KR102324290B1 - Anti-glare glass using silk screen mesh patterns and manufacturing method thereof - Google Patents
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Abstract
본 발명은 난반사 유리 기판 및 이의 제조방법에 대한 것으로, 유리 기판에 실크 스크린 마스크 등 기판을 관통하는 홀이 있는 미세 메쉬 패턴을 마스크로 사용하여 감광제 박막 패턴을 만든다. 이후 식각 공정을 통해 유리, 금속, 고분자 등 임의의 기판에 마스크 패턴을 전사하는 기술로 제조한 난반사 기판과 이의 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명에 의해 개발된 난반사 기판 표면에서는 원하는 다양한 규칙적인 패터닝에 의한 난반사 기능을 구현할 수 있다. 이는 매우 불규칙한 크기로 존재하는 소재 표면의 바운더리 식각 공정을 이용한 기술이나 미세 입자를 마스크로 사용하는 종래의 난반사 유리 제조 기법과는 확연히 구별되는 것으로 매우 창의적이며 진보적이다. 본 발명을 통해 앞으로 더욱 다양한 종류의 규칙적 패턴을 이용한 난반사 기판들을 편리하며, 보다 환경 친화적으로 만들 수 있을 것으로 판단한다. 또한, 대면적 자동화에 기반한 품질 제어에 더욱 효율적으로 대처할 수 있어 난반사 기판 제조 효율 향상에 크게 기여할 수 있을 것으로 예상한다. The present invention relates to a diffuse reflection glass substrate and a method for manufacturing the same, and a fine mesh pattern having holes penetrating the substrate such as a silk screen mask on the glass substrate is used as a mask to make a photosensitive thin film pattern. Thereafter, the present invention relates to a diffusely reflective substrate manufactured by transferring a mask pattern to an arbitrary substrate such as glass, metal, or polymer through an etching process, and a method for manufacturing the same. On the surface of the diffusely reflective substrate developed by the present invention, it is possible to implement a desired diffused reflection function by various regular patterning. This is very creative and progressive as it is clearly distinguished from the technique using the boundary etching process of the material surface that exists in very irregular sizes or the conventional diffuse reflection glass manufacturing technique using fine particles as a mask. Through the present invention, it is determined that in the future, diffuse reflection substrates using more various types of regular patterns can be conveniently made and more environmentally friendly. In addition, it is expected that it will be able to cope with quality control based on large-area automation more efficiently, greatly contributing to the improvement of diffuse reflection substrate manufacturing efficiency.
Description
본 발명은 난반사 유리 기판 및 이의 제조방법에 대한 것으로, 더욱 상세하게는 실크 스크린 그 자체를 마스크 소재로 활용하여 유리 기판 위에 감광제 박막 패턴을 만들고, 이후 식각 공정을 통해 그 유리 기판에 마스크 패턴을 전사 하는 기술로 제작된 규칙적인 난반사 패턴을 가지는 난반사 유리기판 및 이의 제조방법에 관한 것이다. The present invention relates to a diffusely reflective glass substrate and a method for manufacturing the same, and more specifically, a photosensitive thin film pattern is made on a glass substrate by using a silk screen itself as a mask material, and then the mask pattern is transferred to the glass substrate through an etching process. It relates to a diffusely reflective glass substrate having a regular diffused reflection pattern produced by the technology and a method for manufacturing the same.
난반사 유리(Anti-Glare Glass) 기판은 전자 칠판, 전광판 디스플레이, 키오스크 등의 제품에서 입사하는 빛의 반사를 줄이는 창으로 사용되는 특수 유리이다. 불규칙 패턴의 습식 식각을 이용하여 난반사 유리를 제조하는 기술은 이미 미국 특허 US 4,944,986, US 5,120,605, US 6,929,861 등에 자세히 설명되어 있다. The anti-glare glass substrate is a special glass used as a window to reduce the reflection of incident light in products such as electronic blackboards, electronic signage displays, and kiosks. Techniques for manufacturing diffuse reflection glass using irregular pattern wet etching have already been described in detail in US Patents US 4,944,986, US 5,120,605, US 6,929,861, and the like.
그 기술을 설명하면 일반적으로 특수하게 제작된 소다 라임 유리를 표면 세척한 후에 불산 혼합물이 포함되어 있는 용액에 담그거나, 불산 혼합물 수용액을 스프레이로 뿌려서 비결정질인 유리 소재 표면에 다양한 크기로 존재하는 소재의 미세 경계면(바운더리)를 선택적으로 식각하게 된다. 그렇게 되면 선결함이 밀집되어 있는 경계면이 비정질 유리 표면보다 더 빨리 반응하여 결과적으로 더 깊이, 더 많이 식각된다. To explain the technology, in general, after washing the surface of specially manufactured soda-lime glass, it is immersed in a solution containing a hydrofluoric acid mixture, or by spraying an aqueous hydrofluoric acid mixture solution on the surface of amorphous glass materials in various sizes. The fine interface (boundary) is selectively etched. Then, the interface with dense line defects reacts faster than the amorphous glass surface, resulting in deeper and more etched.
그 결과로서 입사 광선이 경계면에 입사되면 매우 불규칙적인 경계면에서의 빛의 불규칙 반사, 또는 난반사가 이루어진다. 이 원리를 이용하여 입사광의 반사도를 줄이게 만든 유리를 정현 유리 또는 난반사 유리(anti-glare glass)라고 한다. 또 다른 난반사 유리 제조방법은 미세입자를 도포하여 마스크로 활용하여 습식식각을 하는 방법으로 미국 특허 출원 Pub.No.:US2007/0195419에 자세히 설명되어 있다. As a result, when an incident ray is incident on an interface, irregular reflection or diffuse reflection of the light at a very irregular interface occurs. Glass made to reduce the reflectivity of incident light using this principle is called sine glass or anti-glare glass. Another diffuse reflection glass manufacturing method is described in detail in US Patent Application Pub.
