KR102047155B1

KR102047155B1 - 붕소 함유수의 처리 방법 및 장치

Info

Publication number: KR102047155B1
Application number: KR1020167001684A
Authority: KR
Inventors: 노조무 이쿠노
Original assignee: 쿠리타 고교 가부시키가이샤
Priority date: 2013-07-22
Filing date: 2014-06-25
Publication date: 2019-11-20
Also published as: CN105392552B; SG11201600449XA; WO2015012054A1; KR20160033119A; TWI616404B; JP5733351B2; TW201505973A; JP2015020131A; US20160159671A1; CN105392552A

Abstract

붕소 함유수를, RO 의 막 열화 내성이 강한 산성으로부터 중성의 pH 에 있어서, RO 장치 및 이온 교환 장치에 의해 효율적으로 붕소 제거 처리할 수 있는 붕소 함유수의 처리 방법 및 장치를 제공한다. 붕소 함유수를 고압형 역침투막 장치에 통수한 후, 이온 교환 장치로 처리하는 것을 특징으로 하는 붕소 함유수의 처리 방법. 붕소 함유수가 공급되는 고압형 역침투막 장치와, 그 고압형 역침투막 장치의 투과수가 통수되는 이온 교환 장치를 구비하여 이루어지는 붕소 함유수의 처리 장치.

Description

붕소 함유수의 처리 방법 및 장치{METHOD AND DEVICE FOR TREATING BORON-CONTAINING WATER}

본 발명은 붕소 함유수의 처리 방법 및 장치에 관한 것으로, 특히 초순수 제조 장치의 1 차 순수 시스템이나 회수계에 바람직한 붕소 함유수를 역침투막 장치 (이하, RO 장치라고 하는 경우가 있다) 및 이온 교환 장치에 의해 처리하는 방법 및 장치에 관한 것이다.

초순수 제조 시스템은, 일반적으로 전처리 시스템, 1 차 순수 시스템, 서브 시스템, 필요에 따라 회수 시스템으로 구성된다. 전처리 시스템은, 응집 여과나 MF 막 (정밀 여과막), UF 막 (한외 여과막) 등에 의한 제탁 처리 장치, 활성탄 등에 의한 탈염소 처리 장치에 의해 구성된다.

1 차 순수 시스템은, RO 막 (역침투막) 장치, 탈기막 장치, 이온 교환탑 등에 의해 구성되고, 대부분의 이온 성분이나 TOC 성분이 제거된다.

회수 시스템은, 반도체 세정 공정 등의 유즈 포인트로부터의 배출수 (사용이 완료된 초순수) 를 처리하는 시스템으로서, 생물 처리 장치, 응집, 부상 또는 침전, 여과, RO 막 (역침투막) 장치나 이온 교환탑에 의해 구성된다.

서브 시스템은, UV 장치 (자외선 산화 장치), 비재생형 이온 교환 장치, UF 장치 (한외 여과 장치) 등에 의해 구성되고, 미량 이온의 제거, 특히 저분자의 미량 유기물 제거, 미립자의 제거가 실시된다. 서브 시스템에서 제조된 초순수는, 유즈 포인트에 송수되고, 잉여의 초순수는 서브 시스템 전단의 탱크에 반송되는 것이 일반적이다.

이 서브 시스템에 있어서는, 미량 이온의 제거는, 이온 교환 수지가 충전된 비재생형의 이온 교환 수지탑에서 실시하며, 1 년에 1 ∼ 2 회 정도의 빈도로 이온 교환 수지를 교환하고 있다. 그러나, 서브 시스템에서 처리되는 순수 중에 붕소가 함유되어 있으면, 아니온 교환 수지의 붕소 흡착량은 일반 이온의 1/1000 정도로 낮기 때문에, 이온 교환 수지의 수명은 작아진다 (예를 들어 2 주간 정도). 이 때문에, 1 차 순수 시스템이나 회수 시스템에서 붕소의 제거를 실시할 필요가 있다.

