KR102239666B1

KR102239666B1 - Positioning device

Info

Publication number: KR102239666B1
Application number: KR1020140139887A
Authority: KR
Inventors: 히로미 시모다; 지로 이시베; 다케시 니시가와
Original assignee: 에스엠시 가부시키가이샤
Priority date: 2013-10-16
Filing date: 2014-10-16
Publication date: 2021-04-13
Also published as: KR20150044411A; CN104555367B; CN104555367A

Abstract

워크피스 위치 결정 장치(10A)는, 베이스부(12)의 평면에 슬라이딩 가능하게 설치된 중간부(14)와, 중간부(14)에 대하여 슬라이딩하는 테이블부(16)와, 테이블부(16)를 잠그는 누름부(18)를 구비한다. 테이블부(16)는, 테이블 본체(98)에 설치되어 중간부(14)의 직경 방향 외측까지 연장 형성된 커버부(92)를 가지며, 테이블 본체(98)와 커버부(92)에 의하여 누름부(18)가 상대 변위할 수 있는 가동 공간(S)이 형성된다.The workpiece positioning device 10A includes an intermediate portion 14 slidably provided on the plane of the base portion 12, a table portion 16 sliding with respect to the intermediate portion 14, and a table portion 16. It is provided with a pressing portion 18 for locking. The table portion 16 has a cover portion 92 installed on the table body 98 and extending radially outward of the intermediate portion 14, and a pressing portion by the table body 98 and the cover portion 92 A movable space S capable of relative displacement of 18 is formed.

Description

Workpiece positioning device {POSITIONING DEVICE}

본 발명은, 워크피스(workpiece)를 소정 위치로 위치 결정하여 고정하기 위한 워크피스 위치 결정 장치에 관한 것이다.
The present invention relates to a workpiece positioning device for positioning and fixing a workpiece to a predetermined position.

종래, 액정 디스플레이의 제조 공정 등의 클린룸에 있어서, 롤러 컨베이어 등으로 운반 수송되는 워크피스를 소정 위치로 위치 결정하는 워크피스 위치 결정 장치가 광범위하게 이용되고 있다. 예를 들면, 일본공개특허 특개2005-109443호 공보에 개시되어 있는 워크피스 위치 결정 장치는, 하판과, 하판 위에 설치되어 복수의 볼이 구름 운동 가능하게 배치되고 설치되는 복수의 지지홀이 형성된 리테이너와, 리테이너 위에 설치된 상판을 케이싱 내에 수용한 구성을 갖추고 있다. 상판에는 케이싱에 형성된 홀 부를 통하여 외부까지 상측으로 연장하여 돌출된 축 부가 설치되고, 그 축 부의 상단부에는 워크피스가 놓여져 배치되는 탑 플레이트가 고정되어 있다. 또한, 상판에 설치된 스프링 멈춤부와 케이싱 사이에는, 탑 플레이트를 기준 위치로 복귀시키기 위한 스프링이 설치되어 있다.BACKGROUND ART Conventionally, in a clean room such as a manufacturing process of a liquid crystal display, a workpiece positioning device for positioning a workpiece transported by a roller conveyor or the like to a predetermined position has been widely used. For example, the work piece positioning device disclosed in Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 2005-109443 is a retainer having a lower plate and a plurality of support holes installed on the lower plate so that a plurality of balls can be rolled and installed. Wow, it has a configuration in which the upper plate installed on the retainer is accommodated in the casing. The upper plate is provided with a shaft that extends upward and protrudes to the outside through a hole formed in the casing, and a top plate on which a work piece is placed and disposed is fixed at the upper end of the shaft. In addition, a spring for returning the top plate to the reference position is provided between the casing and the spring stop provided on the upper plate.

이와 같은 워크피스 위치 결정 장치에서는, 탑 플레이트에 놓여져 배치된 워크피스를 에어 실린더 등으로 소정 방향으로 밀어 누르면, 하판에 대하여 상판이 복수의 볼을 통하여 슬라이딩하기 때문에, 워크피스가 위치 결정된다. 한편, 무부하 상태에서는, 스프링의 작용에 의하여 상판(탑 플레이트)는, 센터링 포지션으로 복귀한다.In such a work piece positioning device, when the work piece placed on the top plate is pushed in a predetermined direction with an air cylinder or the like, the upper plate slides with respect to the lower plate through a plurality of balls, so that the work piece is positioned. On the other hand, in the no-load state, the upper plate (top plate) returns to the centering position by the action of the spring.

그러나, 해당 워크피스 위치 결정 장치는, 케이싱 내에 상판을 슬라이딩시키기 위한 가동 공간이나 스프링을 배치하기 위한 공간을 형성할 필요가 있음은 물론 케이싱의 두께가 필요하기 때문에, 슬라이딩 방향의 길이가 증대되고마는 문제가 있었다.However, the work piece positioning device needs to form a space for placing a spring or a movable space for sliding the upper plate in the casing, as well as the thickness of the casing, so that the length in the sliding direction is increased. There was a problem.

여기서, 예를 들면, 일본등록특허 제4797025호 공보에 개시된 워크피스 위치 결정 장치가 제안되어 있다. 이러한 워크피스 위치 결정 장치는, 평면을 가진 하부 블록과, 상기 평면에 접촉하는 복수의 볼이 구름 운동 가능하게 배치되고 설치된 복수의 지지홀이 형성된 리테이너와, 복수의 볼 위에 설치되어 워크피스가 놓여져 배치되는 상부 블록을 구비하고 있다. 리테이너 중앙에 설치된 축 부와 상부 블록 사이에는, 스프링 부재가 설치되어 있다. 하부 블록 및 상부 블록 각각에는, 축 부의 가동 범위를 규제하는 가동 공간이 형성되어 있다.Here, for example, a workpiece positioning apparatus disclosed in Japanese Patent No. 4797025 is proposed. Such a work piece positioning device includes a lower block having a plane, a retainer having a plurality of support holes installed and arranged to enable rolling movement of a plurality of balls in contact with the plane, and a work piece installed on the plurality of balls. It has an upper block to be arranged. A spring member is provided between the upper block and the shaft portion provided in the center of the retainer. Each of the lower block and the upper block is provided with a movable space that regulates the movable range of the shaft portion.

이와 같은 워크피스 위치 결정 장치에서는, 일본공개특허 특개2005-109443호 공보와 같은 워크피스 위치 결정 장치와 비교하여, 하부 블록의 가동 공간과 상부 블록의 가동 공간을 대략 절반으로 할 수 있으므로, 워크피스의 최대 위치 조정 폭을 작게 하는 일이 없이 소형화를 도모할 수 있게 된다.In such a work piece positioning device, compared to a work piece positioning device such as Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 2005-109443, the movable space of the lower block and the movable space of the upper block can be made approximately half. It is possible to achieve miniaturization without reducing the maximum position adjustment width.

또한, 이러한 워크피스 위치 결정 장치는, 축 부의 하단부 플랜지를 피스톤으로 지지함으로써, 복수의 볼이 회전하는 것을 멈추어 리테이너 및 상부 블록을 하부 블록에 대하여 잠그는 구성을 채용하고 있다.
In addition, such a work piece positioning apparatus adopts a configuration in which a plurality of balls stop rotating by supporting the lower end flange of the shaft portion with a piston to lock the retainer and the upper block with respect to the lower block.

일본공개특허 특개2005-109443호Japanese Unexamined Patent Publication No. 2005-109443 일본등록특허 제4797025호Japanese Patent No. 4797025

위에서 서술한 일본공개특허 특개2005-109443호 공보와 같은 워크피스 위치 결정 장치에서는, 케이싱의 홀 부를 구성하는 벽면과 축 부 사이에 탑 플레이트(상판)가 슬라이딩할 수 있을 정도의 틈을 형성할 필요가 있다. 따라서, 케이싱 내에서 먼지가 일어난 경우에, 그 먼지가 홀부를 통하여 케이싱의 외부로 유출하여 워크피스 위치 결정 장치의 사용 환경을 오염시키고 마는 일이 있다.In the work piece positioning device such as Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 2005-109443 described above, it is necessary to form a gap enough to allow the top plate (top plate) to slide between the wall surface and the shaft portion constituting the hole portion of the casing. There is. Therefore, when dust is generated in the casing, the dust may flow out of the casing through the hole and contaminate the environment of use of the workpiece positioning device.

또한, 위에서 서술한 일본등록특허 제4797025호 공보와 같은 워크피스 위치 결정 장치에서는, 리테이너에 설치된 축 부를 하부 블록의 피스톤으로 지지함으로써, 복수의 볼이 회전하지 않게 되며, 리테이너 및 상부 블록이 하부 블록에 대하여 잠겨지게 되는 것이다.In addition, in the workpiece positioning apparatus such as Japanese Patent No. 4797025 described above, a plurality of balls are not rotated by supporting the shaft portion installed in the retainer with the piston of the lower block, and the retainer and the upper block are formed in the lower block. Is locked against.

그런데, 통상, 리테이너의 각 지지홀을 구성하는 벽면과 각 볼 사이에는 소정의 틈(clearance)이 형성되어 있다. 이와 같은 틈을 형성하지 않으면, 각 볼을 원활하게 구름 운동시킬 수 없으며, 중간체 및 상부 블록을 슬라이딩시키늘 수 없기 때문이다.By the way, usually, a predetermined clearance is formed between each ball and the wall surface constituting each support hole of the retainer. This is because if such a gap is not formed, each ball cannot be smoothly rolled, and the intermediate and upper blocks cannot be slid.

따라서, 실제로는, 축 부(리테이너)를 지지한 상태에서, 각 볼은 각 지지홀을 구성하는 벽면 사이의 틈만큼 이동한다. 따라서, 상부 블록이 중간체에 대하여 상기 틈만큼 덜컹거리는 일이 있다.Therefore, in reality, in a state in which the shaft portion (retainer) is supported, each ball moves by a gap between the wall surfaces constituting each support hole. Therefore, there is a case that the upper block rattles with respect to the intermediate body as much as the gap.

그리고, 이러한 워크피스 위치 결정 장치에서는, 잠금 해제시에, 상부 블록이 각 볼에 대하여 슬라이딩 가능하기 때문에, 상부 블록과 각 볼과의 마찰 저항은 비교적 작으리라 생각된다. 따라서, 상부 블록에 워크피스를 놓고 배치한 상태더라도, 슬라이딩 방향을 따라 외력이 워크피스 등에 작용한 경우, 상부 블록은 하부 블록에 대하여 슬라이딩하고 마는 일이 있다.And, in such a work piece positioning apparatus, since the upper block is slidable with respect to each ball upon unlocking, it is considered that the frictional resistance between the upper block and each ball is relatively small. Therefore, even in a state in which the work piece is placed on the upper block, and the external force acts on the work piece or the like along the sliding direction, the upper block may slide and roll with respect to the lower block.

즉, 상기 워크피스 위치 결정 장치에서는, 워크피스를 소정 위치로 확실하게 고정할 수 없는 우려가 있다.That is, in the work piece positioning device, there is a concern that the work piece cannot be reliably fixed to a predetermined position.

본 발명은, 이와 같은 과제를 고려하여 이루어진 것이며, 워크피스의 최대 위치 조정 폭을 작게 하는 일이 없이 소형화를 도모할 수 있음은 물론 워크피스를 소정 위치에서 확실하게 고정할 수 있으며, 청정성이 요구되는 환경에 있어서 적절히 사용할 수 있는 워크피스 위치 결정 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
The present invention has been made in consideration of such a problem, and miniaturization can be achieved without reducing the maximum positioning width of the workpiece, and the workpiece can be reliably fixed at a predetermined position, and cleanliness is required. It is an object of the present invention to provide a work piece positioning device that can be appropriately used in an environment in which it is used.

본 발명에 따른 워크피스 위치 결정 장치는, 워크피스를 위치 결정하여 고정하기 위한 워크피스 위치 결정 장치에 있어서, 평면을 가진 베이스부와, 평면에 슬라이딩 가능하게 설치된 중간부와, 평면과 평행하게 설치되어 중간부에 대하여 슬라이딩하는 판 형상부를 가지며, 워크피스가 놓여 배치되는 테이블부와, 평면과 직교하는 방향을 따라 연장 형성되는 축 부와, 축 부의 일단측에 설치된 상태에서 축 부의 직경 방향 외측으로 연장하여 돌출됨과 동시에 판 형상부의 일측의 면을 중간부측으로 밀어 눌러 테이블부를 잠그는 누름부와, 축 부를 축선 방향으로 밀어 누를 수 있는 상태에서 베이스부에 배치되고 설치된 피스톤과, 누름부와 테이블부 사이에 설치되어 테이블부를 기준 위치로 복귀시키기 위한 바이어싱(biasing, 偏倚) 수단을 구비하며, 테이블부는, 누름부 일측에 설치된 테이블 본체와, 테이블 본체에 설치되어 중간부의 직경방향 외측까지 연장 형성된 통 형상의 커버부를 가지며, 테이블 본체과 커버부에 의하여 누름부가 상대 변위 가능한 가동 공간이 형성되는 것을 특징으로 한다.In the workpiece positioning device for positioning and fixing a workpiece, the workpiece positioning device according to the present invention includes a base portion having a plane, an intermediate portion slidably installed on the plane, and installed parallel to the plane. It has a plate-shaped part that slides with respect to the intermediate part, a table part on which the work piece is placed, a shaft part extending along a direction orthogonal to the plane, and an outer side in the radial direction of the shaft part when installed at one end of the shaft part. A pressing part that locks the table part by pushing one side of the plate-shaped part toward the middle part while extending and protruding, a piston disposed and installed in the base part while pushing the shaft part in the axial direction, and between the push part and the table part It is installed on the table and is provided with a biasing means for returning the table to a reference position, and the table is a cylindrical shape formed with a table body installed on one side of the pressing part, and a cylindrical body installed on the table body and extending outward in the radial direction of the middle part. It has a cover portion, characterized in that the table body and the cover portion to form a movable space that can be displaced relative to the pressing portion.

상기의 워크피스 위치 결정 장치에 의하면, 누름부와 테이블부 사이에 바이어싱 수단을 설치함과 동시에 누름부가 상대 변위 가능한 가동 공간을 테이블부에 형성하고 있으므로, 테이블부의 슬라이딩 방향을 따라 외형 길이를 크게 하는 일이 없이 상기 테이블부의 가동 공간을 확보할 수 있다. 따라서, 케이싱을 형성하는 구성과 비교하여, 워크피스의 최대 위치 조정 폭을 작게 하는 일이 없이, 워크피스 위치 결정 장치의 소형화를 도모할 수 있다.According to the above-described workpiece positioning device, a biasing means is provided between the pressing portion and the table portion, and a movable space in which the pressing portion can be displaced is formed on the table portion. It is possible to secure a movable space of the table portion without doing anything. Therefore, compared with the configuration in which the casing is formed, the work piece positioning device can be downsized without reducing the maximum positioning width of the work piece.

또한, 피스톤을 중간부와는 반대측으로 변위시킴으로써, 판 형상부의 일측면에 누름부를 눌러 붙일 수 있다. 즉, 판 형상부의 일측면과 누름부 사이에 생긴 마찰력에 의하여, 테이블부를 베이스부에 대하여 직접적으로 잠글 수 있다. 따라서, 테이블부의 슬라이딩 방향을 따라 워크피스 등에 외력이 작용한 경우라고 하더라도, 테이블부가 베이스부에 대하여 변위하는 것을 억제할 수 있다. 따라서, 워크피스를 소정 위치로 확실하게 고정할 수 있다.In addition, by displacing the piston to the opposite side to the intermediate portion, it is possible to press and attach the pressing portion to one side of the plate-shaped portion. That is, by the frictional force generated between one side of the plate-shaped portion and the pressing portion, the table portion can be directly locked with respect to the base portion. Therefore, even when an external force acts on the work piece or the like along the sliding direction of the table portion, it is possible to suppress the displacement of the table portion with respect to the base portion. Therefore, the work piece can be reliably fixed to a predetermined position.

그리고, 테이블 본체에 설치된 통 형상의 커버부가 중간부의 직경 방향 외측까지 연장 형성되어 있으므로, 테이블부 내(가동 공간)에서 먼지가 일어난 경우라도, 먼지가 워크피스 위치 결정 장치의 외부로 유출되는 것을 억제할 수 있다. 따라서, 청정성이 요구되는 환경(클린룸 등)에 있어서 워크피스 위치 결정 장치를 적절히 사용할 수 있다.In addition, since the cylindrical cover part installed on the table body extends to the outer side in the radial direction of the middle part, even if dust occurs in the table part (movable space), it prevents the dust from leaking to the outside of the workpiece positioning device. can do. Therefore, the workpiece positioning device can be suitably used in an environment where cleanliness is required (clean room, etc.).

상기 워크피스 위치 결정 장치에 있어서, 중간부는, 베이스부의 평면과 판 형상부의 타측면에 접촉하는 볼과, 볼이 구름 운동 가능한 상태에서 배치되고 설치되는 지지홀이 형성된 리테이너를 가지고 있어도 좋다.In the above workpiece positioning device, the intermediate portion may have a ball contacting the plane of the base portion and the other side of the plate-shaped portion, and a retainer having a support hole disposed and installed in a state in which the ball can be rolled.

상기의 구성에 의하면, 중간부 및 테이블부의 슬라이딩 동작을 원활하게 수행할 수 있다. 이 경우, 지지홀을 구성하는 벽면과 볼 사이에 소정의 틈(clearance)이 형성된다. 그러나, 테이블부를 베이스부에 대하여 직접적으로 잠그므로, 상기 틈에 기인하는 테이블부의 덜컹거림을 억제할 수 있다. 따라서, 워크피스를 소정 위치에 더욱 확실하게 고정할 수 있다.According to the above configuration, it is possible to smoothly perform the sliding operation of the intermediate portion and the table portion. In this case, a predetermined clearance is formed between the ball and the wall constituting the support hole. However, since the table portion is directly locked to the base portion, it is possible to suppress the rattling of the table portion caused by the gap. Therefore, it is possible to more reliably fix the work piece in a predetermined position.

상기 워크피스 위치 결정 장치에 있어서, 피스톤은, 축 부에 대하여 축 부의 축선 방향을 따라 변위 가능하게 설치되고, 축 부에는, 축 부에 대한 피스톤의 일측으로의 변위를 규제하는 제1 규제부와, 축 부에 대한 피스톤의 타측으로의 변위를 규제하는 제2 규제부가 형성되어도 좋다.In the work piece positioning device, the piston is installed to be displaceable with respect to the shaft portion along the axial direction of the shaft portion, and the shaft portion includes a first regulating portion that regulates displacement of the piston relative to the shaft portion toward one side; , A second regulating portion for regulating the displacement of the piston to the other side with respect to the shaft portion may be formed.

상기의 구성에 의하면, 피스톤이 축 부에 대하여 그 축선 방향을 따라 제1 규제부와 제2 규제부 사이의 범위 내에서 축 부에 대하여 상대적으로 변위하므로, 축 부(누름부)의 스트로크 길이에 대하여 피스톤의 스트로크 길이를 크게 할 수 있다. 따라서, 워크피스 위치 결정 장치가 축선 방향으로 대형화하는 것을 억제할 수 있다.According to the above configuration, since the piston is relatively displaced with respect to the shaft portion with respect to the shaft portion in the range between the first and second restricting portions along the axial direction, the stroke length of the shaft portion (pressing portion) On the other hand, the stroke length of the piston can be increased. Therefore, it is possible to suppress the increase in size of the workpiece positioning device in the axial direction.

상기 워크피스 위치 결정 장치에 있어서, 중간부와, 축 부 사이에 설치되어 중간부을 기준 위치로 복귀시키기 위한 나선 스프링 등의 탄성 부재를 구비하는 것도 좋다.In the above-described workpiece positioning device, an elastic member such as a helical spring may be provided between the intermediate portion and the shaft portion to return the intermediate portion to a reference position.

상기의 구성에 의하면, 베이스부에 대하여 슬라이딩한 중간부를 탄성 부재의 복원력에 의하여 기준 위치로 확실하게 복귀시킬 수 있다. 탄성 부재로서 나선 스프링을 이용한 경우는, 중간부가 360도 어느 방향으로 슬라이딩하더라도, 중간부를 효율적으로 소정 기준 위치로 복귀시킬 수 있다.According to the above configuration, the intermediate portion sliding with respect to the base portion can be reliably returned to the reference position by the restoring force of the elastic member. When a helical spring is used as the elastic member, even if the intermediate portion slides in any direction by 360 degrees, the intermediate portion can be efficiently returned to a predetermined reference position.

상기 워크피스 위치 결정 장치에 있어서, 축 부는, 축선과 직교하는 방향으로 이동 가능하며, 중간부는 축 부와 일체로 평면과 평행하게 슬라이딩 가능하여도 좋다.In the above workpiece positioning device, the shaft portion may be movable in a direction orthogonal to the axis line, and the intermediate portion may be integrally slidable with the shaft portion in parallel with the plane.

상기의 구성에 의하면, 베이스부에 대하여 중간부가 슬라이딩한 한 만큼, 테이블부 내에 있어서 필요한 누름부의 가동 공간을 작게 할 수 있으며, 테이블부의 외형도 작게 할 수 있다.According to the above configuration, as long as the intermediate portion slides with respect to the base portion, the required movable space of the pressing portion in the table portion can be reduced, and the external shape of the table portion can be reduced.

상기 워크피스 위치 결정 장치에 있어서, 베이스부와 축 부 사이에 설치되어 중간부를 기준 위치로 복귀시키기 위한 나선 스프링 등의 탄성 부재를 구비하여도 좋다.In the above workpiece positioning device, an elastic member such as a helical spring may be provided between the base portion and the shaft portion to return the intermediate portion to the reference position.

상기 워크피스 위치 결정 장치에 있어서, 축 부를 베이스부에 대하여 기준 위치로 복귀시키기 위한 센터링 기구를 구비하여도 좋다.In the above workpiece positioning device, a centering mechanism for returning the shaft portion to a reference position relative to the base portion may be provided.

상기의 구성에 의하면, 축 부를 기준 위치로 높은 정밀도로 복귀시킬 수 있다.According to the above configuration, it is possible to return the shaft portion to the reference position with high precision.

상기 워크피스 위치 결정 장치에 있어서, 중간부는, 베이스부의 평면과 판 형상부의 타측면에 접촉하는 볼과, 볼이 구름 운동 가능한 상태에서 배치되고 설치되는 지지홀이 형성된 리테이너와, 리테이너의 외주에 끼움 결합되는 L형 커버를 가지며, 베이스와 L형 커버 사이에 평면과 평행하게 슬라이딩 가능한 S형 커버가 설치되어도 좋다.In the work piece positioning device, the intermediate portion includes a ball contacting the plane of the base portion and the other side of the plate-shaped portion, a retainer having a support hole disposed and installed in a state in which the ball is rollable, and fitted on the outer circumference of the retainer. It has an L-shaped cover that is coupled, and an S-shaped cover that can slide parallel to the plane may be installed between the base and the L-shaped cover.

상기의 구성에 의하면, 테이블부가 최대로 슬라이딩했을 때라도, L형 커버 및 S형 커버의 존재에 의하여, 베이스부의 평면이 노출되는 일이 없이, 워크피스 위치 결정 장치의 내부에 먼지가 침입하는 것을 가급적으로 억제할 수 있다.According to the above configuration, even when the table portion slides to the maximum, it is possible to prevent dust from entering the inside of the workpiece positioning device without exposing the plane of the base portion due to the presence of the L-shaped cover and the S-shaped cover. Can be suppressed.

상기 워크피스 위치 결정 장치에 있어서, 베이스부에 대한 중간부의 슬라이딩은, 리테이너가 S형 커버에 맞닿아 접하고, S형 커버가 베이스부에 맞닿아 접함으로써 규제되어도 좋다.In the above-described workpiece positioning device, the sliding of the intermediate portion with respect to the base portion may be restricted by the retainer coming into contact with the S-shaped cover and the S-shaped cover coming into contact with the base portion.

상기의 구성에 의하면, S형 커버의 형상 등을 조정함으로써, 베이스부에 대한 중간부의 슬라이딩을 소정량으로 용이하게 규제할 수 있다.According to the above configuration, by adjusting the shape of the S-shaped cover or the like, the sliding of the intermediate portion with respect to the base portion can be easily regulated to a predetermined amount.

상기 워크피스 위치 결정 장치에 있어서, L형 커버와 S형 커버 사이에 설치되어, S형 커버를 기준 위치로 복귀시키기 위한 나선 스프링 등의 탄성 부재를 구비하여도 좋다.In the above workpiece positioning device, an elastic member such as a helical spring may be provided between the L-shaped cover and the S-shaped cover and for returning the S-shaped cover to a reference position.

상기의 구성에 의하면, S형 커버를 탄성 부재의 복원력에 의하여 기준 위치로 확실하게 복귀시킬 수 있다. 탄성 부재로서 나선 스프링을 이용한 경우는, S형 커버가 360도 어느 방향으로 슬라이딩하더라도, S형 커버를 효율적으로 소정의 기준위치로 복귀시킬 수 있다.According to the above configuration, it is possible to reliably return the S-shaped cover to the reference position by the restoring force of the elastic member. When a spiral spring is used as the elastic member, even if the S-shaped cover slides in any direction by 360 degrees, the S-shaped cover can be efficiently returned to a predetermined reference position.

상기 워크피스 위치 결정 장치에 있어서, 바이어싱 수단은 나선 스프링 등의 탄성 부재여도 좋다.In the above workpiece positioning device, the biasing means may be an elastic member such as a spiral spring.

상기의 구성에 의하면, 베이스부에 대하여 슬라이딩한 테이블부를 탄성 부재의 복원력에 의하여 기준 위치로 확실하게 복귀시킬 수 있다. 탄성 부재로서 나선 스프링을 이용한 경우는, 테이블부가 360도 어느 방향으로 슬라이딩하더라도, 테이블부를 효율적으로 소정의 기준 위치로 복귀시킬 수 있다.According to the above configuration, the table portion sliding with respect to the base portion can be reliably returned to the reference position by the restoring force of the elastic member. When a spiral spring is used as the elastic member, even if the table portion slides in any direction by 360 degrees, the table portion can be efficiently returned to a predetermined reference position.

