KR102345434B1

KR102345434B1 - 흡인 장치

Info

Publication number: KR102345434B1
Application number: KR1020197038165A
Authority: KR
Inventors: 히토시 이와사카; 히데유키 도쿠나가; 유지 가사이; 가쓰히로 고시이시; 히데미쓰 다나카; 히로히코 오노; 가쓰토시 미노우라; 나오나리 이와사카
Original assignee: 가부시키가이샤 하모테크
Priority date: 2017-09-20
Filing date: 2018-09-06
Publication date: 2021-12-29
Also published as: TW201921576A; US20200164527A1; EP3685971A4; CN110785270A; CN110785270B; WO2019058989A1; EP3685971A1; JP7148105B2; SG11201911488UA; JP2019055439A; KR20200013696A; TWI683390B; US11642794B2

Abstract

부재를 보다 안정적으로 흡인하는 흡인 장치를 제공한다. 흡인 장치는, 기둥 형상의 본체(11), 상기 본체(11)에 형성되는 평탄상의 단면(12), 상기 단면(12)에 형성되는 오목부(13), 상기 오목부(13) 안에 유체를 토출해 상기 오목부 안에 유체의 선회류를 형성하는 유체류 형성 수단으로서, 상기 유체의 선회류는 부압을 발생시켜 부재를 흡인하는 유체류 형성 수단, 상기 오목부(13) 안에 토출된 유체가 상기 오목부(13)로부터 유출하는 방향을 따라서 상기 단면(12)에 형성되는 직선형 안내 홈(16)을 구비한다.

Description

흡인 장치

본 발명은, 베르누이 정리를 이용하여 재료를 흡인하는 장치에 관한 것이다.

최근, 반도체 웨이퍼나 유리 기판 등의 판 형상 부재를 비접촉으로 반송하기 위한 장치가 개발되고 있다. 예를 들면, 특허 문헌 1에서는, 베르누이의 정리를 이용해 판 형상 부재를 비접촉으로 반송하는 장치가 제안되고 있다. 이 장치에서는, 장치 아래쪽 면에서 개구되는 원통실을 포함한다. 유체가 원통실에 공급되어 중앙부의 부압을 갖는 선회류를 발생시켜, 판 형상 부재를 흡인한다. 원통실로부터 유출하는 유체에 의해서 이 장치와 판 형상 부재 사이에 일정한 거리를 유지하는 것으로, 이 장치에 의한 판 형상 부재의 비접촉 반송을 가능하게 하고 있다.

일본국 특허공개 2005-51260A1호 공보

본 발명은, 상기의 기술을 기초로 하여 이루어진 것이며, 부재를 보다 안정적으로 흡인하는 흡인 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기의 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 흡인 장치는, 통 형상의 본체; 상기 본체에 형성되는 단면; 상기 단면에 형성되는 오목부; 상기 오목부 안에 유체를 토출해 상기 오목부 안에 유체의 선회류를 형성하거나 방사류를 형성하는 유체류 형성 수단으로서, 상기 유체의 선회류나 방사류는 부압을 발생시켜 부재를 흡인하는, 유체류 형성 수단; 및 상기 오목부 안에 토출된 유체가 상기 오목부로부터 유출하는 방향을 따라서 상기 단면에 형성되는 직선형 안내 홈을 구비한다.

상기 유체류 형성 수단은 상기 오목부 안에 유체를 토출해 유체의 선회류를 형성하는 유체 통로이며, 상기 안내 홈은, 상기 단면을 향해 볼 때, 상기 유체 통로가 연장하는 방향에 대해 대략 45도의 각도를 이루는 방향을 따라서, 상기 단면에 형성될 수 있다.

상기 유체류 형성 수단은 상기 오목부 안에 유체를 토출해 방사류를 형성하는 유체 통로이며, 상기 안내 홈은, 상기 단면을 향해 볼 때, 상기 유체 통로가 연장하는 방향에 대해 대략 평행한 방향을 따라서, 상기 단면에 형성될 수 있다.

상기 안내 홈은, 상기 안내 홈의 단면적이 상기 오목부로부터의 거리에 비례하여 확대하도록 형성될 수 있다.

상기 안내 홈은, 상기 안내 홈의 단면적이 상기 오목부로부터의 거리에 비례하여 축소하도록 형성될 수 있다.

상기 흡인 장치는 상기 단면 상에 마련되며 상기 부압에 의해 흡인되는 상기 부재의 상기 단면을 따라서 이동하는 것을 제한하는 이동 제한 수단을 더 포함할 수 있다.

상기 이동 제한 수단은, 뿔-형상의 돌기물이며, 상기 부재에 꽂혀서 상기 부재의 이동을 제한하는 것 일 수 있다.

본 발명에 따른 또 다른 흡인 장치는 기둥 형상의 본체; 상기 본체에 형성되는 단면; 상기 단면에 형성되는 오목부; 상기 오목부 안에 유체를 토출해 상기 오목부 안에 유체의 선회류를 형성하거나 방사류를 형성하는 유체류 형성 수단으로서, 상기 유체의 선회류나 방사류는 부압을 발생시켜 부재를 흡인하는, 유체류 형성 수단; 및 상기 오목부 안에 토출된 유체가 상기 오목부로부터 유출하는 방향을 따라서 상기 단면에 형성되는 직선형 안내 홈으로서, 상기 안내 홈은 단면을 향해 볼 때, 상기 오목부의 개구 에지의 원호보다 곡률이 작은 직선형 안내 홈을 구비한다.

본 발명에 따른 또 다른 흡인 장치는 기둥 형상의 본체; 상기 본체의 일 면에 형성되는 오목부; 상기 오목부 안에 유체를 토출해 상기 오목부 안에 유체의 선회류를 형성하거나 방사류를 형성하는 유체류 형성 수단으로서, 상기 유체의 선회류나 방사류는 부압을 발생시켜 부재를 흡인하는, 유체류 형성 수단; 상기 오목부를 둘러싸도록 마련되며, 상기 오목부로의 상기 부재의 침입을 저해하는 환상 벽; 및 상기 오목부 안에 토출된 유체가 상기 오목부로부터 유출하는 방향을 따라서 상기 환상 벽의 내벽면에 형성되는 직선형 안내 홈을 구비한다.

본 발명에 따른 또 다른 흡인 장치는 기둥 형상의 본체; 상기 본체의 일 면에 형성되는 오목부; 상기 오목부 안에 유체를 토출해 상기 오목부 안에 유체의 선회류를 형성하거나 방사류를 형성하는 유체류 형성 수단으로서, 상기 유체의 선회류나 방사류는 부압을 발생시켜 부재를 흡인하는, 유체류 형성 수단; 상기 오목부를 둘러싸도록 마련되며, 상기 오목부로의 상기 부재의 침입을 저해하는 환상 벽; 및 상기 오목부 안에 토출된 유체가 상기 오목부로부터 유출하는 방향을 따라서 상기 환상 벽의 내벽면에 형성되는 직선형 안내 홈으로서, 상기 안내 홈은 오목부의 개구 에지를 향해 볼 때, 상기 오목부의 개구 에지의 원호보다 곡률이 작은 직선형 안내 홈을 구비한다.

