KR102173041B1 - 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
도 2는 도 1의 저항층 및 화소 전극을 개략적으로 도시한 평면도이다.
도 3은 도 1에 따른 유기 발광 표시 장치에 따른 일 화소의 화소 회로를 나타내는 회로도이다.
도 4a 내지 도 4f는 본 발명의 일 실시예에 다른 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 단계별로 도시한 단면도이다.
도 4a는 기판 상에 활성층이 형성된 이후의 상태를 도시한 단면도이다.
도 4b는 기판 상에 제1절연층 및 저항층을 형성된 이후의 상태를 도시한 단면도이다.
도 4c는 도 4b의 결과물 상에 제1화소 전극 및 제2화소 전극이 형성된 이후의 상태를 도시한 단면도이다.
도 4d는 도 4c의 결과물 상에 제2절연층이 형성된 이후의 상태를 도시한 단면도이다.
도 4e는 제1화소 전극이 패턴화된 이후의 상태를 도시한 단면도이다.
도 4f는 도 4e의 결과물 상에 소스 및 드레인 전극을 형성한 이후의 상태를 도시한 단면도이다.
도 4g는 도 4f의 결과물 상에 제3절연층을 형성한 이후의 상태를 도시한 단면도이다.
도 4h는 도 4f의 결과물 상에 발광층 및 대향 전극을 형성한 이후의 상태를 도시한 단면도이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치를 개략적으로 도시한 단면도이다.
117: 저항층 114: 제1화소 전극
115: 제2화소 전극 118: 발광층
119: 대향 전극 113: 제1금속층
213: 도핑된 실리콘층
Claims (20)
- 기판;
상기 기판 상에 배치된 제1절연층;
상기 제1절연층 상에 배치되며, 비정질 실리콘, 결정질 실리콘 또는 산화물 반도체를 포함하는 저항층;
상기 제1절연층 상에 배치되며, 상기 저항층과 다른 물질을 포함하고, 상기 저항층을 둘러싸는 제2절연층;
상기 저항층 상에 형성되며, 서로 이격된 복수의 패턴을 갖는 화소 전극;
상기 화소 전극 상에 형성된 발광층;
상기 발광층을 사이에 두고 상기 화소 전극에 대향 배치되는 대향 전극; 및
상기 저항층 및 상기 화소 전극의 이격된 복수의 패턴에 전기적으로 함께 연결된 구동 박막 트랜지스터;를 포함하는 유기 발광 표시 장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 화소 전극은 복수의 사각형 형태로 패턴화된 유기 발광 표시 장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 패턴화된 각각의 화소 전극 사이에 형성된 제3절연층;을 더 포함하는 유기 발광 표시 장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 저항층 하부에 형성된 제1금속층;을 더 포함하는 유기 발광 표시 장치. - 제 4 항에 있어서,
상기 제1금속층은 패턴화된 유기 발광 표시 장치. - 제 5 항에 있어서,
상기 제1금속층은 상기 패턴화된 화소 전극에 대응되게 패턴화된 유기 발광 표시 장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 저항층 하부에 형성된 도핑된 실리콘층;을 더 포함하는 유기 발광 표시 장치. - 제 7 항에 있어서,
상기 도핑된 실리콘층은 패턴화된 유기 발광 표시 장치. - 제 8 항에 있어서,
상기 도핑된 실리콘층은 상기 패턴화된 화소 전극에 대응되게 패턴화된 유기 발광 표시 장치. - 삭제
- 제 1 항에 있어서,
상기 기판과 상기 저항층 사이에 형성되는 버퍼층;을 더 포함하는 유기 발광 표시 장치. - (a) 기판 상에 활성층을 형성하는 단계;
(b) 상기 활성층 상에 제1절연층을 형성하는 단계;
(c) 상기 제1절연층 상에 비정질 실리콘, 결정질 실리콘 또는 산화물 반도체를 포함하는 저항층을 패터닝하는 단계;
(d) 상기 (c) 단계의 결과물 상에 도전물 및 금속을 차례로 적층하고, 상기 도전물 및 금속을 패터닝하여, 상기 패터닝된 저항층 상에 화소 전극을 형성하고, 상기 제1절연층 상에 박막 트랜지스터의 게이트 전극을 동시에 형성하는 단계;
(e) 상기 (d) 단계의 결과물 상에 제2절연층을 형성하고, 상기 제2절연층을 패터닝하여 상기 화소 전극 및 상기 활성층의 소스 및 드레인 영역을 노출시키는 개구를 형성하는 단계;
(f) 상기 화소 전극을 서로 이격된 복수의 패턴을 갖도록 패턴화시키는 단계; 및
(g) 상기 (f) 단계의 결과물 상에 제2금속층을 형성하고, 상기 제2금속층을 패터닝하여 상기 소스 및 드레인 영역과 접속하는 소스 및 드레인 전극을 형성하는 단계;를 포함하고,
상기 저항층 및 상기 화소 전극의 이격된 복수의 패턴에 전기적으로 함께 연결된 구동 박막 트랜지스터를 형성하고,
상기 제2절연층은 상기 저항층과 다른 물질을 포함하고, 상기 제2절연층이 상기 저항층을 둘러싸도록 형성하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법. - 제 12 항에 있어서,
상기 (g) 단계의 결과물 상에 제3절연층을 형성하고, 상기 제3절연층이 상기 화소 전극을 개구시키는 단계;를 더 포함하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법. - 제 13 항에 있어서,
상기 제3절연층이 형성한 상기 개구 내에 발광층을 형성하고, 상기 발광층을 덮는 대향 전극을 형성하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법. - 제 12 항에 있어서,
상기 제1절연층 상에 제1금속층을 형성하는 단계;를 더 포함하고,
상기 저항층은 상기 제1금속층 상에 형성되는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법. - 제 15 항에 있어서,
상기 제1금속층은 패턴화되어 형성되는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법. - 제 12 항에 있어서,
상기 제1절연층 상에 도핑된 실리콘층을 형성하는 단계;를 더 포함하고,
상기 저항층은 상기 도핑된 실리콘층 상에 형성되는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법. - 제 17 항에 있어서,
상기 도핑된 실리콘층은 패턴화되어 형성되는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법. - 삭제
- 제 12 항에 있어서,
상기 기판 상에 버퍼층을 형성하는 단계;를 더 포함하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법.
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