KR20000008009A - 전계 방출 표시소자 및 그 스페이서 제조 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명에 따른 전계 방출 표시소자는 전면 기판과 배면 기판; 상기 전면 기판과 배면 기판의 내면에 각각 형성되어 교차하는 부위에 단위 픽셀을 마련하는 X-Y 매트릭스 상의 양극과 음극; 상기 음극에 마련되는 다수의 마이크로 팁; 상기 음극 상에 형성되는 것으로 상기 마이크로 팁이 대응하는 홀을 갖는 절연체층; 상기 홀에 대응하는 개구부를 갖는 게이트; 상기 단위 픽셀을 벗어난 비화소 영역에 마련되어 상기 전면 기판과 배면 기판의 간격을 유지시키는 스페이서부;를 구비한 전계 방출 표시소자에 있어서, 상기 스페이서부는, 상기 전면 기판의 양측 상면에 부착된 스페이서 지지부; 상기 스페이서 지지부에 형성된 결합홈; 상기 양 스페이서 지지부의 상호 대향하는 상기 결합홈에 그 양단이 끼워진 상태로 상기 전면 기판의 상면에 고정되는 박판 스페이서; 및 상기 각 박판 스페이서의 하부측 양측면에 접촉되게 설치되어 상기 박판 스페이서를 지지하는 스페이서 고정부;를 구비하는 것을 특징으로 한다.

따라서, 스페이서의 제작 및 위치 정렬이 매우 용이하고, 정확도를 높일 수 있으며, 높이 조절이 용이하다. 그리고, 스페이서의 제조 공정 시간을 단축할 수 있으며, 높은 종횡비를 갖고, 스페이서 개수의 조정이 용이하며, 저가의 스페이서 제작이 가능하다.

Description

전계 방출 표시소자 및 그 스페이서 제조 방법

본 발명은 고진공에 의한 압력에 대해 충분한 강도를 갖고, 정밀하면서 가공이 용이한 고정세 스페이서가 구비된 전계 방출 표시소자 및 그 스페이서 제조 방법에 관한 것이다.

전계 방출 표시소자는 고전계 하에서 진공중으로 전자를 방출하는 마이크로팁을 채용한 것으로, 전자를 응용하는 각종 산업기기 및 평판 표시소자 분야에 적용되고 있다.

특히, 평판 표시소자 분야에 있어서, 최근 액정 표시소자와 플라즈마 표시소자에 이은 차세대 표시 소자로서 전계 효과를 이용한 전자 방출 디스플레이 장치가 많은 주목을 받고 있다.

현재 전계 효과 전자 방출 평판 표시소자의 실용화를 위해서 고진공 패키징 기술이 활발히 연구개발 되고 있으나, 아직까지 여러 공정 및 재료의 검토 단계로서 충분히 안정된 공정 및 재료의 연구 개발이 이루어지지 못하고 있다.

도 1은 종래 전계 방출 표시소자의 개략적 사시도, 도 2는 종래의 전계 방출 표시소자의 개략적 단면도이다.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 배면 기판(1)의 표면에 스트라이프 상의 음극(2)이 다수 나란하게 형성되어 있고, 음극(2)의 위에는 홀(3')이 형성된 절연체층(3)이 형성되어 있으며, 그 위에 금속 게이트(4)가 절연체층(3)의 홀(3')에 대응하는 개구부(4')를 갖도록 형성되어 있으며, 홀(3') 내의 바닥 즉, 노출된 음극(2)의 표면에 원추형의 마이크로 팁(2')이 형성된다.

특히, 종래의 스페이서(8)는 스트라이프 상의 양극(6)과 형광막(5)이 도포된 전면 기판(7)의 국소 영역에 유리 페이스트를 스크린 프린팅하는 방법에 의해 기둥형으로 형성한 다음, 상기 음극(2), 마이크로팁(2'), 절연체층(3) 및 게이트(4)가 형성된 배면 기판(1)에 접착하여 형성된다.

