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KR102359532B1 - 기판 처리 장치 및 지지 유닛 - Google Patents

기판 처리 장치 및 지지 유닛 Download PDF

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KR102359532B1
KR102359532B1 KR1020200028577A KR20200028577A KR102359532B1 KR 102359532 B1 KR102359532 B1 KR 102359532B1 KR 1020200028577 A KR1020200028577 A KR 1020200028577A KR 20200028577 A KR20200028577 A KR 20200028577A KR 102359532 B1 KR102359532 B1 KR 102359532B1
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KR
South Korea
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substrate
cooling
gas introduction
exhaust
introduction space
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KR1020200028577A
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Inventor
이승한
서종석
방제오
이현희
Original Assignee
세메스 주식회사
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Publication date
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Abstract

본 발명은 기판을 처리하는 장치를 제공한다. 본 발명의 일 실시예에 의하면, 기판 처리 장치는 내부에 처리공간을 제공하는 하우징; 그리고 처리공간에서 기판을 지지하는 지지 유닛을 포함하고, 지지 유닛은, 지지 유닛에 지지된 기판을 가열하는 가열 플레이트와; 가열 플레이트와의 사이에 냉각 가스가 도입되는 가스 도입 공간을 형성하여 가열 플레이트를 냉각하는 냉각 유닛; 그리고, 가스 도입 공간을 배기하는 배기 유닛을 포함하되, 배기 유닛은, 가스 도입 공간을 제공하는 밀폐 부재에 형성된 배기홀을 통해 가스 도입 공간을 배기하는 배기 덕트와; 가스 도입 공간을 감압하는 감압 부재; 그리고, 가스 도입 공간으로부터 배기되는 냉각 가스의 기류를 배기 덕트가 위치한 방향으로 유도하는 기류 가이드 부재를 더 포함할 수 있다.

Description

기판 처리 장치 및 지지 유닛{Apparatus for treating substrate and Supporting Unit}
본 발명은 기판을 지지 및 가열 처리하는 지지 유닛과 이를 포함하는 기판 처리 장치에 관한 것이다.
반도체 소자를 제조하기 위해서는 세정, 증착, 사진, 식각, 그리고 이온주입 등과 같은 다양한 공정이 수행된다. 이러한 공정들 중 사진 공정은 기판 상에 감광액과 같은 액막을 형성하는 공정을 포함한다.
기판 상에 액막을 형성한 후에는 기판을 가열하는 베이크 공정이 진행된다. 베이크 공정은 상온에 비해 매우 높은 온도에서 진행되며, 이를 위해 기판을 가열하는 히터가 이용된다. 기판을 히터로 가열할 경우, 기판의 균일한 처리를 위해 기판의 전체 영역을 균일한 온도로 가열하는 것이 요구된다.
또한, 각 공정마다 기판을 처리하는 온도는 상이하여, 기판을 가열하는 히터를 냉각시키는 냉각 과정이 요구된다. 예컨대, 기판을 제1온도로 처리한 이후에, 후속 기판을 제1온도 보다 낮은 제2온도로 처리하기 위해 히터를 냉각시킨다. 일반적으로, 냉각 과정에서 히터가 놓이는 처리 공간으로 냉각 가스가 공급되며, 이 때 처리 공간에서 히터를 냉각시키고 난 후 오염된 냉각 가스를 배출해야 한다. 냉각 가스 배출을 위해 처리 공간을 배기할 시에, 냉각 가스가 원하는 경로로 배기되지 않고 처리 공간 내에 남아 있다가 후속 기판을 재오염시키는 문제가 있다.
본 발명은, 가열 유닛이 기판을 가열할 시에 가열 유닛을 효과적으로 단열할 수 있는 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법을 제공하기 위한 것이다.
본 발명은 가열 유닛의 냉각 시, 냉각 가스의 배기 효율을 높일 수 있는 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법을 제공하기 위한 것이다.
본 발명은 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명은 기판을 처리하는 장치를 제공한다. 본 발명의 일 실시예에 의하면, 기판 처리 장치는 내부에 처리공간을 제공하는 하우징; 그리고 처리공간에서 기판을 지지하는 지지 유닛을 포함하고, 지지 유닛은, 지지 유닛에 지지된 기판을 가열하는 가열 플레이트와; 가열 플레이트와의 사이에 냉각 가스가 도입되는 가스 도입 공간을 형성하여 가열 플레이트를 냉각하는 냉각 유닛; 그리고, 가스 도입 공간을 배기하는 배기 유닛을 포함하되, 배기 유닛은, 가스 도입 공간을 제공하는 밀폐 부재에 형성된 배기홀을 통해 가스 도입 공간을 배기하는 배기 덕트와; 가스 도입 공간을 감압하는 감압 부재; 그리고, 가스 도입 공간으로부터 배기되는 냉각 가스의 기류를 배기 덕트가 위치한 방향으로 유도하는 기류 가이드 부재를 더 포함할 수 있다.
일 실시예에 의하면, 배기홀을 개폐하는 커버를 더 포함할 수 있다.
일 실시예에 의하면, 기류 가이드 부재는, 밀폐 부재와 커버 사이에 제공될 수 있다.
일 실시예에 의하면, 기류 가이드 부재는 그 내측면이 배기 덕트와 마주보도록 제공될 수 있다.
일 실시예에 의하면, 기류 가이드 부재는, 배기홀의 일부를 감싸는 원호(arc) 형상으로 제공될 수 있다.
일 실시예에 의하면, 기류 가이드 부재의 중심각은 180도 또는 그 이상으로 제공될 수 있다.
일 실시예에 의하면, 커버를 구동하는 구동기; 그리고 구동기를 제어하는 제어기를 더 포함하되, 제어기는, 기판의 가열 시 커버가 배기홀을 차폐하는 폐쇄 위치로 이동하고, 가열 플레이트의 냉각 시 커버가 배기홀을 개방하는 개방 위치로 이동하도록 구동기를 제어할 수 있다.
일 실시예에 의하면, 냉각 유닛은, 가열 플레이트의 저면과 이격되게 배치된 냉각 플레이트와; 냉각 플레이트에 제공되어 가스 도입 공간으로 냉각 가스를 토출하는 노즐을 포함할 수 있다.
또한, 본 발명은 지지 유닛을 제공한다. 일 실시예에 의하면, 지지 유닛은, 지지 유닛에 지지된 기판을 가열하는 가열 플레이트와; 가열 플레이트와의 사이에 냉각 가스가 도입되는 가스 도입 공간을 형성하여 가열 플레이트를 냉각하는 냉각 유닛; 그리고, 가스 도입 공간을 배기하는 배기 유닛을 포함하되, 배기 유닛은, 가스 도입 공간을 제공하는 밀폐 부재에 형성된 배기홀을 통해 가스 도입 공간을 배기하는 배기 덕트와; 가스 도입 공간을 감압하는 감압 부재; 그리고, 가스 도입 공간으로부터 배기되는 냉각 가스의 기류를 배기 덕트가 위치한 방향으로 유도하는 기류 가이드 부재를 더 포함할 수 있다.
