KR200311419Y1 - 엘씨디 기판 이송롤러장치 - Google Patents

Abstract

본 고안은, 기판에 공급되는 세정액이 일방향으로 흐르도록 하는 엘씨디 기판 이송롤러장치에 관한 것이다.

특히, 회전하는 샤프트의 양측으로 설치된 가이드롤러가 베어링롤러를 개재하여 기판을 이송시킬수 있도록 한 반도체제조장치의 기판 이송롤러장치에 관한 것으로써, 더욱 상세하게는 상기 샤프트의 양단부에 결합되어 외주연이 만곡 형성되는 지지베어링이 소정각도 유동토록 결합되는 지지대로서 이루어지는 이송지지부와, 상기 샤프트에 의해 이송되는 기판의 측면을 지지토록 가드축을 중심으로 회전되는 가드베어링이 구비되는 가드지지부를 포함하는 구성으로 이루어진다.

이에따라, 이송지지부에 의해 기판이 일정각도 기울어져 이송됨으로서 상기 기판에 분사된 세정액이 기판의 경사면을 따라 흐르게 되어 미스트와 같은 불순물이 기판에 재부착 되는 일이 없이 신속하게 세정될 수 있는 엘씨디 기판 이송롤러장치를 제공한다.

Description

엘씨디 기판 이송롤러장치{transfer roller system for LCD borad }

본 고안은 엘씨디 기판을 이송시킬수 있도록 상기 샤프트의 양측에 설치된 가이드롤러 사이에 베어링롤러를 개재하여 된 엘씨디 기판 이송롤러장치에 관한 것으로서, 내측으로 상기 샤프트의 양단부에 결합되고 외주연이 만곡 형성된 지지베어링이 지지대에서 소정각도 회전토록 구성되는 이송지지부와, 상기 지지베어링에 의해 이송되는 기판의 측면을 지지토록 가드베어링이 가드축을 회전축으로서 구비하는 가드지지부로 구성되어, 기판이 소정각도 기울져 이송됨에 따라 기판 표면에 분사된 세정액이 일방향으로 흘러 세정액에 의해 분리된 오염 물질이 기판에 재부착되는 경우 없이 신속하게 세정하고, 경사진 상태로 이동시 기판 측면에 발생하는 스크래치와 같은 손상을 방지할 수 있는 엘씨디 기판 이송롤러장치를 제공한다.

일반적으로 반도체제조장치의 기판 이송롤러장치는, 여러 공정을 거쳐 기판을 순차적으로 이송시키는데, 기판을 이송하는 기존의 가이드 롤러는 샤프트 양측에 설치되는 가이드롤러가 샤프트에 고정되어 샤프트가 회전함에 따라 상부에 위치한 기판이 이송하게 된다.

그러나, 가이드롤러가 잠시 멈출 경우 이송되는 엘씨디 기판과 멈춘 가이드롤러 사이에 마찰이 발생하여 기판에 긁힘이 발생되는 문제점이 있었다.

따라서, 가이드롤러가 멈출 경우에 발생하는 스크래치를 방지하기 위해 본 출원인의 실용신안등록 제220926호의 "내륜과 슬라이드 외륜 사이에 제 1리테이너에 의해 간격이 유지된 채로 삽입된 제 1세라믹 볼을 갖는 지지부가 축의 양단에 끼워져 안내홈을 갖는 브라켓에 고정되고, 외측면에 만곡형의 외측 안내홈이 일체로 구비된 중공의 고정부가 상기 축 가운데에 구비되고, 다수의 제 2세라믹 볼이 상기 외측 안내홈에 안착되도록 하고, 상기 제2세라믹 볼에 제 2리테이너를 삽입시켜 한쪽으로 치우치는 것을 방지하고, 외측에 산형태의 링을 가지며 내측 외벽으로 내측 안내홈을 일체로 갖는 회전부로 이루어진 반도체제조장치의 기판 이송용 롤러" 가 제공되었으나, 샤프트 양측 브라켓의 내측으로 설치된 가이드롤러가 축에 고정된 상태로 설치된 관계로 축이 일측으로 기울어진 상태 또는 상부에 위치한 기판이 가이드롤러와 밀착되었을 경우 축의 회전에 따라서 이동되는 기판의 가장자리가 가이드 롤러 일측면에 대응되어 마찰이 발생되어 마모가 가속화 되고, 심한경우 오염물질이 기판위에 앉게 되어 제품의 불량율이 증가되는 문제점이 있었다.

