KR20020087575A

KR20020087575A - Handle valve for open position controlling

Info

Publication number: KR20020087575A
Application number: KR1020010026211A
Authority: KR
Inventors: 손영대
Original assignee: 삼성전자 주식회사
Priority date: 2001-05-14
Filing date: 2001-05-14
Publication date: 2002-11-23

Abstract

PURPOSE: A handle valve for adjusting the opening position is provided to easily and correctly set up the opening position of a valve by using a valve position indicating unit. CONSTITUTION: A handle valve for adjusting the opening position comprises a rotating handle part(100) for opening and closing the flow of a fluid by engaging with a body, a body(300) contacting the rotating handle part and connected with a fluid pipe(400), and a position indicating unit(200) installed in the connecting section(120) of the rotating handle part and the adjusting part(330) of the body. To set up the opening position of the valve, the protrusion of the position indicating unit of the rotating handle part is aligned with the protrusion of the position indicating unit installed at the body.

Description

Handle valve for open position controlling

본 발명은 반도체 제조 장치에 관한 것으로, 특히 오픈 위치 조정이 가능한 핸들밸브에 관한 것이다.TECHNICAL FIELD The present invention relates to a semiconductor manufacturing apparatus, and more particularly, to a handle valve capable of adjusting an open position.

일반적으로, 밸브는 관속을 흐르는 유체의 유량을 조절할 때 사용된다. 상기밸브로는 여러가지가 있을수 있으나, 좌우의 회전에 개폐량이 변할 수 있는 핸들밸브가 조작이 간단하여 많이 사용되고 있다. 특히, 반도체 제조 설비에서 사용되는 핸들 밸브는 설비작동에 필요한 가스 및 냉각수등의 유체의 량을 조절하고자 할때 필요하다. 예를들면, 다수의 설비에 가스를 공급하기 위해서는, 메인 가스라인(main gas line)에서 설비로 다수개의 가스라인을 연결하여야 하고, 이때에 메인 가스라인에서 설비로의 분기점에 핸들밸브를 설치하게 된다. 또한, 설비에서의 반응가스등을 배기하기 위하여 설비에서 배기 가스라인과 연결되는 부분 및 배기 가스라인과 메인 배기 가스라인과의 합류점에도 핸들밸브가 설치된다.Generally, valves are used to regulate the flow rate of a fluid flowing through a pipe. There may be various types of the valves, but a handle valve that can change the amount of opening and closing on left and right rotation is easy to use and is used a lot. In particular, the handle valve used in the semiconductor manufacturing equipment is required to control the amount of fluid, such as gas and cooling water required for the operation of the equipment. For example, in order to supply gas to a plurality of installations, it is necessary to connect a plurality of gas lines from the main gas line to the installation, and at this point install a handle valve at the branch point from the main gas line to the installation. do. In addition, a handle valve is installed at a portion connected to the exhaust gas line and at the confluence point between the exhaust gas line and the main exhaust gas line in the installation to exhaust the reaction gas from the installation.

도 1은 종래기술에 따른 핸들밸브를 설명하기 위하여 도시한 단면도로서, 상기 핸들밸브는 회전 손잡이부(50) 및 몸체(60)로 이루어져 있다. 상기 회전 손잡이부(50)의 회전에 의하여 유체관(70)사이에 연결된 몸체(60)를 통하여 흐르는 유체의 유량이 조절된다. 핸들밸브는 좌우의 회전에 따라 개폐량이 조절되는 구조로서, 필요에 따라 유량의 조절이 가능하지만, 필요한 유량 설정을 표시할 수가 없어서, 핸들밸브를 조작할 때마다. 필요한 유량의 설정을 다시하는 작업을 해야 한다. 상기의 문제점을 해결하기 위한, 종래기술에 따른 상기 핸들밸브는 핸들밸브의 오픈 위치를 표시해주기 위하여 테이프 및 펜등을 사용하고 있다(81). 즉, 유체관(70)에 일정한 량의 유체가 통과하도록 유량을 설정하고자 할때 회전 손잡이부(50)의 하단부와 몸체(60)의 상단부에 테이프 및 펜으로 표시하여 사용하고 있다(81). 그러나, 표기되어 있는 위치가 훼손될 경우에는 다시 상기 핸들밸브의 오픈 위치를 표기해야한다. 또한, 핸들밸브의 오픈 위치를 재설정하고자 할때에는 그 전에 표시된 펜자국 및 테이퍼 자국등으로 인하여 정확한 위치를 표시하기가 어렵다.1 is a cross-sectional view for explaining a handle valve according to the prior art, the handle valve is composed of a rotary knob 50 and the body 60. The flow rate of the fluid flowing through the body 60 connected between the fluid pipe 70 by the rotation of the rotary knob 50 is adjusted. The handle valve has a structure in which the opening and closing amount is adjusted according to the left and right rotation, and the flow rate can be adjusted as needed. Work should be done to reset the required flow rate. In order to solve the above problems, the handle valve according to the prior art uses a tape and a pen to indicate the open position of the handle valve (81). That is, when the flow rate is set to allow a certain amount of fluid to pass through the fluid pipe 70, the lower end of the rotary knob 50 and the upper end of the body 60 are marked and used by the tape (81). However, if the marked position is damaged, the open position of the handle valve should be marked again. In addition, when resetting the open position of the handle valve it is difficult to display the exact position due to the pen marks and taper marks displayed before.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 밸브의 오픈 위치를 쉽게 설정할 수 있는 핸들밸브를 제공하는데 있다.An object of the present invention is to provide a handle valve that can easily set the open position of the valve.

