리어 유닛으로부터 안내되는 피스톤 로드가 설치되어 있으며, 이 피스톤 로드에는 밸브판이 고정되어 있다.

상술한 종류의 폐쇄 장치가 미국특허 제 6,056,266 A 호에 개시되어 있다. 이 폐쇄 장치는 진공 시설의 외부에서 특히 문으로서 작용한다. 밸브판의 L-형 운동을 발생시키는 2개의 피스톤 실린더 유닛의 연속 운동은, 2개의 피스톤 실린더 유닛의 운동이 정확한 순서로 연속적으로 진행하도록 순서 제어에 의해 제어된다.

또한, 독일특허 제 196 33 798 A1 호에는, 벽에 대해 선회될 수 있도록 하우징이 지지되는 벽내의 개구부를 진공 폐쇄하기 위한 폐쇄 장치가 개시되어 있다. 변위가능하도록 공압 피스톤이 지지되어 있는 제 1 실린더 보어 구멍이 하우징내에 형성되어 있고, 공압 피스톤의 피스톤 로드가 밸브판을 운반한다. 밸브판은, 개구부가 해제되는 개방 위치와 밸브판이 개구부를 덮지만 벽으로부터 이격되어 있는 위치 사이에서 이들 피스톤에 의해 변위된다. 하우징을 선회시키도록 작용하는 공압 피스톤이 변위가능하도록 지지되어 있는 제 2 실린더 보어 구멍이 하우징내에 형성되어 있다. 이들 공압 피스톤을 작동시킴으로써, 밸브판이 벽에 대해 가압되어 개구부가 진공 밀폐식으로 폐쇄되도록 하우징은 선회될 수 있다. 이러한 종류의 폐쇄 장치는 마찬가지로 진공실의 문으로서 사용될 수 있다. 독일특허 제 196 33 798 A1 호에는 진공 내부에 배치된 밸브로서의 응용이 또한 개시되어 있다.

미국특허 제 6,056,266 A 호 및 독일특허 제 196 33 798 A1 호에 개시된 바와 같은 폐쇄 장치를 벽내의 개구부의 양측면에 진공이 존재할 수 있는 응용에 사용하는 경우, 진공 영역에 위치되는 피스톤 실린더 유닛에서 상당한 누설 위험이 존재한다. 피스톤에 작용하는 압축 공기의 압력이 증가하기 때문에, 누설의 위험이 특별히 존재한다. 결과적으로 진공에 대한 압력의 차이는 대기압보다 실질적으로 더 크므로, 누설의 위험은 실질적으로 더 높다. 누설의 경우에 있어서 진공실내의 압력이 대기압보다 상당히 커서 예를 들어 용접 영역에서의 진공실 벽의 굽힘 또는 추가적인 누설이 발생할 수 있기 때문에, 누설의 경우에 발생할 수 있는 손상은 대기에 대한 누설과 비교하여 일반적으로 더 크다.

벽내의 하나 이상의 개구부를 진공 폐쇄하기 위한 또 다른 폐쇄 장치가 미국특허 6,427,973 B1 호에 개시되어 있다. 이 폐쇄 장치는 또한 다수의 슬롯형 개구부를 폐쇄 및 해제하는데 특히 적절하다. 예를 들어 벨로우즈내에 둘러싸인 태핏 드라이브(tappet drive)에 의해 벽 평면에서 변위가능한 캐리어 판이 이러한 목적으로 제공되어 있다. 각각의 개구부와 결합된 폐쇄판이 벽에 수직 방향으로 변위가능하도록 캐리어 판에 지지되어 있고, 이 폐쇄판은 캐리어 판에 고정된 대응 부싱에서 미끄러지는 안내 핀을 갖는다. 캐리어 판과 각각의 폐쇄판 사이에는 빈틈이 없는 팽창성 실린더 공간이 벨로우즈에 의해 형성되어 있다. 이 실린더 공간속으로 압축 공기를 유입시킴으로써 벽내의 개구부는 진공 밀폐식으로 폐쇄된다. 벽의 양측면에는 진공이 존재할 수 있다(밸브 장치가 폐쇄된 상태 및 개방된 상태). 실린더 공간속으로 유입된 압축 공기의 압력을 흡수하기 위해, 실린더 공간을 형성하는 벨로우즈가 매우 안정하게 구성되어야 한다는 점에서 이 장치는 특히 불리하다. 또한, 특히 사용 기간이 연장된 후에 이러한 종류의 벨로우즈에서 상당한 누설의 위험이 존재하고, 누설의 경우에 압축 공기가 진공실속으로 침투할 수 있다.

이 밸브 장치의 추가적인 단점은 폐쇄판이 어렵게만 교체될 수 있다는 점이다. 그러나, 특히 활동적인 공정 가스가 사용되는 경우에는 폐쇄판을 자주 교체할 필요가 있다. 또한, 격막 벨로우즈에 의해 둘러싸인 공간에 어렵게 접근할 수 있다.

또한, 안내되는 부분과 진공실 벽 사이에서 2개의 밀폐 링이 서로 이격되어 배치되고, 이 밀폐 링 사이의 공간이 이 공간으로 도입되는 라인 및 펌프에 의해 비워지는 리니어 인도부(linear leadthrough)가 공지되어 있다. 이 밀폐 링은 리니어 인도부를 통해 진공으로 안내되는 가스를 감소시키려는 것이다.