또한, 기판 표면의 오염물질을 제거하기 위해 수평으로 이송되는 기판에 노즐을 통해 세정액을 분사하게 되는데, 이때, 세쟁액이 기판과 충돌하여미스트(mist)와 같은 불순물이 발생하게 되고, 이 불순물은 기판이 수평으로 이송됨에 따라 기판 표면에서 완전히 외부로 이동되지 못하여 기판의 다른 부분에서 다시 기판의 표면 재부착되는 문제점이 발생하였다.

상기와 같은 문제점을 개선하기 위한 본 고안의 목적은, 기판을 이송하는 이송장치가 잠시 멈출 경우 가이드롤러와의 마찰저항을 줄여 마모가 발생되는 것이 방지되도록 하는 엘씨디 기판 이송롤러장치를 제공하는데 있다.

또한, 세정액이 일방향으로 흐르도록 하여 미스트와 같은 오염물질이 기판에 재부착 되는 일이 없이 신속하게 세정되도록 하고, 이송시 기판의 일측면에 스크래치와 같은 손상이 발생하지 않도록 하는 엘씨디기판 이송롤러장치를 제공하는데 있다.

도 1은 본 고안에 따른 엘씨디 기판 이송롤러장치를 도시한 정면도.

도 2a와 도 2b는 본 고안에 따른 엘씨디 기판 이송롤러장치를 도시한 측단면도 및 평면도.

도 3은 본 고안에 따른 엘씨디 기판 이송롤러장치의 이송지지부를 도시한 결합 사시도.

도 4a와 도 4b는 본 고안에 따른 엘씨디 기판 이송롤러장치의 이송지지부를 도시한 작동상태도.

도 5는 본 고안에 따른 엘씨디 기판 이송롤러장치의 가이드롤러를 도시한 결합 단면도.

도 6a와 도 6b는 본 고안에 따른 엘씨디 기판 이송롤러장치의 가드베어링을 도시한 평면도 및 측단면도.

도 7a와 도 7b는 본 고안의 다른 실시예에 따른 엘씨디 기판 이송롤러장치의 가드베어링을 도시한 측단면도.

<도면의 주요 부분에 대한 부호설명>

100...이송지지부 110...지지베어링

120...지지대 121...안내공

130...세라믹볼 200...가드지지부

210...가드축 220...가드베어링

300...가이드롤러 400...샤프트

500...기판

상기 목적을 달성하기 위해 본 고안은, 샤프트의 일측단으로 구동기어가 설치되고, 상기 샤프트의 양측에 설치된 가이드롤러 사이에 베어링롤러를 개재하여 기판을 이송시킬수 있도록 된 반도체제조장치의 기판 이송롤러장치에 있어서, 상기 샤프트의 양단부를 지지하도록 내측에 결합되고 외주연이 만곡되어 형성되는 지지베어링과, 상기 지지베어링의 만곡된 외주연에 대응되어 소정각도 유동토록 상기 지지베어링이 삽입되는 삽입공이 내측에 형성되는 지지대로서 이루어지는 이송지지부과, 상기 이송지지부에 의해 소정 경사를 이루는 샤프트의 상부를 이동하는 기판의 측면을 지지토록 내측에 가드축을 중심으로 회전되는 가드베어링이 구비되는 가드지지부가 설치되어 기판이 편심된 상태로 이송될 수 있도록 하는 구성으로 이루어진다.

본 고안에 따른 상기 지지베어링은, 외측이 만곡형을 이루며 내측으로 제1,2세라믹볼이 상부에서 안착토록 내측안내홈이 각각 형성되는 중공상의 회전부와, 상기 제1,2세라믹볼이 하부에서 안착되어 볼접촉에 의해 상기 회전부의 내측에 연결토록 외측안내홈이 외주연으로 각각 형성되고 그 내측으로 상기 샤프트와 연결되는 고정부 및, 상기 제1,2세라믹볼의 양 측면에서 각각 지지토록 상기 제1,2세라믹볼와 대응되는 유지공이 인입되어 형성되는 리테이너로서 구성되는 것을 특징으로 한다.

