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KR102401438B1 - Organic light emitting diode display device - Google Patents

Organic light emitting diode display device Download PDF

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Publication number
KR102401438B1
KR102401438B1 KR1020150157335A KR20150157335A KR102401438B1 KR 102401438 B1 KR102401438 B1 KR 102401438B1 KR 1020150157335 A KR1020150157335 A KR 1020150157335A KR 20150157335 A KR20150157335 A KR 20150157335A KR 102401438 B1 KR102401438 B1 KR 102401438B1
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KR
South Korea
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layer
electrode pattern
thickness
region
electrode
Prior art date
Application number
KR1020150157335A
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Korean (ko)
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KR20170054765A (en
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심성빈
허준영
박용민
김수현
김혜숙
정윤섭
Original Assignee
엘지디스플레이 주식회사
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Publication date
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    • H01L51/5253
    • H01L2227/32
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
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Abstract

본 발명은 유기전계발광 표시장치에 관한 것이다. 보다 구체적으로, 본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계발광 표시장치는 기판과 상기 기판 상에 박막 트랜지스터와 상기 박막 트랜지스터 상에 보호층과 상기 보호층 상에 흡수층과 상기 흡수층 상에 오버코트층과 상기 오버코트층 상에 화소전극;을 포함한다. 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기전계발광 표시장치는 기판과 상기 기판 상에 박막 트랜지스터와 상기 박막 트랜지스터 상에 보호층과 상기 보호층 상에 오버코트층과 상기 오버코트층 상에 화소전극을 포함하고, 상기 박막 트랜지스터에 포함된 전극 패턴은 제1 두께를 갖는 영역과 상기 제1 두께보다 얇은 제2 두께를 갖는 영역을 포함한다. 또한, 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기전계발광 표시장치는 게이트 라인과 상기 게이트 라인과 직교하는 데이터 라인과 상기 게이트 라인과 데이터 라인이 교차하여 정의되는 화소 영역과 상기 데이터 라인에서 상기 화소 영역 측으로 돌출된 전극 패턴과 상기 전극 패턴 상에서 콘택홀 중 상기 전극 패턴과 동일층에 구비된 부분을 포함하는 보호층과 상기 보호층 상에서 상기 전극 패턴과 화소전극을 포함하고, 상기 화소전극은 콘택홀을 통해 상기 전극 패턴과 연결되며, 상기 화소전극은 상기 전극 패턴과 중첩되는 영역 중 상기 콘택홀과 중첩되는 영역을 제외한 부분에서 홀을 포함함으로써 패널의 개구율을 감소시키지 않으면서도 수율 향상이 가능하다.The present invention relates to an organic light emitting display device. More specifically, an organic light emitting display device according to an embodiment of the present invention includes a substrate, a thin film transistor on the substrate, a protective layer on the thin film transistor, an absorption layer on the protective layer, an overcoat layer on the absorption layer, and the and a pixel electrode on the overcoat layer. An organic light emitting display device according to another embodiment of the present invention includes a substrate, a thin film transistor on the substrate, a protective layer on the thin film transistor, an overcoat layer on the protective layer, and a pixel electrode on the overcoat layer, The electrode pattern included in the thin film transistor includes a region having a first thickness and a region having a second thickness smaller than the first thickness. Also, in the organic light emitting display device according to another embodiment of the present invention, a pixel region defined by a gate line, a data line orthogonal to the gate line, and the gate line and the data line crossing the data line, and the data line toward the pixel region a protective layer including a protruding electrode pattern and a portion of a contact hole provided on the same layer as the electrode pattern on the electrode pattern, and the electrode pattern and a pixel electrode on the protective layer, wherein the pixel electrode passes through the contact hole It is connected to the electrode pattern, and the pixel electrode includes a hole in a portion of a region overlapping with the electrode pattern except for a region overlapping the contact hole, so that it is possible to improve the yield without reducing the aperture ratio of the panel.

Description

유기전계발광 표시장치 {ORGANIC LIGHT EMITTING DIODE DISPLAY DEVICE}Organic light emitting display device {ORGANIC LIGHT EMITTING DIODE DISPLAY DEVICE}

본 발명은 유기전계발광 표시장치에 관한 것으로, 화소 전극의 개구율 감소를 방지하면서 수율을 향상시킬 수 있는 유기전계발광 표시장치에 관한 것이다.The present invention relates to an organic light emitting display device, and to an organic light emitting display device capable of improving a yield while preventing a decrease in an aperture ratio of a pixel electrode.

최근, 본격적인 정보화 시대로 접어듦에 따라 전기적 정보신호를 시각적으로 표현하는 디스플레이(display)분야가 급속도로 발전해 왔고, 이에 부응하여 박형화, 경량화, 저소비전력화의 우수한 성능을 지닌 여러 가지 다양한 평판표시장치(Flat Display Device)가 개발되어 기존의 브라운관(Cathode Ray Tube: CRT)을 빠르게 대체하고 있다.Recently, as we enter the information age in earnest, the field of display that visually expresses electrical information signals has developed rapidly, and in response to this, various flat panel display devices ( Flat Display Device) has been developed and is rapidly replacing the existing cathode ray tube (CRT).

이 같은 평판표시장치의 구체적인 예로는 액정표시장치(Liquid Crystal Display device: LCD), 유기전계발광 표시장치(Organic Light Emitting Display: OLED), 전기영동표시장치(Electrophoretic Display: EPD,Electric Paper Display), 플라즈마표시장치(Plasma Display Panel device: PDP), 전계방출표시장치(Field Emission Display device: FED), 전기발광표시장치(Electro luminescence Display Device: ELD) 및 전기습윤표시장치(Electro-Wetting Display: EWD) 등을 들 수 있다. 이들은 공통적으로 영상을 구현하는 평판표시패널을 필수적인 구성요소로 하는데, 평판 표시패널은 고유의 발광물질 또는 편광물질층을 사이에 두고 대면 합착된 한 쌍의 기판을 포함하여 이루어진다.Specific examples of such a flat panel display device include a liquid crystal display device (LCD), an organic light emitting display device (OLED), an electrophoretic display device (EPD, Electric Paper Display), Plasma Display Panel device (PDP), Field Emission Display device (FED), Electro luminescence Display Device (ELD) and Electro-Wetting Display (EWD) and the like. They commonly include a flat panel display panel that implements an image as an essential component, and the flat panel display panel includes a pair of face-to-face bonding substrates with a unique light emitting material or polarizing material layer therebetween.

전술한 평판표시장치 중, 최근에는 유기발광소자를 포함하는 유기전계발광 표시장치에 대한 관심이 대두되고 있는바 이에 따라 관련 기술에 대한 연구가 급속도로 진행되고 있다. Among the flat panel display devices described above, interest in an organic light emitting display device including an organic light emitting device has recently been on the rise. Accordingly, research on related technologies is rapidly progressing.

유기전계발광 표시장치의 제조 과정에서 수율을 향상시키고자, 휘점 불량이 발생한 경우에는 문제가 발생한 휘점의 암점화를 위해 레이저를 이용해 배선을 절단하는 방법을 주로 사용하고 있으며 이 방법이 매우 효율적이라고 알려져 있다.In order to improve the yield in the manufacturing process of the organic light emitting display device, in the case of a defective bright spot, a method of cutting the wiring using a laser is mainly used to darken the bright spot where the problem occurs, and this method is known to be very efficient. there is.

그러나 레이저 커팅 방법으로 배선을 절단 하는 경우 절단이 필요한 배선 이외의 다른 배선에도 결함이 발생하므로, 실제 절단이 필요한 배선 상부에 다른 배선을 배치하지 못하는 문제가 있었다. 예를 들어, 소스 전극 또는 드레인 전극의 절단이 필요한 경우에는 그 상부에는 화소 전극을 형성하지 못하였으므로, 유기전계발광 표시장치에 있어 OLED 패널의 개구율이 감소하는 문제가 있다. However, when wiring is cut by the laser cutting method, defects occur in wiring other than the wiring that needs to be cut, so there is a problem that other wiring cannot be placed on top of the wiring that needs to be cut. For example, when the source electrode or the drain electrode needs to be cut, since the pixel electrode cannot be formed thereon, there is a problem in that the aperture ratio of the OLED panel decreases in the organic light emitting display device.

