KR102413112B1

KR102413112B1 - Horizontal wet process fixture

Info

Publication number: KR102413112B1
Application number: KR1020200098522A
Authority: KR
Inventors: 후앙 나이웨이; 린 윈빈
Original assignee: 신파워 컴패니 리미티드; 레이 강 테크놀로지 씨오., 엘티디.; 심텍 오토메이션 아시아 씨오., 엘티디.
Priority date: 2020-08-06
Filing date: 2020-08-06
Publication date: 2022-06-24
Also published as: KR20220018248A

Abstract

본 발명은 수평 습식공정 지그에 관한 것으로서, 아크면 형성 본체 및 상기 아크면 형성 본체에 적층 형성되는 위치고정부품을 포함하고 있으며, 아크면 형성 본체는 아크면 기준부를 구비하며, 아크면 기준부의 측면은 아크형상을 이루고 있어서 가요성 평면 기판이 아크면 기준부의 상단 표면에 밀착되어 아크형상 가요성 기판을 형성하게 되고, 위치고정부품은 아크형상 가요성 기판이 아크면 기준부에 위치 고정이 될 수 있도록 하며, 이를 통해 아크형상 가요성 기판이 설정된 아크면으로 형성될 수 있기 때문에 약액이 기판 상에 오래 머무르면서 자주 발생하게 되는 액체고임(웅덩이) 문제를 감소시킬 수 있게 된다. The present invention relates to a horizontal wet process jig, comprising an arc face forming body and a positioning part laminated on the arc face forming body, the arc face forming body having an arc face reference part, and a side surface of the arc face base part is formed in an arc shape, so that the flexible flat substrate is in close contact with the upper surface of the arc surface reference part to form an arc-shaped flexible substrate Since the arc-shaped flexible substrate can be formed with a set arc surface through this, it is possible to reduce the problem of liquid pooling (puddle) that occurs frequently while chemical liquid stays on the substrate for a long time.

Description

Horizontal wet process jig {HORIZONTAL WET PROCESS FIXTURE}

본 발명은 수평 습식공정 지그에 관한 것으로서 특히 가요성 평면 기판을 지그의 아크면 기준부에 부착하여 아크면을 형성한 후 다시 미리 설치된 아크형상 가요성 기판에 위치 고정시키는 기술 영역에 관한 것이다. The present invention relates to a horizontal wet process jig, and more particularly, to a technical field for attaching a flat flexible substrate to an arc surface reference part of the jig to form an arc surface and then fixing the position on a previously installed arc-shaped flexible substrate.

종래에 사용되는 가요성 기판은 강성이 부족하여 쉽게 휘어지고 변형되거나 혹은 부러져서 손상되는 편이었다. 그로 인해 가공 공정 과정에서 반드시 기판을 집게 프레임 지그에 넣은 후, 상기 집게 프레임 지그의 강성 구조를 이용하여 가요성 기판을 보호함으로써 운송공정 혹은 기타 제작 가공 공정 과정에서 변형되거나 손상되는 것을 방지할 수 있었다. Conventionally used flexible substrates tend to be easily bent, deformed, or broken and damaged due to lack of rigidity. Therefore, after the substrate must be placed in the tongs frame jig during the processing process, the flexible substrate is protected using the rigid structure of the tongs frame jig to prevent deformation or damage during the transportation process or other manufacturing and processing processes. .