본 발명의 목적은 누설의 위험이 감소되는 상술한 종류의 폐쇄 장치를 제공하는 것이다. 본 발명의 다른 목적은 수리하기 용이하며 누설의 위험이 감소되는 폐쇄 장치를 제공하는 것이다. 본 발명의 또 다른 목적은 다수의 슬롯형 개구부를 폐쇄하는데 특히 적절한 종류의 폐쇄 장치를 제공하는 것이다. 본 발명의 또 다른 목적은 개구부의 양측면에 진공 영역이 존재할 수 있는 종류의 폐쇄 장치를 제공하는 것이다.

도 1은 개구부가 개방된 상태의 본 발명에 따른 폐쇄 장치를 갖는 밸브의 사시도.

도 2는 도 1의 밸브의 정면도.

도 3은 도 2의 선 III-III을 따라 도시한 단면도.

도 4는 개구부가 폐쇄된 상태의 도 2에 대응하는 도면.

도 5는 도 4의 선 V-V를 따라 도시한 단면도.

도 6은 도 4의 선 VI-VI를 따라 도시한 단면도.

도 7 내지 도 10은 도 5의 선 VII-VII, VIII-VIII, IX-IX 및 X-X를 따라 도시한 바아형 캐리어 유닛의 부분 단면도.

도 11은 도 5의 선 XI-XI를 따라 도시한 밸브의 좌측 가장자리 영역 및 우측 가장자리 영역의 단면도.

도 12는 밸브가 개방된 상태의 본 발명에 따른 폐쇄 장치의 또 다른 실시형태를 갖는 밸브의 사시도.

도 13은 폐쇄된 상태의 도 12의 밸브의 도면.

도 14는 도 13의 선 XIV-XIV를 따라 도시한 단면도.

도 15는 도 13의 선 XV-XV를 따라 도시한 단면도.

도 16은 도 3과 유사한 단면의 본 발명에 따른 폐쇄 장치의 또 다른 실시형태의 도면.

도 17은 도 3과 유사한 단면의 본 발명에 따른 폐쇄 장치의 또 다른 실시형태의 도면.

*도면 부호의 설명*

1 : 벽 2 : 개구부 3 : 밸브판 4 : 밀폐 링 5 : 밀폐 표면

6 : 캐리어 유닛 7 : 보어 구멍 8 : 피스톤 9 : 피스톤 로드

10 : 보어 구멍 11 : 커버 12 : 중심 보어 구멍 14 : 볼트

15 : 밀폐 링 16 : 밀폐 링 17 : 라인 20 : 밀폐 링

21 : 밀폐 링 22 : 라인 23 : 홈 29 : 피스톤 로드

30 : 피스톤 실린더 유닛 31, 32 : 고정 블럭 34 : 안내 레일

35 : 실린더 하우징 36 : 피스톤 45 : 원통형 커버

벽내의 하나 이상의 개구부를 진공 폐쇄하기 위한 본 발명의 폐쇄 장치는 밸브판, 하나 이상의 피스톤 실린더 유닛, 및 하나 이상의 캐리어 유닛을 포함한다. 밸브판은 각각의 개구부와 결합되어 있고, 또한 이 밸브판은, 개구부를 해제하는 개방 위치, 개구부를 덮고 있지만 벽으로부터 이격되어 있는 위치, 및 개구부를 덮고 벽과 접촉하는 폐쇄 위치 사이에서 변위될 수 있다. 피스톤 실린더 유닛은 개구부를 덮지만 벽으로부터 이격되어 있는 위치와 개방 위치 사이에서 밸브판을 변위시키는 작용을 하고, 또한 이 피스톤 실린더 유닛은 실린더 하우징내에 배치되며 공압적으로 작동되는 피스톤을 포함하고, 이 공압 피스톤에는 보어 구멍을 통해 실린더 하우징으로부터 안내되는 피스톤 로드가 설치되어 있다. 하나 이상의 피스톤 실린더 유닛의 피스톤 로드에 연결되며 각각의 밸브판과 결합되는 상기 캐리어 유닛은 공압 작동 피스톤이 배치되어 있는 하나 이상의 실린더 보어 구멍을 갖고, 이 공압 작동 피스톤은 개구부를 덮지만 벽으로부터 이격되어 있는 위치와 폐쇄 위치 사이에서 밸브판을 변위시키는 작용을 하며, 또한 이 공압 작동 피스톤에는 보어 구멍을 통해 캐리어 유닛으로부터 안내되는 피스톤 로드가 설치되어 있으며, 이 피스톤 로드에는 밸브판이 고정되어 있다. 하나 이상의 캐리어 유닛의 하나 이상의 실린더 보어 구멍은 제거가능한 커버에 의해 폐쇄되어 있고, 이 커버와 캐리어 유닛 사이에는 2개 이상의 밀폐 링이 배치되어 있고, 대기에 연결되거나 또는 비워질 수 있는 라인이 이러한 2개의 밀폐 링에 의해 둘러싸인 공간으로 도입된다.

