KR102720939B1 - Method for adjusting clearance between air bearing and shaft of chuck table for back grinding device - Google Patents
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Abstract
본 발명은 백그라인딩 장비용 척테이블의 에어베어링과 샤프트의 간극 조절 방법에 관한 것으로, 더욱 구체적으로는 에어베어링의 다공질 패드의 원주방향 지지부와 제1샤프트의 외주면에 서로 대응되는 형태의 테이퍼면을 형성하여 에어베어링의 다공질 패드의 원주방향 지지부와 제1샤프트 사이의 간극을 원하는 간극으로 조절하기 위해 제1샤프트를 다공질 패드의 내경 및 원하는 간극 치수에 맞게 별도로 가공하여 간극을 조절할 필요 없이 제1샤프트를 축방향으로 직선 이동시키는 것만으로 에어베어링의 다공질 패드와 제1샤프트 간의 간극을 조절할 수 있다.
따라서, 백그라인딩 장비용 척테이블의 에어베어링과 샤프트의 간극을 간편하게 조절할 수 있어, 작업이 용이해져 생산성을 향상시킬 수 있다.
또한, 에어베어링의 다공질 패드의 내경을 원하는 내경으로 가공한 후 다공질 패드의 내경과 미리 설정된 간극을 고려하여 제1샤프트의 외경 수치를 결정하고 제1샤프트를 정해진 외경 수치로 후가공하는 종래 방식의 경우 제1샤프트에 가공 오차가 발생하여 미리 설정된 간극을 벗어나는 경우 이미 가공된 제1샤프트를 폐기하고 새로 제조해야만 함에 따라 제조 비용이 증대되고 생산성이 저하되었다.
반면, 본 발명에서는 에어베어링의 다공질 패드의 원주방향 지지부와 제1샤프트의 외주면에 서로 대응되는 형태의 테이퍼면을 형성함으로써 제1샤프트를 축방향으로 직선 이동시키는 것만으로 에어베어링의 다공질 패드와 제1샤프트 간의 간극을 간편하면서도 정확하게 조절할 수 있기 때문에 가공 오차에 의해 제1샤프트를 폐기하는 일이 발생하는 것을 방지할 수 있어 척테이블의 제조 비용을 절감할 수 있다.The present invention relates to a method for adjusting a gap between an air bearing and a shaft of a chuck table for backgrinding equipment, and more specifically, by forming a tapered surface having a shape corresponding to that of a circumferential support portion of a porous pad of an air bearing and an outer surface of a first shaft, so as to adjust the gap between the circumferential support portion of the porous pad of an air bearing and the first shaft to a desired gap, without separately processing the first shaft to match the inner diameter of the porous pad and the desired gap dimension, the gap between the porous pad of the air bearing and the first shaft can be adjusted only by linearly moving the first shaft in the axial direction.
Therefore, the gap between the air bearing and the shaft of the chuck table for backgrinding equipment can be easily adjusted, making work easier and improving productivity.
In addition, in the case of the conventional method of determining the outer diameter of the first shaft by considering the inner diameter of the porous pad and the preset gap after machining the inner diameter of the porous pad of the air bearing to the desired inner diameter and then post-machining the first shaft to the preset outer diameter, if a machining error occurs in the first shaft and it deviates from the preset gap, the already-machined first shaft must be discarded and manufactured anew, which increases manufacturing costs and reduces productivity.
On the other hand, in the present invention, since a tapered surface having a shape corresponding to that of the circumferential support portion of the porous pad of the air bearing and the outer surface of the first shaft is formed, the gap between the porous pad of the air bearing and the first shaft can be easily and accurately adjusted simply by moving the first shaft linearly in the axial direction, thereby preventing the first shaft from being discarded due to processing errors, and thus reducing the manufacturing cost of the chuck table.
Description
본 발명은 백그라인딩 장비용 척테이블의 에어베어링과 샤프트의 간극 조절 방법에 관한 것으로, 더욱 구체적으로는 에어베어링의 다공질 패드의 원주방향 지지부와 제1샤프트의 외주면에 서로 대응되는 형태의 테이퍼면을 형성하여 에어베어링의 다공질 패드의 원주방향 지지부와 제1샤프트 사이의 간극을 원하는 간극으로 조절하기 위해 제1샤프트를 다공질 패드의 내경 및 원하는 간극 수치에 맞게 별도로 가공하여 간극을 조절할 필요 없이 제1샤프트를 축방향으로 직선 이동시키는 것만으로 에어베어링의 다공질 패드와 제1샤프트 간의 간극을 정확하게 조절할 수 있는 백그라인딩 장비용 척테이블의 에어베어링과 샤프트의 간극 조절 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for adjusting a gap between an air bearing and a shaft of a chuck table for backgrinding equipment, and more specifically, to a method for adjusting a gap between an air bearing and a shaft of a chuck table for backgrinding equipment, in which a tapered surface having a shape corresponding to that of a circumferential support portion of a porous pad of an air bearing and an outer surface of a first shaft are formed so as to adjust the gap between the circumferential support portion of the porous pad of the air bearing and the first shaft to a desired gap, without the need to separately process the first shaft to match the inner diameter of the porous pad and the desired gap value to adjust the gap, and the gap between the porous pad of the air bearing and the first shaft can be accurately adjusted by only moving the first shaft linearly in the axial direction.
반도체 웨이퍼의 경우 일반적으로 슬라이싱(slicing) 공정, 그라인딩(grinding) 공정, 랩핑(lapping) 공정, 에칭(etching) 공정, 폴리싱(polishing) 공정, 백그라인딩(back grinding) 공정 등의 일련의 공정을 거쳐 반도체 소자 제조용 웨이퍼로 생산된다.In the case of semiconductor wafers, they are generally produced as wafers for manufacturing semiconductor devices through a series of processes such as slicing process, grinding process, lapping process, etching process, polishing process, and back grinding process.
여기서, 백그라인딩 공정은 웨이퍼의 후면을 얇게 갈아내는 단계를 말하는데, 이는 단순히 웨이퍼의 두께를 줄이는 것을 넘어, 전공정과 후공정을 연결해 앞뒤 공정에서 발생하는 문제들을 해결하는 역할을 한다.Here, the back-grinding process refers to the step of thinly grinding the back surface of the wafer. This goes beyond simply reducing the thickness of the wafer, and plays a role in connecting the pre-process and post-process to solve problems that occur in the preceding and following processes.