구체적으로 도 1a를 참조하여 살펴보면 게이트 라인(1)과 데이터 라인(2)의 교차하여 화소 영역(3)이 정의된다. A-A'방향으로 절단한 단면도인 도 1b를 참조하면, 레이저 커팅되는 소스/드레인 전극(8)의 상부에는 화소 전극의 결함 방지를 위해 화소 전극을 배치하지 않는 것을 알 수 있다. 따라서 화소 영역(3)이 상대적으로 감소하므로 휘점 불량을 개선하여 수율이 향상되더라도 패널의 개구율이 낮아지게 된다.Specifically, referring to FIG. 1A , the pixel region 3 is defined by crossing the gate line 1 and the data line 2 . Referring to FIG. 1B , which is a cross-sectional view taken in the A-A′ direction, it can be seen that the pixel electrode is not disposed on the laser-cut source/drain electrode 8 to prevent defects in the pixel electrode. Accordingly, since the pixel area 3 is relatively reduced, the aperture ratio of the panel is lowered even though the yield is improved by improving the bright spot defect.

따라서, 수율을 향상시키면서도 패널의 개구율을 동시에 확보할 수 있는 기술이 필요한 실정이다.Accordingly, there is a need for a technology capable of simultaneously securing the aperture ratio of the panel while improving the yield.

본 발명은 패널의 개구율을 감소시키지 않으면서도 수율 향상이 가능한 유기전계발광 표시장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.An object of the present invention is to provide an organic light emitting display device capable of improving a yield without reducing an aperture ratio of a panel.

본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계발광 표시장치는 기판과 상기 기판 상에 배치된 박막 트랜지스터와 상기 박막 트랜지스터 상에 배치된 보호층과 상기 보호층 상에 배치된 흡수층과 상기 흡수층 상에 배치된 오버코트층과 상기 오버코트층 상에 배치된 화소전극을 포함한다.An organic light emitting display device according to an embodiment of the present invention includes a substrate, a thin film transistor disposed on the substrate, a protective layer disposed on the thin film transistor, an absorption layer disposed on the protective layer, and an absorption layer disposed on the absorption layer an overcoat layer and a pixel electrode disposed on the overcoat layer.

상기 흡수층은 몰리브덴(Mo) 및 몰리티탄(MoTi)로 이루어진 군에서 선택된 적어도 하나를 재질로 포함할 수 있고, 또한 아일랜드 형상을 포함할 수 있으며, 500 내지 3000Å 의 두께를 가질 수 있다.The absorption layer may include at least one material selected from the group consisting of molybdenum (Mo) and molybdenum (MoTi), and may also include an island shape, and may have a thickness of 500 to 3000 Å.

본 발명의 다른 실시예에 따른 유기전계발광 표시장치는 기판과 상기 기판 상에 박막 트랜지스터와 상기 박막 트랜지스터 상에 보호층과 상기 보호층 상에 오버코트층과 상기 오버코트층 상에 화소전극을 포함하고, 상기 박막 트랜지스터에 포함된 전극 패턴은 제1 두께를 갖는 영역과 상기 제1 두께보다 얇은 제2 두께를 갖는 영역을 포함한다.An organic light emitting display device according to another embodiment of the present invention includes a substrate, a thin film transistor on the substrate, a protective layer on the thin film transistor, an overcoat layer on the protective layer, and a pixel electrode on the overcoat layer, The electrode pattern included in the thin film transistor includes a region having a first thickness and a region having a second thickness smaller than the first thickness.

상기 전극 패턴 중 상기 제1 두께는 1000 내지 2000Å이고, 상기 제2 두께는 50 내지 800Å일 수 있고, 또한 상기 전극 패턴 중 상기 제1 두께를 갖는 영역의 폭은 상기 제2 두께를 갖는 영역의 폭보다 좁을 수 있다.The first thickness of the electrode pattern may be 1000 to 2000 Å, the second thickness may be 50 to 800 Å, and the width of the region having the first thickness of the electrode pattern is the width of the region having the second thickness. could be narrower.

본 발명의 또다른 실시예에 따른 유기전계발광 표시장치는 게이트 라인과 상기 게이트 라인과 직교하는 데이터 라인과 상기 게이트 라인과 데이터 라인이 교차하여 정의되는 화소 영역과 상기 데이터 라인에서 상기 화소 영역 측으로 돌출된 전극 패턴과 상기 전극 패턴 상에서 콘택홀 중 상기 전극 패턴과 동일층에 구비된 부분을 포함하는 보호층과 상기 보호층 상에서 상기 전극 패턴과 중첩되는 화소전극을 포함하고, 상기 화소전극은 상기 콘택홀을 통해 상기 전극 패턴과 연결된다. 상기 화소전극은 상기 전극 패턴과 80% 이상 중첩될 수 있다.In an organic light emitting display device according to another embodiment of the present invention, a pixel region defined by a gate line, a data line orthogonal to the gate line, and the gate line and the data line crossing the data line, and the data line protrude toward the pixel region a protective layer including an electrode pattern and a portion of a contact hole provided on the same layer as the electrode pattern on the electrode pattern, and a pixel electrode overlapping the electrode pattern on the protective layer, wherein the pixel electrode includes the contact hole is connected to the electrode pattern through The pixel electrode may overlap the electrode pattern by 80% or more.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 보호층 상에 흡수층과 상기 흡수층 상에 오버코트층을 더 포함하고, 상기 화소전극은 상기 오버코트층 상에 구비할 수 있고, 본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 전극 패턴은 제1 두께를 갖는 영역과 상기 제1 두께보다 얇은 제2 두께를 갖는 영역을 포함할 수 있고, 상기 전극 패턴 중 제1 두께를 갖는 영역은 다층구조일 수 있다.According to an embodiment of the present invention, an absorbing layer on the protective layer and an overcoat layer on the absorbing layer may be further included, and the pixel electrode may be provided on the overcoat layer. According to another embodiment of the present invention, The electrode pattern may include a region having a first thickness and a region having a second thickness thinner than the first thickness, and the region having the first thickness among the electrode patterns may have a multilayer structure.

또한, 본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 화소전극은 상기 전극 패턴과 중첩되는 영역 중 상기 콘택홀과 중첩되는 영역을 제외한 부분에서 홀을 포함할 수 있고, 상기 홀의 면적은 1600 내지 2500μm2일 수 있다.Also, according to another embodiment of the present invention, the pixel electrode may include a hole in a portion of a region overlapping with the electrode pattern except for a region overlapping with the contact hole, and the area of the hole is 1600 to 2500 μm 2 days can

본 발명의 유기전계발광 표시장치는 수율 증가를 위하여 레이저를 이용해 배선 절단을 하는 경우에도 패널의 개구율을 향상시킬 수 있다.The organic light emitting display device of the present invention can improve the aperture ratio of the panel even when wiring is cut using a laser to increase the yield.

이에 따라, 개구율 확보를 통해 수명을 향상시킬 수 있으며 유기전계발광 표시장치의 제조에 있어 수율을 향상시킬 수 있다.Accordingly, lifespan can be improved by securing an aperture ratio, and a yield in manufacturing an organic light emitting display device can be improved.

도 1a는 종래 유기전계발광 표시장치의 평면도이고, 도 1b는 도 1a의 유기전계발광 표시장치를 A-A' 방향으로 절단한 단면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계발광 표시장치의 평면도이다.
도 3은 도 2의 유기전계발광 표시장치를 B-B' 방향으로 절단한 단면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계발광 표시장치의 평면도이다.
도 5는 도 4의 유기전계발광 표시장치를 C-C' 방향으로 절단한 단면도이다.
도 6a 내지 도 6h는 도 4의 유기전계발광 표시장치에 포함된 전극 패턴의 제조 방법에 관한 도면이고, 도 6i는 도 6a 내지 도 6h에 따라 제조된 전극 패턴의 배선 폭의 평면을 대략적으로 나타낸 도면이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계발광 표시장치의 평면도이다.
도 8은 도 7의 유기전계발광 표시장치를 D-D' 방향으로 절단한 단면도이다.
1A is a plan view of a conventional organic light emitting display device, and FIG. 1B is a cross-sectional view of the organic light emitting display device of FIG. 1A cut in the AA′ direction.
2 is a plan view of an organic light emitting display device according to an embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a cross-sectional view of the organic light emitting display device of FIG. 2 taken in a BB′ direction.
4 is a plan view of an organic light emitting display device according to an embodiment of the present invention.
FIG. 5 is a cross-sectional view of the organic light emitting display device of FIG. 4 taken in a direction CC′.
6A to 6H are diagrams illustrating a method of manufacturing an electrode pattern included in the organic light emitting display device of FIG. 4 , and FIG. 6I is a schematic view of a wiring width plane of the electrode pattern manufactured according to FIGS. 6A to 6H It is a drawing.
7 is a plan view of an organic light emitting display device according to an embodiment of the present invention.
8 is a cross-sectional view of the organic light emitting display device of FIG. 7 taken in a DD' direction.