제거가능한 커버는 캐리어 유닛의 실린더 보어 구멍에 피스톤을 설치할 수 있도록 하며, 또한 이 피스톤의 후속 수리를 가능하게 한다. 본 발명에 따른 구조는 커버와 캐리어 유닛 사이의 누설의 위험을 실질적으로 감소시킨다. 또한, 이러한 종류의 누설에 의해 발생된 손상은 실질적으로 감소된다.

본 발명의 유리한 실시형태에 있어서, 커버는 밸브판으로부터 이격된 피스톤의 측면에 제공되어 있다. 피스톤 로드는 캐리어 유닛내의 보어 구멍을 통해 캐리어 유닛으로부터 안내되고, 또한 이 피스톤 로드는 캐리어 유닛에 배치된 2개 이상의 밀폐 링에 의해 캐리어 유닛에 대해 밀폐되며, 대기에 연결되거나 또는 비워질 수 있는 라인이 이들 2개의 밀폐 링에 의해 둘러싸인 공간으로 도입된다. 이러한 방식으로, 피스톤 로드와 캐리어 유닛 사이의 누설의 위험이 실질적으로 감소된다. 밸브판에 면하는 피스톤의 측면에 커버를 배치하는 것도 가능하다. 이러한 경우, 피스톤 로드는 커버내의 보어 구멍을 통해 캐리어 유닛으로부터 안내될 수 있다. 이러한 경우, 커버내의 보어 구멍의 벽에 배치된 2개의 밀폐 링은 커버와 피스톤 로드 사이를 밀폐하기 위해 유리하게 제공될 수 있고, 대기에 연결될 수 있거나 또는 비워질 수 있는 라인이 이들 2개의 밀폐 링에 의해 둘러싸인 공간으로 도입된다.

본 발명의 유리한 실시형태에 있어서, 보어 구멍을 통해 안내되며, 실린더 하우징에 대해 하나 이상의 캐리어 유닛을 변위시키기 위한 하나 이상의 피스톤 실린더 유닛의 피스톤 로드는 실린더 하우징에 배치된 2개 이상의 밀폐 링에 의해 밀폐되고, 대기에 연결되거나 또는 비워질 수 있는 라인이 이들 2개의 밀폐 링에 의해 둘러싸인 공간으로 도입된다. 이 밀폐 링은 이들 피스톤 실린더 유닛에 대한 누설을 위험이 실질적으로 감소시킨다.

본 발명의 추가적인 장점 및 상세는 도면을 참고로 하여 이하의 실시형태에서 더 상세히 설명될 것이고, 이하에서 본 발명의 추가적인 목적이 명백해질 것이다.

도 1 내지 도 11에 도시된 본 발명에 따른 폐쇄 장치는 벽(1)내의 개별 슬롯형 개구부(2)를 진공 폐쇄 또는 진공 밀폐하는 작용을 한다. 용어 '진공 폐쇄'는 벽의 적어도 일측(도 5에서 벽의 좌측)에서 진공이 유지될 수 있도록 폐쇄 장치의 폐쇄 상태에서 개구부(2)가 폐쇄되는 것을 의미한다. 폐쇄 장치는 또한, 양측의 상이한 압력에 대해 안정하도록, 즉, 도 5에서 볼 때 벽(1)의 좌측에 진공이 유지되며 벽(1)의 우측에는 대기압이 존재할 수 있거나, 또는 반대로 도 5에서 볼 때 벽의 우측에 진공이 유지되며 벽의 좌측에는 대기압이 존재할 수 있도록 구성될 수 있다. 이러한 배경에서, 진공은 대기압의 1/100 미만의 압력을 나타낸다.

폐쇄 장치는 원주방향으로 폐쇄된 밀폐 링(4)을 포함하는 밸브판(3)을 갖는데, 이 밀폐 링은 벽(1), 즉, 개구부(2)가 폐쇄되는 밸브판(3)의 폐쇄 위치(도 5)에서 개구부(2) 주위 영역에서 이러한 목적으로 제공된 밀폐 표면(5)에서 벽(1)과 접촉한다.

밸브판(3)은 바아형 캐리어 유닛(6)에 의해 지지되며 따라서 캐리어 유닛(6)에 대해 변위될 수 있다. 이러한 목적으로, 캐리어 유닛(6)에는 바아형 캐리어 유닛의 길이방향으로 서로 이격되어 배치된 다수의 실린더 보어 구멍(7)이 형성되어 있다. 이들 실린더 보어 구멍(7)내에는 피스톤(8)이 변위가능하게 지지되어 있다. 피스톤(8)에는 피스톤 로드(9)가 설치되어 있다. 밸브판(3)은 피스톤(8)의 피스톤 로드(9)에 고정되어 있다. 피스톤 로드(9)는 보어 구멍(10)을 통해 캐리어 유닛(6)으로부터 각각 빠져나온다.