이때, 백그라인딩 공정은 반도체 소자 제조용 웨이퍼 그라인딩 장치에 의해 수행되는데, 종래의 반도체 소자 제조용 웨이퍼 그라인딩 장치는 웨이퍼를 흡착하고, 흡착된 웨이퍼를 일정 속도로 회전시켜주는 척테이블(Chuck table) 및 이러한 척테이블에서 상측방향으로 소정간격 이격되게 설치되어 선택적으로 회전 및 하강되어 척테이블에 안착된 웨이퍼를 그라인딩하는 스핀들(Spindle)을 포함하여 구성된다.At this time, the back-grinding process is performed by a wafer grinding device for semiconductor device manufacturing. A conventional wafer grinding device for semiconductor device manufacturing is configured to include a chuck table that absorbs a wafer and rotates the absorbed wafer at a constant speed, and a spindle that is installed at a predetermined distance upward from the chuck table and selectively rotates and lowers to grind a wafer placed on the chuck table.
상기와 같이 구성되는 종래의 반도체 소자 제조용 웨이퍼 그라인딩 장치에서 백그라인딩 장비용 척테이블은 웨이퍼가 안착될 수 있도록 웨이퍼보다 다소 넓은 크기의 원판 형상으로 형성되고, 내부에는 별도의 진공라인이 연결되어 안착되는 웨이퍼를 진공흡착하는 진공척과, 진공척의 하측부분에 형성되어 진공척을 일정 속도로 회전시켜주는 샤프트를 포함하여 형성되었다.In a conventional wafer grinding device for manufacturing semiconductor devices configured as described above, the chuck table for the backgrinding equipment is formed in a disc shape that is slightly wider than the wafer so that the wafer can be placed thereon, and is formed to include a vacuum chuck with a separate vacuum line connected thereto to vacuum-absorb the wafer to be placed thereon, and a shaft formed at the lower part of the vacuum chuck to rotate the vacuum chuck at a constant speed.
이와 같은 종래의 척테이블의 샤프트는, 샤프트와 직접 접촉하는 볼베어링을 이용하였는데, 직접적인 접촉에 의한 구동으로 인하여 발생하는 마찰과 마모의 문제로 내구성이 최대 6개월 정도에 지나지 않아 정기적인 베어링 요소의 교체가 요구되어 번거로울 뿐만 아니라 유지 보수 비용이 상승하는 문제점이 있었다.The shaft of a conventional chuck table like this used a ball bearing that was in direct contact with the shaft. However, due to friction and wear caused by operation through direct contact, the durability was limited to a maximum of 6 months, so regular replacement of bearing elements was required, which was not only cumbersome, but also increased maintenance costs.
또한, 볼베어링을 이용하는 경우 접촉식 베어링의 한계로 회전 정밀도 또한 크게 떨어지는 문제점이 있었다.In addition, when ball bearings are used, there is a problem that rotational accuracy is greatly reduced due to the limitations of contact bearings.
이와 같은 접촉식 볼베어링의 문제를 해결하기 위하여 비접촉식 방식인 에어베어링이 제안되었다.To solve the problems of contact ball bearings, a non-contact type air bearing was proposed.
도 1에 도시된 바와 같은 종래의 척테이블의 에어베어링(20)과 샤프트(11, 12, 13)는 에어베어링(20)과 샤프트(11, 12, 13) 사이의 간극을 조절하기 위해 먼저 에어베어링(20)의 다공질패드(22)를 원하는 치수의 내경 및 길이로 가공한 후 에어베어링(20)의 다공질 패드(22) 내경 및 미리 설정된 다공질 패드(22)의 원주방향 지지부(22a)와 제1샤프트(11)의 외주면 간의 간극 수치를 모두 고려하여 제1샤프트(11)의 외경을 결정하고, 이에 맞게 제1샤프트(11)를 가공하였다.As shown in Fig. 1, in order to adjust the gap between the air bearing (20) and the shaft (11, 12, 13) of the conventional chuck table, the porous pad (22) of the air bearing (20) is first machined to a desired inner diameter and length, and then the outer diameter of the first shaft (11) is determined by considering both the inner diameter of the porous pad (22) of the air bearing (20) and the gap value between the circumferential support portion (22a) of the porous pad (22) set in advance and the outer surface of the first shaft (11), and the first shaft (11) is machined accordingly.
예를 들어, 다공질 패드(22)의 내경이 10이고, 미리 설정된 다공질 패드(22)의 원주방향 지지부(22a)와 제1샤프트(11)의 외주면 간의 간극 수치가 1이라고 가정하면, 제1샤프트(11)의 외경은 8로 결정된다.For example, assuming that the inner diameter of the porous pad (22) is 10 and the gap value between the preset circumferential support portion (22a) of the porous pad (22) and the outer surface of the first shaft (11) is 1, the outer diameter of the first shaft (11) is determined to be 8.
상기와 같이 정해진 외경으로 제1샤프트(11)의 원주방향 가공이 완료되면 제1샤프트(11)의 축방향 길이를 추가로 가공하여 조절함으로써 제2샤프트(12) 및 제3샤프트(13)와 다공질 패드(22)의 축방향 지지부(22b) 사이의 간극을 조절하게 된다.When the circumferential machining of the first shaft (11) is completed with the outer diameter determined as described above, the axial length of the first shaft (11) is additionally processed and adjusted, thereby adjusting the gap between the second shaft (12) and the third shaft (13) and the axial support portion (22b) of the porous pad (22).
상기와 같이 종래에는 다공질 패드(22)를 원하는 내경으로 먼저 가공한 후에 다공질 패드(22)의 내경 및 미리 설정된 다공질 패드(22)의 원주방향 지지부(22a)와 제1샤프트(11)의 외주면 간의 간극 수치를 모두 고려하여 제1샤프트(11)의 외경 치수를 결정하고, 이에 맞게 제1샤프트(11)를 가공하여 다공질 패드(22)의 원주방향 지지부(22a)와 제1샤프트(11) 간의 간극을 조절하는 방식을 사용함에 따라 가공이 완료된 제1샤프트(11)에 가공 오차가 발생하여 미리 설정된 간극을 벗어나는 경우 이미 가공된 제1샤프트(11)를 폐기하고 새로 제조해야만 함에 따라 제조 비용이 증대되고 생산성이 저하되는 문제가 발생하였다.As described above, in the past, the porous pad (22) was first machined to a desired inner diameter, and then the outer diameter of the first shaft (11) was determined by considering both the inner diameter of the porous pad (22) and the gap value between the circumferential support portion (22a) of the porous pad (22) and the outer surface of the first shaft (11), and the first shaft (11) was machined accordingly to adjust the gap between the circumferential support portion (22a) of the porous pad (22) and the first shaft (11). As a result, if a machining error occurs in the machined first shaft (11) and the preset gap is exceeded, the already-machined first shaft (11) must be discarded and manufactured anew, which causes problems such as increased manufacturing costs and decreased productivity.
