KR102001815B1

KR102001815B1 - 밀봉체의 제작 방법 및 발광 장치의 제작 방법

Info

Publication number: KR102001815B1
Application number: KR1020120133459A
Authority: KR
Inventors: 아키히사 시모무라
Original assignee: 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼
Priority date: 2011-11-29
Filing date: 2012-11-23
Publication date: 2019-07-19
Also published as: KR20130060129A; JP6116207B2; US9666755B2; US20130137200A1; JP2013138000A

Abstract

본 발명은 레이저 광의 조사 개시 지점과 조사 종료 지점이 중첩되는 오버랩 영역에 있어서, 기판과 프릿 글라스에서의 크랙의 발생을 억제하여, 기밀성이 우수한 밀봉체 및 발광 장치를 제작하는 방법을 제공한다.
프릿 글라스를 형성한 기판과 대향하는 기판에 있어서 프릿 글라스와 중첩되는 영역 위에, 레이저 광에 대한 반사율이 높은 고반사율 영역과 고반사율 영역보다 반사율이 낮은 저반사율 영역을 형성한다. 상기 저반사율 영역부터 레이저 광을 주사하면, 프릿 글라스에 크랙이 발생하기 어렵다.

Description

밀봉체의 제작 방법 및 발광 장치의 제작 방법{METHOD OF MANUFACTURING SEALED BODY AND METHOD OF MANUFACTURING LIGHT-EMITTING DEVICE}

본 발명은 외부에서 침입하는 불순물로부터 디바이스를 보호하는 밀봉체의 제작 방법 및 발광 장치의 제작 방법에 관한 것이다.

2개의 유리 기판을 접합하고, 접합에 의해 형성된 공간을 밀폐하는 기술로서, 프릿 글라스(frit glass) 밀봉이 알려져 있다. 프릿 글라스로 밀봉된 밀봉체는 기밀성이 우수하며, 유기 일렉트로루미네선스(electroluminescence; 이하에서 EL이라고 함) 표시 장치, 액정 표시 장치, 플라즈마 표시 장치 등에 응용되고 있다.

특히 유기 EL 표시 장치에 있어서, 유기 EL 소자의 신뢰성을 향상시키기 위해서 프릿 글라스 밀봉이 사용되고 있다. 이것은 유기 EL 소자는 유기 EL층이나 이것을 양측에서 끼우는 전극이 수분이나 산소에 노출되면, 그 신뢰성이 급속히 저하되기 때문이다. 프릿 글라스를 사용하여 밀봉함으로써 유기 EL층이나 양측의 전극이 대기에 노출되지 않도록 하는 기술로서, 예를 들어 특허문헌 1에 기재된 기술이 알려져 있다.

특허문헌 1에 기재된 기술은 유리 기판의 가장자리를 따라 프릿 글라스 페이스트를 노즐로부터 토출하면서 주사함으로써, 폐(閉)곡선을 이루는 격벽을 프릿 글라스 페이스트로 형성한 후, 소성함으로써 프릿 글라스 페이스트를 융합시켜 프릿 글라스로 한다. 또한, 다른 유리 기판에 상기 프릿 글라스를 밀어붙이고, 프릿 글라스에 레이저 광을 조사하여 가열 용융해서 상기 프릿 글라스와 다른 유리 기판을 용착시킴으로써, 기밀성이 우수한 밀봉체를 형성하는 것이다.

그러나, 프릿 글라스 밀봉체는 레이저 광 조사의 조건(조사 강도, 레이저 광의 주사 속도 등)을 조정하지 않으면, 프릿 글라스에 크랙이 발생하기 쉬운 영역이 있으며, 기밀성이 얻어지지 않을 수가 있다. 예를 들어, 레이저 광의 조사 개시 지점과 조사 종료 지점이 중첩되는 오버랩(overlap) 영역에서는 그 외의 주사 영역과 같은 레이저 광 출력으로 조사하면 크랙이 발생하기 쉽다. 이 이유로서는 오버랩 영역에서는 그 외의 주사 영역보다 가해지는 열량이 많아, 오버랩 영역의 프릿 글라스와 유리 기판이 그 외의 주사 영역보다 열팽창이 크기 때문이다. 이에 대한 대책으로서, 오버랩 영역에서는 레이저 광의 조사 강도나 레이저 광의 주사 속도의 조정 등의 복잡한 제어를 수행하고 있었다(특허문헌 2 참조).

일본 공개 특허 출원 제2011-065895호 일본 공개 특허 출원 제2008-527655호

상술한 바와 같은, 오버랩 영역에서 크랙이 발생되는 것을 방지하기 위한 종래의 방법에서는 레이저 광의 조사 조건을 복잡하게 제어할 필요가 있어, 그 제어가 번거로운 일이다. 또한, 레이저 광의 조사 조건을 잘못 조정하면, 오버랩 영역의 프릿 글라스에 크랙이 발생하여 밀봉체의 수율이 저하된다.

그러므로, 본 발명은 레이저 광의 조사 개시 지점과 조사 종료 지점이 중첩되는 오버랩 영역에서, 기판과 프릿 글라스에서의 크랙의 발생을 억제하여, 기밀성이 우수한 밀봉체 및 발광 장치의 제작 방법을 제공하는 것을 과제로 한다.

본 발명의 일 형태는 제 1 기판 위에 제공된 저융점 유리를 포함한 프릿 글라스에 접촉하도록, 제 1 기판에 대향하는 제 2 기판을 배치하고, 프릿 글라스에 레이저 광을 조사하여, 제 2 기판과 프릿 글라스를 용착시키는 밀봉체의 제작 방법으로서, 제 1 기판의 표면에 프릿 글라스를 제공하는 공정과, 제 2 기판에 있어서 프릿 글라스와 중첩되는 영역 위에 레이저 광에 대한 반사율이 높은 고반사율 영역과, 고반사율 영역보다 반사율이 낮은 저반사율 영역을 제공하는 공정과, 제 1 기판과 제 2 기판 사이에 프릿 글라스를 끼운 상태로 프릿 글라스에 레이저 광을 조사하여 프릿 글라스를 용융시켜, 프릿 글라스와 제 1 기판과 제 2 기판으로 폐공간을 형성하는 공정을 가지며, 상기 레이저 광 조사는 저반사율 영역부터 주사하는 것을 특징으로 하는 밀봉체의 제작 방법이다.

레이저 광이 프릿 글라스를 가열하는 모드에는 제 1 기판을 투과하여 프릿 글라스를 직접 가열하는 모드와, 프릿 글라스를 투과하여 계면에서 반사한 레이저 광이 프릿 글라스를 가열하는 모드가 있다. 계면에서 반사되어 프릿 글라스에 입사하는 레이저 광의 광량은 제 2 기판에 있어서 프릿 글라스와 중첩되는 영역 위의 막 구성의 영향을 받는다.

제 2 기판에 반사층이 없는 경우, 레이저 광의 반사는 일정하지 않다. 왜냐하면, 프릿 글라스가 도포되는 곳에 따라, 프릿 글라스와 제 2 기판 사이에 존재하는 막 구성이 상이하며, 레이저 광은 그 사이의 계면에서 반사되기 때문이다.

본 발명의 일 형태의 제 2 기판 위에는 레이저 광을 반사하는 반사층이 제 1 기판 위에 제공된 프릿 글라스와 중첩되도록 제공되어 있다. 그러므로, 반사층이 제공된 부분에서는 반사층에 의해 반사되어 프릿 글라스로 입사하는 레이저 광의 광량은 동일한 기판 내에서 거의 균일하게 된다. 따라서, 반사층을 제공함으로써, 프릿 글라스와 기판을 용착시켜 밀봉체를 제작하기 위한 레이저 광의 조사 조건에 관하여, 사용될 수 있는 레이저 광의 조사 조건(예를 들어 조사 강도, 레이저 광의 주사 속도 등)을 넓힐 수 있다.

레이저 광의 조사 개시 지점과 조사 종료 지점이 중첩되는 오버랩 영역에서는 그 외의 주사 영역에 비해 레이저 광 조사로 가해지는 열량이 많다. 오버랩 영역은 조사 개시시와 조사 종료시의 2번 레이저 광이 조사되는 영역이기 때문이다.

프릿 글라스와 제 2 기판을 용착시키는 데 충분한 열량 이상의 열량을 프릿 글라스에 가하면, 프릿 글라스와 제 2 기판은 열팽창한다. 이들의 열팽창 계수의 차이에 기인하여, 프릿 글라스에 크랙이 발생한다. 본 발명에서는 오버랩 영역에, 그 외의 영역보다 레이저 광의 반사율이 낮은 저반사율 영역을 제공하여, 프릿 글라스로 입사하는 반사 레이저 광을 감소시킴으로써, 오버랩 영역과 그 외의 영역의 프릿 글라스에 가해지는 열량을 대략 일정하게 할 수 있다. 따라서, 오버랩 영역에서 프릿 글라스에 크랙이 발생하기 어렵고 기밀성이 높은 밀봉체를 얻을 수 있다.

본 발명의 일 형태는 제 1 기판 위에 제공된 저융점 유리를 포함한 프릿 글라스에 접촉하도록, 유기 EL 소자가 형성된 제 2 기판을 제 1 기판에 대향하여 배치하고, 프릿 글라스에 레이저 광을 조사하여, 제 2 기판과 프릿 글라스를 용착시키는 발광 장치의 제작 방법으로서, 제 1 기판의 표면에 프릿 글라스를 제공하는 공정과, 제 2 기판에 있어서 프릿 글라스와 중첩되는 영역 위에, 레이저 광에 대한 반사율이 높은 고반사율 영역과, 고반사율 영역보다 반사율이 낮은 저반사율 영역을 제공하는 공정과, 제 1 기판과 제 2 기판 사이에 프릿 글라스를 끼운 상태로 프릿 글라스에 레이저 광을 조사하여 프릿 글라스를 용융시켜, 프릿 글라스와 제 1 기판과 제 2 기판으로 폐공간을 형성하는 공정을 가지며, 상기 레이저 광 조사는 저반사율 영역부터 주사하는 것을 특징으로 하는 발광 장치의 제작 방법이다.

