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KR102430242B1 - Apparatus for moving cassette racks on the in line chamber - Google Patents

Apparatus for moving cassette racks on the in line chamber Download PDF

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Publication number
KR102430242B1
KR102430242B1 KR1020220069892A KR20220069892A KR102430242B1 KR 102430242 B1 KR102430242 B1 KR 102430242B1 KR 1020220069892 A KR1020220069892 A KR 1020220069892A KR 20220069892 A KR20220069892 A KR 20220069892A KR 102430242 B1 KR102430242 B1 KR 102430242B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
cassette rack
conveyor
carrier
sub
cassette
Prior art date
Application number
KR1020220069892A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
김일호
Original Assignee
주식회사 에이치엠에이치
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
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Priority to KR1020220069892A priority Critical patent/KR102430242B1/en
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Abstract

The present invention relates to an in-line cassette rack automatic transferring device configured to automatically introduce and discharge objects to be worked in a heat curing step using an in-line curing room in the process of manufacturing electronic components such as semiconductors and PCBs, but also improve work efficiency. According to one embodiment of the present invention, the in-line cassette rack automatic transferring device comprises: a main body in which an upper layer and a lower layer are separately formed; a heat-treatment curing room installed in an upper middle part of the main body; a carrier loading means loading a carrier in a loading space of a cassette rack; an introduction-side lifting unit installed with a first sub-conveyor moving up and down by a predetermined height in the loading space formed in the cassette rack; a discharge-side lifting means in which a second sub-conveyor is installed; a carrier discharge means installed to push out a carrier loaded in the loading space of the cassette rack; and a cassette rack return conveyor transferring the cassette rack with an empty loading space to the side of the introduction-side lifting unit.

Description

인 라인 카세트 랙 이송 자동화 장치{Apparatus for moving cassette racks on the in line chamber}Apparatus for moving cassette racks on the in line chamber

이 발명은 인 라인 카세트 랙 이송 자동화 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체, PCB 등 전자부품을 제조하는 공정 중에서 인 라인 경화룸을 이용한 열경화 단계에서 작업 대상의 투입과 배출이 자동으로 이루어질 뿐만 아니라 작업 효율이 향상될 수 있도록 구성된 인 라인 카세트 랙 이송 자동화 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an in-line cassette rack transfer automation device, and more particularly, in the thermal curing step using an in-line curing room in the process of manufacturing electronic components such as semiconductors and PCBs, the input and discharge of work objects are automatically made Rather, it relates to an in-line cassette rack transfer automation device configured to improve work efficiency.

반도체 제조공정, PCB와 같은 전자부품의 제조공정 중에는 표면에 도포되는 수지 등이 신속하게 경화될 수 있도록 하기 위해 일정 온도 이상의 오븐에 넣어 경화 처리를 하게 된다. 이와 같이 열경화 처리를 위한 오븐이 전자부품의 제조공정에 설치된 것을 열처리 장치 또는 인 라인 경화룸(In Line Chamber)라 한다.During the semiconductor manufacturing process and the manufacturing process of electronic components such as PCB, the resin applied to the surface is put in an oven at a certain temperature or higher to be cured quickly. As such, an oven for thermal curing treatment installed in the manufacturing process of electronic components is referred to as a heat treatment device or an in-line curing room.

인 라인 경화룸을 이용한 열경화 공정에서는 작업대상물이 트레이(tray) 또는 캐리어(carrier)에 담긴 상태로 다수의 층으로 구성된 매거진 급재기(magazine feed)에 실리거나 반도체 웨이퍼 같은 경우에는 작업대상물 자체가 매거진 급재기에 층층히 실린 상태에서 소정의 열처리 공정이 이루어지게 된다.In the thermal curing process using an in-line curing room, the workpiece is loaded in a magazine feed consisting of multiple layers in a tray or carrier, or in the case of a semiconductor wafer, the workpiece itself is A predetermined heat treatment process is performed in a state in which the magazine is loaded layer by layer.

한편, 종래기술에 따른 인 라인 경화룸에서는 작업 대상물을 매거진 급재기에 로딩(loading)하거나 언로딩(unloading)하는 공정이 충분한 자동화가 이루어지지 못하였다.On the other hand, in the in-line curing room according to the prior art, the process of loading or unloading the work object to the magazine feeder was not fully automated.

특히, 인 라인 경화룸의 매거진 급재기 하나에 작업대상물이 충분하게 탑재되지 못함으로써 인 라인 경화룸의 입구 및 출구가 수시로 개방되어야 하거나 상시 개방된 상태에 있어야 함에 따른 열손실이 있었을 뿐만 아니라 작업 효율이 낮은 문제점이 있었다.In particular, the in-line hardening room's inlet and outlet had to be opened frequently or in an always open state because the work object was not sufficiently mounted on one magazine feeder in the in-line hardening room, resulting in heat loss as well as work efficiency. I had this low problem.

대한민국특허청 등록특허공보 10-1040972(2011.06.16. 공고)Korean Intellectual Property Office Registered Patent Publication No. 10-1040972 (2011.06.16. Announcement) 대한민국특허청 등록특허공보 10-1040972(2011.06.16. 공고)Korean Intellectual Property Office Registered Patent Publication No. 10-1040972 (2011.06.16. Announcement)

이 발명은 전술한 바와 같은 종래기술의 문제점을 해결하기 위해서 안출된 것으로, 반도체, PCB 등 전자부품을 제조하는 공정 중에서 인 라인 경화룸을 이용한 열경화 단계에서 작업 대상의 투입과 배출이 자동으로 이루어질 뿐만 아니라 작업 효율이 향상될 수 있도록 구성된 인 라인 카세트 랙 이송 자동화 장치를 제공하는 데 목적이 있다.This invention has been devised to solve the problems of the prior art as described above, and in the process of manufacturing electronic components such as semiconductors and PCBs, in the thermosetting step using an in-line curing room, the input and discharge of the work object are automatically performed. In addition, an object of the present invention is to provide an in-line cassette rack transfer automation device configured to improve work efficiency.

전술한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여 이 발명에 따른 인 라인 카세트 랙 이송 자동화 장치는 다음과 같이 구성될 수 있다.In order to achieve the object as described above, the in-line cassette rack transfer automation apparatus according to the present invention may be configured as follows.