실린더 보어 구멍(7)은 밸브판(3)으로부터 이격된 피스톤(8)의 측방에서 커버(11)에 의해 폐쇄된다. 또한, 커버(11)내에는 중심 보어 구멍(12)이 형성되어 있다. 피스톤 로드(9)는 중심 보어 구멍을 통해 피스톤(8)을 통과하고, 이 피스톤(8)은 유지 링에 의해 피스톤 로드에 고정된다. 피스톤 로드는 밸브판(3)으로부터 이격된 피스톤(8)의 측방에서 커버(11)의 보어 구멍(11)속으로 돌출한다. 피스톤 로드(9)는 슬리브(13) 및 이 슬리브(13)를 관통하는 나사핀 또는 볼트(14)에 의해 형성되고, 그 헤드는 밸브판(3)으로부터 이격된 슬리브(13)의 정면측과 접촉하며, 또한 이 피스톤 로드는 밸브판(3)의 나사 보어 구멍속으로 체결된다. 나사 볼트(14)의 헤드는 동일한 직경을 갖는 슬리브(13)를 지속시킨다. 밸브판(3)을 제거하기 위해, 캐리어 유닛(6)의 후방에서 접근가능한 헤드에 의해 나사 볼트(14)를 돌려서 빼는 것만이 필요하다.

커버(11)의 홈 또는 캐리어 유닛(6)의 홈에 배치되며 또한 각각 캐리어 유닛(6)에 대해 커버(11)를 밀폐시키는 2개의 밀폐 링(15, 16)이 커버(11)와 캐리어 유닛(6) 사이에 배치되어 있다. 2개의 밀폐 링(15, 16)에 의해 둘러싸이며 환형 간극 형상을 갖는 공간으로 라인(17)(도 7 참조)이 도입된다. 이 라인(17)은 대기에 연결되어 있으며 따라서 이하에서 더 정확히 설명하는 바와 같이 대기압을 받는다.

피스톤(8)의 피스톤 로드(9)는 2개의 밀폐 링(20, 21)에 의해 캐리어 유닛(6)에 대해 밀폐된다. 이들 밀폐 링(20, 21)은 보어 구멍(10)의 벽내의 홈에 배치되며 피스톤 로드(9)의 슬리브(13)와 접촉한다. 이들 2개의 밀폐 링(20, 21)에 의해 둘러싸이며 환형 간극 형상을 갖는 공간으로 라인(22)(도 3 및 도 10 참조)이 도입된다. 이 환형 간극에 라인(22)을 연결하기 위한 홈(23)이 캐리어 유닛(6)내에 형성되어 있다. 라인(22)은 대기에 연결되어 있으며 따라서 이하에서 더 정확히 설명하는 바와 같이 대기압을 받는다.

커버(11)내의 보어 구멍(12)속으로 돌출하는 피스톤 로드(9)는 2개의 밀폐 링(26, 27)에 의해 커버(11)에 대해 밀폐된다. 이들 밀폐 링은 커버(11)내의 홈에 배치되며 슬리브(13) 및 나사 볼트(14)의 헤드와 각각 접촉한다. 이들 2개의 밀폐 링(26, 27) 사이의 환형 간극 공간으로 라인(28)이 도입되며 또한 이 라인은 이러한 환형 공간을 2개의 밀폐 링(15, 16) 사이에 위치된 공간에 연결하므로, 2개의 밀폐 링(26, 27) 사이에 위치된 공간도 마찬가지로 대기압을 받는다.커버(11)내의 채널 또는 보어 구멍에 의해 형성되는 이러한 종류의 다수의 반경방향 라인(28)이 또한 제공될 수 있다.

캐리어 유닛(6)의 양측은 2개의 피스톤 실린더 유닛(30)의 피스톤 로드(29)에 연결되어 있다. 이러한 목적으로, 바아형 캐리어 유닛(6)의 양측에는 고정 블럭(31, 32)이 체결되어 있다. 다시 이들 고정 블럭(31, 32)은, 벽(1)에 고정되는 안내 레일(34)을 따라 벽 평면에서 변위가능하도록 지지된 미끄럼 블럭(33)에 고정되어 있다. 안내 레일(34)은 미끄럼 블럭(33)의 언더컷 홈과 결합하므로, 미끄럼 블럭(33)은 벽에 수직 방향으로 안내 레일(34)로부터 상승하는 것이 방지된다. 피스톤 실린더 유닛(30)의 피스톤 로드(29)는 미끄럼 블럭(33)에 체결되어 있다.

각각의 피스톤 실린더 유닛(30)은 피스톤(36)을 포함하는 실린더 하우징(35)을 갖고, 이 피스톤은 실린더 하우징 내부에서 변위가능하도록 지지되어 있고 또한 이 피스톤에는 상술한 피스톤 로드(29)가 각각 설치되어 있다. 대응하는 압축 공기 라인(도면에 도시되지 않음)이 연결되는 라인(37, 38)을 통해 피스톤(36)의 상하부의 실린더 공간에 압축 공기가 가해지고 그 실린더 공간으로부터 압축 공기가 교대로 제거될 수 있고, 그 내부에서 피스톤(36)이 변위되며, 캐리어 유닛은 벽(1) 표면에 평행 방향으로 변위되거나 또는 개구부(2)의 축(39)에 수직 방향으로 변위된다.

