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KR102055978B1 - 유지장치의 분리방법 및 제조방법 - Google Patents

유지장치의 분리방법 및 제조방법 Download PDF

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KR102055978B1
KR102055978B1 KR1020170036162A KR20170036162A KR102055978B1 KR 102055978 B1 KR102055978 B1 KR 102055978B1 KR 1020170036162 A KR1020170036162 A KR 1020170036162A KR 20170036162 A KR20170036162 A KR 20170036162A KR 102055978 B1 KR102055978 B1 KR 102055978B1
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Inventor
가츠히코 무로카와
Original Assignee
니혼도꾸슈도교 가부시키가이샤
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Publication date
Application filed by 니혼도꾸슈도교 가부시키가이샤 filed Critical 니혼도꾸슈도교 가부시키가이샤
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Abstract

(과제) 유지장치를 구성하는 제 1 판형상 부재와 제 2 판형상 부재의 분리시에, 제 1 판형상 부재나 제 2 판형상 부재에 변형, 오염, 흠집, 콘터미네이션 등이 발생하는 것을 억제한다.
(해결수단) 제 1 판형상 부재와, 제 2 판형상 부재와, 수지계의 접착제를 포함하며 제 1 판형상 부재와 제 2 판형상 부재를 접착하는 접착층을 구비하고, 제 1 판형상 부재의 표면 상에 대상물을 유지하는 유지장치의 분리방법은, 적어도 표면이 수지를 포함하는 재료로 형성되어 있는 판형상 기구를 제 1 판형상 부재와 제 2 판형상 부재의 사이에 삽입함에 의해서 접착층의 적어도 일부를 물리적으로 제거하여 제 1 판형상 부재와 제 2 판형상 부재를 분리하는 공정을 구비한다.

Description

유지장치의 분리방법 및 제조방법{Method of Separating and Manufacturing Holding Apparatus}
본 명세서에 개시되는 기술은 대상물을 유지하는 유지장치의 분리방법 및 제조방법에 관한 것이다.
예를 들면, 반도체 제조장치에 있어서, 웨이퍼를 유지하는 유지장치로서 정전 척이 이용된다. 정전 척은 예를 들면 판형상의 세라믹스판과 판형상의 베이스판이 수지계의 접착제를 포함하는 접착층에 의해서 접착된 구성을 가진다. 정전 척은 내부 전극을 가지고 있으며, 내부 전극에 전압이 인가됨에 의해서 발생하는 정전 인력을 이용하여 세라믹스판의 표면(이하 "흡착면"이라 한다)에 웨이퍼를 흡착하여 유지한다.
정전 척에서는 장기간의 사용 등에 의해서 접착층의 열화나 세라믹스판의 마모 등이 발생하는 경우가 있다. 이와 같은 경우에, 접착되어 있는 세라믹스판과 베이스판을 분리하고, 세라믹스판과 베이스판 중 적어도 일방을 재이용하여 정전 척을 새롭게 제조하는 기술이 알려져 있다(예를 들면, 특허문헌 1 참조). 종래에 있어서, 세라믹스판과 베이스판의 분리는 금속 칼날이나 실톱 등을 이용하여 접착층을 삭제하는 방법이나, 정전 척을 고온(예를 들면, 200∼400℃)으로 될 때까지 가열하여 접착층에 포함되는 접착제를 열분해시키는 방법 등에 의해서 실행되고 있다.
특허문헌 1 : 일본국 특개2007-129142호 공보
상기한 바와 같이 금속 칼날이나 실톱 등을 이용하여 접착층을 삭제하는 방법에서는, 세라믹스판이나 베이스판에 흠집이 나거나 삭제할 때에 발생하는 스크랩(scrap)에 의해서 콘터미네이션이 발생하므로, 세라믹스판이나 베이스판의 재이용에 지장이 될 우려가 있다. 또, 상기한 바와 같이 정전 척을 가열하여 접착층에 포함되는 접착제를 열분해시키는 방법에서는, 열에 의해서 세라믹스판이나 베이스판이 변형되거나 유기물 등의 연소에 의한 오염이 발생하므로, 이것 역시 세라믹스판이나 베이스판의 재이용에 지장이 될 우려가 있다.
또한, 이러한 과제는 정전 척에 한정되지 않고, 제 1 판형상 부재와 제 2 판형상 부재가 수지계의 접착제를 포함하는 접착층에 의해서 접착되고, 제 1 판형상 부재의 표면 상에 대상물을 유지하는 유지장치의 분리시에 공통되는 과제이다.
본 명세서에서는 상기한 과제를 해결하는 것이 가능한 기술을 개시한다.