이 발명의 일 실시 예에 따른 인 라인 카세트 랙 이송 자동화 장치는 상층과 하층이 구분되도록 복수의 가로방향 프레임, 세로방향 프레임, 폭방향 프레임이 조립되어 형성되는 본체; 본체의 상층 중간부분에 일정 용적의 내부공간을 갖으며 하부에는 카세트 랙 이송 컨베이어가 설치되는 열처리 경화룸; 열처리 경화룸 내로 복수의 작업대상물이 동시에 투입 및 배출이 되게 복수의 층과 복수의 열로 내측에 적재공간이 형성되는 카세트 랙; 카세트 랙의 적재공간에 작업대상물이 담긴 캐리어가 적재되도록 정방향 회전 동작하는 캐리어 투입 컨베이어가 설치되고, 카세트 랙에 구분 형성된 적재공간의 열에 맞춰 캐리어 투입 컨베이어가 일정 속도와 일정 간격으로 이동하도록 본체의 폭방향으로 이동 가이드가 설치되는 캐리어 적재수단; 카세트 랙에 형성된 적재공간의 층 높이 간격 만큼씩 카세트 랙이 상승 동작하도록 캐리어 투입 컨베이어 후방과 열처리 경화룸 전방 사이의 본체에 설치되며, 하부에는 카세트 랙이 전진 또는 후진 방향으로 이동하도록 동작하는 제1 서브 컨베이어가 설치된 투입측 승하강 수단; 카세트 랙에 형성된 적재공간의 층 높이 간격 만큼씩 카세트 랙이 하강 동작하도록 열처리 경화룸의 후방 측에 설치되며, 하부에는 카세트 랙이 전진 또는 후진 방향으로 이동하도록 동작하는 제2 서브 컨베이어가 설치된 배출측 승하강 수단; 배출측 승하강 수단을 통해 일정 높이씩 하강 동작하는 카세트 랙의 적재공간에 적재된 캐리어가 피스톤 로드로 차례로 밀어내도록 열처리 경화룸의 하측에 실린더가 고정 설치되는 캐리어 배출수단; 및 배출측 승하강 수단을 통해 일정 높이씩 하강 동작하여 적재공간이 빈 상태가 된 카세트 랙을 상기 투입측 승하강 수단 측으로 이송시키기 위해 본체의 하부 측에 설치되는 카세트 랙 리턴 컨베이어; 를 포함하여 구성이 이루어질 수 있다.In-line cassette rack transport automation apparatus according to an embodiment of the present invention includes a main body formed by assembling a plurality of horizontal frames, vertical frames, and width frames so that the upper and lower layers are distinguished; a heat treatment curing room having a certain volume of internal space in the middle part of the upper layer of the main body and having a cassette rack transfer conveyor installed in the lower part; A cassette rack in which a loading space is formed inside a plurality of layers and a plurality of rows so that a plurality of work objects are simultaneously input and discharged into a heat treatment curing room; A carrier input conveyor that rotates in the forward direction is installed so that the carrier containing the work object is loaded in the loading space of the cassette rack, and the width of the main body so that the carrier input conveyor moves at a constant speed and at regular intervals according to the rows of the loading spaces divided in the cassette rack Carrier loading means in which the moving guide is installed in the direction; The cassette rack is installed in the main body between the rear of the carrier input conveyor and the front of the heat treatment curing room so that the cassette rack moves upward by the height interval of the loading space formed in the cassette rack, and the cassette rack operates to move in the forward or backward direction at the bottom. input-side elevating means installed with a sub-conveyor; It is installed on the rear side of the heat treatment curing room so that the cassette rack moves down by the height interval of the stacking space formed in the cassette rack, and a second sub-conveyor is installed at the bottom to move the cassette rack in the forward or backward direction. elevating means; Carrier discharging means in which the cylinder is fixedly installed at the lower side of the heat treatment hardening room so that the carriers loaded in the loading space of the cassette rack, which are lowered by a predetermined height through the discharge-side elevating means, are sequentially pushed out with the piston rod; and a cassette rack return conveyor installed on the lower side of the main body to transport the cassette rack whose loading space is empty by lowering by a certain height through the discharge-side elevating means to the input-side elevating means. Including the configuration can be made.

이 발명의 일 실시 예에 따른 인 라인 카세트 랙 이송 자동화 장치에서 캐리어 적재수단의 캐리어 투입 컨베이어는 캐리어의 하부 양쪽 부분을 지지하도록 일정 간격을 두고 좌측 컨베이어와 및 우측 컨베이어가 설치되되, 좌측 컨베이어 및 우측 컨베이어는 각각 별도의 구동 모터에 의해 구동되는 한편 캐리어의 길이방향으로 일정 간격을 두고 복수의 롤러가 배치되며 각 롤러는 고무 벨트로 연결된 구성으로 이루어질 수 있다.In the in-line cassette rack transfer automation device according to an embodiment of the present invention, the carrier input conveyor of the carrier loading means is provided with a left conveyor and a right conveyor at regular intervals to support both lower portions of the carrier, the left conveyor and the right The conveyor is driven by a separate driving motor, while a plurality of rollers are disposed at regular intervals in the longitudinal direction of the carrier, and each roller may be configured to be connected by a rubber belt.

이 발명의 일 실시 예에 따른 인 라인 카세트 랙 이송 자동화 장치에서 투입측 승하강 수단의 제1 서브 컨베이어는 본체에 고정설치되는 승하강 가이드를 따라 이동 작동하는 리프트 상에 고정 설치되고, 리프트 상에는 제1 서브 컨베이어의 롤러 사이를 통해 제1 서브 컨베이어 상에 올려진 카세트 랙의 저면에 밀착되는 그립퍼가 설치될 수 있다.In the in-line cassette rack transfer automation apparatus according to an embodiment of the present invention, the first sub-conveyor of the input-side elevating means is fixedly installed on a lift that moves along the elevating guide fixedly installed in the main body, and the first sub-conveyor is installed on the lift. A gripper that is in close contact with the bottom surface of the cassette rack mounted on the first sub conveyor through between the rollers of the first sub conveyor may be installed.

