KR102329364B1 - 탄성파 필터 장치, 복합 필터 장치 및 멀티플렉서 - Google Patents
탄성파 필터 장치, 복합 필터 장치 및 멀티플렉서 Download PDFInfo
- Publication number
- KR102329364B1 KR102329364B1 KR1020197035025A KR20197035025A KR102329364B1 KR 102329364 B1 KR102329364 B1 KR 102329364B1 KR 1020197035025 A KR1020197035025 A KR 1020197035025A KR 20197035025 A KR20197035025 A KR 20197035025A KR 102329364 B1 KR102329364 B1 KR 102329364B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- acoustic wave
- wave filter
- parallel arm
- filter device
- parallel
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/70—Multiple-port networks for connecting several sources or loads, working on different frequencies or frequency bands, to a common load or source
- H03H9/72—Networks using surface acoustic waves
- H03H9/725—Duplexers
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/64—Filters using surface acoustic waves
- H03H9/6423—Means for obtaining a particular transfer characteristic
- H03H9/6433—Coupled resonator filters
- H03H9/6483—Ladder SAW filters
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/64—Filters using surface acoustic waves
- H03H9/6489—Compensation of undesirable effects
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02637—Details concerning reflective or coupling arrays
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
- H03H9/14544—Transducers of particular shape or position
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/25—Constructional features of resonators using surface acoustic waves
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/64—Filters using surface acoustic waves
- H03H9/6423—Means for obtaining a particular transfer characteristic
- H03H9/6433—Coupled resonator filters
- H03H9/6436—Coupled resonator filters having one acoustic track only
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/70—Multiple-port networks for connecting several sources or loads, working on different frequencies or frequency bands, to a common load or source
- H03H9/72—Networks using surface acoustic waves
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
통과 대역 밖의 감쇠역에서 특정 주파수대의 감쇠 특성을 개선할 수 있는 탄성파 필터 장치를 제공한다.
입력 단자(2)와 출력 단자(3)를 잇는 직렬암에 종결합 공진자형 탄성파 필터(11)가 배치되어 있고, 직렬암과 그라운드 전위를 잇는 제1, 제2 병렬암에 제1, 제2 병렬암 공진자(P1, P2)가 각각 배치되어 있으며, 종결합 공진자형 탄성파 필터(11)의 입력 측 그라운드단(15)은 제1, 제2 병렬암 공진자(P1, P2) 중 적어도 한쪽의 그라운드단과 공통 접속되어 있고, 종결합 공진자형 탄성파 필터(11)의 출력 측 그라운드단(16)은 제1, 제2 병렬암 공진자(P1, P2) 중 적어도 다른 쪽의 그라운드단과 공통 접속되어 있으며, 제1 병렬암 공진자(P1)의 정전 용량과, 제2 병렬암 공진자(P2)의 정전 용량이 다른 탄성파 필터 장치(1).
입력 단자(2)와 출력 단자(3)를 잇는 직렬암에 종결합 공진자형 탄성파 필터(11)가 배치되어 있고, 직렬암과 그라운드 전위를 잇는 제1, 제2 병렬암에 제1, 제2 병렬암 공진자(P1, P2)가 각각 배치되어 있으며, 종결합 공진자형 탄성파 필터(11)의 입력 측 그라운드단(15)은 제1, 제2 병렬암 공진자(P1, P2) 중 적어도 한쪽의 그라운드단과 공통 접속되어 있고, 종결합 공진자형 탄성파 필터(11)의 출력 측 그라운드단(16)은 제1, 제2 병렬암 공진자(P1, P2) 중 적어도 다른 쪽의 그라운드단과 공통 접속되어 있으며, 제1 병렬암 공진자(P1)의 정전 용량과, 제2 병렬암 공진자(P2)의 정전 용량이 다른 탄성파 필터 장치(1).
Description
본 발명은 종결합 공진자형 탄성파 필터와, 복수개의 병렬암(parallel arm) 공진자를 가지는 탄성파 필터 장치, 상기 탄성파 필터 장치를 가지는 복합 필터 장치 및 멀티플렉서에 관한 것이다.
하기 특허문헌 1에 기재된 탄성파 필터 장치에서는 종결합 공진자형 탄성파 필터에 래더형 필터가 직렬 접속되어 있다. 래더형 필터의 병렬암 공진자의 그라운드단과, 종결합 공진자형 탄성파 필터의 그라운드단이 칩 상에서 전기적으로 분리되어 있다.
한편, 하기 특허문헌 2의 도 11에는 선행 기술로서의 탄성파 필터 장치가 개시되어 있다. 이 탄성파 필터 장치에서는 종결합 공진자형 탄성파 필터에 래더형 필터가 직렬 접속되어 있다. 래더형 필터의 병렬암 공진자의 그라운드단과, 종결합 공진자형 탄성파 필터의 입력 측 그라운드단 및 출력 측 그라운드단이 공통 접속되어 있다.