상기 워크피스 위치 결정 장치에 있어서, 바이어싱 수단은, 테이블 본체의 타측면을 구름 운동하는 센터링 볼과, 센터링 볼을 자유로이 회전 가능하게 지지하는 볼 지지부와, 볼 지지부와 누름부 사이에 설치되어 볼 지지부를 테이블 본체측으로 밀어붙이는 편향 부재를 구비하며, 테이블 본체의 타측면에는, 테이블 본체의 중심을 센터링 볼에 안내하기 위한 오목부가 형성되어도 좋다.In the work piece positioning device, the biasing means includes a centering ball for rolling the other side of the table main body, a ball support part for freely rotatable support for the centering ball, and a ball support provided between the ball support part and the pressing part. A biasing member for pushing the support portion toward the table main body may be provided, and a concave portion for guiding the center of the table main body to the centering ball may be formed on the other side of the table main body.

이와 같은 구성에 의하면, 테이블 본체의 중심을 센터링 볼에 안내하는 오목부를 테이블 본체의 타측면에 형성하고 있으므로, 테이블부의 센터링 정밀도를 높일 수 있다.According to this configuration, since the concave portion for guiding the center of the table main body to the centering ball is formed on the other side of the table main body, the centering accuracy of the table portion can be improved.

상기 워크피스 위치 결정 장치에 있어서, 누름부에 의한 테이블부의 잠금 상태 및 잠금 해제 상태를 검출하는 검출 수단을 더 구비하여도 좋다.In the above-described workpiece positioning device, a detection means for detecting a locked state and an unlocked state of the table portion by the pressing portion may be further provided.

상기의 구성에 의하면, 검출 수단을 구비하고 있으므로 테이블부가 잠금 상태 및 잠금 해제 상태 중 어느 상태에 있는가를 용이하게 알 수 있다.According to the above configuration, since the detection means is provided, it is easy to know whether the table portion is in the locked state or the unlocked state.

상기 워크피스 위치 결정 장치에 있어서, 베이스부에는, 피스톤이 배치되고 설치된 실린더 챔버가 형성되고, 검출 수단은, 피스톤의 외주면에 장착된 마그넷와, 마그넷의 자계에 기초하여 피스톤의 축선 방향의 위치를 검출하는 위치 검출 센서을 가지는 것도 좋다.In the workpiece positioning device, a cylinder chamber in which a piston is arranged and installed is formed in the base portion, and the detection means detects a position in the axial direction of the piston based on a magnet mounted on an outer peripheral surface of the piston and a magnetic field of the magnet. It is also good to have a position detection sensor.

상기의 구성에 의하면, 실린더 챔버에 있어서 피스톤의 축선 방향의 위치를 위치 검출 센서로 검출함으로써, 축 부의 일단측에 설치된 누름부의 축선 방향의 위치를 검출할 수 있다. 따라서, 간편하고 용이한 구성으로 누름부에 의한 테이블부의 잠금 상태 및 잠금 해제 상태를 검출할 수 있다.According to the above configuration, by detecting the position in the axial direction of the piston in the cylinder chamber by the position detection sensor, it is possible to detect the position in the axial direction of the pressing portion provided at one end of the shaft portion. Therefore, it is possible to detect the locked state and the unlocked state of the table portion by the pressing portion with a simple and easy configuration.

상기의 워크피스 위치 결정 장치에 있어서, 검출 수단은, 축 부와 함께 변위하는 검출체와, 검출체의 위치를 검출하는 포토 센서를 가지는 것도 좋다.In the above-described workpiece positioning device, the detection means may include a detection body that is displaced together with the shaft portion, and a photo sensor that detects the position of the detection body.

상기의 구성에 의하면, 축 부와 함께 변위하는 검출체의 위치를 포토 센서로 검출하므로, 축 부의 일단측에 설치된 누름부의 축선 방향의 위치를 검출할 수 있다. 따라서, 간편하고 용이한 구성으로 누름부에 의한 테이블부의 잠금 상태 및 잠금 해제 상태를 검출할 수 있다.According to the above configuration, since the photo sensor detects the position of the detection body displaced together with the shaft portion, the position of the pressing portion provided at one end of the shaft portion in the axial direction can be detected. Therefore, it is possible to detect the locked state and the unlocked state of the table portion by the pressing portion with a simple and easy configuration.

상기 워크피스 위치 결정 장치에 있어서, 축 부에는, 검출체에 접촉하는 돌출부가 형성되고, 검출체는, 축 부의 축선 방향과 교차하는 일방향으로 연장 형성된 상태에서 베이스부에 지지되며, 검출체의 연장 형성 방향에 있어서, 검출체의 지지점과 돌출부에 접촉하는 작용점과의 간격은, 포토 센서의 빛이 조사되어야 하는 조사점과 지지점과의 간격보다 작아도 좋다.In the work piece positioning device, a protrusion contacting the detection body is formed on the shaft portion, and the detection body is supported on the base portion in a state extending in one direction crossing the axial direction of the shaft portion, and the detection body is extended. In the formation direction, the distance between the support point of the detection body and the action point contacting the protrusion may be smaller than the distance between the irradiation point and the support point to which light from the photo sensor should be irradiated.

이와 같은 구성에 의하면, 검출체의 연장 돌출 방향에 있어서 지지점과 작용점의 간격이 지지점과 조사점과의 간격보다도 작으므로, 조사점의 변위량을 작용점의 변위량(축 부의 스트로크)보다도 크게 할 수 있다. 따라서, 워크피스 위치 결정 장치가 축선 방향으로 대형화하는 것을 억제하고, 누름부에 의한 테이블부의 잠금 상태 및 잠금 해제 상태를 확실하게 검출할 수 있다.According to such a configuration, since the distance between the support point and the action point in the extending protrusion direction of the detection body is smaller than the distance between the support point and the irradiation point, the displacement amount of the irradiation point can be made larger than the displacement amount of the action point (stroke of the shaft portion). Accordingly, the increase in size of the workpiece positioning device in the axial direction can be suppressed, and the locked state and the unlocked state of the table portion by the pressing portion can be reliably detected.

상기 워크피스 위치 결정 장치에 있어서, 베이스부에는, 테이블부 내의 먼지를 먼지 제거 장치로 유도하기 위한 흡인 포트가 형성되어도 좋다.In the above work piece positioning device, a suction port for guiding dust in the table portion to the dust removal device may be formed in the base portion.

이와 같은 구성에 의하면, 베이스부에 형성된 흡인 포트를 통하여 테이블부 내의 먼지를 먼지 제거 장치로 유도할 수 있으므로, 워크피스 위치 결정 장치의 외부로 먼지가 유출되는 것을 더욱 억제할 수 있다.According to this configuration, since the dust in the table portion can be guided to the dust removal device through the suction port formed in the base portion, it is possible to further suppress the outflow of dust to the outside of the work piece positioning device.

상기 워크피스 위치 결정 장치에 있어서, 중간부는, 베이스부의 평면에 접촉하는 제1 볼과 제1 볼이 구름 운동 가능한 상태에서 배치되고 설치되는 지지홀이 형성된 제1 리테이너를 가진 제1 중간부와, 판 형상부의 타측면에 접촉하는 제2 볼과 제2 볼이 구름 운동 가능한 상태에서 배치되고 설치되는 지지홀이 형성된 제2 리테이너를 가진 제3 중간부와, 제1 볼 및 제2 볼에 접촉하는 인접판을 가진 제2 중간부로 이루어지는 것도 좋다.In the workpiece positioning device, the intermediate portion includes a first intermediate portion having a first retainer formed with a support hole disposed and installed in a state in which the first ball and the first ball in contact with the plane of the base portion are rollable, and The second ball and the second ball in contact with the other side of the plate-shaped part are disposed in a state in which they are capable of rolling motion, and a third intermediate part having a second retainer formed with a support hole, and the first ball and the second ball are in contact with each other. It may also consist of a second intermediate portion with an adjacent plate.

상기의 구성의 의하면, 제1 중간부, 제2 중간부 및 제3 중간부의 슬라이딩 동작을 원활하게 행할 수 있다.According to the above configuration, the sliding operation of the first intermediate portion, the second intermediate portion and the third intermediate portion can be performed smoothly.

상기 워크피스 위치 결정 장치에 있어서, 제1 리테이너의 외주면 및 제2 리테이너의 외주면에 맞닿아 접할 수 있는 커버 통이 인접판에 형성되며, 평면으로부터 돌출하여 제1 리테이너의 외주면에 맞닿아 접할 수 있는 돌출부가 베이스부에 형성되고, 커버부는 제2 리테이너의 외주면에 맞닿아 접할 수 있어도 좋다.In the work piece positioning device, a cover tube that can abut and contact the outer circumference of the first retainer and the outer circumference of the second retainer is formed on the adjacent plate, and protrudes from the plane so as to abut and contact the outer circumferential surface of the first retainer. The protruding portion may be formed in the base portion, and the cover portion may abut and contact the outer peripheral surface of the second retainer.

상기의 구성에 의하면, 베이스부에 대한 제1 중간부의 슬라이딩 동작, 제1 중간부에 대한 제2 중간부의 슬라이딩 동작, 제2 중간부에 대한 제3 중간부의 슬라이딩 동작 및 제3 중간부에 대한 테이블부의 슬라이딩 동작을 각각 소정량으로 용이하게 규제할 수 있다.According to the above configuration, the sliding operation of the first intermediate portion with respect to the base portion, the sliding operation of the second intermediate portion with respect to the first intermediate portion, the sliding operation of the third intermediate portion with respect to the second intermediate portion, and the table for the third intermediate portion Each negative sliding operation can be easily regulated to a predetermined amount.

상기 워크피스 위치 결정 장치에 있어서, 베이스부와 제1 리테이너 사이에, 평면과 평행하게 슬라이딩 가능한 제1 L형 커버가 설치되고, 제2 중간부와 제2 리테이너 사이에, 인접판과 평행하게 슬라이딩 가능한 제2 L형 커버가 설치되어도 좋다.In the work piece positioning device, a first L-shaped cover slidable in parallel with a plane is provided between the base portion and the first retainer, and between the second intermediate portion and the second retainer, sliding in parallel with the adjacent plate If possible, a second L-shaped cover may be provided.

상기의 구성에 의하면, 제2 중간부가 슬라이딩하여도, 제1 L형 커버의 존재에 의하여, 베이스부의 평면이 노출되는 일이 없이, 또한, 테이블부가 슬라이딩하더라도, 제2 L형 커버의 존재에 의하여, 인접판이 노출되는 일이 없다. 이때문에, 워크피스 위치 결정 장치의 내부에 먼지가 침입하는 것을 가급적 억제할 수 있다.According to the above configuration, even if the second intermediate portion slides, the plane of the base portion is not exposed due to the presence of the first L-shaped cover, and even if the table portion slides, the presence of the second L-shaped cover , The adjacent plate is not exposed. For this reason, it is possible to prevent dust from entering the inside of the workpiece positioning device as much as possible.

상기 워크피스 위치 결정 장치에 있어서, 베이스부에 대한 제1 중간부의 슬라이딩은, 제1 리테이너가 제1 L형 커버를 사이에 밀착 지지하여 베이스부에 맞닿아 접함으로써 규제되고, 제2 중간부에 대한 제3 중간부의 슬라이딩은, 제2 리테이너가 제2 L형 커버를 사이에 밀착 지지하여 제2 중간부에 맞닿아 접함으로써 규제되어도 좋다.In the work piece positioning device, the sliding of the first intermediate portion with respect to the base portion is regulated by the first retainer in contact with the base portion by intimately supporting the first L-shaped cover therebetween, and the second intermediate portion Sliding of the third intermediate portion against the second retainer may be restricted by intimately supporting the second L-shaped cover therebetween to abut and contact the second intermediate portion.

상기의 구성에 의하면, 제1 L형 커버 및 제2 L형 커버의 형상 등을 조정함으로써, 베이스부에 대한 제1 중간부의 슬라이딩 및 제2 중간부에 대한 제3 중간부의 슬라이딩을 소정량으로 용이하게 규제할 수 있다.According to the above configuration, by adjusting the shape of the first L-shaped cover and the second L-shaped cover, etc., sliding of the first intermediate portion with respect to the base portion and the third intermediate portion with respect to the second intermediate portion can be easily performed by a predetermined amount. Can be regulated.

상기 워크피스 위치 결정 장치에 있어서, 축 부는 인접판에 대략 간격이 없이 삽입되어 관통되고, 축 부를 베이스부에 대하여 기준 위치로 복귀시키는 센터링 기구를 구비하여도 좋다.In the above-described workpiece positioning device, the shaft portion may be inserted through the adjacent plate without a substantially gap, and may be provided with a centering mechanism for returning the shaft portion to a reference position with respect to the base portion.

상기의 구성에 의하면, 축 부 및 제2 중간부를 기준 위치로 높은 정밀도로 복귀시킬 수 있다.
According to the above configuration, it is possible to return the shaft portion and the second intermediate portion to the reference position with high precision.

본 발명에 따른 워크피스 위치 결정 장치에 의하면, 워크피스의 최대 위치 조정 폭을 작게 하는 일이 없이 소형화를 도모할 수 있음과 동시에, 워크피스를 소정 위치에 확실하게 고정할 수 있으며, 청정성이 요구되는 환경에 있어서 적절히 사용할 수 있다.According to the workpiece positioning device according to the present invention, miniaturization can be achieved without reducing the maximum positioning width of the workpiece, and the workpiece can be reliably fixed in a predetermined position, and cleanliness is required. It can be used appropriately in an environment where

상기의 목적, 특징 및 이점은, 첨부한 도면을 참조하여 설명될 이하의 실시 형태의 설명으로부터 용이하게 이해될 수 있을 것이다.
The above objects, features, and advantages will be easily understood from the description of the following embodiments to be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은, 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 워크피스 위치 결정 장치의 사시도이다.
도 2는, 도 1에 나타낸 워크피스 위치 결정 장치의 종단면도이다.
도 3은, 도 1의 워크피스 위치 결정 장치의 일부 단면 개략 분해 사시도이다.
도 4는, 도 1의 워크피스 위치 결정 장치의 상세 분해 사시도이다.
도 5는, 도 2의 워크피스 위치 결정 장치를 구성하는 중간부 및 테이블부를 베이스부에 대하여 슬라이딩시킨 상태를 나타낸 종단면도이다.
도 6은, 본 발명의 제2 실시 형태에 따른 워크피스 위치 결정 장치의 사시도이다.
도 7은, 도 6에 나타낸 워크피스 위치 결정 장치의 종단면도이다.
도 8은, 도 6의 워크피스 위치 결정 장치의 일부 단면 개략 분해 사시도이다.
도 9는, 도 6의 워크피스 위치 결정 장치를 구성하는 베이스부의 분해 사시도이다.
도 10은, 도 7에 나타낸 워크피스 위치 결정 장치를 구성하는 중간부 및 테이블부를 베이스부에 대하여 슬라이딩시킨 상태를 나타낸 종단면도이다.
도 11은, 본 발명의 제3 실시 형태에 따른 워크피스 위치 결정 장치의 사시도이다.
도 12는, 도 11에 나타낸 워크피스 위치 결정 장치의 종단면도이다.
도 13은, 도 11의 워크피스 위치 결정 장치의 일부 단면 개략 분해 사시도이다.
도 14는, 도 11의 워크피스 위치 결정 장치를 구성하는 베이스부의 분해 사시도이다.
도 15는, 도 12에 나타낸 워크피스 위치 결정 장치를 구성하는 중간부 및 테이블부를 베이스부에 대하여 슬라이딩시킨 상태를 나타낸 종단면도이다.
도 16은, 본 발명의 제4 실시 형태에 따른 워크피스 위치 결정 장치의 사시도이다.
도 17은 도 16에 나타낸 워크피스 위치 결정 장치의 종단면도이다.
도 18은, 도 16의 워크피스 위치 결정 장치의 일부 단면 개략 분해 사시도이다.
도 19는, 도 16의 워크피스 위치 결정 장치의 상세 분해 사시도이다.
도 20은, 도 17의 워크피스 위치 결정 장치를 구성하는 제1 중간부, 제2 중간부, 제3 중간부 및 테이블부를 베이스부에 대하여 슬라이딩시켰을 때의 워크피스 위치 결정 장치의 사시도이다.
도 21은, 도 17의 워크피스 위치 결정 장치를 구성하는 제1 중간부, 제2 중간부, 제3 중간부 및 테이블부를 베이스부에 대하여 슬라이딩시킨 상태를 나타낸 종단면도이다.
도 22는, 본 발명의 제5 실시 형태에 따른 워크피스 위치 결정 장치의 종단면도이다.
도 23은, 도 22의 워크피스 위치 결정 장치를 구성하는 제1 중간부, 제2 중간부, 제3 중간부 및 테이블부를 베이스부에 대하여 슬라이딩시켰을 때의 워크피스 위치 결정 장치의 사시도이다.
도 24는, 본 발명의 제6 실시 형태에 따른 워크피스 위치 결정 장치의 종단면도이다.
도 25는, 도 24의 워크피스 위치 결정 장치를 구성하는 중간부 및 테이블부를 베이스부에 대하여 슬라이딩시킨 상태를 나타낸 종단면도이다.1 is a perspective view of a workpiece positioning apparatus according to a first embodiment of the present invention.
2 is a longitudinal sectional view of the workpiece positioning device shown in FIG. 1.
3 is a partial cross-sectional schematic exploded perspective view of the workpiece positioning device of FIG. 1.
4 is a detailed exploded perspective view of the workpiece positioning device of FIG. 1.
5 is a longitudinal sectional view showing a state in which an intermediate portion and a table portion constituting the workpiece positioning apparatus of FIG. 2 are slid with respect to the base portion.
6 is a perspective view of a workpiece positioning device according to a second embodiment of the present invention.
7 is a longitudinal sectional view of the workpiece positioning device shown in FIG. 6.
8 is a partial cross-sectional schematic exploded perspective view of the workpiece positioning device of FIG. 6.
9 is an exploded perspective view of a base portion constituting the workpiece positioning device of FIG. 6.
10 is a longitudinal sectional view showing a state in which the intermediate portion and the table portion constituting the workpiece positioning apparatus shown in FIG. 7 are slid against the base portion.
11 is a perspective view of a workpiece positioning device according to a third embodiment of the present invention.
12 is a longitudinal sectional view of the workpiece positioning device shown in FIG. 11.
13 is a partial cross-sectional schematic exploded perspective view of the workpiece positioning device of FIG. 11.
14 is an exploded perspective view of a base portion constituting the workpiece positioning device of FIG. 11.
FIG. 15 is a longitudinal sectional view showing a state in which an intermediate portion and a table portion constituting the workpiece positioning device shown in FIG. 12 are slid with respect to the base portion.
16 is a perspective view of a workpiece positioning device according to a fourth embodiment of the present invention.
Fig. 17 is a longitudinal sectional view of the workpiece positioning device shown in Fig. 16;
18 is a partial cross-sectional schematic exploded perspective view of the workpiece positioning device of FIG. 16.
19 is a detailed exploded perspective view of the workpiece positioning device of FIG. 16.
FIG. 20 is a perspective view of the workpiece positioning device when the first intermediate portion, the second intermediate portion, the third intermediate portion, and the table portion constituting the workpiece positioning device of FIG. 17 are slid with respect to the base portion.
FIG. 21 is a longitudinal cross-sectional view showing a state in which a first intermediate portion, a second intermediate portion, a third intermediate portion, and a table portion constituting the workpiece positioning apparatus of FIG. 17 are slid with respect to the base portion.
22 is a longitudinal sectional view of a workpiece positioning device according to a fifth embodiment of the present invention.
23 is a perspective view of the workpiece positioning device when the first intermediate portion, the second intermediate portion, the third intermediate portion, and the table portion constituting the workpiece positioning device of FIG. 22 are slid with respect to the base portion.
24 is a longitudinal sectional view of a workpiece positioning device according to a sixth embodiment of the present invention.
FIG. 25 is a longitudinal sectional view showing a state in which the intermediate portion and the table portion constituting the workpiece positioning device of FIG. 24 are slid against the base portion.

이하, 본 발명에 따른 워크피스 위치 결정 장치에 관하여 적절한 실시 형태를 들며, 첨부의 도면을 참조하면서 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the apparatus for positioning a work piece according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

(제1 실시 형태)(First embodiment)

본 발명의 제1 실시 형태에 따른 워크피스 위치 결정 장치(10A)에 관하여 도 1 내지 도 5를 참조하면서 설명한다. 본 실시 형태에 따른 워크피스 위치 결정 장치(10A)는, 예를 들면, 액정 디스플레이의 제조 공정 등의 클린룸과 같은 청정성이 요구되는 환경에 있어서 사용되는 것이며, 롤러 컨베이어 등의 운반 수송 장치에서 운반 수송된 워크피스(W)를 소정 위치에 위치 결정하여 고정한다. 따라서, 이러한 위치 결정 장치(10A)는, 롤러 컨베이어를 구성하는 인접한 롤러 사이에 배치되고 설치된 승강 장치에 설치된다.A work piece positioning device 10A according to a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 5. The workpiece positioning device 10A according to the present embodiment is used in an environment requiring cleanliness such as a clean room, such as a manufacturing process of a liquid crystal display, and is transported by a conveying and transporting device such as a roller conveyor. The transported workpiece (W) is positioned and fixed at a predetermined position. Accordingly, such a positioning device 10A is installed in an elevating device disposed and installed between adjacent rollers constituting a roller conveyor.

단, 워크피스 위치 결정 장치(10A)는, 승강 장치에 설치되어 운반 수송 장치에서 사용되는 것에 한정되지 않는다. 즉, 예를 들면, 워크피스 위치 결정 장치(10A)는, 로봇으로 이송된 워크피스(W)를 소정 위치로 위치 결정하여 고정한 후, 로봇 등에서 다음 공정으로 이송하기 위하여 사용되는 것이라도 좋다.However, the work piece positioning device 10A is not limited to the one installed in the lifting device and used in the transport and transport device. That is, for example, the work piece positioning device 10A may be used to position and fix the work piece W transferred by the robot to a predetermined position, and then transfer it to the next step by a robot or the like.

도 1 내지 도 4와 같이, 워크피스 위치 결정 장치(10A)는, 베이스부(12)와, 베이스부(12)에 대하여 슬라이딩 가능하게 설치된 중간부(14)와, 중간부(14)에 대하여 슬라이딩 가능하게 설치되어 워크피스(W, 도 5 참조)가 놓여져 배치되는 테이블부(16)와, 테이블부(16)를 베이스부(12)에 대하여 잠그는 누름부(18)를 구비한다.As shown in FIGS. 1 to 4, the workpiece positioning device 10A includes a base portion 12, an intermediate portion 14 slidably provided with respect to the base portion 12, and an intermediate portion 14. A table unit 16 is provided to be slidably installed and on which a work piece W (refer to FIG. 5) is placed, and a pressing unit 18 for locking the table unit 16 with respect to the base unit 12.

베이스부(12)는, 평면에서 보아 대략 사각 형상의 판 형상 부재인 베이스 플랜지(20)와, 베이스 플랜지(20)에 설치된 잠금 실린더(22, 실린더부)와, 잠금 실린더(22)에 설치된 원형 링 형상의 제1 볼 인접판(24)을 가진다.The base portion 12 includes a base flange 20 which is a plate-shaped member having a substantially rectangular shape in plan view, a locking cylinder 22 (cylinder portion) provided on the base flange 20, and a circular shape provided on the locking cylinder 22 It has a ring-shaped first ball abutment plate 24.

베이스 플랜지(20)는, 복수의 고정홀(26)을 삽입 관통하는 도시하지 않은 볼트에 의하여 상기 승강 장치에 고정된다. 베이스 플랜지(20)에는, 잠금 실린더(22)를 설치하기 위한 볼트(28)가 삽입 관통되는 복수(도 4에서는 4개)의 삽입관통홀(30)이 형성된다.The base flange 20 is fixed to the lifting device by bolts (not shown) through which a plurality of fixing holes 26 are inserted. In the base flange 20, a plurality of (four in FIG. 4) insertion holes 30 through which bolts 28 for installing the locking cylinder 22 are inserted are formed.

베이스 플랜지(20)의 일측면(잠금 실린더(22)를 지향하는 면)의 대략 중앙에는, 원형 오목부(32)가 형성되어 있다. 원형 오목부(32)를 구성하는 내주면의 일단부에는, 개스킷(34)이 장착된 링 형상 홈(36)이 형성된다.At substantially the center of one side of the base flange 20 (the surface facing the locking cylinder 22), a circular concave portion 32 is formed. At one end of the inner circumferential surface constituting the circular concave portion 32, a ring-shaped groove 36 to which a gasket 34 is attached is formed.

잠금 실린더(22)는, 원판 형상으로 형성된 잠금 실린더 본체(38)와, 잠금 실린더 본체(38)의 대략 중앙으로부터 베이스 플랜지(20)측으로 돌출된 돌출부(40)를 가지고 있다. 돌출부(40)는, 원형 오목부(32)에 끼움 결합(삽입)된다. 돌출부(40)의 내측에는 오목부(42)가 형성되어 있으며, 이러한 오목부(42)의 바닥면에는 잠금 실린더 본체(38)의 일측면으로 개방된 로드 홀(44)이 형성된다. 베이스 플랜지(20)의 원형 오목부(32)를 구성하는 벽면과 잠금 실린더(22)의 오목부(42) 구성하는 벽면에서 실린더 챔버(46)가 형성된다.The lock cylinder 22 has a lock cylinder body 38 formed in a disk shape, and a protrusion 40 protruding from the substantially center of the lock cylinder body 38 toward the base flange 20 side. The protruding portion 40 is fitted (inserted) into the circular concave portion 32. A concave portion 42 is formed inside the protruding portion 40, and a rod hole 44 opened to one side of the locking cylinder body 38 is formed on the bottom surface of the concave portion 42. A cylinder chamber 46 is formed on a wall surface constituting the circular concave portion 32 of the base flange 20 and a wall surface constituting the concave portion 42 of the locking cylinder 22.

이러한 실린더 챔버(46)에는, 베이스 플랜지(20)에 형성되어 압축 유체를 공급, 배출하기 위한 제1 포트(48)와, 잠금 실린더(22)에 형성되어 압축 유체를 공급 배출하기 위한 제2 포트(50)가 연통되어 있다.In the cylinder chamber 46, a first port 48 formed on the base flange 20 for supplying and discharging compressed fluid, and a second port formed in the locking cylinder 22 for supplying and discharging compressed fluid. (50) is connected.