한편, 배면 기판(1)에 대해 스페이서(8)에 의해 일정한 간격을 유지하는 전면 기판(7)의 내면에는 음극(2)에 대해 직교하는 방향으로 양극(6)이 다수 나란하게 형성되고, 양극(6)의 위에는 형광막(5)이 도포되어 있다.

이상과 같은 구조에 의해 음극(2)과 양극(6)이 교차하는 부분이 단위 화소가 되게 된다. 그리고, 음극(2)과 양극(6)이 교차하지 않는 부분 즉, 비화소 영역에는 스페이서(8)가 위치한다. 스페이서(8)는 페이스트를 이용한 다중 스크린 인쇄법에 의해 비화소 영역에 대응하는 전면 기판(7)의 내면에 형성된다.

그리고, 전면 기판(7)과 배면 기판(1)의 가장자리 부분에는 전면 기판(7)과 배면 기판(1)의 진공 상태의 내부 공간을 패쇄하는 실링부(9)가 형성된다.

그리고, 글래스 실링(glass sealing)을 위하여 프리트 글래스(frit glass) 재질의 실링부(9)를 도포시 패널 내부로의 침범을 방지하기 위하여 스페이서 높이의 글래스 스틱(glass stick; 9')이 형성된다.

이와 같이 지지대 역할만을 하도록 설치된 종래의 스페이서(8)는 도 3에 도시된 바와 같이, 마스크(10)를 사용하여 유리페이스트를 수회에 걸쳐 스크린 프린트하여 만들어졌다.

그러나, 이러한 스크린 인쇄법에 의하면 인쇄된 프리트 글래스가 굳어가는 과정 중 흘러내리기 때문에 즉, 인쇄된 영역 바깥으로 확산되기 때문에 목적하는 직경 또는 폭의 스페이서를 얻기 위해서는 스크린 인쇄시 프리트 글래스의 점도 및 경화시간 등이 고려되어야 한다. 특히, 스페이서는 일회의 스크린 인쇄로 얻어질 수 없고, 수회 예를 들어, 7회 이상의 스크린 인쇄에 의해 얻어지게 된다. 이러한 다중 스크린 인쇄가 진행되는 과정 중 전술한 바와 같이 프리트 글래스의 흘러내림 등의 이유에 의해 인쇄가 진행될수록 폭이 좁아지게 되고, 특히 일회 인쇄 후, 인쇄된 페이스트 글래스가 어느 정도 굳어질 때까지 기다린 후, 다음번의 인쇄가 실시되어야 한다. 결론적으로 글래스 페이스트에 의한 스크린 인쇄법에 의하면 목적하는 치수의 스페이서를 얻기 어렵고, 이에 소요되는 시간이 길다. 그리고, 페이스트 글래스가 경화되는 중에는 전술한 바와 같은 흘러내림이 나타나고, 또는, 인쇄 공정중의 전면 기판에 대한 스크린 마스크의 정렬 오차로 인하여 스페이서(8)의 지지대상면 즉, 전면 기판의 점유폭 대 스페이서의 높이에 대한 비율인 종횡비(aspect ratio; 높이/폭)를 1 이상으로 하기가 매우 어려운 문제점을 가지고 있다.

한편, 고정세 및 높은 종횡비를 갖는 스페이서의 경우, 수직으로 고정시키는 것이 매우 어려우며, 스페이서의 접착제를 사용하여 접착할 경우, 접착제에 의한 아웃가싱(out gasing)이 우려되고, 접착제가 넓은 영역을 차지하므로 고정세 스크린 형성이 어려운 문제점이 있다.