특허문헌 1에 기재된 탄성파 필터 장치에서는 그라운드의 강화가 불충분했다. 이에 반해, 특허문헌 2의 도 11에 기재된 탄성파 필터 장치에서는 그라운드를 강화할 수 있다. 그러나 탄성파 필터 장치의 통과 대역보다도 고역(高域) 측에서 고주파에 기인하는 응답이 나타나고, 감쇠 특성이 충분하지 않았다.
본 발명의 목적은 통과 대역 밖의 감쇠역에서 특정 주파수대의 감쇠 특성을 개선할 수 있는 탄성파 필터 장치를 제공하는 것에 있다.
본 발명에 따른 탄성파 필터 장치는 입력 단자와 출력 단자를 잇는 직렬암(series arm)과, 상기 직렬암과 그라운드 전위 사이에 접속되어 있는 복수개의 병렬암을 가지는 탄성파 필터 장치로서, 상기 직렬암에 배치되어 있고, 신호가 입력되는 입력단과, 신호가 출력되는 출력단과, 그라운드 전위에 접속되는 입력 측 그라운드단과, 그라운드 전위에 접속되는 출력 측 그라운드단을 가지는 종결합 공진자형 탄성파 필터를 포함하며, 상기 복수개의 병렬암이 제1, 제2 병렬암을 가지며, 상기 제1 병렬암에 마련된 제1 병렬암 공진자와, 상기 제2 병렬암에 마련된 제2 병렬암 공진자를 더 포함하며, 상기 종결합 공진자형 탄성파 필터의 상기 입력 측 그라운드단은 상기 제1, 제2 병렬암 공진자 중 적어도 한쪽의 그라운드단과 공통 접속되고, 상기 종결합 공진자형 탄성파 필터의 상기 출력 측 그라운드단은 상기 제1, 제2 병렬암 공진자 중 적어도 다른 쪽의 그라운드단과 공통 접속되며, 상기 제1 병렬암 공진자의 정전 용량과, 상기 제2 병렬암 공진자의 정전 용량이 다르다.
본 발명에 따른 탄성파 필터 장치의 어느 특정 국면에서는 상기 직렬암에 마련된 직렬암 공진자가 더 포함되고, 상기 직렬암 공진자와, 상기 제1, 제2 병렬암 공진자 중 적어도 한쪽에 의해 래더형 필터가 구성된다. 이 경우에는 탄성파 필터 장치의 필터 특성을 한층 더 개선할 수 있다.
본 발명에 따른 탄성파 필터 장치의 다른 특정 국면에서는 상기 종결합 공진자형 탄성파 필터의 상기 입력 측 그라운드단과 상기 출력 측 그라운드단이 공통 접속된다. 이 경우에는 그라운드를 강화할 수 있다. 또한, 통과 대역 근방에서의 감쇠 특성을 효과적으로 개선할 수 있다.
본 발명에 따른 탄성파 필터 장치의 다른 특정 국면에서는 상기 종결합 공진자형 탄성파 필터 및 상기 제1, 제2 병렬암 공진자가 구성되는 압전 기판이 더 포함되고, 상기 압전 기판에서 상기 제1, 제2 병렬암 공진자의 그라운드 전위 측 단부(端部)에 접속되는 제1, 제2 라우팅(routing) 배선이 마련된다.
본 발명에 따른 탄성파 필터 장치의 또 다른 특정 국면에서는 상기 제1 병렬암 공진자의 상기 그라운드 전위 측 단부와 그라운드 전위 사이의 상기 제1 라우팅 배선의 인덕턴스를 포함하는 제1 인덕턴스와, 상기 제2 병렬암 공진자의 상기 그라운드 전위 측 단부와 그라운드 전위 사이의 상기 제2 라우팅 배선의 인덕턴스를 포함하는 제2 인덕턴스가 다르다. 이 경우에는 제1 병렬암 공진자의 정전 용량과 제1 인덕턴스에 의한 제1 LC 공진의 공진 특성과, 제2 병렬암 공진자의 정전 용량과 제2 인덕턴스에 의한 제2 LC 공진의 공진 특성을 이용함으로써 다른 주파수역에 감쇠극을 마련할 수 있다.
본 발명에 따른 복합 필터 장치는 공통 단자에 일단(一端)이 공통 접속되는 복수개의 필터 장치를 포함하고, 상기 복수개의 필터 장치 중 적어도 하나의 필터 장치가 본 발명에 따라 구성되는 탄성파 필터 장치로 이루어진다.
본 발명에 따른 멀티플렉서는 통과 대역이 다른 복수개의 대역 통과형 필터를 포함하고, 상기 복수개의 대역 통과형 필터의 일단들이 공통 접속되어 있는 멀티플렉서로서, 상기 복수개의 대역 통과형 필터 중 적어도 하나가 본 발명에 따라 구성되는 탄성파 필터 장치로 이루어진다.
본 발명에 따른 탄성파 필터 장치에 의하면, 통과 대역 밖에서 복수개의 감쇠극을 마련할 수 있기 때문에, 제1, 제2 병렬암 공진자의 정전 용량을 선택함으로써 통과 대역 밖의 감쇠역에서 특정 주파수대의 감쇠 특성을 개선할 수 있다. 따라서, 대역 밖 감쇠 특성이 뛰어난 탄성파 필터 장치를 가지는 복합 필터 장치 및 멀티플렉서 등을 제공하는 것이 가능해진다.