실시예의 설명에 있어서, 각 층, 막, 전극, 판 또는 기판 등이 각 층, 막, 전극, 판 또는 기판 등의 "상(on)"에 또는 "아래(under)"에 형성되는 것으로 기재되는 경우에 있어, "상(on)"과 "아래(under)"는 "직접(directly)" 또는 "다른 구성요소를 개재하여 (indirectly)" 형성되는 것을 모두 포함한다. In the description of embodiments, each layer, film, electrode, plate or substrate, etc. is described as being formed “on” or “under” each layer, film, electrode, plate or substrate, etc. In some instances, “on” and “under” include both “directly” or “indirectly” formed through another element.

또한 각 구성요소의 상, 옆 또는 아래에 대한 기준은 도면을 기준으로 설명한다. 도면에서의 각 구성요소들의 크기는 설명을 위하여 과장될 수 있으며, 실제로 적용되는 크기를 의미하는 것은 아니다.In addition, the criteria for the upper, side, or lower of each component will be described with reference to the drawings. The size of each component in the drawings may be exaggerated for explanation, and does not mean a size actually applied.

이하에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시예를 상세히 설명하도록 한다.Hereinafter, an embodiment according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2 및 도 3을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계발광 표시장치에 대해 설명하면 다음과 같다. 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계발광 표시장치의 평면을 도시한 도면이고, 도 3은 도 2의 유기전계발광 표시장치를 B-B' 방향으로 절단한 단면을 도시한 도면이다.An organic light emitting display device according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 2 and 3 . FIG. 2 is a plan view of an organic light emitting display device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating the organic light emitting display device of FIG. 2 cut in the B-B' direction.

본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계발광 표시장치는 기판(16), 기판(16) 상에 배치된 박막 트랜지스터(TFT), 상기 박막 트랜지스터 상에 배치된 보호층(19), 상기 보호층(19) 상에 배치된 흡수층(15), 상기 흡수층(15) 상에 배치된 오버코트층(20), 상기 오버코트층(20) 상에 배치된 화소전극을 포함한다. 또한, 각 층 사이에는 본 발명의 목적을 벗어나지 않는 범위에서 당 분야에 일반적으로 사용되는 구성을 더 포함할 수 있다. An organic light emitting display device according to an embodiment of the present invention includes a substrate 16, a thin film transistor (TFT) disposed on the substrate 16, a protective layer 19 disposed on the thin film transistor, and the protective layer ( 19) includes an absorption layer 15 disposed on the absorbent layer 15 , an overcoat layer 20 disposed on the absorption layer 15 , and a pixel electrode disposed on the overcoat layer 20 . In addition, a configuration generally used in the art may be further included between each layer without departing from the object of the present invention.

본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계발광 표시장치는 먼저 표시 영역과 비표시 영역으로 구분되는 기판(16)을 포함한다. 상기 표시 영역은 복수의 화소 영역(13)으로 구획되어 있다. 각 화소 영역(13)에는 적어도 하나의 박막 트랜지스터(TFT)가 형성된다. 또한, 상기 박막 트랜지스터(TFT)와 전기적으로 연결된 유기발광소자(OL)가 형성된다. The organic light emitting display device according to an embodiment of the present invention includes a substrate 16 divided into a display area and a non-display area. The display area is divided into a plurality of pixel areas 13 . At least one thin film transistor TFT is formed in each pixel region 13 . In addition, an organic light emitting device OL electrically connected to the thin film transistor TFT is formed.

상기 박막 트랜지스터(TFT)는 게이트 전극(미도시), 반도체층(미도시), 전극 패턴(예를 들면 소스 전극 및 드레인 전극)(18)을 포함한다. 자세하게는, 상기 기판(16) 상에 일방향으로 형성되는 게이트 라인(12)과 상기 게이트 라인(12)으로부터 분기된 게이트 전극이 형성된다. 상기 게이트 라인(12) 및 게이트 전극 상에 게이트 절연막이 형성된다. The thin film transistor TFT includes a gate electrode (not shown), a semiconductor layer (not shown), and an electrode pattern (eg, a source electrode and a drain electrode) 18 . In detail, a gate line 12 formed in one direction and a gate electrode branched from the gate line 12 are formed on the substrate 16 . A gate insulating layer is formed on the gate line 12 and the gate electrode.

상기 기판(16)은 절연 기판일 수 있다. 이때, 상기 기판(16)은 실리콘(Si), 유리(glass), 플라스틱 또는 폴리이미드(PI)를 포함할 수 있다. 다만, 이에 한정되지 않으며, 상기 기판(16) 상에 형성되는 다수의 층과 소자를 지지할 수 있는 재료면 충분하다.The substrate 16 may be an insulating substrate. In this case, the substrate 16 may include silicon (Si), glass, plastic, or polyimide (PI). However, the present invention is not limited thereto, and a material capable of supporting a plurality of layers and devices formed on the substrate 16 is sufficient.

또한, 상기 게이트 라인(12) 및 게이트 전극은 단일층 또는 2층 이상의 다중층으로 형성될 수 있다. 상기 게이트 라인(12) 및 게이트 전극은 전도성 물질로 형성된다. 예를 들면, 상기 게이트 라인(12) 및 게이트 전극은 알루미늄(Al), 텅스텐(W), 구리(Cu), 은(Ag), 몰디브덴(Mo), 크롬(Cr), 탄탈륨(Ta), 티타늄(Ti) 및 이들의 조합으로 이루어진 군에서 선택되는 어느 하나를 포함할 수 있다. 하지만, 상기 게이트 라인(12) 및 게이트 전극을 이루는 물질은 이에 한정되지 않는다. In addition, the gate line 12 and the gate electrode may be formed of a single layer or a multilayer of two or more layers. The gate line 12 and the gate electrode are formed of a conductive material. For example, the gate line 12 and the gate electrode may include aluminum (Al), tungsten (W), copper (Cu), silver (Ag), molybdenum (Mo), chromium (Cr), tantalum (Ta), It may include any one selected from the group consisting of titanium (Ti) and combinations thereof. However, materials forming the gate line 12 and the gate electrode are not limited thereto.

또한, 상기 게이트 절연막은 유전체 또는 고유전율 유전체로 이루어질 수 있다. 예를 들면, 상기 게이트 절연막은 SiOx, SiNx, SiON, HfO2, Al2O3, Y2O3, Ta2O5 및 이들의 조합으로 이루어진 군에서 선택되는 어느 하나를 포함할 수 있다. 하지만, 상기 게이트 절연막을 이루는 물질은 이에 한정되지 않는다. 또한, 상기 게이트 절연막은 단일층 또는 2층 이상의 다중층으로 형성될 수 있다.Also, the gate insulating layer may be formed of a dielectric material or a high-k dielectric material. For example, the gate insulating layer may include any one selected from the group consisting of SiOx, SiNx, SiON, HfO 2 , Al 2 O 3 , Y 2 O 3 , Ta 2 O 5 and combinations thereof. However, the material constituting the gate insulating layer is not limited thereto. In addition, the gate insulating layer may be formed of a single layer or a multilayer of two or more layers.

상기 게이트 절연막 상에 반도체층(미도시)을 형성한다. 상기 반도체층은 단일층 또는 2층 이상의 다중층으로 형성될 수 있다. 예를 들면, 상기 반도체층은 산화물 반도체 물질, a-Si 및 p-Si를 포함하는 실리콘물질, 유기 반도체 물질, CNT(carbon nanotube) 및 그래핀(graphene)으로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 하나의 물질로 형성될 수 있다. 하지만, 상기 반도체층을 이루는 물질은 이에 한정되지 않는다. A semiconductor layer (not shown) is formed on the gate insulating layer. The semiconductor layer may be formed of a single layer or a multilayer of two or more layers. For example, the semiconductor layer may include at least one material selected from the group consisting of an oxide semiconductor material, a silicon material including a-Si and p-Si, an organic semiconductor material, carbon nanotube (CNT), and graphene. can be formed with However, the material constituting the semiconductor layer is not limited thereto.