레이저 광이 프릿 글라스를 가열하는 모드에는 제 1 기판을 투과하여 프릿 글라스를 직접 가열하는 모드와, 프릿 글라스를 투과하여 계면에서 반사된 레이저 광이 프릿 글라스를 가열하는 모드가 있다. 계면에서 반사되어 프릿 글라스에 입사하는 레이저 광의 광량은 제 2 기판에 있어서 프릿 글라스와 중첩되는 영역 위의 막 구성의 영향을 받는다.

제 2 기판 위에 제공된 레이저 광을 반사하는 반사층은 제 1 기판 위에 제공된 프릿 글라스와 중첩되어 있다. 그러므로, 반사층에 의해 반사되어 프릿 글라스로 입사하는 레이저 광의 광량은 동일한 기판 내에서 거의 균일하게 된다. 따라서, 반사층을 제공함으로써, 프릿 글라스와 기판을 용착시켜 발광 장치를 제작하기 위한 레이저 광의 조사 조건에 관하여, 사용될 수 있는 레이저 광의 조사 조건(예를 들어 조사 강도, 레이저 광의 주사 속도 등)을 넓힐 수 있다.

프릿 글라스와 제 2 기판을 용착시키는 데 충분한 열량 이상의 열량을 프릿 글라스에 가하면, 프릿 글라스와 제 2 기판은 열팽창한다. 이들의 열팽창 계수의 차이에 기인하여, 프릿 글라스에 크랙이 발생한다. 본 발명에서는 오버랩 영역에, 그 외의 영역보다 레이저 광의 반사율이 낮은 저반사율 영역을 제공하여, 프릿 글라스로 입사하는 반사 레이저 광을 감소시킴으로써, 오버랩 영역과 그 외의 영역의 프릿 글라스에 가해지는 열량을 대략 일정하게 할 수 있다. 따라서, 오버랩 영역에서 프릿 글라스에 크랙이 발생하기 어렵고 기밀성이 높은 발광 장치를 얻을 수 있다.

본 발명에 따르면, 기밀성이 높은 밀봉체 및 발광 장치의 제작 방법을 제공할 수 있다.

도 1a 및 도 1b는 본 발명의 일 형태의 밀봉체의 상면도이고, 도 1c는 상기 밀봉체의 단면도.
도 2는 본 발명의 일 형태의 밀봉체 및 발광 장치의 제작 공정을 도시한 단면도 및 상면도.
도 3a 내지 도 3d는 본 발명의 일 형태의 밀봉체의 제작 공정을 도시한 단면도 및 상면도.
도 4a 내지 도 4d는 본 발명의 일 형태의 밀봉체 및 발광 장치에 사용할 수 있는 반사층의 형태를 도시한 상면도.
도 5a 내지 도 5d는 본 발명의 일 형태의 밀봉체 및 발광 장치에 사용할 수 있는 반사층의 형태를 도시한 상면도.
도 6a 내지 도 6c는 본 발명의 일 형태의 밀봉체의 제작 공정을 도시한 단면도 및 상면도.
도 7a 및 도 7b는 본 발명의 일 형태의 발광 장치의 상면도이고, 도 7c는 상기 발광 장치의 단면도.
도 8a 내지 도 8c는 본 발명의 일 형태의 발광 장치의 제작 공정을 도시한 단면도 및 상면도.
도 9a 내지 도 9c는 본 발명의 일 형태의 발광 장치의 제작 공정을 도시한 단면도 및 상면도.
도 10a 내지 도 10c는 본 발명의 일 형태의 발광 장치에 사용하는 유기 EL 소자를 도시한 단면도.
도 11a 내지 도 11e는 본 발명의 일 형태의 발광 장치를 응용한 전자 기기의 도면.
도 12a 내지 도 12c는 본 발명의 일 형태의 발광 장치를 응용한 전자 기기의 도면.

이하에서는 본 명세서에서 개시(開示)하는 발명의 실시형태에 대해서 도면을 사용하여 상세하게 설명한다. 다만, 본 명세서에서 개시하는 발명은 이하의 설명에 한정되지 않고, 그 형태 및 상세한 내용을 다양하게 변경할 수 있음은 당업자라면 용이하게 이해할 수 있다. 또한, 본 명세서에서 개시하는 발명은 이하에 제시되는 실시형태의 기재 내용에 한정되어 해석되는 것이 아니다.

(실시형태 1)

본 실시형태에서는 본 발명의 일 형태의 밀봉체의 제작 방법에 대하여 설명하기로 한다. 도 1a 내지 도 1c에 도시된 밀봉체(161)의 제작 방법을 도 2 내지 도 6c를 사용하여 설명한다.

(밀봉체의 구성)

밀봉체(161)는 제 1 기판(301)과, 제 2 기판(302)과, 프릿 글라스층(500c)과, 반사층(140)과, 무기 절연층(501)으로 구성되어 있다. 도 1a에 밀봉체(161)의 상면도를 도시하였다. 도 1b는 반사층(140)의 일부의 영역을 확대한 상면도를 도시한 것이고, 도 1c는 도 1b에서 점선 S-T로 표시된 영역의 단면도이다. 도 1b 및 도 1c에 도시된 이중 물결선은 생략 기호이다.

또한, 본 명세서 중에서 프릿 글라스 페이스트를 기판에 도포한 후의 프릿 글라스를 프릿 글라스층(500a)으로, 바인더 등을 제거하기 위하여 프릿 글라스층(500a)을 소성한 프릿 글라스를 프릿 글라스층(500b)으로, 기판과 레이저 용착된 프릿 글라스를 프릿 글라스층(500c)으로 각각 정의한다. 프릿 글라스층(500a)에 적용할 수 있는 재료에 대해서는 밀봉체의 제작 방법에서 상세하게 설명한다.

제 1 기판(301)으로서는 레이저 광을 투과시키는 기판을 사용하면 좋다. 제 1 기판(301)을 통하여 프릿 글라스층(500b)에 레이저 광을 조사하기 때문이다. 제 1 기판(301)으로서는 유리 기판을 사용하는 것이 바람직하다.

제 2 기판(302)은 프릿 글라스층(500b)과 중첩되는 영역이 평탄하면 좋다. 이것은 기밀성이 높은 밀봉체를 형성하기 위해서다. 제 2 기판(302)으로서는 유리 기판, 금속 기판을 사용할 수 있다.

반사층(140)은 제 2 기판(302) 위에 형성한다. 제 1 기판(301)에 형성된 프릿 글라스층(500b)을 투과한 레이저 광을 반사시켜 프릿 글라스층(500b)을 가열하기 위한 것이다. 반사층(140)은 텅스텐, 탄탈, 몰리브덴, 구리, 철 등의 금속으로 형성할 수 있다. 반사층(140)은 텅스텐으로 형성하는 것이 특히 바람직하다.

무기 절연층(501)은 반사층(140)을 덮도록 제공하는 것이 바람직하다. 이것은 반사층(140)의 표면의 산화를 방지하기 위해서다. 무기 절연층(501)에는 산화 실리콘, 산화질화 실리콘, 질화 실리콘을 사용할 수 있다.

(밀봉체의 제작 방법)

다음에, 본 발명의 일 형태인 밀봉체(161)의 제작 방법을 도 2 내지 도 6c를 사용하여 설명한다.

(프릿 글라스의 도포)

도 2에 도시된 바와 같이, 제 1 기판(301) 위에 프릿 글라스층(500a)을 연속된 폐곡선을 이루도록 형성한다. 이것은 기밀성이 우수한 밀봉체를 형성하기 위해서다. 프릿 글라스층(500a)은 저융점 유리와 바인더를 포함한다. 저융점 유리는 예를 들어, 산화 마그네슘, 산화 칼슘, 산화 바륨, 산화 리튬, 산화 나트륨, 산화 칼륨, 산화 붕소, 산화 바나듐, 산화 아연, 산화 텔루르, 산화 알루미늄, 이산화 실리콘, 산화 납, 산화 주석, 산화 인, 산화 루테늄, 산화 로듐, 산화 철, 산화 구리, 산화 티타늄, 산화 텅스텐, 산화 비스무트, 산화 안티몬, 붕산납 유리, 인산주석 유리, 바나듐산 염 유리, 및 보로실리케이트 유리로 이루어진 그룹 중에서 선택된 하나 이상의 화합물을 함유하는 것이 바람직하다. 이것에, 예를 들어, 유기 용매로 희석(稀釋)한 수지 바인더를 혼합하여 프릿 글라스를 제작한다. 레이저 광의 조사(후술함)에 의해 프릿 글라스를 가열하기 때문에, 레이저 광 흡수 재료를 첨가한 프릿 글라스를 사용한다. 흡수 재료로서는 사용하는 레이저 광의 파장에 따라 최적의 레이저 광 흡수 재료를 선택하면 좋다.

프릿 글라스층(500a)의 형성 방법에는 디스펜서법, 스크린 인쇄법, 또는 잉크젯법을 이용할 수 있다. 본 실시형태에서는 표시 장치 등을 밀봉하는 데에 적합한 형상인 대략 직사각형으로 하였지만, 폐곡선을 이루는 것이라면 원형, 타원형 등의 형상으로 하여도 좋다.

(프릿 글라스의 소성)

다음에, 프릿 글라스층(500a) 내의 바인더를 휘발시키기 위해서, 제 1 기판(301) 위에 형성한 프릿 글라스층(500a)을 가열한다. 프릿 글라스층(500a)이 형성된 제 1 기판(301)을 300℃ 내지 450℃로 가열하면 좋다. 상기 가열 처리는 램프나 히터 등을 이용하여 수행할 수 있다. 상기 가열 처리에 의해, 저융점 유리를 용융하여 고체화시켜, 상기 저융점 유리를 융합시킬 수 있다.