이 발명의 일 실시 예에 따른 인 라인 카세트 랙 이송 자동화 장치에서 배출측 승하강 수단의 제2 서브 컨베이어는 본체에 고정설치되는 승하강 가이드를 따라 이동 작동하는 리프트 상에 고정 설치되고, 리프트 상에는 제2 서브 컨베이어의 롤러 사이를 통해 제1 서브 컨베이어 상에 올려진 카세트 랙의 저면에 밀착되는 그립퍼가 설치될 수 있다.In the in-line cassette rack transfer automation apparatus according to an embodiment of the present invention, the second sub-conveyor of the discharge-side elevating means is fixedly installed on a lift that moves along the elevating guide fixedly installed in the main body, and the second sub-conveyor is installed on the lift. A gripper in close contact with the bottom surface of the cassette rack mounted on the first sub conveyor through between the rollers of the 2 sub conveyors may be installed.

이 발명의 일 실시 예에 따른 인 라인 카세트 랙 이송 자동화 장치에서 캐리어 배출수단은 카세트 랙에 형성된 열의 간격으로 해당 열의 수만큼 실린더가 고정설치되고 각 실린더에는 카세트 랙의 적재공간 안쪽 위치까지 피스톤 로드가 연장 설치되며, 각 실린더와 상기 각 피스톤 로드는 동시에 동작하도록 설정될 수 있다.In the in-line cassette rack transfer automation device according to an embodiment of the present invention, the carrier discharge means is fixedly installed by the number of rows at intervals of the rows formed in the cassette rack, and each cylinder has a piston rod up to the position inside the loading space of the cassette rack. It is extended and installed, and each cylinder and each of the piston rods may be set to operate at the same time.

이 발명에 따른 인 라인 카세트 랙 이송 자동화 장치에 의하면 반도체, PCB 등 전자부품을 제조하는 공정들 중에서 열경화 단계에서 작업 대상물의 투입과 배출이 자동으로 이루어지는 가운데 열 손실을 줄일 수 있게 된다.According to the in-line cassette rack transfer automation device according to the present invention, it is possible to reduce heat loss while the input and discharge of the work object is automatically made in the thermosetting step in the process of manufacturing electronic components such as semiconductors and PCBs.

나아가, 이 발명에 따른 인 라인 카세트 랙 이송 자동화 장치는 반도체, PCB 등 전자부품을 제조하는 공정들 중에서 열경화 단계를 수행하는 과정에서의 작업이 더욱 효율적으로 이루어질 수 있는 장점이 있다.Furthermore, the in-line cassette rack transfer automation apparatus according to the present invention has the advantage that the operation in the process of performing the thermosetting step among the processes of manufacturing electronic components such as semiconductors and PCBs can be made more efficiently.

도1은 이 발명의 일 실시 예에 따른 인 라인 카세트 랙 이송 자동화 장치를 설명하기 위한 정면 구성도.
도2는 이 발명의 일 실시 예에 따른 인 라인 카세트 랙 이송 자동화 장치를 설명하기 위한 측면 구성도.
도3은 이 발명의 일 실시 예에 따른 인 라인 카세트 랙 이송 자동화 장치를 설명하기 위한 평면 구성도.
도4는 이 발명에 따른 캐리어 적재수단의 구성을 설명하기 위한 도면.
도5는 이 발명에 따른 승하강 수단을 설명하기 위한 도면.
도6은 이 발명에 따른 캐리어 배출수단의 구성을 설명하기 위한 도면.
도7 내지 도11은 이 발명에 따른 인 라인 경화룸 이송 자동화 장치의 작동 상태를 설명하기 위한 도면.1 is a front view for explaining an in-line cassette rack transfer automation device according to an embodiment of the present invention.
Figure 2 is a side configuration diagram for explaining an in-line cassette rack transfer automation device according to an embodiment of the present invention.
Figure 3 is a plan view for explaining the in-line cassette rack transfer automation device according to an embodiment of the present invention.
Figure 4 is a view for explaining the configuration of the carrier loading means according to the present invention.
5 is a view for explaining the elevating means according to the present invention.
6 is a view for explaining the configuration of the carrier discharge means according to the present invention.
7 to 11 are views for explaining the operating state of the in-line curing room transfer automation device according to the present invention.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하면서 이 발명의 일 실시 예에 따른 인 라인 카세트 랙 이송 자동화 장치의 구성에 대하여 보다 구체적으로 설명한다.Hereinafter, the configuration of the in-line cassette rack transfer automation apparatus according to an embodiment of the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.

도1은 이 발명의 일 실시 예에 따른 인 라인 카세트 랙 이송 자동화 장치를 설명하기 위한 정면 구성도이고, 도2는 이 발명의 일 실시 예에 따른 인 라인 카세트 랙 이송 자동화 장치를 설명하기 위한 측면 구성도이며, 도3은 이 발명의 일 실시 예에 따른 인 라인 카세트 랙 이송 자동화 장치를 설명하기 위한 평면 구성도이며, 도4는 이 발명에 따른 캐리어 적재수단의 구성을 설명하기 위한 도면이며, 도5는 이 발명에 따른 승하강 수단을 설명하기 위한 도면이고, 도6은 이 발명에 따른 캐리어 배출수단의 구성을 설명하기 위한 도면이고, 도7 내지 도11은 이 발명에 따른 인 라인 경화룸 이송 자동화 장치의 작동 상태를 설명하기 위한 도면이다.1 is a front view for explaining an in-line cassette rack transfer automation apparatus according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a side view for explaining an in-line cassette rack transfer automation apparatus according to an embodiment of the present invention 3 is a plan configuration diagram for explaining an in-line cassette rack transfer automation device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a diagram for explaining the configuration of a carrier loading means according to the present invention, 5 is a view for explaining the elevating means according to the present invention, Figure 6 is a view for explaining the configuration of the carrier discharge means according to the present invention, Figures 7 to 11 are in-line curing room according to the present invention It is a diagram for explaining the operating state of the transfer automation device.

도면 중에 표시되는 도면부호 100은 이 발명의 일 실시 예에 따른 인 라인 경화룸을 지시하는 것이며, 도면부호 200은 이 발명에 따른 인 라인 경화룸에 적용되는 카세트 랙을 지시하는 것이다. 도1 내지 도3에 따른 정면 구성도, 측면 구성도 및 평면 구성도에서는 이 발명에 따른 인 라인 경화룸(100)에 관한 설명의 편의를 위해서 일부의 구성요소들은 도시가 생략되기도 하였고, 일부의 구성요소들은 전방의 구성요소에 의해 가려져 실제로는 보이지 않으나 전방의 구성요소와 겹쳐 표시된 경우도 있음을 참고해야 한다.Reference numeral 100 indicated in the drawings indicates an in-line curing room according to an embodiment of the present invention, and reference numeral 200 indicates a cassette rack applied to the in-line curing room according to the present invention. In the front configuration diagram, the side configuration diagram, and the plan configuration diagram according to FIGS. 1 to 3, some components are omitted for convenience of explanation regarding the in-line curing room 100 according to the present invention, and some of the components are omitted. It should be noted that although the components are not actually visible because they are covered by the components in the front, they are displayed overlapping the components in the front.