수중의 붕소를 제거하는 수법으로서 역침투막 분리법 (RO 법), 이온 교환법 (아니온 교환 수지 또는 킬레이트 수지) 을 들 수 있다. RO 는 탈염, 유기물 제거 등 수중에 함유되는 불순물을 효율적으로 제거할 수 있지만, 수중에 있어서의 붕소의 해리는 적기 때문에, RO 에 의한 붕소 제거율은 낮으며, 중성역에서는 60 ∼ 70 ％ 정도이다. 아니온 교환 수지를 사용한 이온 교환법의 경우, 아니온 교환 수지의 붕소 흡착량은 일반 이온의 1/1000 정도이기 때문에, 재생 빈도가 매우 빈번해진다. 그 때문에, 종래 1 차 순수 시스템 혹은 회수 시스템에서는, 아니온 교환 수지를 단상 혹은 혼상으로 한 재생형의 이온 교환탑을 복수단 설치 (예를 들어, 4 상 5 탑 ＋ RO 식, 2 상 3 탑 ＋ RO ＋ 혼상식) 하여, 처리를 실시하고 있었다.

킬레이트 수지는, 아니온 교환 수지에 비해 붕소 흡착량이 약 10 배 정도 많기는 하지만, 재생 방법으로서 산, 알칼리의 양 약제를 사용해야 해서 재생이 번잡하다.

붕소 함유수의 pH 를 알칼리성으로 하면, RO 에 의한 붕소 제거율이 향상되는 점에서, 특허문헌 1 ∼ 3 에는, 붕소 함유수에 알칼리를 첨가한 후, 내알칼리성 RO 장치로 RO 처리하고, 이어서 이온 교환 처리하는 붕소 함유수의 처리 방법이 기재되어 있다.

그러나, 붕소 함유수의 pH 를 알칼리성으로 하면, RO 막면에 경도 스케일이 석출되기 쉬워짐과 함께, 내알칼리성 RO 막이어도 알칼리에 의해 서서히 열화되므로, RO 막의 교환 빈도가 높아진다.

일본 공개특허공보 평11-128921호 일본 공개특허공보 평11-128923호 일본 공개특허공보 평11-188359호

본 발명은, 붕소 함유수를, RO 의 막 열화 내성이 강한 산성으로부터 중성의 pH 에 있어서, RO 장치 및 이온 교환 장치에 의해 효율적으로 붕소 제거 처리할 수 있는 붕소 함유수의 처리 방법 및 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 요지는 다음과 같다.

[1] 붕소 함유수를 고압형 역침투막 장치에 통수한 후, 이온 교환 장치로 처리하는 것을 특징으로 하는 붕소 함유수의 처리 방법.

[2] [1] 에 있어서, 상기 이온 교환 장치가 이하의 a) ∼ e) 중 어느 것의 재생형 이온 교환 장치를 갖는 것을 특징으로 하는 붕소 함유수의 처리 방법.

a) 강염기성 아니온 교환 수지를 충전한 단상 단탑식의 재생형 이온 교환 장치.

b) 강산성 카티온 교환 수지가 충전된 카티온 교환 수지탑과, 강염기성 아니온 교환 수지가 충전된 아니온 교환 수지를 직렬로 접속시킨 2 상 2 탑식의 재생형 이온 교환 장치.

c) 강산성 카티온 교환 수지와 강염기성 아니온 교환 수지를, 하나의 이온 교환 수지탑 내에 각각이 각각의 상이한 층이 되도록 배치한 2 상 1 탑식의 재생형 이온 교환 장치.

d) 강산성 카티온 교환 수지와 강염기성 아니온 교환 수지를 균일하게 혼합하여 동일 탑 내에 충전한 혼상형의 재생형 이온 교환 장치.

e) 전기 재생식 탈이온 장치를 1 단 또는 복수단 직렬로 접속시킨 재생형 이온 교환 장치.

[3] [1] 또는 [2] 에 있어서, 붕소 함유수를 응집 처리 및 여과 처리한 후, 상기 고압형 역침투막 장치에 통수하는 것을 특징으로 하는 붕소 함유수의 처리 방법.