본 고안에 따른 상기 가드베어링은, 내측으로 내측안내홈이 형성되는 중공상의 회전부와, 상기 회전부의 내측에 결합되어 상기 내측안내홈과 대응되는 외측안내홈에 결합토록 세라믹볼을 개재하여 유지공을 갖는 리테이너와 결합되는 중공상의 고정부로 구성되는 것을 특징으로 한다.

본 고안에 따른 상기 회전부는, 이송되는 기판의 측면의 두께에 따라 연장부가 일측 또는 양측 중 선택된 어느 하나로 이루어지는 것을 특징으로 한다.

이하, 첨부된 도면에 의거하여 본 고안의 실시예를 상세히 설명하기로 한다.

본 고안은, 도 1에서 도시된 바와 같이, 기판이 이송되도록 일방향으로 회전되는 샤프트(400)를 양측에서 지지하는 가이드롤러(300)와, 회전하는 상기샤프트(400)를 소정각도 경사지도록 양측단에서 결합되는 이송지지부(100) 및, 상기 샤프트(400)에 의해 기울어져 이송되는 기판(500)의 측단면을 지지하는 가드지지부(200)로 크게 구성된다.

상기 가이드롤러(300)는, 도 5에서 도시된 바와 같이, 상기 구동기어(410)에 의해 회전하는 상기 샤프트(400)의 양측에 일정간격을 유지하며 설치되어 샤프트(400)가 상기 가이드롤러(300)와 접하면서 이동되도록 구성된다.

즉, 상기 가이드롤러(300)는, 상기 샤프트(400)가 삽입되는 몸체(310)와, 상기 샤프트(400)의 삽입시 몸체(310) 내측에 개재되어 결합되는 고정링(320)과, 상기 몸체(310)의 일측단부에 회전결합되는 커플링(330)으로서 이루어진다.

상기 몸체(310)는, 상기 샤프트(400)의 회전에 의해 기판(500)이 일방향으로 이동될 수 있도록 일정한 간격을 두고 상기 샤프트(400)와 결합하되, 내측에 형성된 확개구(311)에 상기 샤프트(400)가 삽입된 후 고정토록 상기 샤프트(400)와 확개구(311) 사이에 고정링(320)을 개재하여 결합되며, 그 외면을 내륜(312)으로 하고 상기 내륜(312)의 외면으로 볼(314)을 개재하여 일정 경사면을 갖는 외륜(313)이 결합된다.

여기서, 상기 외륜(313)은, 소음과 마찰저항을 줄임으로서 마모량을 최소화할 수 있도록 그 재질은 세라믹 또는 합성수지로 이루어지는 것이 좋다.

또한, 상기 몸체(310)는, 타측 외면으로 상기 가이드롤러(300)를 이동하는 기판(500)이 이송시 미끄러지지 않고 안전하게 이송될 수 있도록 링타입의 패킹(315)이 결속되어 설치되는 것이 바람직하며, 상황에 따라 패킹을 2개 또는 3개이상으로 설치하여도 좋다.

상기 몸체(310)의 확개구(311)에 결합되는 상기 고정링(320)은, 상기 확개구(311)에 샤프트(400)가 삽입되어 결합시 일측면에 형성된 절결홈(321)이 조여지면서 삽입되어 상기 샤프트(400)가 몸체(310)에 밀착 고정되도록 한다.

또한, 상기 몸체(310)와 결합되는 커플링(330)은, 상기 몸체(310)의 확개구(311)에 삽입된 고정링(320)의 타측단을 가압함에 따라 상기 고정링의 절결홈(321)을 조이면서 확개구(311)에 밀착 고정되도록 상기 몸체(310)와 회전결합된다.

