KR102131227B1 - 건조 응력 측정 시스템 - Google Patents
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Abstract
본 발명의 실시예들은 코팅제가 도포되어 코팅층이 형성된 기재를 건조하면서 코팅층의 응력을 측정하기 위한 응력 측정 시스템을 제공한다. 본 발명의 실시예들은 제1 공간 상에서 기재 상에 코팅제를 도포하여 코팅층을 형성하는 코팅제 도포부; 상기 제1 공간와 분리된 제2 공간 상에서 상기 코팅층이 형성된 기재를 건조하는 건조부; 상기 제1 공간으로부터 상기 제2 공간으로 상기 기재를 이송하는 이송부; 및 상기 건조부에 의해 건조되는 상기 코팅층의 응력을 측정하는 응력 측정부;를 포함할 수 있다.
Description
본 발명의 실시예들은 코팅제가 도포되어 코팅층이 형성된 기재를 건조하면서 코팅층의 응력을 측정하기 위한 응력 측정 시스템에 관한 것이다.
광학 필름, 접착제, 이차전지와 같이 기재 상에 코팅제가 코팅되는 코팅 제품은 일반적으로 온도 및/또는 습도 등을 조절하여 건조하는 건조공정이 수반되며, 이러한 건조공정 중에 물성 변화에 의한 휨 현상, 벗겨짐, 크랙같은 불량이 발생할 수 있다.
따라서, 작업자는 건조공정 중에 상기와 같은 불량이 발생하는 것을 방지하기 위해 건조 조건에 따른 코팅층의 물성평가 등을 통해 최적화된 건조조건을 도출할 필요가 있다.
코팅층의 물성평가방법의 일례로는, 기재 상에 코팅층을 형성한 뒤 건조를 수행하고 건조하는 동안의 코팅층의 응력을 측정하는 방법이 있다.
다만, 종래의 이러한 물성평가방법은 외부에서 개별 장비를 통해 기재 상에 코팅층을 형성한 샘플을 제작한 뒤, 건조 챔버에 투입하여 건조를 수행하는 것이 일반적이었다.
이러한 방법은 샘플 제작 뒤 건조 챔버에 투입하는 과정 중에 자연건조 등을 통해 용매가 증발되는 등 실제 인공 건조 이전의 환경이 제어되지 않는 상태에서 건조가 이루어지는 경우가 많아, 샘플에 대한 물성을 추출하더라도 실제 양산에 이용되는 코팅층의 물성과는 동떨어지는 문제가 있었다.
본 발명의 실시예들은 건조 조건에 따른 코팅층의 응력 변화를 보다 정밀하게 도출할 수 있는 응력 측정 시스템을 제공한다.
다만, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는 상기 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 하기의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명의 일 실시예는 코팅제가 도포되어 코팅층이 형성된 기재를 건조하면서 상기 코팅층의 응력을 측정하기 위한 응력 측정 시스템으로서, 제1 공간 상에서 기재 상에 코팅제를 도포하여 코팅층을 형성하는 코팅제 도포부; 상기 제1 공간와 분리된 제2 공간 상에서 상기 코팅층이 형성된 기재를 건조하는 건조부; 상기 제1 공간으로부터 상기 제2 공간으로 상기 기재를 이송하는 이송부; 및 상기 건조부에 의해 건조되는 상기 코팅층의 응력을 측정하는 응력 측정부;를 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 코팅제 도포부는 상기 제1 공간을 형성하는 도포실과, 상기 코팅제를 도포하는 도포유닛을 포함하며, 상기 건조부는 상기 제2 공간을 형성하는 건조실과, 상기 코팅층이 형성된 기재를 건조하기 위해 건조환경을 형성하는 건조유닛을 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 도포실과 상기 건조실은 상기 기재의 이송 방향을 따라 연속적으로 배치될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 도포실과 상기 건조실은 격벽에 의해 분리되어 있으며, 상기 격벽은 적어도 일부분이 개구되어 있는 개구부를 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 개구부를 개폐할 수 있는 개폐부를 더 포함하며, 상기 개폐부는 상기 제1 공간으로부터 상기 제2 공간으로 상기 기재를 이송하는 동안 상기 개구부를 