[4] [1] 내지 [3] 중 어느 하나에 있어서, 상기 고압형 역침투막 장치에 대한 급수의 pH 가 5 ∼ 8 인 것을 특징으로 하는 붕소 함유수의 처리 방법.

[5] 붕소 함유수가 공급되는 고압형 역침투막 장치와, 그 고압형 역침투막 장치의 투과수가 통수되는 이온 교환 장치를 구비하여 이루어지는 붕소 함유수의 처리 장치.

[6] [5] 에 있어서, 상기 이온 교환 장치가 이하의 a) ∼ e) 중의 어느 것의 재생형 이온 교환 장치를 갖는 것을 특징으로 하는 붕소 함유수의 처리 장치.

[7] [5] 또는 [6] 에 있어서, 상기 고압형 역침투막 장치의 전단에 응집 처리 장치 및 여과 장치를 설치한 것을 특징으로 하는 붕소 함유수의 처리 장치.

본 발명의 붕소 함유수의 처리 방법 및 장치에서는, 붕소 함유수를 처리하기 위한 RO 장치로서 고압형 RO 장치를 사용한다. 이 고압형 RO 장치는, 막면이 치밀하고, 중성 pH 역에 있어서도 붕소 제거율이 높다. 이 고압형 RO 장치 유출수 중의 붕소 농도가 현저하게 낮은 레벨이 되기 때문에, 고압형 RO 장치의 후단에는, 재생형 이온 교환 장치를 단단으로 설치하는 것만으로 붕소 농도가 충분히 저하된 처리수를 얻을 수 있다.

도 1 은, 실시예에 관련된 붕소 함유수의 처리 방법 및 장치의 플로도이다.

본 발명에 있어서 처리 대상이 되는 붕소 함유수는, 하천수, 정수, 호소수 등의 천연 원수여도 되고, 반도체 제조 공정으로부터의 회수수나 그 처리수여도 된다. 본 발명은, 초순수를 제조하기 위한 원수로부터 붕소를 제거하기 위한 방법 및 장치로서 바람직하고, 이 원수로는 붕소 농도 10 ∼ 100 ㎍/ℓ 특히 20 ∼ 50 ㎍/ℓ 정도의 것이 바람직하다.

본 발명에서는, 붕소 함유수를 필요에 따라 전처리하고 나서 고압형 RO 처리한다. 전처리 방법 및 장치로는, 응집제를 첨가하고 나서 여과하는 방법 및 장치가 바람직하다. 응집제로는 폴리염화알루미늄, 황산알루미늄, 염화제2철, 황산제2철 등의 무기 응집제가 바람직하다. 응집 처리 후의 여과 처리로는, 모래 여과, 모래와 앤트러사이트에 의한 2 층 여과 등 각종 여과기를 사용할 수 있다. MF 막 등의 여과막을 사용해도 된다.

본 발명에서는, 이 원수 또는 그것을 전처리한 전처리수를 고압형 RO 장치로 처리한다. 이 고압형 RO 장치에 대한 급수는 pH 가 5 ∼ 8 이고, TDS (전용해성 물질 농도) 가 1500 ㎎/ℓ 이하인 것이 바람직하다. 그러나, 보다 고도로 붕소를 제거하는 경우에 고압형 RO 막 장치에 대한 급수의 pH 를 9 ∼ 11 로 알칼리성으로 할 수도 있다.

고압형 RO 장치는, 종래 해수 담수화에 사용되고 있는 역침투막 분리 장치이며, 종래의 초순수 제조 장치의 1 차 순수 시스템에 사용되고 있는 저압 또는 초저압 역침투막에 비해 막 표면의 스킨층이 치밀하게 되어 있다. 그 때문에, 고압형 역침투막은 저압형 또는 초저압형 역침투막에 비해 단위 조작 압력당의 막 투과수량은 낮지만 붕소 제거율이 높다.

