KR20040017479A - Photoresist bottle cap - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 포토레지스트 수용용기의 캡에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 포토레지스트 공급라인의 꺽임현상과 N2가스의 누출현상을 방지하여 원활하게 포토레지스트를 공급할 수 있음은 물론 수용용기의 교체작업또한 용이하게 행할 수 있는 포토레지스트 수용용기의 캡에 관한 것이다.The present invention relates to a cap of a photoresist container, and more particularly, it is possible to smoothly supply a photoresist by preventing bending of the photoresist supply line and leakage of N2 gas, as well as easy replacement of the container. It relates to a cap of a photoresist container that can be performed.
일반적으로, 포토리소그라피공정은 일련의 반도체 제조공정이 선행된 웨이퍼를 코팅장치의 스핀척(Spin chuck)상에 위치시켜 포토레지스트(Photoresist)를 코팅(Coating)하는 공정을 포함한다.In general, a photolithography process involves coating a photoresist by placing a wafer preceded by a series of semiconductor manufacturing processes on a spin chuck of a coating apparatus.
여기서, 포토레지스트는 레진(Resin)과 빛에 의해서 활성화가 이루어지는 감응제로서의 인히비터(Inhibitor)와 액상(Liquid state)의 용제(Solvent)를 포함하여 이루어지며, 이러한 포토레지스트는 유리병으로 된 수용용기에 수용된 상태에서 수용용기 캡에 결합되는 포토레지스트 공급관(테프론 튜브)을 통해 포토레지스트 공급라인으로 공급되며, 이와같이 포토레지스트 공급라인으로 공급된 포토레지스트는 다수의 밸브와 중간탱크를 경유하여 코팅장치에 공급된다.Here, the photoresist comprises an inhibitor as a sensitizer activated by resin and light and a solvent in a liquid state, and the photoresist is contained in a glass bottle. The photoresist supplied to the photoresist supply line is supplied to the photoresist supply line through a photoresist supply pipe (Teflon tube) coupled to the container cap in a state of being accommodated in the container. Supplied to.
도 1은 종래 포토레지스트 수용용기와 캡의 결합구조를 보인 측단면도를 도시하였다.1 is a side cross-sectional view showing a coupling structure of a conventional photoresist container and a cap.
도시된 바와같이 포토레지스트 수용용기(200)는 상부에 캡(100)이 결합되는 구조를 갖되, 이러한 캡(100)에는 N2가스 공급구(110)와 포토레지스트 공급관(120)이 구비되며, 캡(100)의 내경에 형성된 나사산을 통해 수용용기(200)에 나사결합된다.As shown, the photoresist container 200 has a structure in which the cap 100 is coupled to the upper portion, and the cap 100 is provided with an N 2 gas supply port 110 and a photoresist supply pipe 120. It is screwed to the receiving vessel 200 through the thread formed in the inner diameter of (100).
하지만, 종래 포토레스트 수용용기(200)의 캡(100)는 하기와 같은 문제점을 갖는 것인데,However, the cap 100 of the conventional photorest container 200 is to have the following problems,
첫째, 수용용기(200)내의 포토레지스트가 모두 소모되어 교체할 경우,캡(100)과 수용용기(200)의 분리를 위해 캡(100)을 회전시키면, 이로인해 캡(100)에서부터 연장되는 포토레지스트 공급관(120)과 관연결되는 포토레지스트 공급라인(130)의 임의의 부분에 꺽임현상이 발생됨에 따라 수용용기(200)를 교체한 후에는 포토레지스트의 공급이 원활이 이루어지지 않고, 이와같은 꺽임현상이 일어난 부위는 수용용기(200)의 교체시마다 계속해서 꺽이게 되므로 심하게는 공급라인(130)의 파손현상이 발생된다.First, when all of the photoresist in the container 200 is consumed and replaced, when the cap 100 is rotated to separate the cap 100 and the container 200, the photo extending from the cap 100 due to this As the bending phenomenon occurs in any portion of the photoresist supply line 130 connected to the resist supply pipe 120, after the container 200 is replaced, the supply of the photoresist is not smoothly performed. The portion where the bending phenomenon occurs is continuously bent every time the replacement of the receiving container 200, the severely damage of the supply line 130 occurs.