피스톤 로드(29)는 보어 구멍(40)을 통해 실린더 하우징(35)으로부터 각각 빠져나온다. 실린더 하우징내의 홈에 배치된 2개의 밀폐 링(41, 42)이 실린더하우징(35)에 대해 각각의 피스톤 로드(29)를 밀폐하기 위해 제공되며, 이 밀폐 링은 미끄럼 방식으로 피스톤 로드(29)의 표면과 접촉한다. 2개의 밀폐 링(41, 42) 사이에 위치되며 환형 간극 형상을 갖는 공간으로 라인(43)이 도입된다. 도 11에 도시된 바와 같이, 이 라인(43)은 대기로 도입되며 따라서 대기압을 받는다.

각각의 피스톤 로드(29)는 그 피스톤 로드에 부착된 피스톤(36)을 관통하고, 또한 이 피스톤 로드는 캐리어 유닛(6)으로부터 이격된 피스톤(36)의 측방에 배치된 원통형 커버(45)내의 보어 구멍(44)을 통해 돌출한다. 길이방향으로 피스톤 로드를 관통하는 채널(19, 25)에 의해 형성된 라인(19, 25)이 도 11의 좌측 도면에 도시된 피스톤 실린더 유닛(30)내에 제공되어 있다. 좌측의 고정 블럭(31)내의 채널에 의해 형성된 라인(18, 24) 및 좌측의 미끄럼 블럭(33)의 채널(도면에 도시되지 않음)을 통해, 라인(19, 25)은 캐리어 유닛내에 배치된 채널에 의해 형성된 라인(17, 22)과 소통한다. 원통형 커버(45)를 통과하며 실린더 공간의 외부에 위치되는 피스톤 로드(29)의 단부의 전방측에서 라인(19, 25)이 개방되어 따라서 대기에 연결되며 대기압을 받기 때문에, 라인(17, 22)도 마찬가지로 대기압을 받는다. 길이방향으로 연장하며 채널에 의해 형성되는 라인(46, 47)이 도 11의 우측 도면에 도시된 피스톤 로드(29)내에 배치되어 있다. 도 11의 우측 도면에 도시된 미끄럼 블럭내에 배치되는 채널(도면에 도시되지 않음) 및 우측의 고정 블럭(32)에 배치되는 채널을 통해, 상기 라인(46, 47)은, 라인(50, 51)을 형성하며 길이방향으로 캐리어 유닛(6)을 관통하는 채널과 소통한다. 라인(50, 51)은 캐리어 유닛(6)내의 피스톤(8) 양측의 실린더 공간으로 개방되어 있다. 라인(46, 47)에 압축 공기를 가하고 라인(46, 47)으로부터 압축 공기를 교대로 배출시킴으로써(라인(46, 47)에 연결된 압축 공기 라인(도면에 도시되지 않음)을 통해) 피스톤(8)은 실린더 보어 구멍(7)내에서 변위될 수 있고, 이들 라인(46, 47)은 원통형 커버(45)로부터 빠져나오는 피스톤 로드(29)의 단부의 전방측에서 개방되어 있다.

도 1, 도 2 및 도 3은, 개구부(2)가 완전히 개방되고 밸브판이 벽(1)으로부터 이격되어 있는 상태인 밸브판(3)의 개방 위치를 도시한다. 이 위치로부터 시작하여, 피스톤 실린더 유닛(30)의 피스톤(36)은 개구부(2)를 폐쇄하기 위한 라인(38)(라인(37)은 비워짐)을 통해 압축 공기에 의해 초기에 작동하고, 밸브판이 개구부(2)에 대향하여 놓이고 따라서 개구부가 개구부의 길이방향 축(39) 방향으로 덮일 때까지 캐리어 유닛(6)은 도면에 대해 위쪽으로 변위된다. 그러나, 밸브판(3)은 여전히 벽(1)으로부터 이격되어 있다. 그리고 나서 압축 공기가 라인(46)(라인(47)은 비워짐)에 가해지고, 피스톤(8)의 우측에 위치된 실린더 공간이 라인(50)을 통해 작동하므로, 따라서 피스톤(8) 및 밸브판(3)은 벽(1) 방향(길이방향 축(39) 방향과 평행인 방향)으로 변위되고, 밸브판(3)은 벽(1)에 대해 가압되고, 그 때에 도 4 내지 도 11에 도시된 폐쇄 상태에 도달하였다.

도 1 내지 도 11에 도시된 실시형태에 있어서, 폐쇄 장치는 진공 밸브의 일부를 형성한다. 이러한 목적으로, 하나 이상의 개구부(2)를 갖는 벽(1)은 진공 밀폐식으로 벽(52)에 연결되어 있고, 이 벽(52)은 밸브판 및 캐리어 유닛속으로벽(1)을 통해 돌출하며 또한 이 벽(52)은 프레임 방식으로 밸브판 및 캐리어 유닛을 둘러싼다. 벽(1, 52)은 서로 일체로 형성되도록 구성될 수 있다. 벽(52)은 밸브의 진공 영역을 형성하고, 피스톤 실린더 유닛(30)의 피스톤 로드(29)는 이 벽(52)의 개구부(53)를 관통하며, 각각의 개구부는 실린더 하우징(35)에 의해 폐쇄된다. 예를 들어 진공실에 이러한 진공 밸브를 연결하기 위한 플랜지는 도면에 도시되어 있지 않으며 또한 종래의 방식으로 구성될 수 있다.