본 명세서에 개시되는 기술은, 예를 들면 이하의 형태로서 실현하는 것이 가능하다.
(1) 본 명세서에 개시되는 유지장치의 분리방법은, 제 1 표면과 상기 제 1 표면과는 반대측의 제 2 표면을 가지는 제 1 판형상 부재와; 제 3 표면을 가지며, 상기 제 3 표면이 상기 제 1 판형상 부재의 상기 제 2 표면에 대향하도록 배치된 제 2 판형상 부재와; 수지계의 접착제를 포함하며, 상기 제 1 판형상 부재의 상기 제 2 표면과 상기 제 2 판형상 부재의 상기 제 3 표면을 접착하는 접착층;을 구비하며, 상기 제 1 판형상 부재의 상기 제 1 표면 상에 대상물을 유지하는 유지장치의 분리방법에 있어서, 상기 접착층의 분해 온도보다 낮은 온도에서 적어도 표면이 수지를 포함하는 재료로 형성되어 있는 판형상 기구를 상기 제 1 판형상 부재의 상기 제 2 표면과 상기 제 2 판형상 부재의 상기 제 3 표면의 사이에 삽입함에 의해서 상기 접착층의 적어도 일부를 물리적으로 제거하여 상기 제 1 판형상 부재와 상기 제 2 판형상 부재를 분리하는 공정을 구비한다.
본 유지장치의 분리방법에 의하면, 유지장치를 접착층에 포함되는 접착제의 분해 온도까지 가열하지 않고도 제 1 판형상 부재와 제 2 판형상 부재를 분리할 수 있어 제 1 판형상 부재나 제 2 판형상 부재의 열에 의한 변형이나 오염의 발생을 억제할 수 있다. 또, 본 유지장치의 분리방법에 의하면, 판형상 기구의 표면이 수지를 포함하는 재료로 형성되어 있기 때문에, 제 1 판형상 부재와 제 2 판형상 부재의 분리시에 스크랩이 발생하는 것을 억제함으로써 콘터미네이션의 발생을 억제할 수 있음과 아울러, 제 1 판형상 부재나 제 2 판형상 부재에 흠집이 나는 것을 억제할 수 있다.
(2) 상기 유지장치의 분리방법에 있어서, 상기 판형상 기구에는 복수의 칼날이 형성되어 있으며, 상기 분리하는 공정은 상기 판형상 기구를 상기 칼날이 형성된 측부터 상기 제 1 판형상 부재의 상기 제 2 표면과 상기 제 2 판형상 부재의 상기 제 3 표면의 사이에 삽입하는 공정인 구성으로 하여도 좋다.
본 유지장치의 분리방법에 의하면, 접착층의 적어도 일부를 효율적으로 제거할 수 있어 제 1 판형상 부재와 제 2 판형상 부재를 효율적으로 분리할 수 있다.
(3) 상기 유지장치의 분리방법에 있어서, 상기 판형상 기구의 상기 복수의 칼날은 상기 판형상 기구의 상기 유지장치에 대한 일방향으로의 상대 이동에 수반하여 절단 작용을 하는 방향으로 형성되어 있으며, 상기 분리하는 공정은 상기 판형상 기구를 상기 유지장치에 대해서 상기 일방향으로 상대 이동시키면서 상기 판형상 기구를 상기 칼날이 형성된 측부터 상기 제 1 판형상 부재의 상기 제 2 표면과 상기 제 2 판형상 부재의 상기 제 3 표면의 사이에 삽입하는 공정인 구성으로 하여도 좋다.
본 유지장치의 분리방법에 의하면, 판형상 기구가 유지장치에 대해서 반복해서 왕복 이동하는 형태에 비해서, 분리시에 스크랩이 발생하거나 제 1 판형상 부재나 제 2 판형상 부재에 흠집이 나는 것을 효과적으로 억제할 수 있다.
(4) 상기 유지장치의 분리방법에 있어서, 상기 제 1 판형상 부재는 세라믹스에 의해서 형성되어 있는 구성으로 하여도 좋다.
본 유지장치의 분리방법에 의하면, 열에 의한 변형이나 오염, 스크랩이나 흠집의 발생 등의 문제가 생기기 쉬운 세라믹스제의 제 1 판형상 부재를, 이러한 문제의 발생을 억제하면서 분리할 수 있다.
(5) 상기 유지장치의 분리방법에 있어서, 상기 제 2 판형상 부재는 금속에 의해서 형성되어 있는 구성으로 하여도 좋다.
본 유지장치의 분리방법에 의하면, 열에 의한 변형이나 오염, 스크랩이나 흠집의 발생 등의 문제가 생기기 쉬운 금속제의 제 2 판형상 부재를, 이러한 문제의 발생을 억제하면서 분리할 수 있다.