이러한 현상들은 포토레지스트를 오염시키는 요인으로 작용하므로 포토레지스트에 파티클(PARTICLE)이 유입되거나, 공급라인(130)의 꺽임으로 인한 기포유입 및 포토레지스트의 정량 토출이 불가하므로 포토레지스트 코팅공정을 원활히 수행할 수 없게 된다.Since these phenomena act as a contaminating factor of the photoresist, particles (PARTICLE) are introduced into the photoresist, or the inflow of bubbles due to the bending of the supply line 130 and the quantitative discharge of the photoresist are impossible, so the photoresist coating process is smoothly performed. You will not be able to.
둘째, 수용용기(200)에 나사결합되는 캡(100)을 장기간 사용할 경우 나사결합부위가 마모되어 수용용기(200)의 교체시 N2가스 공급구(110)를 통해 공급되는 N2가스가 외부로 누출되는 문제점이 발생된다.Second, when the cap 100 screwed to the receiving container 200 is used for a long time, the screwing part is worn and the N2 gas supplied through the N2 gas supply port 110 leaks to the outside when the receiving container 200 is replaced. The problem arises.
이와같이 수용용기(200)의 교체시마다 N2가스 공급구(110)에 별도의 N2가스공급관(140)을 연결하여 수용용기(200)내부에 유입되며 압력을 가해 중간탱크(도면에 미도시됨.)까지 포토레지스트를 보내는 역할을 하는 N2가스가 누출됨에 따라 수용용기(200)의 교체작업에 상당한 어려움을 갖게 되며, 이로인해 교체작업에 많은 시간이 소요되는 문제점을 야기시키게 된다.In this way, each time the replacement of the container 200 is connected to a separate N2 gas supply pipe 140 to the N2 gas supply port 110 flows into the inside of the container 200, applying a pressure to the intermediate tank (not shown in the figure.) As the N2 gas, which serves to send the photoresist, leaks, there is a considerable difficulty in the replacement operation of the accommodation container 200, thereby causing a problem that takes a long time for the replacement operation.
이에, 본 발명은 전술한 종래 포토레지스트 수용용기의 캡이 갖는 제반적인문제점을 해결하고자 창안된 것으로,Accordingly, the present invention was devised to solve the general problems of the cap of the conventional photoresist container,
본 발명의 목적은 포토레지스트 공급라인의 꺽임현상과 N2가스의 누출현상을 방지하여 원활하게 포토레지스트를 공급할 수 있음은 물론 수용용기의 교체작업또한 용이하게 행할 수 있는 포토레지스트 수용용기의 캡을 제공함에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a cap of a photoresist container, which can smoothly supply a photoresist as well as prevent the bending of the photoresist supply line and the leakage of N2 gas, as well as the replacement of the container. Is in.
도 1은 종래 포토레지스트 수용용기와 캡의 결합구조를 보인 측단면도이다.1 is a side cross-sectional view showing a coupling structure of a conventional photoresist container and a cap.
도 2는 본 발명에 따른 포토레지스트 수용용기 캡의 측단면도이다.2 is a side cross-sectional view of a photoresist container cap according to the present invention.
도 3은 본 발명에 따른 캡이 포토레지스트 수용용기에 결합된 상태를 보인 측단면도이다.Figure 3 is a side cross-sectional view showing a state in which the cap according to the present invention is coupled to the photoresist container.