일 실시예에 의하면, 배기홀을 개폐하는 커버를 더 포함하고, 기류 가이드 부재는, 밀폐 부재와 커버 사이에 제공될 수 있다.
일 실시예에 의하면, 기류 가이드 부재는 그 내측면이 배기 덕트와 마주보도록 제공될 수 있다.
일 실시예에 의하면, 배기 유닛은, 커버를 구동하는 구동기; 그리고 구동기를 제어하는 제어기를 더 포함하되, 제어기는, 기판의 가열 시 커버가 배기홀을 차폐하는 폐쇄 위치로 이동하고, 가열 플레이트의 냉각 시 커버가 배기홀을 개방하는 개방 위치로 이동하도록 구동기를 제어할 수 있다.
본 발명의 실시예에 의하면, 가열 유닛이 기판을 가열할 시에 가열 유닛을 효과적으로 단열할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 의하면, 가열 유닛의 냉각 시, 냉각 가스의 배기 효율을 높일 수 있다.
본 발명의 효과가 상술한 효과들로 한정되는 것은 아니며, 언급되지 아니한 효과들은 본 명세서 및 첨부된 도면으로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확히 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리 장치를 개략적으로 보여주는 사시도이다.
도 2는 도 1의 도포 블럭 또는 현상 블럭을 보여주는 기판 처리 장치의 단면도이다.
도 3은 도 1의 기판 처리 장치의 평면도이다.
도 4는 도 3의 반송 로봇의 핸드의 일 예를 보여주는 도면이다.
도 5는 도 3의 열처리 챔버의 일 예를 개략적으로 보여주는 평면도이다.
도 6은 도 5의 열처리 챔버의 정면도이다.
도 7은 도 6의 가열 장치를 보여주는 단면도이다.
도 8는 도 7의 지지 유닛을 보여주는 평면도이다.
도 9는 도 7의 지지 유닛을 보여주는 단면도이다.
도 10은 본 발명의 기류 가이드 부재를 보여주는 사시도이다.
도 11은 본 발명의 냉각 플레이트를 보여주는 평면도이다.
도 12는 본 발명의 밀폐 부재와 밀폐 부재에 형성된 배기홀을 보여주는 평면도이다.
도 13은 본 발명의 커버를 보여주는 평면도이다.
도 14 내지 도 15는 각각 본 발명의 일 실시예에 따라 배기 유닛으로 냉각 가스가 배출되는 모습을 보여주는 도면이다.
이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 더욱 상세하게 설명한다. 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형할 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래의 실시예들로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시예는 당 업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해 과장된 것이다.
도 1는 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리 장치를 개략적으로 보여주는 사시도이고, 도 2은 도 1의 도포 블럭 또는 현상 블럭을 보여주는 기판 처리 장치의 단면도이고, 도 3는 도 1의 기판 처리 장치의 평면도이다.
도 1 내지 도 3를 참조하면, 기판 처리 장치(1)는 인덱스 모듈(20, index module), 처리 모듈(30, treating module), 그리고 인터페이스 모듈(40, interface module)을 포함한다. 일 실시예에 의하며, 인덱스 모듈(20), 처리 모듈(30), 그리고 인터페이스 모듈(40)은 순차적으로 일렬로 배치된다. 이하, 인덱스 모듈(20), 처리 모듈(30), 그리고 인터페이스 모듈(40)이 배열된 방향을 제1방향(12)이라 하고, 상부에서 바라볼 때 제1방향(12)과 수직한 방향을 제2 방향(14)이라 하고, 제1방향(12) 및 제2 방향(14)에 모두 수직한 방향을 제3 방향(16)이라 한다.
인덱스 모듈(20)은 기판(W)이 수납된 용기(10)로부터 기판(W)을 처리 모듈(30)로 반송하고, 처리가 완료된 기판(W)을 용기(10)로 수납한다. 인덱스 모듈(20)의 길이 방향은 제2 방향(14)으로 제공된다. 인덱스 모듈(20)은 로드포트(22)와 인덱스 프레임(24)을 가진다. 인덱스 프레임(24)을 기준으로 로드포트(22)는 처리 모듈(30)의 반대 측에 위치된다. 기판(W)들이 수납된 용기(10)는 로드포트(22)에 놓인다. 로드포트(22)는 복수 개가 제공될 수 있으며, 복수의 로드포트(22)는 제2 방향(14)을 따라 배치될 수 있다.
용기(10)로는 전면 개방 일체 식 포드(Front Open Unified Pod:FOUP)와 같은 밀폐용 용기(10)가 사용될 수 있다. 용기(10)는 오버헤드 트랜스퍼(Overhead Transfer), 오버헤드 컨베이어(Overhead Conveyor), 또는 자동 안내 차량(Automatic Guided Vehicle)과 같은 이송 수단(도시되지 않음)이나 작업자에 의해 로드포트(22)에 놓일 수 있다.
인덱스 프레임(24)의 내부에는 인덱스 로봇(2200)이 제공된다. 인덱스 프레임(24) 내에는 길이 방향이 제2 방향(14)으로 제공된 가이드 레일(2300)이 제공되고, 인덱스 로봇(2200)은 가이드 레일(2300) 상에서 이동 가능하게 제공될 수 있다. 인덱스 로봇(2200)은 기판(W)이 놓이는 핸드(2220)를 포함하며, 핸드(2220)는 전진 및 후진 이동, 제3 방향(16)을 축으로 한 회전, 그리고 제3 방향(16)을 따라 이동 가능하게 제공될 수 있다.
처리 모듈(30)은 기판(W)에 대해 도포 공정 및 현상 공정을 수행한다. 처리 모듈(30)은 도포 블럭(30a) 및 현상 블럭(30b)을 가진다. 도포 블럭(30a)은 기판(W)에 대해 도포 공정을 수행하고, 현상 블럭(30b)은 기판(W)에 대해 현상 공정을 수행한다. 도포 블럭(30a)은 복수 개가 제공되며, 이들은 서로 적층되게 제공된다. 현상 블럭(30b)은 복수 개가 제공되며, 현상 블럭들(30b)은 서로 적층되게 제공된다. 도 2의 실시예에 의하면, 도포 블럭(30a)은 2개가 제공되고, 현상 블럭(30b)은 2개가 제공된다. 도포 블럭들(30a)은 현상 블럭들(30b)의 아래에 배치될 수 있다. 일 예에 의하면, 2개의 도포 블럭들(30a)은 서로 동일한 공정을 수행하며, 서로 동일한 구조로 제공될 수 있다. 또한, 2개의 현상 블럭들(30b)은 서로 동일한 공정을 수행하며, 서로 동일한 구조로 제공될 수 있다.
도 4를 참조하면, 도포 블럭(30a)은 열처리 챔버(3200), 반송 챔버(3400), 액 처리 챔버(3600), 그리고 버퍼 챔버(3800)를 가진다. 열처리 챔버(3200)는 기판(W)에 대해 열처리 공정을 수행한다. 열처리 공정은 냉각 공정 및 가열 공정을 포함할 수 있다. 액처리 챔버(3600)는 기판(W) 상에 액을 공급하여 액막을 형성한다. 액막은 포토레지스트막 또는 반사방지막일 수 있다. 반송 챔버(3400)는 도포 블럭(30a) 내에서 열처리 챔버(3200)와 액처리 챔버(3600) 간에 기판(W)을 반송한다.