이 고압형 RO 막 장치는, 상기 서술한 바와 같이, 단위 조작 압력당의 막 투과수량은 낮고, 유효 압력이 2.0 ㎫, 온도 25 ℃ 에 있어서의 순수의 투과 유속이 0.6 ∼ 1.3 ㎥/㎡/day 이고, NaCl 제거율은 99.5 ％ 이상인 특성을 갖는다. 유효 압력이란, 평균 조작 압력으로부터 삼투압차와 2 차 측압력을 뺀 막에 작용하는 유효한 압력이다. NaCl 제거율은, NaCl 농도 32000 ㎎/ℓ의 NaCl 수용액에 대한 25 ℃, 유효 압력 2.7 ㎫ 에서의 제거율이다.

본 발명에서는, 이 고압형 RO 장치의 투과수를 추가로 이온 교환 처리한다. 이 이온 교환 처리에는, 비재생형 이온 교환 장치 및/또는 재생형 이온 교환 장치를 사용한다. 본 발명에서는, 고압형 RO 장치로 붕소의 대부분 (예를 들어 95 ％ 이상) 이 제거되고, 이 이온 교환 처리에 제공되는 물의 붕소 농도는 0.5 ∼ 8 ㎍/ℓ 정도이므로, 비재생형 이온 교환 장치와 재생형 이온 교환 장치 중 어느 일방만을 단단으로 설치하면 충분하다. 단, 붕소 및/또는 다른 이온성 물질을 충분히 또한 안정적으로 제거하기 위해서는, 재생형 이온 교환 장치 또는 비재생형 이온 교환 장치를 설치하고, 그 후단에 비재생형 이온 교환 장치를 설치하는 것이 바람직하다. 효율적으로 붕소 및 다른 이온성 물질을 제거하기 위해서는, 재생형 이온 교환 장치를 설치하고, 그 후단에 비재생형 이온 교환 장치를 설치하는 것이 보다 바람직하다.

재생형 이온 교환 장치로는, 고압형 RO 막 장치로부터의 처리수 중에 잔류하는 붕소를 제거하기 위해, 적어도 강염기성 아니온 교환 수지 또는 붕소 선택성 수지 (예를 들어 붕소 킬레이트 수지) 가 충전된 이온 교환탑으로 하거나, 혹은 전기 재생식 탈이온 교환 장치로 할 필요가 있다.

상기 강염기성 아니온 교환 수지가 충전된 이온 교환탑은, 붕소만을 제거 목적으로 하는 경우에는 강염기성 아니온 교환 수지만이 충전된 아니온 교환 수지탑을 단독으로 사용한 단상 단탑식으로 할 수도 있지만, 통상적으로는 카티온성 물질도 제거할 필요가 있기 때문에, 이하와 같은 2 상 2 탑식, 2 상 1 탑식, 또는 혼상식을 채용하는 것이 바람직하다.

2 상 2 탑식 : 강산성 카티온 교환 수지가 충전된 카티온 교환 수지탑과, 강염기성 아니온 교환 수지가 충전된 아니온 교환 수지를 직렬로 접속시켜 처리하는 방식.

2 상 1 탑식 : 강산성 카티온 교환 수지와 강염기성 아니온 교환 수지를, 하나의 이온 교환 수지탑 내에 각각이 각각의 상이한 층이 되도록 배치하여 처리하는 방식.

혼상식 : 강산성 카티온 교환 수지와 강염기성 아니온 교환 수지를 균일하게 혼합하고 동일 탑 내에 충전하여 처리하는 방식.

상기 전기 재생식 탈이온 장치는, 양극, 음극 사이에 복수의 아니온 교환막 및 카티온 교환막을 교대로 배열하여 농축실과 탈염실을 교대로 형성하고, 탈염실에 아니온 교환 수지와 카티온 교환 수지의 혼합 이온 교환 수지나, 이온 교환 섬유 등의 이온 교환체를 충전한 전기 탈이온 장치여도 되고, 또한 농축실에도 이온 교환체를 충전한 전기 탈이온 장치여도 된다.