이 발명의 일 실시 예에 따른 인 라인 경화룸(100)은 PCB를 포함한 열처리 대상이 되는 작업대상물이 복수의 층과 복수의 열로 적재될 수 있도록 구성되는 카세트 랙(200)이 사용된다. 이를 위해, 발명에 따른 카세트 랙(200)의 내측에는 도면에서 보이는 바와 복수의 층과 복수의 열로 적재공간이 마련된다.In the in-line curing room 100 according to an embodiment of the present invention, a cassette rack 200 configured to allow a heat treatment target including a PCB to be loaded in a plurality of layers and a plurality of rows is used. To this end, a loading space is provided on the inside of the cassette rack 200 according to the invention in a plurality of layers and a plurality of rows as shown in the drawing.

이 발명의 일 실시 예에 따른 인 라인 경화룸(100)의 본체(110)는 도면에서 보이는 바와 같이 복수의 가로방향 프레임, 세로방향 프레임, 폭방향 프레임이 상호 조립되어 형성된다. 특히, 인 라인 경화룸(100)의 본체(110)는 도면에서 보이는 바와 같이 바닥으로부터 일정 높이의 위치에 열처리 경화룸(120)가 설치되는 상층과 카세트 랙(200)이 이동되는 공간을 갖는 하층으로 구분형성된다.As shown in the drawing, the body 110 of the in-line curing room 100 according to an embodiment of the present invention is formed by assembling a plurality of horizontal frames, vertical frames, and width frames. In particular, as shown in the drawing, the main body 110 of the in-line curing room 100 has an upper layer in which the heat treatment curing room 120 is installed at a predetermined height from the floor and a lower layer having a space in which the cassette rack 200 is moved. is divided into

이 발명에 따른 인 라인 경화룸(100)에서 열처리 경화룸(120)는 본체(110)의 상층 중간 부분에 일정 용적의 내부공간을 갖도록 형성된다. 열처리 경화룸(120)의 전방과 후방의 각 위치에는 작동수단에 의해 개폐 작동이 되는 오토 도어(122)가 설치될 수 있다.In the in-line curing room 100 according to the present invention, the heat treatment curing room 120 is formed to have an internal space of a certain volume in the middle portion of the upper layer of the body 110 . An auto door 122 that is opened and closed by an operating means may be installed at each position of the front and rear of the heat treatment curing room 120 .

그리고 열처리 경화룸(120)의 하부에는 작업대상물이 담긴 캐리어(300)가 차례로 적층된 카세트 랙(200)이 전진 방향으로 이동되도록 안내하기 위한 카세트 랙 이송 컨베이어(130)가 설치된다.And in the lower portion of the heat treatment curing room 120, a cassette rack transfer conveyor 130 for guiding the cassette rack 200 in which the carrier 300 containing the work object is sequentially stacked is moved in the forward direction is installed.

한편, 전술한 바와 같이 구성된 카세트 랙(200)의 각 적재공간에 캐리어(300)가 적재될 수 있도록 하기 위한 캐리어 적재수단(140)이 열처리 경화룸(120)의 전방 측인 본체(110)의 일측에 설치된다.On the other hand, the carrier loading means 140 for allowing the carrier 300 to be loaded in each loading space of the cassette rack 200 configured as described above is one side of the main body 110 which is the front side of the heat treatment curing room 120 . is installed on

이 발명에 따른 캐리어 적재수단(140)은 도4에서 보이는 바와 같이 본체(110)의 폭방향으로 고정 설치되는 이동 가이드(144)와, 이동 가이드(144)을 따라 카세트 랙(200)에 구분 형성된 적재공간의 열에 맞춰 이동 작동하는 캐리어 투입 컨베이어(144)를 포함하여 구성된다.The carrier loading means 140 according to the present invention is formed in the cassette rack 200 along the moving guide 144 fixedly installed in the width direction of the main body 110 and the moving guide 144 as shown in FIG. 4 . It is configured to include a carrier input conveyor 144 that moves and operates according to the column of the loading space.

전술한 캐리어 투입 컨베이어(144)는 카세트 랙(200)의 적재공간에 작업대상물이 담긴 캐리어(300)가 적재되도록 정방향 회전 동작하도록 구성된다. The aforementioned carrier input conveyor 144 is configured to rotate in a forward direction so that the carrier 300 containing the work object is loaded in the loading space of the cassette rack 200 .

한편, 캐리어 투입 컨베이어(144)는 이동 가이드(144)을 따라 일정 속도와 일정 간격으로 이동하는 이동체(146) 상에 고정 설치된다.On the other hand, the carrier input conveyor 144 is fixedly installed on the movable body 146 moving at a constant speed and at a predetermined interval along the movement guide 144 .

이 발명의 일 실시 예에 따른 캐리어 적재수단(140)을 통해서 카세트 랙(200)에 캐리어(300)가 적재되는 과정에서 카세트 랙(200)에 형성된 각 적재공간의 층높이 간격 만큼씩 카세트 랙(200)이 상승 작동시키기 위한 투입측 승하강 수단(150)이 설치된다.Cassette rack ( 200) The input-side elevating means 150 for lifting operation is installed.

또한, 캐리어 적재수단(140)의 캐리어 투입 컨베이어(144)는 캐리어(300)의 하부 양쪽 부분을 지지하도록 일정 간격을 두고 좌측 컨베이어(144a)와 및 우측 컨베이어(144b)가 설치된다. 좌측 컨베이어(144a) 및 우측 컨베이어(144b)는 각각 별도의 구동 모터(144c, 144d)에 의해 구동되도록 설계될 수 있다. 한편, 캐리어(300)의 길이방향으로 일정 간격을 두고 복수의 롤러가 배치되며 각 롤러는 고무 벨트로 연결될 수 있다.In addition, the carrier input conveyor 144 of the carrier loading means 140 is provided with a left conveyor 144a and a right conveyor 144b at regular intervals to support both lower portions of the carrier 300 . The left conveyor 144a and the right conveyor 144b may be designed to be driven by separate driving motors 144c and 144d, respectively. Meanwhile, a plurality of rollers are disposed at regular intervals in the longitudinal direction of the carrier 300 , and each roller may be connected by a rubber belt.