본 발명에 따른 흡인 장치에 의하면, 안내 홈을 구비하지 않은 흡인 장치 보다 부재를 더욱 안정적으로 흡인할 수 있다.

도 1은 선회류-형성체(1)의 일례의 사시도이다.
도 2는 선회류-형성체(1)의 일례의 저면도이다.
도 3은 도 2에 도시된 선 A-A를 따른 선회류-형성체(1)의 단면도이다.
도 4는 도 3에 도시된 선 B-B를 따른 선회류-형성체(1)의 단면도이다.
도 5는 안내 홈(16)의 배치예를 나타나는 도이다.
도 6은 선회류-형성체(2)의 일례의 사시도이다.
도 7은 선회류-형성체(2)의 일례의 저면도이다.
도 8은 안내 홈(22)의 배치예를 나타나는 도이다.
도 9는 방사류-형성체(3)의 일례의 사시도이다.
도 10은 방사류-형성체(3)의 일례의 저면도이다.
도 11은 도 10에 도시된 선 C-C를 따른 방사류-형성체(3)의 단면도이다.
도 12는 안내 홈(36)의 배치예를 나타나는 도이다.
도 13은 방사류-형성체(4)의 일례의 사시도이다.
도 14는 방사류-형성체(4)의 일례의 저면도이다.
도 15는 안내 홈(43)의 배치예를 나타나는 도이다.
도 16은 안내 홈(16)의 변형예의 사시도이다.
도 17은 안내 홈(16)의 변형예의 저면도이다.
도 18은 안내 홈(16)의 변형예의 사시도이다.
도 19는 안내 홈(16)의 변형예의 저면도이다.
도 20은 안내 홈(16)의 변형예의 사시도이다.
도 21은 안내 홈(16)의 변형예의 저면도이다.
도 22는 안내 홈(36)의 변형예의 사시도이다.
도 23은 안내 홈(36)의 변형예의 저면도이다.
도 24는 안내 홈(36)의 변형예의 사시도이다.
도 25는 안내 홈(36)의 변형예의 저면도이다.
도 26은 안내 홈(36)의 변형예의 사시도이다.
도 27은 안내 홈(36)의 변형예의 저면도이다.
도 28은 안내 홈의 변형예의 측면도이다.
도 29는 선회류-형성체(1A)의 일례의 사시도이다.
도 30은 선회류-형성체(1A)의 일례의 저면도이다.
도 31은 선회류-형성체(1B)의 일례의 측면도이다.
도 32는 선회류-형성체(1C)의 일례의 측면도이다.

이하, 본 발명의 실시 형태에 대해 도면을 참조하면서 설명한다.

1. 제1 실시 형태

도 1은 본 발명에 따른 "흡인 장치"의 일례인, 선회류-형성체(1)의 일례의 사시도이다. 도 2는 선회류-형성체(1)의 일례의 저면도이다. 도 3은 도 2에 도시된 선 A-A를 따른 선회류-형성체(1)의 단면도이다. 도 4는 도 3에 도시된 선 B-B를 따른 선회류-형성체(1)의 단면도이다. 이들 도에 나타나는 선회류-형성체(1)는, 선회류를 형성하기 위해 베르누이 정리에 의해 부재를 흡인하는 장치이다. 선회류-형성체(1)에 의해 흡인되는 부재는, 예를 들어 고로케 또는 일식-튀김 요리와 같은 식품일 수 있다. 선회류-형성체(1)는 예를 들어 로봇 암의 선단에 장착될 수 있다.

선회류-형성체(1)는 본체(11), 단면(12), 오목부(13), 2개의 분출구(14), 경사면(15), 및 8개의 안내 홈(16)을 구비한다. 본체(11)는, 알루미늄 합금 등의 재료로부터 만들어지고, 원 기둥 형상을 가진다. 단면(12)은, 본체(11)의 일 면(구체적으로는, 반송될 부재에 대향하는 면)(이하, 본체(11)의 면은 "저면"이라고 한다.)에 평탄상으로 형성된다. 오목부(13)는, 단면(12)에 형성되는 기둥 형상의 바닥이 있는 구멍이다. 이 오목부(13)는, 본체(11)와 동일한 축에 형성된다. 2개의 분출구(14)는, 오목부(13)에 면하는 본체(11)의 내주 측면(111)에 형성된다. 이러한 분출구(14)는, 내주 측면(111)의 축 방향 중앙에 대하여 단면(12) 근방에 배치된다. 또, 이러한 분출구(14)는, 서로 대향하도록 배치된다. 구체적으로는, 분출구(14)는 본체(11) 또는 오목부(13)의 중심축의 축심을 중심으로 점대칭에 배치된다. 선회류-형성체(1)에 공급된 유체는, 각 분출구(14)를 통해 오목부(13) 내에 토출된다. 오목부(13) 내에 토출되는 유체란, 예를 들면, 압축 공기 등의 기체나, 순수나 탄산수 등의 액체이다. 경사면(15)은, 본체(11)의 개구 단부에 형성된다.

8개의 안내 홈(16)은, 단면(12)의 내주 에지로부터 외주 에지에 걸쳐, 오목부(13) 내에 토출된 유체가 오목부(13)로부터 유출할 방향(구체적으로는, 유체가 오목부(13)로부터 유출할 방향이란 분출구(14)로부터 토출되어 오목부(13)로부터 유출하는 유체 분자들의 벡터의 합성에 의해 나타내질 방향)을 따라서 직선으로 형성된다. 보다 구체적으로는, 이러한 안내 홈(16)은, 단면(12)을 향해 볼 때, 그 안내 홈(16)과 오목부(13)의 개구 에지와의 접점을 지나는 접선에 대해 대략 36도의 각도를 이루는 방향을 따라서 형성된다. 예를 들면, 도 5에 나타나는 저면의 일례에 있어서, 안내 홈(16A)은, 당해 안내 홈(16A)과 오목부(13)의 개구 에지와의 접점(P1)을 지나는 접선(L1)에 대해서 36도의 각도를 이루는 방향을 따라서 형성된다. 8개의 안내 홈(16) 중에, 2개의 안내 홈(16)은, 단면(12)을 향해 볼 때, 후술 하는 공급로(20)가 연장하는 방향에 대해서 대략 45도의 각도를 이루는 방향에 따라서 형성된다. 그리고, 나머지의 6개의 안내 홈(16)은, 서로 인접한 안내 홈(16)이 연장하는 방향이 대략 45도의 각도를 이루도록 형성된다. 예를 들면, 도 5에 나타나는 저면의 예에 있어서, 안내 홈(16B)은, 공급로(20A)가 연장하는 방향(화살표 A1)에 대해서 45도의 각도를 이루는 방향(화살표 A2)을 따라서 형성된다. 또, 안내 홈(16C)은, 공급로(20B)가 연장하는 방향(화살표 A3)에 대해서 45도의 각도를 이루는 방향(화살표 A4)을 따라서 형성된다. 각 안내 홈(16)의 단면 형상은 반원형이다.