본 발명에서 사용하는 비재생형 이온 교환 장치는, 초순수 제조 설비에서 사용되는 것이 바람직하다. 비재생형 이온 교환 장치는, 적어도 강염기성 아니온 교환 수지 또는 붕소 선택성 수지 (예를 들어 붕소 킬레이트 수지) 가 충전된 것이 바람직하고, 특히 붕소 선택성 수지를 하나의 탑에 충전한 단상 단탑식, 혹은 강산성 카티온 교환 수지와 강염기성 아니온 교환 수지가 혼합 혹은 각각의 수지가 각각의 층을 형성하도록 충전된 것이 바람직하다. 비재생형 이온 교환 장치는, 장치 내에는 재생 설비를 갖고 있지 않다. 따라서, 당해 비재생형 이온 교환 장치는, 그 처리 능력이 저하된 경우, 충전되어 있는 이온 교환 수지의 재생을 실시하지 않고, 미리 다른 곳에서 재생된 다른 이온 교환 수지와 교환하여 사용된다.

붕소 선택성 수지의 단상 단탑식의 비재생형 이온 교환 장치를 사용한 경우에는, 다른 이온성 물질을 제거하기 위해, 그 후단에 강산성 카티온 교환 수지와 강염기성 아니온 교환 수지가 혼합 혹은 각각의 수지가 각각의 층을 형성하도록 충전된 비재생식 이온 교환탑을 형성하는 것이 바람직하다.

강산성 카티온 교환 수지와 강염기성 아니온 교환 수지가 혼합 혹은 각각의 수지가 각각의 층을 형성하도록 충전된 비재생식 이온 교환탑에서 처리하는 경우에는, 그 전단에 자외선 산화 장치를 형성함으로써 유기 물질도 제거하는 것이 가능해진다.

RO 장치의 투과수는, RO 장치에 대한 급수가 pH 5 ∼ 8 정도인 경우에는, RO 장치로 알칼리 성분이 제거됨으로써 약산성 pH 가 된다. 그 때문에, 고압형 RO 장치 투과수를 막 탈기 장치나 진공 탈기 장치 등에 의해 탈기하여 탈탄산 처리를 실시하고 나서 이온 교환 장치로 처리해도 된다. 본 발명에서는, 전처리 후의 물에 산을 첨가하여 탈기하고 나서 고압형 RO 처리해도 된다.

본 발명에서는, 상기 고압형 RO 장치의 투과수를 다른 RO 장치로 처리하고 나서, 혹은 다른 RO 막 장치의 투과수를 상기 고압형 RO 장치로 처리하고 나서, 상기 이온 교환 장치로 처리하도록 해도 된다. 다른 RO 장치로는, 고압형 RO 장치여도 되고, 종래의 1 차 순수 시스템에 사용되어 온 저압 또는 초저압형 역침투막 장치여도 된다.

본 발명에서는, 상기 고압형 RO 장치 (이하, 제 1 고압형 RO 장치라고 하는 경우가 있다) 의 농축수를 별도 설치된 제 2 고압형 RO 장치에 의해 처리하고, 이 제 2 고압형 RO 장치 투과수를 상기 제 1 고압형 RO 장치의 급수로 되돌림으로써, 물 회수율을 높게 해도 된다.

본 발명의 붕소 함유수의 처리 방법 및 장치는, 초순수 제조 시스템의 1 차 순수 시스템이나 회수 시스템에 적용하는 것이 바람직하다. 따라서, 본 발명의 붕소 함유수의 처리 방법 및 장치로 처리된 붕소 함유수는, UV 장치 (자외선 산화 장치), 비재생형 이온 교환 장치, UF 장치 (한외 여과 장치) 등에 의해 구성된 서브 시스템에서 처리되는 것이 바람직하다.

실시예

[실시예 1]

붕소 농도 100 ㎍/ℓ, TDS 500 ㎎/ℓ, pH 6.5, 도전율 32 mS/m 의 공업용수를 도 1 의 플로에 따라 처리를 실시하였다. 먼저, 이 공업용수를 전처리 장치 (1) 로 응집 처리 및 여과 처리하여 막 처리하였다. 응집 처리의 응집제로는 폴리염화알루미늄을 10 ㎎/ℓ 첨가하였다. 여과에는 모래·앤트러사이트 2 층 여과기를 사용하였다. 전처리수의 pH 는 6 이었다.