투입측 승하강 수단(150)은 도면에서 보이는 바와 같이 전술한 캐리어 투입 컨베이어(144) 후방과 열처리 경화룸(120) 전방에 설치된다.The input-side elevating means 150 is installed in front of the carrier input conveyor 144 and the heat treatment curing room 120 as shown in the drawing.

그리고 이 발명에 따른 투입측 승하강 수단(150)의 하부에는 도면에서 보이는 바와 같이 카세트 랙(200)이 전진 또는 후진 방향으로 이동하도록 작동하는 제1 서브 컨베이어(152)가 설치된다. 제1 서브 컨베이어(152)는 카세트 랙(200)이 일정 높이씩 승강하는 가운데 캐리어 적재수단(140)에 의해 캐리어(300)의 적재가 완료되었고, 카세트 랙(200)의 높이가 열처리 경화룸(120)에 진입할 수 있는 높이까지 승강된 상태에서, 카세트 랙(200)을 열처리 경화룸(120) 내로 밀어 넣어주도록 하기 위한 것이다.And a first sub-conveyor 152 that operates to move the cassette rack 200 in a forward or backward direction is installed under the input-side elevating means 150 according to the present invention, as shown in the drawing. In the first sub conveyor 152, loading of the carrier 300 is completed by the carrier loading means 140 while the cassette rack 200 is raised and lowered by a predetermined height, and the height of the cassette rack 200 is a heat treatment hardening room ( In a state that is elevated to a height that can enter 120), the cassette rack 200 is to be pushed into the heat treatment curing room 120 .

즉, 제1 서브 컨베이어(152)가 열처리 경화룸(120) 하부에 설치된 카세트 랙 이송 컨베이어(130)의 높이까지 승강이 된 상태에서, 제1 서브 컨베이어(152) 및 카세트 랙 이송 컨베이어(130)가 작동됨으로써 카세트 랙(200)은 열처리 경화룸(120)로 이동하게 된다.That is, in a state in which the first sub conveyor 152 is elevated to the height of the cassette rack transport conveyor 130 installed under the heat treatment curing room 120 , the first sub conveyor 152 and the cassette rack transport conveyor 130 are By being operated, the cassette rack 200 is moved to the heat treatment curing room 120 .

이 발명에 따른 투입측 승하강 수단(150)의 제1 서브 컨베이어(152)는 본체(110)에 고정 설치되는 승하강 가이드(154)를 따라 이동 작동하는 리프트(156)에 고정 설치된다. 그리고 리프트(156) 상에는 제1 서브 컨베이어(152)의 롤러 사이를 통해 승강 또는 하강하는 그립퍼(158)가 설치될 수 있다. 그립퍼(158)는 실린더의 구동수단에 의해서 승강 또는 하강하도록 설치될 수 있고, 제1 서브 컨베이어(152) 상에 올려진 카세트 랙(200)의 저면에 밀착될 수 있도록 진공 흡착이 가능한 구성으로 이루어질 수 있다.The first sub-conveyor 152 of the input-side elevating means 150 according to the present invention is fixedly installed on the lift 156 moving along the elevating guide 154 fixedly installed on the main body 110 . In addition, a gripper 158 that moves up and down through the rollers of the first sub conveyor 152 may be installed on the lift 156 . The gripper 158 may be installed to be raised or lowered by the driving means of the cylinder, and may be vacuum-sucked so as to be in close contact with the bottom surface of the cassette rack 200 mounted on the first sub conveyor 152 . can

그리고 이 발명의 일 실시 예에 따른 열처리 경화룸(120)을 통해서 열처리 등의 작업이 완료된 상태에서 열처리 경화룸(120) 내에서 카세트 랙(200)을 배출시키는 한편 카세트 랙(200)에 적재되어 있는 캐리어(300)를 빼내기 위하여 배출측 승하강 수단(160) 및 캐리어 배출수단(170)이 본체(110)이 후방 측에 설치된다.And the cassette rack 200 is discharged from the heat treatment hardening room 120 in a state where the work such as heat treatment is completed through the heat treatment hardening room 120 according to an embodiment of the present invention, while being loaded into the cassette rack 200 The main body 110 is installed on the rear side of the discharge-side elevating means 160 and the carrier discharging means 170 in order to take out the carrier 300 that is there.

배출측 승하강 수단(160)은 카세트 랙(200)에 적재된 캐리어(300)가 캐리어 배출수단(170)을 통해 배출되는 과정에서 카세트 랙(200)의 층 높이 간격 만큼씩 카세트 랙(200)이 하강 작동될 수 있게 설치되는 것이다.The discharge-side elevating means 160 is a cassette rack 200 by the floor height interval of the cassette rack 200 in the process in which the carrier 300 loaded on the cassette rack 200 is discharged through the carrier discharge means 170 . It is installed so that it can be operated downward.

그리고 이 발명에 따른 배출측 승하강 수단(160)의 하부에는 카세트 랙(200)이 전진 또는 후진 방향으로 이동하도록 작동하는 제2 서브 컨베이어(162)가 설치된다.And a second sub-conveyor 162 that operates to move the cassette rack 200 in a forward or backward direction is installed under the discharge-side elevating means 160 according to the present invention.

이 발명에 따른 배출측 승하강 수단(160)은 앞서 설명한 투입측 승하강 수단(150)과 거의 동일한 구성으로 이루어지되 작동 상태가 반대로 이루어지는 것이다. 즉, 배출측 승하강 수단(160)은 승하강 가이드(164)를 따라 리프트(156)이 일정 높이씩 이동 작동하도록 구성되고, 제2 서브 컨베이어(162) 상에 높인 카세트 랙(200)의 이동을 제한하기 위한 그립퍼(168)가 설치된다.The discharge-side elevating means 160 according to the present invention is made of almost the same configuration as the input-side elevating means 150 described above, but the operating state is reversed. That is, the discharge-side elevating means 160 is configured such that the lift 156 moves by a predetermined height along the elevating guide 164 , and moves the cassette rack 200 raised on the second sub conveyor 162 . A gripper 168 for limiting is installed.