그리고, 전면 기판과 배면 기판과의 간격이 1㎜ 이상이 요구되어지나 스페이서를 형성하기 위해서는 전면 기판의 형광체 패턴 사이의 매우 미세한 부분에 형성되어야 하므로 재료의 선정 및 구조적 제한이 따르는 문제점과, 고진공의 내압에 견딜 수 있는 충분한 강도를 가짐과 동시에 1㎜ 이상의 간격 유지를 위한 스페이서의 제조가 요구되어진다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 개선하고자 창출된 것으로서, 고진공에 의한 압력에 대해 충분한 강도를 가지고, 높은 종횡비를 갖는 스페이서를 구비한 전계 방출 표시소자 및 그 스페이서 제조 방법을 제공함에 그 목적이 있다.

또한, 본 발명은 정밀하면서 가공이 용이 스페이서를 구비하는 전계 방출 표시소자 및 그 스페이서 제조 방법을 제공함에 그 다른 목적이 있다.

도 1은 종래 전계 방출 표시소자의 개략적 사시도,

도 2는 종래의 전계 방출 표시소자의 개략적 단면도이고,

도 3은 도 2의 전계 방출 표시소자의 스페이서 제조 방법을 설명하기 위해 그 제조공정의 일부를 나타내 보인 단면도이고,

도 4는 본 발명에 따른 전계 방출 표시소자를 나타내 보인 단면도이고,

도 5는 도 4의 스페이서부를 나타낸 단면도이고,

도 6은 도 5의 입체 사시도이고,

도 7은 도 6의 분해 사시도이다.

< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 >

1. 배면 기판 2. 음극

2'. 마이크로팁 3. 절연체층

4. 게이트 5. 형광막

6. 양극 7. 전면 기판

8. 스페이서 9. 실링부

9'. 글래스 스틱(glass stick)

10. 마스크 11. 배면 기판

12. 음극 12'. 마이크로팁

13. 절연체층 14. 게이트

15. 형광막 16. 양극

17. 전면 기판 18. 스페이서

19. 실링부 20. 스페이서부

21. 스페이서 지지부 22. 결합홈

23. 스페이서 고정부

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 전계 방출 표시소자는, 전면 기판과 배면 기판; 상기 전면 기판과 배면 기판의 내면에 각각 형성되어 교차하는 부위에 단위 픽셀을 마련하는 X-Y 매트릭스 상의 양극과 음극; 상기 음극에 마련되는 다수의 마이크로 팁; 상기 음극 상에 형성되는 것으로 상기 마이크로 팁이 대응하는 홀을 갖는 절연체층; 상기 홀에 대응하는 개구부를 갖는 게이트; 상기 단위 픽셀을 벗어난 비화소 영역에 마련되어 상기 전면 기판과 배면 기판의 간격을 유지시키는 스페이서부;를 구비한 전계 방출 표시소자에 있어서, 상기 스페이서부는, 상기 전면 기판의 양측 상면에 부착된 스페이서 지지부; 상기 스페이서 지지부에 형성된 결합홈; 상기 양 스페이서 지지부의 상호 대향하는 상기 결합홈에 그 양단이 끼워진 상태로 상기 전면 기판의 상면에 고정되는 박판 스페이서; 및 상기 각 박판 스페이서의 하부측 양측면에 접촉되게 설치되어 상기 박판 스페이서를 지지하는 스페이서 고정부;를 구비하는 것을 특징으로 한다.

상기 스페이서는 세라믹 내지 유리 중 적어도 하나로 이루어진 것이 바람직하다.