(6) 본 명세서에 개시되는 유지장치의 제조방법은, 상기 유지장치의 분리방법에 의해서 분리된 상기 제 1 판형상 부재의 상기 제 2 표면과 소정의 판형상 부재의 소정의 표면을 수지계의 접착제에 의해서 접착함으로써, 상기 제 1 판형상 부재와, 상기 소정의 표면이 상기 제 1 판형상 부재의 상기 제 2 표면에 대향하도록 배치된 소정의 판형상 부재와, 상기 제 1 판형상 부재의 상기 제 2 표면과 상기 소정의 판형상 부재의 상기 소정의 표면을 접착하는 접착층을 구비하며, 상기 제 1 판형상 부재의 상기 제 1 표면 상에 대상물을 유지하는 유지장치를 제조하는 방법이다.
본 제조방법에 의하면, 변형이나 오염, 흠집, 콘터미네이션 등의 발생이 억제된 제 1 판형상 부재를 재이용하여 유지장치를 새롭게 제조할 수 있다.
(7) 본 명세서에 개시되는 유지장치의 제 2 제조방법은, 상기 유지장치의 분리방법에 의해서 분리된 상기 제 2 판형상 부재의 상기 제 3 표면과 소정의 판형상 부재의 소정의 표면을 수지계의 접착제에 의해서 접착함으로써, 상기 소정의 판형상 부재와, 상기 제 3 표면이 상기 소정의 판형상 부재의 상기 소정의 표면에 대향하도록 배치된 상기 제 2 판형상 부재와, 상기 소정의 판형상 부재의 상기 소정의 표면과 상기 제 2 판형상 부재의 상기 제 3 표면을 접착하는 접착층을 구비하며, 상기 소정의 판형상 부재의 상기 소정의 표면과는 반대측의 표면 상에 대상물을 유지하는 유지장치를 제조하는 방법이다.
본 제조방법에 의하면, 변형이나 오염, 흠집, 콘터미네이션 등의 발생이 억제된 제 2 판형상 부재를 재이용하여 유지장치를 새롭게 제조할 수 있다.
또한, 본 명세서에 개시되는 기술은 여러 가지 형태로 실현하는 것이 가능하며, 예를 들면 유지장치, 정전 척, 히터, 진공 척 등의 분리방법이나 제조방법 등의 형태로 실현하는 것이 가능하다.
도 1은 본 실시형태에서의 정전 척(100)의 외관 구성을 개략적으로 나타낸 사시도
도 2는 본 실시형태에서의 정전 척(100)의 XZ단면 구성을 개략적으로 나타낸 설명도
도 3은 본 실시형태에서의 정전 척(100)의 분리·제조방법을 나타내는 플로차트
도 4는 본 실시형태에서의 판형상 기구(200)를 이용한 세라믹스판(10)과 베이스판(20)의 분리방법을 나타낸 설명도
도 5는 변형예에서의 판형상 기구(200)를 이용한 세라믹스판(10)과 베이스판(20)의 분리방법을 나타낸 설명도
A. 실시형태 :
A-1. 정전 척(100)의 구성 :
도 1은 본 실시형태에서의 정전 척(100)의 외관 구성을 개략적으로 나타낸 사시도이고, 도 2는 본 실시형태에서의 정전 척(100)의 XZ단면 구성을 개략적으로 나타낸 설명도이다. 각 도면에는 방향을 특정하기 위한 서로 직교하는 XYZ축이 도시되어 있다. 본 명세서에서는 편의적으로 Z축 정방향을 상측방향이라 하고, Z축 부방향을 하측방향이라 하지만, 정전 척(100)은 실제로는 이러한 방향과는 다른 방향에서 설치되어도 좋다.
정전 척(100)은 대상물{예를 들면, 웨이퍼(W)}을 정전 인력에 의해서 흡착하여 유지하는 장치이며, 예를 들면 반도체 제조장치의 진공 챔버 내에서 웨이퍼(W)를 고정하기 위해서 사용된다. 정전 척(100)은 소정의 배열방향{본 실시형태에서는 상하방향(Z축방향)}으로 나란히 배치된 세라믹스판(10) 및 베이스판(20)을 구비한다. 세라믹스판(10)과 베이스판(20)은, 세라믹스판(10)의 하면{이하 "세라믹스측 접합면(S2)"이라 한다}과 베이스판(20)의 상면{이하 "베이스측 접합면(S3)"이라 한다}이 상기 배열방향으로 대향하도록 배치되어 있다. 정전 척(100)은 세라믹스판(10)의 세라믹스측 접합면(S2)과 베이스판(20)의 베이스측 접합면(S3)의 사이에 배치된 접착층(30)을 더 구비한다. 세라믹스판(10)은 특허청구범위에서의 제 1 판형상 부재에 상당하고, 베이스판(20)은 특허청구범위에서의 제 2 판형상 부재에 상당한다. 또, 세라믹스판(10)의 세라믹스측 접합면(S2)은 특허청구범위에서의 제 2 표면에 상당하고, 베이스판(20)의 베이스측 접합면(S3)은 특허청구범위에서의 제 3 표면에 상당한다.