실린더 챔버(46)에는, 베이스 플랜지(20)의 두께 방향을 따라 슬라이딩 가능(변위 가능)하게 피스톤(52)이 배치되고 설치되어 있다. 피스톤(52)의 외주면에 형성된 링 형상 홈(54)에는, 피스톤 패킹(56)이 장착되고, 피스톤(52)의 중앙부에 형성된 관통홀(58)에는, 피스톤 로드(60, 축 부)가 삽입 관통된다.In the cylinder chamber 46, a piston 52 is disposed and installed so as to be slidable (displaceable) along the thickness direction of the base flange 20. The piston packing 56 is mounted in the ring-shaped groove 54 formed on the outer circumferential surface of the piston 52, and the piston rod 60 (shaft part) is inserted in the through hole 58 formed in the center of the piston 52. Penetrates.

피스톤(52)은, 피스톤 로드(60)의 타단부에 형성된 플랜지부(62)와, 멈춤 링(64)에 의하여 피스톤 로드(60)에 대하여 고정되어 있다. 또한, 피스톤 로드(60) 중 피스톤(52)의 관통홀(58)을 구성하는 벽면과 대향하는 면에는, 개스킷(66)이 장착되는 링 형상 홈(68)이 형성되어 있다. 피스톤 로드(60) 중 로드 홀(44)을 구성하는 벽면과 대향하는 면에는, 로드 패킹(70)이 장착되는 링 형상 홈(72)이 형성된다. 피스톤 로드(60)의 일측 끝면에는, 누름부(18)의 타단부가 끼움 삽입되는 끼움 결합홀(74)이 형성된다.The piston 52 is fixed to the piston rod 60 by a flange portion 62 formed at the other end of the piston rod 60 and a stop ring 64. Further, a ring-shaped groove 68 to which the gasket 66 is mounted is formed on a surface of the piston rod 60 facing the wall surface constituting the through hole 58 of the piston 52. A ring-shaped groove 72 to which the rod packing 70 is mounted is formed on a surface of the piston rod 60 that faces the wall surface constituting the rod hole 44. On one end surface of the piston rod 60, a fitting hole 74 into which the other end of the pressing portion 18 is inserted is formed.

또한, 잠금 실린더(22)에는, 테이블부(16) 내의 먼지를 도시하지 않은 먼지 제거 장치로 유도하기 위한 흡인 포트(76)가 형성되어 있다. 흡인 포트(76)는, 잠금 실린더(22)의 외주면에 개방된 가로홀(78)과, 잠금 실린더(22)의 일측면 중 로드 홀(44)의 부근에 개방된 세로홀(80)로 구성된다. 그리고, 상기 먼지 제거 장치는, 흡인 펌프로서도 기능하다.Further, in the lock cylinder 22, a suction port 76 for guiding the dust in the table portion 16 to a dust removal device (not shown) is formed. The suction port 76 is composed of a horizontal hole 78 open to the outer peripheral surface of the lock cylinder 22, and a vertical hole 80 open near the rod hole 44 on one side of the lock cylinder 22. do. In addition, the dust removal device also functions as a suction pump.

잠금 실린더(22)의 일측면에는, 제1 볼 인접판(24)이 배치되고 설치된 링 형상 홈(82)이 형성되어 있다. 잠금 실신더(22)의 일측면 중 링 형상 홈(82)보다도 내측 부위는, 제1 볼 인접판(24)의 일측면(25)보다도 낮게 형성됨과 동시에 세로홀(80)이 개방되어 있다. 따라서, 베이스(12)에 대하여 중간부(14)가 슬라이딩했을 땡 해당 중간부(14)에 의하여 세로홀(80)의 개방부가 막히는 일은 없다.On one side of the locking cylinder 22, a ring-shaped groove 82 is formed in which a first ball abutting plate 24 is disposed and provided. A portion of the one side of the locking cylinder 22 inside the ring-shaped groove 82 is formed lower than the one side surface 25 of the first ball adjacent plate 24 and the vertical hole 80 is opened. Therefore, when the intermediate portion 14 slides with respect to the base 12, the opening portion of the vertical hole 80 is not blocked by the intermediate portion 14.

중간부(14)는, 복수의 볼(84)과, 각 볼(84)이 구름 운동 가능한 상태에서 배치되고 설치되는 복수의 지지홀(86)이 형성된 원형 링 형상의 리테이너(88)를 가지고 있다. 각 볼(84)은 금속 재료로 구성되어 있으며, 리테이너(88)는 수지 재료로 구성되어 있다. 복수의 지지홀(86)은, 둘레 방향으로 등간격으로 위치하여 있다. 리테이너(88)는, 각 볼(84)이 제1 볼 인접판(24)의 일측면(25)에 접촉하도록 배치되고 설치되어 있다. 따라서, 중간부(14)는, 제1 볼 인접판(24)의 일측면(25)에 대하여 슬라이딩 가능하게 된다.The intermediate portion 14 has a plurality of balls 84 and a circular ring-shaped retainer 88 having a plurality of support holes 86 disposed and installed in a state in which each ball 84 can be rolled. . Each ball 84 is made of a metal material, and the retainer 88 is made of a resin material. The plurality of support holes 86 are positioned at equal intervals in the circumferential direction. The retainer 88 is arranged and provided so that each ball 84 may contact the one side surface 25 of the first ball adjoining plate 24. Accordingly, the intermediate portion 14 is slidable with respect to the side surface 25 of the first ball adjoining plate 24.

리테이너(88)와 피스톤 로드(60) 사이에는 탄성 부재(90)가 설치되어 있다. 구체적으로는, 리테이너(88)의 내주면에 형성된 링 형상 홈과 피스톤 로드(60)의 외주면에 형성된 링 형상 홈에 탄성 부재(90)가 장착되어 있다. 이와 같은 링 형상 홈에 탄성 부재(90)를 장착해 둠으로써, 탄성 부재(90)의 위치 어긋남을 억제할 수 있다.An elastic member 90 is provided between the retainer 88 and the piston rod 60. Specifically, the elastic member 90 is attached to a ring-shaped groove formed on the inner circumferential surface of the retainer 88 and a ring-shaped groove formed on the outer circumferential surface of the piston rod 60. By attaching the elastic member 90 to such a ring-shaped groove, displacement of the elastic member 90 can be suppressed.

본 실시 형태에서는, 탄성 부재(90)로서 나선 스프링을 이용하고 있다. 이와 같은 나선 스프링을 이용하면, 중간부(14)가 360도 어느 방향으로 슬라이딩하더라도 해당 중간부(14)를 효율적으로 소정 기준 위치(센터링 포지션)로 복귀시키는(중간부(14)의 중심선을 피스톤 로드(60)의 축선 위에 위치시킴) 것이 가능하여 적절하다. 또한, 나선 스프링이므로, 높이 방향의 크기를 가급적 작게 할 수 있다. 다만, 탄성 부재(90)는, 베이스부(12)에 대하여 슬라이딩한 중간부(14)를 소정의 기준 위치로 복귀시킬 수 있는 것이라면, 그 구성 및 재질을 임의로 설정할 수 있다. 요컨대, 탄성 부재(90)는, 원형 링 형상의 고무 부재라도 무방하다.In this embodiment, a spiral spring is used as the elastic member 90. Using such a helical spring, even if the intermediate portion 14 slides in any direction by 360 degrees, the intermediate portion 14 is efficiently returned to a predetermined reference position (centering position) (the center line of the intermediate portion 14 is replaced by a piston Placed on the axis of the rod 60) is possible and suitable. In addition, since it is a spiral spring, the size in the height direction can be made as small as possible. However, as long as the elastic member 90 is capable of returning the intermediate portion 14 sliding with respect to the base portion 12 to a predetermined reference position, its configuration and material may be arbitrarily set. In short, the elastic member 90 may be a circular ring-shaped rubber member.

테이블부(16)는, 원통 형상의 커버부(92)와, 커버부(92)에 설치된 멈춤 링(94)에 의하여 지지되는 원형 링 형상의 제2 볼 인접판(96, 판 형상부)과, 커버부(92)의 일단부에 설치된 테이블 본체(98)를 가진다. 즉, 테이블부(16)에는, 커버부(92)와 테이블 본체(98)에 의하여 누름부(18)가 상대 변위 가능한 가동 공간(S)이 형성되어 있다.The table portion 16 includes a cylindrical cover portion 92, a circular ring-shaped second ball abutment plate 96 (plate-shaped portion) supported by a stop ring 94 provided on the cover portion 92, and , It has a table main body 98 installed at one end of the cover part 92. That is, in the table portion 16, a movable space S in which the pressing portion 18 can be relatively displaced by the cover portion 92 and the table main body 98 is formed.

커버부(92)의 타단은, 베이스부(12)의 부근 또는 리테이너(88)의 직경 방향 외측에 위치하고 있다. 요컨데, 커버부(92)와 베이스부(12) 사이에는, 테이블부(16)의 슬라이딩 동작이 간섭받지 않을 정도의 미소의 간격이 형성되어 있다. 이와 같이, 커버부(92)와 테이블 본체(98)에서 중간부(14) 및 누름부(18)를 주위에서 둘러싸고 있기 때문에, 테이블부(16) 내(가동 공간(S))에서 먼지가 일어난 경우라도, 그 먼지가 테이블부(16)의 외부로 유출되는 것이 억제된다.The other end of the cover portion 92 is located in the vicinity of the base portion 12 or outside the retainer 88 in the radial direction. In short, between the cover portion 92 and the base portion 12, a small gap is formed so as not to interfere with the sliding operation of the table portion 16. In this way, since the cover portion 92 and the table body 98 surround the intermediate portion 14 and the pressing portion 18, dust is generated in the table portion 16 (movable space S). Even in the case, it is suppressed that the dust flows out of the table 16.

제2 볼 인접판(96)의 타측면(97)은, 제1 볼 인접판(24)의 일측면(25)에 대하여 대략 평행하게 설치된 상태에서 각 볼(84)에 접촉한다. 따라서, 제2 볼 인접판(96, 테이블부(16))이 중간부(14)에 대하여 슬라이딩 가능하게 된다.The other side surface 97 of the second ball adjoining plate 96 contacts each ball 84 while being installed substantially parallel to the one side surface 25 of the first ball adjoining plate 24. Accordingly, the second ball adjacent plate 96 (table portion 16) is slidable with respect to the intermediate portion 14.

커버부(92)와 누름부(18)의 사이에는, 바이어싱(biasing, 偏倚) 수단으로서의 탄성 부재(100)가 설치되어 있다. 구체적으로는, 커버부(92)의 내주면에 형성된 링 형상 홈과 누름부(18)의 외주면에 형성된 링 형상 홈에 탄성 부재(100)가 장착되어 있다. 이러한 링 형상 홈에 탄성 부재(100)를 장착해 둠으로써, 탄성 부재(100)의 위치 어긋남을 억제할 수 있다.Between the cover portion 92 and the pressing portion 18, an elastic member 100 as a biasing means is provided. Specifically, the elastic member 100 is attached to a ring-shaped groove formed on the inner circumferential surface of the cover portion 92 and a ring-shaped groove formed on the outer circumferential surface of the pressing portion 18. By attaching the elastic member 100 to such a ring-shaped groove, the displacement of the elastic member 100 can be suppressed.

본 실시 형태에서는, 탄성 부재(100)로서 나선 스프링을 이용하고 있다. 이러한 나선 스프링을 이용하면, 테이블부(16)가 360도 어느 방향으로 슬라이딩해도 해당 테이블부(16)를 효율적으로 소정의 기준 위치(센터링 포지션)에 복귀시키는(테이블부(16)의 중심선을 피스톤 로드(60)의 축선상에 위치시킨다) 것이 가능하며, 가급적으로 높이 방향의 크기를 작게 할 수 있어 매우 적합하다. 다만, 탄성 부재(100)는, 베이스부(12)에 대해서 슬라이딩한 테이블부(16)를 소정의 기준 위치로 복귀시킬 수가 있는 것이라면, 그 구성 및 재질을 임의로 설정하는 것이 가능하다. 즉, 탄성 부재(100)는, 링 형상의 고무 부재여도 상관없다.In this embodiment, a spiral spring is used as the elastic member 100. Using such a helical spring, even if the table unit 16 slides in any direction by 360 degrees, the table unit 16 is efficiently returned to a predetermined reference position (centering position) (the center line of the table unit 16 is replaced by a piston It is possible to position it on the axis of the rod 60), and it is very suitable because the size in the height direction can be reduced as much as possible. However, as long as the elastic member 100 is capable of returning the table portion 16 sliding with respect to the base portion 12 to a predetermined reference position, its configuration and material can be arbitrarily set. That is, the elastic member 100 may be a ring-shaped rubber member.

테이블 본체(98)는, 탑 플레이트부(102)와, 탑 플레이트부(102)의 가장자리로부터 중간부(14)측으로 돌출된 설치부(104)를 가지고 있다. 탑 플레이트부(102)의 일측 평면에는, 워크피스(W)가 놓여서 배치된다. 탑 플레이트부(102)의 타측면의 대략 중앙에는, 원 형상의 센터링 오목부(106, 오목부)이 형성되어 있다. 센터링 오목부(106)을 구성하는 벽면은, 그 외측 가장자리부로부터 탑 플레이트부(102)의 중심의 바닥부를 향해 서서히 탑 플레이트부(102)의 일측면측으로 경사하는 만곡면 또는 테이퍼 형상의 평면으로 되어 있다. 설치부(104)에는, 테이블 본체(98)를 커버부(92)에 고정하기 위한 나사(108)가 삽입 관통하는 복수의 나사홀(110)이 형성되어 있다.The table main body 98 has a top plate portion 102 and an installation portion 104 protruding from the edge of the top plate portion 102 toward the intermediate portion 14. The work piece W is placed and disposed on one side plane of the top plate portion 102. At substantially the center of the other side surface of the top plate portion 102, a circular centering concave portion 106 (concave portion) is formed. The wall surface constituting the centering concave portion 106 is a curved or tapered flat surface gradually inclined toward one side of the top plate portion 102 toward the bottom portion of the center of the top plate portion 102 from the outer edge portion thereof. Has been. The mounting portion 104 is formed with a plurality of screw holes 110 through which screws 108 for fixing the table body 98 to the cover portion 92 are inserted.

누름부(18)는, 피스톤 로드(60)의 끼움 결합홀(74)에 끼워 넣어지는 지지축(112)과, 지지축(112)의 축선 방향 대략 중앙으로부터 직경 방향 외측으로 연장하여 돌출된 링 형상의 잠금부(114)를 포함한다. 지지축(112)은, 피스톤 로드(60)와 같은 축에 설치되어 있다. 잠금부(114)는, 제2 볼 인접판(96)의 내경보다 큰 외경을 가지고 있으며, 잠금부(114)의 타측면이 제2 볼 인접판(96)의 일측면(99)에 대해서 대략 평행하게 되어 있다.The pressing portion 18 includes a support shaft 112 fitted into the fitting hole 74 of the piston rod 60, and a ring protruding radially outward from the approximately center of the support shaft 112 in the axial direction. It includes a locking portion 114 of the shape. The support shaft 112 is provided on the same shaft as the piston rod 60. The locking portion 114 has an outer diameter larger than the inner diameter of the second ball adjacent plate 96, and the other side of the locking portion 114 is approximately It is made parallel.

지지축(112)의 일측 끝면에는, 테이블 본체(98)를 기준 위치로 복귀시키기 위한 센터링 기구(116)가 배치되어 설치되는 설치홀(118)이 형성되어 있다. 센터링 기구(116)는, 탑 플레이트부(102)의 타측면(내면)을 구름 운동하는 센터링 볼(120)과, 센터링 볼(120)을 자유로이 회전 가능하게 지지하는 볼 지지부(122)와, 볼 지지부(122)를 탑 플레이트부(102) 측으로 밀어 붙이는 편향 부재(124)를 가지고 있다.On one end surface of the support shaft 112, an installation hole 118 is formed in which a centering mechanism 116 for returning the table main body 98 to a reference position is disposed and installed. The centering mechanism 116 includes a centering ball 120 that rolls the other side (inner surface) of the top plate portion 102, a ball support portion 122 that supports the centering ball 120 so as to be rotatable freely, and a ball It has a biasing member 124 which pushes the support part 122 to the top plate part 102 side.

센터링 볼(120)은, 센터링 오목부(106)의 외경보다 작은 직경을 가지고 있다. 즉, 센터링 볼(120)은, 테이블부(16)가 기준 위치로 복귀한 상태에서, 탑 플레이트부(102)에 형성된 센터링 오목부(106)내에 위치하게 된다. 편향 부재(124)는, 설치홀(118)을 구성하는 저면과 볼 지지부(122) 사이에 설치되어 있다. 본 실시 형태에 있어서, 편향 부재(124)는, 압축 코일 용수철(용수철 부재)로 구성되어 있지만, 고무등의 탄성 부재로 구성해도 상관없다.The centering ball 120 has a diameter smaller than the outer diameter of the centering concave portion 106. That is, the centering ball 120 is positioned in the centering recessed portion 106 formed in the top plate portion 102 with the table portion 16 returned to the reference position. The deflecting member 124 is provided between the bottom surface constituting the installation hole 118 and the ball support portion 122. In the present embodiment, the deflection member 124 is constituted by a compression coil spring (spring member), but may be constituted by an elastic member such as rubber.

본 실시 형태에 따른 워크피스 위치 결정 장치(10A)는, 기본적으로는 이상과 같이 구성되는 것이며, 이하, 그 작용 및 효과에 대해 설명한다.The workpiece positioning device 10A according to the present embodiment is basically configured as described above, and the operation and effect thereof will be described below.

우선, 초기 상태에 있어서, 워크피스 위치 결정 장치(10A)는, 테이블부(16)를 잠금 해제 상태로 해 둔다. 즉, 제2 포트(50)를 대기 개방한 상태로 제1 포트(48)에 압축 유체를 공급함으로써, 피스톤(52)을 실린더 챔버(46)의 일단측에 배치시켜 잠금부(114)를 제2 볼 인접판(96)으로부터 이격시킨다. 이때, 피스톤(52)은, 잠금 실린더(22)의 오목부(42)의 저면에 접촉하고 있다. 또한, 테이블부(16) 내의 먼지를 흡인 포트(76)에 의해 먼지 제거 장치로 유도하여 제거한다.First, in the initial state, the work piece positioning device 10A puts the table portion 16 in the unlocked state. That is, by supplying compressed fluid to the first port 48 with the second port 50 open to the atmosphere, the piston 52 is disposed at one end of the cylinder chamber 46 to thereby provide the locking part 114. 2 Separate the ball from the adjacent plate (96). At this time, the piston 52 is in contact with the bottom surface of the concave portion 42 of the locking cylinder 22. Further, the dust in the table unit 16 is guided to the dust removal device by the suction port 76 and removed.

그리고, 롤러 컨베이어에 의해 운반 수송된 워크피스(W)가 워크피스 위치 결정 장치(10A)의 상측에 정지하면, 승강 장치가 워크피스 위치 결정 장치(10A)를 상승시킨다. 따라서, 워크피스(W)는, 롤러 컨베이어로부터 이격하여 테이블 본체(98)의 탑 플레이트부(102)에 놓여 배치되게 된다.Then, when the work piece W transported by the roller conveyor stops above the work piece positioning device 10A, the lifting device raises the work piece positioning device 10A. Accordingly, the work piece W is placed on the top plate portion 102 of the table main body 98 and disposed apart from the roller conveyor.

계속하여, 도 5와 같이, 도시하지 않은 에어 실린더에 의해 워크피스(W)를 소정 방향(도 5의 우측)으로 누르는 것에 의해, 워크피스(W)의 위치 결정이 된다. 이때, 중간부(14)의 복수의 볼(84)이 제1 볼 인접판(24)의 일측면(25)을 구름 운동함으로써, 리테이너(88)가 탄성 부재(90)를 압축시키면서 슬라이딩한다. 따라서, 중간부(14)가 베이스부(12)에 대해서 소정 거리만큼 슬라이딩하게 된다.Subsequently, as shown in Fig. 5, by pressing the work piece W in a predetermined direction (right side of Fig. 5) by an air cylinder (not shown), the work piece W is positioned. At this time, the plurality of balls 84 of the intermediate portion 14 roll the one side 25 of the first ball adjacent plate 24, so that the retainer 88 slides while compressing the elastic member 90. Accordingly, the intermediate portion 14 slides with respect to the base portion 12 by a predetermined distance.

또한, 제2 볼 인접판(96)의 타측면(97)이 복수의 볼(84)을 구름 운동하는 것으로써, 테이블부(16)가 탄성 부재(100)를 압축시키면서 슬라이딩한다. 따라서, 테이블부(16)가 중간부(14)에 대해서 소정 거리만큼 슬라이딩하게 된다. 그리고, 이때, 테이블부(16)에 형성된 가동 공간(S)을 누름부(18)가 상대 변위한다.Further, the other side surface 97 of the second ball adjoining plate 96 rolls the plurality of balls 84, so that the table 16 slides while compressing the elastic member 100. Accordingly, the table portion 16 slides with respect to the intermediate portion 14 by a predetermined distance. Then, at this time, the pressing portion 18 relatively displaces the movable space S formed in the table portion 16.

즉, 본 실시 형태에서는, 베이스부(12)에 대한 중간부(14)의 슬라이딩량과 중간부(14)에 대한 테이블부(16)의 슬라이딩량의 합계가 베이스부(12)에 대한 테이블부(16)의 변위량이 된다. 그리고, 본 실시 형태에 있어서, 베이스부(12)에 대한 중간부(14)의 슬라이딩량은, 베이스부(12)에 대한 테이블부(16)의 슬라이딩량의 대략 절반이 되어 있다.That is, in the present embodiment, the sum of the sliding amount of the intermediate portion 14 with respect to the base portion 12 and the sliding amount of the table portion 16 with respect to the intermediate portion 14 is the table portion with respect to the base portion 12. It becomes the displacement amount of (16). In this embodiment, the sliding amount of the intermediate portion 14 with respect to the base portion 12 is approximately half of the sliding amount of the table portion 16 with respect to the base portion 12.

그리고, 워크피스(W)가 최대 위치 조정 폭만큼 변위했을 경우에는, 제2 볼 인접판(96)의 내주면이 지지축(112)의 외주면에 맞닿아 접한다. 따라서, 테이블부(16)가 중간부(14)로부터 이탈하는 것이 방지된다.And when the work piece W is displaced by the maximum position adjustment width, the inner circumferential surface of the 2nd ball adjoining plate 96 abuts against the outer circumferential surface of the support shaft 112 and comes into contact. Accordingly, the table portion 16 is prevented from being separated from the intermediate portion 14.

워크피스(W)의 위치 결정이 완료되면, 제1 포트(48)를 대기 개방한 상태에서 제2 포트(50)에 압축 유체를 공급한다. 그러면, 피스톤(52)이 피스톤 로드(60)의 축선 방향에 따라 실린더 챔버(46)의 타단측으로 변위하기 때문에, 잠금부(114)가 제2 볼 인접판(96)측으로 변위해 제2 볼 인접판(96)의 일측면(99)에 접촉하여 해당 제2 볼 인접판(96)을 중간부(14) 측으로 밀어 누른다. 따라서, 잠금부(114)와 제2 볼 인접판(96)의 일측면(99)과의 사이에 마찰력이 발생하기 때문에, 테이블부(16)가 베이스부(12)에 대해서 직접적으로 잠겨져, 위치 결정된 워크피스(W)가 고정된다.When the positioning of the work piece W is completed, the compressed fluid is supplied to the second port 50 while the first port 48 is opened to the atmosphere. Then, since the piston 52 is displaced toward the other end of the cylinder chamber 46 along the axial direction of the piston rod 60, the locking portion 114 is displaced toward the second ball adjacent plate 96 to be adjacent to the second ball. In contact with the side surface 99 of the plate 96, the second ball adjacent plate 96 is pushed toward the middle portion 14 and pressed. Therefore, since frictional force is generated between the locking portion 114 and the one side surface 99 of the second ball adjacent plate 96, the table portion 16 is directly locked with respect to the base portion 12, and the position The determined work piece W is fixed.

이와 같이, 테이블부(16)를 구성하는 제2 볼 인접판(96)을 잠금부(114)에서 중간부(14)측으로 눌러 붙이고 있으므로, 테이블부(16)의 슬라이딩 방향에 따라 워크피스(W)등에 외력이 작용했을 경우라도, 테이블부(16)가 베이스부(12)에 대해서 변위하는 것을 억제할 수 있다. 또한, 리테이너(88)의 각 지지홀(86)을 구성하는 벽면과 볼(84)과의 사이에 틈이 형성되어 있어도, 테이블부(16)를 베이스부(12)에 대해서 직접적으로 잠그므로, 테이블부(16)가 중간부(14)에 대해서 덜컹거리는 일도 없다.In this way, since the second ball adjoining plate 96 constituting the table portion 16 is pressed from the locking portion 114 toward the intermediate portion 14, the work piece W is applied according to the sliding direction of the table portion 16. Even when an external force acts on) or the like, it is possible to suppress the displacement of the table portion 16 with respect to the base portion 12. In addition, even if a gap is formed between the ball 84 and the wall surface constituting each support hole 86 of the retainer 88, the table portion 16 is directly locked to the base portion 12, The table portion 16 does not rattle with respect to the intermediate portion 14.

그 후, 예를 들면, 위치 결정된 워크피스(W)를 로봇 등에 의해 소정 위치로 이송해, 워크피스 위치 결정 장치(10A)의 테이블부(16)를 기준 위치로 복귀시킨다. 즉, 제2 포트(50)를 대기 개방한 상태로 제1 포트(48)에 압축 유체를 공급한다. 그러면, 피스톤(52)이 피스톤 로드(60)의 축선 방향에 따라 실린더 챔버(46)의 일단측으로 변위하기 때문에, 잠금부(114)가 제2 볼 인접판(96)으로부터 이격된다. 따라서, 잠금부(114)에 의한 테이블부(16)의 잠금이 해제되게 된다.Thereafter, for example, the positioned workpiece W is transferred to a predetermined position by a robot or the like, and the table portion 16 of the workpiece positioning device 10A is returned to the reference position. That is, the compressed fluid is supplied to the first port 48 with the second port 50 open to the atmosphere. Then, since the piston 52 is displaced toward one end of the cylinder chamber 46 along the axial direction of the piston rod 60, the locking portion 114 is separated from the second ball adjacent plate 96. Accordingly, the locking of the table portion 16 by the locking portion 114 is released.