또한, 상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 전계 방출 표시소자의 스페이서 제조 방법은, 전면 기판과 배면 기판; 상기 전면 기판과 배면 기판의 내면에 각각 형성되어 교차하는 부위에 단위 픽셀을 마련하는 X-Y 매트릭스 상의 양극과 음극; 상기 음극에 마련되는 다수의 마이크로 팁; 상기 음극 상에 형성되는 것으로 상기 마이크로 팁이 대응하는 홀을 갖는 절연체층; 상기 홀에 대응하는 개구부를 갖는 게이트; 상기 단위 픽셀을 벗어난 비화소 영역에 마련되어 상기 전면 기판과 배면 기판의 간격을 유지시키는 스페이서부;를 구비한 전계 방출 표시소자의 스페이서 제조 방법에 있어서, (가) 상기 전면 기판의 양측 상면에 설치하며, 상호 대향하는 측면에 유리 페이스트가 도포된 결합홈을 구비하는 스페이서 지지부를 고정하는 단계; (나) 유리 페이스트가 도포된 상기 결합홈에 박판의 스페이서를 끼워 맞추는 단계; (다) 상기 스페이서의 중간 부분 양측면에 접촉되는 스페이서 고정부를 상기 전면 기판 상에 형성하는 단계; 및 (라) 상기 전면 기판을 소정 온도로 소성시키는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기 (나) 단계에서, 상기 스페이서는 스핀 코팅법에 의해 박판으로 형성하며, 그린 테이프를 1300℃로 소성하여 형성하고, 세라믹 내지 유리 중 적어도 하나로 이루어지며, 상기 스페이서의 폭은 25 내지 300㎛이고, 높이는 1 내지 5㎜인 것이 바람직하다.

상기 (다) 단계에서, 상기 스페이서 고정부는 스크린 인쇄법 내지 식각으로 형성하며, 상기 (라) 단계에서, 상기 전면 기판의 소성 온도는 450℃인 것이 바람직하다.

따라서, 세라믹이나 유리의 재질로 형성되어 고진공의 내압에 견딜 수 있는 충분한 강도를 가짐과 동시에 전면 기판과 배면 기판의 간격을 1㎜ 이상으로 유지할 수 있으며, 높은 종횡비를 갖는 스페이서가 구비된 전계 방출 표시소자를 제공하는 점에 그 특징이 있다.

이러한 특징을 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 전계 방출 표시소자 및 그 스페이서 제조 방법을 상세하게 설명한다.

도 4는 본 발명에 따른 전계 방출 표시소자를 나타내 보인 단면도이고, 도 5는 도 4의 스페이서부를 나타낸 단면도이고, 도 6은 도 5의 입체 사시도이고, 도 7은 도 6의 분해 사시도이다.

도 4 내지 도 7을 참조하면, 전계 방출 표시소자는 전면 기판(17)과 배면 기판(11)이 전면 기판(17)에 대해 수직으로 고정된 스페이서부(20)의 스페이서(18)에 의해 상호 일정거리를 두고 대향 지지되어 있다. 그리고, 후술되는 홀(13') 내의 바닥 즉, 노출된 음극(12)의 표면에 원추형의 마이크로 팁(12')이 형성된다.

이 마이크로 팁(12')들은 음극(12) 위에 형성된 절연체층(13)에 의해 둘러싸인 홀(13') 내에 설치되어 있다. 그리고 절연체층(13)의 위에는 홀(13')에 대응하는 개구부(14')를 갖는 게이트(14)들이 적층되어 있다. 전면 기판(17)에 형성된 양극(16) 위에는 형광막(15)들이 형성되어 있다.

즉, 음극(12)과 양극(16)이 교차하는 부분이 단위 화소가 되게 된다. 그리고, X-Y 매트릭스 상의 음극(12)과 양극(16)이 교차하지 않는 부분 즉, 비화소 영역에는 전면 기판(17)에 대해 수직으로 고정된 스페이서부(20)의 스페이서(18)가 전면 기판(17)과 배면 기판(11)의 이격거리를 유지시키도록 전면 기판(17) 상에 위치한다. 그리고, 전면 기판(17)과 배면 기판(11)의 가장자리 부분에는 전면 기판(17)과 배면 기판(11)의 진공 상태의 내부 공간을 패쇄하는 실링부(19)가 형성된다.