한편, 벽(1)은 쉽게 진공실의 벽이 될 수 있거나 또는 2개의 진공실 사이의 중간벽이 될 수 있다. 후자의 경우, 본 발명에 따른 폐쇄 장치는 2개의 진공실 사이에 전달 밸브를 형성할 수 있다. 이러한 경우, 피스톤 로드(29)는, 예를 들어 밸브판 및 캐리어 유닛(6)이 도 1 내지 도 11에 도시된 방식으로 배치되어 있는 진공실로부터 진공 밀폐식으로 안내될 수 있다.

원칙적으로, 피스톤 실린더 유닛(30)은 진공 시설의 진공 영역에 배치될 수 있다. 그러한 경우, 각각의 원통형 커버(45)와 각각의 피스톤 로드(29) 사이에 배치된 2개의 밀폐 링이 또한 원통형 커버(45)를 통해 피스톤 로드(29)를 안내하기 위해 각각의 경우에 제공될 수 있고, 대기에 연결된(또는 펌프 장치에 의해 비워진) 라인이 2개의 밀폐 링에 의해 형성된 공간으로 도입된다. 이 경우, 대기에 연결된 대응하는 연장 라인은, 피스톤 로드(29) 및 실린더 하우징(35)을 통과하며 대기에 연결될 라인에 연결되어야 한다.

라인(37, 38) 및 라인(46, 47)에 연결된 압축 공기 라인 및 관련 제어 밸브도 도면에 도시되어 있지 않다. 이들 공기 라인 및 제어 밸브는 종래의 방식으로 구성될 수 있고, 예를 들어 연속 제어 방식으로 메모리 프로그램 제어 장치에 의해 제어될 수 있다.

라인(17, 22, 43)을 대기에 연결하는 대신에, 이들 라인은 펌프 장치(펌프 장치를 라인(19, 25)에 연결함으로써 라인(17, 22)을 위해 실시됨)에 의해 또한 펌핑될 수 있거나 또는 비워질 수 있다. 이러한 전달 밸브가 사용되는 진공 시설의 크기 및 이용가능한 펌핑 용량으로 인해 적은 양의 동반된 가스가 일반적으로 효과가 없기 때문에, 일반적으로 이러한 방식으로 라인(17, 22, 43)을 비울 필요는 없고, 특히 2개의 진공실 사이에 전달 밸브의 폐쇄 유닛을 사용하는 경우에 비울 필요가 없다.

본 발명의 또 다른 실시형태가 도 12 내지 도 15에 도시되어 있다. 상술한 실시형태와는 대조적으로, 이 경우에 벽(1)에는 다수의 슬롯형 개구부(2)가 형성되어 있다. 도 12 내지 도 15의 유사 부분은 도 1 내지 도 11에서와 동일한 도면 부호로 표시되어 있다. 용어 '슬롯형 개구부'는 길이가 폭보다 3배 이상으로 긴 개구부를 의미한다. 본 발명에 따른 폐쇄 장치는 이러한 종류의 다수의 슬롯형 개구부(2)를 폐쇄하는데 특히 적절하다. 이러한 목적으로, 각각 밸브판(3)을 운반하는 대응하는 양의 캐리어 유닛(6)만을 제공할 필요가 있다. 이러한 경우, 안내 레일(34)은 개구부(2)를 갖는 벽(1)의 높이 및 최하 개구부(2) 아래에 위치된 부분을 통해 연장한다. 미끄럼 블럭(33)은 최상 개구부(2)로부터 최하 개구부(2)까지 연장하는 길이를 갖고, 다수의 캐리어 유닛(6)은 2개의 미끄럼 블럭(33)에 고정되어 있으며, 캐리어 유닛(6) 사이의 거리는 개구부(2) 사이의 거리와 일치한다. 이러한 방식으로, 캐리어 유닛(6)은 벽(1)에 평행인 평면에서 피스톤 실린더 유닛(30)에 의해 동시에 변위될 수 있다. 그 개방 위치에서, 밸브판은 개구부(2) 사이의 벽 부분의 전방에 놓인다. 캐리어 유닛(6) 및 피스톤 실린더 유닛(30)은 도 1 내지 도 11에 따른 실시형태와 동일한 방식으로 구성될 수 있다.

도 16은 본 발명의 변형예를 도시한다. 이러한 경우, 캐리어 유닛(6)에 대해 피스톤 로드(9)를 밀폐하기 위해 캐리어 유닛(6)의 보어 구멍의 홈에는 하나의 밀폐 링(20)만이 배치되어 있다. 이러한 목적으로 벨로우즈(54)가 배치되어 있다. 벨로우즈(54)의 일단부는 진공 밀폐식으로 되도록 캐리어 유닛(6)에 연결되어 있고 다른 단부는 진공 밀폐식으로 되도록 피스톤 로드(9)(또는 밸브판(3))에 연결되어 있다. 대기에 연결되거나 또는 펌프 장치에 의해 비워지는 라인(22)이 밀폐 링(20) 및 벨로우즈(54)에 의해 둘러싸인 공간으로 도입된다.