도 1은 본 발명의 제1 실시형태에 따른 탄성파 필터 장치의 회로도이다.
도 2는 비교예의 탄성파 필터 장치의 회로도이다.
도 3은 실시예 및 비교예의 탄성파 필터 장치의 필터 특성을 나타내는 도면이다.
도 4는 제1 실시형태에 따른 탄성파 필터 장치의 약도적 평면도이다.
도 5는 본 발명의 제2 실시형태에 따른 탄성파 필터 장치의 회로도이다.
도 6은 본 발명의 제3 실시형태로서의 듀플렉서를 나타내는 회로도이다.
도 7은 본 발명의 제4 실시형태로서의 복합 필터 장치를 나타내는 회로도이다.
도 2는 비교예의 탄성파 필터 장치의 회로도이다.
도 3은 실시예 및 비교예의 탄성파 필터 장치의 필터 특성을 나타내는 도면이다.
도 4는 제1 실시형태에 따른 탄성파 필터 장치의 약도적 평면도이다.
도 5는 본 발명의 제2 실시형태에 따른 탄성파 필터 장치의 회로도이다.
도 6은 본 발명의 제3 실시형태로서의 듀플렉서를 나타내는 회로도이다.
도 7은 본 발명의 제4 실시형태로서의 복합 필터 장치를 나타내는 회로도이다.
이하, 도면을 참조하면서 본 발명의 구체적인 실시형태를 설명함으로써, 본 발명을 분명하게 한다.
한편, 본 명세서에 기재된 각 실시형태는 예시적인 것이며, 다른 실시형태간에 구성의 부분적인 치환 또는 조합이 가능한 것을 지적해 둔다.
도 1은 본 발명의 제1 실시형태에 따른 탄성파 필터 장치의 회로도이다.
탄성파 필터 장치(1)는 Band20의 수신 필터이다. 한편, Band20의 수신 대역, 즉 통과 대역은 791㎒~821㎒이다.
탄성파 필터 장치(1)는 입력 단자(2)와 출력 단자(3)를 가진다. 입력 단자(2)와 출력 단자(3)를 잇는 직렬암에 종결합 공진자형 탄성파 필터(11)가 배치되어 있다. 종결합 공진자형 탄성파 필터(11)에 직렬로 래더형 필터(12)가 접속되어 있다.
종결합 공진자형 탄성파 필터(11)는 제1~제5 IDT 전극(11a~11e)과 반사기(11f, 11g)를 가진다. 즉, 종결합 공진자형 탄성파 필터(11)는 5IDT형 종결합 공진자형 탄성파 필터이다.
종결합 공진자형 탄성파 필터(11)는 신호가 입력되는 입력단(13)과, 신호가 출력되는 출력단(14)을 가진다. 입력단(13)에 제1, 제3, 제5 IDT 전극(11a, 11c, 11e)의 입력단이 공통 접속되어 있다. 출력단(14)에 제2, 제4 IDT 전극(11b, 11d)의 출력단이 공통 접속되어 있다. 제2, 제4 IDT 전극(11b, 11d)의 출력단 측과는 반대 측의 단부와, 반사기(11f, 11g)의 한쪽 단이 입력 측 그라운드단(15)에 공통 접속되어 있다. 제1, 제3, 제5 IDT 전극(11a, 11c, 11e)의 입력 측 단부와는 반대 측의 단부와, 반사기(11f, 11g)의 다른 쪽 단이 출력 측 그라운드단(16)에 공통 접속되어 있다.
래더형 필터(12)는 복수개의 직렬암 공진자(S1~S3)와, 제1, 제2 병렬암 공진자(P1, P2)를 가진다. 복수개의 직렬암 공진자(S1~S3)는 직렬암에서 서로 직렬로 접속되어 있다.
제1 병렬암 공진자(P1)는 직렬암 공진자(S1, S2) 사이의 접속점과 그라운드 전위를 잇는 제1 병렬암에 마련되어 있다.
제2 병렬암 공진자(P2)는 직렬암 공진자(S2, S3) 사이의 접속점과 그라운드 전위를 잇는 제2 병렬암에 마련되어 있다.
한편, 제1 병렬암 공진자(P1)의 그라운드 전위 측 단부와 그라운드 전위를 잇는 부분은 제1 병렬암 공진자(P1)에 접속되어 있는 제1 라우팅 배선(17)을 가진다. 제2 병렬암 공진자(P2)의 그라운드 전위 측 단부와 그라운드 전위를 잇는 부분에는 제2 병렬암 공진자(P2)에 접속되어 있는 제2 라우팅 배선(18)을 가진다.