도 1은 종래기술에 따른 핸들밸브를 설명하기 위하여 도시한 단면도이다.1 is a cross-sectional view for explaining a handle valve according to the prior art.

도 2은 본 발명의 일 실시예에 따른 핸들밸브의 단면도이다.2 is a cross-sectional view of the handle valve according to an embodiment of the present invention.

도 3는 본 발명의 일 실시예에 따른 위치표시수단을 도시한 도면이다.3 is a view showing the position display means according to an embodiment of the present invention.

도 4은 본 발명의 다른 실시예에 따른 핸들밸브의 단면도이다.4 is a cross-sectional view of a handle valve according to another embodiment of the present invention.

도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 위치표시수단을 도시한 평면도이다.5 is a plan view showing the position display means according to another embodiment of the present invention.

<도면의 주요부분의 부호에 대한 설명><Description of Signs of Major Parts of Drawings>

100: 회전 손잡이부, 110: 손잡이, 120: 연결부, 130: 스크류부,100: rotary knob, 110: knob, 120: connecting portion, 130: screw portion,

200: 위치표시수단, 210:부착부, 220: 체결수단, 230: 요철부,200: position display means, 210: attachment portion, 220: fastening means, 230: uneven portion,

240: 홈부, 300: 몸체, 310: 입구, 320: 출구, 330: 조정구,240: groove portion, 300: body, 310: inlet, 320: outlet, 330: adjustment mechanism,

400; 유체관.400; Fluid tube.

상기의 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 오픈 위치 조정용 핸들밸브는 몸체와 맞물려서 유체를 개폐하는 회전손잡이부, 유체관에 연결되는 입출구 및 상기 회전손잡이부에 연결된 조정구가 있는 몸체 및 상기 회전손잡이부 및 상기 몸체의 조정구에 설치된 위치표시수단을 구비한다.The handle valve for adjusting the open position according to the present invention for solving the above technical problem is a body having a rotary knob coupled to the body to open and close the fluid, the inlet and outlet connected to the fluid pipe and the adjusting knob connected to the rotary knob and the rotary knob And a position display means installed in the adjustment mechanism of the body.

여기서, 상기 위치표시수단은 체결수단에 의해 재조정이 가능한이 바람직하고, 상기 체결수단은 볼트인 것이 바람직하다.Here, it is preferable that the position display means can be readjusted by the fastening means, and the fastening means is preferably a bolt.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써 본 발명을 상세히 설명하기로 한다. 그러나 본 실시예가 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 도면에서의 요소의 형상등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위하여 과장되게 표현된 부분이 있을 수 있으며, 도면상에서 동일 부호로 표시된 요소는 동일 요소를 의미한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the present embodiment is not limited to the embodiments disclosed below, but will be implemented in various forms, and only this embodiment is intended to complete the disclosure of the present invention, and to those skilled in the art to fully understand the scope of the invention. It is provided to inform you. Shapes of the elements in the drawings may be exaggerated parts to emphasize a more clear description, elements denoted by the same reference numerals in the drawings means the same element.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 핸들밸브의 단면도를 도시한 것이다. 도 2를 참조하면, 상기 핸들밸브는 몸체(200)와 맞물려서 유체의 흐름을 개폐하는 회전손잡이부(100), 상기 회전손잡이부(100)와 접촉되고 입출구는 유체관(400)에 연결되어 있는 몸체(300) 및 상기 회전손잡이부의 연결부(120) 및 상기 몸체의 조정구(330)에 설치된 위치표시수단(200)을 구비한다.Figure 2 shows a cross-sectional view of the handle valve according to an embodiment of the present invention. Referring to Figure 2, the handle valve is in contact with the body 200, the rotary handle portion 100 for opening and closing the flow of the fluid, the rotary handle portion 100 is in contact with the inlet and outlet is connected to the fluid pipe 400 Body 300 and the connecting portion 120 of the rotary knob and the position display means 200 is provided in the adjustment opening 330 of the body.