화학 습식공정 과정 중에서 집게 프레임 지그는 평면 지그 구조이며 가요성 기판을 평면 지그 내로 넣으면 가요성 기판이 평면 기판 방식으로 동작되며, 평면 기판은 약액 등과 같은 재료들의 작용으로 원하는 전자회로 패턴을 얻을 수 있게 된다. 그러나 이러한 평면 기판은 동작 과정 중에서 약액이 가요성 기판의 일부 구역에 고여서 멈추게 되며 그로 인해 중앙 부위에 액체고임(웅덩이) 현상이 나타나면서 약액이 골고루 분포되지 못하는 문제점이 발생하며 심지어 제조 공정 상의 품질 관리에도 문제가 발생하며 불량율이 올라가는 문제점까지도 나오고 있는 실정이다. 또한 현재 기술인 평면 집게 프레임 지그는 그 구조 설계가 비교적 복잡하여 제조 원가가 높으며, 또한 자주 유지 보수 작업을 진행해야 할 뿐만 아니라 이러한 유지보수 작업에도 불구하고 액체고임(웅덩이) 현상 발생 문제는 쉽게 해결되지 않고 있다.During the chemical wet process, the tongs frame jig has a flat jig structure. When the flexible substrate is put into the flat jig, the flexible substrate operates in a flat substrate method. do. However, in the course of operation of such a flat substrate, the chemical liquid accumulates in some areas of the flexible substrate and stops. As a result, liquid pooling (puddle) appears in the central region, resulting in a problem in that the chemical liquid is not evenly distributed, and even in the quality of the manufacturing process. There are problems in management, and there are even problems that the defect rate rises. In addition, the flat clamp frame jig, which is the current technology, has a relatively complicated structural design, which results in high manufacturing cost, and not only requires frequent maintenance work, but also the problem of pooling (puddle) phenomenon is not easily solved despite such maintenance work. is not

본 발명의 주요 목적은 아크형상의 지그를 이용하여 가요성 평면 기판을 아크형상 가요성 기판으로 형성시킨 후, 습식공정 과정에서 중력 작용을 통해 약액이 빠른 속도로 아크형상 가요성 기판의 좌우 양측으로 흘러내리게 함으로써 아크형상 가요성 기판의 표면에 균일하게 도포될 수 있게 하고 이를 통해 약액이 기판 상에 오래 머무르면서 자주 발생하게 되는 액체고임(웅덩이) 문제를 감소시킬 수 있게 하는 데 있다. The main object of the present invention is to form a flexible flat substrate into an arc-shaped flexible substrate using an arc-shaped jig, and then, in a wet process, a chemical solution is rapidly transferred to the left and right sides of the arc-shaped flexible substrate through gravity action. The purpose is to make it flow down so that it can be uniformly applied to the surface of the arc-shaped flexible substrate, thereby reducing the problem of liquid pooling (puddle), which occurs frequently while chemical solution stays on the substrate for a long time.

본 발명의 또 다른 하나의 목적은 평면 형상 지그 구조를 아크형상 지그로 설계함으로써 전체적인 구도 설계가 더욱 단순해지고 제작 원가가 더욱 낮아지며 더 나아가 이렇게 제작된 아크형상 지그의 유지보수 과정이 더욱 간편해지고 편리해지게 하는 데 있다. Another object of the present invention is to design the planar jig structure as an arc-shaped jig, thereby simplifying the overall construction design, lowering the manufacturing cost, and further making the maintenance process of the arc-shaped jig manufactured in this way simpler and more convenient. is to do

상술된 목적을 달성하기 위한 본 발명에서는 수평 습식공정 지그, 특히 가요성 평면 기판을 아크형상 가요성 기판으로 형성시키는 지그를 제공하며, 아크면 형성 본체 및 상기 아크면 형성 본체의 상면 둘레부를 따라 적층된 형상으로 형성된 위치고정부품을 포함하고 있으며, 상기 아크면 형성 본체는 상기 위치고정부품에 비해 내측으로 단차를 두고 돌출된 아크면 기준부를 구비하되, 상기 아크면 기준부는 아크형상을 이루고 있어서 가요성 평면 기판이 상기 아크면 기준부의 상단 표면에 밀착되어 아크형상 가요성 기판으로 형성될 수 있도록 하며, 상기 위치고정부품은 아크형상 가요성 기판이 상기 아크면 기준부에 위치한 상태에서 그 둘레부 측변을 접촉하여 고정할 수 있도록 하여 상기 아크형상 가요성 기판이 설정된 아크면으로 형성될 수 있도록 한 것을 특징으로 한다. The present invention for achieving the above object provides a horizontal wet process jig, in particular, a jig for forming a flexible flat substrate into an arc-shaped flexible substrate, which is laminated along the periphery of the arc surface forming body and the upper surface of the arc surface forming body and a position fixing part formed in the shape of an arc, and the arc surface forming body is provided with an arc surface reference part protruding with a step inward compared to the positioning part, wherein the arc surface reference part forms an arc shape, so that it is flexible A flat substrate can be formed as an arc-shaped flexible substrate by being in close contact with the upper surface of the arc-plane reference portion, and the position fixing member is configured to hold the periphery of the arc-shaped flexible substrate while the arc-shaped flexible substrate is positioned on the arc-plane reference portion. It is characterized in that the arc-shaped flexible substrate can be formed with a set arc surface by contacting and fixing it.