테이블부(16)의 잠금이 해제되면, 중간부(14)가 탄성 부재(90)의 복원력에 의해 기준 위치로 복귀함과 동시에 테이블부(16)가 탄성 부재(100)의 복원력에 의해 기준 위치로 복귀한다. 이때, 센터링 볼(120)이 센터링 오목부(106)의 바닥부(탑 플레이트부(102)의 중심)를 향해 센터링 오목부(106)을 구성하는 벽면을 눕히도록 테이블부(16)가 변위하기 때문에, 테이블부(16)는, 기준 위치에 높은 정밀도로 복귀하게 된다.When the lock of the table portion 16 is released, the intermediate portion 14 returns to the reference position by the restoring force of the elastic member 90, and the table portion 16 is at the reference position by the restoring force of the elastic member 100. Return to At this time, the table portion 16 is displaced so that the centering ball 120 lays the wall surface constituting the centering concave portion 106 toward the bottom portion of the centering concave portion 106 (the center of the top plate portion 102). Therefore, the table unit 16 returns to the reference position with high precision.

본 실시 형태에 따른 워크피스 위치 결정 장치(10A)에 의하면, 누름부(18)와 테이블부(16)의 사이에 탄성 부재(100)를 설치함과 동시에 누름부(18)가 상대 변위 가능한 가동 공간(S)을 테이블부(16)에 형성하고 있으므로, 테이블부(16)의 슬라이딩 방향에 따른 외형 치수를 크게 하는 일 없이 해당 테이블부(16)의 가동 스페이스를 확보할 수가 있다. 따라서, 케이싱을 마련하는 구성과 비교해, 워크피스(W)의 최대 위치 조정 폭을 작게 하는 일 없이, 워크피스 위치 결정 장치(10A)의 소형화를 꾀할 수가 있다.According to the workpiece positioning device 10A according to the present embodiment, the elastic member 100 is provided between the pressing portion 18 and the table portion 16, and the pressing portion 18 is movable relative to each other. Since the space S is formed in the table portion 16, it is possible to secure a movable space for the table portion 16 without increasing the external dimension along the sliding direction of the table portion 16. Therefore, compared with the configuration in which the casing is provided, the work piece positioning device 10A can be downsized without reducing the maximum position adjustment width of the work piece W.

또한, 피스톤(52)을 중간부(14)와는 반대 측으로 변위시킴으로써, 제2 볼 인접판(96)의 일측면(99)에 잠금부(114)를 눌러 붙일 수 있다. 즉, 제2 볼 인접판(96)의 일측면(99)과 잠금부(114) 사이에 생기는 마찰력에 의해, 테이블부(16)를 베이스부(12)에 대해서 직접적으로 잠글 수가 있다. 따라서, 테이블부(16)의 슬라이딩 방향에 따라 워크피스(W)등에 외력이 작용했을 경우여도, 테이블부(16)가 베이스부(12)에 대해서 변위하는 것을 억제할 수 있다. 따라서, 워크피스(W)를 소정 위치에 확실히 고정할 수가 있다.In addition, by displacing the piston 52 to the side opposite to the intermediate portion 14, the locking portion 114 can be pressed and attached to the one side surface 99 of the second ball adjacent plate 96. That is, the table portion 16 can be directly locked with respect to the base portion 12 by the frictional force generated between the one side surface 99 of the second ball adjacent plate 96 and the locking portion 114. Therefore, even when an external force acts on the work piece W or the like along the sliding direction of the table portion 16, it is possible to suppress the displacement of the table portion 16 with respect to the base portion 12. Therefore, it is possible to reliably fix the work piece W in a predetermined position.

그리고, 테이블 본체(98)를 지지하는 커버부(92)가 리테이너(88)의 직경 방향 외측까지 연장 형성되어 있으므로, 테이블부(16)내(가동 공간(S))에서 먼지가 일어났을 경우여도, 먼지가 워크피스 위치 결정 장치(10A)의 외부로 유출하는 것을 억제할 수 있다. 따라서, 청정성이 요구되는 환경(클린 룸등)에 있어 워크피스 위치 결정 장치(10A)를 매우 적합하게 사용할 수가 있다.In addition, since the cover portion 92 supporting the table main body 98 extends to the outer side in the radial direction of the retainer 88, even when dust occurs in the table portion 16 (movable space S). , It is possible to suppress the outflow of dust to the outside of the workpiece positioning device 10A. Therefore, the workpiece positioning device 10A can be used very suitably in an environment where cleanliness is required (clean room, etc.).

본 실시 형태에서는, 리테이너(88)의 각 지지홀(86)에 구름 운동 가능하게 배치되고 설치된 각 볼(84)이 제1 볼 인접판(24)의 일측면(25)과 제2 볼 인접판(96)의 타측면(97)에 접촉하기 때문에, 중간부(14) 및 테이블부(16)의 슬라이딩 동작을 원활히 실시할 수가 있다. 이 경우, 각 지지홀(86)을 구성하는 벽면과 각 볼(84)과의 사이에 소정의 틈이 형성된다. 그렇지만, 테이블부(16)를 베이스부(12)에 대해서 직접적으로 잠그므로, 상기 틈에 기인하는 테이블부(16)의 덜컹거림을 억제할 수 있다. 따라서, 워크피스(W)를 소정 위치에 더욱 확실히 고정할 수가 있다.In the present embodiment, each ball 84 disposed and installed in each of the support holes 86 of the retainer 88 so as to be capable of rolling motion is provided on one side 25 of the first ball adjoining plate 24 and the second ball adjoining plate. Since it contacts the other side surface 97 of 96, the sliding operation of the intermediate part 14 and the table part 16 can be performed smoothly. In this case, a predetermined gap is formed between the wall surface constituting each support hole 86 and each ball 84. However, since the table portion 16 is directly locked to the base portion 12, it is possible to suppress the rattling of the table portion 16 caused by the gap. Therefore, it is possible to more reliably fix the work piece W in a predetermined position.

또한, 잠금 실린더(22)에 형성된 흡인 포트(76)을 통하여 테이블부(16)내의 먼지를 먼지 제거 장치로 유도할 수가 있으므로, 워크피스 위치 결정 장치(10A)의 외부로 먼지가 유출하는 것을 더욱 억제할 수 있다.In addition, since the dust in the table 16 can be guided to the dust removal device through the suction port 76 formed in the locking cylinder 22, it is furthermore prevented that the dust flows out of the workpiece positioning device 10A. Can be suppressed.

그리고, 탑 플레이트부(102)의 중심을 센터링 볼(120)로 안내하는 센터링 오목부(106)을 탑 플레이트부(102)의 일측면에 형성하고 있으므로, 테이블부(16)의 센터링 정밀도를 높일 수가 있다.And, since the centering concave portion 106 that guides the center of the top plate portion 102 to the centering ball 120 is formed on one side of the top plate portion 102, the centering accuracy of the table portion 16 is improved. There can be.

본 실시 형태에서는, 리테이너(88)으로 피스톤 로드(60)과의 사이에 탄성 부재(90)를 설치하고 있으므로, 베이스부(12)에 대해서 슬라이딩한 중간부(14)를 탄성 부재(90)의 복원력에 의해 기준 위치에 확실히 복귀시킬 수가 있다.In the present embodiment, since the elastic member 90 is provided between the piston rod 60 and the retainer 88, the intermediate portion 14 sliding with respect to the base portion 12 is formed of the elastic member 90. It can be surely returned to the reference position by the restoring force.

또한, 탄성 부재(90) 및 탄성 부재(100)의 각각을 나선 스프링으로 구성하고 있으므로, 슬라이딩한 중간부(14) 및 테이블부(16)를 효율적으로 기준 위치로 복귀시킬 수가 있다.In addition, since each of the elastic member 90 and the elastic member 100 is constituted by a spiral spring, the sliding intermediate portion 14 and the table portion 16 can be efficiently returned to the reference position.

(제2 실시 형태)(2nd embodiment)

다음으로, 본 발명의 제2 실시 형태에 따른 워크피스 위치 결정 장치(10B)에 대해 도 6~도 10을 참조하면서 설명한다. 그리고, 본 실시 형태에 따른 워크피스 위치 결정 장치(10B)에 있어서, 상술한 워크피스 위치 결정 장치(10A)와 동일 또는 같은 기능 및 효과를 보이는 구성요소에는 동일한 참조 부호를 붙여서, 상세한 설명을 생략한다. 후술할 제3 실시 형태에 있어서서도 같다.Next, a work piece positioning device 10B according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 6 to 10. In addition, in the workpiece positioning device 10B according to the present embodiment, components exhibiting the same or the same functions and effects as the above-described workpiece positioning device 10A are denoted by the same reference numerals, and detailed descriptions are omitted. do. The same applies to the third embodiment to be described later.

도 6~도 10와 같이, 워크피스 위치 결정 장치(10B)는, 베이스부(12)와 바꾸어 베이스부(130)를 구비한다. 베이스부(130)를 구성하는 베이스 플랜지(132)의 외주면에는, 제1 포트(48)의 양측으로 절결부(134, 136)가 형성되어 있다.As shown in FIGS. 6 to 10, the workpiece positioning device 10B includes a base portion 130 in place of the base portion 12. Cutouts 134 and 136 are formed on both sides of the first port 48 on the outer circumferential surface of the base flange 132 constituting the base portion 130.

베이스부(130)를 구성하는 잠금 실린더(138)의 오목부(42)의 저면에는, 로드 홀(44)과 연통하는 원형홀(140)이 형성되어 있다. 원형홀(140)의 홀 직경은, 로드 홀(44)의 홀 직경보다 크게 형성되어 있다. 즉, 본 실시 형태에서는, 베이스 플랜지(132)의 원형 오목부(32)를 구성하는 벽면, 잠금 실린더(138)의 오목부(42)를 구성하는 벽면 및 원형홀(140)을 구성하는 벽면에 실린더 챔버(142)가 형성된다.A circular hole 140 communicating with the rod hole 44 is formed in the bottom surface of the concave portion 42 of the locking cylinder 138 constituting the base portion 130. The hole diameter of the circular hole 140 is formed larger than the hole diameter of the rod hole 44. That is, in the present embodiment, the wall surface constituting the circular concave portion 32 of the base flange 132, the wall surface constituting the concave portion 42 of the locking cylinder 138, and the wall surface constituting the circular hole 140 A cylinder chamber 142 is formed.

실린더 챔버(142)에는, 링 형상의 마그넷(144)이 장착되는 링 형상 홈(146)이 외주면에 형성된 피스톤(148)이 배치되고 설치되어 있다. 피스톤(148)은, 피스톤 로드(150)에 대해서 그 축선 방향으로 슬라이딩 가능(변위 가능)하게 설치되어 있다. 피스톤 로드(150)에는, 해당 피스톤 로드(150)에 대한 피스톤(148)의 일측으로의 변위를 규제하는 링 형상의 스토퍼부(152, 제1 규제부)가 한 쌍의 멈춤 링(154, 156)에 의해 고정되어 있다. 스토퍼부(152)의 두께(축선 방향의 치수)는, 원형홀(140)의 깊이보다 크게 형성되어 있다.In the cylinder chamber 142, a piston 148 in which a ring-shaped groove 146 to which a ring-shaped magnet 144 is mounted is formed on an outer circumferential surface is disposed and installed. The piston 148 is provided with respect to the piston rod 150 so as to be slidable (displaceable) in the axial direction. In the piston rod 150, a ring-shaped stopper portion 152 (first regulating portion) that regulates the displacement of the piston 148 to one side relative to the piston rod 150 is provided with a pair of stop rings 154, 156. ). The thickness (dimension in the axial direction) of the stopper portion 152 is formed larger than the depth of the circular hole 140.

그리고, 피스톤 로드(150)에 대한 피스톤(148)의 타측으로의 변위는, 피스톤 로드(150)의 타단부에 형성된 플랜지부(62, 제2 규제부)에 의해 규제된다. 즉, 본 실시 형태에서는, 피스톤(148)은, 플랜지부(62)와 스토퍼부(152) 사이의 범위 내에서 피스톤 로드(150)에 대하여 변위 가능하게 되어 있다.The displacement of the piston 148 to the other side of the piston rod 150 is regulated by the flange portion 62 (second regulating portion) formed at the other end of the piston rod 150. That is, in this embodiment, the piston 148 is displaceable with respect to the piston rod 150 within the range between the flange portion 62 and the stopper portion 152.

잠금 실린더(138)의 외주면에는, 피스톤 로드(150)의 축선 방향으로 병설된 제2 포트(50) 및 흡인 포트(76)의 양측으로 절결부(158, 160)가 형성되어 있다. 베이스 플랜지(132)의 절결부(134)와 잠금 실린더(138)의 절결부(158)는, 연통하여 1개의 설치홀(162)을 구성하며, 베이스 플랜지(132)의 절결부(136)와 잠금 실린더(138)의 절결부(160)는, 연통하여 1개의 설치홀(164)을 구성한다. 각 설치홀(162, 164)에는, 피스톤(148)에 장착된 마그넷(144)의 자계에 근거해 피스톤(148)의 축선 방향의 위치를 검출하는 위치 검출 센서(166, 168)가 배치되고 설치된다(도 9 참조).On the outer circumferential surface of the lock cylinder 138, cutouts 158 and 160 are formed on both sides of the second port 50 and the suction port 76 juxtaposed in the axial direction of the piston rod 150. The cutout 134 of the base flange 132 and the cutout 158 of the locking cylinder 138 communicate with each other to form one installation hole 162, and the cutout 136 of the base flange 132 and The cutout 160 of the lock cylinder 138 communicates with each other to constitute one installation hole 164. Position detection sensors 166 and 168 that detect the position in the axial direction of the piston 148 based on the magnetic field of the magnet 144 mounted on the piston 148 are disposed in each of the installation holes 162 and 164, and are installed. Becomes (see Fig. 9).

본 실시 형태에서는, 각 위치 검출 센서(166, 168)의 출력 신호가 도시하지 않은 제어부에 출력되고, 제어부는, 피스톤(148)이 실린더 챔버(142)의 일단측에 위치하고 있는 경우에는 테이블부(16)가 잠금 해제 상태라고 판정하며, 피스톤(148)이 실린더 챔버(142)의 타단측에 위치하고 있는 경우에는 테이블부(16)가 잠금 상태라고 판정한다.In the present embodiment, the output signals of the respective position detection sensors 166 and 168 are output to a control unit (not shown), and the control unit includes a table unit ( 16) is determined to be in the unlocked state, and when the piston 148 is located on the other end side of the cylinder chamber 142, it is determined that the table portion 16 is in a locked state.

본 실시 형태에 따른 워크피스 위치 결정 장치(10B)에서는, 초기 상태에 있어서, 제2 포트(50)를 대기 개방한 상태로 제1 포트(48)에 압축 유체를 공급하는 것으로써, 피스톤(148)을 실린더 챔버(142)의 일단측에 배치시켜 잠금부(114)를 제2 볼 인접판(96)으로부터 이격시키고 있다. 이때, 피스톤(148)이 스토퍼부(152)에 접촉함과 동시에 스토퍼부(152)가 원형홀(140)을 구성하는 저면에 접촉한다.In the workpiece positioning device 10B according to the present embodiment, by supplying a compressed fluid to the first port 48 with the second port 50 open to the atmosphere in an initial state, the piston 148 ) Is disposed at one end of the cylinder chamber 142 to separate the locking portion 114 from the second ball adjacent plate 96. At this time, while the piston 148 contacts the stopper part 152, the stopper part 152 contacts the bottom surface of the circular hole 140.

본 실시 형태에 있어서, 테이블부(16)를 잠금 해제 상태로부터 잠금 상태로 전환하는 경우에는, 제1 포트(48)를 대기 개방한 상태로 제2 포트(50)에 압축 유체를 공급한다. 그러면, 피스톤(148)은, 스토퍼부(152)로부터 이격하여 실린더 챔버(142)의 타단측에 피스톤 로드(150)에 대해서 상대적으로 변위한다. 이때, 피스톤 로드(150)는, 그 축선 방향으로 변위하지 않는다.In the present embodiment, when switching the table portion 16 from the unlocked state to the locked state, the compressed fluid is supplied to the second port 50 with the first port 48 open to the atmosphere. Then, the piston 148 is spaced apart from the stopper portion 152 and is relatively displaced with respect to the piston rod 150 at the other end of the cylinder chamber 142. At this time, the piston rod 150 does not displace in the axial direction.

그리고, 피스톤(148)이 플랜지부(62)에 접촉하면, 피스톤(148), 피스톤 로드(150) 및 스토퍼부(152)가 실린더 챔버(142)의 타단측으로 함께 변위하며, 잠금부(114)가 제2 볼 인접판(96)의 일측면(99)에 접촉하여 해당 제2 볼 인접판(96)을 중간부(14) 측으로 밀어 누른다. 따라서, 잠금부(114)와 제2 볼 인접판(96)의 일측면(99)와의 사이에 마찰력이 발생하기 때문에, 테이블부(16)가 베이스부(130)에 대해서 직접적으로 잠겨진다(도 10 참조).Then, when the piston 148 contacts the flange portion 62, the piston 148, the piston rod 150, and the stopper portion 152 are displaced together to the other end of the cylinder chamber 142, and the locking portion 114 Is in contact with the side surface 99 of the second ball adjacent plate 96 and pushes the second ball adjacent plate 96 toward the middle portion 14. Therefore, since frictional force is generated between the locking portion 114 and the side surface 99 of the second ball adjacent plate 96, the table portion 16 is directly locked with respect to the base portion 130 (Fig. 10).

이때, 한 쌍의 위치 검출 센서(166, 168)는, 피스톤(148)의 마그넷(144)의 자계에 근거해 피스톤(148)이 실린더 챔버(142)의 타단에 위치하고 있는 것을 검출하고, 제어부는, 테이블부(16)가 잠금 상태라고 판정한다. 따라서, 테이블부(16)가 잠금 상태가 된 것을 용이하게 알 수 있다.At this time, the pair of position detection sensors 166 and 168 detects that the piston 148 is located at the other end of the cylinder chamber 142 based on the magnetic field of the magnet 144 of the piston 148, and the control unit , It is determined that the table unit 16 is in a locked state. Therefore, it can be easily seen that the table unit 16 is in a locked state.

한편, 테이블부(16)를 잠금 상태로부터 잠금 해제 상태로 전환하는 경우에는, 제2 포트(50)를 대기 개방한 상태로 제1 포트(48)에 압축 유체를 공급한다. 그러면, 피스톤(148)은, 플랜지부(62)로부터 이격하여 실린더 챔버(142)의 일단측에 피스톤 로드(150)에 대해서 상대적으로 변위한다. 이때, 피스톤 로드(150)는, 그 축선 방향으로 변위하지 않는다.On the other hand, when the table unit 16 is switched from the locked state to the unlocked state, the compressed fluid is supplied to the first port 48 with the second port 50 open to the atmosphere. Then, the piston 148 is spaced apart from the flange portion 62 and is relatively displaced with respect to the piston rod 150 at one end of the cylinder chamber 142. At this time, the piston rod 150 does not displace in the axial direction.

그리고, 피스톤(148)이 스토퍼부(152)에 접촉하면, 피스톤(148), 피스톤 로드(150) 및 스토퍼부(152)가 실린더 챔버(142)의 일단측으로 함께 변위하며, 잠금부(114)가 제2 볼 인접판(96)으로부터 이격하여 테이블부(16)가 베이스부(130)에 대해서 슬라이딩 가능한 상태가 된다.And, when the piston 148 comes into contact with the stopper portion 152, the piston 148, the piston rod 150, and the stopper portion 152 are displaced together toward one end of the cylinder chamber 142, and the locking portion 114 Is spaced apart from the second ball adjacent plate 96 so that the table unit 16 is slidable with respect to the base unit 130.

이때, 한 쌍의 위치 검출 센서(166, 168)는, 피스톤(148)에 장착된 마그넷(144)의 자계에 근거해 피스톤(148)이 실린더 챔버(142)의 일단에 위치하고 있는 것을 검출하고, 제어부는, 테이블부(16)가 잠금 해제 상태라고 판정한다. 따라서, 테이블부(16)가 잠금 해제 상태가 된 것을 용이하게 알 수 있다.At this time, the pair of position detection sensors 166 and 168 detects that the piston 148 is located at one end of the cylinder chamber 142 based on the magnetic field of the magnet 144 mounted on the piston 148, The control unit determines that the table unit 16 is in the unlocked state. Therefore, it can be easily seen that the table unit 16 is in the unlocked state.

본 실시 형태에 의하면, 실린더 챔버(142)에 있어서의 피스톤(148)의 축선 방향의 위치를 한 쌍의 위치 검출 센서(166, 168)로 검출함으로써, 잠금부(114)의 축선 방향의 위치를 검출할 수가 있다. 따라서, 간단하고 쉬운 구성으로 잠금부(114)에 의한 테이블부(16)의 잠금 상태 및 잠금 해제 상태를 검출할 수가 있다.According to this embodiment, by detecting the position in the axial direction of the piston 148 in the cylinder chamber 142 with a pair of position detection sensors 166 and 168, the position of the locking portion 114 in the axial direction is determined. Can be detected. Therefore, it is possible to detect the locked state and the unlocked state of the table portion 16 by the locking portion 114 with a simple and easy configuration.

또한, 피스톤(148)이 피스톤 로드(150)에 대해서 축선 방향에 따라 스토퍼부(152)와 플랜지부(62) 사이의 범위내에서 피스톤 로드(150)에 대해서 상대적으로 변위하므로, 피스톤 로드(150, 누름부(18))의 스트로크 길이에 대해서 피스톤(148)의 스트로크 길이를 크게 할 수가 있다. 따라서, 워크피스 위치 결정 장치(10B)가 축선 방향으로 대형화하는 것을 억제하면서, 피스톤(148)의 변위에 수반하는 마그넷(144)의 자계의 변화를 한 쌍의 위치 검출 센서(166, 168)로 확실히 검출할 수가 있다.In addition, since the piston 148 is relatively displaced with respect to the piston rod 150 in the range between the stopper portion 152 and the flange portion 62 in the axial direction with respect to the piston rod 150, the piston rod 150 , With respect to the stroke length of the pressing portion 18, the stroke length of the piston 148 can be increased. Therefore, while suppressing the increase in size of the workpiece positioning device 10B in the axial direction, the change in the magnetic field of the magnet 144 accompanying the displacement of the piston 148 is controlled by the pair of position detection sensors 166 and 168. It can be detected with certainty.

(제3 실시 형태)(3rd embodiment)

다음으로, 본 발명의 제3 실시 형태에 따른 워크피스 위치 결정 장치(10C)에 대해 도 11~도 15를 참조해 설명한다. 도 11~도 15와 같이, 워크피스 위치 결정 장치(10C)는, 베이스부(12)와 바꾸어 베이스부(170)을 구비한다. 베이스부(170)을 구성하는 베이스 플랜지(172)는, 그 바깥 둘레 가장자리부가 타측으로 돌출되어 있다.Next, a work piece positioning device 10C according to a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 11 to 15. 11 to 15, the workpiece positioning device 10C includes a base portion 170 in place of the base portion 12. The base flange 172 constituting the base portion 170 has an outer peripheral edge portion protruding to the other side.

베이스 플랜지(172)의 원형 오목부(32)의 저면에는, 피스톤 로드(174)의 플랜지부(62)가 삽입 가능한 삽입홀(176)이 중앙에 형성된 링 형상의 돌출부(178)가 설치되어 있다. 삽입홀(176)을 구성하는 저면에는, 피스톤 로드(174)의 타측 끝면으로부터 돌출된 볼록부(180)가 삽입 관통하는 삽입 관통홀(182)이 형성되고, 삽입 관통홀(182)를 구성하는 벽면에는, 개스킷(184)이 장착되는 링 형상 홈(186)이 형성되어 있다.On the bottom surface of the circular concave portion 32 of the base flange 172, an insertion hole 176 into which the flange portion 62 of the piston rod 174 can be inserted is provided with a ring-shaped protrusion 178 formed in the center. . On the bottom surface constituting the insertion hole 176, an insertion through hole 182 through which the convex portion 180 protruding from the other end surface of the piston rod 174 is inserted is formed, and the insertion through hole 182 is formed. A ring-shaped groove 186 to which the gasket 184 is mounted is formed on the wall surface.

또한, 워크피스 위치 결정 장치(10C)는, 베이스 플랜지(172)에 설치되어 테이블부(16)의 잠금 상태 및 잠금 해제 상태를 검출하기 위한 검출부(188, 검출 수단)를 더 구비한다. 검출부(188)는, 피스톤 로드(174)의 축선 방향과 교차하는 일방향으로 연장 형성된 검출체(190, 검출편)와, 검출체(190)의 위치를 검출하기 위한 포토 센서(192)와 검출체(190)를 보호하기 위한 보호 부재(194)를 가지고 있다.Further, the workpiece positioning device 10C further includes a detection unit 188 (detection means) provided on the base flange 172 to detect the locked state and the unlocked state of the table portion 16. The detection unit 188 includes a detection body 190 (a detection piece) extending in one direction crossing the axial direction of the piston rod 174, a photo sensor 192 and a detection body for detecting the position of the detection body 190 It has a protection member 194 for protecting 190.

검출체(190)는, 판 형상으로 형성되어 있으며, 한 쌍의 볼트(196)에 의해 베이스 플랜지(172)의 일측면에 고정된 기단부로부터 피스톤 로드(174)와는 반대 측으로 굴곡된 굴곡부(200)을 통하여 선단부까지 직선 형상으로 연장 형성되어 있다. 검출체(190)의 선단부에는, 포토 센서(192)의 빛이 조사되어야 할 차광부(202)가 형성되어 있다. 검출체(190)에는, 피스톤 로드(174)에 형성된 볼록부(180)가 맞닿아 접하고 있다. 즉, 검출체(190)는, 그 기단부만이 베이스 플랜지(172)에 고정되어 있기 때문에, 피스톤 로드(174)의 축선 방향의 변위에 수반해 굴곡부(200)가 휘어져 구부러지고, 차광부(202)의 위치가 변위하게 되어 있다.The detection body 190 is formed in a plate shape and is bent from a base end fixed to one side of the base flange 172 by a pair of bolts 196 to a side opposite to the piston rod 174. It is formed extending in a linear shape to the tip end through the tube. A light blocking portion 202 to which light from the photosensor 192 is to be irradiated is formed at the tip of the detection body 190. A convex portion 180 formed on the piston rod 174 abuts against the detection body 190 and is in contact with it. That is, since the detection body 190 is fixed to the base flange 172 only at its base end, the bent portion 200 is bent and bent in accordance with the displacement of the piston rod 174 in the axial direction, and the light blocking portion 202 ) Is to be displaced.