개방하며, 상기 도포제를 도포하는 동안 및 상기 코팅층이 형성된 기재를 건조하는 동안 중 적어도 하나의 기간에는 상기 개구부를 폐쇄할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 도포실과 상기 건조실은 각각 상기 기재의 이송을 위해 적어도 일부분이 개구되어 있는 개구부를 포함하며, 상기 도포실의 개구부와 상기 건조실의 개구부 사이를 연결하며 외부와 격리시키는 연결부를 더 포함할 수도 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 도포실의 개구부와 상기 건조실의 개구부 중 적어도 하나를 개폐할 수 있는 개폐부를 더 포함하며, 상기 개폐부는 상기 제1 공간으로부터 상기 제2 공간으로 상기 기재를 이송하는 동안 상기 개구부를 개방하며, 상기 도포제를 도포하는 동안 및 상기 코팅층이 형성된 기재를 건조하는 동안 중 적어도 하나의 기간에는 상기 개구부를 폐쇄할 수도 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 건조부가 상기 코팅층이 형성된 기재를 건조하는 동안 상기 코팅제 도포부는 코팅층이 미형성된 기재에 코팅제를 도포할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 이송부는 상기 기재의 적어도 일부분을 클램핑하는 클램핑유닛과 상기 클램핑유닛을 이송시키는 이송라인을 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 클램핑유닛은 상기 이송라인을 따라 복수 개 배열될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 건조유닛은 열풍장치, 가습장치, 광조사장치 중 적어도 하나를 포함하며, 상기 건조유닛을 제어하여 건조환경을 조절하는 건조유닛제어부를 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 응력 측정부는 상기 코팅층이 형성된 기판에 빛을 조사하는 광원과, 상기 코팅층이 형성된 기판으로부터 반사되는 빛을 검출하는 광검출부를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 기재 상에 코팅제를 도포하여 코팅층을 형성하는 공정과 코팅층이 형성된 기재를 건조하는 공정을 서로 분리된 공간에서 이루어질 수 있도록 하여, 코팅층의 응력 측정 정밀도를 보다 정밀하게 할 수 있는 장점이 있다.
또한, 외부와 격리된 상태에서 코팅제 도포 공간으로부터 건조 공간으로 기재를 이송시킬 수 있으므로, 코팅제 도포 즉시 외부 환경에 큰 영향을 받지 않고 건조를 수행할 수 있는 바, 실제 인공 건조 이전의 환경을 제어한 상태에서 인공 건조에 의한 코팅층의 응력 변화를 측정할 수 있는 장점이 있다.
물론, 이러한 효과에 의해 본 발명의 실시예들의 범위가 한정되는 것은 아니다.
도 1는 본 발명의 일 실시예에 관한 응력 측정 시스템의 구성을 개략적으로 나타낸 개념도이다.
도 2는 도 1에 나타난 개구부가 폐쇄된 상태를 나타내는 도면이다.
도 3는 도 1에 나타난 이송부와 기재의 위치관계의 일례를 나타낸 평면도이다.
도 4는 코팅층이 형성된 기재가 휠 때, 휨 변위가 발생하는 현상을 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 관한 응력 측정 시스템의 구성을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 6은 도 5에 나타난 개구부가 폐쇄된 상태를 나타내는 도면이다.
도 2는 도 1에 나타난 개구부가 폐쇄된 상태를 나타내는 도면이다.
도 3는 도 1에 나타난 이송부와 기재의 위치관계의 일례를 나타낸 평면도이다.
도 4는 코팅층이 형성된 기재가 휠 때, 휨 변위가 발생하는 현상을 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 관한 응력 측정 시스템의 구성을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 6은 도 5에 나타난 개구부가 폐쇄된 상태를 나타내는 도면이다.
