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KR20020045484A - 내열 반사층, 반사층이 형성된 적층체 및 이 반사층 또는적층체를 구비한 액정 디스플레이 장치 - Google Patents

내열 반사층, 반사층이 형성된 적층체 및 이 반사층 또는적층체를 구비한 액정 디스플레이 장치 Download PDF

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Publication number
KR20020045484A
KR20020045484A KR1020010018350A KR20010018350A KR20020045484A KR 20020045484 A KR20020045484 A KR 20020045484A KR 1020010018350 A KR1020010018350 A KR 1020010018350A KR 20010018350 A KR20010018350 A KR 20010018350A KR 20020045484 A KR20020045484 A KR 20020045484A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
reflective layer
laminate
layer
substrate
reflective
Prior art date
Application number
KR1020010018350A
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English (en)
Inventor
우에노다카시
Original Assignee
후루야 다카히토
가부시키가이샤 후루야긴조쿠
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from JP2000373602A external-priority patent/JP4615701B2/ja
Application filed by 후루야 다카히토, 가부시키가이샤 후루야긴조쿠 filed Critical 후루야 다카히토
Publication of KR20020045484A publication Critical patent/KR20020045484A/ko

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Abstract

주성분으로서 Ag를 포함하고, Au, Pd 및 Ru로 이루어진 군으로부터 선택된 0.1-3.0 중량%의 제1원소 및 Cu, Ti, Cr, Ta, Mo, Ni, Al, Nb, Au, Pd 및 Ru로 이루어진 군으로부터 선택된 0.1-3.0 중량%의 제2원소를 포함하는 내열 반사층. 상기 제2원소는 상기 제1원소와 상이하다. 상기 반사층은 Ag의 높은 광 반사율을 유지한다. 상기 반사층은 향상된 물질 안정성을 가지고 알칼리 유기 물질에 노출된 경우에도 안정하다. 상기 반사층은 액정 디스플레이 장치용 반사 배선 전극 및 반사체, 열선 또는 적외선 반사용 건물 유리로 사용될 수 있다.

Description

내열 반사층, 반사층이 형성된 적층체 및 이 반사층 또는 적층체를 구비한 액정 디스플레이 장치{Heat-resistant reflecting layer, laminate formed of the reflecting layer, and liquid crystal display device having the reflecting layer or the laminate}
본 발명은 액정 디스플레이 장치의 반사 배선 전극 또는 반사체의 제조에 사용되는 높은 내열성의 반사층에 관한 것으로서, 이는 액정 디스플레이 장치용 반사 배선 전극 또는 반사체, 건물 유리용 반사층, 적층체 또는 액정 디스플레이 장치의 제조에 사용된다. 더 상세하게는, 본 발명은 높은 반사율을 갖는 Ag 합금 반사층, 상기 반사층에 의해 형성된 적층체 및 상기 반사층 또는 적층체가 구비된 액정 디스플레이 장치에 관한 것이다.
다양한 물질이 액정 디스플레이 장치의 반사 배선 전극 또는 반사체 제조용 반사층 및 적외선과 열선을 반사하는 건물 유리용 반사층을 포함하는 반사층의 제조에 사용된다. 또한, 반사층의 적층체는 반사율을 증가시키고 제품의 기능을 향상시키기 위해 개발된다. 향상된 특성을 갖는 반사층 제품은 다양한 분야에서 다양한 목적을 위해 사용된다.
반사층 제조에 사용되는 전형적인 물질은 Al, 주요성분으로서 Al을 포함하는 Al 합금, Ag, 주요성분으로서 Ag를 포함하는 Ag 합금 (Ag-Pd와 같은) 및 Au 합금이다. 이러한 물질로 제조된 반사층은 가시광선 및 적외선 영역을 포함하는 400 내지 4000nm의 광파장 영역에서 높은 반사율을 가진다.
Al은 높은 반사율을 가지며 매우 저가이고 유용하다. Al 및 Al 합금은 일반적으로 반사형 액정 디스플레이 장치의 반사 배선 전극 및 반사체에 사용된다. 이러한 액정 디스플레이 장치는 셀룰러 폰과 같은 휴대용 단말 장치에 사용된다. Al 합금이 사용되면, 순수 Al의 경우에 문제되는 층의 불규칙성(힐록(hillock)이라 함) 및 반사체와 반사 배선 전극 면의 저하를 극복할 수 있다. 반사체와 반사 배선 전극의 반사율이 높은 경우에는, 광원에 보내지는 전력이 감소되고 액정 디스플레이 장치의 조도가 약 20% 증가한다.
Ag는 많은 금속 원소 중, 400 내지 4000 nm의 광파장 영역에서 가장 높은 반사율을 가진다. 따라서, Ag는 반사층으로서 좋은 특성을 가진다.
태양에서 방출되는 가시광선, 적외선 및 자외선 중에서, Al, Al 합금, Ag 및 Ag 합금은 가시광선을 투과시키고 적외선 및 열선을 반사시킨다. 가시광선은 조명과 직접적인 관련이 있다. 적외선과 열선의 반사는 방안으로 들어오는 외부의 광선을 효과적으로 방지한다. 따라서, 상기 물질은 창유리와 같은 건물 유리에 사용된다.
그러나, Al, Al 합금, Ag, Ag-Pd를 포함하는 Ag 합금, Au, Au 합금으로 제조된 통상적인 반사층, 반사체 및 상기 반사층으로 제조된 건물 유리는 이하의 문제점을 가진다.
Al 및 Al 합금은 화학적으로 불안정하다. 유기 물질로 만들어진 레지스트 액 (liquid resist)을 Al층 또는 Al 합금 층에 도포하고 패턴(pattern)을 상기 층 위에 형성시킨다. 상기 레지스트 액의 제거를 위해 상기 패턴이 형성된 층을 알칼리 용액으로 세척하면, 상기 층의 표면이 거칠게 되고 반사율이 떨어질 수 있거나, 표면에서 빛이 산란될 수 있다. 더욱이, Al은 PMMA(polymethyl methacrylate) 및 실리콘과 같은 수지 기판과 함께 사용되는 경우에 그 수지 기판에서 발생하는 기체와 반응할 수 있다. Al은 오직, 기체를 거의 발생시키지 않는 기판과 사용될 수 있으며 따라서, 물질을 상기 기판에 적합한 물질로 제한한다. Al을 함유하는 반사층 및 사용시에 이들과 접촉하는 수지 기판의 화학적 안정성에는 문제가 있다.
Al 및 Al 합금은 Ag 및 Ag 합금에 비해 흡광도가 매우 크다. 따라서, Al 및 Al 합금으로 만들어진 반투과성 반사층은 광손실을 겪는다.