실린더 하우징(35)으로부터 피스톤 로드(29)를 안내하기 위한 유사한 구조도 가능하다.

본 발명의 또 다른 구조적 변형예가 도 17에 도시되어 있다. 피스톤(8)은 스프링(55)에 의해 변위 방향, 즉, 벽(1)으로부터 밸브판(3)을 이격시키는 방향으로 작동된다. 피스톤(8)은 전술한 바와 같이 압축 공기를 실린더 공간(56)으로 유입시킴으로써 다른 방향으로 작동되므로, 피스톤은 스프링력에 대항하는 다른 방향(도 17의 좌측)으로 변위된다. 스프링(55)이 배치되어 있는 실린더 공간에압축 공기를 가할 필요가 없기 때문에, 이 실린더 공간은 영구적으로 대기에 연결될 수 있거나 또는 (도 9의 라인(51)과 일치하는 라인에 의해)비워질 수 있다. 밀폐 링(20) 및 라인(22)은 또한 이러한 경우에 불필요할 수 있다.

유사한 방식에 있어서, 피스톤 실린더 유닛(30)의 피스톤(36)은 스프링에 의해 일방향으로 또한 작동될 수 있다. 이 방향이 도면에서 아래 방향인 경우, 피스톤(36) 위에 위치된 실린더 공간은 영구적으로 대기에 연결될 수 있거나 또는 비워질 수 있고, 그러한 경우, 밀폐 링(42) 및 라인(43)은 또한 원칙적으로 생략될 수 있다.

상술한 바와 같이, 본 발명의 분야는 본원에 설명된 실시형태에 제한되지 않지만, 가능한 등가의 모든 범위와 함께 첨부된 청구항을 참고로 하여 다소 한정되어야 한다.

본 발명에 따라, 수리하기 용이하고 누설의 위험이 감소되며 다수의 슬롯형 개구부를 폐쇄하는데 특히 적절한 폐쇄 장치가 제공될 수 있다.

Claims

벽(1)내의 하나 이상의 개구부(2)를 진공 폐쇄하기 위한 폐쇄 장치로서, 이 폐쇄 장치는, 개구부를 해제하는 개방 위치, 개구부를 덮지만 벽으로부터 이격되어 있는 위치, 및 개구부를 덮고 벽과 접촉하는 폐쇄 위치 사이에서 변위가능하며 각각의 개구부와 결합되어 있는 밸브판(3),

상기 개방 위치와 상기 개구부(2)를 덮지만 벽으로부터 이격되어 있는 위치 사이에서 상기 밸브판(3)을 변위시키는 작용을 하는 하나 이상의 피스톤 실린더 유닛(30)으로서, 실린더 하우징(35)내에 배치되고 보어 구멍을 통해 실린더 하우징(35)으로부터 안내되는 피스톤 로드(29)를 갖는 공압 작동 피스톤(36)을 구비하는 상기 하나 이상의 피스톤 실린더 유닛(30), 및

하나 이상의 피스톤 실린더 유닛(30)의 피스톤 로드(29)에 연결되고 각각의 밸브판(3)에 결합되어 있는 하나 이상의 캐리어 유닛(6)을 포함하고,

상기 하나 이상의 캐리어 유닛(6)은 공압 작동 피스톤(8)이 배치되어 있는 하나 이상의 실린더 보어 구멍(7)을 갖고, 이 공압 작동 피스톤(8)은 개구부(2)를 덮지만 벽으로부터 이격되어 있는 위치와 폐쇄 위치 사이에서 상기 밸브판(3)을 변위시키는 작용을 하고, 또한 이 공압 작동 피스톤(8)에는 보어 구멍을 통해 캐리어 유닛으로부터 안내되는 피스톤 로드(9)가 설치되어 있으며, 이 피스톤 로드(9)에는 상기 밸브판(3)이 고정되어 있고,