상기 반도체층 상에는 반도체층의 채널영역을 보호하기 위한 식각정지층(Etch stop layer)이 형성될 수 있다. 또한, 상기 반도체층과 전극 패턴(예를 들면 소스 전극 및 드레인 전극)(18)사이에 절연층(17)이 더 형성될 수 있는데, 절연층(17)은 반도체층과 전극 패턴(18)사이에서 절연 기능을 할 수 있다.An etch stop layer for protecting a channel region of the semiconductor layer may be formed on the semiconductor layer. In addition, an insulating layer 17 may be further formed between the semiconductor layer and the electrode pattern (eg, a source electrode and a drain electrode) 18 . The insulating layer 17 is disposed between the semiconductor layer and the electrode pattern 18 . can have an insulating function.

상기 반도체층이 형성된 기판(16) 상에 데이터 라인(11), 상기 데이터 라인(11)으로부터 분기된 전극 패턴(18)이 형성된다. 상기 데이터라인은 상기 게이트 라인(12)과 다른 일방향으로 연장되도록 형성되어, 상기 게이트라인과 교차되도록 형성된다. 상기 게이트 라인(12)과 상기 데이터 라인(11)이 교차하여 화소 영역(13)이 정의된다.A data line 11 and an electrode pattern 18 branched from the data line 11 are formed on the substrate 16 on which the semiconductor layer is formed. The data line is formed to extend in one direction different from the gate line 12 and is formed to cross the gate line. A pixel region 13 is defined by crossing the gate line 12 and the data line 11 .

상기 전극 패턴(18)은 상기 반도체층과 중첩되도록 형성된다. 상기 전극 패턴(18)의 두께는 예를 들면 1500 내지 2500Å일 수 있으나, 반드시 이에 제한되는 것은 아니다.The electrode pattern 18 is formed to overlap the semiconductor layer. The thickness of the electrode pattern 18 may be, for example, 1500 to 2500 Å, but is not necessarily limited thereto.

본 발명의 일 실시예에 있어, 상기 데이터 라인(11), 상기 전극 패턴(18)은 단일층 또는 2 이상의 다중층으로 형성될 수 있다. In an embodiment of the present invention, the data line 11 and the electrode pattern 18 may be formed in a single layer or in multiple layers of two or more.

상기 데이터 라인(11), 상기 전극 패턴(18)은 전도성 물질로 형성된다. 예를 들면, 상기 데이터 라인(11), 상기 전극 패턴(18)은 알루미늄(Al), 텅스텐(W), 구리(Cu), 은(Ag), 몰디브덴(Mo), 크롬(Cr), 탄탈륨(Ta), 티타늄(Ti) 및 이들의 조합으로 이루어진 군에서 선택되는 어느 하나를 포함할 수 있으나, 반드시 이에 제한되는 것은 아니다.The data line 11 and the electrode pattern 18 are formed of a conductive material. For example, the data line 11 and the electrode pattern 18 may include aluminum (Al), tungsten (W), copper (Cu), silver (Ag), molybdenum (Mo), chromium (Cr), and tantalum. (Ta), titanium (Ti), and may include any one selected from the group consisting of combinations thereof, but is not necessarily limited thereto.

상기 게이트 전극, 반도체층, 전극 패턴(18)을 포함하는 박막 트랜지스터(TFT) 상에 보호층(19)이 형성된다. 상기 보호층(19)은 상기 박막 트랜지스터와 흡수층(15) 사이에서 절연 기능을 하고, 보호층(19) 상에는 전술한 바와 같이 흡수층(15)이 배치된다.A protective layer 19 is formed on the thin film transistor TFT including the gate electrode, the semiconductor layer, and the electrode pattern 18 . The protective layer 19 functions to insulate between the thin film transistor and the absorber layer 15 , and the absorber layer 15 is disposed on the protective layer 19 as described above.

상기 보호층(19)은 전극 패턴(18)을 노출하는 콘택홀을 포함할 수 있다.The protective layer 19 may include a contact hole exposing the electrode pattern 18 .

상기 보호층(19)의 두께는 예를 들면 400 내지 500Å일 수 있으나, 반드시 이에 제한되는 것은 아니다.The thickness of the protective layer 19 may be, for example, 400 to 500 Å, but is not limited thereto.

본 발명의 일 실시예에 따른 흡수층(15)은 상기 보호층(19) 상에 배치된다.The absorption layer 15 according to an embodiment of the present invention is disposed on the protective layer 19 .

전술한 바와 같이 휘점 불량의 암점화를 위하여 레이저를 이용해 라인을 절단 시에 레이저가 다른 구성에 전달되는 것을 방지하기 위하여, 본 발명은 상기 흡수층(15)을 포함한다. 이에 따라, 전극 패턴(18)을 통과한 레이저가 화소 전극(21)까지 전달되지 않게 되는바, 화소 전극(21)에 결함이 발생하는 문제를 해결할 수 있다. 본 발명에 있어 레이저 커팅은 도면에 도시된 방향과 같다.As described above, in order to prevent the laser from being transmitted to other components when cutting a line using a laser for darkening of a bright spot defect, the present invention includes the absorption layer 15 . Accordingly, since the laser passing through the electrode pattern 18 is not transmitted to the pixel electrode 21 , a problem in which a defect occurs in the pixel electrode 21 can be solved. In the present invention, laser cutting is the same as the direction shown in the drawings.

따라서, 절단이 필요한 부분의 상부에도 화소 전극(21)의 형성이 가능하므로 OLED 패널 개구율의 감소를 방지하여 수명을 확보하는 동시에 유기전계발광 표시장치의 수율을 향상 시킬 수 있다.Accordingly, since the pixel electrode 21 can be formed even in the upper portion of the portion that needs to be cut, it is possible to prevent a decrease in the aperture ratio of the OLED panel to secure lifespan, and to improve the yield of the organic light emitting display device.

본 발명에 따른 흡수층(15)은 레이저 흡수가 용이한 금속으로써 본 발명의 목적을 벗어나지 않는 범위 내라면 그 재질의 종류에 제한이 없고, 구체적인 예를 들면 몰리브덴(Mo), 몰리티탄(MoTi) 등을 사용할 수 있으며, 이들은 각각 단독으로 또는 2종 이상 혼합하여 사용할 수 있다. The absorption layer 15 according to the present invention is a metal easily absorbing laser and there is no limitation in the type of the material as long as it does not deviate from the purpose of the present invention, for example, molybdenum (Mo), molybdenum (MoTi) may be used, and these may be used alone or in combination of two or more.

또한, 상기 흡수층(15)의 재질은 라인 커팅에 사용되는 레이저의 파장에 따라 달라질 수 있는데, 커팅에 사용되는 레이저는 단파장의 레이저가 사용될 수 있고 구체적인 예로는 1064nm, 532nm, 355nm 등을 들 수 있다. 이 중 흡수층(15)이 몰리티탄(MoTi)으로 형성된 경우라면 파장이 1064nm인 레이저의 흡수에 가장 적합하다.In addition, the material of the absorption layer 15 may vary depending on the wavelength of the laser used for line cutting, and a short wavelength laser may be used as the laser used for cutting, and specific examples thereof include 1064 nm, 532 nm, 355 nm, etc. . Among them, if the absorption layer 15 is formed of motitanium (MoTi), it is most suitable for absorption of a laser having a wavelength of 1064 nm.

흡수층(15)이 흡수한 에너지가 흡수층(15)의 주변에 위치하는 유기전계발광 표시장치의 다른 구성에 전달되는 것을 방지하기 위해서, 상기 흡수층(15)은 전기적 신호 전달에 관여하지 않아야 한다. 이를 위하여 상기 흡수층(15)은 금속으로 형성된 다른 구성들과 이격될 수 있고, 바람직하게는 상기 흡수층(15)은 아일랜드 형상을 포함할 수 있다. 보다 바람직하게, 흡수층(15)이 아일랜드 형상만으로 이루어진 경우에는 흡수층(15)이 다른 구성들과 단절되어 있어 레이저 커팅 시 다른 구성에의 전기적 신호 전달을 방지할 수 있는바, 화소 전극(21)의 결함 방지 효과를 현저하게 한다.In order to prevent the energy absorbed by the absorption layer 15 from being transmitted to other components of the organic light emitting display positioned around the absorption layer 15, the absorption layer 15 should not participate in electrical signal transmission. To this end, the absorption layer 15 may be spaced apart from other components formed of metal, and preferably, the absorption layer 15 may include an island shape. More preferably, when the absorption layer 15 is formed only in the shape of an island, the absorption layer 15 is disconnected from other components to prevent transmission of electrical signals to other components during laser cutting. The defect prevention effect is remarkable.