<도면주요부위에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for major parts of drawing>
1 : 캡2 : N2가스 공급구1: cap 2: N2 gas supply port
3 : 밀봉베어링4 : 포토레지스트 공급관3: sealing bearing 4: photoresist supply pipe
5 : 링홈6 : 클램프형 체결구5: ring groove 6: clamp type fastener
7 : 수용용기11 : 연장부7: receiving container 11: extension part
21 : N2가스 공급관41 : 포토레지스트 공급라인21: N2 gas supply pipe 41: Photoresist supply line
51 : 밀폐링51: sealing ring
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 구체적인 수단으로는;As a specific means of the present invention for achieving the above object;
N2가스공급구가 내부와 연통되게 관삽되는 본체의 상부에 밀봉베어링을 내설하여 포토레지스트 공급관을 밀봉베어링을 통해 수직구조로서 설치하고,Install the photoresist supply pipe as a vertical structure through the sealing bearing by installing a sealing bearing on the upper part of the main body through which the N2 gas supply port is connected to communicate with the inside,
본체의 내경에는 밀폐링이 설치되는 다수의 링홈을 형성하며, 본체의 하부를 연장형성한 연장부의 외둘레에는 클램프형 체결구가 설치되는 포토레지스트 수용용기의 캡을 구비하므로서 달성된다.The inner diameter of the main body is formed by forming a plurality of ring grooves are provided with a sealing ring, the outer periphery of the extension extending to form the lower portion of the main body is achieved by having a cap of the photoresist receiving container is installed a clamp-type fastener.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부도면에 의거 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 2는 본 발명에 따른 포토레지스트 수용용기 캡의 측단면도이고, 도 3은 본 발명에 따른 캡이 포토레지스트 수용용기에 결합된 상태를 보인 측단면도이다.Figure 2 is a side cross-sectional view of the photoresist container cap according to the present invention, Figure 3 is a side cross-sectional view showing a state in which the cap according to the present invention is coupled to the photoresist container.
이에 도시된 바와같이 본 발명의 수용용기 캡(1)은 그 상부에 관삽되는 N2가스공급구(2)에 N2가스공급관(21)이 고정설치되고, 본체의 상부에 내설되는 밀봉베어링(3)을 통해 포토레지스트 공급관(4)이 설치되며, 캡 본체의 내경에는 밀폐링(51)이 설치되는 다수의 링홈(5)이 형성되고, 본체의 연장부(11)에는 클램프형 체결구(6)가 설치되는 구성을 특징으로 한다.As shown in the container container cap 1 of the present invention, the N2 gas supply pipe 21 is fixed to the N2 gas supply port 2 inserted into the upper portion thereof, and the sealing bearing 3 is installed in the upper portion of the main body. Through the photoresist supply pipe 4 is installed, a plurality of ring grooves 5 are formed in the inner diameter of the cap body, the sealing ring 51 is installed, the clamp type fastener 6 in the extension portion 11 of the body Characterized in that the configuration is installed.
여기서, 본 발명의 캡(1)은 도 2에서와 같이 통상의 마개형상을 취하되, 상부면에 밀봉베어링((3)SEALED BEARING)을 내설하여 이 밀봉베어링(3)을 통해 포토레지스트 공급관(4)을 설치하고, 이러한 밀봉베어링(3)의 일측에는 N2가스공급구(2)를 수직된 구조로서 관삽하며, 이때 포토레지스트 공급관(4)은 도 2에서와 같이 후술하게 될 수용용기(7) 내부에 담겨질 수 있도록 본체의 상부를 관통한 상태에서 소정길이로서 본체 하부에 돌출되고, 밀봉베어링(3)은 구름 베어링 또는 볼 베어링의 양쪽 측면에 밀봉판(密封板)을 고정시켜 밀폐력을 향상시킨 것이다.Here, the cap (1) of the present invention takes the normal plug shape as shown in Figure 2, the sealing bearing (3) SEALED BEARING on the upper surface is built in the photoresist supply pipe (3) through the sealing bearing (3) 4) and the N2 gas supply port 2 is inserted into one side of the sealing bearing 3 as a vertical structure, and the photoresist supply pipe 4 is to be described later as shown in FIG. ) Protrudes below the main body at a predetermined length while penetrating the upper part of the main body so as to be contained therein, and the sealing bearings 3 secure the sealing plate by fixing the sealing plates on both sides of the rolling bearing or the ball bearing. It is.