이상에서 설명한 것과 같이 구성되는 안내 홈(16)은, 오목부(13)의 개구로부터 유출하는 주된 유체 분자를 정류하면서 오목부(13)로부터 멀어지는 방향으로 안내한다. 안내 홈(16)에 의해 안내되는 유체 분자들은, 단면(12)을 따라서 흐르는 유체와 비교하여, 반송되는 부재와의 충돌을 피할 수 있다.

또한, 선회류-형성체(1)는, 공급구(17), 환상 통로(18), 연통로(19), 및 2개의 공급로(20)(본 발명에 따른 "유체류 형성 수단"의 일례)를 구비한다. 공급구(17)는, 원판 형상을 가지고, 본체(11)의 상면(즉, 저면과 반대측의 면)의 중앙에 마련된다. 이 공급구(17)는, 예를 들면 튜브를 통해 유체 공급 펌프(도시되지 않음)에 접속되고, 공급구(17)를 통해 본체(11) 내에 유체가 공급된다. 환상 통로(18)는, 통 형상을 가지고, 오목부(13)를 둘러싸도록 본체(11)의 내부에 형성된다. 이 환상 통로(18)는, 오목부(13)로 동일한 축에 형성된다. 환상 통로(18)는, 연통로(19)로부터 공급되는 유체를 공급로(20)에 공급한다. 연통로(19)는, 본체(11)의 저면 또는 상면의 반경 방향으로 직선으로 연장하도록 본체(11) 내부에 마련된다. 이 연통로(19)는, 그 양단부에 있어서 환상 통로(18)로 연통한다. 연통로(19)는, 공급구(17)를 통해 본체(11) 내에 공급되는 유체를 환상 통로(18)에 공급한다. 2개의 공급로(20)는, 단면(12)에 대해서 대략 평행하게 형성되고, 한편 오목부(13)의 외주에 대해서 접선 방향으로 연장되도록 형성된다. 이러한 공급로(20)는, 서로 평행하다. 각 공급로(20)는, 그 일단이 환상 통로(18)로 연통하고, 그 타단이 분출구(14)로 연통한다. 각 공급로(20)는, 오목부(13) 내에 유체의 선회류를 형성한다.

다음에서, 이상 설명한 선회류-형성체(1)의 흡인 동작에 대해 설명한다. 선회류-형성체(1)의 공급구(17)를 통해 유체 공급 펌프로부터 유체가 공급되면, 그 유체는, 연통로(19), 환상 통로(18), 및 공급로(20)를 통과하여 분출구(14)로부터 오목부(13) 내에 토출된다. 유체가 토출되면 오목부(13) 내에 선회류가 생성되고, 이어서 유체는 오목부(13)의 개구로부터 유출한다. 그 때, 오목부(13)의 개구에 대향하는 위치에 반송될 부재가 존재하는 경우, 오목부(13)로의 외부 유체의 유입이 제한되어, 선회류의 원심력과 엔트레인먼트 효과의 작용에 의해, 선회류 중심부의 단위 체적 당 유체 분자의 밀도가 감소하므로; 즉, 오목부(13) 내에 부압이 발생한다. 그 결과, 선회류-형성체(1)를 둘러싸는 유체는, 오목부(13) 내로의 유입을 개시하고, 부재는 주변 유체에 의해서 압력이 작용하여 선회류-형성체(1)를 향해 끌어들일 수 있다. 한편, 오목부(13)의 개구로부터 유출하는 주된 유체 분자들은, 안내 홈(16)에 의해 정류되고, 선회류-형성체(1)의 밖으로 배출된다.

선회류-형성체(1)에 따르면, 오목부(13)로부터 유출하는 주된 유체 분자들은 안내 홈(16)에 의해 정류되어 배출되기 위해, 유체 분자들이 부재와 충돌하는 것을 방지한다. 그 결과, 부재의 기복 및 회전이 억제되며, 유체 분자들과 부재의 충돌에 기인하는 소음이 경감된다. 또, 선회류-형성체와 방해판 사이에 스페이서를 삽입하는 것으로 유출 유체의 유로를 확보하는 종래의 흡인 장치(예를 들면, 일본국 특허 공개 2016-159405호 공보)와 비교하여, 선회류-형성체(1)는 부품 수가 감소되어 선회류-형성체(1)를 염가로 제조하는 것이 가능하게 된다. 또, 방해판에 의해 유로가 차폐되는 종래의 흡인 장치와 비교하여, 선회류-형성체(1)는 유로의 청소를 용이하게 한다.

상기의 선회류-형성체(1)에 따르면, 선회류-형성체(1)에 의해 흡인된 유체는 모두 선회류-형성체(1)의 밖으로 배출되어 오목부(13)나 분출구(14)에 침입하는 것이 없기 때문에, 이에 의해 부재에 의해 유체의 공급로가 오염되는 것이 방지된다.

2. 제2 실시 형태

제2 실시 형태와 관련되는 선회류-형성체(2)(본 발명과 관련되는 "흡인 장치"의 일례)는, 단면(12) 및 경사면(15)을 대신해 환상 벽(21)을 구비하고, 이 환상 벽(21)에 8개의 안내 홈(22)이 형성되고 있는 점에 있어서, 제1 실시 형태와 관련되는 선회류-형성체(1)와 상이하다. 이하에서, 이러한 차이점에 대해 설명한다.

도 6은 선회류-형성체(2)의 일례의 사시도이다. 도 7은 선회류-형성체(2)의 일례의 저면도이다. 이러한 도에 나타나는 환상 벽(21)은, 사다리꼴의 단면 형상을 가진다. 환상 벽(21)은 일 단면의 외경이 본체(11)의 지름과 동일해지고, 한편 일 단면의 내경이 오목부(13)의 지름과 동일해지도록 형성된다. 또한, 타 단면의 외경이 일 단면의 외경보다 작고, 한편 타 단면의 내경이 일 단면의 내경보다 커지도록 형성된다. 바꾸어 말하면, 환상 벽(21)은, 일단으로부터 타단에 걸쳐 환상 벽(21)의 두께(또는 개구 영역)가 연속적으로 작아지도록 형성된다. 이와 같이 형성된 환상 벽(21)은, 오목부(13)를 둘러싸도록, 환상 벽(21)의 일 단면이 본체(11)와 동일한 축에서 본체(11)에 고정된다.

이상에서 설명한 것처럼 구성되는 환상 벽(21)은, 오목부(13) 내에서 발생하는 부압에 의해 흡인되는 부재와 접촉하는 것으로, 당해 부재의 오목부(13)로의 침입을 저해한다. 또한, 환상 벽(21)은, 그 일부가 환상 벽(21)의 개구에 함입한 부재의 반경 방향으로의 이동을 제한한다.