Al, Al 합금, Ag 및 Ag 합금은 매우 낮은 내열성을 가진다. 주어진 온도에서 상기의 물질로 된 반사층의 표면에서 원자의 확산이 일어날 수 있다. 특히, Ag는 열에 대한 높은 자체 확산 에너지(self diffusion energy)를 가지며 이는 열이 가해지면 시간에 따라 변화한다. 열이 상기 반사층의 온도를 일시적으로라도 약 100℃로 상승시키면, 층의 표면에서 원자의 확산이 일어나며 상기 층은 광택을 잃고 백탁화된다. 다시 말해서, Ag의 높은 반사율이라는 특성이 손상된다. 따라서, Al또는 Ag로 액정 디스플레이 장치용 반사체를 만드는 경우에, 그 제조 공정 동안, 온도를 제한하는 것이 필요하다. 또한 건물 유리용 Al 또는 Ag 반사층은 여름에 따뜻한 공기에 노출될 경우 열적으로 불안정하고 화학적으로 변하게 된다(예를 들면, 색의 변화).
Al, Al 합금, Ag 및 Ag 합금은 열에 의해 시간에 따라 심하게 변하기 때문에 이러한 물질은 공기에 직접 노출시킬 수 없다. 따라서, 반사층의 물질 안정성을 확보하기 위해, ZnO2또는 ZnO2-Al2O3복합체 산화물과 같은 내열 보호층이 일반적으로 필요하다.
상기 Al, Al 합금, Ag 및 Ag 합금으로 제조된 반사층은 일정 기판에 대하여 낮은 접착성을 가진다. 이러한 조합에 있어서, 상기 반사층은 증착 직후 또는 기판 상에 오랜 시간 동안 증착된 후에 분리된다. 상기 기판과 반사층 사이의 접착성을 개선하기 위해 다양한 베이스 필름을 그 사이에 위치시켜야 한다.
상기 Ag 및 Ag 합금의 반사율은 가시광선 영역 즉, 400 내지 800 nm 광파장 영역에서 가장 높다. 그러나, 450 nm 이하의 파장 영역에서, Ag의 흡광도 및 흡수계수는 증가하며 노란빛 반사광의 세기는 증가한다. 따라서, Ag-함유 반사층으로 제조된 액정 디스플레이 장치 및 상기 액정 디스플레이 장치를 포함하는 휴대용 단말기는 열악한 외관을 가지며, 시간이 지나면 노랗게 된다.
더욱이, Ag는 내후성에 있어 우수하지 않다. 공기에 노출되었을 때, Ag는 공기 중의 습기(특히 물)를 흡수하여 노랗게 변한다. 유리 기판 또는 수지 기판 상에 Ag-함유 반사층이 형성된 다음 오랜 시간이 지나면, Ag의 높은 반사율이라는 특성이 손상된다.
Ag와 1-3 중량%의 Pd를 포함하는 Ag-Pd 합금, Ag와 1-10 중량%의 Au를 포함하는 Ag-Au 합금 및 Ag와 1-10 중량%의 Ru를 포함하는 Ag-Ru 합금이 높은 내부식성 및 높은 내열성을 가지는 이원 Ag 합금으로 잘 알려져 있다. 그러나, 이러한 Ag 합금으로 만들어진 합금층에서 조차, 높은 온도 및 높은 습도 조건에서 내후성 테스트를 실시하면 검은 얼룩이 관찰된다. 광학 현미경으로 관찰할 때, 상기 검은 얼룩은 Pd의 H2용해 작용의 고용(solid solution) 한계에 도달한 후에 흑색화하여 융기되는 부분인 것으로 확인되었다. 건물 유리로 사용되는 경우, 상기 이원 합금은 습한 지역 또는 응축된 물방울에 노출되었을 때, 장시간에 걸친 안정성이 부족하다.
Ag-Au 합금은 Ag와 Au가 고체 상태에서 완전히 혼합된 안정한 합금인 것으로 잘 알려져 있다. 염소와 같은 할로겐 원소에 대한 상기 Ag-Au 합금의 내성은 뛰어나지 않다. Ag-Au 합금은 공기 중에서 염소 내지 요오드(이는 상기 테스트 중에 원자 단위로 혼입된다)에 결합하며, 검은 얼룩을 형성한다.
Al 및 Ag와는 별도로, Au는 높은 반사율로도 잘 알려져 있다. 그러나, Au는 매우 고가이며 액정 디스플레이 장치의 반사체 또는 건물 유리의 반사층으로 사용하기에 실용적이지 않다.
본 발명의 목적은 Ag의 특성인 높은 광학 반사율을 유지하고 내열성과 내후성을 포함하는 물질 안정성이 향상된 반사층을 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 코팅층을 포함하는 적층체를 제공하는 것이며, 상기코팅층은 상기 적층체가 Ag-함유 반사층의 높은 광학 반사율을 유지하게 하고 짧은 파장에서 낮은 흡광도를 가지게 한다.
본 발명의 또 다른 목적은 Ag-함유 반사층과 기판 사이의 접착성을 증가시키는 베이스 필름을 포함하는 적층체를 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 전술한 반사층 또는 적층체가 구비된 액정 디스플레이 장치를 제공하는 것이다.
도 1은 액정 디스플레이 장치를 포함하는 휴대용 단말기의 투시도이다.
본 발명에 의한 반사층은 주성분으로서 Ag를 포함하고, Au, Pd 및 Ru로 이루어진 군으로부터 선택된 0.1-3.0 중량%의 제1원소 및 Cu, Ti, Cr, Ta, Mo, Ni, Al, Nb, Au, Pd 및 Ru로 이루어진 군으로부터 선택된 0.1-3.0 중량%의 제2원소를 포함한다. 상기 제2원소는 상기 제1원소와 상이하다.
본 발명에 의한 하나의 적층체는 기판과 상기 기판 상에 증착된 반사층을 포함한다. 상기 반사층은 주성분으로서 Ag를 포함하고, Au, Pd 및 Ru로 이루어진 군으로부터 선택된 0.1-3.0 중량%의 제1원소 및 Cu, Ti, Cr, Ta, Mo, Ni, Al, Nb, Au, Pd 및 Ru로 이루어진 군으로부터 선택된 0.1-3.0 중량%의 제2원소를 포함한다. 상기 제2원소는 상기 제1원소와 상이하다.
다른 하나의 적층체는 기판, 상기 기판 상에 증착된 베이스 필름 및 상기 베이스 필름 상에 증착된 Ag-함유 반사층을 포함한다. 상기 베이스 필름은 Si, Ta, Ti, Mo, Cr, Al, ITO, ZnO2, SiO2, TiO2, Ta2O5, ZrO2, In2O3, SnO2, Nb2O5및 MgO 중의 하나 이상으로 만들어진다.
또 다른 적층체는 Ag-함유 반사층과 상기 반사층 상에 증착된 코팅층을 포함한다. 상기 코팅층은 주성분으로 In2O3를 포함하고 SnO2, Nb2O5, SiO2, MgO 및 Ta2O5중의 하나 이상을 포함한다.