상술된 내용을 종합해 보면, 본 발명인 수평 습식공정 지그는 아크형상의 지그를 이용하여 가요성 평면 기판을 아크형상 가요성 기판으로 형성시킨 후, 습식공정 과정에서 중력 작용을 통해 약액이 빠른 속도로 아크형상 가요성 기판의 좌우 양측으로 흘러내리게 함으로써 아크형상 가요성 기판의 표면에 균일하게 도포될 수 있게 하고 이를 통해 약액이 기판 상에 오래 머무르면서 자주 발생하게 되는 액체고임(웅덩이) 문제를 감소시킬 수 있는 효과를 얻을 수 있다. In summary, in the horizontal wet process jig of the present invention, after forming a flexible flat substrate into an arc-shaped flexible substrate using an arc-shaped jig, in the wet process, the chemical solution is rapidly transferred through gravity action. By allowing it to flow down to the left and right sides of the arc-shaped flexible substrate, it can be uniformly applied to the surface of the arc-shaped flexible substrate, thereby reducing the problem of liquid pooling (puddle), which occurs frequently while chemical liquid stays on the substrate for a long time. effect can be obtained.

도 1은 본 발명인 수평 습식공정 지그의 제1실시예에 관한 사시도
도 2는 도 1에서 가요성 평면 기판을 지그에 올려둔 것을 나타낸 사시도
도 3은 도 2에서 지그 상에 아크형상 가요성 기판이 형성된 것을 나타낸 측시도
도 4는 본 발명인 수평 습식공정 지그의 제2실시예에 관한 사시도
도 5는 본 발명인 수평 습식공정 지그의 제3실시예에 관한 사시도
도 6은 도 5에서 중첩이 가능한 지그를 나타낸 사시도
도 7은 본 발명인 수평 습식공정 지그의 제4실시예에 관한 사시도
도 8은 본 발명을 습식공정 생산 설비 상에 응용한 구조를 나타낸 사시도1 is a perspective view of a first embodiment of a horizontal wet process jig according to the present invention;
FIG. 2 is a perspective view showing the flexible flat substrate placed on a jig in FIG. 1; FIG.
3 is a side view showing an arc-shaped flexible substrate formed on the jig in FIG. 2;
4 is a perspective view of a second embodiment of a horizontal wet process jig according to the present invention;
5 is a perspective view of a third embodiment of a horizontal wet process jig according to the present invention;
6 is a perspective view showing a jig capable of overlapping in FIG. 5
7 is a perspective view of a fourth embodiment of a horizontal wet process jig according to the present invention;
8 is a perspective view showing a structure in which the present invention is applied to a wet process production facility;

본 발명의 목적, 효과 및 구조적 특징을 더욱 명확하게 설명하기 위해, 비교적 우수한 실시예와 도면을 예로 들어 설명하면 다음과 같으며, 본 발명의 신청 범위는 이에 국한되지는 않는다. In order to more clearly explain the object, effect, and structural features of the present invention, the following will be described with reference to relatively excellent embodiments and drawings, and the scope of application of the present invention is not limited thereto.