세라믹스판(10)은 예를 들면 원형 평면의 판형상 부재이며, 세라믹스에 의해서 형성되어 있다. 세라믹스판(10)의 직경은 예를 들면 50㎜∼500㎜ 정도(통상은 200㎜∼350㎜ 정도)이고, 세라믹스판(10)의 두께는 예를 들면 2㎜∼10㎜ 정도이다.
세라믹스판(10)의 형성 재료로서는 여러 가지 세라믹스가 이용될 수 있지만, 강도나 내마모성, 내플라스마성, 후술하는 베이스판(20)의 형성 재료와의 관계 등의 관점에서, 예를 들면 산화알루미늄(알루미나, Al2O3) 또는 질화알루미늄(AlN)을 주성분으로 하는 세라믹스가 이용되는 것이 바람직하다. 또한, 여기서 말하는 주성분이란 함유비율(중량비율)이 가장 많은 성분을 의미한다.
세라믹스판(10)의 내부에는 도전성 재료(예를 들면, 텅스텐이나 몰리브덴 등)에 의해서 형성된 1쌍의 내부 전극(40)이 설치되어 있다. 1쌍의 내부 전극(40)에 전원(도시생략)으로부터 전압이 인가되면, 정전 인력이 발생하고, 이 정전 인력에 의해서 웨이퍼(W)가 세라믹스판(10)의 상면{이하 "흡착면(S1)"이라 한다}에 흡착 고정된다. 세라믹스판(10)의 흡착면(S1)은 특허청구범위에서의 제 1 표면에 상당한다.
또, 세라믹스판(10)의 내부에는 도전성 재료(예를 들면 텅스텐이나 몰리브덴 등)에 의해서 형성된 저항 발열체로 구성된 히터(50)가 설치되어 있다. 히터(50)에 전원(도시생략)으로부터 전압이 인가되면, 히터(50)가 발열함으로써 세라믹스판(10)이 데워지고, 세라믹스판(10)의 흡착면(S1)에 유지된 웨이퍼(W)가 데워진다. 이것에 의해서 웨이퍼(W)의 온도 제어가 실현된다.
베이스판(20)은 예를 들면 세라믹스판(10)과 같은 직경 또는 세라믹스판(10)보다 직경이 큰 원형 평면의 판형상 부재이며, 금속(예를 들면 알루미늄이나 알루미늄 합금 등)에 의해서 형성되어 있다. 베이스판(20)의 직경은 예를 들면 220㎜∼550㎜ 정도(통상은 220㎜∼350㎜ 정도)이고, 베이스판(20)의 두께는 예를 들면 20㎜∼40㎜ 정도이다.
베이스판(20)의 내부에는 냉매 유로(21)가 형성되어 있다. 냉매 유로(21)에 냉매(예를 들면, 불소계 불활성 액체나 물 등)가 흐르게 되면, 베이스판(20)이 냉각되고, 접착층(30)을 사이에 둔 베이스판(20)과 세라믹스판(10) 간의 전열에 의해서 세라믹스판(10)이 냉각되고, 세라믹스판(10)의 흡착면(S1)에 유지된 웨이퍼(W)가 냉각된다. 이것에 의해서 웨이퍼(W)의 온도 제어가 실현된다.
접착층(30)은 예를 들면 실리콘계 수지나 아크릴계 수지, 에폭시계 수지 등의 수지계의 접착제를 포함하고 있으며, 세라믹스판(10)과 베이스판(20)을 접착하고 있다. 접착층(30)의 두께는 예를 들면 0.1㎜∼1㎜ 정도이다.
A-2. 정전 척(100)의 분리·제조방법 :
이어서, 본 실시형태에서의 정전 척(100)의 분리·제조방법을 설명한다.
정전 척(100)의 분리·제조방법은, 정전 척(100)에 있어서 접착되어 있는 세라믹스판(10)과 베이스판(20)을 분리하고, 분리된 세라믹스판(10)과 베이스판(20)의 적어도 일방을 재이용하여 정전 척(100)을 새롭게 제조하는 방법이다. 도 3은 본 실시형태에서의 정전 척(100)의 분리·제조방법을 나타낸 플로차트이다.
