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KR102172665B1 - 기판의 비접촉식 수직 처리시스템의 지그 이송장치 - Google Patents

기판의 비접촉식 수직 처리시스템의 지그 이송장치 Download PDF

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KR102172665B1
KR102172665B1 KR1020190032923A KR20190032923A KR102172665B1 KR 102172665 B1 KR102172665 B1 KR 102172665B1 KR 1020190032923 A KR1020190032923 A KR 1020190032923A KR 20190032923 A KR20190032923 A KR 20190032923A KR 102172665 B1 KR102172665 B1 KR 102172665B1
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along
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박용순
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주식회사 티케이씨
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Abstract

본 발명은 인쇄회로기판 등의 기판을 액자형 지그로써 파지한 상태에서 수직이동시키면서 표면처리작업을 수행하는 시스템에 있어서 상기 지그를 이송시키기 위한 기판의 비접촉식 수직 현상상스템의 지그 이송장치에 관한 것이다. 구 구성은; 지그의 저면을 지지한 상태에서 회전 구동하는 구동롤러; 상기 구동롤러가 상기 메인챔버의 길이방향을 따라서 그의 바닥판 위에 고정 설치되도록 하는 구동롤러 받침대; 상기 메인챔버의 길이방향을 따라 그의 바닥판위에 고정 설치되는 전동축; 상기 전동축의 연장방향을 따라 상기 구동롤러가 설치된 위치마다 설치되는 것으로서 상기 종동마그네틱롤을 구동시키기 위하여 자신의 원주방향을 따라서 자석이 설치되어 있는 구동마그네틱롤; 상기 전동축을 지지하기 위하여 상기 메인챔버의 바닥판에 설치되는 전동축 받침대; 상기 전동축에 회전력을 공급하기 위한 전동축 구동부; 및 상기 지그받침롤 위에 얹어진 지그가 좌우로 유동하는 것을 방지하기 위한 지그가이드수단;을 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

기판의 비접촉식 수직 처리시스템의 지그 이송장치{Driving Apparatus For Non Contact Vertical Typed Developing System For Board}
본 발명은 기판의 수직 처리시스템에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 인쇄회로기판 등의 기판을 액자형 지그로써 파지한 상태에서 수직이동시키면서 에칭, 박리 또는 전처리 등의 각종 작업을 수행하는 시스템에 있어서 상기 지그를 이송시키기 위한 기판의 비접촉식 수직 처리시스템의 지그 이송장치에 관한 것이다.
기판을 처리하기 위한 여러 작업내용과 이 작업을 수행하는 여러 시스템이 있다. 기판이라 함은 각종 전자제품에 사용되는 인쇄회로기판이 대표적이다. 인쇄회로기판은 기술의 발달로 초박형화 및 대형화되는 추세에 있다. 기판을 처리한다는 것은 도금, 에칭, 현상 등의 작업을 의미한다.
특히 현상이란 포토리소그라피(photolithography) 기술의 일부로서 해당 분야의 기술발전과 더불어 갈수록 복잡해지고 난이도도 높아지고 있다. 인쇄회로기판의 처리공정 중 패턴 노광에서 폴리머로 변화되지 않은 미경화 부분을 화학약품을 이용하여 벗겨냄으로써 인쇄회로기판의 동박상에 필요한 영상을 1차로 재현하는 작업을 말한다.
현상작업은 노광공정을 거친 제품의 투입, 세정, 건조, 화학처리, 수차례의 수세와 건조(또는 액절), 산세와 건조(또는 액절), 가열 건조, 배출 등의 세부 작업으로 구성된다. 현상액은 탄산나트륨이 일반적으로 사용되며, 수세액은 사용제품에 따라 공업용수 또는 전해수가 사용될 수 있다.
본 발명은 기존의 기판 현상시스템을 개선하여 작업효율을 높이고 설치 및 운영상 더욱 경제적인 시스템을 구축하기 위한 것이다.