(반사층의 형성)

다음에, 제 2 기판(302)에 반사층(140)을 형성한다. 반사층(140)이 형성된 제 2 기판(302)의 상면도를 도 3a에 도시하였다. 제 1 기판(301)에 있어서 프릿 글라스층(500b)을 형성한 영역과 중첩되도록 제 2 기판(302) 위에 반사층(140)을 형성한다.

도 3b는 반사층(140)의 레이저 광의 조사 개시 지점과 조사 종료 지점이 중첩되는 영역(이하에서, 오버랩 영역(10)이라고 함)과, 반사층(140)의 모서리인 코너 영역(20)에 저반사율 영역을 형성한 제 2 기판(302)의 상면도이다. 도 3c와 도 3d는 오버랩 영역(10)과 코너 영역(20)을 확대한 상면도이다. 코너 영역(20)에 대해서는 후술한다.

또한, 본 실시형태에서는 고반사율 영역보다 반사율이 낮은 저반사율 영역이 오버랩 영역(10)과 코너 영역(20)에 상당한다. 반사율이 높은 고반사율 영역은 오버랩 영역(10)과 코너 영역(20) 이외의 반사층(140)에 상당한다.

레이저 광 조사에 있어서, 오버랩 영역(10)에서 레이저 광의 조사 강도를 조정하지 않고 레이저 광을 조사하여 프릿 글라스를 가열하면, 프릿 글라스층(500c)에 크랙이 발생하기 쉽다. 오버랩 영역(10)에서는 그 외의 주사 영역에 비해, 가해지는 열량이 많기 때문에, 프릿 글라스층(500c)과 제 2 기판(302)은 열팽창하여, 열팽창 계수의 차이에 기인한 크랙이 발생하기 쉽기 때문이다.

본 발명의 제작 방법에서는 오버랩 영역(10)에서의 반사층(140)의 레이저 광의 반사율을 그 외의 주사 영역보다 낮게 하였다. 이로써, 레이저 광의 조사 강도를 조정하지 않고 오버랩 영역(10)에 가해지는 열량과 그 외의 주사 영역에 가해지는 열량을 대략 일정하게 할 수 있다. 그러므로, 오버랩 영역(10)에서 프릿 글라스층(500c)에 크랙을 발생하기 어렵게 할 수 있기 때문에, 기밀성이 높은 밀봉체(161)를 제작할 수 있다.

도 4a 내지 도 4d에 반사층(140)의 레이저 광의 반사율을 저하시키기 위해서 사용할 수 있는 반사층(140)의 상면 패턴도의 일례를 도시하였다. 도 4a는 오버랩 영역(10)의 레이저 광의 반사율을 저하시키기 위해서 사각형 구멍을 형성하여 반사층(140)의 면적을 감소시킨다. 반사층(140)의 면적을 감소시키기 위한 형상은 직사각형(도 4b 참조)이든 삼각형(도 4c 참조)이든 다각형(도 4d 참조)이든 어느 형상이나 좋다. 오버랩 영역(10)에서 프릿 글라스층(500c)에 크랙이 발생하지 않도록 적절한 형태의 반사층(140)을 사용하면 좋다.

또한, 코너 영역(20)에 대해서도 반사층(140)의 레이저 광의 반사율을 그 외의 영역보다 낮게 하는 것이 바람직하다. 도 5a 내지 도 5d에 반사층(140)의 코너 영역에 사용할 수 있는 반사층(140)의 패턴도의 일례를 도시하였다. 도 5a는 코너 영역(20)의 레이저 광의 반사율을 저하시키기 위해서 사각형 구멍을 형성하여 반사층(140)의 면적을 감소시킨다. 반사층(140)의 면적을 감소시키기 위한 형상은 직사각형(도 5b 참조)이든 삼각형(도 5c 참조)이든 다각형(도 5d 참조)이든 어느 형상이나 좋다. 이들 패턴에 의해, 코너 영역에서 반사층(140)의 레이저 광의 반사율을 저하시킬 수 있다.

레이저 광 조사는 일정한 주사 속도로 수행하지만, 코너 영역에서의 내측 영역에서는 그 외의 영역보다 많은 열량이 가해지는 경우가 있다. 코너 영역에서의 내측 영역은 외측 영역보다 레이저 광의 스폿들이 서로 중첩되기 때문이다. 반사층(140)의 코너 영역(20)에서 프릿 글라스층(500c)에 크랙이 발생하지 않도록 적절한 형태의 반사층(140)을 사용하면 좋다.

반사층(140)의 형태는 공지의 기술을 이용하여 형성하면 좋고, 예를 들어, 포토 마스크를 이용하여 형성한 레지스트 마스크를 사용하여 에칭함으로써 형성할 수 있다.

(레이저 광 조사)

다음에, 제 1 기판(301) 위의 프릿 글라스층(500b)과, 제 2 기판(302)을 밀착시키고 프릿 글라스층(500b)에 레이저 광(800)을 조사한다. 이 공정을 도 6a 내지 도 6c에 도시하였다. 상기 공정을 거쳐, 용융된 프릿 글라스층(500b)이 개재(介在)된 제 1 기판(301)과 제 2 기판(302)이 용착된다. 레이저 광(800)은 제 1 기판(301)을 통하여 프릿 글라스층(500b)에 조사된다. 레이저 광의 조사에 사용하는 레이저의 파장은 750nm 내지 1200nm로 할 수 있다. 구체적으로는 파장이 800nm인 반도체 레이저가 바람직하다.

레이저 광이 프릿 글라스층(500b)을 가열하는 모드에는 제 1 기판(301)을 투과하여 프릿 글라스층(500b)을 직접 가열하는 모드와, 프릿 글라스층(500b)을 투과하여 계면에서 반사된 레이저 광이 프릿 글라스층(500b)을 가열하는 모드가 있다. 계면에서 반사되어 프릿 글라스층(500b)으로 입사하는 레이저 광의 광량은 제 2 기판(302)에 있어서 프릿 글라스층(500b)과 중첩되는 영역 위의 막 구성에 영향을 받는다.

제 2 기판(302) 위에 제공된 레이저 광을 반사하는 반사층(140)은 제 1 기판(301) 위에 제공된 프릿 글라스층(500b)과 중첩되어 있다. 그러므로, 반사층(140)에 의해 반사되어 프릿 글라스층(500b)으로 입사하는 레이저 광의 광량은 동일한 기판 내에서 거의 균일하게 된다. 따라서, 반사층(140)을 제공함으로써, 프릿 글라스층(500b)과 제 2 기판(302)을 용착시켜 밀봉체(161)를 제작하기 위한 레이저 광의 조사 조건에 관하여, 사용될 수 있는 레이저 광의 조사 조건(예를 들어 조사 강도, 레이저 광의 주사 속도 등)을 넓힐 수 있다.

오버랩 영역(10)은 그 외의 주사 영역에 비해 레이저 광 조사로 가해지는 열량이 많다. 오버랩 영역(10)은 조사 개시시와 조사 종료시의 2번 레이저 광이 조사되는 영역이기 때문이다.

프릿 글라스층(500b)과 제 2 기판(302)을 용착시키는 데 충분한 열량 이상의 열량을 프릿 글라스층(500b)에 가하면, 프릿 글라스층(500b)과 제 2 기판(302)의 열팽창은 커진다. 열팽창이 커지면, 프릿 글라스층(500b)과 제 2 기판(302)의 열팽창 계수의 차이에 기인하여, 프릿 글라스층(500b)에 크랙이 발생한다. 본 발명에서는 오버랩 영역(10)에, 그 외의 영역보다 레이저 광의 반사율이 낮은 저반사율 영역을 제공하여, 프릿 글라스층(500b)으로 입사하는 반사 레이저 광을 감소시킴으로써, 오버랩 영역(10)과 그 외의 영역의 프릿 글라스층(500b)에 가해지는 열량을 대략 일정하게 할 수 있다. 따라서, 오버랩 영역(10)에서 프릿 글라스층(500c)에 크랙이 발생하기 어렵고 기밀성이 높은 밀봉체(161)를 얻을 수 있다.

상술한 공정을 거쳐, 도 1a 내지 도 1c에 도시된 밀봉체(161)를 제작할 수 있다.

상술한 바와 같이, 본 실시형태에서 제시한 밀봉체(161)의 제작 방법을 이용하면, 프릿 글라스에 크랙이 발생하기 어렵다. 따라서, 기밀성이 높은 밀봉체(161)를 제작할 수 있다.

(실시형태 2)

본 실시형태에서는 본 발명의 일 형태인 발광 장치의 제작 방법에 대하여 설명하기로 한다. 도 7a 내지 도 7c에 도시된 발광 장치(163)의 제작 방법을 도 8a 내지 도 9c를 사용하여 설명한다.

(발광 장치의 구성)

발광 장치(163)는 제 1 기판(301)과, 제 2 기판(302)과, 프릿 글라스층(500c)과, 반사층(140)과, 무기 절연층(501)과, 유기 EL 소자(125)와, 단자(126a)와, 단자(126b)로 구성되어 있다. 도 7a는 발광 장치(163)의 상면도이다. 도 7b는 반사층(140)의 일부의 영역을 확대한 상면도를 도시한 것이고, 도 7c는 도 7b에서 점선 S-T로 표시된 영역의 단면도이다. 도 7b 및 도 7c에 도시된 이중 물결선은 생략 기호이다.

또한, 본 명세서 중에서 프릿 글라스 페이스트를 기판에 도포한 후의 프릿 글라스를 프릿 글라스층(500a)으로, 바인더 등을 제거하기 위한 프릿 글라스층(500a)을 소성한 프릿 글라스를 프릿 글라스층(500b)으로, 기판과 레이저 용착된 프릿 글라스를 프릿 글라스층(500c)으로 각각 정의한다. 프릿 글라스층(500a)에 적용할 수 있는 재료에 대한 상세한 설명은 밀봉체의 제작 방법을 참조한다.