본 발명은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 한편, 본 발명의 설명에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 발명의 설명에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 본 발명의 설명에서, 어떤 부재가 다른 부재 "상에" 위치하고 있다는 기재는 어떤 부재가 다른 부재에 접해 있는 경우뿐 아니라 두 부재 사이에 또 다른 부재가 존재하는 경우도 포함한다. 본 발명의 설명에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 구성요소들은 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 관한 응력 측정 시스템의 구성을 개략적으로 나타낸 개념도이다. 도 3는 도 1에 나타난 개구부가 폐쇄된 상태를 나타내는 도면이다. 도 4는 도 1에 나타난 이송부와 기재의 위치관계의 일례를 나타낸 평면도이다.
도 2 내지 도 4를 참조하면, 응력 측정 시스템(100)은 코팅제(C)가 도포되어 코팅층(CL)이 형성된 기재(P+CL)를 건조하면서 코팅층(CL)의 응력을 측정하기 위한 응력 측정 시스템으로서, 코팅제 도포부(110)와, 건조부(130)와, 이송부(160) 및 응력 측정부(170)를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어, 코팅제(C)는 액상 또는 고형분이 분산되어 있는 액상의 상태일 수 있다. 이러한 코팅제(C)는 후술하는 기재(P) 상에 도포되어 코팅층(CL)을 형성할 수 있다. 코팅층(CL)은 용매가 증발되면서 고형화될 수 있다. 본 발명의 실시예에 있어, 기재(P)는 판형 부재로서, 기재(P)에 도포되어 형성된 코팅층(CL)의 응력 측정을 위해 후술하는 광원으로부터 조사되는 빛이 반사될 수 있는 소재로 형성됨이 바람직하다. 예를 들어, 제2기재(P2)는 알루미늄, 알루미늄 증착 글래스, 구리 증착 글래스, 실리콘 웨이퍼, SUS 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
코팅제 도포부(110)는 제1 공간(S1) 상에서 기재(P) 상에 코팅제(C)를 도포하여 코팅층(CL)을 형성할 수 있다. 여기서, 코팅제(C)는 예를 들어, 이차 전지 양극 활물질, 음극 활물질으로 이용될 수 있는 액상 또는 슬러리일 수 있다.
코팅제 도포부(110)는 도포실(111)과 도포유닛(113)을 포함할 수 있다.
도포실(111)은 기재(P) 상에 코팅제(C)를 도포하기 위한 공간인 제1 공간(S1)을 형성하는 구조물로서, 제1 공간(S1)을 외부와 분리시킬 수 있다. 도포실(111)은 외부와 격리되도록 밀폐될 수 있다.
도포유닛(113)은 코팅제(C)를 기재(P) 상에 도포할 수 있는 장치로서, 도포실(111) 내부에 배치될 수 있다. 이러한 도포유닛(113)으로는 코팅제(C)를 도포할 수 있는 노즐장치가 이용될 수 있다.
건조부(130)는 제1 공간(S1)와 분리된 제2 공간(S2) 상에서 코팅층(CL)이 형성된 기재(P+CL)를 건조할 수 있다.
건조부(130)는 건조실(131)과 건조유닛(133)을 포함할 수 있다. 건조부(130)는 건조환경측정부(135)와 건조유닛제어부(137)를 더 포함할 수 있다.
건조실(131)은 코팅층(CL)이 형성된 기재(P+CL)를 건조하기 위한 공간인제2 공간(S2)을 형성하는 구조물로서, 제2 공간(S2)을 외부와 분리시킬 수 있다. 건조실(131)은 외부와 격리되도록 밀폐될 수 있다.
건조유닛(133)은 코팅층(CL)이 형성된 기재(P+CL)를 건조하기 위해 건조실(131) 내부에 특정 건조환경을 형성할 수 있도록 하는 장치로서, 건조실(131) 내부에 배치될 수 있다. 이러한 건조유닛(133)은 고온 가스를 공급하는 열풍장치, 가습장치, 적외선 또는 자외선과 같은 빛을 조사하는 광조사장치 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 본 실시예에서는 건조유닛(133)아 열풍장치인 것으로 도면에 도시하였다.