상기 반사층 또는 전술한 적층체를 포함하는 액정 디스플레이 장치 및 상기 액정 디스플레이 장치를 구비한 휴대용 단말기가 또한 제공된다.
본 발명의 다른 일면 및 이점은 첨부되는 도면, 본 발명의 실시예와 연관하여 이하의 기판에 의해 명백해 질 것이다.
본 발명은, 그 목적 및 이점과 더불어, 첨부된 도면과 함께 이하의 본 발명의 바람직한 실시예에 대한 기재를 참조하여 가장 잘 이해 될 수 있을 것이다.
본 발명에 의한 Ag-합금 반사층은
i) 주성분으로서 Ag;
ii) Au, Pd 및 Ru로 이루어진 군으로부터 선택된 0.1-3.0 중량%의 제1원소; 및
iii) Cu, Ti, Cr, Ta, Mo, Ni, Al, Nb, Au, Pd 및 Ru로 이루어진 군으로부터 선택된 0.1-3.0 중량%의 제2원소를 포함하며, 제2원소는 제1원소와 상이하다.
Au, Pd 또는 Ru를 Ag에 첨가하면 높은 온도 및 높은 습도의 조건 하에서 Ag의 내후성이 향상된다. 주성분인 Ag는 매우 높은 열전도성을 가지고 열을 흡수하는 경향이 있으며 원자 레벨에서 빨리 열포화된다. Au, Pd 및 Ru는 Ag의 열전도성을 감소시키고 원자 사이의 운동을 억제한다. Au, Pd 및 Ru는 완전한 고체 용액을 형성한다. Au, Pd 및 Ru의 함량은 바람직하게는 0.7 내지 2.3 중량%이며, 가장 바람직하게는 0.9 중량%이다.
Cu, Ti, Cr, Ta, Mo, Ni, Al 및 Nb는 Au, Pd 및 Ru와 조합하여 Ag-함유 반사층의 내열성 및 내후성을 향상시킨다. Cu, Ti, Cr, Ta, Mo, Ni, Al 및 Nb의 함량은 바람직하게는 0.5 내지 2.5 중량%이며, 가장 바람직하게는 1.0 중량%이다.
Cu, Ti, Cr, Ta, Mo, Ni, Al 또는 Nb 없이, Au, Pd 및 Ru의 둘 이상이 상기 반사층의 내열성 및 내후성을 향상시키기 위해 상기 반사층에 포함될 수 있다.
본 발명에 의한 반사층에 있어서, 순수한 Al 및 순수한 Ag 반사층과 비교할 때 표면 입자의 운동이 빈약하다. 다시 말하면, 가열에 의한 Ag의 자체-확산 에너지가 본 발명에 의한 반사층에서는 줄어든다. 따라서, 본 발명에 의한 반사층은 자체 확산을 억제하며, 이것이 상기 반사층의 내열성을 향상시킨다. 상기 반사층은 제조 공정 중 또는 임의의 기후 조건 하에서 가열된다. 본 발명에 의한 반사층에서, 반사율의 감소가 억제된다. 특히, 상기 반사층이 100℃ 이상으로 가열될 때에, 자체 확산에 의한 육안 관찰 가능한 반사층의 변화(백탁화) 및 표면 변형에 의한 흡광도의 증가가 억제된다.
본 발명에 의한 반사층은 높은 내열성, 높은 반사율을 가지며 알칼리성 유기 물질에 노출되었을 때에도 안정하다. 더욱이, 상기 반사층은 수지 기판에서 방출되는 기체에 대해서도 화학적으로 안정하다. 높은 내열성 및 반사율은 반사형 액정 디스플레이 장치의 반사 배선 전극 또는 반사체 및 건물 유리용 열선 또는 적외선 반사층에 필요하다. 본 발명에 의한 반사층은 이들 모두에 사용될 수 있다.
본 발명에 의한 반사층은 스퍼터링(sputtering) 또는 증착에 의해 제조될 수있다. 본 발명에 따른 반사층은 그 제조공정과 관계 없이 안정하며, 다양한 목적 및 많은 종류의 기판을 위한 안정한 특성을 가진다.
높은 내열성의 코팅층을 상기 Ag-함유 반사층 상에 증착할 수 있다. 상기 코팅층은 주성분으로서 In2O3를 포함하며, SnO2, Nb2O5, SiO2, MgO 및 Ta2O5중의 하나 이상을 포함한다. 상기 반사층은 순수한 Ag 또는 Ag 합금일 수 있다. 어느 경우에서나, 반사층의 높은 반사율이 유지되며, 코팅층이 없는 반사층과 비교할 때, 짧은 파장에서의 흡광도가 감소한다.
본 발명에 의한 반사층은 수지 기판 또는 유리 기판과 함께 적층체를 형성할 수 있다. 특정 순도 또는 조성의 수지 기판이 사용되는 경우에, 많은 양의 기체가 발생한다. 금속이 상기 기체와 반응할 가능성이 다분하며 산화물 필름과 같은 불안정한 필름이 반사층과 상기 수지 기판 사이의 계면에 생성될 수 있다. 이 경우, 환원 반응의 방지를 위해 금속 산화물이 금속 원소보다 바람직하다. 상기 단점을 제거하기 위해, 상기 반사층과 수지 기판 또는 유리 기판 사이에 접착성 증가용 베이스 필름을 위치시킬 수 있다.
상기 유리 기판용 베이스 필름은 Si, Ta, Ti, Mo, Cr, Al, ITO(In 산화물 및 Sn 산화물의 복합 산화물), ZnO2, SiO2, TiO2, Ta2O5, ZrO2, In2O3, SnO2, Nb2O5또는 MgO를 포함할 수 있다. Si, Ta, Ti, Mo, Cr 및 Al과 같은 원소 금속으로 제조된 베이스 필름은 증착(또는 증발), 스퍼터링, CVD 또는 이온 플레이팅(plating)에 의해 형성될 수 있다. 이들 공정은 베이스 필름 및 Ag 합금 반사층의 제조에 있어 연속적으로 사용될 수 있으며, 이는 상기 층의 제조를 용이하게 한다.
ITO, ZnO2, SiO2, TiO2, Ta2O5, ZrO2, In2O3, SnO2, Nb2O5및 MgO와 같은 금속 산화물로 된 베이스 필름은 또한 증착, 스퍼터링 또는 이온 플레이팅에 의해서 쉽게 제조될 수 있다. 예를 들어, 창유리용 IR 반사층이 제조될 때, 균일한 반사 특성의 층이 상기 임의의 공정에 의해 제조될 수 있다.