제 1 기판(301)으로서는 레이저 광을 투과시키는 기판을 사용하면 좋다. 제 1 기판(301)을 통하여 프릿 글라스층(500b)에 레이저 광을 조사하기 때문이다. 제 1 기판(301)에는 유리 기판을 사용하는 것이 바람직하다.

제 2 기판(302)은 프릿 글라스층(500b)과 중첩되는 영역이 평탄하면 좋다. 이것은 기밀성이 높은 발광 장치를 형성하기 위해서다. 제 2 기판(302)에는 유리 기판, 금속 기판을 사용할 수 있다.

반사층(140)은 제 2 기판(302) 위에 형성한다. 이것은 제 1 기판(301)에 형성된 프릿 글라스층(500b)을 투과한 레이저 광을 반사시켜 프릿 글라스층(500b)을 가열하기 위한 것이다. 반사층(140)은 텅스텐, 탄탈, 몰리브덴, 구리, 철 등의 금속으로 형성할 수 있다. 반사층(140)은 텅스텐으로 형성하는 것이 특히 바람직하다.

(발광 장치의 제작 방법)

다음에, 본 발명의 일 형태인 발광 장치(163)의 제작 방법을 도 8a 내지 도 9c를 사용하여 설명한다.

(프릿 글라스의 도포)

제 1 기판(301) 위에 프릿 글라스층(500a)을 연속된 폐곡선을 이루도록 형성한다. 프릿 글라스층(500a)의 형성에 대해서는 실시형태 1에 기재된 내용을 참작할 수 있다.

(프릿 글라스의 소성)

다음에, 프릿 글라스층(500a) 내의 바인더를 휘발시키기 위해서, 제 1 기판(301) 위에 형성한 프릿 글라스층(500a)을 가열한다. 가열 방법에 대해서는 실시형태 1에 기재된 내용을 참작할 수 있다.

(반사층의 형성)

다음에, 제 2 기판(302)에 반사층(140)을 형성한다. 반사층(140)이 형성된 제 2 기판(302)의 상면도를 도 8a에 도시하였다. 제 1 기판(301)에 있어서 프릿 글라스층(500b)을 형성한 영역과 중첩되도록 반사층(140)을 제 2 기판(302) 위에 형성한다.

도 8b는 반사층(140)의 레이저 광의 조사 개시 지점과 조사 종료 지점이 중첩되는 영역(이하에서, 오버랩 영역(10)이라고 함)에 저반사율 영역을 형성한 제 2 기판(302)의 상면도이다. 도 8b에서는 반사층(140)의 모서리인 코너 영역(20)에도 저반사율 영역이 형성되어 있다.

본 발명의 제작 방법에서는 오버랩 영역(10)에서의 반사층(140)의 레이저 광의 반사율을 그 외의 주사 영역보다 낮게 하였다. 이로써, 레이저 광의 조사 강도를 조정하지 않고 오버랩 영역(10)에 가해지는 열량과 그 외의 주사 영역에 가해지는 열량을 대략 일정하게 할 수 있다. 그러므로, 오버랩 영역(10)에서 프릿 글라스층(500c)에 크랙을 발생하기 어렵게 할 수 있기 때문에, 기밀성이 높은 발광 장치(163)를 제작할 수 있다.

도 4a 내지 도 4d에 반사층(140)의 레이저 광의 반사율을 저하시키기 위해서 사용할 수 있는 반사층(140)의 상면 패턴도의 일례를 도시하였다. 도 4a는 오버랩 영역(10)의 레이저 광의 반사율을 저하시키기 위해서 사각형 구멍을 형성하여 반사층(140)의 면적을 감소시킨 예를 도시한 것이다. 반사층(140)의 면적을 감소시키기 위한 형상은 직사각형(도 4b 참조)이든 삼각형(도 4c 참조)이든 다각형(도 4d 참조)이든 어느 형상이나 좋다. 오버랩 영역(10)에서 프릿 글라스층(500c)에 크랙이 발생하지 않도록 적절한 형태의 반사층(140)을 사용하면 좋다.

또한, 코너 영역(20)에 대해서도 반사층(140)의 레이저 광의 반사율을 그 외의 영역보다 낮게 하는 것이 바람직하다. 도 5a 내지 도 5d에 반사층(140)의 코너 영역에 사용할 수 있는 반사층(140)의 패턴도의 일례를 도시하였다. 도 5a는 코너 영역(20)의 레이저 광의 반사율을 저하시키기 위해서 사각형 구멍을 형성하여 반사층(140)의 면적을 감소시킨 예를 도시한 것이다. 반사층(140)의 면적을 감소시키기 위한 형상은 직사각형(도 5b 참조)이든 삼각형(도 5c 참조)이든 다각형(도 5d 참조)이든 어느 형상이나 좋다. 이들 패턴에 의해, 코너 영역에서 반사층(140)의 레이저 광의 반사율을 저하시킬 수 있다.

다음에, 유기 EL 소자(125)를 제 2 기판(302)에 형성한다. 유기 EL 소자(125)가 형성된 제 2 기판(302)의 상면도를 도 8c에 도시하였다. 유기 EL 소자(125)를 형성하기 전에 무기 절연층(501)을 반사층(140) 위에 형성하는 것이 바람직하다. 유기 EL 소자(125)의 구성은 실시형태 3에 기재한다.

(레이저 광의 조사)

다음에, 제 1 기판(301) 위의 프릿 글라스층(500b)과 제 2 기판(302)을 밀착시키고 프릿 글라스층(500b)에 레이저 광(800)을 조사한다. 이 공정을 도 9a 내지 도 9c에 도시하였다. 상기 공정을 거쳐, 용융된 프릿 글라스층(500b)이 개재된 제 1 기판(301)과 제 2 기판(302)이 용착된다. 레이저 광(800)은 제 1 기판(301)을 통하여 프릿 글라스층(500b)에 조사된다. 레이저 광의 조사에 사용하는 레이저의 파장은 750nm 내지 1200nm로 할 수 있다. 구체적으로는 파장이 800nm인 반도체 레이저가 바람직하다.

제 2 기판(302) 위에 제공된 레이저 광을 반사하는 반사층(140)은 제 1 기판(301) 위에 제공된 프릿 글라스층(500b)과 중첩되어 있다. 그러므로, 반사층(140)에 의해 반사되어 프릿 글라스층(500b)에 입사하는 레이저 광의 광량은 동일한 기판 내에서 거의 균일하게 된다. 따라서, 반사층(140)을 제공함으로써, 프릿 글라스층(500b)과 제 2 기판(302)을 용착시켜 발광 장치(163)를 제작하기 위한 레이저 광의 조사 조건에 관하여, 사용될 수 있는 레이저 광의 조사 조건(예를 들어 조사 강도, 레이저 광의 주사 속도 등)을 넓힐 수 있다.

또한, 오버랩 영역(10)은 그 외의 주사 영역에 비해 레이저 광 조사로 가해지는 열량이 많다. 오버랩 영역(10)은 조사 개시시와 조사 종료시의 2번 레이저 광이 조사되는 영역이기 때문이다.

프릿 글라스층(500b)과 제 2 기판(302)을 용착시키는 데 충분한 열량 이상의 열량을 프릿 글라스층(500b)에 가하면, 프릿 글라스층(500b)과 제 2 기판(302)의 열팽창은 커진다. 열팽창이 커지면, 프릿 글라스층(500b)과 제 2 기판(302)의 열팽창 계수의 차이에 기인하여, 프릿 글라스층(500b)에 크랙이 발생한다. 본 발명에서는 오버랩 영역(10)에, 그 외의 영역보다 레이저 광의 반사율이 낮은 저반사율 영역을 제공하여, 프릿 글라스층(500b)으로 입사하는 반사 레이저 광을 감소시킴으로써, 오버랩 영역(10)과 그 외의 영역의 프릿 글라스층(500b)에 가해지는 열량을 대략 일정하게 할 수 있다. 따라서, 오버랩 영역(10)에서 프릿 글라스층(500c)에 크랙이 발생하기 어렵고 기밀성이 높은 발광 장치(163)를 얻을 수 있다.

상술한 공정을 거쳐, 도 7a 내지 도 7c에 도시된 발광 장치(163)를 제작할 수 있다.

상술한 바와 같이, 본 실시형태에서 제시한 발광 장치(163)의 제작 방법을 이용하면, 프릿 글라스에 크랙이 발생하기 어렵다. 따라서, 기밀성이 높은 발광 장치(163)를 제작할 수 있다.

(실시형태 3)

본 실시형태에서는 본 발명의 발광 장치에 사용할 수 있는 유기 EL 소자의 일 형태에 대해서 도 10a를 사용하여 설명한다.

본 실시형태에 있어서, 유기 EL 소자(100)는 제 1 전극(101)과, 투광성 도전층(103)과, 유기 EL층(200)과, 제 2 전극(102)으로 구성되어 있다. 투광성 도전층(103)은 제 1 전극(101)과 접촉한다. 또한, 본 실시형태에서는 제 1 전극(101)과 투광성 도전층(103)은 양극으로서 기능하고, 제 2 전극(102)은 음극으로서 기능하는 것으로, 이하에서 설명한다. 즉, 제 1 전극(101)의 전위가 제 2 전극(102)보다 높게 되도록 제 1 전극(101)과 제 2 전극(102)에 전압을 인가하였을 때 발광을 얻을 수 있는 것으로, 이하에서 설명한다.

(제 1 전극)

제 1 전극(101)은 양극으로서 기능하고, 또 반사 전극으로서 기능하는 전극이다. 제 1 전극(101)의 막 두께는 50nm 내지 300nm가 바람직하다.

제 1 전극(101)은 은 합금을 사용하는 것이 바람직하다. 구리, 금, 팔라듐, 네오디뮴, 사마륨, 주석, 인듐, 비스무트 등이 첨가된 은 합금이 바람직하다.