종결합 공진자형 탄성파 필터(11)의 입력 측 그라운드단(15) 및 출력 측 그라운드단(16)은 도시와 같이 제3 라우팅 배선(19)에 접속되고, 그라운드 전위에 공통 접속되어 있다. 제3 라우팅 배선(19)에 제1 라우팅 배선(17)이 접속되어 있다. 또한, 제3 라우팅 배선(19)에 제4 라우팅 배선(20)이 접속되어 있다. 제4 라우팅 배선(20)은 제2 라우팅 배선(18)에 접속되어 있다.
제1 병렬암 공진자(P1)의 정전 용량과 제2 병렬암 공진자(P2)의 정전 용량은 다르다.
탄성파 필터 장치(1)의 특징은 종결합 공진자형 탄성파 필터(11)의 입력 측 그라운드단(15)과, 제1 병렬암 공진자(P1)의 그라운드단이 공통 접속되어 있는 것, 종결합 공진자형 탄성파 필터(11)의 출력 측 그라운드단(16)과, 제2 병렬암 공진자(P2)의 그라운드단이 공통 접속되어 있는 것, 및 제1 병렬암 공진자(P1)의 정전 용량과 제2 병렬암 공진자(P2)의 정전 용량이 다르다는 것에 있다. 그로써, 감쇠역에서의 특정 주파수대에서 충분한 감쇠량을 얻는 것이 가능하게 되어 있다. 이를 도 2의 비교예와의 대비에 의해, 도 3을 참조하여 설명한다.
제1 실시형태의 탄성파 필터 장치(1)의 실시예로서 탄성파 필터 장치를 하기 설계 파라미터로 제작했다.
종결합 공진자형 탄성파 필터(11) 및 래더형 필터(12)는 동일 압전 기판 상에 전극 구조를 마련함으로써 형성했다.
종결합 공진자형 탄성파 필터(11)의 설계 파라미터: 제1~제5 IDT 전극(11a~11e) 및 반사기(11f, 11g)에서의 전극지(電極指)의 개수, 전극지 피치로 정해지는 파장, 전극지 교차폭, 듀티비는 이하의 표 1에 나타내는 바와 같이 했다.
제1~제5 IDT 전극(11a~11e) 및 반사기(11f, 11g)에서의 전극 재료로는 AlCu/Ti/Pt/NiCr의 적층막을 이용했다. 각 층의 두께는 184㎚/70㎚/86㎚/10㎚로 했다.
직렬암 공진자(S1~S3) 및 제1, 제2 병렬암 공진자(P1, P2)의 설계 파라미터는 하기 표 2에 나타내는 바와 같이 했다.
한편, 전극 재료로는 AlCu/Ti/Pt/NiCr의 적층막을 이용했다. 각 층의 두께는 184㎚/70㎚/86㎚/10㎚로 했다.
또한, 제1 병렬암 공진자(P1)의 정전 용량은 4.94㎊로 하고, 제2 병렬암 공진자(P2)의 정전 용량은 2.82㎊로 했다.
상기 제1, 제2 병렬암 공진자(P1, P2)의 그라운드 전위 측 단부에 접속되어 있는 제1, 제2 라우팅 배선(17, 18)은 상기 압전 기판으로부터 실장 기판에 이르는 경로의 일부를 구성하고 있다.
도 2에 나타내는 비교예의 탄성파 필터 장치(101)를 이하와 같이 하여 준비했다. 한편, 비교예의 탄성파 필터 장치(101)에서는 종결합 공진자형 탄성파 필터(11)의 입력 측 그라운드단(15) 및 출력 측 그라운드단(16), 제1, 제2 병렬암 공진자(P1, P2)가 압전 기판 상의 공통 접속점(102)에 공통 접속되어 있고, 이 공통 접속점(102)이 그라운드 전위에 접속되어 있는 것, 그리고 제1, 제2 병렬암 공진자(P1, P2)의 정전 용량이 동일한 것을 제외하고는 상기 실시예와 동일하게 했다.
제1, 제2 병렬암 공진자(P1, P2)의 정전 용량은 3.88㎊로 했다.
제1 병렬암 공진자(P1)의 그라운드 전위 측 단부와 공통 접속점(102)을 잇는 제1 라우팅 배선(103)과, 제2 병렬암 공진자(P2)의 그라운드 전위 측 단부와 공통 접속점(102)을 잇는 제2 라우팅 배선(104)의 길이를 동등하게 했다. 도 3의 실선은 실시예의 탄성파 필터 장치의 필터 특성을 나타내고, 파선은 비교예의 탄성파 필터 장치의 필터 특성을 나타낸다.
도 3으로부터 분명한 바와 같이, 실시예 및 비교예 어느 쪽에서도 통과 대역인 791㎒~821㎒에서의 필터 특성은 거의 동등하다. 한편, 3㎓~5㎓의 통과 대역 밖 감쇠역에서는 비교예에 비해, 실시예에 따르면 충분히 감쇠량이 확보되어 있다. 3㎓~5㎓는 WiFi 등에 이용되는 주파수대이다.