한편, 백그라인딩 장비용 척테이블에 관한 종래기술로는 대한민국 공개특허 제10-2008-0072989호 등이 있다.Meanwhile, as a prior art regarding a chuck table for back grinding equipment, there is Korean Patent Publication No. 10-2008-0072989, etc.
본 발명은 상술한 바와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 에어베어링의 다공질 패드의 원주방향 지지부와 제1샤프트의 외주면에 서로 대응되는 형태의 테이퍼면을 형성하여 에어베어링의 다공질 패드의 원주방향 지지부와 제1샤프트 사이의 간극을 원하는 간극으로 조절하기 위해 제1샤프트를 다공질 패드의 내경 및 원하는 간극 수치에 맞게 별도로 가공하여 간극을 조절할 필요 없이 제1샤프트를 축방향으로 직선 이동시키는 것만으로 에어베어링의 다공질 패드와 제1샤프트 간의 간극을 정확하게 조절할 수 있는 백그라인딩 장비용 척테이블의 에어베어링과 샤프트의 간극 조절 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention has been made to solve the problems of the prior art as described above, and provides a method for adjusting a gap between an air bearing and a shaft of a chuck table for backgrinding equipment, in which a taper surface having a shape corresponding to that of a circumferential support portion of a porous pad of an air bearing and an outer surface of a first shaft are formed so as to adjust a gap between the circumferential support portion of the porous pad of an air bearing and the first shaft to a desired gap, without the need to separately process the first shaft to match the inner diameter of the porous pad and the desired gap value to adjust the gap, and the gap between the porous pad of the air bearing and the first shaft can be accurately adjusted by only moving the first shaft linearly in the axial direction.
본 발명이 해결하려는 과제는 전술한 과제로 제한되지 아니하며, 언급되지 아니한 또 다른 기술적 과제들은 후술할 내용으로부터 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The problems to be solved by the present invention are not limited to the problems described above, and other technical problems not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art to which the present invention belongs from the contents described below.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 백그라인딩 장비용 척테이블의 에어베어링과 샤프트의 간극 조절 방법은 에어베어링(200)의 다공질 패드(220)의 원주방향 지지부(220a)와 제1샤프트(110)의 외주면에 서로 대응되는 형태의 테이퍼면을 형성하는 (a)단계; 상기 다공질 패드(220)의 상기 원주방향 지지부(220a)의 내주면에 상기 제1샤프트(110)를 결합하여 상기 다공질 패드(220)의 상기 원주방향 지지부(220a)에 형성된 테이퍼면과 상기 제1샤프트(110)의 외주면에 형성된 테이퍼면이 서로 완전히 맞닿도록 하는 (b)단계; 상기 제1샤프트(110)를 축방향으로 직선 이동시켜 상기 다공질 패드(220)의 상기 원주방향 지지부(220a)와 상기 제1샤프트(110)의 외주면 사이의 간극을 조절하는 (c)단계; 및 상기 제1샤프트(110)의 축방향 상단면 및 하단면에 제2샤프트(120) 및 제3샤프트(130)를 결합하는 (d)단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, a method for adjusting a gap between an air bearing and a shaft of a chuck table for backgrinding equipment according to the present invention comprises the steps of: (a) forming a tapered surface having a shape corresponding to that of a circumferential support portion (220a) of a porous pad (220) of an air bearing (200) and an outer surface of a first shaft (110); (b) joining the first shaft (110) to the inner surface of the circumferential support portion (220a) of the porous pad (220) so that the tapered surface formed on the circumferential support portion (220a) of the porous pad (220) and the tapered surface formed on the outer surface of the first shaft (110) are in complete contact with each other; It is characterized by including a step (c) of adjusting a gap between the circumferential support portion (220a) of the porous pad (220) and the outer surface of the first shaft (110) by linearly moving the first shaft (110) in the axial direction; and a step (d) of coupling the second shaft (120) and the third shaft (130) to the axial upper surface and lower surface of the first shaft (110).
이때, 상기 (a)단계에서 상기 제1샤프트(110)의 축방향 길이를 상기 다공질 패드(220)에 비해 더 길게 형성하고, 상기 (d)단계에서 상기 제2샤프트(120) 및 상기 제3샤프트(130)를 결합하기 전에 상기 제1샤프트(110)의 축방향 길이를 조절하여 상기 다공질 패드(220)의 축방향 지지부(220b)와 상기 제2샤프트(120) 및 상기 제3샤프트(130) 간의 간극을 조절하는 것을 특징으로 한다.At this time, in the step (a), the axial length of the first shaft (110) is formed longer than that of the porous pad (220), and in the step (d), before combining the second shaft (120) and the third shaft (130), the axial length of the first shaft (110) is adjusted to adjust the gap between the axial support portion (220b) of the porous pad (220) and the second shaft (120) and the third shaft (130).
또한, 상기 에어베어링(200)의 에어베어링 케이스(210)에 에어관로(400); 및 냉각관로(300);를 추가 형성하는 것을 특징으로 한다.In addition, it is characterized by additionally forming an air line (400); and a cooling line (300); in the air bearing case (210) of the air bearing (200).
본 발명의 실시예에 따른 백그라인딩 장비용 척테이블의 에어베어링과 샤프트의 간극 조절 방법은 에어베어링(200)의 다공질 패드(220)의 원주방향 지지부(220a)와 제1샤프트(110)의 외주면에 서로 대응되는 형태의 테이퍼면을 형성하여 에어베어링(200)의 다공질 패드(220)의 원주방향 지지부(220a)와 제1샤프트(110) 사이의 간극을 원하는 간극으로 조절하기 위해 제1샤프트(110)를 다공질 패드(220)의 내경 및 원하는 간극 수치에 맞게 별도로 가공하여 간극을 조절할 필요 없이 제1샤프트(110)를 축방향으로 직선 이동시키는 것만으로 에어베어링(200)의 다공질 패드(220)와 제1샤프트(110) 간의 간극을 간편하면서도 정확하게 조절할 수 있다.A method for adjusting a gap between an air bearing and a shaft of a chuck table for backgrinding equipment according to an embodiment of the present invention forms tapered surfaces having corresponding shapes on the circumferential support portion (220a) of the porous pad (220) of the air bearing (200) and the outer surface of the first shaft (110), so that the gap between the circumferential support portion (220a) of the porous pad (220) of the air bearing (200) and the first shaft (110) can be adjusted to a desired gap, without separately machining the first shaft (110) to match the inner diameter of the porous pad (220) and the desired gap value, and thereby the gap between the porous pad (220) of the air bearing (200) and the first shaft (110) can be simply and accurately adjusted by only moving the first shaft (110) in a linear manner in the axial direction.