제 1 전극(101)은 스퍼터링법 또는 스크린 인쇄법으로 형성할 수 있다.

제 1 전극(101)은 가시광 영역 전체에 걸쳐 반사율이 높기 때문에, 광 추출 효율이 높은 발광 소자를 얻을 수 있다.

(투광성 도전층)

투광성 도전층(103)은 제 1 전극(101) 위에 접촉하여 제공되어 있다. 투광성 도전층(103)은 산성 용액에 대한 내성을 가지기 때문에, 제 1 전극(101)의 보호막으로서 기능한다.

제 1 전극(101)이 산화되지 않도록 투광성 도전층(103)의 막 두께를 설정하면 좋고, 대표적으로는 1nm 이상 100nm 이하, 더 바람직하게는 5nm 이상 10nm 이하가 좋다.

투광성 도전층(103)의 재료로서는 산화 티타늄, 산화 탄탈, 산화 주석, 산화 인듐, 산화 인듐 산화 주석 혼합 산화물, 산화 인듐 산화 아연 혼합 산화물, 산화 실리콘 산화 아연 혼합 산화물 등의 금속 산화물 중 임의의 재료를 사용할 수 있다. 특히 투광성 도전층(103)의 재료로서 티타늄을 함유한 층이 바람직하며, 대표적으로는 산화 티타늄이 바람직하다. 산화 티타늄은 산성 용액에 대한 내성이 우수하기 때문이다.

투광성 도전층(103)은 스퍼터링법, 분자선 에피택시(Molecular Beam Epitaxy)법, 펄스 레이저 퇴적(Pulsed Laser Deposition)법, 원자층 퇴적(Atomic Layer Deposition)법 등을 적절히 이용하여 형성할 수 있다. 또한, 투광성 도전층(103)은 스퍼터링 타깃 표면에 대략 수직으로 복수의 기판 표면이 세트된 상태로 막을 형성하는 스퍼터링 장치를 이용함으로써도 형성할 수 있다.

또한, 제 1 전극(101) 위에 티타늄을 형성한 후, 티타늄을 산화시켜 산화 티타늄을 형성할 수도 있다. 예를 들어, 제 1 전극(101) 위에 스퍼터링법으로 티타늄을 막 두께가 6nm가 되도록 형성하고, 대기 분위기하에서 300℃로 1시간의 열처리를 수행하면, 은을 함유한 제 1 전극(101) 위에 산화 티타늄을 형성할 수 있다. 상술한 방법을 이용하면, 박막의 산화 티타늄을 기판에 균일하게 형성할 수 있다.

(제 2 전극)

제 2 전극(102)은 유기 EL층(200)에 전자를 주입할 수 있는 전극이고, 또 투광성을 갖는 전극이면 좋다. 이것은 유기 EL층에 전자를 주입하여, 유기 EL층으로부터 발광된 빛을 제 2 전극(102)을 통하여 외부로 추출하기 때문이다. 제 2 전극(102)의 재료로서 금속 또는 도전성 금속 산화물을 사용할 수 있다. 금속으로서는 은과 마그네슘의 합금 또는 알루미늄을 사용할 수 있다. 도전성 금속 산화물로서는 산화 인듐 산화 주석 혼합 산화물, 산화 인듐 산화 아연 혼합 산화물, 이들 금속 산화물 재료에 실리콘 또는 산화 실리콘을 함유시킨 것을 사용할 수 있다. 금속을 사용한 경우에는 투광성을 가지도록 막 두께는 1nm 이상 10nm 이하로 하는 것이 바람직하다. 또한, 제 2 전극(102)의 전자 주입성을 개선하기 위해서, 리튬이나 세슘 등의 알칼리 금속, 칼슘, 스트론튬 등의 알칼리 토금속, 또는 마그네슘을 함유한 전자 주입층을 제 2 전극(102)과 유기 EL층(200) 사이에 제공하는 것이 바람직하다.

제 2 전극(102)에 금속을 사용하는 경우, 제 2 전극(102)은 진공 증착법, 스퍼터링법 등을 적절히 이용하여 형성할 수 있다.

제 2 전극(102)에 도전성 금속 산화물을 사용하는 경우, 제 2 전극(102)은 스퍼터링법을 이용하여 형성할 수 있다. 도전성 금속 산화물은 아르곤 및 산소를 포함한 분위기하에서 형성할 수 있다.

또한, 도전성 금속 산화물은 산소 농도가 저감된 아르곤을 포함한 분위기하에서 형성한 제 1 도전성 금속 산화물과, 아르곤 및 산소를 포함한 분위기하에서 형성한 제 2 도전성 금속 산화물의 적층막으로 하는 것이 바람직하다. 왜냐하면, 제 2 전극(102)의 성막(成膜)에 기인하여 유기 EL층(200)이 받는 손상을 저감할 수 있기 때문이다. 여기서, 제 1 도전성 금속 산화물을 형성할 때의 아르곤 가스의 순도가 높은 것이 바람직하며, 예를 들어 이슬점이 -70℃ 이하, 바람직하게는 -100℃ 이하인 아르곤 가스를 사용하는 것이 바람직하다.

(유기 EL층에 관하여)

유기 EL층(200)에 적용할 수 있는 유기 EL층에 관하여 도 10b를 사용하여 설명한다. 본 실시형태에서 제시하는 유기 EL층(200)은 정공 주입층(211), 정공 수송층(212), 발광층(213), 전자 수송층(214) 등을 갖는다. 정공 주입층(211)은 정공 주입성이 높은 물질을 함유한 층이다. 또한, 정공 수송층(212)은 정공 수송성이 높은 물질을 함유한 층이다. 또한, 발광층(213)은 발광 재료를 함유한 층이다. 그리고, 전자 수송층(214)은 전자 수송성이 높은 물질을 함유한 층이다.

유기 EL층(200)은 단층 구조로 구성될 수도 있지만, 일반적으로는 적층 구조로 구성된다. 예를 들어, 정공 주입층(211), 정공 수송층(212), 발광층(213), 전자 수송층(214) 등을 적절히 조합하여 구성할 수 있다. 도 10b에서는 유기 EL층(200)으로서 정공 주입층(211), 정공 수송층(212), 발광층(213), 전자 수송층(214)이 순차적으로 적층된 구조를 도시하였다.

발광층(213)에 접촉하는 정공 수송층(212)이나 전자 수송층(214), 특히 발광층(213)에서의 발광 영역에 가까운 쪽에 접촉하는 캐리어(전자 또는 정공) 수송층은 발광층(213)에서 생성된 여기자로부터 에너지가 이동하는 것을 억제하기 위하여, 발광층을 구성하는 발광 재료 또는 발광층에 함유된 발광 중심 물질이 갖는 에너지 갭보다 큰 에너지 갭을 갖는 물질로 구성되는 것이 바람직하다.

정공 주입층(211)은 정공 주입성이 높은 물질을 함유하고, 투광성 도전층(103)으로부터 정공 수송층(212)으로 정공이 주입되는 것을 도와주는 기능을 갖는다. 정공 주입층(211)에는 투광성 도전층(103)과, 정공 수송층(212) 사이의 이온화 포텐셜의 차이를 완화시켜, 정공이 주입되기 쉬워지는 것을 선택한다. 구체적으로는 정공 주입층(211)은 이온화 포텐셜이 정공 수송층(212)보다 작고 투광성 도전층(103)보다 큰 물질, 또는 정공 수송층(212)과 투광성 도전층(103) 사이에 1nm 내지 2nm의 박막으로서 제공되었을 때 에너지 밴드를 구부리는 작용을 하는 물질을 사용하여 형성하는 것이 바람직하다.

정공 수송층(212)은 정공 수송성이 높은 물질을 함유한 층이다. 정공 수송성이 높은 물질이란 정공 이동도가 전자 이동도보다 높은 것을 가리키고, 전자 이동도에 대한 정공 이동도의 비율(=정공 이동도/전자 이동도)이 100보다 큰 물질을 이용하는 것이 바람직하다. 또한, 정공 수송층(212)의 정공 이동도는 1×10^-6cm²/Vs 이상으로 하는 것이 바람직하다. 구체적으로는 4,4'-비스[N-(1-나프틸)-N-페닐아미노]비페닐(약칭: NPB), 구리프탈로시아닌(약칭: CuPc) 등을 이용할 수 있다. 또한, 정공 수송층(212)은 단층 구조이든 적층 구조이든 어느 쪽이나 좋다.

전자 수송층(214)은 전자 수송성이 높은 물질을 함유한 층이다. 전자 수송성이 높은 물질이란 전자 이동도가 정공 이동도보다 높은 것을 가리키고, 정공 이동도에 대한 전자 이동도의 비율(=전자 이동도/정공 이동도)이 100보다 큰 물질을 이용하는 것이 바람직하다. 또한, 전자 수송층(214)의 전자 이동도는 1×10^-6cm²/Vs 이상으로 하는 것이 바람직하다. 구체적으로는, 퀴놀린 골격을 갖는 금속 착체, 벤조 퀴놀린 골격을 갖는 금속 착체, 옥사졸계 리간드를 갖는 금속 착체, 티아졸계 리간드를 갖는 금속 착체를 이용할 수 있다. 퀴놀린 골격을 갖는 금속 착체의 구체적인 예로서는 트리스(8-퀴놀리놀라토)알루미늄(약칭: Alq)을 들 수 있다. 또한, 벤조 퀴놀린 골격을 갖는 금속 착체의 구체적인 예로서는, 비스(10-하이드록시벤조[h]퀴놀리나토)베릴륨(약칭: BeBq₂)을 들 수 있다. 또한, 옥사졸계 리간드를 갖는 금속 착체의 구체적인 예로서는, 비스[2-(2-벤조옥사졸릴)페놀라토]아연(약칭: Zn(BOX)₂)을 들 수 있다. 또한, 티아졸계 리간드를 갖는 금속 착체의 구체적인 예로서는, 비스[2-(2-벤조티아졸릴)페놀라토]아연(약칭: Zn(BTZ)₂)을 들 수 있다. 또한, 금속 착체 이외에도 바소페난트롤린(약칭: BPhen), 바소큐프로인(약칭: BCP) 등도 사용할 수 있다. 구체적인 예를 든 상기 물질은 주로 1×10^-6cm²/Vs 이상의 전자 이동도를 갖는 물질이다. 또한 정공보다 전자의 수송성이 높은 물질이면 상기 물질 이외의 물질을 전자 수송층(214)으로서 사용하여도 좋다. 또한, 전자 수송층(214)은 단층 구조이든 적층 구조이든 어느 쪽이나 좋다.