상기 흡수층(15)의 두께는 본 발명의 목적을 벗어나지 않는 범위라면 특별히 제한되지 않고, 바람직하게는 500 내지 3000Å일 수 있다. 흡수층(15)의 두께가 500Å 미만인 경우라면 레이저 흡수 효과가 저하될 수 있어 화소 전극(21)의 보호가 미흡할 수 있고, 3000Å을 초과하는 경우에는 오버코트층의 평탄화가 어려워지는 문제가 있다.The thickness of the absorption layer 15 is not particularly limited as long as it does not deviate from the object of the present invention, and may preferably be 500 to 3000 Å. If the thickness of the absorption layer 15 is less than 500 Å, the laser absorption effect may be reduced, and thus the protection of the pixel electrode 21 may be insufficient. If the thickness exceeds 3000 Å, planarization of the overcoat layer may become difficult.

상기 흡수층(15)의 상부에는 오버코트층(20)이 배치된다.An overcoat layer 20 is disposed on the absorption layer 15 .

상기 오버코트층(20)은 본 발명의 일 실시예에 있어 절연 기능 및 하부에 배치된 구성에 따른 두께 차이를 줄이는 평탄화 기능을 할 뿐만 아니라 제조 공정시 하부 배치 구성을 보호하는 역할을 한다.In an embodiment of the present invention, the overcoat layer 20 serves to protect the lower arrangement during the manufacturing process as well as the insulating function and the planarization function of reducing the thickness difference according to the lower arrangement.

상기 오버코트층(20)의 두께는 예를 들면 2μm 내외 일 수 있으나, 반드시 이에 제한되는 것은 아니다.The thickness of the overcoat layer 20 may be, for example, about 2 μm, but is not necessarily limited thereto.

상기 오버코트층(20) 상에는 화소 전극(21)이 배치된다. 상기 화소 전극(21)은 보호층(19)에 형성된 콘택홀에 의해 전극 패턴(18)과 연결될 수 있다.A pixel electrode 21 is disposed on the overcoat layer 20 . The pixel electrode 21 may be connected to the electrode pattern 18 through a contact hole formed in the protective layer 19 .

상기 화소 전극(21)은 은, 알루미늄 등으로 형성된 층 상부에 ITO 등으로 형성된 층을 포함하는 복수의 층으로 형성된 것일 수 있으나 단일층으로 형성될 수도 있다. 만일 화소 전극(21)이 복수의 층으로 형성되는 경우라면, 하층의 두께는 1000Å 내외일 수 있고, 상층의 두께는 100Å 내외일 수 있으나, 반드시 이에 제한되는 것은 아니다.The pixel electrode 21 may be formed of a plurality of layers including a layer formed of ITO or the like on a layer formed of silver, aluminum, or the like, but may be formed of a single layer. If the pixel electrode 21 is formed of a plurality of layers, the thickness of the lower layer may be about 1000 Å and the thickness of the upper layer may be about 100 Å, but is not limited thereto.

전술한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예는 흡수층(15)을 포함함으로써 레이저 커팅 시 레이저가 화소 전극(21)에 전달되는 것을 방지함에 따라 절단되는 전극 패턴(18)의 상부에도 화소 전극(21)의 배치가 가능하다. 이에 따라 화소 영역(13)의 면적이 증가할 수 있는바, 패널의 개구율 확보에 따라 유기전계발광 표시장치의 수명이 연장되는 동시에, 휘점 불량을 해결하기 위해 가장 효율적인 레이저 커팅 방법을 사용할 수 있어 유기전계발광 표시장치의 수율을 향상시킬 수 있다.As described above, in one embodiment of the present invention, the pixel electrode 21 is also on the upper portion of the cut electrode pattern 18 as the laser is prevented from being transmitted to the pixel electrode 21 during laser cutting by including the absorption layer 15 . ) can be arranged. Accordingly, the area of the pixel region 13 can be increased. As a result, the lifespan of the organic light emitting display device is extended by securing the aperture ratio of the panel, and the most efficient laser cutting method can be used to solve the bright spot defect. It is possible to improve the yield of the electroluminescent display device.

이하, 도 4 내지 도 6i를 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계발광 표시장치를 설명한다. 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계발광 표시장치의 평면도를 도시한 도면이고, 도 5는 도 4의 유기전계발광 표시장치를 C-C' 방향으로 절단한 단면도를 도시한 도면이다.Hereinafter, an organic light emitting display device according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 4 to 6I . 4 is a plan view of the organic light emitting display device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 5 is a cross-sectional view of the organic light emitting display device of FIG. 4 taken along a C-C' direction.

본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계발광 표시장치는 앞서 설명한 일 실시예에 따른 유기전계발광 표시장치와 흡수층(15)을 제외하고, 동일 유사한 구성을 포함할 수 있다. 앞서 설명한 본 발명의 실시예에 따른 유기전계발광 표시장치에 대한 설명과 동일 유사한 부분에 대한 설명은 생략할 수 있다. 동일한 구성에 대해서는 동일한 도면 부호를 부여한다.The organic light emitting display device according to an exemplary embodiment of the present invention may include the same and similar components except for the organic light emitting display device and the absorption layer 15 according to the above-described exemplary embodiment. Descriptions of the same and similar parts as those of the organic light emitting display device according to the embodiment of the present invention described above may be omitted. The same reference numerals are assigned to the same components.

도 4 및 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계발광 표시장치는 불량 개선을 위해 배선 절단 시 레이저를 이용하는 경우 화소 전극(21)에 레이저가 전달되어 결함이 생기는 문제를 방지하기 위해 박막 트랜지스터에 포함된 전극 패턴(18)은 두께차를 포함한다. 4 and 5 , in the organic light emitting display device according to an embodiment of the present invention, when a laser is used to cut a wire to improve defects, the laser is transmitted to the pixel electrode 21 to prevent a defect from occurring. For this reason, the electrode pattern 18 included in the thin film transistor includes a thickness difference.

보다 구체적으로, 본 발명의 일 실시예는 기판(16), 상기 기판(16) 상에 배치된 박막 트랜지스터, 상기 박막 트랜지스터 상에 배치된 보호층(19), 상기 보호층(19) 상에 배치된 오버코트층(20), 상기 오버코트층(20) 상에 배치된 화소전극(21)을 포함하고, 상기 박막 트랜지스터에 포함된 전극 패턴(18)은 제1 두께를 갖는 영역과 상기 제1 두께보다 얇은 제2 두께를 갖는 영역을 포함한다.More specifically, an embodiment of the present invention provides a substrate 16 , a thin film transistor disposed on the substrate 16 , a protective layer 19 disposed on the thin film transistor, and disposed on the protective layer 19 . the overcoat layer 20 and the pixel electrode 21 disposed on the overcoat layer 20, wherein the electrode pattern 18 included in the thin film transistor has a region having a first thickness and less than the first thickness. and a region having a thin second thickness.

상기 전극 패턴(18) 중 레이저 커팅이 되는 부분의 두께는 얇고 그 외의 부분은 두껍게 구현됨으로써 전극 패턴(18)의 절단에 필요한 레이저의 세기가 상대적으로 감소한다. 즉, 레이저 세기가 약하여 화소 전극(21)까지 레이저가 전달되지 않는바 화소 전극(21)의 결함을 방지할 수 있으므로 절단되는 전극 패턴(18)의 상부에도 화소 전극이 배치될 수 있다. 따라서 개구율의 확보가 가능한 동시에 수율을 향상시킬 수 있다.The thickness of the laser cutting portion of the electrode pattern 18 is thin and the other portions are thick, so that the intensity of the laser required for cutting the electrode pattern 18 is relatively reduced. That is, since the laser intensity is weak and the laser is not transmitted to the pixel electrode 21 , defects of the pixel electrode 21 can be prevented, so that the pixel electrode can also be disposed on the cut electrode pattern 18 . Accordingly, it is possible to secure the aperture ratio and at the same time improve the yield.