반송 챔버(3400)는 그 길이 방향이 제1방향(12)과 평행하게 제공된다. 반송 챔버(3400)에는 반송 로봇(3422)이 제공된다. 반송 로봇(3422)은 열처리 챔버(3200), 액처리 챔버(3600), 그리고 버퍼 챔버(3800) 간에 기판을 반송한다. 일 예에 의하면, 반송 로봇(3422)은 기판(W)이 놓이는 핸드(3420)를 가지며, 핸드(3420)는 전진 및 후진 이동, 제3 방향(16)을 축으로 한 회전, 그리고 제3 방향(16)을 따라 이동 가능하게 제공될 수 있다. 반송 챔버(3400) 내에는 그 길이 방향이 제1방향(12)과 평행하게 제공되는 가이드 레일(3300)이 제공되고, 반송 로봇(3422)은 가이드 레일(3300) 상에서 이동 가능하게 제공될 수 있다.
도 4는 도 3의 반송 로봇의 핸드의 일 예를 보여주는 도면이다. 도 4를 참조하면, 핸드(3420)는 베이스(3428) 및 지지 돌기(3429)를 가진다. 베이스(3428)는 원주의 일부가 절곡된 환형의 링 형상을 가질 수 있다. 베이스(3428)는 기판(W)의 직경보다 큰 내경을 가진다. 지지 돌기(3429)는 베이스(3428)로부터 그 내측으로 연장된다. 지지 돌기(3429)는 복수 개가 제공되며, 기판(W)의 가장자리 영역을 지지한다. 일 예에 의하며, 지지 돌기(3429)는 등 간격으로 4개가 제공될 수 있다.
열처리 챔버(3200)는 복수 개로 제공된다. 도 3와 도 4를 참조하면, 열처리 챔버들(3200)은 제1방향(12)을 따라 나열되게 배치된다. 열처리 챔버들(3200)은 반송 챔버(3400)의 일측에 위치된다.
도 5은 도 3의 열처리 챔버의 일 예를 개략적으로 보여주는 평면도이고, 도 6은 도 5의 열처리 챔버의 정면도이다. 열처리 챔버(3200)는 하우징(3210), 냉각 장치(3220), 가열 장치(3230), 그리고 반송 플레이트(3240)를 가진다.
하우징(3210)은 대체로 직육면체의 형상으로 제공된다. 하우징(3210)의 측벽에는 기판(W)이 출입되는 반입구(도시되지 않음)가 형성된다. 반입구는 개방된 상태로 유지될 수 있다. 선택적으로 반입구를 개폐하도록 도어(도시되지 않음)가 제공될 수 있다. 냉각 장치(3220), 가열 장치(3230), 그리고 반송 플레이트(3240)는 하우징(3210) 내에 제공된다. 냉각 장치(3220) 및 가열 장치(3230)는 제2 방향(14)을 따라 나란히 제공된다. 일 예에 의하면, 냉각 장치(3220)은 가열 장치(3230)에 비해 반송 챔버(3400)에 더 가깝게 위치될 수 있다.
냉각 장치(3220)는 냉각판(3222)을 가진다. 냉각판(3222)은 상부에서 바라볼 때 대체로 원형의 형상을 가질 수 있다. 냉각판(3222)에는 냉각부재(3224)가 제공된다. 일 예에 의하면, 냉각부재(3224)는 냉각판(3222)의 내부에 형성되며, 냉각 유체가 흐르는 유로로 제공될 수 있다.
가열 장치(3230)는 기판을 상온보다 높은 온도로 가열하는 가열 유닛(1000)으로 제공된다. 가열 장치(3230)는 상압 또는 이보다 낮은 감압 분위기에서 기판(W)을 가열 처리한다.
반송 플레이트(3240)는 대체로 원판 형상을 제공되고, 기판(W)과 대응되는 직경을 가진다. 반송 플레이트(3240)의 가장자리에는 노치(3244)가 형성된다. 노치(3244)는 상술한 반송 로봇(3422, 3424)의 핸드(3420)에 형성된 돌기(3429)와 대응되는 형상을 가질 수 있다. 또한, 노치(3244)는 핸드(3420)에 형성된 돌기(3429)와 대응되는 수로 제공되고, 돌기(3429)와 대응되는 위치에 형성된다. 핸드(3420)와 반송 플레이트(3240)가 상하 방향으로 정렬된 위치에서 핸드(3420)와 반송 플레이트(3240)의 상하 위치가 변경하면 핸드(3420)와 반송 플레이트(3240) 간에 기판(W)의 전달이 이루어진다. 반송 플레이트(3240)는 가이드 레일(3249) 상에 장착되고, 구동기(3246)에 의해 가이드 레일(3249)을 따라 제1영역(3212)과 제2영역(3214) 간에 이동될 수 있다. 반송 플레이트(3240)에는 슬릿 형상의 가이드 홈(3242)이 복수 개 제공된다. 가이드 홈(3242)은 반송 플레이트(3240)의 끝단에서 반송 플레이트(3240)의 내부까지 연장된다. 가이드 홈(3242)은 그 길이 방향이 제2 방향(14)을 따라 제공되고, 가이드 홈(3242)들은 제1방향(12)을 따라 서로 이격되게 위치된다. 가이드 홈(3242)은 반송 플레이트(3240)와 가열 장치(3230) 간에 기판(W)의 인수인계가 이루어질 때 반송 플레이트(3240)와 리프트 핀(1340)이 서로 간섭되는 것을 방지한다.
기판(W)의 가열은 기판(W)이 지지 플레이트(1320) 상에 직접 놓인 상태에서 이루어지고, 기판(W)의 냉각은 기판(W)이 놓인 반송 플레이트(3240)가 냉각판(3222)에 접촉된 상태에서 이루어진다. 냉각판(3222)과 기판(W) 간에 열전달이 잘 이루어지도록 반송 플레이트(3240)는 열전달율이 높은 재질로 제공된다. 일 예에 의하면, 반송 플레이트(3240)는 금속 재질로 제공될 수 있다.
열처리 챔버들(3200) 중 일부의 열처리 챔버에 제공된 가열 장치(3230)는 기판(W) 가열 중에 가스를 공급하여 포토레지스트의 기판(W) 부착률을 향상시킬 수 있다. 일 예에 의하면, 가스는 헥사메틸디실란(hexamethyldisilane) 가스일 수 있다.
액처리 챔버(3600)는 복수 개로 제공된다. 액처리 챔버들(3600) 중 일부는 서로 적층되도록 제공될 수 있다. 액 처리 챔버들(3600)은 반송 챔버(3402)의 일측에 배치된다. 액 처리 챔버들(3600)은 제1방향(12)을 따라 나란히 배열된다. 액 처리 챔버들(3600) 중 일부는 인덱스 모듈(20)과 인접한 위치에 제공된다. 이하, 이들 액처리 챔버를 전단 액처리 챔버(3602)(front liquid treating chamber)라 칭한다. 액 처리 챔버들(3600)은 중 다른 일부는 인터페이스 모듈(40)과 인접한 위치에 제공된다. 이하, 이들 액처리 챔버를 후단 액처리 챔버(3604)(rear heat treating chamber)라 칭한다.