상기 반사층 하에 상기 베이스 필름을 위치시킬 때, 상기 적층체의 열 안정성을 확보할 수 있다. 상기 적층체의 광학 특성은 반사층의 형태(순수한 Ag이거나 Ag 합금이거나)에 관계 없이 유지된다. 상기 반사층 상에 코팅층을 적층할 때에 조차, 상기 적층체의 열 안정성은 여전히 확보되며 적층체의 광학 특성은 반사층의 형태에 관계 없이 유지된다.
액정 디스플레이 장치용 유리 기판 및 건물 유리용 유리 기판은 크기가 크다. 이러한 기판에서, 미세 구조 및 두께에 걸쳐 정확한 표면 프로파일이 제조된 층에서 매우 중요하다. 따라서, 스퍼터링이 바람직하다. 상기 베이스 필름이 스퍼터링에 의해 제조될 때, 안정한 베이스 필름의 제조를 위해 스퍼터링 장치 내의 대기는 진공 배기 된다. 수지 기판이 사용되면, 상기 진공 배기 중 기체가 발생하고 진공도는 상승되지 않는다. 따라서, 수지 기판에 있어서는 증착 공정이 바람직하다.
상기 수지 기판용 베이스 필름은 특히 화학적 안정성을 필요로 한다. 따라서, 상기 수지 기판용 베이스 필름은 금속 산화물의 박막 필름인 것이 바람직하다. 본 발명에 의한 반사층과 함께 사용되는 경우에, 수지 기판용 베이스 필름은 바람직하게는 ITO, ZnO2, SiO2, TiO2, Ta2O5, ZrO2, In2O3, SnO2, Nb2O5또는 MgO를 포함하고, 더 바람직하게는 ITO, ZnO2, SiO2, TiO2, Ta2O5또는 ZrO2를 포함한다.
반사 배선 전극의 전기적 특성을 향상시키기 위해, 베이스 필름은 바람직하게는 ITO, ZrO2의 전도 금속 산화물 또는 약 1-10 nm의 두께의 복합 산화물을 포함한다. 상기 베이스 필름은 절연성이 높고, Ag 합금 반사층 및 상기 베이스 필름을 포함하는 적층체의 체적 저항이 실질적으로 향상된다. 따라서, 상기 반사층의 특성은 상기 베이스 필름과 함께 유지된다.
반사율 및 굴절률과 같은 광학 특성의 저하를 억제하기 위해, 베이스 필름은 SiO2, TiO2, Ta2O5, ZrO2, In2O3, SnO2, Nb2O5또는 MgO를 포함하는 것이 바람직하다. SiO2는 400 내지 4000 nm의 광파장 영역에서 빛을 덜 흡수하기 때문에, 흡광도의 증가에 기인하는 반사율의 저하를 억제할 수 있다. TiO2, Ta2O5, ZrO2, In2O3, SnO2, Nb2O5및 MgO는 높은 굴절률 및 낮은 흡광도를 갖기 때문에, 이들 역시 바람직하다.
상기 베이스 필름이 사용되면, 상기 적층체의 접착 정도 및 광학 특성은 향상되고 상기 적층체의 열 안정성이 유지된다. 상기 적층체의 광학 특성은 상기 반사층의 형태(순수한 Ag이거나 Ag 합금이거나)에 관계 없이 유지된다. 따라서, 본 발명에 의한 반사층은 최상의 성능을 보인다.
도 1에서와 같이, 휴대용 단말기(1)는 액정 디스플레이 장치(2)를 포함한다. 상기 액정 디스플레이 장치(2)는 순서대로 적층된, 하부 유리 기판 상의 반사체,컬러 필터, 편광층, 액정층, 편광층, 투명 전도층 및 상부 유리 기판에 의해 형성된다. 반사체의 역할을 하는 본 발명에 의한 적층체는 상기 컬러 필터 제조 과정 동안 발생하는 알칼리성 물질로부터 보호된다. 상기 적층체는 순수한 Al 또는 Al 합금보다 높은 반사율 및 낮은 흡광도를 가지며, 상기 적층체를 구비한 액정 디스플레이 장치(2)는 광 손실을 덜 겪는다. 본 발명에 의한 적층체를 구비한 액정 디스플레이 장치(2)의 휘도는 순수한 Al 또는 Al 합금으로 만들어진 반사체를 구비한 액정 디스플레이 장치의 휘도보다 크다. 이러한 액정 디스플레이 장치(2)를 구비한 휴대용 단말기(1)는 향상된 디스플레이를 가진다. 따라서, 상기 제품의 품질은 향상된다.
실시예
비교예
이원 Ag-합금으로부터 Ag-합금 반사층을 제조하였다. 이원이란 두개의 원소 즉, 주성분으로서의 Ag, 및 Au, Pd 또는 Ru를 의미한다. Au, Pd 또는 Ru의 함량은 0.1-4.0 중량%이다.
우선, Ag 타겟(target) 및 Pd 타겟을 마그네트론 스퍼터링 장치에 설치하였다. 특정 RF 전력에서, Ag 및 Pd 타겟에 대한 전기 방전을 제어하였다. Ar 기체는 선택적으로 0.1 내지 3.0 Pa 범위에서 세트하였다. 상기 두가지 금속 원소는 동시에 스퍼터링하여 여러 다른 레벨의 Pd를 함유하도록 Ag-합금층을 형성하였다. 여러 다른 레벨의 Au 또는 Ru를 함유하는 Ag-합금층을 또한 제조하였다.
기판으로 100 nm ×100 nm ×1.1 t의 크기를 갖는 석영 기판을 사용하였다.스퍼터링 공정 동안 상기 기판의 온도는 상온(약 25℃)이었다. 도달 진공도가 3 ×10E-6 Pa인 높은 진공의 대기 중에서 Ar 기체를 유일한 스퍼터링 기체로서 사용하여, 상기 Ag-합금층을 상기 석영 기판 상에 증착하여 층의 두께가 20 nm가 되게 하였다.
높은 진공의 대기 중에서 Ag-합금층을 증착하는 이유는 순수하지 않은 기체가 상기 층에 남아 있는 것을 방지하고 상기 층을 치밀하게 하기 위함이다. 따라서, Ag-합금 물질의 원하는 특성이 확보된다.
상기 결과물인 Ag-합금층을 뜨거운 플레이트에 약 2시간 동안 방치하였다. 그 다음, 상기 층을 관찰하였다. 상기 층 표면에서 육안 관찰 가능한 변화(백탁화)의 존재 또는 부존재, 및 상기 육안 관찰 가능한 변화가 일어나는 시간을 측정하였다. 저항 가열식에 의해 상기 뜨거운 플레이트를 20℃/min의 가열율로 250℃까지 가열하였다. 가열전 후의 상기 Ag-합금층의 반사율을 측정하였다. 그 결과를 표 1에 나타내었다.