종래의 기판 현상시스템에서는 박형 기판을 파지하기 위하여 액자 형태로 된 지그가 사용되어 왔다. 지그는 사각의 프레임으로 되어 있으며 그의 상단과 하단에는 기판의 상하단을 각각 클램핑하기 위한 클램프가 설치되어 있다. 기판 현상시스템은 지그를 연속적으로 이송시키기 위한 지그 이송장치를 가지고 있다. 지그 이송장치는 컨베이어와 유사하게 지그를 연속적으로 구동시킨다. 특히 지그 이송장치는 지그를 수직으로 세워서 이동시키는데, 체인 또는 벨트와 같은 전동수단이 채용되어 왔었다. 그러나 이들 구동장치는 마모가 진행되므로 내구성이 좋지 못하며 이물질이 생길 우려가 있으며 소음이 발생한다는 문제점을 갖고 있다.
그리고 이 시스템은 비단 현상뿐만 아니라 기판을 처리하는 각종 작업에 응용될 수 있다. 따라서 본 발명의 권리범위는 발명의 명칭에 기재된 바와 같이 기판을 수직으로 세워 처리하는 각종 시스템에 적용될 수 있다.
대한민국 특허출원 제10-2011-0104225호 대한민국 특허출원 제10-2007-0088002호
본 발명의 목적은 인쇄회로기판 등의 기판을 액자형 지그로써 파지한 상태에서 수직이동시키면서 표면처리작업을 수행하는 시스템에 있어서, 상기 지그를 이송시키기 위한 기판의 비접촉식 수직 현상시스템의 지그 이송장치를 제공하는 것에 있다. 본 발명의 구체적인 목적은, 기계적 접촉이 적어 마모가 적고 내구성이 좋으며, 소음과 진동이 거의 발생하지 않으며, 이물질의 발생우려가 없는, 기판의 비접촉식 수직 처리시스템의 지그 이송장치를 제공하는 것에 있다.
위와 같은 목적은,
기판을 수직으로 세운 상태에서 메인챔버의 연장방향을 따라 이송시키면서 그 내부에서 표면처리작업이 이루어지도록 하는 비접촉식 수직 처리시스템에 있어서;
일직선 형태로 길게 연장되어 있는 상기 메인챔버의 바닥판에 일렬로 설치되는 것으로서 회전축이 지그의 이송방향과 직각을 이루도록 설치되는 구동롤러; 상기 구동롤러가 상기 메인챔버의 길이방향을 따라서 그의 바닥판 위에 고정 설치되도록 하는 구동롤러 받침대; 상기 메인챔버의 길이방향을 따라 그의 바닥판 위에 고정 설치되는 전동축; 상기 전동축의 연장방향을 따라 상기 구동롤러가 설치된 위치마다 설치되는 것으로서 종동마그네틱롤을 구동시키기 위하여 자신의 원주방향을 따라서 자석이 설치되어 있는 구동마그네틱롤; 상기 전동축을 지지하기 위하여 상기 메인챔버의 바닥판에 설치되는 전동축 받침대; 상기 전동축에 회전력을 공급하기 위한 전동축 구동부; 및 상기 지그받침롤 위에 얹어진 지그가 좌우로 유동하는 것을 방지하기 위한 지그가이드수단;을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판의 비접촉식 수직 현상시스템의 지그 이송장치에 의해 달성된다.
본 발명의 특징에 의하면, 상기 구동롤러는; 중심축과, 상기 중심축의 일측에 결합되는 지그받침롤과, 상기 중심축의 타측에 결합되는 것으로 원주방향을 따라 자석이 설치되어 있는 종동마그네틱롤로 구성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 지그가이드수단은 상기 지그의 하단부 양측면에 인접되게끔 상기 구동롤러 받침대 위에 설치되는 하부가이드바; 상기 지그의 상단부 양측면에 인접되게끔 상기 메인프레임의 천장에 설치되는 상부가이드바;를 포함할 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 지그받침롤의 상기 지그와의 접촉면에는 고무, 우레탄 또는 실리콘 등의 탄성소재로 된 원통 형상의 논슬립링이 미끄럼방지를 위해 씌워져 고정될 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 중심축과 종동마그네틱롤 본체 사이에는, 이송 중에 있는 상기 지그에 어느 정도 이상의 저항이 가해질 때, 상기 종동마그네틱롤 본체는 상기 구동마그네틱롤에 의해 회전하되, 상기 중심축 및 그에 결합해있는 지그받침롤은 회전되지 않도록 하기 위한 차동기구가 설치될 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 표면처리부, 세정부, 건조부, 기판회수부의 이송경로를 따라 이송하는 기판(P)의 이송속도는 2종 이상으로 조합 구성되어 있을 수 있다.