상기 회전손잡이부(100)는 손잡이(110), 스크류부(130)를 손잡이(110)에 연결시키는 연결부(120) 및 일단은 상기 연결부(120)에 연결되고 일단은 나사산이 형성되어서 몸체의 조정구(330)에 맞물리는 스크류부(130)로 이루어져있다.The rotary knob 100 is the handle 110, the connecting portion 120 for connecting the screw portion 130 to the handle 110 and one end is connected to the connecting portion 120 and one end of the screw thread is formed to adjust the body It consists of a screw portion 130 for engaging the (330).

상기 몸체(300)는 입구(310), 출구(320) 및 조정구(330)가 형성되어 있다. 조정구(330)에는 상기 회전손잡이부(100)의 스크류부(130)가 맞물려 있고, 상기 입구(310) 및 출구(320)에는 유체관이 맞물려 있다. 입구(310)로 유체가 유입되면, 유입된 유체는 조정구(330)와 맞물린 회전손잡이부(100)의 작동에 의하여 유체의 유량이 조정된후 상기 출구(320)을 통하여 유체가 흘러나간다.The body 300 is formed with an inlet 310, an outlet 320 and an adjustment mechanism 330. The adjusting unit 330 is engaged with the screw 130 of the rotary knob 100, the fluid tube is engaged with the inlet 310 and the outlet 320. When the fluid flows into the inlet 310, the fluid flows through the outlet 320 after the flow rate of the fluid is adjusted by the operation of the rotary knob 100 engaged with the adjusting mechanism 330.

상기 위치표시수단(200)은 상기 회전손잡이부(100)의 연결부(120) 및 상기 몸체의 조정구(330)의 둘레에 설치된다. 상기 위치표시수단(200)은 원형링 모양의 부착부(210), 상기 부착부(210)가 상기 연결부(120) 및 상기 조정구(330)에 고정되도록 체결하는 체결수단(220), 상기 체결수단(220)이 체결되는 부분에 형성된 홈부(도3의 240) 및 상기 부착부의 일부분에 뾰족튀어나온 모양의 돌출부(230)로 구성되어 있다. 또한, 상기 위치표시수단(200)은 손쉽게 탈부착이 가능하도록 원형링 모양의 부착부(210)가 반으로 나누어져 있다.The position display means 200 is installed around the connection portion 120 and the adjustment opening 330 of the body of the rotary knob (100). The position display means 200 is a circular ring-shaped attachment portion 210, fastening means 220 for fastening so that the attachment portion 210 is fixed to the connection portion 120 and the adjustment opening 330, the fastening means Consists of the groove portion (240 of Figure 3) formed in the portion to which the 220 is fastened and a protrusion 230 having a pointed protruding portion of the attachment portion. In addition, the position display means 200 has a circular ring-shaped attachment portion 210 is divided in half to be easily removable.

도 2에서의 핸들밸브는 오픈된 상태를 도시한 것으로서, 두개의 위치표시수단의 돌출부(230)가 일치하고 있다. 핸들밸브를 잠글필요가 있을때 상기 핸들밸브를 잠근 후, 다시 원래의 오픈 위치로 설정하고자 할때에도 몸체(300)에 설치된 위치표시수단(200)의 돌출부에 회전 손잡이부(100)의 위치표시수단 돌출부가 정확히 일치하도록 핸들밸브를 오픈하면 된다. 또한, 핸들밸브의 오픈 위치를 재설정하고자 할때에는 몸체(300)에 설치된 위치표시수단(200)을 움직여 다시 고정시킴으로서, 핸들밸브의 오픈위치 설정을 손쉽게 할 수 있다. 상기 오픈 위치의 재설정은 상기 위치표시수단(200)의 체결수단(220)을 풀어서 조정한다.The handle valve in FIG. 2 shows an open state, and the protrusions 230 of the two position indicating means coincide with each other. When it is necessary to lock the handle valve, after locking the handle valve, even when trying to set it back to the original open position position display means protrusion of the rotary handle portion 100 to the protrusion of the position display means 200 installed on the body 300 Just open the handle valve so that In addition, when resetting the open position of the handle valve by moving the position display means 200 installed in the body 300 again to fix, it is possible to easily set the open position of the handle valve. Resetting the open position is adjusted by loosening the fastening means 220 of the position display means 200.