도 1은 본 발명인 수평 습식공정 지그의 제1실시예에 관한 사시도이다. 1 is a perspective view of a first embodiment of a horizontal wet process jig according to the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명은 가요성 평면 기판을 아크형상 가요성 기판으로 형성시키는 지그(100)에 관한 것으로서, 상기 지그(100)는 아크면 형성 본체(1) 및 상기 아크면 형성 본체(1)의 상면 둘레부를 따라 적층된 형상으로 형성된 위치고정부품(2)을 포함하고 있으며, 아크면 형성 본체(1)는 아크면 기준부를 구비하되 아크면 기준부의 측면은 아크형상을 이루고 있어서 가요성 평면 기판이 상기 아프면 기준부의 상단 표면에 밀착되어 아크형상 가요성 기판으로 형성될 수 있도록 한다. 여기서 상기 아크면 기준부는 서로 이격을 두고 대향하는 제1측변(111) 및 제2측변(113), 제1측변(111)과 제2측변(113)의 단부들을 연결하는 한 쌍의 아크변(112)으로 이루어진다. 아크변(112)의 중심선은 만곡 형상에서 그 높이가 가장 높은 위치가 되며, 다시 제1측변(111) 및 제2측변(113)을 향해 그 높이가 낮아지면서 제1측변(111) 및 제2측변(113)이 높이가 가장 낮은 위치가 된다. 1, the present invention relates to a jig 100 for forming a flexible flat substrate into an arc-shaped flexible substrate, wherein the jig 100 includes an arc surface forming body 1 and the arc surface forming body ( 1) includes a positioning part 2 formed in a stacked shape along the upper surface periphery, and the arc surface forming body 1 is provided with an arc surface reference part, but the side of the arc surface reference part forms an arc shape, so it is flexible If the flat substrate is in close contact with the upper surface of the reference part when it hurts, it can be formed into an arc-shaped flexible substrate. Here, the arc surface reference part is a pair of arc edges connecting the ends of the first side side 111 and the second side side 113 and the first side side 111 and the second side side 113 which are spaced apart from each other and face each other ( 112). The center line of the arc side 112 has the highest height in the curved shape, and the height is lowered toward the first side side 111 and the second side side 113 again. The side 113 is the position with the lowest height.

상술한 내용에서 알 수 있듯이 지그(100)는 아크형상의 지구 형태이며, 도 2와 도 3의 실시예에서는 위치고정부품(2)이 아크형상 가요성 기판(4)의 둘레부 측변과 대면하여 접촉하는 맞물림부(21)를 구비하며, 맞물림부(21)는 아크면 기준부의 측부에 연결된다. 아크면 형성 본체(1)는 중공부(12)를 구비하고 있으며, 맞물림부(21)는 중공부(12)와 인접하게 된다. 아크면 형성 본체(1)의 서로 마주 보는 양측에는 중공부(12)를 가로 질러 연결되는 지지대(13)가 설치되어 있으며, 지지대(13)가 우선적으로 연결되는 아크변(112)의 중심선이 가장 높은 만곡 위치가 된다. 이를 상세히 설명해 보면, 가요성 평면 기판(3)이 지그(100)에 놓였을 때, 가요성 평면 기판(3) 주변은 아크면 기준부의 제1측변(111), 아크변(112) 및 제2측변(113)에 저항을 가하며 인접하게 되고 이를 통해 아크면 기준부가 가요성 평면 기판(3)을 그 상측 표면에 밀착시키면서 아크형상 가요성 기판(4)을 형성하게 된다. 도3에 나타난 바와 같이, 위치고정부품(2)은 아크형상 가요성 기판(4)이 아크면 기준부에 위치 고정할 수 있게 해주며 이를 통해 아크형상 가요성 기판(4)이 설정된 아크면을 형성할 수 있게 해 준다. 즉 다시 말해 아크형상 가요성 기판(4)이 지그(100)에 놓여 진 후, 아크형상 가요성 기판(4)은 아크면 기준부의 제1측변(111), 아크변(112) 및 제2측변(113)에 의거하여 이와 대응되는 아크형상 가요성 기판(4)의 중앙 위치에서 양측으로 향하는 아크면 형상을 형성하게 되고, 가요성 기판(4)의 양측 가장 낮은 위치는 위치고정부품(2)의 맞물림부(21)에 밀착되어 고정된다. 지지대(13)는 아크형상 가요성 기판(4)의 아크면의 형상을 더욱 강하게 지탱하고 위치 고정을 시켜주게 되며, 이 외에도 지지대(13)는 후속되는 습식공정에서도 아크형상 가요성 기판(4)이 약액이 분사될 때 발생되는 충격력에서도 아크형상 가요성 기판(4)의 일부구역의 지그(100)가 약액이 기판 상에 오래 머무르면서 자주 발생하게 되는 액체고임(웅덩이) 문제를 감소시킬 수 있게 된다.As can be seen from the above description, the jig 100 is in the form of an arc-shaped globe, and in the embodiment of FIGS. 2 and 3 , the position fixing part 2 faces the side of the periphery of the arc-shaped flexible substrate 4 , It has an engaging portion 21 in contact, the engaging portion 21 being connected to the side of the arc face reference portion. The arc surface forming body 1 has a hollow portion 12 , and the engaging portion 21 is adjacent to the hollow portion 12 . On both sides of the arc surface forming body 1 facing each other, the support 13 connected across the hollow part 12 is installed, and the center line of the arc side 112 to which the support 13 is preferentially connected is the most It becomes a high curvature position. To explain this in detail, when the flexible flat substrate 3 is placed on the jig 100 , the periphery of the flexible flat substrate 3 is the first side edge 111 , the arc edge 112 , and the second side of the arc plane reference part. The side edge 113 is adjacent to each other by applying resistance, thereby forming the arc-shaped flexible substrate 4 while the arc-surface reference portion adheres the flexible flat substrate 3 to the upper surface thereof. As shown in Fig. 3, the positioning part 2 enables the arc-shaped flexible substrate 4 to be fixed in position on the arc surface reference part, and through this, the arc-shaped flexible substrate 4 is set on the set arc surface. allows you to form In other words, after the arc-shaped flexible substrate 4 is placed on the jig 100 , the arc-shaped flexible substrate 4 is formed on the first side 111 , the arc side 112 , and the second side of the arc surface reference portion. Based on (113), an arc face shape directed to both sides is formed from the central position of the arc-shaped flexible substrate 4 corresponding thereto, and the lowest positions on both sides of the flexible substrate 4 are position fixing parts (2) It is fixed in close contact with the engaging portion 21 of the. The support 13 more strongly supports the shape of the arc surface of the arc-shaped flexible substrate 4 and fixes the position. Even in the impact force generated when this chemical is sprayed, the jig 100 in a part of the arc-shaped flexible substrate 4 can reduce the problem of pooling (puddle) that occurs frequently as the chemical stays on the substrate for a long time. .