구체적으로, 도 1에 도시된 바와 같은 종래의 척테이블의 에어베어링(20)과 샤프트(11, 12, 13)는 에어베어링(20)과 샤프트(11, 12, 13) 사이의 간극을 조절하기 위해 먼저 에어베어링(20)의 다공질패드(22)를 원하는 치수의 내경 및 길이로 가공한 후 에어베어링(20)의 다공질 패드(22) 내경 및 미리 설정된 다공질 패드(22)의 원주방향 지지부(22a)와 제1샤프트(11)의 외주면 간의 간극 수치를 모두 고려하여 제1샤프트(11)의 외경을 결정하고, 이에 맞게 제1샤프트(11)를 가공하였다.Specifically, as shown in FIG. 1, in order to adjust the gap between the air bearing (20) and the shaft (11, 12, 13) of the conventional chuck table, the porous pad (22) of the air bearing (20) is first machined to a desired inner diameter and length, and then the outer diameter of the first shaft (11) is determined by considering both the inner diameter of the porous pad (22) of the air bearing (20) and the gap value between the circumferential support portion (22a) of the pre-set porous pad (22) and the outer surface of the first shaft (11), and the first shaft (11) is machined accordingly.
이때, 가공이 완료된 제1샤프트(11)에 가공 오차가 발생하여 미리 설정된 간극을 벗어나는 경우 이미 가공된 제1샤프트(11)를 폐기하고 새로 제조해야만 함에 따라 제조 비용이 증대되고 생산성이 저하되는 문제가 발생하였다.At this time, if a processing error occurs in the first shaft (11) that has been processed and deviates from the preset gap, the already processed first shaft (11) must be discarded and manufactured anew, which causes a problem of increased manufacturing costs and decreased productivity.
반면, 본 발명에서는 도 5에 도시된 바와 같이 에어베어링(200)의 다공질 패드(220)의 원주방향 지지부(220a)와 제1샤프트(110)의 외주면에 서로 대응되는 형태의 테이퍼면을 형성하고 다공질 패드(220)의 원주방향 지지부(220a)의 내주면에 제1샤프트(110)를 결합하여 다공질 패드(220)의 원주방향 지지부(220a)에 형성된 테이퍼면과 제1샤프트(110)의 외주면에 형성된 테이퍼면이 서로 맞닿도록 한 다음, 도 6에 도시된 바와 같이 제1샤프트(110)를 축방향으로 직선 이동(도면상 우측으로 이동)시키는 방식으로 다공질 패드(220)의 원주방향 지지부(220a)와 제1샤프트(110)의 외주면 사이의 간극을 조절한다.On the other hand, in the present invention, as illustrated in FIG. 5, a tapered surface having a shape corresponding to that of the circumferential support portion (220a) of the porous pad (220) of the air bearing (200) and the outer surface of the first shaft (110) is formed, and the first shaft (110) is coupled to the inner surface of the circumferential support portion (220a) of the porous pad (220) so that the tapered surface formed on the circumferential support portion (220a) of the porous pad (220) and the tapered surface formed on the outer surface of the first shaft (110) are in contact with each other, and then, as illustrated in FIG. 6, the first shaft (110) is moved linearly in the axial direction (moved to the right in the drawing) to adjust the gap between the circumferential support portion (220a) of the porous pad (220) and the outer surface of the first shaft (110).
상기와 같이, 본 발명에서는 다공질 패드(220)의 원주방향 지지부(220a)에 형성된 테이퍼면과 제1샤프트(110)의 외주면에 형성된 테이퍼면이 서로 맞닿아 있는 상태에서 제1샤프트(110)를 축방향으로 직선 이동시키는 것만으로 에어베어링(200)의 다공질 패드(220)의 원주방향 지지부(220a)와 제1샤프트(110)의 외주면 간의 간극을 간편하면서도 정확하게 조절할 수 있기 때문에 가공 오차에 의해 제1샤프트(110)를 폐기하는 일이 발생하는 것을 방지할 수 있어 척테이블의 제조 비용을 절감하고 생산성을 향상시킬 수 있다.As described above, in the present invention, the gap between the circumferential support portion (220a) of the porous pad (220) of the air bearing (200) and the outer surface of the first shaft (110) can be easily and accurately adjusted simply by moving the first shaft (110) in the axial direction while the tapered surface formed on the circumferential support portion (220a) of the porous pad (220) and the tapered surface formed on the outer surface of the first shaft (110) are in contact with each other. Therefore, the first shaft (110) can be prevented from being discarded due to processing errors, thereby reducing the manufacturing cost of the chuck table and improving productivity.
본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The effects of the present invention are not limited to the effects mentioned above, and other effects not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the description of the claims.
도 1은 종래의 백그라인딩 장비용 척테이블의 에어베어링과 샤프트의 간극 조절 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 백그라인딩 장비용 척테이블의 에어베어링과 샤프트의 간극 조절 방법에 의해 결합이 완료된 에어베어링 및 샤프트의 모습을 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 백그라인딩 장비용 척테이블의 에어베어링과 샤프트의 간극 조절 방법에 의해 결합이 완료된 에어베어링 및 샤프트에 냉각관로가 형성된 모습을 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 백그라인딩 장비용 척테이블의 에어베어링과 샤프트의 간극 조절 방법에 의해 결합이 완료된 에어베어링 및 샤프트에 에어관로가 형성된 모습을 도시한 도면이다.
도 5 내지 도 7은 본 발명의 실시예에 따른 백그라인딩 장비용 척테이블의 에어베어링과 샤프트의 간극 조절 방법에 의한 에어베어링과 샤프트의 간극 조절 과정을 설명하기 위한 도면이다.Figure 1 is a drawing for explaining a method for adjusting the gap between an air bearing and a shaft of a chuck table for conventional backgrinding equipment.
FIG. 2 is a drawing showing the appearance of an air bearing and a shaft that have been completed by a method for adjusting the gap between the air bearing and the shaft of a chuck table for backgrinding equipment according to an embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a drawing showing a state in which a cooling channel is formed in an air bearing and a shaft that have been completed by a method for adjusting the gap between the air bearing and the shaft of a chuck table for backgrinding equipment according to an embodiment of the present invention.
FIG. 4 is a drawing showing an air duct formed in an air bearing and a shaft that have been completed by a method for adjusting the gap between the air bearing and the shaft of a chuck table for backgrinding equipment according to an embodiment of the present invention.
FIGS. 5 to 7 are drawings for explaining a process of adjusting the gap between an air bearing and a shaft by a method for adjusting the gap between an air bearing and a shaft of a chuck table for backgrinding equipment according to an embodiment of the present invention.