최근, 스마트폰 등에서는 복수개의 밴드의 송신 필터 및 수신 필터 그리고 WiFi 혹은 GPS의 통신에 이용되는 필터 등의 다수의 필터가 안테나단에 공통 접속되어 있다. 따라서, 예를 들면, Band20의 수신 필터에서는 WiFi에 이용되는 3㎓~5㎓에서의 감쇠량이 충분히 큰 것이 요구된다. 도 3에 나타낸 바와 같이, 실시예에 의하면 이 3㎓~5㎓에서의 감쇠량을 충분히 크게 할 수 있다. 즉, 필터 특성을 효과적으로 개선할 수 있다.
한편, 실시예의 탄성파 필터 장치(1)에서 3㎓~5㎓에서의 감쇠량이 충분히 크게 되어 있는 것은, 화살표(A1)로 나타내는 감쇠극에 더해, 화살표(A2)로 나타내는 감쇠극이 나타나 있는 것에 의한 것이라고 생각된다. 화살표(A1)로 나타내는 감쇠극 및 화살표(A2)로 나타내는 감쇠극은 제1, 제2 병렬암 공진자(P1, P2)를 이용한 LC 공진에 의한 공진 특성에 기인한다.
실시예에서는 제1 병렬암 공진자(P1)의 정전 용량과 제2 병렬암 공진자(P2)의 정전 용량이 다르다. 따라서, 제1 병렬암 공진자(P1)의 정전 용량과 제1 라우팅 배선(17)의 인덕턴스 성분에 의한 제1 LC 공진의 공진점 및 반공진점의 주파수 위치와, 제2 병렬암 공진자(P2)의 정전 용량과 제2 라우팅 배선(18)의 인덕턴스 성분에 의한 제2 LC 공진의 공진점 및 반공진점의 주파수 위치가 크게 다르다. 그 때문에, 화살표(A1)의 감쇠극에 더해, 3㎓~5㎓대에 화살표(A2)의 감쇠극이 나타나 있다.
이에 반해, 비교예의 탄성파 필터 장치(101)에서는 제1, 제2 병렬암 공진자(P1, P2)의 정전 용량이 동일하고, 제1, 제2 라우팅 배선(103, 104)의 길이가 거의 동등하기 때문에, 통과 대역 근방에서 2개의 감쇠극이 나타나 있고, 통과 대역으로부터 떨어진 3㎓~5㎓대에는 감쇠극이 위치하지 않는다.
상기와 같이, 탄성파 필터 장치(1)에서는 제1, 제2 LC 공진에 기초하는 감쇠극의 주파수 위치가 떨어져 있다. 그 때문에, 예를 들면, 3㎓~5㎓의 주파수대에서의 감쇠 특성을 개선하는 것이 가능하게 되어 있다.
한편, 본 발명에서는 통과 대역으로부터 특정 주파수대에서의 감쇠량을 개선함에 있어, 이 특정 주파수대는 특별히 한정되지 않는다. 감쇠역에서 감쇠량을 충분히 크게 하고 싶은 특정 주파수대가 결정되면, 상기 특정 주파수대에서 감쇠극이 나타나도록 제1, 제2 병렬암 공진자(P1, P2)의 정전 용량을 다르게 하면 된다. 또한, 제1, 제2 라우팅 배선(17, 18)의 길이도 특정 주파수대에 감쇠극이 나타나도록 조정하면 된다.
도 4는 제1 실시형태의 탄성파 필터 장치의 약도적 평면도이다. 압전 기판(21) 상에 도 4에 나타내는 전극 구조가 마련되어 있다. 즉, 압전 기판(21) 상에서 입력 단자(2)와 출력 단자(3) 사이에 직렬암 공진자(S1, S2, S3) 및 종결합 공진자형 탄성파 필터(11)가 접속되어 있다. 그라운드 전위에 접속되는 그라운드 단자(22, 23)가 압전 기판(21) 상에 마련되어 있다. 제1 병렬암 공진자(P1)의 그라운드 전위 측 단부에 제1 라우팅 배선(17)이 접속되어 있다. 제1 라우팅 배선(17)은 그라운드 단자(22)에 접속되어 있다. 제2 라우팅 배선(18)은 제2 병렬암 공진자(P2)의 그라운드 전위 측 단부에 접속되어 있다. 제2 라우팅 배선(18)은 그라운드 단자(23)에 접속되어 있다. 제1 라우팅 배선(17)과 제2 라우팅 배선(18)의 길이를 다르게 하는 것 등에 의해, 제1, 제2 LC 공진의 감쇠극이 나타나는 주파수를 조정할 수 있다.
도 5는 본 발명의 제2 실시형태에 따른 탄성파 필터 장치의 회로도이다. 제2 실시형태의 탄성파 필터 장치(31)에서는 도 1에 나타낸 직렬암 공진자(S1~S3)가 마련되어 있지 않다. 그 밖의 점은, 탄성파 필터 장치(31)는 탄성파 필터 장치(1)와 동일하다.