본 발명에 따르면, 인쇄회로기판 등의 기판을 액자형 지그로써 파지한 상태에서 수직이동시키면서 표면처리작업을 수행하는 시스템에서 지그를 이송시키기 위한 기판의 비접촉식 수직 현상시스템의 지그 이송장치가 제공된다. 좀 더 구체적으로는, 회전력 전달을 위하여 자력(磁力)을 이용하고 있기 때문에 기계적 접촉이 적어 마모가 적고 내구성이 좋으며, 회전력 전달요소 간의 간극을 둘 수 있어서 소음과 진동이 거의 발생하지 않으며, 마찰에 따라 생길 수 있는 이물질의 발생우려가 없는, 기판의 비접촉식 수직 현상시스템의 지그 이송장치가 제공된다.
도 1은 본 발명의 실시예에 의한 기판의 비접촉식 수직 현상시스템의 전체 평면구성도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 의한 기판의 비접촉식 수직 현상시스템의 전체 정면구성도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 의한 기판의 비접촉식 수직 현상시스템의 기판 이송장치의 구성도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 의한 기판의 비접촉식 수직 현상시스템의 기판 이송장치의 사시도이다.
도 5는 도 4의 A-A선을 따라 취한 개략 단면도이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 의한 도 5의 B-B 선을 따라 취한 구동롤러의 단면도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 내용을 상세하게 설명한다. 도 1, 2를 기본적으로 참조하겠으며, 나머지 도면은 필요한 곳에서 인용하기로 한다.
우선 본 발명에 의한 기판의 비접촉식 수직 현상시스템의 지그 이송장치(이하, '지그 이송장치'라 한다)가 적용되는 판의 비접촉식 수직 현상시스템을 도 1과 도 2를 참조하여 간단히 설명한다.
일직선 형태로 연속되어 있는 작업공간이 마련되도록 박스 형태로 메인챔버(1)가 설치된다. 기판공급부(3)는 메인챔버(1)의 일측 내부로 기판을 공급한다. 복수 개의 지그(5, 도 2 참조)는 박형으로 된 기판(P)의 가장자리를 클램프로 파지하여 팽팽하게 유지한 상태에서 작업이 이루어질 수 있도록 한다. 표면처리부(7)는 메인챔버(1) 내부에서 이송되는 기판(P)의 표면에 표면처리액(L)을 분사한다. 세정부(9)와 건조부(11)는 표면처리부(5)를 통과한 기판의 표면에 세정수 및 에어를 분사 공급하여 세정과 건조를 수행한다. 지그반송부(13)는 처리가 완료된 기판(P)을 파지하고 있는 지그를 상기 기판공급부(3)를 향하여 반송하며, 기판회수부(15)는 지그(5)에서 기판을 회수하여 후속공정으로 넘긴다.
본 발명의 지그 이송장치는 지그를 메인챔버(1) 내에서 연속적으로 이송시키기 위한 장치이다. 이하 이 지그 이송장치(17)를 설명한다.
지그이송장치(17)는 메인챔버(1) 내부에 설치된다. 지그이송장치(17)는 기판을 파지하고 있는 지그(5)를 수직으로 세운 상태에서 연속적으로 이송시킨다. 지그이송장치(17)는 지그(5)의 하단과 상단만을 파지 또는 가이드한 상태에서 지그(5)를 이송시키는 구성을 가진다.
일직선 형태로 길게 연장되어 있는 메인챔버의 바닥판(19)에는 메인챔버의 길이방향을 따라 전체 구간에 걸쳐 일정한 간격으로 구동롤러(21)가 일렬로 설치된다. 구동롤러는 회전축이 지그의 이송방향(W) 및 반송방향(W')과 직각을 이루도록 회전 가능하게 설치된다. 구동롤러(21)는 메인챔버(1)의 바닥판(1a)에 고정 설치된 안착대(23) 위에 베어링(25)을 매개로 설치된다. 안착대(23)는 "
Figure 112019029760895-pat00001
"의 단면 형태를 가진다.