그러나, 종래의 경우를 따르면, HF, NH4F 등을 혼합하여 유리의 바운더리만을 선택적으로 식각하는 방법을 사용함으로써, 난반사 유리 특성은 해당 유리가 고유하게 가지고 있는 바운더리의 크기와 모양에 크게 의존하게 된다. 이에 따라 습식 공정 시간도 많이 필요할 수 있으며, 유리도 바운더리 특성에 맞는 특정 유리로 한정되어 비교적 가격이 높고 공정도 매우 예민하며 불편할 수 있다.However, according to the conventional case, by using a method of selectively etching only the boundary of the glass by mixing HF, NH 4 F, etc., the diffuse reflection glass properties are largely dependent on the size and shape of the boundary inherent in the glass. do. Accordingly, a lot of wet process time may be required, and the glass is also limited to a specific glass suitable for boundary characteristics, so the price is relatively high and the process is also very sensitive and inconvenient.
또한, 기존의 불산 혼합물로 식각된 유리의 바운더리는 매우 불규칙적이고 미세 결함의 밀도가 바운더리에 집중되어 행여 세척이 부족하여 약간의 오염물질이라도 잔류하게 되면 반응에 필요한 에너지가 매우 낮은 미세한 바운더리에 영향을 주어 난반사 유리 표면 상태의 화학적 반응에 의해 제품 불량의 주된 원인이 되어왔다. In addition, the boundary of the glass etched with the conventional hydrofluoric acid mixture is very irregular, and the density of fine defects is concentrated on the boundary, so if there is insufficient cleaning and even a small amount of contaminants remains, the energy required for the reaction is very low. It has been the main cause of product defects due to the chemical reaction of the surface state of diffuse reflection glass.
또한, 이와 같은 미세 입자의 도포 후 습식식각 기술은 대면적 유리에 적용하기에는 쉽지 않은 기술로, 기판 식각의 균일도를 중요시하는 경우에는 많은 기술적 한계점을 가지고 있다.In addition, the wet etching technique after application of such fine particles is not easy to apply to large-area glass, and has many technical limitations when the uniformity of substrate etching is important.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 개발된 것으로, 불규칙한 바운더리 식각이나 미세 입자 마스크를 사용하는 기술로는 불가능했던 규칙적인 패턴 식각을 통한 난반사 유리 기판 및 이의 제조방법을 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention was developed to solve the above problems, and it is an object of the present invention to provide a diffusely reflective glass substrate through regular pattern etching, which was not possible with techniques using irregular boundary etching or a fine particle mask, and a method for manufacturing the same. .
또한, 불규칙한 크기의 경계면 식각 기술이 아닌, 제조자가 원하는 임의의 크기와 모양을 가진 규칙적인 미세 패터닝을 가지는 난반사 기판 및 이의 제조방법을 제공하고자 하는 것이다. Another object of the present invention is to provide a diffuse reflection substrate having regular fine patterning having an arbitrary size and shape desired by a manufacturer, and a method for manufacturing the same, rather than an irregularly sized interface etching technique.
이와 같은 본 발명을 이용하면 당 업자는 여기서 예로서 설명하는 기판 뿐만 아니라, 단순히 기판을 바꾸어 고분자 기판, 금속 기판 등 입사광을 반사하는 어떤 기판도 난반사 기판으로 쉽게 만들 수 있다는 것을 밝혀둔다. By using the present invention as described above, those skilled in the art can easily make any substrate that reflects incident light, such as a polymer substrate or a metal substrate, into a diffuse reflection substrate by simply changing the substrate, as well as the substrate described here as an example.
또한, 본 발명에 의해 개발된 난반사 유리 표면에서는 원하는 다양한 규칙적인 패터닝에 의한 난반사 기능을 구현할 수 있어 종래의 크기가 매우 불규칙적으로 존재하는 바운더리 식각 공정 기반의 난반사 유리 제조 기법과는 확연히 구별할 수 있으며, 본 발명을 통해 앞으로는 더욱 다양한 종류의 패턴을 가지는 난반사 유리 기판 뿐만 아니라 다양한 소재의 난반사 기판들을 편리하게 만들 수 있어 난반사 기판 제조 산업 발전에 크게 기여할 수 있을 것으로 예상한다. In addition, the diffuse reflection glass surface developed by the present invention can implement the desired diffuse reflection function by various regular patterning, so it can be clearly distinguished from the conventional diffuse reflection glass manufacturing technique based on the boundary etching process in which the size is very irregular. , through the present invention, it is expected that in the future, not only diffusely reflective glass substrates having more various types of patterns, but also diffusely reflective substrates of various materials can be conveniently made, thereby greatly contributing to the development of the diffuse reflective substrate manufacturing industry.
앞에 언급한 불규칙적인 바운더리 식각이나 미세입자 도포에 의한 난반사 유리 제조방법의 문제들을 해결하기 위해서, 본 발명에서는 매우 독창적 관점에서 규칙적인 미세 패턴을 이용한 난반사 기판 및 이의 제조방법을 개발하였다. In order to solve the problems of the above-mentioned irregular boundary etching or the diffuse reflection glass manufacturing method by applying fine particles, the present invention developed a diffuse reflection substrate using a regular fine pattern and a manufacturing method thereof from a very original point of view.