도4는 본 발명인 수평 습식공정 지그의 제2실시예에 관한 사시도이다. 4 is a perspective view of a second embodiment of a horizontal wet process jig according to the present invention.

제2실시예와 전술한 제1실시예의 차이점은 아크면 형성 본체(1)의 주변에 아크면 형성 본체(1)의 상표면과 하표면을 관통하는 복수 개의 흐름구멍(14)이 더 형성되며, 상기 흐름구멍(14) 한 측변은 맞물림부(21)와 서로 연통되어 있고, 흐름구멍(14)은 아크면 기준부의 제1측변(111), 아크변(112) 및 제2측변(113)과 서로 인접해 있다. The difference between the second embodiment and the first embodiment described above is that a plurality of flow holes 14 penetrating the upper surface and the lower surface of the arc surface forming body 1 are further formed around the arc surface forming body 1, , One side of the flow hole 14 communicates with the engaging portion 21, and the flow hole 14 has a first side 111, an arc side 112 and a second side side 113 of the arc surface reference portion. and are adjacent to each other.

도5는 본 발명인 수평 습식공정 지그의 제3실시예에 관한 사시도이다. 5 is a perspective view of a third embodiment of a horizontal wet process jig according to the present invention.

제3실시예와 전술한 제2실시예의 차이점은 위치고정부품(2)에 도르래홈(22)을 갖추고 있고, 아크면 형성 본체(1)의 주변에 아크면 형성 본체(1)의 상표면과 하표면을 관통하는 복수 개의 흐름구멍(14)이 더 형성되는 것이고, 도르래홈(22)과 복수 개의 흐름구멍(14)은 서로 연통된다. 도르래홈(22)은 우선적으로 아크면 기준부의 제1측변(111)과 제2측변(113)과 서로 인접해 있다. 상기 아크면 형성 본체(1)의 지지대(13)는 각격을 두고 복수 개가 설치된다. The difference between the third embodiment and the second embodiment described above is that a pulley groove 22 is provided in the positioning part 2, and the upper surface of the arc surface forming body 1 is formed around the arc surface forming body 1 and A plurality of flow holes 14 penetrating the lower surface are further formed, and the pulley groove 22 and the plurality of flow holes 14 communicate with each other. The pulley groove 22 is preferentially adjacent to the first side side 111 and the second side side 113 of the arc surface reference portion. A plurality of supports 13 of the arc surface forming body 1 are installed at an interval.