이 발명에 따른 인 라인 경화룸(100)의 캐리어 배출수단(170)은 배출측 승하강 수단(160)을 통해 일정 높이씩 하강 동작하는 과정에서 카세트 랙(200)의 적재공간에 적재된 캐리어(300)가 피스톤 로드(174)로 순차적으로 밀어내도록 구성되는 것이다. 이를 위해 캐리어 배출수단(170)의 실린더(172)는 열처리 경화룸(120)의 하측에 고정 설치된다.The carrier discharge means 170 of the in-line curing room 100 according to the present invention is a carrier loaded in the loading space of the cassette rack 200 in the process of lowering by a predetermined height through the discharge-side elevating means 160 ( 300 is to be configured to sequentially push the piston rod (174). To this end, the cylinder 172 of the carrier discharge means 170 is fixedly installed at the lower side of the heat treatment curing room 120 .

이 발명에 따른 인 라인 경화룸(100)에서 캐리어 배출수단(170)은 카세트 랙(200)에 형성된 열의 간격으로 해당 열의 수만큼 실린더(172)가 고정 설치되고, 각 실린더(172)에는 카세트 랙(200)의 적재공간 안쪽 위치까지 피스톤 로드(174)가 연장 설치될 수 있다.In the in-line curing room 100 according to the present invention, in the carrier discharge means 170, the number of cylinders 172 are fixed and installed at intervals of the rows formed in the cassette rack 200, and each cylinder 172 has a cassette rack. The piston rod 174 may be installed extending to the inside position of the loading space of the 200 .

그리고 캐리어 배출수단(170)의 실린더(172)와 각 피스톤 로드(174)는 동시에 동작하도록 설정되는 것이 바람직하다. And it is preferable that the cylinder 172 and each piston rod 174 of the carrier discharge means 170 are set to operate at the same time.

한편, 이 발명에 따른 캐리어 배출수단(170)이 작동하는 동안에 배출측 승하강 수단(160)은 일시 정지된다. On the other hand, while the carrier discharge means 170 according to the present invention is operated, the discharge-side elevating means 160 is temporarily stopped.

전술한 배출측 승하강 수단(160)과 캐리어 배출수단(170)의 작동을 통해 적재공간이 빈 상태가 된 카세트 랙(200)은 투입측 승하강 수단(150) 측으로 이송될 수 있도록 하기 위해서 본체(110)의 하부 측에 카세트 랙 리턴 컨베이어(180)가 설치된다. 즉, 배출측 승하강 수단(160)에 마련된 제2 서브 컨베이어(162)가 카세트 랙 리턴 컨베이어(180)의 위치까지 하강이 된 상태에서, 제2 서브 컨베이어(162) 및 카세트 랙 리턴 컨베이어(180)가 구동되면 제2 서브 컨베이어(162) 상에 있던 적재공간이 빈 카세트 랙(200)은 본체(110)의 하층에 마련된 이동공간을 통해서 전방의 투입측 승하강 수단(150) 측으로 향하게 된다.The cassette rack 200 in which the loading space becomes empty through the operation of the discharging-side elevating means 160 and the carrier discharging means 170 as described above is the main body in order to be transferred to the input-side elevating means 150 side. A cassette rack return conveyor 180 is installed on the lower side of the 110 . That is, in a state in which the second sub conveyor 162 provided in the discharge-side elevating means 160 is lowered to the position of the cassette rack return conveyor 180 , the second sub conveyor 162 and the cassette rack return conveyor 180 . ) is driven, the cassette rack 200 having an empty loading space on the second sub-conveyor 162 is directed toward the input-side elevating means 150 through the moving space provided on the lower layer of the main body 110 .

한편, 투입측 승하강 수단(150)에 카세트 랙(200)이 존재하는 경우에는 카세트 랙 리턴 컨베이어(180) 상에서 대기하도록 설정될 수 있다.On the other hand, when the cassette rack 200 is present in the input-side elevating means 150 , it may be set to wait on the cassette rack return conveyor 180 .

이하에서는 첨부된 도면을 참조하면서 이 발명에 따른 인 라인 카세트 랙 이송 자동화 장치가 작동되는 상태에 대하여 간단하게 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, the in-line cassette rack transfer automation device according to the present invention will be briefly described with respect to the operating state.

도7에서 보이는 바와 같이 투입측 승하강 수단(150)의 작동에 의해 카세트 랙(200)은 일정 높이씩 승강하는 가운데 캐리어 적재수단(140)의 작동에 의해서 카세트 랙(200)의 적재공간에는 작업대상물이 담긴 캐리어(300)이 카세트 랙(200)의 상층에서부터 하층의 순으로 적재된다.As shown in FIG. 7, by the operation of the input-side elevating means 150, the cassette rack 200 is raised and lowered by a predetermined height, while the carrier loading means 140 operates in the loading space of the cassette rack 200. The carrier 300 containing the object is loaded in the order from the upper layer to the lower layer of the cassette rack 200 .

한편, 도8 및 도9에서 보이는 바와 같이 캐리어 적재수단(140)의 캐리어 투입 컨베이어(144)는 이동 가이드(142)를 따라 본체의 폭방향으로 일정 속도와 일정 간격으로 이동하면서 카세트 랙(200)의 적재공간에 캐리어(300)를 밀어 넣게 된다.On the other hand, as shown in FIGS. 8 and 9 , the carrier input conveyor 144 of the carrier loading means 140 moves along the movement guide 142 in the width direction of the body at a constant speed and at a predetermined interval while the cassette rack 200 . The carrier 300 is pushed into the loading space of the

즉, 캐리어 적재수단(140)에 의해 한 층에 형성된 복수의 적재공간에 캐리어(300)를 넣어 채우고, 투입측 승하강 수단(150)에 의해 카세트 랙(200)은 한 층의 높이씩 승강 작동하게 된다.That is, the carrier 300 is put into the plurality of loading spaces formed on one floor by the carrier loading means 140, and the cassette rack 200 is lifted by the height of one floor by the input-side elevation means 150. will do