8개의 안내 홈(22)은, 환상 벽(21)의 일단으로부터 타단에 걸치고, 오목부(13) 내에 토출된 유체가 오목부(13)로부터 유출할 방향(구체적으로는, 유체가 오목부(13)로부터 유출할 방향은 분출구(14)로부터 토출되어 오목부(13)로부터 유출하는 유체 분자들의 벡터의 합성에 의해 나타내질 방향)에 따라서 직선 모양으로 형성된다. 보다 구체적으로는, 형성된 안내 홈(22)은, 환상 벽(21)의 타단면을 향해 볼 때, 그 안내 홈(22)과 오목부(13)의 개구 에지와의 접점을 지나는 접선에 대해서 대략 20도의 각도를 이루는 방향을 따라서 형성된다. 예를 들면, 도 8에 나타나는 저면의 예에 있어서, 안내 홈(22A)은, 당해 안내 홈(22A)과 오목부(13)의 개구 에지와의 접점 P2를 지나는 접선 L2에 대해서 20도의 각도를 이루는 방향을 따라서 형성된다. 8개의 안내 홈(22) 중에, 2개의 안내 홈(22)은, 환상 벽(21)의 타단을 향해 볼 때, 공급로(20)가 연장하는 방향에 대해서 대략 45도의 각도를 이루는 방향을 따라서 형성된다. 그리고, 나머지의 6개의 안내 홈(22)은, 서로 인접한 안내 홈(22)이 연장하는 방향이 대략 45도의 각도를 이루도록 형성된다. 예를 들면, 도 8에 나타나는 저면의 예에 있어서, 안내 홈(22B)은, 공급로(20A)가 연장할 방향(화살표 A1)에 대해서 45도의 각도를 이루는 방향(화살표 A4)을 따라서 형성된다. 또, 안내 홈(22C)은, 공급로(20B)가 연장할 방향(화살표 A3)에 대해서 45도의 각도를 이루는 방향(화살표 A5)을 따라서 형성된다. 각 안내 홈(22)의 단면 형상은 반원형이다.

이상에서 설명한 것처럼 구성되는 안내 홈(22)은, 오목부(13)의 개구로부터 유출하는 주된 유체 분자들을 정류하면서 오목부(13)로부터 멀어질 방향으로 안내한다. 안내 홈(22)에 의해 안내되는 유체 분자들은, 환상 벽(21)의 내벽면을 따라서 흐르는 유체 분자들과 비교하여, 반송되는 부재와의 충돌을 피할 수 있다.

선회류-형성체(2)에 따르면, 그 흡인 동작 시에 있어서, 오목부(13)의 개구로부터 유출하는 주된 유체 분자들이 안내 홈(22)에 의해 정류되고, 선회류-형성체(2)의 밖으로 배출된다. 따라서, 이 선회류-형성체(2)도, 제1 실시 형태에 따른 선회류-형성체(1)와 같은 효과를 얻을 수 있다.

3. 제3 실시 형태

제3 실시 형태와 관련되는 방사류-형성체(3)(본 발명에 따른 "흡인 장치"의 일례)는, 방사류를 형성해 베르누이 정리에 의해 부재를 흡인하는 점에 있어서 제1 실시 형태에 따른 선회류-형성체(1)와 상이하다. 이하에서, 이러한 차이점에 대해 설명한다.

도 9는 방사류-형성체(3)의 일례의 사시도이다. 도 10은 방사류-형성체(3)의 일례의 저면도이다. 도 11은 도 10에 도시된 선 C-C를 따른 방사류-형성체(3)의 단면도이다. 이러한 도에 나타나는 방사류-형성체(3)는, 본체(31), 환상 오목부(32), 단면(33), 대향면(34), 경사면(35), 및 8개의 안내 홈(36)을 구비한다. 본체(31)는, 알루미늄 합금 등의 재료로부터 만들어지며, 통 형상을 가진다. 단면(33)은, 본체(31)의 일면(구체적으로는, 반송될 부재를 다루는 면)(이하, 본체(31)의 일면을 "저면"이라고 한다.)에 평탄상에 형성된다. 환상 오목부(32)는, 본체(31)의 외주와 동심원장에, 단면(33)에 형성된다. 대향면(34)은, 본체(31)의 저면에 평탄상에 형성된다. 그 때, 대향면(34)은, 단면(33)에 대해서 오목하게 형성된다. 이 대향면(34)은, 환상 오목부(32)에 둘러싸여 반송될 부재와 대향한다. 경사면(35)은, 환상 오목부(32)의 개구 단부에 형성된다.

8개의 안내 홈(36)은, 단면(33)의 내주 에지로부터 외주 에지로 걸치고, 환상 오목부(32) 내에 토출된 유체가 환상 오목부(32)로부터 유출할 방향(구체적으로는, 유체가 환상 오목부(32)로부터 유출할 방향은 후술하는 노즐 구멍(37)으로부터 토출되어 환상 오목부(32)로부터 유출하는 유체 분자들의 벡터의 합성에 의해 나타내질 방향)을 따라서 직선 형상으로 형성된다. 보다 구체적으로는, 이러한 안내 홈(36)은, 단면(33)을 향해 볼 때, 그 안내 홈(36)과 환상 오목부(32)의 개구 에지 사이의 접점을 지나는 접선에 대해서 대략 90도의 각도를 이루는 방향을 따라서 형성된다. 예를 들면, 도 12에 나타나는 저면의 예에 있어서, 안내 홈(36A)은, 당해 안내 홈(36A)과 환상 오목부(32)의 개구 에지 사이의 접점 P3를 지나는 접선 L3에 대해서 90도의 각도를 이루는 방향을 따라서 형성된다. 또, 이러한 안내 홈(36)은, 단면(33)을 향해 볼 때, 후술하는 노즐 구멍(37)이 연장하는 방향에 대해서 대략 평행한 방향에 따라서(보다 구체적으로는, 직선 상에) 형성된다. 예를 들면, 도 12에 나타나는 저면의 예에 있어서, 안내 홈(36B)은, 노즐 구멍(37A)이 연장할 방향(화살표 A6)을 따라서 형성된다.

이상에서 설명한 것처럼 구성되는 안내 홈(36)은, 환상 오목부(32)의 개구로부터 유출하는 주된 유체 분자들을 정류하면서 환상 오목부(32)로부터 멀어지는 방향으로 안내한다. 안내 홈(36)에 의해 안내되는 유체 분자들은, 단면(33)을 따라서 흐르는 유체 분자들과 비교하여, 반송될 부재와의 충돌을 피할 수 있다.

또한, 방사류-형성체(3)는, 8개의 노즐 구멍(37)(본 발명에 따른 "유체류 형성 수단"의 일례)과 도입구(38), 도입로(39), 환상 통로(40), 및 연통로(41)를 더 구비한다. 도입구(38)는, 원 형상을 가지고, 본체(31)의 상면(즉, 저면과 반대의 면)의 중앙에 마련된다. 이 도입구(38)는, 예를 들면 튜브를 통해, 유체 공급 펌프(도시되지 않음)와 접속된다. 도입로(39)는, 본체(31)의 중심 축을 따라서 직선 모양으로 연장하도록 본체(31)의 내부에 마련된다. 이 도입로(39)는, 그 일단에서 도입구(38)로 연통하고, 그 타단이 연통로(41)로 연통한다. 도입로(39)는, 도입구(38)를 통해 본체(31) 내에 공급되는 유체를 연통로(41)에 공급한다.