전단 액처리 챔버(3602)는 기판(W)상에 제1액을 도포하고, 후단 액처리 챔버(3604)는 기판(W) 상에 제2액을 도포한다. 제1액과 제2액은 서로 상이한 종류의 액일 수 있다. 일 실시예에 의하면, 제1액은 반사 방지막이고, 제2액은 포토레지스트이다. 포토레지스트는 반사 방지막이 도포된 기판(W) 상에 도포될 수 있다. 선택적으로 제1액은 포토레지스트이고, 제2액은 반사방지막일 수 있다. 이 경우, 반사방지막은 포토레지스트가 도포된 기판(W) 상에 도포될 수 있다. 선택적으로 제1액과 제2액은 동일한 종류의 액이고, 이들은 모두 포토레지스트일 수 있다.
도 7은 도 6의 가열 장치(3230)를 보여주는 단면도이다. 도 7을 참조하면, 가열 유닛(1000)은 하우징(1100), 지지 유닛(1300) 그리고 배기 유닛(1500)을 포함한다.
하우징(1100)은 내부에 기판(W)을 가열 처리하는 처리 공간(1110)을 제공한다. 처리 공간(1110)은 외부와 차단된 공간으로 제공된다. 하우징(1100)은 상부 바디(1120), 하부 바디(1140), 그리고 실링 부재(1160)를 포함한다.
상부 바디(1120)는 하부가 개방된 통 형상으로 제공된다. 상부 바디(1120)의 상면에는 배기홀(1122) 및 유입홀(1124)이 형성된다. 배기홀(1122)은 상부 바디(1120)의 중심에 형성된다. 배기홀(1122)은 처리 공간(1110)의 분위기를 배기한다. 유입홀(1124)은 복수 개가 이격되도록 제공되며, 배기홀(1122)을 감싸도록 배열된다. 유입홀들(1124)은 처리 공간(1110)에 외부의 기류를 유입한다. 일 예에 의하면, 유입홀(1124)은 4 개이고, 외부의 기류는 에어일 수 있다. 선택적으로, 유입홀들(1124)은 3 개 또는 5 개 이상으로 제공되거나, 외기는 비활성 가스일 수 있다.
하부 바디(1140)는 상부가 개방된 통 형상으로 제공된다. 하부 바디(1140)는 상부 바디(1120)의 아래에 위치된다. 상부 바디(1120) 및 하부 바디(1140)는 상하 방향으로 서로 마주보도록 위치된다. 상부 바디(1120) 및 하부 바디(1140)는 서로 조합되어 내부에 처리 공간(1110)을 형성한다. 상부 바디(1120) 및 하부 바디(1140)는 상하 방향에 대해 서로의 중심축이 일치되게 위치된다. 하부 바디(1140)는 상부 바디(1120)와 동일한 직경을 가질 수 있다. 즉, 하부 바디(1140)의 상단은 상부 바디(1120)의 하단과 대향되게 위치될 수 있다.
상부 바디(1120) 및 하부 바디(1140) 중 하나는 승강 부재(1130)에 의해 개방 위치와 차단 위치로 이동되고, 다른 하나는 그 위치가 고정된다. 본 실시예에는 하부 바디(1140)의 위치가 고정되고, 상부 바디(1120)가 이동되는 것으로 설명한다. 개방 위치는 상부 바디(1120)와 하부 바디(1140)가 서로 이격되어 처리 공간(1110)이 개방되는 위치이다. 차단 위치는 하부 바디(1140) 및 상부 바디(1120)에 의해 처리 공간(1110)이 외부로부터 밀폐되는 위치이다.
실링 부재(1160)는 상부 바디(1120)와 하부 바디(1140) 사이에 위치된다. 실링 부재(1160)는 상부 바디(1120)와 하부 바디(1140)가 접촉될 때 처리 공간이 외부로부터 밀폐되도록 한다. 실링 부재(1160)는 환형의 링 형상으로 제공될 수 있다. 실링 부재(1160)는 하부 바디(1140)의 상단에 고정 결합될 수 있다.
지지 유닛(1300)은 처리 공간(1110)에서 기판(W)을 지지한다. 도 7 및 도 8를 참조하면, 지지 유닛(1300)의 상면은 지지 플레이트(1320)로 제공된다. 지지 플레이트(1320)는 가열 플레이트(1400)으로부터 발생된 열을 기판(W)으로 전달한다. 지지 플레이트(1320)는 원형의 판 형상으로 제공된다. 지지 플레이트(1320)의 상면은 기판(W)보다 큰 직경을 가진다.
지지 플레이트(1320)는 기판(W)이 놓이는 안착면으로 기능한다. 안착면에는 복수의 리프트 홀들(1322), 삽입홀들(1324), 그리고 진공홀들(1326)이 형성된다. 리프트 홀들(1322), 삽입홀들(1324), 그리고 진공홀들(1326)은 서로 상이한 영역에 위치된다. 상부에서 바라볼 때 리프트 홀들(1322) 및 진공홀들(1326)은 각각 지지 플레이트(1320)의 상면의 중심을 감싸도록 배열된다. 각각의 리프트 홀들(1322)은 원주 방향을 따라 서로 이격되게 배열된다. 각각의 진공홀들(1326)은 원주 방향을 따라 서로 이격되게 배열된다. 진공홀들(1326)은 안착면과 기판(W) 사이에 음압을 제공하여, 기판(W)을 진공 흡착할 수 있다. 예컨대, 리프트 홀들(1322) 및 진공홀들(1326)은 서로 조합되어 환형의 링 형상을 가지도록 배열될 수 있다. 리프트 홀들(1322)은 서로 간에 동일 간격으로 이격되게 위치되고, 진공홀들(1326)은 서로 간에 동일 간격으로 이격되게 위치될 수 있다. 삽입홀들(1324)은 리프트 홀들(1322) 및 진공홀(1326)과 다르게 배열된다. 삽입홀들(1324)은 안착면의 전체 영역에 균등하게 배열될 수 있다. 예컨대, 리프트 홀들(1322) 및 진공홀(1326)은 각각 3 개로 제공될 수 있다. 지지 플레이트(1320)는 질화 알루미늄(AlN)을 포함하는 재질로 제공될 수 있다.
리프트 핀(1340)은 지지 플레이트(1320) 상에서 기판(W)을 승하강시킨다. 리프트 핀(1342)은 복수 개로 제공되며, 각각은 수직한 상하 방향을 향하는 핀 형상으로 제공된다. 각각의 리프트 홀(1322)에는 리프트 핀(1340)이 위치된다. 구동 부재(미도시)는 각각의 리프트 핀들(1342)을 승강 위치와 하강 위치 간에 이동시킨다. 여기서 승강 위치는 리프트 핀(1342)의 상단이 안착면보다 높은 위치이고, 하강 위치는 리프트 핀(1342)의 상단이 안착면과 동일하거나 이보다 낮은 위치로 정의한다. 구동 부재(미도시)는 하우징(1100)의 외부에 위치될 수 있다. 구동 부재(미도시)는 실린더일 수 있다.