이하, 도 3 내지 도 5를 더 참조하여 설명한다.
구동롤러(21)는 중심축(27)과, 이 중심축(27)의 일측에 결합 고정되는 지그받침롤(29)과, 중심축(27)의 타측에 결합 고정되는 종동마그네틱롤(31)을 포함한다. 종동마그네틱롤(31)에는 자신의 원주방향을 따라 자석(31b)이 설치되어 있다.
전동축(33)이 메인챔버(1)의 길이방향을 따라 그의 바닥판(1a) 위에 고정 설치된다. 구동마그네틱롤(35)이 전동축(33)의 연장방향을 따라 중심축(27)이 설치된 위치마다 설치된다. 구동마그네틱롤(35)에는 종동마그네틱롤(31)을 자력(磁力)으로써 구동시키기 위하여 자신의 원주방향을 따라서 자석이 설치되어 있다.
전동축(33)은 전동축 받침대(37) 위에 베어링을 매개로 축회전 가능하게 안착된다. 전동축 구동부(39)는 전동축(33)에 회전력을 공급하며 구동모터, 감속기 및 전동(傳動)수단을 포함한다.
지그가이드수단이 지그받침롤(29) 위에 얹어진 지그(5)가 좌우로 유동하는 것을 방지한다.
지그가이드수단은 지그(5)의 하단부 양측면에 인접되게끔 안착대(23) 위에 설치되는 하부가이드바(41)와, 지그(5)의 상단부 양측면에 인접되게끔 메인챔버(1)의 천장(1b)에 설치되는 상부가이드바(43)를 포함할 수 있다. 하부가이드바(41)와 상부가이드바(43)는 내화학성을 갖는 합성수지 소재로 되어 있을 수 있으며, 지그(5)와 저촉되는 면은 접촉면적을 줄일 수 있도록 둥글게 만곡되어 있을 수 있다.
본 발명의 실시예에 의하면 하부가이드바는 안착대(23)의 상판(42)위에 고정 설치된다. 상판(42)에는 지그가 끼워질 수 있는 지그끼움홈(42a)이 그루브 형태로 마련되어 있으며, 지그받침롤(29)의 상부가 위치될 수 있는 지그받침롤끼움홈(42b)이 마련되어 있다.
지그가이드수단은 경우에 따라 수직축을 축심으로 회전 가능하게 설치되는 다수의 아이들롤러로 대체될 수 있다.
또한 본 발명의 실시예에 의하면 지그받침롤(29)의 지그(5)와의 접촉면에는 고무(특히 EPDM), 우레탄 또는 실리콘 등의 탄성소재로 된 원통 형상의 논슬립링(45)이 미끄럼방지를 위해 씌워져 고정될 수 있다. 논슬립링(45)은 요철식으로 지그받침롤 본체(29a)에 결합될 수 있으며 두께(T)는 2 ~5mm 가 될 수 있다.
본 발명에 의하면, 자력(磁力)을 이용하여 구동력을 전달하는 것이기 때문에구동마그네틱롤(35)과 종동마그네틱롤(31) 사이에는 약간의 간격이 있을 수 있다. 그러므로 기계적 마찰에 의한 마모와 소음이 없으며, 마찰에 의한 이물질이 생기지 않게 된다.
이하, 도 6을 참조하여 본 발명의 다른 실시예를 설명한다.
본 실시예는 구동롤러(21)의 다른 실시예로서 슬립식 구동롤러(21')를 도시한다.
중심축(27)과 종동마그네틱롤(31, 특히 그의 본체(31a). 이하 같음) 사이에는 차동기구(47)가 설치된다. 차동기구(47)는 지그에 어느 정도 이상의 저항이 가해질 때 구동롤러가 헛돌도록 하기 위한 것이다. 즉 사용자 등이 이송중인 지그를 잡았을 때 또는 이송중인 지그가 기타 경위로 순간적으로 정지했을 때, 종동마그네틱롤(31)은 구동마그네틱롤(35)에 의해 계속 회전하고, 센터축 및 이에 결합되어 있는 지그받침롤(29)은 지그와 함께 멈출 수 있도록 하기 위한 것이다.