도 6은 도 5에서 중첩이 가능한 지그를 나타낸 사시도이다. 6 is a perspective view illustrating a jig capable of overlapping in FIG. 5 .

아크면 형성 본체(1)에는 복수 개의 중첩대(15)가 더 설치되며, 복수 개의 중첩대(15)는 아크면 기준부의 아크변(112)에 인접해 있으며, 복수 개의 중첩대(15)를 이용하여 서로 인접한 지그(100)들을 서로 겹쳐 설치할 수 있다. 상기 중첩대(15)가 설치된 아크면 형성 본체(1)의 상표면은 돌출부(151)이고, 상기 상표면과 대응되는 위치의 하표면은 오목부(152)이며, 오목부(152)의 넓이는 돌출부(151)의 넓이보다 약간 크다. 예를 들어 설명하면, 두 개의 지그(100, 100')중 상측에 위치한 지그(100)의 하표면에 형성된 오목부(152)에 하측에 위치한 지그(100')의 상표면 돌출부(151)가 삽입 설치될 수 있기 때문에 두 개의 지그(100, 100')는 서로 중첩될 수 있으며, 이러한 방식으로 다수 개의 지그들을 중첩시켜 후속 공정을 더욱 편리하게 진행할 수 있게 된다. A plurality of overlapping rods 15 are further installed in the arc surface forming body 1 , and the plurality of overlapping rods 15 are adjacent to the arc side 112 of the arc surface reference part, and a plurality of overlapping rods 15 are provided. By using the jigs 100 adjacent to each other can be installed to overlap each other. The upper surface of the arc surface forming body 1 on which the overlapping stand 15 is installed is the protrusion 151, and the lower surface of the position corresponding to the upper surface is the concave portion 152, and the width of the concave portion 152 is is slightly larger than the width of the protrusion 151 . For example, in the concave portion 152 formed on the lower surface of the jig 100 located on the upper side among the two jigs 100 and 100 ′, the upper surface protrusion 151 of the jig 100 ′ located on the lower side is Since it can be inserted and installed, the two jigs 100 and 100' may overlap each other, and in this way, a plurality of jigs may be overlapped to perform a subsequent process more conveniently.

도 7은 본 발명인 수평 습식공정 지그의 제4실시예에 관한 사시도이다. 7 is a perspective view of a fourth embodiment of a horizontal wet process jig according to the present invention.

상기 위치고정부품(2)은 간격을 두고 설치된 복수 개의 클램프(23)를 더 포함하고 있으며, 복수 개의 클램프(23)는 아크면 기준부의 제1측변(111)과 제2측변(113)에 인접하게 된다. 복수 개의 클램프(23)는 각각 아크형상 가요성 기판(4)의 양 측변을 집어 고정시키게 되며, 즉 다시 말해 아크형상 가요성 기판(4)의 양측 가장 낮은 위치를 지탱하며 고정시키게 되어 후속되는 습식 공정에서 아크형상 가요성 기판(4)이 더욱 안정적으로 지그(100) 상에 놓여 있을 수 있게 해 준다. 또한 필요에 따라 아크면 형성 본체(1)에 각격을 두고 복수 개의 클램프(23)를 설치할 수도 있으며, 아크면 기준부의 아크변(112)과 인접하게 되어 아크형상 가요성 기판(4) 주변이 모두 클램프(23)를 통해 고정될 수 있게 된다. The positioning part 2 further includes a plurality of clamps 23 installed at intervals, and the plurality of clamps 23 are adjacent to the first side side 111 and the second side side 113 of the arc surface reference part. will do The plurality of clamps 23 hold and fix both sides of the arc-shaped flexible substrate 4, that is, hold and fix the lowest positions on both sides of the arc-shaped flexible substrate 4, respectively. It allows the arc-shaped flexible substrate 4 to be placed on the jig 100 more stably in the process. In addition, if necessary, a plurality of clamps 23 may be installed at an angle to the arc-surface forming body 1, and the arc-shaped flexible substrate 4 is adjacent to the arc edge 112 of the arc-surface reference part. It is possible to be fixed through the clamp (23).