이 전처리수를 고압형 RO 장치 (2) (닛토 전공 (주) 제조의 SWC4Max, 유효압 2.0 ㎫, 온도 25 ℃ 에 있어서의 순수 투과 유속 0.78 ㎥/㎡/day ; 유효압 2.0 ㎫, 온도 25 ℃, NaCl 농도 32000 ㎎/ℓ 에 있어서의 NaCl 제거율 99.8 ％) 로 회수율 75 ％ 로 처리하였다. 또한, 이 고압형 RO 장치 투과수를 아니온 교환 수지 (다우 케미컬사 제조의 Monosphere550A(H)) 를 충전한 재생형 아니온 교환 수지탑 (3) 에 SV30 으로 통수하고, 추가로 그 후 비재생형 탈이온 장치 (4) 에 SV50 으로 통수하였다. 통수 개시부터 24 Hr 경과한 시점에서의 각 공정에 있어서의 수중의 붕소 농도의 측정 결과를 표 1 에 나타낸다. 표 1 에서는, 비재생형 탈이온 장치 (4) 의 처리수를「비재생형 처리수」라고 약기하였다.

[비교예 1]

고압형 RO 장치 대신에, 초저압 RO 막 (닛토 전공 주식회사 제조의 ES-20) 을 구비한 초저압형 RO 장치를 사용한 것 이외에는, 실시예 1 과 동일한 처리를 실시하였다. 각 공정에 있어서의 수중의 붕소 농도의 측정 결과를 표 1 에 나타낸다.

[비교예 2]

실시예 1 과 동일한 원수를 동일 조건으로 전처리한 후, 제 1 카티온 교환 수지탑에 SV30 으로 통수하였다. 이 제 1 카티온 교환 수지탑 유출수 (pH 2) 를 막 탈기 장치로 탈탄산 처리하고, 이어서 제 1 아니온 교환 수지탑에 SV30 으로 통수하고, 이어서 제 2 카티온 교환 수지탑에 SV100 으로 통수하고, 이어서 제 2 아니온 교환 수지탑에 SV100 으로 통수하고, 그 후 비재생형 아니온 교환 수지탑에 SV50 으로 통수하였다. 각 공정에 있어서의 수중의 붕소 농도의 측정 결과를 표 1 에 나타낸다.

표 1 과 같이, 고압형 RO 장치를 사용한 실시예 1 에서는 RO 투과수의 붕소 농도는 5 ㎍/ℓ 로 낮게 되어 있고, 재생형 아니온 교환 수지탑 처리수의 붕소 농도가 1 ng/ℓ 이하로 충분히 낮게 되어 있다. 고압형 RO 장치 대신에 초저압 RO 장치 (닛토 전공 (주) ES-20, 유효압 2.0 ㎫, 온도 25 ℃ 에 있어서의 순수 투과 유속 1 ㎥/㎡/day ; 유효압 0.75 ㎫, 온도 25 ℃, NaCl 농도 500 ㎎/ℓ 에 있어서의 NaCl 제거율 99.7 ％) 를 사용한 비교예 1 에서는 RO 장치 투과수의 붕소 농도가 60 ㎍/ℓ 로 높고, 재생형 아니온 교환 수지탑 처리수의 붕소 농도는 3 ㎍/ℓ 로 높은 값으로 되어 있다.

본 발명을 특정한 양태를 사용하여 상세하게 설명하였지만, 본 발명의 의도와 범위를 벗어나지 않고 여러 가지 변경이 가능한 것은 당업자에게 명백하다.

본 출원은, 2013년 7월 22일자로 출원된 일본 특허출원 2013-151701호에 기초하고 있으며, 그 전체가 인용에 의해 원용된다.