지지핀(1360)은 기판(W)이 안착면에 직접적으로 접촉되는 것을 방지한다. 지지핀(1360)은 리프트 핀(1342)과 평행한 길이 방향을 가지는 핀 형상으로 제공된다. 지지핀(1360)은 복수 개로 제공되며, 각각은 안착면에 고정 설치된다. 지지핀들(1360)은 안착면으로부터 위로 돌출되게 위치된다. 지지핀(1360)의 상단은 기판(W)의 저면에 직접 접촉되는 접촉면으로 제공되며, 접촉면은 위로 볼록한 형상을 가진다. 이에 따라 지지핀(1360)과 기판(W) 간의 접촉 면적을 최소화할 수 있다.
가이드(1380)는 기판(W)이 정 위치에 놓이도록 기판(W)을 가이드한다. 가이드(1380)는 안착면을 감싸는 환형의 링 형상을 가지도록 제공된다. 가이드(1380)는 기판(W)보다 큰 직경을 가진다. 가이드(1380)의 내측면은 지지 플레이트(1320)의 중심축에 가까워질수록 하향 경사진 형상을 가진다. 이에 따라 가이드(1380)의 내측면에 걸친 기판(W)은 그 경사면을 타고 정위치로 이동된다. 또한 가이드(1380)는 기판(W)과 안착면의 사이에 유입되는 기류를 소량 방지할 수 있다.
가열 플레이트(1400)는 지지 플레이트(1320)에 놓인 기판(W)을 가열 처리한다. 가열 플레이트(1400)는 지지 플레이트(1320)에 놓인 기판(W)보다 아래에 위치된다. 가열 플레이트(1400)는 복수 개의 히터들(1420)을 포함한다. 히터들(1420)은 지지 플레이트(1320) 내에 위치된다. 일 예에서, 히터들(1420)은 가열 플레이트(1400)에 제공된다.
히터들(1420)은 지지면의 서로 상이한 영역을 가열한다. 상부에서 바라볼 때 각 히터(1420)에 대응되는 가열 플레이트(1400)의 영역은 복수 개의 히팅존들로 제공될 수 있다. 각각의 히터(1420)는 온도가 독립 조절 가능하다. 예컨대, 히팅존은 15 개일 수 있다. 각 히팅존은 측정 부재(미도시)에 의해 온도가 측정된다. 히터들(1420)은 프린팅된 패턴 또는 열선일 수 있다. 가열 플레이트(1400)는 지지 플레이트(1320)를 공정 온도로 가열할 수 있다.
처리 공간 배기 유닛(1500)은 처리 공간(1110) 내부를 강제 배기한다. 처리 공간 배기 유닛(1500)은 배기관(1530) 및 안내판(1540)을 포함한다. 배기관(1530)은 길이 방향이 수직한 상하 방향을 향하는 관 형상을 가진다. 배기관(1530)은 상부 바디(1120)의 상벽을 관통하도록 위치된다. 일 예에 의하면, 배기관(1530)은 배기홀(1122)에 삽입되게 위치될 수 있다. 즉, 배기관(1530)의 하단은 처리 공간(1110) 내에 위치되고, 배기관(1530)의 상단은 처리 공간(1110)의 외부에 위치된다. 배기관(1530)의 상단에는 감압 부재(1560)가 연결된다. 감압 부재(1560)는 배기관(1530)을 감압한다. 이에 따라 처리 공간(1110)의 분위기는 통공(1542) 및 배기관(1530)을 순차적으로 거쳐 배기된다.
안내판(1540)은 중심에 통공(1542)을 가지는 판 형상을 가진다. 안내판(1540)은 배기관(1530)의 하단으로부터 연장된 원형의 판 형상을 가진다. 안내판(1540)은 통공(1542)과 배기관(1530)의 내부가 서로 통하도록 배기관(1530)에 고정 결합된다. 안내판(1540)은 지지 플레이트(1320)의 상부에서 지지 플레이트(1320)의 지지면과 마주하게 위치된다. 안내판(1540)은 하부 바디(1140)보다 높게 위치된다. 일 예에 의하면, 안내판(1540)은 상부 바디(1120)와 마주하는 높이에 위치될 수 있다. 상부에서 바라볼 때 안내판(1540)은 유입홀(1124)과 중첩되게 위치되고, 상부 바디(1120)의 내측면과 이격되는 직경을 가진다. 이에 따라 안내판(1540)의 측단과 상부 바디(1120)의 내측면 간에는 틈이 발생되며, 이 틈은 유입홀(1124)을 통해 유입된 기류가 기판(W)으로 공급되는 흐름 경로로 제공된다.
도 9는 도 7의 지지 유닛을 보여주는 단면도이다. 도 9를 참조하면, 지지 유닛(1300)은 가열 플레이트(1400), 냉각 유닛(900), 커버(930) 그리고 배기 유닛(1700)을 포함한다. 냉각 유닛(900)은 가열 플레이트(1400)를 냉각한다.
냉각 유닛(900)은, 냉각 플레이트(920), 노즐(952), 가스 공급 라인(954), 조절 밸브(956) 그리고 가스 공급원(958)을 포함한다. 냉각 플레이트(920)는 가열 플레이트(1400)의 아래에 제공된다. 냉각 플레이트(920)는, 가열 플레이트(1400)의 저면과 이격되게 배치된다. 냉각 플레이트(920)와 가열 플레이트(1400)는 그 사이에 냉각 가스가 도입되는 가스 도입 공간(960)을 형성한다. 냉각 가스에 의해 가열 플레이트(1400)는 냉각된다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 냉각 플레이트(920)를 보여주는 평면도이다. 도 10을 참조하면, 냉각 플레이트(920)의 상면에는 장착홈(953)이 형성되고, 장착홈(953) 내부에 노즐(952)이 위치한다. 일 예에서, 노즐(952)은 냉각 플레이트(920)의 원주 방향을 따라 12 개 제공될 수 있다. 노즐(952)은 가스 도입 공간(960)으로 냉각 가스를 공급한다. 일 예에서, 노즐(952)은 냉각 플레이트(920)에 형성된 장착홈(953)에 제공된다. 가스 공급 라인(954)은 가스 공급원(958)으로부터 냉각 가스를 노즐(952)에 제공한다. 조절 밸브(956)는 가스 공급원(958)으로부터 노즐(952)에 제공되는 냉각 가스의 유량을 조절한다.
가열 플레이트(1400)와 냉각 플레이트(920)는 밀폐 부재(1370)에 의해 둘러 쌓인다. 밀폐 부재(1370)에는 배기홀(1371)이 형성된다. 커버(930)는 배기홀(1371)을 개방 또는 폐쇄하도록 제공된다.