연통로(41)는, 환상 통로(40)의 반경 방향으로 직선으로 연장되도록 본체(31)의 내부에 마련된다. 이 연통로(41)는, 그 축 방향 중앙부에 있어서 도입로(39)로 연통해, 그 양단부에 있어서 환상 통로(40)로 연통한다. 연통로(41)는, 도입로(39)로부터 공급되는 유체를 환상 통로(40)로 공급한다. 환상 통로(40)는, 통 형상을 가지며, 본체(31)의 내부에 마련된다. 이 환상 통로(40)는, 본체(31)로서 동일한 축에 형성된다. 환상 통로(40)는, 연통로(41)로부터 공급되는 유체를 노즐 구멍(37)에 공급한다.

8개의 노즐 구멍(37)은, 각각, 단면(33) 또는 대향면(34)에 대해서 대략 평행하고, 한편 본체(31)의 저면 또는 상면의 반경 방향으로 직선으로 연장되도록 형성되어 그 일단은 환상 통로(40)로 연통하고, 타단은 환상 오목부(32)로 연통한다. 이러한 노즐 구멍(37)은, 서로 인접하는 2개의 노즐 구멍(37)이 대략 45도의 각도를 이루도록 동일 평면 상에 배치된다. 각 노즐 구멍(37)은, 환상 오목부(32) 내에 유체를 토출해 방사류를 형성한다.

다음에, 이상 설명한 방사류-형성체(3)의 흡인 동작에 대해 설명한다. 방사류-형성체(3)의 도입구(38)를 통해 유체가 공급되면, 그 유체는, 도입로(39), 연통로(41), 및 환상 통로(40)를 통과하여 노즐 구멍(37)으로부터 환상 오목부(32) 내에 토출된다. 환상 오목부(32)에 토출된 유체는, 환상 오목부(32)의 개구로부터 방사류로 유출한다. 그 때, 환상 오목부(32)의 개구에 대향하는 위치에 반송될 부재가 존재하는 경우, 방사류-형성체(3)와 부재 사이의 공간으로의 외부 유체의 유입이 제한되어 방사류의 엔트레인먼트 효과에 의해, 당해 공간의 단위 체적 당 유체 분자의 밀도가 작아져서, 부압이 발생한다. 그 결과, 부재는 주변 유체에 의해서 압력이 작용하여 방사류-형성체(3)를 향해 끌어들일 수 있다. 한편, 환상 오목부(32)의 개구로부터 유출하는 주된 유체 분자들은, 안내 홈(36)에 의해 정류되고, 방사류-형성체(3)의 밖으로 배출된다.

방사류-형성체(3)에 따르면, 환상 오목부(32)로부터 유출하는 주된 유체 분자들은 안내 홈(36)에 의해 정류되어 배출되기 위해, 유체 분자들이 부재와 충돌하는 것을 방지한다. 그 결과, 부재의 기복 및 회전이 억제되며, 유체 분자들과 부재 사이의 충돌에 기인하는 소음이 경감된다. 방사류-형성체(3)는 상술한 종래의 흡인 장치와 비교하여 부품 수가 감소되므로; 방사류-형성체(3)를 보다 염가로 제조하는 것이 가능하게 된다. 또, 방해판에 의해 유로가 차폐되는 종래의 흡인 장치와 비교하여, 방사류-형성체(3)의 유로의 청소가 용이하게 된다.

방사류-형성체(3)에 따르면, 방사류-형성체(3)에 의해 흡인된 유체는 모두 방사류-형성체(3)의 밖으로 배출되어, 환상 오목부(32)나 노즐 구멍(37)에 침입하지 않기 때문에, 부재에 의해 유체의 공급로가 오염되는 것이 방지된다.

4. 제4 실시 형태

제4 실시 형태에 따른 방사류-형성체(4)(본 발명에 따른 "흡인 장치"의 일례)는, 방사류-형성체(4)가 단면(33)을 대신해 환상 벽(42)을 구비하고, 이 환상 벽(42)에 8개의 안내 홈(43)이 형성되어 있는 점에 있어서 제3 실시 형태에 따른 방사류-형성체(3)와 상이하다. 이하에서, 이러한 차이점에 대해 설명한다.

도 13은 방사류-형성체(4)의 일례의 사시도이다. 도 14는 방사류-형성체(4)의 일례의 저면도이다. 이러한 도에 나타나는 환상 벽(42)은, 사다리꼴의 단면 형상을 가진다. 환상 벽(42)은 일 단면의 외경이 본체(31)의 지름과 동일해지고, 한편 일 단면의 내경이 환상 오목부(32)의 외경과 동일해지도록 형성된다. 또한, 타 단면의 외경이 일 단면의 외경보다 작고, 한편 타 단면의 내경이 일 단면의 내경 보다 커지도록 형성된다. 바꾸어 말하면, 환상 벽(42)은, 일단으로부터 타단에 걸쳐 환상 벽(42)의 두께(또는 개구 영역)가 연속적으로 작아지도록 형성된다. 이와 같이 형성된 환상 벽(42)은, 환상 오목부(32)를 둘러싸도록, 환상 벽(42)의 일 단면이 본체(31)와 동일한 축에서 본체(31)에 고정된다.

이상에서 설명한 것처럼 구성되는 환상 벽(42)은, 본체(31)에 의해 발생하는 부압에 의해 흡인되는 부재와 접촉하는 것으로, 당해 부재가 환상 오목부(32)로의 침입하는 것을 저해한다. 또한, 환상 벽(42)은, 그 일부가 환상 벽(42)의 개구에 함입한 부재의 반경 방향으로의 이동을 제한한다.

8개의 안내 홈(43)은, 환상 벽(42)의 일단으로부터 타단에 걸치고, 환상 오목부(32) 내에 토출된 유체가 환상 오목부(32)로부터 유출할 방향(구체적으로는, 유체가 환상 오목부(32)로부터 유출할 방향은 노즐 구멍(37)으로부터 토출되어 환상 오목부(32)로부터 유출하는 유체 분자들의 벡터의 합성에 의해 나타내질 방향)에 따라서 직선 모양으로 형성된다. 보다 구체적으로는, 형성된 안내 홈(43)은, 환상 벽(42)의 타단을 향해 볼 때, 그 안내 홈(43)과 환상 오목부(32)의 개구 에지와의 접점을 지나는 접선에 대해서 대략 90도의 각도를 이루는 방향을 따라서 형성된다. 예를 들면, 도 15에 나타나는 저면의 예에 있어서, 안내 홈(43A)은, 당해 안내 홈(43A)과 환상 오목부(32)의 개구 에지 사이의 접점 P4를 지나는 접선 L4에 대해서 90도의 각도를 이루는 방향을 따라서 형성된다. 또, 이러한 안내 홈(43)의 방향은, 환상 벽(42)의 타단을 향해 볼 때, 노즐 구멍(37)이 연장할 방향에 대해서 대략 평행한 방향에 따라서(보다 구체적으로는, 직선상에) 형성된다. 예를 들면, 도 15에 나타나는 저면의 예에 있어서, 안내 홈(43B)은, 노즐 구멍(37A)이 연장할 방향(화살표 A6)을 따라서 형성된다.