본 발명에서는 외부로부터 입사하는 빛의 난반사를 위한 유리 기판에 있어서, 미세 메쉬 패턴이 형성된 실크 스크린 그 자체를 마스크로 사용하여 상기 기판의 일면 또는 양면에 모양, 크기 또는 배열이 규칙적으로 나타나는 난반사 패턴이 형성되며, 상기 난반사 패턴은 상기 마스크의 미세 메쉬 패턴의 모양이나 크기를 제어함으로써, 다양한 광학적 특성을 가지는 것을 특징으로 하는 난반사 유리 기판이 제공된다.In the present invention, in a glass substrate for diffuse reflection of light incident from the outside, a diffuse reflection pattern in which the shape, size or arrangement is regularly displayed on one or both sides of the substrate by using the silk screen itself on which a fine mesh pattern is formed as a mask. The diffuse reflection pattern is provided by controlling the shape or size of the fine mesh pattern of the mask, characterized in that it has various optical properties.
상기 난반사 패턴은 상기 기판의 일면 또는 양면에 양각 또는 음각으로 형성될 수 있다. The diffuse reflection pattern may be embossed or engraved on one or both surfaces of the substrate.
여기서, 상기 난반사 패턴은 다각형의 조합으로 이루어지며, 단위 셀의 중앙부에 형성되는 중심패턴을 중심으로 그 주변에 일정한 형태의 다각형이 연속적으로 반복되게 형성되는 것을 특징으로 한다. Here, the diffuse reflection pattern is made of a combination of polygons, it is characterized in that a polygon of a certain shape is continuously and repeatedly formed around the central pattern formed in the central part of the unit cell.
또한, 상기 기판은 주로 입사하는 빛의 반사가 가능한 유리 기판을 중심으로 설명하지만 고분자 기판 또는 금속 기판 중 어느 하나로도 이루어질 수 있다. In addition, although the substrate is mainly described with respect to a glass substrate capable of reflecting incident light, it may be formed of either a polymer substrate or a metal substrate.
한편, 상기와 같은 목적을 달성하기 위해 본 발명에서는 부분적으로 빛이 통하는 미세 메쉬 패턴이 규칙적으로 형성되어 있는 마스크를 준비하는 마스크 준비단계와, 상기 마스크가 준비되면 난반사 기판을 만들고자 하는 기판에 감광제를 얇게 도포하여 감광제 박막을 형성하는 감광막 형성단계와, 상기 마스크를 감광제가 도포되어 있는 기판에 접촉한 후 자외선을 노광하는 노광단계와, 노광 후 현상액을 이용하여 기판 위에 있는 감광제를 선택적으로 제거함으로서 기판 위에 규칙적인 감광막 미세 패턴을 형성하는 현상단계와, 상기 감광막 미세 패턴이 있는 기판을 식각처리하여 기판 위에 규칙적인 미세 패턴을 전사하는 식각단계와, 상기 미세 패턴이 전사된 기판에 남아 있는 감광막을 제거하는 감광막 제거단계와, 감광막이 제거된 기판을 증류수로 세정하여 기판의 표면에 규칙적인 난반사 패턴이 형성되는 단계를 포함하는 난반사 유리 기판 제조방법이 제공된다.On the other hand, in order to achieve the above object, in the present invention, a mask preparation step of preparing a mask in which a fine mesh pattern through which light partially passes is regularly formed, and a photosensitizer on a substrate to make a diffuse reflection substrate when the mask is prepared A photoresist film forming step of forming a thin film of a photosensitive agent by applying a thin layer, an exposure step of exposing the mask to ultraviolet light after contacting the substrate with a photosensitive agent applied thereto, and selectively removing the photosensitive agent on the substrate using a developer after exposure to the substrate A developing step of forming a regular micropattern of a photoresist film thereon, an etching step of transferring the regular micropattern on the substrate by etching the substrate having the micropattern of the photoresist film, and removing the photoresist film remaining on the substrate to which the micropattern is transferred There is provided a method for manufacturing a diffusely reflective glass substrate comprising: removing the photosensitive film;
여기서, 상기 마스크는 유리 마스크, 석영 마스크, 고분자 마스크, 금속 마스크, 세라믹 스크린, 실크 스크린 중 어느 하나로 이루어질 수 있다. Here, the mask may be formed of any one of a glass mask, a quartz mask, a polymer mask, a metal mask, a ceramic screen, and a silk screen.
여기서 상기 금속이나 실크 스크린 마스크의 미세 메쉬 패턴은 30 내지 600목의 크기를 가진 메쉬를 사용하는 것을 특징으로 한다. Here, the fine mesh pattern of the metal or silk screen mask is characterized in that a mesh having a size of 30 to 600 is used.
또한, 상기 식각단계에서는, 상기 감광막 미세 패턴이 있는 기판을 식각액에 일정 시간 담그는 딥 식각(Dip Etching), 스프레이 방식으로 화학약품을 사용하는 습식 식각 또는 식각 가스, 플라즈마, 이온빔을 사용하는 건식 식각 중 어느 하나의 방식을 이용할 수 있다. In addition, in the etching step, dip etching in which the substrate having the photoresist micropattern is immersed in an etchant for a certain period of time, wet etching using chemicals in a spray method, or dry etching using etching gas, plasma, or ion beam Either method can be used.