제2 실시형태의 탄성파 필터 장치(31)와 같이, 본 발명에서는 종결합 공진자형 탄성파 필터(11)에 래더형 필터가 직렬 접속되어 있을 필요는 없다. 제1, 제2 병렬암에 각각 제1, 제2 병렬암 공진자(P1, P2)가 마련되어 있으면 된다. 이 경우에도 제1 병렬암 공진자(P1)와 제2 병렬암 공진자(P2)의 정전 용량이 다르면, 제1, 제2 병렬암 공진자(P1, P2)를 각각 가지는 제1, 제2 LC 공진의 공진점 및 반공진점에 의한 감쇠극의 위치를 다르게 할 수 있다. 따라서, 본 실시형태의 탄성파 필터 장치(31)에서도 통과 대역 밖의 특정 주파수대에서의 감쇠량을 충분히 크게 할 수 있다.
다만, 직렬암 공진자(S1~S3)와, 제1, 제2 병렬암 공진자(P1, P2) 중 적어도 한쪽에 의해 래더형 필터가 구성되어 있는 것이 바람직하다. 그로써, 탄성파 필터 장치의 통과 대역 근방의 필터 특성의 급준성을 효과적으로 높일 수 있다.
또한, 제1 및 제2 실시형태의 탄성파 필터 장치(1, 31)에서는 종결합 공진자형 탄성파 필터(11)의 입력 측 그라운드단(15)과 출력 측 그라운드단(16)이 공통 접속되어 있었는데, 입력 측 그라운드단(15)과 출력 측 그라운드단(16)이 개별로 그라운드 전위에 접속되어 있어도 된다. 다만, 탄성파 필터 장치(1, 31)와 같이, 입력 측 그라운드단(15)과 출력 측 그라운드단(16)이 탄성파 필터 칩 내에서 공통 접속되어 있는 것이 바람직하다. 그로써, 통과 대역 근방에서의 감쇠 특성의 열화(劣化)가 생기기 어렵다.
또한, 상기 제1 라우팅 배선(17)의 인덕턴스를 포함하는 제1 인덕턴스와, 제2 라우팅 배선(18)의 인덕턴스를 포함하는 제2 인덕턴스가 다른 것이 바람직하다. 따라서, 제1 라우팅 배선(17) 및 제2 라우팅 배선(18)의 길이가 다른 것이 바람직하다. 그로써, 제1 LC 공진의 공진점 및 반공진점의 주파수 위치와, 제2 LC 공진의 공진점 및 반공진점의 주파수 위치의 차이를 크게 할 수 있다.
도 6은 본 발명의 제3 실시형태로서의 듀플렉서를 나타내는 회로도이다. 듀플렉서(61)는 칩 본체(62)를 가진다. 이 칩 본체(62) 내에 제1, 제2 대역 통과형 필터(63, 64)가 구성되어 있다. 제1 대역 통과형 필터(63)가 송신 필터이며, 제2 대역 통과형 필터(64)가 수신 필터이다. 제1, 제2 대역 통과형 필터(63, 64)의 일단이 공통 접속되어 있다.
한편, 제1, 제2 대역 통과형 필터(63, 64)는 반드시 동일한 Band의 수신 필터 및 송신 필터가 아니어도 된다. 또한, 듀플렉서(61)에 한정되지 않고, 3 이상의 대역 통과형 필터가 공통 접속되어 있는 트리플렉서 등의 다양한 멀티플렉서에 본 발명을 적용할 수 있다.
도 6의 듀플렉서(61)에서는 제1 대역 통과형 필터(63) 및 제2 대역 통과형 필터(64) 중 적어도 한쪽에, 본 발명에 따라 구성되어 있는 탄성파 필터 장치가 이용되고 있다. 그로써, 통과 대역 밖의 특정 주파수역에서의 감쇠량을 충분히 크게 할 수 있다.
도 7은 본 발명의 제4 실시형태로서의 복합 필터 장치를 나타내는 회로도이다.
복합 필터 장치(71)에서는 공통 단자 등으로서의 공통 접속점(72)에 복수개의 필터 장치(74~76)의 일단이 공통 접속되어 있다. 복합 필터 장치(71)에서는 복수개의 필터 장치(74~76) 중 적어도 하나에, 본 발명에 따라 구성되어 있는 탄성파 필터 장치가 이용된다. 그로써, 복합 필터 장치(71)에서도 본 발명의 탄성파 필터 장치를 이용함으로써, 통과 대역 밖의 특정 주파수역에서의 감쇠량을 크게 할 수 있다.