이하에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명한다. 다만 발명의 요지와 무관한 일부 구성은 생략 또는 압축할 것이나, 생략된 구성이라고 하여 반드시 본 발명에서 필요가 없는 구성은 아니며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 결합되어 사용될 수 있다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the attached drawings. However, some components that are irrelevant to the gist of the invention will be omitted or compressed. However, the omitted components do not necessarily mean that they are not necessary for the present invention, and can be combined and used by a person having ordinary knowledge in the technical field to which the present invention belongs.
도 1은 종래의 백그라인딩 장비용 척테이블의 에어베어링과 샤프트의 간극 조절 방법을 설명하기 위한 도면이고, 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 백그라인딩 장비용 척테이블의 에어베어링과 샤프트의 간극 조절 방법에 의해 결합이 완료된 에어베어링 및 샤프트의 모습을 도시한 도면이고, 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 백그라인딩 장비용 척테이블의 에어베어링과 샤프트의 간극 조절 방법에 의해 결합이 완료된 에어베어링 및 샤프트에 냉각관로가 형성된 모습을 도시한 도면이고, 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 백그라인딩 장비용 척테이블의 에어베어링과 샤프트의 간극 조절 방법에 의해 결합이 완료된 에어베어링 및 샤프트에 에어관로가 형성된 모습을 도시한 도면이고, 도 5 내지 도 7은 본 발명의 실시예에 따른 백그라인딩 장비용 척테이블의 에어베어링과 샤프트의 간극 조절 방법에 의한 에어베어링과 샤프트의 간극 조절 과정을 설명하기 위한 도면이다. 이때, 본 발명에서는 도 2와 같이 냉각관로와 에어관로가 각각 에어베어링 케이스의 원주상에서 서로 다른 위치에 형성되어 있어 1개의 단면도에 모두 도시할 수가 없기 때문에, 도 3에서는 냉각관로가 보일 수 있는 단면을 절단하여 도시한 것이고, 도 4에서는 에어관로가 보일 수 있는 단면을 절단하여 도시한 것이다.FIG. 1 is a drawing for explaining a method for adjusting a gap between an air bearing and a shaft of a chuck table for back-grinding equipment in the related art, FIG. 2 is a drawing showing an air bearing and a shaft combined by a method for adjusting a gap between an air bearing and a shaft of a chuck table for back-grinding equipment according to an embodiment of the present invention, FIG. 3 is a drawing showing an air bearing and a shaft combined by a method for adjusting a gap between an air bearing and a shaft of a chuck table for back-grinding equipment according to an embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a drawing showing an air bearing and a shaft combined by a method for adjusting a gap between an air bearing and a shaft of a chuck table for back-grinding equipment according to an embodiment of the present invention, and FIGS. 5 to 7 are drawings for explaining a process for adjusting a gap between an air bearing and a shaft of a chuck table for back-grinding equipment according to an embodiment of the present invention. At this time, in the present invention, since the cooling pipe and the air pipe are formed at different positions on the circumference of the air bearing case as shown in Fig. 2, they cannot all be shown in one cross-sectional view. Therefore, Fig. 3 shows a cross-section through which the cooling pipe can be seen, and Fig. 4 shows a cross-section through which the air pipe can be seen.
본 발명은 반도체 웨이퍼의 백그라인딩 장비용 척테이블에서 진공척의 하측부분에 형성되어 진공척을 일정 속도로 회전시켜주는 역할을 하는 샤프트와 에어베어링 사이의 간극을 간편하면서도 정확하게 조절하는 방법에 관한 것으로, 도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이 본 발명의 실시예에 따른 백그라인딩 장비용 척테이블의 에어베어링과 샤프트의 간극 조절 방법이 적용되는 샤프트는 제1샤프트(110), 제2샤프트(120) 및 제3샤프트(130)를 포함하여 형성되고, 에어베어링(200)은 에어베어링 케이스(210) 및 다공질 패드(220)를 포함하여 형성된다.The present invention relates to a method for simply and accurately adjusting a gap between a shaft and an air bearing, which is formed at a lower portion of a vacuum chuck in a chuck table for back-grinding equipment for semiconductor wafers and serves to rotate the vacuum chuck at a constant speed. As shown in FIGS. 2 to 4, a shaft to which the method for adjusting the gap between an air bearing and a shaft of a chuck table for back-grinding equipment according to an embodiment of the present invention is applied is formed by including a first shaft (110), a second shaft (120), and a third shaft (130), and an air bearing (200) is formed by including an air bearing case (210) and a porous pad (220).
에어베어링(200)은 내부에 상하로 관통된 공간이 형성된 원통 형상의 에어베어링 케이스(210)의 내주면에 에어베어링 케이스(210)와 유사하게 원통 형상으로 형성된 다공질 패드(220)가 접착되어 고정된 상태로 형성된다. 이때, 다공질 패드(220)는 원주방향 지지부(220a)와 축방향 지지부(220b)로 구성된다.The air bearing (200) is formed by bonding and fixing a porous pad (220) formed in a cylindrical shape similar to the air bearing case (210) to the inner surface of a cylindrical air bearing case (210) having a vertically penetrating space formed therein. At this time, the porous pad (220) is composed of a circumferential support portion (220a) and an axial support portion (220b).
제1샤프트(110)는 내부에 상하로 관통된 공간이 형성된 원통 형상으로 형성되어 다공질 패드(220)의 원주방향 지지부(220a) 내측면에 결합된다. 또한, 제2샤프트(120) 및 제3샤프트(130)는 제1샤프트(110)와 동일한 직경의 관통된 공간이 내부에 형성된 원통 형상으로 형성되어 제1샤프트(100)의 축방향 상단면 및 하단면에 각각 결합된다.The first shaft (110) is formed in a cylindrical shape with a vertically penetrating space formed inside and is coupled to the inner surface of the circumferential support portion (220a) of the porous pad (220). In addition, the second shaft (120) and the third shaft (130) are formed in a cylindrical shape with a penetrating space of the same diameter as the first shaft (110) formed inside and are coupled to the axial upper surface and lower surface of the first shaft (100), respectively.
제1샤프트(110)의 축방향 상단면 및 하단면에 각각 결합된 제2샤프트(120) 및 제3샤프트(130)는 다공질 패드의 축방향 지지부(220b)와 마주보도록 위치하게 된다.The second shaft (120) and the third shaft (130), which are respectively connected to the axial upper surface and lower surface of the first shaft (110), are positioned to face the axial support portion (220b) of the porous pad.
이때, 본 발명에서는 제1샤프트(110), 제2샤프트(120) 및 제3샤프트(130)가 각각 별도로 가공된 이후에 최종적으로 체결 볼트 등을 통해 결합되어 일체화된다.At this time, in the present invention, the first shaft (110), the second shaft (120), and the third shaft (130) are each processed separately and then finally joined together using fastening bolts or the like to form an integrated unit.