우선 필요에 따라서 분리 전처리를 실행한다(S110). 분리 전처리는 예를 들면 유기용제를 사용하여 접착층(30)의 일부를 용해하는 처리나, 정전 척(100)을 저온{접착층(30)에 포함되는 접착제의 분해 온도보다 낮은 온도}으로 가열하는 처리이다. 분리 전처리를 실행함으로써, 다음에 설명하는 세라믹스판(10)과 베이스판(20)의 분리공정을 보다 용이하게 실행할 수 있게 된다. 다만, 분리 전처리는 반드시 실행할 필요는 없다.
그리고, 판형상 기구(200)를 이용하여 접착층(30)의 적어도 일부를 물리적으로 제거함으로써 세라믹스판(10)과 베이스판(20)을 분리한다(S120). 도 4는 본 실시형태에서의 판형상 기구(200)를 이용한 세라믹스판(10)과 베이스판(20)의 분리방법을 나타낸 설명도이다. 도 4에 나타낸 바와 같이, 판형상 기구(200)는 대략 직사각형의 평판형상의 기구이다. 판형상 기구(200)의 치수는, 대상이 되는 정전 척(100)의 치수에 대응하여 적절히 설정된다. 본 실시형태에서는, 세라믹스판(10) 및 베이스판(20)의 직경은 약 300(㎜)이고, 판형상 기구(200)의 길이(도 4의 Y방향 치수)는 약 500(㎜)이고, 판형상 기구(200)의 폭(도 4의 X방향 치수)은 약 50(㎜)이고, 판형상 기구(200)의 두께는 약 0.2(㎜)이다.
또, 판형상 기구(200)에는 복수의 칼날(210)이 형성되어 있다. 칼날(210)은 판형상 기구(200)의 가장자리부에 형성된 요철형상 부분이다. 복수의 칼날(210)은 판형상 기구(200)를 정전 척(100)에 대해서 일방향(도 4의 예에서는 Y축 정방향)으로 이동시킴에 의해서 절단 작용을 하는 방향으로 형성되어 있다.
또, 판형상 기구(200)는 수지를 포함하는 재료에 의해서 형성되어 있다. 본 실시형태에서는 판형상 기구(200)의 형성 재료로서, 유리 섬유의 포상(布狀) 기재에 에폭시 수지를 침투시킨 에폭시 유리 시트{예를 들면, 일광화성(日光化成)주식회사 제품의 NL-EG-23)를 이용하였다. 이와 같은 섬유에 의해서 보강된 수지 재료는 인성(靭性)이 풍부하기 때문에 꺾이거나 갈라지기 어렵고, 또 형상의 가공도 용이하기 때문에, 판형상 기구(200)의 형성 재료로서 매우 적합하다.
도 4 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 정전 척(100)을 고정하고, 복수의 칼날(210)의 절단기능을 발휘시키기 위해서 판형상 기구(200)를 Y축 정방향으로 이동시키면서 복수의 칼날(210)이 형성된 측부터 X축 부방향으로 이동시켜서 세라믹스판(10)의 세라믹스측 접합면(S2)과 베이스판(20)의 베이스측 접합면(S3)의 사이{즉, 접착층(30)의 형성 개소}에 삽입하고, 판형상 기구(200)가 세라믹스판(10)의 반대측 단부의 위치에 이를 때까지 이동시킨다. 이것에 의해서 접착층(30)의 적어도 일부가 물리적으로 제거됨으로써(긁어내어 짐으로써) 세라믹스판(10)과 베이스판(20)이 분리된다. 또한, 이 분리공정은 임의의 온도{다만, 접착층(30)에 포함되는 접착제의 분해 온도보다 낮은 온도}에서 실행 가능하며, 예를 들면 상온(5∼35℃ 정도)에서 실행된다.
그리고, 필요에 따라서 분리 후처리를 실행한다(S130). 분리 후처리는 예를 들면 분리된 세라믹스판(10) 및 베이스판(20)의 표면에 부착된 접착제를 없애는 처리 등이다. 다만, 분리 후처리는 반드시 실행될 필요는 없다.
그리고, 분리된 세라믹스판(10)과 베이스판(20)을 접착제로 접착함으로써 접착층(30)을 형성한다(S140). 이것에 의해서 세라믹스판(10)과 베이스판(20)이 접착층(30)에 의해서 접착된 구성의 정전 척(100)이 새롭게 제조된다.