또한, 검출체(190)는, 그 연장 형성 방향에 대해, 지지점(굴곡부(200))과 작용점(볼록부(180)와의 접촉부)과의 간격이, 상기 지지점과 조사점(차광부(202))과의 간격보다 작아지도록 설치되어 있다. 따라서, 차광부(202)의 변위량이 작용점의 변위량(피스톤 로드(174)의 스트로크)보다 커진다.In addition, the detection body 190 has a distance between the support point (bent portion 200) and the working point (contact portion with the convex portion 180) with respect to the extending direction thereof, and the support point and the irradiation point (light shielding portion 202) It is installed so that it is smaller than the distance between it and ). Accordingly, the amount of displacement of the light shielding portion 202 becomes larger than the amount of displacement of the working point (stroke of the piston rod 174).

포토 센서(192)는, 한 쌍의 볼트(204)에 의해 베이스 플랜지(172)의 일측면에 고정되어 있다. 포토 센서(192)는, 발광부(206)와 수광부(208)가 서로 대향한 상태로 이격하여 설치되어 있다. 발광부(206)와 수광부(208)의 사이에는, 검출체(190)의 선단부에 설치된 차광부(202)가 배치 가능하게 되어 있다.The photosensor 192 is fixed to one side of the base flange 172 by a pair of bolts 204. The photosensor 192 is provided with the light emitting portion 206 and the light receiving portion 208 facing each other and spaced apart from each other. Between the light-emitting portion 206 and the light-receiving portion 208, a light-shielding portion 202 provided at the tip of the detection body 190 can be disposed.

본 실시 형태에서는, 수광부(208)의 출력 신호가 도시하지 않은 제어부에 출력되고, 제어부는, 발광부(206)으로부터의 빛이 차광부(202)에서 차광되어 수광부(208)에서 빛을 받을 수 없는 경우에는 테이블부(16)가 잠금 해제 상태라고 판정하며, 발광부(206)로부터의 빛을 수광부(208)에서 받아들였 경우에는 테이블부(16)가 잠금 상태라고 판정한다.In this embodiment, the output signal of the light receiving unit 208 is output to a control unit (not shown), and the control unit is configured to receive light from the light receiving unit 208 by blocking light from the light emitting unit 206 at the light blocking unit 202. If not, it is determined that the table unit 16 is in the unlocked state, and when the light from the light emitting unit 206 is received by the light receiving unit 208, it is determined that the table unit 16 is in a locked state.

포토 센서(192)는, 임의로 구성할 수가 있으며, 예를 들면, 발광부(206)로부터의 빛의 차광부(202)에서의 반사광을 수광부(208)에서 검출하도록 구성해도 괜찮다. 보호 부재(194)는, 복수(도 14에서는 4개)의 볼트(210)에 의해 베이스 플랜지(172)에 고정되어 있다.The photosensor 192 can be arbitrarily configured, and for example, the light-receiving unit 208 may detect the reflected light from the light-shielding unit 202 of the light from the light-emitting unit 206. The protection member 194 is fixed to the base flange 172 by a plurality of bolts 210 (four in FIG. 14).

본 실시 형태에 따른 워크피스 위치 결정 장치(10C)에서는, 초기 상태에 있어서, 제2 포트(50)를 대기 개방한 상태로 제1 포트(48)에 압축 유체를 공급하는 것으로써, 피스톤(52)을 실린더 챔버(46)의 일단측에 배치시켜 잠금부(114)를 제2 볼 인접판(96)으로부터 이격시키고 있다. 이때, 피스톤 로드(174)의 볼록부(180)가 검출체(190)에 접촉한 상태로, 차광부(202)는, 발광부(206)와 수광부(208) 사이에 위치하여 발광부(206)로부터의 빛을 차광한다.In the workpiece positioning device 10C according to the present embodiment, by supplying a compressed fluid to the first port 48 with the second port 50 open to the atmosphere in an initial state, the piston 52 ) Is disposed at one end of the cylinder chamber 46 to separate the locking portion 114 from the second ball adjacent plate 96. At this time, with the convex portion 180 of the piston rod 174 in contact with the detection body 190, the light-shielding portion 202 is positioned between the light-emitting portion 206 and the light-receiving portion 208 and thus the light-emitting portion 206 The light from) is blocked.

본 실시 형태에 있어서, 테이블부(16)를 잠금 해제 상태에서 잠금 상태로 전환하는 경우에는, 제1 포트(48)를 대기 개방한 상태로 제2 포트(50)에 압축 유체를 공급한다. 그러면, 피스톤(52)이 실린더 챔버(46)의 타단측으로 변위하고, 잠금부(114)가 제2 볼 인접판(96)의 일측면(99)에 접촉하여 해당 제2 볼 인접판(96)을 중간부(14) 측으로 밀어 누른다. 따라서, 잠금부(114)와 제2 볼 인접판(96)의 일측면(99)와의 사이에 마찰력이 작용하기 때문에, 테이블부(16)가 베이스부(170)에 대해서 직접적으로 잠겨진다(도 15 참조).In the present embodiment, when switching the table portion 16 from the unlocked state to the locked state, the compressed fluid is supplied to the second port 50 with the first port 48 open to the atmosphere. Then, the piston 52 is displaced to the other end side of the cylinder chamber 46, and the locking portion 114 contacts one side surface 99 of the second ball adjacent plate 96, and the corresponding second ball adjacent plate 96 Push it toward the middle part (14). Therefore, since the frictional force acts between the locking portion 114 and the side surface 99 of the second ball adjacent plate 96, the table portion 16 is directly locked with respect to the base portion 170 (Fig. 15).

이때, 피스톤 로드(174)의 볼록부(180)는, 검출체(190)를 잠금 실린더(22)와는 반대 측으로 눌러 내린다. 그러면, 검출체(190)의 굴곡부(200)가 탄성변형하고, 차광부(202)가 잠금 실린더(22)와는 반대측으로 변위한다. 따라서, 발광부(206)로부터의 빛이 수광부(208)로 유도되기 때문에, 상기 제어부는, 테이블부(16)가 잠금 상태라고 판정한다. 따라서, 테이블부(16)가 잠금 해제 상태로부터 잠금 상태가 된 것을 용이하게 알 수 있다.At this time, the convex portion 180 of the piston rod 174 pushes down the detection body 190 to the opposite side to the locking cylinder 22. Then, the bent portion 200 of the detection body 190 is elastically deformed, and the light shielding portion 202 is displaced to the opposite side to the locking cylinder 22. Therefore, since the light from the light-emitting portion 206 is guided to the light-receiving portion 208, the control unit determines that the table portion 16 is in a locked state. Accordingly, it can be easily seen that the table unit 16 has entered the locked state from the unlocked state.

한편, 테이블부(16)를 잠금 상태에서 잠금 해제 상태로 전환하는 경우에는, 제2 포트(50)를 대기 개방한 상태로 제1 포트(48)에 압축 유체를 공급한다. 그러면, 피스톤(52)이 실린더 챔버(46)의 일단측으로 변위하고, 잠금부(114)가 제2 볼 인접판(96)으로부터 이격하여 테이블부(16)가 베이스부(170)에 대해서 슬라이딩 가능한 상태가 된다.On the other hand, when the table unit 16 is switched from the locked state to the unlocked state, the compressed fluid is supplied to the first port 48 with the second port 50 open to the atmosphere. Then, the piston 52 is displaced toward one end of the cylinder chamber 46, and the locking portion 114 is spaced apart from the second ball adjacent plate 96 so that the table portion 16 is slidable with respect to the base portion 170. State.

이때, 피스톤 로드(174)의 볼록부(180)는, 검출체(190)에 접촉한 상태로 잠금 실린더(22) 측으로 변위한다. 그러면, 탄성 변형하고 있는 굴곡부(200)가 복귀하고, 차광부(202)가 잠금 실린더(22)측으로 변위하여 발광부(206)와 수광부(208) 사이에 위치한다. 따라서, 발광부(206)로부터의 빛이 차광부(202)로 차광되기 때문에, 상기 제어부는, 테이블부(16)가 잠금 해제 상태라고 판정한다. 따라서, 테이블부(16)가 잠금 상태에서 잠금 해제 상태가 된 것을 용이하게 알 수 있다.At this time, the convex portion 180 of the piston rod 174 is displaced toward the locking cylinder 22 in a state in contact with the detection body 190. Then, the bent portion 200 that is elastically deformed is returned, and the light blocking portion 202 is displaced toward the locking cylinder 22 to be positioned between the light emitting portion 206 and the light receiving portion 208. Therefore, since the light from the light-emitting portion 206 is shielded by the light-shielding portion 202, the control unit determines that the table portion 16 is in the unlocked state. Accordingly, it can be easily seen that the table unit 16 is in the unlocked state from the locked state.

본 실시 형태에 의하면, 피스톤 로드(174)와 함께 변위하는 검출체(190)의 차광부(202)의 위치를 포토 센서(192)로 검출하므로, 피스톤 로드(174)의 일단측에 설치된 누름부(18, 잠금부(114))의 축선 방향의 위치를 검출할 수가 있다. 따라서, 간단하고 쉬운 구성으로 잠금부(114)에 의한 테이블부(16)의 잠금 상태 및 잠금 해제 상태를 검출할 수가 있다.According to the present embodiment, since the position of the light blocking portion 202 of the detection body 190 displaced together with the piston rod 174 is detected by the photo sensor 192, the pressing portion provided at one end of the piston rod 174 (18, the position of the locking part 114) in the axial direction can be detected. Therefore, it is possible to detect the locked state and the unlocked state of the table portion 16 by the locking portion 114 with a simple and easy configuration.

또한, 검출체(190)의 연장 방향에 있어서, 지지점과 작용점과의 간격이 지지점과 조사점과의 간격보다 작아지도록 검출체(190)를 마련하고 있으므로, 조사점의 변위량을 작용점의 변위량(피스톤 로드(174)의 스트로크)보다 크게 할 수가 있다. 따라서, 워크피스 위치 결정 장치(10C)가 축선 방향으로 대형화하는 것을 억제하면서, 잠금부(114)에 의한 테이블부(16)의 잠금 상태 및 잠금 해제 상태를 확실히 검출할 수가 있다.Further, in the extending direction of the detection body 190, since the detection body 190 is provided so that the distance between the support point and the action point becomes smaller than the distance between the support point and the irradiation point, the displacement amount of the irradiation point is determined by the displacement amount of the action point (piston It can be larger than the stroke of the rod 174). Accordingly, it is possible to reliably detect the locked state and the unlocked state of the table portion 16 by the locking portion 114 while suppressing the increase in size of the workpiece positioning device 10C in the axial direction.

(제4 실시 형태)(4th embodiment)

다음으로, 본 발명의 제4 실시 형태에 따른 워크피스 위치 결정 장치(10D)에 대해, 도 16~도 21을 참조해 설명한다.Next, a work piece positioning device 10D according to a fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 16 to 21.

워크피스 위치 결정 장치(10D)는, 베이스부(212)와 베이스부(212)에 대해서 슬라이딩 가능하게 설치된 제1 중간부(214)와, 제1 중간부(214)에 대해서 슬라이딩 가능하게 설치된 제2 중간부(216)와, 제2 중간부(216)에 대해서 슬라이딩 가능하게 설치된 제3 중간부(218)와, 제3 중간부(218)에 대해서 슬라이딩 가능하게 설치되어 워크피스가 놓여 배치되는 테이블부(220)와, 테이블부(220)를 잠그는 누름부(222)를 구비한다.The workpiece positioning device 10D includes a first intermediate portion 214 slidably provided with respect to the base portion 212 and the base portion 212, and a first intermediate portion 214 slidably provided with respect to the first intermediate portion 214. 2 The intermediate portion 216, the third intermediate portion 218 slidably installed with respect to the second intermediate portion 216, and the third intermediate portion 218 are slidably installed to place the workpiece. A table portion 220 and a pressing portion 222 for locking the table portion 220 are provided.

베이스부(212)는, 평면에서 보아 대략 사각 형상의 판 형상 부재인 베이스 플랜지(224)와, 베이스 플랜지(224)에 설치된 잠금 실린더(226)와, 잠금 실린더(226)에 설치된 링 형상의 제1 볼 인접판(228)을 가진다.The base portion 212 includes a base flange 224 that is a plate-shaped member having a substantially rectangular shape in plan view, a lock cylinder 226 provided on the base flange 224, and a ring-shaped product provided on the lock cylinder 226. It has 1 ball adjacent plate 228.

베이스 플랜지(224)의 일측면에는, 잠금 실린더(226)측을 향하여 돌출하는 원형 링 형상 돌출부(230)이 형성되고, 그 내측에 원형 오목부(232)가 형성되어 있다. 원형 링 형상 돌출부(230)의 외주면에는, 링 형상 홈이 형성되어 베이스 패킹(234)이 장착되어 있으며, 베이스 플랜지(224)의 원형 오목부(232)의 중앙에는, 센터링 플레이트(236)가 설치되어 있다. 센터링 플레이트(236)의 중앙에는, 외측 둘레 가장자리부로부터 중심을 향해 경사하는 만곡면 또는 테이퍼 형상의 평면에 의해 구성되는 원 형상의 제1 센터링 오목부(238)가 형성되어 있다. 또한, 베이스 플랜지(224)에는, 테이블부(220) 내의 먼지를 도시하지 않은 먼지 제거 장치로 유도하기 위한 흡인 포트(240)가 형성되어 있다.On one side of the base flange 224, a circular ring-shaped protrusion 230 protruding toward the locking cylinder 226 is formed, and a circular concave portion 232 is formed inside the base flange 224. A ring-shaped groove is formed on the outer circumferential surface of the circular ring-shaped protrusion 230 and a base packing 234 is mounted, and a centering plate 236 is installed in the center of the circular concave portion 232 of the base flange 224 Has been. In the center of the centering plate 236, a first centering concave portion 238 of a circular shape is formed by a curved surface or a tapered flat surface inclined from the outer peripheral edge portion toward the center. Further, the base flange 224 is provided with a suction port 240 for guiding the dust in the table portion 220 to a dust removal device (not shown).

잠금 실린더(226)는, 대직경의 내주면과 소직경의 내주면을 가지는 원통형의 외통부(242)와, 소직경의 내주면의 축방향 단부로부터 직경 방향 내측 방향으로 돌출하는 원판 형상부(244)와, 원판 형상부(244)의 내경측 단부로부터 축방향 하부로 돌출하는 내통부(246)로 구성된다. 제1 볼 인접판(228)은, 중앙에 개구부(248)을 가지며, 원판 형상부(244)의 일측면(상면)과 맞닿아 접하도록 대직경의 내주면에 끼움 결합되어 고정되고, 외통부(242)는 제1 볼 인접판(228)의 일측면으로부터 소정 거리만큼 상측으로 돌출되어 있다. 잠금 실린더(226)에는, 소직경의 내주면과 원판 형상부(244)의 일측면과 내통부(246)의 외주면에 의해, 베이스부(212)를 향하는 원형 링 형상 오목부(250)가 형성되어 있다.The locking cylinder 226 includes a cylindrical outer cylinder portion 242 having a large-diameter inner circumferential surface and a small-diameter inner circumferential surface, a disk-shaped portion 244 protruding radially inward from the axial end of the small-diameter inner circumferential surface, It is composed of an inner cylinder portion 246 protruding downward in the axial direction from an end portion on the inner diameter side of the disk-shaped portion 244. The first ball abutment plate 228 has an opening 248 in the center, is fitted and fixed to an inner circumferential surface of a large diameter so as to contact and contact one side (upper surface) of the disk-shaped portion 244, and the outer cylinder part 242 ) Protrudes upward by a predetermined distance from one side of the first ball adjacent plate 228. In the locking cylinder 226, a circular ring-shaped concave portion 250 facing the base portion 212 is formed by an inner peripheral surface of a small diameter, one side surface of the disk-shaped portion 244, and an outer peripheral surface of the inner cylinder portion 246, have.

중앙에 개구부(252)를 가지며, 외주면 및 내주면에 각각 단차부가 형성된 피스톤(340)이, 잠금 실린더(226)의 원형 링 형상 오목부(250) 및 베이스 플랜지(224)의 원형 오목부(232)에 끼움 결합 해 배치되고 설치되는 한편, 베이스 플랜지(224)의 원형 링 형상 돌출부(230)가 잠금 실린더(226)의 소직경의 내주면에 끼움 결합된다. 따라서, 피스톤(340)의 일측면과 잠금 실린더(226)의 원형 링 형상 오목부(250)으로 구획하여 이루어지는 제1 압력 챔버(254)가 형성됨과 동시에, 피스톤(340)의 외주측 단차부, 잠금 실린더(226)의 소직경의 내주면 및 베이스 플랜지(224)의 원형 링 형상 돌출부(230)로 구획하여 이루어지는 제2 압력 챔버(256)가 형성된다. 제1 압력 챔버(254)에 압축 유체를 공급·배출하기 위한 제1 포트(258)와 제2 압력 챔버(256)에 압축 유체를 공급·배출하기 위한 제2 포트(260)가 잠금 실린더(226)에 형성되어 있다(도 16 참조).A piston 340 having an opening 252 in the center and having a stepped portion on the outer and inner circumferential surfaces, respectively, is a circular ring-shaped concave portion 250 of the locking cylinder 226 and a circular concave portion 232 of the base flange 224 While being fitted and installed, the circular ring-shaped protrusion 230 of the base flange 224 is fitted to the inner circumferential surface of the small diameter of the locking cylinder 226. Accordingly, while the first pressure chamber 254 is formed by dividing one side of the piston 340 and the circular ring-shaped concave portion 250 of the locking cylinder 226, the stepped portion on the outer circumferential side of the piston 340, A second pressure chamber 256 is formed by dividing the inner circumferential surface of the locking cylinder 226 with a small diameter and a circular ring-shaped protrusion 230 of the base flange 224. A first port 258 for supplying and discharging the compressed fluid to the first pressure chamber 254 and a second port 260 for supplying and discharging the compressed fluid to the second pressure chamber 256 are provided with a locking cylinder 226. ) Is formed (see Fig. 16).

잠금 실린더(226)의 원형 링 형상 오목부(250)와 접하는 피스톤(340)의 외주면 및 내주면, 그리고, 베이스 플랜지(224)의 원형 오목부(232)와 접하는 피스톤(340)의 외주면에는, 각각 링 형상 홈이 형성되어 피스톤 패킹(262, 264, 266)이 장착되어 있다. 피스톤(340)에 있어서의 소직경의 내주면, 잠금 실린더(226)의 내통부(246)의 내주면 및 제1 볼 인접판(228)의 개구부(248)의 내주면은, 대체로 연속하는 한결같은 원통 형상 개구부(268)를 형성하고 있다.On the outer circumferential surface and inner circumferential surface of the piston 340 in contact with the circular ring-shaped concave portion 250 of the locking cylinder 226, and the outer circumferential surface of the piston 340 in contact with the circular concave portion 232 of the base flange 224, respectively. A ring-shaped groove is formed, and piston packings 262, 264, 266 are mounted. The small-diameter inner circumferential surface of the piston 340, the inner circumferential surface of the inner cylindrical portion 246 of the locking cylinder 226, and the inner circumferential surface of the opening 248 of the first ball adjacent plate 228 are substantially continuous cylindrical openings. Forming 268.

제1 중간부(214)는, 복수의 제1 볼(270)과, 각 제1 볼(270)이 구름 운동 가능한 상태로 배치되고 설치되는 복수의 지지홀이 형성된 링 형상의 제1 리테이너(272)를 가진다. 제1 리테이너(272)는, 각 제1 볼(270)이 제1 볼 인접판(228)의 일측면에 접촉하도록 배치되고 설치되며, 따라서, 제1 중간부(214)는, 제1 볼 인접판(228)의 일측면에 대해서 슬라이딩 가능해진다.The first intermediate portion 214 includes a plurality of first balls 270 and a ring-shaped first retainer 272 having a plurality of support holes disposed and installed in a state in which each of the first balls 270 is rollable. ). The first retainer 272 is disposed and installed so that each of the first balls 270 contacts one side of the first ball adjacent plate 228, and thus, the first intermediate portion 214 is adjacent to the first ball. It becomes slidable with respect to one side of the plate 228.

제2 중간부(216)는, 얇은 두께를 가진 원통 형상의 커버통(274)과, 중앙에 관통홀(276)이 형성된 원형 링 형상의 제2 볼 인접판(278)을 가진다. 제2 볼 인접판(278)은, 커버통(274)의 내주면에 설치된 한 쌍의 멈춤 링(280, 282)에 의해 커버통(274)에 고정되며, 제2 볼 인접판(278)의 외주 단부에 있어서, 그 일측면(제1 중간부(214)와는 반대측의 면) 및 타측면으로부터 각각 소정 거리만큼 커버통(274)이 수직으로 돌출되어 있다. 제2 볼 인접판(278)의 일측면은, 제1 볼 인접판(228)의 일측면에 대해서 대략 평행하게 설치된 상태로 각 제1 볼(270)에 접촉한다. 따라서, 제2 중간부(216)는, 제1 볼 인접판(228)과 평행하게 슬라이딩 가능하게 된다.The second intermediate portion 216 includes a cylindrical cover cylinder 274 having a thin thickness and a circular ring-shaped second ball abutting plate 278 in which a through hole 276 is formed in the center. The second ball adjacent plate 278 is fixed to the cover tube 274 by a pair of stop rings 280 and 282 installed on the inner circumferential surface of the cover tube 274, and the outer circumference of the second ball adjacent plate 278 At the end, the cover tube 274 protrudes vertically from one side (the side opposite to the first intermediate portion 214) and the other side by a predetermined distance, respectively. One side surface of the second ball adjoining plate 278 contacts each of the first balls 270 while being installed substantially parallel to one side surface of the first ball adjoining plate 228. Accordingly, the second intermediate portion 216 is slidable in parallel with the first ball adjoining plate 228.

제3 중간부(218)는, 복수의 제2 볼(284)과, 각 제2 볼(284)이 구름 운동 가능한 상태로 배치되고 설치되는 복수의 지지홀이 형성된 링 형상의 제2 리테이너(286)를 가진다. 제2 리테이너(286)는, 각 제2 볼(284)이 제2 볼 인접판(278)의 일측면에 접촉하도록 배치되고 설치되고, 따라서, 제3 중간부(218)는, 제2 볼 인접판(278)의 일측면에 대해서 슬라이딩 가능해진다. 제2 리테이너(286)의 외경은, 제1 리테이너(272)의 외경과 대략 동일하다.The third intermediate portion 218 is a ring-shaped second retainer 286 having a plurality of second balls 284 and a plurality of support holes disposed and installed in a state in which each second ball 284 is rollable. ). The second retainer 286 is disposed and installed so that each second ball 284 contacts one side of the second ball adjacent plate 278, and thus, the third intermediate portion 218 is adjacent to the second ball. It becomes slidable with respect to one side of the plate 278. The outer diameter of the second retainer 286 is substantially the same as the outer diameter of the first retainer 272.

테이블부(220)는, 테이블 본체로서의 탑 플레이트부(288)와, 탑 플레이트부(288)의 가장자리로부터 제3 중간부(218)를 향해 돌출하는 원통형의 커버부(290)와, 커버부(290)의 내주에 설치된 멈춤 링(294)에 의해 지지되는 링 형상의 제3 볼 인접판(296)을 가진다. 제3 볼 인접판(296)은, 중앙에 개구부(298)를 가지며, 제3 볼 인접판(296)의 일측면은, 탑 플레이트부(288)의 일측면과 간격을 두고 대향하고, 제3 볼 인접판(296)의 타측면은, 제2 볼 인접판(278)의 일측면에 대해서 대략 평행하게 설치된 상태에서 각 제2 볼(284)에 접촉한다. 따라서, 테이블부(220)는, 제2 볼 인접판(278)과 평행하게 슬라이딩 가능해진다.The table portion 220 includes a top plate portion 288 as a table body, a cylindrical cover portion 290 protruding from the edge of the top plate portion 288 toward the third intermediate portion 218, and a cover portion ( It has a ring-shaped third ball abutment plate 296 supported by a stop ring 294 installed on the inner periphery of 290. The third ball adjoining plate 296 has an opening 298 in the center, and one side of the third ball adjoining plate 296 faces one side of the top plate part 288 at an interval, and a third The other side of the ball adjoining plate 296 contacts each of the second balls 284 while being installed substantially parallel to one side of the second ball adjoining plate 278. Accordingly, the table portion 220 is slidable in parallel with the second ball adjoining plate 278.

커버부(290)는, 제3 볼 인접판(296)의 외주 단부에 있어서, 제3 볼 인접판(296)의 타측면으로부터 제3 중간부(218)을 향해 소정 거리만큼 돌출되어 있다. 탑 플레이트부(288) 일측의 평면에는, 워크피스가 놓여서 배치된다. 탑 플레이트부(288)의 타측면의 대략 중앙에는, 원 형상의 제2 센터링 오목부(300)가 형성되며, 제2 센터링 오목부(300)를 형성하는 벽면은, 그 외측 가장자리부로부터 탑 플레이트부(288)의 중심의 바닥부를 향해 서서히 탑 플레이트부(288)의 일측면측으로 경사하는 만곡면 또는 테이퍼 형상의 평면으로 되어 있다. 커버부(290)의 외경은, 제2 중간부(216)의 커버통(274)의 외경과 대략 동일하다.The cover part 290 protrudes from the other side surface of the third ball abutment plate 296 toward the third intermediate part 218 by a predetermined distance at the outer peripheral end of the third ball abutment plate 296. A work piece is placed and disposed on a plane on one side of the top plate portion 288. At approximately the center of the other side of the top plate portion 288, a second centering concave portion 300 having a circular shape is formed, and the wall surface forming the second centering concave portion 300 is formed from the outer edge of the top plate. It becomes a curved surface or a tapered flat surface gradually inclined toward one side of the top plate portion 288 toward the bottom of the center of the portion 288. The outer diameter of the cover portion 290 is substantially the same as the outer diameter of the cover cylinder 274 of the second intermediate portion 216.

