KR19990001351U

KR19990001351U - Field emission display device with circular pixel

Info

Publication number: KR19990001351U
Application number: KR2019970014798U
Authority: KR
Inventors: 정호련
Original assignee: 엄길용; 오리온전기 주식회사
Priority date: 1997-06-19
Filing date: 1997-06-19
Publication date: 1999-01-15

Abstract

본 고안은 균일한 팁을 갖는 실리콘 원형 화소를 갖는 전계방출 표시소자 에 관한 것이다. 본 고안에 따라 화소의 최외각의 디스크 캡의 크기를 내부의 디스크 캡 보다 크게 형성함으로서, 포토 및 식각공정에 따른 과도식각으로 인한 최외각 에미터의 손실을 보상하여, 모든 에미터에서 균일하게 전자를 방출할 수 있다. 또한, 화소를 원형으로 형성하여 모서리 부분과 변 부분의 에미터 팁이 에칭물에 의한 화학적 영향을 균일하게 받아 모든 에미터가 균일한 성질을 띨 수 있다.The present invention relates to a field emission display device having a silicon circular pixel having a uniform tip. According to the present invention, the size of the outermost disk cap of the pixel is made larger than the inner disk cap, thereby compensating for the loss of the outermost emitter due to the transient etching due to the photo and etching process, and uniformly Can emit. In addition, since the pixels are formed in a circular shape, the emitter tips of the corner portions and the edge portions are uniformly affected by the chemicals caused by the etchant, and thus all emitters have uniform properties.

Description

Field emission display device with circular pixel

본 고안은 전계방출 표시소자에 관한 것으로, 특히 균일한 에미터팁으로 이루어진 원형의 단위화소를 갖는 전계방출 표시소자에 관한 것이다.The present invention relates to a field emission display device, and more particularly to a field emission display device having a circular unit pixel consisting of a uniform emitter tip.

일반적으로 전계방출 표시소자는 팁 형상을 하는 소정의 금속 또는 실리콘 등에 높은 전기장을 인가하여 하판상의 팁으로부터 전자를 방출하여 상판에 형성되어 있는 형광층을 발광시켜 영상을 표시하는 디스플레이 장치이다.In general, a field emission display device is a display device that displays an image by emitting a fluorescent layer formed on an upper plate by applying a high electric field to a predetermined metal or silicon having a tip shape to emit electrons from a tip on a lower plate.

실리콘 전계방출 표시소자 제조공정은 열산화막 형성단계, 디스크 캡 패터닝단계, 실리콘 식각 (팁 형성) 단계 등의 여러 단계를 거쳐 이루어진다.The silicon field emission display device manufacturing process is performed through various steps such as a thermal oxide film forming step, a disk cap patterning step, and a silicon etching (tip forming) step.

이러한 제조공정에서 전계방출 표시소자에 있어서 중요한 구성 성분인 팁은 전자를 용이하게 방출시키기 위해 뾰족한 팁 형상을 형성한다. 하지만, 이러한 팁의 형성시 포토 및 에칭공정으로 인해 단위화소를 이루는 디스크 캡의 최외각이 중심보다 더 과도하게 식각되는 경향이 있다. 또한, 종래 캐소드 전극 (1) 과 게이트 전극 (2) 에 의해 형성되는 에미터 팁을 형성하기 위해 단위화소 (3) 내부의 디스크 캡을 사각형으로 배열시키는 경우, 최외각의 모서리 부분이 변 부분 보다 에칭 등의 화학처리에 의한 에칭가스 등의 화학적 영향을 더 많이 받게 되어 최외각의 모서리 부분이 더욱 과도하게 에칭되는 경향이 있다.In this manufacturing process, the tip, which is an important component of the field emission display device, forms a sharp tip shape in order to easily discharge electrons. However, during the formation of the tip, the outermost portion of the disc cap forming the unit pixel tends to be more etched than the center due to the photo and etching process. In addition, when the disk caps inside the unit pixels 3 are arranged in a square to form an emitter tip formed by the conventional cathode electrode 1 and the gate electrode 2, the outermost corner portion is larger than the side portion. More chemical influences such as etching gas due to chemical treatment such as etching tend to be excessively etched at the outermost corner portions.