또한, 발광층(213)과 전자 수송층(214) 사이에 전자 캐리어의 이동을 제어하는 층을 제공하여도 좋다. 전자 캐리어의 이동을 제어하는 층이란 상술한 바와 같은 전자 수송성이 높은 재료에 전자 트랩성(electron-trapping property)이 높은 물질이 소량 첨가된 층이다. 전자 캐리어의 이동을 제어하는 층을 제공함으로써, 전자 캐리어의 이동을 억제하고 캐리어 밸런스를 조절할 수 있다. 이러한 구성은 발광층을 전자가 통과함으로써 발생하는 문제(예를 들어, 소자 수명의 저하)를 억제하는 데 큰 효과를 발휘한다.

또한, 전자 수송층(214)과 제 2 전극(102) 사이에, 제 2 전극(102)과 접촉하도록 전자 주입층을 제공하여도 좋다. 전자 주입층으로서는 전자 수송성을 갖는 물질로 이루어진 층 내에 알칼리 금속 또는 알칼리 토금속, 또는 알칼리 금속의 할로겐화물 또는 알칼리 토금속의 할로겐화물을 함유시킨 것을 사용하면 좋다. 알칼리 금속, 알칼리 토금속으로서는 리튬, 마그네슘, 세슘, 칼슘을 사용할 수 있다. 알칼리 금속의 할로겐화물, 알칼리 토금속의 할로겐화물로서는 불화 리튬, 불화 세슘, 불화 칼슘을 사용할 수 있다. 구체적인 예로서는 Alq에 마그네슘을 함유시킨 것을 사용할 수 있다. 전자 주입층을 제공함으로써, 제 2 전극(102)으로부터 전자를 효율적으로 주입할 수 있다.

또한, 유기 EL층(200)은 건식법이든 습식법이든 어느 방법이나 좋고 다양한 방법을 이용하여 형성할 수 있다.

상술한 바와 같이, 본 실시형태에서 제시하는 유기 EL 소자(100)에는 제 1 전극(101)에 접촉하도록 투광성 도전층(103)이 제공되어 있다. 투광성 도전층(103)은 산성 용액에 대한 내성을 갖기 때문에, 제 1 전극(101)의 산화를 억제할 수 있다. 그러므로, 제 1 전극(101)의 반사율이 저하되는 것을 억제할 수 있다. 이로써, 광 추출 효율이 높은 발광 소자를 얻을 수 있다.

또한, 티타늄을 함유한 투광성 도전층(103)을 사용한 경우, 티타늄을 함유한 투광성 도전층(103)은 산성 용액에 대한 내성이 우수하기 때문에, 제 1 전극(101)의 산화를 억제할 수 있다. 이로써, 제 1 전극(101)은 반사율이 저하되지 않기 때문에, 광 추출 효율이 높은 발광 소자를 얻을 수 있다.

또한, 가시광 영역에 대해 반반사 및 반투과성을 갖는 층을 제 2 전극(102)에 사용하면, 제 1 전극(101)과 제 2 전극(102)에 의해, 발광 소자에 마이크로 캐비티 구조를 형성할 수 있다. 제 1 전극(101)은 가시광 영역 전체에 걸쳐 반사율이 높다. 그러므로, 특정 파장의 광 추출 효율을 높이는 마이크로 캐비티 구조에서도 가시광 영역에서 원하는 특정 파장의 광 추출 효율을 높일 수 있다.

또한, 마그네슘과 은을 함유한 합금층을 제 2 전극(102)에 사용하면, 마그네슘과 은을 함유한 합금층은 전자 주입성이 우수하기 때문에, 발광 소자의 구동 전압을 저감할 수 있다. 또한, 마그네슘과 은을 함유한 합금층은 전기 저항이 낮기 때문에, 발광면이 큰 발광 소자에 있어서 제 2 전극의 전압이 떨어지기 어려워서, 균일하게 발광하는 발광 소자를 얻을 수 있다.

(실시형태 4)

본 실시형태는 실시형태 3에서 제시한 유기 EL층(200)을 대신하여 사용할 수 있는 탠덤형 유기 EL층(400)에 대해서 도 10c를 사용하여 설명한다.

탠덤형 유기 EL층(400)은 복수의 발광 유닛을 적층한 구성을 갖는 유기 EL층(이하에서 탠덤형 유기 EL층이라고 함)이다.

유기 EL층(400)은 제 1 발광 유닛(411)과 제 2 발광 유닛(412)을 갖는다. 제 1 발광 유닛(411)과 제 2 발광 유닛(412)의 구성은 같아도 상이하여도 좋고, 각 유닛의 구성은 각각 실시형태 3에 제시된 것과 같은 것을 적용할 수 있다.

제 1 발광 유닛(411)과 제 2 발광 유닛(412) 사이에는 전하 발생층(413)이 제공되어 있다. 전하 발생층(413)은 은을 함유한 제 1 전극(101)과 제 2 전극(102)에 전압을 인가하였을 때, 한 쪽의 발광 유닛에 전자를 주입하고 다른 쪽의 발광 유닛에 정공을 주입하는 기능을 갖는다. 전하 발생층(413)에 사용되는 유기 화합물과 금속 산화물의 복합 재료는 캐리어 주입성 및 캐리어 수송성이 우수하기 때문에, 저전압 구동 및 저전류 구동을 가능하게 한다.

정공 수송성의 유기 화합물에는 정공 이동도가 1×10^-6cm²/Vs 이상인 것을 사용하는 것이 바람직하다. 예를 들어, 방향족 아민 유도체, 카르바졸 유도체, 방향족 탄화수소 유도체, 또는 이들의 유도체를 갖는 덴드리머, 올리고머, 폴리머 등을 이용할 수 있다. 또한, 이들과 혼합하는 금속 산화물에는 원소 주기율표의 4족 내지 8족에 속하는 금속의 산화물을 사용하면 좋고, 구체적인 예로서는, 산화 바나듐, 산화 니오븀, 산화 탄탈, 산화 크롬, 산화 몰리브덴, 산화 텅스텐, 산화 망가니즈, 산화 레늄을 들 수 있다. 이들 금속 산화물은 전자 수용성이 높기 때문에 바람직하다. 특히 산화 몰리브덴은 대기 중에서도 안정적이고, 흡습성이 낮고, 또 취급하기 쉽기 때문에 바람직하다.

또한, 전하 발생층(413)은 단층 구조이든 적층 구조이든 어느 쪽이나 좋다. 예를 들어, 유기 화합물과 금속 산화물의 복합 재료를 함유한 층과, 전자 공여성 물질 중에서 선택된 하나의 화합물 및 전자 수송성이 높은 화합물을 함유한 층을 적층한 구조를 가져도 좋고, 유기 화합물과 금속 산화물의 복합 재료를 함유한 층과 투명 도전층을 적층한 구조를 가져도 좋다.

본 실시형태에 따른 탠덤형 유기 EL층(400)을 사용한 발광 소자는 한 쌍의 전극간에 복수의 발광 유닛을 전하 발생층으로 칸막이하여 배치하기 때문에, 전류 밀도를 낮게 유지한 채 고휘도 발광을 가능하게 한다. 전류 밀도를 낮게 할 수 있기 때문에, 고휘도이면서도 장수명의 발광 소자로 할 수 있다.

상술한 바와 같이 본 실시형태에서 제시한 방법 등은 다른 실시형태에 제시되는 방법 등과 적절히 조합하여 사용할 수 있다.

(실시형태 5)

본 실시형태에서는 본 발명의 발광 장치의 제작 방법에 의해 제작한 발광 장치를 적용한 전자 기기나 조명 장치의 예에 대해서 도 11a 내지 도 12c를 사용하여 설명한다.

발광 장치를 적용한 전자 기기로서, 예를 들어, 텔레비전 장치(텔레비전, 또는 텔레비전 수신기라고도 함), 컴퓨터용 등의 모니터, 디지털 카메라, 디지털 비디오 카메라, 디지털 포토 프레임, 휴대 전화기(휴대 전화, 휴대전화 장치라고도 함), 휴대형 게임기, 휴대 정보 단말, 음향 재생 장치, 파친코(pachinko)기 등의 대형 게임기 등을 들 수 있다. 이들 전자 기기의 구체적인 예를 도 11a 내지 도 11e에 도시하였다.

도 11a는 텔레비전 장치의 일례를 도시한 것이다. 텔레비전 장치(7100)는 하우징(7101)에 표시부(7103)가 내장되어 있다. 표시부(7103)에 의해, 영상을 표시하는 것이 가능하여, 발광 장치를 표시부(7103)에 사용할 수 있다. 또한, 여기서는 스탠드(7105)에 의해 하우징(7101)을 지탱한 구성을 도시하였다.

텔레비전 장치(7100)는 하우징(7101)이 구비하는 조작 스위치나, 별도로 제공된 리모트 컨트롤러(7110)에 의해 조작할 수 있다. 리모트 컨트롤러(7110)가 구비하는 조작 키(7109)에 의해, 채널이나 음량을 조작할 수 있으며, 표시부(7103)에 표시되는 영상을 조작할 수 있다. 또한, 리모트 컨트롤러(7110)에, 상기 리모트 컨트롤러(7110)에서 출력하는 정보를 표시하는 표시부(7107)를 설치한 구성으로 하여도 좋다.