누름부(222)는, 원통 형상 개구부(268)의 내측에 배치되고 설치되는 제1 축체(302)와, 제2 볼 인접판(278)의 관통홀(276)에 대략 간격이 없게 삽입 관통되는 제2 축체(304)를 포함한다.The pressing part 222 is inserted into the through hole 276 of the first shaft body 302 and the second ball adjacent plate 278 disposed and installed inside the cylindrical opening 268 without a substantially gap. It includes a second shaft body (304).

제1 축체(302)의 일측 단부에는, 끼움 결합홀(306)이 형성되어 있고, 제1 축체(302)의 타측의 단부에는, 베이스 플랜지(224)의 원형 오목부(232)에 위치하여 피스톤(340)의 일측면에 맞닿아 접할 수 있는 제1 잠금 플랜지부(308)가 형성됨과 동시에, 제1 설치홀(310)이 형성되어 있다. 제1 설치홀(310)을 이용해, 제2 중간부(216)을 기준 위치로 복귀시키기 위한 제1 센터링 기구(312)가 배치되고 설치되어 있다.At one end of the first shaft 302, a fitting hole 306 is formed, and at the end of the other side of the first shaft 302, it is located in the circular recess 232 of the base flange 224 to provide a piston At the same time as the first locking flange portion 308 that can be brought into contact with one side of the 340 is formed, a first installation hole 310 is formed. A first centering mechanism 312 for returning the second intermediate portion 216 to a reference position using the first installation hole 310 is disposed and installed.

제2 축체(304)의 일측 단부에는, 탑 플레이트부(288)와 제3 볼 인접판(296) 사이에 배치되고 설치되어 제3 볼 인접판(296)의 일측면에 맞닿아 접할 수 있는 제2 잠금 플랜지부(314)가 설치됨과 동시에, 제2 설치홀(316)이 형성되어 있다. 제2 설치홀(316)을 이용해, 테이블부(220)를 제2 중간부(216)에 대해서 기준 위치로 복귀시키기 위한 제2 센터링 기구(318)가 배치되고 설치되어 있다. 제2 축체(304)의 타측의 단부에는, 제1 축체(302)의 끼움 결합홀(306)에 끼워 넣는 지지축(320)이 형성되어 있다. 제2 축체(304)는, 지지축(320)이 끼움 결합홀(306)에 끼워 넣음으로써, 와셔(322)를 통하여 제1 축체(302)에 고정된다.At one end of the second shaft body 304, a first plate that is disposed and installed between the top plate portion 288 and the third ball adjoining plate 296 is provided to abut and contact one side of the third ball adjoining plate 296. 2 At the same time as the locking flange portion 314 is installed, a second installation hole 316 is formed. A second centering mechanism 318 for returning the table portion 220 to the reference position with respect to the second intermediate portion 216 is disposed and installed using the second installation hole 316. At the other end of the second shaft body 304, a support shaft 320 that fits into the fitting hole 306 of the first shaft body 302 is formed. The second shaft body 304 is fixed to the first shaft body 302 via a washer 322 by fitting the support shaft 320 into the fitting hole 306.

제1 잠금 플랜지부(308)는, 원통 형상 개구부(268)보다 큰 외경을 가지고 있으며, 제1 잠금 플랜지부(308)의 일측면이 피스톤(340)의 타측면에 대하여 대략 평행하게 되어 있다. 제2 잠금 플랜지부(314)는, 제3 볼 인접판(296)의 개구부(298)보다 큰 외경을 가지고 있으며, 제2 잠금 플랜지부(314)의 타측면이 제3 볼 인접판(296)의 일측면에 대해서 대략 평행하게 되어 있다.The first locking flange portion 308 has an outer diameter larger than that of the cylindrical opening 268, and one side surface of the first locking flange portion 308 is substantially parallel to the other side surface of the piston 340. The second locking flange portion 314 has an outer diameter larger than the opening 298 of the third ball adjacent plate 296, and the other side of the second locking flange portion 314 is the third ball adjacent plate 296 It is approximately parallel to one side of.

제1 센터링 기구(312)는, 센터링 플레이트(236)에 형성된 제1 센터링 오목부(238)를 구름 운동하는 제1 센터링 볼(324)과, 제1 센터링 볼(324)을 자유로이 회전 가능하게 지지하는 제1 볼 지지부(326)와, 제1 볼 지지부(326)를 베이스 플랜지(224) 측으로 밀어 붙이는 코일 스프링으로 이루어지는 제1 편향 부재(328)를 가지고 있다. 제1 센터링 볼(324)은, 제2 중간부(216)가 기준 위치로 복귀한 상태에서, 제1 센터링 오목부(238)의 중앙에 위치한다. 제1 편향 부재(328)는, 제1 설치홀(310)의 저면과 제1 볼 지지부(326) 사이에 설치되어 있다.The first centering mechanism 312 supports the first centering ball 324 and the first centering ball 324 for rolling the first centering concave portion 238 formed in the centering plate 236 so as to be freely rotatable. It has a 1st ball support part 326 to which it is made, and a 1st biasing member 328 which consists of a coil spring which pushes the 1st ball support part 326 toward the base flange 224 side. The first centering ball 324 is located at the center of the first centering concave portion 238 in a state in which the second intermediate portion 216 has returned to the reference position. The first biasing member 328 is provided between the bottom surface of the first installation hole 310 and the first ball support portion 326.

제2 센터링 기구(318)는, 탑 플레이트부(288)에 형성된 제2 센터링 오목부(300)를 구름 운동하는 제2 센터링 볼(330)과, 제2 센터링 볼(330)을 자유로이 회전 가능하게 지지하는 제2 볼 지지부(332)와, 제2 볼 지지부(332)를 탑 플레이트부(288) 측으로 밀어 붙이는 코일 스프링으로 이루어지는 제2 편향 부재(334)를 가지고 있다. 제2 센터링 볼(330)은, 테이블부(220)가 제2 중간부(216)에 대해서 기준 위치로 복귀한 상태에서, 제2 센터링 오목부(300)의 중앙에 위치한다. 제2 편향 부재(334)는, 제2 설치홀(316)의 저면과 제2 볼 지지부(332) 사이에 설치되어 있다.The second centering mechanism 318 can freely rotate the second centering ball 330 and the second centering ball 330 for rolling the second centering concave portion 300 formed in the top plate portion 288. It has a 2nd ball support part 332 to support, and a 2nd biasing member 334 which consists of a coil spring which pushes the 2nd ball support part 332 toward the top plate part 288 side. The second centering ball 330 is located at the center of the second centering concave portion 300 in a state in which the table portion 220 has returned to the reference position with respect to the second intermediate portion 216. The second biasing member 334 is provided between the bottom surface of the second installation hole 316 and the second ball support portion 332.

제1 리테이너(272)와 제1 축체(302)와의 사이에는 제1 탄성 부재(336)가 설치되어 있다. 구체적으로는, 제1 리테이너(272)의 내주면에 형성된 링 형상 홈과 제1 축체(302)의 외주면에 형성된 링 형상 홈에 나선 스프링으로 이루어지는 제1 탄성 부재(336)가 장착되어 있다. 이때문에, 제1 중간부(214)가 360도 어느 방향으로 슬라이딩해도 제1 중간부(214)를 효율적으로 소정의 기준 위치로 복귀시킬 수가 있다. 제2 리테이너(286)와 제2 축체(304) 사이에도 같은 형태로 제2 탄성 부재(338)가 설치되며, 제3 중간부(218)가 360도 어느 방향으로 슬라이딩해도 제3 중간부(218)를 효율적으로 소정의 기준 위치로 복귀시킬 수가 있다.A first elastic member 336 is provided between the first retainer 272 and the first shaft 302. Specifically, a first elastic member 336 made of a helical spring is attached to a ring-shaped groove formed on the inner circumferential surface of the first retainer 272 and a ring-shaped groove formed on the outer circumferential surface of the first shaft body 302. For this reason, even if the first intermediate part 214 slides in any direction by 360 degrees, the first intermediate part 214 can be efficiently returned to a predetermined reference position. A second elastic member 338 is installed in the same shape between the second retainer 286 and the second shaft 304, and no matter which direction the third intermediate part 218 slides in any direction, the third intermediate part 218 ) Can be efficiently returned to a predetermined reference position.

본 실시 형태에 따른 워크피스 위치 결정 장치(10D)는, 이상과 같이 구성되는 것이며, 이하, 그 작용 및 효과에 대해 설명한다.The workpiece positioning device 10D according to the present embodiment is configured as described above, and the operation and effect thereof will be described below.

우선, 초기 상태에 있어서, 워크피스 위치 결정 장치(10D)는, 테이블부(220)를 잠금 해제 상태로 해 둔다. 즉, 제1 포트(258)을 대기 개방한 상태로, 제2 포트(260)에 압축 유체를 공급하는 것으로써, 피스톤(340)을 제1 축체(302)의 제1 잠금 플랜지부(308)로부터 이격시킨다. 이때문에, 제1 잠금 플랜지부(308)는, 피스톤(340) 및 베이스 플랜지(224)의 어느 쪽에도 마찰에 의한 구속력을 받지 않고, 제2 축체(304)의 제2 잠금 플랜지부(314)도, 제3 볼 인접판(296) 및 탑 플레이트부(288)의 어느쪽에도 마찰에 의한 구속력을 받지 않는다.First, in the initial state, the work piece positioning device 10D puts the table portion 220 into the unlocked state. That is, by supplying compressed fluid to the second port 260 with the first port 258 open to the atmosphere, the piston 340 is connected to the first locking flange portion 308 of the first shaft body 302. Away from For this reason, the first locking flange portion 308 does not receive a binding force due to friction on either of the piston 340 and the base flange 224, and the second locking flange portion 314 of the second shaft body 304 In addition, neither of the third ball adjacent plate 296 and the top plate portion 288 is subjected to a binding force due to friction.

이 초기 상태에 있어서, 제1 축체(302)는, 제1 센터링 기구(312)의 작용에 의해, 제1 센터링 오목부(238)의 중앙에 위치하고, 제2 축체(304)는, 제2 센터링 기구(318)의 작용에 의해, 제2 센터링 오목부(300)의 중앙에 위치한다. 따라서, 베이스부(212), 누름부(222) 및 테이블부(220)는, 도 17과 같이, 중심이 일치하는 상태에 있어, 제2 축체(304)가 대략 틈새 없게 삽입 관통된 제2 볼 인접판(278)을 구비한 제2 중간부(216)도, 베이스부(212) 및 테이블부(220)로 중심이 일치하는 상태에 있기 때문에, 도 16 및 도 17과 같이, 테이블부(220)와 제2 중간부(216)는 베이스부(212)의 정확히 중앙에 위치하며, 커버부(290)의 외주면과 커버통(274)의 외주면은 대략 같은 면이 되어 있다.In this initial state, the first shaft body 302 is located at the center of the first centering recess 238 by the action of the first centering mechanism 312, and the second shaft body 304 is a second centering By the action of the mechanism 318, it is located in the center of the second centering recess 300. Therefore, the base portion 212, the pressing portion 222, and the table portion 220, as shown in FIG. 17, in a state in which the centers coincide, the second ball through which the second shaft body 304 is inserted substantially without a gap Since the second intermediate portion 216 provided with the adjacent plate 278 is also in a state in which the center of the base portion 212 and the table portion 220 coincide, as shown in FIGS. 16 and 17, the table portion 220 ) And the second intermediate part 216 are positioned exactly at the center of the base part 212, and the outer circumferential surface of the cover part 290 and the outer circumferential surface of the cover tube 274 are substantially the same.

또한, 도 17과 같이, 제1 리테이너(272)는, 제1 탄성 부재(336)의 작용에 의해, 제1 축체(302)와 대략 같은 중심의 위치에 있으며, 제2 리테이너(286)는, 제2 탄성 부재(338)의 작용에 의해, 제2 축체(304)와 대략 같은 중심의 위치에 있다.In addition, as shown in FIG. 17, the first retainer 272 is at a position at approximately the same center as the first shaft body 302 by the action of the first elastic member 336, and the second retainer 286, By the action of the second elastic member 338, the second shaft body 304 is positioned at the same center as that of the second shaft body 304.

워크피스가 탑 플레이트부(288)에 놓여서 배치된 후, 도시하지 않은 에어 실린더에 의해 워크피스를 소정 방향으로 누르는 것에 의해, 워크피스의 위치 결정이 된다.After the work piece is placed on the top plate portion 288 and disposed, the work piece is positioned in a predetermined direction by pressing the work piece in a predetermined direction by an air cylinder (not shown).

이때, 제1 중간부(214)는, 복수의 제1 볼(270)이 제1 볼 인접판(228)의 일측면을 구름 운동하는 것으로써, 제1 리테이너(272)가 제1 탄성 부재(336)를 압축시키면서 슬라이딩한다. 베이스부(212)에 대한 제1 중간부(214)의 슬라이딩은, 제1 리테이너(272)의 외주가 잠금 실린더(226)의 외통부(242)의 내주면에 맞닿아 접하는 것으로써 규제된다.At this time, the first intermediate portion 214 is a plurality of first balls 270 rolling on one side of the first ball adjacent plate 228, the first retainer 272 is a first elastic member ( Sliding while compressing 336). Sliding of the first intermediate portion 214 with respect to the base portion 212 is regulated by the fact that the outer periphery of the first retainer 272 abuts against the inner periphery of the outer cylindrical portion 242 of the lock cylinder 226 and comes into contact with it.

또한, 제2 중간부(216)는, 제2 볼 인접판(278)이 복수의 제1 볼(270)을 구름 운동시키면서, 누름부(222)와 일체가 되어, 제1 볼 인접판(228)과 평행하게 슬라이딩한다. 제1 중간부(214)에 대한 제2 중간부(216)의 슬라이딩은, 커버통(274)의 제2 볼 인접판(278)의 타측면으로부터 돌출하는 부위가 제1 리테이너(272)의 외주에 맞닿아 접하는 것으로써 규제된다.Further, the second intermediate portion 216 is integrated with the pressing portion 222 while the second ball adjacent plate 278 rolls the plurality of first balls 270, and the first ball adjacent plate 228 ) And slide in parallel. In the sliding of the second intermediate portion 216 with respect to the first intermediate portion 214, a portion protruding from the other side of the second ball adjacent plate 278 of the cover cylinder 274 is the outer periphery of the first retainer 272 It is regulated by touching and touching.

또한, 제3 중간부(218)은, 복수의 제2 볼(284)이 제2 볼 인접판(278)의 일측면을 구름 운동하는 것으로써, 제2 리테이너(286)가 제2 탄성 부재(338)를 압축시키면서 슬라이딩한다. 제2 중간부(216)에 대한 제3 중간부(218)의 슬라이딩은, 제2 리테이너(286)의 외주가 커버통(274)의 제2 볼 인접판(278)의 일측면으로부터 돌출하는 부위에 맞닿아 접하는 것으로써 규제된다.In addition, in the third intermediate portion 218, the plurality of second balls 284 roll on one side of the second ball adjacent plate 278, so that the second retainer 286 is a second elastic member ( Sliding while compressing (338). The sliding of the third intermediate portion 218 with respect to the second intermediate portion 216 is a portion where the outer periphery of the second retainer 286 protrudes from one side of the second ball adjacent plate 278 of the cover cylinder 274 It is regulated by touching and touching.

또한, 테이블부(220)는, 제3 볼 인접판(296)이 복수의 제2 볼(284)을 구름 운동시키면서, 제2 볼 인접판(278)과 평행하게 슬라이딩한다. 제3 중간부(218)에 대한 테이블부(220)의 슬라이딩은, 제3 볼 인접판(296)의 일측면으로부터 돌출하는 커버부(290)의 부위가 제2 리테이너(286)의 외주에 맞닿아 접하는 것으로써 규제된다.Further, the table portion 220 slides in parallel with the second ball adjacent plate 278 while the third ball adjacent plate 296 rolls the plurality of second balls 284. Sliding of the table portion 220 with respect to the third intermediate portion 218 is performed so that the portion of the cover portion 290 protruding from one side of the third ball adjacent plate 296 fits the outer circumference of the second retainer 286. It is regulated by touching and touching.

따라서, 베이스부(212)에 대한 제1 중간부(214)의 슬라이딩량, 제1 중간부(214)에 대한 제2 중간부(216)의 슬라이딩량, 제2 중간부(216)에 대한 제3 중간부(218)의 슬라이딩량 및 제3 중간부(218)에 대한 테이블부(220)의 슬라이딩량의 합계가, 베이스부(212)에 대한 테이블부(220)의 변위량이 된다. 본 실시 형태에서는, 이러한 4개의 슬라이딩량은 대략 동일하게 되어 있다.Therefore, the sliding amount of the first intermediate portion 214 with respect to the base portion 212, the sliding amount of the second intermediate portion 216 with respect to the first intermediate portion 214, and the second intermediate portion 216 3 The sum of the sliding amount of the intermediate part 218 and the sliding amount of the table part 220 with respect to the third intermediate part 218 becomes the amount of displacement of the table part 220 with respect to the base part 212. In this embodiment, these four sliding amounts are made substantially the same.

그리고, 제1 리테이너(272)의 외주가 잠금 실린더(226)의 외통부(242)의 내주면에 맞닿아 접하고, 커버통(274)의 제2 볼 인접판(278)의 타측면으로부터 돌출하는 부위가 제1 리테이너(272)의 외주에 맞닿아 접할 때, 제1 축체(302)의 외주면이 원통 형상 개구부(268)에 맞닿아 접하게 되어 있다.In addition, the outer circumference of the first retainer 272 abuts against the inner circumferential surface of the outer cylinder 242 of the lock cylinder 226 and protrudes from the other side of the second ball adjacent plate 278 of the cover cylinder 274 When abutting against the outer circumference of the first retainer 272, the outer circumferential surface of the first shaft 302 abuts against the cylindrical opening 268 and comes into contact with it.

워크피스의 위치 결정이 완료되면, 제2 포트(260)를 대기 개방한 상태에서, 제1 포트(258)에 압축 유체를 공급한다. 그러면, 피스톤(340)이 제1 축체(302)의 제1 잠금 플랜지부(308)를 베이스 플랜지(224)의 원형 오목부(232)의 저면으로 향해 밀어 누름과 동시에, 제1 축체(302)에 고정된 제2 축체(304)도 베이스 플랜지(224) 측으로 이동하며, 제2 축체(304)의 제2 잠금 플랜지부(314)가 테이블부(220)의 제3 볼 인접판(296)을 향하여 밀어 눌려진다. 이 때문에, 테이블부(220)는, 제3 볼 인접판(296)과 제2 잠금 플랜지부(314)의 마찰 결합, 및, 제1 잠금 플랜지부(308)와 피스톤(340) 또는 베이스 플랜지(224)와의 마찰 결합을 통하여, 베이스부(212)에 고정되게 되어, 위치 결정된 워크피스의 고정이 이루어진다.When the positioning of the work piece is completed, the compressed fluid is supplied to the first port 258 while the second port 260 is opened to the atmosphere. Then, the piston 340 pushes the first locking flange portion 308 of the first shaft body 302 toward the bottom surface of the circular concave portion 232 of the base flange 224, and at the same time, the first shaft body 302 The second shaft body 304 fixed to the base flange 224 also moves toward the base flange 224, and the second locking flange portion 314 of the second shaft body 304 holds the third ball adjacent plate 296 of the table portion 220. It is pushed toward and pressed. For this reason, the table part 220 frictionally engages the 3rd ball abutment plate 296 and the 2nd locking flange part 314, and the 1st locking flange part 308 and the piston 340, or the base flange ( Through frictional engagement with 224, it is fixed to the base portion 212, thereby fixing the positioned workpiece.

본 실시 형태에 의하면, 제2 중간부(216)와 일체적으로 슬라이딩하는 누름부(222)의 가동 공간은, 원통 형상 개구부(268)의 내측을 포함한 베이스부(212)의 내부에 형성됨과 동시에, 제2 중간부(216)에 대한 테이블부(220)의 가동 공간은 테이블부(220)의 내부에 형성되므로, 베이스부(212)에 대한 테이블부(220)의 슬라이딩량을 크게 하면서, 슬라이딩 방향으로 넓어지는 가동 공간을 작게 할 수가 있으며, 워크피스 위치 결정 장치의 더욱 더 소형화를 꾀할 수가 있다.According to this embodiment, the movable space of the pressing portion 222 integrally sliding with the second intermediate portion 216 is formed inside the base portion 212 including the inside of the cylindrical opening 268 , Since the movable space of the table part 220 with respect to the second intermediate part 216 is formed inside the table part 220, the sliding amount of the table part 220 with respect to the base part 212 is increased while sliding The movable space widening in the direction can be reduced, and the work piece positioning device can be further downsized.

또한, 베이스부(212)의 제1 볼 인접판(228)에 접촉하는 제1 볼(270)으로 제1 볼(270)을 구름 운동 가능하게 지지하는 제1 리테이너(272)를 가지는 제1 중간부(214)와, 테이블부(220)의 제3 볼 인접판(296)에 접촉하는 제2 볼(284)과 제2 볼(284)을 구름 운동 가능하게 지지하는 제2 리테이너(286)를 가지는 제3 중간부(218)와, 제1 볼(270) 및 제2 볼(284)에 접촉하는 제2 볼 인접판(278)을 가지는 제2 중간부(216)를 구비하므로, 제1 중간부(214), 제2 중간부(216) 및 제3 중간부(218)의 슬라이딩 동작을 원활히 실시할 수가 있다.In addition, a first intermediate having a first retainer 272 supporting the first ball 270 in a rolling motion with the first ball 270 in contact with the first ball adjacent plate 228 of the base portion 212 A second retainer 286 for supporting the part 214 and the second ball 284 and the second ball 284 in contact with the third ball adjoining plate 296 of the table part 220 to enable rolling motion. Since the branch has a third middle portion 218 and a second middle portion 216 having a second ball abutting plate 278 in contact with the first ball 270 and the second ball 284, the first middle The sliding operation of the part 214, the second intermediate part 216, and the third intermediate part 218 can be performed smoothly.

그리고, 제1 리테이너(272)의 외주면 및 제2 리테이너(286)의 외주면에 맞닿아 접할 수 있는 커버통(274)이 제2 볼 인접판(278)에 설치되며, 제1 볼 인접판(228)으로부터 돌출하여 제1 리테이너(272)의 외주면에 맞닿아 접할 수 있는 돌출부(외통부(242)의 일부)가 베이스부(212)에 설치되고, 커버부(290)는 제2 리테이너(286)의 외주면에 맞닿아 접할 수 있으므로, 베이스부(212)에 대한 제1 중간부(214)의 슬라이딩 동작, 제1 중간부(214)에 대한 제2 중간부(216)의 슬라이딩 동작, 제2 중간부(216)에 대한 제3 중간부(218)의 슬라이딩 동작 및 제3 중간부(218)에 대한 테이블부(220)의 슬라이딩 동작을 각각 소정량으로 용이하게 규제할 수가 있다.In addition, a cover tube 274 that can abut and contact the outer circumferential surface of the first retainer 272 and the outer circumferential surface of the second retainer 286 is installed on the second ball adjoining plate 278, and the first ball adjoining plate 228 ), a protrusion (a part of the outer cylinder part 242) that can be brought into contact with the outer circumferential surface of the first retainer 272 is installed on the base part 212, and the cover part 290 is formed of the second retainer 286. Since it can be in contact with the outer circumferential surface, the sliding operation of the first intermediate portion 214 with respect to the base portion 212, the sliding operation of the second intermediate portion 216 with respect to the first intermediate portion 214, and the second intermediate portion The sliding operation of the third intermediate portion 218 with respect to 216 and the sliding operation of the table portion 220 with respect to the third intermediate portion 218 can be easily regulated to a predetermined amount, respectively.

그리고 또한, 제1 축체(302)를 베이스부(212)에 잠그는 제1 잠금 플랜지부(308)가 제1 축체(302)에 설치되어 있으므로, 테이블부(220)가, 제2 잠금 플랜지부(314)(판 형상부)에 있어서의 마찰 결합 및 제1 잠금 플랜지부(308)에 있어서의 마찰 결합에 의해, 베이스부(212)에 직접적으로 잠겨진다.In addition, since the first locking flange portion 308 for locking the first shaft body 302 to the base portion 212 is provided on the first shaft body 302, the table portion 220 is provided with the second locking flange portion ( The base portion 212 is directly locked by the friction engagement in 314) (plate-shaped portion) and the friction engagement in the first locking flange portion 308.

그리고, 제2 축체(304)는 제2 볼 인접판(278)에 대략 간격 없이 삽입 관통되며, 제1 축체(302)를 베이스부(212)에 대해서 기준 위치로 복귀시키는 제2 센터링 기구(318)을 갖추고 있으므로, 누름부(222) 및 제2 중간부(216)를 기준 위치에 높은 정밀도로 복귀시킬 수가 있다.In addition, the second shaft body 304 is inserted through the second ball adjacent plate 278 without a gap, and a second centering mechanism 318 for returning the first shaft body 302 to a reference position with respect to the base portion 212 ), it is possible to return the pressing portion 222 and the second intermediate portion 216 to the reference position with high precision.

(제5 실시 형태)(Fifth embodiment)

다음으로, 본 발명의 제5 실시 형태에 따른 워크피스 위치 결정 장치(10E)에 대해, 도 22 및 도 23을 참조하면서 설명한다. 그리고, 본 실시 형태에 따른 워크피스 위치 결정 장치(10E)에 대해, 상술한 워크피스 위치 결정 장치(10D)와 동일 또는 같은 기능 및 효과를 보이는 구성요소에는 동일한 참조 부호를 붙여서, 상세한 설명을 생략한다.Next, a work piece positioning device 10E according to a fifth embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 22 and 23. In addition, for the workpiece positioning device 10E according to the present embodiment, components exhibiting the same or the same functions and effects as the above-described workpiece positioning device 10D are denoted by the same reference numerals, and detailed descriptions are omitted. do.