한편, 에어베어링(200)의 에어베어링 케이스(210)에는 다공질 패드(220)의 원주방향 지지부(220a)와 제1샤프트(110)의 외주면 간의 사이 공간 및 다공질 패드의 축방향 지지부(220b)와 제2샤프트(120) 및 제3샤프트(130) 간의 사이 공간에 공기층을 형성하기 위한 에어를 공급하는 에어관로(400)가 형성된다.Meanwhile, in the air bearing case (210) of the air bearing (200), an air conduit (400) is formed to supply air to form an air layer in the space between the circumferential support portion (220a) of the porous pad (220) and the outer surface of the first shaft (110) and in the space between the axial support portion (220b) of the porous pad and the second shaft (120) and third shaft (130).
또한, 에어베어링(200)의 에어베어링 케이스(210)에는 에어베어링(200) 및 샤프트(110, 120, 130)의 냉각을 위한 냉각수를 순환시키는 냉각관로(300)가 형성된다.Additionally, a cooling line (300) is formed in the air bearing case (210) of the air bearing (200) to circulate cooling water for cooling the air bearing (200) and shaft (110, 120, 130).
이하, 도 5 내지 도 7을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 백그라인딩 장비용 척테이블의 에어베어링과 샤프트의 간극 조절 방법에 대해 구체적으로 설명하도록 한다.Hereinafter, a method for adjusting the gap between an air bearing and a shaft of a chuck table for backgrinding equipment according to an embodiment of the present invention will be specifically described with reference to FIGS. 5 to 7.
먼저, 도 5에 도시된 바와 같이 에어베어링(200)의 다공질 패드(220)의 원주방향 지지부(220a)와 제1샤프트(110)의 외주면에 서로 대응되는 형태의 테이퍼면을 형성한다. 이때, 에어베어링(200)의 다공질 패드(220)의 원주방향 지지부(220a)에 테이퍼면이 형성되기 때문에 다공질 패드(220)와 대응되는 형태로 형성되는 에어베어링 케이스(210)에도 동일한 형태의 테이퍼면이 형성되어 다공질 패드(220)가 에어베어링 케이스(210)에 접착되어 고정된다.First, as illustrated in FIG. 5, tapered surfaces having shapes corresponding to each other are formed on the circumferential support portion (220a) of the porous pad (220) of the air bearing (200) and the outer surface of the first shaft (110). At this time, since the tapered surface is formed on the circumferential support portion (220a) of the porous pad (220) of the air bearing (200), the same tapered surface is also formed on the air bearing case (210) formed in a shape corresponding to the porous pad (220), so that the porous pad (220) is adhered to and fixed on the air bearing case (210).
이후, 다공질 패드(220)의 원주방향 지지부(220a)의 내주면에 제1샤프트(110)를 결합하여 다공질 패드(220)의 원주방향 지지부(220a)에 형성된 테이퍼면과 제1샤프트(110)의 외주면에 형성된 테이퍼면이 서로 완전히 맞닿도록 한다.Thereafter, the first shaft (110) is coupled to the inner surface of the circumferential support portion (220a) of the porous pad (220) so that the tapered surface formed on the circumferential support portion (220a) of the porous pad (220) and the tapered surface formed on the outer surface of the first shaft (110) are in complete contact with each other.
이때, 도 5에 도시된 바와 같이 제1샤프트(110)는 축방향으로 다공질 패드(220)에 비해 더 긴 길이로 형성되어 추후 제1샤프트(110)의 축방향 길이를 조절함으로써 다공질 패드(220)의 축방향 지지부(220b)와 제2샤프트(120) 및 제3샤프트(130) 간의 간극을 조절할 수 있다.At this time, as shown in FIG. 5, the first shaft (110) is formed to have a longer length in the axial direction than the porous pad (220), so that by adjusting the axial length of the first shaft (110) later, the gap between the axial support portion (220b) of the porous pad (220) and the second shaft (120) and the third shaft (130) can be adjusted.
다음으로, 도 6에 도시된 바와 같이 제1샤프트(110)를 축방향으로 직선 이동(도면상 우측으로 이동)시키는 방식으로 다공질 패드(220)의 원주방향 지지부(220a)와 제1샤프트(110)의 외주면 사이의 간극을 조절한다. 이때, 다공질 패드(220)의 원주방향 지지부(220a)와 제1샤프트(110)의 외주면에 서로 대응되는 형태의 테이퍼면에 형성되어 있기 때문에 제1샤프트(110)를 도면상 우측 방향으로 직선 이동시킬수록 다공질 패드(220)의 원주방향 지지부(220a)와 제1샤프트(110) 사이의 간극이 더 커지게 된다.Next, as illustrated in FIG. 6, the gap between the circumferential support portion (220a) of the porous pad (220) and the outer surface of the first shaft (110) is adjusted by linearly moving the first shaft (110) in the axial direction (moving to the right in the drawing). At this time, since the circumferential support portion (220a) of the porous pad (220) and the outer surface of the first shaft (110) are formed in a tapered surface having a shape corresponding to each other, the gap between the circumferential support portion (220a) of the porous pad (220) and the first shaft (110) becomes larger as the first shaft (110) is linearly moved to the right in the drawing.
상기와 같은 과정을 거쳐 다공질 패드(220)의 원주방향 지지부(220a)와 제1샤프트(110) 사이의 간극이 미리 설정된 간극으로 조절되면, 단면 가공을 통해 도 6에 점선으로 표시된 것과 같이 제1샤프트(110)의 축방향 길이를 조절하여 다공질 패드(220)의 축방향 지지부(220b)와 제2샤프트(120) 및 제3샤프트(130) 간의 간극을 조절한다.When the gap between the circumferential support portion (220a) of the porous pad (220) and the first shaft (110) is adjusted to a preset gap through the above process, the axial length of the first shaft (110) is adjusted through cross-sectional processing as indicated by a dotted line in FIG. 6, thereby adjusting the gap between the axial support portion (220b) of the porous pad (220) and the second shaft (120) and third shaft (130).
이후, 도 7에 도시된 바와 같이 제1샤프트(110)의 축방향 상단면 및 하단면(도면상 제1샤프트(110)의 양측면)에 제2샤프트(120) 및 제3샤프트(130)를 체결 볼트 등을 통해 결합하여 고정한다.Thereafter, as shown in Fig. 7, the second shaft (120) and the third shaft (130) are fixed by connecting them to the axial upper surface and lower surface (both sides of the first shaft (110) in the drawing) of the first shaft (110) using fastening bolts or the like.