본 명세서에 있어 전극 패턴(18)의 두께란 유기전계발광 표시장치를 위에서 바라보며 수직으로 자른 경우, 그 단면에 나타나는 전극 패턴(18)의 높이를 의미한다. 두께차는 레이저 커팅이 되는 부분에 형성되는 것으로 충분하므로, 박막 트랜지스터에 포함된 전극 패턴(18)의 모든 부분에 두께 차가 있어야만 하는 것은 아니다. In the present specification, the thickness of the electrode pattern 18 refers to the height of the electrode pattern 18 appearing on a cross section of the organic light emitting display device when viewed from above and vertically cut. Since the thickness difference is sufficient to be formed in the laser-cutting portion, it is not necessary to have a thickness difference in all portions of the electrode pattern 18 included in the thin film transistor.

도 6a 내지 6h를 참조하여, 두께차를 갖는 전극 패턴(18)의 형성과정에 대해 설명한다.A process of forming the electrode pattern 18 having a thickness difference will be described with reference to FIGS. 6A to 6H .

기판(16) 상부에 절연층(17)을 형성하고, 그 위에 하프톤 마스크를 사용하여 노광 및 현상 공정을 거쳐 포토레지스트 패턴a(22)를 형성한다(도 6a). 이어서, 절연층(17) 중 포토레지스트 패턴a(22)가 형성되지 않은 부분을 식각하는데, 이 때 건식 식각 방법에 의할 수 있다(도 6b). An insulating layer 17 is formed on the substrate 16, and a photoresist pattern a 22 is formed thereon through exposure and development processes using a halftone mask (FIG. 6A). Next, a portion of the insulating layer 17 on which the photoresist pattern a 22 is not formed is etched. In this case, a dry etching method may be used ( FIG. 6B ).

이후, 포토레지스트 패턴a(22) 중 일부를 애슁(ashing)하고(도 6c), 전극 패턴(18)을 형성하는데, 전극 패턴이 두께차를 갖도록 하기 위하여 2번 이상의 증착 공정을 거칠 수 있다. Thereafter, a part of the photoresist pattern a 22 is ashed ( FIG. 6C ), and an electrode pattern 18 is formed. In order to have the electrode patterns have a thickness difference, two or more deposition processes may be performed.

보다 구체적으로 살펴보면, 먼저 전극 패턴 형성 물질(소스 전극 또는 드레인 전극 물질)을 도포한 후(도 6d), 포토레지스트 패턴a(22)가 형성된 부분의 전극 패턴층(18a) 및 남은 포토레지스트 패턴a(22)을 벗겨낸다(도 6e). 이어서, 전극 패턴 형성 물질을 2번째로 도포(18b)한 후(도 6f), 노광 및 현상공정을 거쳐 포토레지스트 패턴b(23)를 형성하며(도 6g) 이 경우에는 하프톤 마스크가 필요하지 않을 수 있다. 후에, 전극 패턴(18) 중 포토레지스트 패턴b(23)가 형성되지 않은 부분을 식각하고, 포토레지스트 패턴b(23)를 벗겨내며, 상기 식각은 습식 식각에 의할 수 있다(도 6h). More specifically, after the electrode pattern forming material (source electrode or drain electrode material) is first applied (FIG. 6D), the electrode pattern layer 18a of the portion where the photoresist pattern a 22 is formed and the remaining photoresist pattern a (22) is peeled off (Fig. 6e). Then, after the second electrode pattern forming material is applied (18b) (FIG. 6F), a photoresist pattern b23 is formed through exposure and development processes (FIG. 6G). In this case, a halftone mask is not required. it may not be Thereafter, a portion of the electrode pattern 18 in which the photoresist pattern b 23 is not formed is etched, and the photoresist pattern b 23 is peeled off, and the etching may be performed by wet etching ( FIG. 6H ).

이와 같이 본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계발광 표시장치는 전극 패턴(18) 제조 공정 중 하프톤 마스크를 사용하고, 두 번의 증착 공정을 거치므로 전극 패턴(18)은 두께차를 가질 수 있다. As described above, since the organic light emitting display device according to an embodiment of the present invention uses a halftone mask during the manufacturing process of the electrode pattern 18 and undergoes two deposition processes, the electrode pattern 18 may have a thickness difference. .

상기 전극 패턴(18)의 두께와 관련하여, 구체적인 예를 들면 상기 제1 두께는 1000 내지 2000Å이고, 상기 제2 두께는 50 내지 800Å일 수 있으나, 본 발명의 목적을 벗어나지 않는 범위 내라면 반드시 이에 제한되는 것은 아니다. 전극 패턴(18)이 전술한 범위의 두께차를 갖는 경우 개구율 확보에 유리하면서도 전극 패턴의 기능에 영향을 미치지 않을 수 있다.Regarding the thickness of the electrode pattern 18, for example, the first thickness may be 1000 to 2000 Å, and the second thickness may be 50 to 800 Å, but if it is within the range not departing from the object of the present invention, it must be It is not limited. When the electrode pattern 18 has a thickness difference within the above-described range, it may be advantageous for securing an aperture ratio, but may not affect the function of the electrode pattern.

본 명세서에 있어, 배선 폭이란 도 6i에서 I-I' 방향과 수직이 되도록 선을 그었을 때 그 선의 길이를 의미한다. 도 6i는 도 6a 내지 도 6h에 따라 제조된 전극 패턴의 배선 폭의 평면을 대략적으로 나타낸 도면인바, 이하 이를 참조하여 이하 설명한다. In the present specification, the wiring width means the length of the line when the line is drawn perpendicular to the direction I-I' in FIG. 6I . FIG. 6I is a diagram schematically illustrating a plane of a wiring width of the electrode pattern manufactured according to FIGS. 6A to 6H , which will be described below with reference to FIG.

단면적이 같다면 배선의 저항은 동일하므로 본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계발광 표시장치는 전극 패턴(18)이 두께 차를 갖도록 하면서 두께가 두꺼운 부분의 폭은 두께가 얇은 부분의 폭보다 좁도록 할 수 있다. 즉, 전극 패턴(18) 중 제1 두께를 갖는 영역은 배선 폭이 좁고, 제2 두께를 갖는 영역은 배선 폭이 넓을 수 있다. 이 경우 전극 패턴(18)의 두께차와 관계 없이 동일한 저항의 구현이 가능하다. If the cross-sectional area is the same, the resistance of the wiring is the same. Therefore, in the organic light emitting display device according to an embodiment of the present invention, the electrode pattern 18 has a thickness difference, and the width of the thick portion is narrower than the width of the thin portion. can make it That is, the region having the first thickness of the electrode pattern 18 may have a narrow wiring width, and the region having the second thickness may have a wide wiring width. In this case, the same resistance can be implemented regardless of the thickness difference between the electrode patterns 18 .

이하의 본 발명의 실시예들과 관련하여, 앞서 설명한 본 발명의 실시예에 따른 유기전계발광 표시장치에 대한 설명과 동일 유사한 부분에 대한 설명은 생략할 수 있고, 동일한 구성에 대해서는 동일한 도면 부호를 부여한다.With respect to the following embodiments of the present invention, descriptions of parts that are the same as those of the organic light emitting display device according to the embodiment of the present invention described above may be omitted, and the same reference numerals are used for the same components. give

본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계발광 표시장치는 게이트 라인(12)과 상기 게이트 라인(12)과 직교하는 데이터 라인(11)과 상기 게이트 라인(12)과 데이터 라인(11)이 교차하여 정의되는 화소 영역(13)과 상기 데이터 라인(11)에서 상기 화소 영역(13) 측으로 돌출된 전극 패턴(18)과 상기 전극 패턴(18) 상에서 콘택홀 중 상기 전극 패턴(18)과 동일층에 구비된 부분을 포함하는 보호층(19)과 상기 보호층(19) 상에서 상기 전극 패턴(18)과 중첩되는 화소전극(21)을 포함하고, 상기 화소전극(21)은 콘택홀을 통해 상기 전극 패턴(18)과 연결된다. In the organic light emitting display device according to an embodiment of the present invention, a gate line 12 and a data line 11 orthogonal to the gate line 12 and the gate line 12 and the data line 11 intersect In the defined pixel region 13 and the data line 11 , the electrode pattern 18 protrudes toward the pixel region 13 and the electrode pattern 18 in the same layer as the electrode pattern 18 among the contact holes on the electrode pattern 18 . a protective layer 19 including a provided portion and a pixel electrode 21 overlapping the electrode pattern 18 on the protective layer 19 , wherein the pixel electrode 21 is connected to the electrode through a contact hole It is connected to the pattern (18).