한편, 상기 감광막 형성단계에서는 스핀 코팅, 롤 코팅, 바 코팅, 딥 코팅을 포함하는 감광제 도포 방식을 이용하거나, 감광제 박막을 기판에 접합하여 감광제 박막을 형성하는 감광제 접합 방식을 이용할 수 있다. Meanwhile, in the photosensitive film forming step, a photosensitive agent application method including spin coating, roll coating, bar coating, and dip coating may be used, or a photosensitive agent bonding method of bonding a photosensitive agent thin film to a substrate to form a photosensitive agent thin film may be used.
상기와 같은 본 발명에 의하면, 불규칙한 바운더리 식각이나 미세 입자 마스크를 사용하는 기술로는 불가능했던 규칙적인 난반사 패턴을 유리 기판에 형성할 수 있는 효과가 있다. According to the present invention as described above, there is an effect that can form a regular diffuse reflection pattern on the glass substrate, which was not possible with a technique using an irregular boundary etching or a fine particle mask.
또한, 불규칙한 크기의 경계면 식각 기술이 아닌, 제조자가 원하는 임의의 크기와 모양을 가진 규칙적인 미세 패터닝을 가지는 난반사 유리 기판을 제조할 수 있다. Also, it is possible to manufacture a diffusely reflective glass substrate having regular fine patterning having an arbitrary size and shape desired by a manufacturer, rather than an irregularly sized interface etching technique.
또한, 유리 기판 뿐 아니라 고분자 기판, 금속 기판 등 입사광을 반사하는 어떤 재질의 기판도 난반사 기판으로 쉽게 만들 수 있다. In addition, not only a glass substrate, but also a substrate made of any material that reflects incident light, such as a polymer substrate or a metal substrate, can be easily made into a diffuse reflection substrate.
또한, 본 발명에 의해 개발된 난반사 유리 표면에서는 원하는 다양한 규칙적인 패터닝에 의한 난반사 기능을 구현할 수 있어 종래의 크기가 매우 불규칙적으로 존재하는 바운더리 식각 공정 기반의 난반사 유리 제조 기법과는 확연히 구별할 수 있으며, 본 발명을 통해 앞으로는 더욱 다양한 종류의 패턴을 가지는 난반사 기판 뿐만 아니라 다양한 난반사 기판들을 편리하게 만들 수 있어 난반사 기판 제조 산업 발전에 크게 기여할 수 있을 것으로 예상한다. In addition, the diffuse reflection glass surface developed by the present invention can implement the desired diffuse reflection function by various regular patterning, so it can be clearly distinguished from the conventional diffuse reflection glass manufacturing technique based on the boundary etching process in which the size is very irregular. , it is expected that, through the present invention, it will be possible to conveniently make various diffuse reflective substrates as well as diffuse reflective substrates having more various types of patterns in the future, thereby greatly contributing to the development of the diffuse reflective substrate manufacturing industry.
본 발명의 관점은 임의의 유리 기판에 난반사 기능을 제공하는데 있어 1) 미세한 메쉬 패턴을 가진 실크 스크린을 패턴 마스크로 사용하고 2) 그 패턴이 전사되었을 때의 패턴의 깊이와 모양, 크기의 최적화 조합에 의해 난반사 기능을 부여한다는 특징이 있다. 따라서 종래의 일반적인 반도체 제조용 패터닝에 주로 사용하는 유리나 석영 마스크와도 소재나 응용적으로 사용하는 마스크 종류가 완전히 다른 실크 스크린 마스크를 사용한다는 특징을 가지고 있다. 또한 실크 스크린 그 자체에 어떤 추가적인 패턴을 제작하지 않고 사용한다는 측면에서 전자회로 기판 등의 패턴에 사용하는 실크 스크린 기반 감광제 마스크와도 그 활용 방법이 확연히 구별된다. An aspect of the present invention is to provide a diffuse reflection function to an arbitrary glass substrate: 1) using a silk screen with a fine mesh pattern as a pattern mask, and 2) an optimized combination of depth, shape, and size of the pattern when the pattern is transferred It has the characteristic of imparting a diffuse reflection function by Therefore, it has the characteristic of using a silk screen mask, which is completely different from the glass or quartz mask mainly used for patterning for semiconductor manufacturing in the prior art, which has a completely different material and type of mask used for application. In addition, in that it is used without making any additional patterns on the silk screen itself, its application method is clearly distinguished from the silk screen-based photosensitizer mask used for patterns such as electronic circuit boards.
도 1은 본 발명에 따른 난반사 유리 기판 제조방법의 실시예를 나타내는 공정도이다.
도 2는 본 발명에 따른 난반사 기판의 제조방법을 나타내는 순서도이다.
도 3은 종래의 바운더리 식각 기술을 이용하여 제작한 난반사 유리 표면의 사진이다.
도 4는 본 발명에 의해 실크 스크린 마스크 미세 패턴의 식각 전사 기술을 이용하여 제조된 난반사 유리의 표면 사진이다 (250목 스크린 마스크 사용).1 is a process diagram showing an embodiment of a method for manufacturing a diffuse reflection glass substrate according to the present invention.
2 is a flowchart illustrating a method of manufacturing a diffuse reflection substrate according to the present invention.
3 is a photograph of a diffusely reflective glass surface fabricated using a conventional boundary etching technique.
4 is a photograph of the surface of the diffusely reflective glass manufactured using the etching transfer technology of the silk screen mask micro-pattern according to the present invention (using a 250-neck screen mask).
구체 예에 있어서, 본 발명의 제품 및 본 발명의 제조, 사용 방법은 이하 논의된 바와 같은 실시 예를 포함하는 하나 이상의 바람직한 특성 또는 관점을 제공한다. 청구항 중 어느 것에 인용된 특성 또는 관점은 본 발명의 모든 양상에 일반적으로 적용 가능하다. 어떤 한 청구항에서 인용된 단일 또는 다중 특성 또는 관점은 어떤 다른 청구항, 또는 청구항들에서 어떤 다른 인용된 특성 또는 관점과 조합으로 변경될 수 있다. 난반사 기판과 이를 제조하는 방법 발명을 실시하기 위한 구체적인 내용은 실시 예를 들어 설명한다. In embodiments, articles of the present invention and methods of making, using, and using the present invention provide one or more desirable characteristics or aspects, including embodiments as discussed below. A feature or aspect recited in any of the claims is generally applicable to all aspects of the invention. A single or multiple feature or aspect recited in any one claim may be modified in any other claim or combination with any other recited feature or aspect in the claims. Specific details for carrying out the invention of a diffuse reflection substrate and a method for manufacturing the same will be described with reference to examples.
본 발명은 앞에 언급한 불규칙적인 바운더리 식각이나 미세입자 도포에 의한 난반사 유리 제조방법의 문제들을 해결하기 위해서, 매우 독창적 관점에서 규칙적인 미세 패턴을 이용한 난반사 유리 기판 제조방법을 제안한다. The present invention proposes a method for manufacturing a diffusely reflective glass substrate using a regular fine pattern from a very original point of view in order to solve the problems of the above-mentioned irregular boundary etching or the diffuse reflection glass manufacturing method by applying fine particles.
도 1은 본 발명에 따른 난반사 유리 기판 제조방법의 실시예를 나타내는 공정도이고, 도 2는 본 발명에 따른 난반사 기판의 제조방법을 나타내는 순서도로서, 본 발명의 난반사 유리 기판 제조방법은 크게, 마스크 준비단계(S110), 감광막 형성단계(S120), 노광단계(S130), 현상단계(S140), 식각단계(S150), 감광막 제거단계(S160), 난반사 패턴 형성단계(S170)로 진행된다. 1 is a process diagram showing an embodiment of a method for manufacturing a diffusely reflective glass substrate according to the present invention, and FIG. 2 is a flowchart showing a method for manufacturing a diffusely reflective substrate according to the present invention. The diffuse reflection glass substrate manufacturing method of the present invention is largely, mask preparation Step S110, photoresist film forming step S120, exposure step S130, developing step S140, etching step S150, photoresist film removal step S160, and diffuse reflection pattern forming step S170 are performed.
본 발명의 난반사용 미세 패턴 형성을 위해, 상기 마스크 준비단계(S110)에서는 부분적으로 빛이 통하는 미세 메쉬 패턴(12)이 규칙적으로 형성되어 있는 마스크(10)를 준비한다(도 1의 (a)). In order to form a fine pattern for diffuse reflection of the present invention, in the mask preparation step (S110), a
여기서, 상기 마스크(10)는 반도체 제조에 사용되는 석영 마스크, 유리 마스크, 고분자 마스크, 금속 마스크, 세라믹 스크린, 실크 스크린 등이 사용될 수 있다. Here, as the
구체적으로, 상기 마스크(10)의 미세 패턴(12)은 반도체 제조에 사용되는 석영 마스크, 유리 마스크, 필름 마스크에 패턴을 제작해서 사용할 수 있다. 그러나 본 발명에서는 석영 마스크 등 고가의 공정 비용이 필요없이, 이미 상용화되어 있으며 빛의 차폐가 가능한 미세 패턴을 가지고 있는 실크 스크린 메쉬를 사용하였다.Specifically, the
본 발명의 관점은 임의의 유리 기판에 난반사 기능을 제공하는데 있어 미세한 메쉬 패턴을 가진 실크 스크린을 패턴 마스크로 사용하고, 그 패턴이 전사되었을 때의 패턴의 깊이와 모양, 크기의 최적화 조합에 의해 난반사 기능을 부여한다는 특징이 있다.An aspect of the present invention is to use a silk screen having a fine mesh pattern as a pattern mask in providing a diffuse reflection function to an arbitrary glass substrate, and diffuse reflection by an optimized combination of depth, shape, and size of the pattern when the pattern is transferred. It is characterized by giving a function.
따라서 종래의 일반적인 반도체 제조용 패터닝에 주로 사용하는 유리나 석영 마스크와 소재나 응용적으로 사용하는 마스크 종류가 완전히 다른 실크 스크린 마스크를 사용한다는 특징을 가지고 있으며, 실크 스크린 그 자체에 어떤 추가적인 패턴을 제작하지 않고 사용한다는 측면에서 전자회로 기판 등의 패턴에 사용하는 실크 스크린 기반 감광제 마스크와도 그 활용 방법이 확연히 구별된다. Therefore, it has the characteristic of using a silk screen mask that is completely different from the glass or quartz mask mainly used for patterning for semiconductor manufacturing in the prior art, and it does not produce any additional patterns on the silk screen itself. In terms of use, the method of application is clearly distinguished from the silk screen-based photosensitizer mask used for patterns on electronic circuit boards.
여기서, 상기 마스크(10)의 미세 메쉬 패턴(12)은 30 내지 600목의 크기를 가진 메쉬를 사용하는 것이 바람직하며, 더욱 세밀하게는 100 내지 400목의 크기를 가진 메쉬나 패턴을 사용한 마스크를 이용하는 것도 가능하다. Here, for the
상기 마스크(10)가 준비되면 난반사 기판을 만들고자 하는 기판(20)에 감광제를 얇게 도포하여 감광제 박막(30)을 형성한다(도 1의 (c)). When the
본 발명에서 상기 기판(20)은 입사하는 빛의 반사가 가능한 유리 기판, 고분자 기판 또는 금속 기판 중 어느 하나로 이루어질 수 있으며, 본 발명의 실시예에서는 유리 기판을 예로 들어 설명하기로 한다. In the present invention, the
상기 감광막(30)을 형성하는 단계에서는 스핀 코팅, 롤 코팅, 바 코팅, 딥 코팅을 포함하는 감광제 도포 방식을 이용하거나, 감광제 박막을 기판에 접합하여 감광제 박막을 형성하는 감광제 접합 방식을 이용할 수 있다. In the step of forming the
이후, 상기 마스크(10)를 감광제가 도포되어 있는 기판에 접촉한 후 자외선을 조사하는 노광단계를 진행한다(도 1의 (d)).Thereafter, after the
상기 마스크(10)를 통해 자외선을 조사하면, 마스크(10)의 미세 스크린 메쉬 패턴(12)을 통과한 광이 감광막(30)에 닿아 선택적으로 노광한다. When ultraviolet rays are irradiated through the
노광 후 현상액을 이용하여 기판 위에 있는 감광제를 선택적으로 제거함으로서 기판(20) 위에 규칙적인 감광막 미세 패턴(32)을 형성한다(도 1의 (e)). After exposure, the photoresist on the substrate is selectively removed using a developer to form a regular photoresist film
이와 같은 현상단계를 통해 노광단계에서 노광되거나 혹은 노광되지 않은 부분을 잔류시켜 유리 기판 위에 일정한 미세 패턴을 가지는 감광제 박막을 제작하는 것이다. Through such a development step, the exposed or unexposed portion in the exposure step is left behind to manufacture a photosensitizer thin film having a certain fine pattern on the glass substrate.
이후, 상기 감광막 미세 패턴(32)이 있는 기판(20)을 식각처리하여 기판 위에 규칙적인 미세 패턴(22)을 전사하는 식각단계를 진행한다(도 1의 (f)). Thereafter, the
상기 식각단계에서는, 상기 감광막 미세 패턴(32)이 있는 기판(20)을 식각액(40)에 일정 시간 담그는 딥 식각(Dip Etching), 스프레이 방식으로 화학약품을 사용하는 습식 식각 또는 식각 가스, 플라즈마, 이온빔을 사용하는 건식 식각 중 어느 하나의 방식을 이용할 수 있다. In the etching step, dip etching in which the
상기 식각액(40)은 예를 들어, Buffered Oxide Etching Solution 등의 유리 식각액이 사용될 수 있으며, 상기와 같은 유리 식각액에 일정 시간 담근 후에 증류수로 세척한다. 이와 같이 식각액에 담그는 식각단계를 통해 상기 기판(20)의 표면에 미세 패턴(22)을 규칙적으로 전사할 수 있는 것이다. The
상기 미세 패턴이 전사된 기판(20)에 남아 있는 감광막을 아세톤을 이용하여 제거한 후, 감광막이 제거된 기판을 증류수로 세정한다. After the photosensitive film remaining on the
이 각각의 공정을 순서대로 거치게 되면 최종적으로 스크린 메쉬가 가지고 있는 일정한 미세 패턴이 유리 기판 표면에 식각을 통해 만들어진다. 이때 만들어지는 패턴의 크기나 모양을 제어함으로서 다양한 광학적 특성을 가지는 난반사 유리를 편리하게 제조할 수 있다. When each of these processes is passed in order, a certain fine pattern of the screen mesh is finally created through etching on the surface of the glass substrate. At this time, by controlling the size or shape of the pattern to be made, it is possible to conveniently manufacture diffused reflection glass having various optical properties.
본 발명을 통해 개발된 공정 기술에서 사용하는 유리 식각액은 종래의 불규칙적인 바운더리 식각에 의한 난반사 유리 제조 기술에서 사용하는 혼합 식각액 보다 더욱 안전하며, 환경 친화적이다. 또한, 제조된 난반사 유리 기판도 매우 규칙적인 패턴을 가지고 있어, 난반사 불량 검사 장비의 자동화가 가능하며 품질 제어에 더욱 효율적으로 대처할 수 있다.The glass etchant used in the process technology developed through the present invention is safer and more environmentally friendly than the mixed etchant used in the conventional diffuse reflection glass manufacturing technology by irregular boundary etching. In addition, the manufactured diffuse reflection glass substrate also has a very regular pattern, so it is possible to automate the diffuse reflection defect inspection equipment and to cope with quality control more efficiently.
이와 같은 제조방법에 의해 제조된 난반사 기판은 도 4에 도시한 바와 같이, 기판(20)의 표면에 모양, 크기 또는 배열이 규칙적으로 나타나는 난반사 패턴(22)이 형성된다. 상기 패턴(22)은 상기 기판의 일면 또는 양면에 양각 또는 음각으로 형성될 수 있다. As shown in FIG. 4 , the diffuse
여기서, 상기 난반사 패턴(22)은 다각형의 조합으로 이루어질 수 있다. Here, the diffuse
도 4에서 보는 바와 같이, 상기 유리 위의 난반사 패턴(22)은 단위 셀의 중앙부에 형성되는 중심패턴을 중심으로 그 주변에 일정한 형태의 다각형이 연속적으로 반복되게 형성될 수 있다. As shown in FIG. 4 , the diffuse
상기 난반사 유리 패턴은 상기 마스크의 미세 메쉬 패턴의 모양이나 크기를 제어함으로써, 조절이 가능하다. 즉, 상기 마스크의 미세 메쉬 패턴의 모양을 정사각형으로 하는 경우, 상기 난반사 패턴의 중심패턴이 정사각형으로 형성되며, 그 주변으로 작은 형태의 다각형이 연속적이면서 규칙적으로 배열될 수 있다. The diffuse reflection glass pattern can be adjusted by controlling the shape or size of the fine mesh pattern of the mask. That is, when the shape of the fine mesh pattern of the mask is square, the central pattern of the diffuse reflection pattern is formed in a square shape, and small polygons may be continuously and regularly arranged around it.
따라서, 본 발명에서는 상기 패턴의 모양이나 크기 등을 제어함으로써, 다양한 광학적 특성을 가지는 난반사 유리 기판을 제조할 수 있다.Therefore, in the present invention, by controlling the shape and size of the pattern, it is possible to manufacture a diffusely reflective glass substrate having various optical properties.
[실시예] [Example]
본 발명에 의한 규칙적 마스크 패턴에 의한 난반사 유리 제조공정은 도 1에 도시한 바와 같이, 미세 메쉬 패턴(12)이 형성된 마스크(10)를 준비한다. 본 실시예에서는 250 또는 300 목의 실크 스크린을 100x100㎟의 크기로 재단하여 마스크로 준비하였다.In the diffuse reflection glass manufacturing process by the regular mask pattern according to the present invention, as shown in FIG. 1 , a
이후, 소다 라임 기판에 감광제(제품 명: QX601)을 스핀코팅을 통해 3,000 rpm에서 1㎛ 두께로 증착하였다. 이후 실크 스크린 마스크를 감광제가 도포된 기판에 올려, 접촉한 후 자외선을 5분간 수직으로 조사하였다. 이후, 처리된 기판을 감광제 현상액(제품 명: AZ 400)에 15초간 담그어 노광된 감광제 박막 부분을 제거하여 감광제 미세 패턴을 유리 위에 제작하였다. Thereafter, a photosensitizer (product name: QX601) was deposited on the soda lime substrate at 3,000 rpm to a thickness of 1 μm through spin coating. After that, the silk screen mask was placed on the substrate coated with the photosensitive agent, and after contacting it, ultraviolet rays were vertically irradiated for 5 minutes. Thereafter, the treated substrate was immersed in a photosensitizer developer (product name: AZ 400) for 15 seconds to remove the exposed photosensitizer thin film portion to prepare a photosensitizer micropattern on the glass.
이 기판을 식각 용액(Buffered Oxide Etching Solution)에 약 10초간 담그어 유리 표면 식각을 통해 미세 패턴을 제작하였다. 유리 식각 후에 증류수로 세정한 후 아세톤으로 남아 있는 감광제 박막을 제거하였다. The substrate was immersed in an etching solution (Buffered Oxide Etching Solution) for about 10 seconds to fabricate a fine pattern through glass surface etching. After the glass was etched and washed with distilled water, the thin film of the photosensitizer remained with acetone was removed.
최종적으로 증류수로 마지막 세정을 하여 난반사 유리 기판 제작을 완료 하였다. Finally, the final washing was performed with distilled water to complete the fabrication of the diffuse reflection glass substrate.
<결과 분석><Result analysis>
도 3은 종래의 바운더리 식각 기술을 이용하여 제작한 난반사 유리 표면의 사진이고, 도 4는 본 발명에 의해 실크 스크린 마스크 미세 패턴의 식각 전사 기술을 이용하여 제조된 난반사 유리의 표면 사진이다(250목 스크린 마스크 사용)3 is a photograph of the surface of the diffusely reflective glass manufactured using the conventional boundary etching technique, and FIG. 4 is a photograph of the surface of the diffusely reflective glass manufactured using the etching transfer technology of the silk screen mask fine pattern according to the present invention (250 items) screen mask)
이를 비교하면, 두 개의 공정 결과 차이를 확실하게 이해할 수 있다. Comparing them, the difference between the two process results can be clearly understood.
본 발명을 통해 제작된 실크 스크린 미세 패턴 난반사 유리의 특성의 한 예를 표 1에 정리하였다.An example of the characteristics of the silk screen fine pattern diffuse reflection glass produced through the present invention is summarized in Table 1.
[표 1] 본 발명을 통해 제작된 실크 스크린 미세 패턴 난반사 유리의 특성[Table 1] Characteristics of silk screen fine pattern diffused reflection glass produced through the present invention
(400-700 nm) (%)transmittance
(400-700 nm) (%)
본 발명에 의해 개발된 난반사 유리 표면에서는 원하는 다양한 규칙적인 패터닝에 의한 난반사 기능을 구현할 수 있어 종래의 크기가 매우 불규칙적으로 존재하는 바운더리 식각 공정 기반의 난반사 유리 제조 기법과는 확연히 구별할 수 있으며, 본 발명을 통해 앞으로는 더욱 다양한 종류의 패턴을 가지는 난반사 기판 뿐만 아니라 다양한 난반사 기판들을 편리하게 만들 수 있어 난반사 기판 제조 산업 발전에 크게 기여할 수 있을 것으로 예상한다. The diffuse reflection glass surface developed by the present invention can realize the desired diffuse reflection function by various regular patterning, so it can be clearly distinguished from the conventional diffuse reflection glass manufacturing technique based on the boundary etching process in which the size is very irregular. Through the invention, it is expected that it will be possible to conveniently make various diffuse reflective substrates as well as diffuse reflective substrates having more various types of patterns in the future, thereby greatly contributing to the development of the diffuse reflective substrate manufacturing industry.