도 8에 나타난 바와 같이, 지그(100) 및 지그(100) 상에 위치한 아크형상 가요성 기판(4)을 습식공정 설비(5)까지 수송하여 넣게 되며, 습식공정 설비(5)는 수송장치(51) 및 상측과 하측에 위치한 액체분사장치(52)를 포함한다. 아크형상 가요성 기판(4)는 수송장치(51)를 통해 수평으로 액체분사장치(52)의 작업 구역까지 운반된다. 이어서 액체분사장치(52)가 아크형상 가요성 기판(4)에 약액을 수직으로 분사하게 되면 중격 작용의 영향을 받아 약액이 아크형상 가요성 기판(4)의 중앙 가장 높은 만곡 위치에서 그 높이가 점점 낮아지는 양측 아크면을 따라 흘러내려오면서 가장 낮은 위치까지 흘러내려 오게 된다. 또한 약액은 아크면 형성 본체(1)의 흐름구멍(14)을 통해 밖으로 흘러내릴 수 있기 때문에 약액이 아크형상 가요성 기판(4) 표면에 균일하게 도포되며, 아크형상 가요성 기판(4)의 일부 구역에도 약액이 남아 있지 않게 되어 액체고임(웅덩이) 문제를 효과적으로 해결할 수 있게 된다. As shown in FIG. 8, the jig 100 and the arc-shaped flexible substrate 4 located on the jig 100 are transported to and put in the wet process facility 5, and the wet process facility 5 is a transport device ( 51) and a liquid injection device 52 located on the upper and lower sides. The arc-shaped flexible substrate 4 is transported horizontally through the transport device 51 to the working area of the liquid jet device 52 . Then, when the liquid injection device 52 vertically injects the chemical to the arc-shaped flexible substrate 4, the chemical liquid is affected by the septum action and the height of the chemical liquid increases at the center of the arc-shaped flexible substrate 4 at the highest curved position. It flows down along the both sides of the arc, which is gradually lowered, and flows down to the lowest position. In addition, since the chemical can flow out through the flow hole 14 of the arc surface forming body 1, the chemical is uniformly applied to the surface of the arc-shaped flexible substrate 4, and the arc-shaped flexible substrate 4 There is no chemical solution remaining in some areas, so it is possible to effectively solve the problem of pooling (puddle).

이어서 계속 설명해 보면, 아크형상 가요성 기판(4)에 약액을 분사할 때 발생하는 충격력에 의해 지그(100) 상에서 기판이 움직이거나 불안정하게 되는 문제를 해결하기 위하여 습식공정 설비(5)는 위치고정 장치(53)를 더 포함하며, 상기 위치고정 장치(53)는 수송장치(51)의 수송 방향을 향해 간격을 두고 복수 개의 제1압력저항바퀴(531)와 제2압력저항바퀴(532)를 설치하게 되며, 아크형상 가요성 기판(4)이 작업 구역을 통과할 때, 제1압력저항바퀴(531)와 제2압력저항바퀴(532)는 위치고정부품(2)의 도르래홈(22)을 따라 아크형상 가요성 기판(4)의 양측 변 표면에 저항 압력을 가하게 된다. 수송장치(51) 하측의 도르래는 아크형상 가요성 기판(4)이 아크형상 지그(100)의 상측 표면에 위치하기 때문에 아크형상 가요성 기판(4)과 접촉하지 않게 되며, 그 결과 아크형상 가요성 기판(4)의 제조 양률이 향상되고 더욱 편리하게 제품 품질 관리를 진행할 수 있게 된다.Subsequently, in order to solve the problem that the substrate moves or becomes unstable on the jig 100 due to the impact force generated when the chemical liquid is sprayed on the arc-shaped flexible substrate 4, the wet process facility 5 is positioned to fix the position. It further includes a device 53 , wherein the position fixing device 53 includes a plurality of first pressure resistance wheels 531 and a second pressure resistance wheel 532 at intervals in the transportation direction of the transportation device 51 . When the arc-shaped flexible substrate 4 passes through the work area, the first pressure resistance wheel 531 and the second pressure resistance wheel 532 are located in the pulley groove 22 of the positioning part 2 . A resistive pressure is applied to both side surfaces of the arc-shaped flexible substrate 4 along the The pulley under the transport device 51 does not come into contact with the arc-shaped flexible substrate 4 because the arc-shaped flexible substrate 4 is located on the upper surface of the arc-shaped jig 100, and as a result, the arc-shaped flexible substrate 4 The production yield of the substrate 4 is improved, and product quality control can be performed more conveniently.