이상에서 설명한 것처럼 구성되는 안내 홈(43)은, 환상 오목부(32)의 개구로부터 유출하는 주된 유체 분자들을 정류하면서 환상 오목부(32)로부터 멀어질 방향으로 안내한다. 안내 홈(43)에 의해 안내되는 유체 분자들은, 환상 오목부(32)의 내벽면을 따라서 흐르는 유체 분자들과 비교하여, 반송되는 부재와의 충돌을 피할 수 있다.

방사류-형성체(4)에 따르면, 그 흡인 동작 시에 있어서, 환상 오목부(32)의 개구로부터 유출하는 주된 유체 분자들이 안내 홈(43)에 의해 정류되고, 방사류-형성체(4)의 밖으로 배출된다. 따라서, 이 방사류-형성체(4)도, 제3 실시 형태에 따른 방사류-형성체(3)와 같은 효과를 얻을 수 있다.

5. 변형예

상기의 각 실시 형태는, 이하와 같이 변형해도 된다. 또한, 이하의 변형예는 서로 조합해도 된다.

5-1. 변형예 1

제1 실시 형태에 따른 선회류-형성체(1)의 본체(11) 및 오목부(13)의 형상은, 통 형상에 한정되지 않고, 각주나 타원 기둥 형상이어도 된다. 또, 오목부(13)에 접하는 본체(11)의 내주 측면(111)은, 개구를 향해 오목부(13)의 지름이 확대하도록 테이퍼가 형성되어도 된다. 또, 오목부(13) 내에는, 볼록부의 외주 측면과 본체(11)의 내주 측면(111)과의 사이에 유체 유로를 형성하도록 볼록부가 마련될 수 있다(예를 들면, 일본국 특허공개 2016-159405호 공보의 도 13 참조). 또, 선회류-형성체(1)에 마련되는 분출구(14) 및 공급로(20)의 수는, 2개에 한정되지 않고, 그보다 적거나 그보다 많을 수 있다. 분출구(14)는 내주 측면(111)의 축 방향에서 상측, 중앙 또는 하측에 배치될 수 있다. 또, 경사면(15)의 형성은 생략되어도 된다. 또, 공급구(17)의 형상은, 원 형태에 한정되지 않고, 직사각형이나 타원이어도 된다. 또, 공급구(17)는, 상면 대신에 본체(11)의 측면에 형성될 수 있다. 2개의 공급로(20)는, 반드시 서로 평행할 필요는 없다.

제1 실시 형태에 따르는 선회류-형성체(1)에 있어서, 본체(11) 내에 형성되는 유체 통로를 대신하고, 선회류를 형성해 베르누이 정리에 의해 부재를 흡인하는 전동 팬(예를 들면, 일본국 특허공개 2011-138948호 공보 참조)을 채용해도 된다. 이 전동 팬은, 본 발명에 따른 "유체류 형성 수단"의 일례이다.

제3 실시 형태에 따른 방사류-형성체(3)의 본체(31)의 형상은, 통 형상에 한정되지 않고, 각주나 타원 기둥 형상이어도 된다. 또, 방사류-형성체(3)에 마련되는 노즐 구멍(37)의 수는, 8개에 한정되지 않고, 그보다 적거나 그보다 많을 수 있다. 또, 도입구(38)의 형상은, 원 형태에 한정되지 않고, 직사각형이나 타원이어도 된다. 또, 도입구(38)는, 상면 대신에 본체(31)의 측면에 형성될 수 있다.

제2 실시 형태에 따른 환상 벽(21)으로 상기의 제4 실시 형태에 따른 환상 벽(42)의 단면 형상은, 사다리꼴에 한정되지 않고, 반원형이나 삼각형이어도 된다. 또, 환상 벽(21)과 본체(11)는 일체로 형성될 수 있고, 환상 벽(42)과 본체(31)는 일체로 형성될 수 있다.

5-2. 변형예 2

도 16 내지 도 21은, 제1 실시 형태에 따른 안내 홈(16)의 변형예를 나타나는 도이다. 도 16 및 도 17에 나타나는 안내 홈(51)은, 그 안내 홈(51)의 단면 형상이 직사각형인 점에 있어서 안내 홈(16)과는 상이하다. 또한, 안내 홈(51)의 단면 형상은, V 형상이나 반-타원 형상이어도 된다. 도 18 및 도 19에 나타나는 안내 홈(52)은, 그 안내 홈(52)의 단면 형상이 직사각형이고, 한편 그 안내 홈(52)의 단면적이 오목부(13)로부터 거리에 비례하여 확대하도록 형성되고 있는 점에 있어서 안내 홈(16)과는 상이하다. 또한, 안내 홈(52)은, 그 폭이 오목부(13)로부터 거리에 비례하여 확대하고/거나, 그 깊이가 오목부(13)로부터 거리에 비례하여 확대할 수 있다. 도 20 및 도 21에 나타나는 안내 홈(53)은, 그 안내 홈(53)의 단면 형상이 직사각형이고, 한편 그 안내 홈(53)의 단면적이 오목부(13)로부터 거리에 비례하여 축소하도록 형성되고 있는 점에 있어서 안내 홈(16)과는 상이하다. 또한, 안내 홈(53)은, 그 폭이 오목부(13)로부터 거리에 비례하여 축소되고/거나, 그 깊이가 오목부(13)로부터 거리에 비례하여 축소될 수 있다.

또한, 상기의 안내 홈(16)에 대한 각 변형은, 제2 실시 형태에 따른 안내 홈(22)에 적용해도 된다.

도 22 내지 도 27은, 제3 실시 형태에 따른 안내 홈(36)의 변형예를 나타내는 도이다. 도 22 및 도 23에 나타내는 안내 홈(61)은, 그 안내 홈(61)의 단면 형상이 직사각형인 점에 있어서 안내 홈(36)과는 상이하다. 또한, 안내 홈(61)의 단면 형상은, V 형상이나 반-타원 형상이어도 된다. 도 24 및 도 25에 나타나는 안내 홈(62)은, 그 안내 홈(62)의 단면 형상이 직사각형이고, 한편 그 안내 홈(62)의 단면적이 환상 오목부(32)로부터 거리에 비례하여 확대하도록 형성되고 있는 점에 있어서 안내 홈(36)과는 상이하다. 또한, 안내 홈(62)은, 그 폭이 환상 오목부(32)로부터 거리에 비례하여 확대하고/거나, 그 깊이가 환상 오목부(32)로부터 거리에 비례하여 확대될 수 있다. 도 26 및 도 27에 나타나는 안내 홈(63)은, 그 안내 홈(63)의 단면 형상이 직사각형이고, 한편 그 안내 홈(63)의 단면적이 환상 오목부(32)로부터 거리에 비례하여 축소하도록 형성되고 있는 점에 있어서 안내 홈(36)과는 상이하다. 또한, 안내 홈(63)은, 그 폭이 환상 오목부(32)로부터 거리에 비례하여 축소되고/거나, 그 깊이가 환상 오목부(32)로부터 거리에 비례하여 축소될 수 있다.

또한, 상기의 안내 홈(36)에 대한 각 변형은, 제4 실시 형태와 따른 안내 홈(43)에 적용해도 된다.