(표 1)
표 1에 나타낸 바대로, 순수한 Ag-합금층과 마찬가지로 Au, Pd 또는 Ru를 포함하는 이원 Ag-합금층의 층 표면에서 육안 관찰 가능한 변화는 억제되지 않았다. 이로써 이들 이원층이 내열성이 아니며 외기 온도 및 태양광에 노출되었을 때 불안정하다고 간주할 수 있었다. 가열 후, 상기 이원 Ag-합금층의 반사율은 가열 후의 순수한 Ag 층의 반사율과 비교할 때 단지 2 내지 3% 향상되었다. 따라서, Au, Pd 및 Ru의 첨가에 의한 표면 확산 억제 효과는 없었다.
실시예 1
본 발명에 의한 Ag-합금 반사층을 3원 Ag 합금으로부터 제조하였다. 3원이란 세개의 원소 즉, 주성분은 Ag이고, Au, Pd 및 Ru로 이루어진 군으로부터 선택된 제1원소 및 Cu, Ti, Cr, Ta, Mo, Ni, Al, Nb, Au, Pd 및 Ru로 이루어진 군으로부터 선택된 제2원소를 의미한다. 상기 제2원소는 상기 제1원소와 상이하다. 상기 제1원소 및 제2원소의 함량은 0.1-0.3 중량%이었다.
우선, Ag 타겟, 제1원소 및 제2원소를 마그네트론 스퍼터링 장치에 설치하였다. 상기 세개의 금속 원소는 동시에 스퍼터링되어 Ag-합금층을 형성하였다.
비교예에서와 같이, 기판으로 100 nm ×100 nm ×1.1 t의 크기를 갖는 석영 기판을 사용하였다. 스퍼터링 공정 동안 상기 기판의 온도는 상온(약 25℃)이었다. 도달 진공도가 3 ×10E-6 Pa인 높은 진공의 대기 중에서 Ar 기체를 유일한 스퍼터링 기체로서 사용하여, 상기 Ag-합금층을 상기 석영 기판 상에 증착하여 층의 두께가 200 nm가 되게 하였다.
상기 결과물인 Ag-합금층을 뜨거운 플레이트에 약 2시간 동안 방치하였다. 그 다음, 상기 층을 관찰하였다. 상기 층 표면에서 육안 관찰 가능한 변화(백탁화)의 존재 또는 부존재, 및 상기 육안 관찰 가능한 변화가 일어나는 시간을 측정하였다. 가열전 후의 상기 Ag-합금층의 반사율을 측정하였다. 그 결과를 표 2에 나타내었다.
(표 2)
표 2 계속
표 2 계속
표 2 계속
표 2 계속
표 2 계속
표 2 계속
비교예의 Ag-합금층에서 표면 변화 및 이에 부수하는 반사율의 감소가 관찰되는데 반해, 표 2에서와 같이, 실시예 1의 여하한 실험 조성에 의한 Ag-합금층에서는 상기 표면 변화 및 반사율의 감소가 관찰되지 않았다.
또한, 다양한 Ag-합금이 증착되고 전술한대로 250℃로 가열된 상기 석영 기판을 400℃에서 2시간 동안 뜨거운 플레이트에 더 방치하였다. 여하한 실험 조성의 Ag-합금층에서도 표면 변화 및 반사율의 감소가 관찰되지 않았다(데이터 미기재).
Ag 및 0.1-0.3 중량%의 Cu, Ti, Cr, Ta, Mo, Ni, Al 또는 Nb를 포함하지만 Au, Pd 또는 Ru를 포함하지 않는 Ag-합금 반사층을 제조하였다. 설명한대로, 상기 Ag-합금층을 동시 스퍼터링에 의해 상기 석영 기판 상에 증착시켜 상기 층의 두께가 15 nm가 되게 하였다. 시간이 지남에 따라, 육안 관찰 가능한 층의 변화가 250℃ 및 450℃ 모두에서 관찰되었다. 모든 층들은 백색이 되었고 반사율은 감소하였다(데이터 미기재).
이들을 고려할 때, 주성분으로서의 Ag와 제1원소 및 제2원소를 포함하는 Ag-합금층은 향상된 내열성 및 일정하게 유지되는 높은 반사율을 가진다는 것이 밝혀졌다.
실시예2
본 실시예에서는, 반사형 액정 디스플레이 장치용 반사 배선 전극 및 반사체로서의 상기 3원 Ag-합금층의 유용성을 알아보았다.
통상적인 금속층(순수한 Al, Al 합금, Ag, 이원 Ag 합금) 및 본 발명에 의한 3원 Ag-합금층에 대하여 화학적 안정성에 관한 내부식성 실험을 실시하였다. 액체 레지스트를 상기 반사층에 도포하고 이들 위에 패턴을 형성하였다. 다음으로, 상기 반사층을 알칼리 용액(5% KOH 수용액)으로 세척하여 상기 레지스트를 제거하였다. 상기 층의 표면을 관찰하여 그 결과를 표 3에 나타내었다.
(표 3)
표 3 계속
표 3 계속
표 3에서 나타낸 바와 같이, 어떠한 조성이든 본 발명에 의한 Ag-함유층에서 반사율의 감소는 관찰되지 않았다. 따라서, 상기 3원 Ag-함유층은 통상적인 층보다 알칼리 용액에 대해 더 안정하였으며 본 발명에 의한 층의 품질이 통상적인 층보다 우수하였다.
다음으로, 500 nm 및 800 nm에서의 반사율을 상기 두 개의 층에서 측정하였다. 500 내지 800 nm(565 nm)의 영역은 액정 디스플레이 장치의 표준 광파장 영역이다. 표 4에 나타낸 바와 같이, 본 발명에 의한 3원 Ag-합금층의 반사율은 Al, Al 합금, Ag, 이원 Ag-합금층과 비교할 때, 0.5-3% 향상되었다.
(표 4)
표 4 계속
표 4 계속
따라서, 본 발명에 의한 상기 Ag-합금층은 반사형 액정 디스플레이 장치용 반사 배선 전극 또는 반사체에 매우 유용하다는 것이 밝혀졌다.
실시예 3
본 실시예에서는, 건물 유리용 적외선 또는 열선 반사층으로서의 상기 3원 Ag-합금층의 유용성을 알아보았다. 또한, 높은 온도 및 높은 습도 조건 하에서 수지 기판에 대한 3원층의 적합성을 알아보았다.
높은 온도 및 높은 습도 조건 하에서 3원 Ag-합금층에 대한 내후성 테스트를실행한 후, Ag-Pd 합금층, Ag-Au 합금층, Ag-Ru 합금층을 포함하는 2원 Ag-합금층과 비교하였다. 상기 3원 Ag-합금층을 모든 종류의 기판(무-알칼리 유리, 저-알칼리 유리, 보로실리케이트 유리 및 석영 유리로 만들어진 기판) 상에 3원 동시 스퍼터링에 의해 증착하였다. 시간에 따라, 90℃ 및 90% 습도의 대기중에서 상기 Ag-합금층의 변화를 측정하였다.