건조환경측정부(135)는 건조실(131) 내부의 온도, 습도, 조도 중 적어도 하나를 측정할 수 있다. 이러한 건조환경측정부(135)는 온도센서, 습도센서, 조도센서 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 건조환경측정부(135)에서 측정된 온도, 습도, 및/또는 조도(이하, '건조환경정보'로 지칭될 수 있음)는 건조시간에 따라 저장될 수 있다. 후술하는 응력 측정부(170)에 의해 측정되는 응력정보와 함께 '건조환경-건조시간-코팅층의 응력 관계'를 나타내는 정보로 저장되어 이용될 수 있다.
건조유닛제어부(미도시)는 건조유닛(133)을 제어하여 건조환경을 조절할수 있다. 건조유닛제어부는 실시예에 따라 건조유닛(133)을 제어하는 회로기판, 집적회로칩, 하드웨어에 탑재된 일련의 컴퓨터 프로그램, 펌웨어, 소프트웨어 등의 다양한 모습으로 구현될 수 있다.
도포실(111)과 건조실(131)은 후술하는 이송부(160)에 의해 이송되는 기재(P)의 이송 방향을 따라 연속적으로 배치될 수 있다. 상세히, 도포실(111)과 건조실(131)이 연속적으로 배치되는 구조는, 도포실(111)에서 코팅제(C)가 도포되어 코팅층(CL)이 형성된 기재(P+CL)가 도포실(111)과 구별되는 건조실(131)로 이송된 뒤 건조가 이루어질 수 있도록 한다.
도포실(111)과 건조실(131)은, 외부와 분리되는 단일 구조물 상에서 기재(P)의 이송방향과 실질적으로 수직하게 교차하는 격벽(140)에 의해 제1 공간(S1)을 형성하는 구조물과 제2 공간(S2)을 형성하는 구조물로 구별될 수 있다.
이러한 격벽(140)은 적어도 일부분이 개구되어 있는 개구부(140a)를 포함할 수 있다. 개구부(140a)는 코팅층(CL)이 형성된 기재(P+CL)가 격벽(140)을 통과해 도포실(111)에서 건조실(131)로 이송될 수 있도록 한다.
응력 측정 시스템(100)은 개구부(140a)를 개폐할 수 있는 개폐부(150)를 더 포함할 수 있다.
개폐부(150)는 개구부(140a)를 개폐하기 위한 판상 도어일 수 있으며, 개구부(140a)를 개방하는 개방위치와 개구부(140b)를 폐쇄하는 폐쇄위치 사이에서 격벽(140)에 대해 슬라이딩 왕복 이동할 수 있다.
이러한 개폐부(150)는 제1 공간(S1)(상세히, 제1 공간(S1)을 형성하는 도포실(111))으로부터 제2 공간(S2)(상세히, 제2 공간(S2)을 형성하는 건조실(131))을 향하는 방향으로 기재(P)를 이송하는 동안에는 개구부(140a)를 개방하며, 코팅제(C)를 도포하는 동안 및/또는 코팅층(CL)이 형성된 기재(P)를 코팅층(CL)이 형성된 기재(P+CL)를 건조하는 동안에는 개구부(140a)를 폐쇄할 수 있다.
한편, 건조부(130)가 코팅층(CL)이 형성된 기재(P+CL)의 건조를 완료한 후, 후술하는 응력 측정부(170)에 의해 코팅층(CL)의 응력측정이 완료된 후 또는 건조부(130)가 코팅층(CL)이 형성된 기재(P+CL)의 건조를 하는 동안 중 적어도 하나의 기간동안 코팅제 도포부(110)는 코팅층(CL)이 미형성된 기재(P)에 코팅제(C)를 도포할 수 있다.
코팅제(C)를 도포하는 동안 및/또는 코팅층(CL)이 형성된 기재(P)를 코팅층(CL)이 형성된 기재(P+CL)를 건조하는 동안에는 개구부(140a)를 폐쇄할 수 있는 구조이기 때문에, 도포실(111)에서 코팅제(C)를 도포하는 동안에는 건조실(131)의 건조환경에 영향을 받지 않을 수 있으며, 건조실(131)에서 건조가 이루어지는 동안에는 도포실(111)의 도포환경에 영향을 받지 않을 수 있다.