한편, 도 3에서 도시된 바와 같이, 상기 샤프트(400)의 양단부에 설치되는 이송지지부(100)는, 구동기어(410)에 의해 회전하는 샤프트(400)를 소정간격 이격되어 결합되는 지지베어링(110)과, 상기 지지베어링(110)이 소정각도 회전되도록 장착되는 지지대(120)로서 구성된다.

도 4a 또는 도 4b 에서 도시된 바와 같이, 상기 지지베어링(110)은, 내측으로 상기 샤프트(400)가 인입되도록 상기 샤프트(400)의 직경과 대응되는 소정의 통공을 갖으며, 그 외주면은 일정 곡률로 만곡 형성되도록 그 중심부의 직경이 확대형성됨으로서 상기 지지대(120)의 내측에 형성된 안내공(121)에 상기 지지베어링(110)이 삽입후 그 내측의 만곡된 기울기를 따라 소정각도 회전이 가능하도록 구성된다.

이때, 상기 지지베어링(110)은, 상기 지지대(120)의 내측 안내공(121)의 접촉면과 대응토록 만곡된 형상의 회전부(140)와, 상기 회전부(140)에 개재되는 세라믹볼(130)에 의해 볼접촉되는 고정부(150) 및, 상기 회전부(140)와 고정부(150) 사이에 개재된 세라믹볼(130)을 측면에서 지지하도록 상기 세라믹볼(130)의 일측으로 결합되는 리테이너(160)로서 구성된다.

상기 회전부(140)는, 상기 지지대(120)의 안내공(121)과 대응되어 결합되도록 외주면에 소정 곡률을 갖는 만곡형으로 이루어지며, 그 내측 내경을 따라 한쌍의 내측안내홈(141) 각각 형성되는 중공상의 구조로 이루어진다.

또한, 상기 회전부(140)와 세라믹볼(130)에 의해 볼접촉하는 고정부(150)는, 그 외주면으로 상기 내측안내홈(141)과 대응되는 외측안내홈(151)이 형성되어 상기 내측안내홈(141)과 외측안내홈(151) 사이에 제1,2세라믹볼(131)(132)이 각각 안착되도록 구성되고, 그 내주면은 상기 샤프트(400)가 삽입되어 결합되도록 상기 샤프트(400)의 직경과 대응되는 형상의 통공을 갖는다.

상기 회전부(140)와 고정부(150) 사이에 설치되는 리테이너(160)는, 상기 내측안내홈(141)과 외측안내홈(151) 사이에 개재되어 있는 제1,2세라믹볼(131)(132)을 측면에서 지지하도록 상기 제1,2세라믹볼(131)(132)과 대응되어 삽입되는 유지공이 상기 세라믹볼에 대응되는 측면에 각각 형성된다.

또한, 상기 지지베어링(110)이 장착되는 지지대(120)는, 상기 지지베어링(110)의 만곡되는 외주면과 대응되는 안내공(121)을 갖되, 상기 안내공(121)은 상기 지지베어링(110)이 삽입후 소정각도 자유로운 회전이 가능하도록 내측 중심으로 점차 확대되는 직경을 갖도록 구성한다.

더하여 상기 안내공(121)은, 상기 지지베어링(110)에 결합된 샤프트(400)가소정 경사 기울어져 회전시, 상기 샤프트(400)가 경사되어 설치 됨에 따라 상기 안내공(121)의 최외각 원주에 상기 샤프트(400)가 접촉되어 마찰이 발생되는 것을 방지하도록 상기 안내공(121)의 최외각 원주의 직경을 소폭 확대하거나 모따기 가공을 하는 것이 바람직하다.

한편, 도 2a 또는 도 2b 에서 도시된 바와 같이, 상기 샤프트(400)는 그 양단부에 각각 설치되는 서로 다른 높이를 갖는 이송지지부(100)에 의해 소정 각도 기울진 상태로 회전되도록 설치되고, 상기 샤프트(400)의 회전에 의해 이동되는 기판(500)의 측면을 지지하도록 가드지지부(200)가 이송되는 기판(500)의 측면에 설치된다.