그리고 도10에서 보이는 바와 같이 카세트 랙(200)의 적재공간에 캐리어(300)가 모두 채워지고, 카세트 랙(200)이 고점 위치까지 승강이 된 상태에서, 투입측 승하강 수단(150)의 제1 서브 컨베이어(152)와 열처리 경화룸(120) 내의 카세트 랙 이송 컨베이어(130)가 구동이 되면서 투입측 승하강 수단(150)에 올려져 있던 카세트 랙(200)은 열처리 경화룸(120) 내로 이동이 된다.And as shown in FIG. 10, the carrier 300 is all filled in the loading space of the cassette rack 200, and in a state where the cassette rack 200 is elevated to the high point position, the first of the input side elevation means 150 As the sub conveyor 152 and the cassette rack transfer conveyor 130 in the heat treatment curing room 120 are driven, the cassette rack 200 placed on the input-side elevating means 150 is moved into the heat treatment curing room 120 . becomes this

열처리 경화룸(120) 내에서 열처리가 완료된 카세트 랙(200)은 도10에서 보이는 바와 같이 열처리 경화룸(120)의 후방측으로 배출이 된다, The cassette rack 200 on which the heat treatment is completed in the heat treatment hardening room 120 is discharged to the rear side of the heat treatment hardening room 120 as shown in FIG.

이 발명의 실시 예에 따른 인 라인 경화룸(100)에서 열처리가 완료된 카세트 랙(200)은 배출측 승하강 수단(160)을 통해서 도11에서 보이는 바와 같이 일정 높이씩 하강이 되는 가운데 캐리어 배출수단(170)의 작동에 의해서 캐리어(300)들은 카세트 랙(200)의 적재공간으로부터 외부로 밀려나오게 된다. In the in-line curing room 100 according to an embodiment of the present invention, the cassette rack 200 on which the heat treatment has been completed is lowered by a predetermined height as shown in FIG. 11 through the discharge-side elevating means 160 through the carrier discharge means. By the operation of 170, the carriers 300 are pushed out from the loading space of the cassette rack 200 .

전술한 바와 같은 배출 공정을 캐리어(300)들의 배출이 완료된 카세트 랙(200)은 도10에서 보이는 바와 같이 본체(110)의 하부측에 마련된 카세트 랙 리턴 컨베이어(180)를 따라 전방 측으로 이동하게 된다.In the discharging process as described above, the cassette rack 200 in which the discharging of the carriers 300 is completed is moved to the front side along the cassette rack return conveyor 180 provided on the lower side of the main body 110 as shown in FIG. .

전술한 바와 같은 단계는 계속하여 반복이 되면서, PCB 등의 전자부품의 열처리가 보다 효율적으로 이루어지게 된다.As the above-described steps are continuously repeated, heat treatment of electronic components such as PCBs is performed more efficiently.

나아가 반도체, PCB 등 전자부품을 제조하는 공정들 중에서 열경화 단계에서 작업 대상물의 투입과 배출이 자동으로 이루어지는 가운데 열 손실을 줄일 수 있게 된다.Furthermore, it is possible to reduce heat loss while input and discharge of the work object is automatically performed in the thermal curing step in the process of manufacturing electronic components such as semiconductors and PCBs.

이상에서는 이 발명의 실시 예에 따른 인 라인 카세트 랙 이송 자동화 장치의 구성 및 작동상태 등에 대하여 구체적으로 설명하였다. 이러한 실시 예들은 이 발명의 특허청구범위에 기재된 기술 사상에 포함되는 것이다. 또한, 이러한 실시 예들은 예시적인 것에 불과한 것으로, 이 발명의 특허청구범위를 해석함에 있어 한정 해석해서는 아니 된다.The above has been described in detail with respect to the configuration and operating state of the in-line cassette rack transfer automation device according to an embodiment of the present invention. These embodiments are included in the technical spirit described in the claims of this invention. In addition, these embodiments are merely exemplary, and should not be construed as limited in interpreting the claims of the present invention.

100 : 인 라인 경화룸 110 : 본체
120 : 열처리 경화룸 130 : 카세트 랙 이송 컨베이어
140 : 캐리어 적재수단 142 : 이동 가이드
144 : 캐리어 투입 컨베이어 146 : 이동체
150 : 투입측 승하강 수단 152 : 제1 서브 컨베이어
160 : 배출측 승하강 수단 162 : 제2 서브 컨베이어
154, 164 : 승하강 가이드 156, 166 : 리프트
158, 168 : 그립퍼 170 : 캐리어 배출수단
180 : 카세트 랙 리턴 컨베이어 200 : 카세트 랙
300 : 캐리어100: in-line curing room 110: body
120: heat treatment curing room 130: cassette rack transfer conveyor
140: carrier loading means 142: movement guide
144: carrier input conveyor 146: moving body
150: input side elevating means 152: first sub conveyor
160: discharge-side elevating means 162: second sub conveyor
154, 164: elevating guide 156, 166: lift
158, 168: gripper 170: carrier discharge means
180: cassette rack return conveyor 200: cassette rack
300: carrier

Claims (5)