결국, 개구부(140a)가 폐쇄되어 있는 동안에는 독립적인 공간에서 코팅제(C)의 도포와, 코팅층(CL)이 형성된 기재(P+CL)의 건조가 상호 간에 영향을 주지 않으며 이루어질 수 있도록 할 수 있다. 즉, 코팅제(C)의 도포 및 코팅층(CL)이 형성된 기재(P+CL)의 건조를 상호 간에 영향을 주지 않는 환경에서 동시에 이루어질 수 있도록 할 수 있다.
이송부(160)는 제1 공간(S1)으로부터 제2 공간(S2)으로 기재(P)를 이송할 수 있다. 이러한 이송부(160)는 기재(P)를 이송시키기 위한 수단으로서, 매니퓰레이터, 이송롤러, 이송라인 등을 이용할 수 있다.
이송부(160)는 기재(P)의 적어도 일부분을 클램핑하는 클램핑유닛(161)과 클램핑유닛(161)을 이송시키는 이송라인(163)을 포함할 수 있다.
클램핑유닛(161)은 후술하는 이송라인(163)에 대해 승강할 수 있으며, 하강하게 되면 이송라인(163)의 폭 방향과 나란한 방향의 접촉부(161a)를 통해 기재(P)의 일단부를 이송라인(163)에 대해 고정할 수 있다.
이송라인(163)은 예를 들어, 이송방향을 따라 이동가능한, 이송벨트 또는 연속적으로 배치된 복수의 체인부로 구현될 수 있다. 이러한 이송라인(163)은 기재(P)의 일단부를 지지할 수 있으며 클램핑유닛(161)과 함께 기재(P)가 외팔보 형태로 이송될 수 있도록 한다.
클램핑유닛(161)은 이송라인(163)을 따라 복수 개 배열될 수 있다. 이로써, 클램핑유닛(161)에 의해 클램핑된 기재(P)가 도포실(111)에 적어도 하나, 건조실(131)에 적어도 하나 위치할 수 있도록 할 수 있다.
또한, 도포실(111)에 클램핑유닛(161)이 2개 이상 배치될 수 있도록 하여 기재(P) 상에 코팅제(C)가 도포되는 동안 후순위 기재(P)는 대기할 수 있도록 할수도 있다.
또는, 건조실(131)에 클램핑유닛(161)이 2개 이상 배치될 수 있도록 하고, 복수의 클램핑유닛(161)에 의해 클램핑되는 코팅층(CL)이 형성된 기재(P+ CL)끼리 서로 도포된 코팅제(C) 양을 다르게 하여, 도포된 코팅제(C) 양에 따른 코팅층(CL)의 응력 변화도 비교평가할 수 있도록 할 수 있다.
응력 측정부(170)는 건조부(130)에 의해 건조되는 코팅층(CL)의 응력을 측정할 수 있다.
이러한 응력 측정부(170)는 코팅층(CL)이 형성된 기판(P+CL)에 빛을 조사하는 광원(171)과, 코팅층(CL)이 형성된 기판(P+CL)으로부터 반사되는 빛을 검출하는 광검출부(173)를 포함할 수 있다.
코팅층(CL)이 형성된 기판(P+CL)은 도 4에 도시된 바와 같이, 건조가 진행됨에 따라 응력에 의한 휨이 발생하며, 이러한 이유로 광검출부(173)에서 확인되는 빛의 위치도 변화한다.
광검출부(173)로서 광다이오드(photodiode)를 사용한 경우, 검출되는 빛의 위치 변화는 곧바로 전압의 변화로 나타나며, 미리 작성된 전압의 변화와 휨 변위값 상관곡선에 의해 본 발명을 통해 얻고자 하는 휨 변위값 및 응력으로의 변환이 가능하다.
광검출부(173)에서 검출되는 빛은, 광원(171)에서 조사되어 휨 변위를 측정하고자 하는 코팅층(CL)이 형성된 기재(P+CL, 이하, '코팅기재'라고 칭하기도 함)에서 반사된다. 이 경우, 빛은 직진성이 뛰어난 빛이면 그 종류에 제한이 없으며, 안정성 면에서 레이저가 보다 바람직하다.