이와 같이, 상기 전면 기판(17)과 배면 기판(11)의 이격거리를 유지시키기 위한 상기 스페이서부(20)는 상기 전면 기판(17)의 양측 상면에 부착된 스페이서 지지부(21)가 구비된다. 상기 스페이서 지지부(21)에는 후술되는 박판의 스페이서(18)가 끼워 맞춤으로 결합가능하도록 레이저 및 기계적 가공에 의해 결합홈(22)이 형성된다. 여기서, 상기 결합홈(22)에는 후술되는 박판의 스페이서(18)가 수직으로 결합 고정 가능하도록 유리 페이스트가 도포되어 있다. 그리고, 상기 결합홈(22)에 결합되는 것으로 후술되는 박판의 스페이서(18) 양측에 형성된 스페이서 고정부(23)에 의해 전면 기판(17)의 상면에 수직으로 고정되는 박판의 스페이서(18)를 구비한다.

스페이서 고정부(23)는 스페이서(18)를 완전하게 기울기 없이 서게 할 뿐만 아니라, 스페이서(18)의 미스얼라인먼트(misalighnment)를 방지하기 위함이다.

상기 스페이서(18)의 재질은 세라믹(ceramic), 유리 세라믹(glass-ceramic), 유리(glass), 세라믹 테이프(ceramic tape), 유리강화 세라믹(ceramic reinforced glass) 및 데비트로글래스(devitroglass)등으로 이루어진다.

이와 같이, 전면 기판(17)에 마련되되, 전면 기판(17)에 대해 수직으로 고정된 상기 스페이서부(20)의 스페이서(18)를 구비한 전계 방출 표시소자는 근본적으로 기존의 음극선관(CRT)과 유사한 방식으로 동작한다.

즉, 음극으로부터 전자들이 방출되어 투명한 전면 기판(17)상에 도포되어 있는 형광체에 충돌함으로써 빛을 발생시킨다. 음극선관의 경우 단 하나의 전자총을 가지며, 전자총으로부터 스크린 까지의 거리가 멀어 스크린의 크기가 증가할수록 튜브의 부피와 무게도 증가하게 된다.

반면에, 전계 방출 표시소자에 있어서는 각각의 픽셀이 별도의 전자총들을 갖는데, 이들은 마이크로팁의 어레이들로 구성된다. 게이트에 걸리는 정전압에 의애 이들 전자총으로부터 전자가 방출되어 보다 강한 정전압이 걸려있는 형광체 쪽으로 가속되어 충돌한다. 포울러-노드하임(Fowler-Nordheim)의 이론에 의하면 방출 전류는 방출 전류의 일함수에 강하게 의존한다.

또한, 방출 표면의 청결도와 균일도도 매우 중요하다. 즉, 전계 방출 표시소자의 제조 공정에 이용되는 재료들은 최상의 청결도를 유지하여야 한다. 기존의 형광체 재료인 황이 방출 소자에 도포되면 팁의 손상이 일어나게 되므로 전계 방출 표시소자용 저전압 형광체로서 황 성분이 없는 형광 재료들이 거론되고 있다.

한편, 대부분의 전계 방출 표시소자는 고진공수준(10^-7torr 정도)으로 유지됨으로써 방출 전자들의 평균 자유 행정을 늘리고, 팁의 물리 화학적 오염이나 손상을 방지할 수 있어야 한다.

스크린의 면적이 증가하게 되면 이러한 고진공하에서 휨 현상이 일어나므로 일정한 거리 마다 스페이서(18)를 위치시켜야 하며, 본 발명에 따른 고전압의 전계 방출 표시소자에 있어서, 종횡비(aspect ratio)가 높고, 고진공에 의한 압력에 대해 충분한 강도를 가지며, 정밀하면서도 가공이 용이한 고정세 스페이서(18)를 사용하여 전면 기판(17)과 배면 기판(11)과의 진공영역 간격이 1㎜ 이상을 유지할 수 있다.

이와 같이, 본 발명에 따른 전계 방출 표시소자에 있어서, 스페이서의 제조 방법을 도 5 내지 도 6을 참조하여 상세하게 설명한다.