상술한 내용은 또한 본 발명의 구체적인 실시예로 결코 이에 본 발명의 범위를 제한하는 것은 아니다. 본 발명의 신청범위 내에서 가한 어떠한 첨가나 수정도 본 발명의 범위에 속함을 밝혀둔다.The above description is also a specific embodiment of the present invention and in no way limits the scope of the present invention thereto. Any additions or modifications made within the scope of the application of the present invention shall fall within the scope of the present invention.

100, 100': 지그 1: 아크면 형성 본체
11: 아크면 기준부 111: 제1측변
112: 아크변 113: 제2측변
12: 중공부 13: 지지대
14: 흐름구멍 15: 중첩대
151: 돌출부 152: 오목부
2: 위치고정부품 21: 맞물림부
22: 도르래홈 23: 클램프
3: 가요성 평면 기판 4: 아크형상 가요성 기판
5: 습식공정 설비 51: 수송장치
52: 액체분사장치 53: 위치고정 장치
531: 제1압력저항바퀴 532: 제2압력저항바퀴100, 100': Jig 1: Arc surface forming body
11: arc surface reference part 111: first side
112: arc side 113: second side side
12: hollow 13: support
14: flow hole 15: overlapping band
151: protrusion 152: concave
2: positioning part 21: engaging part
22: pulley groove 23: clamp
3: flexible flat substrate 4: arc-shaped flexible substrate
5: Wet process equipment 51: Transport equipment
52: liquid injection device 53: position fixing device
531: first pressure resistance wheel 532: second pressure resistance wheel

Claims

It relates to a horizontal wet process jig,
It includes an arc surface forming body and a positioning part formed in a stacked shape along the upper surface periphery of the arc surface forming body,
The arc surface forming body has an arc surface reference part protruding inwardly with a step difference compared to the position fixing part, and the arc surface reference part is in an arc shape so that the flexible flat substrate is in close contact with the upper surface of the arc surface reference part to be formed into an arc-shaped flexible substrate,
The position fixing part is such that the arc-shaped flexible substrate can be fixed by contacting the side of the periphery in a state where the arc-shaped flexible substrate is located on the arc-surface reference portion, so that the arc-shaped flexible substrate can be formed with a set arc surface. Horizontal wet process jig with

According to claim 1,
The positioning member includes an engaging portion that is in contact with the side of the periphery of the arc-shaped flexible substrate to be in contact with the arc-shaped flexible substrate so that the arc-shaped flexible substrate is surrounded by the engaging portion and is positioned and fixed on the upper surface of the arc surface reference portion Horizontal wet process jig, characterized in that.

According to claim 1,
The arc surface forming body is formed in a rectangular frame shape,
The arc surface reference portion has a step inward compared to the position fixing parts stacked along the upper surface of the arc surface forming body, and is spaced apart from each other on one side and the other side to face the first side and the second side, the first side and the second side It consists of a pair of arc edges connecting the ends of the two sides, wherein the center line of the arc side has the highest height in the curved shape, and the height is gradually lowered toward the first side and the second side. Horizontal wet process jig with

According to claim 1,
The arc surface forming body has a hollow part, and on both sides of the arc surface forming body facing each other, supports connected across the hollow part are installed. A horizontal wet process jig.

5. The method of claim 4,
Horizontal wet process jig, characterized in that a plurality of supports of the arc surface forming body are installed at intervals.

According to claim 1,
A plurality of flow holes penetrating vertically through the arc surface forming body and the positioning part are formed, and a part of the flow holes are opened to communicate with an engaging part that is in contact with the side of the periphery of the arc-shaped flexible substrate to face it. Horizontal wet process jig with

According to claim 1,
A pulley groove is further formed in the corner of the positioning part, and the pulley groove communicates with a plurality of flow holes vertically penetrating the arc surface forming body and the positioning part up and down.

According to claim 1,
A horizontal wet process, characterized in that a plurality of overlapping bars are further installed in the arc surface forming body, the plurality of overlapping bars are adjacent to the arc surface reference part, and adjacent jigs are overlapped using the plurality of overlapping bars now.

According to claim 1,
The position fixing part is a horizontal wet process jig, characterized in that it further comprises a plurality of crimps installed at intervals.