도 12는 본 발명의 밀폐 부재(1370)와 밀폐 부재(1370)에 형성된 배기홀(1371)을 보여주는 평면도이고, 도 13은 본 발명의 커버(930)를 보여주는 평면도이다. 도 12 내지 도 13을 참조하면, 배기홀(1371)은 밀폐 부재(1370)의 저면에 복수 개 제공된다. 일 예에서, 배기홀(1371)은 삼각형 형상으로 복수 개 제공된다. 배기홀(1371)은 가열 플레이트(1400)의 냉각 시, 가스 도입 공간(960) 내부에 오염된 기체를 외부로 배출한다. 또한, 배기홀(1371)은 가열 플레이트(1400)의 냉각 시, 가스 도입 공간(960) 내부의 따뜻한 공기를 외부로 배출하여 냉각 효율을 높인다.
커버(930)는 밀폐 부재(1370)에 형성된 배기홀(1371)을 개폐한다. 커버(930)는 구동기(미도시)에 의해 이동된다. 커버(930)는, 기판의 가열 시 커버(930)가 배기홀(1371)을 차폐하는 폐쇄 위치로 이동하고, 가열 플레이트(1400)의 냉각 시 커버(930)가 배기홀(1371)을 개방하는 개방 위치로 이동된다.
일 예에서, 커버(930)는 복수의 차단판(930a,930b)을 구비할 수 있다. 차단판(930a,930b)은 밀폐 부재(1370)의 저면에 제공된다. 기판의 가열 처리 시 차단판(930a,930b)은 배기홀(1371)을 막아 지지 유닛(1300)을 단열하고, 가열 플레이트(1400)의 냉각 시 배기홀(1371)을 개방하여 가스 도입 공간(960)을 배기한다.
일 예에서, 복수의 차단판(930a,930b)은 지지 플레이트(1320)의 저면과 회전축(932)을 매개로 결합되어 회전축(932)을 중심으로 개방 위치 또는 폐쇄 위치로 동시에 회전 가능하도록 제공된다. 일 예에서, 차단판(930a,930b)은 삼각형 형상으로 제공되고, 차단판(930a,930b)의 각 꼭지점 중 어느 하나가 동일한 회전축(932)에 결합되도록 제공된다.
상부에서 바라봤을 때, 개방 위치에서 도 13과 같이 인접하는 차단판(930a)과 차단판(930b) 사이에 배기홀(1371)이 1개씩 각각 위치하도록 회전축(932)에 의해 차단판(930a,930b)이 회전된다. 폐쇄 위치에서 도 13과 같이 차단판(930a,930b)이 배기홀(1371)과 중첩되도록 위치하도록 회전축(932)에 의해 차단판(930a,930b)이 회전된다.
다시, 도 9를 참조하면, 배기 유닛(1700)은, 배기 덕트(1740), 감압 부재(1760) 그리고 기류 가이드 부재(1720)를 포함한다. 배기 덕트(1740)는, 가스 도입 공간(960)을 배기한다. 가스 도입 공간(960)은 밀폐 부재(1370)에 형성된 배기홀(1371)을 통해 배기된다. 감압 부재(1760)는 가스 도입 공간(960)을 감압하도록 갑압을 제공한다. 기류 가이드 부재(1720)는 가스 도입 공간(960)으로부터 배기되는 냉각 가스의 기류를 배기 덕트(1740)가 위치한 방향으로 유도한다.
감압 부재(1760)에 의해 가스 도입 공간(960)에 감압이 제공되면, 배기홀(1371)을 통해 가스 도입 공간(960)에 머무르던 냉각 가스가 저면 공간(1730)으로 빠져나오게 된다. 이때, 기류 가이드 부재(1720)가 제공되지 않는 경우 냉각 가스는 저면 공간(1730)으로 원활히 빠져나오지 못하고, 배기홀(1371) 부근에서 재차 가스 도입 공간(960)으로 유입되는 현상이 발생한다.
이에, 기류 가이드 부재(1720)는, 배기홀(1371)로 빠져나오는 냉각 가스가 정체 없이 배기 덕트(1740) 방향으로 유도되도록 배치된다. 일 예에서, 기류 가이드 부재(1720)는 그 내측면이 배기 덕트(1740)와 마주보도록 제공된다. 예컨대, 기류 가이드 부재(1720)는, 밀폐 부재(1370)와 커버 사이에 제공되며 그 내측면이 배기 덕트(1740)를 향하도록 제공된다.
도 11은 기류 가이드 부재(1720)를 나타내는 사시도이다. 도 11을 참조하면, 기류 가이드 부재(1720)는, 상부에서 바라보았을 때, 원호(arc) 형상으로 제공될 수 있다.
원호 형상의 기류 가이드 부재(1720)는, 원형으로 제공되는 배기홀(1371) 원주 방향을 따라 배기 덕트(1740)가 위치한 반대편에서 배기홀(1371)의 일부를 감싸도록 제공된다. 이에, 배기홀(1371)을 통해 빠져나온 냉각 가스는 기류 가이드 부재(1720)에 의해 배기 덕트(1740)의 반대편 방향으로 그 흐름이 차단된다. 이에, 냉각 가스는 저면 공간(1730)에서 배기 덕트(1740)의 반대편이나 가스 도입 공간(960)으로 유출되지 않고, 배기 덕트(1740)가 위치한 방향으로 유도된다.
기류 가이드 부재(1720)는, 바닥이 제공될 수 있다. 일 예에서, 기류 가이드 부재(1720)에는 평평한 바닥이 제공된다. 이에, 기류 가이드 부재(1720)는 커버(930) 상에 안정적으로 위치할 수 있도록 한다. 또한, 배기홀(1371)을 통해 빠져나온 기류가 기류 가이드 부재(1720)의 하방으로 유출되는 것을 방지한다.
일 예에서, 기류 가이드 부재(1720)의 중심각은 180도 또는 그 이상으로 제공될 수 있다. 이에, 배기홀(1371)로부터 빠져나온 냉각 가스가 배기 덕트(1740)의 반대 방향으로 이동되는 것이 효과적으로 방지될 수 있다.
일 예에서, 기류 가이드 부재(1720)의 반지름은 배기홀(1371)의 반지름과 같거나 그 이상으로 제공된다. 이에, 배기홀(1371)로부터 빠져나온 냉각 가스가 유출되지 않고 기류 가이드 부재(1720) 내에 머무르되, 배기 덕트(1740)에 의해 배기 덕트(1740)의 방향으로만 이동되도록 한다.
도 14 내지 도 15는 각각 본 발명의 일 실시예에 따라 배기 유닛(1700)으로 냉각 가스가 배출되는 모습을 보여주는 도면이다.
먼저, 가열 플레이트(1400)를 냉각하기 전에, 가열 플레이트(1400)가 기판을 제1온도로 가열한다. 이때 커버(930)는 배기홀(1371)을 막아 가스 도입 공간(960)을 단열한다.
이후에, 가열 플레이트(1400)를 냉각할 시에, 도 14에 도시된 바와 같이 노즐(952)이 가열 플레이트(1400)의 저면에 냉각 가스를 공급한다. 이에, 기판은 기 설정 온도가 되도록 강제된다. 가열 플레이트(1400)를 냉각하기 시작할 때에 커버(930)는 배기홀(1371)을 개방하여 가스 도입 공간(960)을 배기한다. 냉각은 가열 플레이트(1400)의 온도가 제1온도 보다 낮은 제2온도가 될 때까지 계속된다.