제2샤프트(120) 및 제3샤프트(130)의 결합이 완료되면, 제1샤프트(110)와 다공질 패드(220)의 원주방향 지지부(220a) 간의 사이 간극이 미리 설정된 간극으로 조절되고, 다공질 패드(220)의 축방향 지지부(220b)와 제2샤프트(120) 및 제3샤프트(130) 간의 간극이 미리 설정된 간극으로 조절된다.When the coupling of the second shaft (120) and the third shaft (130) is completed, the gap between the first shaft (110) and the circumferential support portion (220a) of the porous pad (220) is adjusted to a preset gap, and the gap between the axial support portion (220b) of the porous pad (220) and the second shaft (120) and the third shaft (130) is adjusted to a preset gap.
상술한 바와 같이, 본 발명에서는 에어베어링(200)의 다공질 패드(220)의 원주방향 지지부(220a)와 제1샤프트(110)의 외주면에 서로 대응되는 형태의 테이퍼면을 형성하여 에어베어링(200)의 다공질 패드(220)의 원주방향 지지부(220a)와 제1샤프트(110) 사이의 간극을 원하는 간극으로 조절하기 위해 제1샤프트(110)를 다공질 패드(220)의 내경 및 원하는 간극 수치에 맞게 별도로 가공하여 간극을 조절할 필요 없이 제1샤프트(110)를 축방향으로 직선 이동시키고 단면가공(그라인딩 또는 밀링)을 하는 것만으로 에어베어링(200)의 다공질 패드(220)와 제1샤프트(110), 제2샤프트(120) 및 제3샤프트(130) 간의 간극을 간편하면서도 정확하게 조절할 수 있다.As described above, in the present invention, the circumferential support portion (220a) of the porous pad (220) of the air bearing (200) and the outer surface of the first shaft (110) are formed with tapered surfaces having shapes corresponding to each other, so that the gap between the circumferential support portion (220a) of the porous pad (220) of the air bearing (200) and the first shaft (110) can be adjusted to a desired gap, without the need to separately process the first shaft (110) to match the inner diameter of the porous pad (220) and the desired gap value, and the gap between the porous pad (220) of the air bearing (200) and the first shaft (110), the second shaft (120), and the third shaft (130) can be simply and accurately adjusted by only moving the first shaft (110) in a straight line in the axial direction and performing cross-sectional processing (grinding or milling). Can be.
구체적으로, 도 1에 도시된 바와 같은 종래의 척테이블의 에어베어링(20)과 샤프트(11, 12, 13)는 에어베어링(20)과 샤프트(11, 12, 13) 사이의 간극을 조절하기 위해 먼저 에어베어링(20)의 다공질패드(22)를 원하는 치수의 내경 및 길이로 가공한 후 에어베어링(20)의 다공질 패드(22) 내경 및 미리 설정된 다공질 패드(22)의 원주방향 지지부(22a)와 제1샤프트(11)의 외주면 간의 간극 수치를 모두 고려하여 제1샤프트(11)의 외경을 결정하고, 이에 맞게 제1샤프트(11)를 가공하였다.Specifically, as shown in FIG. 1, in order to adjust the gap between the air bearing (20) and the shaft (11, 12, 13) of the conventional chuck table, the porous pad (22) of the air bearing (20) is first machined to a desired inner diameter and length, and then the outer diameter of the first shaft (11) is determined by considering both the inner diameter of the porous pad (22) of the air bearing (20) and the gap value between the circumferential support portion (22a) of the pre-set porous pad (22) and the outer surface of the first shaft (11), and the first shaft (11) is machined accordingly.
예를 들어, 다공질 패드(22)의 내경이 10이고, 미리 설정된 다공질 패드(22)의 원주방향 지지부(22a)와 제1샤프트(11)의 외주면 간의 간극 수치가 1이라고 가정하면, 제1샤프트(11)의 외경은 8로 결정된다.For example, assuming that the inner diameter of the porous pad (22) is 10 and the gap value between the preset circumferential support portion (22a) of the porous pad (22) and the outer surface of the first shaft (11) is 1, the outer diameter of the first shaft (11) is determined to be 8.
상기와 같이 정해진 외경으로 제1샤프트(11)의 원주방향 가공이 완료되면 제1샤프트(11)의 축방향 길이를 추가로 가공하여 조절함으로써 제2샤프트(12) 및 제3샤프트(13)와 다공질 패드(22)의 축방향 지지부(22b) 사이의 간극을 조절하게 된다.When the circumferential machining of the first shaft (11) is completed with the outer diameter determined as described above, the axial length of the first shaft (11) is additionally processed and adjusted, thereby adjusting the gap between the second shaft (12) and the third shaft (13) and the axial support portion (22b) of the porous pad (22).
상기와 같이 종래에는 다공질 패드(22)를 원하는 내경으로 먼저 가공한 후에 다공질 패드(22)의 내경 및 미리 설정된 다공질 패드(22)의 원주방향 지지부(22a)와 제1샤프트(11)의 외주면 간의 간극 수치를 모두 고려하여 제1샤프트(11)의 외경 치수를 결정하고, 이에 맞게 제1샤프트(11)를 가공하여 다공질 패드(22)의 원주방향 지지부(22a)와 제1샤프트(11) 간의 간극을 조절하는 방식을 사용함에 따라 가공이 완료된 제1샤프트(11)에 가공 오차가 발생하여 미리 설정된 간극을 벗어나는 경우 이미 가공된 제1샤프트(11)를 폐기하고 새로 제조해야만 함에 따라 제조 비용이 증대되고 생산성이 저하되는 문제가 발생하였다.As described above, in the past, the porous pad (22) was first machined to a desired inner diameter, and then the outer diameter of the first shaft (11) was determined by considering both the inner diameter of the porous pad (22) and the gap value between the circumferential support portion (22a) of the porous pad (22) and the outer surface of the first shaft (11), and the first shaft (11) was machined accordingly to adjust the gap between the circumferential support portion (22a) of the porous pad (22) and the first shaft (11). As a result, if a machining error occurs in the machined first shaft (11) and the preset gap is exceeded, the already-machined first shaft (11) must be discarded and manufactured anew, which causes problems such as increased manufacturing costs and decreased productivity.