상기의 각 실시 형태에 따른 안내 홈의 개수는, 8개에 한정되지 않고, 그보다 적거나 그보다 많을 수 있다. 또, 각 안내 홈의 폭과 깊이는, 도시된 예보다 클 수도 있다. 예를 들면, 제1 실시 형태에 따른 단면(12)을, 도 28에 예시하도록, 측면도에서 파형 형상의 면이라고 해도 된다. 또, 안내 홈의 배치 방법은 상기의 예에 한정되지 않는다. 안내 홈의 최적인 개수, 치수 및 배치는, 오목부로부터 유출하는 유체의 유량에 따라 정해진다.

또, 상기의 각 실시 형태에 따른 안내 홈은, 반드시 직선 모양에 한정되지 않고, 다소 만곡하고 있어도 된다. 구체적으로는, 본체의 단면 또는 오목부를 향해 볼 때, 오목부의 개구 에지의 원호 또는 본체의 외주의 원호보다 곡률이 작은 안내 홈일 수 있다. 예를 들면, 오목부의 개구 에지의 원호 또는 본체의 외주의 원호의 절반인 곡률의 안내 홈일 수 있다. 만일 본체가 각주 형상을 가지는 경우에는, 본체의 단면 또는 오목부로 향해 볼 때, 본체의 외측의 정점을 지나는 외접원의 원호보다 곡률이 작은 안내 홈일 수 있다.

5-3. 변형예 3

제1 실시 형태에 따른 선회류-형성체(1)의 단면(12)에, 반송될 부재의 가로 방향 변위를 방지하기 위한 돌기(71)(상기 돌기(71)는 본 발명에 따른 "이동 제한 수단"의 일례)를 마련해도 된다. 도 29는, 선회류-형성체(1A)(본 발명에 따른 "흡인 장치"의 일례)의 일례의 사시도를 나타낸다. 도 30은, 선회류-형성체(1A)의 일례의 저면도이다. 이러한 도에 나타나는 4개의 돌기(71)는, 선단이 날카로운 통 형상을 가지며, 돌기(71)가 단면(12)으로부터 대략 수직으로 연장하도록, 단면(12)에 장착된다. 각 돌기(71)는, 부압에 의해 흡인된 부재를 둘러싸도록 배치된다. 도면에서 나타난 돌기(71)는, 단면(12)의 반경 방향 중앙에, 동일한 간격으로 배치되어 있다. 이와 같이 구성되는 돌기(71)는, 고속 반송 시에, 부압에 의해서 흡인된 부재가 단면(12)을 따라서 이동하는 것을 제한한다.

또한, 돌기(71)의 형상은, 선단이 날카로운 각주 형상이나 원뿔 또는 각뿔 형상이어도 된다. 또한, 돌기(71)의 개수는, 3개 이하이거나 5개 이상이어도 된다. 또, 돌기(71)는, 단면(12)의 반경 방향으로 외부 에지 또는 내부 에지에 배치될 수 있다. 또한, 돌기(71)는, 부압에 의해 흡인된 부재에 꽂혀서 배치될 수 있다.

돌기(71)는, 제3 실시 형태에 따른 방사류-형성체(3)의 단면(33)에 장착되어도 된다.

5-4. 변형예 4

도 31은, 변형예 3에 따른 선회류-형성체(1A)의 변형예인 선회류-형성체(1B)의 일례의 측면도이다. 상기 도에서 나타나는 선회류-형성체(1B)는, 8개의 안내 홈(16)을 가지지 않고, 또한 선회류-형성체(1B)는 돌기(71)가 스페이서(81)를 통해 단면(12)에 장착되는 것을 구비하고 있는 점에 있어서, 선회류-형성체(1A)와는 상이하다. 이 선회류-형성체(1B)가 구비하는 4개의 스페이서(81)는, 돌기(71)보다 큰 직경의 통 형상을 가지며, 돌기(71)와 동일한 축에서 단면(12)에 장착된다. 또한, 변형예로서 스페이서(81)의 형상은 각주 형상이어도 된다. 이러한 스페이서(81)는, 선회류-형성체(1B)가 부재를 반송할 때, 돌기(71)에 꽂힌 부재(예를 들면, 일식-튀김 요리)의 표면과 접촉하여, 당해 부재가 단면(12)과 접촉하는 것을 방지하는 것으로, 당해 부재와 단면(12)과의 사이에서 간격을 유지한다. 이러한 간격은, 오목부(13)의 개구로부터 유출되는 주된 유체 분자의 유출을 가능하게 하여, 유출 유체와 부재의 충돌이 경감된다. 이러한 이유로, 이 선회류-형성체(1B)에 의해서, 제1 실시 형태에 따른 선회류-형성체(1)와 동일한 효과를 얻을 수 있다.

5-5. 변형예 5

제1 실시 형태에 따른 선회류-형성체(1)의 단면(12)에, 반송된 부재를 유지하기 위한 통체(91)를 장착해도 된다. 도 32는, 통체(91)가 구비된 선회류-형성체(1C)(본 발명에 따른 "흡인 장치"의 일례)의 일례의 측면도이다. 상기 도에 나타나는 통체(91)는, 고무 등의 탄성 재료로부터 만들어지는 벨로스 형상의 통체이며, 선회류-형성체(1C)에 의해 흡인된 부재를 유지하기 위한 부재이다. 이 통체(91)는, 선회류-형성체(1C)가 발생시키는 부압에 의해 흡인되는 유체를 통과하면서, 오목부(13) 내로 반송된 부재의 침입을 저해하도록, 통체(91)의 일단이 단면(12)에 고정된다. 구체적으로, 통체(91)는 오목부(13)와 같은 축에 대하여 단면(12)에 고정된다. 통체(91)의 축소부의 내경은, 오목부(13)의 내경과 반송된 부재의 최대 지름보다 작으며, 통체(91)의 외단은, 반송된 부재를 향해 확경하고 있다. 이 통체(91)의 높이는, 유체 공급 펌프로부터 선회류-형성체(1C)에 대해서 공급되는 유체의 유량이나, 반송될 부재의 종류에 따라 설정된다. 또한, 통체(91)의 형상은, 통 형상에 한정되지 않고, 각통이나 타원통 형상 등이어도 된다.

선회류-형성체(1C)에 따르면, 통체(91)는 부재를 흡인함으로써 주위 유체의 선회류-형성체(1C) 내로의 유입을 제한하여, 부압 발생 영역으로부터 멀어진 위치에 존재하는 부재를 흡인할 수 있다. 또한, 통체(91)의 벨로스 형상은 반송될 부재의 형상에 따라 신축이 가능하므로, 따라서, 선회류-형성체(1C)와 반송될 부재 사이의 정렬 불량이 발생하는 경우에도, 통체(91)가 부재의 형상에 맞추어 변형하기 때문에, 선회류-형성체(1C)는 부재를 안정적으로 유지할 수 있다. 또한, 그 벨로스 형상으로 인해, 통체(91)는 반송된 부재가 접촉하는 것으로 생기는 반송된 부재의 손상을 억제할 수 있다. 또한, 통체(91)의 벨로스 형상으로 인해, 선회류-형성체(1C)와 반송된 부재와의 사이의 상하 방향의 클리어런스의 확보가 용이해진다. 바꾸어 말하면, 반송될 부재의 각각에 높이의 편차가 있었다고 해도, 통체(91)의 신축성이 당해 편차를 흡수한다.