또한, 밀봉베어링(3)을 통해 본체에 설치되는 포토레지스트 공급관(4)은 밀봉베어링(3)과의 결합부위에 밀폐력을 향상시키기 위해 시일(패킹) 등을 설치함이 바람직하며, 캡(1) 본체또한 그 구성재질로써 밀폐력이 향상될 수 있도록 연질의 합성수지재를 적용함이 바람직하다.In addition, the photoresist supply pipe (4) installed in the main body through the sealing bearing (3) is preferably provided with a seal (packing) or the like in order to improve the sealing force in the coupling portion with the sealing bearing (3), cap 1 ) It is preferable to apply a soft synthetic resin material to improve the sealing force as the body material also.
한편, 캡 본체의 내경에는 도 2에서와 같이 다수의 링홈(5)을 소정의 간격으로 이격형성하여 링홈(5)을 통해 밀폐링(51)을 설치하고, 이러한 본체의 하부를 연장형성한 연장부(11)의 외둘레에는 클램프형 체결구(6)가 설치된다.On the other hand, in the inner diameter of the cap body as shown in Figure 2 to form a plurality of ring grooves 5 at predetermined intervals to install a sealing ring 51 through the ring groove 5, the extension of the lower portion of the body is formed Clamp-type fasteners 6 are provided on the outer circumference of the portion 11.
이때, 클램프형 체결구(6)는 도 2에서와 같이 연장부(11) 외둘레에 권취되는 밴드의 일단과 타단을 원터치방식으로 체결 및 해제할 수 있는 통상의 밴드 클램프를 적용하되, 이러한 체결구(6)는 도시된 실시예에 한정되지 않고 이와 동일한 방식으로 작동되는 것을 적용할 수 있다.At this time, the clamp-type fastener 6 is applied to the conventional band clamp that can be fastened and released one end and the other end of the band wound around the outer portion of the extension 11 as shown in Figure 2, such fastening The sphere 6 is not limited to the illustrated embodiment but may be applied to operate in the same manner.
이에, 상기와 같은 구성을 갖는 본 발명에 따른 캡(1)이 포토레지스트 수용용기(7)에 결합되는 상태와 이에따른 각 구성요소간의 상호작용에 대하여 살펴보면;Thus, when the cap (1) according to the present invention having the configuration described above is coupled to the photoresist container (7) and look at the interaction between each component accordingly;
이는 도 3에 도시된 바와같이 나사산이 외둘레에 형성되는 수용용기(7)의 상부가 캡(1)의 내경에 수용되도록 끼우는 방식으로 삽입하되, 캡(1) 본체의 내경에 설치되는 다수의 밀폐링(51)은 수용용기(7)에 형성되는 나사산에 끼워지는 형태로서 고정됨에 따라 1차적인 밀폐가 이루어지고,It is inserted in such a way that the upper portion of the receiving container (7), the thread is formed on the outer periphery as shown in Figure 3 so as to be accommodated in the inner diameter of the cap (1), a plurality of As the sealing ring 51 is fixed in the form of being fitted to the thread formed in the receiving container (7), the primary sealing is made,
이후, 본체의 연장부(11)에 설치된 클램프형 체결구(6)를 체결고정하여 연장부(11)의 내면이 수용용기(7)에 밀착되게하는 2차적인 밀폐가 이루어지게 하므로서 수용용기(7)와 캡(1)의 결합이 완성된다.Thereafter, the clamp-type fastener 6 installed in the extension part 11 of the main body is fastened and fixed to allow the inner surface of the extension part 11 to be in close contact with the accommodating container 7 so that the accommodating container ( 7) and the combination of the cap (1) is completed.
이때, 일단에 N2가스공급관(21)이 연결고정되는 N2가스공급구(2)의 타단은 수용용기(7)의 내부에 소정부분이 삽입되며, 포토레지스트 공급관(4)은 도 3에서와 같이 캡(1) 본체의 상부에 돌출되는 일단에 별도의 유니언을 통해 포토레지스트 공급라인(41)과 연결되고, 타단은 수용용기(7) 내부 바닥면에 근접되는 위치까지 삽입된다.At this time, the other end of the N2 gas supply port 2 to which the N2 gas supply pipe 21 is fixed at one end is inserted into a portion of the receiving container 7, and the photoresist supply pipe 4 is as shown in FIG. 3. The cap 1 is connected to the photoresist supply line 41 through a separate union at one end protruding from the upper portion of the main body, and the other end is inserted to a position close to the bottom surface of the receiving container 7.