A-3. 본 실시형태의 효과 :
이상 설명한 바와 같이, 본 실시형태의 정전 척(100)의 분리·제조방법에서는, 적어도 표면이 수지를 포함하는 재료로 형성되어 있는 판형상 기구(200)를 세라믹스판(10)의 세라믹스측 접합면(S2)과 베이스판(20)의 베이스측 접합면(S3)의 사이에 삽입함에 의해서 접착층(30)의 적어도 일부를 물리적으로 제거하여 세라믹스판(10)과 베이스판(20)을 분리하는 공정을 구비한다. 따라서, 본 실시형태의 정전 척(100)의 분리·제조방법에 의하면, 정전 척(100)을 접착층(30)에 포함되는 접착제의 분해 온도까지 가열하지 않고도 세라믹스판(10)과 베이스판(20)을 분리할 수 있어, 세라믹스판(10)이나 베이스판(20)의 열에 의한 변형이나 오염의 발생을 억제할 수 있다. 또, 본 실시형태의 정전 척(100)의 분리·제조방법에 의하면, 판형상 기구(200)의 표면이 수지를 포함하는 재료로 형성되어 있기 때문에, 세라믹스판(10)과 베이스판(20)의 분리시에 스크랩이 발생하는 것을 억제함으로써 콘터미네이션의 발생을 억제할 수 있음과 아울러, 세라믹스판(10)이나 베이스판(20)에 흠집이 나는 것을 억제할 수 있다.
또, 본 실시형태의 정전 척(100)의 분리·제조방법에서는, 판형상 기구(200)에 복수의 칼날(210)이 형성되어 있으며, 상기한 바와 같이 세라믹스판(10)과 베이스판(20)을 분리하는 공정에서는, 판형상 기구(200)가 복수의 칼날(210)이 형성된 측부터 세라믹스판(10)의 세라믹스측 접합면(S2)과 베이스판(20)의 베이스측 접합면(S3)의 사이에 삽입된다. 따라서, 본 실시형태의 정전 척(100)의 분리·제조방법에 의하면, 접착층(30)의 적어도 일부를 효율적으로 제거할 수 있어 세라믹스판(10)과 베이스판(20)을 효율적으로 분리할 수 있다.
또, 본 실시형태의 정전 척(100)의 분리·제조방법에서는, 판형상 기구(200)의 복수의 칼날(210)은 판형상 기구(200)를 정전 척(100)에 대해서 일방향으로 이동시킴에 의해서 절단 작용을 하는 방향으로 형성되어 있으며, 상기한 바와 같이 세라믹스판(10)과 베이스판(20)을 분리하는 공정에서는, 판형상 기구(200)가 정전 척(100)에 대해서 상기 일방향으로 이동되면서, 판형상 기구(200)가 복수의 칼날(210)이 형성된 측부터 세라믹스판(10)의 세라믹스측 접합면(S2)과 베이스판(20)의 베이스측 접합면(S3)의 사이에 삽입된다. 따라서, 본 실시형태의 정전 척(100)의 분리·제조방법에 의하면, 판형상 기구(200)가 정전 척(100)에 대해서 상기 일방향과 그 반대방향으로 반복해서 왕복 이동하는 형태에 비해서, 분리시에 스크랩이 발생하거나 세라믹스판(10)이나 베이스판(20)에 흠집이 나는 것을 효과적으로 억제할 수 있다.
또, 본 실시형태의 정전 척(100)의 분리·제조방법에서는, 열에 의한 변형이나 오염, 스크랩이나 흠집의 발생 등의 문제가 생기기 쉬운 세라믹스제의 세라믹스판(10)이나 금속제의 베이스판(20)을 이러한 문제의 발생을 억제하면서 분리할 수 있다.
또, 본 실시형태의 정전 척(100)의 분리·제조방법에서는, 상기한 방법에 의해서 분리된 세라믹스판(10)의 세라믹스측 접합면(S2)과 베이스판(20)의 베이스측 접합면(S3)을 수지계의 접착제에 의해서 접착함으로써, 세라믹스판(10)과 베이스판(20)이 접착층(30)에 의해서 접착된 정전 척(100)이 제조되기 때문에, 변형이나 오염, 흠집, 콘터미네이션 등의 발생이 억제된 세라믹스판(10)이나 베이스판(20)을 재이용하여 정전 척(100)을 새롭게 제조할 수 있다.
B. 변형예 :
본 명세서에서 개시되는 기술은 상기한 실시형태에 한정되는 것이 아니며, 그 요지를 일탈하지 않는 범위에서 여러 가지 형태로 변형할 수 있으며, 예를 들면 다음과 같은 변형도 가능하다.