반면, 본 발명에서는 에어베어링(200)의 다공질 패드(220)의 원주방향 지지부(220a)와 제1샤프트(110)의 외주면에 서로 대응되는 형태의 테이퍼면을 형성함으로써 다공질 패드(220)의 원주방향 지지부(220a)에 형성된 테이퍼면과 제1샤프트(110)의 외주면에 형성된 테이퍼면이 서로 맞닿아 있는 상태에서 제1샤프트(110)를 축방향으로 직선 이동시키고 단면가공(그라인딩 또는 밀링)을 하는 것만으로 에어베어링(200)의 다공질 패드(220)의 원주방향 지지부(220a)와 제1샤프트(110)의 외주면 간의 간극 및 다공질 패드(220)의 축방향 지지부(220b)와 제2샤프트(120) 및 제3샤프트(130) 간의 간극을 간편하면서도 정확하게 조절할 수 있기 때문에 가공 오차에 의해 제1샤프트(110)를 폐기하는 일이 발생하는 것을 방지할 수 있어 척테이블의 제조 비용을 절감하고, 생산성을 향상시킬 수 있다.On the other hand, in the present invention, by forming a tapered surface having a shape corresponding to that of the circumferential support portion (220a) of the porous pad (220) of the air bearing (200) and the outer surface of the first shaft (110), the first shaft (110) is moved linearly in the axial direction while the tapered surface formed on the circumferential support portion (220a) of the porous pad (220) and the outer surface of the first shaft (110) are in contact with each other, and only by performing cross-sectional processing (grinding or milling), the gap between the circumferential support portion (220a) of the porous pad (220) of the air bearing (200) and the outer surface of the first shaft (110) and the gap between the axial support portion (220b) of the porous pad (220) and the second shaft (120) and the third shaft (130) can be easily and accurately adjusted. Therefore, it is possible to prevent the first shaft (110) from being discarded due to processing errors, thereby reducing the manufacturing cost of the chuck table and improving productivity.
위에서 설명한 바와 같이 본 발명에 대한 구체적인 설명은 첨부된 도면을 참조한 실시예에 의해서 이루어졌지만, 상술한 실시예는 본 발명의 바람직한 예를 들어 설명하였을 뿐이기 때문에, 본 발명이 상기의 실시예에만 국한되는 것으로 이해되어져서는 아니 되며, 본 발명의 권리범위는 후술하는 청구범위 및 그 등가개념으로 이해되어져야 할 것이다.As described above, the specific description of the present invention has been made by means of embodiments with reference to the attached drawings. However, since the above-described embodiments have only described preferred examples of the present invention, the present invention should not be understood as being limited to the above-described embodiments, and the scope of the rights of the present invention should be understood by the claims described below and their equivalent concepts.
110 : 제1샤프트
120 : 제2샤프트
130 : 제3샤프트
200 : 에어베어링
210 : 에어베어링 케이스
220 : 다공질 패드
220a : 원주방향 지지부
220b : 축방향 지지부
300 : 냉각관로
400 : 에어관로
<종래기술>
11 : 제1샤프트
12 : 제2샤프트
13 : 제3샤프트
20 : 에어베어링
21 : 에어베어링 케이스
22 : 다공질 패드
22a : 원주방향 지지부
22b : 축방향 지지부110 : 1st shaft
120 : 2nd shaft
130 : 3rd Shaft
200 : Air bearing
210 : Air bearing case
220 : Porous pad
220a: Circular support
220b: Axial support
300 : Cooling tube
400 : Air duct
<Previous technology>
11: 1st shaft
12: 2nd shaft
13: 3rd shaft
20 : Air bearing
21: Air bearing case
22: Porous pad
22a: Circular support
22b: Axial support
Claims (3)
상기 다공질 패드(220)의 상기 원주방향 지지부(220a)의 내주면에 상기 제1샤프트(110)를 결합하여 상기 다공질 패드(220)의 상기 원주방향 지지부(220a)에 형성된 테이퍼면과 상기 제1샤프트(110)의 외주면에 형성된 테이퍼면이 서로 완전히 맞닿도록 하는 (b)단계;
상기 제1샤프트(110)를 축방향으로 직선 이동시켜 상기 다공질 패드(220)의 상기 원주방향 지지부(220a)와 상기 제1샤프트(110)의 외주면 사이의 간극을 조절하는 (c)단계; 및
상기 제1샤프트(110)의 축방향 상단면 및 하단면에 제2샤프트(120) 및 제3샤프트(130)를 결합하는 (d)단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 백그라인딩 장비용 척테이블의 에어베어링과 샤프트의 간극 조절 방법.
Step (a) of forming a tapered surface having a shape corresponding to each other on the circumferential support portion (220a) of the porous pad (220) of the air bearing (200) and the outer surface of the first shaft (110);
(b) step of joining the first shaft (110) to the inner surface of the circumferential support portion (220a) of the porous pad (220) so that the tapered surface formed on the circumferential support portion (220a) of the porous pad (220) and the tapered surface formed on the outer surface of the first shaft (110) are in complete contact with each other;
(c) step of adjusting the gap between the circumferential support portion (220a) of the porous pad (220) and the outer surface of the first shaft (110) by moving the first shaft (110) linearly in the axial direction; and
A method for adjusting the gap between an air bearing and a shaft of a chuck table for backgrinding equipment, characterized by including a step (d) of coupling a second shaft (120) and a third shaft (130) to the axial upper surface and lower surface of the first shaft (110).
상기 (a)단계에서 상기 제1샤프트(110)의 축방향 길이를 상기 다공질 패드(220)에 비해 더 길게 형성하고,
상기 (d)단계에서 상기 제2샤프트(120) 및 상기 제3샤프트(130)를 결합하기 전에 상기 제1샤프트(110)의 축방향 길이를 조절하여 상기 다공질 패드(220)의 축방향 지지부(220b)와 상기 제2샤프트(120) 및 상기 제3샤프트(130) 간의 간극을 조절하는 것을 특징으로 하는 백그라인딩 장비용 척테이블의 에어베어링과 샤프트의 간극 조절 방법.
In the first paragraph,
In the above step (a), the axial length of the first shaft (110) is formed longer than that of the porous pad (220),
A method for adjusting the gap between an air bearing and a shaft of a chuck table for backgrinding equipment, characterized in that the axial length of the first shaft (110) is adjusted before combining the second shaft (120) and the third shaft (130) in the step (d) above, thereby adjusting the gap between the axial support portion (220b) of the porous pad (220) and the second shaft (120) and the third shaft (130).
상기 에어베어링(200)의 에어베어링 케이스(210)에 에어관로(400); 및 냉각관로(300);를 추가 형성하는 것을 특징으로 하는 백그라인딩 장비용 척테이블의 에어베어링과 샤프트의 간극 조절 방법.In the second paragraph,
A method for adjusting the gap between an air bearing and a shaft of a chuck table for backgrinding equipment, characterized by additionally forming an air line (400); and a cooling line (300); in the air bearing case (210) of the above air bearing (200).
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| KR102781696B1 (en) * | 2023-11-20 | 2025-03-17 | 주식회사 팀스핀들 | Stiffness enhance structure of spindle for back grinding device |
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- 2023-11-20 KR KR1020230160864A patent/KR102720939B1/en active Active
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