먼저, 후술되는 스페이서(18)의 고정상태, 갭(gap) 유지상태 및 스페이서(18)의 얼라인먼트(alighnment) 상태가 정확하도록 전면 기판(17)의 양측 상면에 스페이서 지지부(21)를 고정한다. 상기 스페이서 지지부(21)는 후술되는 박판의 스페이서(18)가 결합되어 고정가능하도록 결합홈(22)을 형성한다. 여기서, 상기 결함홈(22)은 레이저 및 기계적으로 가공하여 박판의 스페이서(18)를 평행하고, 안정되게 기울기 없이 유지시켜준다. 또한, 결합홈(22)을 통하여 진공 배기가 용이하도록 형성한다.

다음으로, 유리 페이스트를 상기 결합홈(22)에 도포하고, 상기 결합홈(22)에 박판의 스페이서(18)를 수직으로 끼워 맞춰 고정한다.

여기서, 상기 스페이서(18)는 비전도성 및 높은 종횡비(aspect ratio)를 가지며, 고진공에 의한 압력에 대해 충분한 강도를 갖도록 세라믹(ceramic), 유리 세라믹(glass-ceramic), 유리(glass), 세라믹 테이프(ceramic tape), 유리강화 세라믹(ceramic reinforced glass) 및 데비트로글래스(devitroglass)등의 재질로 이루어지며, 스핀 코팅(spin coating)법이나 그린 테이프(green tape)를 1300℃로 소성하여 박판으로 형성한다. 여기서, 상기 스페이서(18)의 폭은 25㎛∼300㎛이며, 높이는 1㎛∼5㎜인 것이 바람직하다.

다음으로, 각각의 상기 스페이서(18)의 양측에 스페이서 고정부(23)를 형성한다. 여기서, 상기 스페이서 고정부(23)는 스크린 인쇄법(screen printing) 내지 식각(etching)에 의한 후막 형성으로 형성한다. 이러한 스페이서 고정부(23)는 스페이서(18)를 완전하게 기울기 없이 서게 할 뿐만 아니라, 스페이서(18)의 미스얼라인먼트(misalighnment)를 방지할 수 있게 한다.

마지막으로, 상기 전면 기판(17)을 450℃로 소성시킨 후, 스페이서부(20)의 스페이서(18)가 고정된 전면 기판(17)을 뒤집어 이를 다시 마이크로팁들(12')의 형성이 완료된 배면 기판(11)과 정확히 정렬하여 정합시킨다.

그 다음, 그 내부가 소정의 압력 예컨데, 10^-7토르(torr)정도의 진공압으로 유지시킨 상태에서 프리트 글래스(frit glass)재질의 실링부(19)로 밀폐한다. 그리고, 가열 장치를 사용하여 전면 기판(17) 및 배면 기판(11)의 내부를 고진공이 되도록 배기해 준 다음, 글래스 튜브(glass tube)를 열로써 용융 밀봉함으로써, 스페이서부(20)의 스페이서(18)가 장착된 전계 방출 표시소자의 제조가 완료된다.

이상에서의 설명에서와 같이, 본 발명에 따른 전계 방출 표시소자 및 그 스페이서 제조 방법에 있어서, 그 장점은 다음과 같다.

첫째, 스페이서의 제작 및 위치 정렬이 매우 용이하고, 정확도를 높일 수 있으며, 높이 조절이 용이하다.

둘째, 스페이서의 제조 공정 시간을 단축할 수 있으며, 높은 종횡비를 가진다.

셋째, 스페이서 개수의 조정이 용이하며, 저가의 스페이서 제작이 가능하다.