1: 탄성파 필터 장치 2: 입력 단자
3: 출력 단자 11: 종결합 공진자형 탄성파 필터
11a~11e: 제1~제5 IDT 전극 11f, 11g: 반사기
12: 래더형 필터 13: 입력단
14: 출력단 15: 입력 측 그라운드단
16: 출력 측 그라운드단 17: 제1 라우팅 배선
18: 제2 라우팅 배선 19: 제3 라우팅 배선
20: 제4 라우팅 배선 21: 압전 기판
22, 23: 그라운드 단자 31: 탄성파 필터 장치
61: 듀플렉서 62: 칩 본체
63: 제1 대역 통과형 필터 64: 제2 대역 통과형 필터
71: 복합 필터 장치 72: 공통 접속점
74~76: 필터 장치 P1, P2: 제1, 제2 병렬암 공진자
S1~S3: 직렬암 공진자
3: 출력 단자 11: 종결합 공진자형 탄성파 필터
11a~11e: 제1~제5 IDT 전극 11f, 11g: 반사기
12: 래더형 필터 13: 입력단
14: 출력단 15: 입력 측 그라운드단
16: 출력 측 그라운드단 17: 제1 라우팅 배선
18: 제2 라우팅 배선 19: 제3 라우팅 배선
20: 제4 라우팅 배선 21: 압전 기판
22, 23: 그라운드 단자 31: 탄성파 필터 장치
61: 듀플렉서 62: 칩 본체
63: 제1 대역 통과형 필터 64: 제2 대역 통과형 필터
71: 복합 필터 장치 72: 공통 접속점
74~76: 필터 장치 P1, P2: 제1, 제2 병렬암 공진자
S1~S3: 직렬암 공진자
Claims (7)
- 입력 단자와 출력 단자를 잇는 직렬암(series arm)과, 상기 직렬암과 그라운드 전위 사이에 접속되는 복수개의 병렬암(parallel arm)을 가지는 탄성파 필터 장치로서,
상기 직렬암에 배치되고, 신호가 입력되는 입력단과, 신호가 출력되는 출력단과, 그라운드 전위에 접속되는 입력 측 그라운드단과, 그라운드 전위에 접속되는 출력 측 그라운드단을 가지는 종결합 공진자형 탄성파 필터를 포함하며,
상기 복수개의 병렬암이 제1, 제2 병렬암을 가지며,
상기 제1 병렬암에 마련된 제1 병렬암 공진자와,
상기 제2 병렬암에 마련된 제2 병렬암 공진자를 더 포함하며,
상기 종결합 공진자형 탄성파 필터의 상기 입력 측 그라운드단은 제1 배선에 의해 상기 제1, 제2 병렬암 공진자 중 한쪽의 그라운드단과 공통 접속되고,
상기 종결합 공진자형 탄성파 필터의 상기 출력 측 그라운드단은 상기 제1 배선과는 별개인 제2 배선에 의해 상기 제1, 제2 병렬암 공진자 중 다른 쪽의 그라운드단과 공통 접속되며,
상기 제1 병렬암 공진자의 정전 용량과 상기 제2 병렬암 공진자의 정전 용량이 다른, 탄성파 필터 장치. - 제1항에 있어서,
상기 직렬암에 마련된 직렬암 공진자를 더 포함하고, 상기 직렬암 공진자와 상기 제1, 제2 병렬암 공진자 중 적어도 한쪽에 의해 래더형 필터가 구성되는, 탄성파 필터 장치. - 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 종결합 공진자형 탄성파 필터의 상기 입력 측 그라운드단과, 상기 출력 측 그라운드단이 공통 접속되는, 탄성파 필터 장치. - 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 종결합 공진자형 탄성파 필터 및 상기 제1, 제2 병렬암 공진자가 구성되는 압전 기판을 더 포함하고, 상기 압전 기판에서 상기 제1, 제2 병렬암 공진자의 그라운드 전위 측 단부(端部)에 접속되는 제1, 제2 라우팅(routing) 배선이 마련되는, 탄성파 필터 장치. - 제4항에 있어서,
상기 제1 병렬암 공진자의 상기 그라운드 전위 측 단부와 그라운드 전위 사이의 상기 제1 라우팅 배선의 인덕턴스를 포함하는 제1 인덕턴스와 상기 제2 병렬암 공진자의 상기 그라운드 전위 측 단부와 그라운드 전위 사이의 상기 제2 라우팅 배선의 인덕턴스를 포함하는 제2 인덕턴스가 다른, 탄성파 필터 장치. - 공통 단자에 일단(一端)이 공통 접속되는 복수개의 필터 장치를 포함하고,
상기 복수개의 필터 장치 중 적어도 하나의 필터 장치가 제1항 또는 제2항에 기재된 탄성파 필터 장치로 이루어지는, 복합 필터 장치. - 통과 대역이 다른 복수개의 대역 통과형 필터를 포함하고, 상기 복수개의 대역 통과형 필터의 일단들이 공통 접속되는 멀티플렉서로서,
상기 복수개의 대역 통과형 필터 중 적어도 하나가 제1항 또는 제2항에 기재된 탄성파 필터 장치로 이루어지는, 멀티플렉서.