흡인 포트를 포함한 베이스 플랜지(224)의 개구부(241)에는, 피스톤(340)에 맞닿아 접하는 슬라이더(342)가 슬라이딩 가능하게 설치되어 있다. 슬라이더(342)에 형성된 오목부의 저면과 베이스 플랜지(224) 사이에 복수의 압축 스프링(344)이 배치되고 설치되어 슬라이더(342)를 피스톤(340)을 향해 밀어 붙인다.In the opening 241 of the base flange 224 including the suction port, a slider 342 in contact with the piston 340 is slidably provided. A plurality of compression springs 344 are disposed and installed between the bottom surface of the concave portion formed in the slider 342 and the base flange 224 to push the slider 342 toward the piston 340.

제1 리테이너(272)는, 커버통(274)의 내주면과 대향하는 영역에 있어, 외측으로 돌출하는 수평 플랜지부(273)를 구비한다. 커버통(274)은, 내측으로 돌출하는 수평 플랜지부(275)를 구비하며, 제2 볼 인접판(278)은, 커버통(274)의 내주면에 설치된 멈춤 링(282)과 수평 플랜지부(275) 사이에 밀착 지지되고, 커버통(274)에 고정된다. 제2 볼 인접판(278)은, 슬리브(213)를 통하여 제2 축체(304)에 설치된다. 제2 리테이너(286)는, 커버부(290)의 내주면과 대향하는 영역에 있어서, 외측으로 돌출하는 수평 플랜지부(287)를 구비한다.The first retainer 272 includes a horizontal flange portion 273 protruding outward in a region facing the inner circumferential surface of the cover cylinder 274. The cover cylinder 274 includes a horizontal flange portion 275 protruding inward, and the second ball abutment plate 278 includes a stop ring 282 and a horizontal flange portion ( It is supported in close contact between the 275, and is fixed to the cover tube 274. The second ball adjoining plate 278 is attached to the second shaft body 304 via the sleeve 213. The second retainer 286 includes a horizontal flange portion 287 protruding outward in a region facing the inner circumferential surface of the cover portion 290.

베이스부(212)와 제1 리테이너(272) 사이에는, 제1 볼 인접판(228)과 평행하게 슬라이딩 가능한 링 형상의 제1 L형 커버(215)가 설치된다. 제1 L형 커버(215)는, 수직 원통부(345)와 수평 플랜지부(346)으로 이루어지고, 수직 원통부(345)의 내주면은, 제1 리테이너(272)의 수평 플랜지부(273)가 형성되어 있지 않은 부위의 외주면과 대향하며, 수직 원통부(345)의 외주면은, 제1 볼 인접판(228)의 일측면으로부터 돌출하는 잠금 실린더(226)의 외통부(242) 내주면과 대향한다. 제1 L형 커버(215)의 수평 플랜지부(346)는, 외통부(242) 위에 놓여 배치되고, 제1 리테이너(272)의 수평 플랜지부(273) 및 커버통(274)의 가장자리와는 얼마 안되는 간격을 가진다.Between the base portion 212 and the first retainer 272, a first L-shaped cover 215 in a ring shape capable of sliding parallel to the first ball adjacent plate 228 is provided. The first L-shaped cover 215 is composed of a vertical cylindrical portion 345 and a horizontal flange portion 346, and the inner circumferential surface of the vertical cylindrical portion 345 is a horizontal flange portion 273 of the first retainer 272 It faces the outer circumferential surface of the portion where is not formed, and the outer circumferential surface of the vertical cylindrical portion 345 faces the inner circumferential surface of the outer cylindrical portion 242 of the locking cylinder 226 protruding from one side of the first ball adjacent plate 228 . The horizontal flange portion 346 of the first L-shaped cover 215 is disposed on the outer cylinder portion 242, and is slightly different from the horizontal flange portion 273 of the first retainer 272 and the edge of the cover cylinder 274. There is no gap.

제2 중간부(216)와 제2 리테이너(286) 사이에는, 제2 볼 인접판(278)과 평행하게 슬라이딩 가능한 링 형상의 제2 L형 커버(217)가 설치된다. 제2 L형 커버(217)는, 수직 원통부(347)와 수평 플랜지부(348)로 이루어지며, 수직 원통부(347)의 내주면은, 제2 리테이너(286)의 수평 플랜지부(287)가 형성되어 있지 않은 부위의 외주면과 대향하고, 수직 원통부(347)의 외주면은, 커버통(274)의 수평 플랜지부(275)의 내주면과 대향한다. 제2 L형 커버(217)의 수평 플랜지부(348)는, 커버통(274)의 수평 플랜지부(275) 위에 놓여 배치되고, 제2 리테이너(286)의 수평 플랜지부(287) 및 커버부(290)의 가장자리와는 얼마 안되는 간격을 가진다.Between the second intermediate portion 216 and the second retainer 286, a second L-shaped cover 217 in a ring shape capable of sliding parallel to the second ball adjacent plate 278 is provided. The second L-shaped cover 217 is composed of a vertical cylindrical portion 347 and a horizontal flange portion 348, and the inner circumferential surface of the vertical cylindrical portion 347 is a horizontal flange portion 287 of the second retainer 286 The outer circumferential surface of the portion where is not formed is opposed, and the outer circumferential surface of the vertical cylindrical portion 347 faces the inner circumferential surface of the horizontal flange portion 275 of the cover cylinder 274. The horizontal flange portion 348 of the second L-shaped cover 217 is disposed on the horizontal flange portion 275 of the cover cylinder 274, and the horizontal flange portion 287 and the cover portion of the second retainer 286 It has a small gap from the edge of (290).

제1 센터링 기구(313)는, 제1 센터링 볼(324)과, 제1 센터링 볼(324)를 베이스 플랜지(224) 측으로 밀어 붙이는 제1 편향 부재(328)를 가진다. 센터링 플레이트(236)의 중앙에는, 중심을 향해 비교적 큰 각도로 경사하는 만곡면 또는 테이퍼 형상의 평면에 의해 구성되는 원 형상의 제1 센터링 오목부(239)가 형성되어 있다. 제1 센터링 볼(324)은, 제2 중간부(216)가 기준 위치로 복귀한 상태에서, 제1 센터링 오목부(239)의 정확히 중앙에 위치한다. 제1 편향 부재(328)는, 제1 설치홀(310)의 저면과 제1 센터링 볼(324) 사이에 설치된다.The first centering mechanism 313 has a first centering ball 324 and a first biasing member 328 that pushes the first centering ball 324 toward the base flange 224. In the center of the centering plate 236, a first centering concave portion 239 in a circular shape is formed by a curved surface or a tapered flat surface inclined toward the center at a relatively large angle. The first centering ball 324 is positioned exactly at the center of the first centering concave portion 239 in a state in which the second intermediate portion 216 has returned to the reference position. The first biasing member 328 is installed between the bottom surface of the first installation hole 310 and the first centering ball 324.

제2 센터링 기구(319)는, 제2 센터링 볼(330)과 제2 센터링 볼(330)을 탑 플레이트부(288)측으로 밀어 붙이는 제2 편향 부재(334)를 가진다. 탑 플레이트부(288)의 중앙에는, 중심을 향하여 비교적 큰 각도로 경사하는 만곡면 또는 테이퍼 형상의 평면에 의해 구성되는 원 형상의 제2 센터링 오목부(301)가 형성되어 있다. 제2 센터링 볼(330)은, 테이블부(220)가 제2 중간부(216)에 대해서 기준 위치로 복귀한 상태로, 제2 센터링 오목부(301)의 정확히 중앙에 위치한다. 제2 편향 부재(334)는, 제2 설치홀(316)의 저면과 제2 센터링 볼(330)과의 사이에 설치된다.The 2nd centering mechanism 319 has a 2nd biasing member 334 which pushes the 2nd centering ball 330 and the 2nd centering ball 330 toward the top plate part 288 side. In the center of the top plate portion 288, a second centering concave portion 301 of a circular shape formed by a curved surface or a tapered flat surface inclined toward the center at a relatively large angle is formed. The second centering ball 330 is positioned exactly at the center of the second centering concave portion 301 in a state in which the table portion 220 has returned to the reference position with respect to the second intermediate portion 216. The second biasing member 334 is installed between the bottom surface of the second installation hole 316 and the second centering ball 330.

잠금 실린더(226)와 제1 축체(302) 사이에는, 나선 스프링으로 이루어지는 제3 탄성 부재(219)가 장착되며, 테이블부(220)와 제2 잠금 플랜지부(314) 사이에는, 나선 스프링으로 이루어지는 제4 탄성 부재(221)가 장착된다. 이때문에, 제2 중간부(216) 및 테이블부(220)가 360도 어느 방향으로 슬라이딩해도, 제2 중간부(216) 및 테이블부(220)를 효율적으로 소정의 기준 위치로 복귀시킬 수가 있다.Between the locking cylinder 226 and the first shaft 302, a third elastic member 219 made of a helical spring is mounted, and between the table part 220 and the second locking flange 314, a helical spring is used. The formed fourth elastic member 221 is mounted. For this reason, even if the second intermediate portion 216 and the table portion 220 slide in any direction by 360 degrees, it is possible to efficiently return the second intermediate portion 216 and the table portion 220 to a predetermined reference position. have.

본 실시 형태에 따른 워크피스 위치 결정 장치(10E)에서는, 워크피스의 위치 결정이 될 때, 이하와 같이 동작한다.In the work piece positioning device 10E according to the present embodiment, when the work piece is positioned, it operates as follows.

제1 볼(270)이 제1 볼 인접판(228)의 면을 구름 운동함에 따라, 제1 중간부(214)가 슬라이딩한다. 이때, 제1 중간부(214)의 제1 리테이너(272)가 제1 L형 커버(215)의 수직 원통부(345)에 맞닿아 접하기 때문에, 제1 L형 커버(215)도 일체적으로 슬라이딩한다. 제1 중간부(214)와 누름부(222)가 상대 변위하면, 제1 탄성 부재(336)가 탄성 변형한다. 베이스부(212)에 대한 제1 중간부(214)의 슬라이딩은, 제1 리테이너(272)가 제1 L형 커버(215)의 수직 원통부(345)를 사이에 밀착 지지하여 잠금 실린더(226)의 외통부(242)에 맞닿아 접하는 것으로써 규제된다.As the first ball 270 rolls over the surface of the first ball adjacent plate 228, the first intermediate portion 214 slides. At this time, since the first retainer 272 of the first intermediate portion 214 abuts and contacts the vertical cylindrical portion 345 of the first L-shaped cover 215, the first L-shaped cover 215 is also integrated. To slide. When the first intermediate portion 214 and the pressing portion 222 are displaced relative to each other, the first elastic member 336 is elastically deformed. The sliding of the first intermediate portion 214 with respect to the base portion 212 is achieved by the first retainer 272 closely supporting the vertical cylindrical portion 345 of the first L-shaped cover 215 between the locking cylinder 226. It is regulated by being in contact with the outer cylinder part 242 of ).

제1 볼(270)이 제2 볼 인접판(278)의 면을 구름 운동함에 따라, 제2 중간부(216)는, 누름부(222)와 일체가 되어, 제1 볼 인접판(228)과 평행하게 슬라이딩한다. 이때, 제3 탄성 부재(219)가 탄성 변형한다. 제1 중간부(214)에 대한 제2 중간부(216)의 슬라이딩은, 커버통(274)이 제1 리테이너(272)의 수평 플랜지부(273)에 맞닿아 접하는 것으로써 규제된다.As the first ball 270 rolls over the surface of the second ball adjoining plate 278, the second intermediate part 216 is integrated with the pressing part 222, and the first ball adjoining plate 228 And slide parallel to. At this time, the third elastic member 219 is elastically deformed. The sliding of the second intermediate portion 216 with respect to the first intermediate portion 214 is regulated by the cover cylinder 274 abutting and abutting the horizontal flange portion 273 of the first retainer 272.

제2 볼(284)이 제2 볼 인접판(278)의 면을 구름 운동함에 따라, 제3 중간부(218)가 슬라이딩한다. 이때, 제2 리테이너(286)가 제2 L형 커버(217)의 수직 원통부(347)와 맞닿아 접하기 때문에, 제2 L형 커버(217)도 일체적으로 슬라이딩한다. 제3 중간부(218)와 누름부(222)가 상대 변위하면, 제2 탄성 부재(338)가 탄성 변형한다. 제2 중간부(216)에 대한 제3 중간부(218)의 슬라이딩은, 제2 리테이너(286)가 제2 L형 커버(217)의 수직 원통부(347)을 사이에 밀착 지지하여 커버통(274)의 수평 플랜지부(275)에 맞닿아 접하는 것으로써 규제된다.As the second ball 284 rolls over the surface of the second ball adjacent plate 278, the third intermediate portion 218 slides. At this time, since the second retainer 286 abuts and contacts the vertical cylindrical portion 347 of the second L-shaped cover 217, the second L-shaped cover 217 also slides integrally. When the third intermediate portion 218 and the pressing portion 222 are displaced relative to each other, the second elastic member 338 is elastically deformed. Sliding of the third intermediate portion 218 with respect to the second intermediate portion 216 is achieved by the second retainer 286 closely supporting the vertical cylindrical portion 347 of the second L-shaped cover 217 therebetween. It is regulated by being in contact with the horizontal flange portion 275 of 274.

제2 볼(284)이 제3 볼 인접판(296)의 면을 구름 운동함에 따라, 테이블부(220)가 제2 볼 인접판(278)과 평행하게 슬라이딩한다. 이때, 테이블부(220)로 누름부(222)가 상대 변위하면, 제4 탄성 부재(221)가 탄성 변형한다. 제3 중간부(218)에 대한 테이블부(220)의 슬라이딩은, 커버부(290)가 제2 리테이너(286)의 수평 플랜지부(287)에 맞닿아 접하는 것으로써 규제된다.As the second ball 284 rolls over the surface of the third ball adjoining plate 296, the table part 220 slides in parallel with the second ball adjoining plate 278. At this time, when the pressing portion 222 is relatively displaced by the table portion 220, the fourth elastic member 221 is elastically deformed. The sliding of the table portion 220 with respect to the third intermediate portion 218 is regulated by the cover portion 290 abutting and abutting the horizontal flange portion 287 of the second retainer 286.

제2 중간부(216)가 슬라이딩해도, 제1 L형 커버(215)가 존재하기 때문에, 제1 볼 인접판(228)의 표면이 노출되는 일은 없다. 또한, 테이블부(220)가 슬라이딩해도, 제2 L형 커버(217)가 존재하기 때문에, 제2 볼 인접판(278)의 표면이 노출되는 일은 없다. 따라서, 워크피스 위치 결정 장치(10E)의 내부에 먼지가 침입하는 것을 가급적으로 억제할 수가 있다.Even if the second intermediate portion 216 slides, since the first L-shaped cover 215 is present, the surface of the first ball adjacent plate 228 is not exposed. Moreover, even if the table part 220 slides, since the 2nd L-shaped cover 217 exists, the surface of the 2nd ball adjoining plate 278 is not exposed. Therefore, it is possible to suppress as much as possible dust from entering the inside of the workpiece positioning device 10E.

그리고, 제1 중간부(214) 및 제2 중간부(216)가 최대로 슬라이딩했을 때에도, 제1 잠금 플랜지부(308) 및 제1 축체(302)는, 베이스부(212)또는 피스톤(340)에 대해서, 슬라이딩 방향으로 맞닿아 접하지 않는다. 또한, 제1 중간부(214), 제2 중간부(216), 제3 중간부(218) 및 테이블부(220)가 각각 최대로 슬라이딩했을 때에도, 제2 잠금 플랜지부(314) 및 제2 축체(304)는, 테이블부(220)에 대해서, 슬라이딩 방향으로 맞닿아 접하지 않는다.In addition, even when the first intermediate portion 214 and the second intermediate portion 216 slide to the maximum, the first locking flange portion 308 and the first shaft body 302 are provided with the base portion 212 or the piston 340. ), they come into contact in the sliding direction and do not come into contact. In addition, even when the first intermediate portion 214, the second intermediate portion 216, the third intermediate portion 218, and the table portion 220 slide to the maximum, the second locking flange portion 314 and the second The shaft body 304 abuts against the table part 220 in the sliding direction and does not come into contact with it.

본 실시 형태에서는, 위치 결정된 테이블부(220)를 잠금 해제 상태로 되돌릴 때, 제2 중간부(216)는, 제3 탄성 부재(219)와 제1 센터링 기구(313)의 작용에 의해, 신속하고, 높은 정밀도로 초기 위치에 복귀한다. 또한, 테이블부(220)는, 제4 탄성 부재(221) 및 제2 센터링 기구(319)의 작용에 의해, 신속하고, 높은 정밀도로 초기 위치에 복귀한다.In the present embodiment, when returning the positioned table portion 220 to the unlocked state, the second intermediate portion 216 is quickly formed by the action of the third elastic member 219 and the first centering mechanism 313. And return to the initial position with high precision. Further, the table portion 220 returns to the initial position quickly and with high precision by the action of the fourth elastic member 221 and the second centering mechanism 319.

(제6 실시 형태)(6th embodiment)

다음으로, 본 발명의 제6 실시 형태에 따른 워크피스 위치 결정 장치(10F)에 대해, 도 24 및 도 25를 참조하면서 설명한다.Next, a work piece positioning device 10F according to a sixth embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 24 and 25.

워크피스 위치 결정 장치(10F)는, 베이스부(350)와, 베이스부(350)에 대해서 슬라이딩 가능하게 설치되는 중간부(352)와, 중간부(352)에 대해서 슬라이딩 가능하게 설치되는 테이블부(354)와, 테이블부(354)를 베이스부(350)에 대해서 잠그는 누름부(356)를 구비한다.The workpiece positioning device 10F includes a base portion 350, an intermediate portion 352 slidably installed with respect to the base portion 350, and a table portion slidably installed with respect to the intermediate portion 352 354 and a pressing portion 356 for locking the table portion 354 with respect to the base portion 350.

베이스부(350)는, 베이스 플랜지(358)와, 잠금 실린더(360)와, 원형 링 형상의 제1 볼 인접판(362)을 가진다.The base portion 350 includes a base flange 358, a locking cylinder 360, and a circular ring-shaped first ball abutment plate 362.

베이스 플랜지(358)의 일측면에는, 잠금 실린더(360)측을 향하여 돌출하는 원형 링 형상 돌출부(364)가 형성되고, 그 내측에 원형 오목부(366)가 형성되어 있다. 원형 오목부(366)의 중앙에는 센터링 플레이트(368)가 설치되고, 센터링 플레이트(368)의 중앙에는, 중심을 향해 비교적 큰 각도로 경사하는 만곡면 또는 테이퍼 형상의 평면에 의해 구성되는 원 형상의 제1 센터링 오목부(370)가 형성되어 있다. 베이스 플랜지(358)에는, 테이블부(354) 내의 먼지를 도시하지 않은 먼지 제거 장치로 유도하기 위한 흡인 포트가 형성되고, 흡인 포트를 포함한 베이스 플랜지(358)의 개구부(372)에는, 피스톤(374)에 맞닿아 접하는 슬라이더(376)가 슬라이딩 가능하게 설치되어 있다. 슬라이더(376)에 형성된 오목부의 저면과 베이스 플랜지(358) 사이에 복수의 압축 스프링(378)이 배치되고 설치되며, 슬라이더(376)를 피스톤(374)을 향해 밀어 누른다.On one side surface of the base flange 358, a circular ring-shaped protruding portion 364 protruding toward the locking cylinder 360 side is formed, and a circular concave portion 366 is formed therein. A centering plate 368 is installed in the center of the circular concave portion 366, and in the center of the centering plate 368, a circular shape constituted by a curved or tapered plane inclined at a relatively large angle toward the center. The first centering concave portion 370 is formed. In the base flange 358, a suction port for guiding the dust in the table portion 354 to a dust removal device (not shown) is formed, and in the opening 372 of the base flange 358 including the suction port, a piston 374 A slider 376 in contact with) is provided to be slidable. A plurality of compression springs 378 are disposed and installed between the base flange 358 and the bottom surface of the concave portion formed in the slider 376, and the slider 376 is pushed toward the piston 374.

잠금 실린더(360)는, 원통형의 외통부(380)와, 외통부(380)의 축방향 단부로부터 직경 방향 내측 방향으로 돌출하는 원판 형상부(382)와, 원판 형상부(382)의 내경측 단부로부터 축방향 하부로 돌출하는 내통부(384)로 구성된다. 외통부(380)의 일측면에는, 중간부(352)를 향해 돌출하는 원형 링 형상 돌출부(386)가 형성되어 있다. 제1 볼 인접판(362)은, 중앙에 개구부를 가지며, 원형 링 형상 돌출부(386)의 내주면에 끼움 결합 고정되어 원판 형상부(382)의 일측면과 맞닿아 접한다. 잠금 실린더(360)에는, 외통부(380)의 내주면과 원판 형상부(382)의 일측면과 내통부(384)의 외주면에 의해, 베이스 플랜지(358)로 향하는 링 형상 오목부가 형성되어 있다.The locking cylinder 360 includes a cylindrical outer cylinder portion 380, a disk-shaped portion 382 protruding radially inward from an axial end of the outer cylinder portion 380, and an inner diameter side end of the disk-shaped portion 382. It is composed of an inner cylinder portion 384 protruding downward in the axial direction. A circular ring-shaped protrusion 386 protruding toward the intermediate portion 352 is formed on one side of the outer cylinder portion 380. The first ball abutment plate 362 has an opening in the center, is fitted and fixed to the inner circumferential surface of the circular ring-shaped protrusion 386 to come into contact with one side surface of the disk-shaped portion 382. In the locking cylinder 360, a ring-shaped concave portion directed to the base flange 358 is formed by an inner peripheral surface of the outer cylinder portion 380, one side surface of the disk-shaped portion 382, and an outer peripheral surface of the inner cylinder portion 384.

피스톤(374)은, 중앙에 개구부를 가지며, 외주면과 내주면에 각각 단차부가 형성되어 있다. 피스톤(374)이 잠금 실린더(360)의 링 형상 오목부 및 베이스 플랜지(358)의 원형 오목부(366)에 끼움 결합되어 배치되고 설치되는 한편, 베이스 플랜지(358)의 원형 링 형상 돌출부(364)가 잠금 실린더(360)의 외통부(380)의 내주면에 끼움 결합된다. 따라서, 피스톤(374)의 일측면과 잠금 실린더(360)의 링 형상 오목부로 구획하여 이루어지는 제1 압력 챔버(388)가 형성됨과 동시에, 피스톤(374)의 외주측 단차부와, 잠금 실린더(360)의 외통부(380)의 내주면과, 베이스 플랜지(358)의 원형 링 형상 돌출부(364)로 구획하여 이루어지는 제2 압력 챔버(390)가 형성된다.The piston 374 has an opening in the center, and a step portion is formed on the outer circumferential surface and the inner circumferential surface, respectively. While the piston 374 is fitted and disposed and installed in the ring-shaped concave portion of the locking cylinder 360 and the circular concave portion 366 of the base flange 358, the circular ring-shaped protrusion 364 of the base flange 358 ) Is fitted to the inner circumferential surface of the outer cylinder 380 of the locking cylinder 360. Accordingly, while the first pressure chamber 388 is formed by dividing one side of the piston 374 into a ring-shaped concave portion of the locking cylinder 360, the stepped portion on the outer circumferential side of the piston 374 and the locking cylinder 360 are formed. A second pressure chamber 390 is formed by partitioning the inner circumferential surface of the outer cylinder portion 380 of) and the circular ring-shaped protrusion 364 of the base flange 358.

잠금 실린더(360)의 링 형상 오목부와 접하는 피스톤(374)의 외주면과 내주면, 그리고, 베이스 플랜지(358)의 원형 오목부(366)와 접하는 피스톤(374)의 외주면에는, 각각 링 형상 홈이 형성되며, 패킹(392a, 392b, 392c)이 장착되어 있다. 베이스 플랜지(358)의 원형 링 형상 돌출부(364)에 인접하는 잠금 실린더(360)의 외통부(380) 단부에는, 단차홈이 형성되고, 패킹(392d)이 장착되어 있다.Ring-shaped grooves are formed on the outer circumferential surface and inner circumferential surface of the piston 374 in contact with the ring-shaped concave portion of the locking cylinder 360, and the outer circumferential surface of the piston 374 in contact with the circular concave portion 366 of the base flange 358, respectively. It is formed, and is equipped with packings 392a, 392b, and 392c. A stepped groove is formed at the end of the outer cylinder portion 380 of the locking cylinder 360 adjacent to the circular ring-shaped protrusion 364 of the base flange 358, and a packing 392d is attached.

중간부(352)는, 복수의 볼(394)과 각 볼(394)이 구름 운동 가능한 상태로 배치되고 설치되는 복수의 지지홀이 형성되는 것과 동시에 중앙에 관통홀을 갖춘 원판 형상의 리테이너(396)와, 리테이너(396)의 외주면에 끼움 결합 되는 L형 커버(398)를 가진다. L형 커버(398)는, 링 형상의 원판의 바깥 둘레에 베이스부(350)를 향해 돌출하는 통 형상부(400)가 형성되는 것이다. 리테이너(396)는, 각 볼(394)이 제1 볼 인접판(362)의 일측면에 접촉하도록 배치되고 설치되고, 따라서, 중간부(352)는, 제1 볼 인접판(362)에 대해서 슬라이딩 가능해진다.The intermediate portion 352 is a disk-shaped retainer 396 having a through hole in the center while forming a plurality of support holes in which a plurality of balls 394 and each ball 394 are disposed and installed in a rolling state. ), and an L-shaped cover 398 that is fitted to the outer circumferential surface of the retainer 396. In the L-shaped cover 398, a cylindrical portion 400 protruding toward the base portion 350 is formed around the outer circumference of the ring-shaped disk. The retainer 396 is disposed and installed so that each ball 394 is in contact with one side of the first ball adjoining plate 362, and thus, the intermediate part 352 is provided with respect to the first ball adjoining plate 362. It becomes slidable.