가열 플레이트(1400)를 냉각한 냉각 가스는 파티클과 같은 오염 물질을 머금고 있어, 지지 유닛(1300) 내에서 배기할 필요성이 있다. 이에 도 15에 도시된 바와 같이 지지 유닛을 배기한다.
상술한 바와 같이, 가스 도입 공간(960)이 배기되는 과정에서 기류 가이드 부재(1720)에 의해, 냉각 가스는 배기 덕트(1740)를 향해 일방향으로 빠져나가게 된다. 이에, 가스 도입 공간(960)을 배기하는 시간이 단축된다. 또한, 가스 도입 공간(960)으로 재차 냉각 가스가 도입되는 현상이 방지되어 기판의 재오염을 방지할 수 있다.
가열 플레이트(1400)가 원하는 제2온도까지 냉각되고, 가스 도입 공간(960)을 배기한 이후에, 가열 플레이트(1400)가 기판을 제1온도보다 낮은 제2온도로 기판을 처리하는 공정이 시작될 수 있다.
상술한 예에서는, 기류 가이드 부재(1720)는 상면에서 바라보았을 때 원호 형상을 가지는 것으로 설명하였다. 그러나, 다른 예에서, 기류 가이드 부재(1720)는, 상면에서 바라보았을 때 직선 형태 또는, 'ㄷ'자 형태로 제공될 수 있다.
상술한 예에서는, 기류 가이드 부재(1720)는 평평한 바닥을 가지는 것으로 서술하였다. 그러나, 다른 예에서, 기류 가이드 부재(1720)는 배기 덕트(1740)를 향하는 방향으로 하향 경사진 바닥을 가지도록 제공될 수 있다.
본 발명에 따르면, 기판을 제1온도로 처리한 후, 같은 공간에서 기판을 제1온도보다 낮은 제2온도로 처리하도록 가열 플레이트(1400)를 냉각시킬 수 있는 이점이 있다.
본 발명에 따르면, 커버(930)가 가열 단계에서 기판이 가열되는 가스 도입 공간(960)을 폐쇄하여 단열하고, 냉각 단계(S20)에서 가스 도입 공간(960)을 개방하여 배기 효율과 냉각 효율을 높이는 이점이 있다.
본 발명에 따르면, 기류 가이드 부재(1720)에 의해 가스 도입 공간(960)을 배기하는 시간이 단축되고, 가스 도입 공간(960)으로 재차 냉각 가스가 도입되는 현상이 방지되어 기판의 재오염을 방지할 수 있는 이점이 있다.
다시 도 2 및 도 3를 참조하면, 버퍼 챔버(3800)는 복수 개로 제공된다. 버퍼 챔버들(3800) 중 일부는 인덱스 모듈(20)과 반송 챔버(3400) 사이에 배치된다. 이하, 이들 버퍼 챔버를 전단 버퍼(3802)(front buffer)라 칭한다. 전단 버퍼들(3802)은 복수 개로 제공되며, 상하 방향을 따라 서로 적층되게 위치된다. 버퍼 챔버들(3802, 3804) 중 다른 일부는 반송 챔버(3400)와 인터페이스 모듈(40) 사이에 배치된다 이하. 이들 버퍼 챔버를 후단 버퍼(3804)(rear buffer)라 칭한다. 후단 버퍼들(3804)은 복수 개로 제공되며, 상하 방향을 따라 서로 적층되게 위치된다. 전단 버퍼들(3802) 및 후단 버퍼들(3804) 각각은 복수의 기판들(W)을 일시적으로 보관한다. 전단 버퍼(3802)에 보관된 기판(W)은 인덱스 로봇(2200) 및 반송 로봇(3422)에 의해 반입 또는 반출된다. 후단 버퍼(3804)에 보관된 기판(W)은 반송 로봇(3422) 및 제1로봇(4602)에 의해 반입 또는 반출된다.
현상 블럭(30b)은 열처리 챔버(3200), 반송 챔버(3400), 그리고 액처리 챔버(3600)를 가진다. 현상 블럭(30b)의 열처리 챔버(3200), 반송 챔버(3400), 그리고 액처리 챔버(3600)는 도포 블럭(30a)의 열처리 챔버(3200), 반송 챔버(3400), 그리고 액처리 챔버(3600)와 대체로 유사한 구조 및 배치로 제공되므로, 이에 대한된다. 다만, 현상 블록(30b)에서 액처리 챔버들(3600)은 모두 동일하게 현상액을 공급하여 기판을 현상 처리하는 현상 챔버(3600)로 제공된다.
인터페이스 모듈(40)은 처리 모듈(30)을 외부의 노광 장치(50)와 연결한다. 인터페이스 모듈(40)은 인터페이스 프레임(4100), 부가 공정 챔버(4200), 인터페이스 버퍼(4400), 그리고 반송 부재(4600)를 가진다.
인터페이스 프레임(4100)의 상단에는 내부에 하강기류를 형성하는 팬필터유닛이 제공될 수 있다. 부가 공정 챔버(4200), 인터페이스 버퍼(4400), 그리고 반송 부재(4600)는 인터페이스 프레임(4100)의 내부에 배치된다. 부가 공정 챔버(4200)는 도포 블럭(30a)에서 공정이 완료된 기판(W)이 노광 장치(50)로 반입되기 전에 소정의 부가 공정을 수행할 수 있다. 선택적으로 부가 공정 챔버(4200)는 노광 장치(50)에서 공정이 완료된 기판(W)이 현상 블럭(30b)으로 반입되기 전에 소정의 부가 공정을 수행할 수 있다. 일 예에 의하면, 부가 공정은 기판(W)의 에지 영역을 노광하는 에지 노광 공정, 또는 기판(W)의 상면을 세정하는 상면 세정 공정, 또는 기판(W)의 하면을 세정하는 하면 세정공정일 수 있다. 부가 공정 챔버(4200)는 복수 개가 제공되고, 이들은 서로 적층되도록 제공될 수 있다. 부가 공정 챔버(4200)는 모두 동일한 공정을 수행하도록 제공될 수 있다. 선택적으로 부가 공정 챔버(4200)들 중 일부는 서로 다른 공정을 수행하도록 제공될 수 있다.
인터페이스 버퍼(4400)는 도포 블럭(30a), 부가 공정챔버(4200), 노광 장치(50), 그리고 현상 블럭(30b) 간에 반송되는 기판(W)이 반송도중에 일시적으로 머무르는 공간을 제공한다. 인터페이스 버퍼(4400)는 복수 개가 제공되고, 복수의 인터페이스 버퍼들(4400)은 서로 적층되게 제공될 수 있다.
일 예에 의하면, 반송 챔버(3400)의 길이 방향의 연장선을 기준으로 일 측면에는 부가 공정 챔버(4200)가 배치되고, 다른 측면에는 인터페이스 버퍼(4400)가 배치될 수 있다.