한편, 광원(171)에서 조사된 빛은 코팅기재(P+CL)에 도달하기 전에 적절한 반사부(175)를 거치는 것이 바람직한데, 이러한 반사부(175)를 이용함으로써 조사되는 빛의 경로를 용이하게 변경시킬 수 있으며, 이로써 측정의 정밀도 또한 향상시킬 수 있다.
한편, 건조실(131)은 온도나 습도 등 건조환경변수가 건조, 나아가 휨 변위에 미치는 영향을 정밀하게 관찰하기 위해 외부와 차단되는 것이 바람직하며, 이 경우 광원(171)에서 조사된 빛이 반사될 수 있도록 그 경로에 해당하는 부분에는 창(미도시)을 형성하는 것이 바람직하다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 관한 응력 측정 시스템(200)의 구성을 개략적으로 나타낸 도면이다. 도 6은 도 5에 나타난 개구부가 폐쇄된 상태를 나타내는 도면이다.
전술한 실시예에서는, 도포실(111)과 건조실(131)이 외부와 분리되는 단일 구조물 상에서 격벽(140)에 의해 제1 공간(S1)을 형성하는 구조물과 제2 공간(S2)을 형성하는 구조물로 구별될 수 있는 것으로 설명하였으나, 도 5 및 도 6에 도시된 다른 실시예(200)와 같이 도포실(211)과 건조실(231)은 서로 이격되어 있는 분리된 복수의 구조물일 수 있다.
이러한 도포실(211)과 건조실(231)은 각각 기재(P)의 이송을 위해 적어도 일부분이 개구되어 있는 개구부(211a, 231a)를 포함할 수 있다.
이 경우, 응력 측정 시스템(200)은 연결부(280)를 포함할 수 있다.
연결부(280)는 도포실(211)의 개구부(211a)와 건조실(231)의 개구부(231a) 사이를 연결하여 그 사이를 외부와 격리시킬 수 있다.
이러한 응력 측정 시스템(200)은 도포실(211)의 개구부(211a) 및/또는 건조실(230)의 개구부(231a)를 개폐할 수 있는 개폐부(250)를 더 포함할 수 있다.
이러한 개폐부(150)는 제1 공간(S1)(상세히, 제1 공간(S1)을 형성하는 도포실(211))으로부터 제2 공간(S2)(상세히, 제2 공간(S2)을 형성하는 건조실(231))을 향하는 방향으로 기재(P)를 이송하는 동안에는 개구부(211a, 231a)를 개방하며, 코팅제(C)를 도포하는 동안 및/또는 코팅층(CL)이 형성된 기재(P)를 코팅층(CL)이 형성된 기재(P+CL)를 건조하는 동안에는 개구부(211a, 231a)를 폐쇄할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 기재 상에 코팅제를 도포하여 코팅층을 형성하는 공정과 코팅층이 형성된 기재를 건조하는 공정을 서로 분리된 공간에서 이루어질 수 있도록 하여, 코팅층의 응력 측정 정밀도를 보다 정밀하게 할 수 있는 장점이 있다. 또한, 코팅제 도포 공간으로부터 건조 공간으로 기재를 이송시킬 수 있으므로, 코팅제 도포 즉시 외부 환경에 큰 영향을 받지 않고 건조를 수행할 수 있으므로, 순수히 인조 건조에 의한 코팅층의 응력 변화를 측정할 수 있는 장점이 있다.
이상에서 설명된 실시예들은 본 기술 사상의 일부 예를 설명한 것에 불과하고, 본 기술 사상의 범위는 설명된 실시예들에 한정되는 것은 아니며, 이 분야의 통상의 기술자에 의하여 본 기술 사상의 범위 내에서의 다양한 변경, 변형 또는 치환이 있을 수 있다. 예를 들어, 특정 실시예에서 함께 설명된 구성들 내지는 특징들은 서로 분산되어 실시될 수 있고, 서로 다른 실시예 각각에서 설명된 구성들 내지는 특징들은 서로 결합된 형태로 실시될 수 있다. 마찬가지로, 각 청구항에 기재된 구성들 내지는 특징들도 서로 분산되어 실시되거나 결합되어 실시될 수 있다. 그리고 위와 같은 실시는 모두 본 기술 사상의 범위에 속하는 것으로 보아야 한다.