또한, 상기의 통체(91)의 축소부의 내경을, 선회류-형성체(1C)의 오목부(13)의 내경의 1/2 이하 보다 작게 하여, 선회류-형성체(1C)는 더 작은 부재를 반송할 수 있다. 또한, 통체(91)는 반송된 부재를 유지하는 통체(91)의 일단에 형성되는 복수의 노치를 가질 수 있다. 노치의 형상은, 톱니 형상이나 반원, 반타원이나 직사각형 형상을 가질 수 있다. 또한, 선회류-형성체(1C)는 통체(91) 대신에, 단면(12)에 장착된 통체(91) 보다 작은 직경을 갖는 복수의 통체를 구비할 수 있고, 따라서 선회류-형성체(1C)가 복수의 부재를 동시에 반송할 수 있다. 또한, 통체(91)는, 벨로스 형상을 이외의 형상일 수 있다. 또한, 통체(91)은, 단면(12)에 대향하는 단부로부터, 반송된 부재와 대향하는 단부에 걸쳐 점차 축경시켜도 된다.

통체(91)는, 제3 실시 형태에 따른 방사류 형성체(3)의 단면(33)에 장착될 수 있다.

5-6. 변형예 6

상기의 각 실시 형태에 따른 선회류-형성체 또는 방사류-형성체는, 식품에 한정되지 않고, 반도체 웨이퍼나 유리 기판 등의 판상 또는 시트상의 부재를 흡인하고 유지하고, 반송하기 위해서 사용될 수 있다. 그 때, 부재의 사이즈에 따라서, 판상의 프레임에 복수의 선회류-형성체 또는 방사류-형성체를 장착하여 사용해도 된다(예를 들면, 일본국 특허공개 2016-159405호 공보의 도 10 및 11 참조).

1, 1A, 1B, 1C, 2... 선회류-형성체, 3, 4... 방사류-형성체, 11... 본체, 12... 단면, 13... 오목부, 14... 분출구, 15... 경사면, 16... 안내 홈, 17... 공급구, 18... 환상 통로, 19... 연통로, 20... 공급로, 21... 환상 벽, 22... 안내 홈, 31... 본체, 32... 환상 오목부, 33... 단면, 34... 대향면, 35... 경사면, 36... 안내 홈, 37... 노즐 구멍, 38... 도입구, 39... 도입로, 40... 환상 통로, 41... 연통로, 42... 환상 벽, 43, 51, 52, 53, 62, 63... 안내 홈, 71... 돌기, 81... 스페이서, 91... 통체, 111... 내주 측면

Claims

통 형상의 본체;
상기 본체에 형성되는 단면;
상기 단면에 형성되는 오목부;
상기 오목부 안에 유체를 토출해 상기 오목부 안에 유체의 선회류를 형성하거나 방사류를 형성하는 유체류 형성 수단으로서, 상기 유체의 선회류나 방사류는 부압을 발생시켜 부재를 흡인하는, 유체류 형성 수단; 및
상기 오목부 안에 토출된 유체가 상기 오목부로부터 유출하는 방향을 따라서 상기 단면에 형성되는 직선형 안내 홈을 구비하는, 흡인 장치.
청구항 1에 있어서,
상기 유체류 형성 수단은 상기 오목부 안에 유체를 토출해 유체의 선회류를 형성하는 유체 통로이며;
상기 안내 홈은, 상기 단면을 향해 볼 때, 상기 유체 통로가 연장하는 방향에 대해 45도의 각도를 이루는 방향을 따라서, 상기 단면에 형성되는, 흡인 장치.
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
상기 유체류 형성 수단은 상기 오목부 안에 유체를 토출해 방사류를 형성하는 유체 통로이며;
상기 안내 홈은, 상기 단면을 향해 볼 때, 상기 유체 통로가 연장하는 방향에 대해 평행한 방향을 따라서, 상기 단면에 형성되는, 흡인 장치.
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
상기 안내 홈은, 상기 안내 홈의 단면적이 상기 오목부로부터의 거리에 비례하여 확대하도록 형성되는, 흡인 장치.
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
상기 안내 홈은, 상기 안내 홈의 단면적이 상기 오목부로부터의 거리에 비례하여 축소하도록 형성되는, 흡인 장치.
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
상기 단면 상에 마련되며 상기 부압에 의해 흡인되는 상기 부재의 상기 단면을 따라서 이동하는 것을 제한하는 이동 제한 수단을 더 포함하는, 흡인 장치.
청구항 6에 있어서,
상기 이동 제한 수단은, 뿔-형상의 돌기물이며, 상기 부재에 꽂혀서 상기 부재의 이동을 제한하는, 흡인 장치.
기둥 형상의 본체;
상기 본체에 형성되는 단면;
상기 단면에 형성되는 오목부;
상기 오목부 안에 유체를 토출해 상기 오목부 안에 유체의 선회류를 형성하거나 방사류를 형성하는 유체류 형성 수단으로서, 상기 유체의 선회류나 방사류는 부압을 발생시켜 부재를 흡인하는, 유체류 형성 수단; 및
상기 오목부 안에 토출된 유체가 상기 오목부로부터 유출하는 방향을 따라서 상기 단면에 형성되는 직선형 안내 홈으로서, 상기 안내 홈은 단면을 향해 볼 때, 상기 오목부의 개구 에지의 원호보다 곡률이 작은 직선형 안내 홈을 구비하는, 흡인 장치.
기둥 형상의 본체;
상기 본체의 일 면에 형성되는 오목부;
상기 오목부 안에 유체를 토출해 상기 오목부 안에 유체의 선회류를 형성하거나 방사류를 형성하는 유체류 형성 수단으로서, 상기 유체의 선회류나 방사류는 부압을 발생시켜 부재를 흡인하는, 유체류 형성 수단;
상기 오목부를 둘러싸도록 마련되며, 상기 오목부로의 상기 부재의 침입을 저해하는 환상 벽; 및
상기 오목부 안에 토출된 유체가 상기 오목부로부터 유출하는 방향을 따라서 상기 환상 벽의 내벽면에 형성되는 직선형 안내 홈을 구비하는, 흡인 장치.
기둥 형상의 본체;
상기 본체의 일 면에 형성되는 오목부;
상기 오목부 안에 유체를 토출해 상기 오목부 안에 유체의 선회류를 형성하거나 방사류를 형성하는 유체류 형성 수단으로서, 상기 유체의 선회류나 방사류는 부압을 발생시켜 부재를 흡인하는, 유체류 형성 수단;
상기 오목부를 둘러싸도록 마련되며, 상기 오목부로의 상기 부재의 침입을 저해하는 환상 벽; 및
상기 오목부 안에 토출된 유체가 상기 오목부로부터 유출하는 방향을 따라서 상기 환상 벽의 내벽면에 형성되는 직선형 안내 홈으로서, 상기 안내 홈은 오목부의 개구 에지를 향해 볼 때, 상기 오목부의 개구 에지의 원호보다 곡률이 작은 직선형 안내 홈을 구비하는, 흡인 장치.