상층과 하층이 구분되도록 복수의 가로방향 프레임, 세로방향 프레임, 폭방향 프레임이 조립되어 형성되는 본체;
상기 본체의 상층 중간부분에 일정 용적의 내부공간을 갖으며 하부에는 카세트 랙 이송 컨베이어가 설치되는 열처리 경화룸;
상기 열처리 경화룸 내로 복수의 작업대상물이 동시에 투입 및 배출이 되게 복수의 층과 복수의 열로 내측에 적재공간이 형성되는 카세트 랙;
상기 카세트 랙의 적재공간에 작업대상물이 담긴 캐리어가 적재되도록 정방향 회전 동작하는 캐리어 투입 컨베이어가 설치되고, 상기 카세트 랙에 구분 형성된 적재공간의 열에 맞춰 상기 캐리어 투입 컨베이어가 일정 속도와 일정 간격으로 이동하도록 상기 본체의 폭방향으로 이동 가이드가 설치되는 캐리어 적재수단;
상기 카세트 랙에 형성된 적재공간의 층 높이 간격 만큼씩 상기 카세트 랙이 상승 동작하도록 상기 캐리어 투입 컨베이어 후방과 상기 열처리 경화룸 전방 사이의 본체에 설치되며, 하부에는 상기 카세트 랙이 전진 또는 후진 방향으로 이동하도록 동작하는 제1 서브 컨베이어가 설치된 투입측 승하강 수단;
상기 카세트 랙에 형성된 적재공간의 층 높이 간격 만큼씩 상기 카세트 랙이 하강 동작하도록 상기 열처리 경화룸의 후방 측에 설치되며, 하부에는 상기 카세트 랙이 전진 또는 후진 방향으로 이동하도록 동작하는 제2 서브 컨베이어가 설치된 배출측 승하강 수단;
상기 배출측 승하강 수단을 통해 일정 높이씩 하강 동작하는 상기 카세트 랙의 적재공간에 적재된 캐리어가 피스톤 로드로 차례로 밀어내도록 상기 열처리 경화룸의 하측에 실린더가 고정 설치되는 캐리어 배출수단; 및
상기 배출측 승하강 수단을 통해 일정 높이씩 하강 동작하여 적재공간이 빈 상태가 된 상기 카세트 랙을 상기 투입측 승하강 수단 측으로 이송시키기 위해 상기 본체의 하부 측에 설치되는 카세트 랙 리턴 컨베이어; 를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 인 라인 카세트 랙 이송 자동화 장치.
a body formed by assembling a plurality of horizontal frames, vertical frames, and width frames so that the upper and lower layers are separated;
a heat treatment curing room having an internal space of a certain volume in the middle part of the upper layer of the main body and having a cassette rack transfer conveyor installed in the lower part;
a cassette rack in which a loading space is formed inside a plurality of layers and a plurality of rows so that a plurality of work objects are simultaneously input and discharged into the heat treatment curing room;
A carrier input conveyor that rotates in a forward direction is installed so that a carrier containing a work object is loaded in the loading space of the cassette rack, and the carrier input conveyor moves at a constant speed and at a predetermined interval according to the rows of the loading spaces formed separately in the cassette rack Carrier loading means in which a movement guide is installed in the width direction of the main body;
The cassette rack is installed in the main body between the rear of the carrier input conveyor and the front of the heat treatment curing room so that the cassette rack moves upward by the height interval of the loading space formed in the cassette rack, and the cassette rack moves in the forward or backward direction at the bottom a first sub-conveyor operating so as to be installed;
A second sub conveyor that is installed on the rear side of the heat treatment curing room so that the cassette rack moves down by the height interval of the stacking space formed in the cassette rack, and operates to move the cassette rack in the forward or backward direction at the bottom Elevating means for the discharge side is installed;
a carrier discharge means in which a cylinder is fixedly installed at the lower side of the heat treatment hardening room so that the carriers loaded in the loading space of the cassette rack, which are lowered by a predetermined height through the discharge-side elevating means, are sequentially pushed out by the piston rod; and
Cassette rack return conveyor installed on the lower side of the main body in order to move the cassette rack, in which the loading space is empty by lowering by a predetermined height through the discharge-side elevating means, to the input-side elevating means side; In-line cassette rack transport automation device, characterized in that it comprises a.
 제1항에 있어서,
상기 캐리어 적재수단의 캐리어 투입 컨베이어는 캐리어의 하부 양쪽 부분을 지지하도록 일정 간격을 두고 좌측 컨베이어와 및 우측 컨베이어가 설치되되, 상기 좌측 컨베이어 및 우측 컨베이어는 각각 별도의 구동 모터에 의해 구동되는 한편 상기 캐리어의 길이방향으로 일정 간격을 두고 복수의 롤러가 배치되며 각 롤러는 고무 벨트로 연결된 구성으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 인 라인 카세트 랙 이송 자동화 장치.
According to claim 1,
The carrier input conveyor of the carrier loading means is provided with a left conveyor and a right conveyor at regular intervals to support both parts of the lower portion of the carrier, the left conveyor and the right conveyor being driven by separate driving motors, respectively, while the carrier A plurality of rollers are arranged at regular intervals in the longitudinal direction of the in-line cassette rack transport automation device, characterized in that each roller is connected by a rubber belt.
 제1항에 있어서,
상기 투입측 승하강 수단의 제1 서브 컨베이어는 상기 본체에 고정설치되는 승하강 가이드를 따라 이동 작동하는 리프트 상에 고정 설치되고, 상기 리프트 상에는 제1 서브 컨베이어의 롤러 사이를 통해 상기 제1 서브 컨베이어 상에 올려진 카세트 랙의 저면에 밀착되는 그립퍼가 설치된 것을 특징으로 하는 인 라인 카세트 랙 이송 자동화 장치.
According to claim 1,
The first sub-conveyor of the input-side elevating means is fixedly installed on a lift that moves along an elevating guide fixedly installed on the main body, and on the lift, the first sub-conveyor is passed between the rollers of the first sub-conveyor. An in-line cassette rack transfer automation device, characterized in that a gripper is installed in close contact with the bottom of the cassette rack mounted on it.
 제3항에 있어서,
상기 배출측 승하강 수단의 제2 서브 컨베이어는 상기 본체에 고정설치되는 승하강 가이드를 따라 이동 작동하는 리프트 상에 고정 설치되고, 상기 리프트 상에는 제2 서브 컨베이어의 롤러 사이를 통해 상기 제1 서브 컨베이어 상에 올려진 카세트 랙의 저면에 밀착되는 그립퍼가 설치된 것을 특징으로 하는 인 라인 카세트 랙 이송 자동화 장치.
4. The method of claim 3,
The second sub-conveyor of the discharge-side elevating means is fixedly installed on a lift that moves along an elevating guide fixedly installed on the main body, and on the lift, the first sub-conveyor is passed between the rollers of the second sub-conveyor. An in-line cassette rack transfer automation device, characterized in that a gripper is installed in close contact with the bottom of the cassette rack mounted on it.
 제4항에 있어서,
상기 캐리어 배출수단은 상기 카세트 랙에 형성된 열의 간격으로 해당 열의 수만큼 실린더가 고정설치되고 각 실린더에는 상기 카세트 랙의 적재공간 안쪽 위치까지 피스톤 로드가 연장 설치되며, 상기 각 실린더와 상기 각 피스톤 로드는 동시에 동작하도록 설정된 것을 특징으로 하는 인 라인 카세트 랙 이송 자동화 장치.

5. The method of claim 4,
In the carrier discharge means, cylinders are fixedly installed as many as the number of rows at intervals of the rows formed in the cassette rack, and a piston rod is installed in each cylinder to a position inside the loading space of the cassette rack, and each cylinder and each piston rod are In-line cassette rack transport automation device, characterized in that it is set to operate at the same time.
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