상기 하나 이상의 캐리어 유닛의 하나 이상의 실린더 보어 구멍(7)은 제거가능한 커버(11)에 의해 폐쇄되고, 이 커버(11)와 캐리어 유닛(6) 사이에는 2개 이상의 밀폐 링(15, 16)이 배치되어 있으며, 이들 2개의 밀폐 링(15, 16)에 의해 둘러싸인 공간에는 대기에 연결되거나 또는 비워질 수 있는 라인(17)이 도입되는 폐쇄 장치.
제 1 항에 있어서, 상기 라인(17)은 캐리어 유닛(6) 및 그리고 나서 피스톤 유닛(30)의 피스톤 로드(29)를 통해 안내되는 채널로서 형성되고, 상기 피스톤 로드(9)는 캐리어 유닛에 연결되거나 또는 이들 피스톤 로드(29)중 하나의 피스톤 로드를 통해 안내되는 것을 특징으로 하는 폐쇄 장치.
제 1 항에 있어서, 상기 커버(11)내에는 피스톤 로드(9)가 통과하는 보어 구멍(12)이 배치되어 있고, 이 커버(11)와 피스톤 로드(9) 사이에는 2개 이상의 밀폐 링(26, 27)이 배치되어 있고, 이들 2개의 밀폐 링(26, 27)에 의해 둘러싸인 공간에는 대기에 연결되거나 또는 비워질 수 있는 라인(28)이 도입되는 것을 특징으로 하는 폐쇄 장치.
제 3 항에 있어서, 상기 피스톤 로드(9)는, 피스톤(8)을 관통하며 커버(11)내의 보어 구멍을 통해 안내되는 슬리브(13), 및 이 슬리브(13)를 관통하며 밸브판(3)내의 나사 보어 구멍속으로 체결되는 볼트를 갖는 것을 특징으로 하는 폐쇄 장치.
제 1 항에 있어서, 하나 이상의 캐리어 유닛(6)내에 배치되며 캐리어 유닛(6)의 보어 구멍(10)을 통해 캐리어 유닛(6)으로부터 안내되는 하나 이상의 피스톤(8)의 피스톤 로드는, 캐리어 유닛(6)에 배치된 2개 이상의 밀폐 링(20, 21)에 의해 밀폐되거나, 또는 캐리어 유닛에 배치된 밀폐 링(20) 및 캐리어 유닛(6)과 피스톤 로드(9) 또는 밸브판(3) 사이에 있는 벨로우즈(54)에 의해 밀폐되고, 이들 2개의 밀폐 링(20, 21)에 의해 둘러싸인 공간 또는 밀폐 링(20) 및 벨로우즈(54)에 의해 둘러싸인 공간에는 대기에 연결되거나 또는 비워질 수 있는 라인이 도입되는 것을 특징으로 하는 폐쇄 장치.
제 1 항에 있어서, 하나 이상의 캐리어 유닛에 도입되는 모든 라인은 캐리어 유닛 및 그리고 나서 피스톤 실린더 유닛(30)의 피스톤 로드(29)를 통해 안내되는 채널로서 구성되고, 그 피스톤 로드(29)는 캐리어 유닛에 연결되거나 또는 이들 피스톤 로드중 하나의 피스톤 로드를 통해 연결되는 것을 특징으로 하는 폐쇄 장치.
제 1 항에 있어서, 보어 구멍(40)을 통해 안내되며, 실린더 하우징(35)에 대해 하나 이상의 캐리어 유닛(6)을 변위시키기 위한 하나 이상의 피스톤 실린더 유닛(30)의 피스톤 로드(29)는, 실린더 하우징에 배치된 2개 이상의 밀폐 링(41, 42)에 의해 밀폐되거나, 또는 실린더 하우징에 배치된 밀폐 링(42) 및 실린더 하우징(35)과 피스톤 로드(29) 사이에 있는 벨로우즈(54)에 의해 밀폐되고, 이들 2개의 밀폐 링(41, 42)에 의해 둘러싸인 공간 또는 밀폐 링(42) 및 벨로우즈에 의해 둘러싸인 공간에는 대기에 연결되거나 또는 비워질 수 있는 라인(43)이 도입되는 것을 특징으로 하는 폐쇄 장치.
제 1 항에 있어서, 상기 폐쇄 장치는 다수의 슬롯형 개구부(2)를 폐쇄하기 위한 다수의 밸브판(3)을 갖고, 모든 밸브판에 대해 바아형 캐리어 유닛(6)이 제공되어 있으며, 이 캐리어 유닛(6)은 캐리어 유닛(6)을 함께 변위시키는 2개 이상의 피스톤 실린더 유닛(30)의 피스톤 로드(29)에 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 폐쇄 장치.
제 1 항에 있어서, 상기 하나 이상의 개구부(2)를 갖는 벽(1)에는 하나 이상의 밸브판(3) 및 하나 이상의 캐리어 유닛(6)을 둘러싸며 진공 영역을 형성하는 벽(52)이 진공 밀폐식으로 연결되어 있고, 이 벽(52)은, 피스톤 실린더 유닛(30)의 실린더 하우징(35)에 의해 진공 밀폐식으로 폐쇄되며 하나 이상의 피스톤 실린더 유닛(30)의 피스톤 로드(29)를 위한 하나 이상의 관통 개구부(53)를 갖는 것을 특징으로 하는 폐쇄 장치.
제 1 항에 있어서, 상기 하나 이상의 캐리어 유닛(6)은 벽에 평행한 방향으로 변위될 수 있도록 안내 부재를 통해 안내되고, 이 안내 부재는 하나 이상의 캐리어 유닛(6)이 벽에 수직인 방향으로 변위되는 것을 억제하는 것을 특징으로 하는폐쇄 장치.
제 10 항에 있어서, 상기 캐리어 유닛의 양측은, 안내 레일(34)의 길이방향으로 변위가능하지만 안내 레일로부터는 상승될 수 없는 미끄럼 블럭(33)에 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 폐쇄 장치.
제 1 항에 있어서, 상기 벽(1)은 진공실의 일부이거나 또는 다수의 진공실의 일부인 것을 특징으로 하는 폐쇄 장치.
제 1 항 내지 제 11 항중 어느 한 항에 따른 폐쇄 장치를 갖는 진공 밸브로서, 하나 이상의 개구부를 갖는 벽은 밸브체의 일부를 형성하는 진공 밸브.