상기 3원 반사층의 단일층 및 베이스 필름과 상기 3원 반사층의 적층체에 대하여 내후성 테스트를 실행하였다. 상기 단일층의 경우에는, 상기 3원 반사층을 기판 상에 직접 증착하였다. 상기 적층체의 경우에는, ITO, ZnO2, ZnO2-Al2O3복합 산화물 및 SiO2와 같은 베이스 필름을 기판 상에 증착한 다음, Ag-합금 반사층을 상기 베이스 필름상에 증착하였다. 상기 단일층과 적층체의 차이점 역시 평가하였다.
그 결과, 상기 3원 반사층의 단일층 및 베이스 필름과 Ag-합금 반사층의 적층체는 2원 반사층의 단일층보다 높은 내후성을 가진다는 것이 밝혀졌다. 상기 3원 반사층은 상기 베이스 필름과 관계 없이 내열성, 반사율 및 내후성을 유지하였다.
본 발명에 의한 3원 반사층은 창유리와 같은 건물 유리용 적외선 또는 열선 반사층으로서 통상적인 2원 반사층보다 더 유용하다는 것을 확인 하였다(데이터 미기재).
Al, Al 합금, Ag, Ag-Pd 합금으로 제조된 통상적인 범용 반사층은 높은 온도 및 높은 습도 조건 하에서 방치시켰을 때, 접착성 계면에서 수지 기판과 반응한다. 높은 온도 및 높은 습도 조건 하에서, 본 발명에 의한 반사층의 상기 수지 기판에대한 화학적 안정성에 관하여 하기의 테스트를 실행하였다.
본 발명에 의한 3원 반사층의 화학적 안정성을 확인하기 위해, 상기 반사층을 PMMA, PET, PC, 실리콘 등의 수지층에 3원 동시 스퍼터링에 의해 두께 15 nm로 증착하였다. 상기 층을 높은 온도 및 높은 습도 조건 하에서 24시간 동안 방치하였다. 시간에 따른 외관 및 반사 특성의 변화를 측정하였다.
(표 5)
표 5 계속
표 5 계속
표 5에 나타낸 바와 같이, 24시간 경과 후에 상기 3원 Ag-합금 반사층에 변화가 관찰되지 않았다. 다양한 수지 기판 상의 3원 반사층의 반사율을 분광광도계로 측정했을 때, 반사형 액정 디스플레이 장치에 유용한 광파장 565 nm 및 건물 유리에 필요한 400 nm 내지 4 ㎛의 광파장 영역에서 반사율의 감소가 관찰되지 않았다(데이터 미기재).
본 발명에 의한 3원 반사층은 수지에 대한 높은 화학적 안정성을 가지며 통상적인 층과는 달리 특정 기판에 한정되지 않는다는 것이 입증되었다.
실시예 4
본 발명에 의한 3원 반사층과 다양한 기판 사이의 접착성 및 상기 반사층과 기판 사이에 위치된 베이스 필름의 접착성에 대한 효과를 측정하였다.
우선, 상기 반사층을 PMMA, PET, PC, 실리콘, 아크릴계 수지, 무-알칼리 유리, 저-알칼리 유리, 보로실리케이트 유리 및 석영 유리 기판 상에 RF 스퍼터링에 의해 직접 증착하여 적층체를 제조하였다. JIS(일본 공업 표준) 셀로판 테잎을 상기 반사층에 부착하였다. 주어진 장력에서 상기 테입이 떼어졌을 때, 기판에서 상기 반사층이 분리되는 것이 관찰되었다. 또한, 상기 적층체를 커터로 입방형으로자르고 비이커 속의 순수한 물에 담궜다. 초음파를 상기 순수한 물에 가하였다. 초음파의 진동수는 50kHz였고 전력은 100W였다. 상기 초음파를 가한 후, 상기 반사층의 분리가 x40 현미경하에서 관찰되었고 상기 베이스 필름의 필요성을 확인하였다.
PMMA, PET, PC, 실리콘 및 아크릴계 수지에서는 분리가 관찰되지 않았다. 본 발명에 의한 반사층은 통상적인 Al, Al 합금, Ag 또는 Ag 합금층에 비하여 수지 기판에 대한 접착성이 더욱 좋다.
한편, 무-알칼리 유리, 저-알칼리 유리, 보로실리케이트 유리 및 석영 유리에서는 부분적인 또는 광범위한 분리가 관찰되었다. 본 발명에 의한 반사층은 비록 그 분리 정도가 경우에 따라 차이가 있지만, 유리 기판에 대한 접착성은 좋지 않았다(데이터 미기재).
다음으로, 유리 기판에 대한 반사층의 접착성을 향상시키기 위해 또는 상기 반사층의 반사율을 손상시키지 않고 높은 반사 성능을 얻기 위해, Si, Ta, Ti, Mo, Cr, Al, ITO, ZnO2, SiO2, TiO2, Ta2O5, ZrO2, In2O3, SnO2, Nb2O5또는 MgO로 된 베이스 필름을 RF스퍼터링에 의해, PMMA, PET, PC, 실리콘, 아크릴계 수지, 무-알칼리 유리, 저-알칼리 유리, 보로실리케이트 유리 및 석영 유리에 도포하였다. 다음으로, 본 발명에 의한 3원 반사층을 상기 베이스 필름 상에 RF 스퍼터링에 의해 증착하여 적층체를 제조하였다. JIS 셀로판 테입의 가닥을 최상부 층에 부착하였다. 전술한대로, 주어진 장력에서 상기 테입이 떼어졌을 때, 기판에서 상기 반사층이 분리되는 것이 관찰되었다. 또한, 상기 적층체를 커터로 입방형으로 자르고 비이커 속의 순수한 물에 담궜다. 초음파를 상기 순수한 물에 가하였다. 초음파의 진동수는 50kHz였고 전력은 100W였다. 상기 초음파를 가한 후, 상기 반사층의 분리가 x40 현미경하에서 관찰되었고 상기 베이스 필름의 필요성을 확인하였다.
표 6에 나타낸 바와 같이, 베이스 필름을 사용하였을 때, 상기 반사층이 순수한 Ag이든 Ag 합금이든 간에 분리가 관찰되지 않았다. 본 테스트에 사용된 반사층의 반사율을 분광광도계에 의해 측정하였다. 표 7은 특정 베이스 필름(TiO2-Nb2O5)을 사용하였을 때, 접착성은 물론 반사율도 향상되었음을 나타낸다.
(표 6)
(표 7)
특히, TiO2, Ta2O5, ZrO2, In2O3, SnO2, Nb2O5및 MgO로 된 베이스 필름은 표 8의 In2O3-Nb2O5에 의해 나타낸 바와 같이 높은 굴절률 및 낮은 흡광도를 가진다. 상기 굴절률에 기초한 광학 특성의 변화가 본 필름에 의해 억제되었다.