잠금 실린더(360)와 L형 커버(398) 사이에, 제1 볼 인접판(362)과 평행하게 슬라이딩 가능한 링 형상의 S형 커버(402)가 설치된다. S형 커버(402)는, 링 형상의 원판의 바깥 둘레에 베이스부(350)를 향해 돌출하는 제1 통 형상부(404)가 형성되는 것과 동시에, 내측 둘레 가장자리에 L형 커버(398)를 향해 돌출하는 제2 통 형상부(406)가 형성되는 것이다. S형 커버(402)는, 제1 통 형상부(404)의 내주에 대해 잠금 실린더(360)의 원형 링 형상 돌출부(386)의 외주에 맞닿아 접할 수 있게 되고, 또한, 제2 통 형상부(406)의 내주에 있어서 리테이너(396)의 외주에 맞닿아 접 가능하다.Between the locking cylinder 360 and the L-shaped cover 398, a ring-shaped S-shaped cover 402 that is slidable in parallel with the first ball adjacent plate 362 is provided. In the S-shaped cover 402, a first cylindrical portion 404 protruding toward the base portion 350 is formed on the outer circumference of the ring-shaped disk, and an L-shaped cover 398 is formed on the inner circumferential edge. The second cylindrical portion 406 protruding toward is formed. The S-shaped cover 402 can be brought into contact with the outer periphery of the circular ring-shaped protrusion 386 of the locking cylinder 360 with respect to the inner periphery of the first tubular portion 404, and further, the second tubular portion In the inner circumference of 406, it abuts against the outer circumference of the retainer 396 and can be contacted.

테이블부(354)는, 탑 플레이트부(408)와, 탑 플레이트부(408)의 가장자리로부터 중간부(352)를 향해 돌출하는 원통형의 커버부(410)와, 커버부(410)의 내주에 멈춤 링(412)에 의해 지지되는 링 형상의 제2 볼 인접판(414)을 가진다. 제2 볼 인접판(414)은 중앙에 개구부를 가지며, 제2 볼 인접판(414)의 일측면은, 탑 플레이트부(408)의 일측면과 틈새를 멀리해 대향해, 제2 볼 인접판(414)의 타측면은, 제1 볼 인접판(362)의 일측면과 대략 평행한 상태에서 각 볼(394)에 접촉한다. 따라서, 테이블부(354)는 제1 볼 인접판(362)과 평행하게 슬라이딩 가능하게 된다. 커버부(410)는, 제2 볼 인접판(414)의 외주 단부에 있어서, 제2 볼 인접판(414)의 타측면으로부터 중간부(352)를 향해 소정 거리만큼 돌출되어 있다. 탑 플레이트부(408)의 일측면에는 도시하지 않은 워크피스가 놓여서 배치된다. 탑 플레이트부(408)의 타측면의 대략 중앙에는, 중심을 향해 비교적 큰 각도로 경사하는 만곡면 또는 테이퍼 형상의 평면에 의해 구성되는 원 형상의 제2 센터링 오목부(416)가 형성되어 있다.The table portion 354 includes a top plate portion 408, a cylindrical cover portion 410 protruding from an edge of the top plate portion 408 toward the middle portion 352, and an inner periphery of the cover portion 410. It has a ring-shaped second ball abutment plate 414 supported by the stopping ring 412. The second ball adjoining plate 414 has an opening in the center, and one side of the second ball adjoining plate 414 faces one side of the top plate part 408 away from the gap, and the second ball adjoining plate The other side surface of 414 contacts each ball 394 in a state substantially parallel to one side surface of the first ball adjoining plate 362. Accordingly, the table portion 354 is slidable in parallel with the first ball adjacent plate 362. The cover part 410 protrudes from the other side surface of the second ball abutment plate 414 toward the middle part 352 by a predetermined distance at the outer peripheral end of the second ball abutment plate 414. A work piece (not shown) is placed and disposed on one side of the top plate portion 408. At substantially the center of the other side surface of the top plate portion 408, a second centering concave portion 416 of a circular shape formed by a curved surface or a tapered flat surface inclined toward the center at a relatively large angle is formed.

누름부(356)는, 피스톤(374)의 개구부와 제1 볼 인접판(362)의 개구부를 통하여 베이스부(350)의 내부에 배치되고 설치되는 제1 축체(418)와, 제2 볼 인접판(414)의 개구부를 통과하는 제2 축체(420)를 포함한다. 제1 축체(418)의 일측의 단부에는 끼움 결합홀(422)이 형성되고, 제1 축체(418)의 타측의 단부에는, 베이스 플랜지(358)의 원형 오목부(366)에 위치하여 피스톤(374)의 타측면에 맞닿아 접할 수 있는 제1 잠금 플랜지부(424)가 설치되는 것과 동시에, 제1 설치홀(426)이 형성된다. 제1 설치홀(426)을 이용해, 중간부(352)를 기준 위치로 복귀시키는 제1 센터링 기구(428)가 배치되고 설치된다. 제2 축체(420)의 일측의 단부에는, 탑 플레이트부(408)와 제2 볼 인접판(414) 사이에 배치되고 설치되어 제2 볼 인접판(414)의 일측면에 맞닿아 접할 수 있는 제2 잠금 플랜지부(430)가 설치됨과 동시에, 제2 설치홀(432)이 형성된다. 제2 설치홀(432)을 이용해, 테이블부(354)를 중간부(352)에 대해서 기준 위치로 복귀시키는 제2 센터링 기구(434)가 배치되고 설치된다. 제2 축체(420)의 타측의 단부에는 지지축(436)이 설치된다. 제2 축체(420)는 리테이너(396)의 관통홀에 간격없이 삽입 관통되고, 제2 축체(420)의 지지축(436)이 제1 축체(418)의 끼움 결합홀(422)에 끼워 넣어 고정된다.The pressing portion 356 is adjacent to the first shaft body 418 and the second ball disposed and installed in the base portion 350 through the opening of the piston 374 and the opening of the first ball adjacent plate 362 It includes a second shaft body 420 passing through the opening of the plate 414. A fitting hole 422 is formed at one end of the first shaft 418, and at the other end of the first shaft 418, the piston ( At the same time as the first locking flange portion 424 that can be in contact with the other side of the 374 is installed, a first installation hole 426 is formed. Using the first installation hole 426, a first centering mechanism 428 for returning the intermediate portion 352 to a reference position is disposed and installed. At an end of one side of the second shaft body 420, it is disposed and installed between the top plate portion 408 and the second ball adjoining plate 414, so as to be in contact with one side of the second ball adjoining plate 414. At the same time as the second locking flange portion 430 is installed, a second installation hole 432 is formed. Using the second installation hole 432, a second centering mechanism 434 for returning the table portion 354 to the reference position with respect to the intermediate portion 352 is disposed and installed. A support shaft 436 is installed at the other end of the second shaft body 420. The second shaft body 420 is inserted through the through hole of the retainer 396 without gap, and the support shaft 436 of the second shaft body 420 is inserted into the fitting hole 422 of the first shaft body 418. It is fixed.

제1 센터링 기구(428)는, 제1 센터링 볼(438)과, 제1 센터링 볼(438)을 베이스 플랜지(358)측으로 밀어 붙이는 제1 편향 부재(440)를 가진다. 제1 센터링 볼(438)은, 중간부(352)가 기준 위치로 복귀한 상태에서, 제1 센터링 오목부(370)의 정확히 중앙에 위치한다. 제2 센터링 기구(434)는, 제2 센터링 볼(442)과, 제2 센터링 볼(442)을 탑 플레이트부(408)측으로 밀어 붙이는 제2 편향 부재(444)를 가진다. 제2 센터링 볼(442)은, 테이블부(354)가 중간부(352)에 대하여 기준 위치로 복귀한 상태에서, 제2 센터링 오목부(416)의 정확히 중앙에 위치한다.The first centering mechanism 428 has a first centering ball 438 and a first biasing member 440 that pushes the first centering ball 438 toward the base flange 358. The first centering ball 438 is positioned exactly at the center of the first centering concave portion 370 with the intermediate portion 352 returned to the reference position. The 2nd centering mechanism 434 has a 2nd centering ball 442 and a 2nd biasing member 444 which pushes the 2nd centering ball 442 to the top plate part 408 side. The second centering ball 442 is positioned exactly at the center of the second centering concave portion 416 with the table portion 354 returned to the reference position with respect to the intermediate portion 352.

잠금 실린더(360)와 제1 축체(418) 사이에, 나선 스프링으로 이루어지는 제1 탄성 부재(446)가 장착되고, 테이블부(354)와 제2 잠금 플랜지부(430) 사이에, 나선 스프링으로 이루어지는 제2 탄성 부재(448)가 장착된다. 또한, S형 커버(402)와 L형 커버(398) 사이에 형성되는 링 형상 공간에, 나선 스프링으로 이루어지는 제3 탄성 부재(450)가 장착된다.Between the locking cylinder 360 and the first shaft body 418, a first elastic member 446 made of a spiral spring is mounted, and between the table portion 354 and the second locking flange portion 430, a spiral spring is used. The made second elastic member 448 is mounted. Further, in the ring-shaped space formed between the S-shaped cover 402 and the L-shaped cover 398, a third elastic member 450 made of a spiral spring is mounted.

본 실시 형태에 따른 워크피스 위치 결정 장치(10F)는, 이상과 같이 구성되는 것이며, 이하, 그 작용 및 효과에 대해 설명한다.The workpiece positioning device 10F according to the present embodiment is configured as described above, and the operation and effect thereof will be described below.

우선, 초기 상태에 있어서, 워크피스 위치 결정 장치(10F)는, 테이블부(354)를 잠금 해제 상태로 해 둔다. 즉, 제1 압력 챔버(388)를 대기 개방해, 제2 압력 챔버(390)에 압축 유체를 공급하면, 압축 스프링(378)의 작용에 의해 슬라이더(376)로부터 받는 밀어 누르는 힘과 함께 유체압이 작용하며, 피스톤(374)이 제1 잠금 플랜지부(424)로부터 확실히 이격된다.First, in the initial state, the work piece positioning device 10F puts the table portion 354 in the unlocked state. That is, when the first pressure chamber 388 is opened to the atmosphere and a compressed fluid is supplied to the second pressure chamber 390, the fluid pressure together with the pushing force received from the slider 376 by the action of the compression spring 378 This acts, and the piston 374 is surely spaced from the first locking flange portion 424.

이때, 제1 축체(418)는, 제1 탄성 부재(446) 및 제1 센터링 기구(428)의 작용에 의해, 제1 센터링 오목부(370)의 중앙에 위치하고, 제2 축체(420)는, 제2 탄성 부재(448) 및 제2 센터링 기구(434)의 작용에 의해, 제2 센터링 오목부(416)의 중앙에 위치한다. 따라서, 도 24와 같이, 테이블부(354)와 중간부(352)는 베이스부(350)의 정확히 중앙에 위치한다. 또한, S형 커버(402)는, 제3 탄성 부재(450)의 작용에 의해 L형 커버(398)와 같은 중심 위치를 지지하며, L형 커버(398), S형 커버(402) 및 잠금 실린더(360)의 각 외주면은 대략 같은 면이 되어 있다.At this time, the first shaft body 418 is located in the center of the first centering concave portion 370 by the action of the first elastic member 446 and the first centering mechanism 428, and the second shaft body 420 is , The second elastic member 448 and the second centering mechanism 434 are positioned at the center of the second centering recess 416 by the action of the second elastic member 448 and the second centering mechanism 434. Accordingly, as shown in FIG. 24, the table portion 354 and the intermediate portion 352 are positioned exactly at the center of the base portion 350. In addition, the S-shaped cover 402 supports the same central position as the L-shaped cover 398 by the action of the third elastic member 450, and the L-shaped cover 398, the S-shaped cover 402 and the locking Each outer circumferential surface of the cylinder 360 is substantially the same surface.

워크피스가 탑 플레이트부(408)에 놓여서 배치된 후, 도시하지 않은 에어 실린더에 의해 워크피스를 소정 방향으로 누르는 것에 의해, 워크피스의 위치 결정이 된다.After the work piece is placed on the top plate portion 408 and disposed, the work piece is positioned in a predetermined direction by pressing the work piece in a predetermined direction by an air cylinder (not shown).

이때, 각 볼(394)이 제1 볼 인접판(362)의 면을 구름 운동함에 따라, 중간부(352)가 누름부(356)와 함께 슬라이딩하고, 제1 탄성 부재(446)가 탄성 변형한다. 베이스부(350)에 대한 중간부(352)의 슬라이딩은, 리테이너(396)의 슬라이딩 방향 전진 단부가 S형 커버(402)의 제2 통 형상부(406)에 맞닿아 접하고, 그 반대 측에 있어서 S형 커버(402)의 제1 통 형상부(404)가 잠금 실린더(360)의 원형 링 형상 돌출부(386)에 맞닿아 접하는 것으로써 규제된다.At this time, as each ball 394 rolls over the surface of the first ball adjacent plate 362, the middle part 352 slides together with the pressing part 356, and the first elastic member 446 elastically deforms. do. In the sliding of the intermediate portion 352 with respect to the base portion 350, the sliding-direction forward end of the retainer 396 abuts against the second cylindrical portion 406 of the S-shaped cover 402 and is in contact with the opposite side. In this case, the first cylindrical portion 404 of the S-shaped cover 402 is regulated by abutting against the circular ring-shaped protruding portion 386 of the locking cylinder 360.

또한, 각 볼(394)이 제2 볼 인접판(414)의 면을 구름 운동함에 따라, 테이블부(354)가 제1 볼 인접판(362)과 평행하게 슬라이딩한다. 테이블부(354)와 누름부(356)가 상대 변위하면, 제2 탄성 부재(448)가 탄성 변형한다. 중간부(352)에 대한 테이블부(354)의 슬라이딩은, 커버부(410)가 리테이너(396)에 맞닿아 접하는 것으로써 규제된다.In addition, as each ball 394 rolls over the surface of the second ball adjacent plate 414, the table portion 354 slides in parallel with the first ball adjacent plate 362. When the table portion 354 and the pressing portion 356 are relatively displaced, the second elastic member 448 elastically deforms. Sliding of the table portion 354 with respect to the intermediate portion 352 is regulated by the cover portion 410 abutting against the retainer 396.

도 25와 같이, 중간부(352)와 테이블부(354)가 최대로 슬라이딩했을 때, 제3 탄성 부재(450)는 소정량 탄성 변형하고, L형 커버(398)는 S형 커버(402)에 대해서 슬라이딩 방향으로 편심한다. 테이블부(354)가 최대로 슬라이딩해도, L형 커버(398)와 S형 커버(402)가 존재하기 때문에, 제1 볼 인접판(362)의 표면이 노출하는 일은 없고, 워크피스 위치 결정 장치(10F)의 내부로 먼지가 침입하는 것을 가급적으로 억제할 수가 있다.As shown in FIG. 25, when the intermediate portion 352 and the table portion 354 slide to the maximum, the third elastic member 450 elastically deforms by a predetermined amount, and the L-shaped cover 398 is an S-shaped cover 402. Is eccentric in the sliding direction for. Even when the table portion 354 slides to the maximum, since the L-shaped cover 398 and the S-shaped cover 402 exist, the surface of the first ball adjacent plate 362 is not exposed, and the workpiece positioning device Ingress of dust into the interior of the (10F) can be suppressed as much as possible.

그리고, 본 실시 형태에서는, 중간부(352)가 최대로 슬라이딩했을 때에도, 제1 잠금 플랜지부(424) 및 제1 축체(418)는, 베이스부(350) 또는 피스톤(374)에 대해서, 슬라이딩 방향으로 맞닿아 접하지 않는다. 또한, 중간부(352) 및 테이블부(354)가 최대로 슬라이딩했을 때에도, 제2 잠금 플랜지부(430) 및 제2 축체(420)는, 테이블부(354)에 대해서, 슬라이딩 방향으로 맞닿아 접하지 않는다.And in this embodiment, even when the intermediate part 352 slides to the maximum, the 1st locking flange part 424 and the 1st shaft body 418 slide with respect to the base part 350 or the piston 374 They touch in the direction and do not touch. Further, even when the intermediate portion 352 and the table portion 354 slide to the maximum, the second locking flange portion 430 and the second shaft body 420 abut against the table portion 354 in the sliding direction. Do not touch.

워크피스의 위치 결정 완료 후에, 제2 압력 챔버(390)를 대기 개방하고, 제1 압력 챔버(388)에 압축 유체를 공급하면, 피스톤(374)이 제1 잠금 플랜지부(424)를 베이스 플랜지(358)를 향해 밀어 누르고, 제2 잠금 플랜지부(430)는 제2 볼 인접판(414)을 향해 밀어 눌려진다. 이 때문에, 테이블부(354)는, 제2 볼 인접판(414)과 제2 잠금 플랜지부(430)와의 마찰 결합, 및, 제1 잠금 플랜지부(424)와 피스톤(374) 또는 베이스 플랜지(358)와의 마찰 결합을 통하여, 베이스부(350)에 고정된다.After the positioning of the workpiece is completed, the second pressure chamber 390 is opened to the atmosphere, and when compressed fluid is supplied to the first pressure chamber 388, the piston 374 connects the first locking flange portion 424 to the base flange. Pushing toward 358, the second locking flange portion 430 is pushed toward the second ball adjacent plate 414. For this reason, the table portion 354 is frictionally engaged with the second ball adjacent plate 414 and the second locking flange portion 430, and the first locking flange portion 424 and the piston 374 or the base flange ( It is fixed to the base portion 350 through frictional engagement with the 358.

그 후, 워크피스가 탑 플레이트부(408)로부터 이송되고, 테이블부(354)를 잠금 해제 상태로 되돌리면, 중간부(352)는, 제1 탄성 부재(446)와 제1 센터링 기구(428)의 작용에 의하여, 신속하고, 높은 정밀도로 초기 위치로 복귀한다. 또한, 테이블부(354)는, 제2 탄성 부재(448)와 제2 센터링 기구(434)의 작용에 의해, 신속하고, 높은 정밀도로 초기 위치에 복귀한다.Thereafter, when the work piece is transferred from the top plate portion 408 and the table portion 354 is returned to the unlocked state, the intermediate portion 352 is formed with the first elastic member 446 and the first centering mechanism 428. ), it returns to the initial position quickly and with high precision. Further, the table portion 354 returns to the initial position quickly and with high precision by the action of the second elastic member 448 and the second centering mechanism 434.

본 발명에 따른 워크피스 위치 결정 장치는, 위에서 서술한 실시 형태에 한정되지 않으며, 본 발명의 요지를 일탈하는 일 없이, 다양한 구성을 채택하여 얻을 수 있음은 물론이다.
It goes without saying that the workpiece positioning apparatus according to the present invention is not limited to the above-described embodiment, and can be obtained by adopting various configurations without departing from the gist of the present invention.

Claims

In the workpiece positioning device for positioning and fixing the workpiece,
A base portion (12, 130, 170, 212, 350) having a flat surface,
An intermediate portion (14, 214, 216, 218, 352) slidably installed on the plane,
It is installed parallel to the plane and has plate-shaped portions 96, 296, 414 that slide with respect to the intermediate portions 14, 214, 216, 218, 352, and a table portion 16 on which the work piece is placed and disposed. 220, 354) and,
A shaft portion extending along a direction orthogonal to the plane,
In the state installed at one end of the shaft portion, it extends and protrudes outward in the radial direction of the shaft portion, and at the same time, the plate-shaped portion is in contact with a surface of one side of the plate-shaped portions 96, 296, 414, and the plate-shaped portion 14, Pressing portions 18, 222, 356 for locking the table portions 16, 220, 354 by the frictional force generated between the plate-shaped portion and the surface of one side by pushing and pressing toward the side of 214, 216, 218, 352, and ,
Pistons 52, 148, 340, 374 disposed and installed on the base parts 12, 130, 170, 212, 350 in a state in which the shaft part can be pushed and pressed in the axial direction,
A biasing means installed between the pressing portions 18, 222, 356 and the table portions 16, 220, 354 to return the table portions 16, 220, 354 to a reference position And,
The table portion (16, 220, 354), the table body (98, 288, 408) installed on one side of the pressing portion (18, 222, 356),
It is installed on the table body (98, 288, 408) and has a cylindrical cover portion (92, 290, 410) formed to extend outward in the radial direction of the middle portion (14, 214, 216, 218, 352),
Workpiece positioning, characterized in that the table body (98, 288, 408) and the cover portion (92, 290, 410) form a movable space in which the pressing portions (18, 222, 356) can be displaced relative to each other Device.

The method according to claim 1,
The intermediate portions (14, 352), balls (84, 394) in contact with the plane of the base portion (12, 130, 170, 350) and the other side of the plate-shaped portion (96, 414),
The workpiece positioning device, characterized in that it has a retainer (88, 396) having a support hole disposed and installed in a state in which the balls (84, 394) are rollable.

The method according to claim 1,
The piston 148 is installed to be displaceable with respect to the shaft portion along the axial direction of the shaft portion,
In the shaft portion, a first regulation portion 152 that regulates a displacement of the piston 148 to one side with respect to the shaft portion, and a displacement of the piston 148 with respect to the shaft portion to the other side. Workpiece positioning device, characterized in that the second regulating portion (62) is formed.

The method according to claim 1,
An elastic member (90, 336, 338) such as a spiral spring installed between the intermediate portion (14, 214, 218) and the shaft portion to return the intermediate portion (14, 214, 218) to a reference position. Workpiece positioning device, characterized in that it comprises.

The method according to claim 1,
The shaft portion is movable in a direction orthogonal to an axis, and the intermediate portions (216, 352) are integrally with the shaft portion and slidable parallel to the plane.

The method of claim 5,
A work characterized in that it has elastic members (219, 446) such as spiral springs installed between the base portions (212, 350) and the shaft portion to return the intermediate portions (216, 352) to a reference position Piece positioning device.

The method of claim 5,
And a centering mechanism (312, 313, 428) for returning the shaft portion to a reference position with respect to the base portion (212, 350).

The method of claim 5,
The intermediate portion 352 is disposed in a state in which the plane of the base portion 350 and the other side of the plate-shaped portion 414 are in contact with the ball 394 and the ball 394 can be rolled. It has a retainer 396 having a supporting hole to be installed, and an L-shaped cover 398 that is fitted to the outer circumference of the retainer 396,
A workpiece positioning apparatus, characterized in that an S-shaped cover (402) slidable in parallel with the plane is installed between the base portion (350) and the L-shaped cover (398).

The method of claim 8,
In the sliding of the intermediate portion 352 with respect to the base portion 350, the retainer 396 abuts and contacts the S-shaped cover 402, and the S-shaped cover 402 is the base portion 350 Workpiece positioning device, characterized in that regulated by coming into contact with the.

The method of claim 9,
It is installed between the L-shaped cover 398 and the S-shaped cover 402, characterized in that it comprises an elastic member 450 such as a spiral spring for returning the S-shaped cover 402 to a reference position. Workpiece positioning device.

The method according to any one of claims 1 to 10,
The biasing means is an elastic member (100, 221, 448) such as a spiral spring.

The method according to any one of claims 1 to 10,
The biasing means,
Centering balls (120, 330) for rolling the other side of the table body (98, 288),
Ball support portions 122 and 332 that support the centering balls 120 and 330 to be freely rotatable,
A deflection member (124, 334) is provided between the ball support (122, 332) and the pressing part (18, 222) to push the ball support (122, 332) toward the table body (98, 288). And
In the other side of the table body (98, 288), characterized in that the recesses (106, 300) for guiding the center of the table body (98, 288) to the centering ball (120, 330) is formed. Workpiece positioning device.

The method according to any one of claims 1 to 10,
And a detection means for detecting a locked state and an unlocked state of the table part 16 by the pressing part 18.

The method of claim 13,
In the base portion 130, a cylinder chamber in which the piston 148 is disposed and installed is formed,
The detection means includes a magnet 144 mounted on an outer circumferential surface of the piston 148,
And a position detection sensor (166, 168) that detects the position of the piston (148) in the axial direction based on the magnetic field of the magnet (144).

The method of claim 13,
The detection means includes a detection body 190 that is displaced together with the shaft portion,
Workpiece positioning apparatus, characterized in that it has a photo sensor (192) for detecting the position of the detection body (190).

The method of claim 15,
In the shaft portion, a protrusion 180 contacting the detection body 190 is formed,
The detection body 190 is supported by the base part 170 in a state extending in one direction crossing the axial direction of the shaft part,
In the extending direction of the detection body 190, the distance between the support point of the detection body 190 and the working point contacting the protrusion 180 is an irradiation point at which the light of the photo sensor 192 is irradiated. And a work piece positioning device, characterized in that less than the distance between the support point.

The method according to any one of claims 1 to 10,
Workpiece positioning, characterized in that the base portion (12, 130, 170, 212) is formed with suction ports (76, 240) for guiding the dust in the table portion (16, 220) to the dust removal device Device.

The method according to claim 1,
The middle part,
The first ball 270 in contact with the plane of the base portion 212 and the first ball 270 having a first retainer 272 formed with a support hole disposed and installed in a rolling state With the middle part 214,
The second ball 284 in contact with the other side of the plate-shaped portion 296 and a second retainer 286 having a support hole disposed and installed in a state in which the second ball 284 can be rolled. 3 the middle part 218,
And a second intermediate portion (216) having an adjacent plate (278) contacting the first ball (270) and the second ball (284).

The method of claim 18,
A cover tube 274 that can abut and contact the outer circumferential surface of the first retainer 272 and the outer circumferential surface of the second retainer 286 is formed on the adjacent plate 278,
A protrusion protruding from the plane and contacting the outer circumferential surface of the first retainer 272 is formed on the base portion 212,
The cover portion (290) is a workpiece positioning apparatus, characterized in that the contact with the outer circumferential surface of the second retainer (286).

The method of claim 18,
Between the base portion 212 and the first retainer 272, a first L-shaped cover 215 slidable in parallel with the plane is installed,
Workpiece positioning apparatus, characterized in that between the second intermediate portion 216 and the second retainer 286, the second L-shaped cover 217 slidable in parallel with the adjacent plate 278 is installed .

The method of claim 20,
Sliding of the first intermediate portion 214 with respect to the base portion 212 is achieved by the first retainer 272 closely supporting the first L-shaped cover 215 to the base portion 212. Regulated by touching and touching,
Sliding of the third intermediate portion 218 with respect to the second intermediate portion 216 is achieved by the second retainer 286 closely supporting the second L-shaped cover 217 between the second intermediate portion 216. A workpiece positioning device, characterized in that it is regulated by coming into contact with (216).

The method according to any one of claims 18 to 21,
The shaft portion is inserted through the adjacent plate 278 without a gap,
And a centering mechanism (312, 313) for returning the shaft portion to a reference position with respect to the base portion (212).