상기 가드지지부(200)는, 상기 기판(500)의 측면에 수직되도록 설치되는 가드베어링(220)과, 상기 가드베어링(220)의 중심에 결합되어 회전축으로서의 역활을 하는 가드축(210)으로서 구성된다.

이때, 상기 가드베어링(220)은, 중공상의 형상을 갖으며 그 내측으로 내측안내홈(141')이 형성되는 회전부(140')와, 외주면으로 상기 내측안내홈(141')과 대응토록 형성되는 외측안내홈(151')을 갖는 고정부(150')로서 이루어지며, 상기 세라믹볼(130')을 일측에서 지지하도록 상기 세라믹볼(130')과 대응되는 형상의 유지공(161')을 갖는 리테이너(160')가 일측으로 결합된다.

여기서, 상기 회전부(140')는, 도 7a 또는 도 7b에서 도시된 바와 같이, 상기 기판(500)이 일정 기울기를 갖으며 이동됨에 따라 발생되는 측단면의 스크래치와 같은 손상을 방지토록 상기 기판(500)의 측단면과 수직방향으로 접촉토록 설치되고, 그 회전면은 상기 기판(500)의 두께에 따라 일측부로 연장형성되거나, 양측으로 연장형성되어 일측으로 기울어진 샤프트(400)의 회전에 의해 이송시 발생되는 기판(500) 측면의 손상을 방지하도록 구성한다.

상기와 같은 방법에 의해 이루어지는 본 고안의 작용효과를 살펴보면 다음과 같다.

먼저, 상기 샤프트의 일단에 연결된 구동기어에 의해 구동력이 샤프트에 전달되고, 상기 구동기어로 부터 일정 회전력을 전달 받은 샤프트는 회전하면서 양측에 일정간격을 두고 설치된 가이드롤러에 구동력을 전달한다. 여기서, 가이드롤러는, 외륜의 측면이 테이퍼진 경사면이 형성되어 상기 샤프트의 가이드롤러를 이동하는 기판의 측면에서 마찰면이 최소화되도록 하고, 마찰시 기판의 이동속도와 동일한 속도로 구륜됨으로서 마찰의 발생이 전혀 생기지 않아 결국 기판이 긁히지 않게 된다.

계속하여, 상기 이송지지부에 의해 기울어져 설치된 샤프트의 가이드롤러를 통해 엘씨디 기판이 이송되게 되는데, 이때, 상기 샤프트의 양단부에 결합된 지지베어링이 지지대의 내측으로 소정각도 회전이 가능하도록 연결됨으로서, 상기 샤프트가 기울어져 회전하는 경우 발생되는 마모나 마찰을 방지하고, 기판이 일정각도 경사를 이루는 상태로 이송됨에 따라 분사되는 세정액이 경사진 면을 따라 일측으로 완전하게 이동되어 세정액에 의해 분리된 불순물이 기판에 재부착 되는 것을 방지한다.

이때, 일정 각도 기울어져 회전하는 샤프트를 따라 이동하는 엘씨디 기판 역시 기울어져 이동하게 되는데, 이때, 상기 엘씨디 기판 측면에는 가드지지부가 설치되어 기판의 원할한 이송이 이루어지도록 한다. 여기서, 상기 가드지지부는, 상기 기판의 측면과 수직방향으로 접촉되도록 설치되고, 그 회전면은 상기 기판의 두께에 따라 일측부로 연장형성되거나, 양측으로 연장형성되어 상기 기판의 두께에 상관없이 기판의 측면에 발생되는 스크래치를 방지하게 된다.

이와같이, 본 고안은, 기판이 가이드롤러와 접한 상태로 이동함에 따라 기판과 가이드롤러 사이에 발생되는 마찰을 줄여 장시간 사용에도 이송이 원할하게 이루어지도록 하는 장점이 있다.

또한, 기판이 일정각도 경사를 이루는 상태로 이송됨으로서 세정액에 의해 씻겨 지는 미스트와 같은 불순물이 기판의 경사면을 신속하게 이동하며 세정하여 세정액의 정체에 의해서 불순물이 기판에 재부착되는 것을 방지할 수 있는 장점이 있다.