(표 8)
실시예 5
코팅층의 내열성에 대한 효과 및 상기 반사층의 반사율을 측정하였다. 통상적인 Ag 반사층(순수한 Ag 또는 이원 Ag 합금) 또는 본 발명에 의한 3원 반사층 상에, In2O3를 주성분으로 포함하고 SnO2, Nb2O5, SiO2, MgO 및 Ta2O5중의 하나 이상을 포함하는 코팅층을 증착하여 적층체를 제조하였다. 상기 적층체를 250℃에서 어닐링(anneal)하였으며, 이 온도는 액정 디스플레이 장치의 제조 공정 중에 상기 기판에 가해지는 온도이다.
코팅층 없이, 반사층의 흡광도는 어닐링 후에 증가하였고, 이는 표 9에 나타낸 바와 같이 상기 층의 품질을 저하시켰다. 내열성을 위해 상기 코팅층이 사용된 경우의 흡광도에 대한 실험 데이터를 표 10 내지 12에 나타내었다.
(표 9)
(표 10)
(표 11)
(표 12)
표 11은 어닐링 후에, 코팅층이 없는 반사층 보다 본 발명에 의한 코팅층이 있는 반사층에서 그 흡광도가 더 감소되었음을 보여준다. 표 11의 본 발명에 의한 In2O3-15 중량% Nb2O5코팅층은 표 10의 SiO2코팅층 및 표 12의 ITO 코팅층 보다 낮은 흡광도를 가졌다.
표 13은 베이스 필름, 반사층 및 약 250℃에서 어닐링한 후의 코팅층을 포함하는 3층 적층체의 광학 특성이 표 9 내지 12의 광학 특성과 유사하다는 것을 보여준다. 상기 적층체의 접착성은 표 6의 적층체 만큼 좋았다. 상기 3층 적층체는 광학 특성 및 접착성 양자 모두 뛰어났다.
상기 3층 적층체의 광학 특성은 상기 코팅층의 사용에 의해서 손상되지 않았다. 반대로, 상기 코팅층이 In2O3를 주성분으로 포함하고, 1-30 중량%의 Nb2O5가 사용된 경우에 반사율은 1-6% 증가하였고 흡광도는 250℃ In2O3에서 어닐링한 후에 감소되었다. 표 14는 얇은 코팅층이 사용된 경우라도 향상된 반사율 및 우수한 광학 특성을 얻을 수 있음을 보여준다.
(표 13)
(표 14)
본 실시예 및 구현예는 설명을 위한 것이며, 제한적이지 않은 것으로 이해되어야 하고, 본 발명은 여기에 기재된 상세한 설명에 제한되지 않지만, 첨부된 청구항의 범위 및 이와 동등한 범위 내에서 가감될 수 있다.
설명한 바와 같이, 본 발명에 의한 내열 반사층은 향상된 물질 안정성을 가지며 알칼리 유기 물질에 노출된 경우에도 안정하다. 또한 상기 반사층으로 제조된 적층체 및 상기 반사층 또는 적층체를 구비한 액정 디스플레이 장치는 반사율이 높고 광학 특성이 우수하며 내열성 및 내후성이 뛰어나다.

Claims (21)

  1. 주성분으로서 Ag;
    Au, Pd 및 Ru로 이루어진 군으로부터 선택된 0.1-3.0 중량%의 제1원소; 및
    Cu, Ti, Cr, Ta, Mo, Ni, Al, Nb, Au, Pd 및 Ru로 이루어진 군으로부터 선택된 0.1-3.0 중량%의 제2원소를 포함하고, 상기 제2원소가 제1원소와 상이한 것을 특징으로 하는 반사층.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 반사층이 증착에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 반사층.
  3. 제 1항에 있어서, 상기 반사층이 스퍼터링에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 반사층.
  4. 기판; 및
    주성분으로서 Ag를 포함하고, Au, Pd 및 Ru로 이루어진 군으로부터 선택된 0.1-3.0 중량%의 제1원소 및 Cu, Ti, Cr, Ta, Mo, Ni, Al, Nb, Au, Pd 및 Ru로 이루어진 군으로부터 선택된 0.1-3.0 중량%의 제2원소를 포함하며, 상기 제2원소가 제1원소와 상이하고, 상기 기판에 증착된 반사층을 포함하는 것을 특징으로 하는 적층체.
  5. 제 4항에 있어서, 상기 기판이 수지 기판인 것을 특징으로 하는 적층체.
  6. 제 4항에 있어서, 상기 기판이 유리 기판인 것을 특징으로 하는 적층체.
  7. 기판;
    Si, Ta, Ti, Mo, Cr, Al, ITO, ZnO2, SiO2, TiO2, Ta2O5, ZrO2, In2O3, SnO2, Nb2O5또는 MgO 중의 하나 이상으로 제조되며 상기 기판 상에 증착된 베이스 필름; 및
    상기 베이스 필름 상에 증착된 Ag-함유 반사층을 포함하는 것을 특징으로 하는 적층체.
  8. 제 7항에 있어서, 상기 반사층이 순수한 Ag 또는 이원 Ag 합금을 포함하는 것을 특징으로 하는 적층체.
  9. 제 7항에 있어서, 상기 반사층이 주성분으로서 Ag를 포함하고, Au, Pd 및 Ru로 이루어진 군으로부터 선택된 0.1-3.0 중량%의 제1원소 및 Cu, Ti, Cr, Ta, Mo, Ni, Al, Nb, Au, Pd 및 Ru로 이루어진 군으로부터 선택된 0.1-3.0 중량%의 제2원소를 포함하며, 상기 제2원소가 제1원소와 상이한 것을 특징으로 하는 적층체.
  10. 제 7항 내지 제 9항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 반사층 상에 증착된 코팅층을 더 포함하며, 상기 코팅층이 In2O3를 주성분으로 포함하고 SnO2, Nb2O5, SiO2, MgO 및 Ta2O5중의 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 적층체.
  11. 제 7항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 기판이 유리 기판인 것을 특징으로 하는 적층체.
  12. 제 7항에 있어서, 상기 베이스 필름이 Si, Ta, Ti, Mo, Cr 또는 Al 중의 하나 이상으로 제조되는 것을 특징으로 하는 적층체.
  13. 제 7항에 있어서, 상기 베이스 필름이 ITO, ZnO2, SiO2, TiO2, Ta2O5, ZrO2, In2O3, SnO2, Nb2O5또는 MgO 중의 하나 이상으로 제조되는 것을 특징으로 하는 적층체.
  14. 제 13항에 있어서, 상기 기판이 수지 기판인 것을 특징으로 하는 적층체.