100: 응력 측정 시스템
110: 코팅제 도포부
111: 도포실
113: 도포유닛
130: 건조부
131: 건조실
133: 건조환경측정부
140: 격벽
150: 개폐부
160: 이송부
170: 응력 측정부
P: 기재
C: 코팅제
CL: 코팅층
S1: 제1 공간
S2: 제2 공간
110: 코팅제 도포부
111: 도포실
113: 도포유닛
130: 건조부
131: 건조실
133: 건조환경측정부
140: 격벽
150: 개폐부
160: 이송부
170: 응력 측정부
P: 기재
C: 코팅제
CL: 코팅층
S1: 제1 공간
S2: 제2 공간
Claims (12)
- 코팅제가 도포되어 코팅층이 형성된 기재를 건조하면서 상기 코팅층의 응력을 측정하기 위한 응력 측정 시스템으로서,
제1 공간 상에서 기재 상에 코팅제를 도포하여 코팅층을 형성하는 코팅제 도포부;
상기 제1 공간와 분리된 제2 공간 상에서 상기 코팅층이 형성된 기재를 건조하는 건조부;
상기 제1 공간으로부터 상기 제2 공간으로 상기 기재를 이송하는 이송부; 및
상기 건조부에 의해 건조되는 상기 코팅층의 응력을 측정하는 응력 측정부;를 포함하고,
상기 코팅제 도포부는 상기 제1 공간을 형성하는 도포실과, 상기 코팅제를 도포하는 도포유닛을 포함하며,
상기 건조부는 상기 제2 공간을 형성하는 건조실과, 상기 코팅층이 형성된 기재를 건조하기 위해 건조환경을 형성하는 건조유닛을 포함하며,
상기 도포실과 상기 건조실은 상기 기재의 이송 방향을 따라 연속적으로 배치되며,
상기 도포실과 상기 건조실은 격벽에 의해 분리되어 있으며,
상기 격벽은 적어도 일부분이 개구되어 있는 개구부를 포함하는, 응력 측정 시스템. - 삭제
- 삭제
- 삭제
- 제 1 항에 있어서,
상기 개구부를 개폐할 수 있는 개폐부를 더 포함하며,
상기 개폐부는 상기 제1 공간으로부터 상기 제2 공간으로 상기 기재를 이송하는 동안 상기 개구부를 개방하며, 상기 코팅제를 도포하는 동안 및 상기 코팅층이 형성된 기재를 건조하는 동안 중 적어도 하나의 기간에는 상기 개구부를 폐쇄하는, 응력 측정 시스템. - 코팅제가 도포되어 코팅층이 형성된 기재를 건조하면서 상기 코팅층의 응력을 측정하기 위한 응력 측정 시스템으로서,
제1 공간 상에서 기재 상에 코팅제를 도포하여 코팅층을 형성하는 코팅제 도포부;
상기 제1 공간와 분리된 제2 공간 상에서 상기 코팅층이 형성된 기재를 건조하는 건조부;
상기 제1 공간으로부터 상기 제2 공간으로 상기 기재를 이송하는 이송부; 및
상기 건조부에 의해 건조되는 상기 코팅층의 응력을 측정하는 응력 측정부;를 포함하고,
상기 코팅제 도포부는 상기 제1 공간을 형성하는 도포실과, 상기 코팅제를 도포하는 도포유닛을 포함하며,
상기 건조부는 상기 제2 공간을 형성하는 건조실과, 상기 코팅층이 형성된 기재를 건조하기 위해 건조환경을 형성하는 건조유닛을 포함하며,
상기 도포실과 상기 건조실은 상기 기재의 이송 방향을 따라 연속적으로 배치되며,
상기 도포실과 상기 건조실은 각각 상기 기재의 이송을 위해 적어도 일부분이 개구되어 있는 개구부를 포함하며,
상기 도포실의 개구부와 상기 건조실의 개구부 사이를 연결하며 외부와 격리시키는 연결부를 더 포함하는, 응력 측정 시스템. - 제 6 항에 있어서,
상기 도포실의 개구부와 상기 건조실의 개구부 중 적어도 하나를 개폐할 수 있는 개폐부를 더 포함하며,
상기 개폐부는 상기 제1 공간으로부터 상기 제2 공간으로 상기 기재를 이송하는 동안 상기 개구부를 개방하며, 상기 코팅제를 도포하는 동안 및 상기 코팅층이 형성된 기재를 건조하는 동안 중 적어도 하나의 기간에는 상기 개구부를 폐쇄하는, 응력 측정 시스템. - 제 1 항 또는 제 6 항에 있어서,
상기 건조부가 상기 코팅층이 형성된 기재를 건조하는 동안 상기 코팅제 도포부는 코팅층이 미형성된 기재에 코팅제를 도포하는, 응력 측정 시스템. - 제 1 항 또는 제 6 항에 있어서,
상기 이송부는 상기 기재의 적어도 일부분을 클램핑하는 클램핑유닛과 상기 클램핑유닛을 이송시키는 이송라인을 포함하는, 응력 측정 시스템. - 제 9 항에 있어서,