따라서, 디스크 캡을 식각하여 형성되는 에미터 팁의 크기도 최외각에 위치하는 팁의 크기가 중심에 위치하는 팁의 크기 보다 작게 형성되어 동일한 동작 조건 (에칭조건, 또는 인가전압 등) 에서 최외각의 팁은 내부의 팁에 비해 무디어지게 되어 최외각의 팁에서는 전자방출이 용이하지 않게 된다. 그로 인해 전계 방출이 되는 에미터의 수가 감소하게 되어 화질 등이 나쁘게 된다는 문제점이 존재한다.Therefore, the size of the emitter tip formed by etching the disc cap is also smaller than the size of the tip located at the center of the outermost tip, so that the outermost angle is maintained under the same operating conditions (etching conditions or applied voltages). The tip of the is dull compared to the tip of the inside, so the electron emission is not easy at the outermost tip. As a result, there is a problem that the number of emitters emitted by the field is reduced, resulting in poor image quality.

따라서, 본 고안은 상기한 문제점을 감안하여 창안된 것으로, 최외각의 디스크 캡을 중심부보다 크게 형성하여, 포토 및 에칭공정에 의한 과도식각 효과를 보상함으로서 최외각과 중심부에서 에미터 팁을 균일하게 형성할 수 있다. 또한, 화소를 원형으로 설계함으로서 화학적 물질의 영향이 일정하게 미치도록 하는 것이다.Therefore, the present invention was devised in view of the above-mentioned problems, and by forming the outermost disk cap larger than the central part, the emitter tip is uniformly distributed at the outermost part and the central part by compensating for the transient etching effect by the photo and etching process. Can be formed. In addition, by designing the pixel in a circular shape, the influence of the chemical substance is constant.

도 1 은 종래 전계방출 표시소자 화소의 도면.1 is a diagram of a conventional field emission display device pixel;

도 2 는 본 고안에 따라 형성된 디스크 캡의 단면도.2 is a cross-sectional view of a disk cap formed in accordance with the present invention.

도 3 은 본 고안에 따른 전계방출 표시소자 화소의 도면.3 is a view of a field emission display device pixel according to the present invention;

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

1 : 캐소드 전극2 : 게이트 전극1 cathode electrode 2 gate electrode

3, 3' : 단위화소4 : 디스크 캡3, 3 ': unit pixel 4: disc cap

이하 본 고안의 구성을 도면을 참조하여 더욱 상세하게 설명한다.Hereinafter, the configuration of the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.

도 2 에 도시된 바와 같이, 외각의 디스크 캡 (4) 의 크기를 내부의 것 보다 크게, 바람직하게는 10 % 더 크게 형성하여, 과도식각으로 인해 팁의 크기가 불균일하게 되는 영향을 줄일수 있게 된다.As shown in Fig. 2, the size of the outer disk cap 4 is made larger than the inner one, preferably 10% larger, so as to reduce the effect of uneven tip size due to overetching. do.

이때, 화소의 형태는 사각형일 수 있으며, 바람직하게는 도 3 에 도시된 바와 같이 원형으로 형성하여 외각의 팁이 균일한 화학적 처리를 받을 수 있다.In this case, the shape of the pixel may be a quadrangle, and preferably, as shown in FIG. 3, a circular shape may be subjected to a uniform chemical treatment.

따라서, 본 고안에 따른 화소를 사용함으로서, 픽셀 전체에 걸쳐 균일한 전계방출 표시소자 를 형성할 수 있으며, 또한, 화소 내의 모든 에미터가 전자를 방출할 수 있어 높은 전류밀도를 가질수 있다.Therefore, by using the pixel according to the present invention, it is possible to form a uniform field emission display device over the entire pixel, and also all emitters in the pixel can emit electrons and thus have a high current density.

Claims

A disk cap for forming an emitter tip of a field emission display device, wherein the outermost disk cap has a larger size than an inner disk cap.

The field emission display device of claim 1, wherein the outermost disk cap is 10% larger than the inner disk cap.

The field emission display device of claim 1, wherein the pixel is rectangular or circular.