또한, 텔레비전 장치(7100)는 수신기나 모뎀 등을 구비한 구성으로 한다. 수신기에 의해 일반적인 텔레비전 방송을 수신할 수 있으며, 추가로 모뎀을 통하여 유선 또는 무선에 의한 통신 네트워크에 접속함으로써, 일방향(송신자로부터 수신자) 또는 쌍방향(송신자와 수신자간 또는 수신자들간 등)의 정보 통신을 할 수도 있다.

도 11b는 컴퓨터이며, 본체(7201), 하우징(7202), 표시부(7203), 키보드(7204), 외부 접속 포트(7205), 포인팅 디바이스(7206) 등을 포함한다. 또한, 컴퓨터는 발광 장치를 그 표시부(7203)에 사용하여 제작된다.

도 11c는 휴대형 게임기이며, 하우징(7301)과 하우징(7302)의 2개의 하우징으로 구성되어 있고, 연결부(7303)에 의해, 개폐 가능하게 연결되어 있다. 하우징(7301)에는 표시부(7304)가 내장되고, 하우징(7302)에는 표시부(7305)가 내장되어 있다. 또한, 도 11c에 도시된 휴대형 게임기는 그 외에 스피커부(7306), 기록 매체 삽입부(7307), LED 램프(7308), 입력 수단(조작 키(7309), 접속 단자(7310), 센서(7311)(힘, 변위, 위치, 속도, 가속도, 각속도, 회전수, 거리, 빛, 액(液), 자기, 온도, 화학물질, 음성, 시간, 경도(硬度), 전기장, 전류, 전압, 전력, 방사선, 유량, 습도, 경도(傾度), 진동, 냄새 또는 적외선을 측정하는 기능을 포함하는 것), 마이크로폰(7312)) 등을 구비하고 있다. 그러나, 휴대형 게임기의 구성은 상술한 것에 한정되지 않는 것은 물론이고, 적어도 표시부(7304) 및 표시부(7305)의 양쪽, 또는 한쪽에 발광 장치를 사용하면 좋고, 그 외의 부속 설비가 적절히 제공된 구성으로 할 수 있다. 도 11c에 도시된 휴대형 게임기는 기록 매체에 기록되어 있는 프로그램 또는 데이터를 판독하여 표시부에 표시하는 기능이나, 다른 휴대형 게임기와 무선 통신을 수행하여 정보를 공유하는 기능을 갖는다. 또한, 도 11c에 도시된 휴대형 게임기가 갖는 기능은 이것에 한정되지 않고, 다양한 기능을 가질 수 있다.

도 11d는 휴대 전화기의 일례를 도시한 것이다. 휴대 전화기(7400)는 하우징(7401)에 내장된 표시부(7402) 외에, 조작 버튼(7403), 외부 접속 포트(7404), 스피커(7405), 마이크(7406) 등을 구비하고 있다. 또한, 휴대 전화기(7400)는 발광 장치를 표시부(7402)에 사용하여 제작된다.

도 11d에 도시된 휴대 전화기(7400)는 표시부(7402)를 손가락 등으로 터치함으로써, 정보를 입력할 수 있다. 또한, 전화를 걸거나 메일을 작성하는 등의 조작은 표시부(7402)를 손가락 등으로 터치함으로써 수행할 수 있다.

표시부(7402)의 화면은 주로 3가지 모드가 있다. 제 1 모드는 화상의 표시가 주된 표시 모드이며, 제 2 모드는 문자 등의 정보의 입력이 주된 입력 모드이다. 제 3 모드는 표시 모드와 입력 모드의 2개의 모드가 혼합한 표시+입력 모드이다.

예를 들어, 전화를 걸거나 메일을 작성하는 경우에는, 표시부(7402)를 문자의 입력이 주된 문자 입력 모드로 하여, 화면에 표시시킨 문자의 입력 조작을 수행하면 좋다. 이 경우에는 표시부(7402)의 화면의 대부분에 키보드 또는 번호 버튼을 표시시키는 것이 바람직하다.

또한, 휴대 전화기(7400) 내부에 자이로(gyroscope), 가속도 센서 등의 기울기를 검출하는 센서를 갖는 검출 장치를 제공함으로써, 휴대 전화기(7400)의 방향(세로인지 가로인지)을 판단하여 표시부(7402)의 화면 표시를 자동적으로 전환하도록 할 수 있다.

또한, 화면 모드는 표시부(7402)를 터치하거나 또는 하우징(7401)의 조작 버튼(7403)을 조작함으로써 전환된다. 또한, 표시부(7402)에 표시되는 화상의 종류에 따라 전환하도록 할 수도 있다. 예를 들어, 표시부에 표시하는 화상 신호가 동영상 데이터라면 표시 모드, 텍스트 데이터라면 입력 모드로 전환한다.

또한, 입력 모드에서 표시부(7402)의 광 센서로 검출되는 신호를 검지하고, 표시부(7402)의 터치 조작에 의한 입력이 일정 기간 없는 경우에는, 화면의 모드를 입력 모드로부터 표시 모드로 전환하도록 제어하여도 좋다.

표시부(7402)는 이미지 센서로서 기능시킬 수도 있다. 예를 들어, 표시부(7402)를 손바닥이나 손가락으로 터치하여 장문(掌紋)이나 지문 등을 촬상(撮像)함으로써 본인 인증을 수행할 수 있다. 또한, 표시부에 근적외광을 발광하는 백라이트 또는 근적외광을 발광하는 센싱용 광원을 사용하면, 손가락 정맥, 손바닥 정맥 등을 촬상할 수도 있다.

도 11e는 조명 장치의 일례를 도시한 것이다. 조명 장치(7500)는 하우징(7501)에 광원으로서 본 발명의 제작 방법으로 제작한 발광 장치(7503a) 내지 발광 장치(7503d)가 내장되어 있다. 조명 장치(7500)는 천장이나 벽 등에 장착할 수 있다.

또한, 발광 장치(7503a) 내지 발광 장치(7503d)는 장시간 동안 사용하더라도 눈이 피로하기 어려운 명도가 높고 옅은 색을 나타내는 빛과, 선명한 적색과, 적색 이외의 선명한 색을 나타내는 빛을 발광한다. 발광 소자를 구동하는 조건을 발광색마다 조정함으로써, 사용자가 색상을 조절할 수 있는 조명 장치를 실현할 수 있다.

도 12a 및 도 12b는 폴더형 태블릿 단말이다. 도 12a는 펼친 상태를 도시한 것이며, 태블릿 단말은 하우징(9630), 표시부(9631a), 표시부(9631b), 표시 모드 전환 스위치(9034), 전원 스위치(9035), 전력 절약 모드 전환 스위치(9036), 후크(9033), 조작 스위치(9038)를 갖는다. 또한 상기 태블릿 단말은 발광 장치를 표시부(9631a) 및 표시부(9631b) 중 한쪽 또는 양쪽에 사용하여 제작된다.

표시부(9631a)는 일부를 터치 패널의 영역(9632a)으로 할 수 있으며, 표시된 조작 키(9637)를 터치함으로써 데이터를 입력할 수 있다. 또한, 도면에서는 일례로서 표시부(9631a)에 있어서 영역의 반이 표시만 하는 기능을 갖는 구성이고 영역의 나머지 반이 터치 패널 기능을 갖는 구성을 도시하였지만, 이 구성에 한정되지 않는다. 표시부(9631a)의 모든 영역이 터치 패널의 기능을 갖는 구성으로 하여도 좋다. 예를 들어, 표시부(9631a)의 전체면에 키보드 버튼을 표시시킨 터치 패널로 하여, 표시부(9631b)를 표시 화면으로서 사용할 수 있다.

또한 표시부(9631b)에서도 표시부(9631a)와 마찬가지로 표시부(9631b)의 일부를 터치 패널의 영역(9632b)으로 할 수 있다. 또한 터치 패널의 키보드 표시 전환 버튼(9639)이 표시되어 있는 위치를 손가락이나 스타일러스(stylus) 등으로 터치함으로써 표시부(9631b)에 키보드 버튼을 표시할 수 있다.

또한 터치 패널의 영역(9632a)과 터치 패널의 영역(9632b)에 대해 동시에 터치 입력을 수행할 수도 있다.

또한, 표시 모드 전환 스위치(9034)는 세로 표시 또는 가로 표시 등의 표시 방향을 전환하거나, 흑백 표시나 컬러 표시의 전환 등을 선택할 수 있다. 전력 절약 모드 전환 스위치(9036)는 태블릿 단말에 내장된 광 센서로 검출되는 사용시의 외광의 광량에 따라 표시의 휘도를 최적으로 할 수 있다. 태블릿 단말은 광 센서뿐만 아니라, 자이로, 가속도 센서 등 기울기를 검출하는 센서와 같은 다른 검출 장치를 내장하여도 좋다.

또한, 도 12a에는 표시부(9631a)와 표시부(9631b)의 표시 면적이 같은 예를 도시하였지만, 특별히 한정되지 않으며 서로 크기가 상이하여도 좋고 표시 품질도 상이하여도 좋다. 예를 들어, 한쪽이 다른 쪽보다 고정세한 표시가 가능한 표시 패널로 하여도 좋다.

도 12b는 태블릿 단말을 닫은 상태를 도시한 것이며, 태블릿 단말은 하우징(9630), 태양 전지(9633), 충방전 제어 회로(9634), 배터리(9635), DCDC 컨버터(9636)를 갖는다. 또한 도 12b에서는 충방전 제어 회로(9634)의 일례로서 배터리(9635), DCDC 컨버터(9636)를 갖는 구성을 도시하였다.

또한 태블릿 단말은 접을 수 있기 때문에, 사용하지 않을 때는 하우징(9630)을 닫은 상태로 할 수 있다. 따라서, 표시부(9631a), 표시부(9631b)를 보호할 수 있기 때문에 내구성이 우수하며 장기 사용의 관점에서 봐도 신뢰성이 우수한 태블릿 단말을 제공할 수 있다.