상기 클램핑유닛은 상기 이송라인을 따라 복수 개 배열되는, 응력 측정 시스템. - 제 1 항 또는 제 6 항에 있어서,
상기 건조유닛은 열풍장치, 가습장치, 광조사장치 중 적어도 하나를 포함하며,
상기 건조유닛을 제어하여 건조환경을 조절하는 건조유닛제어부를 더 포함하는, 응력 측정 시스템. - 제 1 항 또는 제 6 항에 있어서,
상기 응력 측정부는 상기 코팅층이 형성된 기판에 빛을 조사하는 광원과, 상기 코팅층이 형성된 기판으로부터 반사되는 빛을 검출하는 광검출부를 포함하는, 응력 측정 시스템.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020170116703A KR102131227B1 (ko) | 2017-09-12 | 2017-09-12 | 건조 응력 측정 시스템 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020170116703A KR102131227B1 (ko) | 2017-09-12 | 2017-09-12 | 건조 응력 측정 시스템 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20190029306A KR20190029306A (ko) | 2019-03-20 |
KR102131227B1 true KR102131227B1 (ko) | 2020-07-07 |
Family
ID=66036369
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020170116703A KR102131227B1 (ko) | 2017-09-12 | 2017-09-12 | 건조 응력 측정 시스템 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR102131227B1 (ko) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112090626A (zh) * | 2020-07-29 | 2020-12-18 | 深圳市永盛旺机械设备有限公司 | 一种pvd无尘全自动喷涂生产线 |
CN112108333B (zh) * | 2020-09-24 | 2021-08-24 | 广州创利宝科技有限公司 | 一种护目镜生产用涂胶烘干装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101791551B1 (ko) | 2017-04-04 | 2017-10-30 | 김한용 | 신속한 도장이 가능한 범퍼 도장 장치 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05187998A (ja) * | 1992-01-16 | 1993-07-27 | Kawasaki Steel Corp | 可溶接性複合型制振材料の製造工程における導電性フィラーの散布濃度の検出方法および装置 |
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KR101674236B1 (ko) * | 2012-04-19 | 2016-11-08 | 주식회사 엘지화학 | 유리기판의 평탄면 형성장치 및 방법 |
KR20150096162A (ko) * | 2014-02-14 | 2015-08-24 | 동우 화인켐 주식회사 | 응력 평가장치 |
-
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- 2017-09-12 KR KR1020170116703A patent/KR102131227B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101791551B1 (ko) | 2017-04-04 | 2017-10-30 | 김한용 | 신속한 도장이 가능한 범퍼 도장 장치 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
KR20190029306A (ko) | 2019-03-20 |
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