이 경우, 전극 패턴(18) 부분에 레이저 커팅이 필요한 경우에도 전극 패턴(18)의 상부 중 전극 패턴(18)과 중첩되는 영역까지 화소전극(21)의 배치가 가능하다. 이에 따라 화소 영역(13)의 면적이 증가할 수 있는바, 패널의 개구율 확보에 따라 유기전계발광 표시장치의 수명이 연장되는 동시에, 휘점 불량을 해결하기 위해 가장 효율적인 레이저 커팅 방법을 사용할 수 있어 유기전계발광 표시장치의 수율을 향상시킬 수 있다.In this case, even when laser cutting is required on the electrode pattern 18 , the pixel electrode 21 can be arranged up to a region overlapping the electrode pattern 18 among the upper portions of the electrode pattern 18 . Accordingly, the area of the pixel region 13 can be increased. As a result, the lifespan of the organic light emitting display device is extended by securing the aperture ratio of the panel, and the most efficient laser cutting method can be used to solve the bright spot defect. It is possible to improve the yield of the electroluminescent display device.

본 발명의 일 실시예에 따르면 상기 화소전극(21)은 상기 전극 패턴(18)과 80% 이상 중첩될 수 있고, 이 경우 개구율 확보 효과가 현저하여 수명 향상 정도가 극대화될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the pixel electrode 21 may overlap the electrode pattern 18 by 80% or more.

이 때, 본 발명의 일 실시예에 따르면 상기 보호층(19) 상에 배치된 흡수층(15)과 상기 흡수층(15) 상에 배치된 오버코트층(20)을 더 포함하고, 상기 화소전극(21)은 상기 오버코트(20)층 상에 구비될 수 있다(도 2 및 도 3 참조). At this time, according to an exemplary embodiment of the present invention, it further includes an absorption layer 15 disposed on the protective layer 19 and an overcoat layer 20 disposed on the absorption layer 15, and the pixel electrode 21 ) may be provided on the overcoat 20 layer (see FIGS. 2 and 3 ).

또한, 본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 전극 패턴(18)은 제1 두께를 갖는 영역과 상기 제1 두께보다 얇은 제2 두께를 갖는 영역을 포함할 수 있고, 이 때 상기 전극 패턴 중 제1 두께를 갖는 영역은 다층구조일 수 있으며(도 4 내지 도 6i 참조) 공정용이성 측면에서 제1 두께를 갖는 영역이 다층구조인 것이 바람직하다.In addition, according to another embodiment of the present invention, the electrode pattern 18 may include a region having a first thickness and a region having a second thickness thinner than the first thickness, and in this case, the electrode pattern 18 The region having a thickness of 1 may have a multi-layer structure (refer to FIGS. 4 to 6I), and it is preferable that the region having the first thickness have a multi-layer structure from the viewpoint of process easiness.

이하, 도 7 및 도 8을 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계발광 표시장치를 설명한다. 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계발광 표시장치의 평면도를 도시한 도면이고, 도 8은 도 7의 유기전계발광 표시장치를 D-D' 방향으로 절단한 단면도를 도시한 도면이다. Hereinafter, an organic light emitting display device according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 7 and 8 . 7 is a plan view of the organic light emitting display device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 8 is a cross-sectional view showing the organic light emitting display device of FIG. 7 taken in the D-D' direction.

본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계발광 표시장치는 앞서 설명한 일 실시예에 따른 유기전계발광 표시장치와 흡수층(15)을 제외하고, 동일 유사한 구성을 포함할 수 있다. 앞서 설명한 본 발명의 실시예에 따른 유기전계발광 표시장치에 대한 설명과 동일 유사한 부분에 대한 설명은 생략할 수 있다. 동일한 구성에 대해서는 동일한 도면 부호를 부여한다.The organic light emitting display device according to an exemplary embodiment of the present invention may include the same and similar components except for the organic light emitting display device and the absorption layer 15 according to the above-described exemplary embodiment. Descriptions of the same and similar parts as those of the organic light emitting display device according to the embodiment of the present invention described above may be omitted. The same reference numerals are assigned to the same components.

도 7 및 8을 참조하면, 불량 개선을 위해 배선 절단 시 레이저를 이용하는 경우 화소 전극(21)에 레이저가 전달되어 결함이 생기는 문제를 방지하기 위해 화소 전극(21)이 홀(24)을 포함한다. 보다 구체적으로, 본 발명의 일 실시예는 게이트 라인(12)과 상기 게이트 라인(12)과 직교하는 데이터 라인(11)과 상기 게이트 라인(12)과 데이터 라인(11)이 교차하여 정의되는 화소 영역(13)과 상기 데이터 라인(11)에서 상기 화소 영역(13) 측으로 돌출된 전극 패턴(18)과 상기 전극 패턴(18) 상에서 콘택홀을 포함하는 보호층(19)과 상기 보호층(19) 상에서 상기 전극 패턴(18)과 중첩되는 영역까지 구비된 화소전극(21)을 포함하고, 상기 화소전극(21)은 콘택홀을 통해 상기 전극 패턴(18)과 연결되며, 상기 화소전극(21)은 상기 전극 패턴(18)과 중첩되는 영역 중 상기 콘택홀과 중첩되는 영역을 제외한 부분에서 홀(24)을 포함할 수 있다. Referring to FIGS. 7 and 8 , when a laser is used to cut wiring to improve defects, the pixel electrode 21 includes a hole 24 in order to prevent a problem from occurring due to the laser being transmitted to the pixel electrode 21 . . More specifically, according to an embodiment of the present invention, a pixel is defined in which a gate line 12 and a data line 11 orthogonal to the gate line 12 and the gate line 12 and the data line 11 intersect each other. A protective layer 19 including an electrode pattern 18 protruding from the region 13 and the data line 11 toward the pixel region 13 , and a contact hole on the electrode pattern 18 , and the protective layer 19 . ), including a pixel electrode 21 provided to a region overlapping with the electrode pattern 18 , the pixel electrode 21 is connected to the electrode pattern 18 through a contact hole, and the pixel electrode 21 ) may include the hole 24 in a region overlapping the electrode pattern 18 , except for a region overlapping the contact hole.

상기 홀(24)은 화소 전극(21) 중 레이저 커팅이 실시되는 부분을 포함하는 영역에 형성되는 것으로 족하다.It is sufficient that the hole 24 is formed in a region of the pixel electrode 21 including a laser cutting portion.

상기 화소 전극(21)은 레이저 커팅 영역에 홀(24)을 포함하는바, 유기전계발광 표시장치가 화소 전극(21)을 구비하면서도 레이저의 영향을 받지 않게 되어 레이저 커팅이 실시되는 전극 패턴(18)의 상부라도 화소 전극(21)을 배치할 수 있다. 따라서, 화소 영역(13)의 면적 확보가 가능하므로 개구율을 증가시키면서도 유기전계발광 표시장치의 수율을 향상시킬 수 있다.The pixel electrode 21 includes a hole 24 in the laser cutting area, and the organic light emitting display device includes the pixel electrode 21 but is not affected by the laser, and thus the electrode pattern 18 is laser cut. ) may be disposed on the pixel electrode 21 . Accordingly, since the area of the pixel region 13 can be secured, the yield of the organic light emitting display device can be improved while increasing the aperture ratio.

상기 홀(24)의 면적은 구체적으로는 1600 내지 2500μm2 일 수 있다. 홀(24)의 면적이 1600 μm2 미만인 경우에는 화소 전극(21)에의 레이저 전달 방지 효과가 저하될 수 있고, 홀(24) 면적이 2500 μm2를 초과하는 경우 화소 전극(21)의 기능이 문제될 수 있다.Specifically, the area of the hole 24 is 1600 to 2500 μm 2 can be The area of the hole 24 is 1600 μm 2 If it is less than , the effect of preventing laser transmission to the pixel electrode 21 may be reduced, and if the area of the hole 24 exceeds 2500 μm 2 , the function of the pixel electrode 21 may be problematic.

상기 홀(24)의 모양은 직사각형, 정사각형, 원 등일 수 있으나, 반드시 이에 제한되는 것은 아니다.The shape of the hole 24 may be a rectangle, a square, a circle, or the like, but is not necessarily limited thereto.