Claims

초순수 제조 시스템의 1 차 순수 시스템 또는 회수 시스템에 적용되는 붕소 함유수의 처리 방법으로서, 붕소 농도 10 ∼ 100 ㎍/ℓ 의 붕소 함유수를 고압형 역침투막 장치에 통수한 후, 그 고압형 역침투막 장치로 붕소가 제거된 붕소 농도 0.5 ∼ 8 ㎍/ℓ 의 투과수를 재생형 이온 교환 장치로 처리하여 붕소 농도 ＜ 1 ng/ℓ 의 처리수를 얻은 후, 추가로 비재생형 이온 교환 장치로 처리하는 방법이며, 상기 고압형 역침투막 장치에 대한 급수의 pH 가 5 ∼ 8 인 것을 특징으로 하는 붕소 함유수의 처리 방법.
제 1 항에 있어서,
상기 재생형 이온 교환 장치가 이하의 가) ∼ 마) 중 어느 것의 재생형 이온 교환 장치인 것을 특징으로 하는 붕소 함유수의 처리 방법.
가) 강염기성 아니온 교환 수지를 충전한 단상 단탑식의 재생형 이온 교환 장치.
나) 강산성 카티온 교환 수지가 충전된 카티온 교환 수지탑과, 강염기성 아니온 교환 수지가 충전된 아니온 교환 수지를 직렬로 접속시킨 2 상 2 탑식의 재생형 이온 교환 장치.
다) 강산성 카티온 교환 수지와 강염기성 아니온 교환 수지를, 하나의 이온교환 수지탑 내에 각각이 각각의 상이한 층이 되도록 배치한 2 상 1 탑식의 재생형 이온 교환 장치.
라) 강산성 카티온 교환 수지와 강염기성 아니온 교환 수지를 균일하게 혼합하여 동일 탑 내에 충전한 혼상형의 재생형 이온 교환 장치.
마) 전기 재생식 탈이온 장치를 1 단 또는 복수단 직렬로 접속시킨 재생형 이온 교환 장치.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
붕소 함유수를 응집 처리 및 여과 처리한 후, 상기 고압형 역침투막 장치에 통수하는 것을 특징으로 하는 붕소 함유수의 처리 방법.
초순수 제조 시스템의 1 차 순수 시스템 또는 회수 시스템에 적용되는 붕소 함유수의 처리 장치로서, 붕소 농도 10 ∼ 100 ㎍/ℓ 의 붕소 함유수가 공급되는 고압형 역침투막 장치와, 그 고압형 역침투막 장치로 붕소가 제거된 붕소 농도 0.5 ∼ 8 ㎍/ℓ 의 투과수가 통수되는 재생형 이온 교환 장치와, 그 재생형 이온 교환 장치로부터의 붕소 농도 ＜ 1 ng/ℓ 의 처리수가 통수되는 비재생형 이온 교환 장치를 구비하여 이루어지고, 상기 고압형 역침투막 장치에 대한 급수의 pH 가 5 ∼ 8 인 붕소 함유수의 처리 장치.
제 4 항에 있어서,
상기 재생형 이온 교환 장치가 이하의 가) ∼ 마) 중 어느 것의 재생형 이온 교환 장치인 것을 특징으로 하는 붕소 함유수의 처리 장치.
가) 강염기성 아니온 교환 수지를 충전한 단상 단탑식의 재생형 이온 교환 장치.
나) 강산성 카티온 교환 수지가 충전된 카티온 교환 수지탑과, 강염기성 아니온 교환 수지가 충전된 아니온 교환 수지를 직렬로 접속시킨 2 상 2 탑식의 재생형 이온 교환 장치.
다) 강산성 카티온 교환 수지와 강염기성 아니온 교환 수지를, 하나의 이온 교환 수지탑 내에 각각이 각각의 상이한 층이 되도록 배치한 2 상 1 탑식의 재생형 이온 교환 장치.
라) 강산성 카티온 교환 수지와 강염기성 아니온 교환 수지를 균일하게 혼합하여 동일 탑 내에 충전한 혼상형의 재생형 이온 교환 장치.
마) 전기 재생식 탈이온 장치를 1 단 또는 복수단 직렬로 접속시킨 재생형 이온 교환 장치.
제 4 항 또는 제 5 항에 있어서,
상기 고압형 역침투막 장치의 전단에 응집 처리 장치 및 여과 장치를 설치한 것을 특징으로 하는 붕소 함유수의 처리 장치.
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