본 고안은 특정한 실시 예에 관련하여 도시하고 설명 하였지만, 이하의 실용신안등록청구범위에 의해 제공되는 본 고안의 정신이나 분야를 벗어나지 않는 한도내에서 본 고안이 다양하게 개량 및 변화될 수 있다는 것을 당업계에서 통상의 지식을 가진자는 극히 용이하게 알수 있음을 밝혀 두고자 한다.

이상에서 살펴본 바와 같이 본 고안에 의하면, 기판이 가이드롤러의 외륜과 함께 구륜함으로서 기판과 가이드롤러 사이에 발생되는 마찰을 줄여 장시간 사용시에도 원할하게 이송이 이루어지도록 하는 효과가 있는 것이다.

또한, 기판이 일정각도 경사를 이루는 상태로 이송됨으로서 세정액의 분사시 세정액이 기판의 경사면을 따라 이동하며 미스트와 같은 불순물이 기판의 경사면을 따라 재부착되는 일이 없이 신속하게 기판을 세정하여 세정효과를 높일 수 있는 효과가 있는 것이다.

Claims (4)

1. 샤프트가 회전되도록 그 일측단으로 구동기어가 설치되고, 회전하는 상기 샤프트 선상에 기판이 이동되도록 양측에 일정 간격으로 가이드롤러가 설치되며, 상기 가이드롤러 사이에 베어링롤러가 개재되어 설치되는 반도체제조장치의 기판 이송롤러장치에 있어서,

   내측에서 회전토록 상기 샤프트(400)의 양단부가 인입 결합되고 그 외주연은 일정 곡률로 만곡 형성되는 지지베어링(110)과, 상기 지지베어링(110)이 내측에 장착된 후 회전하는 상기 샤프트(400)가 소정 경사를 이루도록 상기 지지베어링(110)의 외주연에 대응되는 형상의 안내공(121)이 내측에 형성되는 지지대(120)로서 이루어지는 이송지지부(100)와,

   상기 샤프트(400)의 가이드롤러(300) 상부를 이동하는 기판(500) 측면을 지지토록 내측에 결합된 가드축(210)을 중심으로 회전하는 가드베어링(220)이 구비되는 가드지지부(200)를 포함하는 구성으로 이루어지는 엘씨디 기판 이송롤러장치.
2. 제 1항에 있어서, 상기 지지베어링(110)은, 외측이 만곡형을 이루도록 중앙부의 직경이 확대 형성되고, 내측으로 제1,2세라믹볼(131)(132)이 상부에서 안착토록 내측안내홈(141)이 각각 형성되는 중공상의 회전부(140)와,

   상기 제1,2세라믹볼(131)(132)이 하부에서 안착되어 볼접촉에 의해 상기 회전부(140)의 내측에 연결토록 외주연으로 외측안내홈(151)이 각각 형성되고, 내경으로 상기 샤프트(400)가 결합 연결되는 고정부(150) 및,

   상기 회전부(140)와 고정부(150)에 사이에 안착된 상기 제1,2세라믹볼(131)

   (132)을 양 측면에서 각각 지지토록 상기 제1,2세라믹볼(131)(132)가 삽입되는 유지공이 일측면에 형성되는 리테이너(160)로서 구성되는 것을 특징으로 하는 엘씨디 기판 이송롤러장치.
3. 제 1항에 있어서, 상기 가드베어링(220)은, 내측으로 내측안내홈(141')이 형성되는 중공상의 회전부(140')와, 상기 회전부(140')의 내측에 결합되어 상기 내측안내홈(141')과 대응되는 외측안내홈(151')에 세라믹볼(130')을 개재하여 결합토록 상기 세라믹볼(130')이 삽입되는 유지공(161')을 갖는 리테이너(160')가 일측으로 결합되는 고정부(150')로서 이루어지는 것을 특징으로 하는 엘씨디 기판 이송롤러장치.
4. 제 3항에 있어서, 상기 회전부(140')는, 이송되는 상기 기판(500)의 두께에 따라 그 측면에 접촉되는 외주연의 일단부 또는 양단부 중 선택된 어느 하나가 길이방향으로 연장 형성되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 엘씨디 기판 이송롤러장치.