또한, 도 12a 및 도 12b에 도시된 태블릿 단말은 상기 기능 외에도 다양한 정보(정지 영상, 동영상, 텍스트 화상 등)를 표시하는 기능, 달력, 날짜 또는 시각 등을 표시부에 표시하는 기능, 표시부에 표시한 정보를 터치 입력 조작하거나 편집하는 터치 입력 기능, 각종 소프트웨어(프로그램)에 의하여 처리를 제어하는 기능 등을 가질 수 있다.

태블릿 단말의 표면에 장착된 태양 전지(9633)에 의해, 전력을 터치 패널, 표시부, 또는 영상 신호 처리부 등에 공급할 수 있다. 또한 태양 전지(9633)를 하우징(9630)의 한쪽 면 또는 양쪽 면에 설치할 수 있어, 배터리(9635)를 효율적으로 충전할 수 있는 구성으로 할 수 있다. 또한, 배터리(9635)로서 리튬 이온 전지를 사용하면, 소형화를 도모할 수 있는 등의 장점이 있다.

또한, 도 12b에 도시된 충방전 제어 회로(9634)의 구성 및 동작에 대하여 도 12c의 블록도를 참조로 설명한다. 도 12c는 태양 전지(9633), 배터리(9635), DCDC 컨버터(9636), 컨버터(9638), 스위치(SW1) 내지 스위치(SW3), 표시부(9631)를 도시한 것이며, 배터리(9635), DCDC 컨버터(9636), 컨버터(9638), 스위치(SW1) 내지 스위치(SW3)가 도 12b에 도시된 충방전 제어 회로(9634)에 대응하는 부분이다.

우선, 외광을 이용하여 태양 전지(9633)에 의해 발전되는 경우의 동작 예에 대해서 설명한다. 태양 전지(9633)에 의해 발전된 전력은 배터리(9635)를 충전하기 위한 전압이 되도록 DCDC 컨버터(9636)로 승압 또는 강압된다. 또한, 표시부(9631)의 동작에 태양 전지(9633)로부터의 전력이 사용될 때는 스위치(SW1)를 온 상태로 하여, 컨버터(9638)에 의해 표시부(9631)에 필요한 전압으로 승압 또는 강압을 수행한다. 또한, 표시부(9631)에서 표시를 수행하지 않을 때는 스위치(SW1)를 오프 상태로 하고 스위치(SW2)를 온 상태로 하여 배터리(9635)를 충전하는 구성으로 하면 좋다.

또한, 태양 전지(9633)에 대해서는 발전 수단의 일례로서 제시하였지만, 특별히 한정되지 않고 압전 소자(피에조 소자)나 열전 변환 소자(펠티어 소자) 등의 다른 발전 수단에 의해 배터리(9635)를 충전하는 구성이어도 좋다. 예를 들어, 무선(비접촉)으로 전력을 송수신하여 충전하는 무접점 전력 전송 모듈이나, 다른 충전 수단을 조합하여 수행하는 구성으로 하여도 좋다.

또한, 상술한 실시형태에서 설명한 표시부를 구비하고 있으면, 도 12a 내지 도 12c에 도시된 전자 기기에 특별히 한정되지 않는 것은 물론이다.

상술한 전자 기기나 조명 장치 등의 발광 장치는 본 발명의 제작 방법으로 제작한 발광 장치이다. 그러므로, 신뢰성이 높은 전자 기기나 조명 장치 등을 제작할 수 있다.

본 실시형태는 본 명세서에 기재된 다른 실시형태와 적절히 조합하여 실시할 수 있다.

10: 오버랩 영역
20: 코너 영역
100: 유기 EL 소자
101: 제 1 전극
102: 제 2 전극
103: 투광성 도전층
125: 유기 EL 소자
126a: 단자
126b: 단자
140: 반사층
161: 밀봉체
163: 발광 장치
200: 유기 EL층
211: 정공 주입층
212: 정공 수송층
213: 발광층
214: 전자 수송층
301: 제 1 기판
302: 제 2 기판
400: 유기 EL층
411: 발광 유닛
412: 발광 유닛
413: 전하 발생층
500a: 프릿 글라스층
500b: 프릿 글라스층
500c: 프릿 글라스층
501: 무기 절연층
800: 레이저 광
7100: 텔레비전 장치
7101: 하우징
7103: 표시부
7105: 스탠드
7107: 표시부
7109: 조작 키
7110: 리모트 컨트롤러
7201: 본체
7202: 하우징
7203: 표시부
7204: 키보드
7205: 외부 접속 포트
7206: 포인팅 디바이스
7301: 하우징
7302: 하우징
7303: 연결부
7304: 표시부
7305: 표시부
7306: 스피커부
7307: 기록 매체 삽입부
7308: LED 램프
7309: 조작 키
7310: 접속 단자
7311: 센서
7312: 마이크로폰
7400: 휴대 전화기
7401: 하우징
7402: 표시부
7403: 조작 버튼
7404: 외부 접속 포트
7405: 스피커
7406: 마이크로폰
7500: 조명 장치
7501: 하우징
7503a: 발광 장치
7503b: 발광 장치
7503c: 발광 장치
7503d: 발광 장치
9630: 하우징
9631: 표시부
9631a: 표시부
9631b: 표시부
9632a: 영역
9632b: 영역
9633: 태양 전지
9634: 충방전 제어 회로
9635: 배터리
9636: DCDC 컨버터
9637: 조작 키
9638: 컨버터
9639: 키보드 표시 전환 버튼
9033: 후크
9034: 표시 모드 전환 스위치
9035: 전원 스위치
9036: 전력 절약 모드 전환 스위치
9038: 조작 스위치

Claims

밀봉체의 제작 방법에 있어서,
제 1 기판 위에 프릿 글라스(frit glass)층을 형성하는 단계와;
제 2 기판 위에 반사층을 형성하는 단계와;
상기 반사층에 있어서 제 2 영역보다 반사율이 낮은 제 1 영역을 형성하는 단계와;
상기 프릿 글라스층이 상기 반사층과 중첩되도록 상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판을 배치하는 단계와;
상기 제 2 기판에 상기 프릿 글라스층을 용착시키기 위하여 상기 프릿 글라스층에 대해서 레이저 광을 주사 및 조사하는 단계를 포함하고,
상기 프릿 글라스층 및 상기 반사층은 상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판 사이에 제공되고,
상기 제 1 영역은 주사가 시작되고 종료되는 영역에만 제공되는, 밀봉체의 제작 방법.
제 1 항에 있어서,
상기 제 1 영역에는 구멍이 형성되는, 밀봉체의 제작 방법.
제 2 항에 있어서,
상기 구멍의 형상은 사각형인, 밀봉체의 제작 방법.
제 1 항에 있어서,
상기 반사층은 텅스텐, 탄탈, 몰리브덴, 구리, 및 철 중 적어도 하나를 포함하는, 밀봉체의 제작 방법.
삭제
제 1 항에 있어서,
상기 프릿 글라스층은 연속된 폐곡선을 이루도록 형성되고,
상기 제 2 기판에 상기 프릿 글라스층이 용착됨으로써 상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판 사이에 폐공간이 형성되는, 밀봉체의 제작 방법.
제 1 항에 있어서,
상기 반사층 위에 절연층을 형성하는 단계를 더 포함하고,
상기 프릿 글라스층에 대해서 주사 및 조사를 수행하는 상기 단계에서 상기 절연층은 상기 프릿 글라스층에 접촉하는, 밀봉체의 제작 방법.
제 1 항에 있어서,
상기 레이저 광은 상기 제 1 기판을 투과하고 상기 반사층에 의해 반사되는, 밀봉체의 제작 방법.
제 1 항에 있어서,
상기 제 2 기판 위에 발광 소자가 형성되는, 밀봉체의 제작 방법.
발광 장치의 제작 방법에 있어서,
제 1 기판 위에 프릿 글라스층을 형성하는 단계와;
제 2 기판 위에 반사층을 형성하는 단계와;
상기 제 2 기판 위에 발광층을 형성하는 단계와;
상기 반사층에 있어서 제 2 영역보다 반사율이 낮은 제 1 영역을 형성하는 단계와;
상기 프릿 글라스층이 상기 반사층과 중첩되도록 상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판을 배치하는 단계와;
상기 제 2 기판에 상기 프릿 글라스층을 용착시키기 위하여 상기 프릿 글라스층에 대해서 레이저 광을 주사 및 조사하는 단계를 포함하고,
상기 프릿 글라스층 및 상기 반사층은 상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판 사이에 제공되고,
상기 제 1 영역은 주사가 시작되고 종료되는 영역에만 제공되는, 발광 장치의 제작 방법.
제 10 항에 있어서,
상기 제 1 영역에는 구멍이 형성되는, 발광 장치의 제작 방법.
제 11 항에 있어서,
상기 구멍의 형상은 사각형인, 발광 장치의 제작 방법.
제 10 항에 있어서,
상기 반사층은 텅스텐, 탄탈, 몰리브덴, 구리, 및 철 중 적어도 하나를 포함하는, 발광 장치의 제작 방법.
삭제
제 10 항에 있어서,
상기 프릿 글라스층은 연속된 폐곡선을 이루도록 형성되고,
상기 제 2 기판에 상기 프릿 글라스층이 용착됨으로써 상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판 사이에 폐공간이 형성되는, 발광 장치의 제작 방법.
제 10 항에 있어서,
상기 반사층 위에 절연층을 형성하는 단계를 더 포함하고,
상기 프릿 글라스층에 대해서 주사 및 조사를 수행하는 상기 단계에서 상기 절연층은 상기 프릿 글라스층에 접촉하는, 발광 장치의 제작 방법.
제 10 항에 있어서,
상기 레이저 광은 상기 제 1 기판을 투과하고 상기 반사층에 의해 반사되는, 발광 장치의 제작 방법.