차동기구(47)는 중심축(27) 외부에 끼워져 고정되는 것으로서 볼안착홈(49a)이 원주 방향을 따라 복수 개 마련되어 있는 슬리브(49)와, 볼안착홈(49a)에 자신의 직경에 대해 1/10~ 1/5 깊이로 안착되는 볼(51)과, 일단은 볼(51)에 지지되고 타단은 종동마그네틱롤 본체(31a)에 지지되는 스프링(53)을 포함한다.
중심축(27)이 회전될 수 없는 상황에서 차동기구(47)에 회전력이 가해지면 볼(51)이 탄성력을 이기고 볼안착홈(49a)에서 이탈하게 되고 따라서 종동마그네틱롤(31)은 회전을 하게 된다. 즉 구동롤러(21') 자체에서 슬립(slip)이 생기게 된다.
이하, 도 7을 참조하여 본 발명의 다른 실시예에 의한 차동기구를 설명한다. 도 7은 도 5의 C-C선을 따라 취한 단면도이다. 본 실시예에 의하면, 중심축(27)의 외경보다 지그받침롤(29)의 내경이 미세하게 크게 되어 있다. 중심축(27)의 외경보다 지그받침롤(29)은 상대적 유동을 허용하도록 고정되어 있지 않다. 즉 이들 사이에 유격(C)이 생기게 되며, 지그받침롤(29)에 지그에 의한 하중(F)이 가해질 경우 이 하중에 비례하는 마찰력이 회전전달력이 된다. 따라서 마찰력보다 큰 저항이 지그에 가해지게 되면, 중심축(27)은 공회전되며, 지그받침롤(29)은 회전되지 않는다. 이것은 작업자가 손으로 지그를 잡는다거나 소정의 기구를 이용하여 지그(5)를 멈출 수 있다는 것을 의미한다. 중심축(27)과 지그받침롤(29) 사이의 마찰력을 조정함으로써 이 기구는 감속수단으로 사용될 수 있다. 지그받침롤(29)의 내주면(29b)을 어떠한 소재로 사용하는가에 따라 마찰력을 낮출 수 있다. 예를 들어 테프론 라이닝을 내주면(29b)에 설치하는 경우 마찰력을 크게 낮출 수 있게 된다. 그리고 이러한 구성의 감속구간은 건조부의 마지막 구간(11a)에 마련될 수 있다.
본 발명의 또 다른 다른 특징에 의하면, 표면처리부(7), 세정부(9), 건조부(11) 및 기판회수부(15)의 이송경로, 즉 메인챔버(1)를 따라 이송하는 기판(P)의 이송속도는 2종 이상으로 조합 구성될 수 있다. 즉 이송장치는 기판(P)을 신속하게 이송시키는 곳과 느리게 이송시키는 곳으로 구분하여 운영되는 것이다. 이것은 하나의 처리시스템에 기판 복수 개의 이송장치가 마련되고 이들은 각자 독립적으로 운전될 수 있는 것을 의미한다. 감속구간은 기판의 방향이 바뀌는 곳에 설치될 수 있다.
위에 도시 및 설명된 구성은 본 발명의 기술적 사상에 근거한 바람직한 실시예에 지나지 아니한다. 당업자는 통상의 기술적 상식을 바탕으로 다양한 변경실시를 할 수 있을 것이지만 이는 본 발명의 보호범위에 포함될 수 있음을 주지해야 할 것이다.