따라서, 상기 위치표시수단은 체결수단에 의해 재조정이 가능한 것이 바람직하고, 상기 상기 체결수단은 볼트인 것이 바람직하다.Therefore, it is preferable that the position display means can be readjusted by the fastening means, and the fastening means is preferably a bolt.

도 3는 본 발명의 일 실시예에 따른 위치표시수단을 도시한 정면도 및 평면도를 도시한 도면이다. 도 3을 참조하면, 상기 위치표시수단(200)의 부착부(210)가 두개로 나누어져 있어며, 상기 나누어진 부착부의 끝단에는 상기 체결수단(220)이 체결되는 홈부(240)가 형성되어 있고, 상기 홈부(240)에 체결수단(220)이 체결됨으로서, 상기 위치표시수단(200)을 상기 몸체의 조정구(330) 및 상기 회전손잡이부의 연결부(120)에 체결된다.3 is a front view and a plan view showing a position display means according to an embodiment of the present invention. Referring to FIG. 3, the attachment portion 210 of the position display means 200 is divided into two, and at the end of the divided attachment portion, a groove portion 240 to which the fastening means 220 is fastened is formed. In addition, the fastening means 220 is fastened to the groove part 240, so that the position display means 200 is fastened to the connector 120 of the adjustment knob 330 and the rotation knob of the body.

도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 핸들밸브의 단면도이다. 도 4를 참조하면, 본 발명의 일실시예와 비교하여 볼때 위치표시수단(500)에 차이점이 생긴다. 따라서, 위치표시수단(500)에 관해서만 기술하기로 한다. 도 5는 상기 위치표시수단(500)의 평면을 도시한 것으로서, 상기 위치표시수단(500)은 원형링 모양의 부착부(510), 상기 부착부에 체결수단이 체결되도록 형성된 홈부(540), 상기 홈부(540)를 통하여 체결된 체결수단(520) 및 돌출부(530)를 포함한다. 상기 본 발명의 일실시예와 차이나는 부분을 주로 하여 설명하면, 상기 부착부(510)는 하나의 링모양을 하고 있으며, 홈부(540)는 부착부(510)의 중심방향으로 형성되어 있다. 따라서, 체결수단(520)을 체결하면 체결수단(520)이 몸체의 조정구 및 회전손잡이부의 연결부에 맞닿아서 상기 위치표시수단(500)이 고정된다.4 is a cross-sectional view of a handle valve according to another embodiment of the present invention. Referring to FIG. 4, a difference occurs in the position display means 500 when compared with an embodiment of the present invention. Therefore, only the position display means 500 will be described. 5 is a plan view of the position display means 500, the position display means 500 is a circular ring-shaped attachment portion 510, the groove portion 540 formed so that the fastening means is fastened to the attachment portion, It includes a fastening means 520 and the protrusion 530 fastened through the groove 540. When explaining mainly the difference from the embodiment of the present invention, the attachment portion 510 has a ring shape, the groove portion 540 is formed in the direction of the center of the attachment portion 510. Accordingly, when the fastening means 520 is fastened, the fastening means 520 abuts on the connecting portion of the body and the rotary knob, thereby fixing the position display means 500.

상술한 바와 같이 본 발명에 따르면, 밸브 위치 표시 수단을 구비함으로써, 밸브의 오픈 위치를 쉽고 정확하게 설정할 수 있다. 또한, 간단한 작업으로 밸브의 오픈 위치 설정치를 변화시킬수 있다.According to the present invention as described above, by providing the valve position display means, it is possible to easily and accurately set the open position of the valve. In addition, the open position setpoint of the valve can be changed with a simple operation.

Claims

A rotation handle part engaged with the body to open and close the fluid;

An inlet and an outlet are connected to the fluid pipe, and the adjusting mechanism is connected to the rotation knob; And

And a position display means installed on the rotation knob and the adjustment mechanism of the body.

The method of claim 1,

The position display means is a handle valve for adjusting the open position, characterized in that readjustment by the fastening means.

The method of claim 2,

The fastening means is a handle valve for adjusting the open position, characterized in that the bolt.