따라서, 상기와 같이 결합이 완성된 본 발명의 캡(1)은 다수의 밀폐링(51)과 클램프형 체결구(6)를 통해 1,2차에 걸쳐 수용용기(7)에 견고히 밀폐고정됨에 따라 N2가스공급구(2)를 통해 공급되는 N2가스가 누출되는 것을 최소화할 수 있고,Therefore, the cap (1) of the present invention, the coupling is completed as described above is tightly fixed to the receiving container (7) through the first and second through a plurality of sealing rings 51 and the clamp-type fastener (6) Therefore, it is possible to minimize the leakage of N2 gas supplied through the N2 gas supply port (2),
N2가스공급구(2)의 일단에는 N2가스공급관(21)이 연결고정되어 있어, 기존과 같이 수용용기(7)의 교체시마다 N2가스를 공급하기 위해 N2가스공급관(21)을 N2가스공급구(2)에 연결해야하는 번거로움없이 별도의 S/W를 통한 제어에 의해 N2가스를 공급하게 된다.The N2 gas supply pipe 21 is fixed at one end of the N2 gas supply port 2 so that the N2 gas supply pipe 21 is supplied to the N2 gas supply port 21 so as to supply N2 gas every time the container 7 is replaced as before. N2 gas is supplied by control through separate S / W without the need to connect to (2).
또한, 포토레지스트 공급관(4)은 밀봉베어링(3)을 통해 캡(1) 본체에 설치되므로 수용용기(7)의 교체시 캡(1)을 회전시키더라도 밀봉베어링(3)이 공회전함에 따라 기존과 같이 포토레지스트 공급라인(41)이 꺽이거나 이로인해 파손되는 현상을 원천적으로 방지할 수 있고, 캡(1)에 설치된 상태에서 꺽임없이 자유자재로 회전할 수 있으므로 포토레지스트 공급라인(41)의 위치에 제약없이 연결할 수 있는 것이다.In addition, since the photoresist supply pipe (4) is installed in the cap (1) main body through the sealing bearing (3), even when the cap (1) is rotated when the container (7) is replaced, as the sealing bearing (3) is idle As described above, the photoresist supply line 41 can be prevented from being broken due to the bending or the like, and can be freely rotated without being bent in the state where the photoresist supply line 41 is installed in the cap 1. You can connect without restriction.
이상과 같이 본 발명에 따른 포토레지스트 수용용기의 캡은 본체에 밀봉베어링을 내설하여 이 밀봉베어링을 통해 포토레지스트 공급관을 설치하므로서, 수용용기의 교체시 캡이 회전하거나 위치변경되더라도 포토레지스트 공급관이 결합되는 밀봉베어링이 공회전됨에 따라 포토레지스트 공급라인이 꺽이는 현상을 방지할 수 있고, 이에따라 정량의 포토레지스트를 토출할 수 있으므로 포토레지스트 코팅공정을 원활히 수행할 수 있으며,As described above, the cap of the photoresist container according to the present invention has a sealed bearing installed in the main body to install the photoresist supply pipe through the sealed bearing, so that the photoresist supply pipe is coupled even when the cap is replaced or rotated when the container is replaced. As the sealing bearing is idle, the photoresist supply line can be prevented from being broken, and accordingly, the photoresist coating process can be smoothly discharged, and the photoresist coating process can be smoothly performed.
다수의 밀폐링과 클램프용 체결구에 의해 캡과 수용용기를 이중밀폐함에 따라 N2가스의 누출현상을 최소화할 수 있어, 수용용기의 교환시간을 단축할 수 있으므로 그만큼 작업성을 향상시킨 효과가 있다.The double sealing of the cap and the container by a plurality of sealing rings and clamp fasteners can minimize the leakage of N2 gas, thereby reducing the replacement time of the container, thereby improving workability. .
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