상기 실시형태에서의 정전 척(100)의 구성은 어디까지나 일례이며, 여러 가지 변형이 가능하다. 예를 들면, 상기 실시형태에서는 히터(50)가 세라믹스판(10)의 내부에 배치되는 것으로 하고 있으나, 히터(50)가 세라믹스판(10)의 내부가 아니라 세라믹스판(10)의 베이스판(20) 측{세라믹스판(10)과 접착층(30)의 사이}에 배치되는 것으로 하여도 좋다. 또, 상기 실시형태에서는 냉매 유로(21)가 베이스판(20)의 내부에 형성되는 것으로 하고 있으나, 냉매 유로(21)가 베이스판(20)의 내부가 아니라 베이스판(20)의 표면{예를 들면 베이스판(20)과 접착층(30)의 사이}에 형성되는 것으로 하여도 좋다. 또, 상기 실시형태에서는 세라믹스판(10)의 내부에 1쌍의 내부 전극(40)이 설치된 쌍극 방식이 채용되어 있으나, 세라믹스판(10)의 내부에 1개의 내부 전극(40)이 설치된 단극 방식이 채용되어도 좋다.
또, 상기 실시형태의 정전 척(100)에서의 각 부재를 형성하는 재료는 어디까지나 예시이며, 각 부재가 다른 재료에 의해서 형성되어도 좋다.
또, 상기 실시형태에서의 정전 척(100)의 분리·제조방법은 어디까지나 일례이며, 여러 가지 변형이 가능하다. 예를 들면, 상기 실시형태에서는 판형상 기구(200)의 형성 재료로서 에폭시 유리 시트가 이용되는 것으로 하고 있으나, 에폭시 유리 시트와 마찬가지로 섬유에 의해서 보강된 수지 재료인 에폭시 카본 화이버 시트(탄소 섬유의 기재에 에폭시 수지를 침투시킨 것)가 이용되는 것으로 하여도 좋다. 또, 판형상 기구(200)의 형성 재료로서 아크릴 시트나 PET 시트, PE 시트, PP 시트 등이 이용되는 것으로 하여도 좋다. 또, 판형상 기구(200)는 전체가 수지를 포함하는 재료에 의해서 형성되어 있을 필요는 없으며, 적어도 표면이 수지를 포함하는 재료에 의해서 형성되어 있으면 좋다. 예를 들면, 판형상 기구(200)는 금속제의 심부의 표면을 수지를 포함하는 재료에 의해서 덮은 구성인 것으로 하여도 좋다. 또, 판형상 기구(200)에는 반드시 칼날(210)이 형성되어 있을 필요는 없다.
또, 상기 실시형태에서는 판형상 기구(200)가 대략 직사각형의 평판 형상의 기구인 것으로 하고 있으나, 도 5에 나타낸 바와 같이 판형상 기구(200)가 대략 원형의 평판 형상의 기구인 것으로 하여도 좋다. 이 경우에 있어서, 판형상 기구(200)의 외주에 복수의 칼날(210)이 형성되어 있어도 좋다. 또, 이 경우에는 판형상 기구(200)를 일방향으로 회전시키면서, 판형상 기구(200)를 세라믹스판(10)의 세라믹스측 접합면(S2)과 베이스판(20)의 베이스측 접합면(S3)의 사이에 삽입함으로써, 세라믹스판(10)과 베이스판(20)으로 분리할 수 있다.
또, 상기 실시형태에서는 세라믹스판(10)과 베이스판(20)으로 분리할 때에, 정전 척(100)을 고정하고서 판형상 기구(200)를 이동시키고 있지만, 판형상 기구(200)를 정전 척(100)에 대해서 상대적으로 이동시키면 좋다. 즉, 판형상 기구(200)를 고정하고 정전 척(100)을 이동시키는 것으로 하여도 좋고, 양자를 이동시키는 것으로 하여도 좋다.
또, 상기 실시형태에서는 분리된 세라믹스판(10)과 베이스판(20)의 양방을 재이용하여 정전 척(100)을 새롭게 제조하는 것으로 하고 있으나, 반드시 분리된 세라믹스판(10)과 베이스판(20)의 양방을 재이용할 필요는 없다. 예를 들면, 분리된 세라믹스판(10)만을 재이용하되 이 세라믹스판(10)을 별도로 준비한 베이스판(20)에 접착함으로써, 정전 척(100)을 새롭게 제조하는 것으로 하여도 좋다. 혹은, 분리된 베이스판(20)만을 재이용하되 이 베이스판(20)을 별도로 준비한 세라믹스판(10)에 접착함으로써, 정전 척(100)을 새롭게 제조하는 것으로 하여도 좋다.