  15. Ag-함유 반사층; 및
    In2O3를 주성분으로 포함하고 SnO2, Nb2O5, SiO2, MgO 및 Ta2O5중의 하나 이상을 포함하며 상기 반사층 상에 증착된 코팅층을 포함하는 것을 특징으로 하는 적층체.
  16. 제 15항에 있어서, 상기 반사층이 순수한 Ag 또는 이원 Ag 합금을 포함하는 것을 특징으로 하는 적층체.
  17. 제 15항에 있어서, 상기 반사층이 주성분으로서 Ag를 포함하고, Au, Pd 및 Ru로 이루어진 군으로부터 선택된 0.1-3.0 중량%의 제1원소 및 Cu, Ti, Cr, Ta, Mo, Ni, Al, Nb, Au, Pd 및 Ru로 이루어진 군으로부터 선택된 0.1-3.0 중량%의 제2원소를 포함하며, 상기 제2원소가 제1원소와 상이한 것을 특징으로 하는 적층체.
  18. 제 5항, 8항 및 15항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 적층체가 건물 유리, 또는 액정 디스플레이 장치용 반사 배선 전극 또는 반사체인 것을 특징으로 하는 적층체.
  19. 제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 따른 반사층을 구비하는 것을 특징으로 하는 액정 디스플레이 장치.
  20. 제 4항 내지 제 9항 및 제 12항 내지 제 17항 중 어느 한 항에 따른 적층체를 구비하는 것을 특징으로 하는 액정 디스플레이 장치.
  21. 제 19항 또는 제 20항에 따른 액정 디스플레이 장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 휴대용 단말기.
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TW (1) TWI284746B (ko)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100482676B1 (ko) * 2002-08-22 2005-04-13 솔라 어플라이드 머티리얼 테크놀로지 코포레이션 반사형 평면 디스플레이의 반사막과 스퍼터링 타겟재의합금재
US7462560B2 (en) 2005-08-11 2008-12-09 United Microelectronics Corp. Process of physical vapor depositing mirror layer with improved reflectivity
KR101340820B1 (ko) * 2008-09-23 2013-12-11 코오롱인더스트리 주식회사 플라스틱 기판

Families Citing this family (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20040210933A1 (en) * 2003-01-07 2004-10-21 Universal Electronics Inc. User interface for a remote control application
US20070037402A1 (en) * 2003-02-05 2007-02-15 Kazuyoshi Inoue Method for manufacturing semi-transparent semi-reflective electrode substrate, reflective element substrate, method for manufacturing same, etching composition used for the method for manufacturing the reflective electrode substrate
EP1464714A1 (de) * 2003-02-13 2004-10-06 W.C. Heraeus GmbH & Co. KG Legierungen sowie Reflektorschicht, und deren Verwendung
JP4371690B2 (ja) 2003-04-11 2009-11-25 セントラル硝子株式会社 電波透過性波長選択板およびその作製法
JP2005029849A (ja) * 2003-07-07 2005-02-03 Kobe Steel Ltd リフレクター用Ａｇ合金反射膜、及び、このＡｇ合金反射膜を用いたリフレクター、並びに、このＡｇ合金反射膜の形成用のＡｇ合金スパッタリングターゲット
JP2006337770A (ja) * 2005-06-02 2006-12-14 Central Glass Co Ltd 表面鏡
KR20070059293A (ko) * 2005-12-06 2007-06-12 삼성전자주식회사 액정 표시 장치, 이를 위한 표시판 및 그 제조 방법
EP2172991A1 (en) 2008-10-03 2010-04-07 Thomson Licensing, Inc. OLED with a composite semi-transparent electrode to enhance light-extraction over a large range of wavelengths
TWI462685B (zh) * 2010-01-19 2014-11-21 Fih Hong Kong Ltd 電子裝置殼體
JP5969745B2 (ja) * 2010-09-10 2016-08-17 株式会社半導体エネルギー研究所 半導体装置
US20140003992A1 (en) * 2011-03-11 2014-01-02 Kf Licensing, Inc. Tarnish-resistant sterling silver alloys
US20150151281A1 (en) * 2013-12-02 2015-06-04 King Abdullah University Of Science And Technology Multi-metallic nanomaterials from ni, ag, pd with pt's catalytic activity
CN107815655A (zh) * 2017-10-27 2018-03-20 中山市汉庭照明科技有限公司 一种制备低发热量灯具保护罩的方法
CN107740998A (zh) * 2017-10-27 2018-02-27 中山市汉庭照明科技有限公司 一种低发热量灯具保护罩
SE543408C2 (en) * 2018-10-22 2021-01-05 Mimsi Mat Ab Glazing and method of its production
TWI767344B (zh) * 2020-09-29 2022-06-11 行政院原子能委員會核能研究所 雷射二極體反射器及其製備方法
TWI729956B (zh) * 2020-10-28 2021-06-01 行政院原子能委員會核能研究所 具抗濕功能的陽光控制膜及其製造方法
KR102680655B1 (ko) * 2021-12-21 2024-07-02 엠에스웨이 주식회사 저저항 도전성 박막 및 그 제조방법

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0733931B1 (en) * 1995-03-22 2003-08-27 Toppan Printing Co., Ltd. Multilayered conductive film, and transparent electrode substrate and liquid crystal device using the same
US5689321A (en) * 1995-04-13 1997-11-18 Canon Kabushiki Kaisha Display apparatus
JP3410667B2 (ja) * 1997-11-25 2003-05-26 シャープ株式会社 反射型液晶表示装置およびその製造方法
US6007901A (en) * 1997-12-04 1999-12-28 Cpfilms, Inc. Heat reflecting fenestration products with color corrective and corrosion protective layers
TW525033B (en) * 1999-03-15 2003-03-21 Toppan Printing Co Ltd An electrode substrate for reflected type liquid crystal display device, and reflected type liquid crystal display device
JP3941322B2 (ja) * 1999-03-15 2007-07-04 凸版印刷株式会社 反射型液晶表示装置用電極基板及びそれを用いた反射型液晶表示装置
JP4260972B2 (ja) * 1999-03-30 2009-04-30 ソニー株式会社 光学記録媒体
KR100859921B1 (ko) * 1999-11-26 2008-09-23 가부시키가이샤 후루야긴조쿠 반사체

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100482676B1 (ko) * 2002-08-22 2005-04-13 솔라 어플라이드 머티리얼 테크놀로지 코포레이션 반사형 평면 디스플레이의 반사막과 스퍼터링 타겟재의합금재
US7462560B2 (en) 2005-08-11 2008-12-09 United Microelectronics Corp. Process of physical vapor depositing mirror layer with improved reflectivity
KR101340820B1 (ko) * 2008-09-23 2013-12-11 코오롱인더스트리 주식회사 플라스틱 기판

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Publication number Publication date
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