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JPJP-P-2017-120411 | 2017-06-20 | ||
JP2017120411 | 2017-06-20 | ||
PCT/JP2018/022521 WO2018235689A1 (ja) | 2017-06-20 | 2018-06-13 | 弾性波フィルタ装置、複合フィルタ装置及びマルチプレクサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20190140047A KR20190140047A (ko) | 2019-12-18 |
KR102329364B1 true KR102329364B1 (ko) | 2021-11-22 |
Family
ID=64737583
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020197035025A KR102329364B1 (ko) | 2017-06-20 | 2018-06-13 | 탄성파 필터 장치, 복합 필터 장치 및 멀티플렉서 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11362642B2 (ko) |
KR (1) | KR102329364B1 (ko) |
CN (1) | CN110771040B (ko) |
WO (1) | WO2018235689A1 (ko) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112468111B (zh) * | 2020-12-07 | 2022-07-12 | 诺思(天津)微系统有限责任公司 | 改善非线性性能的方法和声波滤波器、多工器、通信设备 |
CN112511131B (zh) * | 2021-02-05 | 2021-05-25 | 成都频岢微电子有限公司 | 一种具有高隔离度和高通频带低频侧高陡峭度的双工器 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017085262A (ja) * | 2015-10-26 | 2017-05-18 | 株式会社村田製作所 | 帯域通過型フィルタ及びデュプレクサ |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0600705B1 (en) | 1992-12-01 | 1999-01-20 | Japan Radio Co., Ltd | Surface acoustic wave filter and mobile communication system using same |
JP3181158B2 (ja) * | 1993-10-28 | 2001-07-03 | 日本無線株式会社 | 複合弾性表面波フィルタおよび複合弾性表面波フィルタを用いた移動体通信機 |
JP2002314372A (ja) * | 2001-02-07 | 2002-10-25 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性表面波フィルタ装置 |
DE102005032058B4 (de) * | 2005-07-08 | 2016-12-29 | Epcos Ag | HF-Filter mit verbesserter Gegenbandunterdrückung |
US9083314B2 (en) | 2009-11-19 | 2015-07-14 | Skyworks Panasonic Filter Solutions Japan Co., Ltd. | Elastic wave filter device and antenna duplexer using same |
DE112012002389B4 (de) * | 2011-06-09 | 2018-12-20 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Filterbauelement für elastische Wellen |
JP5846833B2 (ja) | 2011-10-05 | 2016-01-20 | 太陽誘電株式会社 | デュプレクサ |
JP6330910B2 (ja) * | 2014-07-22 | 2018-05-30 | 株式会社村田製作所 | デュプレクサ |
JP6344161B2 (ja) * | 2014-09-03 | 2018-06-20 | 株式会社村田製作所 | ラダー型フィルタ及びデュプレクサ |
-
2018
- 2018-06-13 KR KR1020197035025A patent/KR102329364B1/ko active IP Right Grant
- 2018-06-13 CN CN201880040387.XA patent/CN110771040B/zh active Active
- 2018-06-13 WO PCT/JP2018/022521 patent/WO2018235689A1/ja active Application Filing
-
2019
- 2019-12-05 US US16/703,932 patent/US11362642B2/en active Active
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017085262A (ja) * | 2015-10-26 | 2017-05-18 | 株式会社村田製作所 | 帯域通過型フィルタ及びデュプレクサ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN110771040A (zh) | 2020-02-07 |
US20200112299A1 (en) | 2020-04-09 |
US11362642B2 (en) | 2022-06-14 |
CN110771040B (zh) | 2023-08-25 |
KR20190140047A (ko) | 2019-12-18 |
WO2018235689A1 (ja) | 2018-12-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN106253877B (zh) | 梯型弹性波滤波器和天线共用器 | |
CN107124152B (zh) | 多工器、发送装置以及接收装置 | |
KR101914890B1 (ko) | 래더형 필터, 탄성파 필터 모듈 및 듀플렉서 | |
JP5088412B2 (ja) | ラダー型弾性波フィルタ | |
US9998098B2 (en) | Band pass filter and duplexer | |
US9419585B2 (en) | Elastic wave filter device and duplexer | |
JP4697229B2 (ja) | 弾性波フィルタ装置 | |
JP5668852B2 (ja) | 分波器 | |
CN105075118B (zh) | 双工器 | |
US9608593B2 (en) | Filter device having a first inductance in a chip substrate and a second inductance in a mounting substrate | |
KR102358740B1 (ko) | 필터 장치, 멀티플렉서, 고주파 프론트 엔드 회로 및 통신 장치 | |
KR20160091279A (ko) | 래더형 필터 | |
US20120306595A1 (en) | Elastic-wave filter device | |
KR102329364B1 (ko) | 탄성파 필터 장치, 복합 필터 장치 및 멀티플렉서 | |
CN109690944B (zh) | 弹性波滤波器装置以及复合滤波器装置 | |
EP1126604A2 (en) | Thin film resonator filter with inductance | |
JPWO2006040927A1 (ja) | 分波器 | |
JP5955095B2 (ja) | 弾性波装置 | |
US11239826B2 (en) | Filter device | |
US9692388B2 (en) | High frequency module comprising a band-pass LC filter and a piezoelectric resonator | |
JPWO2006040923A1 (ja) | 分波器 | |
KR102290082B1 (ko) | 탄성파 장치 및 그 제조 방법 | |
JP6750528B2 (ja) | 弾性波フィルタ装置 | |
CN116210155A (zh) | 多工器 | |
CN114884485A (zh) | 复用器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant |