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KR102303593B1 - Apparatus and Method for treating substrate - Google Patents

Apparatus and Method for treating substrate Download PDF

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KR102303593B1
KR102303593B1 KR1020190140317A KR20190140317A KR102303593B1 KR 102303593 B1 KR102303593 B1 KR 102303593B1 KR 1020190140317 A KR1020190140317 A KR 1020190140317A KR 20190140317 A KR20190140317 A KR 20190140317A KR 102303593 B1 KR102303593 B1 KR 102303593B1
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KR
South Korea
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cooling
substrate
heater member
nozzle
plate
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KR1020190140317A
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이승한
이은탁
서종석
지석환
방제오
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세메스 주식회사
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Publication date
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Abstract

본 발명은 기판을 처리하는 장치를 제공한다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 내부에 처리공간을 제공하는 하우징; 그리고 처리공간에서 기판을 지지하는 지지 유닛을 포함하고, 지지 유닛은, 기판을 지지하는 지지 플레이트; 지지 플레이트에 제공되어 기판을 가열하는 히터 부재; 그리고, 히터 부재의 아래에 제공되며 지지 플레이트를 강제 냉각하는 냉각 유닛과; 냉각 유닛을 제어하는 제어기를 포함하되, 냉각 유닛은, 히터 부재와 이격되도록 히터 부재의 아래에 배치된 냉각 플레이트; 그리고 냉각 플레이트에 제공되어 히터 부재의 저면으로 냉각 가스를 공급하는 노즐과; 노즐을 이동시키는 구동기를 포함하며, 노즐은 냉각 플레이트 상에서 이동 가능하게 제공될 수 있다.The present invention provides an apparatus for processing a substrate. According to an embodiment of the present invention, a housing for providing a processing space therein; and a support unit for supporting the substrate in the processing space, the support unit comprising: a support plate for supporting the substrate; a heater member provided on the support plate to heat the substrate; And, a cooling unit provided under the heater member for forcibly cooling the support plate; A controller for controlling the cooling unit, the cooling unit comprising: a cooling plate disposed below the heater member to be spaced apart from the heater member; and a nozzle provided on the cooling plate to supply the cooling gas to the bottom surface of the heater member; a actuator for moving the nozzle, the nozzle may be provided movably on the cooling plate.

Figure R1020190140317
Figure R1020190140317

Description

기판 처리 장치 및 방법{Apparatus and Method for treating substrate}Apparatus and Method for treating substrate

본 발명은 기판을 가열 처리하는 장치 및 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus and method for heat treating a substrate.

반도체 소자를 제조하기 위해서는 세정, 증착, 사진, 식각, 그리고 이온주입 등과 같은 다양한 공정이 수행된다. 이러한 공정들 중 사진 공정은 기판 상에 감광액과 같은 액막을 형성하는 공정을 포함한다. In order to manufacture a semiconductor device, various processes such as cleaning, deposition, photography, etching, and ion implantation are performed. Among these processes, a photographic process includes a process of forming a liquid film such as a photoresist on a substrate.

기판 상에 액막을 형성한 후에는 기판을 가열하는 베이크 공정이 진행된다. 베이크 공정은 상온에 비해 매우 높은 온도에서 진행되며, 이를 위해 기판을 가열하는 히터가 이용된다. After the liquid film is formed on the substrate, a baking process of heating the substrate is performed. The bake process is performed at a very high temperature compared to room temperature, and for this purpose, a heater for heating the substrate is used.

베이크 공정을 수행하는 챔버는 기판에 따라 서로 상이한 온도로 기판을 가열한다. 예컨대, 선행 기판을 제1온도로 처리하고, 이후에 베이크 챔버로 반입되는 후속 기판은 제1온도 보다 낮은 제2온도로 처리한다. 선행 기판을 제1온도로 처리한 이후에, 후속 기판을 제1온도 보다 낮은 제2온도로 처리하기 위해서는 히터를 냉각시키는 냉각 과정이 요구된다.The chamber for performing the bake process heats the substrate to different temperatures depending on the substrate. For example, a preceding substrate is treated at a first temperature, and a subsequent substrate loaded into the bake chamber thereafter is treated at a second temperature lower than the first temperature. After the preceding substrate is treated at the first temperature, a cooling process for cooling the heater is required to treat the subsequent substrate to the second temperature lower than the first temperature.

일반적으로, 냉각 과정에서, 히터를 향해 냉각 가스를 공급하여 히터를 냉각시킨다. 그러나, 히터의 영역 마다 냉각 속도에 차이가 발생하여 최종적으로 히터를 원하는 온도로 냉각시키는 데에 많은 시간이 소요된다.In general, in a cooling process, a cooling gas is supplied to the heater to cool the heater. However, a difference occurs in the cooling rate for each region of the heater, and it takes a lot of time to finally cool the heater to a desired temperature.

본 발명은 가열 유닛의 냉각 시, 냉각 효율을 높일 수 있는 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법을 제공하기 위한 것이다.An object of the present invention is to provide a substrate processing apparatus and a substrate processing method capable of increasing cooling efficiency when cooling a heating unit.

본 발명은 가열 유닛의 냉각 시, 가열 유닛을 균일하게 냉각할 수 있는 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법을 제공하기 위한 것이다.An object of the present invention is to provide a substrate processing apparatus and a substrate processing method capable of uniformly cooling the heating unit when the heating unit is cooled.

본 발명은 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The present invention is not limited thereto, and other objects not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

본 발명은 기판을 처리하는 장치를 제공한다. 본 발명의 일 실시예에 의하면, 기판 처리 장치는, 내부에 처리공간을 제공하는 하우징; 그리고 처리공간에서 기판을 지지하는 지지 유닛을 포함하고, 지지 유닛은, 기판을 지지하는 지지 플레이트; 지지 플레이트에 제공되어 기판을 가열하는 히터 부재; 그리고, 히터 부재의 아래에 제공되며 지지 플레이트를 강제 냉각하는 냉각 유닛과; 냉각 유닛을 제어하는 제어기를 포함하되, 냉각 유닛은, 히터 부재와 이격되도록 히터 부재의 아래에 배치된 냉각 플레이트; 그리고 냉각 플레이트에 제공되어 히터 부재의 저면으로 냉각 가스를 공급하는 노즐과; 노즐을 이동시키는 구동기를 포함하며, 노즐은 냉각 플레이트 상에서 이동 가능하게 제공될 수 있다.The present invention provides an apparatus for processing a substrate. According to an embodiment of the present invention, a substrate processing apparatus includes: a housing providing a processing space therein; and a support unit for supporting the substrate in the processing space, the support unit comprising: a support plate for supporting the substrate; a heater member provided on the support plate to heat the substrate; And, a cooling unit provided under the heater member for forcibly cooling the support plate; A controller for controlling the cooling unit, the cooling unit comprising: a cooling plate disposed below the heater member to be spaced apart from the heater member; and a nozzle provided on the cooling plate to supply the cooling gas to the bottom surface of the heater member; a actuator for moving the nozzle, the nozzle may be provided movably on the cooling plate.

일 실시예에 의하면, 냉각 플레이트는 그 상면에 슬롯이 형성되고, 노즐은 슬롯 내에 배치될 수 있다.According to one embodiment, the cooling plate may have a slot formed on its upper surface, and the nozzle may be disposed in the slot.

일 실시예에 의하면, 노즐은 냉각 플레이트의 원주 방향을 따라 복수 개 제공될 수 있다.According to an embodiment, a plurality of nozzles may be provided along the circumferential direction of the cooling plate.

일 실시예에 의하면, 노즐은, 냉각 플레이트의 중심으로부터 제1거리에 있는 제1지점과 냉각 플레이트의 중심으로부터 제2거리에 있는 제2지점 사이를 냉각 플레이트의 반경 방향으로 이동 가능하게 제공될 수 있다.According to one embodiment, the nozzle may be provided to be movable in the radial direction of the cooling plate between a first point at a first distance from the center of the cooling plate and a second point at a second distance from the center of the cooling plate. have.

일 실시예에 의하면, 노즐은 냉각 플레이트의 원주 방향으로 이동 가능하게 제공될 수 있다.According to one embodiment, the nozzle may be provided to be movable in the circumferential direction of the cooling plate.

일 실시예에 의하면, 노즐은, 냉각 플레이트의 중심으로부터 제1거리로 제공되고, 원주 방향을 따라 서로 이격되게 복수 개 제공되는 제1노즐들과; 냉각 플레이트의 중심으로부터 제2거리로 제공되고, 원주 방향을 따라 서로 이격되게 제공되는 제2노즐들을 구비하고, 제1노즐 각각이 이동되는 궤적은 서로간에 중첩되지 않고 제2노즐 각각이 이동되는 궤적은 서로 간에 중첩되지 않도록 제공될 수 있다.According to an embodiment, the nozzle includes: a plurality of first nozzles provided at a first distance from the center of the cooling plate and spaced apart from each other in a circumferential direction; The second nozzles are provided at a second distance from the center of the cooling plate and are provided to be spaced apart from each other along the circumferential direction, and the trajectories of movement of each of the first nozzles do not overlap with each other and trajectories of movement of each of the second nozzles. may be provided so as not to overlap each other.

일 실시예에 의하면, 냉각 유닛은, 히터 부재 상의 복수의 영역에 대응되게 제공되어 복수의 영역 각각에서 히터 부재의 온도를 측정하는 복수의 센서; 그리고 냉각 유닛을 제어하는 제어기를 더 포함할 수 있다.According to an embodiment, the cooling unit includes: a plurality of sensors provided to correspond to a plurality of regions on the heater member to measure the temperature of the heater member in each of the plurality of regions; And it may further include a controller for controlling the cooling unit.

일 실시예에 의하면, 제어기는, 센서가 측정한 히터 부재 상의 각 영역의 온도를 기반으로 히터 부재의 특정 영역이 기 설정된 온도 이상인 경우, 노즐이 특정 영역으로 이동하여 히터 부재의 저면으로 냉각 가스를 토출하도록 냉각 유닛을 제어할 수 있다.According to one embodiment, the controller, based on the temperature of each area on the heater member measured by the sensor, when a specific area of the heater member is equal to or higher than a preset temperature, the nozzle moves to the specific area to supply the cooling gas to the bottom surface of the heater member It is possible to control the cooling unit to discharge.

일 실시예에 의하면, 제어기는, 특정 영역이 기 설정된 온도가 될 때까지 노즐이 냉각 가스를 토출하도록 냉각 유닛을 제어할 수 있다.According to an embodiment, the controller may control the cooling unit so that the nozzle discharges the cooling gas until the specific area reaches a preset temperature.

일 실시예에 의하면, 냉각 유닛은, 냉각 플레이트를 구동시키는 구동부를 더 포함하고, 제어기는, 센서가 측정한 히터 부재 상의 각 영역의 온도를 기반으로 히터 부재의 평균 온도 값이 기 설정된 온도 이상인 경우, 냉각 플레이트가 히터 부재 방향으로 이동되도록 구동부를 제어할 수 있다.According to an embodiment, the cooling unit further includes a driving unit for driving the cooling plate, and the controller is configured to: When the average temperature value of the heater member is greater than or equal to a preset temperature based on the temperature of each region on the heater member measured by the sensor , the driving unit may be controlled to move the cooling plate toward the heater member.

또한, 본 발명은, 기판 처리 방법을 제공한다. 일 실시예에 의하면, 지지 플레이트가 기판을 제1온도로 가열하는 제1 가열 단계; 그리고Further, the present invention provides a substrate processing method. According to an embodiment, a first heating step in which the support plate heats the substrate to a first temperature; and

지지 플레이트에 냉각 가스를 공급하여 기 설정 온도가 되도록 강제 냉각시키는 냉각 단계를 포함하고, 노즐은, 냉각 단계에서 냉각 플레이트 상에서 이동되어 히터 부재의 전 영역을 균일하게 냉각시킬 수 있다.and a cooling step of forcibly cooling the support plate by supplying a cooling gas to a preset temperature, wherein the nozzle is moved on the cooling plate in the cooling step to uniformly cool the entire area of the heater member.

일 실시예에 의하면, 히터 부재에서 냉각 가스가 직접 맞닿는 영역이 변경되도록 노즐을 이동시킬 수 있다.According to an embodiment, the nozzle may be moved so that the area in which the cooling gas directly contacts the heater member is changed.

일 실시예에 의하면, 노즐은, 냉각 플레이트의 중심으로부터 제1거리에 있는 제1지점과 냉각 플레이트의 중심으로부터 제2거리에 있는 제2지점 사이를 냉각 플레이트의 반경 방향으로 이동할 수 있다.In one embodiment, the nozzle may move in a radial direction of the cooling plate between a first point at a first distance from the center of the cooling plate and a second point at a second distance from the center of the cooling plate.

일 실시예에 의하면, 노즐은 냉각 플레이트의 원주 방향으로 이동 가능하게 제공되고, 노즐은, 냉각 플레이트의 중심으로부터 제1거리로 제공되고, 원주 방향을 따라 서로 이격되게 복수 개 제공되는 제1노즐들과; 냉각 플레이트의 중심으로부터 제2거리로 제공되고, 원주 방향을 따라 서로 이격되게 제공되는 제2노즐들을 구비하고, 제1노즐 각각이 이동되는 궤적은 서로간에 중첩되지 않고 제2노즐 각각이 이동되는 궤적은 서로 간에 중첩되지 않도록 제공될 수 있다.According to an embodiment, the nozzle is provided movably in the circumferential direction of the cooling plate, the nozzle is provided at a first distance from the center of the cooling plate, and a plurality of first nozzles are provided to be spaced apart from each other along the circumferential direction class; The second nozzles are provided at a second distance from the center of the cooling plate and are provided to be spaced apart from each other along the circumferential direction, and the trajectories of movement of each of the first nozzles do not overlap with each other and trajectories of movement of each of the second nozzles. may be provided so as not to overlap each other.

일 실시예에 의하면, 냉각 단계에서, 히터 부재의 특정 영역이 기 설정된 온도 이상인 경우, 노즐이 특정 영역으로 이동하여 히터 부재의 저면으로 냉각 가스를 토출할 수 있다.According to an embodiment, in the cooling step, when the specific region of the heater member has a preset temperature or higher, the nozzle may move to the specific region to discharge the cooling gas to the bottom surface of the heater member.

일 실시예에 의하면, 냉각 단계에서, 특정 영역이 기 설정된 온도가 될 때까지 노즐이 냉각 가스를 토출할 수 있다.According to an embodiment, in the cooling step, the nozzle may discharge the cooling gas until the specific region reaches a preset temperature.

일 실시예에 의하면, 냉각 단계에서, 히터 부재 상의 각 영역의 온도를 기반으로 히터 부재의 평균 온도 값이 기 설정된 온도 이상인 경우, 냉각 플레이트를 히터 부재 방향으로 이동시킬 수 있다.According to an embodiment, in the cooling step, when the average temperature value of the heater member is equal to or greater than a preset temperature based on the temperature of each region on the heater member, the cooling plate may be moved in the direction of the heater member.

일 실시예에 의하면, 냉각 단계 이후에, 지지 플레이트가 기판을 제2온도로 가열하는 제2가열 단계를 더 포함하고, 제2온도는 제1온도보다 낮은 온도일 수 있다.According to an embodiment, after the cooling step, the support plate may further include a second heating step of heating the substrate to a second temperature, wherein the second temperature is lower than the first temperature.

본 발명의 실시예에 의하면, 가열 유닛의 냉각 시, 냉각 효율을 높일 수 있다.According to the embodiment of the present invention, when cooling the heating unit, it is possible to increase the cooling efficiency.

본 발명의 실시예에 의하면, 가열 유닛의 냉각 시, 가열 유닛을 균일하게 냉각할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, when the heating unit is cooled, the heating unit can be uniformly cooled.

본 발명의 효과가 상술한 효과들로 한정되는 것은 아니며, 언급되지 아니한 효과들은 본 명세서 및 첨부된 도면으로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확히 이해될 수 있을 것이다.Effects of the present invention are not limited to the above-described effects, and effects not mentioned will be clearly understood by those of ordinary skill in the art to which the present invention belongs from the present specification and accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리 장치를 개략적으로 보여주는 사시도이다.
도 2는 도 1의 도포 블럭 또는 현상 블럭을 보여주는 기판 처리 장치의 단면도이다.
도 3은 도 1의 기판 처리 장치의 평면도이다.
도 4는 도 3의 반송 로봇의 핸드의 일 예를 보여주는 도면이다.
도 5는 도 3의 열처리 챔버의 일 예를 개략적으로 보여주는 평면도이다.
도 6은 도 5의 열처리 챔버의 정면도이다.
도 7은 도 6의 가열 장치를 보여주는 단면도이다.
도 8 내지 도 9는 각각 도 7의 기판 지지 유닛을 보여주는 평면도와 단면도이다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 냉각 플레이트를 보여주는 평면도이다.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 방법의 순서를 보여주는 도면이다.
도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 냉각 플레이트를 보여주는 평면도이다.
도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 지지 유닛을 보여주는 단면도이다.
도 14는 본 발명의 다른 실시예에 따른 냉각 플레이트를 보여주는 평면도이다.1 is a perspective view schematically showing a substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a cross-sectional view of the substrate processing apparatus showing the application block or the developing block of FIG. 1 .
3 is a plan view of the substrate processing apparatus of FIG. 1 .
FIG. 4 is a view showing an example of a hand of the transport robot of FIG. 3 .
5 is a plan view schematically illustrating an example of the heat treatment chamber of FIG. 3 .
6 is a front view of the heat treatment chamber of FIG. 5 .
FIG. 7 is a cross-sectional view showing the heating device of FIG. 6 .
8 to 9 are a plan view and a cross-sectional view of the substrate support unit of FIG. 7, respectively.
10 is a plan view showing a cooling plate according to an embodiment of the present invention.
11 is a diagram illustrating a sequence of a substrate processing method according to an embodiment of the present invention.
12 is a plan view showing a cooling plate according to an embodiment of the present invention.
13 is a cross-sectional view illustrating a support unit according to an embodiment of the present invention.
14 is a plan view showing a cooling plate according to another embodiment of the present invention.

이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 더욱 상세하게 설명한다. 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형할 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래의 실시예들로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시예는 당 업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해 과장된 것이다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings. Embodiments of the present invention may be modified in various forms, and the scope of the present invention should not be construed as being limited to the following embodiments. This example is provided to more completely explain the present invention to those of ordinary skill in the art. Accordingly, the shapes of elements in the drawings are exaggerated to emphasize a clearer description.

도 1 내지 도 3를 참조하면, 기판 처리 장치(1)는 인덱스 모듈(20, index module), 처리 모듈(30, treating module), 그리고 인터페이스 모듈(40, interface module)을 포함한다. 일 실시예에 의하며, 인덱스 모듈(20), 처리 모듈(30), 그리고 인터페이스 모듈(40)은 순차적으로 일렬로 배치된다. 이하, 인덱스 모듈(20), 처리 모듈(30), 그리고 인터페이스 모듈(40)이 배열된 방향을 제1 방향(12)이라 하고, 상부에서 바라볼 때 제1 방향(12)과 수직한 방향을 제2 방향(14)이라 하고, 제1 방향(12) 및 제2 방향(14)에 모두 수직한 방향을 제3 방향(16)이라 한다.1 to 3 , the substrate processing apparatus 1 includes an index module 20 , a processing module 30 , and an interface module 40 . According to an embodiment, the index module 20 , the processing module 30 , and the interface module 40 are sequentially arranged in a line. Hereinafter, a direction in which the index module 20 , the processing module 30 , and the interface module 40 are arranged is referred to as a first direction 12 , and a direction perpendicular to the first direction 12 when viewed from the top is referred to as a first direction 12 . A second direction 14 is referred to, and a direction perpendicular to both the first direction 12 and the second direction 14 is referred to as a third direction 16 .

인덱스 모듈(20)은 기판(W)이 수납된 용기(10)로부터 기판(W)을 처리 모듈(30)로 반송하고, 처리가 완료된 기판(W)을 용기(10)로 수납한다. 인덱스 모듈(20)의 길이 방향은 제2 방향(14)으로 제공된다. 인덱스 모듈(20)은 로드포트(22)와 인덱스 프레임(24)을 가진다. 인덱스 프레임(24)을 기준으로 로드포트(22)는 처리 모듈(30)의 반대 측에 위치된다. 기판(W)들이 수납된 용기(10)는 로드포트(22)에 놓인다. 로드포트(22)는 복수 개가 제공될 수 있으며, 복수의 로드포트(22)는 제2 방향(14)을 따라 배치될 수 있다. The index module 20 transfers the substrate W from the container 10 in which the substrate W is accommodated to the processing module 30 , and accommodates the processed substrate W in the container 10 . The longitudinal direction of the index module 20 is provided in the second direction 14 . The index module 20 has a load port 22 and an index frame 24 . With reference to the index frame 24 , the load port 22 is located on the opposite side of the processing module 30 . The container 10 in which the substrates W are accommodated is placed on the load port 22 . A plurality of load ports 22 may be provided, and the plurality of load ports 22 may be disposed along the second direction 14 .

용기(10)로는 전면 개방 일체 식 포드(Front Open Unified Pod:FOUP)와 같은 밀폐용 용기(10)가 사용될 수 있다. 용기(10)는 오버헤드 트랜스퍼(Overhead Transfer), 오버헤드 컨베이어(Overhead Conveyor), 또는 자동 안내 차량(Automatic Guided Vehicle)과 같은 이송 수단(도시되지 않음)이나 작업자에 의해 로드포트(22)에 놓일 수 있다. As the container 10, a closed container 10 such as a Front Open Unified Pod (FOUP) may be used. The container 10 may be placed in the load port 22 by a transfer means (not shown) or an operator, such as an Overhead Transfer, an Overhead Conveyor, or an Automatic Guided Vehicle. can

인덱스 프레임(24)의 내부에는 인덱스 로봇(2200)이 제공된다. 인덱스 프레임(24) 내에는 길이 방향이 제2 방향(14)으로 제공된 가이드 레일(2300)이 제공되고, 인덱스 로봇(2200)은 가이드 레일(2300) 상에서 이동 가능하게 제공될 수 있다. 인덱스 로봇(2200)은 기판(W)이 놓이는 핸드(2220)를 포함하며, 핸드(2220)는 전진 및 후진 이동, 제3 방향(16)을 축으로 한 회전, 그리고 제3 방향(16)을 따라 이동 가능하게 제공될 수 있다.An index robot 2200 is provided inside the index frame 24 . A guide rail 2300 having a longitudinal direction in the second direction 14 is provided in the index frame 24 , and the index robot 2200 may be provided to be movable on the guide rail 2300 . The index robot 2200 includes a hand 2220 on which the substrate W is placed, and the hand 2220 moves forward and backward, rotates about the third direction 16 , and moves in the third direction 16 . It may be provided to be movable along with it.

처리 모듈(30)은 기판(W)에 대해 도포 공정 및 현상 공정을 수행한다. 처리 모듈(30)은 도포 블럭(30a) 및 현상 블럭(30b)을 가진다. 도포 블럭(30a)은 기판(W)에 대해 도포 공정을 수행하고, 현상 블럭(30b)은 기판(W)에 대해 현상 공정을 수행한다. 도포 블럭(30a)은 복수 개가 제공되며, 이들은 서로 적층되게 제공된다. 현상 블럭(30b)은 복수 개가 제공되며, 현상 블럭들(30b)은 서로 적층되게 제공된다. 도 2의 실시예에 의하면, 도포 블럭(30a)은 2개가 제공되고, 현상 블럭(30b)은 2개가 제공된다. 도포 블럭들(30a)은 현상 블럭들(30b)의 아래에 배치될 수 있다. 일 예에 의하면, 2개의 도포 블럭들(30a)은 서로 동일한 공정을 수행하며, 서로 동일한 구조로 제공될 수 있다. 또한, 2개의 현상 블럭들(30b)은 서로 동일한 공정을 수행하며, 서로 동일한 구조로 제공될 수 있다.The processing module 30 performs a coating process and a developing process on the substrate W. The processing module 30 has an application block 30a and a developing block 30b. The coating block 30a performs a coating process on the substrate W, and the developing block 30b performs a development process on the substrate W. A plurality of application blocks 30a are provided, and they are provided to be stacked on each other. A plurality of developing blocks 30b are provided, and the developing blocks 30b are provided to be stacked on each other. According to the embodiment of Fig. 2, two application blocks 30a are provided, and two development blocks 30b are provided. The application blocks 30a may be disposed below the developing blocks 30b. According to an example, the two application blocks 30a may perform the same process as each other, and may be provided in the same structure. Also, the two developing blocks 30b may perform the same process as each other, and may be provided in the same structure.

도 4를 참조하면, 도포 블럭(30a)은 열처리 챔버(3200), 반송 챔버(3400), 액 처리 챔버(3600), 그리고 버퍼 챔버(3800)를 가진다. 열처리 챔버(3200)는 기판(W)에 대해 열처리 공정을 수행한다. 열처리 공정은 냉각 공정 및 가열 공정을 포함할 수 있다. 액처리 챔버(3600)는 기판(W) 상에 액을 공급하여 액막을 형성한다. 액막은 포토레지스트막 또는 반사방지막일 수 있다. 반송 챔버(3400)는 도포 블럭(30a) 내에서 열처리 챔버(3200)와 액처리 챔버(3600) 간에 기판(W)을 반송한다. Referring to FIG. 4 , the application block 30a includes a heat treatment chamber 3200 , a transfer chamber 3400 , a liquid processing chamber 3600 , and a buffer chamber 3800 . The heat treatment chamber 3200 performs a heat treatment process on the substrate W. The heat treatment process may include a cooling process and a heating process. The liquid processing chamber 3600 supplies a liquid on the substrate W to form a liquid film. The liquid film may be a photoresist film or an antireflection film. The transfer chamber 3400 transfers the substrate W between the heat treatment chamber 3200 and the liquid treatment chamber 3600 in the application block 30a.

반송 챔버(3400)는 그 길이 방향이 제1 방향(12)과 평행하게 제공된다. 반송 챔버(3400)에는 반송 로봇(3422)이 제공된다. 반송 로봇(3422)은 열처리 챔버(3200), 액처리 챔버(3600), 그리고 버퍼 챔버(3800) 간에 기판을 반송한다. 일 예에 의하면, 반송 로봇(3422)은 기판(W)이 놓이는 핸드(3420)를 가지며, 핸드(3420)는 전진 및 후진 이동, 제3 방향(16)을 축으로 한 회전, 그리고 제3 방향(16)을 따라 이동 가능하게 제공될 수 있다. 반송 챔버(3400) 내에는 그 길이 방향이 제1 방향(12)과 평행하게 제공되는 가이드 레일(3300)이 제공되고, 반송 로봇(3422)은 가이드 레일(3300) 상에서 이동 가능하게 제공될 수 있다. The transfer chamber 3400 is provided so that its longitudinal direction is parallel to the first direction 12 . The transfer chamber 3400 is provided with a transfer robot 3422 . The transfer robot 3422 transfers a substrate between the heat treatment chamber 3200 , the liquid processing chamber 3600 , and the buffer chamber 3800 . According to an example, the transfer robot 3422 has a hand 3420 on which the substrate W is placed, and the hand 3420 moves forward and backward, rotates about the third direction 16 , and the third direction. It may be provided movably along (16). A guide rail 3300 having a longitudinal direction parallel to the first direction 12 is provided in the transfer chamber 3400 , and the transfer robot 3422 may be provided movably on the guide rail 3300 . .

도 4는 도 3의 반송 로봇의 핸드의 일 예를 보여주는 도면이다. 도 4를 참조하면, 핸드(3420)는 베이스(3428) 및 지지 돌기(3429)를 가진다. 베이스(3428)는 원주의 일부가 절곡된 환형의 링 형상을 가질 수 있다. 베이스(3428)는 기판(W)의 직경보다 큰 내경을 가진다. 지지 돌기(3429)는 베이스(3428)로부터 그 내측으로 연장된다. 지지 돌기(3429)는 복수 개가 제공되며, 기판(W)의 가장자리 영역을 지지한다. 일 예에 의하며, 지지 돌기(3429)는 등 간격으로 4개가 제공될 수 있다. FIG. 4 is a view showing an example of a hand of the transport robot of FIG. 3 . Referring to FIG. 4 , the hand 3420 has a base 3428 and a support protrusion 3429 . The base 3428 may have an annular ring shape in which a portion of the circumference is bent. The base 3428 has an inner diameter greater than the diameter of the substrate W. As shown in FIG. A support protrusion 3429 extends from the base 3428 inward thereof. A plurality of support protrusions 3429 are provided, and support an edge region of the substrate W. As shown in FIG. According to an example, four support protrusions 3429 may be provided at equal intervals.

열처리 챔버(3200)는 복수 개로 제공된다. 도 3와 도 4를 참조하면, 열처리 챔버들(3200)은 제1방향(12)을 따라 나열되게 배치된다. 열처리 챔버들(3200)은 반송 챔버(3400)의 일측에 위치된다.A plurality of heat treatment chambers 3200 are provided. 3 and 4 , the heat treatment chambers 3200 are arranged in a row along the first direction 12 . The heat treatment chambers 3200 are located at one side of the transfer chamber 3400 .

도 5은 도 3의 열처리 챔버의 일 예를 개략적으로 보여주는 평면도이고, 도 6은 도 5의 열처리 챔버의 정면도이다. 열처리 챔버(3200)는 하우징(3210), 냉각 장치(3220), 가열 장치(3230), 그리고 반송 플레이트(3240)를 가진다. 5 is a plan view schematically illustrating an example of the heat treatment chamber of FIG. 3 , and FIG. 6 is a front view of the heat treatment chamber of FIG. 5 . The heat treatment chamber 3200 has a housing 3210 , a cooling device 3220 , a heating device 3230 , and a conveying plate 3240 .

하우징(3210)은 대체로 직육면체의 형상으로 제공된다. 하우징(3210)의 측벽에는 기판(W)이 출입되는 반입구(도시되지 않음)가 형성된다. 반입구는 개방된 상태로 유지될 수 있다. 선택적으로 반입구를 개폐하도록 도어(도시되지 않음)가 제공될 수 있다. 냉각 장치(3220), 가열 장치(3230), 그리고 반송 플레이트(3240)는 하우징(3210) 내에 제공된다. 냉각 장치(3220) 및 가열 장치(3230)는 제2 방향(14)을 따라 나란히 제공된다. 일 예에 의하면, 냉각 장치(3220)는 가열 장치(3230)에 비해 반송 챔버(3400)에 더 가깝게 위치될 수 있다.The housing 3210 is provided in the shape of a substantially rectangular parallelepiped. An inlet (not shown) through which the substrate W enters and exits is formed on the sidewall of the housing 3210 . The inlet may remain open. A door (not shown) may optionally be provided to open and close the inlet. A cooling device 3220 , a heating device 3230 , and a conveying plate 3240 are provided in the housing 3210 . The cooling device 3220 and the heating device 3230 are provided side by side along the second direction 14 . In one example, the cooling device 3220 may be located closer to the transfer chamber 3400 than the heating device 3230 .

냉각 장치(3220)는 냉각판(3222)을 가진다. 냉각판(3222)은 상부에서 바라볼 때 대체로 원형의 형상을 가질 수 있다. 냉각판(3222)에는 냉각부재(3224)가 제공된다. 일 예에 의하면, 냉각부재(3224)는 냉각판(3222)의 내부에 형성되며, 냉각 유체가 흐르는 유로로 제공될 수 있다. The cooling device 3220 has a cooling plate 3222 . The cooling plate 3222 may have a generally circular shape when viewed from the top. The cooling plate 3222 is provided with a cooling member 3224 . According to an example, the cooling member 3224 is formed inside the cooling plate 3222 and may be provided as a flow path through which the cooling fluid flows.

가열 장치(3230)는 기판을 상온보다 높은 온도로 가열하는 가열 유닛(1000)으로 제공된다. 가열 장치(3230)는 상압 또는 이보다 낮은 감압 분위기에서 기판(W)을 가열 처리한다. The heating device 3230 is provided as a heating unit 1000 that heats the substrate to a temperature higher than room temperature. The heating device 3230 heats the substrate W in a reduced pressure atmosphere at or lower than normal pressure.

반송 플레이트(3240)는 대체로 원판 형상을 제공되고, 기판(W)과 대응되는 직경을 가진다. 반송 플레이트(3240)의 가장자리에는 노치(3244)가 형성된다. 노치(3244)는 상술한 반송 로봇(3422, 3424)의 핸드(3420)에 형성된 돌기(3429)와 대응되는 형상을 가질 수 있다. 또한, 노치(3244)는 핸드(3420)에 형성된 돌기(3429)와 대응되는 수로 제공되고, 돌기(3429)와 대응되는 위치에 형성된다. 핸드(3420)와 반송 플레이트(3240)가 상하 방향으로 정렬된 위치에서 핸드(3420)와 반송 플레이트(3240)의 상하 위치가 변경하면 핸드(3420)와 반송 플레이트(3240) 간에 기판(W)의 전달이 이루어진다. 반송 플레이트(3240)는 가이드 레일(3249) 상에 장착되고, 구동기(3246)에 의해 가이드 레일(3249)을 따라 제1영역(3212)과 제2영역(3214) 간에 이동될 수 있다. 반송 플레이트(3240)에는 슬릿 형상의 가이드 홈(3242)이 복수 개 제공된다. 가이드 홈(3242)은 반송 플레이트(3240)의 끝단에서 반송 플레이트(3240)의 내부까지 연장된다. 가이드 홈(3242)은 그 길이 방향이 제2 방향(14)을 따라 제공되고, 가이드 홈(3242)들은 제1 방향(12)을 따라 서로 이격되게 위치된다. 가이드 홈(3242)은 반송 플레이트(3240)와 가열 장치(3230) 간에 기판(W)의 인수인계가 이루어질 때 반송 플레이트(3240)와 리프트 핀(1340)이 서로 간섭되는 것을 방지한다. The transport plate 3240 is provided in a substantially circular plate shape and has a diameter corresponding to that of the substrate W. As shown in FIG. A notch 3244 is formed at an edge of the conveying plate 3240 . The notch 3244 may have a shape corresponding to the protrusion 3429 formed on the hand 3420 of the transfer robots 3422 and 3424 described above. In addition, the notch 3244 is provided in a number corresponding to the protrusions 3429 formed on the hand 3420 , and is formed at positions corresponding to the protrusions 3429 . When the upper and lower positions of the hand 3420 and the carrier plate 3240 are changed in a position where the hand 3420 and the carrier plate 3240 are vertically aligned, the substrate W between the hand 3420 and the carrier plate 3240 is transfer takes place The transport plate 3240 is mounted on the guide rail 3249 , and may be moved between the first region 3212 and the second region 3214 along the guide rail 3249 by a driver 3246 . A plurality of slit-shaped guide grooves 3242 are provided in the carrying plate 3240 . The guide groove 3242 extends from the end of the carrying plate 3240 to the inside of the carrying plate 3240 . The length direction of the guide grooves 3242 is provided along the second direction 14 , and the guide grooves 3242 are spaced apart from each other along the first direction 12 . The guide groove 3242 prevents the transfer plate 3240 and the lift pins 1340 from interfering with each other when the substrate W is transferred between the transfer plate 3240 and the heating device 3230 .

기판(W)의 가열은 기판(W)이 지지 플레이트(1320) 상에 직접 놓인 상태에서 이루어지고, 기판(W)의 냉각은 기판(W)이 놓인 반송 플레이트(3240)가 냉각판(3222)에 접촉된 상태에서 이루어진다. 냉각판(3222)과 기판(W) 간에 열전달이 잘 이루어지도록 반송 플레이트(3240)는 열전달율이 높은 재질로 제공된다. 일 예에 의하면, 반송 플레이트(3240)는 금속 재질로 제공될 수 있다. The substrate W is heated in a state where the substrate W is placed directly on the support plate 1320 , and the substrate W is cooled by the transfer plate 3240 on which the substrate W is placed and the cooling plate 3222 . made in contact with The transfer plate 3240 is made of a material having a high heat transfer rate so that heat transfer between the cooling plate 3222 and the substrate W is well made. According to an example, the carrying plate 3240 may be provided with a metal material.

열처리 챔버들(3200) 중 일부의 열처리 챔버에 제공된 가열 장치(3230)는 기판(W) 가열 중에 가스를 공급하여 포토레지스트의 기판(W) 부착률을 향상시킬 수 있다. 일 예에 의하면, 가스는 헥사메틸디실란(hexamethyldisilane) 가스일 수 있다. The heating device 3230 provided in some of the heat treatment chambers 3200 may supply a gas while heating the substrate W to improve the adhesion rate of the photoresist to the substrate W. According to an example, the gas may be hexamethyldisilane gas.

액처리 챔버(3600)는 복수 개로 제공된다. 액처리 챔버들(3600) 중 일부는 서로 적층되도록 제공될 수 있다. 액 처리 챔버들(3600)은 반송 챔버(3402)의 일측에 배치된다. 액 처리 챔버들(3600)은 제1방향(12)을 따라 나란히 배열된다. 액 처리 챔버들(3600) 중 일부는 인덱스 모듈(20)과 인접한 위치에 제공된다. 이하, 이들 액처리 챔버를 전단 액처리 챔버(3602)(front liquid treating chamber)라 칭한다. 액 처리 챔버들(3600)은 중 다른 일부는 인터페이스 모듈(40)과 인접한 위치에 제공된다. 이하, 이들 액처리 챔버를 후단 액처리 챔버(3604)(rear heat treating chamber)라 칭한다. A plurality of liquid processing chambers 3600 are provided. Some of the liquid processing chambers 3600 may be provided to be stacked on each other. The liquid processing chambers 3600 are disposed on one side of the transfer chamber 3402 . The liquid processing chambers 3600 are arranged side by side along the first direction 12 . Some of the liquid processing chambers 3600 are provided adjacent to the index module 20 . Hereinafter, these liquid treatment chambers will be referred to as a front liquid treating chamber 3602 (front liquid treating chamber). Other portions of the liquid processing chambers 3600 are provided adjacent to the interface module 40 . Hereinafter, these liquid treatment chambers are referred to as rear heat treating chambers 3604 (rear heat treating chambers).

전단 액처리 챔버(3602)는 기판(W)상에 제1액을 도포하고, 후단 액처리 챔버(3604)는 기판(W) 상에 제2액을 도포한다. 제1액과 제2액은 서로 상이한 종류의 액일 수 있다. 일 실시예에 의하면, 제1액은 반사 방지막이고, 제2액은 포토레지스트이다. 포토레지스트는 반사 방지막이 도포된 기판(W) 상에 도포될 수 있다. 선택적으로 제1액은 포토레지스트이고, 제2액은 반사방지막일 수 있다. 이 경우, 반사방지막은 포토레지스트가 도포된 기판(W) 상에 도포될 수 있다. 선택적으로 제1액과 제2액은 동일한 종류의 액이고, 이들은 모두 포토레지스트일 수 있다.The front stage liquid processing chamber 3602 applies the first liquid on the substrate W, and the rear stage liquid processing chamber 3604 applies the second liquid on the substrate W. The first liquid and the second liquid may be different types of liquid. According to one embodiment, the first liquid is an anti-reflection film, and the second liquid is a photoresist. The photoresist may be applied on the substrate W on which the anti-reflection film is applied. Optionally, the first liquid may be a photoresist, and the second liquid may be an anti-reflection film. In this case, the anti-reflection film may be applied on the photoresist-coated substrate (W). Optionally, the first liquid and the second liquid are the same type of liquid, and they may both be photoresist.

도 7은 도 6의 가열 장치를 보여주는 단면도이다. 도 7을 참조하면, 가열 유닛(1000)은 하우징(1100), 지지 유닛(1300) 그리고 배기 유닛(1500)을 포함한다. FIG. 7 is a cross-sectional view showing the heating device of FIG. 6 . Referring to FIG. 7 , the heating unit 1000 includes a housing 1100 , a support unit 1300 , and an exhaust unit 1500 .

하우징(1100)은 내부에 기판(W)을 가열 처리하는 처리 공간(1110)을 제공한다. 처리 공간(1110)은 외부와 차단된 공간으로 제공된다. 하우징(1100)은 상부 바디(1120), 하부 바디(1140), 그리고 실링 부재(1160)를 포함한다. The housing 1100 provides a processing space 1110 for heat-processing the substrate W therein. The processing space 1110 is provided as a space blocked from the outside. The housing 1100 includes an upper body 1120 , a lower body 1140 , and a sealing member 1160 .

상부 바디(1120)는 하부가 개방된 통 형상으로 제공된다. 상부 바디(1120)의 상면에는 배기홀(1122) 및 유입홀(1124)이 형성된다. 배기홀(1122)은 상부 바디(1120)의 중심에 형성된다. 배기홀(1122)은 처리 공간(1110)의 분위기를 배기한다. 유입홀(1124)은 복수 개가 이격되도록 제공되며, 배기홀(1122)을 감싸도록 배열된다. 유입홀들(1124)은 처리 공간(1110)에 외부의 기류를 유입한다. 일 예에 의하면, 유입홀(1124)은 4 개이고, 외부의 기류는 에어일 수 있다.The upper body 1120 is provided in a cylindrical shape with an open lower portion. An exhaust hole 1122 and an inlet hole 1124 are formed on the upper surface of the upper body 1120 . The exhaust hole 1122 is formed in the center of the upper body 1120 . The exhaust hole 1122 exhausts the atmosphere of the processing space 1110 . A plurality of inlet holes 1124 are provided to be spaced apart, and are arranged to surround the exhaust holes 1122 . The inlet holes 1124 introduce an external airflow into the processing space 1110 . According to an example, the number of inlet holes 1124 may be four, and the external airflow may be air.

선택적으로, 유입홀들(1124)은 3 개 또는 5 개 이상으로 제공되거나, 외기는 비활성 가스일 수 있다.Optionally, three or five or more of the inlet holes 1124 may be provided, or the outside air may be an inert gas.

하부 바디(1140)는 상부가 개방된 통 형상으로 제공된다. 하부 바디(1140)는 상부 바디(1120)의 아래에 위치된다. 상부 바디(1120) 및 하부 바디(1140)는 상하 방향으로 서로 마주보도록 위치된다. 상부 바디(1120) 및 하부 바디(1140)는 서로 조합되어 내부에 처리 공간(1110)을 형성한다. 상부 바디(1120) 및 하부 바디(1140)는 상하 방향에 대해 서로의 중심축이 일치되게 위치된다. 하부 바디(1140)는 상부 바디(1120)와 동일한 직경을 가질 수 있다. 즉, 하부 바디(1140)의 상단은 상부 바디(1120)의 하단과 대향되게 위치될 수 있다.The lower body 1140 is provided in a cylindrical shape with an open top. The lower body 1140 is located below the upper body 1120 . The upper body 1120 and the lower body 1140 are positioned to face each other in the vertical direction. The upper body 1120 and the lower body 1140 are combined with each other to form a processing space 1110 therein. The upper body 1120 and the lower body 1140 are positioned so that their central axes coincide with each other in the vertical direction. The lower body 1140 may have the same diameter as the upper body 1120 . That is, the upper end of the lower body 1140 may be positioned to face the lower end of the upper body 1120 .

상부 바디(1120) 및 하부 바디(1140) 중 하나는 승강 부재(1130)에 의해 개방 위치와 차단 위치로 이동되고, 다른 하나는 그 위치가 고정된다. 본 실시예에는 하부 바디(1140)의 위치가 고정되고, 상부 바디(1120)가 이동되는 것으로 설명한다. 개방 위치는 상부 바디(1120)와 하부 바디(1140)가 서로 이격되어 처리 공간(1110)이 개방되는 위치이다. 차단 위치는 하부 바디(1140) 및 상부 바디(1120)에 의해 처리 공간(1110)이 외부로부터 밀폐되는 위치이다. One of the upper body 1120 and the lower body 1140 is moved to the open position and the closed position by the lifting member 1130 , and the other one is fixed. In this embodiment, it will be described that the position of the lower body 1140 is fixed and the upper body 1120 is moved. The open position is a position where the upper body 1120 and the lower body 1140 are spaced apart from each other and the processing space 1110 is opened. The blocking position is a position where the processing space 1110 is sealed from the outside by the lower body 1140 and the upper body 1120 .

실링 부재(1160)는 상부 바디(1120)와 하부 바디(1140) 사이에 위치된다. 실링 부재(1160)는 상부 바디(1120)와 하부 바디(1140)가 접촉될 때 처리 공간이 외부로부터 밀폐되도록 한다. 실링 부재(1160)는 환형의 링 형상으로 제공될 수 있다. 실링 부재(1160)는 하부 바디(1140)의 상단에 고정 결합될 수 있다.The sealing member 1160 is positioned between the upper body 1120 and the lower body 1140 . The sealing member 1160 seals the processing space from the outside when the upper body 1120 and the lower body 1140 come into contact with each other. The sealing member 1160 may be provided in an annular ring shape. The sealing member 1160 may be fixedly coupled to the upper end of the lower body 1140 .

지지 유닛(1300)은 처리 공간(1110)에서 기판(W)을 지지한다. 지지 유닛(1300)은 지지 플레이트(1320), 리프트 핀(1340), 지지핀(1360) 그리고 냉각 유닛(900)을 포함한다. The support unit 1300 supports the substrate W in the processing space 1110 . The support unit 1300 includes a support plate 1320 , a lift pin 1340 , a support pin 1360 , and a cooling unit 900 .

도 8은 도 7의 지지 유닛을 보여주는 평면도이다. 도 7 및 도 8를 참조하면, 지지 플레이트(1320)는 히터 부재(1400)으로부터 발생된 열을 기판(W)으로 전달한다. 지지 플레이트(1320)는 원형의 판 형상으로 제공된다. 지지 플레이트(1320)의 상면은 기판(W)보다 큰 직경을 가진다. FIG. 8 is a plan view showing the support unit of FIG. 7 . 7 and 8 , the support plate 1320 transfers heat generated from the heater member 1400 to the substrate W. The support plate 1320 is provided in a circular plate shape. The upper surface of the support plate 1320 has a larger diameter than the substrate W. As shown in FIG.

지지 플레이트(1320)는 기판(W)이 놓이는 안착면으로 기능한다. 상부에서 바라볼 때 리프트 홀들(1322)은 각각 지지 플레이트(1320)의 상면의 중심을 감싸도록 배열된다. 각각의 리프트 홀들(1322)은 원주 방향을 따라 서로 이격되게 배열된다. 리프트 홀들(1322)은 서로 간에 동일 간격으로 이격되게 위치된다. The support plate 1320 functions as a seating surface on which the substrate W is placed. When viewed from the top, the lift holes 1322 are respectively arranged to surround the center of the upper surface of the support plate 1320 . Each of the lift holes 1322 is arranged to be spaced apart from each other along the circumferential direction. The lift holes 1322 are spaced apart from each other at equal intervals.

지지 플레이트(1320)는 질화 알루미늄(AlN)을 포함하는 재질로 제공될 수 있다. 리프트 핀(1340)은 지지 플레이트(1320) 상에서 기판(W)을 승하강시킨다. 리프트 핀(1340)은 복수 개로 제공되며, 각각은 수직한 상하 방향을 향하는 핀 형상으로 제공된다. 각각의 리프트 홀(1322)에는 리프트 핀(1340)이 위치된다. 구동 부재(미도시)는 각각의 리프트 핀들(1340)을 승강 위치와 하강 위치 간에 이동시킨다. 여기서 승강 위치는 리프트 핀(1340)의 상단이 안착면보다 높은 위치이고, 하강 위치는 리프트 핀(1340)의 상단이 안착면과 동일하거나 이보다 낮은 위치로 정의한다. 구동 부재(미도시)는 하우징(1100)의 외부에 위치될 수 있다. 구동 부재(미도시)는 실린더일 수 있다.The support plate 1320 may be made of a material including aluminum nitride (AlN). The lift pins 1340 elevate the substrate W on the support plate 1320 . A plurality of lift pins 1340 are provided, and each of the lift pins 1340 is provided in the shape of a vertical vertical pin. A lift pin 1340 is positioned in each lift hole 1322 . A driving member (not shown) moves each of the lift pins 1340 between an elevating position and a lowering position. Here, the lifting position is defined as a position where the upper end of the lift pin 1340 is higher than the seating surface, and the lowering position is defined as a position where the upper end of the lift pin 1340 is equal to or lower than the seat surface. The driving member (not shown) may be located outside the housing 1100 . The driving member (not shown) may be a cylinder.

지지핀(1360)은 기판(W)이 안착면에 직접적으로 접촉되는 것을 방지한다. 지지핀(1360)은 리프트 핀(1340)과 평행한 길이 방향을 가지는 핀 형상으로 제공된다. 지지핀(1360)은 복수 개로 제공되며, 각각은 안착면에 고정 설치된다. 지지핀들(1360)은 안착면으로부터 위로 돌출되게 위치된다. 지지핀(1360)의 상단은 기판(W)의 저면에 직접 접촉되는 접촉면으로 제공되며, 접촉면은 위로 볼록한 형상을 가진다. 이에 따라 지지핀(1360)과 기판(W) 간의 접촉 면적을 최소화할 수 있다.The support pin 1360 prevents the substrate W from directly contacting the seating surface. The support pin 1360 is provided in a pin shape having a longitudinal direction parallel to the lift pin 1340 . A plurality of support pins 1360 are provided, and each is fixedly installed on the seating surface. The support pins 1360 are positioned to protrude upward from the seating surface. The upper end of the support pin 1360 is provided as a contact surface in direct contact with the bottom surface of the substrate W, and the contact surface has a convex upward shape. Accordingly, a contact area between the support pin 1360 and the substrate W may be minimized.

가이드(1380)는 기판(W)이 정 위치에 놓이도록 기판(W)을 가이드한다. 가이드(1380)는 안착면을 감싸는 환형의 링 형상을 가지도록 제공된다. 가이드(1380)는 기판(W)보다 큰 직경을 가진다. 가이드(1380)의 내측면은 지지 플레이트(1320)의 중심축에 가까워질수록 하향 경사진 형상을 가진다. 이에 따라 가이드(1380)의 내측면에 걸친 기판(W)은 그 경사면을 타고 정위치로 이동된다. 또한 가이드(1380)는 기판(W)과 안착면의 사이에 유입되는 기류를 소량 방지할 수 있다.The guide 1380 guides the substrate W so that the substrate W is placed in a fixed position. The guide 1380 is provided to have an annular ring shape surrounding the seating surface. The guide 1380 has a larger diameter than the substrate W. The inner surface of the guide 1380 has a downwardly inclined shape as it approaches the central axis of the support plate 1320 . Accordingly, the substrate W spanning the inner surface of the guide 1380 is moved to the correct position riding the inclined surface. In addition, the guide 1380 may prevent a small amount of airflow flowing between the substrate W and the seating surface.

히터 부재(1400)는 지지 플레이트(1320)에 놓인 기판(W)을 가열 처리한다. 히터 부재(1400)는 지지 플레이트(1320)에 놓인 기판(W)보다 아래에 위치된다. 히터 부재(1400)는 복수 개의 히터들(1420)을 포함한다. 히터들(1420)은 지지 플레이트(1320) 내에 위치된다. The heater member 1400 heats the substrate W placed on the support plate 1320 . The heater member 1400 is positioned below the substrate W placed on the support plate 1320 . The heater member 1400 includes a plurality of heaters 1420 . Heaters 1420 are positioned within support plate 1320 .

히터들(1420)은 지지면의 서로 상이한 영역을 가열한다. 상부에서 바라볼 때 각 히터(1420)에 대응되는 지지 플레이트(1320)의 영역은 복수 개의 히팅존들로 제공될 수 있다. 각각의 히터(1420)는 온도가 독립 조절 가능하다. 예컨대, 히팅존은 15 개일 수 있다. 각 히팅존은 측정 부재(미도시)에 의해 온도가 측정된다. 히터들(1420)은 프린팅된 패턴 또는 열선일 수 있다. 히터 부재(1400)는 지지 플레이트(1320)를 공정 온도로 가열할 수 있다. The heaters 1420 heat different regions of the support surface. When viewed from the top, the area of the support plate 1320 corresponding to each heater 1420 may be provided as a plurality of heating zones. Each heater 1420 is independently adjustable in temperature. For example, the number of heating zones may be 15. The temperature of each heating zone is measured by a measuring member (not shown). The heaters 1420 may be printed patterns or hot wires. The heater member 1400 may heat the support plate 1320 to a process temperature.

배기 유닛(1500)은 처리 공간(1110) 내부를 강제 배기한다. 배기 유닛(1500)은 배기관(1530) 및 안내판(1540)을 포함한다. 배기관(1530)은 길이 방향이 수직한 상하 방향을 향하는 관 형상을 가진다. 배기관(1530)은 상부 바디(1120)의 상벽을 관통하도록 위치된다. 일 예에 의하면, 배기관(1530)은 배기홀(1122)에 삽입되게 위치될 수 있다. 즉, 배기관(1530)의 하단은 처리 공간(1110) 내에 위치되고, 배기관(1530)의 상단은 처리 공간(1110)의 외부에 위치된다. 배기관(1530)의 상단에는 감압 부재(1560)가 연결된다. 감압 부재(1560)는 배기관(1530)을 감압한다. 이에 따라 처리 공간(1110)의 분위기는 통공(1542) 및 배기관(1530)을 순차적으로 거쳐 배기된다.The exhaust unit 1500 forcibly exhausts the inside of the processing space 1110 . The exhaust unit 1500 includes an exhaust pipe 1530 and a guide plate 1540 . The exhaust pipe 1530 has a tube shape in which the longitudinal direction is perpendicular to the vertical direction. The exhaust pipe 1530 is positioned to pass through the upper wall of the upper body 1120 . According to an example, the exhaust pipe 1530 may be positioned to be inserted into the exhaust hole 1122 . That is, the lower end of the exhaust pipe 1530 is located in the processing space 1110 , and the upper end of the exhaust pipe 1530 is located outside the processing space 1110 . A pressure reducing member 1560 is connected to the upper end of the exhaust pipe 1530 . The pressure reducing member 1560 depressurizes the exhaust pipe 1530 . Accordingly, the atmosphere of the processing space 1110 is sequentially exhausted through the through hole 1542 and the exhaust pipe 1530 .

안내판(1540)은 중심에 통공(1542)을 가지는 판 형상을 가진다. 안내판(1540)은 배기관(1530)의 하단으로부터 연장된 원형의 판 형상을 가진다. 안내판(1540)은 통공(1542)과 배기관(1530)의 내부가 서로 통하도록 배기관(1530)에 고정 결합된다. 안내판(1540)은 지지 플레이트(1320)의 상부에서 지지 플레이트(1320)의 지지면과 마주하게 위치된다. 안내판(1540)은 하부 바디(1140)보다 높게 위치된다. 일 예에 의하면, 안내판(1540)은 상부 바디(1120)와 마주하는 높이에 위치될 수 있다. 상부에서 바라볼 때 안내판(1540)은 유입홀(1124)과 중첩되게 위치되고, 상부 바디(1120)의 내측면과 이격되는 직경을 가진다. 이에 따라 안내판(1540)의 측단과 상부 바디(1120)의 내측면 간에는 틈이 발생되며, 이 틈은 유입홀(1124)을 통해 유입된 기류가 기판(W)으로 공급되는 흐름 경로로 제공된다.The guide plate 1540 has a plate shape having a through hole 1542 in the center. The guide plate 1540 has a circular plate shape extending from the lower end of the exhaust pipe 1530 . The guide plate 1540 is fixedly coupled to the exhaust pipe 1530 so that the through hole 1542 and the inside of the exhaust pipe 1530 communicate with each other. The guide plate 1540 is positioned on the upper portion of the support plate 1320 to face the support surface of the support plate 1320 . The guide plate 1540 is positioned higher than the lower body 1140 . According to an example, the guide plate 1540 may be positioned at a height facing the upper body 1120 . When viewed from the top, the guide plate 1540 is positioned to overlap the inlet hole 1124 and has a diameter spaced apart from the inner surface of the upper body 1120 . Accordingly, a gap is generated between the side end of the guide plate 1540 and the inner surface of the upper body 1120 , and the gap is provided as a flow path through which the air flow introduced through the inlet hole 1124 is supplied to the substrate W.

도 9는 지지 유닛(1300)을 보여주는 단면도이고, 도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 냉각 플레이트(920)를 보여주는 평면도이다. 도 9 내지 도 10을 참조하면, 냉각 유닛(900)은, 냉각 플레이트(920), 가스 공급 부재(950), 구동기(미도시), 센서(미도시) 그리고 제어기(미도시)를 포함한다. 냉각 유닛은 지지 플레이트(1320)를 강제 냉각한다.9 is a cross-sectional view showing the support unit 1300, and FIG. 10 is a plan view showing the cooling plate 920 according to an embodiment of the present invention. 9 to 10 , the cooling unit 900 includes a cooling plate 920 , a gas supply member 950 , a driver (not shown), a sensor (not shown), and a controller (not shown). The cooling unit forcibly cools the support plate 1320 .

일 예에서, 지지 플레이트(1320)는, 히터(1420)를 포함하는 판 형상의 히터 부재(1400)가 제공된다. 냉각 유닛(900)은 히터 부재(1400)의 아래에 제공된다. 냉각 플레이트(920)는 히터 부재(1400)와 이격되도록 히터 부재(1400)의 아래에 배치된다. In one example, the support plate 1320 is provided with a plate-shaped heater member 1400 including a heater 1420 . The cooling unit 900 is provided below the heater element 1400 . The cooling plate 920 is disposed under the heater member 1400 to be spaced apart from the heater member 1400 .

가스 공급 부재(950)는, 가스 공급 라인(954), 조절 밸브(956) 그리고 노즐(952)을 포함한다. 가스 공급 부재(950)는, 노즐(952) 내로 냉각 가스를 공급한다. 일 예에서, 가스는 공기이다. 가스 공급 라인(954)은 노즐(952)로 냉각 가스를 공급한다. 조절 밸브(956)는 가스 공급원(미도시)로부터 가스 공급 라인(954)으로 공급되는 냉각 가스의 유량을 조절한다.The gas supply member 950 includes a gas supply line 954 , a control valve 956 , and a nozzle 952 . The gas supply member 950 supplies a cooling gas into the nozzle 952 . In one example, the gas is air. The gas supply line 954 supplies cooling gas to the nozzle 952 . The control valve 956 regulates the flow rate of the cooling gas supplied to the gas supply line 954 from a gas supply source (not shown).

노즐(952)은, 냉각 플레이트(920)에 제공되어 히터 부재(1400)의 저면으로 냉각 가스를 공급한다. 구동기(미도시)는 노즐(952)을 이동시킨다. 노즐(952)은 구동기(미도시)에 의해 냉각 플레이트(920) 상에서 이동 가능하게 제공된다.The nozzle 952 is provided on the cooling plate 920 to supply the cooling gas to the bottom surface of the heater member 1400 . A actuator (not shown) moves the nozzle 952 . The nozzle 952 is provided movably on the cooling plate 920 by an actuator (not shown).

일 예에서, 냉각 플레이트(920)는 그 상면에 슬롯(953)이 형성된다. 노즐(952)은 슬롯(953) 내에 배치되며 슬롯(953)을 따라 이동한다. 일 예에서, 슬롯(953)은 냉각 플레이트(920)의 반경 방향을 따라 형성된다. 노즐(952)은 냉각 플레이트(920)의 원주 방향을 따라 복수 개 제공될 수 있다. In one example, the cooling plate 920 has a slot 953 formed thereon. Nozzle 952 is disposed within slot 953 and moves along slot 953 . In one example, the slots 953 are formed along the radial direction of the cooling plate 920 . A plurality of nozzles 952 may be provided along the circumferential direction of the cooling plate 920 .

원주 방향을 따라 배치된 복수의 노즐(952)은 냉각 플레이트(920)의 반경 방향을 따라 형성된 슬롯(953) 내부에 제공되어, 냉각 플레이트(920)의 반경 방향으로 이동 가능하게 제공된다.The plurality of nozzles 952 arranged along the circumferential direction are provided inside the slots 953 formed along the radial direction of the cooling plate 920 to be movable in the radial direction of the cooling plate 920 .

일 예에서, 노즐(952)은 냉각 플레이트(920)의 중심으로부터 제1거리에 있는 제1지점과 냉각 플레이트(920)의 중심으로부터 제2거리에 있는 제2지점 사이를 냉각 플레이트(920)의 반경 방향을 따라 이동 가능하게 제공된다.In one example, the nozzle 952 is positioned between a first point at a first distance from the center of the cooling plate 920 and a second point at a second distance from the center of the cooling plate 920 of the cooling plate 920 . It is provided movably along a radial direction.

센서(미도시)는 히터 부재(1400) 상의 복수의 영역에 대응되게 제공되어 복수의 영역 각각에서 히터 부재(1400)의 온도를 측정한다. 일 예에서, 상부에서 바라봤을 때, 히터 부재(1400)와 냉각 플레이트(920)는 중첩되도록 제공된다. 센서(미도시)는 도 10에 도시된 바와 같이 a 내지 g 지점에 대응되는 지점에서, 히터 부재(1400)에 제공될 수 있다. 각 센서(미도시)는 히터 부재(1400)의 각 영역의 온도를 측정한다.A sensor (not shown) is provided to correspond to a plurality of regions on the heater member 1400 to measure the temperature of the heater member 1400 in each of the plurality of regions. In one example, when viewed from above, the heater member 1400 and the cooling plate 920 are provided to overlap. A sensor (not shown) may be provided to the heater member 1400 at points corresponding to points a to g as shown in FIG. 10 . Each sensor (not shown) measures the temperature of each region of the heater member 1400 .

이하, 도 11 내지 도 13을 참조하여, 본 발명의 기판 처리 방법에 대해 자세히 서술한다. 도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 방법의 순서를 보여주는 도면이고, 도 12 내지 도 13은 각각 본 발명의 일 실시예에 따른 냉각 단계에서 냉각 플레이트의 모습을 보여주는 평면도와 지지 유닛의 모습을 보여주는 단면도이다. 제어기(미도시)는 이하 서술하는 본 발명의 기판 처리 방법을 수행하기 위해 냉각 유닛(900)을 제어한다.Hereinafter, the substrate processing method of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 11 to 13 . 11 is a view showing a sequence of a substrate processing method according to an embodiment of the present invention, and FIGS. 12 to 13 are a plan view showing a cooling plate in a cooling step according to an embodiment of the present invention and a support unit, respectively. It is a cross-sectional view showing the A controller (not shown) controls the cooling unit 900 to perform the substrate processing method of the present invention described below.

도 11을 참조하면, 본 발명의 기판 처리 방법은, 제1 가열 단계(S10), 냉각 단계(S20) 그리고 제2 가열 단계(S30)를 포함한다. 일 예에서, 제1 가열 단계(S10)에서 제1온도로 선행 기판을 처리하고, 제2 가열 단계(S20)에서 제2온도로 후속 기판을 처리하기 위해 냉각 단계(S20)를 포함한다.Referring to FIG. 11 , the substrate processing method of the present invention includes a first heating step ( S10 ), a cooling step ( S20 ), and a second heating step ( S30 ). In one example, a cooling step S20 is included to treat a preceding substrate at a first temperature in a first heating step S10 and a subsequent substrate to a second temperature in a second heating step S20 .

제1 가열 단계(S10)에서, 히터 부재(1400)가 기판을 제1온도로 가열한다. 이후에, 냉각 단계(S20)에서, 지지 플레이트(1320)에 냉각 가스를 공급하여 기 설정 온도가 되도록 강제 냉각시킨다. In the first heating step ( S10 ), the heater member 1400 heats the substrate to a first temperature. Thereafter, in the cooling step (S20), the cooling gas is supplied to the support plate 1320 to forcibly cool it to a preset temperature.

냉각 단계(S20)에서, 가스 공급 부재(950)를 통해 히터 부재(1400)의 저면으로 냉각 가스가 공급되어 히터 부재(1400)의 온도가 하강된다. 냉각 단계(S20)는 히터 부재(1400)의 온도가 제1온도 보다 낮은 제2온도가 될 때까지 계속된다.In the cooling step S20 , the cooling gas is supplied to the bottom surface of the heater member 1400 through the gas supply member 950 to lower the temperature of the heater member 1400 . The cooling step S20 is continued until the temperature of the heater member 1400 becomes a second temperature lower than the first temperature.

일반적으로, 냉각 단계(S20)에서, 히터 부재(1400)의 온도는 전 영역이 균일하지 않게 하강된다. 이에, 냉각 단계(S20)에서, 센서(미도시)가 히터 부재(1400)상의 각 영역의 온도를 측정한다.In general, in the cooling step ( S20 ), the temperature of the heater member 1400 is non-uniformly lowered over the entire area. Accordingly, in the cooling step ( S20 ), a sensor (not shown) measures the temperature of each region on the heater member 1400 .

센서(미도시)가 측정한 히터 부재(1400)의 각 영역의 온도를 기반으로 히터 부재(1400)의 특정 영역이 기 설정된 온도 이상인 경우, 노즐(952)이 특정 영역으로 이동하여 히터 부재(1400)의 저면으로 냉각 가스를 토출한다. 이에, 히터 부재(1400)의 전 영역이 균일한 온도로 신속하게 냉각된다. 또한, 노즐(952)은 히터 부재(1400)의 저면으로 냉각 가스가 직접 닿게 하여 냉각 효율을 높인다. When a specific area of the heater member 1400 is equal to or higher than a preset temperature based on the temperature of each area of the heater member 1400 measured by a sensor (not shown), the nozzle 952 moves to the specific area and the heater member 1400 ) discharge the cooling gas to the bottom of the Accordingly, the entire area of the heater member 1400 is rapidly cooled to a uniform temperature. In addition, the nozzle 952 increases cooling efficiency by allowing the cooling gas to directly contact the bottom surface of the heater member 1400 .

일 예에서, 노즐(952)은 냉각 플레이트(920)의 중심으로부터 가장 먼 영역에서 가스를 공급하다가, 기 설정된 시간이 지난 후, 센서(미도시)로부터 측정된 히터 부재(1400)의 각 영역의 온도 차에 따라 이동할 수 있다. 예컨대, 도 12에 도시된 바와 같이, c 영역에 대응되는 히터 부재(1400)의 온도가 기 설정된 온도 이상인 경우, c 영역 부근의 노즐(952)이 냉각 플레이트(920)의 반경 방향을 따라 이동하여 c 영역이 설정된 온도가 될 때까지 냉각 가스를 토출한다. 이때, 각 영역의 온도가 높을수록 노즐(952)로부터 토출되는 가스의 유량과 가스의 토출 시간을 높게 제공할 수 있다. 이에, 히터 부재(1400)의 전 영역에서 온도 하강이 균일하도록 조절할 수 있다.In one example, the nozzle 952 supplies gas in a region furthest from the center of the cooling plate 920 , and after a preset time has elapsed, It can move according to the temperature difference. For example, as shown in FIG. 12 , when the temperature of the heater member 1400 corresponding to the region c is equal to or higher than a preset temperature, the nozzle 952 near the region c moves along the radial direction of the cooling plate 920 to The cooling gas is discharged until the c area reaches the set temperature. In this case, the higher the temperature of each region, the higher the flow rate of the gas discharged from the nozzle 952 and the discharge time of the gas may be provided. Accordingly, the temperature drop in the entire region of the heater member 1400 may be adjusted to be uniform.

냉각 단계(S20) 이후에, 제2 가열 단계(S30)가 시작된다. 제2 가열 단계(S30)에서 히터 부재(1400)가 기판을 제1온도보다 낮은 제2온도로 기판을 처리한다.After the cooling step (S20), the second heating step (S30) is started. In the second heating step (S30), the heater member 1400 processes the substrate at a second temperature lower than the first temperature.

상술한 예에서는, 센서(미도시)가 측정한 히터 부재(1400) 상의 각 영역의 온도를 기반으로 히터 부재(1400)의 특정 영역이 기 설정된 온도 이상인 경우, 노즐(952)이 특정 영역으로 이동하는 것으로 설명하였다. In the above-described example, when a specific area of the heater member 1400 is equal to or higher than a preset temperature based on the temperature of each area on the heater member 1400 measured by a sensor (not shown), the nozzle 952 moves to the specific area. described as doing.

그러나, 도 13에 도시된 바와 같이, 냉각 단계(S20)에서 센서(미도시)가 측정한 히터 부재(1400) 상의 각 영역의 온도를 기반으로 히터 부재(1400)의 평균 온도 값이 기 설정된 온도 이상인 경우, 냉각 플레이트(920)가 히터 부재(1400) 방향으로 이동되도록 제공될 수 있다. 이에, 1 가열 단계(S20)또는 제2 가열 단계(S30)에서 냉각 유닛(900)이 히터 부재(1400)와 소정의 거리를 유지함에 따라, 기판을 가열할 시에 히터 부재(1400)에 대한 냉각 유닛(900)의 영향을 감소시키되, 냉각 단계(S20)에서 냉각 플레이트(920)가 히터 부재(1400)와 가깝게 제공됨에 따라, 노즐(952)로부터 토출되는 냉각 가스의 유속을 유지하기 용이한 이점이 있다.However, as shown in FIG. 13 , the average temperature value of the heater member 1400 is a preset temperature based on the temperature of each region on the heater member 1400 measured by a sensor (not shown) in the cooling step S20 . In this case, the cooling plate 920 may be provided to move in the direction of the heater member 1400 . Accordingly, as the cooling unit 900 maintains a predetermined distance with the heater member 1400 in the first heating step (S20) or the second heating step (S30), when the substrate is heated, the While reducing the influence of the cooling unit 900, as the cooling plate 920 is provided close to the heater member 1400 in the cooling step S20, it is easy to maintain the flow rate of the cooling gas discharged from the nozzle 952 There is an advantage.

상술한 예에서는 노즐(952)이 냉각 플레이트(920)의 반경 방향을 따라 이동되는 것으로 설명하였다. 그러나, 다른 예에서, 도 14에 도시된 바와 같이 노즐(952)은 냉각 플레이트(920)의 원주 방향으로 이동 가능하게 제공될 수 있다. 일 예에서, 노즐(952)은, 복수의 제1노즐(952a)과 복수의 제2노즐(952b)로 제공된다. 제1노즐(952a)은 제1슬롯(953a)에 제공되고, 제2노즐(952b)은 제2슬롯(953b)에 제공된다.In the above-described example, it has been described that the nozzle 952 is moved along the radial direction of the cooling plate 920 . However, in another example, as shown in FIG. 14 , the nozzle 952 may be provided to be movable in the circumferential direction of the cooling plate 920 . In one example, the nozzle 952 is provided with a plurality of first nozzles 952a and a plurality of second nozzles 952b. The first nozzle 952a is provided in the first slot 953a, and the second nozzle 952b is provided in the second slot 953b.

제1노즐(952a)은 냉각 플레이트(920)의 중심으로부터 제1거리로 제공되고, 원주 방향을 따라 서로 이격되게 제공된다. 제2노즐(952b)은 냉각 플레이트(920)의 중심으로부터 제2거리로 제공되고, 원주 방향을 따라 서로 이격되게 제공된다. 이 때, 제1노즐(952a) 각각이 이동되는 궤적은 서로간에 중첩되지 않고 제2노즐(952b) 각각이 이동되는 궤적은 서로 간에 중첩되지 않도록 제공된다. 이에, 히터 부재(1400) 저면의 전면이 균일하게 처리될 수 있다.The first nozzles 952a are provided at a first distance from the center of the cooling plate 920 and are provided to be spaced apart from each other along the circumferential direction. The second nozzles 952b are provided at a second distance from the center of the cooling plate 920 and are provided to be spaced apart from each other along the circumferential direction. In this case, the trajectories in which each of the first nozzles 952a move do not overlap each other, and the trajectories in which each of the second nozzles 952b move do not overlap each other. Accordingly, the entire surface of the bottom surface of the heater member 1400 may be uniformly treated.

다시 도 2 및 도 3를 참조하면, 버퍼 챔버(3800)는 복수 개로 제공된다. 버퍼 챔버들(3800) 중 일부는 인덱스 모듈(20)과 반송 챔버(3400) 사이에 배치된다. 이하, 이들 버퍼 챔버를 전단 버퍼(3802)(front buffer)라 칭한다. 전단 버퍼들(3802)은 복수 개로 제공되며, 상하 방향을 따라 서로 적층되게 위치된다. 버퍼 챔버들(3802, 3804) 중 다른 일부는 반송 챔버(3400)와 인터페이스 모듈(40) 사이에 배치된다 이하. 이들 버퍼 챔버를 후단 버퍼(3804)(rear buffer)라 칭한다. 후단 버퍼들(3804)은 복수 개로 제공되며, 상하 방향을 따라 서로 적층되게 위치된다. 전단 버퍼들(3802) 및 후단 버퍼들(3804) 각각은 복수의 기판들(W)을 일시적으로 보관한다. 전단 버퍼(3802)에 보관된 기판(W)은 인덱스 로봇(2200) 및 반송 로봇(3422)에 의해 반입 또는 반출된다. 후단 버퍼(3804)에 보관된 기판(W)은 반송 로봇(3422) 및 제1로봇(4602)에 의해 반입 또는 반출된다. Referring back to FIGS. 2 and 3 , a plurality of buffer chambers 3800 are provided. Some of the buffer chambers 3800 are disposed between the index module 20 and the transfer chamber 3400 . Hereinafter, these buffer chambers are referred to as a front buffer 3802 (front buffer). The front-end buffers 3802 are provided in plurality, and are positioned to be stacked on each other in the vertical direction. Another portion of the buffer chambers 3802 and 3804 is disposed between the transfer chamber 3400 and the interface module 40 below. These buffer chambers are referred to as rear buffer 3804 (rear buffer). The rear end buffers 3804 are provided in plurality, and are positioned to be stacked on each other in the vertical direction. Each of the front-end buffers 3802 and the back-end buffers 3804 temporarily stores a plurality of substrates W. As shown in FIG. The substrate W stored in the shear buffer 3802 is loaded or unloaded by the index robot 2200 and the transfer robot 3422 . The substrate W stored in the downstream buffer 3804 is carried in or carried out by the transfer robot 3422 and the first robot 4602 .

현상 블럭(30b)은 열처리 챔버(3200), 반송 챔버(3400), 그리고 액처리 챔버(3600)를 가진다. 현상 블럭(30b)의 열처리 챔버(3200), 반송 챔버(3400), 그리고 액처리 챔버(3600)는 도포 블럭(30a)의 열처리 챔버(3200), 반송 챔버(3400), 그리고 액처리 챔버(3600)와 대체로 유사한 구조 및 배치로 제공되므로, 이에 대한된다. 다만, 현상 블록(30b)에서 액처리 챔버들(3600)은 모두 동일하게 현상액을 공급하여 기판을 현상 처리하는 현상 챔버(3600)로 제공된다.The developing block 30b has a heat treatment chamber 3200 , a transfer chamber 3400 , and a liquid treatment chamber 3600 . The heat treatment chamber 3200 , the transfer chamber 3400 , and the liquid treatment chamber 3600 of the developing block 30b are the heat treatment chamber 3200 , the transfer chamber 3400 , and the liquid treatment chamber 3600 of the application block 30a . ) and is provided in a structure and arrangement substantially similar to that of However, in the developing block 30b, all of the liquid processing chambers 3600 are provided as the developing chamber 3600 for processing the substrate by supplying a developer in the same manner.

인터페이스 모듈(40)은 처리 모듈(30)을 외부의 노광 장치(50)와 연결한다. 인터페이스 모듈(40)은 인터페이스 프레임(4100), 부가 공정 챔버(4200), 인터페이스 버퍼(4400), 그리고 반송 부재(4600)를 가진다. The interface module 40 connects the processing module 30 to the external exposure apparatus 50 . The interface module 40 includes an interface frame 4100 , an additional process chamber 4200 , an interface buffer 4400 , and a transfer member 4600 .

인터페이스 프레임(4100)의 상단에는 내부에 하강기류를 형성하는 팬필터유닛이 제공될 수 있다. 부가 공정 챔버(4200), 인터페이스 버퍼(4400), 그리고 반송 부재(4600)는 인터페이스 프레임(4100)의 내부에 배치된다. 부가 공정 챔버(4200)는 도포 블럭(30a)에서 공정이 완료된 기판(W)이 노광 장치(50)로 반입되기 전에 소정의 부가 공정을 수행할 수 있다. 선택적으로 부가 공정 챔버(4200)는 노광 장치(50)에서 공정이 완료된 기판(W)이 현상 블럭(30b)으로 반입되기 전에 소정의 부가 공정을 수행할 수 있다. 일 예에 의하면, 부가 공정은 기판(W)의 에지 영역을 노광하는 에지 노광 공정, 또는 기판(W)의 상면을 세정하는 상면 세정 공정, 또는 기판(W)의 하면을 세정하는 하면 세정공정일 수 있다. 부가 공정 챔버(4200)는 복수 개가 제공되고, 이들은 서로 적층되도록 제공될 수 있다. 부가 공정 챔버(4200)는 모두 동일한 공정을 수행하도록 제공될 수 있다. 선택적으로 부가 공정 챔버(4200)들 중 일부는 서로 다른 공정을 수행하도록 제공될 수 있다.A fan filter unit for forming a descending airflow therein may be provided at an upper end of the interface frame 4100 . The additional process chamber 4200 , the interface buffer 4400 , and the transfer member 4600 are disposed inside the interface frame 4100 . The additional process chamber 4200 may perform a predetermined additional process before the substrate W, which has been processed in the application block 30a, is loaded into the exposure apparatus 50 . Optionally, the additional process chamber 4200 may perform a predetermined additional process before the substrate W, which has been processed in the exposure apparatus 50 , is loaded into the developing block 30b. According to an example, the additional process is an edge exposure process of exposing an edge region of the substrate W, a top surface cleaning process of cleaning the upper surface of the substrate W, or a lower surface cleaning process of cleaning the lower surface of the substrate W can A plurality of additional process chambers 4200 may be provided, and they may be provided to be stacked on each other. All of the additional process chambers 4200 may be provided to perform the same process. Optionally, some of the additional process chambers 4200 may be provided to perform different processes.

인터페이스 버퍼(4400)는 도포 블럭(30a), 부가 공정챔버(4200), 노광 장치(50), 그리고 현상 블럭(30b) 간에 반송되는 기판(W)이 반송도중에 일시적으로 머무르는 공간을 제공한다. 인터페이스 버퍼(4400)는 복수 개가 제공되고, 복수의 인터페이스 버퍼들(4400)은 서로 적층되게 제공될 수 있다.The interface buffer 4400 provides a space in which the substrate W transferred between the application block 30a, the additional process chamber 4200, the exposure apparatus 50, and the developing block 30b temporarily stays during the transfer. A plurality of interface buffers 4400 may be provided, and a plurality of interface buffers 4400 may be provided to be stacked on each other.

일 예에 의하면, 반송 챔버(3400)의 길이 방향의 연장선을 기준으로 일 측면에는 부가 공정 챔버(4200)가 배치되고, 다른 측면에는 인터페이스 버퍼(4400)가 배치될 수 있다.According to an example, the additional process chamber 4200 may be disposed on one side of the transfer chamber 3400 along the lengthwise extension line, and the interface buffer 4400 may be disposed on the other side thereof.

반송 부재(4600)는 도포 블럭(30a), 부가 공정챔버(4200), 노광 장치(50), 그리고 현상 블럭(30b) 간에 기판(W)을 반송한다. 반송 부재(4600)는 1개 또는 복수 개의 로봇으로 제공될 수 있다. 일 예에 의하면, 반송 부재(4600)는 제1로봇(4602) 및 제2로봇(4606)을 가진다. 제1로봇(4602)은 도포 블럭(30a), 부가 공정챔버(4200), 그리고 인터페이스 버퍼(4400) 간에 기판(W)을 반송하고, 인터페이스 로봇(4606)은 인터페이스 버퍼(4400)와 노광 장치(50) 간에 기판(W)을 반송하고, 제2로봇(4604)은 인터페이스 버퍼(4400)와 현상 블럭(30b) 간에 기판(W)을 반송하도록 제공될 수 있다.The transfer member 4600 transfers the substrate W between the coating block 30a, the addition process chamber 4200, the exposure apparatus 50, and the developing block 30b. The transfer member 4600 may be provided as one or a plurality of robots. According to an example, the conveying member 4600 has a first robot 4602 and a second robot 4606 . The first robot 4602 transfers the substrate W between the application block 30a, the additional process chamber 4200, and the interface buffer 4400, and the interface robot 4606 uses the interface buffer 4400 and the exposure apparatus ( 50), and the second robot 4604 may be provided to transfer the substrate W between the interface buffer 4400 and the developing block 30b.

제1로봇(4602) 및 제2로봇(4606)은 각각 기판(W)이 놓이는 핸드를 포함하며, 핸드는 전진 및 후진 이동, 제3 방향(16)에 평행한 축을 기준으로 한 회전, 그리고 제3 방향(16)을 따라 이동 가능하게 제공될 수 있다. The first robot 4602 and the second robot 4606 each include a hand on which the substrate W is placed, and the hand moves forward and backward, rotates about an axis parallel to the third direction 16, and It may be provided to be movable along three directions (16).

인덱스 로봇(2200), 제1로봇(4602), 그리고 제2 로봇(4606)의 핸드는 모두 반송 로봇(3422, 3424)의 핸드(3420)와 동일한 형상으로 제공될 수 있다. 선택적으로 열처리 챔버의 반송 플레이트(3240)와 직접 기판(W)을 주고받는 로봇의 핸드는 반송 로봇(3422, 3424)의 핸드(3420)와 동일한 형상으로 제공되고, 나머지 로봇의 핸드는 이와 상이한 형상으로 제공될 수 있다.The hands of the index robot 2200 , the first robot 4602 , and the second robot 4606 may all have the same shape as the hands 3420 of the transfer robots 3422 and 3424 . Optionally, the hand of the robot directly exchanging the substrate W with the transfer plate 3240 of the heat treatment chamber is provided in the same shape as the hand 3420 of the transfer robots 3422 and 3424, and the hands of the remaining robots have a different shape. can be provided as

일 실시예에 의하면, 인덱스 로봇(2200)은 도포 블럭(30a)에 제공된 전단 열처리 챔버(3200)의 가열 장치(3230)와 직접 기판(W)을 주고받을 수 있도록 제공된다. According to one embodiment, the index robot 2200 is provided to directly exchange the substrate W with the heating device 3230 of the shear heat treatment chamber 3200 provided in the application block 30a.

또한, 도포 블럭(30a) 및 현상 블럭(30b)에 제공된 반송 로봇(3422)은 열처리 챔버(3200)에 위치된 반송 플레이트(3240)와 직접 기판(W)을 주고받을 수 있도록 제공될 수 있다. In addition, the transfer robot 3422 provided in the application block 30a and the developing block 30b may be provided to directly transfer the substrate W with the transfer plate 3240 located in the heat treatment chamber 3200 .

상술한 기판 처리 장치(1)의 처리 블럭은 도포 처리 공정과 현상 처리 공정을 수행하는 것으로 설명하였다. 그러나 이와 달리 기판 처리 장치(1)는 인터페이스 모듈 없이 인덱스 모듈(20)과 처리 블럭(37)만을 구비할 수 있다. 이 경우, 처리 블럭(37)은 도포 처리 공정만을 수행하고, 기판(W) 상에 도포되는 막은 스핀 온 하드마스크막(SOH)일 수 있다. The processing block of the above-described substrate processing apparatus 1 has been described as performing a coating processing process and a developing processing process. However, unlike this, the substrate processing apparatus 1 may include only the index module 20 and the processing block 37 without an interface module. In this case, the processing block 37 performs only the coating process, and the film applied on the substrate W may be a spin-on hard mask film (SOH).

이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한 상술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내어 설명하는 것이며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 즉 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 저술한 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 구현하기 위한 최선의 상태를 설명하는 것이며, 본 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.The above detailed description is illustrative of the present invention. In addition, the above description shows and describes preferred embodiments of the present invention, and the present invention can be used in various other combinations, modifications, and environments. That is, changes or modifications are possible within the scope of the concept of the invention disclosed herein, the scope equivalent to the written disclosure, and/or within the scope of skill or knowledge in the art. The written embodiment describes the best state for implementing the technical idea of the present invention, and various changes required in the specific application field and use of the present invention are possible. Accordingly, the detailed description of the present invention is not intended to limit the present invention to the disclosed embodiments. Also, the appended claims should be construed to include other embodiments.

900: 냉각 유닛
920: 냉각 플레이트
952: 노즐
953: 슬롯
1320: 지지 플레이트900: cooling unit
920: cooling plate
952: nozzle
953: slot
1320: support plate

Claims (18)

기판을 처리하는 장치에 있어서,
내부에 처리공간을 제공하는 하우징; 그리고
상기 처리공간에서 기판을 지지하는 지지 유닛을 포함하고,
상기 지지 유닛은,
상기 기판을 지지하는 지지 플레이트;
상기 지지 플레이트에 제공되어 상기 기판을 가열하는 히터 부재; 그리고,
상기 히터 부재의 아래에 제공되며 상기 지지 플레이트를 강제 냉각하는 냉각 유닛과;
상기 냉각 유닛을 제어하는 제어기를 포함하되,
상기 냉각 유닛은,
상기 히터 부재와 이격되도록 상기 히터 부재의 아래에 배치된 냉각 플레이트; 그리고
상기 냉각 플레이트에 제공되어 상기 히터 부재의 저면으로 냉각 가스를 공급하는 노즐과;
상기 노즐을 이동시키는 구동기를 포함하며,
상기 노즐은 상기 냉각 플레이트 상에서 이동 가능하게 제공되고,
상기 냉각 플레이트는 그 상면에 슬롯이 형성되고,
상기 노즐은 상기 슬롯 내에 배치되는 기판 처리 장치.An apparatus for processing a substrate, comprising:
a housing providing a processing space therein; and
a support unit for supporting the substrate in the processing space;
The support unit is
a support plate for supporting the substrate;
a heater member provided on the support plate to heat the substrate; and,
a cooling unit provided under the heater member and forcibly cooling the support plate;
A controller for controlling the cooling unit,
The cooling unit is
a cooling plate disposed under the heater member to be spaced apart from the heater member; and
a nozzle provided on the cooling plate to supply a cooling gas to a bottom surface of the heater member;
It includes a driver for moving the nozzle,
the nozzle is provided movably on the cooling plate,
The cooling plate has a slot formed on its upper surface,
The nozzle is disposed in the slot. 삭제delete 기판을 처리하는 장치에 있어서,
내부에 처리공간을 제공하는 하우징; 그리고
상기 처리공간에서 기판을 지지하는 지지 유닛을 포함하고,
상기 지지 유닛은,
상기 기판을 지지하는 지지 플레이트;
상기 지지 플레이트에 제공되어 상기 기판을 가열하는 히터 부재; 그리고,
상기 히터 부재의 아래에 제공되며 상기 지지 플레이트를 강제 냉각하는 냉각 유닛과;
상기 냉각 유닛을 제어하는 제어기를 포함하되,
상기 냉각 유닛은,
상기 히터 부재와 이격되도록 상기 히터 부재의 아래에 배치된 냉각 플레이트; 그리고
상기 냉각 플레이트에 제공되어 상기 히터 부재의 저면으로 냉각 가스를 공급하는 노즐과;
상기 노즐을 이동시키는 구동기를 포함하며,
상기 노즐은 상기 냉각 플레이트 상에서 이동 가능하게 제공되고,
상기 노즐은 상기 냉각 플레이트의 원주 방향을 따라 복수 개 제공되며,
상기 노즐은 상기 냉각 플레이트의 원주 방향으로 이동 가능하게 제공되는 기판 처리 장치.An apparatus for processing a substrate, comprising:
a housing providing a processing space therein; and
a support unit for supporting the substrate in the processing space;
The support unit is
a support plate for supporting the substrate;
a heater member provided on the support plate to heat the substrate; and,
a cooling unit provided under the heater member and forcibly cooling the support plate;
A controller for controlling the cooling unit,
The cooling unit is
a cooling plate disposed under the heater member to be spaced apart from the heater member; and
a nozzle provided on the cooling plate to supply a cooling gas to a bottom surface of the heater member;
It includes a driver for moving the nozzle,
the nozzle is provided movably on the cooling plate,
A plurality of the nozzles are provided along the circumferential direction of the cooling plate,
The nozzle is provided to be movable in a circumferential direction of the cooling plate. 제3항에 있어서,
상기 노즐은,
상기 냉각 플레이트의 중심으로부터 제1거리에 있는 제1지점과 상기 냉각 플레이트의 중심으로부터 제2거리에 있는 제2지점 사이를 상기 냉각 플레이트의 반경 방향으로 이동 가능하게 제공되는 기판 처리 장치.4. The method of claim 3,
The nozzle is
and a first point at a first distance from the center of the cooling plate and a second point at a second distance from the center of the cooling plate to be movable in a radial direction of the cooling plate. 삭제delete 제3항에 있어서,
상기 노즐은,
상기 냉각 플레이트의 중심으로부터 제1거리로 제공되고, 원주 방향을 따라 서로 이격되게 복수 개 제공되는 제1노즐들과;
상기 냉각 플레이트의 중심으로부터 제2거리로 제공되고, 원주 방향을 따라 서로 이격되게 제공되는 제2노즐들을 구비하고,
상기 제1노즐 각각이 이동되는 궤적은 서로간에 중첩되지 않고 상기 제2노즐 각각이 이동되는 궤적은 서로 간에 중첩되지 않도록 제공되는 기판 처리 장치.4. The method of claim 3,
The nozzle is
a plurality of first nozzles provided at a first distance from the center of the cooling plate and spaced apart from each other in a circumferential direction;
and second nozzles provided at a second distance from the center of the cooling plate and spaced apart from each other in a circumferential direction;
The substrate processing apparatus is provided such that trajectories of movement of each of the first nozzles do not overlap each other and trajectories of movement of each of the second nozzles do not overlap each other. 기판을 처리하는 장치에 있어서,
내부에 처리공간을 제공하는 하우징; 그리고
상기 처리공간에서 기판을 지지하는 지지 유닛을 포함하고,
상기 지지 유닛은,
상기 기판을 지지하는 지지 플레이트;
상기 지지 플레이트에 제공되어 상기 기판을 가열하는 히터 부재; 그리고,
상기 히터 부재의 아래에 제공되며 상기 지지 플레이트를 강제 냉각하는 냉각 유닛과;
상기 냉각 유닛을 제어하는 제어기를 포함하되,
상기 냉각 유닛은,
상기 히터 부재와 이격되도록 상기 히터 부재의 아래에 배치된 냉각 플레이트; 그리고
상기 냉각 플레이트에 제공되어 상기 히터 부재의 저면으로 냉각 가스를 공급하는 노즐과;
상기 노즐을 이동시키는 구동기를 포함하며,
상기 노즐은 상기 냉각 플레이트 상에서 이동 가능하게 제공되고,
상기 냉각 유닛은,
상기 히터 부재 상의 복수의 영역에 대응되게 제공되어 상기 복수의 영역 각각에서 상기 히터 부재의 온도를 측정하는 복수의 센서; 그리고
상기 냉각 유닛을 제어하는 제어기를 더 포함하고,
상기 제어기는,
상기 센서가 측정한 상기 히터 부재 상의 각 영역의 온도를 기반으로 상기 히터 부재의 특정 영역이 기 설정된 온도 이상인 경우, 상기 노즐이 상기 특정 영역으로 이동하여 상기 히터 부재의 저면으로 상기 냉각 가스를 토출하도록 상기 냉각 유닛을 제어하는 기판 처리 장치.An apparatus for processing a substrate, comprising:
a housing providing a processing space therein; and
a support unit for supporting the substrate in the processing space;
The support unit is
a support plate for supporting the substrate;
a heater member provided on the support plate to heat the substrate; and,
a cooling unit provided under the heater member and forcibly cooling the support plate;
A controller for controlling the cooling unit,
The cooling unit is
a cooling plate disposed under the heater member to be spaced apart from the heater member; and
a nozzle provided on the cooling plate to supply a cooling gas to a bottom surface of the heater member;
It includes a driver for moving the nozzle,
the nozzle is provided movably on the cooling plate,
The cooling unit is
a plurality of sensors provided to correspond to a plurality of regions on the heater member and measuring a temperature of the heater member in each of the plurality of regions; and
Further comprising a controller for controlling the cooling unit,
The controller is
When the specific region of the heater member is above a preset temperature based on the temperature of each region on the heater member measured by the sensor, the nozzle moves to the specific region to discharge the cooling gas to the bottom surface of the heater member A substrate processing apparatus for controlling the cooling unit. 삭제delete 제7항에 있어서,
상기 제어기는,
상기 특정 영역이 기 설정된 온도가 될 때까지 상기 노즐이 상기 냉각 가스를 토출하도록 상기 냉각 유닛을 제어하는 기판 처리 장치.8. The method of claim 7,
The controller is
and controlling the cooling unit so that the nozzle discharges the cooling gas until the specific area reaches a preset temperature. 제7항에 있어서,
상기 냉각 유닛은,
상기 냉각 플레이트를 구동시키는 구동부를 더 포함하고,
상기 제어기는,
상기 센서가 측정한 상기 히터 부재 상의 각 영역의 온도를 기반으로 상기 히터 부재의 평균 온도 값이 기 설정된 온도 이상인 경우,
상기 냉각 플레이트가 상기 히터 부재 방향으로 이동되도록 상기 구동부를 제어하는 기판 처리 장치.8. The method of claim 7,
The cooling unit is
Further comprising a driving unit for driving the cooling plate,
The controller is
When the average temperature value of the heater member is greater than or equal to a preset temperature based on the temperature of each region on the heater member measured by the sensor,
The substrate processing apparatus controls the driving unit to move the cooling plate toward the heater member. 제1항, 제3항 및 제7항 중 어느 한 항의 기판 처리 장치를 이용하여 기판을 처리하는 방법에 있어서,
상기 지지 플레이트가 기판을 제1온도로 가열하는 제1 가열 단계; 그리고
상기 지지 플레이트에 상기 냉각 가스를 공급하여 기 설정 온도가 되도록 강제 냉각시키는 냉각 단계를 포함하고,
상기 노즐은,
상기 냉각 단계에서 상기 냉각 플레이트 상에서 이동되어 상기 히터 부재의 전 영역을 균일하게 냉각시키는 기판 처리 방법.The method of processing a substrate using the substrate processing apparatus of any one of claims 1, 3 and 7,
a first heating step in which the support plate heats the substrate to a first temperature; and
A cooling step of forcibly cooling to a preset temperature by supplying the cooling gas to the support plate,
The nozzle is
In the cooling step, the substrate processing method is moved on the cooling plate to uniformly cool the entire area of the heater member. 제11항에 있어서,
상기 히터 부재에서 상기 냉각 가스가 직접 맞닿는 영역이 변경되도록 상기 노즐을 이동시키는 기판 처리 방법.12. The method of claim 11,
The substrate processing method of moving the nozzle so as to change a region in which the cooling gas directly comes into contact with the heater member. 제11항에 있어서,
상기 노즐은,
상기 냉각 플레이트의 중심으로부터 제1거리에 있는 제1지점과 상기 냉각 플레이트의 중심으로부터 제2거리에 있는 제2지점 사이를 상기 냉각 플레이트의 반경 방향으로 이동하는 기판 처리 방법.12. The method of claim 11,
The nozzle is
and moving in a radial direction of the cooling plate between a first point at a first distance from the center of the cooling plate and a second point at a second distance from the center of the cooling plate. 제11항에 있어서,
상기 노즐은 상기 냉각 플레이트의 원주 방향으로 이동 가능하게 제공되고,
상기 노즐은,
상기 냉각 플레이트의 중심으로부터 제1거리로 제공되고, 원주 방향을 따라 서로 이격되게 복수 개 제공되는 제1노즐들과;
상기 냉각 플레이트의 중심으로부터 제2거리로 제공되고, 원주 방향을 따라 서로 이격되게 제공되는 제2노즐들을 구비하고,
상기 제1노즐 각각이 이동되는 궤적은 서로간에 중첩되지 않고 상기 제2노즐 각각이 이동되는 궤적은 서로 간에 중첩되지 않도록 제공되는 기판 처리 방법.12. The method of claim 11,
The nozzle is provided movably in the circumferential direction of the cooling plate,
The nozzle is
a plurality of first nozzles provided at a first distance from the center of the cooling plate and spaced apart from each other in a circumferential direction;
and second nozzles provided at a second distance from the center of the cooling plate and spaced apart from each other in a circumferential direction;
and a trajectory of movement of each of the first nozzles does not overlap each other, and a trajectory of movement of each of the second nozzles does not overlap with each other. 제11항에 있어서,
상기 냉각 단계에서,
상기 히터 부재의 특정 영역이 기 설정된 온도 이상인 경우, 상기 노즐이 상기 특정 영역으로 이동하여 상기 히터 부재의 저면으로 상기 냉각 가스를 토출하는 기판 처리 방법.12. The method of claim 11,
In the cooling step,
When the specific region of the heater member has a preset temperature or higher, the nozzle moves to the specific region to discharge the cooling gas to a bottom surface of the heater member. 제15항에 있어서,
상기 냉각 단계에서,
상기 특정 영역이 기 설정된 온도가 될 때까지 상기 노즐이 상기 냉각 가스를 토출하는 기판 처리 방법.16. The method of claim 15,
In the cooling step,
The nozzle discharges the cooling gas until the specific area reaches a preset temperature. 제11항에 있어서,
상기 냉각 단계에서,
상기 히터 부재 상의 각 영역의 온도를 기반으로 상기 히터 부재의 평균 온도 값이 기 설정된 온도 이상인 경우,
상기 냉각 플레이트를 상기 히터 부재 방향으로 이동시키는 기판 처리 방법.12. The method of claim 11,
In the cooling step,
When the average temperature value of the heater member is greater than or equal to a preset temperature based on the temperature of each region on the heater member,
A substrate processing method for moving the cooling plate toward the heater member. 제11항에 있어서,
상기 냉각 단계 이후에,
상기 지지 플레이트가 상기 기판을 제2온도로 가열하는 제2가열 단계를 더 포함하고,
상기 제2온도는 상기 제1온도보다 낮은 온도인 기판 처리 방법.
12. The method of claim 11,
After the cooling step,
The support plate further comprises a second heating step of heating the substrate to a second temperature,
The second temperature is a temperature lower than the first temperature.
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