1 : 메인챔버 3 : 기판공급부
5 : 지그 7 : 표면처리부
9 : 세정부 11 : 건조부
13 : 지그반송부 15 : 기판회수부
17 : 지그 이송장치 19 : 바닥판
21 : 구동롤러 23 : 안착대
25 : 베어링 27 : 중심축
29 : 지그받침롤 31 : 종동마그네틱롤
33 : 전동축 35 : 구동마그네틱롤
37 : 전동축받침대 39 : 전동축구동부
41 : 하부가이드바 43 : 상부가이드바
45 : 논슬립링 47 : 차동기구
49 : 슬리브 51 : 볼(ball)
53 : 스프링
P : 기판

Claims (6)

  1. 기판을 수직으로 세운 상태에서 메인챔버의 연장방향을 따라 이송시키면서 그 내부에서 표면처리작업이 이루어지도록 하는 비접촉식 수직 처리시스템에 있어서;
    일직선 형태로 길게 연장되어 있는 상기 메인챔버의 바닥판에 일렬로 설치되는 것으로서 회전축이 지그의 이송방향과 직각을 이루도록 설치되되, 상기 지그의 저면을 지지한 상태에서 회전 구동하는 구동롤러;
    상기 구동롤러가 상기 메인챔버의 길이방향을 따라서 그의 바닥판 위에 고정 설치되도록 하는 구동롤러 받침대;
    상기 메인챔버의 길이방향을 따라 그의 바닥판위에 고정 설치되는 전동축;
    상기 전동축의 연장방향을 따라 상기 구동롤러가 설치된 위치마다 설치되는 것으로서 자신의 원주방향을 따라서 자석이 설치되어 있는 구동마그네틱롤;
    상기 전동축을 지지하기 위하여 상기 메인챔버의 바닥판에 설치되는 전동축 받침대;
    상기 전동축에 회전력을 공급하기 위한 전동축 구동부; 및
    상기 지그가 좌우로 유동하는 것을 방지하기 위한 지그가이드수단을 포함하되;
    상기 구동롤러는;
    중심축(27)과, 상기 중심축(27)의 일측에 결합되는 지그받침롤(29)과, 상기 중심축(27)의 타측에 결합되는 것으로서 상기 구동마그네틱롤에 의해 회전될 수 있도록 자신의 원주방향을 따라 자석이 설치되어 있는 종동마그네틱롤로 구성되며;
    상기 중심축(27)과 종동마그네틱롤 사이에는, 이송 중에 있는 상기 지그에 어느 정도 이상의 저항이 가해질 때, 상기 종동마그네틱롤은 상기 구동마그네틱롤에 의해 회전하되, 상기 중심축(27) 및 그에 결합해 있는 지그받침롤은 회전되지 않도록 하기 위한 차동기구가 설치되는 것을 특징으로 하는 기판의 비접촉식 수직 현상시스템의 지그 이송장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 차동기구는;
    상기 중심축(27)의 외경보다 지그받침롤(29)의 내경을 크게 하고, 상대적 유동을 허용하도록 고정하지 않음으로써, 상기 중심축(27)과 지그받침롤(29) 사이에 유격(C)이 생기도록 하는 것을 특징으로 하는 기판의 비접촉식 수직 현상시스템의 지그 이송장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 지그가이드수단은,
    상기 지그의 하단부 양측면에 인접되게끔 상기 구동롤러 받침대 위에 설치되는 하부가이드바; 및
    상기 지그의 상단부 양측면에 인접되게끔 상기 메인챔버의 천장에 설치되는 상부가이드바;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판의 비접촉식 수직 현상시스템의 지그 이송장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 지그받침롤(29)의 상기 지그와의 접촉면에는 고무, 우레탄 또는 실리콘 등의 탄성소재로 된 원통 형상의 논슬립링이 미끄럼방지를 위해 씌워져 고정되는 것을 특징으로 하는 기판의 비접촉식 수직 현상시스템의 지그 이송장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 차동기구는 ;
    상기 중심축(27) 외부에 끼워져 고정되는 것으로서 볼안착홈(49a)이 원주 방향을 따라 복수 개 마련되어 있는 슬리브(49)와, 상기 볼안착홈(49a)에 자신의 직경에 대해 1/10~ 1/5 깊이로 안착되는 볼(51)과, 일단은 상기 볼(51)에 지지되고 타단은 상기 종동마그네틱롤 본체(31a)에 지지되는 스프링(53)을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판의 비접촉식 수직 현상시스템의 지그 이송장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 메인챔버를 따라 이송하는 기판(P)의 이송속도는 2종 이상으로 조합 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판의 비접촉식 수직 처리시스템의 지그 이송장치.
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