또, 본 발명은 정전 인력을 이용하여 웨이퍼(W)를 유지하는 정전 척(100)의 분리·제조에 한정하지 않고, 제 1 표면과 이 제 1 표면과는 반대측의 제 2 표면을 가지는 제 1 판형상 부재와; 제 3 표면을 가지며, 이 제 3 표면이 제 1 판형상 부재의 제 2 표면에 대향하도록 배치된 제 2 판형상 부재와; 수지계의 접착제를 포함하며, 제 1 판형상 부재의 제 2 표면과 제 2 판형상 부재의 제 3 표면을 접착하는 접착층을 구비하며, 제 1 판형상 부재의 제 1 표면 상에 대상물을 유지하는 다른 유지장치(예를 들면, 진공 척이나 히터 등)의 분리·제조에도 적용 가능하다.
10 : 세라믹스판 20 : 베이스판
21 : 냉매 유로 30 : 접착층
40 : 내부 전극 50 : 히터
100 : 정전 척 200 : 판형상 기구
210 : 칼날

Claims (7)

  1. 제 1 표면과 상기 제 1 표면과는 반대측의 제 2 표면을 가지는 제 1 판형상 부재와; 제 3 표면을 가지며, 상기 제 3 표면이 상기 제 1 판형상 부재의 상기 제 2 표면에 대향하도록 배치된 제 2 판형상 부재와; 수지계의 접착제를 포함하며, 상기 제 1 판형상 부재의 상기 제 2 표면과 상기 제 2 판형상 부재의 상기 제 3 표면을 접착하는 접착층;을 구비하며, 상기 제 1 판형상 부재의 상기 제 1 표면 상에 대상물을 유지하는 유지장치의 분리방법에 있어서,
    상기 접착층의 분해 온도보다 낮은 온도에서 적어도 표면이 수지를 포함하는 재료로 형성되어 있는 판형상 기구를 상기 제 1 판형상 부재의 상기 제 2 표면과 상기 제 2 판형상 부재의 상기 제 3 표면의 사이에 삽입함에 의해서 상기 접착층의 적어도 일부를 물리적으로 제거하여 상기 제 1 판형상 부재와 상기 제 2 판형상 부재를 분리하는 공정을 구비하는 유지장치의 분리방법.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 판형상 기구에는 복수의 칼날이 형성되어 있으며,
    상기 분리하는 공정은, 상기 판형상 기구를 상기 칼날이 형성된 측부터 상기 제 1 판형상 부재의 상기 제 2 표면과 상기 제 2 판형상 부재의 상기 제 3 표면의 사이에 삽입하는 공정인 것을 특징으로 하는 유지장치의 분리방법.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 판형상 기구의 상기 복수의 칼날은, 상기 판형상 기구의 상기 유지장치에 대한 일방향으로의 상대 이동에 수반하여 절단 작용을 하는 방향으로 형성되어 있으며,
    상기 분리하는 공정은, 상기 판형상 기구를 상기 유지장치에 대해서 상기 일방향으로 상대 이동시키면서, 상기 판형상 기구를 상기 칼날이 형성된 측부터 상기 제 1 판형상 부재의 상기 제 2 표면과 상기 제 2 판형상 부재의 상기 제 3 표면의 사이에 삽입하는 공정인 것을 특징으로 하는 유지장치의 분리방법.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 제 1 판형상 부재는 세라믹스에 의해서 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 유지장치의 분리방법.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 제 2 판형상 부재는 금속에 의해서 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 유지장치의 분리방법.
  6. 청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 한 항에 기재된 유지장치의 분리방법에 의해서 분리된 상기 제 1 판형상 부재의 상기 제 2 표면과 소정의 판형상 부재의 소정의 표면을 수지계의 접착제에 의해서 접착함으로써, 상기 제 1 판형상 부재와, 상기 소정의 표면이 상기 제 1 판형상 부재의 상기 제 2 표면에 대향하도록 배치된 소정의 판형상 부재와, 상기 제 1 판형상 부재의 상기 제 2 표면과 상기 소정의 판형상 부재의 상기 소정의 표면을 접착하는 접착층을 구비하며, 상기 제 1 판형상 부재의 상기 제 1 표면 상에 대상물을 유지하는 유지장치를 제조하는 방법.
  7. 청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 한 항에 기재된 유지장치의 분리방법에 의해서 분리된 상기 제 2 판형상 부재의 상기 제 3 표면과 소정의 판형상 부재의 소정의 표면을 수지계의 접착제에 의해서 접착함으로써, 상기 소정의 판형상 부재와, 상기 제 3 표면이 상기 소정의 판형상 부재의 상기 소정의 표면에 대향하도록 배치된 상기 제 2 판형상 부재와, 상기 소정의 판형상 부재의 상기 소정의 표면과 상기 제 2 판형상 부재의 상기 제 3 표면을 접착하는 접착층을 구비하며, 상기 소정의 판형상 부재의 상기 소정의 표면과는 반대측의 표면 상에 대상물을 유지하는 유지장치를 제조하는 방법.
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