Claims (9)

1. 전면 기판과 배면 기판; 상기 전면 기판과 배면 기판의 내면에 각각 형성되어 교차하는 부위에 단위 픽셀을 마련하는 X-Y 매트릭스 상의 양극과 음극; 상기 음극에 마련되는 다수의 마이크로 팁; 상기 음극 상에 형성되는 것으로 상기 마이크로 팁이 대응하는 홀을 갖는 절연체층; 상기 홀에 대응하는 개구부를 갖는 게이트; 상기 단위 픽셀을 벗어난 비화소 영역에 마련되어 상기 전면 기판과 배면 기판의 간격을 유지시키는 스페이서부;를 구비한 전계 방출 표시소자에 있어서,

   상기 스페이서부는,

   상기 전면 기판의 양측 상면에 부착된 스페이서 지지부;

   상기 스페이서 지지부에 형성된 결합홈;

   상기 양 스페이서 지지부의 상호 대향하는 상기 결합홈에 그 양단이 끼워진 상태로 상기 전면 기판의 상면에 고정되는 박판 스페이서; 및

   상기 각 박판 스페이서의 하부측 양측면에 접촉되게 설치되어 상기 박판 스페이서를 지지하는 스페이서 고정부;를 구비하는 것을 특징으로 하는 전계 방출 표시소자.
2. 제1항에 있어서,

   상기 스페이서는 세라믹 내지 유리 중 적어도 하나로 이루어진 것을 특징으로 하는 전계 방출 표시소자.
3. 전면 기판과 배면 기판; 상기 전면 기판과 배면 기판의 내면에 각각 형성되어 교차하는 부위에 단위 픽셀을 마련하는 X-Y 매트릭스 상의 양극과 음극; 상기 음극에 마련되는 다수의 마이크로 팁; 상기 음극 상에 형성되는 것으로 상기 마이크로 팁이 대응하는 홀을 갖는 절연체층; 상기 홀에 대응하는 개구부를 갖는 게이트; 상기 단위 픽셀을 벗어난 비화소 영역에 마련되어 상기 전면 기판과 배면 기판의 간격을 유지시키는 스페이서부;를 구비한 전계 방출 표시소자의 스페이서 제조 방법에 있어서,

   (가) 상기 전면 기판의 양측 상면에 설치하며, 상호 대향하는 측면에 유리 페이스트가 도포된 결합홈을 구비하는 스페이서 지지부를 고정하는 단계;

   (나) 유리 페이스트가 도포된 상기 결합홈에 박판의 스페이서를 끼워 맞추는 단계;

   (다) 상기 스페이서의 중간 부분 양측면에 접촉되는 스페이서 고정부를 상기 전면 기판 상에 형성하는 단계; 및

   (라) 상기 전면 기판을 소정 온도로 소성시키는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 전계 방출 표시소자의 스페이서 제조 방법.
4. 제3항에 있어서,

   상기 (나) 단계에서,

   상기 스페이서는 스핀 코팅법에 의해 박판으로 형성하는 것을 특징으로 하는 전계 방출 표시소자의 스페이서 제조 방법.
5. 제3항에 있어서,

   상기 (나) 단계에서,

   상기 스페이서는 그린 테이프를 1300℃로 소성하여 형성하는 것을 특징으로 하는 전계 방출 표시소자의 스페이서 제조 방법.
6. 제3항에 있어서,

   상기 (나) 단계에서,

   상기 스페이서는 세라믹 내지 유리 중 적어도 하나로 이루어진 것을 특징으로 하는 전계 방출 표시소자의 스페이서 제조 방법.
7. 제3항에 있어서,

   상기 (나) 단계에서,

   상기 스페이서의 폭은 25 내지 300㎛이며, 높이는 1 내지 5㎜인 것을 특징으로 하는 전계 방출 표시소자의 스페이서 제조 방법.
8. 제3항에 있어서,

   상기 (다) 단계에서,

   상기 스페이서 고정부는 스크린 인쇄법 내지 식각으로 형성하는 것을 특징으로 하는 전계 방출 표시소자의 스페이서 제조 방법.
9. 제3항에 있어서,

   상기 (라) 단계에서,

   상기 전면 기판의 소성 온도는 450℃인 것을 특징으로 하는 전계 방출 표시소자의 스페이서 제조 방법.