반송 부재(4600)는 도포 블럭(30a), 부가 공정챔버(4200), 노광 장치(50), 그리고 현상 블럭(30b) 간에 기판(W)을 반송한다. 반송 부재(4600)는 1개 또는 복수 개의 로봇으로 제공될 수 있다. 일 예에 의하면, 반송 부재(4600)는 제1로봇(4602) 및 제2로봇(4606)을 가진다. 제1로봇(4602)은 도포 블럭(30a), 부가 공정챔버(4200), 그리고 인터페이스 버퍼(4400) 간에 기판(W)을 반송하고, 인터페이스 로봇(4606)은 인터페이스 버퍼(4400)와 노광 장치(50) 간에 기판(W)을 반송하고, 제2로봇(4604)은 인터페이스 버퍼(4400)와 현상 블럭(30b) 간에 기판(W)을 반송하도록 제공될 수 있다.
제1로봇(4602) 및 제2로봇(4606)은 각각 기판(W)이 놓이는 핸드를 포함하며, 핸드는 전진 및 후진 이동, 제3 방향(16)에 평행한 축을 기준으로 한 회전, 그리고 제3 방향(16)을 따라 이동 가능하게 제공될 수 있다.
인덱스 로봇(2200), 제1로봇(4602), 그리고 제2 로봇(4606)의 핸드는 모두 반송 로봇(3422, 3424)의 핸드(3420)와 동일한 형상으로 제공될 수 있다. 선택적으로 열처리 챔버의 반송 플레이트(3240)와 직접 기판(W)을 주고받는 로봇의 핸드는 반송 로봇(3422, 3424)의 핸드(3420)와 동일한 형상으로 제공되고, 나머지 로봇의 핸드는 이와 상이한 형상으로 제공될 수 있다.
일 실시예에 의하면, 인덱스 로봇(2200)은 도포 블럭(30a)에 제공된 전단 열처리 챔버(3200)의 가열 장치(3230)와 직접 기판(W)을 주고받을 수 있도록 제공된다.
또한, 도포 블럭(30a) 및 현상 블럭(30b)에 제공된 반송 로봇(3422)은 열처리 챔버(3200)에 위치된 반송 플레이트(3240)와 직접 기판(W)을 주고받을 수 있도록 제공될 수 있다.
상술한 기판 처리 장치(1)의 처리 블럭은 도포 처리 공정과 현상 처리 공정을 수행하는 것으로 설명하였다. 그러나 이와 달리 기판 처리 장치(1)는 인터페이스 모듈 없이 인덱스 모듈(20)과 처리 블럭(37)만을 구비할 수 있다. 이 경우, 처리 블럭(37)은 도포 처리 공정만을 수행하고, 기판(W) 상에 도포되는 막은 스핀 온 하드마스크막(SOH)일 수 있다.
이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한 상술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내어 설명하는 것이며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 즉 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 저술한 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 구현하기 위한 최선의 상태를 설명하는 것이며, 본 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.
900: 냉각 유닛
920: 냉각 플레이트
930: 커버
1300: 지지 유닛
1400: 가열 플레이트
1700: 배기 유닛

Claims (12)

  1. 기판을 처리하는 장치에 있어서,
    내부에 처리공간을 제공하는 하우징; 그리고
    상기 처리공간에서 기판을 지지하는 지지 유닛을 포함하고,
    상기 지지 유닛은,
    상기 지지 유닛에 지지된 기판을 가열하는 가열 플레이트와;
    상기 가열 플레이트와의 사이에 냉각 가스가 도입되는 가스 도입 공간을 형성하여 상기 가열 플레이트를 냉각하는 냉각 유닛; 그리고,
    상기 가스 도입 공간을 배기하는 배기 유닛을 포함하되,
    상기 배기 유닛은,
    상기 가스 도입 공간을 제공하는 밀폐 부재에 형성된 배기홀을 통해 상기 가스 도입 공간을 배기하는 배기 덕트와;
    상기 가스 도입 공간을 감압하는 감압 부재; 그리고,
    상기 가스 도입 공간으로부터 배기되는 상기 냉각 가스의 기류를 상기 배기 덕트가 위치한 방향으로 유도하는 기류 가이드 부재를 더 포함하는 기판 처리 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 배기홀을 개폐하는 커버를 더 포함하는 기판 처리 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 기류 가이드 부재는,
    상기 밀폐 부재와 상기 커버 사이에 제공되는 기판 처리 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 기류 가이드 부재는 그 내측면이 상기 배기 덕트와 마주보도록 제공되는 기판 처리 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 기류 가이드 부재는,
    상기 배기홀의 일부를 감싸는 원호(arc) 형상으로 제공되는 기판 처리 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 기류 가이드 부재의 중심각은 180도 또는 그 이상으로 제공되는 기판 처리 장치.
  7. 제2항에 있어서,
    상기 커버를 구동하는 구동기; 그리고
    상기 구동기를 제어하는 제어기를 더 포함하되,
    상기 제어기는,
    상기 기판의 가열 시 상기 커버가 상기 배기홀을 차폐하는 폐쇄 위치로 이동하고, 상기 가열 플레이트의 냉각 시 상기 커버가 상기 배기홀을 개방하는 개방 위치로 이동하도록 상기 구동기를 제어하는 기판 처리장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 냉각 유닛은,
    상기 가열 플레이트의 저면과 이격되게 배치된 냉각 플레이트와;
    상기 냉각 플레이트에 제공되어 상기 가스 도입 공간으로 상기 냉각 가스를 토출하는 노즐을 포함하는 기판 처리 장치.
  9. 기판을 지지하는 지지 유닛에 있어서,
    상기 지지 유닛에 지지된 기판을 가열하는 가열 플레이트와;
    상기 가열 플레이트와의 사이에 냉각 가스가 도입되는 가스 도입 공간을 형성하여 상기 가열 플레이트를 냉각하는 냉각 유닛; 그리고,
    상기 가스 도입 공간을 배기하는 배기 유닛을 포함하되,
    상기 배기 유닛은,
    상기 가스 도입 공간을 제공하는 밀폐 부재에 형성된 배기홀을 통해 상기 가스 도입 공간을 배기하는 배기 덕트와;
    상기 가스 도입 공간을 감압하는 감압 부재; 그리고,
    상기 가스 도입 공간으로부터 배기되는 상기 냉각 가스의 기류를 상기 배기 덕트가 위치한 방향으로 유도하는 기류 가이드 부재를 더 포함하는 지지 유닛.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 배기홀을 개폐하는 커버를 더 포함하고,
    상기 기류 가이드 부재는,
    상기 밀폐 부재와 상기 커버 사이에 제공되는 지지 유닛.
  11. 제9항에 있어서,
    상기 기류 가이드 부재는 그 내측면이 상기 배기 덕트와 마주보도록 제공되는 지지 유닛.
  12. 제10항에 있어서,
    상기 배기 유닛은,
    상기 커버를 구동하는 구동기; 그리고
    상기 구동기를 제어하는 제어기를 더 포함하되,
    상기 제어기는,
    상기 기판의 가열 시 상기 커버가 상기 배기홀을 차폐하는 폐쇄 위치로 이동하고, 상기 가열 플레이트의 냉각 시 상기 커버가 상기 배기홀을 개방하는 개방 위치로 이동하도록 상기 구동기를 제어하는 지지 유닛.
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