실험예Experimental example

전극 패턴(소스 전극 또는 드레인 전극)의 레이저 커팅이 수반되면서도 그 상부에 화소 전극이 배치되지 않는 기존 구조의 화소 영역의 면적이 7083μm2인 것에 비하여(비교예), 흡수층(15)을 포함하는 본 발명의 일 실시예에 있어 화소 영역의 면적은 8008μm2 이었다. In contrast to the case where the area of the pixel region of the existing structure in which the electrode pattern (source electrode or drain electrode) is laser-cut and the pixel electrode is not disposed thereon is 7083 μm 2 (Comparative Example), the present structure including the absorption layer 15 In one embodiment of the invention, the area of the pixel area is 8008 μm 2 it was

즉, 화소 영역의 증가율이 약 13%였으므로 휘점 불량 방지를 위해 소스/드레인 전극을 레이저 커팅을 함으로써 수율을 향상시키면서도, 개구율의 확보가 가능함을 확인할 수 있었다(이하 표 1, 도 1a 및 도 2 참조). That is, since the increase rate of the pixel area was about 13%, it was confirmed that it was possible to secure the aperture ratio while improving the yield by laser cutting the source/drain electrodes to prevent bright spot defects (see Table 1, FIGS. 1A and 2 below). ).

비교예
화소 영역 면적
comparative example
pixel area area
실시예
화소 영역 면적
Example
pixel area area
화소영역 증가율Pixel area increase rate
7083μm2 7083μm 2 8008μm2 8008μm 2 13%13%

전술한 바를 제외하고, 당 분야에 널리 알려진 기술로써 본 발명의 목적을 벗어나지 않는 범위 내라면 본 발명의 유기전계발광 표시장치에도 적용이 가능한바, 그에 관한 기재는 생략하기로 한다.Except for the above, it is a technology widely known in the art and can be applied to the organic light emitting display device of the present invention as long as it is within the scope not departing from the object of the present invention, and the description thereof will be omitted.

이상에서 실시예를 중심으로 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시 예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 실시예에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있는 것이다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.In the above, the embodiment has been mainly described, but this is only an example and does not limit the present invention, and those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains are not exemplified above in a range that does not depart from the essential characteristics of the present embodiment. It can be seen that various modifications and applications are possible. For example, each component specifically shown in the embodiment can be implemented by modification. And differences related to such modifications and applications should be construed as being included in the scope of the present invention defined in the appended claims.

1: 게이트 라인 2: 데이터 라인
3: 화소 영역 4: 뱅크층
6: 기판
7: 층간 절연막 8: 소스 전극 및 드레인 전극
9: 보호층 10: 오버코트층
11: 데이터 라인 12: 게이트 라인
13: 화소 영역 14: 뱅크층
15: 흡수층 16: 기판.
17: 절연층 18: 전극 패턴
19: 보호층 20: 오버코트층
21: 화소전극 22: 포토레지스트 패턴a
23: 포토레지스트 패턴b 24: 홀
1: Gate line 2: Data line
3: pixel area 4: bank layer
6: Substrate
7: interlayer insulating film 8: source electrode and drain electrode
9: protective layer 10: overcoat layer
11: data line 12: gate line
13: pixel area 14: bank layer
15: absorption layer 16: substrate.
17: insulating layer 18: electrode pattern
19: protective layer 20: overcoat layer
21: pixel electrode 22: photoresist pattern a
23: photoresist pattern b 24: hole

Claims (14)

기판;
상기 기판 상에 박막 트랜지스터;
상기 박막 트랜지스터 상에 보호층;
상기 보호층 상에 흡수층;
상기 흡수층 상에 오버코트층; 및
상기 오버코트층 상에 화소전극;을 포함하고,
상기 흡수층은 상기 박막 트랜지스터 및 상기 화소전극과 전기적으로 절연되는, 유기전계발광 표시장치.
Board;
a thin film transistor on the substrate;
a protective layer on the thin film transistor;
an absorption layer on the protective layer;
an overcoat layer on the absorbent layer; and
a pixel electrode on the overcoat layer; and
and the absorption layer is electrically insulated from the thin film transistor and the pixel electrode.
청구항 1에 있어서,
상기 흡수층은 몰리브덴(Mo) 및 몰리티탄(MoTi)로 이루어진 군에서 선택된 적어도 하나를 재질로 포함하는, 유기전계발광 표시장치.
The method according to claim 1,
The absorbing layer includes at least one material selected from the group consisting of molybdenum (Mo) and molybdenum (MoTi) as a material.
청구항 1에 있어서,
상기 흡수층은 아일랜드 형상을 포함하는, 유기전계발광 표시장치.
The method according to claim 1,
The absorbing layer includes an island shape.
청구항 1에 있어서,
상기 흡수층의 두께는 500 내지 3000Å인, 유기전계발광 표시장치.
The method according to claim 1,
The thickness of the absorption layer is 500 to 3000 Å, an organic light emitting display device.
기판;
상기 기판 상에 박막 트랜지스터;
상기 박막 트랜지스터 상에 보호층;
상기 보호층 상에 오버코트층; 및
상기 오버코트층 상에 화소전극;을 포함하고,
상기 박막 트랜지스터에 포함된 전극 패턴은 제1 두께를 갖는 영역과 상기 제1 두께보다 얇은 제2 두께를 갖는 영역을 포함하고,
상기 제1 두께를 갖는 영역과 상기 제2 두께를 갖는 영역은 동일 층 상에 배치되는, 유기전계발광 표시장치.
Board;
a thin film transistor on the substrate;
a protective layer on the thin film transistor;
an overcoat layer on the protective layer; and
a pixel electrode on the overcoat layer; and
The electrode pattern included in the thin film transistor includes a region having a first thickness and a region having a second thickness thinner than the first thickness,
and the region having the first thickness and the region having the second thickness are disposed on the same layer.
청구항 5에 있어서,
상기 전극 패턴 중 상기 제1 두께는 1000 내지 2000Å이고, 상기 제2 두께는 50 내지 800Å인, 유기전계발광 표시장치.
6. The method of claim 5,
The first thickness of the electrode pattern is 1000 to 2000 Å, and the second thickness is 50 to 800 Å.
청구항 5에 있어서,
상기 전극 패턴 중 상기 제1 두께를 갖는 영역의 폭은 상기 제2 두께를 갖는 영역의 폭보다 좁은, 유기전계발광 표시장치.
6. The method of claim 5,
A width of the region having the first thickness in the electrode pattern is narrower than a width of the region having the second thickness.
게이트 라인;
상기 게이트 라인과 직교하는 데이터 라인;
상기 게이트 라인과 데이터 라인이 교차하여 정의되는 화소 영역;
상기 데이터 라인에서 상기 화소 영역 측으로 돌출된 전극 패턴;
상기 전극 패턴 상에 구비되며 콘택홀을 갖는 보호층; 및
상기 보호층 상에서 상기 전극 패턴과 중첩되는 화소전극;을 포함하고,
상기 화소전극은 상기 콘택홀을 통해 상기 전극 패턴과 직접 연결되고,
상기 화소전극은 상기 전극 패턴과 중첩되는 홀을 포함하는, 유기전계발광 표시장치.
gate line;
a data line orthogonal to the gate line;
a pixel region defined by crossing the gate line and the data line;
an electrode pattern protruding from the data line toward the pixel area;
a protective layer provided on the electrode pattern and having a contact hole; and
a pixel electrode overlapping the electrode pattern on the protective layer; and
The pixel electrode is directly connected to the electrode pattern through the contact hole,
and the pixel electrode includes a hole overlapping the electrode pattern.
청구항 8에 있어서,
상기 화소전극은 상기 전극 패턴과 80% 이상 중첩되는, 유기전계발광 표시장치.
9. The method of claim 8,
and the pixel electrode overlaps the electrode pattern by 80% or more.
삭제delete 삭제delete 청구항 5에 있어서,
상기 전극 패턴 중 상기 제1 두께를 갖는 영역은 다층구조인, 유기전계발광 표시장치.
6. The method of claim 5,
The region having the first thickness in the electrode pattern has a multilayer structure.
청구항 8에 있어서,
상기 화소전극은 상기 전극 패턴과 중첩되는 영역 중 상기 콘택홀과 중첩되는 영역을 제외한 부분에서 상기 홀을 포함하는, 유기전계발광 표시장치.
9. The method of claim 8,
and the pixel electrode includes the hole in a region overlapping the electrode pattern except for a region overlapping the contact hole.
청구항 13에 있어서,
상기 홀의 면적은 1600 내지 2500μm2인, 유기전계발광 표시장치.
14. The method of claim 13,
An area of the hole is 1600 to 2500 μm 2 , an organic light emitting display device.
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