10: 마스크 12: 미세 메쉬 패턴
20: 기판 22: 난반사 패턴
30: 감광제 박막 32: 감광막 미세 패턴
40: 식각액10: mask 12: fine mesh pattern
20: substrate 22: diffuse reflection pattern
30: photosensitive thin film 32: photosensitive film fine pattern
40: etchant
Claims (7)
상기 마스크가 준비되면 난반사 유리 기판을 만들고자 하는 기판에 감광제를 얇게 도포하여 감광제 박막을 형성하는 감광막 형성단계;
상기 마스크를 감광제가 도포되어 있는 기판에 접촉한 후 자외선을 5분 동안 노광하는 노광단계;
노광 후 현상액을 이용하여 기판 위에 있는 감광제를 선택적으로 제거함으로서 기판 위에 규칙적인 감광막 미세 패턴을 형성하는 현상단계;
상기 감광막 미세 패턴이 있는 기판을 식각액에 일정 시간 담그는 딥 식각(Dip Etching), 스프레이 방식으로 화학약품을 사용하는 습식 식각 또는 식각 가스, 플라즈마, 이온빔을 사용하는 건식 식각 중 어느 하나의 방식을 이용하여 상기 감광막 미세 패턴이 있는 기판을 식각처리하여 기판 위에 마스크의 규칙적인 미세 패턴을 전사하는 식각단계;
상기 미세 패턴이 전사된 유리 기판에 남아 있는 감광막을 제거하는 감광막 제거단계; 및
감광막이 제거된 기판을 증류수로 세정하여 기판의 표면에 규칙적인 난반사 패턴이 형성되는 단계;
를 포함하며,
상기 난반사 패턴은 다각형의 조합으로 이루어지며, 단위 셀의 중앙부에 형성되는 중심패턴과, 상기 중심패턴을 중심으로 그 주변에 일정한 형태의 다각형이 연속적으로 반복되게 형성되는 것을 특징으로 하고,
상기 마스크의 미세 메쉬 패턴은 30 내지 600목의 크기를 가진 메쉬를 사용하는 것을 특징으로 하며,
상기 감광막 형성단계에서는 스핀 코팅, 롤 코팅, 바 코팅, 딥 코팅을 포함하는 감광제 도포 방식을 이용하거나, 감광제 박막을 기판에 접합하여 감광제 박막을 형성하는 감광제 접합 방식을 이용하는 것을 특징으로 하며,
상기 중심패턴은 가로와 세로가 각각 25.89㎛, 27.68㎛ 인 것을 특징으로 하고, 상기 다각형의 가로와 세로가 각각 14.64㎛, 5.24㎛ 인 것을 특징으로 하며,
상기 식각단계에서 사용되는 식각액은 Buffered Oxide Etching Solution이 포함된 유리 식각액에 10초 동안 식각단계를 수행하는 것을 특징으로 하며,
상기 감광제를 스핀코팅에 의해 3,000 rpm에서 1㎛ 두께로 증착하는 것을 특징으로 하고,
상기 감광막 제거단계에서는 감광제 현상액에 15초 동안 담그어 노광된 감광제 박막 부분을 제거하는 것을 특징으로 하는, 난반사 유리 기판 제조방법.A mask preparation step of preparing a silk screen mask in which a fine mesh pattern through which light partially passes is regularly formed;
When the mask is prepared, a photosensitive film forming step of forming a thin film of a photosensitive agent by thinly coating a photosensitive agent on a substrate to be made a diffuse reflection glass substrate;
an exposure step of exposing the mask to a substrate on which a photosensitive agent is applied and then exposing the mask to ultraviolet light for 5 minutes;
A developing step of forming a regular photoresist film pattern on the substrate by selectively removing the photosensitive agent on the substrate using a developer after exposure;
Dip etching in which the substrate having the photoresist micropattern is immersed in an etchant for a certain period of time, wet etching using chemicals as a spray method, or dry etching using etching gas, plasma, or ion beam. an etching step of transferring the regular fine pattern of the mask onto the substrate by etching the substrate having the photosensitive film fine pattern;
a photoresist film removal step of removing the photoresist film remaining on the glass substrate to which the fine pattern has been transferred; and
forming a regular diffuse reflection pattern on the surface of the substrate by washing the substrate from which the photosensitive film is removed with distilled water;
includes,
The diffuse reflection pattern is made of a combination of polygons, and a central pattern formed in the central part of the unit cell, and a polygon of a certain shape around the central pattern are continuously and repeatedly formed around the central pattern,
The fine mesh pattern of the mask is characterized by using a mesh having a size of 30 to 600 necks,
In the photosensitive film forming step, a photosensitive agent application method including spin coating, roll coating, bar coating, and dip coating is used, or a photosensitive agent bonding method in which a photosensitive agent thin film is formed by bonding a photosensitive agent thin film to a substrate is used.
The central pattern is characterized in that the width and length are 25.89㎛ and 27.68㎛, respectively, and the width and length of the polygon are 14.64㎛ and 5.24㎛, respectively,
The etching solution used in the etching step is characterized in that the etching step is performed for 10 seconds in a glass etching solution containing a Buffered Oxide Etching Solution,
It is characterized in that the photosensitizer is deposited to a thickness of 1 μm at 3,000 rpm by spin coating,
In the photoresist film removal step, the method for manufacturing a diffuse reflection glass substrate, characterized in that the exposed photoresist thin film portion is removed by immersing it in a photosensitive developer solution for 15 seconds.
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